Создание эффективной технологии и оборудования для электроэрозионной прошивки прецизионных микроотверстий тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.07, доктор технических наук Бойко, Анатолий Федорович

• Бойко, Анатолий Федорович
• доктор технических наук
• 2011

Оглавление диссертации доктор технических наук Бойко, Анатолий Федорович

ВВЕДЕНИЕ.

1.КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ИЗДЕЛИЙ С МИКРООТВЕРСТИЯМИ И ПРОБЛЕМЫ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ.'.

2.АНАЛИЗ МЕТОДОВ И ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРООТВЕРСТИЙ.

2.1. Сравнительный анализ технологий получения микроотверстий.

2.2. Анализ предшествующих разработок оборудования для эрозионной прошивки микроотверстий. Постановка задач исследований и разработок.

3. ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА НОВЫХ ЭФФЕКТИВНЫХ БАЗОВЫХ КОМПОНЕНТОВ ПРОЦЕССА И ОБОРУДОВАНИЯ.

3.1.Физическая модель процесса электроэрозионной прошивки микроотверстий. Исследование механизма естественной эвакуации продуктов эрозии.

3.2.Создание нового транзисторного генератора импульсов наносе-кундногодиапазона для эффективной электроэрозионной прошивки микроотверстий в воде.

3.2.1 .Теоретическое обоснование преимущества транзисторного генератора перед RC-генератором импульсов для электроэрозионной прошивки микроотверстий.

3.2.2. Исследование проблемы получения сверкоротких импульсов на-носекундного диапазона с помощью транзисторного ключа. Разработка принципиальной схемы транзисторного генератора коротких импульсов.

3.2.3. Исследование и оптимизация параметров схемы транзисторного генератора коротких импульсов для электроэрозионной прошивки микроотверстий в различных режимах обработки.

3.2.4,Особенности расчета по мощности силовых транзисторных ключей, используемых в генераторах импульсов для электроэрозионной обработки.

3.3.Исследование и разработка высокочастотного вибратора электрода-инструмента с адаптивным управлением.

3.4. Исследование и разработка быстродействующего двухканального регулятора подачи электрода-инструмента.

4.ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ И ОПТИМИЗАЦИЯ ПА- , РАМЕТРОВ ПРОЦЕССА ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННОЙ ПРОШИВКИ МИКРООТВЕРСТИЙ.„.

4.1.Исследование зависимости производительности процесса и износа электрода-инструмента от глубины его внедрения вдеталь.

4.2. Исследование зависимости производительности процесса и износа электрода-инструмента от энергии импульсов. Оптимизация оперативной производительности и энергии импульсов.

4.3. Исследование зависимости производительности-процесса и износа электрода-инструмента от частоты импульсов. Оптимизация оперативной производительности и частоты импульсов.

4.4. Оптимизация-мощности, подводимой к межэлектродному промежутку.

4.5. Исследование многофакторной зависимости износа электрода-инструмента и производительности процесса электроэрозионной прошивки микроотверстий.

4.6. Оптимизация вылета электрода-инструмента.

4.7. Точность электроэрозионной прошивки микроотверстий.

4.8. Исследование качества обработанной поверхности микроотвестий

5 .ПРАКТИЧЕСКИЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ.

5.1.Типовой технологический процесс электроэрозионной прошивки микроотверстии.

5.2.Рекомендуемые оптимальные режимы обработки.

5.3. Оборудование для эффективной электроэрозионной обработки прецизионных микроотверстии.

6 .ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКИЕ ПОКАЗАТЕЛИ ВНЕДРЕНИЯ

РЕЗУЛЬТАТОВ РАБОТЫ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Создание эффективной технологии и оборудования для электроэрозионной прошивки прецизионных микроотверстий»

Актуальность работы. В последние десятилетия в целом ряде отраслей промышленности (электронной, приборостроительной, медицинской, авиационной, аэрокосмической, инструментальной, автомобильной, электротехнической, оборонной и др.) существенно возросла потребность в высокопроизводительной обработке прецизионных микроотверстий диаметром-0,01-0,2 мм с точностью 1-5 мкм и шероховатостью обработанной поверхности Яа=0,1-0,5 мкм, в том числе глубоких отверстий с соотношением глубины к диаметру до 25-30.

Получение прецизионных микроотверстий особое значение приобрело в электронной промышленности при массовом производстве твердосплавного инструмента для микросварки и микропайки, который используется при изготовлении полупроводниковых приборов, твердых, интегральных и гибридных схем. Годовой объем производства такого инструмента превышает 1 млн. штук. Получение высокоточных малых отверстий также требуется при изготовлении деталей электронных приборов: анодные узлы электронно-оптических систем, детали магнитных* блоков, волноводы, выводы электровакуумных приборов и др. В* настоящее время освоено также массовое производство атравматических хирургических игл, в которых прошиваются-микроотверстия. Объем производства игл превышает миллион штук в год. В аэрокосмической и оборонной отраслях микроотверстия* прошиваются в деталях гидропневморегулирующей авиационной и ракетной техники, в распылителях топлива и окислителя жидкостных ракетных двигателе, в прецизионных датчиках расходомеров и др. В инструментальных производствах обрабатывают микроотверстия в фильерах, волоках, твердосплавных кондукторах, в кернах для навивки спиралей, в ювелирном инструменте и др. В1 производстве топливной аппаратуры - это форсунки, распылители, дроссели и др.

С развитием современной техники отмечается расширение номенклатуры и усложнение изделий с микроотверстиями, ужесточаются требования к точности и качеству поверхности отверстий, появилось множество изделий с сверхглубокими микроотверстиями, растут объемы производства таких изделий. Возникла потребность в более производительном оборудовании, с более широкими технологическими возможностями. Существующее отечественное и зарубежное оборудование уже не могло удовлетворять новым требованиям производства. Так как для обработки прецизионных микроотверстий наибольшее применение нашёл электроэрозионный метод, то правительством была поставлена задача по созданию новой более эффективной технологии и оборудования для электроэрозионной прошивки микроотверстий.

Возникла актуальная- научная проблема, связанная с необходимостью создания новой высокоэффективной технологии и оборудования для данного метода обработки

Цель работы: создание теоретических основ и методологии проектирования высокоэффективной технологии и оборудования для электроэрозионной прошивюг микроотверстий, обеспечивающих повышение производительности, точности, предельной'глубины прошиваемых микроотверстий, эколо-гичности и экономичности обработки.

Задачи исследований и разработок:

1. Разработать теоретическую основу, модели и методики исследований процесса электроэрозионной прошивки микроотверстий.

2. Исследовать механизм электрической эрозии, динамику плазменного канала разряда и удельной мощности электрического разряда при использовании сверхкоротких импульсов тока, а также механизм естественной эвакуации продуктов эрозии при электроэрозионной прошивке микроотверстий с целью определения путей повышения эффективности процесса.

3. Создать, включая проектирование, расчёты и оптимизацию параметров, новые эффективные базовые компоненты оборудования нового поколения, в том числе независимый тип генератора сверхкоротких биполярных импульсов наносекундного диапазона; малоинерционную быстродействующую следящую систему управления подачей электрода-инструмента, обеспечивающую минимальные (микронные) перебеги; высокочастотный вибратор электрода-инструмента с адаптивным управлением.

4. Оптимизировать режимы электроэрозионной прошивки микроотверстий в воде с применением новых базовых компонентов, в том числе электрические режимы, параметры вибрации электрода-инструмента и его вылет с целью получения наибольшей производительности при выполнении требований по точности обработки и качеству обработанной поверхности.

5. Разработать промышленную технологию эффективной электроэрозионной прошивки микроотверстий, необходимое оборудование нового поколения, освоить его серийное производство и внедрить в промышленное производство.

Методы исследования. В работе использован комплексный метод исследований, включающий теоретический анализ и экспериментальное апробирование выбранных решений в лабораторных и производственных условиях.

В экспериментальных исследованиях используется метод математического планирования и статической обработки результатов эксперимента, вероятно-статический метод сравнительного анализа измерений; при исследовании эродированной поверхности и продуктов эрозии*— рентгеноструктурный анализ; при исследовании шероховатости обработанной поверхности - профило графирование, зондовое сканирование, стереоскопическое и интерфереметри-ческое микроскопирование.

При математическом моделировании используется регрессивный анализ, графоаналитический метод, метод средних, метод наименьших квадратов, метод экстраполяции и итерационных приближений, компьютерное моделирование.

Экспериментальные исследования проводились на электроэрозионных станках 04ЭП-20, 04ЭП-10, 04ЭП-10М, ЭИ-02 с использованием измерительных средств: интерфереционного микроскопа МИИ-4, измерительных микроскопов МИМ-8, ММИ-2, профилографов- профилометров мод.201, АБРИС ПМ-7, сканирующего зондового микроскопа «Наноэдьюкатор», стереоскопического микроскопа Альтам СМ II, дифрактометра рентгеновского ДРОН-2, осциллографа двухлучевого С1-96 и др.

Научная новизна работы заключается в раскрытии закономерностей и связей в технологическом процессе и средствах реализации процесса электроэрозионной прошивки в воде прецизионных отверстий; в создании теоретической основы проектирования высокоэффективной технологии и оборудования нового поколения, в том числе новых компонентов оборудования: независимого генератора сверхкоротких импульсов, быстродействующей следящей системы, адаптивноуправляемого высокочастотного вибратора, а также методик оптимизации режимов обработки.

Научные положения, выносимые на защиту:

- теория дополнительного механического удаления слоя металла в твёрдой фазе с раскаленной поверхности эрозионной лунки взрывным газогидродинамическим потоком металлического перегретого пара в конце сверхкороткого импульса разрядного тока, которая объяснила известное в науке расхождение расчётных и экспериментальных данных объёма единичной лунки;

- новая экспоненциальная математическая модель расширения плазменного канала разряда, которая позволяет с высокой точностью прогнозировать геометрические параметры лунок и оценивать удельную мощность разрядов;

- новую физическую и математическую модель процесса самоэвакуации продуктов эрозии из межэлектродного промежутка на базе теории двух встречно-параллельных потоков, которая показала направление интенсификации процесса;

- закономерная связь между показателем степени при энергии импульсов и формой эрозионных лунок в эмпирической зависимости шероховатости обработанной поверхности от энергии импульсов; при этом установленное в работе значение показателя степени равно 0,33-1,0 в отличие от известных в науке оценок 0,33-0,4;

- методы проектирования, расчётов и оптимизации параметров новых эффективных базовых компонентов оборудования: генератора сверхкоротких импульсов, малоинерционной следящей системы и адаптивно-управляемого высокочастотного вибратора электрода-инструмента;

- закономерные связи между входными и выходными технологическими параметрами процесса электроэрозионной прошивки микроотверстий и разработанные на их базе методики оптимизации режимов обработки с целью получения наибольшей производительности при соблюдении требований по качеству микроотверстий.

Практическая ценность и внедрение результатов работы. Диссертационная работа по характеру результатов представляет собой совокупность научно обоснованных технических и технологических решений, внедрение которых внесло значительный вклад в развитие экономики страны и повышение её обороноспособности. По результатам исследований были разработаны типовой технологический процесс эффективной электроэрозионной прошивки микроотверстий, методика расчета оптимальных режимов обработки, обеспечивающие наибольшую производительность при одновременном выполнении требований по шероховатости поверхности и точности отверстий. Создан ряд моделей электроэрозионного оборудования нового поколения'для прошивки прецизионных малых отверстий и выполнения других операций микрообработки. По разработкам изготовлено свыше 1000 единиц оборудования. Наибольшее применение нашел станок мод. 04ЭП-10М, которых изготовлено и внедрено свыше 500 единиц, суммарный годовой экономический эффект от их внедрения составил сотни миллионов рублей.

Научные и практические результаты работы использованы также при выполнении отраслевых комплексно-целевых программ «Технология 1-79-90», «Технология-2000».

Результаты работы внедрены также в учебный процесс БГТУ им. В.Г.

Шухова при изучении дисциплин «Технология машиностроения», «Планирование и организация эксперимента», «Электрофизические, электрохимические и механические методы обработки поверхности».

Апробация работы. Основные положения и результаты диссертационной работы докладывались и получили одобрение на научно-технических конференциях, совещаниях, заседаниях, в том числе:

- на научно-технической конференции «Прогрессивные технологии десятой пятилетки», г. Белгород, БТИСМ, 1975г.;

- на отраслевом техническом совещании «Опыт эксплуатации и модернизации электроэрозионного оборудования в инструментальном производстве», г. Москва, 11-е ГУ МЭП, 1976г.;

- на третьей научно-технической конференции, посвященной 60-летию Великой Октябрьской социалистической революции, г. Белгород, БТИСМ, 1977г.;

- на научно-практической конференции «Прогрессивная технология изготовления и современные методы повышения стойкости инструмента», г. Белгород, ЦНТИ, 1977г.;

- на областной научно-практической конференции «Прогрессивная технология в инструментальном производстве», г. Белгород, ЦНТИ, 1979г.;

- на республиканской научно-технической конференции «Прогрессивные методы изготовления технологической оснастки», г. Рига, ЛатНИИНТИ, 1979г.;

- на заседании секции №10 НТС МЭП «Развитие производства инструмента для микросварки и микропайки», г. Чебоксары, завод «Контур», 1983г.;

- на республиканской научно-технической конференции «Электрофизи-ческие и электрохимические методы обработки», г. Харьков, Дом техники, 1987г.;

- на международной научно-практической конференции «Современные технологии в промышленности строительных материалов и стройиндустрии», г. Белгород, БГТУ, 2005г.;

- на международной научно-практической электронной интернет-конференции «Инструментальное и метрологическое обеспечение машиностроительных производств», г. Тула, ТГУ, 2005г.;

- на пятой межрегиональной научно-технической конференции с международным участием «Механики — XXI веку», г. Братск, БГУ, 2006г.;

- на пятой международной научно-технической конференции «Новые материалы и технологии в машиностроении», г. Брянск, БГИТА, 2006г.;

- на пятой международной научно-практической конференции «Наука на рубеже тысячелетий», г. Тамбов, ТГТУ 2008г.;

- на четвертой международной научно-практической конференции «Наука и устойчивое развитие общества», г. Тамбов, ТГТУ 2009г.;

- на шестой международной научно-практической конференции «Наука на рубеже тысячелетий», г. Тамбов, ТГТУ 2009г.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 56 научных работ, в том числе 1 монография, 6 авторских свидетельств и патентов на изобретения, 18 публикаций в изданиях, рекомендуемых ВАК РФ^

Структура и объём диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, шести глав, общих выводов по работе, списка литературы из 171 наименований, приложений. Общий объём диссертации 336 страницы, содержит 111 рисунков и фотографий, 61 таблицу.

Заключение диссертации по теме «Автоматизация в машиностроении», Бойко, Анатолий Федорович

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

1. Конструкторско-технологический анализ деталей и изделий с мик;i роотверстиями выявил следующие проблемы:

- большое многообразие применяемых материалов;

- допуски на прецизионные микроотверстия достигают несколько микрон;

- требования к шероховатости поверхности микроотверстий достигают Ra== 0,1 мкм;

- наибольшая глубина микроотверстий на некоторых изделиях достигает 2.530 диаметров отверстия;

- некоторые виды изделий с микроотверстиями начали производить в массовых объемах; стала актуальной проблема производительности;

- выход годных в производстве ряда изделий не превышал 30%.

Была поставлена актуальная задача по созданию более совершенной технологии и нового высокопроизводительного^ прецизионного оборудования для обработки микроотверстий'.

2. В* результате сравнительного анализа десяти методов получения микроотверстий было установлено что, для обработки* прецизионных микроотверстий целесообразным является применение электроэрозионного метода, так как он, в полной мере, обеспечивает выполнение требований, предъявляемых к качеству микроотверстий: по'точности диаметра и формы отверстий, ri0 точности положения оси микроотверстия относительно базовых поверхностей изделия, по шероховатости обработанной поверхности, по отсутствию дефектного поверхностного слоя в отверстии.

3. Из анализа предшествующих разработок оборудования для электроэрозионной прошивки микроотверстий было установлено:

- существующие технологии и оборудование базируется на использовании в качестве источника технологического тока релаксационного RC-генера-тора импульсов тока, который относится к типу зависимых генераторов и следовательно, не является перспективным техническим решением, так как частота и энергия импульсов такого генератора зависят от состояния межэлектродного промежутка, поэтому являются неуправляемыми факторами и не могут быть строго оптимизированы и рекомендованы; была поставлена задача по созданию транзисторного генератора импульсов наносекундного диапазона с энергией импульсов от единиц до ста микро джоулей и по оптимизации основных элементов его схемы;

- в существующей технологии в качестве рабочей жидкости использовался керосин, который был неэффективным средством самоэвакуации продуктов эрозии из микронных межэлектродных промежутков; была поставлена задача по разработке специальной схемы формирователя биполярных апериодических импульсов генератора и методики расчета ее оптимальных параметров, обеспечивающих эффективную электроэрозионную прошивку микроотверстий в воде;

- существующие следящие регуляторы подачи электроэрозионных станков не обеспечивают требуемого быстродействия при работе на микронных межэлектродных зазорах, что приводит к перебегам электрода-инструмента и нарушениям стабильности процесса; была поставлена задача по разработке нового малоинерционного регулятора подачи, в том числе двухканального типа;

- для повышения эффективности электроэрозионной прошивки микроотверстий на существующем оборудовании использовались только низкочастотные вибраторы (100Гц), отсутствовали рекомендации по оптимизации параметров вибрации (амплитуды, частоты); была поставлена задача по разработке высокочастотного вибратора, по оптимизации параметров вибрации, а также по созданию системы адаптивного управления вибрацией.

4. Разработана и экспериментально подтверждена теория дополнительного удаления металла с раскаленной поверхности лунки в твердой фазе взрывным газогидродинамическим потоком металлического перегретого пара выбрасываемого из лунки после спада импульса, что возможно только при сверхкоротких импульсах тока с крутизной фронтов до ЮОА/мкс2 и удельной мощности в канале разряда в десятки Вт/мкм2; новый научный факт следует учитывать при обработке материалов разношжаропрочности.

5. Экспериментально установлена экспоненциальная модель расширения канала разряда, которая хорошо коррелируется с дебаевским ограничением радиуса канала плазмы; новая модель, позволяет с высокой точностью прогнозировать геометрические параметры лунок и, следовательно, характер шероховатости обработанной поверхности.

6. Впервые подробно разработана-теория процесса естественной эвакуации продуктов эрозии из межэлектродного промежутка. Установлено, что в основе физики процесса самоэвакуации лежат обусловленные электрическим разрядом два встречно-параллельных потока: парогазогидравлический эвакуирующий поток, генерированный поднимающимися за счет архимедовой силы пузырьками,, и» поток обновления, являющийся' следствием первого потока в силу эффекта эжекции и диаметрально расположенный к нему; получены математические: модели, показывающие, что интенсивность самоэвакуации повышается с увеличением насыщенности эвакуирующего потока парогазовыми пузырьками, что- следует учитывать, при выборе рабочей; жидкости и режимов обработки.

7. Так как проблема получения коротких импульсов это проблема получение крутых фронтов импульса, обусловленная инерционностью транзистора, была предложена, исследована и разработана новая идея параллельного включения транзисторных ключей для увеличения крутизны и уменьшения, длительности переднего' фронта импульса тока. Был сформулирован новый критерий оптимальной скорости включения комбинированного транзисторного ключа, согласно которому для исключения влияния переходных процессов включения транзисторного-ключа на формирование переднего фронта импульса тока и, следовательно, для уменьшения его длительности, необходимо, чтобы в начальный момент отпирания транзисторного ключа скорость роста коллекторного тока, , определяемая физическими свойствами, транзисторов, была выше скорости роста тока разрядного контура, определяемой его физическими свойствами при допущении мгновенного включения транзисторного ключа; были получены расчетные формулы количества транзисторов в; комбинированном ключе.

8. Для уменьшения длительности заднего фронта импульса разрядного тока был разработан новый оригинальный транзисторный генератор импульсов, на который было получено авторское свидетельство на изобретение и который обладал важнейшим достоинством: полностью исключал влияния затяжных переходных процессов.запирания транзисторного ключа на формирование заднего фронт импульса разрядного тока;

9. Установлено, что предложенная: схема индуктивного формирователя' с. резисторно-диодной цепочкой обеспечивает оптимальную форму холостых биполярных: импульсов напряжения на. межэлектродном промежутке,; которой соответствует апериодический отрицательный-холостой импульс напряжения; для обеспечения последнего разработана расчетная математическая модель.

10. Разработанная схема транзисторного генератора коротких биполярных импульсов наносекундного диапазона (а.с.№884923) и методы расчета основных элементов его схемы обеспечивают формирование импульсов тока и напряжения, параметры которых удовлетворяют требованиям процесса электроэрозионной прошивки прецизионных микроотверстий в воде:: длительность импульсов тока 0,05-0,5мкс, амплитуда тока 2-25А, энергия разрядных импульсов 2-150мкДж,частота импульсов 44-200кГц.

1 ¡.Исследованиями установлено, что в транзисторном генераторе импульсов значительная; импульсная и средняя^ рассеиваемая на коллекторе транзистора мощность выделяется в переходных процессах отпирания-запирания; установлено, что с точки зрения теплового режима транзистора лучше применять более быстродействующие транзисторы и создавать режим работы с более глубоким насыщением; при математическом моделировании переходных процессов было установлено, что импульсная мощность, выде-'>- ляемая на коллекторе'транзистора. в моменты его отпирания и запирания составляет 1/4 от произведения амплитудных значений тока и напряжения; доказано, что эта зависимость, условно названная законом одной четвери, присуща всем двухпараметрическим процессам, протекающим по законам встречных экспонент; это следует учитывать при выборе типа транзистора в качестве ключевого элемента схемы.

Экспериментально установлено, что вибрация электрода-инструмента уменьшает размеры всплывающих парогазовых пузырей, образованных электрическими разрядами, и увеличивает их количество, тем самым интенсифицирует процесс самоэвакуации продуктов, эрозии; также было установлено, что1 для - каждой,глубины; обработки существует оптимальная амплитуда, вибрации, при которой достигается наибольшая производительность; была разработана система адаптивного управления8 вибрациеЙ1(патент РФ №63274).,

13.Разработана автором электронная схема следящего регулятора подачи (а.с.№952502> в, отличие от известных обеспечивает динамическое торможение электродвигателя привода при переходе из режима холостого хода в рабочий режим, что уменьшает перебеги с 3-6 мкхм до: 1-3 мкм и повышает, стабильность процесса обработки; новым научно-техническим решением по совершенствованию регулятора подачи является авторская разработка, двухка-нального адаптивного регулятора (патент РФ №63274) с электромеханическим и электромагнитным' параллельно работающими приводами, которые повысили быстродействие регулятора,, стабильнрсть процесса прошивки глубоких микроотверстий, увеличили производительность в, 1,2-1,5 раза, снизили износ электрода-инструмента, в 1,1-1,3 раза, увеличили предельную глубину прошиваемых отверстий до 30-35 диаметров.

14.Во всех технологических исследованиях была установлена общая закономерность: с углублением электрода-инструмента в обрабатываемую деталь монотонно снижается приблизительно по линейному закону производительность и увеличивается износ электрода-инструмента; причем до глубины. 10 диаметров износ увеличивается незначительно, свыше 15-20 диаметров наблюдается резкий рост износа и достигает сотен процентов; это объясняется ухудшением'условий, эвакуации продуктов эрозии из рабочей зоны и связанным с этим ростом повторного непродуктивного диспергирования образовавшихся? в;межэлектродном промежутке частиц;, отсюда следует, что актуальным^ направлением дальнейшего' совершенствования процесса является улучшение технологических показателей прошивки глубоких отверстий.

15. Экспериментальными и аналитическими- исследованиями установлено, что для каждого диаметра и каждой глубины: прошиваемых отверстий существуют оптимальные значения- энергии и частоты импульсов, которые обеспечивают наибольшую оперативную производительность; с уменьшением диаметра: и: увеличением! глубины микроотверстий оптимальные значения энергии и частоты уменьшаются;:разработаны математические: модели расчета оптимальных значений энергии и частоты импульсов.

16. На: основе; решения? задачи оптимальной« удельной мощности:.процесса электроэрозионной: прошивки микроотверстий найдены наиболее техно логичные геометрические параметры-, микроотверстий и впервые дана количественная оценка причин сложности обработки микроотверстий нижнего-диапазона диаметров. : ' 17. В исследовании шестифакторной зависимости износа, электрода-инструмента й производительности процесса: от, диаметра и глубины отверстий, энергии и частоты импульсов; частоты и амплитуды вибрации электрода-инструмента было установлено: . ; > .

- с увеличением диаметра электрода его износ уменьшается во^ всем диапазоне диаметров; производительность, растет только в диапазоне малых диаметров. (20-50мкм); для которых используемая энергия импульсов оказалась,' закритической; в диапазоне диаметров 50-10 Ом км производительность. падает, т.к.в этом диапазоне энергия импульсов, докритическая и с. ростом: диаметра уменьшается, удельная мощность, подводимая к, промежутку, соответственно,, уменьшается термическая нагрузка на электрод и его износ;

-с увеличением глубины обработки увеличивается износ электрода и уменьшается производительность, так как ухудшаются условия самоэвакуации продуктов эрозии из рабочей зоны;

- с увеличением энергии и частоты импульсов увеличивается и производительность, и износ электрода, что объясняется, с одной стороны, увеличением удельной подводимой электрической мощности, с другой стороны, увеличением термической нагрузки на электрод;

- с увеличением частоты и амплитуды вибрации также растет и производительность, и износ электрода, что объясняется интенсификацией процесса самоэвакуации продуктов эрозии и, следовательно, увеличением числа рабочих импульсов; большая эффективность от увеличения частоты и амплитуды вибрации достигается для электродов большего диаметра.

18. Разработанный метод расчета оптимального вылета электрода-инструмента позволяет повысить производительность процесса на 30-60%,а также прогнозировать разбивку микроотверстий по диаметру.

19. В исследованиях точности установлено, что основной погрешностью при электроэрозионной прошивке микроотверстий является погрешность формы типа овальности, причиной которой является непараллельность оси электрода-инструмента направлению его подачи; получены необходимые расчетные формулы овальности; произведена оценка других погрешностей.

20. Регрессивным анализом установлена зависимость шероховатости обработанной поверхности микроотверстий от режима электроэрозионной обработки; впервые научно доказана корреляционная связь между показателем степени при энергии импульсов в уравнении регрессии и формой эрозионных лунок; доказано, что этот показатель в зависимости от формы лунок принимает значения 0,33 - 1,0, в отличие от известных оценок - 0,33-0,4.

21. При реализации результатов исследований было разработано, серийно освоено и внедрено в основном в оборонные отрасли свыше 1000 единиц нового оборудования восьми моделей. Наибольшее применение нашел станок мод. 04ЭП-10М, который при обработке прецизионных микроотверстий обеспечил повышение производительности в 2-5 раз, снижение износа электрода-инструмента и повышение точности обработки в 2-3 раза, увеличение предельной глубины прошиваемых отверстий в 1,5-2 раза, существенное улучшение условий труда рабочих. Было изготовлено и внедрено свыше 500 станков этой модели, суммарный годовой экономический эффект от их внедрения составил сотни миллионов рублей. Высокий уровень исследования и разработок подтвержден авторскими свидетельствами и патентами на изобретение, свидетельствами на промышленный образец, медалями различных выставок и правительственными наградами. Внедрение результатов работы внесло значительный вклад в развитие экономики страны и повышение ее обороноспособности.

22. Результаты выполненной работы открывают перспективу дальнейшего совершенствования процесса и оборудования, в том числе путем создания станков нового поколения с адаптивным и адаптивно-программным управлением, в том числе с автоматическим управлением разрядным током внутри^импуль-са, в том числе с малоизносными схемами обработки, в том числе с дополнительными устройствами интенсификации процесса эвакуации продуктов эрозии и стабилизации процесса обработки, что позволит дальше расширить технологические возможности процесса и оборудования, в полной мере решить проблему прошивки сверхглубоких микроотверстий, обеспечить дальнейшее снижение износа электрода-инструмента и, как следствие, повысить точность обработки и производительность процесса особенно при прошивке сверхглубоких микроотверстий.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Бойко, Анатолий Федорович, 2011 год

1. A.c. 174934 СССР, МПК В 23Н 1/00(2006.01) Способ электроискрового изготовления прецизионных отверстий малого диаметра/ Е.В; Холоднов (СССР)- № 536164/25-08; заявл. 21.02.64; опубл. 12.06.65, Бюл. № 18.- 7с.

2. A.c. 884923 СССР, М.Кл3. В 23 Р .1/02. Транзисторный генератор импульсов для электроэрозионной обработки/А.Ф. Бойко, С.А. Шаповалов (СССР).- №2876113/25-08; заявл. 30.01.80; опубл. 30.11.81, Бюл. № 44.- 17с.

3. A.c. 952496 СССР, М.Кл3. В 23 Р 1/02. Генератор импульсов для электроэрозионной обработки/ А.Ф. Бойко, С.А. Шаповалов (СССР).- № 2983236/ 25-08; заявл. 09.07.80; опубл. 23:08.82, Бюл. № 3122с.

4. Ас. 952503 СССР-М;Кл3. В^23 Р 1/14. Регулятор подачи электроэрозионного станка/ А.Ф. Бойко, С.А. Шаповалов, В.М. Коробцов (СССР).- №: 3228978/25-08;-заявл. ЗТ: 12180; опубл. 23:08:82; Бюл. № 31.- 27с.

5. Адлер Ю.Г1. Планирование эксперимента-при поиске оптимальных условий/ ЮЛ. Адлер, Е.А. Маркова, Ю.В. Грановский^ Mi:;Наука, 1971.- 284с.

6. Алтынбаев А.К. Электроэрозионные методы обработки-глубоких прецизионных отверстий в деталях авиационной техники/ А.К. Алтынбаев, В.А. Гейкин// Металлообработка.:- 2003.- № 6.- С! 47-49;

7. Аренков А.Б. Основы- электрофизических методов обработки; материа-лов/А.Б. Аренков.- Л.: Машиностроение, 1967.- 372с.

8. Балыгин И.Е. Электрическая прочность жидких диэлектриков/ И.Е. Ба-лыгин.- М.: Энергия, 1964.- 232с.9; Библиотечка электротехнолога. Выпуск 2. Электроразрядная обработка материалов/ Е.М. Левинсон и др.- JL: Машиностроение, 1971.- 256 с.

9. И. Бойко А.Ф: Расчет оптимального вылета электрода-инструмента привысокочастотной электроэрозионной прошивке отверстий малого диаметра/ А.Ф. Бойко// Электронная техника. Сер. 7, Технология, организация производства и оборудование.-1988.-№5.-С. 85-87.

10. Бойко А.Ф. Высокочастотная электроэрозионная прошивка отверстий малого диаметра/ А.Ф. Бойко// Электронная обработка материалов.- 1980:- № 1,- С. 86-88.

11. Бойко, А.Ф; Исследование;переходных; процессов наносекундного транзисторного генератора импульсов для .электроэрозионной прошивки микроотверстий в режиме холостого хода и короткого замыкания/ А.Ф. Бойко,

12. А.А. Погонин, М:Н. Воронкова, А.Г. Схиртладзе// Электрика.- 2010,- № 1.- С. 28-35. ' '

13. Бойко А.Ф. Об опыте эксплуатации,и модернизации электроэрозионного оборудования в инструментальном производстве/А.Ф. Бойко// Техн. совещание: тез. докл., Москва, 16 февраля 1976г./ 11-е Глав.упр-е МЭП.- Москва, 1976.- С. 18-19.

14. Бойко А.Ф. Оптимизация вылета электрода-инструмента при электроэрозионной прошивке микроотверстий/ А.Ф. Бойко, A.A. Погонин, М.Н. Во-ронкова// Технология машиностроения,- 2008.- № 10.- С. 18-20.

15. Бойко А.Ф. Перспективы развития электроэрозионных методов обработки металлов/ А.Ф. Бойко// научно-техн. кон.: тез. докл., Белгород, 30 марта -6 апреля 1977г./ белгородский технологический институт строительных материалов.- Белгород, 1977.- С. 47-48.

16. Бойко А.Ф. Прецизионный станок 04ЭП-10М для высокочастотной электроэрозионной прошивки отверстий малого диаметра / А.Ф. Бойко, Ю.М. Бративник, Ю.А. Хукаленко// Электронная обработка материалов.- 1983.- № 3.- С. 76-78.

17. Бойко А.Ф. Сравнительный анализ производительности электроэрозионной прошивки микроотверстий при использовании RC- и транзисторного генераторов импульсов/ А.Ф. Бойко, A.A. Погонин, М.Н. Воронкова// Электрика.-2009.-№ 10.-С. 19-23.

18. Бойко А.Ф. Сравнительный анализ роста производительности процесса при высокочастотной; электроэрозионной прошивке отверстий малого диаметра/А.Ф. Бойко// Электронная обработка материалов.- 1989.- № 1.- С. 77-81.

19. Бойко А.Ф.Станки для,скоростной электроэрозионной прошивки малых отверстий/ А.Ф. Бойко// Электронная промышленность.- 1990.- № 11.- С. 4-5.

20. Бойко А.Ф. Станки для скоростной-электроэрозионной прошивки малых отверстий/ А.Ф. Бойко// Электронная обработка материалов.- 1991.- № 1.-С. 72-73.

21. Бойко; А.Ф. Станок для ¡электроэрозионной обработки отверстий малого диаметра/ А.Ф. Бойко// Станки и инструмент.- 1987.- № 12.- С. 24-25.

22. Бойко А.Ф. Технологические методы получения микроотверстий. Часть 1/ А.Ф. Бойко// Ремонт, восстановление, модернизация.- 2009:- № 9 С. 31-36.

23. Бойко А.Ф. Технологические методы получения микроотверстий. Часть 2/ А.Ф. Бойко// Ремонт, восстановление, модернизация.- 2009.- № 10.-С.21-25.

24. Бойко А.Ф. Тиристорный генератор импульсов для высокопроизводительной электроэрозионной вырезки/ А.Ф. Бойко// Электронная обработка материалов.- 1981.- № 2.- С. 78-80.

25. Бойко А.Ф. Электроэрозионная прошивка отверстий малого диаметра/

26. A.Ф. Бойко// Электрофизические и электрохимические методы обработки: тез. докл. научно-техн. конф., Харьков, 1987.- С. 28-29.

27. Бойко А.Ф. Электроэрозионное оборудование для размерной обработки микроинструмента/ А.Ф. Бойко, Ю.М. Бративник// Электронная техника. Сер. 7, Технология, организация производства и оборудование.- 1984.- № 3.-С. 17-19.

28. Борцов Ю.А. Автоматические системы с разрывным управлением/ Ю.А. Борцов, И.Б. Юнгер.- Л.: Энергоатомиздат,1986.- 167с.

29. Бронштейн И.Н. Справочник по математике для инженеров и учащихся вузов: 13£ изд., исправленное/ И.Н. Бронштейн, К.А. Семендяев.- М.: Наука, 1986.- 146с.

30. Вейко В.П. Лазерная обработка/ В.П. Вейко, М.П. Либенсон.- Л.: Лен-издат, 1985.- 166с.

31. Вейч В.Л. Динамика и моделирование электромеханических приводов/

32. B.Л Вейч, Г.В. Царев.- Саранск: Изд-во Мордовского ун-та, 1990.- 226с.

33. Виноградов A.M. Введение в геометрию нелинейных дифференциальных уравнений/ A.M. Виноградов, И.О. Красильников, Б.В. Лычагин.- М.: Наука, 1986.- 334с.

34. Воинова К.Н. Особенности изготовления капилляров в рубиновых и твердосплавных инструментах для микросварки/ К.Н. Воинова, Г.А. Проскуряков, В.М. Хватов//Электронная техника. Сер. 6, Микроэлектроника.- 1971.-№5.- С. 23-25.

35. Волков Ю.С. Особенности гидродинамического режима при струйном электрохимическом формообразовании/ Ю.С. Волков, О.П. Щедрин, A.B. Межерицкий//Электронная обработка материалов.- 1976.-№ 1.- С. 14-18.

36. Глембоцкий В.А. Флотационные методы обогащения: учебник для вузов/ В.А. Глембоцкий, В.И. Классен.- 2-е изд., перераб. и доп.- М.: Недра, 1981.- 436с.

37. Глембоцкий В.А. Флотация/ В.А. Глембоцкий, В.И. Классен.- М.: Недра, 1973.-365с.

38. Горский В.Г. Планирование промышленных экспериментов/ В.Г. Горский, Ю.П. Адлер.- М.: Металлургия, 1974.- 264с.

39. Григорьев В.А. О движении одиночных пузырей в щелевых каналах/ В.А. Григорьев, Ю.И. Крохин// Теплофизика высоких температур.- 1971.- 9, №6.- С. 1237-1241.

40. Грудинский П.Г. Электротехнический справочник. В 2т. Т.1/ П.Г. Гру-динский.- М.: Энергия, 1974.- 732с.

41. Гуткин Б.Г. Автоматизация электроэрозионных станков/ Б.Г. Гуткин.-JL: Машиностроение, 1971.- 160с.

42. Гуткин Б.Г. Электроискровые станки для обработки деталей топливной аппаратуры/ Б.Г. Гуткин// Станки и инструмент,- 1967.- № 9.- С. 42-46.

43. Душинский В.В. Оптимизация-технологических процессов в машиностроении/ В.В. Душинский, Е.С. Духовский, Е.С. Радченко.- Киев: Техшка, 1977.- 176с.

44. Зенин В.В. Электрохимическая прошивка отверстий малых диаметров в твердосплавном инструменте для микросварки/ В.В. Зенин, В.П. Кондратьев, Ю.М. Водянов, Ф.Н. Рыжков// Электронная обработка материалов.- 1975.-№ 5.- С. 85-87.

45. Золотых Б.Н. О расчете технологических характеристик процесса раз- w мерной электроискровой обработки токопроводящих материалов/ Б.Н. Золотых// В кн.: Проблемы электрической обработки материалов.- М.: Изд-во АН СССР, I960.- С. 164-247.

46. Золотых Б.Н. О физической природе электроискровой обработки металлов.- В кн.: Электроискровая обработка металлов. Вып. 1/ Б.Н. Золотых.-М.: Изд-во АН СССР, 1957.- С. 38-69.

47. Золотых Б.Н. Основные вопросы теории электрической эрозии в импульсном разряде в жидкой диэлектрической среде: автореф. дис.докт. техн. наук: спец. 200: защищена 12.02.68; утв. 24.06.68/ Золотых Борис Николаевич; МИЭМ.- М., 1968.- 52с.

48. Золотых Б.Н. Тепловые процессы на поверхности электродов при электроискровой обработке металлов/ Б.Н. Золотых, А.И. Круглов// Сб.: Проблемы электрической обработки материалов.- М.: Изд-во АН СССР, I960.- С. 122-163.

49. Золотых Б.Н. Физические основы электроискровой обработки/ Б.Н. Золотых.- М.: Гостехиздат, 1953.- 97с.

50. Золотых Б.Н. Физические основы электроэрозионной обработки/ Б.Н. Золотых, P.P. Мельдер.- М.: Машиностроение, 1977.- 44с.

51. Иоффе В.Ф. Автоматизированные электроэрозионные станки/ В.Ф. Иоффе, М.В. Коренблюм, В.А. Шавырин.- Л.: Машиностроение, 1984.- 227с.

52. Ицхоки Я.С. Импульсные и цифровые устройства/ Я.С. Ицхоки, Н.И. Овчинников.- М.: Советское радио, 1972.- 592с.

53. Калинин Ю.И. Инструмент для ультразвуковой микросварки/ Ю.И. Калинин, Н.М. Ионина, О.Д. Ханжина// Обзоры по электронной технике. Сер. 7: Технология, организация производства и оборудование.- 1972.- №10(37).-С.3-42.

54. Кобоям Ш. Основы дифференциальной геометрии: в 2т./ Ш. Кобоям, К. Номидзу; пер. с анг.: Л.В. Саблина.- М.: Наука, 1981.- 364с.

55. Комбинированные методы обработки / Под. ред. В. П. Смоленцева. — Воронеж: ВГТУ, 1996.-168 с.

56. Коренблюм М.В. О связи величины шероховатости поверхности с длительностью и амплитудой импульсов разрядного тока при электроэрозионной обработке/ М.В. Коренблюм// Физика и химия обработки материалов.-1972.-№4.- С. 24-27.

57. Коренблюм М.В. Автоматизированные электроэрозионные станки за рубежом/ М.В. Коренблюм.- М.: Изд-во НИИмаш, 1981,- 92с.

58. Коренблюм М.В. Адаптивное управление электроэрозионными станками/ М.В. Коренблюм, М.Л. Левит, А.Л. Лившиц.- М.: Изд-во НИИмаш, 1977.- 80с.

59. Коренблюм М.В. Выбор режимов и эксплуатация транзисторных источников питания электроэрозионных станков/ М.В. Коренблюм, М.Ш. Отто.-М.: Изд-во НИИмаш, 1978.- 69с.

60. Коренблюм М.В. Высокочастотная электроэрозионная обработка/ М.В. Коренблюм, В.А. Винник// Станки и инструмент.- 1977.- № 9.- С. 19-20.

61. Коренблюм М.В. Расчет параметров импульсов при электроэрозионной обработке/ М.В. Коренблюм// Станки и инструмент.- 1975.- № 6.- С. 32-33.

62. Коренблюм М.В. Чистовая электроэрозионная обработка с малыми износом инструмента/ М.В. Коренблюм// Станки и инструмент.- 1980.- № 6.- С. 31-33.

63. Корн Г. Справочник по математике для научных работников и инженеров/ Г. Корн, Т. Корн.- М.: Наука, 1970.- 720с.

64. Кочергин В.В. Следящие системы с двигателями постоянного тока/ В.В. Кочергин.- Л.: Энергоатомиздат, 1988.- 165с.

65. Красников В.Ф. Микротехнология/ В.Ф. Красников// Машиностроитель.- 1972.-№ П.-С. 41-43.

66. Краткий справочник для инженеров и студентов: Высшая математика. Физика. Теоретическая механика. Сопротивление материалов/ А.Д. Полянин и др.. М.: Международная программа образования, 1996.- 432с.

67. Крылов К.И. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении/ К.И. Крылов, В.Т. Прокопенко, A.C. Митрофанов.- Л.: Машиностроение, 1998.- 276с.

68. Кудрявцев И.А. Электронные ключи: учеб. пособие/ И.А. Кудрявцев, В.Д. Фалкин,- Самара: Изд-во Самар. гос. аэрокосм, ун-та, 2002.- 24с.

69. Лазаренко Б.Р. Электроискровая обработка металлов/ Б.Р. Лазаренко.-М.: Машиностроение, 1950.- 164с.

70. Левинсон Е.М. Отверстия малых размеров/ Е.М. Левинсон.- Л.: Машиностроение, 1977,- 152 с.

71. Левинсон Е.М. Электроэрозионное оборудование/ Е.М. Левинсон, B.C. Лев.-М.-Д.: Машиностроение, 1965.- 164с.

72. Левинсон Е.М. Электроэрозионная обработка металлов: Справочное пособие по электротехнологии/ Е.М. Ливенсон, B.C. Лев.- Л.: Лениздат, 1972.-328с.

73. Лившиц А.Л. Генератор импульсов/ АЛ. Лившиц, И.С. Рогачев, М.Ш. Отто.- М.: Энергия, 1970.- 224с.

74. Лившиц А.Л. Исследование и расчет низковольтных генераторов импульсов: дис. . канд. техн. наук: защищена 12.02.1950/ Лившиц Абрам Лазаревич.- Харьков: ХПИ им. В.И. Ленина, 1950.- 324с.

75. Лившиц А.Л. Характеристики электроимпульсной обработки на высокой частоте.- Электроимпульсная обработка металлов/ А.Л. Лившиц, М.Н. Бурда.- М.: Изд-во ЦНИИТИмаш, I960.- 146с.

76. Марочник сталей и сплавов/ A.C. Зубченко и др.; под общ. ред. A.C. Зубченко.- 2-е изд., доп. и испр.- М.: Машиностроение, 2003.- 784с.- ISBN

77. Маталин A.A. Технология машиностроения/ A.A. Маталин.-Л.: Машиностроение, 1985.- 496с.

78. Намитоков К.К. Об агрегатном состоянии, составе и строении продуктов электрической эрозии.- Физические основы электроискровой обработки/ К.К. Намитоков.- М.: Наука, 1966.- 72с.

79. Ноздрин И.А. Технология получения сложных отверстий в твердосплавном инструменте для микросварки/ И.А. Ноздрин, А.Ф. Бойко, Ю.М. Бративник// Электронная техника. Сер.7, Технология, организация производства и оборудование.-1973.-№6(58).- С. 26-31.

80. Ноздрин И.А. Электроискровая обработка радиусов малых размеров/ И.А. Ноздрин, А.Ф. Бойко// Электронная техника. Сер.7, Технология, организация производства и оборудование.- 1973. №4(56).- С.27-31.

81. Оман В.Ю. Высокочастотная электроэрозионная обработка металлов и твердых сплавов/ В.Ю. Оман.- Л.: Изд-во ЛДНТП, 1963.- 26с.

82. Отто М.Ш. Принцип действия новой системы управления серийными копировально-прошивочными станками/ М.Ш. Отто// Электрофизические и электрохимические методы обработки.- 1981.- № 5.- С. 11-12.

83. Отто М.Ш. Схемы и конструкции транзисторных генераторов для питания электроэрозионных станков/ М.Ш. Отто, М.В. Коренблюм.- М.: Инфор-мэлектро, 1977.- 51с.

84. Очков В.Ф. MathCAD 7 Pro для студентов и инженеров/ В.Ф. Очков.-М.: Компьютер Пресс, 1998.- 384с.

85. Пат. 2027561 Российская Федерация, МПК7 В 23 Н 1/08. Рабочая среда для электроэрозионной обработки/ Т.С. Кохановская и др..- №1993114665 /22; заявл. 18.06.93; опубл. 27.01.95, Бюл. № 27.- 7с.

86. Пат. 2065342 Российская Федерация, МПК7 В 23 Н 1/02. Способ управления электрическими разрядами при электроэрозионной обработке и устройство для его осуществления/ Акпанбетов С.Б.- № 1995117363/22; заявл. 28.04.95; опубл. 20.08.96, Бюл № 15.- 37с.

87. Пат. 2074067 Российская Федерация, МПК7 В 23 Н 1/02. Способ управления технологическим током при электроэрозионной обработке/ М.Г. Ханна, Д.Я. Длугач, В.Б. Белицкий.- № 1995119432/22; заявл. 16.07.95; опубл. 27.02.97, Бюл. №33,- 12с.

88. Пат. 2076024 Российская Федерация, МПК7 В 23 Н 1/02. Генератор импульсов для электроэрозионной обработки/ Ролан Мартен.- № 199583746; заявл. 18.09.95; опубл. 27.03:97, Бюл. № 17.- 26с.

89. Пат. 2098212 Российская федерация, МПК7 В 21G 1/08. Способ изготовления атравматических игл/ В.И.Соколовский.- № 1996122326/14;~заявл. 11.05.96; опубл. 10.12.97, Бюл. № 11.- 26с.

90. Патент США, кл. 228-3, № 3472443, заявл. 12.04.66.

91. Патент США, кл. 29-423, № 3461538, заявл. 27.11.67.

92. Патент ФРГ, кл.210, 11/02, № 1230914, заявл. 22.12.66.

93. Петухов Ю.И. Сопротивление жидкости движению газового пузыря, сдавленного параллельными стенками/ Ю.И. Петухов, Н.Г. Скоробогатов, В.И. Сосунов// Журн. прикл. мат. и техн. физ,- 1970.- № 6.- С. 112-114.

94. Погонин A.A. Бесконтактная следящая система к копировальным станкам/А.А. Погонин, А.Ф. Бойко// Межотраслевые вопросы науки и техники.- 1975.-№10/2.-С.17-18.

95. Погонин A.A. Модернизация генератора импульсов тока для электроэрозионной прошивки капиллярных отверстий/ A.A. Погоним, А.Г.Схитрадзе, А.Ф.Бойко, Б.В. Домашенко //Ремонт, восстановление, модернизация.-2007.-№8.-С.28-33

96. Пономарёв К.К. Составление и решение дифференциальных уравнений инженерно-технических задач: пособие для физ.-мех. фак. пед. ин-тов/ К.К. Пономарёв.-М.: Учпедгиз, 1968.- 184с.

97. Попилов Л.Я. Электрофизическая-и электрохимическая обработка материалов/Л.Я. Попилов.- 2-е изд., перераб. и доп.- М.: машиностроение, 1982.- 159с.

98. Попилов Л.Электрофизическая и электрохимическая/обработка материалов/ Л.Я. Попилов.- М.: Машиностроение, 1969.- 297с.

99. Попов Д.Ю. Справочник по: численному решению дифференциальных уравнений в частных производных/ Д.Ю: Попов.- 5-е изд.- М.- Л:: Гостехиз-дат, 1951.- 183 с.

100. Проспект на станок 4Р222Ф2, НИИМАШ, 1990.

101. Проспекты фирмы Laser Inc. (США), 1999.

102. Пущинская A.A. Повышение стойкости инструмента при электроискровой обработке металлов/ A.A. Пущинская.- М.: Изд-во ЦИНТИ, 1963.- 28с.

103. Размерная электрическая обработка металлов/ Б.А. Артамонов и др..- М.: Высшая школа, 1978.- 336с.

104. Рачев JI.A. Движение пузыря в клиновидном щелевом канале с электрическим полем/ JI.A. Рачев, Ю.А. Стетюха// Электронная обработка материалов.- 1978.- № 6.- С. 41-43.

105. Самойленко A.M. Дифференциальные уравнения: примеры и задачи. Учеб. пособие.- 2-е изд., перераб./ A.M. Самойленко, С.А. Кривошея, H.A. Пе-рестюк.- М.: Высш. шк., 1989,- 383с.

106. Сарилов М.Ю. Исследование тепловых процессов при электроэрозионной обработке титанового сплава ОТ-4/ М.Ю. Сарилов// Машиностроитель.- 2007.- № 2.- С. 37-42.

107. Свид. на пром. обр. 23441 СССР, М.Кл3. В 23 Р 1/02. Электроэрозионный прошивочный станок/ А.П. Явтушенко, Л.И. Явтушенко, Ю.А. Хукаленко, А.Ф. Бойко (СССР).- № 40534/25-08; заявл. 28.01.87; опубл. 23.11.87, Бюл. №48.- 15с.

108. Смоленцев В.П.Изготовление инструмента непрофилированным электродом/В.П.Смоленцев.-М.:Машиностроение,1977.-122с.

109. Смоленцев В. П. Технология электрохимической обработки внутренних поверхностей / В. П. Смоленцев. М.: Машиностроение, 1978. — 186 с.

110. Спиридонов A.A. Планирование эксперимента при исследовании технологических процессов/ A.A. Спиридонов.- М.: Машиностроение, 1981.-184с.

111. Справочник по электрическим и ультразвуковым методам обработки материалов/ Л.Я. Попилов.- Л.: Машиностроение, 1971.- 544с.

112. Ставицкая Н.Б. Изучение эрозионных лунок при электроискровой обработке материалов электродом-проволокой/ Н.Б. Ставицкая// Электронная обработка материалов.- 1980.- № 6.- С. 5-7.

113. Ставицкая Н.Б. Исследование форм и размеров эрозионных лунок, образованных на различных материалах искровыми разрядами/ Н.Б.Ставицкая, Б.И.Ставицкий// Электронная обработка материалов,-1980.- № 1.- С.9-13.

114. Ставицкая Н.Б. Основные особенности электроискровой прецизионной обработки материалов/ Н.Б. Ставицкая, Б.И. Ставицкий// Электронная обработка материалов.- 1979.- № 4.- С. 5-9.

115. Ставицкий Б.И. К вопросу об оптимальной форме холостых импульсов напряжения и рабочих импульсов тока при прецизионной электроискровой обработке в воде/ Б.И. Ставицкий, C.B. Конушин// Электронная обработка материалов.- 1979.- № 3.- С. 5-8.

116. Ставицкий Б.И. Электроискровое изготовление прецизионных деталей электровакуумных приборов.- В кн.: Электроискровая обработка металлов. Вып. 2./ Б.И. Ставицкий.- М.: Изд-во АН СССР,' I960.- С. 62-86.

117. Стекольников И.С. Исследование начальной стадии разряда при малых межэлектродных промежутках/ И.С. Стекольников// Изв. АН СССР, ОТН.- М., 1966.- Вып. 7.- С. 48-53.

118. Суслов А.Г. Научные основы технологии машиностроение/А.Г. Суслов, A.M. Дальский.- М.: Машиностроение, 2002.- 684с.- ISBN.

119. Терещук P.M. Полупроводниковые приемно-усилительные устройства: Справочник радиолюбителя/ P.M. Терещук, K.M. Терещук, С.А. Седов.-Киев: Наук, думка, 1989.- 800с.

120. Трофимова Т.И. Курс физики: учеб. пособие для вузов/ Т.И. Трофимова.- 2-е изд., перераб. и доп.- М.: Высш. шк., 1990.- 478с.- ISBN

121. Фатеев Н.К. Электроэрозионная обработка отверстий/ Н.К. Фатеев.-М.: Машиностроение, 1976.- 40с.

122. Фатеев Н.К. Технология электроэрозионной обработки/ Н.К. Фатеев.-М.: Машиностроение, 1980.- 184с.

123. Харизоменов И.В. Бесконтактный контроль размеров в станкостроении. (Фотоэлектрический метод)/ И.В. Харизоменов.- М.: Машиностроение, 1975.- 161с.

124. Холоднов Е.В. Прецизионная электроискровая обработка в безуглеродной среде.- Физические основы электроискровой обработки металлов/ Е.В. Холоднов.- М.: Наука, 1966.- 42с.

125. Холоднов Е.В. Электроискровое изготовление отверстий малого диаметра/ Е.В. Холоднов// Электрофизические и электрохимические методы обработки.- 1970.- № 3.- С. 24-25.

126. Холоднов Е.В. Электроискровое изготовление прецизионного инструмента.- В кн.: Электроискровая обработка металлов. Вып.2/ Е.В. Холоднов.-М.: Изд-во АН СССР, I960.- С. 152-171.

127. Чепелев В.Г. Высокочастотные электроэрозионные генераторы импульсов и полупроводниковые устройства, применяемые в практике электроискровой обработки/ В.Г. Чепелев.- Д.: Изд-во ЛДНТП, 1963.- 24с.

128. Электроимпульсная обработка металлов/ А.Л. Лившиц и др..- М.: Машиностроение, 1967.- 286с.

129. Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов: в 2т./ Б.А. Артамонов и др.; под ред.В.П.Смоленцева- М.: Высш. школа, 1983.-Т. 1-2.

130. Электроэрозионная и электрохимическая обработка в 2т. Т.1. Электроэрозионная обработка/ А.Л. Лившиц и др.; под ред.А.Л. Лившица и А. Роша.- М.: НИИмаш, 1980.- 224с.

131. Электроэрозионная обработка материалов/ Е.М. Левонсон и др..- Л.: Машиностроение, 1971.- 265с.

132. Яворский Б.М. Справочник по физике: для инженеров и студентов вузов/ Б.М. Яворский, A.A. Детлаф.- 4-е изд., перераб.- М.: Наука, 1968.- 940с.

133. Ящерицин П.И. Планирование эксперимента в машиностроении / П.И. Ящерицын, Е.И. Махаринский.- Мн.: Вышэйша школа, 1985.- 286с.

134. Design and components in engineering. Vol. 15,1968, P.14.i j

135. Drill and weld with laser Tocl and Prod., 1983, 39, № 2, 47.

136. Electronic Packaging and Prodaction , 1983, № 10, 160-161.

137. Emerson Charles E.D., Ming Holes. Amer. Mach, Vol 115, № 49, 1971.

138. Lasers microdrilling Books intoreactorleaks. Ind. Res., 1993,15, № 9, 34.

139. Metalnorking thi laser. Metal. Progr., 1988, 103, № 5, 99-100.

140. New Laser Micro- driller. Mach and Prod. Eng. 1985, № 3277, 292.

141. Smolenzev V. Technologija kombinirovannych metodov obrabotki material ov / V. Smolenzev, G. Smolenzev // Materialy konferencyjne EM-90: Budgoszcz, Polska, 1990-C.217-229.

142. S. Reiner Laserais herkzeng in der Fertigung. Phys und Didakt, 1976, 4,№ 3, 205-223.

143. Wilson C.C. Analysis of EDM performance and no-wear in the coppers-teel system.- Por. Amer. Soc. Mech. End. 1970. Prod-12. 16p.•о } •л < У> $1. V. *з. зт