Технологические основы высокоэффективного электролитического формования тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.01, доктор технических наук Сундуков, Владимир Константинович

• Сундуков, Владимир Константинович
• доктор технических наук
• 1998

Оглавление диссертации доктор технических наук Сундуков, Владимир Константинович

ВВЕДЕНИЕ.

Глава 1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОС А.ПОСТАНОВКА

ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ.

1.1 Факторы, влияющие на получение качественных электрохимических осадков.

1.1.1. Тип электролита и его состав.

1.1.2. Условия электроосаждения.

1.2 Физико-механические свойства осадков. Влияние технологических параметров электролитического осаждения на структуру и физико-механические свойства осадков.

1.2.1. Структура осадков меди.

1.2.2. Шероховатость осадков.

1.2.3. Микротвердость и внутренние напряжения.

1.2.4. Пористость и удельное электрическое сопротивление.

1.2.5. Предел прочности и относительное удлинение.

1.3. Современные методы изготовления сложнофасонных объектов.

1.4. Методы интенсификации электролитического осаждения никеля и №-Со сплавов.

1.4.1. Электролиты для электролитического осаждения №-Со сплава.

1.4.2. Влияние температуры на осаждение никеля и №-Со сплавов.

1.4.3. Влияние гидродинамического режима в электролизере на скорость осаждение металлов и сплавов.

1.4.4. Применение нестационарных электрических режимов при осаждении металлов и сплавов.

1.4.5. Зависимость производительности электроосаждения №-Со сплавов от анодного процесса.

1.5. Теоретические предпосылки математического моделирования процессов ВЭФ.

1.6. Анализ схем и методов электролитического формования.

Выводы. Цель и задачи исследования.

Глава 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ВЫСОКОЭФФЕКТИВНОГО ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО ФОРМОВАНИЯ.

2.1. Расширение технологических возможностей электролитичес кого формования объектов.

2.2. Синтез схем высокоэффективного электролитического формования.

2.3. Разработка схем высокоэффективного электролитического формования.

2.4. Изучение процесса высокоэффективного электролитического осаждения металлов и сплавов.

2.4.1. Оценка предельно допустимых плотностей тока в условиях

2.4.2. Исследование кинетики роста зародышей меди при электрокристаллизации.

2.5. Моделирование электрических и гидродинамических полей при ВЭФ.

2.5.1. Моделирование процесса скоростного электролитического осаждения металлов и сплавов.

2.5.2. Численное моделирование гидродинамических процессов при высокоэффективном электролизе.

2.5.3. Моделирование электрических и гидродинамических полей на поверхности .платы ив отверстиях.

2.5.4. Моделирование схемы последовательного электролитического формования объектов в струе электролита.

2.5.5. Моделирование электрического поля в межэлектродном промежутке при скоростном катодном формовании.

2.6. Исследование точности аддитивного электролитического формообразования.

Выводы.

Глава 3. МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ.

3.1. Методики исследований процесса высокоэффективного элект-' ролитического осаждения металлов и сплавов.г.Л

3.1.1. Методика исследования кинетики электрокристаллизации меди и сплава олово-висмут.

3.1.2. Методика изучения начальной стадии электрокристал -лизациимеди.

3.2. Методики исследования геометрических характеристик осадков, полученных при ВЭФ.

3.2.1. Методика исследования рассеивающей способности электролита в условиях нестационарного электролиза.

3.2.2. Методики оценки геометрических характеристик осадков.

3.2.2.1. Методика исследования влияния электрических и гидродинамических параметров на равномерность распределения осадка.

3.2.2.2. Методика изучения влияния режимов ВЭФ на шероховатость осадков.

3.2.3. Методика изучения влияния режимов ВЭФ на геометрические характеристики осадков при изготовлении СВЧ-модулей.

3.2.4. Методика изучения влияния параметров ВЭФ на точность формообразования.

3.3. Методики изучения физико-химико-механических характеристик осадков, полученных в условиях ВЭФ.

3.3.1. Методика исследований влияния режимов ВЭФ на микротвердость, химический состав и внутренние напряжения осадков.

3.3.2. Методика изучения влияния режимов высокоинтенсивного электроосаждения на структуру осажденной меди.

3.3.3. Методика исследований удельного электрического сопротивления электролитических осадков меди.

3.3.4. Методика проведения комплексных исследований электроосаждения никеля и никель-кобальтового сплава.

Выводы.

Глава 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССА

СОЗДАНИЯ ОБЪЕКТОВ С ЗАДАННЫМИ СВОЙСТВАМИ.

4.1. Экспериментальные исследования кинетики электрокристаллизации металлов и сплавов.

4.1.1. Поляризационные исследования при электрокристаллизации меди.

4.1.2. Поляризационные исследования при электроосаждении сплава олово-висмут.

4.1.3. Поляризационные исследования при осаждении никеля и сплава никель-кобальт.

4.1.4. Исследование кинетики роста зародышей меди при электрокристаллизации.

4.2. Изучение рассеивающей способности электролитов.

4.2.1. Изучение рассеивающей способности электролита меднения.

4.2.2. Изучение микрорассеивающей способности сернокислого электролита меднения.

4.2.3. Изучение рассеивающей способности электролитов для никелирования и осаждения сплава никель-кобальт.

4.3. Исследование влияния режимов ВЭФ на физико-химико-механические свойства осадков.

4.3.1. Изучение микроструктуры электролитических осадков меди.

4.3.2. Экспериментальные исследования удельного электрического сопротивления осадков меди.

4.3.3. Исследование влияния технологических параметров на скорость формообразования рисунка объемных печатных плат.

4.3.4. Исследование микротвердости и пористости осадков меди.

4.3.5. Оценка внутренних напряжений в осадках меди, полученных при высокоскоростном электролизе.

4.3.6. Изучение влияния режимов ВЭФ на физико- механические свойства осадков никеля и никель-кобальтового сплава.

4.3.7. Изучение режимов осаждения покрытий Sn-Bi импульсным током.

4.3.8. Влияние режимов высокоэффективного электролиза на тонкую структуру осадков меди.

4.4. Изучение влияния режимов ВЭФ на геометрические характеристики объектов.

4.4.1. Изучение влияния режимов скоростного электролиза на разновысотность проводников.

4.4.2. Изучение влияния технологических параметров на качество поверхности и точность формирования рисунка.

4.4.3. Изучение спектральной характеристики шероховатости электролитических осадков меди.

4.4.4. Изучение геометрических характеристик СВЧ-фильтров, полученных скоростным осаждением металлов и сплавов.

4.4.5. Исследование точности аддитивного электролитического формообразования в условиях высокоинтенсивного электролиза.

Выводы.

Глава 5. РАЗРАБОТКА И ВНЕДРЕНИЕ ТЕХНОЛОГИЙ И ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ВЭФ ОБЪЕКТОВ С ЗАДАННЫМИ ФИЗИКО-ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКИМИ И

ГЕОМЕТРИЧЕСКИМИ СВОЙСТВАМИ.

5.1.Разработка технологий и оборудования для высокоэффективной гальваностегии.

5.1.1. Разработка схемы ВЭФ при металлизации печатных плат с отверстиями.

5.1.2. Разработка технологических рекомендаций по высокоэффективной металлизации ПП с отверстиями.

5.1.3. Разработка технологического процесса ВЭФ слоев на диэлектрических основаниях.

5.1.4. Разработка оборудования для ВЭФ слоев на диэлектрических основаниях.

5.1.5. Разработка оборудования и технологии для высокоинтен сивного размерного электролитического наращивания медных пленок.

5.1.5.1. Изготовление печатных плат с микропроводниками на жестком основании.

5.1.5.2. Разработка оборудования и технологии для изготовления объемных печатных плат.

5.1.6. Разработка технологии и оборудования для последовательного нанесения слоев никеля и меди на переферию КАОК.

5.2. Разработка технологии и оборудования для создания многослойных систем при изготовлении ФОЭ пресс-форм.

5.2.1. Разработка технологии изготовления деталей сложной пространственной формы.

5.2.2. Разработка технологии изготовления формообразующих элементов пресс-форм для литья деталей с узкими пазами.

5.2.3. Применение метода ВЭФ в инструментальном производстве.

5.2.4. Применение ВЭФ для изготовления оснастки для производства изделий из пластмасс.

5.2.5. Изготовление деталей с повышенными требованиями к точности сформированных геометрических размеров методом

5.2.6. Разработка технологии и оснастки для изготовления волноводов.

5.2.7. Разработка технологии и оборудования для изготовления объектов с микрорельефным изображением.

5.2.8. Разработка способа изготовления объектов с макрольефом.

5.2.9. Изготовление тонкостенных оболочек методом ВЭФ.

5.2.10. Разработка метода и схемы установки высокопроизводительного получения медной фольги.

5.2.11. Разработка технологиии изготовления тонких мембран для электретных микрофонов.

5.3. Изготовление объектов методом переноса.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Технологические основы высокоэффективного электролитического формования»

Расширение области применения электролитического осаждения металлов и сплавов ограничено, во-первых, низкими скоростями осаждения, особенно, при обеспечении заданных или программируемых физико-химико-механических и геометрических характеристик многослойных систем, а во-вторых, отсутствием системного подхода при проектировании или выборе схем электролитического формования. Это связано с недостаточной изученностью процессов и явлений, происходящих в условиях высокопроизводительного электролиза.

Поиску путей повышения скорости осаждения и изучению возможности создания многослойных систем методом электролитического формования посвящены работы Давыдова А.Д., Вячеславова П.М., Каданера Л.И., Козака Е., Кудрявцева Н.Т., Кукоза В.И., Любимова В.В., Мордехая В.М.,Садакова Г.А., Сафранека У.(8а&апек и др.

Однако и в настоящее время актуальность работы заключается:

- в расширении области осуществления процесса электролитического формования;

- в повышении скорости осаждения металлов и сплавов при обеспечении возможности создания принципиально новых изделий с улучшенными технологическими параметрами, конструктивными и эксплуатационными характеристиками за счет управления процессом электролитического формования объектов с заданными или программируемыми свойствами;

- в разработке технологий и оборудования для реализации высокоэффективного электролитического формования (ВЭФ) нового класса объектов.

Подтверждением этого является включение проведенных исследований:

- в Программу ГКНТ СССР по проблеме 016.05;

- Программу ГК по науке и технике Минвуза РФ "Катион";

- МНТП "Восстановление";

- приказ Миноборонпрома № 874 от 07.12.89г. (тема "Рисунок") и приказ № 67 от 24.01.91г., изданный на основании Постановления

СМ СССР № 1278 от 15.12.90г "О Госпрограмме конверсии.";

- госзаказ № 1.22.96; № 1.1.97; № 1.1.98.;

- гранты № 61201 (г. Липецк); № 96463 (г. Москва); № 46602/ГР №11096 (г. С-Петербург), № 112803 (г. Брянск), а также проведение НИР, выполненных по хоздоговорам: № 83-216/4; № 86-516/4; № 87-492/4, № 88-573/4; № 90-883/4; № 46106; № 46205; № 46214; № 46305; № 46403; № 46503; № 46606.

Вопросы теории и практики получения объектов с использованием процесса традиционного электролитического формования подробно изложены в работах П. М. Вячеславова, Г.А. Садакова, Г.А. Волянюк и других авторов. В работах В.В. Любимова, А.Д. Давыдова, Е. Козака и других сделана попытка интенсификации процесса электролитического осаждения металлов и сплавов при формовании объектов.

Процесс электрокристаллизации металлов и сплавов в значительной степени зависит от электрических режимов электролиза, что позволяет без изменения характеристик электролизера получать осадки с различными физико-механическими и химическими свойствами, используя для электролиза периодические токи различной формы с определенными электрическими параметрами. На основании известных зависимостей предельной по качеству осадков плотности тока от состава электролита, температуры, гидродинамических условий в электролизере и характеристик технологического тока определены пути повышения скорости электролитического осаждения металлов и сплавов: интенсивная прокачка электролита в межэлектродном промежутке и электроосаждение импульсным униполярным током прямоугольной формы на малых МЭЗ (менее 1-5мм).

Выбор для процесса высокоинтенсивного осаждения в основном сернокислых электролитов сделан ввиду их низкой стоимости и широкого распространения в промышленности, а также наибольшей экологической безопасности по сравнению с другими электролитами.

Неравномерность распределения плотности электрического тока на сложнопрофильной оправке в процессе электроосаждения вызывает формирование по поверхности детали переменных по величине физико-механических и химических характеристик, приводит к появлению значительных внутренних напряжений в осадке, способных исказить форму и размеры гальванокопии.

Таким образом, решение задачи интенсификации процесса электролитического осаждения металлов и сплавов на оправках сложного профиля связано с задачами получения равномерного или заданного распределения толщины осадка по поверхности оправки и создания у осадка в процессе электролиза набора функциональных характеристик, отвечающего условиям эксплуатации объекта (микротвердости, прочности, химической, тепловой стойкости и т.д.). Из анализа литературных данных следует, что в настоящее время не представляется возможным адекватное теоретическое описание полной взаимосвязи между технологическими параметрами процесса ВЭФ и физико-механическими, химическими свойствами осадков ввиду сложности явлений, свойственных этому процессу. Нахождение зависимостей между технологическими параметрами электролиза и свойствами осадков возможно экспериментальным путем.

В то же время теоретические модели электрохимических процессов, используемые в анодной электрохимической обработке для определения эволюции электродных поверхностей, предложенные А.Д. Давыдовым, Е. Козаком, позволяют определить зависимость геометрической формы осадков от параметров электролиза и прогнозировать свойства осадков с учетом распределения плотности тока на сложнопрофильных поверхностях в процессе электроосаждения.

В диссертационной работе разработаны технологические основы высокоэффективного электролитического формования многослойных систем с заданными или программируемыми физико-химико-механическими и геометрическими характеристиками для решения важной научно-технической проблемы -расширение технологических возможностей электролитического формования в экологически наиболее безопасных условиях производства на базе развития теории и практики гальванообработки для новых областей изменения параметров процесса.

На основании анализа научно-технической и патентной литературы, опыта применения электролитического формования, потребности предприятий обоснована возможность: повышения скорости осаждения металлов и сплавов при создании принципиально новых изделий с улучшенными технологическими параметрами, конструктивными и эксплуатационными характеристиками, расширения области применения ВЭФ, разработки технологий и оборудования для его реализации при создании нового класса объектов.

Использование принципиально новой области параметров (электрических, гидродинамических, кинематических) позволило обеспечить новые качественные и количественные параметры осадков, при создании сложнофасонных объектов с заданными или программируемыми физико-химико-механическими свойствами и геометрическими характеристиками методами высокоэффективного электролитического формования.

Применение системного подхода для анализа свойств и признаков создаваемого объекта, как многослойной системы с распределенными по поверхности и в объеме физико-химико-механическими и геометрическими параметрами позволило выделять наиболее важные характеристики формируемого объекта, определяющие выбор основных показателей, схем и режимов высокоэффективного электролитического формования объектов.

На основании системного анализа свойств и признаков создаваемого объекта, вариантов схем их электролитического формования разработан алгоритм синтеза технологической системы (электролизера) для высокоэффективного электролитического формования объектов, включающий следующие уровни глобальной системы: уровень электролитных сред; уровень схем электролизеров; уровень кинематических схем; уровень гидродинамических схем; уровень режимов; уровень принятия решения.

Для его реализации разработаны математические модели электрического поля в электролизере и межэлектродном зазоре, в том числе, с подвижными границами анода и катода, распределения осадка на поверхности катода для различных схем электролизеров, гидродинамических процессов при различных схемах формообразования, механизма зародышеобразования и послойного формования осадка в условиях ВЭФ объектов с заданными или программируемыми свойствами.

Для создания базы данных, необходимой для реализации метода синтеза схем ВЭФ, а также учитывая невозможность достаточно достоверно предсказать изменение тех или иных свойств осадков в условиях скоростного электролиза, проведен комплекс экспериментальных исследований по изучению влияния параметров электролизера и режимов процесса на характеристики осадков. Установлена взаимосвязь между электрическими, гидродинамическими параметрами процесса и физико-химико-механическими и геометрическими свойствами осадков, полученных, в том числе, для новых диапазонов изменения электрических параметров (плотностей тока до 4А/см в зависимости от ; частоты следования импульсов до ЮОкГц, скважности до 10), гидродинамических режимов (скорость электролита до 10м/с), малых межэлектродных зазоров ( до 0,1мм), в зависимости от решаемой технологической задачи.

Применение предложенного метода синтеза технологической системы позволило разработать технологии изготовления разных классов деталей с новыми показателями качества и производительности, как в области гальваностегии: печатных плат с отверстиями; объемных ПП; печатных плат с микропроводниками; заготовок гибридных интегральных схем ) и СВЧ-модулей; последовательного нанесения функциональных слоев никеля и меди на корпуса алмазных отрезных кругов, так и в области гальванопластики: а) нагревателей, антенных решеток, шлейфов методом переноса; б) медной фольги; микрофольги из никеля для электретных минимикрофонов; формообразующих элементов пресс-форм; матриц для тиснения микрорельефных изображений; волноводов; спецоболочек; объектов с макрорельефом.

Разработанное на модульном принципе с учетом системного подхода к созданию технологии оборудование для ВЭФ позволяет реализовать схемные решения и режимы (электрические, кинематические и гидродинамические), обеспечивающие достижение новых качественных и количественных показателей формируемых объектов.

Автор выражает глубокую благодарность член-корр. АТН РФ, д.т.н., профессору В.В.Любимову, а также всем сотрудникам кафедры ФХПиТ и лаборатории №4 ТулГУ за помощь, оказанную в выполнении работы.

1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ

ИССЛЕДОВАНИЯ.

Электролитическое осаждение металлов и сплавов широко применяется в различных отраслях промышленности для повышения эксплуатационных характеристик деталей, придания им определенных физико-механических и химических свойств, в целях декоративной отделки, а также для получения металлической фольги, выращивания рисунка печатных плат и специальных изделий сложной формы [39,119,166,167,172,176,220]. На рис 1.1 приведены основные направления применения гальваники при создании объектов, наиболее часто создаваемых с применением гальванотехники. Однако эффективность использования гальванотехники ограничивается низкой скоростью процесса осаждения, обусловленной высокими требованиями к качеству покрытий [39,59,89,119,122-124,166,167,172,176,219,220].

Первая попытка реализации способа электрохимического осаждения была осуществлена в Японии [158]. Электроосаждение проводилось на формы сложного профиля с использованием реверсивного тока при прокачивании электролита через узкий зазор между анодом и формой. Данный способ был взят за основу исследователями [57,211,212] и в настоящее время применяется для наращивания толстых осадков меди на фасонных моделях. При этом электролитическое осаждение реализуется в условиях стационарного электролиза на больших межэлектродных зазорах с использованием турбулизированного потока электролита.

Несмотря на высокую точность копирования электролитическим осадком фасонной оправки, сформированный осадок неравномерен по толщине и имеет очень грубую поверхность. Это требует дополнительной механической обрабо-ки изделия сложной формы, полученного электролитическим способом. Недостатком является также то, что электроосаждение осуществляется только на определенную форму катода, соответствующую форме получаемого осадка.

В работе [9] был предложен способ размерного высокоскоротного электрохимического осаждения на плоской электропроводной поверхности с помощью электрода-инстумента, рабочая поверхность которого имеет рисунок формируемого осадка, в условиях циклического режима электролиза с периодической промывкой межэлектродного зазора (МЭЗ). Небольшая величина МЭЗ приводит к сокращению длительности цикла гальваического осаждения и ограничению реализуемой плотности тока, так как процесс электрокристаллизации осуществляется в неперемешиваемом электролите, а отвод одного из электродов во время пауз между импульсами тока для промывки МЭЗ усложняет конструкцию электролизера и повышает трудоемкость изготовления изделий.

Рис.1.1. Объекты и методы их создания Для успешного внедрения в производство способа высокоскоростного размерного электрохимического осаждения необходимо исследование его механизма с целью получения качественных осадков с требуемыми физико-механическими характеристиками и заданной точностью формообразования.

В зависимости от функционального назначения электролитического осадка выбирается тот или иной металл: защитные покрытия - цинк, кадмий, свинец, олово, никель и некоторые сплавы; защитно-декоративные покрытия -медь, никель, хром, кобальт, серебро, золото и их сплавы с другими металлами; твердые и износостойкие покрытия - хром, железо, никель, родий и некоторые сплавы; покрытия с высокой отражательной способностью - никель, хром, серебро, золото, родий; электропроводные покрытия - медь, серебро и некоторые сплавы этих металлов; антифрикционные покрытия - олово, медь, серебро, свинец, индий и их сплавы; покрытия для защиты от цементации - медь и от азотирования - олово.

Электролитическое меднение является одним из наиболее распространенных процессов, особенно, в производстве элементов радиоэлектронной аппаратуры (получение токопроводящего рисунка печатных плат на жестком и гибком основаниях, гибридных интегральных схем (ГИС), СВЧ- фильтров, волноводов) и тонкой металлической фольги.

Качество электролитических осадков меди определяется совокупностью физико-механических свойств, основными из которых являются удельное электрическое сопротивление, внутренние напряжения, шероховатость, пористость, твердость, предел прочности и относительное удлинение.

Свойства качественных осадков меди, полученных в условиях стационар

4 о ного электролиза, то есть при низких плотностях тока(]<0,1 А/см ) из различных электролитов, приведены в табл. 1.1 [172].

Таблица 1.1

Физико-механические характеристики осадков меди

Электролиты меднения Физико-механические характеристики с. ю-2, е, отвн, ну ю-2, рю8, Характерные особенности

МПа % МПа МПа Ом.м

1 2 3 ' 4 5 6 7

Сернокислый (толщина0,3-0,4мм), 4,5-6,3 4-18 -42 или 13,115,9 1,752,02 Высокая прочность цианистыи (толщина0,04-,05мм) 36-55

Сернокислый и цианистый с 3,5-5,5 0-10 -42 или 19,3-35 1,96-60 Высокая твердость органическими и 35 неорганическими добавками

Сернокислый и фторборатный без добавочных агентов 1,8-2,7 15-41 от 5 до 160 4,8-6,4 1,7-1,73 Низкое электросопротивление

Сернокислый при низкой плотности тока 1,4-2,3 8-24 от 0,8 до 0,6 5,6-5,7 1,711,72 Низкие внутренние напряжения

Сернокислый и цианистый с блескообра-зователем 3,6 14-19 20 12,813,7 1,82 Хороший блеск

Сернокислый, фторборатный, пирофосфатный, цианистый с добавками и без них 2,25-3,0 26-39 от - 5 до 29 5,5-10,6 1,731,76 Высокая термопрочность

Заключение диссертации по теме «Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки», Сундуков, Владимир Константинович

Выводы

1. На основании результатов теоретических и экспериментальных исследований разработаны технологии и оборудование для изготовления объектов со специальными физико-химико-механическими и геометрическими характеристиками, позволившие расширить область применения высокоэффективного электролитического формования.

2. Для изготовления объектов методом гальваностегии с применением ВЭФ разработаны технологии и оборудование, построенное по модульному принципу.

В рамках целевой комплексной программы ГКНТ СССР по проблеме 0.16.05 были проведены исследования качества осадков при высокопроизводительном меднении печатных плат с отверстиями и в соответствии с алгоритмом синтеза схем электролитического формования разработан метод изготовления ПП с отверстиями. Разработанный техпроцесс основан на периодическом подключении источника питания к соответствующему аноду по ходу перемещения печатной платы. Это позволило увеличить коэффициент равномерности осадка в отверстии и на поверхности платы до 0,8-0,9.

Для изготовления печатных плат с микропроводниками разработан способ высокоскоростного электролитического осаждения меди на малых межэлектродных зазорах. Использована схема с эквидистантным расположением электродов и периодическим возврато-поступательным перемещением (виба-цией) одного из электродов. При этом на электроды накладывается напряжение в момент их сближения, что способствует локализации процесса осаждения. Сравнительный анализ технологических процессов изготовления печатных плат с микропроводниками показал, что разработанный способ позволяет в 30 раз повысить скорость наращивания токопроводящего рисунка плат с 0,6-1,0 мкм/мин до 20-30 мкм/мин при обеспечении заданных требований ХА0.710.825 КК. В результате экономится значительное количество дефицитной меди ( по сравнению с изготовлением печатных плат с микропроводниками по субтрак-тивной технологии).

На основании системного анализа возможных вариантов схем электролитического формования проводящего рисунка печатных плат на сферическом диэлектрическом основании разработан технологический процесс создания объемных печатных плат. Применение эквидистантной схемы электролизера на малых МЭЗ (до 0,2-0,Змм), возвратно-поступательного перемещения одного из электродов, подачи электролита в зону обработки через специальную подпорную камеру, импульсного режима электролиза с подачей импульса, синхронизированного с перемещением электрода позволяет значительно повысить производительность получения плат (в 80-100 раз), во-первых, за счет повышения скорости гальванического формирования проводников от 0,6-0,8 мкм/мин до 810 мкм/мин (в 10 раз); во-вторых, за счет снижения толщины покрытия (в 10 раз); в-третьих, за счет сокращения операционности при изготовлении объемных плат, обеспечивая получение качественных покрытий с заданной точностью. Кроме того, высокопроизводительный способ аддитивного электролитического наращивания рисунка объемных печатных плат позволяет снизить расход дефицитной меди в 10 раз.

Процесс электролитического формования многослойной системы, состоящей из последовательно нанесенных слоя никеля толщиной 20-3Омкм и слоя меди толщиной 30-50мкм на периферийной поверхности стального корпуса алмазного отрезного круга (КАОК) шириной 1,5мм разработан с помощью метода синтеза схем ВЭФ. Для его реализации были выбраны сернокислые электролиты никелирования и меднения, схема последовательного электролитического формования с использованием неэквидистантного анода, располо-? женного под вращающимся с постоянной скоростью катодом-заготовкой круга. Скорость обмена электролита в зоне обработки (2-3 м/с) определялась окружной скоростью вращения КАОК. Электрический режим, обеспечивающий возможность получения максимальной адгезии слоев, задавал импульсный источник питания со стабилизацией по току. Испытания показали, что применение разработанных техпроцесса и оборудования для многоместного никелирования и меднения корпусов АОК позволяет значительно ( в 3-5 раз в зависимости от режимов никелирования и меднения) увеличить сцепление медноалмазной композиции с корпусом, что увеличивает срок службы АОК в 1,5-2 раза.

На основании проведенных теоретических и экспериментальных исследований процесса ВЭФ, анализа различных схем компоновки гальванических установок разработаны комплексный технологический процесс высокоэффективного электролитического осаждения меди и сплава олово-висмут при создании проводящего рисунка и защитного покрытия ГИС и СВЧ - фильтров (ГИЕФ 50271. 00002) и установка модульной конструкции СГО-1, представляющая собой конвейерную линию для последовательного нанесения проводящего рисунка и защитного покрытия одновременно с двух сторон заготовки.

Для этого в соответствии с разработанным методом синтеза электролизера разработан электролитический модуль, в котором между двумя неподвижными анодами продвигается заготовка со скоростью 30 мм/мин. В малый МЭЗ (около 1мм) через систему отверстий подается под давлением 0,2МПа электролит. Такая схема электролизера позволяет обеспечить скорость осаждения меди и сплава олово-висмут 6 мкм/мин .

Эффективность внедрения достигнута за счет: - повышения производительности обработки в 10-15 раз по сравнению с традиционной технологией обработки отдельных заготовок ГИС; - значительного снижения активных потерь СВЧ - волны до 1,3-1,5 дБ при изготовлении СВЧ-фильтров; - повышения выхода годных деталей до 90-95%; - сокращения расхода дефицитных материалов из-за уменьшения процента брака с 50-70% до 5-10%; - сокращения потребного количества операторов в 3-5 раз и производственных площадей в 5-7 раз при выполнении одинаковой программы выпуска.

3. Использование метода переноса при высокоэффективном изготовлении медной фольги, нагревательных элементов, антенных решеток, печатных плат и шлейфов на гибком основании дало следующие результаты:

Разработанный способ получения медной фольги позволяет повысить скорость электроосаждения в 20-30 раз (до 100 мкм/мин), производительность изготовления фольги - в 15-20 раз (до 200 м/ч) и точность формообразования - в 3 раза, т.к. разброс толщин получаемой по данному способу изготовления медной фольги составил не более 3%. Повышение точности формообразования сокращает расход дефицитной меди на изготовление фольги.

Проведенные исследования по созданию никелевой фольги толщиной до 3 мкм для изготовления мембран электретных миниатюрных микрофонов, результаты испытаний позволили предложить технологию их изготовления с применением ВЭФ, а также показали возможность дальнейшей миниатюризации микрофонов.

4. На основании проведенных исследований процесса ВЭФ и конструкторской проработки совместно с ОАО ЦКБА были разработаны и изготовлены 2 установки СГО-100, а также серия источников питания, обеспечивающих возможность в широком диапазоне варьировать плотность тока, скважность и частоту следования импульсов, в количестве 5 экземпляров для использования в инструментальном производстве метода высокоэффективного гальванопластического формования.

Установка СГО-ЮО, созданная на модульном принципе, позволяет реализовать электрические, кинематические и гидродинамические условия ВЭФ объектов. Например, привод подачи электрода-инструмента обеспечивает одновременное или раздельное возвратно-поступательное движение ЭИ в двух взаимно перпендикулярных плоскостях с одновременным вращением с регулируемой скоростью, в том числе, со сменой направления вращения. Источник питания.работает в режиме постоянного или импульсного униполярного тока и обеспечивает плавную или ступенчатую регулировку амплитуды (от 0 до 100А), частоты (от 0,020 до ЮкГц) и скважности (от 1 до 10) импульсов. Система подачи электролита состоит из двух специальных 3-х ступенчатых насосов, обеспечивающих возможность подачи в рабочую камеру одним или двумя независимыми потоками электролита через набор сопел, насадок, рассеивате-лей или в режиме погружения в полностью заполненной электролитом камере.

В процессе эксплуатации на установках СГО-100 изготовлены и внедрены в производство формообразующие вставки пресс-форм "Ручка АДУ" и "Колесо багги", а также для литья деталей "Пипетка" АЕЩ 2855-4044, АЕЩ 18354212 для производства деталей ЕКТМ 777.147.008 СБ изделия Ml-93, ЕКТМ 777.325.009 СБ изделия ОФ-93, АДГ 013.032.000 СБ и др. Разработанные технологии изготовления вставок пресс-форм и полученные с их применением пресс-формы использовались для изготовления деталей изделий ОФ-93 и "Тулячок" в опытном производстве ОАО ЦКБА.

Применение ВЭФ для электроформования рабочего слоя ФОЭ пресс-формы из никель-кобальтового сплава с заданными физико-механическими характеристиками, не требующими последующей термообработки и механической доводки, позволило снизить время этой операции с 8-10 суток до 8-10 часов, сократить трудоемкость изготовления формообразующих вставок в 7-10 раз по сравнению с механической обработкой.

При изготовлении волноводов для изделий "Уровнемер" и "Дальномер переднего хода" разработанная технология и модернизированное оборудование для высокоинтенсивного осаждения меди позволили сократить в 1,5-2 раза длительность подготовки серийного производства деталей 5СТ ЕКТМ 777 325 009 СБ за счет снижения трудоемкости изготовления медных волноводов в 2,7 раза при уменьшении разнотолщинности полученных заготовок в 1,7 раза, сокращении времени механической доработки в 1,4 раза, сокращения расхода дефицитной меди на 40% .

Разработаны технология и оборудование изготовления и тиражирования матриц из никеля или никель-кобальтового сплава толщиной до 100 мкм и размером фонового или объемного голографического рисунка 200x200 мм, которые могут быть использованы для изготовления рекламной продукции, фирменных знаков, этикеток, упаковки и т.д. как по рулонной, так и по дискретной схемам получения голографических рисунков на лавсане, лавсане с полимерным носителем, бумаге и т.д. Изготовленные на установке образцы матриц из никель-кобальтового сплава с микрорельефным изображением для тиснения голографических рисунков размерами 100x100 мм и 150x150 мм испытаны на установках для тиснения в НИИРепрографии и АО " Рельеф".

Разработан процесс ВЭФ объектов с заданными, в том числе, по определенной программе геометрическими характеристиками. Примером таких объектов служат тонкостенные (50 мкм) оболочки, геометрические характеристики которых задаются с высокой точностью и определяются не только сложностью формы, но и равномерностью толщины осадка на поверхности модели (±3 мкм). Электролитическое осаждение меди осуществляется на специально разработанной установке модульного типа, в состав которой входят : источник импульсного тока; ванна с электролитом и растворимыми анодами; планетарный механизм перемещения моделей, изолирующие экраны.

Область применения ВЭФ расширена за счет разработки метода изготовления моно-и многослойных объектов с макрорельефом путем копирования объемного изображения, полученного на фотополимере Cyrel PLS фирмы "Du Pont", последовательным электролитическим осаждением слоев меди из сернокислого электролита меднения и (или) никеля из электролита для блестящего никелирования на поверхности фотополимера с последующим отделением от фотополимерной матрицы.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В диссертационной работе разработаны технологические основы высокоэффективного электролитического формования многослойных систем с заданными или программируемыми физико-химико-механическими и геометрическими характеристиками для решения важной научно-технической проблемы -расширение технологических возможностей электролитического формования в экологически наиболее безопасных условиях производства на базе развития теории и практики гальванообработки для новых областей изменения параметров процесса.

1. На основании анализа научно-технической и патентной литературы, опыта применения электролитического формования, потребности предприятий обоснована необходимость повышения скорости осаждения металлов и сплавов при обеспечении возможности создания принципиально новых изделий с улучшенными технологическими параметрами, конструктивными и эксплуатационными характеристиками за счет управления процессом электролитического формования объектов с заданными или программируемыми свойствами, расширения области применения, разработки технологий и оборудования для реализации высокоэффективного электролитического формования нового класса объектов

2. Установлена и обоснована принципиально новая область параметров (электрических, гидродинамических, кинематических), позволившая обеспечить новые качественные и количественные параметры осадков, при создании сложнофасонных объектов с заданными или программируемыми физико-химико-механическими свойствами и геометрическими характеристиками методами высокоэффективного электролитического формования .

3. Предложен системный подход для анализа свойств и признаков создаваемого объекта, как многослойной системы с распределенными по поверхности и в объеме физико-химико-механическими и геометрическими параметрами, позволивший выделять наиболее важные характеристики формируемого объекта, определяющие выбор основных показателей, схем и режимов высокоэффективного электролитического формования объектов.

4. На основании системного анализа свойств и признаков создаваемого объекта, вариантов схем их электролитического формования разработан алгоритм синтеза технологической системы (электролизера) для высокоэффективного электролитического формования объектов, включающий следующие уровни глобальной системы: уровень электролитных сред с набором основных химических и физических свойств; уровень схем электролизеров в виде матриц возможных вариантов; уровень кинематических схем, представленный как матрица вариантов движений элементов системы; уровень гидродинамических схем подачи электролита в зону обработки; уровень режимов, обеспечивающий электрические параметры О/лХ физико-химические характеристики среды и гидродинамические показатели (скорость, расход, давление и т.д.); уровень принятия решения, позволяющий из некоторого набора подобных вариантов разработанных схем выбрать наилучший с точки зрения производительности, точности, качества или экономичности.

5. Разработаны математические модели электрического поля в электролизере и межэлектродном зазоре, в том числе, с подвижными границами анода и катода, распределения осадка на поверхности катода для различных схем электролизеров, гидродинамических процессов при различных схемах формообразования, механизма зародышеобразования и послойного формования осадка в условиях высокоэффективного электролитического формования объектов с заданными или программируемыми свойствами, позволившие реализовать синтез схем электролизеров.

6. Для создания базы данных, необходимой для реализации метода синтеза технологической системы в условиях высокоэффективного электролитического формования объектов, а также учитывая невозможность достаточно достоверно предсказать изменение тех или иных свойств осадков в условиях скоростного электролиза, был проведен комплекс экспериментальных исследований по изучению влияния параметров электролизера и режимов процесса на физико-химико-механические и геометрические характеристики осадков. Установлена взаимосвязь между электрическими, гидродинамическими параметрами процесса и физико-химико-механическими и геометрическими характеристиками осадков, полученных, в том числе, для новых диапазонов изменения электрических параметров (плотностей тока до 4А/см в зависимости от; частоты следования импульсов до ЮОкГц; скважности до 10), гидродинамических режимов (скорость электролита до 10м/с), малых межэлектродных зазоров (до 0,1мм), в зависимости от решаемой технологической задачи.

7. На основании предложенного метода синтеза технологической системы разработаны технологии изготовления разных классов деталей с новыми показателями качества и производительности, например:

- в области гальваностегии: печатных плат с отверстиями; объемных ПП; печатных плат с микропроводниками; заготовок гибридных интегральных схем и СВЧ-модулей; последовательного нанесения функциональных слоев никеля и меди на корпуса алмазных отрезных кругов;

-в области гальванопластики: а) нагревателей, антенных решеток, шлейфов методом переноса; б) медной фольги; микрофольги из никеля для элек-третных минимикрофонов; формообразующих элементов пресс-форм; матриц для тиснения микрорельефных изображений; волноводов; спецоболочек; объектов с макрорельефом.

8. Разработанное на модульном принципе с учетом системного подхода к созданию технологии оборудование для высокоэффективного электролитического формования позволяет реализовать схемные решения и режимы (электрические, кинематические и гидродинамические), обеспечивающие достижение новых качественных и количественных показателей формируемых объектов с постоянной или переменной кривизной поверхности, сложной пространственной формы, с наличием макро-и микрорельефа и т.д.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Сундуков, Владимир Константинович, 1998 год

1. Абдулин B.C., Черненко В.И. Выход по току и механические свойства никеля, осаждаемого в импульсном режиме // Защита металлов. 1982. - Т. 18. -N6.

2. Абдулин B.C. Исследование, разработка и промышленное внедрение импульсных режимов никелирование. Дисс. канд. техн. наук. Днепропетровск, 1983.

3. Адлер Ю.П., Маркова Е.В., Грановский Ю.В. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. М.: Наука, - 1976. - 279с.

4. Антропов Л.И.Теоретическая электрохимия.-М.:Высш.школа, 1965.-510 с.

5. Артамонова Е.В., Левит М.Л., Цветков И.В. Применение метода электролитического катодного формования для изготовления вставок пресс-форм и других изделий из никеля и никель-кобальтового сплава: Обзор. М.: НИИ-маш, 1984.-52с.

6. Аренков А.Б. Печатные и пленочные элементы радиоэлектронной аппаратуры. М., 1971.

7. A.C. № 533678 (СССР). Водный электролит меднения для гальванопластического получения изделий. / Н.Т. Кудрявцев и др. Опубл. в Б.И., 1976, № 40.

8. A.C. № 933816 (СССР). Водный электролит меднения. / Е.Е. Кравцов и др. -Опубл. в Б.И., 1982, №21.

9. A.C. № 815979 (СССР). Способ изготовления печатных плат. / В.В. Любимов и др. Опубл. в Б.И., 1981, № Ц.

10. A.C. № 804725 (СССР). Электролит для получения медных покрытий под пайку. /Н.Г. Хабибуллин. Опубл. в Б.И., 1981, № 1.

11. И. A.C. № 761612 (СССР). Электролит меднения. / М.А. Пилне и др. Опубл. в Б.И., 1980, № 33.

12. A.C. № 865994 (СССР). Электролит меднения алюминия и алюминиевых сплавов. / К.К. Намитоков и др. Опубл. в Б.И., 1981, № 26.

13. Андрющенко Ф.К., Орехова В.В., Павловская К.К. Пирофосфатные электролиты. Киев: Техшка, 1965. - 86 с.

14. Антропов Л.И. Теоретическая электрохимия,- М.: Высш. школа, 1975,- 568 с.

15. Баташов К.П. Блестящее меднение в кислых электролитах с применением реверсиванного тока. // Теория и практика блестящих гальванопокрытий. -Вильнюс, 1963, с. 239-245.

16. Батков Г.С., Конопатова А.П., Сергеев Ю.С., Степанов В.Д. Прогрессивные методы формообразования в изготовлении деталей генераторных приборов // Электронная промышленность. 1985.-Вып. 140,-N2.

17. Бахвалов Г.Т. Новая технология электроосаждения металлов. М.: Металлургия, 1966. - 151 с.

18. Беккерт М., Клем X. Справочник по металлографическому травлению. М.: Металлургия, 1979. - 336 с.

19. Белоконь В.И. и др. Микрораспределение тока на катоде при электролизе пульсирующим током // Электрохимия. 1975. - T.l 1. - N.l 1.

20. Белоцерковский О.М., Давыдов Ю.М. Метод крупных частиц в газовой динамике. М.: Наука, 1982. 392 с.

21. Беллман Р., Дрейфус С. Прикладные задачи динамического программирования. / Пер. с англ. под ред. А.А.Первозванского. -М., Наука, 1965,- 457с.

22. Березин Н.Б., Гудин Н.В., Сагдеев К.А. Электроосаждение сплава никель-фосфор из фосфорнокислых электролитов импульсным током.// Гальванотехника и обработка поверхности. 1994. - 3,№4. - С. 18.

23. Березина С.И., Гудин Н.В., Ахметова Р.Л. О механизме катодного восстановления аквакомплексов меди из кислых растворов. Электрохимия, 1969, № 12, с. 1481-1484.

24. Бибиков И.Н. Осаждение металлов на токе переменной полярности. М.-Л.: Машгиз, 1961.-72 с.

25. Бондаренко O.E., Федотов Л.М. Конструктивно-технологические основы проектирования микросборок. М.: Радио и связь, 1988. - 136с.

26. Бондарь В.В., Гринина В.В., Павлов В.Н. Электроосаждение двойных сплавов / Итоги науки и техники. Сер. электрохимия,- М.: 1980. Т. 16.

27. Брайман Б.М. Опыт и перспективы использования в отрасли гальванопластики для изготовления технологической оснастки. Передовой производственный опыт. В кн. 1. М.: ЦИТЭИН, 1985.

28. Бригадиров Г.В., Дунаев В.А. Численное моделирование внутрибаллистиче-ских процессов в теплоэнергетических установках.// Труды 21-го международного пиротехнического семинара. Москва, АНРФ,- 1995 , - С.88-96.

29. Бушминский И.П., Морозов Г.В. Технология гибридных интегральных схем СВЧ. М.: Высш. школа, 1980. - 285с.

30. Ваграмян А.Т., Петрова Ю.С. Физико-механические свойства электролитических осадков. М.:АН СССР, 1960. - 208 с.

31. Ваграмян А.Т., Соловьева З.А. Методы исследования электроосаждения металлов. М.: АН СССР, 1960. - 448 с.

32. Ваграмян А.Т., Царева Ю.С. Внутренние напряжения электролитических осадков никеля и их пористость. Докл. АН СССР, 1954, № 5, с. 807.

33. Ваграмян А.Т. Электроосаждение металлов. М.: АН СССР, 1950. - 200 с.

34. Ваграмян А.Т. и др. Механизм электроосаждения никеля из сернокислых растворов//Докл. АН СССР. 1962. -T.46.-N3.

35. Ваграмян А.Т. и др. Влияние температуры на кинетику разряда ионов никеля // Изв. АН СССР, Сер. химическая. 1964. -Т.24. - N2.

36. Вансовская K.M., Волянюк Г.А. Промышленная гальванопластика / Под ред. П.М.Вячеславова. Д.: Машиностроение, Ленингр. отд.-ние, 1986. - 105 е.-(Б-чка гальванотехника ; Вып. 10)

37. Высокоскоростное электрохимическое формообразование. / А.Д.Давыдов, Е.Козак. М.: Наука, 1990. - 272 с.

38. Высокоскоростной метод электрохимического меднения/ Информационный листок № 358-83, Тула, ЦНТИ, 1983,- 2с.

39. Вячеславов П.М., Волянюк Г.А. Электролитическое формование. Л.: Машиностроение, 1979. 200 с.

40. Вячеславов П.М., Шмелева Н.М. Методы испытаний электролитических покрытий. Л.: Машиностроение, 1977 - 88 с.

41. Галинкер B.C., Миловзоров В.П., Кудра O.K. Электроосаждение меди из триполифосфатного электролита. Защита металлов, 1965, №4, с. 436-437.

42. Гальванопластика в промышленности. М.: МДНТП, 1981.

43. Гальванопластика в промышленности. М.: МДНТП, 1985.-148с.

44. Гегузин Я.Е., Нгуен Чонг Бао, Парицкая JI.H. Эффект Киркендалла при диффузии в электролитических осадках меди. Докл. АН СССР, 1970, № 3, с. 568-571.

45. Гинберг A.M. Влияние ультразвуковых колебаний на электроосаждение металлов. Журн. Всесоюз. хим. общества им. Д.И. Менделеева, 1963, N° 5, с. 502-506.

46. Гинберг A.M., Клячко Ю.А. Зависимость механических свойств электро-осажденной меди от режима электролиза и состава электролита. Металловедение и обработка металлов, 1958, № 2, с. 35-37.

47. Гинберг A.M. Технология гальванотехники. Л.: Судпромгиз, 1962. - 280 с .

48. Гинберг A.M. Технология гальванопластического осаждения меди реверсивным током в ультразвуковом поле. // Гальванопластические методы покрытий и их применение. М., 1967, с. 67-73.

49. Гринберг A.M., Федотова Н.Я. Ультразвук в гальванотехнике. М.: Металлургия, 1969.-208 с.

50. Глесстон С. Введение в электрохимию. М.: И-Л, 1951. - 768 с.

51. Гнусин Н.П., Коварский Н.Я., Федотьев Н.П. Шероховатость при электроосаждении меди из кислых сульфатных растворов. Журн. прикл. химии, 1965, № 11, с. 2464-2469.

52. Гнусин Н.П., Коварский Н.Я. Шероховатость шишковатых медных покрытий из сульфатных растворов. Защита металлов, 1966, № 2, с. 227-231.

53. Гнусин Н.П., Коварский Н.Я. Шероховатость электроосажденных поверхностей. Новосибирск: Наука, 1970 - 236 с.

54. Горбачев C.B. Влияние температуры на электролиз как на кинетический метод исследования природы электрохимических процессов. // Труды VI совещания по электрохимии. М., 1959, с. 61-71.

55. Горбунова K.M., Сутягина A.A. О механизме влияния переменного тока на строение осадков меди. Журн. физ. химии, 1955, № 3, с. 542.

56. Горелик С.С., Расторгуев Р.Н., Скачков Ю.А. Рентгенографический и элек-троннооптический анализ. М.: Металлургия, 1979. - 250с.

57. Давыдов А.Д., Левит М.Л., Цветков И.В. Высокоскоростное электрохимическое выделение меди. Электрохимия, 1982, № 9, с. 1170-1173.

58. Дамаскин Б.Б., Петрий O.A. Введение в электрохимическую кинетику. М.: Высш. школа, 1983. - 400 с.

59. Дамаскин Б.Б., Петрий O.A. Основы теоретической электрохимии. М.: Высш. школа, 1978. - 240 с.

60. Дамаскин Б.Б. Принципы современных методов изучения электрохимических реакций. М.: МГУ, 1965. - 104 с.

61. Деванатхан М.А., Гурусвами В. Исследование массопереноса в проточных электролитах. 1. Режим ламинарного течения. // Электрохимия. 1971. - Т.7. -N.12.

62. Деванатхан М.А., Гурусвами В. Исследование массопереноса в проточных электролитах. 2. Режим турбулентного течения. // Электрохимия. 1971. -Т.7. - N.12.

63. Демчук И.С. Ультразвуковая интенсификация технологических процессов. -М.-Л.: Машгиз, 1960. 89 с.

64. Диченский Б.А. Транзисторный ключ постоянного тока,- Радио.,1988.,N1, с.44-45.

65. Друченко В.А. Применение ультразвука в гальванотехнике: Тематический обзор. Киев: АН УССР, 1964. - 96 с.

66. Елинек Т.В. Успехи гальванотехники. Обзор мировой литературы за 1990 -1991 г.г. /Гальванотехника и обработка поверхности. М.: 1992. -Т.1. N3 - 4. -С. 7-26.

67. Елинек Т.В. Успехи гальванотехники. Обзор мировой литературы за 1992 -1993 г.г. /Гальванотехника и обработка поверхности. М.: 1994. Т.З - N 2. - С. 5-30.

68. Жамогорцянц М.А. и др. К вопросу о влиянии величины pH раствора на процесс электроосаждения металлов группы железа в интервале температур 25 75° С// Электрохимия. - 1980. -Т.14. -N1.

69. Жамогорцянц М.А. и др. О диффузионных ограничениях процесса электроосаждения никеля при высоких температурах//Электрохимия. 1975. -Т.9.-N.1.

70. Заблудовский В.А. Влияние импульсного тока на текстуру и свойства никелевых покрытий // Защита металлов, 1983. Т. 19,- N5.

71. Заблудовский В.А. Исследование структуры и свойств никелевых покрытий, полученных при нестационарном электролизе: Диссертация канд. техн. наук. Днепропетровск, 1981.

72. Захидов P.A. Применение струйной гальванопластики для получения гелиотехнических поверхностей. // Гальванопластика в промышленности. М.: МДНТП,- 1976.-148С.

73. Заявка № 2062681 (Великобритания) Способ нанесения медного покрытия на печатные платы или другие неметаллические подложки. Опубл. 28.05.81.

74. Заявка № 2009238 (Великобритания) Кислый электролит меднения. Опубл. 13.06.79.

75. Заявка № 1529187 (Великобритания) Усовершенствования гальванического способа нанесения покрытий. Опубл. 18.10.78.

76. Заявка № 2856682 (ФРГ) Гальванический способ получения медной пленки и используемая для этой цели гальваническая ванна. Опубл. 19.07.79.

77. Заявка № 55-38037 (Япония). Высокоскоростной способ нанесения электролитического покрытия. Опубл. 01.10.80.

78. Заявка N57-58438 Япония, МКИ С25Д 5/18. Заявлено 76.02.01. Опубл. 82.12.09. N3-1461.

79. Заявка N55-43513 Япония, МКИ С25Д 5/18. Заявлено 76.05.07. Опубл. 80.06.11. N3-1088.

80. Зенкевич О. Метод конечных элементов в технике. М.: Мир, 1975. - 541 с.

81. Зенкевич О., Чанг И. Метод конечных элементов в теории сооружений и в механике сплошных сред. М.: Недра, 1974. 240 с.

82. Иванов В.Т., Гусев В.Г., Фокин А.Н. Оптимизация электрических полей, контроль и автоматизация гальванообработки.- М.: Машиностроение, 1986, -211 с.

83. Иванова Н.Д., Болдырев Е.И. Использование фторсодержащего электролита меднения в гальванопластике. // Гальванопластика в промышленности. М., 1981, с. 3-6.

84. Ильин В.А. Технология изготовления печатных плат. Л., 1984. - 80 с.

85. Импульсный электролиз / Костин H.A., Кублановский B.C., Заблудов-ский A.B.; Отв.ред. А.В.Городынский; АН УССР, Ин-т общ. и неорган, химии,- Киев: Наук.думка, 1989,- 168 с.

86. Исследование влияния режимов высокоскоростного импульсного электролиза на удельное электрическое сопротивление осадков меди./ В.В.Любимов, В.К.Сундуков, Ю.А.Белобрагин, А.М.Новоселов. Деп.в ОНИИТЭХИМ, г.Черкассы. 1983, № 809хп-Д83, 12с.

87. Исследование влияния режимов высокоскоростного импульсного электролиза на остаточные напряжения в осадках меди / В.В.Любимов, В.К.Сундуков, Ю.А.Белобрагин, А.М.Новоселов. Деп.в ОНИИТЭХИМ, г.Черкассы. 1983, № 808хп-Д83, 12с.

88. Исследование возможности получения рельефно-фазовых голограмм на галогенидосеребрянных фотоматериалах.//А.Д.Гальперн и др.-ОМП,1985, N5,- С.4-5.

89. Каданер Л.И. Гальваностегия. Киев: Техшка, 1964. - 312 с.

90. Каданер Л.И. Новейшие достижения в области гальваностегии. Харьков: ХГУ, 1951.- 182 с.

91. Казначей Б.А. Гальванопластическое изготовление изделий и инструмента. -Журн. всесоюз. хим. общ-ва им. Д.И. Менделеева, 1980, № 2, с. 192-202.

92. Казначей Б.А. Новые электролиты в гальванопластике. // Гальванопластические методы покрытий и их применение. М., 1967, с. 3-39.

93. Казначей Б.Я. и др. Гальванотехника в механической и магнитной записи электрических сигналов. М., 1964.

94. Капустин A.M.,Трофимов А.Н. Электрокристаллизация металлов в ультразвуковом поле. М.: Наука, 1969. - 72 с.

95. Касти Дж., Калаба Р . Методы погружения в прикладной математике. / Пер. с англ. под ред. С.П.Чеботарева. М., Мир, 1976.-220с.

96. Каталинас Р.Ю., Молчадский A.M., Каиавичюс А.П. Внутренние напряжения и микротвердость гальванопластических осадков меди и никеля. // Исследования в области электроосаждения металлов. Вильнюс, 1973, 4.1, с. 7175.

97. Каталинас Р.Ю., Пилите О.П. Электроосаждение меди из этилендиамино-вых электролитов. В кн.: Исследования в области электроосаждения металлов. Вильнюс, 1973, 4.1, с. 34-38.

98. Кинетика электродных процессов. / А.Н. Фрумкин, B.C. Багоцкий, В.А. Ио-фа, Б.Н. Кабанов. М.: МГУ, 1952. - 320 с.

99. Киселева В.Л.Блестящее меднение из сернокислых электролитов. Защита металлов, 1966, № 5, с. 555-558.

100. Коварский Н.Я., Гнусин Н.П. Влияние состояния основы на шероховатость некоторых электролитических осадков. Электрохимия, 1967, № 4, с. 467471.

101. Коварский Н.Я., Гнусин Н.П. Поляризуемость и шероховатость осадков меди из сернокислых электролитов. Журн. прикл. химии, 1966, № 12, с. 2830-2832.

102. Корбут A.A., Филькенштейн Ю.Ю. Дискретное программирование, М.,Наука, 1969.-366с.

103. Корнюшин Ю.В. Явление переноса в реальных кристаллах во внешних полях. К1ев: Наукова думка, 1981. - 180 с.

104. Коровин H.B. Новые покрытия и электролиты в гальванотехнике. М.: Ме-таллургиздат, 1962. - 136 с.

105. Корыта И., Дворжак И., Богачкова В. Электрохимия,- М.: Мир, 1977.-472 с.

106. Корюшин А.П., Барабошкин А.Н., Мартемьянова З.С. Влияние температурного поля на текстуру электролитических осадков меди. Электрохимия, 1976, № 11, с. 1768.

107. Костин H.A. Влияние частоты импульсного тока на скорость осаждения, структуру и некоторые свойства осадков // Электрохимия, 1986. N4. -С.444-449.

108. Костин Н.А.,Заблудовский В.А., Абдуллин B.C. Влияние импульсного тока на электроосаждение меди из этилен диаминов ого электролита.// Современые методы нанесения гальванических и химических покрытий. М., 1979, с. 101105.

109. Костин H.A., Кравцов А.К., Абдуллин B.C., Заблудовский B.C. О механизме блескообразования никелевых покрытий на импульсном токе // Электрохимия. 1982. - Т. 18. - N2.

110. Кочергин С.М., Леонтьев A.B. Образование текстур при элекгрокристалли-зации металлов. М.: Металлургия, 1974. - 184 с.

111. Кочергин С.М., Терпиловский Н.И. К изучению электрокристаллизации металлов в ультразвуковом поле. -Журн. физ. химии, 1953, № 3, с. 394-398.

112. Крамер Б.М. Изготовление волноводных звеньев из меди методом уско--ренного гальванопластического наращивания,- // Гальванопластические методы покрытий и их применение. М., 1957, с. 63-66.

113. Кривцов А.К. Влияние периодических токов различной формы на электроосаждение металлов. // Интенсификация электролитических процессов нанесения металлопокрытиями. М., 1970, с. 135-140.

114. Кругликов С.С., Коварский Н.Я. Выравнивание микронеровностей при электроосаждении металлов. // Итоги науки. Сер. Электрохимия. М., 1975, с. 106-188.

115. Кудрявцев Н.Т., Дикова В.М. Электроосаждение меди из пирофосфатного электролита в присутствии азотнокислого аммония. Защита металлов, 1969, №2, с. 177-182.

116. Кудрявцев Н.Т. Основные положения, определяющие возможность интенсификации процессов электроосаждения металлов. // Интенсификация электролитических процессов нанесения металлопокрытиями. М., 1970, с. 3-10.

117. Кудрявцев Н.Т. Электролитическое покрытие металлов. М.: Химия, 1979. -352 с.

118. Кузнецов Д.П., Лясников A.B., Кудрявцев В.А. Технология формообразования холодным выдавливанием полостей деталей пресс-форм и штампов. М.: Машиностроение, 1975.

119. Лайнер В.И., Величко Ю.А. Меднение в борфтористоводородных электролитах. Вестн. машиностроения, 1957, № 4, с. 60-64.

120. Лайнер В.И. Защитные покрытия металлов,- М.: Металлургия, 1974,- 559 с.

121. Лайнер В.И., Кудрявцев Н.Т. Основы гальваностегии. М.: Металлургиз-дат, 4.1, 1953.-624 с.124Лайнер В.И. Современная гальваностегия. М.: Металлургия, 1967. - 384 с.

122. Лайнер В.И. Гальванопластическое изготовление оформляющих вставок из никель-кобальтовых сплавов для литья и прессования пластмассовых изделий // Электролитическое осаждение сплавов. М.: МДНТП, 1961.

123. Левин А.И. Теоретические основы электрохимии. М.: Металлургия, 1972. - 544 с.

124. Левич В.Г. Физико-химическая гидродинамика.-М.: Физматгиз,1959.-699 с.

125. Лившиц Б.Г., Крапошин B.C., Линецкий ЯЛ. Физические свойства металлов и сплавов. М., 1980, 320 с.

126. Литвишко Н.П., Озеров A.M. Получение дисперсной меди импульсным электролизом. // Исследования в области гальванотехники. Новочеркасск, 1965, с. 89-92.

127. Литье под давлением./ Беккер М.Б., Заславский М.Л., Игнатенко Ю.Ф. и др.- М. Машиностроение,-1990,-400с.

128. Лойцянский Л.Г. Механика жидкости и газа. М.: Наука,1957,- 840 с.

129. Лосев В.В. Механизм стадийных электродных процессов на амальгамах. -//Итоги науки. Сер. Электрохимия. М.,1971, с. 65-164.

130. Любимов В.В., Сундуков В.К., Новоселов A.M. Исследование процесса высокоскоростного электрохимического осаждения меди // Комбинированные электроэрозионно-электрохимические методы размерной обработки металлов. Уфа. 1983. - С.98-104.

131. Любимов В.В., Сундуков В.К., Новоселов A.M. Получение качественных электрохимических осадков меди в условиях высокоинтенсивного электролиза // Совершенствование технологии гальванических покрытий. Киров, 1983 -С.91-93.

132. Любимов В.В., Сундуков В.К., Новоселов A.M., Белобрагин Ю.А. Высокоинтенсивное наращивание гальванических осадков меди на малых межэлектродных зазорах // Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. Тула, 1983 - С.5-6.

133. Любимов В.В., Сундуков В.К., Новоселов A.M. Скоростное электрохимическое формирование медных осадков // Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. Тула, 1984 - С.27-33.

134. Любимов В.В., Сундуков В.К., Новоселов A.M. Особенности гальванического формирования медных проводников на диэлектрическом основании // Электронная обработка материалов. 1988. № 5,- С. 34-35.

135. Любимов В.В.,Сундуков В.К., Белобрагин Ю.А., Новоселов A.M. Изучение 'начальной стадии электрокристаллизации меди из борфтористо-водородного электролита при различных условиях электролиза // Электронная обработка материалов. 1985. № 3,- С. 65-70.

136. Любимов В.В., Сундуков В.К. Анализ схем гальванического выращивания деталей со специальными физико-механическими и геометрическими характеристиками // Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. Тула, ТулГТУ, - 1994. - С. 3 -11.

137. Любимов В.В., Сундуков В.К., Щербина В.И. Разработка методики создания операции скоростного гальванического осаждения металлов и сплавов // Оборонная техника. 1995. №11,-С.9-13.

138. Мамонтов Е.А., Козлов В.М., Курбатова Л.А. О механизме образования дефектов структуры электроосажденной меди, полученной при нестационарных условиях электролиза. Электрохимия, 1976, № 4, с. 508-512.

139. Мамонтов Е.А., Козлов В.М., Курбатова Л.А. Образование тонкой структуры при электрокристаллизации металлов. Поверхность. Физика, химия, механика, 1983, № 10, с. 128-133.

140. Меллер М.Ю., Хотянович С.И., Матулис Ю.Ю. О получении толстых гальванопластических слоев меди. // Исследования в области электроосаждения металлов. Вильнюс, 1973, с. 55-61.

141. Мендельсон В.С.,Рудман Л.И. Технология изготовления штампов и пресс-форм,- М. Машиностроение,-1982,-207с.

142. Механические свойства осадков меди из пирофосфатного электролита. / Ю.Д. Гамбург, В.М. Голубков, Г.С. Книжник, Ю.М. Полукаров. Электрохимия, 1974, №2, с. 295-297.

143. Мороз И.И. Электрохимическое формообразование, технология и оборудование: Обзор. М.: НИИМаш, 1978.

144. Московиц М. Селективное электроосаждение покрытий натира-нием // Гальванотехника и обработка поверхности. М.: 1993. Т.2. - N9. - С. 40 -45.

145. Напух Э.З., Нечаев Е.А. О процессе меднения в пирофосфатном электролите и структуре медных покрытий. Защита металлов. 1970, № 6, с. 710-712.

146. Нене Ю.Я., Николаева С.А. Исследование влияния периодического изменения направления тока при электроосаждении меди из сульфатных ванн. -Журн. физ. химии, 1955, № 5, с. 811-817.

147. Ньюмен Д. Электрохимические системы. М.: Мир, 1977. - 455с.

148. О влиянии скорости электроосаждения на удельное электрическое сопротивление медных и серебряных покрытий. / М.З. Вайнштейн, Е.М. Чужова, В.Н. Варыпаев, В.А. Попов Электрохимия, 1976, № 8, с. 1304-1306.

149. Озеров А.К., Кривцов А.К., Халиев В.А. и др. Нестационарный электролиз. Волгоград, 1972.

150. Остроумов В.В., Плотникова Н.Ф. Осаждение меди из сернокислого электролита с помощью периодически обращаемого тока. Журн. прикл. химии, 1968, №10, с. 1520-1526.

151. Палей М.М. Технология производства приспособлений, пресс-форм и штампов. -М.: Машиностроение, 1979.

152. Патент № 2501730 Франции, МКИ С25Д 5/04. Способ и устройство для электроосаждения сканирующим электродом. Опубл. 17.09.82.

153. Патент № 4272335 США, Состав и метод электролитического осаждения меди. Опубл. 9.06.81.

154. Патент № 12823 Япония, Способ высокоскоростного электроосаждения. Опубл. 22.07.63.

155. Пилите С.П., Янаускене Р.П., Молчадский A.M. К вопросу дальнейшего совершенствования процессов электроформирования меди из борфтористых и кремнефтористых электролитов. // Гальванопластика в промышленности. М., 1976, с. 87-89.

156. Пиявский P.C. Осаждение железо-никелевых покрытий в холодном хлористом электролите. // Защита металлов. 1982. - Т.8. - N.5.

157. Поветкин В.В., Ковенский И.М. Образование дислокаций в электролитических осадках. Электрохимия, 1981, № 11, с. 1680-1687.

158. Полукаров Ю.М., Гришина В.В., Антонян С.Б. Электроосаждение никеля в условиях совместного действия переменного и постоянного тока. // Электрохимия. 1984. Т.20. - N.3.

159. Поперека М.Я. Внутренние напряжения электролитически осаждаемых металлов. Новосибирск: Зап.Сиб. кн. изд-во, 1966. - 100с.

160. Пранцулите Р.Г., Янушавичене Ю.А. Исследование сульфаматного электролита меднения.// Исследования в области электроосаждения металлов. Вильнюс, 1973, ч. 1, с. 67-71.

161. Предел прочности и микротвердость электролитической меди. / Н.П. Фе-дотьев, П.М. Вячеславов, В.И. Грибель, Э.П. Залесская. Журн. прикл. химии, 1964, № 3, с. 691-693.

162. Прикладная электрохимия / Под ред. А.П. Ротиняна. Д.: Химия, 1974. -536 с.

163. Прикладная электрохимия / Под ред. Н.Т. Кудрявцева. М.: Химия, 1975. -552 с.

164. Пурин Б.А. Электроосаждение металлов из пирофосфатных электролитов. Рига: Зинатне, 1975. - 196 с.

165. Регистрация и копирование радужных голограмм псевдоцветных изображений.// А.Д.Гальперн и др.- OMn,1986,N4. С.36-38.

166. Садаков Г.А. Гальванопластика,- М.Машиностроение,-1987, 288с.,ил.

167. Садаков Г.А., Дюбанкова Э.Н. Технология гальванопластики в часовой промышленности // Гальванотехника и обработка поверх-ности. М.: 1994. -т. 3.-N3.-С.38 -40.

168. Садаков Г.А., Семенчук О.В., Филимонов Ю.А. Технология гальванопластики. М.: Машиностроение, 1979. - 160 с.

169. Современные проблемы электрохимического формообразования. / Под ред. Ю.Н.Петрова. Кишинев: Штиинца, 1978. 92 с.

170. Солохина В.Г., Лопатухин B.C., Кудрявцев Н.Т. Получение блестящих медных покрытий повышенной твердости на цилиндрах глубокой печати. -Полиграфическое производство, 1954, № 2, с. 7-10.

171. Способ измерения пористости фольги. / П.М. Вячеславов, H.H. Борцов, В.А. Терешкин, В.В. Смекалова. Заводская лаборатория, 1976, № 11, с. 1376-1377.

172. Справочник по печатным схемам. М.: Советское радио, 1972.-582 с.

173. Сундуков B.K. Исследование некоторых вопросов повышения технологических показателей импульсной электрохимической обработки на малых межэлектродных зазорах: Автореф. дис. . канд. техн. наук. Тула, 1978. - 26 с.

174. Сундуков В.К., Новоселов A.M. Исследование кинетики роста зародышей меди при электроосаждении // Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. Тула, 1985 - С.38-45.

175. Сундуков В.К., Кочеткова З.И., Чечеткин А.Ю. Возможность управления геометрическими характеристиками гальванических осадков // Прогрессивная технология и вопросы экологии в гальванотехнике. Пенза, ПДНТП.1990. -С.48-50.

176. Сундуков В.К., Чечеткин А.Ю. Возможность управления физико-химическими и геометрическими характеристиками // Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов в авиастроении. Казань,1991.- С.79-84.

177. Сундуков В.К., Бурцев Е.В., Чечеткин А.Ю. Применение высокочастотного импульсного тока для интенсификации гальванического наращивания проводящего рисунка ГИС // Совершенствование технологии гальванических покрытий. Киров, 1989 - С.14-15.

178. Сундуков В.К., Новоселов A.M. Изменение спектральной характеристики шероховатости осадков при гальваническом меднении // Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. Тула, 1987 - С.23-26.

179. Сундуков В.К., Любимов В.В., Новоселов A.M., Дунаев В.А. Исследование размерного гальванического формирования медных проводников. Деп. в ОНИИТЭХим. г.Черкассы. 19.12.87, №4,1987-0,165,- 12с.

180. Сундуков В.К., Гладун A.A., Русаков В.И. Высокосоростное электрохимическое осаждение металлов и сплавов при изготовлении многослойных систем // Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. Тула, 1988 - С.52-56.

181. Сундуков В.К., Гладун A.A. Изучение процесса скоростного гальванического осаждения никель-кобальтового сплава // Прогрессивная технология и вопросы экологии в гальванопластике. Пенза, ПДНТП. -1991.-С. 12-14.

182. Сундуков В.К., Гладун A.A., Булычев В.А. Изготовление формообразующих элементов пресс-форм методом скоростной гальванопластики // Совер-. шенствование технологии гальванических покрытий. Киров, КПИ, 1991 -С.23-24.

183. Сундуков В.К., Чечеткин А.Ю., Булычев В.А. Высокоскоростная металлизация печатных плат с отверстиями // Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. Тула,ТулГТУ, 1991 - С.73-80.

184. Сундуков В.К., Гладун A.A., Булычев В.А. Гальванопластическое формообразование пленочных элементов толщиной до ЮОмкм // Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов.-Тула, ТулГТУ, 1992,- С. 19-23.

185. Сундуков В.К., Гладун A.A., Булычев В.А. Технология и оборудование для изготовления формообразующих вставок пресс-форм методом скоростной гальванопластики. // Оборонная техника. 1995. №11. С.27-31.

186. Сундуков В.К., Булычев В.А. Установка скоростного гальванического осаждения металлов и сплавов для изготовления деталей РЭА. Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. - Тула, ТулГУ, - 1996.-С.73-86.

187. Сундуков B.K, Гладун A.A., Булычев В.А. Моделирование роста гальванического осадка при катодном формовании // Современная электротехнология в машиностроении,- Тула. 1997,- С. 100-101.

188. Сундуков В.К., Бобринец А.Н. Скоростное гальваническое меднение корпусов алмазных отрезных кругов // Современная электротехнология в машиностроении,- Тула. 1997,- С. 168-170.

189. Сундуков В.К., Гнидина И.В. Изучение геометрических характеристик СВЧ-фильтров, полученных скоростным осаждением металлов и сплавов // Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. -Тула, ТулГУ, 1996. -€.19-30.

190. Сундуков В.К, Гладун A.A. Применение метода скоростной гальваники в инструментальном производстве // Известия ТулГУ.Серия Машинострое-ние.Вып.1 Тула. 1997, - С.22-29.

191. Сундуков В.К., Гнидина И.В. Изготовле'ие объектов с микрорельефным изображением. // Оборонная техника, № 4-5 1998. -С.33-36.

192. Сундуков В.К., Дунаев В.А. Численное моделирование гидродинамических процессов в электролизере // Современная электротехнология в машиностроении,- Тула. 1997,- С.59-63.

193. Сундуков В.К., Гнидина И.В. Изучение влияния режимов скоростной гальваники на геометрические характеристики объектов с микрорельефом // Современная электротехнология в машиностроении,- Тула. 1997,- С.112-116.

194. Сундуков В.К., Гнидина И.В. Изготовление матриц с микрорельефным изображением // Современная электротехнология в машиностроении,- Тула. 1997,- С.157-158.

195. Технология и экономика электрохимической обработки деталей машин. / Под ред. Ф.В.Седыкина М.: Машиностроение, 1980. - с. 192.

196. Успенский С.И., Шлугер М.А. Влияние ультразвука на электроосаждение меди. Электрохимия, 1966, № 2, с. 244-247.

197. Федотьев Н.П., Гнусин Н.П., Вячеславов П.М. О влиянии толщины осадка на структуру и свойства электроосажденных металлов. Журн. прикл. химии, 1955, №6, с. 634-637.

198. Федотьев Н.П., Гнусин Н.П. Изменение степени шероховатости поверхности электроосажденной меди от различных условий электролиза. Журн. прикл. химии, 1955, № 11, с. 1237-1240.

199. Федотьев Н.П., Хоникевич A.A. Влияние плотности тока и концентрации серной кислоты на величину внутренних напряжений в электролитических осадках меди. Журн. прикл. химии, 1959, № 11, с. 2497-2502.

200. Федосеева Т.А., Ваграмян А.Т. Электроосаждение железо-никелевого сплава импульсным током. // Электрохимия. 1972. Т.8. - N.6.

201. Федулова A.A., Котов Е.П., Явич Э.Р. Химические процессы в технологии изготовления печатных плат. М.: Радио и связь, 1981. - 136с.

202. Феттер К. Электрохимическая кинетика. М.: Химия, 1967. - 856 с.

203. Цветков И.В., Давыдов А.Д., Левит МЛ. Высокоскоростное электролитическое выделение меди. Получение толстых компактных осадков. Электрохимия, 1982, № 12, с. 1587-1591.

204. Цветков И.В. Повышение скорости электрохимического осаждения толстых осадков на сложнофасонных моделях.// Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов, М., 1981, с. 88-92.

205. Шапкин М.С., Петрова Т.Н. Кинетика электродных реакций с участием ионов меди (II) в водных растворах. // Электродные процессы в водных растворах. Киев, 1979, с. 44-78.

206. Шлихтинг Г. Теория пограничного слоя. М.: Наука, 1974, - 710 с.

207. Холдеев Г.В., Колеватова B.C., Структура и физико-механические свойства осаждения меди. Изв. АН СССР. Металлы,- 1978.

208. Электролитическое покрытие сплавами. Методы анализа. Богенппотц А.Ф., Георге У. ФРГ, 1975. Пер. с нем. М.: Металлургия, 1980. - 192 с.

209. Электронно-статистическая теория металлов и ионных кристаллов /

210. B.Ф.Ухов, Р.М.Кобелева, Г.В.Дедков, А.И.Темроков М.: Наука,1982. - 160 с.

211. Электрохимическая обработка в технологии производства радиоэлектронной аппаратуры./ Седыкин Ф.В. и др. М.: Энергия, 1980. - 136 с.

212. Ямпольский A.M., Ильин В.А. Краткий справочник гальванотехника. JL: Машиностроение, 1981. - 272 с.

213. Ямпольский A.M. Меднение и никелирование. Л.: Машиностроение, 1977.- 112 с.

214. Ярове Е.Я., Вячеславов П.М., Буркат Г.К. Получение беспористой медной электролитической фольги.// Гальванопластика в промышленности. М., 1981, с. 109-114.

215. Ahlhorn Jorsten, Lewisch Ioerg, Kreye Heinrich. Zur elektrolytischen Abscheidung auf feinstrukturierten Oberflaechen. Galvanotechnik. 1992. - 83, N 11. - S.3712.

216. Amerikanische Marktstudie ausgewertet/ Galvanotechnik. 1994. - 85, №95. -S.2943.

217. Belt K.C., Grossley J.A., Watson S.A. // Trans. Insn.Metal Finish. 1970. -T.48. - N.4.

218. Bockris J.O'.M., Enyo M. Mechanism Electrodeposition and Dissolution Processes of Copper in Agueons Solytions Trans. Faraday Soc., 1962, 58, № 6, p. 1187-1202.

219. Brenner A. Electrodeposition of alloys. New-York; London, 1963. - Т. 1 - 2.

220. Burrows J.R., Harrision J.A., Tohmpson J. Deposition Copper. J. Electroanal. Chem., 1975, 58, № 1, p. 241-249.

221. Ж N. Some theoretical aspects of pulse electrolysis Surfase. Technology, 1980, № 19, p. 81-104.

222. Lowenheim Frederick A. Modern Electroplating. NewYork, 1963.

223. Modern Electroplating. Edition by F. Lowenheim Edition. N.Y-1, 1974 - 801 p.

224. Norris P.J. // Engineering Materials and design. -1981,-T.25. N.6. Young

225. C.B., StruykC. //Trans. Electrochem. Soc. 1949. T.89.

226. Plieth W. Keimbildung und Keimwachstum. Galvanotechnik. 1994. - 85, -№8 - S.2527.

227. Puippe F.CI. Pulse Plating // Galvanotechnik. 1984.-T.75. - N.2.

228. Safranek W.H. //Plating and Surface Finishing. -1982. T.69. - N.4.

229. Schwabe H.U. // Industrie Anzeiger. - 1973. - T.95. N.34.

230. Tompson E.W. Acid copper plating for electronies. trans. Jnst. Metall Finisch, 1981, № l,p. 30-32.

231. Turner D.R., Johnson G.R. The Effect of Some Addion Agents on the Kinetics of Copper Electrodeposition from a Sulfate Solution. J. Electrochem. Soc., 1962, 100, № 9, p.798-804.

232. Watson F.A., Worn D.K.//Met. and Meter Technol. -1981. N6. p.13.

233. WearmouthW.R.//Metalloberflache. 1977. -T.31.-N11.