Снижение погрешности формирования прецизионных углоизмерительных структур тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.16, кандидат технических наук Кирьянов, Алексей Валерьевич

• Кирьянов, Алексей Валерьевич
• кандидат технических наук
• 2008

Оглавление диссертации кандидат технических наук Кирьянов, Алексей Валерьевич

Введение.

Глава 1 Обзор и анализ современного уровня развития угловых преобразователей и основных технологий производства прецизионных углоизмерительныхктур.

1.1 Современное состояние производства угловых преобразователей.

1.2 Современный уровень технологий формирования прецизионных углоизмерительных структур.

1.3 Выводы по первой главе.

Глава 2 Исследование точностных параметров основных технологий, ' используемых для формирования прецизионных углоизмерительных структур, выработка единого критерия, позволяющего сравнивать качество технологий.

2.1 Определение накопленной погрешности прецизионных углоизмерительных структур, изготовленных по различным технологиям.

2.2 Универсальный критерий для сравнения качества технологий используемых для формирования прецизионных углоизмерительных структур.

2.3 Оценка потенциальной точности датчиков угловых перемещений с лимбами, изготовленными по способу кругового сканирования.

2.4 Выводы по второй главе.

Глава 3 Анализ и исследование причин, приводящих к искажению круговой траектории движения записывающего луча по поверхности фоточувствительного слоя.

3.1 Зависимость погрешности формирования углоизмерительных структур от искажений круговой траектории движения записывающего луча.

3.1.1 Экспериментальные результаты, указывающие на зависимость погрешности формирования углоизмерительных структур от искажений круговой траектории движения записывающего луча.

3.1.2 Анализ результатов формирования углоизмерительных структур от искажений круговой траектории движения записывающего луча.

1У1Г1 ^¿»^ХУХХ^ХХХХ^НУХГХ тихшд^лл. я внешних факторов на изменчивость траектории .ющего луча по поверхности фоточувствительного слоя баланса ротора. юосности оптической оси головки записи и оси вращен

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Снижение погрешности формирования прецизионных углоизмерительных структур»

Актуальность темы. Изготовление с высокой точностью оптических лимбов, круговых шкал, растров, многоразрядных кодовых дисков (основных метрологических элементов в дальнейшем называемых обобщённо -углоизмерительные структуры (УИС)) является важной технической задачей любого предприятия, выпускающего углоизмерительную аппаратуру, так как известно, что погрешности изготовления этих узлов вносят подавляющий вклад в общий баланс погрешностей данных приборов [1-6]. Как правило, в условиях промышленного производства процесс изготовления УИС состоит из двух стадий: изготовления эталонного образца углоизмерительной структуры и последующего его тиражирования с целью получения рабочих копий. Известно, что погрешности, внесённые на этапе изготовления эталона, на последующих этапах не корректируются, более того, последующие этапы только снижают точность изделий. Поэтому создание как можно более точных эталонных образцов является необходимой компонентой технологического процесса изготовления прецизионных углоизмерительных приборов.

Технологические процессы, наиболее часто применяемые в настоящее время для изготовления УИС, можно разделить на три группы: делительно-граверные, фототехнологические и лазерные.

Технологические процессы производства УИС на основе делительно-граверных машин имеют наиболее богатую историю, насчитывающую более сотни лет. Этот процесс характеризуется достаточно высокой стоимостью и низкой производительностью (например, требуется несколько недель для изготовления многоразрядного кодового диска или прецизионного растра с количеством штрихов более 8000). Более того, при увеличенном времени изготовления лимбов к концу цикла изготовления отмечалось снижение качества резцов, приводящее к заметному увеличению результирующей погрешности изделия [7,8]. Эти особенности стали резко тормозить процесс широкого внедрения фотоэлектрических угловых преобразователей в различные отрасли промышленности.

По этой причине с середины прошлого столетия стали быстро развиваться более производительные технологии на основе фотопроцессов. К середине восьмидесятых годов прошлого века безусловным мировым лидером стала технология проекционной фотолитографии, созданная немецкой фирмой Heidenhain, широко известная под фирменным названием «технология Diadur». Многие фирмы во всём мире ставили перед собой задачу освоения данной технологии. Только в Европе, кроме фирмы-разработчика, эту технологию освоили фирмы: Carl Zeiss-Jena (ГДР), RSF (Австрия), Iskra (Югославия).

В 1988 году вышло постановление Совета Министров СССР № 1366, согласно которому ряду крупных предприятий и институтов было поручено оснастить станкоинструментальную промышленность страны прецизионными фотоэлектрическими угловыми преобразователями и, тем самым, решить проблему импортозамещения [9]. Решение этой проблемы шло по нескольким направлениям: Вильнюсский филиал ЭНИИМС'а - головное предприятие в Советском Союзе по выпуску угловых преобразователей, пытался повторить «Diadur-технологию». В Ленинградском институте точной механики и оптики (ЛИТМО) и Московском институте электронной техники (МИЭТ) под руководством д.т.н. проф. JI.H. Преснухина велись работы по созданию на основе фототехнологических процессов специализированных делительных машин. В Санкт-Петербургском институте ядерной физики (ПИЯФ) под руководством д.т.н. проф. Б.Г. Турухано велись работы по созданию голографических установок.

Однако поставленная задача не была окончательно решена и до сих пор остается актуальной, так как ни одному из предприятий не удалось достичь уровня фирмы Heidenhain как по точности формирования углоизмерительных структур, так и по точности получаемых с их помощью угловых преобразователей.

К середине 90-х годов всё чётче стала проявляться тенденция замедления снижения погрешности формирования УИС, а, следовательно, и угловых преобразователей. В основном повышение точности преобразователей поддерживалось за счёт развития методов и средств компенсации систематических погрешностей, реализуемых с помощью соответствующих электронных блоков, благодаря быстрому развитию микроэлектроники.

В это же время в мире стали интенсивно разрабатывать альтернативные технологии формирования УИС на базе технологических комплексов -лазерных и электронно-лучевых [10-14]. В 1980-1985 гг. в Институте автоматики и электрометрии (ИАиЭ) СО РАН был разработан первый лазерный технологический комплекс, работающий в полярных координатах на основе метода кругового сканирования. В 1990-1995 гг. в Конструкторско-технологическом институте научного приборостроения (КТИ НП) СО РАН совместно с ИАиЭ была разработана коммерческая модель лазерного технологического комплекса, получившая название СЬ\¥3-300. В настоящее время один из комплексов С1Л¥8-300 успешно применяется для синтеза прецизионных УИС на Уральском оптико-механическом заводе (УОМЗ) в г. Екатеринбург. Его использование позволило в условиях промышленного производства реализовать изготовление УИС с погрешностью порядка (1 — 2)".

Целью диссертационной работы является разработка и исследование методов и средств снижения погрешностей прецизионных углоизмерительных структур, изготавливаемых с использованием лазерных технологических комплексов.

Задачи исследований, определяемые целью диссертации:

1 Провести детальный обзор и анализ основных технологий формирования прецизионных УИС и оценить современный уровень производства угловых преобразователей.

2 Исследовать точностные параметры и выработать единый критерий оценки для сравнения метрологического качества основных технологий, используемых для изготовления прецизионных УИС.

3 Исследовать причины преобладания в спектре погрешности формируемых УИС второй гармоники.

4 Предложить новые методы повышения точности лазерного технологического комплекса СЬ\\^8-300, разработать и испытать шпиндельный узел, устойчивый к различным дестабилизирующим факторам при формировании УИС.

5 Изготовить и экспериментально получить метрологические характеристики УИС, сформированных на модернизированном лазерном технологическом комплексе СЬЛМ5-300.

Методы исследования: Результаты исследований, обсуждаемые в диссертации, получены путём теоретического анализа, расчёта конструкций основных узлов и физических экспериментов с созданными образцами техники.

Научная новизна работы:

1 Предложено для оценки метрологических параметров технологий, применяемых при формировании прецизионных УИС, использовать специальный критерий, учитывающий одновременно и погрешность сформированной структуры и её размеры, названный фактором нестабильности.

2 Исследованы причины, приводящие к искажению траектории движения записывающего луча по поверхности фоточувствительного слоя из-за влияния дисбаланса ротора. Показано, что погрешности формирования УИС вызываются паразитными (прецессионными и нутационными) движениями оси ротора шпинделя, а не только качеством изготовления шпинделя в целом, как это считалось ранее. Предложены пути снижения погрешностей.

3 Показано, что в искажения траектории движения апекса несбалансированного ротора, вносит вклад анизотропия приведенных коэффициентов жесткости аэростатического подвеса.

4 Выявлено, что причиной долговременной нестабильности взаимного расположения оси вращения шпинделя и оси головки записи в лазерном технологическом комплексе CLWS-300 являются наличие внутренних источников тепла.

5 Впервые в отечественном приборостроении достигнуто снижение погрешности до уровня ±0,35". Для этого создан фотоэлектрический угловой преобразователь встраиваемого типа диаметром 180 мм. Указанное снижение достигнуто технологически, т.е. без использования методов электронной коррекции, которые могут стать дополнительным резервом снижения результирующей погрешности преобразователя.

6 На основе проведенных исследований разработан, создан и экспериментально исследован шпиндельный узел лазерного технологического комплекса CLWS-300. Используя модернизированный комплекс, впервые был сформирован прецизионный угловой растр диаметром 85 мм с погрешностью ±0,7".

Практическая значимость работы и результаты внедрения'.

На основе результатов исследований разработана и изготовлена партия модернизированных шпиндельных узлов для технологических комплексов типа CLWS-300: шпиндельный узел со встроенным угловым преобразователем и уменьшенной нестабильностью взаимного расположения оси вращения шпинделя и оси головки записи. Данный узел позволяет формировать углоизмерительные структуры с погрешностью ±2". В настоящее время данный узел входит в состав технологических комплексов, эксплуатирующихся в Институте физики Академии космических технологий КНР и в НПП «Геофизика-Космос» (г. г

Москва); шпиндельный узел со встроенным угловым преобразователем и системой компенсации температурного дрейфа. Данный узел позволяет формировать углоизмерительные структуры с погрешностью ±1". В настоящее время узел входит в состав технологического комплекса, эксплуатирующегося в ФГУП ПО УОМЗ (г. Екатеринбург); шпиндельный узел с уменьшенными искажениями траектории движения верхнего торца вала вместе с закреплённым на нём объектом относительно записывающей головки, со встроенным угловым преобразователем и системой компенсации температурного дрейфа. Данный узел позволяет формировать углоизмерительные структуры с погрешностью ±0.7". В настоящее время узел входит в состав технологического комплекса, эксплуатирующегося в КТИ НП СО РАН.

На защиту выносятся:

1. Метод оценки точностных параметров технологий, применяемых для формирования прецизионных углоизмерительных структур, основанный на использовании фактора нестабильности, характеризующего максимальное отклонение центра синтезируемой структуры от идеального положения, относительно записывающего инструмента в пределах полного оборота;

2. Метод компенсации случайных искажений заданной траектории движения верхнего торца вала аэростатического шпинделя вместе с закреплённым на нём объектом;

3. Метод компенсации нестабильности взаимного расположения оси вращения шпинделя и оптической оси канала записи лазерного технологического комплекса СГ^Б-ЗОО;

4. Принцип построения шпиндельного узла лазерного технологического комплекса, работающего в полярных координатах с повышенной устойчивостью к действию различных дестабилизирующих факторов;

Апробация работы:

Основные положения данной диссертационной работы были представлены на шести международных конференциях и симпозиумах: Современные проблемы геодезии и оптики: Международная научно-техническая конференция, Новосибирск, 23-27 ноября, 1998, 10th IMEKO ТС7 Intern. Symposium on Advances of Measurement Science (AMS'04), June 30-July 2, 2004, Saint-Petersburg, Russia, 2-nd International Symposium Mechanical Measurements (ISMM-2004), Beijing, China, 2004, The 5th International Conference Measurement 2005, May 15 - 19, 2005, IMEKO TCI and 9th IMEKO TC13 Conference, (Bratislava), Slovakia, II-ая Международная конференция "Автоматизация, управление и информационные технологии — ASIT-2005", одной всероссийской научно-практической конференции «Датчики и системы» (ДиС-2006), Москва, так же в 1 отчете о НИР.

Публикации:

Основное содержание работы изложено в 19 публикациях: 1 патенте (свидетельстве) РФ на полезную модель, 4 научных статьях вошедших в перечень изданий, рекомендованных Высшей аттестационной комиссией, 14 в научных сборниках и трудах российских и международных конференций.

Личный вклад автора:

Личный вклад автора заключается в выборе методов и средств решения задач диссертации и в их решении, а также в организации и непосредственном выполнении научных экспериментов и интерпретации полученных результатов.

Структура и объем диссертации:

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы из 100 наименований. Содержание диссертации изложено на 129 страницах, содержит 68 рисунков и 9 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)», Кирьянов, Алексей Валерьевич

4.4 Выводы по четвертой главе

1. Предложен новый метод построения шпиндельного узла лазерного технологического комплекса CLWS-300, позволяющий снизить погрешность синтеза малогабаритных прецизионных УИС («85 мм в диаметре) до уровня менее 1". Данный результат получен за счет того, что в новой реализации удалось снизить фактор нестабильности F до уровня 0,144 мкм, что позволило выйти модернизированному комплексу CLWS-300 на второе место в мире после лазерного технологического комплекса фирмы Tamagava Seiky Ltd (Япония).

2. На основе результатов исследования причин и характера проявлений дестабилизирующих факторов, предложены и апробированы в реально действующем лазерном -технологическом комплексе технические решения, позволяющие снизить интегральный дрейф ВРО до уровня 0,08 мкм и, тем самым, снизить дестабилизирующее действие внутренних температурных полей на точность формирования прецизионных УИС.

3. На основе предложенных решений разработан прецизионный фотоэлектрический угловой преобразователь диаметром 180 мм, в котором результирующая погрешность снижена до уровня ±0,35". Впервые в отечественном приборостроении снижение погрешности углового преобразователя получено без дополнительной электронной коррекции, которая может стать дополнительным резервом снижения результирующей погрешности углового преобразователя.

Заключение

В соответствии с целями исследований в диссертационной работе получены следующие основные результаты:

1. Сделан анализ литературных источников по основным технологическим комплексам, используемым для формирования прецизионных углоизмерительных структур (УИС) и исследованы их точностные показатели. Выявлена недостаточность применяемых характеристик для оценки их метрологического качества и на этом основании предложена дополнительная характеристика — фактор нестабильности Т*1, под которым предложено понимать линейную величину, характеризующую максимальное отклонение центра синтезируемой структуры от идеального положения, относительно записывающего инструмента в пределах полного оборота. Используя данный критерий, показано, что технологические комплексы на основе лазерных технологий, работающих как в декартовой, так и в полярной системе координат, обеспечили к настоящему времени существенное снижение погрешности формирования УИС.

2. В результате анализа современного состояния и динамики развития производства угловых преобразователей в мире показано, что проблема создания прецизионных фотоэлектрических угловых преобразователей остаётся актуальной. Снижение погрешности угловых преобразователей алгоритмическими методами (т.е. путём предварительного определения погрешности готовых образцов и последующей её компенсации) позволяет уменьшить результирующую погрешность прецизионных преобразователей не более чем в два раза. На основе диссертационного исследования предложено решение снижения погрешности угловых преобразователей за счёт повышения класса точности технологических комплексов, используемых при синтезе исходных УИС.

3. Выявлены важнейшие погрешности, приводящие к снижению точности формирования УИС, среди которых наиболее значимая — погрешность, вызванная случайными искажениями заданной траектории движения записывающего луча под воздействием внешних факторов. Среди множества внешних факторов для технологического комплекса СГЛУ^-ЗОО наиболее существенным определён дисбаланс ротора шпиндельного узла, вместе со всеми присоединёнными к ротору узлами. Установлено, от каких особенностей конструкции шпиндельного узла в наибольшей степени зависит вклад этого фактора.

4. Экспериментально выявлены причины долговременной нестабильности взаимного расположения оси (ВРО) вращения шпинделя и оптической оси канала записи, приводящие к погрешности синтеза УИС. Предложены технические решения исполнения шпиндельного узла, позволяющие снизить интегральный дрейф ВРО до 0,08 мкм.

5. Создан прецизионный фотоэлектрический угловой преобразователь, в котором результирующая погрешность снижена до уровня ±0,35". Впервые в отечественном приборостроении указанная точность углового преобразователя получена технологически, т.е. напрямую, без дополнительной электронной коррекции.

6. Предложен новый принцип построения шпиндельного узла угловой координаты лазерного технологического комплекса СЬ\У8-300. В результате, за счет уменьшения случайных искажений заданной траектории движения верхнего торца вала аэростатического шпинделя вместе с закреплённым на нём объектом, удалось снизить фактор нестабильности Т7 до уровня 0,144 мкм, и тем самым снизить погрешность синтеза малогабаритных УИС («85 мм в диаметре) до уровня менее 1".

7. Результаты диссертационного исследования явились научно-технической основой создаваемой в России уникальной отечественной технологии производства прецизионных УИС для импортозамещения в области прецизионных фотоэлектрических угловых преобразователей.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Кирьянов, Алексей Валерьевич, 2008 год

1. Фотоэлектрические преобразователи информации Текст. / JI.H. Преснухин, С.А. Майоров, И.В. Меськин, В.Ф. Шаньгин; Под ред. JI.H. Преснухина. М.: Машиностроение, 1974. - 376 с.

2. Мироненко A.B. Фотоэлектрические измерительные системы Текст. -М.: Энергия, 1967. 360 с.

3. Преснухин, JI.H. Муаровые растровые датчики положения и их применение Текст. / JI.H. Преснухин, В.Ф. Шаньгин, Ю.А. Шаталов М.: Машиностроение, 1969. -203 с.

4. Высокоточные преобразователи угловых перемещений Текст. / Э.Н. Асиновский, A.A. Ахметжанов, М.А. Габидулин; Под общ. ред. A.A. Ахметжанова. -М.: Энергоатомиздат. 1986.

5. Корндорф С.Ф. Фотоэлектрические измерительные устройства в машиностроении Текст. М.: Машиностроение, 1965. - 194 с.

6. Ушинскас, А.Т. Разработка прецизионных фотоэлектрических измерительных преобразователей круговых перемещений Текст.: Автореф. дис. . канд. техн. наук. Каунас, 1984 г. — 24 с.

7. Федотов, А.И. Техногогия автоматизированного нанесения штрихов и знаков Текст. JL: Машиностроение, 1977. - 304 с.

8. Федотов, А.И. Автоматизация делительных работ Текст. JL: Машиностроение, 1969. - 314 с.

9. Научные среды: Гвкладыш к газете "Гатчинская правда", вых. с июня 1990. Электрон, газета. - Режим доступа:http://hepd.pnpi.spb.ru/ioc/ioc/line0611127n5.htm, свободный. — Загл. с экрана. -2006.-№ 11-12.

10. Глазков И.М. Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем Текст. / ИМ. Глазков, Я.А. Райхман- Мн. Наука и техника, 1981. — 144 с.

11. Лазерная установка для изготовления фотошаблонов ИС с высоким разрешением Текст. // Электроника. 1976. - Т.49, №9. - С. 15-16.

12. Fujita Т. Fabrication of Micro Lenses Using Electron-Beam Lithographe Text. / Fujita Т., Nishihara H., Koyama J. // Opt. Lett. 1981. - Vol. 6. - P. 613615.

13. Markentin, P.A. Scanning laser technology applied to high speed reticle writing Text. / Markentin P.A., Schoeffel J.A. // Proc. SPIE. Vol. 633. Optical Microlithography V. 1986. - P.

14. Shi-kay, Yao. Exposing patterns with a scanning laser system Text. / Shi-kay Yao, Meshman B. // Proc. SPIE. Vol. 633. Optical Microlithography V. 1986.

15. ГОСТ PB 15.203. Преобразователи угла цифровые. Общие технические условия Текст. Введ. 2004-01-01. - М.: Госстандарт России: Гос. Военный стандарт РФ, 2003. - 52 с.

16. Шаньгин, В.Ф. Об измерении угловых перемещений радиальными растровыми решетками Текст. // Счетно-решающие приборы. М., Машиностроение, 1964.

17. Валюс, H.A. Растровые оптические приборы Текст. М.: "Машиностроение", 1966. - 205 с.

18. Голубовский Ю.М. Фотоэлектрические преобразователи линейных и угловых перемещений Текст. / Ю.М. Голубовский, JI.H. Пивоварова, Ж.К. Афанасьева // Оптико-механическая промышленность. 1984. - №8. - С. 50-58.

19. Домрачев В.Г. Цифровые преобразователи угла Текст. / В.Г. Домрачев, Б.С. Мейко. -М.: Энергоатомиздат, 1984. 328 с.

20. Brown@Sharp-Precizika Electronic resource., Electronic date. - [s.l.: s.n., 2005]. - Access: http://www.precizika.lt/photo.php, free. - Title from screen.

21. Iskra TELA Electronic resource. Electronic date. - [s.l.: s.n., 2006]. -Access: http://www.iskra-tela.si/www.iskra-telasem.si/en, free. - Title from screen.

22. BEI Precision Systems Electronic resource. Electronic date. - [s.l.: s.n., 2008]. - Access: http://www.beiprecision.com/, free. - Title from screen.

23. Fagor Electronic resource. Electronic date. - [s.L: s.n., 2006]. - Access: www.fagorautomation.com/pub/doc/File/Catalogos/, free. - Title from screen.

24. Меськин, И.В. О классификации цифровых преобразователей перемещений Текст. // Известия вузов. Приборостроение. 1992. - № 3-4. -С.49-58.

25. Angular encoders: General Catalog Text. / Heidenhain GmbH. Traunreut, Germany: Heidenhain GmbH, 2000. - 82 p.

26. Ионак В.Ф. Приборы кинематического контроля Текст. М.: Машиностроение, 1981. — 128 с.

27. Иванов Б.Н. Выбор параметров образцового фотоэлектрического преобразователя угла поворота Текст. // Измерительная техника. 1981. - № 6. - С. 28-29.

28. Меськин, И.В. Современное состояние разработок цифровых оптоэлектронных преобразователей перемещений в институте точной механики и оптики Текст. / И.В. Меськин, JI.H. Мальцев, Е.В. Шалобаев // Датчики и системы. -2000. № 6. - С. 6-10

29. Муханин Л.Г. О точности муаровых растровых преобразователей перемещений Текст. // Измерительная техника. 1974. - № 2- С. 19-20.

30. Меськин, И.В. Особенности построения подвижной системы высокоточного голографического цифрового измерителя угла Текст. / И.В. Меськин, JI.H. Мальцев, Е.В. Шалобаев, Б.П. Папченко // Тез. докл. XXX научн. техн. конф. СПб: ИТМО, 1999.

31. Справочник технолога-оптика Текст. / M.A. Окатов, Э.А. Антонов, А.Байгожин и др.; Под ред. М.А. Окатова. 2-е изд.; перераб. и доп. - СПб.: Политехника, 2004. - 679 е.: ил.

32. Теплицкий, Б.М. Делительные механизмы Текст.: Справочное пособие / Б.М. Теплицкий, Г.И. Мазо. JL: Машиностроение. 1974. - 280 с.

33. Мещерская М.В, Результаты испытаний высокоточных круговых делительных машин TKF 1000/1 и TKF 1000 Текст. / М.В. Мещерская, Н.Г. Баранов // Оптико-механическая промышленность. — 1977. —№ 12. — С. 38-41.

34. Топильский В.Б., Автоматизированная фотомеханическая делительная машина Текст. / В.Б. Топильский, К.К. Кондратов // Научно-технические достижения: межотраслевой научно-технический сборник. 1995. - № 2. — С. 37-39.

35. Шухард, Г. Новый приборный комплекс для изготовления высокоточных круговых шкал Текст. // Иенское обозрение. 1986. - № 2. - С. 92-94.

36. Фотоэлектрические цифровые преобразователи угловых и линейных перемещений Текст.: Труды Всесоюзн. совещание — семинара. Горис, 1988.

37. Осипова, Г.И. Изготовление высокоточных круговых шкал методом контактной фотопечати Текст. / Осипова Г.И., Цуцков А.Н. // Оптико-механическая промышленность. 1978. - № 9. - С. 47-49.

38. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий Текст. / Ю.Ф. Абрамов, В.П. Кирьянов,

39. A.В. Кирьянов, С.А. Кокарев, Д.Ю. Кручинин, О.Б. Яковлев // Оптический журнал. 2006. - Т. 73, №8. - С. 61-65.

40. Лазерная технология изготовления круговых шкал и кодовых дисков: Препринт № 319 Текст. / В.М. Ведерников, В.П. Кирьянов, В.П. Корольков,

41. B.П. Коронкевич, А.Г. Полещук, А.Г. Седухин, Е.Г. Чурин, A.M. Щербаченко, Ю.И. Юрлов Новосибирск: ИАиЭ СО АН СССР, 1986. - 39 с.

42. Прецизионный фотопостроитель для синтеза оптических элементов / В.М. Ведерников, В.Н. Вьюхин, В.П. Кирьянов Текст. // Автометрия. — 1981. -№3. С. 3-17.

43. Gordeev S.V. Investigation of the interference field of two spherical waves for holographic recording of precision radial diffraction gratings Text. / Gordeev S.V., Turukhano B.G. // Optical & Laser Technology. 1996. - Vol. 28, № 4. - P. 255-261.1 123

44. Нанотехнологический компьютеризированный измерительный поворотный стол Текст. / Б.Г. Турухано, Н. Турухано, В.В. Добырн // Станочный парк. 2006. - №7. С. 16-17.

45. Renishaw Electronic resource. Electronic date. - [s.l.: s.n., 2005]. - Access: http://www.renishaw.ru/photo.php., free. - Title from screen.

46. Анализ современных технологий синтеза углоизмерительных структур для высокоточных угловых измерений Текст. / В.П. Кирьянов, А.В. Кирьянов, Д.Ю. Кручинин, О.Б. Яковлев // Оптический журнал. 2007. - №12. - С. 40-49.

47. Латыев С.М. Компенсация погрешностей в оптических приборах Текст. Л.: Машиностроение, 1981.

48. Корольков В.П. Измерение и коррекция траектории движения лазерного пучка в круговых записывающих системах Текст. // Автометрия. — 2003. Т. 39, № 6. -С. 13-25.

49. Полещук, А.Г. Методы минимизации ошибок прямой лазерной записи дифракционных оптических элементов Текст. / А.Г. Полещук, В.П. Корольков, В.В. Черкашин, С. Райхельд, Дж. Бёдж // Автометрия. 2002. — Т. 38, №3.-С. 3-19.

50. Полещук, А.Г. Дифракционные оптические элементы: методы синтеза и применение Текст.: Автореф. дис. . д-ра техн. наук / ИАиЭ СО РАН. -Новосибирск, 2003.

51. Баласаньян, B.C. Точность вращения шпинделей с аэростатическими опорами металлорежущих станков и приборов Текст. // Машиноведение. -1982.-№ 6.-С. 66-72.

52. Высокоточные угловые измерения Текст. / Д. А. Аникст, К.М. Константинович, И.В. Меськин, и др.; Под ред. Ю.Г. Якушенкова. М.: Машиностроение, 1987. - 480 с.

53. Ахметжанов, А.А. Системы передачи угла повышенной точности Текст. М.; Д.: Энергия, 1966. 278 с.

54. Критерий оценки погрешности технологических комплексов для синтеза углоизмерительных структур Текст. / А.В. Кирьянов // Сборник научных трудов НГТУ. 2008. - №3 (53). - С. 19-26.

55. Клисторин, И.Ф. Оценка потенциальной точности датчиков угловых перемещений с лимбами, изготовленными по способу кругового сканирования Текст. / И.Ф. Клисторин, В.П. Кирьянов, А.В. Кирьянов // Датчики и системы. -2006. -№ 1. С.25-29.

56. Gurley Precision Instruments Electronic resource. Electronic date. - [s.l.: s.n., 2007]. - Access: http://www.gpi-encoders.com/rotinc.htm, free. - Title from screen.

57. Masuda T. An automatic calibration system for angular encoders Text. / T. Masuda, M. Kajitani // Precision Engineering. 1989. - Vol. 11, No 2. - P. 95.

58. Эйдинов, В.Я. Измерение углов в машиностроении Текст. М.: Стандарт ГИЗ, 1963. - 414 с.

59. Portman, V. Phase-statistical method and device for high precise and high-efficiency angular measurements Text. / V. Portman, B. Peschansky // Precision Engineering. 2001. - Vol. 25. - P. 309.

60. Парняков, E.C. Методы и средства автоматизированного контроля круговых мер Текст. М.: ЦНИИТЭ, 1989.

61. Cho N. Roundness modeling of machined parts for tolerance analysis Text. / Cho N, Tu J. // Precision Engineering. 2001. - V. 25, № 1. - P. 35-47.

62. Whitehouse, D.J. Handbook of surface metrology. Institute of Physics Text. 1994.

63. Chetwynd, D.G. Roundness measurement using Limacons Text. // Precision Engineering. 1979. - V. 1, № 2. - P. 137-141.

64. Circular laser writing system CLWS-300 / Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Vedernikov V.M., Verhoglad A.G. Kokarev S.A. (TDI); Cherkashin V.A., Churin

65. E.G., Korol'kov V.P., Koronkevich V.P., Kharissov A.A., Poleshchuk A.G. (IAE) // Diffractive Optics, Savolina, Finland, 7-9 July, 1997, P. 222-223.

66. Кирьянов В.П., Ведерников В.М., Верхогляд А.Г., Касторский Л.Б., Кирьянов А.В., Кокарев С.А. Лазерный генератор изображений. // Свидетельство РФ на полезную модель №17473. Приоритет от 03.10.2000.

67. Опоры скольжения с газовой смазкой Текст. / Под ред. С.А. Штейнберга. — М.: Машиностроение, 1979. 336 с.

68. Азаров, В.А. Исследование динамических характеристик шпинделя особоточного токарного станка Текст. / В.А. Азаров, Г.Г. Позняк, В.А. Рогов // Технология машиностроения. 2003. - №2. - С. 13-18.

69. Баласаньян, B.C. Влияние дисбаланса на образование формы поверхности при высокоточной токарной обработке Текст. — М.: 1985. — 12 с. Деп. во ВНИИТЭМР 23.04.84., №165 мш 85.

70. Позняк, Г.Г. Динамическая модель шпинделя на аэростатических опорах Текст. / Позняк Г.Г., Махов А.А. // Вестник РУДН. Сер.: Инженерные исследования. -2003. №1 (8). - С. 76-81.

71. Позняк, Г.Г. Математическая и физическая модели отклонений формы поверхности при точении на особо точных станках Текст. / Позняк Г.Г., Азаров В.А. Хамис Яхья // Станки и инструменты [СТИН]. 2000. - № 1. - С. 20-23.

72. Позняк, Г.Г. Влияние дисбаланса на форму обработанной поверхности при тонком точении Текст. / Позняк Г.Г., Хамис Яхья // Материалы науч.-техн. конф., посвященной 25-летию кафедры технологии машиностроения УДН. -М.: УДН, 1988.-С. 51-58.

73. Гусаров A.A. Балансировка роторов машин Текст.: В 2 кн. М.: Наука, 2004.--Кн.1.-267 с.

74. Айзерман, М.А. Классическая механика Текст. М.: Главная редакция физико-математической литературы изд-ва "Наука", 1974. - 368 стр.

75. Freimann R. Aberrations of symmetric diffractive elements in relation to their fabrication inaccuracies Text. // Optik. 2000. - Vol. 111, No. 11. - P.485.

76. Иванова, B.C. Вибрационные силы, их проявление в гироскопе со смешенным центром масс при вибрации основания Текст.: автореф. дис. канд. техн. наук : 01.02.06 / Иванова Вероника Сергеевна. Томск, 2003. — 24 с.

77. Анализ и экспериментальное исследование системы радиальных перемещений лазерного фотопостроителя субмикронного разрешения Текст.

78. В.П. Кирьянов, А.П. Анциферов, В.М. Ведерников, Е.Г. Волков, А.И. Ерышов,

79. A.В. Кирьянов, А.И. Муравьев // Автометрия. 1994. - №3. - С. 31-37.

80. Poleshchuk, A.G. Diffractive structure fabrication errors by laser thermochemical recording method Text. // Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 2003. - № 6. - P. 39-45.

81. B.П. Корольков, А.В. Кирьянов и др.. Новосибирск, 2000. - 108 с. - 01.9.90 001725.

82. Высокоточный угловой преобразователь для шпиндельного узла лазерного генератора изображений CLWS-300/C Текст. / А.В. Кирьянов // Научный вестник НГТУ. 2008. - №4 (33). - С. 188-195.