Выявление условий и режимов ультразвукового воздействия для формирования факела распыления с заданными характеристиками по дисперсности, производительности и форме тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.17.08, кандидат технических наук Шалунова, Анна Викторовна

• Шалунова, Анна Викторовна
• кандидат технических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат технических наук Шалунова, Анна Викторовна

Введение.

1 Анализ технологий распыления жидкостей и способов формирования факела распыления с заданными характеристиками.

1.1 Основные параметры формируемого факела распыления.

1.1.1 Дисперсные характеристики.

1.1.2 Характеристики распределения.

1.1.3 Характеристики формы.

1.1.4 Гидродинамические параметры.

1.2 Процессы химической технологии, основанные на распылении жидкостей.

1.2.1 Очистка газов от примесей.

1.2.2 Распылительная сушка.

1.2.3 Мокрая очистка газов от дисперсных примесей.

1.2.4 Гранулирование.

1.2.5 Нанесение покрытий.

1.2.6 Общие требования к распылителям.

1.3 Способы распыления.

1.3.1 Гидравлическое распыление.

1.3.2 Механическое распыление.

1.3.3 Пневматическое распыление.

1.3.4 Электростатическое распыление.

1.4 Ультразвуковое распыление.

1.4.1 Ультразвуковое оборудование для распыления жидкостей.

1.4.2 Типы излучающих поверхностей для распыления жидкостей.

1.4.3 Способы подачи жидкости на излучающую поверхность.

1.5 Постановка задач исследования.

2 Теоретическое исследование процесса ультразвукового распыления жидкостей с целью определения конструктивных параметров распылителей и режимов ультразвукового воздействия, обеспечивающих формирование факела распыления с необходимыми дисперсными и геометрическими характеристиками.

2.1 Определение режимов ультразвукового воздействия, обеспечивающих формирование капель жидкости с заданными дисперсными характеристиками.

2.1.1 Определение амплитуды звукового давления в слое распыляемой жидкости.

2.1.2 Определение максимального радиуса кавитационного пузырька в зависимости от толщины слоя распыляемой жидкости.

2.1.3 Определение величины амплитуды давления во фронте ударной волны, возникающей при захлопывании кавитационного пузырька.

2.1.4 Определение длины и амплитуды образующихся капиллярных волн.

2.1.5 Определение диаметра формируемых капель жидкости.

2.1.6 Определение производительности УЗ распыления жидкостей.

2.2 Определение геометрических размеров формируемого факела распыления.

2.2.1 Определение скорости отрыва капель распыляемой жидкости.

2.2.2 Определение геометрических размеров излучающей поверхности, обеспечивающей формирование факела распыления необходимого диаметра.

2.2.3 Определение угла при вершине распылительной поверхности.

2.2.4 Определение площади растекания жидкости по распылительной поверхности.

2.2.5 Определение количества и местоположения отверстий для подачи жидкости на распылительную поверхность.

3 Экспериментальное исследование процесса ультразвукового распыления жидкостей и определение характеристик формируемого факела аэрозоля.

3.1 Экспериментальные установки для проведения исследований процесса ультразвукового распыления жидкостей.

3.2 Типы ультразвуковых колебательных систем, используемых для проведения экспериментов.

3.3 Типы распыляемых жидкостей, использовавшихся при проведении экспериментов.

3.4 Определение зависимости среднего диаметра формируемых капель от амплитуды и частоты ультразвукового воздействия.

3.5 Определение зависимости среднего диаметра формируемых капель от вязкости распыляемой жидкости.

3.6 Определение зависимости среднего диаметра формируемых капель от поверхностного натяжения распыляемой жидкости.

3.7 Определение размеров формируемого факела для различных распылительных поверхностей.

3.8 Определение зависимости производительности распыления жидкостей от частоты колебаний распыляющей поверхности.

4 Практические конструкции ультразвуковых распылителей, разработанные с учетом полученных результатов.

4.1 Ультразвуковые распылители для нанесения фоточувствительного слоя на поверхность кремниевой пластины.

4.2 Применение ультразвукового распыления для химико-механического полирования полупроводниковых пластин.

4.3 Применение ультразвукового распыления для сушки жидких растительных экстрактов.

4.4 Ультразвуковые распылители для получения гранулированного алюминия из расплава.

4.5 Ультразвуковые распылители медицинского назначения.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Выявление условий и режимов ультразвукового воздействия для формирования факела распыления с заданными характеристиками по дисперсности, производительности и форме»

Значительное число процессов химических технологий реализуется в гетерогенных системах, в частности, в двухфазных системах жидкость-газ. Наиболее эффективным способом интенсификации рассматриваемых процессов является развитие поверхности контакта фаз между веществами, находящимися в жидкой и газообразной фазах, за счет увеличения свободной поверхности вещества, находящегося в жидкой фазе. Распыление представляет собой технически наиболее просто реализуемый способ увеличения свободной поверхности жидкости, а его совершенствование является одной из важнейших задач промышленности. Этот факт базируется на существовании широкого спектра технологических процессов, в которых используется распыление или реализация которых невозможна без применения распыления жидкостей.

Примером таких технологических процессов могут служить: мокрая очистка газов от различных дисперсных примесей, абсорбция газовых примесей как для их очистки, так и для выделения целевых компонентов, сушка и одновременное гранулирование материалов; покрытие полупроводниковых пластин фоточувствительным слоем на стадии фотолитографии при производстве полупроводниковых схем и др.

Наиболее широко используемые на практике способы распыления (так называемые традиционные способы): гидравлическое, механическое, пневматическое и электростатическое распыление - обладают большим количеством недостатков, которые значительно снижают эффективность технологических процессов, осуществляемых на их основе.

В этой связи перспективным направлением совершенствования технологических процессов является применение новых способов распыления жидкостей. К таким способам относится распыление за счет использования энергии механических колебаний ультразвуковой (УЗ) частоты - ультразвуковое распыление.

Ультразвуковое распыление имеет ряд существенных преимуществ по сравнению с традиционными способами распыления:

- низкую энергоемкость;

- высокую производительность;

- обеспечение мелкодисперсного распыления;

- возможность получения монодисперсного распыления;

- возможность распыления высоковязких жидкостей без предварительного снижения их вязкостей при помощи различных растворителей.

К сожалению, ультразвуковой способ пока не получил промышленного применения в широких масштабах. Это в первую очередь связано с сильной зависимостью дисперсных характеристик формируемых капель жидкости и производительности распыления от свойств жидкости (вязкость и поверхностное натяжение) и параметров УЗ воздействия (частота, амплитуда УЗ колебаний), приводящей к необходимости подбора требуемой величины ультразвукового воздействия для каждой распыляемой жидкости в зависимости от ее свойств, площади распылительной поверхности и требуемой производительности распыления. На сегодняшний день, ввиду недостаточности знаний о процессах, происходящих в распыляемой жидкости, отсутствия учета таких факторов, как вязкость и поверхностное натяжение жидкости, подбор требуемой величины ультразвукового воздействия осуществляется вручную, как правило, на основании субъективных ощущений оператора. Это приводит к практической невозможности определения оптимальных условий распыления, что вызывает ухудшение дисперсных характеристик образующихся капель жидкости.

Несмотря на существенность обозначенной проблемы, в настоящее время существует крайне мало теоретических исследований и практических наработок, позволяющих ее решить. Таким образом, задача изучения влияния свойств жидкости на процесс ее распыления и определения необходимых 7 параметров ультразвукового воздействия и характеристик оборудования для распыления жидкостей является актуальной.

Целью работы является создание ультразвуковых распылителей, обеспечивающих формирование факела распыляемых жидкостей с необходимыми производительностью, дисперсными и геометрическими характеристиками за счет теоретического выявления и экспериментального подтверждения необходимости обеспечения определенных режимов ультразвукового воздействия.

Работа является продолжением исследований, проводимых в «Лаборатории акустических процессов и аппаратов» Бийского технологического института (филиала) Федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова».

Заключение диссертации по теме «Процессы и аппараты химической технологии», Шалунова, Анна Викторовна

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В результате выполнения работы были созданы ультразвуковые распылители, обеспечивающие формирование факела распыляемых жидкостей с необходимыми производительностью, дисперсными и геометрическими характеристиками за счет теоретического выявления и экспериментального подтверждения необходимости обеспечения определенных режимов ультразвукового воздействия. При этом решены следующие частные задачи:

1. Установлено, что при воздействии УЗ колебаниями на тонкий слой жидкости создаваемое переменное звуковое давление при достижении определенных значений приводит к возникновению кавитационных полостей, при схлопывании которых образуются ударные волны, приводящие при выполнении некоторых условий (вязкость и поверхностное натяжение жидкости, амплитуда и частота УЗ воздействия) к образованию на границе раздела жидкости с газовой средой капиллярных волн, при достижении которыми пороговой амплитуды начинает происходить их распад на отдельные капли, что обеспечивает протекание процесса УЗ распыления жидкостей.

2. Разработана теоретическая модель, которая описывает процесс ультразвукового распыления жидкостей, учитывает основные закономерности процессов, происходящих в распыляемой жидкости, а также позволяет определять производительность распыления и диаметры формируемых капель в зависимости от частоты и амплитуды УЗ воздействия с учетом вязкости и поверхностного натяжения жидкости.

3. На основе разработанной модели проведено теоретическое исследование зависимости диаметров формируемых капель от параметров УЗ воздействия и физических свойств жидкости и установлено наличие ограничений на максимальное значение вязкости распыляемой жидкости

30 мПа-с на частоте 22 кГц, 23 мПах на частоте 44 кГц, 15 мПас на частоте

152

60 кГц и 10 мПа-с на частоте 130 кГц) и удельной производительности распыления (0,62 мл/с на частоте 22 кГц, 0,46 мл/с на частоте 44 мл/с, 0,38 на частоте 60 кГц и 0,23 мл/с на частоте 130).

4. Разработана методика расчета, которая позволяет определять размеры распылительной поверхности, количество и месторасположение отверстий для подачи жидкости, обеспечивающих формирование факела распыла с заданными характеристиками формы и производительностью.

5. Проведены экспериментальные исследования, подтвердившие теоретически выявленные зависимости производительности распыления и среднего диаметра формируемых капель от параметров УЗ воздействия и свойств самих жидкостей (расхождение не превышает 31 %, коэффициент пропорциональности между теоретически и экспериментально найденными значениями производительности равен 0,53). Также установлены зависимости среднеквадратичного отклонения формируемых капель жидкости в зависимости от параметров УЗ воздействия и свойств жидкостей, необходимые для формирования факела распыления с заданными дисперсными характеристиками.

6. На примерах практического применения УЗ распылителей при осуществлении технологических процессов нанесения фоточувствительного слоя на поверхность кремниевой пластины, химико-механического полирования пластины, сушки жидких растительных экстрактов, получения гранулированного алюминия из расплава, нанесения покрытий на стенты коронарных сосудов показана эффективность применения выявленных зависимостей для определения рабочих частот, амплитуд и формы распылительной поверхности УЗ распылителей, обеспечивающих формирование факела распыла с необходимыми производительностью, дисперсными и геометрическими характеристиками.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Шалунова, Анна Викторовна, 2012 год

1. Касаткин, А. Г. Основные процессы и аппараты химической технологии Текст. / А. Г. Касаткин. 9-е изд. - М.: Химия, 1973. - 750 с.

2. Дытнерский, Ю. И. Процессы и аппараты химической технологии Текст. В 2 ч. Ч. 1. Теоретические основы процессов химической технологии. Гидромеханические и тепловые процессы и аппараты / Ю. И.

3. Дытнерский. М.: Химия, 2002. - 400 с.

4. Дытнерский, Ю.И. Процессы и аппараты химической технологии Текст. В 2 ч. Ч. 2. Массообменные процессы и аппараты / Ю. И. Дытнерский. М.: Химия, 2002. - 368 с.

5. Пажи, Д. Г. Основы техники распыливания жидкостей / Д. Г. Пажи,

6. В. С. Галустов. М.: Химия, 1984. - 256 с.

7. Sbornik vedeckych praci Vysoke skoly banske: Rada hornicko-geologicka Text. / Vysoka skolabanska (Ostrava). Ostrava: 1928. - C. 133.

8. Sauter, J. Die Grössenbestimmung der in Gemischnebeln von Verbrennungskraftmaschinen vorhandenen Brennstoffteilchen Text. / J. Sauter, -VDI-Forschungsheft, 1928. S. 312.

9. Горбис, 3. Р. Теплообмен и гидродинамика дисперсных сквозныхпотоковТекст. / З.Р. Горбис. М.:Энергия, 1970.

10. Хоблер, Т. Массопередача и абсорбции Текст. / Т. Хоблер. М.:1. Химия, 1959.

11. Александров, И. А. Ректификационные и абсорбционные аппараты Текст. / И. А. Александров. М.: Химия, 1978. - 172 с.

12. Рамм, В. М. Абсорбция газов Текст. / В. М. Рамм. М.: Химия,1976. -172 с.

13. П.Баранов, Д.А. Процессы и аппараты: учебник для студентов учреждений среднего проф. образования Текст./ Д.А. Баранов, A.M. Кутепов. М.: Академия, 2004. - 304 с.

14. Игнатович, Э. Химическая техника. Процессы и аппараты: (пер. с нем. Текст./ Э. Игнатович М.: Техносфера, 2007. - 656 с.

15. Поникаров, И.И. Машины и аппапаты химических производств Текст. / И.И. Поникаров, O.A. Перелыгин, В.Н. Доронин, М.Г. Гайнуллин. -М.: Машиностроение, 1989. 368 с.

16. Гельперин, Н. И. Основные процессы и аппараты химической технологии. Текст. В 2 кн. / Н. И. Гельперин. М.:Химия, 1981. - 812 с.

17. Балабеков, О. С. Очистка газов в химической промышленности. Процессы и аппараты Текст. / О. С. Балабеков, JI. Ш. Балтаев М: Химия, 1991.-256 с.

18. Романков, П. Г. Массообменные процессы в химической технологии Текст. / П. Г. Романков, В. Ф. Фролов. М.: Химия, 1990. -172 с.

19. Романков, П. Г. Теплоообменные процессы в химической технологии Текст. / П. Г. Романков, В. Ф. Фролов. Л.: Химия, 1982. -288 с.

20. Альперт, JI. 3. Основы проектирования химических установок Текст. / JT. 3. Альперт. М.: Высшая школа, 1989. - 172 с.

21. Лурье, М. Ю. Сушильное дело. Общий курс. / М. Ю. Лурье. 2-е изд. перераб. Текст. - М.: ГОНТИРЭЛ, 1938. - 384 с.

22. Лебедев, П. Д. Расчет и проектирование сушильных установок Текст. / П. Д. Лебедев. Л.: Госэнергоиздат, 1962.

23. Сажин, Б. С. Основы техники сушки Текст. / Б. С. Лебедев.1. М.: Химия, 1984.-320 с.

24. Лыков, М. В. Сушка в химической промышленности Текст. /

25. М. В. Лыков. М.:Химия, 1970. - 437 с.

26. Муштаев, В. И. Сушка дисперсных материалов Текст. / В. И. Муштаев, В. М. Ульянов. М.: Химия, 1988. - 352 с.

27. Лыков, А. В. Теория сушки Текст. / А. В. Лыков. М.: Энергия, 1968.-472 с.

28. Лыков, М. В. Сушка распылением Текст. / М. В. Лыков. М.:1. Госхимиздат, 1951.-361 с.

29. Голубев, Л. В. Сушка в химико-фармацевтическойпромышленности Текст. / Л. В. Голубев, Б. С. Сажин, Е. Р. Валашек. М.:1. Медицина, 1978. 272 с.

30. Романков, П. Г. Гидромеханические процессы химическойтехнологии Текст. / П. Г. Романков, М. И. Курочкина. 2-е изд. - Л.: Химия, 1974. - 282 с.

31. Балабеков, О. С. Очистка газов в химической промышленности. Процессы и аппараты Текст. / О. С. Балабеков, Л. Ш. Балтаев. М.: Химия, 1991.-256 с.

32. Чернобыльский, И.И Машины и аппараты химических производств. Текст./ И. И. Чернобыльский [и др.]; под ред. И. И. Чернобыльского. 3-е изд. перераб. и доп. - М.: Машиностроение, 1974. - 456 с.

33. Айнштейн, В. Г. Общий курс процессов и аппаратов химической технологии: учебник для вузов: в 2 кн., кн. 2 Текст. / В. Г. Айнштейн [и др.]; под ред. В. Г. Айнштейна. М.: Логос, 2002. - 872 с.

34. Вилесон, Н. Г. Процессы гранулирования в промышленности Текст. / Н. Г. Вилесов, В. Я. Скрипко, В. Л. Ломазов, И. М. Танченко Киев:1. Техника, 1976. 192 с.

35. Тимонин, А. С. Машины и аппараты химических производств

36. Текст. / A.C. Тимонин и др.]; под редакцией A.C. Тимонина. Калуга.:

37. Издательство Н.Ф. Бочкаревой, 2008. 872 с.

38. Удалов, Ю. В. Технология неорганических порошковых материалов и покрытий функционального назначения Текст. / Ю. В. Удалов [и др.] под ред. Ю. П. Удалова. СПб.:Янус, 2011. - 429 с.

39. Хасуй, А. Техника напыления Текст. / А. Хасуй. М:

40. Машиностроение, 1975. 288 с.

41. TechLekForm технология лекарственных форм Электронныйресурс.: Покрытие таблеток оболочками. Режим доступа:156http:/Vtechlekform.ru/tverdvie-lekarstvennyie-formvi/tabulettae/pokrvitie-tabletokobolochkami.html.

42. Кардашев, Г. А. Физические методы интенсификации процессов химической технологии Текст. / Г. А. Кардашев. М.: Химия, 1990. - 208 с.

43. Пажи, Д. Г. Распылители жидкостей Текст. / Д. Г. Пажи, В. С. Галустов. М: Химия, 1979. - 216 с.

44. Бородин, В. А. Распиливание жидкостей Текст. / В. А. Бородин. -М.: Машиностроение, 1967. 208 с.

45. Пажи, Д. Г. Распыливающие устройства в химической технологии Текст. / Д. Г. Пажи, А. А. Корягин, Э. JI. Ламм. М.: Химия, 1975. - 199 с.

46. Вачагин, К. Д. Движение потоков вязкой жидкости по поверхности быстровращающегося плоского диска Текст. / К. Д. Вачагин, В. С. Николаев // Химия и хим. технолог. 1960. - Т. 3, - №6. - С. 71-76.

47. Ничипоренко, О. С. Распыленные металлические порошки Текст. / О. С. Ничипоренко, Ю. И. Найда, А. Б. Медедовский. Киев: Наук, думка, 1980.-240 с.

48. Айнштейн, В. Г. Общий курс процессов и аппаратов химической технологии: учебник для вузов: в 2 книгах, кн.1 Текст. / В. Г. Айнштейн [и др.]; под ред. В. Г. Айнштейна. М.'.Химия, 1999. - 888 с.

49. Пажи, Д. Г. Форсунки в химической промышленности Текст. / Д. Г. Пажи, А. В. Прахов, Б. Б. Равикович. М.: Химия, 1971. - 221 с.

50. ГТ-Электрофизика Электронный ресурс. электростатический способ распыления жидкостей. Режим доступа: http://techlekform.ru/tverdyielekarstvennvie-formyi/tabulettae/Dokrvitie-tabletok-obolochkami.html.

51. Ultrasound Company Electronic resource. Sono-Tek Corporation. -Режим доступа: http://www.sono-tek.com/.

52. Экнадиосянц, О. К. Получение аэрозолей Текст. / О. К. Экнадиосянц // Физические основы ультразвуковой технологии / под ред. Л. Д. Розенберга. -М.: Наука, 1970. С. 337-395.

53. Новицкий, Б. Г. Применение акустических колебаний в химико-технологических процессах (Процессы и аппараты химической и нефтехимической технологии) Текст. / Б. Г. Новицкий. М.: Химия, 1983. — 192 с.

54. Фридман, В. М. Ультразвуковая химическая аппаратура Текст. / В. М. Фридман. М.: Машиностроение, 1867. - 212 с.

55. Экнадиосянц, О. К. О распылении жидкости низкочастотными ультразвуковыми колебаниями Текст. / О. К. Экнадиосянц // Акустический журнал. 1966. - Т. 12, - № 1. - С. 127-132.

56. Шутилов, В. А. Основы физики ультразвука Текст. / В. А. Шутилов. JL: Изд-во Ленинградского университета, 1980. - 280 с.

57. Крылов, В. В. Основы теории излучения и рассеяния звука Текст. / В. В. Крылов. -М.: Изд-во Московского университета, 1989. 118 с.

58. Шендеров, Е. JI. Волновые задачи гидроакустики Текст. / Е. Л. Шендеров. Л.: Судостроение, 1972. - 352 с.

59. Экнадиосянц, О. К. О физическом механизме распыления жидкости акустическимим колебаниями Текст. / О. К. Экнадиосянц, Ю. Я. Богуславский // Акустический журнал. 1969. - Т. 15, № 1. - С. 17-32.

60. Fortman, W. К. Hochleistungs-Schallzerstauber Text. / W. К. Fortman // Oil+Gas. 1965. - V. 10, - № 4. - P. 58-64.

61. Ламекин, H. С. Метод расчета зазора генератора форсунки жидкого топлива Текст. / Н. С. Ламекин. М.: Машиностроение, 1861. - 114 с.

62. Ламекин, Н. С. Основы теории форсунки для жидкого топлива с газовым генератором Текст. / Н. С. Ламекин. -М.: Машиностроение, 1860. -104 с.

63. Экнадиосянц, О. К. О кинетике ультразвукового туманообразования Текст. / О. К. Экнадиосянц // Акустический журнал. 1963. - Т. 9, - № 2. -С. 247.

64. Экнадиосянц, О. К. К вопросу о природе распыления жидкостей в ультразвуковом фонтане Текст. / О. К. Экнадиосянц, Б. И. Ильин // Акустический журнал. 1966. - Т. 12, - № 3. - С. 310.

65. Агранат, Б. А. Основы физики и техники ультразвука Текст. / Б. А. Агранат [и др.] М.: Высшая школа, 1987. - 352 с.

66. Акуличев, В. А. Пульсации кавитационных полостей Текст. / В. А. Акуличев // Физические основы ультразвуковой технологии / под ред. Л.Д.

67. Розенберга. М.: Наука, 1970. - С. 129-167.

68. Редько, В. В. Источник питания ультразвуковой технологической установки Текст. / В. В. Редько, Б. А. Багинский // Приборы и техникаэксперимента. 2000. - № 4. - С. 154-157.

69. Донской, А. В. Ультразвуковые электротехнические установки Текст. / А. В. Донской, О. К. Келлер, Г. С. Кратыш. Л.: Энергия, 1968. -276 с.

70. Ultrasound Company Electronic resource. / Sono-Tek Corporation. -Режим доступа: http://www.sono-tek.com/

71. Хмелев, В. Н. Ультразвуковое распыление жидкостей Текст. / В. Н. Хмелёв, А. В. Шалунов, А. В. Шалунова. Барнаул АлтГТУ, 2010. - 272 с.

72. Кедринский, В. К. Гидродинамика взрыва Текст. / В. К. Кедринский. Новосибирск: Издательство СО РАН, 2000. - 435 с.

73. Коул, Р. Подводные взрывы Текст. / Р. Коул; пер. с англ. изд. П. Н. Успенский. М.: Издательство иностранной литературы, 1950. - 414 с.

74. Шендеров, E.JL Волновые задачи гидроакустики Текст. / Е. JI. Шендеров. JL: Судостроение, 1972. - 352 с.

75. Ультразвуковая технология Текст. / под ред. А. Б. Аграната. М.: Металлургия, 1974. - 505 с.

76. Хмелев, В. Н. Получение аэрозолей ультразвуковыми колебаниями (монография) Текст. / В. Н. Хмелев, А. В. Шалунов, А. В. Шалунова // Saarbrücken: LAP LAMBERT Academic Publishing, 2011. 271 с.

77. Стрэтт, Дж.В. (Лорд Релей)Теория звука Текст. В 2 т. Т. 1/ Дж.В. Стрэтт (Лорд Релей); пер. с англ. изд. П. Н. Успенский, С. А Каменецкий под ред. С.М. Рыкова и К. Ф. Теодорчика. М.; Л.:ГИТТЛ, 1940. - 503 с.

78. Капустина, О. А. Дегазация жидкостей Текст. / О. А. Капустина // Физические основы ультразвуковой технологии. М.: Наука, 1970. -С. 252-336.

79. Eggers, J. Nonlinear dynamics and breakup of free-surface flows Текст. / J. Eggers // Review of Modern Physics. 1997. - V. 69, N. 3. -P. 865-929.

80. Хмелев, В. Н. Моделирование процесса формирования факела при ультразвуковом распылении Текст. / В. Н. Хмелев, А. В. Шалунов, А. В. Шалу нова // Вести высших учебных заведений Черноземья. 2008. -№ 2 (12).- С.45-50.

81. Khmelev, V. N Ultrasonic atomizers of nanomaterials Текст. / V. N. Khmelev, A. Y Shalunov, M. V. Khmelev A. V. Shalunova // XII International Conference and Seminar of Young Specialists on Micro /

82. Nanotechnologies and Electron Devices EDM 2011. Novosibirsk, NSTU, 2011. -P. 305-309.

83. Краткий справочник физико-химических величин под ред. А. А. Равделя, А.М.Пономаревой. 8-е изд. - Л.: Химия, 1983. - 231 с.

84. НЕФТЬ-ГАЗ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА Electronic resource. Поверхностное натяжение веществ и водных растворов в зависимости от температуры. - Режим доступа: http://www.oglib.ru/tabl/tablel2.html

85. Wieder, В. Spray coating for mems, nems and micro systems Text. /В. Wieder, C. Brubaker, T. Glinser, P. Kettner, N. Nodes // Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Tecnologies, 2002. P. 135-138.

86. Process for chemical-mechanical polishing of IU-V semiconductor materials Text.: pat: 3979239 USA : ICL H01L 021/304 : CCL 438/692 / Walsh; Robert; Monsanto Company; app. num. 537478; app. 30.12.1974; pub. 07.09.1976.

87. Шалунов, А. В. Ультразвуковой распылитель для химико-механического полирования Текст. / В. Н. Хмелев, А. В. Шалунов // Современные проблемы радиоэлектроники: сборник научных трудов. М.: Радио и связь, 2006. - С. 181-184.

88. Форсунка для распыления расплавленных металлов / Кукса А.В., Мольков А.В., Кононов М.П., Губанов А.В., Линьков С.В.Пат. 2283728 Рос. Федерация: МПК5 B22F 9/08 , опубликовано: 20.09.2006.

89. ООО «Центр ультразвуковых технологий» / Ультразвуковое распыление металлов и сплавов. Режим доступа: http://u-sonic.com/primenenieultrazvvika-v-promvshlennosti/39-ultrazvukovoe-raspYlenie-metallov-i-splavov

90. Размер и свойства частиц / Лазерная дифракция. Analysette-22 MicroTec Plus / Аналитическое оборудование. Режим доступа:http://labtest.su/eauipment/list-mrticle-sizm^ fritsch-ana.html.

91. Хмелев, В. Н. Технологии ультразвукового мелкодисперсного распыления на службе охраны здоровья Текст. / В. Н. Хмелев, А. В. Шалунов, А. В. Шалунова // Нанотехнологии и охрана здоровья. 2011 -№1.-2011.С. 30-33.

92. Medical Industry Electronic resource. — Sono-Tek Corporation. — Режим доступа: http://www.sono-tek.com/medical : http://www.sono-tek.com/medical.

93. Осиев, А. Г. СТЕНТИРОВАНИЕ КОРОНАРНЫХ АРТЕРИЙ. Медицинская технология Текст. / А. Г. Осиев, Д. С. Гранкин, А. В. Бирюков, Д. А. Редькин Новосибирск: ФГУ «ННИИПК Росмедтехнологий», 2008. -27 с.

94. Хмелев, В. Н. Разработка и исследование высококачественного ультразвукового распылителя жидкости Текст. / В. Н. Хмелев, А. В. Шалунов, А. В. Шалунова // Научно технический вестник Поволжья. -2011.-№4.-С. 212-215.