Структура, фазовые превращения и электрические свойства аморфных сплавов на основе рения и никеля тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Бабкина, Ирина Владиславовна

• Бабкина, Ирина Владиславовна
• кандидат физико-математических наук
• 1997

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Бабкина, Ирина Владиславовна

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. Обзор литературы

1.1. Экспериментальные результаты исследований структуры ближнего порядка аморфных сплавов

1.1.1. Сплавы типа металл-металлоид

1.1.2. Сплавы типа металл-металл

1.2. Моделирование структуры аморфных сплавов и

анализ экспериментальных результатов

1.3. Структурные и фазовые превращения, изменение электрических свойств при нагреве аморфных сплавов

1.4. Метастабильные фазовые диаграммы и процессы образования - распада аморфных фаз

1.5. Постановка задачи

ГЛАВА 2. Методика эксперимента

2.1. Получение аморфных сплавов методом трехэлектрод-

ного ионно-плазменного распыления

2.2. Измерение концентраций химических элементов, входящих в состав сплавов, методом электронно-зондо-

вого рентгеноспектрального микроанализа

2.3. Исследование структуры аморфных сплавов методом рентгеновской дифрактометрии

2.4. Рентгенофазовый и электронномикроскопический

анализ

2.5. Методика измерения электрических свойств аморфных сплавов

ГЛАВА 3. Структура и фазовые превращения неравновесных

сплавов системы Re-Si

3.1. Фазовый состав сплавов системы Re-Si в исходном

состоянии

3.2. Анализ структуры аморфных сплавов Re-Si

3.2.1. Зависимость структурных характеристик от состава сплавов и их изменение при структурной релаксации

3.2.2. Сравнение параметров ближнего порядка аморфных

сплавов ReSi и соответствующих кристаллических соединений

3.3. Фазовые превращения при нагреве аморфных сплавов системы Re-Si

3.4. Неравновесная фазовая диаграмма системы Re-Si

ГЛАВА 4. Процессы кристаллизации и электрические свойства

аморфных сплавов в системах Re-Si, Re-Ta и Ni-ÜM-Si

4.1. Влияние процессов кристаллизации на изменение удельного электросопротивления аморфных сплавов

Re-Si при нагреве

4.2. Процессы кристаллизации и аномальный характер изменения электрических свойств аморфных сплавов системы Re-Ta при нагреве

4-3- Получение, термическая стабильность, фазовые

превращения при нагреве и электрические свойства аморфных сплавов Ni-ÜM-Si

4.3.1. Изменение стехиометрического состава многокомпонентного сплава на никелевой основе при напылении

4.3.2. Изменение электрических свойств и фазовые превращения при нагреве аморфных сплавов на основе Ш

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

ЛИТЕРАТУРА

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Структура, фазовые превращения и электрические свойства аморфных сплавов на основе рения и никеля»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы. В настоящее время исследования в области некристаллических (аморфных) металлических, сплавов во всем мире ведутся во все возрастающих масштабах. Приорететный характер этих исследований обусловлен, с одной стороны, уникальным комплексом физических свойств аморфных сплавов (АС), что способствует их широкому практическому применению. С другой стороны, проблема описания физических свойств АС, атомная структура которых характеризуется ближним порядком и отсутствием трансляционной симметрии, является одной из интереснейших и до конца не решенных задач физики твердого тела [1-21].

Известно, что сплавы с аморфной структурой являются неравновесными (метастабильными) и при нагреве выше некоторой температуры Т^ переходят в кристаллическое состояние. Вследствие этого вопросы стабильности, структурной релаксации и кристаллизации являются одними из основных в физике неупорядоченного конденсированного состояния [4-8]. Так как область применения АС ограничена значениями температуры Т^ то повышение температуры кристаллизации также имеет и большое практическое значение.

Из анализа литературных данных следует, что для получения АС с высокой термической стабильностью необходимо выбирать системы на основе тугоплавких металлов. Однако, из всех известных АС переходных металлов (ПМ), сплавы на основе тугоплавких металлов наименее изучены в настоящее время, что связано со вполне понятными технологическими трудностями их получения. Например, мало исследованы структура и закономерности образования АС даже в двойных системах тугоплавких металлов.

Как известно, силициды тугоплавких металлов используются в микроэлектронике в качестве материалов для металлизации, диффузион-

ных барьеров, резистивных элементов, барьеров Шоттки. В настоящей работе внимание было обращено к сплавам рения, т.к. кристаллические сплавы на основе рения находят широкое применение в электронике,

Метод закалки из газовой фазы (высокоскоростное ионно-плаз-менное распыление), использованный в данной работе, является совместимым с базовыми технологическими процессами микроэлектроники и вместе с тем дает возможность получать АС в свободном от подложки состоянии, т.е. изучать закономерности образования и физические свойства характерные для массивного состояния аморфных металлов.

Настоящая работа является частью комплексных исследований, проводимых на кафедре физики твердого тела Воронежского государственного технического университета в соответствии с Координационным планом РАН в области естественных наук по направлению 1.3 Физика твердого тела, раздел 1.3.2.6. "Фазовые превращения и их влияние на механические и другие физические свойства твердых тел" и по плану госбюджетной НИР 001.91.ООЬЬ.1821 "Синтез, структура и физические свойства материалов электронной техники". Выполненная работа была частично поддержана грантами R J1ООО и RJ1300 Международного Научного Фонда и Российского Фонда Фундаментальных Исследований.

Цель работы. Установить взаимосвязь между закономерностями образования, структурой, термической стабильностью, фазовыми превращениями и электрическими свойствами аморфных сплавов системы Re-Si, а также Ni-ÜM-Si.

В соответствии с целью были поставлены следующие задачи:

разработать рентгенодифракционную методику измерения структурного фактора пленок двойных аморфных сплавов;

провести экспериментальные исследования структуры аморфных сплавов системы Re-Si;

исследовать изменение параметров ближнего порядка некоторых АС Re-Si при структурной релаксации;

установить зависимость температуры кристаллизации АС системы Re-Si от состава;

исследовать структуру сплавов Re-Si на -различных стадиях процесса кристаллизации;

исследовать зависимость удельного электросопротивления от темпепатуш и состава АС системы Re-Si и "установить взаимосвязь

А Ь' 4, V

межлу Фазовыми гго е bdаше ниями гго и нагсеве и изменением электшчес-

г w л л. и. г л. ± J.

КИХ СЕОЙСТВ;

методом просвечивающей электронной микроскопии исследовать субструктуру некоторых сплавов системы Re-Ta, для которых наблюдается необратимое увеличение удельного электросопротивления после кристаллизации;

исследовать взаимосвязь между фазовыми превращениями и изменением электрических свойств при нагреве аморфных сплавов [Ni -(Cr,Fe,Mo,W,Ti,Al) J Si .

5o ' ' 7 7 ' ' 44 luu-x x

Научная новизна. В работе впервые:

исследована структура АС системы Re-Si, и определены концентрационные интервалы существования аморфных фаз с различным типом ближнего порядка;

исследована зависимость от состава параметров топологического ближнего побяжэ АС ReSi из олносЬазной области и их изменение ггои

4. Г I Г Т Л ^

сtdvkтvdhoй селаксапии. Установлено сходство стбуктубы ближнего

О. W V Л М Г т 1 J. С V о.

порядка этих сплавов и соединений Re,_Si3 и ReSiz, что позволяет объяснить закономерности образования АС в системе ReSi и направленность процесса структурной релаксации;

исследованы термическая стабильность и фазовые превращения при нагреве АС системы ReSi, установлена их взаимосвязь с атомной структурой ближнего порядка соответствующих аморфных фаз;

на основании полученных экспериментальных результатов построена неравновесная диаграмма состояния системы Re-Si;

проведены комплексные систематические исследования зависимости между фазовыми превращениями при нагреве и изменением электрических свойств в системах различного типа: металл-металлоид (Re-Si и Ni-ÜM-Si) и металл-металл (Re-Ta) и с различной кристаллической структурой образующихся соединений. На основании анализа полученных иезультзтов слелан вывод о гпжооде необратимой и обюатимой

о. v г » rt ж Л- г т о.

составляющих эффекта увеличения электросопротивления AU при кристаллизации .

Практическая значимость. Построенная неравновесная диаграмма состояния системы Re-Si может быть использована при разработке и получении новых аморфных и метастабильных кристаллических сплавов.

АмоиФные сплавы Re Si (х=10-30 ат.%), обладавшие высокой

х л lúO-х х " '

тевмической стабильностью Т =1065^1108 К, высокими значениями

х

удельного электросопротивления p=260-i-350 мкОМ-см, низким температурным коэффициентом электросопротивления а=-2,02 «10"4-f-1,34-10 4 К1 и хорошими механическими свойствами, могут быть рекомендованы для использования в микро- и радиоэлектронике в качестве резистивных элементов, диффузионных барьеров, барьеров Шоттки, материалов для автоэмиссионных катодов и различных элементов электтювакуумных

Г Г Д. -i- - ■-.'

приборов.

Полученные результаты позволяют прогнозировать формирование АС с высокой термической стабильностью и необходимыми электрическими свойствами в других двойных системах ПМ-Si с аналогичным типом равновесной диаграммы состояния.

Установленные закономерности изменения электрических свойств при нагреве АС типа ПМ-Si могут быть полезны при оптимизации параметров технологических процессов производства полупроводниковых приборов.

Полученные новые АС (Ni-nM)-Si, где (Ш-ПМ)-жаропрочный сплав на никелевой основе ХН57МТВЮ, могут быть рекомендованы для исполь-

зования в качестве износостойких покрытий в парах трения, работающих в агрессивных средах.

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Для аморфных сплавов системы Re-Si реализуются два типа ближнего порядка: 1 - характерный для плотноупакованных металлических стекол и близкий к структуре ближнего порядка соединений ResSi3, ReSig и 2 - со структурой характерной для ковалентных стекол - типа аморфного кремния.

2. Термическая стабильность и фазовые превращения при нагреве 1С системы Re-Si определяются соотношением между параметрами ближнего порядка атомной структуры этих сплавов и соответствующих кристаллических соединений.

3. Построенная на основании экспериментальных результатов неравновесная диаграмма состояния системы Re-Si.

4. При структурной релаксации AC ReSi, содержащих 20 и 31 ат.% Si, наблюдается изменение топологического ближнего порядка: уменьшение координационного числа и корреляционной длины, однако, радиус первой координационной сферы не изменяется. Направленность этих изменений свидетельствует о приближении композиционного (КБП) АС к КБП соединений Re,_Sig и ReSiz.

5. Эффект увеличения удельного электросопротивления АС Re-(Si,Та) и Ni-ПМ—Si при кристаллизации состоит из необратимой и обратимой составляющих и обусловлен как высоким собственным значением удельного электросопротивления образующихся кристаллических соединений, так и высокой долей границ зерен на первой стадии кристаллизации, соответственно.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы были представлены на: Eighth International Conference on Liquid and Amorphous Metals (Wien, Austria, 1992); International Conference on Magnetism (Warsaw, Poland, 1994); 7-й Российской научно-

технической конбзетзешши "ДешсБиБУТошие матешалы" (г, Кишв. 1994):

^ г г » л и. %г 1 л •■ л. ^ - - • ( }

VIII Всероссийской конференции по строению и свойствам металлических и шлаковых расплавов (г. Екатеринбург. 1994); Международном семинаре "Релаксационные явления в твердых телах" (г. Воронеж, 1995); IX Российском и X Совещаниях по стеклообразному состоянию (г. Санкт-Петербург, 1995, 1997); Российском семинаре "Структурная наследственность в процессах сверхбыстрой закалки расплавов" (г. Ижевск, 1995); VI Международном совещании по аморфным прецизионным сплавам (г. Боровичи, 1996).

Публикации. По материалам диссертации опубликовано 12 работ в виде статей и тезисов докладов, из которых в диссертации использовано 8 сабот.

м

Цель исследования была поставлена научным руководителем к.ф.-м.н., с.н.с. Ю.В.Барминым. Во всех работах, выполненных в соавторстве, автором самостоятельно проведены эксперименты и принято участие в написании статей.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения.

четырех глав, выводов и списка литературы. Работа содержит 149 страниц текста, включая 43 рисунка, 7 таблиц и библиографию из 177 наименований.

1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

1.1. Экспериментальные результаты исследований структуры ближнего порядка аморфных сплавов

1.1.1. Сплавы типа металл-металлоид

При анализе результатов исследований структуры аморфных сплавов дифракционными методами используются как интерференционные функции 1(к), или же структурные факторы Б (к), что для АС одно и то же, так и атомные функции распределения (ФР). Наряду с радиальной функцией распределения РФР 4%р2р(г) применяются парные функции распределения §(г)=р(г)/рй и приведенные С (г) =4ЭСг(р(г)-р где р(г) -локальная, а ро -средняя атомная плотность [10, 17, 19]. Общие полные ФР дают информацию о топологическом ближнем порядке (ТБП), т.е. не проводится разделение по сортам атомов, а парциальные функции распределения & .(г), где 1, 3 обозначают атомы различных элементов, составляющих сплав, характеризуют композиционный или химический ближний порядок (ХБП).

Атомные функции распределения позволяют получать численные значения параметров структуры сплавов: координационные числа г и радиусы г. координационных сфер. Функция Б (к) используется при экспериментальном наблюдении незначительных изменений структуры АС под влиянием каких-либо внешних воздействий: температуры Т, времени 1;, механических напряжений о и деформации е - т.е. при изучении структурной релаксации; или же при изменении каких-либо параметров, характеризующих состав сплава: концентрации компонентов, изоморфном и изотопном замещении в рентгенодифракционных и нейтро-нодифракционных экспериментах соответственно. Сравнение результатов построения различных моделей с экспериментальными данными целесообразно проводить с помощью сопоставления структурных факто-

ров, поскольку при эксперименте функция S(k) наблюдается непосредственно И, 10, 17-19, 22].

Большинство изученных в настоящее время аморфных сплавов типа металл-металлоид содержат в качестве металлической компоненты переходной металл (ПМ-М), и по своему составу приближаются к эвтектическому или квазиевтектическому, например: ^еаоВ20 [23], Hi«B« [24], ИвЛо [25], Ге83Рг [26], Pe7eBi2Siio [27],

PdeoSi2o l28'-

Структура двойных АС семейства железа, содержащих бор: Ре В (х= 16, 20, 25 ат.%), Со В (х= 17, 23 ат.Я) и

lOü-х х ' ' ' ' luo-x Xх

Ni02Bie, полученных закалкой из жидкого состояния (ЗЖС), изучалась методом рентгеновской дифракции [29J. Функция G(r) изученных сплавов, содержащих более 20 ат.% В имеет типичные особенности, характерные и для других АС типа металл-металлоид, например РеячР<?. Однако, для сплавов, содержащих менее 20 ат.% В отношение высот двух подпиков второго расщепленного пика функции G(r) становится обратным по сравнению с тем же для Fe Р , причем с уменьшением содержания В высота второго подпика увеличивается и может даже превышать высоту первого. Эти результаты свидетельствуют о том, что атомная структура аморфных сплавов ПМ1оо_хВх с х<20 ат.% отличается от структуры других АС типа ПМ-М [30-32]. Интересно, что эти результаты лучше соответствуют первоначальным расчетам Беннета по модели случайной плотной упаковки твердых сфер (СПУТС), чем его же результатам по релаксированной модели СПУТС.

Применение метода нейтронной дифракции, в дополнение к стандартным рентгеновским методам дает возможность измерить парциальные функции радиального распределения. Для АС Рео В были опреде-

03 17

лены парциальные координационные числа и ближайшие межатомные расстояния для различных атомных пар: sFeFe= 11,2, sFoB= 5,8; г e= 0,244, г_ _= 0,216 нм [31]. Установлено, что значение обобщенного

г9п

параметра Уоррена химического ближнего порядка <х=44# соответствует меньшей степени взаимодействия атомов Ре и В в данном сплаве, чем в тех же сплавах с большим содержанием бора, причем флуктуации значений г больше, чем I» .

ГеВ ' ГеКе

Для сплавов ИВ было проведено три эксперимента по нейтронной дифракции с изотопным замещением никеля, причем в одном из них исследовался сплав с "нулевым рассеянием", что позволило непосредственно определить парциальный структурный фактор 5 (к)

В В

[331.Функция 0 (г) имеет ряд особенностей: первый максимум на ней

в В

отсутствует, второй разделен на два, а корреляции В-В наблюдаются до больших значений г, что свидетельствует о высокой степени композиционного ближнего порядка и отсутствии непосредственных контактов между атомами бора. При увеличении содержания бора, в сплаве М В , такие контакты появляются [24]. Экспериментальные результаты сравнивались с различными моделями: 1. случайной упаковки тригональных призм и 2. компьютерной, использующей метод молекулярной динамики [34]. Наилучшее согласие с функциями 0вв и

было получено во втором случае.

В настоящее время актуальным является вопрос о точности дифракционных экспериментов и корректности интерпретации их результатов. Поэтому, представляет интерес сравнение результатов исследований структуры ближнего порядка АС №1 В х=18-40 ат.%, стандартным методом дифракции рентгеновских лучей и методом рассеяния нейтронов с последующим высокоразрешающим построением ФРР [35].

Для всех изученных сплавов координационное число авы. =(5т6). Это означает, что во всем концентрационном интервале от 18 до 40 ат.% В имеет место тригонально - призматическая координация атомов В (шесть атомов N1 на один атом В). Таким образом, локальное окружение атомов бора в кристаллических соединениях М Б и ИВ (шесть атомов Ш. на один атом В) сохраняется и в соответствующих

металлических стеклах. В случае же соединения Ш. В (8 атомов N1 на один атом В) архимедовы антипризмы модифицируются в тригональные призмы при переходе от кристаллического к аморфному аналогу (рис.1.1).

Экспериментально определенные значения г =2,08 и 2,10 % для АС, содержащих 20 и 40 ат.% В, также весьма близки к значениям г ¿=2,10 и 2,12 1 для их соответствующих кристаллических соединений - И В и И В [351. В работах же [24, 25] были получены существенно отличные значения: г .=2,11 и 2,12 1 и ъ .=8,5 и 8,7

^ ВЫъ * * ВЫ1. ' '

для аморфных сплавов N16, содержащих 19 и 36 ат.% В. Это может быть связано с тем, что если обрыв функции Б (к) производится при больших значениях к, то как координационное число, так и среднее межатомное расстояние начинают постепенно уменьшаться [36, 373. Таким образом, большие значения бвы. и г , полученные в работах [24, 25] могут быть вызваны "эффектом обрыва ряда" при проведении интегрального преобразования Б(к) в g(г}.

Несмотря на неопределенность в интерпретации результатов, полученных в различных дифракционных экспериментах, парциальные функции распределения сплавов ИР и СовоР2о, полученные разными методами, дают близкие значения радиусов координационных сфер и координационных чисел [36]. Также было установлено, что ближний порядок в этих АС подобен кристаллическому соединению N3. Р [38].

Для большинства аморфных сплавов типа металл-металлоид наблюдаются характерные особенности вида функций Б(к) и С(г): плечо на втором максимуме 5(к) и расщепление второго пика С(г). Для сплавов PtP эти особенности отсутствуют и вид кривых аналогичен таковым для сплавов типа металл-металл. Как считают Чен с соавторами [39] данное отличие связано с различным типом химического взаимодействия и соответственно с разным типом диаграмм состояния систем РеВ и Р1Р. В системе Р1Р имеется область несмешиваемости в жидком состоянии, что способствует тенденции к образованию кластеров, а в

О

20 -30 В, % (ат.)

1.1. Фазовая диаграмма системы Ш~В и локальное окружение атомов бора в кристаллических соединениях и в аморфной

фазе (А).

системах типа РеВ существует сильное взаимодействие между разными атомами, что ведет к образованию интерметаллических фаз-соединений АВ, А2В и AgB, в которых атомы В не имеют непосредственных контактов. Предполагается, что наблюдаемые различия обусловлены различием в электронной структуре сплавов: относительно "жесткая" d-оболочка атомов переходных металлов благоприятна для образования случайной смеси атомов в системах типа металл-металл, в то время как значительно более "мягкие" в-р-связи способствуют взаимодействию между атомамн дотаяла и металлоида.

Наиболее исследованными из всех аморфных силицидов являются сплавы системы Pd-Si околоэвтектических составов. Были проведены эксперименты по изучению атомной структуры и динамики сплавов стандартными дифракционными методами с использованием комбинации рентгеновского, электронного и нейтронного излучений [19, 40J, методом неупругого рассеяния нейтронов [41J и нейтронной дифракции с высоким разрешением [28, 42], методом анализа протяженной тонкой структуры спектров рентгеновского поглощения (EXAPS) [43], рентгеновской дифракции с дисперсией по энергии (EDXD) [44], позитронной аннигиляции [45] и высокоразрешающей электронной микроскопией (HREM) [46, 47].

Большинство полученных результатов подтверждают предложенную Гаскеллом модель структуры АС Pd Si на основе случайной упаков-

ни &U

ки тригональных призм - координационных многогранников (КМ) соединения PdgSi. Была подтверждена тригонально-призматическая координация атомов Pd по отношению к Si, избегание контактов Si-Si, наблюдалось расщепление пиков атомной ФР при увеличении Ктах и т.д. [40, 41, 44]. Однако, по данным HREM области среднего порядка - домены размером к1,о-1,5 нм, имеют ГЦК структуру [46, 47], при механическом сплавлении также наблюдается внедрение атомов Si в ГЦК решетку Pd [43]. Зависимость параметров атомной структуры АС

Табл. 1.1

Структурные параметры аморфных сплавов переходной металл-метал-

лоид [48]

Сплав ПМ-М пм-пмх ЙПМ-ПМ гм-пы<нм) ^м-пм г (нм)

Метод ^М-М

ВО 2 О 0,275 12,4 0,214 8,6

НИ,Р

и*« А- 8 1 1У 0,252 10,8 0,211 8,5+0,8

НИ

Я1воВ.о 0,251 10,8 0,208 5,8

нв

N1 Вза <5? 33 0,253 9,4 0,208 6,4+2,6 0,187 0,9

НИ

0,244-0,263 11,2 0,211 7,6

N1. Ва . <54 Зо 0,255 9,2 0,212 8,7 0,172 1,1

ни

и Р,. во го 0,256 9,4 0,228 9,3

НИ

во 2 О 0,255 10,1 0,232 8,9

НМ,Р

84 1 о 0,290 11,5 0,264 9,4

н,р

Рй 51,. 80 20 0,280 10,6 0,242 6,6

НВ

во 2и 0,281 10,3 0,253 5,6

НВ

0,249 8,6

ЕХАРЗ

Pd-Si: парциальных координационных чисел z d, z и и

радиуса координационной сферы г от состава также лучше объясняется стереохимической моделью Гаскелла, чем моделью случайной плотной упаковки твердых сфер Бернала L40J.

В табл. 1.1 представлены значения параметров атомной структуры некоторых аморфных сплавов переходной металл-металлоид, полученные с помощью различных дифракционных методик (использованы следующие обозначения методов исследования: H - нейтронная дифракция; Р -рентгеновская дифракция; И - изотопное замещение; M - магнитное рассеяние; В - высокое разрешение в г-пространстве) L48J.

1.1.2. Сплавы типа металл-металл

Известные в настоящее время двойные аморфные сплавы типа металл-металл можно разделить на несколько основных подгрупп: сплавы переходных металлов (ПМ-ПМ): Oo-Ti, Ni-Zr, Ni-Nb; сплавы простых металлов (ПрМ-ПрМ): Mg-Ca, Mg-Cu, Mg-Zn; сплавы простой металл-переходной металл (ПрМ-ПМ): Mg-Ni, Be-Ti; сплавы переходной металл-редкоземельный металл (ПМ-РЗМ): Pe-Tb, Ni-Dy, Co-Gd и сплавы переходной металл-благородный металл (ПМ-ВМ): TïPd. Системы с числом компонент более двух довольно многочисленны и не могут быть классифицированы однозначно.

Большое количество известных в настоящее время двойных систем, в которых получены аморфные сплавы типа металл-металл, позволяет проводить сравнительное исследование структуры АС в родственных системах при систематическом последовательном замещении компонентов, например: FeTi L49J, CuTi 150J, PdTï 151J, NiTi [52, 53 J, NiTa 154J, NiV [55J, NiZr [56-59J, CoZr.[60, 61J, OuZr [62J и FeZr [61 , 63, 64J. При этом в экспериментах по дифракции нейтронов появляется уникальная возможность, подобрав сплав "нулевого" состава, обеспечить выполнение условия S(k)=S._(k), т.е. непосредст-

венно измеренная в эксперименте полная интерференционная функция такого сплава является парциальной корреляционной функцией концентрация-концентрация. Естественно, что эта возможность широко используется, как будет показано ниже.

Область стеклования сплавов типа металл-металл обычно более широкая по сравнению с системами ПМ-М, поэтому легче исследовать зависимость их структурных характеристик от состава, а также изучать сходство или различие структуры топологического и химического ближнего порядка аморфных сплавов и образующихся в данной системе кристаллических соединений.

Для аморфных сплавов ^е _ полученных в широкой области составов: х=27-72 ат.% Тз., функция радиального распределения имеет вид, характерный для АС типа металл-металл, и отношение радиусов координационных сфер г /г не зависит от концентрации компонентов, также как и общее координационное число и=11,5. [49]. Сделан вывод о том, что топологический ближний порядок в АС РеТ1 не изменяется при изменении состава сплава, химического упорядочения не обнаружено. Предложена модель спиральной тетраедрической упаковки, хорошо согласующаяся с экспериментальными результатами.

Структуру аморфного сплава ^ Т1 исследовали методами рентгеновской и нейтронной дифракции с использованием изотопов ЙЭСи и 65Си [50]. Расстояния г., . , г. . и г., составляют

с!и-Си ' Т1-Т1 Си-ТЧ

2,50; 2,65 и 2,60 X соответственно, а координационные числа 2Си = 10,47; г = 12,35. Значение гт._т. соответствует ковалентному (1,32 X), а г„ .. атомному (1,28 2) радиусу. Значение г

(^и^Си Си*" 1 I

представляет собой точную сумму ковалентного радиуса Т1 и атомного радиуса Си. Наличие препика на структурном факторе Б (к) интерпретируется как прямое экспериментальное подтверждение существования ХБП в сплаве. Установлено, что степень ХБП в аморфном сплаве значительно выше, чем в жидкости - значения параметра различаются в

два раза.

Исследование структуры аморфных пленок ТЛ (34%х<;48

ат.% Рй) показало, что длины связей пар атомов Тг-ТЛ, ТЛ-Рй, РА-Рй и координационные числа в указанном диапазоне х не зависят от состава 1511.

Для сплавов И-ТЛ и Си-Тх методами нейтронной и рентгеновской дифракции определены парциальные структурные факторы и значение среднего координационного числа, равное 12,8 [52]. Первый пик корреляционной функции концентрация-концентрация 0 (г) сплава с

СО

"нулевым" рассеянием N1 Т1 отрицателен и соответствует корреляциям пар N1-11 в кристаллическом соединении ГШ?! . Интегрирование 0 „(г) дает значение параметра ближнего порядка, равное - 0,21 00

для сплава N1 Т1 и -0,13 для И . Показано, что пики 0(г)

^ 35 <55 ' " " 26 74 * 1 '

характеризуются значениями г /г =1,71 иг /г =1,92 в концентрационном интервале от Ои^Тх^ до Ои7оТ1до. Координационное число 2 остается близким к 12 вне зависимости от состава.

NN

Парциальные структурные факторы ¡3 (к) и функции атомного распределения аморфного сплава М^Та^ определены с использованием экспериментальных кривых рассеяния нейтронов аморфными сплавами П15оТа5о и Со и кривой рассеяния рентгеновских лучей АС N1 Та 1541. Обнаруженные особенности парциальной интерференционной функции Э (к) и корреляционной функции о ^(к) свидетельствуют о наличии существенного химического упоря-

Со

дочения в сплаве. Полученные значения межатомных расстояний: г . .=2,82 1, г =2,91 1 и V . =2,44 & - отличаются от при-

Ыь-Ж * ' Та-Та " " Ж-Та ' е

веденных в других работах, в которых также наблюдается большой разброс результатов. Различие связывается с тем, что система уравнений для вычисления парциальных функций является плохо определенной: определитель системы имеет малую величину.

По данным нейтронного рассеяния химический ближний порядок в

аморфных сплавах Niioo_vVv зависит от концентрации V 155J. Авторами сделан вывод о сходстве химического ближнего порядка в полученных AG Ni-V и кристаллическом интерметаллическом соединении л-фазе с областью гомогенности 50-70 ат.% V.

Аморфные сплавы Ni25Zr75 были исследованы методом нейтронной

дифракции с изотопным замещением по и NioZ и для них построены парциальные функции атомных распределений 157J. Результаты однозначно указывают на существование ближайших пар Mi-Ш. на расстоянии 2,63 t с координационным числом 1,8. Расхождение с данными рентгеновского эксперимента по аномальному рассеянию объяснено недостаточной чувствительностью последнего по отношению к Ni. Существенных различий в структуре аморфных сплавов Ni-Zr, полученных разными способами, не обнаружено [58, 59J.

Методом рентгеновской дифрактометрии исследована структура аморфных сплавов CovZr (22<х<53) IbOJ. Первый максимум общих атомных функций распределения слегка расщеплен, сделан вывод, что первый максимум общей функции является суперпозицией двух пиков, первый из которых соответствует парным корреляциям типа Öo-Zr, а второй - парным корреляциям типа Zr-Zr. Сделан вывод о том, что также как и в других системах HM-Zr, ближний порядок АС CoZr аналогичен таковому для соответствующих кристаллических соединений. Причем, для системы Co-Zr наилучшее согласие с экспериментальными результатами наблюдается для метастабильной кубической модификации соединения CoZr с тригональной симметрией ближайшего окружения атомов Со.

Изучение структуры АС методом рентгеновской дифракции с использованием аномального рассеяния используется весьма редко в связи со значительными методическими трудностями корректного проведения эксперимента и анализа его результатов. В этом отношении работы [Ы, 62J представляются весьма интересными. Выли определены

а

О .(к)

и '

« Л

£ I *

Й» I

и I И «

1 (

*

л

м

—Ъ~1т

...... Си^г

----Од-Си

Ь \ 'л ; \ ! \

ат НАМ о

\ { ••' чУ \ !

1 «.; ■ !_I I > I-1—

Т7Т

С..(г)

Л И 11

м

I 1

I I

Ал

Ш

/'! , г» •

И

I \

Л

л

........Си-7_Г

----Си-Си

Л ......2г~7г

I \ л

- | { \

В

, ' Лг м ! А <

11 • ! / \ ч . " ! /;! ! :А| /У | \! .Л

1 "'и Чг а' ' /ч

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Бабкина, Ирина Владиславовна

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ .

1. Разработана и апробирована для двойных аморфных сплавов рентгенодифракционная методика измерения структурного фактора.

2. Впервые исследованы закономерности образования и атомная структура топологического ближнего порядка (ТБП) аморфных сплавов (АС) Re-Si. Установлено, что в системе Re-Si существуют две аморфные фазы переменного состава: со структурой характерной для плотноупакованных металлических стекол - в интервале 10-45 ат.% Si, со структурой характерной для ковалентных стекол (a-Si) - 90-100 ат.% Si, а в промежуточной области составов наблюдается сосуществование двух типов структур. Экспериментально измеренные значения параметров ТБП АС Re-Si из однофазной области: радиус первой координационной сферы =0,263-0,271 нм и общее координационное число 2^=9,6-9,9, хорошо согласуются с соответствующими параметрами координационных многогранников соединений Re,. Si и ReSiz и существенно отличаются от таковых для соединения ReSi, что позволяет сделать вывод о сходстве структуры ближнего порядка этих сплавов и соединений Re,Sig и ReSi .

3. Исследованы термическая стабильность и фазовые превращения при нагреве АС системы Re-Si. Основными фазами после кристаллизации являются Re5Si3 и ReSi , причем наблюдается преимущественное расширение области существования соединения ReSi , а фаза ReSi среди продуктов кристаллизации не идентифицируется. Наблюдается линейная зависимость температуры кристаллизации Tv от состава для АС, кристаллизующихся в соединения Re^Si и ReSi,,, что обусловлено п сходством их структуры ТБП. Уменьшение при изменении состава сплавов от стехиометрии соединения Ре531з к Ре31? является следствием изменения композиционного ближнего порядка (КБП) этих соединений и соответствующих им АС. Установлено, что зависимость радиуса первой координационной сферы от состава сплавов отличается от предсказанной моделью случайной плотной упаковки твердых сфер, что также свидетельствует о существенном влиянии КБП на структуру сплавов.

4. На основании полученных экспериментальных результатов о структуре АС и соответствующих им кристаллических фаз, а также температурах фазовых превращений построена неравновесная диаграмма состояния (НДС) системы Re-Si.

5. Изучена структурная релаксация (CP) АС Re-Si из однофазной области. .Установлено, что радиус первой координационной сферы не изменяется при CP, однако, наблюдаются изменения структурного фактора, приводящие к уменьшению координационного числа е^ и корреляционной длины 'ТБП » что свидетельствует об изменении ТЕП АС. Направленность процесса структурной релаксации может быть интерпретирована как переход к более равновесной, но метастабильной аморфной структуре, при котором КБП АС приближается к КБП соединений Re Si и ReSi .

5 3 2

Ь. Исследована зависимость электрических свойств (удельного электросопротивления р и температурного коэффициента электросопротивления а) от температуры и от состава для АС системы Re-Si. Установлена взаимосвязь между фазовыми превращениями при нагреве и изменением электрических свойств. Показано, что наибольшее увеличение значений Др при кристаллизации наблюдается для сплавов, кристаллизующихся в тетрагональную фазу ReSi .

7. Установлена взаимосвязь между изменениями электрических свойств и фазовыми превращениями при нагреве АС (Ni -ПМ ) vSiw. Показано, что наибольшее увеличение значений Др наблюдается для сплавов, кристаллизующихся в орторомбическую фазу Ni Si .

8. Для АС системы Re-Ta методом просвечивающей электронной микроскопии исследована субструктура . образующихся фаз. Показано, что эффект необратимого увеличения значений р при кристаллизации, обусловлен не зернограничным вкладом, а высоким собственным удельным электросопротивлением образующихся соединений.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Бабкина, Ирина Владиславовна, 1997 год

ЛИТЕРАТУРА

1. Скрышевский А.Ф. Структурный анализ жидкостей и аморфных тел. -М.: Высшая школа, 1980. - 328 с.

2. Мирошниченко И.С. Закалка из жидкого состояния. - М.: Металлургия, 1982. - 168 с.

3. Крапошин B.C., Линецкий Я.Л. Физические свойства металлов и сплавов в аморфном состоянии // Итоги науки и техники. Металловедение и термическая обработка. - М.: ВИНИТИ, 1982. - Т.1Ь. -С. 3-68.

4- Серебряков A.B. Аморфное состояние - лабильное или метаста-бильное? /./ Изв. вузов. Черная металлургия. - 1982. -17.-С. 103-105.

5. Serebryakov A. Amorphisation reactions and glase to crystal transformations in metallic materials // J. Non-Gryst. Solids. -1993. - V. 156-158, N. 2. - P. 594-598.

b. Скаков Ю.А. Что такое аморфный металл? /./ Изв. вузов. Черная металлургия. - 1982. - N 7. - С. 87~97-

7. Скаков Ю.А. Фазовые превращения при нагреве, и изотермических выдержках в металлических стеклах // Итоги науки и техники, Металловедение и термическая обработка. - М.: ВИНИТИ, 1987- -Т. 21. - С. 53-96.

8. Ковнеристый Ю.К., Осипов Э.К., Трофимова Е.А. Физико-химические основы создания аморфных металлических сплавов. - М.: Наука, 1983- - 144 с.

9. Металлические стекла: Ионная структура, электронный перенос и кристаллизация / Под. ред. Г.И.Гюнтеродта, Г.Бека: Пер. с англ. - М.: Мир, 1983- - 367 с.

10. Металлические стекла: Вып. II: Атомная структура и динамика, электронная структура, магнитные свойства / Под ред. Г.Бека и

Г.Гюнтеродта: Пер. с англ. - М.: Мир, 1986. - 456 с.

11. Аморфные сплавы /А.И.Манохин, Б.С.Митин, В.А.Васильев, А.В.Ре-вякин. - М.: Металлургия, 1984. - 160 с.

12. Металлические стекла / Под ред. Дж.Дж.Гилмана, Х.Дж.Лими: Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1984- - 264 с.

13. Белащенко Д.К. Структура жидких и аморфных металлов. - М.: Металлургия, 1985. - 193 с.

14. Полухин В.А., Ватолин H.A. Моделирование аморфных металлов. -М.: Наука, 1985- - 288 с.

15- Золотухин И.В. Физические свойства аморфных металлических материалов. - М.: Металлургия, 1986. - 242 с.

16. Золотухин И.В., Бармин Ю.В. Стабильность и процессы релаксации в металлических стеклах. - М.: Металлургия, 1991. - 158 с.

17. Аморфные металлические сплавы ./ В.В.Немошкаленко, А.В.Романова, А.Г.Ильинский и др. - Киев: Наукова думка, 1987. - 248 с.

18. Аморфные металлические сплавы / Под ред. Ф.Е.Люборского: Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1987- - 584 с.

19. Судзуки К., Фудзимори X., Хасимото К. Аморфные металлы / Под ред. Масумото Ц.: Пер. с япон. - М.: Металлургия, 1987.-328 с.

20. Алехин В.П., Хоник В.А. Структура и физические закономерности деформации аморфных сплавов. - М.: Металлургия, 1992. - 248 с.

21. Никитин С.А. Магнитные свойства редкоземельных металлов и их сплавов. - М.: МГУ, 1989. - 248 с.

22. Holender J.M., Morgan G.J. Molecular dynamics simulâtions of a large structure of amorphous Si and direct calculations of the structure factor //J. Fhys.: Condens. Matter. - 1991. - V. 3, N 12. - P. 1947-1952.

23. EMS study on amorphous Fe„ В and Pe„ P alloys/A.Defrain ,

ь c 80 20 00 20 ь

L.Bosio, R.Cortes, Da Costa P.Gomes // J. Non-Cryst. Solids. - 1984. - V. 61-62, N 1. - P. 439-444.

24- Ni Б -a transition metal-metalloid glass with first neieh-

<54 36 О

bour metalloid atoms / N.Cowlam, Wu Guoan, P.P.Gardner, H.A.Davies // J. Non-Cryst. Solids. - 1984- - Y. 61-62, N 1 .P. 337-342.

25. Lamparter P., Steeb S. Atomic structure of the metallic glass NI P . -In: Proc. Fifth Int. Conf. ROM, Elsevier Sci. Publ.,

SO 20 ' '

1985. - V. 1. - P. 459-462.

26. EXAFS study of compositional dependence of short range order In amorphous FeP electrodeposited alloys / M.L.Fdes-Gubieda, A.Garoia-Arribas, J.M.Barandiaran et.al. // Physica Б. - 1995- V. 208-209, N 1-4. - P. 363-364.

27- Дои M., Косаки X., Имура Т. Структура, стабильность и механические свойства полученных путем закалки из расплава аморфных сплавов на основе железа и никеля / Еыстрозакаленные металлы: Сб. научн, трудов ././ Под ред. Б. Кантор а: Пер. с англ. ./ Под ред. А.Ф.Прокошина М.: Металлургия, 1983. - С. 407-412.

28. High resolution local coordination in glassy states by pulsed neutron total scattering / K.Suzuki, M.Mieawa, I.Fukimaga, N.Hayashi // Conf. Met. Glas.r Sci. and Technol. Budapest, 1980. Proc. - 1981. - V. 1. - P. 327-332.

29. Waseda Y. and Chen H.S. A structural study of metallic glasses containing boron (Fe-B, Co-B and Ni-B) //Phys. stat. sol. (a). - 1978. - Y. 49, N 1. - P. 387-392.

30. Васеда И. Обзор существующей информации о структуре аморфных металлических сплавов / Еыстрозакаленные металлы: Сб. научн. трудов // Под ред. Б.Кантора: Пер. с англ. / Под ред. А.Ф.Прокошина М.: Металлургия, 1983. - С. 399-40731. Neutron diffraction study of Fe В metallic glass / Kristia-

kova K., Kristiak J., Pacher P. et. al.// Csechosl. J. Phys. -1991. - Y. 41, N 11. - P. 1153-1159.

32. Bin! К., Cowlam N. and Bavies H.A. A comparison of structural measurements on Pe-B metallic glasses// J. Fhys. P: Met. Fhys. -1982. -V. 12, N 8. -P. 1553-1566.

33. Atomic structure of amorphous metallic Ni^B^ / P.Lamparter, . W.Sperl, S.Steeb, J.Bletry // Z. Naturforsch. - 1982. - V. A3?, N11. - P. 1223-1234.

34. Steeb S., Lamparter P. Difraotion studies of liquid and amorphous alloys // J. Non-Gryst. Solids. - 1984. - V. 6Ш62, N 1.

- P. 237-248.

35. Зависимость структуры ближнего порядка стекол Ni,_vBv от состава / К.Сузуки, Т.Фукунага, Ф.Ито, Н.Ватанабе / Быстрозака-ленные металлические сплавы: Материалы Y международной конференции // Под ред. С.Штиба и Г.Варлимонта: Пер. с англ. /Под ред. Ю.К.Ковнеристого М.: Металлургия, 1989. - С. 134-140.

3Ь. Cargill G.S.,III Diffraction studies of amorphous metallic alloys. - In: Diffraction Studies on Non-Crystalline Substances.

- Budapest, 1981. - P. 733-780.

37- Карlow Roy, Strong S.L. and Averbach B.L. Radial density functions for liquid mercury and lead /,/ Phys. Rev. - 19Ь5- - V. 138. N 5A. - P. 1336-134538. Waseda Y.,IamakI S. The partial structure factors of amorphous nikel-phosphorus alloys /./ Z. Phys. - 1976. - Y. В 23, N 4. -P. 315-31939. Chen H.S., Waseda Y., Aust K.T. Structure of Pt P glass //

• 75 25 °

Phys. stat. sol. (a). - 1981. - V. b5, N 2. - P. 695-700.

40. Fukunaga Т., Suzuki K. Radial distribution of Pd-Si alloy glasses by pulsed neutron total scattering measurements and . geometrical structure relaxation simulations // Sci. Repts Res. Inst. Tohoku Univ. - 1981. - Y. 29, N 2. - P. 153-175.

41. Suzuki K.r Shibata K. and Misuseki H. The medium- and short-

range collective atomic motion in Pd-Si (Ge) amorphous alloys //J. Non-Cryst. Solids. - 1993. - V. 15B-158, N 1. - P. 58-62.

42. Nearest neighbor short-range structure of Pd-Ge alloy glasses by pulsed neutron total scattering / N.Hayashi, T.Fukimaga, M.Ueno and K.Suzuki// In: Froc. Fourth Int. Oonf. ROI. Ed. T.Masumoto, K.Suzuki, Sendai: Japan Inst. Metals, 1982. - P. 355-358.

43. Structural changes in Pd-Si powder mixtures during amorphiza-tion process by mechanical alloying / N.Toshio, N.Kunio, S.Masaki et.al. /./ Physica B. - 1995- - V. 208-209, N 1-4- -P.631-632.

44. Petkov V. Energy-dispersive x-ray diffraction analysis of the structure of disordered materials If Sixth Int. Oonf. on the Structure of Non-Cryst. Materials. Abstr., Praha. - 1994. - P. 202.

45. On the positron annihilation in melt-quenched Pd-Si amorphous alloys / K.Suzuki, F.Itoh, M.Hasegawa et.al. /./ Positron An-nihil. Proc. 5th Int. Oonf., Lake Yamanaka, 1979. - Sendai, 1979. - P. 861-864.

46. Anazawa K., Hirotsu Y. and Ichinose Y. High-resolution electron microscope observation of medium-range atomic ordering .In amorphous alloy // J. Non-Cryst. Solids. - 1993. - V. 156-158, N 1. - P. 196-200.

47. Hirotsu Y., Matsushita M., Olikubo T. Average and local structures of amorphous Pd75Si25 alloy analysed by modern electron diffraction technique /./ In: 9-th Int. Oonf. RQ, Bratislava. Abstr. - 1996. - P. 14948. Steeb S., Lamparter P. Structure of binary metallic glasses .//

J. Non-Cryst. Solids. - 1993- - V. 156-158, N 1. - P. 24-33. 49. Yasuda H., Sumiyama K. and Nakamura Y. X-ray diffraction study

of amorphous Fe-Ti alloys II J. Phys.: Condens. Matter. -1990.

- V. 2. - P. 9967-9974.

50. Sakata M., Oowlam N. and Davies H.A. Chemical short-ranee order in liquid and amorphous Ou Ti alloys //J. Phys. P: Metal Phys. -1981. -V. 11, N 7. - P. L157-L162.

51. X-ray diffraction and EXAFS studies of sputter-deposited Ti-Pd films../ M.Yamada, H. Tsunoda, K.Ianaka et.al. //Mater. Soi. and Eng. A. - 1991. - Y. 134, N 5. - P. 975-978.

52. Fukunaga T., Kai K.,Naka M. High resolution short-range structure of Ni-Ti and Cu-Ti alloy glasses by pulsed neutron total scattering // In: Proc. Fourth Int. Oonf. RQM. -Sendai: Japan Inst. Metals, 1982. - Y. 1. - P. 347-350.

53. Chemical short-range structure of Ni Ti (x=0,26-0,40) alloy glasses ./ T.Fukunaga, N.Hayaehi, K.Kai et.al. II Physica B. -1983. - Y. 120, N 1-3. - P. 352-356.

54- Short range structure of amorphous Ni^Ta^-alloys by means of x-ray - and - neutron-diffraction ./ H.Uhlig, L.Kohr, H.-j. Glintherodt et. al. .././ Z. Naturforsch. A. - 1992.-Y. 47, N 7-8.

- P. 826-832.

55. Chemical short range structures of Ni100 amorphous alloys prepared by MA / T.Fukunaga, Y.Homma, M.Misawa et.al. II KEK Progr. Kept.- 1991. - N 2. - C. 10756. Paul F., Fralim R. Short-range order in amorphous Ni-Zr alloys II Phys. Rev. B. - 1990. - Y. 42, N 17. - P. 10945-10949.

57. Kusohke W.-M., Lamparter P., Steeb S. Local structure of the amorphous Ni Zr -alloy by using the isotope-substitution neutron diffraction method II Z. Naturforsch. A. - 1991. - Y. 46, N 11. - P. 951-954.

58. Yan Xu, Muir W.B., Altounian Z. Structure of sputtered and melt -spun Ni-Zr glassy metals //Phys. Rev. B. -1994- -V. 50, N 13.

-Р, 9098-9101.

59- Бабанов Ю.А., Сидоренко А.Ф. Исследование атомной структуры аморфного сплава Ni Zr // Расплавы. - 1995- - N 3- - С. 26-30.

60. Steyer M., Krebs H.-П., Freyhardt H.С. Short-range order in metallic Cc-Zr glasses // Z. Phys.- 198?. - V. Б66, N 3.- P. 317-323.

61. Chen H.S.. Aust K.T. and Waseda Y. Structural investigation of amorphous Fe-Zr, Co-Zr and Ni-Zr alloys with low zirconium concentration // J. Non-Cryst. Solids. - 1981. - Y. 46, N 3. - P. 307-319.

62. Laridjani M. and Sadoc J.P. Amorphous CuZr partial distribution functions using the anomalous diffraction technique .// J. Non-Cryst. Solids. - 1988. - Y. 106, N 1-3. - P. 42-46.

63. Waseda Y., Masumoto T. and Tamaki S. Structural investigation of iron-zirconium metallic glasses with low zirconium concentration // Oonf. Met. Has.: Soi. and Technol., Proc.: Budapest. - 1980. - Y. 1.- P. 369-37564. A neutron diffraction study on amorphous Pe Zr „ /

v r 0,25 0,75

Svensson Hul dt Carolina, Dalilborg Ulf, Howe lis W. Spencer et. al.// Mater. Soi. and Eng. A.- 1991- -V. 134, N 5.-P. 959-963.

65. Bernai J.D. A geometrical aproach to the structure of liquvlds // Nature. - 1959. - V. 183, N 4655- - P. 141-147«

66. Polk D.E. The structure of glassy metallic alloys //Acta Met.-1972. - V. 20, N 3. - P. 485-491■

67. Lançon P., Billard L., Chambered A. Structural description of a metallic glass model // J. Phys. P: Met. Phys. - 1984. -V. 14, N 3. - P. 579 -591.

68. Gaskell P.H. A new structural model for amorphous transition metals, silicides, borides, phosphorides and carbides.//J. Non -Cryst. Solids. - 1979. - Y. 32, N 1. - P. 207-224.

69- Гаскелл П.Г. Является ли локальная структура аморфных сплавов следствием "среднего" порядка в системе? / Быстрозакаленные металлические сплавы: Материалы V Международной конференции// Под ред. С.Штиба и Г.Взрлимонта: Пер. с англ. / Под ред. Ю.К.Ковнеристого М.: Металлургия, 1939. С. 113-123.

70. Takeuchi S. and Kobayashi S. An interpretation of the pair distribution function of a metallic amorphous structure // Phys. Stat. Sol. (a). - 1981. - У. 65, N 2. - P. 315-320.

71. Busline 11-Wye G., Finney J.L., Quinn J.E. An annotated atlas of glass, crystal .and Interface Yoronoi polyhedra. -In: Proc. Pourch Int. Oonf. RQM, Sendai: Japan Inst. Metals, 1982.-V. 1. - P. 271-273.

72. Gellatly B.J., Finney J.L. The radical alternative to the Yoronoi polyhedron. - In: Proc. Fourth Int.Oonf. RQM, Sendai: Japan Inst. Metals, 1982. - V. 1. - P. 275-279.

73. Масленников Ю.И. Обобщенные индексы структуры жидких металлических сплавов // Расплавы. - 1987. - Т. 1, Вып. 4. -0. 75-85.

74. Шпак А.П., Мельник А.Б. Ближний порядок в аморфном сплаве Ni Б /7 Металлофизика. - 1993- - Т. 15, N 7. - С. 30-38.

75- Шпак А.П., Мельник А.Б. Моделирование структуры аморфного сплава Ре В // Металлофиз. и нов. технол. - 1994- - Т.16, N 2.-

С. 28-34.

76. Крапошин B.C. Структура закаленных металлических расплавов и диаграммы состояния // Металловедение и термическая обработка металлов. - 1994- - N 10. - С. 2-12.

77- Природа особенностей атомных функций радиального распределения металлических стекол / Боглаев И.П., Ильин А.И., Крапошин B.C. и др. /./ Физика и химия стекла. -1985. -Т. 11, N 6.-С.641-Ь46.

78. Atomic structures and the Mnssbauer effect in amorphous La(PevAl ) alloys consisting of icosahedral clusters /

Chiang Т.Н., Matsubara E., Kataoka N. et. al. // J. Fhys.: Condens. Matter. - 1984. - V. 6, N 19. - P. 3459-3468.

79. Zweok J., Hoffman H. Crystalline-like short range order In "amorphous" alloys. - In: Proo. Fifth Int. Conf. RQ.M, Elsevier Soi. Publ., 1985. - V. 1. - P. 509-512.

80. Hirotsu Y., Uehara M., Ueno M. Mioroorystalline domains in amorphous Pd Cu Si _ alloys studied by high-resolution

77,5 о lo,5 ^

electron microscopy // J. Appl. Phys. - 1986. - V. 59, N 9--P. 3081-308b.

81. Irnura Т., Doi M. Atomic structure of alloys rapidly quenched from the melt // Trans. Japan Inst. Metals. -1983.-Y. 24, N b.

- P. 360-368.

82. Глезер A.M., Молотилов Б.В. Структура аморфных сплавов ././ ФММ.

- 1990. - Т. 69, Вып. 2. - С. 5-28.

83. Еровко А.П., Власенко Л.Е., Романова А.В. Взаимосвязь структуры в аморфном и кристаллическом состояниях. II. Моделирование структуры методом размытия дифракционной кривой // Металлофиз. и нов. технол. -1994.- Т. 16, N 2. - С. 13-27.

84. Sadoc J.P., Mosseri R. Modelling of the structure of glasses .// J. Non-Cryst. Solids. - 1984. - V. 61, N 2. - P. 487-498.

85. Anneal-induced enthalpy relaxation behaviour of amorphous (Pd N1 ) Si alloy by x-ray diffraction / Y.Waseda*

0,7 0,3 ' 83 17

E.Matsubara, M.Ohzora et. al. // J. Mat. Soi. Let. - 1988. -Y. 7, N 9. - P. 1003-1006.

86. Jergel M. and Mrafko P. An x-ray diffraction study of the structural relaxation in the amorphous Ti Cu N1 and

* al 1<5 23

Ti Cu Ni Si alloys // J. Non-Cryst. Solids. - 1986. -

62,5 12 23 2,5 "

Y. 85, N 1. - P. 149-161. 87- Эгами Т., Вильяме P.С., Васеда И. Структура аморфных сплавов по данным исследования енергодисперсионным регнтеновским ме-

тодом / Быстрозакаленные металлы: Сб. научн. трудов // Под ред Б.Кантора: Пер. о англ. / Под ред. А.Ф.Прокошина М.: Металлургия., 1983. - С. 384-390.

88. Laridjani М., Sadoo J.P. and Krishnan R. Structural relaxation of amorphous Fe-B alloy by x-ray diffraction // J. Non-Cryst. Solids. - 1984. - V. ЬШЬ2, N 1. - P. 367-372.

89. Mao M., Altounian Z. and Brüning R. X-ray-diffraction study of structural relaxation in metallic glasses // Phys. Rev. B. -1995. - V. 51, N 5. - P. 2798-2803.

90. Структурная релаксация в высококобальтовых аморфных сплавах / И.Б.Кекало, Ю.А.Скаков, Л.Н.Расторгуев и др. // Проблемы исследования структуры аморфных металлических сплавов: Тез. докл. Всесоюзной конференции. Москва, 1984 г. - М.: МИСиС, 1984. - С. 66-69.

91. Herold U., Köster U., Dirks A.G. The amorphous to crystalline transition in Pe-B metallic glasses and vapor-deposited thin films /./ J. Magn. and Magn. Mater. - 1980. - Y. 19, N 1-3. -P. 152-156.

92. A study of the crystallisation of amorphous Cu Zr alloy /

Bao Chang-lin, Lu Hua, Xue Qi-kun et. al. // Acta phys.sin. Overseas Ed. - 1995-- Y. 4, N 4- - P. 2b8-277.

93. Asahi N. and MIyashita A. Crystallisation of amorphous Zr-20 at.% Ni alloy /../ Japan. J. Appl. Phys. - 1988. - 7.27, N 6.-P. 875-879.

94. Crystallisation of Cu W and Cu .W amorphous alloys • /

- ^ L SO SO 66 34 * 47

Grseta В., Radle N., Gracin D. et. al.//J. Non-Cryst. Solids. - 1994. - V. 170, N 1. - P. 101-104.

95. Barsal 0., Kumaran J.T.T., Rajaram G. Crystallisation behavior of amorphous So Fev alloys near x-25 composition .//' J. Mater Sei. - 1994- - V. 29, N 18. - P. 4778-4785.

96. Waseda Y., Okazaki H., Masumoto T. Current views on the structure and crystallization of metallic glasses //J. Mater. Soi.

- 1977- - V. 12. - P. 1927-1949.

97. Li Zongquan, Qin Yong, He Yizhen Metastable phases formed at

the initial stage of crystallization for the metallic glass

Pd Si // Phys.status solidi. A. - 199*5. - V. 148, N2. - P. 80 20 ' --- •

351 -362.

98. Amorphous phase formation and stability in W-Ti-Si metallization materials ./ R.K.Bali, W.G.Freeman, A.J.Taylor, A.G.Todd //J. Mater. Soi. - 1986. - Y. 21, N11. - P. 4029-4034.

99. Tungsten disilicide formation in oodeposite amorphous DS: alloy thin films / F.Nava, B.Z.Weiss, K.Y.Alm and K.N.Tu // Vide, couches minces. - 1987. - Y. 42, N 236. - P. 225-228.

100. Thomas R.E., Pereperko J.H., Wiley J.D. Crystallization of sputter deposited amorphous metal thin films // Appl. Surface Soi. - 1986. - Y. 26, N 4. - P. 534-541.

101. Особенности кристаллизации тонких пленок дисилицидов некоторых переходных металлов / Л.А.Дворина, И.В.Кудь, Г.В.Беддис и др. // Порошковая металлургия. - 1987. - N 1. - С. 81-85.

102. Стогней О.В., Бармин Ю.В. Образование и свойства аморфных сплавов на основе тугоплавких металлов. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 1994. - 80 с.

103. Annealing-induced icosahedral glass phase in melt-spun Al-Cu-Y and Al-Si-Mn alloys / A.P.Tsai, K.Hiraga, A.Inoue and T.Masu-moto /,/ Phys. Rev. B. - 1994. - V. 49, N 5. - P. 3569-3572.

104. Wu Shyue-Sheng, Chin Tsung-Shune and Su Kuo-Chang Crystallisation behavior of a bulk amorphous Mg620u Y alloy //Jpn. J. Appl. Phys. - 1994. - V. 33, N 7A. - P. 4021-4024.

105. Structure and properties of coevaporated WSiv films /K.Y.Alm, S.R.Herd, J.E.E.Baglin and J.U.Han //J. Yac. Soi. Technol. A.

-1985. - V. 3, N 6. - P. 2268-2271.

106. Togei R. Low-temperature annealing characteristics of chemical vapor deposited WSiz films ././ J. Appl. Phys. - 1986. -V.59, N 10. - P. 3582-3584.

107. Gas P., Tardy F.J., D'Heurle P.M. Disilioide solid solutions, phase diagram and resistivities. I. TISi? /./ J. Appl. Phys. -

1986. - Y. 60, N 1. - P. 193-200.

108. Effect of excess silicon on behavior of LFCYB WSi films on

v

silicon. / R.Y.Joshi, Y.H.Kim, J.T.Wetzel. and T.Lin // Thin Solid Pilms. - 1988. - Y. 163, N 2. - P. 267-272.

109. Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС / Под ред. Ю.Д.Чистякова: Пер. с англ. - М.: Мир, 1986. - 176 с.

110. Stacking foultв in WSi : resistivity effects / P.M.D'Heurle, P.K.le Goues, R.V.Joshi and J.Suni // Appl. Phys. Lett. -1986. - Y. 48, N 5. - P. 332-334.

111. Crystallisation of amorphous tungsten disilioide: stacking faults and resistivity / P.K. le Gouse, F.M.d'Heurle, R.Y. Joshi and J.Suni // MRS Proc. - 1985. - Y. 54. - P. 52-55.

112. Перепежко Дж., Буттингер В. Применение метастабильных фазовых диаграмм для процессов скоростного затвердевания // Диаграммы фаз в сплавах. - М.: Мир, 1986. - С. 177-198.

113- Кауфман Ж., Еернстейн Г. Расчет диаграмм состояния с помощью ЭВМ. Пер. с англ. - М.: Мир, 1972. - 235 с.

114- Hombogen Е. On systematics and nomenclature of crystallisation reactions in solid alloys // J. Mat. Sci. - 1983- - V. 18, N 1. - P. 127-132.

115. Саундерс H., Мёдовник А.П., Теннер Л.Е. Предсказание стекло-образующей способности расплавов тройных систем на основе данных двойных систем ./ Выстрозакаленные металлические сплавы: Материалы Y Международной конференции // Под ред. С.Штиба

и Г.Варлимонта: Пер. с англ. / Под ред. Ю.К.Ковнеристого М.: Металлургия, 1989. - С. 62-Ь7. 116. Кристиан Дж. Теория превращений в металлах и сплавах. Т. 1.

Пер. с англ. - М.: Мир, 1978. - 367 с. 117- Флеминге М.К. Процессы затвердевания. Пер. с англ. - М.: Мир, 1977. - 420 с.

118. Boettinger W.J. The effect of alloy constitution and crystallisation kinetics on the formation of metallic glass // In: Proc. Fourth Int. Oonf. RQM. - Sendai: Japan Inst. Metals, 1982. - V. 1. - P. 99-102. 119- МассалскиТ., Войчик К., Мюррей Дж. Связь между фазовыми диаграммами, температурами Т и Т , скоростями охлаждения и склонностью к стеклообразованию // Диаграммы фаз в сплавах. - М.: Мир, 1986. - С. 199-207.

120. Massalski Т.В. Relationships between metallic glass formation and phase diagrams // In: Proc. Fourth Int. Conf. RQM. Ed. T.Masumoto, K.Suzuki, Sendai: Japan Inst. Metals, 1982. - P. 203-209.

121. Гиссен В., Уонг С. Диаграммы образования металлических стекол /./ Диаграммы фаз в сплавах. - М.: Мир, 1986. - С. 169-176.

122. Whang S.H. New prediction of glass-forming ability In binary alloys using temperature-composition map // Mater. Sci. and Eng. - 1980. - Y. 57, N 1. - P. 87-95.

123. Иевлев B.M., Трусов Л. И., Холмянский В'.А. Структурные превращения в тонких пленках. - М.: Металлургия, 1988. - 326 с.

124. Рассел К. Фазовые диаграммы материалов под облучением //Диаграммы фаз в сплавах. - М.: Мир, 1986. - С. 239-248.

125- Грейди Д. Фазовое превращение при ударном нагружении .// Диаграммы фаз в сплавах. - М.: Мир, 1986. - С. 249-252. 126. Liu В.Х., Zhang Z.J. and Bai H.Y. Free energy diagram and

spontaneous vitrification of an ion mixed metastable hexagonal phase in the Ni-Mo system .// J. Non-Cryst. Solids. -1993. - Y. 156-158- - P. 603-608.

127. Дьяконова Н.П., Скаков Ю.А., Тренева M.A. фазовые состояния в системе Fe-Co-Nb после затвердевания в условиях закалки из жидкого состояния /У Научные труды Моск. ин-та стали и сплавов. - 1983- - N 147. - С. 42-44.

128. Влияние скорости охлаждения расплава на структуру фаз в системах Fe-Co-Nb и Fe-Ni-Nb / Ю.А.Скаков, Н.П.Дьяконова, В.В.Савин и др. ././ Изв. вузов. Черная металлургия. - 1984. -N 5. - С. 85-90.

129. Формирование и устойчивость интерметаллических фаз в системе Ni-Nb при легировании Fe(Co) и неравновесной кристаллизации / А.П.Дьяконова, В.В.Савин, Ю.А.Скаков и др.//Структура, структурные превращения и магнитные свойства аморфных металлических сплавов. - М.: Металлургия, 1986. - С. 30-34130. Hakamura Y., Sumiyama К., Hizokazu Е. Vapor quenched. Fe-TI

alloys: formation of amorphous phase and rnetastable Ti Fe phase by aging // Hyperfine Interact. - 1986. - Y. 27, N 1-4. -P. 27-32.

131. Жданов Г.С., Хатанова Н.Ф. Структура и кристаллизация аморфных металлических сплавов /"/ Структура, структурные превращения и магнитные свойства аморфных металлических сплавов. -М.: Металлургия, 1986. - С. 15-23.

132. Рентгеновское и электронномикроскопическое исследование аморфных сплавов системы Fe-P-0 ./ Ю. А. Скаков, В. Л. Кожевников а, Г.В.Мартинсон и Е.В.Шелехов /'/ Структура, структурные превращения и магнитные свойства аморфных металлических сплавов. -М.: Металлургия, 1986. - С. 23-30.

133- Ковнеристый Ю.К. Аморфные сплавы на основе систем интерметал-

лид - интерметаллид /./ Аморфные (стеклообразные) металлические материалы. - М.: Наука, 1992. - С. 5-11.

134. Взрмин Ю.В. Релаксационные свойства и термическая стабильность аморфных материалов, полученных ионно-плазменным напылением: Дис. ... канд. ф.-м. наук.- Воронеж, 1984. - 152 с.

135. Технология тонких пленок. Справочник /Под ред. Л.Майссела, Р.Глвнга: Пер. с англ. -М.: Советское радио, 1977. - 664 с.

136. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ : В 2-х кн. ./ Дж.ГоулдстеЙн, Д.Ньюбери, П.Эчлин и др. // Под ред. В.И.Петрова: Пер. с англ. - М.: Мир, 1984. - №. 1 -303 с. - Кн. 2 - 351 с.

137. Гингрич Н.С. Рентгенография жидких элементов ././ Успехи химии. -1946. - Т. 15, N 3. - С. 297-306.

138. Wagner C.N.J., Ruppersberg Н. Neutron and x-ray diffraction studies of the structure of metallic glasses //Atom. Energy Rev.- 1981. -Suppl., N 1. -P. 101-141.

139. Шелехов E.B., Скаков Ю.А. Рентгеновская дифрактометрия при исследовании ближнего порядка в аморфных сплавах // Заводская лаборатория. - 1988. - Т. 54, N 5- - С. 34-45.

140. Wagner C.N.J. Direct methods for the determination of atomic-scale structure of amorphous solids (x-ray, electron and neutron scattering) // J. Non-Cryst. Solids. - 1978. - V. 31, N 1-2. - P. 1-40.

141. Физические величины. Справочник /./ Под ред. И.С.Григорьева, Е.З.Мейлихова. -М.: Энергоатомиздат, 1991. -1232 с.

142. Krogh-Moe J. A method for converting experimental x-ray intensities to an absolute scale // Acta Cryst. - 1956. - V. 9, N 9.-P. 951-953.

143. Norman N. The Fourier transform method for normal Iz ins: intensities // Acta Cryst. - 1957. - V. 10, N 6. - P.370-373.

144- Chieux P., de Kouchkovsky R. and Boucher B. Determination of the atomic short-range order In a Tb-Cu amorphous alloy by x-ray and neutron diffraction .// J. Phys, F: Met. Phys.-1984. Y. 14, N 10. - P. 2239-2257.

145- Миркин Л.И. Справочник по рентгенеструктурному анализу поликристаллов. - М.: Изд-во физ.-мат. лит-ры, 1961. - 863 с.

14fe. Cromer Т. and Mann Joseph В. Compton scattering factors for spherically symmetric free atoms // J. of Chem. Phys. -1967.-Y. 47, N 6. - P. 1892-1893.

147. Cromer T. Compton Scattering factors for aspherical free atoms// J. of Chem. Phys.- 1969.-V. 50, N11. - P. 4857-4859.

148. International tables for x-ray crystallography. Y. III. Physical and Chemical Tables.-Dordrecht: Holland /Boston: U.S.A. London: England, 1983- ~ЗЬ2 p.

149. Горелик С.С., Скаков Ю.А., Расторгуев Л.H. Рентгенографический и електронно-оптический анализ. - М.: МИСИС, 1994.-328 с.

150. Иевлев В.М. Методы електронной микроскопии твердых тел. - Воронеж: ВПИ, 1979. - 66 с.

151. Геллер Ю.А., Рахштадт А.Г. Материаловедение. - М.: Металлургия, 1975. - 447 с.

152. Эллиот Р.П. Структуры двойных сплавов. - М.: Металлургия, 1970. - Т. 1. - 473 с.

153- Самсонов Г.В., Виницкий И.М. Тугоплавкие соединения. Справочник. - М.: Металлургия, 1976. - 560 с.

154. Elliott S.R. Extended-range order, interstitial voids and the first sharp diffraction peak of network glasses /./ J. Non-Cryst. Solids. - 1995. - V. 182, N 1-2. - P. 40-48.

155. Балалаев С.Ю. Магнитные и магнитоупругие явления в редкоземельных аморфных сплавах со свойствами спинового стекла: Дис. ... канд. ф.-м. наук. - Воронеж, 1991. - 129 с.

1%. Структура и магнитные свойства высокодемпфирущих бинарных аморфных сплавов тугоплавких редкоземельных металлов / О.А.Кордин, И.В.Бабкина, 0.В.Стогней, Ю.В.Бармин /7 Демпфирующие материалы: Материалы 7-й Российской, научно-технической конференции. Киров, 1994 г. - С. 63-64.

157. Magnetic properties of non-equilibrium alloys Tb-T~'d (T~"J = Hf, Та, W, Re) / Yu. Barmin, O.Stognei, O.Kordin, I.Babkina, V.Samoilov /7 ICM' 94, Warssawa. Abstr. - 1994. - P. 4Ь0.

158. Закономерности образования и структура аморфных сплавов в

5d ^d

системах "тербий - 5d тугоплавкий металл": Tb-T (Т~ =Hf, Та, W, Re) / В.Г.Самойлов, И.В.Бабкина, О.А.Кордин и Ю.В.Бармин /7 Строение и свойства металлических и шлаковых расплавов: Тез. докл. VIII Всероссийской конференции. Екатеринбург,

1994 г. - Челябинск: ЧГТУ, 1994- - 'Т. 1. - С. 126.

159. Williams A., Johnson W.L. The structure of some refractory transition metal-metalloid glasses if J. Non-Cryst. Solids. -1979. - V. 34, N 1. - P. 121-126.

160. Свойства элементов. Ч. 1. Физические свойства. Справочник / Под ред. Г.В.Самсонова. - М.: Металлургия, 1976. - 600 с.

161. Nassif Е., Lamparter P. and Steeb S. X-ray diffraction study on the structure of the metallic glasses Mg Ni . and Mg Ca

- 4 i С? — ^ U /'J

/У Z. Naturforsch. - 1983. - V. 38a, N 11. - P. 1206-1209.

162. Структурная релаксация в аморфных сплавах Re-Si / И.В.Бабкина, В.Г.Самойлов, Ю.В.Бармин //' Релаксационные явления в твердых телах: Тез. докл. Международного семинара. Воронеж,

1995 г. - Воронеж: ВГТУ, 1995. - С. 119.

163. Paber Т.Е. and Ziman J.M. A theory of the electrical properties of liquid metals. III. The resistivity of binary alloys // Phil. Mag. - 1965. - V. 11, N 109. - P. 153-173164. Bhatia A.B. and Thornton D.E. Structural aspects of the eleo-

trioal resistivity of binary alloys /./ Phys, Rev. B. - 1970. - V. 2, N 8. - P. 3004-3012.

165. Масленников Ю.И. Перераспределение атомов в ближнем порядке жидкого и стеклообразного металла, кристаллизующегося в ОЦК решетку // Расплавы. - 1987. - Т. 1, Вып. 3- - С. 20-25.

166. Уманский Я.С. Рентгенография металлов и полупроводников. -М.: Металлургия, 1969. - 496 с. ■

167. Гладышевский Е.И. Кристаллохимия силицидов и гермзнидов / Под ред. Г.В.Самсонова. - М.: Металлургия, 1971. - 296 с.

168. Searcy Alan W. and McNees Robert A., Jr. The silicides of rhenium //J. Am. Ohem. Soc.-1953.-V. 75, N 7. - P. 1578-1580.

169. McNees Robert A., Jr. and Searcy Alan W. The crystal structure of rhenium monosilicide // J. Am. Ohem. Soc. - 1955- -Y. 77, N 20. - P. 5290-5291.

170. Ichikawa T. The assembly of hard spheres as a structure model of amorphous iron // Phys. Stat. Sol. (a). - 1975- - V. 29, N 3. - P. 293-302.

171 - Татаринова Л.И. Структура твердых аморфных и жидких веществ. -М.: Наука, 1983. - 151 с.

172. Структура и фазовые превращения в аморфных сплавах Re-Si/ И.В.Бабкина, В.Г.Самойлов, Ю.В.Бармин .// Структурная наследственность в процессах сверхбыстрой закалки расплавов: Тез. докл. Российского семинара. Ижевск, 1995 г. - С. 77~78.

173. Структура, стабильность и фазовые превращения аморфных сплавов системы Re-Si / И.В.Бабкина, В.Г.Самойлов, Б.Л.Агапов, С.А.Лебединский // Аморфные прецизионные сплавы: технология, свойства, применен!«: Тез. докл. YI Международного совещания. Боровичи, 1996 г. - С. 68-69.

174. Электрические свойства и процессы кристаллизации аморфных сплавов Re-Si / И.В.Бабкина, Б.Л.Агапов, Ю.В.Бармин // Вест-

ник ВГТУ. Сер. Материаловедение. - 1996. - Вып. 1.1.-С.36-40.

175- Стогней О-В. Формирование, термическая стабильность и электрические свойства аморфных сплавов на основе тугоплавких металлов VI и VII групп: Дис. ... канд. ф.-м. наук. - Воронеж, 1990. - 155 с.

176. Обвинцев Ю.А. Разработка термостойких безметаллоидных аморфных сплавов на основе рения для электронной техники: Дис. ... канд. тех. наук. - Воронеж, 1992- - 183 с.

177. Formation of amorphous alloys In Re-Ta and Re-Nb Identical system / Yu.V.Barmin, B.L.Agapov, I.V.Babkina // Eighth Int. Oonf. on Liquid and Amorphous Metals: Program and Abstracts. Wien, Austria, 1992. - PB-021.

В заключение автор выражает глубокую признательность научному руководителю кандидату физико-математических наук, с.н.с. Бармину Юрию Вениаминовичу за постоянные заботу, внимание и интерес к данной работе, а также искренне благодарит коллектив сотрудников лаборатории физических свойств тонких пленок за помощь и дружескую поддержку.