Технология изготовления сверхпроводниковых болометров терагерцового диапазона частот тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, кандидат физико-математических наук Кузьмин, Артем Александрович

• Кузьмин, Артем Александрович
• кандидат физико-математических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Кузьмин, Артем Александрович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ТЕРАГЕРЦОВЫЕ ПРИЕМНИКИ ДЛЯ РАДИОАСТРОНОМИИ.

1.1 Введение.

1.2 Типы терагерцовых сверхпроводниковых приемников.

1.3 Задачи диссертационного исследования.

1.4 Тонкие сверхпроводящие пленки титана для терагерцовых приемников.

ГЛАВА 2. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЕ КРИОГЕННЫХ БОЛОМЕТРОВ С СКП ИЗ ТИТАНА.

2.1 Введение.

2.2 Постановка задачи.

2.3 Методика и оборудование.

2.3.1 Установка магнетронного напыления.

2.3.2. Электронно-лучевая литография.

2.3.3 Резисты и методики формирования функциональных слоев.

2.3.4 Жидкостное травление пленок титана.^.

2.3.5 Теневые маски.

2.3.6. Установка для низкотемпературных измерений.

2.4 Напыление тонких сверхпроводниковых пленок титана.

2.4.2 Экспресс метод измерения критической температуры тонких титановых пленок.

2.4.2 Исследование морфологии титановых пленок в РЭМ.

2.5 Изготовление методом lift-off и исследование тестовых титановых мостиков.

2.6 Описание технологического процесса изготовления одиночного приемного элемента.

2.6.1 Технологическая карта изготовления чипа одиночного приемного элемента.

2.6.2 Низкотемпературные измерения готовых чипов.

2.7 Изготовление тестовых титановых мостиков методом жидкостного травления.

ГЛАВА 3. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЕ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ НИОБИЕВЫХ БОЛОМЕТРОВ.

3.1. Введение.

3.2. Описание концепции применения.

3.3. Описание принципа работы.

3.3.1. Принцип работы. Электрическая вольт-ваттная чувствительность.

3.3.2. Обоснование методики измерения электрической чувствительности болометра и основных параметров.

3.4. Электрические измерения параметров болометра.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Технология изготовления сверхпроводниковых болометров терагерцового диапазона частот»

4.2 Моделирование частотных характеристик конденсатора.113

4.3 Моделирование частотных характеристик витой пары.115

4.4 Моделирование частотных характеристик фильтра.117

4.5 Изготовление фильтра.119

4.5.1 Цифровой шаблон тонкопленочного конденсатора.119

4.5.2 Описание технологического процесса изготовления тонкопленочного конденсатора.120

4.5.3 Корпусирование и монтаж компонент.121

4.6 Экспериментальное исследование частотных характеристик тестовых фильтров.125

ЗАКЛЮЧЕНИЕ.129

ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ.130

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ.132

ПРИЛОЖЕНИЕ А.140

ПРИЛОЖЕНИЕ Б.144

Введение

Актуальность темы

Терагерцовый (субмиллиметровый) диапазон электромагнитного спектра является одним из самых малоизученных на сегодняшний день. Возможность детектирования излучения в этом диапазоне представляет большой интерес как с точки зрения фундаментальных, так и прикладных исследований. В настоящее время активно развивается технология изготовления чувствительных приемников субмиллиметрового диапазона длин волн. Такие приемные устройства, прежде всего, необходимы для решения задач радиоастрономии по исследованию космического микроволнового излучения [1]. Также системы терагерцового видения на основе таких чувствительных приемников могут эффективно применяться для решения задач безопасности и медицинской диагностики (пассивное сканирование).

Одними из наиболее эффективных приемников в субмиллиметровом диапазоне длин волн являются болометры — (прямые детекторы) устройства, у которых чувствительным элементом является поглотитель, нагревающийся под действием излучения. Изменение температуры поглотителя измеряется с помощью какого-либо термометра. Поглощенная мощность отводится через термическую связь в тепловой сток, температура которого поддерживается постоянной. В качестве высокочувствительного термометра в болометрах может использоваться сверхпроводниковый сенсор на краю перехода (СКП), термически связанный с поглотителем. Электрическое сопротивление такого термометра вблизи Тк чрезвычайно сильно зависит от температуры. Измеряя токовый отклик в таком термометре с помощью малошумящего СКВИД -усилителя можно добиться высокой чувствительности. Различают два вида сверхпроводниковых болометров:

• детекторы с СКП, подвешенные на мембранах или на тонких нитях для улучшения теплоизоляции поглотителя [2]; 4

• детекторы, с СКП, включенным в антенну и разогреваемым напрямую током сигнала субмиллиметрового диапазона [3]. В случае детекторов на мембранах, объем поглотителя, а значит, и его теплоемкость нельзя уменьшить ниже некоторого предела связанного с длиной волны поглощаемого излучения. Чувствительность таких болометров, даже теоретически, заметно ниже, чем у болометров, включенных в антенну. Во втором случае поглотитель и СКП - термометр совмещены в одном элементе малых размеров, а излучение подводится от антенны через микрополосковые и копланарные линии. В таких болометрах рабочим телом поглотительа является электронный газ. При низких температурах в сверхпроводнике электроны слабо взаимодействуют с решеткой, и поэтому при поглощении излучения электронный газ разогревается- до температуры выше температуры решетки. Такие детекторы ещё называются болометрами на «горячих электронах». Критическая температура перехода СКП, если он представляет из себя однослойную структуру, может быть подобрана под диапазон работы рефрижератора путем уменьшения толщины пленки. В этом случае проявляется размерный эффект, заключающийся в уменьшении критической температуры сверхпроводника при уменьшении толщины пленки [4].

Теоретические оценки [5] для СКП - болометров, включенных в антенну, показывают, что их предельная чувствительность ограничивается тепловыми шумами в поглотителе. В данном случае мощность эквивалентная шуму определяется выражением:

ЖР = ^4квТ20, где кв — постоянная Больцмана, Т — температура, С? ос уТп— теплопроводность и у - объем поглотителя болометра. При температурах около 300 мК достижимых с помощью сорбционных рефрижераторов на Не3 и при размерах поглотителя 10x1,0x0,04 мкм3 предельная чувствительность М?Р~10"17Вт/Гц1/2. При 40 мК достижимых на рефрижераторах растворения

Не3/Не4 и размерах поглотителя 1,0x0,13x0,04 мкм3 7УЕР~10~21Вт/Гц1/2. Последнее значение близко к пределу, обусловленному квантовым шумом самого принимаемого излучения, включая космический фон. Цель работы

Целью настоящей диссертационной работы являлось:

Разработка технологии изготовления сверхпроводниковых микроструктур из титана с ниобиевыми (сверхпроводящими) и палладиевыми (нормальными) контактами и исследование их электрических и температурных характеристик вблизи края сверхпроводникового перехода. Оптимизация топологии интегральных приемных элементов, состоящих из титанового микропоглотителя, ниобиевых микрополосковых и копланарных линий, планарной двухщелевой антенны и палладиевых контактных площадок, для быстрого изготовления прототипов методом электроннолучевой литографии. Разработка и оптимизация технологического процесса изготовления интегральных приемных элементов с целью получения максимально резкого края сверхпроводникового перехода в титановых микропоглотителях и повышения таким способом их предельной чувствительности.

Разработка технологии изготовления неохлаждаемых тонкопленочных ниобиевых микроболометров для измерений диаграмм направленностей иммерсионных линзовых антенн и отладки квазиоптической системы криогенных приемников методом электродинамического замещения. Измерение их токового отклика, вольт-ватной чувствительности в зависимости от тока смещения и температуры подложки, а также измерение шумовых характеристик таких болометров.

Разработка технологии изготовления и исследование ультраширокополосного фильтра низких частот с полосой 0,1 — 10 ГГц на основе тонкопленочных конденсаторов и витой пары из манганина (ЯС -фильтр) для эффективного подавления шумов и наводок в цепях смещения криогенных болометров. Измерение надежности (пробойного напряжения и утечки) тонкопленочного конденсатора с двуокисью кремния магнетронного напыления в качестве диэлектрического слоя. Измерение заграждающей способности RC-фильтра с помощью векторного анализатора цепей в диапазоне частот от 100 кГц до 26,5 ГГц.

Научная новизна

Разработана устойчивая технология получения тонких сверхпроводящих микроструктур из пленок титана толщиной ~100 нм на кремниевой подложке с использованием различных методов, включая метод «lift-off» с различными органическими масками, жидкостное и ионное травление. Выявлены основные факторы, влияющие на ширину и температуру сверхпроводящего перехода (Тк~ 0,35 К) в таких структурах.

- Впервые изготовлен чип приемного элемента состоящего из титанового СКП микропоглотителя, подводящих и фильтрующих микрополосковых и копланарных линий из ниобия и планарной двухщелевой антенны. Были исследована температурная зависимость сопротивления поглотителя в готовых чипах.

- Впервые изготовлены прототипы неохлаждаемых ниобиевых болометров микронных размеров на теплоизолирующей подложке из SÍO2 методом стандартной «lift-off» литографии. Из электрических измерений оценен отклик (14В/Вт) и шумы такого болометра (NEPy/ «Ю-10 Вт• Гц-1''2), определен оптимальный режим работы по току смещения (I¡,a¡s = 3 мА).

Впервые разработан высокоэффективный ультраширокополосный фильтр низких частот на основе тонкопленочного конденсатора и витой пары из манганина для криогенных терагерцовых приемников. Исследованы его фильтрующие характеристики в диапазоне частот от 100 кГц до 26,5 ГГц.

Практическая ценность работы

Разработанная технология изготовления сверхпроводниковых микроструктур из тонкопленочного титана и ниобия, а так же технология изготовления интегрального чипа одиночного приемного элемента позволят создавать сверхчувствительные матрицы болометров для пассивной радиолокации на частотах терагерцового диапазона (0,3 — 0,7 ТГц). Такие матрицы могут стать основой изображающих радиометров для наземных (БТА, РТ-70) и космических астрономических комплексов, систем безопасности (обнаружение скрытого оружия, взрывчатки и др. под одеждой), медицинской диагностики, контроля окружающей среды и различной продукции.

- Разработанная технология изготовления неохлаждаемых ниобиевых детекторов позволит создавать болометры, работающие при комнатной температуре. В отличие от гетеродинных приемников схема смещения и считывания сигналов в приемниках на основе таких болометров намного проще и дешевле, поскольку не содержит дорогих СВЧ элементов. В то же самое время показано, что чувствительность таких тонкопленочных болометров может достигать значений 1(Т10ВтД/гц. Это примерно соответствует чувствительности оптико-акустического преобразователя (ячейки Голея) в составе ЛОВ-спектрометра, но в отличие от нее неохлаждаемые тонкопленочные монолитные болометры надежнее и проще в изготовлении. Чувствительности предлагаемых комнатных болометров предположительно должно хватить для применения в активных системах радиовидения.

- Изготовленные ультраширокополосные криогенные фильтры низких частот (от 0,1 — 10 ГГц) на основе тонкопленочного конденсатора и витой пары из манганина позволят эффективно подавлять (-50 дБ на 1 ГГц) шумы и наводки в цепях постоянного смещения сверхпроводниковых болометров. Конструкция фильтров и используемые материалы позволяют точно рассчитывать их параметры и гарантируют их независимость от температуры. Такие фильтры могут быть выполнены на одном чипе с приемным элементом и работать при сверхнизкой температуре в непосредственной близости от болометра.

Основные положения, выносимые на защиту

1. Разработана технология изготовления интегральных сверхпроводниковых болометров на основе микроструктур из тонкопленочного титана, что позволяет создать высокочувствительный криогенный детектор терагерцового диапазона частот.

2. Разработана технология изготовления неохлаждаемых ниобиевых тонкопленочных микроболометров на теплоизолирующей подложке из диоксида кремния с чувствительностью 14 В/Вт и NEPl/f «Ю-10 Вт-ГЦ"1/2.

3. Разработана технология изготовления, изготовлен и исследован новый ультраширокополосный криогенный фильтр низких частот с полосой 0,1 — 10 ГГц на основе тонкопленочного конденсатора и витой пары из манганина с Sj2 = -50 дБ на частоте 1 ГГц предназначенные для эффективного подавления шумов и наводок в цепях смещения криогенных болометров.

Личный вклад автора

Работы были выполнены A.A. Кузьминым в соавторстве с сотрудниками лаборатории сверхпроводниковых терагерцовых болометров в ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН.

Автором оптимизирована разработанная C.B. Шитовым топология сверхпроводникового интегрального приемного элемента для полного формирования методом электронно-лучевой литографии, совместно с А.Г. Коваленко и A.C. Ильиным разработана методика их изготовления. Автор принимал участие в проведенных И.А. Коном низкотемпературных измерениях болометров и в обсуждении полученных результатов.

Конструкция неохлаждаемых ниобиевых болометров была разработана A.B. Уваровым, а конструкция криогенного ультраширокополосного фильтра низких частот на основе тонкопленочного конденсатора и витой пары — С. В. 9

Шитовым и О.В. Корюкиным. Технология изготовления ниобевых болометров и RC-фильтра разработаны А.А. Кузьминым.

Совместно с А.В. Уваровым автор проводил измерения электрических характеристик неохлаждаемых болометров. Измерение характеристик RC-фильтра автор проводил лично.

Апробация работы

Результаты представленных в диссертации исследований докладывались на следующих научных конференциях:

• Eighth International Workshop on Low Temperature Electronics, Jena/Gabelbach, Germany, 22-25 June 2008

• The Conference on Millimeter and Submillimeter Detectors and Instrumentation for Astronomy (part of "The SPIE Symposium on Astronomical Telescopes and Instrumentation: Synergies Between Ground and Space"), Marseille, France, 23-28 June 2008.

• 33rd International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, California Institute of Technology in Pasadena, California, USA, 15-19 September 2008.

• Международная научно-техническая конференция «Нанотехнологии и наноматериалы», МГОУ, Москва, 30-31 марта, 1 апреля 2009 г.

• III Всероссийская конференция «Радиолокация и радиосвязь», ИРЭ РАН, Москва, 26-30 октября 2009 г.

Публикации.

Основные результаты исследований отражены в 6 работах (2 статьи в журналах, входящих в Перечень изданий, рекомендованных ВАК Минобразования и науки РФ, 4 тезиса всероссийских и международных конференций), список которых приведен в конце автореферата.

Общий объем, опубликованных по теме диссертации работ составил 45 стр.

Объем и структура диссертации.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, двух приложений, списка публикаций по теме диссертационной работы и списка цитированной литературы из 64 наименований.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Кузьмин, Артем Александрович

Заключение

1. Разработана устойчивая технология получения тонких сверхпроводящих микроструктур из пленок титана толщиной —100 нм на кремниевой подложке с использованием метода «lift-off» и, жидкостного травления с различными масками. Выявлены основные факторы, влияющие на ширину и температуру сверхпроводящего перехода (Гк~ 0,35 К) в таких структурах.

2. С помощью электронно-лучевой литографии изготовлен чип приемного элемента состоящего из титанового СКП микропоглотителя, подводящих и фильтрующих микрополосковых и копланарных линий из ниобия и планарной двухщелевой антенны. Была исследована температурная зависимость сопротивления поглотителя в готовых чипах.

3. Разработана технология изготовления микроструктур из тонкопленочного ниобия (20 нм) на подложке из SiC>2 с золотыми контактами методом «взрывной» литографии.

4. Изготовлены прототипы неохлаждаемых ниобиевых болометров микронных размеров на теплоизолирующей подложке Из электрических измерений оценен отклик (14 В/Вт) и шумы такого болометра (NEPUf »Ю-10 Вт-Гц~1/2), определен оптимальный режим работы по току смещения (hais= 3 мА).

5. Разработана технология изготовления и изготовлен высокоэффективный ультраширокополосный фильтр низких частот на основе тонкопленочного конденсатора и витой пары из манганина для криогенных терагерцовых приемников. Исследованы его фильтрующие характеристики в диапазоне частот от 100 кГц до 26,5 ГГц.

Публикации по теме диссертации

А1]. A.N. Vystavkin, A.G. Kovalenko, S.V. Shitov, A.V. Pestryakov, S.E. Bankov, Yn.N. Kazantsev, V.F. Zabolotny, E.V. Frolova, I.A. Cohn, O.V. Koryukin, A.A. Kuzmin, A.A. Zubovich, A.V. Uvarov, A.S. II'in. Development of ultra low-noise two-polarization 0.3 — 1.5 THz TES bolometer arrays for ground-based and space telescopes //Abstract for Eighth International Workshop on Low Temperature Electronics, Jena/Gabelbach, Germany June 22-25, 2008.

А2]. A.N. Vystavkin, A.G. Kovalenko, S.V. Shitov, A.V. Pestryakov, S.E. Bankov, V.F. Zabolotny, E. V. Frolova, I.A. Cohn, О. V. Koryukin, A.A. Kuzmin, A.A. Zubovich, A.V. Uvarov, A.S. II'in, V.N. Trofimov, A.N. Chernikov, V.F. Vdovin, V.G. Perminov, O.S. Bol'shakov, M.G. Mingaliev, G.V. Yakopov. Development of high sensitive 1.2 mm imaging radiometer with two-polarization antenna- coupled TES-bolometer array for ground-based 6 m optical telescope // Proceedings of SPIE, Volume: 7020, 2008.

A3]. A.H. Выставкин, А.Г. Коваленко, C.B. Шитое, О.В. Корюкин, И.А. Кон, А.А. Кузьмин, А.В. Уваров, А. С. Ильин. Сверхпроводниковые наноболометры - сенсоры на горячих электронах для сверхчувствительных матричных радиометров терагерцового диапазона частот. //Международная научно-техническая конференция «Нанотехнологии и наноматериалы», МГОУ, Москва , 30-31 марта, 1 апреля 2009г.

А4]. А.Н. Выставкин, А.Г. Коваленко, С.В. Шитов, О.В. Корюкин, И.А. Кон, А.А. Кузьмин, А.В.Уваров, А.С. Ильин. Сверхпроводниковые наноболометры - сенсоры на горячих электронах для сверхчувствительных матричных радиометров терагерцового диапазона частот. // III Всероссийская конференция «Радиолокация и радиосвязь», Москва, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН, 26-30 октября 2009 г.

А5]. А.Н. Выставкин, А.Г. Коваленко, С.В. Шитое, О.В. Корюкин, И.А. Кон, А.А. Кузьмин, А.В. Уваров, А.С. Ильин. Сверхпроводниковые наноболометры - сенсоры на горячих электронах для сверхчувствительных матричных радиометров терагерцового диапазона частот. //Радиотехника и электроника, том 55, №6, июнь 2010.

А6]. A.A. Кузьмин. А. Г. Коваленко, С. А. Ковтонюк. Технология изготовления интегральных сверхпроводниковых болометров терагерцового диапазона частот. // Нано- и микросистемная техника, 2010, №10, с. 16-21.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Кузьмин, Артем Александрович, 2011 год

1. Zmuidzinas J., Richards P.L. Superconducting detectors and mixers for millimeter and submillimeter astrophysics // Proc. IEEE. 2004. V. 92, P. 15971616.

2. May Т., Zieger G., Anders S. et al. Passive stand-off terahertz imaging with 1 hertz frame rate // Proc. SPIE. 2008. V. 6949. Paper 6949-OC.

3. Karasik B.S., Pereverzev S. V., Wei J. et al. Antenna-coupled hot-electron direct detectors for submillimeter astronomy // Proc. SPIE. 2008. V. 7020. Paper 7020-0E.

4. Yystavkin A.N., Kovalenko A.G., Shitov S.V. et al. Development of high sensitive 1.2 mm imaging radiometer with two polarization antenna-coupled TES bolometer array for ground-based 6-m optical telescope // Proc. SPIE. 2008. V. 7020. Paper 7020-24.

5. Выставкин A.H., Коваленко А. Г., Кон И. А. К оценке чувствительности болометров, работающих на краю сверхпроводникового перехода // Радиотехника и электроника. 2007. - т. 52, № 4 - С. 224-228.

6. M. Kamionkowski, A. Kosowsky, and A. Stebbins, A probe of primordial gravity waves and vorticity. // Phys. Rev. Lett., vol. 78, pp. 2058-2061, Mar. 1997.

7. U. Seljak and M. Zaldarriaga. Signature of gravity waves in the polarization of the microwave background. // Phys. Rev. Lett., vol. 78, pp. 2054-2057, Mar. 1997.

8. W. Hu and M. White, A CMB polarization primer. // New Astron., vol. 2, pp. 323-344, Sept. 1997.

9. M Kamionkowski and A. Kosowsky. Detectability of inflationary gravitational waves with microwave background polarization. // Phys. Rev. D, vol. 57, pp. 685-691, Jan. 1998.

10. J. E. Carlstrom, G. P. Holder, and E. D. Reese. Cosmology with the Sunyaev-Zel'dovich effect. // Annu. Rev. Astron. Astrophys., vol. 40, pp. 643680, 2002.

11. Sizov, F. THz radiation sensors. // Opto-Electronics Review, Volume 18, Issue 1, 2010, pp. 10-36

12. F. Sizov, Photoelectronics for Vision Systems in Invisible Spectral Ranges, //Akademperiodika, Kiev, 2008. (in Russian).

13. Андреев А.Ф. Теплопроводность промежуточного состояния сверхпроводников, //ЖЭТФ, 1964, т. 46, вып. 5, сс. 1823-1828.

14. A. Semenov, G.N. Gol'tsman, and R. Sobolewski. Hot—electron effect in semiconductors and its applications for radiation sensors. //LLE Review 87, 134— 143 (2001).

15. Kenyon, M., Day, P. K., Bradford, С. M., Bock, J. J. & Leduc, H. G. Progress on background-limited membrane-isolated TES bolometers for far-IR/submillimeter spectroscopy. //Proc. SPIE 6275, 627508 (2006).httpuk/ukatc/proj ects/scubatwo/

16. D. Olaya, J. Wei, S. Pereverzev, B.S. Karasik, J.H. Kawamura, W.R. McGrath, A. V. Sergeev, and M.E. Gershenson, An ultrasensitive hot—electron bolometer for low-background SMM applications. // Proc. SPIE 6275, 627506 (2006).

17. K.D. Irwin and G.C. Hilton. Transition-edge sensors. // Cryogenic Particle Detection, pp. 63-149, edited by C. Enss, Springer, Berlin, 2005.

18. Gershenson, M. E., Gong, D., Sato, Т., Karasik, B. S. & Sergeev, A. V. Millisecond electron-phonon relaxation in ultrathin disordered metal films at millikelvin temperatures. //Appl. Phys. Lett. 79, 2049-2051 (2001).

19. В.Ф. Гантмахер, Электроны в неупорядоченных средах. — М.: ФИЗМАЛИТ, 2003, с. 137.

20. A Peruzzi et al. Investigation of the titanium superconducting transition as a temperature reference point below 0.65 K. // 2000 Metrologia 37 229.

21. L.R. Testardi, L.F. Mattheiss. Electron lifetime effects on properties of A15 and bcc materials. //Physical Review Letters, Vol. 41, №23, 1978

22. W.L. McMillan. //Phys. Rev. 167, 331 (1968)

23. Выставкин А.Н., Шитов С.В. Анализ конструкции приемной матрицы терагерцового диапазона с датчиками на краю сверхпроводникового перехода //Радиотехника и электроника. 2008. Т. 53, № 10. С. 1341-1344.

24. JEOL JSM-6460: http://www.jeol.com/PRODUCTS/ElectronOptics/ScanningElectronMicroscopesS EM/HighVacuumLowVaccum/JSM6610/tabid/523/Default.aspx31 . NanoMaker: http ://nanomaker.com/

25. V.V. Aristov, A.A. Svintsov and S.I. Zaitsev Guaranteed accuracy of the method of 'simple' compensation in electron lithography. // Microelectronic Engineering 11 (1990) 641-644.

26. NANO™ PMMA: http://www.microchem.com/products/pmma.htm34. G3 Spin Coater (SCS):http://www.scscoatings.com/parylene equipment/g3 spin-coater.aspx

27. SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication Volume 1: Microlithography.

28. R. M. Bryce, M. R. Freeman, and M. Aktary. Poly(ether sulfone) as a negative resist for electron beam lithography. // Appl. Phys. Lett. 90, 203110 (2007).

29. P. Dubos, P. Charlat, Th. Crozes, P. Paniez, and В. Pannetier, //J. Vac. Sci. Technol. В 18, 122, 2000.

30. Irina Tanaeva, Low-temperature cryocooling // Technische Universiteit Eindhoven, 2004. Proefschrift.41. http://www.lakeshore.com/temp/rb/rbm.html

31. Технология тонких пленок, Справочник, под. ред. JI. Майссела и Р. Глэнга, Москва, «Советское радио», 1977, 664 с

32. Friebertshauser P. Е. and McCamont J. W., Electrical properties of Titanium, Zirconium, and Hafnium films from 300 К to 1.3 K, // J. Vac. Sci. and Techn. 6 (1968) pp. 184-187.

33. Igasaki Y. and Mitsuhashi H., Crystal structures and electrical properties of Titanium films evaporated in high vacuum.// Thin. Solid Films 51 (1978) pp. 3342.

34. Miller A. J., Luukanen A., Grossman E. N. Micromachined antenna-coupled uncooled microbolometers for terahertz imaging arrays // Proc. of SPIE. 2004. Vol. 5411. Pp. 18-24.

35. MacDonald M. E., Grossman E. N. Niobium Microbolometers for Far-Infrared Detection II IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 1995. Vol. 43. N. 4. Pp. 893-896.

36. Nemarich J. Microbolometer Detectors for Passive Millimeter-Wave Imaging. // Army Research Laboratory report ARL-TR-3460, March 2005.

37. Codreanu I, Fumeaux C., Spencer D. F. and Boreman G. D. Microstrip antenna-coupled infrared detector // Electronic Letters. 1999. Vol. 35. No. 25. Pp. 2166-2167.

38. Richards P.L., Bolometers for Infrared and Millimeter Waves // Journal of Applied Physics. 1994. Vol. 76. No. 1. Pp. 1-24.

39. B.B. Шмидт, Введение в физику сверхпроводников, Из-во МЦНМО, Москва, 2000, § 15.2, Эффект близости, СС. 76-79.

40. V.V. Вогко, V.F. Gantnakherm, and V.A. Gasparov. Temperature dependence of the probability for scattering of charge carriers in molybdenum and tungsten.// Sov. Phys. JETP, 38(3), 604-607 (1974).

41. Anderson P. W. IIJ. Phys. Chem. Solids, 1959, 11, 26-31.

42. MarkowitzD., KadanoffL. P. II Phys. Rev., 1963, 131, 563-575.

43. AbrikosovA. A., Gorkov L. P. //Sov. Phys. JETP, 1961, 12, 1243-1254.

44. LS 730S Von Ardenne Anlagen Technik: http://www.vaat.biz/content/eng/508.htm

45. Apiezon H: http://www.apiezon.com/document-library.htm

46. Kirt R. Williams, Kishan Gupta, Matthew Wasilik. Etch Rates for Micromachining Processing—Part II. // J. of microelectromechanical systems, vol. 12, no. 6, 2003.

47. Выставкин A.H., Шуваев Д.В., Кузьмин U.C. и др. IIЖЭТФ. 1999. T. 88. №3. С. 598.

48. Hélène le Sueur and Philippe Joyez. Microfabricated electromagnetic filters for millikelvin experiments. Il Rev. Sci. Instrum. 77, 115102 (2006).