Влияние физико-химических операций на процесс формирования исполнительной поверхности микроканальных пластин тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.02, кандидат технических наук Ашхотова, Ирина Борисовна

• Ашхотова, Ирина Борисовна
• кандидат технических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат технических наук Ашхотова, Ирина Борисовна

ВВЕДЕНИЕ.

1. СОСТОЯНИЕ ИССЛЕДОВАНИЙ ПО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКЕ СТЕКОЛ.

1.1. Механическая обработка силикатных стекол.

1.2. Взаимодействие силикатов натрия с водными растворами

1.3. Химическая устойчивость свинцово-силикатных стекол.

1.4. Разрушение стекол в щелочных растворах.

1.5. Выводы к главе

2. МЕТОДЫ И МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЙ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ

2.1. Технология изготовления МКП и объекты исследования.

2.2. Весовые методы изучения кинетики взаимодействия стекол с технологическими растворами

2.3. Измерение оптических параметров стекол.

2.4. Оптическая микроскопия.

2.5. Измерение краевого угла смачивания

2.6. Электронный оже-спектрометр.

3. АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ ПОСЛЕ МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРА

БОТКИ СТЕКОЛ И ЗАГОТОВОК МКП.

3.1. Краевой угол смачивания поверхности конструкционных стекол технологическими растворами.

3.2. Влияние технохимических операций на прозрачность и краевой угол смачивания дистиллированной водой стекол 6Ба4, Мо34 и обрамления НВЗ МКП 18-10.

3.3. Измерение коэффициента прозрачности модельных стекол и обрамления Мо34 на НВЗ.

3.4. Органические примеси на поверхности конструкционных стекол микроканальных пластин.

3.5. Спектроскопическое исследование поверхности свинцово-силикатных стекол.

3.6. Обработка органическими растворителями модельных стекол и 11133 MKII

3.7. Определение толщины инородного слоя, возникающего на поверхности НВЗ после механообработки.

3.8. Выводы к главе

4. КИНЕТИКА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ МОДЕЛЬНЫХ СТЕКОЛ С ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ РАСТВОРАМИ.

4.1. Некоторые аспекты и представления о химизме процессов на стадии химической обработки заготовок МКП.

4.2. Взаимодействие свинцово-силикатных стекол с технологическими растворами.

4.3. Взаимодействие боратно-бариевого стекла Х230 с техно-химическими растворами

4.3.1. Кинетика травления конструкционного стекла Хв разбавленных растворах HCl

4.3.2. Растворение дисков стекла Х230 растворами едкого натрия.

4.3.3. Влияние концентрации HNO3 на кинетику растворения боратно-бариевого стекла Х

4.6. Выводы к главе

5. ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫТРАВЛЕННОЙ ЗАГОТОВКИ МКП

5.1. Растворение соляной кислотой боратного стекла Х230 в заготовках МКП.

5.2. Некоторые особенности процесса взаимодействия МКП с азотной кислотой в зависимости от концентрации и температуры

5.3. Травление НВЗ МКП в щелочных растворах.

5.4. Химическая устойчивость НВЗ МКП в разбавленных растворах плавиковой кислоты.

5.5. Оценка кривизны поверхности травления и характера травления.

5.6. Выводы к главе

ВЫВОДЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Влияние физико-химических операций на процесс формирования исполнительной поверхности микроканальных пластин»

Актуальность темы. Микроканальные пластины (МКП) - вакуумные многоканальные вторично-электронные умножители потоков заряженных частиц и излучений. МКП - стеклянное изделие, параметры которого во многом определяются состоянием поверхности конструкционного материала -свинцово-силикатных и боратно-бариевых стекол. При изготовлении МКП механические и химические технологические операции разрушают или растворяют стекла, вследствие чего на поверхности образуется слой вторичных продуктов.

Теоретическому и экспериментальному изучению процессов взаимодействия стекол с водными кислотными и щелочными растворами уделяется большое внимание и поэтому в настоящее время накоплен большой экспериментальный материал по кинетике травления. Однако большинство исследований по технологической обработке стекол проведено без привязки к конкретным узлам и приборам вакуумной электроники. Технохимическая обработка боратно-бариевых и свинцово-силикатных стекол, из которых собирается заготовка МКП, изучена недостаточно. Практически отсутствует информация об особенностях механической обработки сборок из этих стекол. Такое положение обусловлено сложностью экспериментального изучения подобных систем и теоретического анализа получаемых результатов.

В связи с этим исследования взаимодействия водных технологических растворов со стеклами, разработка и создание соответствующих методик и устройств для проведения подобных исследований являются актуальными.

Цель работы - изучение влияния механической и технохимической обработок и установление закономерностей, наблюдающихся в процессе формирования рабочих поверхностей МКП.

В рамках поставленной цели решались следующие задачи:

1. Изучение особенностей механической обработки заготовок МКП.

2. Разработка и создание экспериментальных установок и методик для изучения поверхностных характеристик, кинетики травления конструкционных стекол в технологических растворах.

3. Изучение поверхностных характеристик стекол Х230, 6Ба4 и М034.

4. Исследование процессов взаимодействия конструкционных стекол МКП с технологическими растворами, а именно, получение концентрационных и температурных зависимостей вытравливаемой массы дисков боратно-бариевых и свинцово-силикатных стекол для водных технологических растворов.

5. Изучение кинетики травления растворимой жилы стекла Х230 в не-вытравленных заготовках (НВЗ) МКП в щелочных и кислых растворах.

Методы исследований. Электронная оже-спектроскопия. Оптическая, электронная микроскопия. Метод определения краевого угла для жидкостей частично смачивающих поверхность. Весовые методы изучения кинетики взаимодействия конструкционных стекол с технологическими растворами: метод непрерывного контроля массы, "старт-стоповый" метод, метод измерения массы для серии идентичных образцов.

Научная новизна полученных результатов. Установлено влияние механической обработки заготовок МКП на состояние внутренней поверхности каналов и торцовой поверхности МКП. Внутренние поверхности каналов содержат значительное количество углеродсодержащих соединений. На торцовых поверхностях обнаружен инородный слой, состоящий из остатков стекол, органических и кремнийорганических соединений. Впервые показано влияние технохимической обработки на поверхностные характеристики МКП. Установлены концентрационные и температурные зависимости изменения массы конструкционных стекол в кислых и щелочных растворах, по которым оценены константы скорости реакции и энергии активации. Впервые выявлены закономерности взаимодействия жилы растворимого стекла Х230 в невытравленной заготовке МКП с технологическими растворами. Показано, что процесс вытравливания опорной жилы идет по поверхности близкой к сферической и носит кинетический характер. Установлено, что обработка заготовок МКП в щелочных технологических растворах приводит к образованию на торцовых поверхностях МКП игольчатых кристаллов.

Практическая значимость результатов. Отработана методика измерения краевого угла смачивания и поверхностного натяжения дистиллированной воды и водных технологических растворов на стеклах. Полученные в диссертации результаты по механической обработке поверхности позволяют рекомендовать новые способы очистки и промывки стекол и заготовок МКП. Данные по кинетике растворения опорной жилы боратно-бариевого стекла Х230 из заготовок МКП помогут оптимизировать химико-технологические процессы. Полученные результаты также могут быть использованы в различных научно-исследовательских организациях и промышленных предприятиях, занимающихся проблемами разработки и изготовления стеклянных узлов и приборов вакуумной электроники, в частности, в технологии изготовления микроканальных пластин. Результаты исследований диссертационной работы используются при выполнении НИОКР по теме "Миллиард" в ВТЦ "Баспик", г. Владикавказ.

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Методики измерения краевого угла смачивания водными технологическими растворами поверхности стекол.

2. Методики изучения кинетики взаимодействия стекол и заготовок МКП с исследованными растворами различными методами, а именно, метод непрерывного контроля массы, "старт-стоповый" метод, метод измерения массы для серии идентичных образцов.

3. Внутренние поверхности каналов МКП имеют значительную концентрацию углеродсодержащих соединений.

4. Механообработка торцовых поверхностей стекол и заготовок МКП приводит к образованию инородного слоя, структура и состав которого обусловлены органическими составляющими шлифовальной и полировальной суспензий.

5. Свинцово-силикатные стекла 6Ба4 и М034 устойчивы в изученных водных растворах соляной и азотной кислот. Взаимодействие указанных стекол с растворами NaOH характеризуется линейной зависимостью вытравливаемой массы от времени действия, концентрации и температуры.

6. Временные зависимости потери массы дисков боратно-бариевого стекла Х230 в исследованных растворах соляной и азотной кислот, а также щелочных растворах, носят линейный характер.

7. Растворение жилы стекла Х230 в НВЗ МКП идет по поверхности, близкой к сферической. Кинетика растворения указанной жилы практически не отличается от аналогичного процесса для диска стекла Х230 и, поэтому имеет кинетический характер.

Апробация результатов. Основные результаты докладывались на VI научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника" (Гурзуф, 1999 г.), конференции "Естествознание и перспективные технологии 21 века" (Нальчик, 2001 г.), международном семинаре "Теплофизические свойства веществ" (Нальчик, 2001 г.), региональной конференции "Вакуумная электроника на Северном Кавказе" (Нальчик, 2001 г.), российской научно-технической конференции "Приборы и техника ночного видения" (Нальчик, 2002 г.), российской межотраслевой конференции "Тепломассоперенос и свойства жидких металлов" (Обнинск, 2002 г.), Северо-Кавказской региональной научной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых "Перспектива" (Нальчик, 2003 г.), международном научно-практическом симпозиуме "Функциональные покрытия на стеклах" (Харьков, 2003 г.), научном семинаре факультета микроэлектроники и компьютерных технологий КБГУ "Физика поверхности и проблемы микроэлектроники" (Нальчик, 20002003 гг.), научном семинаре Владикавказского технологического центра "Баспик" (Владикавказ, 2000-2003 гг.).

Публикации. Основные результаты диссертационной работы автора изложены в 8 печатных работах.

Объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, заключения и библиографического списка использованной литературы (150). Общий объем диссертации 167 страниц, включая 72 рисунка и 31 таблицу.

Заключение диссертации по теме «Вакуумная и плазменная электроника», Ашхотова, Ирина Борисовна

ВЫВОДЫ

1. Разработана методика измерения краевого угла смачивания и поверхностного натяжения водных растворов на поверхности бариево-боратных и свинцово-силикатных стекол.

2. Измерения оптических характеристик, краевого угла смачивания водными технологическими растворами и оже-спектроскопический анализ для стекол Х230, 6Ва4, МОЭ4, показывают, что на поверхности стекол присутствует инородный слой, возникающий во время механической обработки. Он состоит из осколков стекол вставки и обрамления, органической и кремнийорганической составляющих. Толщина инородного слоя для заготовок МКП больше аналогичной величины на дисках стекол М034 и 6Ба4.

3. Разработаны методики изучения кинетики взаимодействия стекол и заготовок МКП.

4. Исследования по кинетике взаимодействия показали а) изученные свинцово-силикатные стекла устойчивы в водных растворах соляной и азотной кислот; б) взаимодействие этих стекол с растворами ЫаОН характеризуется линейной зависимостью вытравливаемой массы от времени действия, концентрации и температуры; в) временные зависимости потери массы дисков стекла Х230 в исследованных растворах соляной и азотной кислот, а также щелочных растворах, имеют линейный характер.

5. Растворение опорной жилы стекла Х230 в НВЗ МКП идет по поверхности, близкой к сферической. Кинетика растворения указанной жилы практически не отличается от аналогичного процесса для диска боратно-бариевого стекла Х230 и, поэтому в преобладающей степени имеет кинетический характер.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Ашхотова, Ирина Борисовна, 2003 год

1. Щукарев С.А., Мюллер P.JI. Исследование электропроводности стекол. Система В203 + Na20 //ЖФХ. -1930. -Т.1, вып. 6. -С.625-661.

2. On the polishing of glass, particulary the preasion polishing of optical surfaces / Kaller Adolf// Glastech. Ber. -1991. -V.64, №9. -P. 241-252.

3. Sakata H., Okano К. // Verres et Refr. -1969. -V.23, № 6. -P. 685.

4. Silverneil W.L., Goetzinger N.J. // The Glass Ind. -1971. -52, №4-5. -С. 130, 172.

5. Dimbleby V. Turner A. // J.Soc. Gl. Techn. -1926. -V.10. -P. 304.154

6. Дуброво С.К. Взаимодействие стеклообразных силикатов и алюмосиликатов натрия с водными растворами. Сообщение 4. Взаимодействие стеклообразных алюмосиликатов натрия с растворами кислот // Изв. АН СССР. ОХН. -1954. -№ 5. -С.770-777.

7. Титова Г.И., Аспанадзе Г.Т. Влияние различных объемов лимонной кислоты на скорость выщелачивания НБС стекол // Тр. Хабар, гос. пед. ин-та. -Хабаровск, 1989.

8. Жданов С П., Коромальди Е В. // Изв. АН СССР. ОХН. -1959. -С.626.

9. Молчанова О. С., Серебрякова M B. // Тр. ГОИ. -1953. -Т.23, вып. 141. -С.З.

10. Молчанова О. С., Пафомова Л. А. // Тр. ГОИ. -1953. -Т.23, вып. 141. -С.13.

11. Пафомова Л. А.//Тр. ГОИ.-1956.-Т.24, вып. 145.-С.201.

12. Молчанова О. С. // Строение стекла. Изд. АН СССР. Сб. -М., 1955.

13. Гребенщиков И. В., Фаворская Т.А. // Тр. ГОИ. -1931. -T.VII, вып. 72. -С. 1.

14. Гребенщиков И. В. // Проблемы Урало-Кузбасского комбината. Изд. АН СССР. -Л., 1933. -Вып.2. -С.163.

15. Жданов С. П. // Строение стекла. Изд. АН СССР. Сб. -М., 1955.

16. Berger Е. //Glastechn. Вег. -1934. -V. 12. -Р. 189.

17. Жданов С П., Андреев Ю.Н. Использование сорбционного метода при исследовании структуры поверхностных пленок на стекле // Тр. ГОИ. -1956. -Т.24, вып.145. -С.210-216.

18. Жданов С. П. //Тр. ГОИ. -1950. -Т.24, вып. 145. -С. 86.

19. Жданов С П. О структурных особенностях натриевоборосиликатных стекол в связи с их химической устойчивостью. Сообщение 3. Структурные превращения в натриевоборосиликатных стеклах // Изв. АН СССР. ОХН. -1959. -№ 6. -С. 1011-1018.

20. Тудоровская П.А. // Строение стекла. Изд. АН СССР. Сб. -М., 1955. -С. 190.

21. Флоринская И А. // Строение стекла. Изд. АН СССР. Сб. -М., 1955.

22. Порай-Кошиц Б.А. // Строение стекла. Изд. АН СССР. Сб. -М., 1955.

23. Biscoe J., Robinson G.S., Warren B.E. // J.Amer. Cerem. Soc. -1939. -V.2.

24. Weyl W.A. // Phase Transformations in solids. -New York, 1951.

25. Белов H.B. // Строение стекла. Изд. АН СССР. Сб. -М., 1955. -С. 344.

26. Белов Н.В. // Львовское геологическое общество. Минералогический сб. -Львов, 1954. -Вып. 8. -С. 13.

27. Warren B.E. //App. phys. -1942. -V.13. -P.602.

28. Аппен A.A. //ЖПХ. -1953. -T.26. -C.569.

29. Мюллер Р.Л. // ЖТФ. -1955. -Т.25. -С. 236.

30. Grenier G., Westrum E.F. // J.Amer. Chem. Soc. -1956. -V.78. -P.6226.

31. Selected Values chemical thermodinamic properties. Circular of the national reau of Standards. -N500. -Washington, 1952.

32. Kelley K.K. High-temperature Heat-Content, Heat-Capacity and data for inogranic compounds. -Bull. N476. -Washington, 1949.

33. Брицке Э.В., Капустинский А.Ф. Термохимические константы неорганических веществ // Изв. АН СССР. -М., 1949.

34. Кубашевский O.K., Эванс Э. Термохимия в металлургии. -М.:Наука, 1978. -324 с.

35. Гребенщиков И.В., Молчанова О.С. //ЖОХ. -1942. -Т. 12. -С. 11-12.

36. Жданов С. П., Коромальди Е. В. Селективная сорбция на пористыхстеклах // Докл. АН СССР. Физ.химия. -1961.-Т.138, № 4.-С.870-873.

37. TosioAbe //J. Amer. Ceram. Soc. -1952. -V.35. -P.284.

38. Anderson S., Bohon R., Kimplon D. //J. Amer.Cerem. Soc. -1955. -P.370.

39. Жданов С. П., Коромальди Е. В. Влияние малых содержаний А12Оз на химическую устойчивость малощелочных натриевоборосиликатных стекол // Изв. АН СССР. Сер. хим., неорг. и аналит.химия. -1970. -№11. -С.2427-2432.

40. Денисенко О Н., Щеглова О.В., Соболев Е В. Влияние травления стекла в плавиковой кислоте на его упрочнение низкотемпературным ионным обменом // Стекло и керамика. -1976. -№ 2. -С. 13-14.

41. Influence of hydrochloric acid concentration on the leaching lmetics of phase separated sodium borosilicate glasses / Venzel B.I., Svatovskaya L.G.,

42. Melnikova I.W. // Proc. 17 th Int. Congr. Class Beijing., 1995 Vols. -Beijing. -1995. -P. 437-440.

43. Антропова Т.В., Костырева Т.Р., Роскова Г.П. О влиянии размеров фазовых образований на скорость кислотной проработки пластин двухфазных натриево-боросиликатных стекол // Физика и химия стекла. -1985. -Т.11,№5. -С.630-632.

44. Антропова Т.В., Цыганова Т А., Роскова Г.П., Костырева И.Г., Полякова И.Г., Медведева C.B. Некоторые особенности процесса выщелачивания двухфазного щелочно-боросиликатного стекла, содержащего

45. РЬО // Физика и химия стекла. -2001. -Т. 27, №2. -С.268-278.

46. Антропова Т.В., Гилева К.Г., Мазурин О.В. О составе и pH растворов в пористом слое прорабатываемых кислотой двухкаркасных натриево-боросиликатных стекол // Физика и химия стекла. -1986. -Т. 12, №6. -С.742-745.

47. Антропова Т.В., Роскова Г.Ф. Влияние концентрации кислоты на скорость проработки пластин ликвировавших натриево-боросиликатных стекол // Физика и химия стекла. -1986. -Т. 12, №5. -С.583-590.

48. Байкова Л.Г., Пух В.П., Песина Т.И. Влияние химического травления на прочность неповрежденного стекла // Физика и химия стекла. -1983. -Т.9, №6. -С.654-659.

49. Вензель Б.И., Сватовская Л.Г. Изменение структуры пористых стекол при длительном выщелачивании двухфазных натриево-боросиликатных стекол // Физика и химия стекла. -1988. -Т.14, №6. -С.920-923.

50. Вензель Б.И., Сватовская Л .Г., Мельникова И.М. Исследование зависимости скорости выщелачивания двухфазных натриевоборосиликат-ных стекол от концентрации и природы сильных минеральных кислот //Физика и химия стекла. -1998. -Т.24, № 2. -С.187-194.

51. Толмачев В.А., Окатов М.А., Пальчевский В В., Константанова Г.В., Абакумова P.A. Ионообменное выщелачивание свинцовосиликатногостекла в растворах азотной кислоты // Физика и химия стекла. -1987. -Т. 13, №3. -С. 470-472.

52. Антропова Т.В., Шахматкин Б.А., Полякова И.Г. О механизме извлечения Na20 и В2Оз из нестойкой фазы ликвировавших натриевобороси-ликатных стекол в растворы азотной кислоты // Физика и химия стекла. -1988.-Т. 14, №3. -С. 453-462.

53. Шольце X. Изучение поверхностных слоев выщелоченных натриево-кальциевосиликатных стекол методами секционирования и ИК спектроскопии //Физика и химия стекла. -1976. -Т.2, № 1. -С.87-91.

54. Шмит Ю.А. Взаимодействие стеклообразных силикатов и алюмосиликатов натрия с водными растворами. Сообщение 2. Взаимодействие с водными растворами стеклообразного бисиликата натрия // Изв. АН СССР. ОХН. -1954, №2. -С.236-243.

55. Федорова J1.B., Молчанов B.C., Макарова Т.М., Тихонова З.И., Неми-лов С.В. Кинетика начальных стадий выщелачивания свинцовосили-катных стекол кислыми растворами // Физика и химия стекла. -1983. -Т.9, №6. -С. 725-729.

56. Anderson S., Kimpton D. Interference films on glass. II. Some observation during acid leaching of X-ray plate glass. // J. Amer. -1991.

57. Geffcken W., Berger E. // Glastechn. Ber. -1938. -V.16. -P.296.

58. Безбородое M.A. Химическая устойчивость силикатных стекол. -Минск: Наука и техника, 1972. -С. 149.

59. Дуброво С.К. Стекло для лабораторных изделий и химической аппаратуры. -М.: Наука, 1965. -С.66-102.

60. Kinetics of porous glasses dissolution i the alkali solutios Pap . 16 Inc. Congr. Glass. Madrid 4 -9 СМ., 1992. Vol. 4. / Svatovskaya L.G. Venzel G.I. // Bol. Soc. esp. ceram. yvidno. -1992. -V.31,№4. -P.291-196.

61. Молчанов B.C., Прихидько H E. //Изв. АН СССР. ОХН. -1957. -C.1151.

62. Дуброво С.К., Шныпиков А.Д. Химическая устойчивость некоторых силикатных стекол в растворах щелочей // Физика и химия стекла.1976. -Т.2, №5. -С. 460-465.

63. Молчанов B.C., Прихидько Н.Е. Коррозия силикатных стекол щелочными растворами. Сообщение 6. Явление "содовых парадоксов" // Изв. АН СССР. ОХН. -1959. -№6. -С. 975-980.

64. Дуброво С.К. // ЖПХ. -1960. -Т.ЗЗ. -С. 27.

65. Парфенов А.И., Ананьева И.Н., Григорьева O.A., Бекишев К. Изучение коррозии натриевоциркониевосиликатного стекла в растворах едкого натра и соды при температурах 90-150°С //Физика и химия стекла.1977. -Т.З, №6. -С. 638-642.

66. Молчанов B.C., Молчанова О С. // Тр. ГОИ. -1956. -Т.24. -Вып. 145.

67. Дуброво С.К., Шмидт Ю.А. // Изв. АН СССР. ОХН. -1955. -С.403.

68. Dimbleby V., Muirhead С., Turner W. II J. Soc. Glass Techn. -1922. -V.6.

69. Безбородов M.A., Кузьмина A.A. Il Стекольная промышленность. -1939. -№3. -С.29.

70. Maun А. //Glasstechn. Вег. -1937. -V.15. -Р.477.

71. Tarnopol M., Junge А. // J. Amer. Ceram. Soc. -1946. -V.29. -P.36.

72. Тищенко B.E. // ЖПХ. -1929. -T.2, Вып. 3.

73. Wessel H. // Silikat techn. -1952. -V.3. -P.483.

74. Hubbord D., Hamilton E. // J. Res. Nat. Bur. Standards. -1961. -V.27. P.143.

75. Кулов C.K. Микроканальные пластины для электронно-оптических преобразователей. -Владикавказ: СКГТУ, 1998. -196 с.

76. Кулов С.К. Микроканальные пластины. -Владикавказ: СКГТУ, 2000. -112 с.

77. Петровский Г.Т., Кулов С.К., Ягмуров В.Х., Канчиев З.И. О направлениях совершенствования конструкции и технологии МКП // Волоконная оптика: Тез. докл. Всесоюзн. научн. конф. -М., 1990. -С.220-224.

78. Кулов С.К. Технология микроканальных пластин. Рабочие стекла МКП и трансформация их свойств в техническом процессе изготовления МКП. -Владикавказ: СКГТУ, 1999. 4.2. -98 с.

79. Саттаров Д.К. Основы физики МКП, их параметры и применения // Микроканальные пластины: Тез. докл. Всесоюзн. научно-технич. конф. -М., 1983. -С. 9-13.

80. Кулов С.К. Проблемы и пути совершенствования МКП // Электронные приборы и системы в промышленности: Тез. докл. научно-технич. конф. -М., 1985. -Ч. 1. -С. 53-55.

81. Алкацева Т.Д. Закономерности формирования и минимизация дефектов электронного изображения микроканальных пластин: Дис. канд. техн. наук. -Владикавказ, 1999. -247с.

82. A.C. 1469318 (СССР). Устройство для определения поверхностного натяжения жидких щелочных металлов и их сплавов /Алчагиров Б.Б. (СССР). Бюллетень изобр., 1989, №12. с. 188.

83. Иващенко Ю.Н., Богатыренко Б.Б., Еременко В.Н. К вопросу о расчете поверхностного натяжения жидкости по размерам лежащей капли // Поверхностные явления в расплавах и процессах порошковой металлургии. -Киев: Изд. АН УССР, 1963. -С. 391-417.

84. Bashforth FAdams J.C. An attempt to test the theories of capillary action by comparing the theoretical and measured forms // Cambridge: Univ. Press. -1883. -139 p.

85. ЮО.Ниженко В.И., Еременко ВН., Скляренко Л.П. Применение метода лежащей капли для определения поверхностной энергии и плотности жидкостей, смачивающих материал подложки // Порошковая металлургия. -1965. -№6 (30). -С. 36-41.

86. А.С. 1469318 Устройство для определения поверхностного натяжения жидких щелочных металлов и их сплавов. / Алчагиров Б.Б. (СССР). Бюллетень изобр., 1989. -№12. -С. 188.

87. Русанов А.И., Прохоров В.А. Межфазная тензиометрия. -СПб.: Химия, 1994. -400 с.

88. Padday J.F., Pitt A.R. //Proc. Roy. Soc., Ser. A. -1972. -V. 329. -N 1579.

89. Ашхотов О.Г., Ашхотова И.Б., Бугулов Д.Р. Органические примеси на микроканальных пластинах // Микроканальные пластины (теория, технология, применение). -Владикавказ: СКГТУ, 2002. -Вып. 1. -С.262.

90. Елисеев С.А., Поволодский В.А., Смирнов О.М., Терехов А.Н., Харью-зов В.А. Углерод на поверхности восстановленных свинцовосиликат-ных стекол // Физика и химия стекла. -1986. -Т. 12, № 4. -С.461-466.

91. Authinarayanan A., Dudding R. W. Changes in secondary electrons yield from reduced lead glass//Adv. Electron Phys. -1976. -V.40A. -P. 167-181.

92. Броздниченко А.Н., Пронин В.П., Тютиков A.M. Яковлева В.Е. Вторично-эмиссионная эффективность свинцовосиликатных стекол. // IV Всес. симп. по ВЭЭ и ФЭЭ: Тез. докл. по ЭОС и эффективным фотоэмиттерам. -Л., 1981. -С.32-33.

93. Гравель Л.А., Леонов И.Б., Новиков Ю.В., Тоисева М.Н., Тютиков A.M. Об изменении состояния поверхности восстановленных свинцовосиликатных стекол при их термообработке // Физика и химия стекла. -1984. -Т. 10, № 1. -С. 75-79.

94. Washington D., Duchenis V., Polart R., Reastey R.M. Technology of channel plate manufacture // Acta Electron. -1971. -V. 14. -N 2. -P. 201-224.

95. Sakai Y., Mogami A. Study of gain fatigue mechanism in channel electron multipliers // Surf. Sci. -1979. -V. 86. -P. 359-368.

96. Hezel R. Electron and ion beam effects in amorphous Si02 and SisN4 films for electronic devices // Radiat. Effects. -1982. -V. 65. -N. 1-4. -P. 101-106.

97. Gassink R.G., Van Deveren H., Verhoeven J. A. Decrease of alkali signal during Auger analysis of glasses // J. Non-Crystalline Solids. -1980. -V. 37. -Nl. -P. 111-124.

98. Ашхотов О.Г., Ашхотова И.Б. Спектроскопическое исследование поверхности свинцово-силикатных стекол // Вестник Кабардино-Балкарского гос. ун-та. Сер. физические науки. -2002. -Вып.7. -С. 25.

99. Davis L.E., McDonald N.C., Palmberg P.W., Riach G.E., Weber R E. // Handbook of Auger electron spectroscopy, 2nd ed. Physical Electronics Ind. -1976. -253 p.

100. Gallon Т.Е. //Phys. D: Appl. Phys. -1972. -V.5. -P.822-832.

101. Chang C.C. // Surf. sci. -1971. -V.25. -P.53-79.

102. Palmberg P. W. //Anal. Chem. -1973. -V.45A. -P. 549-553.

103. Hall P.M., Morabito J.M., Conley D.K.//Surf. Sci. -1977.-V.62.-P.1-20.

104. Ашхотова И.Б., Платов Э.А., Мусаева Э.Б., Рыбалко В.А. Влияние обработки органическими растворителями базовых стекол и НВЗ МКП // Приборы и техника ночного видения. Тез. докл. Российской науч.-техн. конф. -Нальчик, 2002.

105. Ашхотов О.Г., Ашхотова И.Б., Бугулова И.Р. Растворение боратного стекла Х-230 в разбавленных растворах соляной кислоты // Электронный журнал "Исследовано в России". -2003. -№82. -С.934-940. http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2003/082.pdf

106. Vensel B.I., Svatovskaya L.G., Melnikova I.W. Influence of hydrochloric acid concentration on the leaching lineticsof phase separated sodium boro-silicate glasses // Proc. 17 th Int. Congr. Crlass Beijing., 1995. Vols. -Beijing. -1995. -P. 437-440.

107. Rigbi Z., Schonvald G. The influence of pH on the dissolution rate of phase separated lithium borosilicate glass. // Glass Technol. -1984. -V25, №3. -P.157-158.

108. Чернышова Г.JI., Леликова А.И. Исследование зависимости структуры пористых стекол от условий химической обработки // Исследования в области химической технологии стекла и стеклоизделий. -М., 1986. -С.71-73.

109. Канчиев З.И., Борина Н.П., Макарова Т.М. Удаление растворимой жилы из матрицы МКП // ЖПХ. -1979. -Т.32, №8. -С. 1718-1724.

110. Еремин Е.Н. Основы химической кинетики. М.: Высшая школа, 1976.

111. Ашхотов О.Г., Ашхотова И.Б., Бугулова И.Р. Влияние концентрации РПЧОз на кинетику растворения щелочеборосиликатного стекла // Известия ВУЗов. Северо-Кавказский регион. Естественные науки. -2003. -№4. -С.35-36.

112. Добычин Д.П., Киселева Н. Н. О влиянии термической обработки на-триевоборосиликатных стекол на пористую структуру продуктов их выщелачивания в кислоте // ЖФХ. -1958. -Т. 32, № 1. -С. 27-34.

113. Молчанова О.С. Натриевоборосиликатные и пористые стекла. -М., 1961. -162 с.

114. Титова Г.И., Буркат Т.М., Добычин Д. П. Кинетика выщелачивания на-триево-боросиликатного стекла в кислотах // Физика и химия стекла. -1975. -Т. 1, № 2. -С. 186-189.

115. Чернышева Г.Л., Ботвинкин O.K., Миронова М. Л. Влияние концентрации соляной и серной кислот на кинетику выщелачивания натрие-воборосиликатных стекол//Стекло. Тр. ГИС. -1977. -№2. -С.10-12.

116. Takamori Т., Tomazova М. НС1 leaching rate and microstructure of phase-separated borosilicate glasses // J.Amer. Ceram.Soc. -1978. -V.61. -Nil. -P.509-512.

117. Роскова Г.П., Антропова Т В., Цехомская Т.С., Анфимова И.В. Воздействие растворов кислоты на пластины из двухфазных натриевобороси-ликатных стекол // Физика и химия стекла. -1984. -Т. 10, №3. -С.354-364.

118. Tanaka H., Yazawa T., Eguchi К., Yamaguro T. Effect of sample size and concentration of leaching acid on formation of colloidal silica in porous glass. //J.Ceram. Soc. Japan. -1984. -V.92. -N9. -P.492-497.

119. Дуброво С.К., Шныпиков А Д. Химическая устойчивость некоторых силикатных стекол в растворах щелочей // Физика и химия стекла. -1975. -Т. 2. -Вып. 5.

120. Полина Т.В. Определение влияния замены NaOH на КОН. Научно-технический отчет ВТЦ "Баспик". -Владикавказ: СКГТУ, 1996. -№3/5. -С.96.

121. Ашхотов О.Г., Ашхотова И.Б., Мусаева Э.Б. Взаимодействие стекол с растворами едкого натрия // Микроканальные пластины (теория, технология, применение). -Владикавказ: СКГТУ, 2002. -Вып.1. -С.268-272.

122. Авдеев С.П. Научно-технический отчет Таганрогского радиотехнического университета. -Таганрог, 1998. -256 с.

123. Толмачев В.А., Окатов М.А. и др. Взаимодействие свинцовосиликатно-го стекла с разбавленными растворами плавиковой кислоты // Физика и химия стекла. -1990. -Т. 16. -№1.

124. Ашхотов О.Г., Ашхотова И.Б., Мусаева Э.Б. Химическая устойчивость НВЗ МКП в разбавленных растворах плавиковой кислоты // Вакуумная электроника на Северном Кавказе. Тез. докл. регион, конф. -Нальчик, 2001. -С.43.

125. Кулов С.К. Качество поверхности МКП. Химические свойства поверхности силикатных стекол. -Владикавказ: СКГТУ, 2002. -Ч.З. -С. 87.

126. КЭУ каналовые электродные умножителимжс многожильные стеклянные стержни1. МЗ металлизация заготовокмкп микроканальные пластины1. МКС микроканальные соты1. МО монолитное обрамление

127. НБС натриевоборосиликатные стекла

128. НВЗ невытравленные заготовки

129. НКУ нормальные климатические условия

130. ОВЗ очувствленные заготовки

131. ОЖС одножильные круглые стеклянные стержни1. ПК пограничные каналыпнв приборы ночного виденияпч посторонние частицы

132. РЭС резистивно-эмиссионный слой1. СВ случайная величина

133. СКВО среднеквадратическое отклонение1. СС сотовая структура

134. ССС свинцово-силикатные стекла

135. ТВВ термоводородное восстановление

136. ТКЛР тепловой коэффициент линейного расширения

137. ТХО технохимические операции

138. УСЖ удаление стеклянной жилы

139. ЩБС щелочеборосиликатные стекла

140. ЭЛО электронно-лучевая обработкаэоп электронно-оптические преобразователи