Влияние исходной газовой среды на процесс ионной химико-термической обработки титановых сплавов для повышения износостойкости тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.16.01, кандидат технических наук Громов, Валерий Игоревич

• Громов, Валерий Игоревич
• кандидат технических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат технических наук Громов, Валерий Игоревич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ ВОЗМОЖНЫХ ПУТЕЙ ПОВЫШЕНИЯ

ИЗНОСОСТОЙКОСТИ ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ.

1Л. Анализ причин низкой износостойкости титановых сплавов.

1.2. Существующие технологические процессы повышения износостойкости титановых сплавов.

1.2.1. Упрочнение титановых сплавов поверхностной пластической деформацией.

1.2.2. Нанесение износостойких гальванических и химических покрытий.

1.2.3. Борирование титановых сплавов.

1.2.4. Науглероживание титановых сплавов.

1.2.5. Альфирование титановых сплавов.

1.2.6. Азотирование титановых сплавов.

1.2.7. Ионная имплантация титановых сплавов.

1.2.8. Лазерное термоупрочнение титановых сплавов.

1.2.9. Упрочнение титановых сплавов с использованием метода электронно-лучевого нагрева.

1.2.10. Анодирование титановых сплавов.

1.3. Сравнительный анализ различных технологических процессов повышения износостойкости титановых сплавов.

1.4. Обоснование и выбор наиболее перспективных процессов химико-термической обработки титановых сплавов.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Влияние исходной газовой среды на процесс ионной химико-термической обработки титановых сплавов для повышения износостойкости»

Современная аэрокосмическая техника, многие отрасли машиностроения и приборостроения немыслимы без применения титана и его сплавов.

Титан называют "металлом века". В титане, как в никаком другом конструкционном материале сочетаются высокие требования, которые предъявляются к современным материалам: он обладает высокой прочностью, небольшой плотностью, высокой коррозионной и жаростойкостью.

Сравнения титана с другими конструкционными материалами (табл. 1) показывают, что титан наиболее тугоплавок и имеет наименьшее значение теплопроводности, электропроводности и коэффициента термического расширения. По плотности титан можно отнести к легким металлам, и он занимает промежуточное положение между алюминием и железом.

По данным [2], [12] интервал температур наивыгоднейшего применения титана весьма широк: от температур глубокого холода до температуры - 600°С.

Титан во всем диапазоне указанных температур имеет преимущество по прочностным характеристикам и жаропрочности перед большинством других конструкционных материалов.

Несмотря на то, что титан химически активный элемент, - в электрохимическом ряду металлических элементов он занимает место между бериллием и марганцем, во многих агрессивных средах титан обладает исключительно высоким сопротивлением коррозии. В большинстве случаев коррозионная стойкость титана превышает коррозионную стойкость нержавеющих сталей [3], [30].

Эти и многие другие свойства титана объясняют его широкое применение в самых современных разработках науки и техники.

Таблица 1

Физические свойства титана и других металлов [1]

Свойства Л А1 Бе Си

Температура плавления, С0 1665 650 660 1535 1083

Л Плотность, г/см 4,51 1,74 2,70 7,86 8,94

Теплопроводность при 20°С, кал/см-с-град 0,0407 0,35 0,57 0,17 0,92

Электросопротивление при 20°С, мкОмсм 55,4 4,4 2,68 10 1,72

Теплоемкость (0 - 100°С), кал/г-град 0,126 0,245 0,211 0,109 0,093

Коэффициент линейного расширения (0 - 100°С) х 106 град 1 8,9 25,7 24 11,9 16,4

Модуль нормальной упругости Е, кгс-мм2 11200 4550 7250 20000 12250

Это подтверждается тем, что если в конце 60-х годов производство титана в США и Японии составляло 20 и 10 тыс. тонн ежегодно, то сейчас оно превзошло 100 тыс. тонн.

В настоящее время из титановых сплавов производят ответственные детали двигателей, шасси, несущих конструкций фюзеляжа сверхзвуковых самолетов. Планируемый к запуску в серию "Боинг-2707" будет почти целиком состоять из титановых сплавов. Уже сейчас на самолетах "ДС-7" носовое колесо диаметром около 1 м выдерживает 6000 приземлений 100 т самолета, совершая таким образом пробег более 2700 км [4].

Применение титана не ограничивается только аэрокосмической техникой, его широко применяют в медицине, судостроении, полиграфии и других отраслях науки и техники.

При всех бесспорных преимуществах титановых сплавов перед другими конструкционными материалами они имеют один очень значительный недостаток, который во многом препятствует их активному внедрению в повседневную практику машиностроения. Этим недостатком является низкая износостойкость и способность к "схватыванию" при соприкосновении трущихся поверхностей.

Рост производства и расширяющаяся область применения сплавов титана вызывают необходимость разработки методов и технологических процессов, позволяющих повысить износостойкость титановых сплавов.

Целью данной диссертационной работы являлось:

На основании изучения влияния различных газовых сред на структуру и свойства деталей из титановых сплавов разработать способ ионной химико-термической обработки для повышения их износостойкости.

На защиту выносится:

1. Результаты экспериментальных исследований влияния режимов ионного азотирования и ионного альфирования на структуру, фазовый состав и свойства титановых сплавов.

2. Новые экспериментальные данные о влиянии состава газовой смеси при ионной химико-термической обработке на износостойкость титановых сплавов.

3. Данные экспериментов, показывающих влияние на технологичность процесса ионного азотирования титановых сплавов вида газа разбавителя азота (аргона и гелия).

4. Рекомендации по применению разработанного способа ионной химико-термической обработки титановых сплавов с целью повышения их износостойкости - ионного азотирования в среде остаточного азота гелия.

Научная новизна

В результате исследования различных способов ионной химико-термической обработки титановых сплавов определен состав азотосодержащей среды, обеспечивающий получение диффузионных слоев необходимого качества.

Научно обосновано использование гелия, содержащего до 0,002% азота, в качестве исходной газовой среды при ионном азотировании титановых сплавов. Указанное количество азота оказалось достаточным для образования азотированых слоев значительной толщины, что составляет основу разработки процесса ионной химико-термической обработки титановых сплавов для повышения их износостойкости.

Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, выводов, списка цитируемой литературы и приложения.

Заключение диссертации по теме «Металловедение и термическая обработка металлов», Громов, Валерий Игоревич

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Установлены особенности формирования азотированного слоя при ионной химико-термической обработке в азоте, аргоно-азотных, гелиево-азотных газовых средах. На поверхности титановых сплавов после ионного азотирования в азоте образуется тонкий (3-7 мкм) сплошной нитридный слой ТЖ, под которым располагается протяженная диффузионная зона на основе твердого раствора азота в титане с включениями г-нитрида титана (Т123]Ч).

Показано, что уменьшением концентрации азота в исходной газовой среде ионного азотирования можно исключить образование нитридного слоя ТШ на поверхности титановых сплавов.

2. Впервые установлены особенности формирования диффузионных слоев при ионном альфировании титановых сплавов в аргоно-воздушных газовых средах. Поверхностный слой представляет собой слой оксидов титана (ТЮ, Тл203, Т14.О7, ТЮ2) на поверхности и диффузионной зоны на основе твердого раствора кислорода в титане под слоем оксидов.

Выявлено, что добавлением аргона в газовую атмосферу ионного альфирования можно регулировать фазовый состав слоя оксидов на поверхности титановых сплавов. При малом содержании воздуха в газовой смеси преобладает образование оксидов титана с малым содержанием кислорода (ТЮ, Т1203). Увеличение содержания воздуха в аргоно-воздушной среде приводит к образованию оксидов с более высоким содержанием кислорода (Т1407, ТЮ2).

3. Показано, что увеличение содержания насыщающего компонента газовой среды (азота или кислорода воздуха) при ионном азотировании и ионном альфировании ведет к замедлению диффузионных процессов насыщения титановых сплавов из-за активизации процессов развития нитридных или оксидных слоев на поверхности, являющихся диффузионными барьерами, препятствующими насыщению титановых сплавов азотом и кислородом.

4. Выявлено, что износостойкость титановых сплавов после ионной химико-термической обработки зависит от состава газовых сред.

При ионном азотировании наибольшая в условиях проведенных исследований относительная износостойкость была достигнута после ионного азотирования в среде аргона, содержащего остаточный азот. Снижение относительной износостойкости титановых сплавов в 1,5-2 раза с увеличением содержания азота в газовой среде ионного азотирования связано с развитием сплошного нитридного слоя ТОЧ на поверхности азотируемых образцов, что приводит к уменьшению толщины диффузионного слоя и провоцирует абразивный износ из-за выкрашивания нитридного слоя.

При ионном альфировании титановых сплавов уменьшение содержания воздуха в смеси с аргоном с 10% до 3% приводит к понижению относительной износостойкости в 1,5-3 раза, что связано с повышенной хрупкостью оксидных фаз, образующихся при ионном альфировании в средах с низким содержанием воздуха.

5. Определены технологические преимущества процесса ионного азотирования перед процессом ионного альфирования. Проведение процесса ионного альфирования по режиму, обеспечивающему наибольшую относительную износостойкость (10% воздуха, остальное аргон), крайне затруднено из-за сильной нестабильности протекания процесса насыщения, связанной с отслаиванием образующихся пленок рутила (ТЮг) с поверхности. Протекание процесса ионного азотирования в любых по составу газовых средах достаточно стабильно. Это говорит о технологических преимуществах процесса ионного азотирования перед процессом ионного альфирования.

117

6. Впервые показано, что ионное азотирование в среде гелия, содержащего остаточный азот, технологически предпочтительнее ионного азотирования в среде аргона, содержащего остаточный азот. Процесс нагрева при ионном азотировании в среде аргона, содержащего остаточный азот идет весьма интенсивно, что приводит к локальному перегреву поверхности. Тепловой эффект от катодной бомбардировки ионами гелия меньший чем ионами аргона, нагрев поверхности происходит более плавно и перегрева не происходит.

7. Определены режимы ионного азотирования титановых сплавов с целью повышения их износостойкости.

Рекомендовано азотирование а и а+|3 титановых сплавов проводить в среде гелия, содержащего остаточный азот, при температуре 850°С, давление газовой среды и время ионного насыщения назначается в зависимости от требований технических условий и конкретной геометрии деталей.

8. Рекомендовано применять ионное азотирование в гелии для повышения износостойкости деталей авиационных двигателей и самолетов (обоймы подшипников, корпуса клапанов, детали механизмов управления крыла).

Заключение

Результатами исследований влияния режимов ионного азотирования титановых сплавов в гелиево-азотных газовых средах установлено:

1. Не выявлено принципиальных отличий в кинетике и механизме формирования диффузионных слоев между процессами ионного азотирования в аргоно-азотных и гелиево-азотных газовых средах.

2. Фазовый состав азотированных слоев титановых сплавов после ионного азотирования в гелиево-азотных газовых средах тот же, что и после ионного азотирования в аргоно-азотных газовых средах и представляет собой сочетание нитридного слоя ТлИ на поверхности титановых сплавов и диффузионного слоя на основе твердого раствора азота в титане с выделением 8-нитридов.

После ионного азотирования в среде гелия, содержащего остаточный азот, как и при ионном азотировании в среде аргона, содержащего остаточный азот, сплошной слой 8-нитрида титана ТЖ металлографически не выявляется.

3. Как при ионном азотировании в аргоно-азотных газовых средах, так и при ионном азотировании в гелиево-азотных газовых средах увеличение содержания азота в газовой среде ведет к уменьшению толщины азотированных слоев и увеличению поверхностной микротвердости титановых

ГЛАВА 5. РЕКОМЕНДАЦИИ ПО ИСПОЛЬЗОВАНИЮ ПРОЦЕССА

ИОННОГО АЗОТИРОВАНИЯ С ЦЕЛЬЮ ПОВЫШЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОСТИ ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ В ГАЗОВОЙ СРЕДЕ ГЕЛИЯ, СОДЕРЖАЩЕМ ОСТАТОЧНЫЙ АЗОТ.

В настоящее время одним из требований повышения эксплуатационных характеристик авиационной техники является снижение веса авиационных узлов и агрегатов. Это требование может быть достигнуто путем широкого внедрения титановых сплавов в качестве одного из ведущих конструкционных материалов для авиации. Сейчас из титановых сплавов в основном изготавливают корпусные детали, обоймы подшипников, лопатки компрессора авиационных двигателей, детали шасси, детали агрегатов управления механизмами крыла. Одним из наиболее перспективных направлений дальнейшего снижения веса авиационных конструкций является замена в авиационных редукторах стальных зубчатых колес на титановые. Подобные попытки замены ранее делались не раз, но результаты были далеки от требуемых. Это связано с тем, что детали из титановых сплавов, прошедшие традиционную упрочняющую термическую обработку (двойной отжиг, закалка со старением), обладают весьма низкой износостойкостью. Как было показано в настоящей работе, наиболее перспективным способом повышения износостойкости титановых сплавов является химико-термическая обработка -ионное азотирование титановых сплавов в среде гелия, содержащего остаточный азот.

С целью проверки предположения о возможности повысить износостойкость зубчатых колес из титановых сплавов указанным методом были проведены стендовые испытания зубчатых пар (т=Т) "стальная шестерня-титановое зубчатое колесо", "титановая шестерня-титановое зубчатое колесо". Титановые зубчатые колеса и шестерни, изготовленные из сплава ВТ-9 подвергались ионному азотированию с получением различного фазового состава азотированных слоев. Предварительно титановые зубчатые колеса и шестерни были подвергнуты серийной термической обработке -двойному отжигу по режиму, указанному выше (см. главу 2). Режимы ионного азотирования титановых зубчатых колес и шестерен были следующими:

Режим 1: ионное азотирование в среде гелия марки Б, содержащего остаточный азот, при температуре 850°С в течение 20 часов.

Режим 2: ионное азотирование в среде среде гелия марки Б, содержащего остаточный азот, при температуре 850°С в течение 18 ч, затем ионное азотирование в среде чистого азота особой чистоты в течение 3 часов. Результаты испытаний приведены в таблицах 12 и 13.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Громов, Валерий Игоревич, 2000 год

1. Глазунов С.Г., Моисеев В.Н. Конструкционные титановые сплавы. -М.: Металлургия, 1974. - 368 с.

2. Геминов В.Н., Фридман З.Г. Методы механических испытаний металлов и сплавов при высоких температурах // Итоги науки и техники / ВИНТИ. М., 1969. - С. 130-213. - (Сер. Металлургия; Вып. Металловедение и термическая обработка).

3. Колачев Б.А., Ливанов В.А., Елагин В.Н. Металловедение и термическая обработка цветных металлов и сплавов. М.: Металлургия, 1981. -416 с.

4. Николаев Г.И. Метал века. М.: Металлургия, 1987. - 168 с.

5. Крагельский И. В., Добычин М.Н., Комбалов B.C. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977. - 526 с.

6. Крагельский И.В., Любарский И.М., Гусляков A.A. Трение и износ в ваккуме. М.: Машиностроение, 1973. - 216 с.

7. Материаловедение: Учебник для вузов / Б.Н. Арзамасов, И.И. Сидорин, Г.Ф. Косолапов и др.; Под общ. ред. Б.Н. Арзамасова. 2-е изд. испр. и доп. - М.: Машиностроение, 1986. - 384 с.

8. Екобори Т. Физика и механика разрушения и прочность твердых тел / Пер. с англ. К.С. Чернявского; Под ред. B.C. Ивановой. М.: Металлургия, 1971.-264 с.

9. Шалин В.Н. Расчеты упрочнения изделий при их пластической деформации. Ленинград: Машиностроение, 1971. - 264 с.

10. Горохов В.А. Чистовая обработка титановых сплавов. М.: Машиностроение, 1975. - 109 с.

11. Сорокин В.М. Комбинированная антифрикционная упрочняющаяобработка деталей машин / Всесоюзный совет НТО, Горьковское отделение. -Горький, 1986. 91 с.

12. Солонина О.П., Глазунов С.Г. Жаропрочные титановые сплавы. М.: Металлургия, 1976. - 448 с.

13. Вайнер Я.В., Дасоян М.А. Технология электрохимических покрытий.- Ленинград: Машиностроение, 1972. 464 с.

14. Минкевич А.Н. Химико-термическая обработка металлов и сплавов.- М.: Машиностроение, 1965. 331 с.

15. Ляхович Л.С. Перспективы химико-термической обработки титана и его сплавов // Защитные покрытия на металлах. 1976. - Вып. 10. - С. 21-24.

16. Коган Я.Д., Костогоров Е.П., Струве Н.Э. Поверхностное упрочнение титановых сплавов в режиме теплового самовоспламенения // Металловедение и термическая обработка металлов. 1992. - №6. - С. 15-16.

17. Исследование процесса карбидизации титана в кипящем слое / Р.К. Огнев, В.Е. Воронкин, А.Н. Перевязко и др. // Защитные покрытия на металлах. 1973. - Вып. 7. - С. 83-85.

18. Войтович Р.Ф., Головко Э.И. Высокотемпературное окисление титана и его сплавов. -Киев: Наукова думка, 1984. 256 с.

19. Окисление титана и его сплавов / A.C. Бай, Д.Н. Лайнер, E.H. Слесарева и др. М.: Металлургия, 1970. - 317 с.

20. Кофстад П. Высокотемпературное окисление металлов / Пер. с англ. Г. С. Петелиной и С.Н. Троянова; Под ред. О.П. Колчина. М.: Мир, 1969.- 329 с.

21. Окисление металлов. Теоретические основы / Пер. с фран. М.Г. Мастеровой и М.И. Цыпина; Под ред. Г.С. Викторовича. М.; Металлургия, 1968.-500 с.

22. Определение глубины альфированного слоя радиоизотопным толщиномером "Бетамикрометр-2" // Информационный бюллетень отечественного и зарубежного опыта / НИАТ. М., 1979. - С. 26-27. - (Сер. Упрочнение и покрытия; Вып. № 28).

23. Боровлева H.H., Велищанский A.B., Теплов B.C. Ионное насыщение титановых сплавов азотом и кислородом // Прогрессивные методы термической и химико-термической обработки сплавов / МВТУ им. Н.Э. Баумана; Под ред. Б.Н. Арзамасова. М., 1987. - С. 54 - 59.

24. Кипарисов С.С., Левинский Ю.В. Азотирование тугоплавких металлов. М.: Металлургия, 1972. - 160 с.

25. Шашков Д.П., Виноградов A.B., Полохов В.Н. Кинетика азотирования и износостойкость титановых сплавов // Металлы. 1981. - №6. - С. 172-177.

26. Максимович Г.Г., Погорелюк И.Н., Федирко В.Н. Закономерности формирования структуры азотированных слоев титановых сплавов // Металловедение и термическая обработка металлов. 1986. - №6. - С. 11-14.

27. Лахтин Ю.М., Арзамасов Б.Н. Химико-термическая обработка металлов. М.: Металлургия, 1985. - 256 с.

28. Туфанов Д.Г. Коррозионная стойкость нержавеющих сталей, сплавов и чистых металлов. М.: Металлургия, 1990. - 320 с.

29. Арзамасов Б.Н., Виноградов A.B., Велищанский A.B. Ионное азотирование сплавов // Новые сплавы и методы упрочнения деталей машин / МВТУ им. Н.Э. Баумана; Под ред. Б. Н. Арзамасова М., 1981. -С. 105-117.

30. Воронова Т.А., Москвич С.В., Соловьев Г.В. Ионное азотирование высокопрочных материалов // Труды МВТУ им Н.Э. Баумана. 1983. -№403. -С. 29-37.

31. Прокошкин Д.А., Панайоти Т.А., Соловьев Г.В. Исследование ионного азотирования титана // Изв. вузов. Машиностроение. 1985.-№5.-С.107-110.

32. Рябченко Е.В., Егорова Ю.К., Сысков Н.И. Ускорение диффузии при азотировании титана в тлеющем разряде // Прогрессивные методы термической и химико-термической обработки. -М., 1972. С. 128-135.

33. Saillard P., Gicguel A. Plasma process for termodiffusional titanium nitriding // Surface and Coating Technology. 1991. -№45. - P. 201-207.

34. Панайоти T.A. Азотирование высокопрочных сталей и сплавов в тлеющем разряде. М.: Машиностроение, 1989. - 40 с.

35. Matsumoto О., Konuma М., Kanzaki Y. Effect of the addition of hydrogen to nitrogen an nitridiny titanium // Journal of the Less-Common Metals. 1982. -№84.-P. 157-163.

36. Matsumoto O., Kanzaki Y. Interaction of the hydrogen plasma and nitridided titanium// Journal of the Less-Common Metals. 1985. - №107. - P.259-265.

37. Егорова Ю.К., Сысков Н.И. Ионное азотирование титана в тлеющем разряде // Новый конструкционный материал титан. - М., 1972. - С. 146-150.

38. Rie К.Т., Lampe Т., Eisenberg S. Thermo-chemical Surface Threatment of titanium and Titanium alloy Ti-6A1-4V by Energy Nitrogen Ion Bombardment // Materials Science and Engineering. 1985. - V. 69, №2. - P. 473-481.

39. Белый A.B., Макушонок E.M., Поболь И.Л. Поверхностная упрочняющая обработка с применением концентрированных потоков энергии. Минск: Наука и техника, 1990. - 80 с.

40. Zhang G.L. Present status of ion implantation in ion-semiconductor materials in China // Materials Science and Engineering. 1984. - №115. - P. 377-383.

41. Sioshansi Surface modification of industrial components by ion implantation // Materials Science and Engineering. 1987. - №90. - P.373-383.

42. Hutchings R., Oliver W.C. A Study of the improved wear performance of nitrogen implant Ti-6A1-4V // Wear. 1983. - №92. - P.143-153.

43. Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. М.: Металлургия, 1990.-216 с.

44. Saritas S., Procter R.D.M., Grant W.A. The use of ion implantation to modity the tribological properties of Ti-6A1-4A1 alloy // Materials Science and Engineering. 1987. - №90. - P.297-306.

45. Григорьянц А.Г. Основы лазерной обработки материалов. М.: Машиностроение, 1989. - 302 с.

46. Bell Т., Bergman H.W., Lanagan J. Surface Engineering of titanium with nitrogen // Surface engineering. 1986. - V.2, №2. - P. 137-143.

47. Zenker R. Surface treatment by electron beam // Proc. II-th Congress of the International Federation for heat treatment and surface engineering, 19-20 October 1998, Florence. Milan, 1998. - V.2. - P. 311-319.

48. Импульсное анодирование титановых сплавов // Указатель отечественных и зарубежных материалов по авиационной технологии / НИАТ. М., 1990. - С. 6. - (Сер. Термообработка и металловедение; Вып. N22).

49. Башнин Ю.А., Ушаков Б.К., Секей В.Г. Технология термической обработки стали: Учебник для вузов. М.: Металлургия, 1986. - 424 с.

50. Новиков И.И. Теория термической обработки металлов: Учебник для вузов. 4-е изд., перераб. и доп. - М.: Металлургия, 1986. - 480 с.

51. Бокштейн Б.С. Диффузия в металлах. М.: Металлургия, 1978.-248 с.

52. Bell Т., Dearly Р.А. Plasma Surface Engineering // International Seminar of Plasma Heat Treatment Science and Technology, 21-23 September 1987, Seanlis. -Paris, 1987.-P.13-53.

53. Научные основы материаловедения: Учебник для вузов / Б.Н. Арза-масов, А.И. Крашенинников, Ж.П. Пастухова и др.; Под ред. Б.Н. Арзамасова.- М.: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1994. 368 с.

54. Куликов И.С. Изотопы и свойства элементов: Справочник. М.: Металлургия, 1990. - 118 с.

55. Физическое металловедение.: В 3 вып. / Пер. с англ. В.М. Глазова, Э.М. Эпштейна, С.Н. Горина и др.; Под ред. Н.Т. Чеботарева. М.: Мир, 19671968. - Вып. 1: Атомное строение металлов и сплавов. - 1967. - 334 с.

56. Шульце Г. Металлофизика / Пер. с нем. А.К. Натансона; Под ред. Я.С. Уманского. М.: Мир, 1971.-504 с.

57. Ильин A.A. Механизм и кинетика фазовых и структурных превращений в титановых сплавах. М.: Наука, 1994. - 304 с.

58. Конструкционные материалы: Справочник / Б.Н. Арзамасов, В.А. Брострем, H.A. Буше и др.; Под общ. ред. Б.Н. Арзамасова. М.: Машиностроение, 1990. - 688 с.

59. Бочвар A.A. Металловедение: Учебник для втузов. 5-е изд. перераб. и доп. - М.: Государственное научно-техническое издательство литературы по черной и цветной металлургии, 1956. - 496 с.

60. Галактионова H.A. Водород в металлах. М.: Металлургия, 1967.- 303 с.

61. Химия: Справочное руководство / Пер. с нем. под ред. Ф.Г. Гаврюченкова, М.И. Курочкиной, A.A. Потехина и др. Ленинград: Химия, 1975. - 576 с.

62. Браун С. Элементарные процессы в плазме газового разряда. М.: Гос. Атом. Издат., 1961. - 324 с.

63. Геллер Ю.А., Рахштадт А.Г. Материаловедение: Учебное пособие длявузов/ Под ред. А.Г. Рахштадта. 6-е изд., перераб. и доп. - М.: Металлургия, 1989. - 456 с.

64. Золотаревекий B.C. Механические свойства металлов: Учебник для вузов. 2-е изд. - М.: Металлургия, 1983. - 352 с.

65. Тимощук Я.Т. Механические испытания металлов. М.: Металлургия, 1971. - 224 с.

66. Миркин JI.H. Рентгеноструктурный анализ. Индицирование рентгенограмм: Справочное руководство. М.: Наука, 1981. - 496 с.

67. Ковба JI.M., Трунов В.К. Рентгенофазовый анализ. М.: Издательство МГУ, 1969. - 160 с.

68. Горелик С.С., Расторгуев JI.H., Скаков Ю.Л. Рентгенографический и электронооптический анализ: Приложения. М.: Металлургия, 1970. - 108 с.

69. Manory R. Effect of deposition parameters on structure and composition of reactivity sputteked TiNx films // Surface Engineering. 1987. - V. 3, № 3. - P. 233238.

70. Холек X. Двойные и тройные карбидные и нитридные системы переходных металлов: Справочник/ Пер. с нем. Е.К. Бухмана; Под ред. Ю.В. Левинского. М.: Металлургия, 1988. - 320 с.

71. Самсонов Г.В. Нитриды. Киев: Наукова думка, 1969. - 380 с.

72. Лившиц Б.Г. Металлография. М.: Металлургия, 1990. - 336 с.

73. Metin Е., Osman T.I. Kinetics of layer growth and multiface diffusion in ion-nitrided titanium// Metallurgical transactions. 1989. - V.20A. - P. 1819-1831.

74. Ионная химико-термическая обработка сплавов / Б.Н. Арзамасов, А.Г. Братухин, Ю.С. Елисеев и др. М.: Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 1999. - 400 с.

75. Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968. -344 с.

76. Савельев И.В. Курс физики: В 3 т. 2-е изд., перераб. - М.: Наука, 1982. - Т.2: Электричество и магнетизм. Волны. Оптика. - 496 с.125

77. Орир Дж. Физика: В 2 т./ Пер. с англ. А.Г. Башкирова, Ю.Г. Рудым П.С. Баранова; Под ред. Е.М. Лейкина. М.: Мир, 1981. - Т. 1. - 336 с.

78. Люты В. Закалочные среды: Справочник / Пер. с пол. Г.Н. Мехеда: Под ред. С.Б. Масленкина. Челябинск: Металлургия, 1990. - 192 с.

79. УТВЕРЖДАЮ» Директор НИИКМТП МГ/ГУ им. Н.Э.Баумана1. П^тг^ТВЕРЖДАЮ»инженер1. Шиганов И.Н.1. АКТ

80. Представитель ФНПЦ «Салют» Диссертант1. Зам.главного металлурга1. Григорьев B.C.71. Громов В.И.