Высокочастотные нагрузочные системы для ёмкостного возбуждения плазмы тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, кандидат технических наук Морозов, Виктор Александрович

• Морозов, Виктор Александрович
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Морозов, Виктор Александрович

ВВЕДЕНИЕ.

Глава 1. ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ СИСТЕМЫ

ДЛЯ ЁМКОСТНОГО ВОЗБУЖДЕНИЯ ПЛАЗМЫ.

1.1 Высокочастотный ёмкостной разряд.

1.1.1 Применение высокочастотного ёмкостного разряда.

1.1.2 Источники высокочастотной плазмы.

1.1.2.1 Основные параметры плазмы.

1.1.2.2 Высокочастотные реакторы планарного типа.

1.1.2.3 Режим постоянного напряжения.

1.1.2.4 Особенности высокочастотного ёмкостного разряда.

1.1.2.5 Магнетронныйразряд.

1.1.2.6 Источники плазмы для высокочастотного реактивно-ионного и химического травления.

1.1.2.7 Источники атмосферной ёмкостной плазмы.

1.2 Структура и состав высокочастотных систем мкостного возбуждения плазмы.

1.2.1 Анализ высокочастотных систем.

1.2.1.1 Структура высокочастотной системы.

1.2.1.2 Примеры реализации высокочастотных систем.

1.2.2 Высокочастотные генераторы.

1.2.3 Цепи высокочастотного согласования.

1.2.4 Схемы замещения плазменных нагрузок.

1.2.5 Проводники на высокой частоте.

1.2.6 Измерение мощности на высокой частоте.

Выводы к Главе 1.

Глава 2. ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ НАГРУЗОЧНЫЕ СИСТЕМЫ.

2.1 Анализ линий передачи электромагнитной энергии.

2.2 Цепи согласования высокочастотных нагрузочных систем для ёмкостного возбуждения плазмы.

2.2.1 Исследование и расчёт П-контура.

2.2.1.1 Определение основных параметров контура.

2.2.1.2 Исследование области существования параллельного и последовательного резонансов.

2.2.2 Расчёт параллельного колебательного контура с неполным включением.

2.2.2.1 Контуры с неполным включением индуктивности со стороны генератора и ёмкости со стороны нагрузки.

2.2.2.2 Контуры с неполным включением ёмкости со стороны генератора и индуктивности со стороны нагрузки.

2.2.3 Цепь согласования с делением высокочастотной мощности.

2.3 Ёмкостные плазменные нагрузки.

2.3.1 Распылительный магнетрон.

2.3.1.1 Исследование зависимости высокой частоты и постоянного смещения от активной мощности.

2.3.1.2 Расчёт схемы замещения распылительного магнетрона на высокой частоте.

2.3.2 Плазменный конденсатор с обкладками сложной геометрии.

2.3.3 Моделирование нагрузочной системы.

Выводы к Главе 2.

Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ АКТИВНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ

ПРОВОДНИКОВ НА ВЫСОКОЙ ЧАСТОТЕ.

3.1 Сопротивление электрических проводников с покрытиями на высокой частоте.

3.1.1 Определение активного сопротивления проводника с покрытием.

3.1.2 Анализ выражения для сопротивления проводника с покрытием и обсуждение полученных результатов.

3.1.3 Расчёт разъёмного контактного соединения на высокой частоте.

3.2 Методика расчёта поперечного сечения электрического провода.

3.2.1 Особенности теплового расчёта проводников на высокой частоте.

3.2.2 Численная обработка результатов теории.

Выводы к Главе 3.

Глава 4. ИЗМЕРЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ МОЩНОСТИ В ВЫСОКОЧАСТОТНЫХ НАГРУЗОЧНЫХ СИСТЕМАХ.

4.1 Особенности схемного решения ваттметра.

4.2 Основные характеристики коаксиальной линии передачи.

4.3 Расчёт датчиков тока и напряжения.

4.3.1 Датчики тока.

4.3.1.1 Измерение электрического тока в коаксиальном волноводе.

4.3.1.2 Датчики тока - петля и катушка связи.

4.3.1.3 Компоновка датчиков тока с учётом скин-эффекта.

4.3.1.4 Анализ эквивалентной схемы датчика тока.

4.3.2 Датчики напряжения.

4.3.2.1 Измерение электрического напряжения в коаксиальном волноводе.

4.3.2.2 Использование датчика тока в качестве ёмкости RC-делителя. Расчёт сопротивления делителя.

4.3.3 Анализ последовательного включения датчиков тока и напряжения.

4.4 Разработка методики расчёта ваттметра.

4.4.1 Расчёт коаксиальной линии передачи.

4.4.1.1 Расчёт линии передачи по мощности.

4.4.1.2 Расчёт линии передачи по току.

4.4.2 Расчёт амплитудного детектора и высокочастотного фильтра.

4.4.2.1 Амплитудный детектор.

4.4.2.2 Чувствительность ваттметра.

4.4.2.3 Фильтр высокой частоты.

4.4.3 Методика расчёта ваттметра.

4.4.4 Экспериментальное исследование ваттметра.

Выводы к Главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Высокочастотные нагрузочные системы для ёмкостного возбуждения плазмы»

Диссертационная работа посвящена исследованию и моделированию высокочастотных (ВЧ) нагрузочных систем (НС) для ёмкостного возбуждения плазмы, используемых в экспериментальной физике для нанесения и травления тонких плёнок и ионно-плазменной модификации материалов.

Объект исследования - система элементов ВЧ электрической цепи.

Предмет исследования - методы расчёта элементов НС для ёмкостного возбуждения плазмы.

Актуальность темы. В настоящее время в промышленности, экспериментальной физике и химии проявляется большой интерес к ВЧ ёмкостным разрядам. Высокочастотный ёмкостной разряд используется в лазерной и осветительной технике для создания активной генерирующей среды [1-3]; в промышленности он применяется для нанесения и травления тонких плёнок [1,4-15], плазменной обработки и модификации материалов [16, 17], а также для синтеза и утилизации различных химических веществ [18-20]. В последнее время ёмкостной ВЧ разряд используется для генерирования «неидеальной» плазмы (например, пылевой) [21], которая изучается не только в земных условиях с целью получения наноразмерных объектов, но и в условиях микрогравитации, где более благоприятны условия, влияющие на кристаллизацию пылевой компоненты и фазовые переходы различных типов плазмы.

Технологические процессы с применением ВЧ ёмкостной плазмы осуществляются на вакуумных установках, имеющих ВЧ системы, которые предназначены для генерирования и оптимальной передачи энергии в нагрузку. Типичная ВЧ система состоит из генератора, линии передачи энергии (ЛПЭ), цепи согласования (ЦС) и нагрузки (магнетрона или плазменного конденсатора). При этом ЦС (согласующее устройство) и нагрузка образуют НС [22]. В нагрузке выделяется мощность Pi, равная разнице падающей Р\ и отражённой Рг мощностей. ЦС должны обеспечивать выполнение условия Pt ~ 0, что возможно, если в состав НС входит хотя бы элементарный измеритель коэффициента стоячей волны (КСВ) [23]. Однако в экспериментальных установках для осаждения тонких плёнок измерители КСВ (или аналогичные им по назначению приборы), как правило, отсутствуют [5, 7, 8].

С другой стороны анализ научной литературы показывает, что ВЧ ёмкостная плазма изучается в основном с точки зрения её технического применения [1-21]; работы по исследованию высокочастотных НС, используемых в экспериментальной физике и плазменных технологиях, с целью разработки методик их расчёта в литературе практически отсутствуют. Исключением является труд С.А. Самойлова [24], в котором рассмотрена задача согласования ВЧ генератора с активной средой СОг-лазера, затрагивающая проблему моделирования НС для плазменных технологий, но не решающая её.

Таким образом, изучение высокочастотных НС для экспериментальной физики и плазменных технологий, а также разработка новых методов их расчёта актуально.

Цель работы - исследование и моделирование высокочастотных НС для ёмкостного возбуждения плазмы.

В связи с этим поставлены следующие задачи:

1. Моделирование цепей согласования (П-контура, параллельного колебательного контура с неполным включением и контура с делением ВЧ мощности), используемых в НС для ёмкостного возбуждения плазмы.

2. Разработка методик расчёта схем замещения для распылительного магнетрона и плазменного конденсатора, имеющего обкладки сложной геометрии.

3. Экспериментальное исследование зависимости ВЧ напряжения и постоянного смещения на распылительном магнетроне от активной мощности.

5. Исследование влияния материала покрытия на активное сопротивление проводников на высокой частоте для минимизации потерь энергии в электрических цепях НС.

6. Разработка ваттметра падающей, отражённой и активной мощностей для настройки цепи согласования ВЧ систем.

Методы исследований. В диссертации использован комплексный подход, включающий теоретические и экспериментальные методы исследований. В экспериментальных исследованиях применялись статистические методы обработки результатов экспериментов.

Достоверность результатов исследований и работоспособность созданных систем и устройств подтверждена экспериментальными исследованиями и практически выполненными разработками [25-29].

Научная новизна диссертационной работы заключается в исследовании ВЧ нагрузочных систем для ёмкостного возбуждения плазмы, применяемых для нанесения и травления тонких плёнок и модификации материалов, и включает в себя:

1. Разработку методик расчёта П-контура, параллельного колебательного контура с неполным включением, контура с делением ВЧ мощности, схем замещения распылительного магнетрона и плазменного конденсатора с обкладками сложной геометрии, поперечного сечения электрических проводников и ваттметра ВЧ мощности.

2. Определение зависимости типа возбуждаемого резонанса от величин согласуемых сопротивлений, ёмкости на выходе контура и частоты электромагнитных колебаний.

3. Определение зависимости ВЧ напряжения на распылительном магнетроне от мощности, рассеиваемой на магнетроне.

4. Установление экстремальной зависимости активного сопротивления проводника с покрытием на ВЧ от удельного сопротивления и магнитной проницаемости материалов.

Реализация и внедрение работы. Результаты диссертационной работы использованы при разработке высокочастотной системы установки вакуумного магнетронного напыления для ЗАО "Ижевский завод мебельной фурнитуры".

Положения, выносимые на защиту

1. Для НС с использованием П-контура или параллельного колебательного контура с неполным включением безразмерная входная ёмкость (или индуктивность) контура зависит не от типа возбуждаемого в контуре резонанса, а от согласуемых сопротивлений, ёмкости (или индуктивности) на выходе контура и частоты электромагнитных колебаний.

2. Для НС с использованием П-контура тип возбуждаемого резонанса зависит от согласуемых сопротивлений, частоты, а также выходной ёмкости контура. Однако существует такое сочетание указанных параметров, при котором резонансные колебания в контуре не возбуждаются.

3. ВЧ напряжение на распылительном магнетроне с мишенями из кварцевого стекла, моноалюмината неодима, титана и тантала описывается функциями вида U = a Pi!', где а и b - эмпирические коэффициенты, зависящие от материала мишени, индукции магнитного поля на поверхности мишени и площади контакта мишени с плазмой.

4. На зависимости активного ВЧ сопротивления проводника с проводящим покрытием от толщины существует экстремум в точке zi ext «тг<У2, где д\ -глубина скин-слоя материала покрытия.

5. ВЧ ваттметры, использующие датчики тока и напряжения должны удовлетворять условию равенства сигналов датчиков тока и напряжения при отсутствии отражённой волны.

Апробация работы. Материалы диссертационной работы докладывались на научно-практической конференции "Актуальные проблемы аграрного сектора" (Ижевск, 1997); VI-й Российской университетско-академической научно-практической конференции (Ижевск, 2004); Всероссийской научно-практической конференции "Современные проблемы аграрной науки и пути их решения" (Ижевск, 2005); Всероссийской научно-практической конференции "Научное обеспечение реализации национальных проектов в сельском хозяйстве" (Ижевск, 2006); III научно-практической конференции "Проблемы механики и материаловедения" (к 15-летию ИПМ УрО РАН) (Ижевск, 2006); Международной научной конференции "75 лет высшему образованию в Удмуртии" (Ижевск, 2006); 7-й Международной конференции "Вакуумные нанотехнологии и оборудование" (Харьковская нанотехнологическая ассамблея) (Харьков, Украина, 2006); Международной научно-практической конференции "Нанотехнологии - производству - 2006" (Фрязино, 2006).

Публикации. Материалы диссертационной работы полностью отражены в научных изданиях. Общее число публикаций - 15, в том числе: статьи в рецензируемых журналах - 6; статьи в журнале, сборнике и материалах конференций - 4; информационный листок о научно-техническом достижении - 1; тезисы докладов конференций - 4.

Личный вклад. Теоретические и экспериментальные результаты, изложенные в диссертации, получены лично соискателем. Постановка задач исследований, определение методов их решения и анализ результатов экспериментов проведены совместно с соавторами опубликованных работ при непосредственном участии соискателя.

Диссертационная работа состоит из введения, четырёх глав, заключения, списка литературы из 183 наименований и приложения. Диссертация изложена на 156 страницах, содержит 56 рисунков, 10 таблиц и приложение. В приложении предоставлены документы о практическом использовании результатов работы.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Морозов, Виктор Александрович

Выводы и результаты диссертационной работы можно сформулировать следующим образом:

1. Разработаны методики расчёта П-контура, параллельного колебательного контура с неполнымым включением и контура с делением ВЧ мощности с учётом возбуждаемого в контуре типа резонанса, адаптированные к расчёту нагрузочных систем для ёмкостного возбуждения плазмы.

2. Показано, что для нагрузочных систем с использованием П-контура или параллельного колебательного контура с неполным включением их безразмерная входная ёмкость (или индуктивность) не зависит от типа возбуждаемого резонанса, а зависит от согласуемых сопротивлений, выходной ёмкости (или индуктивности) и частоты электромагнитных колебаний.

3. Установлено, что для П-контура тип возбуждаемого резонанса зависит от согласуемых сопротивлений, частоты, а также выходной ёмкости контура.

4. Рассчитаны электрические схемы замещения для распылительного магнетрона, возбуждающего плазму, на основе экспериментально полученного результата зависимости ВЧ напряжения U от активной мощности Pi, имеющей степенной вид U=aPi, и плазменного конденсатора с обкладками сложной геометрии.

5. Теоретически найдена зависимость активного сопротивления проводника с покрытием на ВЧ от толщины покрытия, на которой установлено существование экстремального значения.

6. Определена оптимальная толщина покрытий для проводников на частоте 13,56 МГц (например, для меди с покрытием из серебра - 24,4 мкм; для бронзы БрКМцЗ-1 с покрытием из меди - 27,8 мкм).

7. Разработаны и созданы ваттметры ВЧ мощности, используемые в электрических цепях нагрузочных систем для ёмкостного возбуждения плазмы.

В заключении автор выражает глубокую признательность научному руководителю Геннадию Михайловичу Михееву за помощь и поддержку работы, за полезные обсуждения и замечания. Автор выражает благодарность Руслану Геннадиевичу Зонову за помощь, оказанную им в процессе работы над диссертацией.

Автор также выражает признательность Сергею Анатольевичу Скурихи-ну, Николаю Евгеньевичу Грязеву и Владимиру Сергеевичу Пушкарёву, так как конструкторская и экспериментальная часть диссертационной работы была выполнена при их непосредственном участии и творческой поддержке.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Морозов, Виктор Александрович, 2007 год

1. Райзер, Ю.П. Высокочастотный ёмкостной разряд и его приложения /

2. Ю.П. Райзер // Соросовский образовательный журнал. 1999. - № 8. -С. 90 - 96.

3. Шуаибов, А.К. Характеристики галогенной лампы с накачкой продольнымвысокочастотным разрядом / А.К. Шуаибов, А.И. Дащенко, И.В. Шевера, А.А. Генерал // Письма в ЖТФ. 2003. - Т. 29, вып. 23. - С. 91 - 94.

4. A.Б. Богомолов, В.Г. Балакирев // Техника средств связи. Сер. Технология производства и оборудование. 1990. - Вып. 3. - С. 4 - 22.

5. Белянин, А.Ф. Установка для осаждения тонких плёнок материалов, обладающих ВТСП / А.Ф. Белянин, П.В. Пащенко, А.П. Семёнов,

6. B.В. Бесогонов, А.В. Солдатенков // Техника средств связи. Сер. Технология производства и оборудование. 1990. - Вып. 5. - С. 42 - 49.

7. Белянин, А.Ф. Устройство высокочастотного магнетронного распыления длявыращивания тонких плёнок / А.Ф. Белянин, П.В. Пащенко, А.П. Семёнов // ПТЭ. 1991. -№ 3. - С. 220 - 222.

8. Потапенко, И.П. Система высокочастотного распыления в установке ВУП-4 /

9. И.П. Потапенко // ПТЭ. 1993. - № 5. - С. 192 - 193.

10. Строкань, Г.П. Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде / Г.П. Строкань // ПТЭ. 2003. - № 6. -С.121 -124.

11. Гончаров, А.А. Влияние потенциала смещения на структуру тонких плёнокдиборида тантала / А.А. Гончаров, В.А. Коновалов, В.А. Ступак // Письма в ЖТФ. 2007. - Т. 33, вып. 5. - С. 12 - 16.

12. Дашкевич, И.П. Промышленное применение высокочастотной плазмы / И.П. Дашкевич // Электротехника. 1982. - № 8. - С. 31 - 33.

13. Есин, В.И. Травление позитивных фоторезистов в кислородосодержащей плазме / В.И. Есин // Электротехническая промышленность. Сер. Преобразовательная техника. 1983. Вып. 3 (149). С. 15-16.

14. Печёнкин, Н.Е. ВЧ-магнетронное реактивно-плазменное травление плёнокмеди и структур на ее основе / Н.Е. Печёнкин, В.М. Ветошкин, А.С. Акашкин // Техника средств связи. Сер. Технология производства и оборудование. 1991. - Вып. 3. - С. 62 - 66.

15. Абрамов, А.В. Травление материалов локализованным газовым разрядом /

16. А.В. Абрамов, Е.А. Абрамова, И.С. Суровцев // Письма в ЖТФ. 2001. -Т. 27, вып. З.-С. 45-48.

17. Ветошкин, В.М. Локальное высокочастотное магнетронное реактивно-ионное травление кварца / В.М. Ветошкин, O.K. Васюта, П.Н. Крылов, С.С. Алалыкин // ПТЭ. 2002. - № 6. - С. 123 - 125.

18. Махоткина, Л.Ю. Влияние потока высокочастотной низкотемпературной плазмы на свойства натуральных кож: автореферат дис.канд. техн. наук: 01.02.05 / Махоткина Лилия Юрьевна. Казань, 1999. - 16 с.

19. Тихонова, Н.В. Комплексные обувные материалы модифицированные ВЧплазмой в производстве изделий из кожи: автореферат дис.канд. техн. наук: 05.19.01 / Тихонова Наталья Васильевна. Казань, 2006. - 16 с.

20. Акулов, Ю.А. Получение атомарного водорода в высокочастотном газовомразряде и масс-спектрометрическая диагностика процесса / Ю.А. Акулов,

21. Б.А. Мымрин, ГШ. Шихалиев // ЖТФ. 1997. - Т. 67, вып. 5. -С. 140-142.

22. Протасевич, Е.Т. О возможности создания плазмохимического реактора дляполучения водорода / Е.Т. Протасевич // ЖТФ. 2003. - Т. 73, вып. 6. -С. 138- 139.

23. Ветошкин, В.М. Использование высокочастотного магнетронного разрядадля утилизации хлорсодержащих газов / В.М. Ветошкин, А.А. Данилов, П.Н. Крылов // ПТЭ. 2003. - № 4. - С.134 - 137.

24. Фортов, В.Е. Физика неидеальной плазмы / В.Е. Фортов, А.Г. Храпак, И.Т. Якубов. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2004. - 528 с.

25. Муравьёв, О.Л. Радиопередающие устройства связи и вещания / О.Л. Муравьёв. М.: Радио и связь, 1983. - 352 с.

26. Самойлов, С.А. Моделирование устройств согласования высокочастотныхгенераторов с газоразрядными нагрузками: дис.канд. техн. наук: 05.13.14 / Самойлов Сергей Александрович. Владимир, 1998. - 187 с.

27. Скурихин, С.А. Устройство автоматического согласования / С.А. Скурихин,

28. С.В. Грехнев, В.А. Морозов, Н.Е. Грязев // Информационный листок о научно-техническом достижении № 86-2332. М.:ВИМИ, 1986. - 3 с.

29. Устройство автоматического согласования: рекламный проспект. Ижевск:1. Удм. ЦНТИ, 1989. 3 с.

30. Источник ВЧ-5,0: рекламный проспект: разработчик НИИ ВЭМ. Ижевск:

31. Удмуртский ЦНТИ, 1990. 3 с.

32. Устройство высокочастотное: рекламный проспект: разработчик НИИ ВЭМ.- Ижевск: Удмуртский ЦНТИ, 1991. 3 с.

33. Шимони, К. Теоретическая электротехника / К. Шимони. М.: Мир, 1964.- 775 с.

34. Нейман, М.С. Курс радиопередающих устройств / М.С. Нейман. М.: Советское радио, 1965. 594 с.

35. Морозов, В.А. Аналитическое исследование П-контура / В.А. Морозов, В.В. Касаткин // Труды научно-практической конференции "Актуальные проблемы аграрного сектора". Часть 4. Технические науки. Ижевск: Изд-воИжГТУ, 1997.-С. 32-33.

36. Борисов, В.П. Вакуум: от натурфилософии до диффузионного насоса /В.П. Борисов. М.: НПК «Интелвак», 2001 // http://www.vacuum.ru/file/ misc/ borisov/vacuum/content.html.

37. Комельков, B.C. Физика газового разряда / B.C. Комельков, Г.В. Спивак //

38. Развитие физики в СССР. Книга первая. М.: Наука, 1967. - С. 153 - 181.

39. Александров, А.Ф. К вопросу о высокочастотной проводимости плазмы внеоне / А.Ф. Александров, А.А. Кузовников. ЖТФ. - 1963. - Т. 33, вып. 5. -С. 555.

40. Александров, А.Ф. Импеданс плоского конденсатора полностью или частично заполненного плазмой / А.Ф. Александров // ЖТФ. 1965. - Т. 35, вып. 2.-С. 226-234.

41. Вавилин, К.В. Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. I. Источники плазмы в отсутствии магнитного поля / К.В. Вавилин, А.А. Рухадзе, М.Х. Ри, В.Ю. Плаксин // ЖТФ. 2004. -Т. 74, вып. 5.-С. 44-49.

42. Вавилин, К.В. Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. И. Источники плазмы в условиях аномального скин-эффекта / К.В. Вавилин, В.Ю. Плаксин, М.Х. Ри, А.А. Рухадзе // ЖТФ. 2004. - Т. 74, вып. 6. - С. 25 - 28.

43. Вавилин, К.В. Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. III. Геликонные источники плазмы / К.В. Вавилин, А.А. Рухадзе, М.Х. Ри, В.Ю. Плаксин // ЖТФ. 2004. - Т. 74, вып. 6.-С. 29-34.

44. Райзер, Ю.П. Локализация высокочастотного ёмкостного разряда в длиннойполосковой линии / Ю.П. Райзер, М.Н. Шнейдер // Письма в ЖТФ. 1997. -Т. 23, №2.-С. 64-70.

45. Туренко, Е.А. Получение планарных слоёв Si02 магнетронным распылением кварца на рельефе полупроводниковых структур / Е.А. Туренко,

46. В.И. Соколов, Э.В. Склярова // Всесоюзный постоянный научно-технический семинар «Низкотемпературные технологические процессы в электронике». 4-7 июня. Тезисы докладов. Ижевск, 1990. - С. 14.

47. Данилин, Б.С. Реактивное ионное травление (по данным отечественной изарубежной печати за 1976 1983 гг.) / Б.С.Данилин, В.Ю. Киреев,

48. Д.А. Назаров // Обзоры по электронной технике. Серия 3. Микроэлектроника. Вып. 1 (1010). М.: ЦНИИ «Электроника», 1984. - 71 с.

49. Зима, В.Н. Применение метода высокочастотного магнетронного травлениядля подгонки центральной части сверхузкополосного фильтра на ПАВ /

50. B.Н. Зима, К.М. Кизиитов // Тонкие плёнки в электронике. Материалы III межрегионального совещания. Часть II. М.; Йошкар-Ола, 1992.1. C. 94 97.

51. Беневоленский, С.Б. Травление GaAs в водородной плазме с использованием магнетронного реактора / С.Б. Беневоленский // Тонкие плёнки в электронике. Материалы V Международной научно-технической конференции. М.; Йошкар-Ола, 1994. - С. 112 - 114.

52. Лукьянова, А.В. Плазменное осаждение алмазоподобных плёнок. Численная модель / А.В. Лукьянова, А.Т. Рахимов, Н.В. Суетин // Тонкие плёнки в электронике. Материалы III межрегионального совещания. Часть И. М.; Йошкар-Ола, 1992. - С. 157 - 162.

53. Ким, К.К. Обработка материалов в плазме низкотемпературного объёмногоразряда ёмкостного типа / К.К. Ким, Г.Л. Спичкин, Е.К. Быстрое // Физика и химия обработки материалов. 2007. - № 1. - С. 46 - 52.

54. Каштанов, П.В. Магнетронная плазма и нанотехнологии / П.В. Каштанов,

55. Б.М. Смирнов, Р. Хипплер // УФН. 2007. - Т. 177, № 5. - С. 473 - 510.

56. Крылов, Е.В. Газоразрядный ионизатор в аргоновом ионизационном детекторе / Е.В. Крылов // ЖТФ. 2000. - Т. 70, вып. 11. - С. 126 - 132 с.

57. Стребков, Д.С. Холодноплазменный электрокоагулятор / Д.С. Стребков,

58. A.И. Некрасов, С.В. Авраменко, К.С. Авраменко // Мех. и электр. сель, хоз-ва. 2002. - № 2. - С.19-20.

59. Данилин, В.В. Высокочастотные озонаторы нового поколения /

60. B.В. Данилин, М.П. Кокуркин, М.М. Пашин, А.И. Смородин, Н.И. Пуресев // Электротехника. 2001. - № 9. - С.39.

61. Райзер, Ю.Р. Физика газового разряда / Ю.Р. Райзер. М: Наука, 1987.591 с.

62. Котельников, И.А. Лекции по физике плазмы / И.А. Котельников, Г.В. Ступаков. Новосибирск: Новосиб. ун-т, 1996. - 136 с.

63. Струнин, В.И. Кинетика высокочастотного разряда низкого давления с конденсированной фазой / В.И. Струнин, А.А. Ляхов, Г.Ж. Худайбергенов, В.В. Шкуркин // ЖТФ. 2004. - Т. 74, вып. 4. - С. 126 - 128.

64. Sherman, A. Plasma assisted chemical vapor deposition processes and theirsemiconductor applications / A. Sherman // Thin solid films. 1984. - V. 113.-P. 135- 149.

65. Годяк, B.A. О вентильных свойствах ВЧ-разрядов / В.А. Годяк, А.А. Кузовников // Физика плазмы. 1975. - Т. 1, вып. 3. - С. 496 - 503

66. Райзер, Ю.П. Высокочастотный ёмкостной разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения / Ю.П. Райзер, М.Н. Шнейдер, Н.А. Яценко. М.: Изд-во МФТИ: Наука-Физматлит, 1995. - 320 с.

67. Лисовский, В.А. Особенности а у перехода в ВЧ разряде низкого давления в аргоне / В.А. Лисовский // ЖТФ. 1998.- Т. 68, № 5. - С. 52 - 60.

68. Никандров, Д.С. Бесстолкновительные слои ёмкостного разряда в различных частотных диапазонах / Д.С. Никандров, Л.Д. Цендин // Письма в ЖТФ. 2006. - Т. 32, вып. 16. - С. 62 - 74.

69. Попов, В.Ф. Процессы и установки электронно-ионной технологии: учеб.пособие для вузов / В.Ф. Попов, Ю.Н. Горин. М.: Высшая школа, 1988.-255 с.

70. Данилин, П.С. Магнетронные распылительные системы / П.С. Данилин, В.К. Сырчин. М.: Радио и связь, 1982. - 72 с.

71. Бурмакинский, И.Ю. Расчёт выработки катода для магнетронных системионного распыления / И.Ю. Бурмакинский, А.В. Рогов // ЖТФ. 2003. -Т. 73, вып. 10.-С. 46-50.

72. Бурмакинский, И.Ю. Влияние резонансной перезарядки ионов аргона наэффективную скорость распыления в магнетронном разряде / И.Ю. Бурмакинский, А.В. Рогов // ЖТФ. 2004. - Т. 74, вып. 1. - С. 120 -122.

73. Рогов А.В. Исследование магнетронного разряда постоянного тока методомподвижного сеточного анода / А.В. Рогов, Ю. Бурмакинский // ЖТФ. -2004. Т. 74, вып. 4 - С. 27- 30.

74. Клопов, С.Г. Моделирование и расчёт параметров электрического разряда вмагнетроне / С.Г. Клопов, Л.Н. Лесневский, В.Н. Тюрин, A.M. Ушаков // Известия РАН. Серия физическая. 2006. - Т. 70, № 8. - С. 1207 - 1212

75. Кноль, М. Техническая электроника. Т. 1. Физические основы электроники.

76. Вакуумная техника / М. Кноль, И. Эйхмейр. М.: Энергия, 1971. - 472 с.

77. Пчельников, Ю.Н. Генерация атмосферной плазмы с помощью замедляющей системы / Ю.Н. Пчельников // Электротехника. 2006. - № 10. -С. 20-26.

78. Луценко, Ю.Ю. Особенности электромагнитного поля высокочастотного ёмкостного разряда шнурового вида, горящего при атмосферном давлении / Ю.Ю. Луценко // ЖТФ. 2005. - Т. 75, вып. 11. - С. 124 - 126.

79. Луценко, Ю.Ю. О характере затухания электромагнитного поля в плазмевысокочастотного разряда факельного типа / Ю.Ю Луценко, В.А. Власов, И. А. Тихомиров // Письма в ЖТФ. 2006. - Т. 32, вып. 9. - 23 - 27.

80. Белянин, А.Ф. Применение ВЧ-автогенераторов в установках распыления итравления / А.Ф. Белянин, В.В. Бесогонов, А.Ю. Елисеев, В.Д. Житковский,

81. П.В. Пащенко // Материалы II Всесоюзного межотраслевого совещания «Тонкие плёнки в электронике». М.; Ижевск, 1991. - С. 47 - 52.

82. Пат. 2030849 Российская Федерация, МПК6 Н 05 Н 1/46. Высокочастотный генератор плазмы / Тоболкин А.С.; заявитель и патентообладатель автор. -№ 5054990/25; завл. 31.03.1992; опубл. 10.03.1995, Бюл. № 7.

83. Пат. 2035130 Российская Федерация, МПК6 Н 05 Н 1/36. Высокочастотный генератор плазмы / Тоболкин А.С.; заявитель и патентообладатель автор. -№ 92007715/25; завл. 24.11.1992; опубл. 10.05.1995, Бюл. № 13.

84. Мальков, Н.Н. Исследование и разработка высокочастотных систем питания с ламповыми генераторами для электротехнологий: автореферат дис.канд. техн. наук: 05.09.10 / Мальков Николай Николаевич. Санкт-Петербург, 1992. - 16 с.

85. Пат. 2133998 Российская Федерация, МПК6 Н 01 L 21/3065. Реактор дляплазменной обработки полупроводниковых структур / Голишников А.А.,

86. Зарянкин Н.М., Путря М.Г., Сауров А.Н.; заявитель и патентообладатель науч.-производ. комплекс «Технологический центр» Московского института электронной техники. №98105773/25; завл. 07.04.1998; опубл. 27.07.1999, Бюл. № 21.

87. Одинцов, М.А. Технология получения плёнок A1N / М.А. Одинцов, Н.И. Сушенцов // Всесоюзный постоянный научно-технический семинар «Низкотемпературные технологические процессы в электронике». 4-7 июня. Тезисы докладов. Ижевск, 1990. - С. 26.

88. Сушенцов, Н.И. Плёнки A1N для ПАВ-датчиков / Н.И. Сушенцов, М.А. Одинцов, T.JI. Кудрявцев, В.Е. Филимонов //. Материалы II Всесоюзного межотраслевого совещания «Тонкие плёнки в электронике». М.; Ижевск, 1991.-С. 33-36.

89. Радиопередающие устройства /под общ. ред. Б.П. Терентьева. М.: Государственное изд-во литературы по вопросам связи и радио, 1962. - 547 с.

90. Скурихин, С.А. Шкаф высокочастотный / С.А. Скурихин, Б.Г. Дряхлов,

91. B.C. Суслов // Информационный листок о научно-техническом достижении № 83-1602. М.: ВИМИ, 1983. - 3 с.

92. Полушин, П.А. Универсальный мощный генератор высокой частоты / П.А. Полушин, А.Г. Самойлов // ПТЭ. 1995. - № 5. - С. 197.

93. Костров, Н.А. Согласующие устройства приёмных антенн декаметрового диапазона / Н.А. Костров, В.П. Литвиненко, П.И. Терских // Антенны. -2005.-Вып. 4 (95).-С. 7-10.

94. Лондон, С.Е. Справочник по высокочастотным трансформаторным устройствам / С.Е. Лондон, С.В. Томашевич. М.: Радио и связь, 1984. - 216 с.

95. Лапшин, Б.А. Новая теория и расчёт фильтров и трансформаторов на отрезках передающих линий / В.А. Лапшин. СПб.: Наука, 1998. - 180 с.

96. Хлопушин, И.Ю. О применении широкополосных согласующих устройств для антенн ДКМВ-диапазона / И.Ю. Хлопушин, О.Г. Сушков // Антенны. -2003. Вып. 12 (79). - С. 39 - 40.

97. Григоров, И. Согласующие устройства / И. Григоров // Радиолюбитель KB и УКВ. 1997. № 10. - С. 32 - 34.

98. Лаптев, Е. Согласующее устройство / Е. Лаптев // Радио. 2002. - № 9.1. C. 62.

99. Китаев, А.В. Определение распределения напряжения и тока вдоль линии на основе круговых диаграмм / А.В. Китаев // Известия вузов. Электромеханика. 2006. - № 1. - С. 65 - 70.

100. Багинский, Б.А. Способы согласования ультразвуковых пьезокерамиче-ских преобразователей с источниками питания, работающими в режиме переключений / Б.А. Багинский, В.В. Редько // Электротехника. 2002. - № 3. -С. 17-21.

101. Петушко, И.В. Амплитудно-фазовые соотношения при частотном согласовании в установках для ультразвуковой обработки жидких и твёрдых тел / И.В. Петушко // Электротехника. 2004. - № 2. - С. 49 - 57.

102. Чернов, JI. Упрощённый расчёт П-контура / JI. Чернов // Радио. 1970. -№7.-С. 28.

103. Пат. 2056683 Российская Федерация, МПК6 Н 01 S 3/09. Газовый лазер / Минеев А.П., Полушин П.А. Самойлов А.Г. Самойлов С.А.; заявитель и патентообладатель Институт общей физики РАН. № 5056566/25; завл. 28.05.1992; опубл. 20.03.1996, Бюл. № 8.

104. Бетин, Б.М. Радиопередающие устройства / Б.М. Бетин. М.: Высшая школа, 1965. - 338 с.

105. Левичев, В.Г. Основы радиотехники и радиолокации. Радиопередающие и радиоприёмные устройства / В.Г. Левичев, Я.В. Степук, Б.И. Фогельсон. -М.: Воениздат, 1965.-584 с.

106. Генераторы высоких и сверхвысоких частот: учеб. пособие / О.В. Алексеев и др.. М.: Высшая школа, 2003. - 326 с.

107. Каримов, А.С. О параметрическом самовозбуждении асинхронного генератора / А.С. Каримов, Хо ТХАНЬ ХИЕП // Электротехника. 1992. - № 6 -1.-С.5-1.

108. Валитов, Р.А. Радиоизмерения на сверхвысоких частотах / Р.А. Валитов, В.Н. Сретенский. М.: Военное издательство Военного Министерства СССР, 1951.-392 с.

109. Головков, А.А. Синтез и анализ квазинедиссипативных взаимных одночас-тотных и двухчастотных сумматоров и делителей мощности с управляемыми характеристиками / А.А. Головков, С.В. Ковалёв // Антенны. 2003. -Вып. 2 (69).-С. 61-79.

110. Головков, А.А. Многофункциональные антенные системы / А.А. Головков // Антенны. 2003. - Вып. 3 - 4 (70 - 71). - С. 84-93.

111. Головков, А.А. Синтез согласующе-фильтрующих устройств для антенн радиоэлектронных средств с манипуляцией амплитуды и фазы излучаемого сигнала / А.А. Головков, А.А. Чаплыгин // Антенны. 2005. - Вып. 7-8 (98-99).-С. 32-37.

112. Смирнов, А.С. Самосогласованная модель высокочастотного ёмкостного разряда низкого давления / А.С. Смирнов, К.Е. Орлов // Письма в ЖТФ. -1997-Т. 23, № 1.-С. 39-45.

113. Протасевич, Е.Т. Источник неравновесной плазмы низкого давления / Е.Т. Протасевич // ПТЭ. 1986. - № 5. - С. 152 - 153.

114. Немченок, Р.Л. Высокочастотный ёмкостной разряд и плазмотроны на его основе / Р.Л. Немченок, Г.З. Паскалов // Электротехника. 1992. - № 1. -С. 42-46.

115. Ландау, JI. Д. Электродинамика сплошных сред / Л.Д.Ландау, Е.М. Лифшиц. М.: Наука, 1982. - 624 с.

116. Кухаркин, Е.С. Инженерная электрофизика. Техническая электродинамика / Е.С. Кухаркин; под ред. П.А. Ионкина. М.: Высш. школа, 1982. - 520 с.

117. Федоров, Н.Н. Основы электродинамики / Н.Н. Федоров. М.: Высшая школа, 1980.-399 с.

118. Пейн, Г. Физика колебаний и волн / Г. Пейн. М.: Мир, 1979. - 391 с.

119. Тамм, И.Е. Основы теории электричества / И.Е. Тамм. М.: Наука, 1976. -616 с.

120. Материалы в приборостроении и автоматике: справочник / под ред. Ю.М. Пятина. М.: Машиностроение, 1982. - 528 с.

121. Машиностроительные материалы: краткий справочник / В.М. Раскатов, B.C. Чуенков, Н.Ф. Бессонова, Д.А. Вейс. М.: Машиностроение, 1980. -511 с.

122. Кошкин, Н.И. Справочник по элементарной физике / Н.И.Кошкин, М.Г. Ширкевич. М.: Наука, 1980. - 208 с.

123. Груев, И.Д. Электрохимические покрытия изделий радиоэлектронной аппаратуры: справочник / И.Д. Груев, Н.И. Матвеев, Н.Г. Сергеева. М.: Радио и связь, 1988. - 304 с.

124. Волин, МЛ. Паразитные процессы в радиоэлектронной аппаратуре / M.J1. Волин. М.: Радио и связь, 1981. - 296 с.

125. Галахова, О.П. Методы точных измерений силы тока, напряжения, мощности и их отношений в диапазоне звуковых и высоких частот / О.П. Галахова, A.M. Фёдоров. -М.: Машиностроение, 1976. 128 с.

126. Гуткин, Э. Измеряем КСВ: теория и практика / Эрнест Гуткин // Радио. -2003. № 5. - С. 66 - 68. - Радио. - 2003. - № 6. - С. 61 - 63.

127. Полу шин, П. А. Измеритель мощности накачки волноводных СОг-лазеров / П.А. Полушин, А.Г. Самойлов // ПТЭ. 1993. - № 5. - С. 243 - 244.

128. Нагорный, Д.А. Ваттметр для высокочастотного генератора / Д.А. Нагорный, А.Г. Нагорный // ПТЭ. 2006 - № 2 - С. 162 - 163.

129. Нагорный, А.Г. Измеритель мощности для установки высокочастотного катодного распыления / А.Г. Нагорный, С.В. Колинько // ПТЭ. 2003. -№ 1. - С. 144- 148.

130. Бенин, В.JI. Статические измерительные преобразователи электрической мощности / B.J1. Бенин, В.У. Кизилов. М.: Энергия, 1972. - 96 с.

131. Бокринская, А.А. Методы измерения мощности СВЧ / А.А. Бокринская, Е.Т. Скорик. Киев: Госиздат УССР, 1962. - 165 с.

132. Нечаев, И. Мостовой измеритель КСВ / И. Нечаев // Радио. 2003. - № 12. -С. 56-57.

133. Титов, А.А. Усилитель мощности с защитой от перегрузок / А.А. Титов, С.В. Мелихов // ПТЭ. 1993. -№ 6. - С. 118 - 121.

134. Титов, А. Повышение выходной мощности и КПД маломощных телевизионных передатчиков / А. Титов // ЭЛЕКТРОНИКА. Наука, Технология, Бизнес. 2004. - № 3. С. 26 - 28.

135. Полушин, П.А. Измеритель импеданса газоразрядных лазеров, возбуждаемых высокочастотным сигналом / П.А. Полушин, А.Г. Самойлов // ПТЭ. -1993.-№5.-С. 90-93.

136. Морозов, В.А. Расчёт характеристик рабочего конденсатора с прямоугольными электродами / В.А. Морозов // Электротехника. 2002. - № 11. -С.41-44.

137. Морозов, В.А. Особенности расчёта контура третьего вида, используемого в нагрузочных системах высокочастотных технологических установок / В.А. Морозов // Электротехника. 2005. - № 2. - С.59 - 64.

138. Морозов, В.А. Особенности расчёта высокочастотной нагрузочной системы с цепью согласования из параллельного колебательного контура с неполным включением / В.А. Морозов, Г.М. Михеев // Электротехника. -2006. № 8. - С.53 - 58.

139. Морозов, В.А. Определение падающей, отражённой и активной мощностей в двухпроводной линии передачи электрической энергии / В.А. Морозов // Электротехника. 2006. - № 12. - С.25 - 29.

140. Нейман, JI.P. Теоретические основы электротехники: в 2-х томах /Л.Р.Нейман, К.С. Демирчян. Л.: Энергия. Ленингр. Отделение, 1967. -Т. 1.-523 с.

141. Власов, В.И. Проектирование высокочастотных узлов радиолокационных станций / В.И. Власов, Я.И. Берман. Л.: СУДПРОМГИЗ, 1961.-260 с.

142. Оптимизация системы ВЧ магнетронного распыления и отработка режимов получения диэлектрических слоев сложного состава: отчет о НИР / Московский институт радиоэлектроники, электроники и автоматики. М, 1986.-С. ИЗ.

143. Иоссель, Ю.Я. Расчёт электрической ёмкости / Ю.Я. Иоссель, Э.С. Кочанов, М.Г. Струнский. Л.: Энергоиздат, 1981. - 288 с.

144. Морозов, В.А. Исследование активного сопротивления проводника с покрытием на высокой частоте / В.А. Морозов, Г.М. Михеев // Электротехника. 2004.-№ 3. - С.30 - 35.

145. Морозов, В.А. Простой расчёт поперечного сечения электрического провода на низких и высоких частотах / В.А. Морозов, Г.М. Михеев // Электротехника. 2005. - № 4. - С.54 - 60.

146. Морозов, В.А. Расчёт контактной пары для экранированного датчика измерения высокочастотного тока / В.А. Морозов, Г.М. Михеев // Вестник ИжГСХА. 2005. - № 3 (6). - С.8 - 9.

147. ГОСТ 9.303-84, ГОСТ 9.306-85. Покрытия металлические и неметаллические неорганические. Общие требования к выбору и обозначения. М.: Изд-во стандартов, 1988. - 79 с.

148. Белякова, Е.С. Расчёт теплового режима контактных проводников в высокочастотной цепи / Е.С. Белякова // Электросвязь. 1978. - № 9.

149. Гель, П.П. Конструирование электронной аппаратуры / П.П. Гелль, Н.К. Иванов-Есипович. JL: Энергия, 1972. - 232 с.

150. Справочник конструктора РЭА. Общие принципы конструирования / под ред. Р.Г.Варламова. М.: Советское радио, 1980 - 480 с.

151. Справочник по машиностроительным материалам. Т. 2. Цветные металлы и сплавы / под ред. Г.И. Погодина-Алексеева; ред. тома М.А. Бочвар. М.: Государственное науч.-техн. изд-во машиностроительной лит-ры, 1959. -640 с.

152. Справочник по электротехническим материалам. Т. 3 / под ред. Ю.В. Корицкого, В.В. Пасынкова, Б.М. Тареева. Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отделение, 1988. - 728 с.

153. Богородицкий, Н.П. Электротехнические материалы / Н.П. Богородицкий, В.В. Пасынков, Б.М. Тареев. Л.: Энергоатомиздат, 1985. - 304 с.

154. Морозов, В.А. Измерение электромагнитной мощности на высокой частоте / В.А. Морозов, Г.М. Михеев // Проблемы механики и материаловедения:

155. I науч.-практ. конф., Ижевск, 14 15 июня 2006 г.: тез. докл. - Ижевск: ИПМ УрО РАН, 2006. - С.92 - 93.

156. Морозов, В.А. Исследование высокочастотного ваттметра с датчиками тока и напряжения / В.А. Морозов // Международная научная конференция «75 лет высшему образованию в Удмуртии»: материалы конференции: 4.2. Естественные науки. Ижевск, 2006. - С.36 - 37.

157. Фейнман, Р. Фейнмановские лекции по физике / Р. Фейнман, Р. Лейтон, М. Сэндс.- М.: Мир, 1977. Вып. 6. - 352 с.

158. Сазонов, Д.Н. Устройства СВЧ / Д.Н.Сазонов, А.Н. Гридин, Б.А. Мишустин. М.: Высшая школа, 1981.

159. Аналоговые электроизмерительные приборы / Е.Г. Бишард и др.. М.: Высшая школа, 1991. -415 с.

160. Кушнир, Ф.В. Радиотехнические измерения / Ф.В. Кушнир. М.: Связь, 1980.

161. Расчёт электромагнитных элементов источников вторичного электропитания / А.Н. Горский и др.. М.: Радио и связь, 1988. - 176 с.

162. Пат. 2080677 Российская Федерация, МПК6 Н 01 F 30/10. Трансформатор / ЛундинВ.Н.; заявитель и патентообладатель Центральное конструкторское бюро «Геофизика». №94026540/07; завл. 18.07.1994; опубл. 27.02.1997.

163. Баскаков С.И. Радиотехнические цепи и сигналы /С.И.Баскаков. М.: Высшая школа, 2003. - 462 с.

164. Хоровиц, П. Искусство схемотехники: в 2-х томах / П. Хоровиц., У. Хилл. -М.: Мир. 1983.-Т.1.-598 с.

165. Полупроводниковые приборы. Диоды высокочастотные, импульсные, оп-тоэлектронные приборы: Справочник / А.Б. Гитцевич и др.; под. ред. А.В. Голомедова. М.: "КУбК-а", 1997. - 592 с.

166. ГОСТ Р 51350-99. Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования. Часть 1. Общие требования. М.: Издательство стандартов, 2000. - 84 с.1. УТВЕРЖДАЮ»

167. Испытание нагрузочной системы показало, что устройство согласования обеспечивает коэффициент отражения мощности не более 5 %; при мощности 5 кВт температура устройства согласования не превышает расчётной величины.

168. Экономический эффект от внедрения высокочастотной системы составил 1200000 рублей.

169. Начальник вакуумного участка1. B.C. Пушкарев