Высокоскоростная параллельная регистрация электронных спектров с временным разрешением тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, кандидат физико-математических наук Романенко, Виталий Александрович

  • Романенко, Виталий Александрович
  • кандидат физико-математических науккандидат физико-математических наук
  • 2000, Ижевск
  • Специальность ВАК РФ01.04.01
  • Количество страниц 165
Романенко, Виталий Александрович. Высокоскоростная параллельная регистрация электронных спектров с временным разрешением: дис. кандидат физико-математических наук: 01.04.01 - Приборы и методы экспериментальной физики. Ижевск. 2000. 165 с.

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Романенко, Виталий Александрович

Оглавление.

Введение.

Глава 1. Регистрация электронных спектров и потоков электронов.

1.1. Электронная спектроскопия и электронные спектрометры.

1.2. Электронно-оптические преобразователи и метод электронно-оптической спектрохронографии.

1.3. Характеристики и параметры микроканальных пластин и детекторов электронов на их основе.

1.4. Особенности регистрации и обработки экспериментальных данных в электронной спектроскопии.

1.5. Постановка целей и задач исследования.

Глава 2. Высокоскоростная параллельная регистрация электронных спектров с временным разрешением.

2.1. Высокоскоростная параллельная регистрация электронных спектров и система параллельной регистрации электронных спектров (СПР ЭС) с временным разрешением.

2.2. Режимы высокоскоростной параллельной регистрации электронных спектров.

2.3. Математическая модель и основные параметры СПР ЭС с временным разрешением.

2.4. Обобщенная структура СПР ЭС с временным разрешением.

Выводы.

Глава 3. Имитационная модель системы параллельной регистрации электронных спектров с временным разрешением.

3.1. Структура имитационной модели.

3.2. Функционирование имитационной модели.

3.3. Ограничения и допущения имитационной модели.

3.4. Уравнения движения электронов в имитационной модели.

Оглавление

3.5. Численная схема ядра и входные параметры имитационной модели.

Выводы.

Глава 4. Результаты моделирования и их анализ.

4.1. Методика вычислительного эксперимента с имитационной моделью.

4.2. Влияние параметров СПР ЭС на фокусирующие свойства магнитного поля энергоанализатора.

4.3. Расчет параметров СПР ЭС с временным разрешением для 100-см фотоэлектронного магнитного спектрометра с двойной фокусировкой.

4.4. Имитационное моделирование основных режимов работы СПР ЭС. .115 Выводы.

Глава 5. Установки-прототипы СПР ЭС и эксперименты на них.

5.1. Цели, задачи и техника экспериментов на установках-прототипах СПР ЭС.

5.2. Устройство и принцип действия экспериментальной установки-макета СПРЭС.

5.3. Эксперименты на установке-макете СПР ЭС и их результаты.

5.4. Опытная установка-прототип СПР ЭС с временным разрешением. 145 Выводы.

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Приборы и методы экспериментальной физики», 01.04.01 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Высокоскоростная параллельная регистрация электронных спектров с временным разрешением»

Методы электронной спектроскопии широко используются при исследовании поверхности и приповерхностных слоев твердого тела. Наиболее распространенными из них являются метод рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС), где в качестве возбуждающего излучения используются фотоны характеристического рентгеновского излучения, и метод оже-электронной спектроскопии (ОЭС), где в качестве возбуждающего излучения используются электроны. Метод фотоэлектронной спектроскопии [1] позволяет получать уникальную информацию о свойствах поверхности, осуществлять исследования электронной структуры, производить качественный и количественный анализ в поверхностных слоях материала глубиной от десятков ангстрем до долей атомного слоя.

В нашей стране и за рубежом выпускаются электронные спектрометры с различными типами энергоанализаторов, реализующие комплекс методов анализа поверхности [2, 3]. В электронных спектрометрах наиболее широко применяются электростатические энергоанализаторы (ЭС-2401, ЭС-2402, ЭС-2403, ЭС-3201, "Кратос" XSAM 800 и Axis Ultra, PHI-5300, PHI-5800 и др.), реже -магнитные (электронные спектрометры Института физики металлов УрО РАН и Физико-технического института УрО РАН, университетов г. Уппсала (Швеция), г. Токио и Чок-Риверской лаборатории в Канаде). В современных типах спектрометров время регистрации спектров сокращается до секунд и миллисекунд, что исключительно важно при изучении быстропротекающих процессов.

Еще создателями рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии была замечена возможность многоканальной регистрации спектров, то есть регистрации электронов одновременно для нескольких соседних значений энергии в заданном диапазоне [4]. Ими же была осуществлена многоканальная регистрация в 30-см электронном магнитном спектрометре, на котором с помощью линейки вторично-электронных умножителей получены спектры золота.

Многоканальная регистрация спектров электронными спектрометрами с магнитным энергоанализатором с двойной фокусировкой или с электростатическим полусферическим концентрическим энергоанализатором возможна в силу наличия у них фокальной плоскости [5]. В этой плоскости можно разместить рядом друг с другом несколько твердотельных детекторов электронов. Детекторами в некоторых многоканальных спектрометрах служат электронные умножители в виде микроканальных пластин. Преимуществом использования многоканального спектрометра является то, что требуется меньше времени на получение спектра в данном диапазоне энергий, чем с одиночным детектором. Недостатком является более высокая сложность и стоимость как системы регистрации, так и прибора в целом. Многоканальная регистрация спектров предложена для 100-сантиметрового электронного магнитного спектрометра Удмуртского университета [6].

Однако при достаточно большом количестве каналов имеются значительные трудности по созданию практически безотказной системы регистрации с большим числом одинаковых по коэффициенту усиления быстродействующих детекторов и предусилителей сигнала каждого отдельного канала. Использование многоканального координатного детектора электронов на основе системы микроканальных пластин с несколькими анодами [6] не снимает ограничений, связанных с низкой скоростью счета каждого из каналов и не меняет качественно режимов и времени регистрации электронных спектров. Таким образом, фотоэлектронные спектрометры не позволяют производить регистрацию электронных спектров с высокой скоростью и временным разрешением выше 10" сек. Их традиционные системы регистрации и детекторы электронов не рассчитаны на регистрацию быстропротекающих процессов на уровне электронной структуры исследуемых объектов.

Похожие проблемы имеют место и в оптической спектроскопии. Один из путей их решения реализован в фурье-спектроскопии, в которой для достижения заданного временного разрешения все участки спектра одновременно регистрируются в течение соответствующего промежутка времени. Обычными методами оптической спектроскопии каждый участок регистрируется последовательно, в то время как в фурье-спектроскопии регистрируется одновременно весь спектр, а затем уже весь и обрабатывается [7, с.135].

Между тем в самых основах механики и оптики заложены основы гораздо более универсального и технически более простого способа быстрой многоканальной передачи информации, а именно, параллельной передачи электромагнитных или корпускулярных изображений. Так с использованием электронно-оптических преобразователей осуществлена высокоскоростная регистрация оптических изображений в микросекундном и в субнаносекундном диапазоне экспозиций. Применение электронно-оптических преобразователей для регистрации оптических спектров с высоким временным разрешением привело к созданию метода электронно-оптической спектрохронографии. В работах За-войского Е.К. и Смолкина Г.Е. [8] достигнуто временное разрешение выше 10"5 сек в электронно-оптической спектрохронографии гелиевой плазмы.

Таким образом, временное разрешение при регистрации оптических спектров этим методом на порядки превосходит наилучшее на сегодня временное разрешение при регистрации электронных спектров. В связи с этим является актуальным развитие метода электронно-оптической спектрохронографии для регистрации фотоэлектронных спектров с высоким временным разрешением и высокими скоростями регистрации (на порядки превышающими традиционные). Для этого необходима разработка высокоскоростных систем регистрации электронных спектров.

Регистрация спектров со скоростями, более высокими, чем в обычной спектроскопии само по себе ценно, поскольку спектрометры являются дорогими инструментами, и чем больше результатов будет получено с их помощью за данный промежуток времени, тем быстрее окупится их стоимость (более эффективным будет их использование). Имеются и другие преимущества быстрой записи спектров, например возможность исследования короткоживущих частиц, таких как нестабильные молекулы и промежуточные продукты химических реакций. Снижение времени, необходимого для получения спектра, с минут до секунд и даже до долей секунды, значительно расширяет круг объектов исследования" [7].

Процессы на поверхности происходят в основном быстро, и подавляющее большинство опубликованных исследований позволяют видеть лишь итог этих процессов, не регистрируя, как правило, их промежуточных стадий. Воздействие на поверхность сильноточными электронными и ионными пучками, лазерным излучением, . требует разработки импульсных методов исследования поверхности и разработки соответствующих научных приборов, импульсной электронной спектроскопии и других поверхностных методов, позволяющих за доли секунды, вплоть до наносекунд, регистрировать изменения электронной и атомной структуры поверхности" [9, с.9, предисл. ред. перевода].

Можно привести следующие примеры быстропротекающих процессов на уровне электронной структуры поверхности конденсированных систем:

- Процессы, происходящие при фазовых переходах, на уровне электронной структуры поверхности конденсированных систем.

- Динамика процессов перестройки электронной структуры поверхности при импульсном воздействии лазерными, электронными пучками и др.

- В химических реакциях, при облучении стабильных молекул ультрафиолетовым излучением или при радиационном воздействии на них могут образовываться свободные радикалы или ион-радикалы - нестабильные частицы с нео (1 спаренными электронами, имеющее время жизни 10" -40" сек и менее [7].

Целью данной работы является развитие метода высокоскоростной параллельной регистрации фотоэлектронных спектров и разработка реализующей этот метод системы параллельной регистрации электронных спектров с временным разрешением. В работе применяется имитационное моделирование, как инструмент для исследования и разработки сложных научных приборов и систем, оптимизации их характеристик и параметров. Проводится экспериментальная регистрация и обработка электронно-оптических изображений, созданных нестационарными электронными пучками за милли- и микросекундные интервалы времени.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, библиографического списка использованной литературы, включающего 94 источника, списка использованных сокращений и трех приложений. Работа изложена на 165 страницах, содержит 5 таблиц и 46 рисунков.

Похожие диссертационные работы по специальности «Приборы и методы экспериментальной физики», 01.04.01 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Романенко, Виталий Александрович

5.5. Выводы к главе 5.

1. Разработана, изготовлена и отлажена экспериментальная установка-макет системы параллельной регистрации электронных спектров с временным разрешением.

2. Проведена серия экспериментов на экспериментальной установке-макете СПР ЭС и отработана методика измерения электрофизических параметров двухкоординатного детектора на основе МКП.

3. Проведены экспериментальные исследования влияния тока электронного пучка и напряжения на МКП на ее усилительные свойства.

4. Экспериментально исследован двухкоординатный детектор электронов на основе МКП и люминесцентного экрана и показана возможность значительного усиления слаботочных электронных пучков.

5. Проведена экспериментальная регистрация слабых непрерывных и импульсных потоков электронов на основе двухкоординатного детектора электронов и ПЗС-видеокамеры и обработка на ЭВМ электронно-оптических изображений.

6. Показана возможность скоростной регистрации нестационарных электронных потоков электронов за милли- и микросекундные интервалы времени в различных режимах работы экспериментальной установки-макета СПР ЭС.

7. На основании анализа результатов экспериментальных исследований и моделирования разработана опытная установка-прототип СПР ЭС с временным разрешением и изготовлены камера параллельной регистрации и внутрикамерное оборудование.

Заключение и общие выводы

154

Таким образом, в данной диссертационной работе:

1. Развит метод электронно-оптической спектрохронографии для высокоскоростной параллельной регистрации фотоэлектронных спектров с временным разрешением.

2. Впервые для фотоэлектронного магнитного спектрометра с двойной фокусировкой разработана опытная система высокоскоростной параллельной регистрации электронных спектров с временным разрешением.

3. Впервые создана имитационная модель системы параллельной регистрации электронных спектров с временным разрешением в виде пакета прикладных программ, моделирующая процессы движения электронов в аксиально-симметричных магнитных и локальных электрических полях в СПР ЭС.

4. Проведено имитационное моделирование СПР ЭС с временным разрешением и впервые получены результаты, описывающие основные закономерности функционирования СПР ЭС.

5. В линейном приближении получены выражения, описывающие преобразование координат "энергия-время" в систему координат двухкоординатного детектора, обратное к нему преобразование, и проведены численные оценки основных параметров СПР ЭС с временным разрешением.

6. Создана экспериментальная установка-макет СПР ЭС. Проведены эксперименты по скоростной регистрации и обработка нестационарных электронно-оптических изображений, созданных электронными пучками за милли- и микросекундные интервалы времени.

7. Разработана опытная установка-прототип СПР ЭС с временным разрешением. Изготовлена камера параллельной регистрации и ее внутрикамерное оборудование.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Романенко, Виталий Александрович, 2000 год

1. Зигбан К. Электронная спектроскопия атомов, молекул и конденсированного вещества / Нобелевские лекции по физике 1981 года // УФН. 1982. - т.138. -вып. 2. - с.223-249

2. Гомоюнова М.В. Электронная спектроскопия поверхности твердого тела // УФН. 1982.-т.136.-вып. 1. -с.105-148

3. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии: Пер. с англ./ Под ред. Д.Бриггса, М.П.Сиха. М.: Мир, 1987 - 600 с.

4. K. Siegbahn, D. Hammond, H. Fellner-Felldegg, and E.F. Barnett // Science, 176 (1972)245.

5. Трапезников B.A., Шабанова И.Н., Журавлев B.A. Разработка 100-сантиметрового электронного магнитного спектрометра с двойной фокусировкой. // Вестн. Удм. ун-та. Ижевск: Изд-во Удм. ун-та, 1993. № 5(1). - c.l 11-122

6. Бенуэлл К. Основы молекулярной спектроскопии. М.: Мир, 1985. с.43, 135.

7. Загородников С.П., Смолкин Т.Е., Шолин Г.В. // ЖЭТФ, 1963. т.45. - с.1850.

8. Праттон М. Введение в физику поверхности. Ижевск: НИЦ "Регулярная и хаотическая динамика", 2000. - 256 с.

9. Пролейко В.М. Перспективы развития аналитического приборостроения // Электр, промышленность, 1982. №10-11,- с.3-7.

10. Карлсон Т.А. Фотоэлектронная и оже-спектроскопия. Л.: Машиностроение. 1981.

11. Рац Ю.В., Трапезников В.А., Широков В.А. и др. Оже-микрозонд: разработка и сравнительные характеристики // Вестн. Удм. ун-та. Ижевск: Изд-во Удм. ун-та, 1993. -№ 5(1). с. 149-150

12. Трапезников В.А., Шабанова И.Н. Рентгеноэлектронная спектроскопия сверхтонких поверхностных слоев конденсированных систем. М.: Наука, 1988. с.7

13. Канунникова О.М, Гильмутдинов Ф.З., Кожевников В.И., Трапезников В.А. Методы фотоэлектронных исследований неорганических материалов. Ижевск: Изд-во Удм. университета, 1995. 392 с.

14. М.Р. Seah A system for the intensity calibration of electron spectrometers // J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 71 (1995) 191-204.

15. Фридрихов С.А. Энергоанализаторы и монохроматоры для электронной спектроскопии. Л.: Изд-во Ленингр. ун-та, 1978. 158 с.

16. C.R. Brundle, M.W. Roberts An ultrahigh vacuum electron spectrometer for surface studies // J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 3 (1974) 241-261.

17. Морозов Е.Л., Савинский C.C., Шабанова И.Н. Энергоанализатор магнитного электронного спектрометра// Вестн. Удм. ун-та. Ижевск: Изд-во Удм. ун-та, 1993. -№ 5(1). —с.132-141.

18. Морозов Е.А. Расчет энергоанализаторов малогабаритных электронных магнитных спектрометров. Дисс. . к-тафиз.-мат. наук //Ижевск, 1996.

19. Соснов В.А., Хазова Р.А., Широбоков С.В., Шабанова И.Н., Савинский С.С., Морозов В.А., Трапезников В.А. Переносной технологический рентгеноэлек-тронный магнитный спектрометр // ПТЭ, 1997. №3. - с.130-132.

20. О. Nilsson, L. Hasselgren, К. Siegbahn et al. Development of parallel plate channel multipliers for use in electron spectroscopy// Nucl. Instr. and Meth, 84 (1970)301-306.

21. K. Siegbahn, C. Nordling, S.-F. Karlsson, S. Hagstrom, A. Fahlman and I. An-dersson // Nucl. Instr. and Meth, 27 (1964) 173.

22. R.C.G. Leckey Recent developments in electron energy analysers // J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 43 (1987)p.l83-214.

23. Машинский Ю.П., Полонский Б.А., и др. Многоканальный растровый оже-спектрометр // Электр, промышленность, 1982. №10-11,- с.20-23.

24. Бутслов М.М., Степанов Б.М., Фанченко С.Д. Электронно-оптические преобразователи и их применение в научных исследованиях. М.: Наука, 1978. 432 с.

25. J.S. Courtney-Pratt, Research, 2 (1949) 287.

26. Брагин Б.Н., Бутслов М.М., Малышева B.C., Саттаров Д.К., Степанов Б.М. // ПТЭ, 1975.-№4.-с. 158.

27. Ахманов С.А., Выслоух В.А., Чиркин А.С. Оптика фемтосекундных лазерных импульсов. М.: Наука, 1988

28. Дубовик А.С. Фотографическая регистрация быстропротекающих процес-ссов. М.: Наука, 1975. гл. 15.

29. Ефимов В.М., Искольдский А.М, Нестерихин Ю.Е. Электронно-оптическая фотосъемка в физическом эксперименте. Новосибирск: Наука, 1978. гл. 5.

30. Ахматов А.П., Блинов П.И., Болотин В.Ф., и др. // ЖЭТФ, 1960. т.39. - с.536.

31. Болотин В.Ф., Завойский Е.К., Оганов М.Н., Смолкин Г.Е., Стриганов А.Р. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1963. т.27. - №7. - 872.

32. Блинов П.И., Загородников С.П., Смолкин Г.Е., Шолин Г.В.// ЖЭТФ, 1965. -Т.48.-С.61.

33. Айнбунд М.Р., Поленов Б.В. Вторично-электронные умножители открытого типа и их применение. М.: Энергоиздат, 1981. - 140 с.

34. Нефедов В.И., Черепин В.Т. Физические методы исследования поверхности твердых тел. М.: Наука, 1983. 296 с.

35. Рекламный проспект прибора Axis Ultra фирмы Kratos Analytical.

36. M.Keenlyside, P.Pianetta A performance and applications study of the photoelec-tron spectromicroscope // J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 66 (1993) 189-207.

37. R.C. White, C.S. Fadley, and R. Trehan The use of channel arrays for high accuracy angle definition in electron spectroscopy: experiment and theory// J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 41 (1986) 95-124.

38. Акимов Ю.К. Позиционно-чувствительные сцинтилляционные детекторы ядерных излучений (обзор) // ПТЭ, 1994. №6. - с. 6-57.

39. Шютте Н.М. Некоторые особенности работы МК-усилителей шевронного типа//ПТЭ, 1987.-№1.-с.175.

40. Шютте Н.М. О возможности использования МКП при повышенных скоростях счета // ПТЭ, 1995. №4. - с. 102-111.

41. Шихалиев П.М. Измерение загрузочной способности детектора на основе МКП // ПТЭ, 1997. №2. - с. 81-84.

42. Медведев М.Н. Детекторы нейтральных частиц (обзор) // ПТЭ, 1994. №1. - с. 7-30.

43. Башкеев А.А. Характеристики МКП с прямыми каналами в режиме насыщения//ПТЭ, 1989. №4. - с.77-81.

44. Грибов И.В. Детектор частиц из трех МКП // ПТЭ, 1985. №3. - с.59-61.

45. Емельянов А.А. Электропрочность ускоряющих промежутков МКП-экран усилителя яркости// ПТЭ, 1996. №2. - с. 109-111.

46. Емельянов А.А. Электропрочность МКП в наносекундном диапазоне длительностей // ПТЭ, 1996. №6. - с.62-64.

47. Гущин Е.М. Микроканальный трековый детектор// ПТЭ, 1996. №4. - с.15-21.

48. Электронная и ионная спектроскопия твердых тел / Под ред. JI. Фирмэнса и др. М.: Мир, 1981.-c.429.

49. Архипов Н.И., Васенин С.Г., и др. Многокадровая м.к.п.-камера для м.р и в.у.ф.-спектроскопии мишенной плазмы // ПТЭ, 1988. - №1. - с.128-131.

50. Шихалиев П.М. Многослойный детектор для регистрации у-излучения на основе МКП // ПТЭ, 1995. №5. - с.97-101.

51. Бардин Б.В., Белов В.Д., и др. Автоматизированная система управления и регистрации многофункционального электронного спектрометра и прикладное программное обеспечение для обработки сложных электронных спектров // ПТЭ, 1999. №2. - с.68-74.

52. Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1979.-288с.

53. A.F. Carley and R.W. Joiner J.Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 16 (1979) 1-23

54. V.I.Povstugar, A.A.Shakov, S.S.Mikchailova, E.Y.Voronina and E.P.Yelsukov, "The application of FDFT to deconvolution of XPS data. Model investigations.", Phys-Tech. Institute, Izhevsk

55. Kanunnikova O.M., Gilmutdinov F.Z., Romanenko Y.A., Kozhevnikov V.I., So-rokina M.F. Photoelectron study of the surface layer of lead-silicate glasses in the heat and thermal hydrogen treatment// Abstracts of ECASIA-97. Goteborg, 1997. - p.479.

56. Канунникова O.M., Гильмутдинов Ф.З., и др. Термостимулированная сегрегация элементов в поверхностном слое свинцово-силикатных стекол // Физика и химия обработки материалов, 1996. №4. - с. 70-73.

57. Тютиков A.M., Тоисеева М.Н. и др. Влияние окислов металлов на свойства эмиттируемого слоя свинцово-силикатных стекол // Физика и химия стекла, 1981. т.7. - №6. - с.705-712.

58. Горшков А.В. Улучшение разрешения изображений при обработке данных физического эксперимента и нахождение неизвестной аппаратной функции по программам пакета REIMAGE // ПТЭ, 1995. №2. - с.68-78.

59. Коротких В.А., Косарев E.JI., и др. Улучшение энергетического разрешения фотоэлектронных спектров программной коррекцией на аппаратную функцию // ПТЭ, 1994. №1. - с.88-95

60. Каминский А.С., Косарев Е.Л., Лавров Э.В. Использование гребенчатых аппаратных функций в спектроскопии высокого разрешения // ПТЭ, 1997. -№3. -с.57-63.

61. M.F. Koenig and J.T. Grant Monochromator versus deconvolution for XPS studies using a Kratos ES300 system // J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 36 (1985) 213-225.

62. Трапезников В.А. Электронная спектроскопия малых доз излучения // УФН, 1998. т.168. - № 7. - с. 793-799.

63. Трапезников В.А. Оценка массы покоя электронного антинейтрино по бета-распаду трития методом электронной спектроскопии // Вестн. Удм. ун-та. Ижевск: Изд-во Удм. ун-та, 1995. -№7. -с.136-148

64. Романенко В.А., Романенко А.В., Трапезников В.А. Параллельная регистрация электронных спектров 100-сантиметрового фотоэлектронного магнитного спектрометра// Вестн. Удм. ун-та. Ижевск: Изд-во Удм. ун-та, 2000. № 4. - с.47-55.

65. Трапезников В.А., Широбоков С.В., Ковнер Л.Г. Импульсный рентгеновский источник для исследования расплавов методом рентгеноэлектронной спектроскопии //Журнал структурной химии, 1998. -т.39. -№6. с. 1160-1162.

66. Хазова Р.А., Морозов Е.А., Соснов В.А. Конструкция магнитометра для Е-спектрометра // Вестн. Удм. ун-та. Ижевск: Изд-во Удм. ун-та, 1995.-№7-с.115-119.

67. Першиков В.И., Савинков В.М. Толковый словарь по информатике. М.: Финансы и статистика, 1991. с. 204.

68. Жигарев А.А. Электронная оптика и электроннолучевые приборы. М.: Высшая школа, 1972. 540 с.

69. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теория поля. М.: Наука, 1973. с.68

70. Зигбан К. Альфа-, бета-, гамма-спектроскопия. М.: Атомиздат, 1969. -вып.1. с.116-133.

71. Siegbahn К., Svartholm N.-Nature, 1946, v. 157, p. 872.

72. Романенко В. Замечание по поводу одной небесномеханической задачи // Регулярная и хаотическая динамика. 1996. - т. 1. - №2 - с. 111-112.

73. Себехей В. Теория орбит: ограниченная задача трех тел. М.: Наука, 1982.

74. Молоковский С.И., Сушков А.Д. Интенсивные электронные и ионные пучки.-Л.: Энергия, 1972.-c.ll.

75. Хазова Р.А. Расчет параметров магнитного поля энергоанализатора и систем компенсации электронного магнитного спектрометра высокой светосилы. Дисс. . к-та физ.-мат. наук // Ижевск, 1999.

76. Романенко В.А., Романенко А.В., Трапезников В.А. Система параллельнойрегистрации электронных спектров для импульсной электронной спектроскопии // Химическая физика и мезоскопия. 2000. - т.2. - №1. - с. 111-122.

77. Толмачев Ю.А. Новые оптические спектрометры. Принципы работы / Под ред. С. Э. Фриша. Л.: Изд-во Ленингр. ун-та, 1976. с.8-14

78. Полупроводниковые формирователи сигналов изображения / Под. ред. П. Йесперса, Ф.Ван де Виле и М. Уайта. М.: Мир, 1979. 576 с.

79. Романенко В.А., Романенко А.В. Интернет и информационное обеспечение системы параллельной регистрации 100-см спектрометра УдГУ// Тезисы докладов на семинаре "Настоящее и будущее Интернет-сетей Удмуртии". Ижевск, 2000.

80. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: Энергия, 1979. 260 с.

81. Васильев Г.А. Магниторазрядные насосы. М.: Энергия, 1970. 186 с.

82. Шерстнев Л.Г. Электроннолучевые приборы. М.: Энергия, 1966. 280 с.

83. Романенко В.А., Романенко А.В. Разработка экспериментальной системы параллельной регистрации электронных спектров // Вестн. Удм. ун-та. Ижевск: Изд-во Удм. ун-та, 2000. № 4. - с.56-66.

84. Грошковский Я. Техника высокого вакуума. М.:Мир, 1975. 622 с.

85. Востров Г.А., Розанов А.Н. Вакуумметры. Л. Машиностроение, 1967-200с.

86. Розанов А.Н. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1982. 220 с.

87. Гугель Б.М. Люминофоры для электровакуумной промышленности. М.: Энергия, 1967.-290 с.

88. Трапезников В.А. Повышение прочности тонких поверхностных слоев твердых тел за счет кратковременного увеличения межатомных сил связи // Поверхность, 1994. №8-9. - с.136-143.

89. Демтредер В. Лазерная спектроскопия: основные принципы и техника эксперимента. М.: Наука, 1985. с. 195-198, 480-515.

90. Список использованных сокращений.

91. ПЗС-видеокамера видеокамера с детектором на основе прибора с зарядовой связью.

92. ПШПВ полуширина на половине высоты спектральной линии.

93. РУ регистрирующее устройство.

94. РФЭС рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.

95. СПР ЭС, СПР система параллельной регистрации электронных спектров с временным разрешением.

96. СХГ спектрохронограмма - зависимость интенсивности зарегистрированного потока частиц (излучения) от энергии и времени.

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.