Влияние ионной имплантации на шероховатость поверхностей и радиус скругления лезвия режущего инструмента тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.01, кандидат технических наук Хахина, Ольга Васильевна

• Хахина, Ольга Васильевна
• кандидат технических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат технических наук Хахина, Ольга Васильевна

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1 АНАЛИТИЧЕСКИЙ ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

1.1 .Особенности работы размерного режущего инструмента.

1.2.Влияние шероховатости рабочих поверхностей размерного режущего инструмента и радиусов режущих кромок на качество обрабатываемых поверхностей.

1.3.Влияние ионной имплантации на качество режущего инструмента.

1.4 Исследование процессов, протекающих в поверхностном слое металла при ионной имплантации.

1.5 Выводы. Задачи исследования.

ГЛАВА 2 МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ 2.1. Процессы, происходящие на поверхности твердого тела при ионной имплантации.

2.1.1 Физическое распыление. Модели физического распыления.

2.2 Моделирование ионной имплантации на ЭВМ.

2.2.1 Классификация моделей.

2.2.2 Реализация модели ППС методом Монте - Карло.

2.2.3 Математическая модель.

2.2.4 Алгоритм решения задачи.

2.3 Влияние диффузии на распределение концентрации примеси по глубине твердого тела.

2.4 Результаты моделирования процесса ионной имплантации.

2.5 Выводы.

ГЛАВА 3 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТЕЙ И ГЕОМЕТРИЮ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА

3.1 Исследование стойкости твердосплавного режущего инструмента.

3.1.1 Выбор состава пучка.

3.1.2 Исследование влияния ионной имплантации на микротвердость.

3.1.3 Исследование влияния ионной имплантации на стойкость режущего инструмента.

3.2 Прогнозирование изменения параметров шероховатости после , ионной имплантации.

3.3 Исследование влияния ионной имплантации на шероховатость поверхности.

3.3.1 Методика исследования ионной имплантации на шероховатость поверхности.

3.3.2 Результаты экспериментального исследования влияния ионной имплантации на шероховатость поверхности.

3.4 Исследование влияния ионной имплантаций на геометрию размерного режущего инструмента.

3.4.1 Методика проведения эксперимента по обработке отверстий модифицированным инструментом.

3.4.2 Результаты эксперимента по обработке отверстий модифицированными развертками и влиянию ионной имплантации на радиус скругления режущих кромок.

3.5 Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Влияние ионной имплантации на шероховатость поверхностей и радиус скругления лезвия режущего инструмента»

Среди современных методов поверхностной модификации конструкционных и инструментальных материалов все более возрастающее значение приобретают методы обработки пучками заряженных частиц -потоками низко- и высокотемпературной плазмы, ионными пучками энергией 30 - 300 кэв (ионная имплантация), электронными и ионными пучками с большой плотностью мощности. Ионная имплантация обладает рядом достоинств, обуславливающих ее применения для модификации поверхностных свойств конструкционных и инструментальных материалов. Такими преимуществами являются: высокая степень чистоты процесса; строгий контроль количества внедряемого элемента и отсутствие термодинамических ограничений в легировании; низкая температура процесса и возможность модификации чистовой поверхности изделий вследствие малости изменений их размеров.

Значительный прогресс в развитии фундаментальных основ ионной имплантации в последние 30 лет достигнут благодаря интенсивным исследованиям в области модификации свойств полупроводниковых материалов. Важность технических приложений вызвала к жизни экспериментальные исследования, направленные на изучение фундаментальных физических процессов при ионной имплантации металлов.

Использование метода ионной имплантации, во-первых, позволяет получать исключительно высокую неравновесность и возможность формирования составов сплавов, не доступных традиционным методам их получения. Во-вторых, дает возможность создавать твердые растворы и вторичные фазы, не предсказуемые равновесной диаграммой состояния соответствующих систем. Кроме того, удается достигнуть сочетания высокой плотности дефектов кристаллического строения, уникально большого пересыщения твердых растворов замещения и внедрения, высокодисперсных вторичных фаз с объемной долей, составляющей десятки процентов, что приводит к улучшению износостойкости, коррозионной стойкости, микротвердости готовых изделий.

Шероховатость поверхностей, определяющих профиль режущей кромки инструмента, оказывает существенное влияние на коэффициент трения между передней поверхностью и стружкой, а также между задней поверхностью и обработанной поверхностью детали. Вследствие этого шероховатость исходных поверхностей существенно влияет на стойкость инструмента. При модификации поверхностных свойств режущего инструмента наблюдается значительное увеличение стойкости режущего инструмента, которое происходит в том числе и за счет сокращения первичного этапа его интенсивного износа [15, 17,50,56,59]. Некоторыми исследователями [7,17,50 и др.] наблюдалось изменение шероховатости поверхностей после их облучения ионным пучком. Однако в настоящее время не выявлено закономерностей влияния ионной имплантации на шероховатость поверхности. Так же обстоит дело и с влиянием имплантации ионов на размеры модифицируемых поверхностей. Принято считать, что ионная имплантация не влияет на точность размеров изделия, однако доказательств тому, т.е. результатов экспериментов или аналитических обоснований в литературе нет. В связи с особенностями работы размерного режущего инструмента это является особенно важным.

Целью данного исследования является изучение влияния ионной имплантации на шероховатость модифицируемых поверхностей, исследование изменений радиусов скругления лезвий размерного режущего инструмента, работающего в условиях малых скоростей резания и малой толщины срезаемого слоя. Разработка практических рекомендаций по применению ионной имплантации для повышения износостойкости размерного режущего инструмента.

Работа базируется на основных положениях теории обработки металлов резанием, существенный вклад в развитие которой внесла Томская школа резания, а также на основных положениях физики твердого тела и теории прохождения частиц через вещество.

Результаты выполненной работы изложены в настоящей диссертации, состоящей из введения, трех глав, заключения и приложения.

В первой главе рассмотрены особенности работы разверток, являющихся размерным режущим инструментом. Проведен анализ имеющихся исследований по повышению стойкости режущего инструмента методом ионной имплантации, а также работ посвященных модификации триботехнических свойств деталей узлов трения. Критически рассмотрены имеющиеся данные по влиянию ионной имплантации на геометрические характеристики модифицируемых поверхностей.

Во второй главе дано описание существующих на сегодняшний день в теории распыления физических моделей. На их основе разработана математическая модель процесса ионной имплантации, реализованная методом Монте-Карло (методом статистических испытаний). Изложены возможности программы. Приведены результаты расчетов коэффициентов распыления для инструментальных и конструкционных материалов. Выявлена зависимость коэффициента распыления от угла падения пучка ионов на поверхность, а также от энергии имплантируемых ионов.

В третьей главе приведены результаты исследования влияния ионной имплантации на шероховатость поверхности. Впервые выявлены закономерности изменения радиусов выступов и впадин микронеровностей в зависимости от исходного состояния поверхности и от коэффициента распыления материала. Разработана методика прогнозирования изменения радиусов выступов и впадин микронеровностей поверхности под действием -ионного пучка. На основании результатов экспериментов по влиянию ионной имплантации на микротвердость твердого сплава выбраны режимы имплантации и проведена модификация разверток. Впервые исследовано влияние ионной имплантации на радиус скругления режущих кромок разверток. Приведены результаты обработки отверстий модифицированными развертками, что позволило сформулировать практические рекомендации по применению ионной имплантации для повышения износостойкости разверток.

В заключении сформулированы общие выводы.

Достоверность научных положений, выводов и рекомендаций определяется использованием в работе традиционных методов их решения поставленных задач, адекватностью теоретических моделей экспериментально наблюдаемым закономерностям.

В настоящей работе автор защищает

1. Зависимости коэффициента распыления материалов режущего инструмента и некоторых конструкционных материалов от угла падения пучка ионов на поверхность, полученные в результате моделирования процесса ионной имплантации методом Монте-Карло.

2. Методику прогнозирования изменения параметров шероховатости поверхности после ее модификации пучком ускоренных ионов.

3. Результаты экспериментальных исследований влияния ионной имплантации на шероховатость поверхности.

4. Результаты экспериментальных исследований по изучению износа и стойкости модифицированного твердого сплава.

5. Результаты экспериментального исследования влияния ионной имплантации на радиус скругления режущей кромки инструмента.

Диссертация выполнена на кафедре «Технология машиностроения, резание и инструмент» Томского политехнического университета.

Основные результаты исследований докладывались:

- На Российской научно-технической конференции «Гагаринские чтения», г. Москва, 1993 г.

Заключение диссертации по теме «Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки», Хахина, Ольга Васильевна

3.5 Выводы

1. Получено экспериментальное подтверждение предлагаемой методики расчета ожидаемого изменения параметров профиля поверхности.

2. Установлено, что ионная имплантация не оказывает влияния на среднее арифметическое профиля поверхности, если его величина не более 0,63 мкм. При исходном параметре Ыа<0,63 мкм наблюдается его увеличение после имплантации как ионов азота так и ионов аргона.

3. Впервые выявлено наличие зависимости между изменением радиусов выступов и радиусов впадин микронеровностей и их исходными величинами. Также впервые выявлена зависимость изменения радиусов выступов и впадин микронеровностей от коэффициента распыления материала, эта зависимость аппроксимирована полиномом второго порядка.

4. Профиль поверхности режущего инструмента под действием ионной имплантации приобретает конфигурацию близкую к профилю приработанной поверхности за счет увеличения радиусов выступов микронеровностей. Вследствие этого происходит сокращение периода начального износа, наблюдаемое многими исследователями Увеличение стойкости режущего инструмента происходит, в том числе за счет сокращения периода начального износа.

5. Обнаружено влияние ионной имплантации на размеры обрабатываемого изделия. Радиус скругления лезвия инструмента под действием ионной имплантации увеличивается, если его исходное значение превышает 8-9 мкм.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В целом результаты диссертационной работы кратко можно резюмировать следующим образом.

1. Метод ионной имплантации является одним из эффективных методов повышения стойкости размерного твердосплавного режущего инструмента. Повышение стойкости режущего инструмента обусловлено, в том числе сокращением периода начального износа.

2. Энергия имплантируемых ионов 30 - 40 кэв является наиболее приемлемым режимом, так как при этой энергии коэффициент распыления имеет средние значения, коэффициент отражения достаточно низок, а глубина проникновения ионов в поверхность достаточна для упрочнения поверхностного слоя и составляет для сталей имплантированных ионами азота 60 - 80 нм. Таким образом, при этой энергии имплантация проходит с наибольшей продуктивностью.

3. Получена зависимость коэффициента распыления от угла падения пучка ионов на поверхность.

4. На изменение профиля поверхности основное влияние оказывают процесс . распыления и процесс переиапыления атомов модифицируемого материала

5. Впервые предложена методика расчета ожидаемого радиуса выступов и радиуса впадин микронеровностей после ионной имплантации, которая получила экспериментальное подтверждение.

6. Получены экспериментальные зависимости изменения радиусов выступов и радиусов впадин микронеровностей от исходного состояния профиля поверхности и коэффициента распыления.

7. Выявлено, что после ионной имплантации профиль выступов микронеровностей приближается к оптимальной конфигурации, которая формируется на поверхности на этапе приработки

126 инструмента. Сокращение периода начального износа, наблюдаемое многими исследователями является следствием этого процесса.

8. Выявлено влияние ионной имплантации на радиус скругления лезвия режущего инструмента.

9. На основании проведенных исследований даны рекомендации по дополнению технических требований к размерному режущему инструменту (разверткам), подвергаемому упрочнению ионной имплантацией.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Хахина, Ольга Васильевна, 2000 год

1. Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические основы электронной и ионной технологии. М.: Высшая школа., 1984. - 320 с.

2. Абдрашитов В.Г., Рыжов В.В. Томск, 1991. - 49 е./ Препринт ТНЦ СО РАН № 30.

3. Абдрашитов В.Г. Рыжов В.В. Моделирование распределения примеси при ионной имплантации. Изв. вузов, 1994, №5. С8 23.

4. Абдрашитов В.Г., Рыжов В.В. Томск, 1992. - 46 с./Препринт ТНЦ СО РАН № 14.

5. Абдрашитов В.Г., Рыжов В.В. // Известия вузов. Физика. Томск, 1994. -№5.-С. 8-22.

6. Андреев Г.С. Исследование процессов зенкерования и развертывания аустенитной стали, автореферат дис. ЦНИИТМАШ, Москва, 1952 г.7. Байбарацкая М.Ю.

7. Баранчиков В.И., Жаринов A.B., Юдина Н.Д. и др. Прогрессивные режущие инструменты и режимы резания металлов: Справочник./ Под ред. Баранчикова В.И. М.: Машиностроение, 1990 - 400 с/

8. Бахарев О.Г., Погребняк А.К., Мартыненко В.А., Зекка А., Бруза Р., Ошнер О., Риссел X. Высокодозная интенсивная имплантация многозарядных ионов Al, Ti, С в а-железе//Поверхность 1995- №4. С.52-55.

9. Ю.Бериш Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой: Пер. с англ. -М.: Мир, 1984.-336 с.

10. П.Бокштейн Б.С., Бокштейн С.З., Жуховицкий A.A. Термодинамика и кинетика диффузии в твердых телах. М.: Металлургия, 1974. - 280 с.

11. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии: Пер. с англ. М.: Мир, 1985.-496 с.1Z6

12. Брюхов В.В. Повышение стойкости инструмента методом ионной имплантации по их целевому назначению, дисс. канд. техн. наук.//ТПИ.-Томск, 1986.-224 с.14. Брюхов В.В.15.Брюхов В.В.

13. Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Темкин М.М. Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. М.: Энергоатомиздат, 1985. - 248 с.

14. Весновский O.K. Повышение стойкости инструмента методом ионной имплантации при резании труднообрабатываемых авиационных материалов дисс. канд. техн. наук.//ТПИ. Томск, 1986.- 148 с.

15. Грязнов Б. Т. Повышение износостойкости пар трения скольжения машин микрокриогенной техники методом ионной имплантации: дисс. канд.техн.наук: 05.02.04. Омск, 1984. 164 е.

16. Грязнов Б. Т., Чечуков Н.Т. Исследование ионной имплантации с целью повышения ресурса пар трения. В сб.: Тезисы докладов региональной научно - технической конференции. Омск, 1983. - 65 с.г20. Грязнов Б. Т.21. Грязнов Б. Т.

17. Диденко, А.Е. Лигачев, И.Б. Куракин. Воздействие пучков заряженных частиц на поверхность металлов и сплавов. М.: Энергоатомиздат, 1987. - 184 с.

18. Дибнер Л.Г. Современное оборудование для изготовления и заточки твердосплавного инструмента. В кн.: Рациональное использование твердого сплава в промышленности. Л.:ЛДНТП, 1973. - с. 119-124.

19. Друкарев Г.Ф. Столкновения электронов с атомами и молекулами. Монография. -М.: Наука, 1978. 320 с.

20. Дунин-Барковский И.В., Карташова А.Н. Измерения и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. М.: Машиностроение, 1978. - 230 с.

21. Дыков А.Т., Ясинский Г.И. Прогрессивный режущий инструмент в машиностроении. Л.: Машиностроение, 1972. 224 с.

22. Евстифеев В.В., Иванов И.В., Крылов Н.М., Кудряшова Л.Б. Экспериментальное исследование и компьютерное моделирование рассеяния ионов низких энергий поверхностью металлов.//Поверхность -1993 -ЖЗ. С.35-40.

23. Жилин В.А. Субатомный механизм износа режущего инструмента. Изд. Ростовского ун-та, 1973. - 168 с.

24. Журавлев В.Н., Николаева О.И. Машиностроительные стали. Справочник -4-е изд. Перераб. и доп. М.: Машиностроение, ¡992. 480 с.

25. Ионная имплантация / Ред. Хирвонен Дж. М.: Металлургия, 1985. 391 с.

26. Комбалов B.C. Влияние шероховатости поверхности твердых тел на трение и износ. М.: Наука, 1974. 111 с.ьо

27. Комаров Ф.Ф., Новиков А.П., Соловьев B.C., Ширяев С.Ю. Дефекты структуры в ионио-имплантированном кремнии. Минск: Изд-во Минск. Ун-та, 1990.-318 с.

28. Кумахов М.А., Комаров Ф.Ф. Энергетические потери и пробеги ионов в твердых телах. Минск; Изд-во БГУ, 1979. - 320 с.

29. Комаров Ф.Ф. //"Известия вузов. Физика." 1994. - №5. - С. 13-25.

30. Крагельский И. В. Молекулярно механическая теория. - В кн.: Трение и износ в машинах, т.З. -М. -Л.: Изд. АН СССР. 1979. - с 178 -183.

31. Лоладзе Т.Н. Износ режущего инструмента. М.: Машгиз, 1958. 355 с.

32. Лусников A.B. Поверхностный механизм распыления. ЖТФ, 1981, т. 51, с. 62.

33. Макаров А.Д. Оптимизация процессов резания. М.Машиностроение, 1976. 278 с.

34. Манухин В.В. Распыление однородных материалов легкими ионами.//Поверхность -1993 №3. С. 42-47.

35. Машкова Е.С., Молчанов В.А., Экштайн В. Влияние механической обработки мишени на пространственные распределения распыленного вещества// Поверхность 1996. - №1. - С. 51.

36. Машкова Е.С., Молчанов В.А., Фаязов И.М., Экштайн В. Экспериментальное и компьютерное изучение угловой зависимости коэффициента распыления графита// Поверхность-1994.-№2.-С.33.

37. Мейер Дж. Ионное легирование полупроводников. М.: Мир, 1973. - 296с.

38. Михайлов Г.А. Некоторые вопросы теории методов Монте-Карло. Новосибирск: Наука, 1974. 30 с.

39. Молчанов В.А., Тельковский В.Г. ДАН СССР. 1961,т.136, с. 801.

40. Мудров. Численные методы для ПЭВМ на языках Бейсик, Фортран и Паскаль. Томск.: МП "Раско" , 1991. - 272 с.

41. Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Прокопенко В.Б., Маркеев A.M., Врублевский А.Р., Куликауска B.C. Ионно-лучевое перемешиваниеатомов и формирование химических связей на границе MoSx/57Fe.// Поверхность 1994 - №1. С.85.

42. Падюков К.Н. Разработка и исследование метода повышения износостойкости твердосплавных режущих инструментов путем корпускулярного легирования. Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Томск, 1980. - 192 с.

43. Плетнев В.В., Семенов Д.С., Тельковский В.Г. // Поверхность 1983. № 5. С.5.

44. Поворознюк С.Н., Полещенко К.Н., Кульков С.Н., Вершинин Г.А.//Поверхность. 1995. № 11. С. 74

45. Поворознюк С.Н., Полещенко К.Н., Вершинин Г.А., Орлов П.В. // Поверхность . 1999, № 5-6.С. 69-72

46. Полетика М.Ф., Полещенко К.Н., Поворознюк С.Н., Губкин Н.И. //. Физические процессы при резании металлов: Сб. науч. трудов. Волгоград: ВОЛГТУ, 1994. С.70.

47. Полетика М.Ф. Микроструктура и микротвердость в зоне резания при работе резцом с фаской «Известия Томского политехнического ин-та», 1957, т 85.

48. Полетика М.Ф., Падюков К.Н., Лозинский Ю.М., Поверхностное ионное легирование режущего инструмента. В кн.: Прогрессивные технологические процессы в инструментальном производстве. М., ЦП НТО МАШПРОМ, 1979. С. 276-277.

49. Полещенко К.Н.Физико-механические явления при резании титановых сплавов имплантированным инструментом//ТПИ, 1990. 241 с.

50. Полещенко К.Н., Вершинин Г.А., Геринг Г. и. и др. // Весник Омского унта. 1996. №2. С 39.

51. Поут Дж. Ионная имплантация и лучевая технология/ Под ред. Вильямса Дж. Киев: Наук, думка, 1988. - 358 с.

52. Ракитин В.И., Первушин В.Е. Практическое руководство по методам вычислений с приложением программ для персональных компьютеров: Учеб. пособие. М.: Высш.шк., 1998. - 383 с.

53. Резников А.Н., Резников Л.А. Тепловые процессы в технологических системах М.: Машиностроение, 1990. - 232 с.

54. Риссел X., Рунге И. Ионная имплантация: пер с нем. Климова В.В., Пальянова В.Н./ Под ред. Гусевой М.И. М.: Наука. 1983. - 359 с.

55. Рудзит Я.А., Одитис И. А. Опараметрах нерегулярной шероховатости поверхности. Приборостроение, 1972, вып. 8. Рига.

56. Рыжов Э.В., Чистов В.Ф., ильицкий В.Б. Влияние алмазно-абразивной обработки на качество поверхности и контактную жесткость. Алмазы, 1973, №7.

57. Самсонов Г.В., Винницкий И.М. Тугоплавкие соединения. Справочник. 2-е изд. М: Металлургия, 1986. - 560 с.

58. Семенченко И.И., Матюшин В.М., Сахаров Г.Н. Проектирование металлорежущих инструментов. М.: Машгиз, 1962. 952 с.

59. Серая Е.А. Методика определения параметров оптимальной шероховатости деталей при ремонте двигателей тракторов сельскохозяйственного назначения. Автореф. канд. дисс. М., 1971.

60. Смирнов Б.М. Физика атома и иона. М.: Энергоатомиздат, 1986. - 216с.

61. Соболь. Метод Монте-Карло. М.: Наука, 1978. - 46 с.

62. Солонин И.С. Статистичечкие исследования точности и чистоты обработанной поверхности при развертывании чугуна и стали твердосплавным разверткамй. Труды УПИ, сб №50, Свердловск, 1956.

63. Сотников.//Поверхность. 1991. - №11. - с. 25-35.

64. Старков В.К. Обработка резанием. Управление стабильностью и качеством в автоматизированном производстве. М.Машиностроение, 1989.296 с.

65. Структура и свойства металлов и сплавов. Кристаллическая структура металлов и сплавов. Справочник. Барабаш О.М., Коваль Ю.Н. Киев: Наукова думка, 1986 - 598с.

66. Структура и свойства металлов и сплавов. Тепловые свойства металлов и сплавов. Справочник. Лариков Л.Н., Юрченко Ю.Ф.- Киев: Наукова думка, 1986. - 437 с.

67. Структура и свойства металлов и сплавов. Свойства облученных металлов и сплавов. Справочник. Шалаев A.M. Киев: Наукова думка, 1985. - 308 с.

68. Структура и свойства металлов и сплавов. Механические свойства металлов и сплавов. Справочник. Тихонов Л.В., Кононенко В. А. Прокопенко Г.И., Рафаловский В.А. Киев: Наукова думка, 1986. - 566 с.

69. Структура и свойства металлов и сплавов. Диффузия в металлах и сплавах. Справочник. Лариков Л.Н., Исайчев В.И. Киев: Наукова думка, 1987. -510 с.

70. Углов В.В., Ходасевич В.В., Русальский Д.П., Косько И.В. Изменение механических свойств стали Р6М5 в результате двойной имплантации. /III международная конференция

71. Филиппов Г.В. Режущий инструмент. Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1981. 392 с.

72. Фирсов О. Б. О зависимости распыления мишени от угла падения бомбардирующих частиц. ДАН СССР, 1969, т. 189, с. 302.

73. Фрулин Ю.Л. Комплексное проектирование инструментальной оснастки -М.: Машиностроение, 1987. 344с.8 5.Характеристики микрогеометрии, определяющие контактное взаимодействие шероховатых поверхностей (методика определения) М.: НИИМАШ, 1973.-82 с.

74. Четвериков С.С. Металлорежущие инструменты (проектирование и производство). М.: Высшая школа, 1965.731 с.

75. Шаркеев Ю.П., Диденко А.Н., Козлов Э.В. Дислокационные структуры и упрочнение ионно-имплантированных металлов и сплавов. Известия вузов. Физика, 1994, №5. С 92 109.

76. Шорин B.C., Соснин А.Н. Обратное рассеяние быстрых ионов на тонких пленках с поверхностной шероховатостью.// Поверхность -1993-№3. С 4956.

77. Шулов В.А. Влияние ионной имплантации на химический состав и структуру поверхностных слоев жаропрочных сплавов. Известия вузов. Физика, 1994, №5. С 72 92.

78. Якобсон М.О. Точность и шероховатость при обработке отверстий//СТИН -№10- 1949.

79. Almen О.,Bruce G.,Nucl. Instrum. Methods-1961, 11, 257, 279.

80. Biersack J. P., Haggmark L. G.//Nucl. Instr. Meth. 1980. - V. 174. - P. 257 -269.

81. Cheney K.B., Pitkin E. Т., Joum. Appl. Phys.- 1965, 36, 3542.

82. Eckstein W., Verbeek H., Biersack J. P.//J. Appl. Phys. 1980.- V51. - №2. P 1194-1200.

83. Edwin R. P., Journ. Phys. 1973, D 6, 833

84. FetzH.,Zs Phis.- 1942, 119,560.

85. Johnson W. L., Cheng Y. T., Rossum M., Nicolet M.-A.//Nucl. Instr. Meth. -1985.-V.B7/8.-P. 657-665.

86. Littmark U.,FedderS.//Nucl. Instr. and Meth. 1982. V. 194. P. 687.

87. Littmark U., Fedder S. // Nucl. Instr. and Meth. 1982. V. 194. P. 607.

88. Miyagawa Y., Miyagawa S.//Jap. J. Appl. Phys. 1983. - V. 54. - № 12. - P. 7124-7131.

89. Pogrebnjak A.D.//Phys. Stat. Sol. 1990. V. 17. P.17.

90. Schulz F., Wittmaack K.//Rad. Eff. 1976. - V. 29. - P. 31 - 40.

91. SigmundP. //Phys. Rev. 1969. V. 184. P. 383; 1969.V. 187. P. 768.

92. Sigmund P. //Rev. Roum Phys. 1972. V. 17. P. 823, 696, 1079.

93. Sigmund P., Grass Marti A.//Nucl. Instr. Meth. - 1981. - V. 182/183. - P 25-41.

94. Weissmann R., Behrish R. // Rad. Eff. 1973. V. 19. P. 69.

95. Weissmann R., Sigmund P. // Rad. Eff. 1973. V. 19. P. 7.136