Синтез, структура, свойства оксидных гетероструктур анодных пленок, сенсоры на их основе тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, доктор физико-математических наук Ефименко, Александр Васильевич

• Ефименко, Александр Васильевич
• доктор физико-математических наук
• 2006

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Ефименко, Александр Васильевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. Литературный обзор

1.1. Взаимодействие циркония с кислородом.

1.2. Полиморфизм диоксида циркония.

1.3. О структурном типе флюорита. Структуры, характеризующиеся формулой МОг.

1.4. Стабилизация высокотемпературной модификации диоксида циркония.

1.4.1.Влияние третьих компонентов на формирование флюоритной структуры.

1.4.2. Природа метастабильных фаз.

1.5. Методы получения кубической стабилизированной модификации диоксида циркония.

1.5.1.Способы получения керамики для элементов электрохимических устройств (ЭХУ).

1.6. Метод микроискрового оксидирования.

1.6.1. Анодное поведение циркония.

1.7. Электрохимические свойства АОП диоксида циркония.

1.7.1. Влияние влажности на электрохимические параметры анодных оксидных пленок.

1.7.2.Термостимулированные токи в анодных оксидных пленках.

1.8. Анализ литературных данных.

ГЛАВА. 2. Материалы и методики экспериментов

2.1. Характеристика материалов. Подготовка образцов

2.2. Установка для микродугового оксидирования.

2.3. Методы исследования структуры и состава поверхностных слоев.

2.3.1. Определение элементного состава покрытий методом микро-зондового рентгеноспектрального анализа.

2.3.2. Рентгенофазовый анализ.

2.4. Методика измерения зависимости параметров АОП от влажности атмосферы.

2.5. Методика измерений вольтамперных характеристик.

2.6. Методы измерения электропроводни, термимулиро-ванных токов и э.д АОП.

2.7. Методики измерений термостимулированной люминесценции.

ГЛАВА 3. Закономерности формирования АОП Zr02 моноклинной, тетрагональной и кубической фаз методом МИО

3.1. Влияние составов электролитов на фазовый состав АОП диоксида циркония.

3.2. Закономерности и критерии синтеза АОП 7г02 заданного фазового состава в кальций содержащих электролитах.

3.3. Взаимосвязь структуры АОП 7г02 и режимов МИО. Фазовая диаграмма АОП 7г02.

3.4. Экспериментальное и теоретическое обоснование фазовых превращений в АОП Zт02 в процессе МИО.

ГЛАВА 4. Исследование электрохимических свойств АОП Zr02, полученных методом МИО

4.1. Влияние влажности атмосферы на электрохимические параметры АОП диоксида циркония.

4.1.1. Фактор пористости.

4.1.2. Фактор структуры.

4.1.3. Влияние поверхностного барьера.

4.2. Термостимулированные токи в анодных оксидных пленках диоксида циркония.

ГЛАВА 5. Закономерни проца генерации э.д в одных гетерруктурах анодных пленок

5.1. Природа э.д в анодных одных пленках диода циркония.

5.2. Взаимязь э.друктур АОП вентильных металловтермодинамичими и квантово-механичими параметрами одов.

ГЛАВА 6. Сенсорные свойства гетероструктур анодных пленок оксидов вентильных металлов

6.1. Модели и механизмы функционирования сенсоров на основе АОП вентильных металлов.

6.2. Параметры и характеристики сенсоров на основе АОП Nb205, Ti02HZr02.

6.3. Хемрбционно-каталитичий эффект поля и эффект инвеи э.д в АОП Nb2Os и ТЮ2.

ВЫВОДЫ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Синтез, структура, свойства оксидных гетероструктур анодных пленок, сенсоры на их основе»

Наиболее актуальная задача современной сенсорики, как одного из направлений микроэлектроники, заключается в фундаментальных исследованиях получения новых перспективных материалов, в особенности пленочных, разработке экспериментально - теоретических основ и поиску новых эффектов и механизмов функционирования сенсоров, создании более совершенных по параметрам, высокотехнологичных, миниатюризированных сенсоров и портативных приборов для анализа газовых и жидких сред.

К настоящему времени самый многочисленный класс газовых сенсоров составляют полупроводниковые (резистивные) и твердотельные (потенцио-метрические) сенсоры.

Из полупроводниковых, наиболее широкое распространение получили сенсоры серии ТСБ (Япония), основанные на эффекте изменения электропроводности пленок полупроводниковых оксидов 8п02, Тю2, Мз205 и др., под действием донорных (горючих) паров и газов. В классе твердотельных сенсоров самое широкое распространение получили сенсоры на основе керамических гальванических ячеек (г.я.) высокотемпературной, кубической, стабилизированной модификации Zr02 (CSZ), ставшие уже классическими в виду широкого применения в самых различных областях. Принцип действия таких сенсоров основан на зависимости изменения э.д.с. ячейки от величины парциального давления кислорода.

Наряду с достоинствами полупроводниковых сенсоров - высокая чувствительность, быстродействие, возможность миниатюризации, к недостаткам (.ледует отнести нестабильность параметров, дрейф характеристик, вследствие несовершенства технологии получения структур пленок и влияния на электропроводность деградации контактного (с металлом) электросопротивления при Т=650К (рабочий режим). В твердоэлектролитных сенсорах эти недостатки исключены благодаря потенциометрическому принципу измерения. Однако по чувствительности и возможности миниатюризации твердоэлектролитные сенсоры уступают полупроводниковым сенсорам, кроме того, технология изготовления характеризуется многоступенчатой схемой. Решение указанных проблем возможно путем создания твердотельных сенсоров сочетающих преимущественные параметры, как полупроводниковых, так и твердоэлектролитных сенсоров. Таким требованиям могут удовлетворять оксидные гетероструктуры типа М - МОх - М' (1) анодных оксидных пленок (АОП), во - первых, представляющих собой г.я. и, во -вторых, являющиеся аналогами полупроводниковых сенсоров и, в - третьих, отличающиеся экспрессной и универсальной технологией получения ми-ниатюризированных, стабильных, оксидных структур АОП заданного состава путем анодирования вентильных металлов Ъх, Т1, №>, Та и др. в водных растворах солей методом микроискрового оксидирования (МИО). Поставленные задачи являются актуальными и представляют большой интерес для практического применения, но и, прежде всего в решении самостоятельных, фундаментальных проблем, к которым относятся материаловедческие задачи установления закономерностей управляемого синтеза заданных легированных оксидных структур, получении пленок СЪЪ, определение моделей и механизмов электронно-ионного переноса в АОП в широком диапазоне температур, оценка и анализ влияния хемосорбционных и каталитических процессов на поверхности АОП в различных газовых средах на параметры структуры (1).

До сих пор перечисленные в комплексе задачи и проблемы оставались не изучеными и не разрешенными.

Цель работы: Разработка физико-химических основ сенсоров, представляющих гетероструктуры анодных оксидных пленок вентильных металлов. Исследование и установление принципов и закономерностей управляемого синтеза АОП 2г0г методом МИО с заданными электрофизическими свойствами, изучение и обоснование моделей и механизмов электронно-ионных, хемосорбционых и каталитических процессов в АОП (ТгОг, ТЮ2, №>205) в газовых средах, создание твердотельных сенсоров нового класса и опытного образца цифрового газоанализатора на их основе.

Для достижения указанной цели необходимо было решить следующие задачи:

• изучить и обосновать закономерности формирования оксидных структур АОП заданного состава методом МИО;

• установить и получить теоретическую формулу взаимосвязи фазового состава АОП Zr02 с величиной напряжения МИО и концентрацией солей кальция в водных растворах.

• исследовать и определить механизмы хемосорбционных и электронно-ионных процессов переноса в гетероструктурах АОП в диапазоне температур 300 - 700К;

• изучить закономерности процесса генерации э.д.с. и ее взаимосвязи с термодинамическими и квантово-механическими параметрами АОП, получить теоретические соотношения.

• исследовать, экспериментально и теоретически обосновать модели и механизмы электронно-ионных процессов в АОП в условиях каталитических реакций с донорными газами;

• на основе разработанных технологий синтеза и установленных механизмов функционирования гетероструктур АОП создать новый класс сенсоров электронно-ионного типа, разработать схемы согласований, электронный блок и портативный цифровой газоанализатор.

Научная новизна

• Установлены закономерности формирования АОП заданного фазового состава. Разработаны принципы и технология синтеза пленок высокотемпературной кубической стабилизированой модификации Zг02.

• Построена фазовая диаграмма областей формирования различных модификаций АОП 1Ю2 в координатах напряжений МИО и концентраций водных растворов гипофосфита кальция. Установлены корреляционные соотношения условий фазообразования в ЪхОг, отражающие аналогию в процессах МИО и твердофазных реакций в бинарной системе ЪхОг - СаО, при которых величина напряжения МИО играет роль температурного фактора.

• Обоснованы закономерности фазовых переходов в АОП Zr02 в процессах МИО. Получены теоретические формулы расчета относительного содержания фаз в АОП в зависимости от напряжения оксидирования.

• Выявлена роль и влияние поверхностного барьера на электропроводность гетероструктур АОП во влажной среде.

• Определена природа термостимулированных токов в АОП при температурах 380 - 470К, обусловленных десорбцией гидроксил-радикалов с поверхности АОП, а выше 470К, окислением металла - подложки.

• Установлен механизм генерации э.д.с. АОП в области низкотемпературной границы твердоэлектролитной проводимости при температурах 500 -650К. Экспериментально и теоретически обоснована взаимосвязь величин максимумов э.д.с. и температур соответствующих им с термодинамическими и квантово-механическими параметрами АОП (давлением диссоциации и шириной запрещеной зоны АОП).

• Определены модели и механизмы влияния гетерогенных каталитических реакций на процессы электропереноса в АОП. Получена теоретическая зависимость величины «отклика» АОП от концентраций донорных газов.

• Установлены и получили объяснение эффект инверсии э.д.с. в АОП №>г05 и хемосорбционно-каталитический эффект поля в гетерострукту-рах №205 и Т1О2, возникающие при воздействии донорных газов.

Практическая ценность:

• Разработаны новые принципы и технологии получения пленочных твердотельных сенсоров, заключающиеся в управляемом синтезе легированных АОП Ът02, ТЮ2, №>205 методом МИО. Разработана методика получения Ът02 высокотемпературной кубической модификации.

• Установленные закономерности влияния влажности на параметры АОП могут служить основой для создания перспективных гигристоров, обладающих более высокой чувствительностью, в отличие от существующих гигристоров на основе керамических, пористых материалов. Гигристоры на основе АОП имеют более высокую чувствительность к влажности, так как наряду с известными механизмами зависимости электропроводности пористых структур от влажности, проявляется диодный эффект, заключающийся в трансформации ВАХ АОП, соответствующей открыванию диода, при увеличении влажности среды.

• Установленные закономерности и механизмы электронно-ионных, хемо-сорбционных и каталитических процессов в АОП, а также технологии синтеза АОП (Ъг02, ТЮ2, №>205), явились основой создания высокочувствительных, стабильных по параметрам электронно-ионных сенсоров нового типа, сочетающих максимально возможные параметры твердого-электролитных и полупроводниковых сенсоров.

• Созданные сенсоры, как диодные гетероструктуры АОП, обладают уникальными, функциональными свойствами не доступными другим типам твердотельных газовых сенсоров. К ним относится эффект инверсии э.д.с. (изменение знака э.д.с.) при повышенных содержаниях газа и хемосорб-ционно-каталитический эффект поля, заключающийся в аномально высокой чувствительности э.д.с. к малым содержаниям донорных газов, что открывает большие перспективы использования сенсора, как переключателя знака э.д.с. при взрывоопасных содержаниях горючих паров и газов.

• Разработаны схемы согласований, электронные блоки и созданы опытные образцы высокочувствительных портативного цифрового газоанализатора и измерителя - индикатора.

Приборы для определения алкоголя в крови успешно прошли апробацию в наркологических службах (ГИБДД г.Владивостока). Чувствительность портативного индикатора-газоизмерителя к парам этанола (5-10"6 об.%) на два порядка превышает чувствительность применяемого в настоящее время в наркологических службах малогабаритного хроматографа МХ (5 -104об.%). Совместно с филиалом НПО "Спецавтоматика" (г. Бийск) разработана и изготовлена на основе сенсоров, чувствительных к СО, опытная модель стационарной системы противопожарной сигнализации раннего оповещения. Причем, благодаря разработанному преобразователю, сенсоры взаимно заменяемы с применяемыми в настоящее время инфракрасными датчиками ДИП-212 в существующих системах контроля. Чувствительность разработанных сенсоров к очагам возгорания по предварительным оценкам на два порядка выше чувствительности ДИП-212. Противопожарные системы, содержащие сенсоры на горючие газы и пары нефтепродуктов, могут быть использованы в качестве стационарной системы сигнализации взрывоопасных содержаний горючих газов и паров нефтепродуктов, как в газо- и нефтеперерабатывающей, так и горнодобывающей промышленности. Основные положения, выносимые на защиту:

• Принципы синтеза анодных пленок Zr02 заданного фазового состава методом микроискрового оксидирования циркония, фазовая диаграмма.

• Закономерности фазовых переходов и взаимосвязь количественного содержания фаз в анодных пленках Zr02 и режимов МИО.

• Модели и механизмы процессов электропереноса в гетероструктурах АОП М - МОх - М' в диапазоне температур 300-700К.

• Закономерности процесса генерации э.д.с. и ее взаимосвязи с квантово-механическими и термодинамическими параметрами АОП.

• Модели и механизмы электронно-ионных процессов в условиях гетерогенных каталитических реакций на поверхности АОП Ъг02, ТЮ2, ИЬгОб с донорными газами. Сенсорные свойства диодных гетероструктур оксидных анодных пленок. • Новый класс газовых сенсоров электронно-ионного типа на основе гетероструктур АОП.

Апробация работы Основные положения и результаты диссертационной работы представлены на Международных, Всесоюзных и Всероссийских конференциях, а также научно-технических семинарах. В том числе на: American Ceramic Society's 100th Annual Meeting and Exposition (Cincinati, Ohio, May 3-5, 1998), IV Международной научной конференция «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии» (19-24 сентября 2004г., г.Кисловодск, Россия), Всероссийской конференции "Функциональные материалы и структуры для сенсорных систем" (Москва, 1999г.), Third Apam Topical Seminar «Asian Priorities in Materials Development» (Novosibirsk, 1999), 5-й Региональной научно-практической конференции «Новые медицинские технологии на Дальнем Востоке» ( Хабаровск, 2002г.), 2-м Международном симпозиуме «Химия и химическое образование» (г.Владивосток, ДВГУ, 2000 г.), Всесоюзной конференции "Химия твердого тела и новые материалы" (г. Екатеринбург, 1996 г.), Конференции «Нетрадиционные источники энергии» (г. Владивосток, 1995г.), II Тихоокеанской экологической конференции «Инженерные решения проблем экологии Прибрежных регионов» (г.Владивосток, 1995г.), Всесоюзной конференции "Оксид циркония» (г.Звенигород, 1991г.), XIV Всесоюзном совещании по жаростойким покрытиям (г.Одесса, 1989г.), Всесоюзной конференции "Анод -90" (г.Казань, 1990г.), Международной конференции "Психическое здоровье человека" (г.Владивосток, 1994г.), Научно-технической конференции "Современные технологии и предпринимательство: региональные проблемы АТР» (г.Владивосток, 1994г.), Международной научно-практической конференции "Транскультуральная психиатрия и психология" (г.Владивосток, 1999г.), Всесоюзной научно-технической конференции «Физика-химия процессов восстановления металлов» (г.Днепропетровск, 1988 г.).

Публикации. Основное содержание диссертации изложено в 33 научных работах.

Структура и объем диссертации. Работа состоит из введения, четырех глав, выводов, содержит 225 страниц текста, включая 10 таблиц, 50 рисунков, библиографического списка использованной литературы из 221 наименований и приложения.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Ефименко, Александр Васильевич

ВЫВОДЫ

• Разработаны физико-химические основы сенсоров нового класса на основе гетероструктур АОП, включающие принципы синтеза оксидных структур с заданными свойствами, мсдели и механизмы электропереноса и фунционирования гетероструктур, как газовых сенсоров.

• Установлены принципы и закономерности направленного синтеза АОП Zr02 заданного фазового состава (моноклинная-М, тетрагональная - Т, кубическая - С). Впервые методом МИО синтезированы пленки Ът02 высокотемпературной кубической стабилизированной модификации.

• Получена, не имеющая аналогов, фазовая диаграмма областей формирования различных модификаций АОП Ъх02 в координатах напряжений МИО и концентраций водных растворов гипофосфита кальция.

• Определена аналогия, получены корреляционные соотношения фазо-образования в процессах МИО и высокотемпературных твердофазных реакций в системах Хт02 - СаО, заключающиеся в соответствии величин напряжений МИО и температур формирования определенных фаз Ъг02. Обоснованы закономерности последовательности фазовых переходов в АОП Ът02 при повышении напряжения МИО. На основе разработанных моделей получены теоретические формулы расчета относительного содержания М, Т и С фаз в АОП в зависимости от величин напряжений МИО.

• Разработаны модель, эквивалентная электрическая схема АОП и получены формулы для расчета зависимости электропроводности АОП от влажности атмосферы при комнатной температуре, согласующиеся с экспериментальными результатами. Определена роль и влияние поверхностного барьера на электропроводность гетероструктуры АОП, как диода типа металл-полупроводник, во влажной среде.

• Обоснован механизм термостимулированных токов (ТСТ) в структурах АОП, заключающийся в десорбции ОН" при температурах 380-460К, сопровождающийся освобождением электронов с поверхностных локальных уровней (У+-ОН) и релаксацией (ф5^0) поверхностного потенциального барьера. Определена взаимосвязь ТСТ с параметрами АОП, заключающаяся в увеличении глубины (величины энергий активаций) уровней (У+'ОН"5) с повышением величины энергии ширины запрещенной зоны АОП №)205, ТЮ2, Zr02, проявляющаяся в смещении максимумов ТСТ в высокотемпературную область.

• Установлены закономерности и механизмы генерации э.д.с. в структурах АОП ЪхОъ ТЮ2, №>205 в диапазоне температур 450-700К. Определена взаимосвязь величины э.д.с. с термодинамическими и квантово-механическими параметрами оксидов, заключающаяся в повышении значений температур соответсвующих максимумам э.д.с. и их величин с уменьшением величин давлений диссоциаций и увеличением ширины запрещенной зоны АОП.

• Определены модели и механизмы электронно-ионных процессов в АОП в условиях осуществления на поверхности пленок гетерогенных каталитических реакций, заключающихся в модуляции ионной составляющей, электронной под действием донорных газов. Получены теоретические, совпадающие с экспериментальными, зависимости э.д.с. АОП 7г02, ТЮ2, №)205 от концентраций донорных паров и газов (СО, Н2, СН4, этанол и др.).

• Впервые наблюдался и получил объяснение эффект инверсии э.д.с. в АОП №)205, заключающийся в изменении знака э.д.с. при увеличении концентрации этанола выше 1 об.%. Наблюдаемый эффект обусловлен уменьшением активности кислорода (а) на поверхности пленки в среде с повышенным содержанием этанола ниже давления Р*, а<Р\

Получена теоретическая формула для расчета величин отрицательных и нулевых значений э.д.с.

• Впервые установлен и интерпретирован хемосорбционно-каталити-ческий эффект поля, заключающийся в аномально высокой чувствительности э.д.с. АОП №>205 и ТЮ2 к малым концентрациям этанола до бОррт, а электропроводности к большим, выше 60 ррш, характеризующийся линейной зависимостью (п=1) отклика от концентраций до-норных газов. Наблюдаемый эффект обусловлен влиянием изменения величин ОПЗ и поверхностного барьера на процессы электропереноса и его исчезновением при концентрации этанола равной бОррт.

• Создан новый класс сенсоров, механизм функционирования которых основан на суперпозиции принципов действия полупроводниковых и твердоэлектролитных сенсоров. Причем, в такой гетероструктуре, как М-АОП-М', реализованы максимально возможные их параметры -предельно достижимое э.д.с. АОП, как г.я., обусловленная высокой разницей давлений на электродах (атмосферное и давление диссоциация оксида), стабильность параметров за счет независимого от внешних условий идеального «виртуального» электрода сравнения, а именно, внутреннего сечения АОП. Благодаря большому электросопротивлению широкозонных оксидов 7г02, ТЮ2, 1ЧЬ205, достигается высокая чувствительность АОП, как полупроводниковых сенсоров.

• На основе разработанных схем согласования электронного блока с сенсорами создан опытный образец высокочувствительного, быстродействующего, портативного, цифрового газоанализатора для измерений концентраций горючих и токсичных паров и газов.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Ефименко, Александр Васильевич, 2006 год

1. Миллер Г.J1. Цирконий. - М.: Изд-во иностр. лит.,1955.-391 с.

2. Блюменталь У.Б. Химия циркония. М.: Изд-во иностр. лит., 1963.-341 с.

3. Третьяков Ю.Д. Химия нестехиометрических окислов. М.: Изд-во Московского ун-та,1974. - 364 с.

4. Бенделиани Н.А., Попова С.В., Верещагин Л.Ф. О новых модификациях Zr02 и НЮ2, полученных при высоких давлениях // Геохимия 1967. -№6.- С. 677 683.

5. Уэлс А. Структурная неорганичная химия. М.: Мир, 1987. -Т.2. - 249 с.

6. Curtic С.Е., Doney L.M., Johnson J.R. High temperature transition in Zr02 // J.Amer.Ceram.Soc. -1954. Vol.37, № 10. - P.458-460.

7. Боганов А.Г., Руденко B.C., Макаров А.П. Рентгенографическое исследование двуокиси циркония и гафния при температурах до 2750° С // Докл. АН СССР. 1965. - Т.160, №5. - С.1065 - 1068.

8. Ruh R., Rockett T.J. Proposed phase diagram for system Zr02 // J. Amer. Ce-ram. Soc. -1970. Vol.53. - P.360-363.

9. Mo Cullough J.D., Trublood K.N. The crystal structure of baddelayite ( a -Zr02) // Acta crystallogr. -1959. -Vol.18, №7. P.507-511.

10. Ruff O., Ebert F. Die Forman des Zirkondioxyds // Ztschr. fnorg. und allgem. Chem. -1929. Bd.18, №1, -S.119.

11. Teufer G. The crystal structure of tetragonal Zr02 // Ibid.-1962. Vol.15, 311. -P.1187.

12. Murray P., Allison E.B. Monoclinic tetragonal transition in zirconia // Trans. Brit. Ceram. Soc. 1960. - Vol.43. - P.254-255.

13. Wolten G.M. Direct high temperature single crystal observation of orientation relationship in zirconia phase transformation // Acta crystallogr. 1964. -Vol.17. -P.763-765.

14. Buljan S.T., Mc Kinstry H.A., Stabican V.S. Studies of monoclinic -tetragonal transition in Zr02 // J.Amer.Ceram.Soc. -1976. Vol.59, №7/8. - P.351-354.

15. Никольский Ю.В., Филатов K.C., Журавина T.A., Франк-Каменецкий В.А. Превращение тетрагональной фазы в кубическую в системе Zr02 Y203 // Нерган. материалы. -1972. - Т.8, № 8. - Сю 1500 -1502.

16. Ruff О., Ebert F., Stephan е. Phase transformations in systems Zr02-Ca0, Zr02 // Ztschr. anorg. und allgem. Chem. -1929. Bd.18, №1, -S.19 -28.

17. Воронков A.A., Шумятская Н.Г., Пятенко Ю.А. Кристаллохимия минералов циркония и их искусственных аналогов. М.: Наука, 1978. - 182с.

18. Boegnillon G., Susse С. Diagramme de phasede la zircone sous pression // Rev. Intern. Hautes temp, et refract. 1969. - Vol.6. - P.263-266.

19. Кулькова C.E., Мурыжникова О.Н.Электронная структура и оптические свойства диоксида циркония // Неорганические материалы.- 2000.- Т.36, №1, С.45-50.

20. Андреева Н.А., Гропянов В.М., Козловский А.В. Изменение структуры двуокиси циркония при высоких температурах в вакууме // Изв. Ан СССР. Неорганические материалы. 1969.- Т.5, №7. - С. 1302-1303.

21. Vest R.W., Tallan N.M. Electrical properties and defect structure of zirconia. Tetragonal phase and inversion // J.Amer. Ceram.Soc. 1965. - Vol.48, №9. -P.472-475.

22. Вишневский И.И., Гавриш A.M., Сухаревский В.Я. О возможном механизме стабилизации кубической Zr02 // Тр.Укр. НИИ огнеупоров.- Вып.6 (53). С.74-80.

23. Ruh R., Garrett H.J. Nonstoichiometry of Zr02 and its relation to the tetrago nal cubic inversion in Zr02 // Ibid. - 1967. - Vol.50, №5. - P.257-261.

24. Сухаревский Б.Я., Алапин Б.Г., Гавриш A.M. Об особенностях кинетики полиморфного превращения при охлаждении // Докл. АН СССР. 1962. -№ 4. - С.882-885.

25. Rossell H.J., Sellar J.R., Wilson I.J. Doslosure of Domain Structure in Cubic

26. CaxZri.x02-x, 0,15 sxs 0,20 by Talbot Image Enhancement of High-Resolution Election Micrographs // Acta Cryst. -1991. B.47. - P.862 - 870.

27. Кофстад П. Отклонение от стехиометрии, диффузия и электропровод -ность в простых окислах металлов: Пер. с англ. М.: Изд-во Мир, 1975. - 396 с.

28. Укше Е.А., Букун Н.Г. Твердые электролиты.- М.: Наука,1977.- 176 с.

29. Гурвич A.M. Введение в физическую химию кристаллофосфоров. М.: Изд-во Высшая школа. - 1971. - 336 с.

30. Wagner С. Anion-defect model of solid solution Zr02 CaO, Zr02 - Y203 // Naturwissenschaften. -1943. - Bd.31. - S. 265.

31. Hund F. X-ray conductivity and density of fluorite phase of system Zr02 -Y203 // J. Electrochem. Soc. -1951. Vol.55. - P. 363-367.

32. Bratton R.L. Defect structure of Y203 Zr02 solid solutions // J. Amer. Ce-ram. Soc. - 1969. - Vol.52, № 4. - P.213.

33. Стрекаловский B.H., Пальгуев С.Ф., Зубанков B.H. Исследование оксидных материалов методом высокотемпературной рентгенографии. Изучение взаимодействия двуокиси циркония с окисью кальция // Тр. Ин-та электрохимии УФАН СССР. 1970. - Вып.14. - С. 129-153.

34. Келер Э.К., Година Н.А. О механизме образования твердых растворов в системе Zr02 CaO // Докл. АН СССР. -1955. - Т. 103, № 2. - С.247 - 250.

35. Высокотемпературный электролиз газов/Перфильев М.В., Демин А.К., Кузин Б.Л., Липилин А.С.- Под. Ред. С.В. Карпачева. М.: Наука,1988.- 229с.

36. Pol Duwer, Francis Odell, Frank H. Brown. Stabilization of Zirconia wich Cal-cia and Magnesia // J. Amer. Ceram. Soc. -1952.- V.35, № 5.- P. 107 -113.

37. Торопов H.A., Барзаковский В.П., Лапин B.B., Курцева н.н. Диаграммы состояний силикатных систем: Справочник. Л.: Наука, 1969. - 822 с.

38. Stubican V.S., Ray S.P. Phase equilibria and ordering in the system Zr02 -CaO // J. Amer. Ceram. Soc. 1977. - Vol.60. - P.534 - 537.

39. Hellman J.R., Stubican V.S. Stable and metastable phase relations in the system Zr02 CaO // Ibid. - 1983. - Vol.66. - P. 260-264.

40. Стрекаловский B.H., Макурин Ю.Н., Вовокотруб Э.Г. Изучение фазовых превращение и дефектности в системе Zr02 Y203 методом комбинационного рассеяния // Неорган, материалы. - 1983. - Т.19, №6. - С.925-929.

41. Котляр А.Г., Неуймин А.Д., Пальгуев С.Ф., Стрекаловский В.Н. Исследование структуры и электропроводности в системе Zr02 Y203 - Та205 // Изв. АН СССР. Неорган, материалы. -1970.- Т.6, Ч. - С. 327-331.

42. Neder R.B., Frey F., Schulz H. Defect structure of zirconia (Zr0;85Ca0,15О135) at 290 and 1550 К // Acta Cryst. -1990. A.46. - P. 799 - 809.

43. Котляр А.Г., Неуймин А.Д., Пальгуев С.Ф., Стекаловский В.Н. и др. Структура и электропроводность в системе Zr02 Y203 - W03//Tp. Ин-та электрохимии УФАН СССР.-1970. - Вып.16.-С.135-137.

44. Nowick A.S. Amorphous structures and the Ostwald rule // Comments Solid State Phys. -1970. Vol.2, №5. - P. 155-160.

45. Полежаев Ю.М. Низкотемпературные кубическая и тетрагональная формы двуокиси циркония // Журн. физ. химии. 1967. - Т.41, №11 - С. 2958 - 2959.

46. Garvie R.C. Occurence of metastable tetragonal zirconia as cristalline size effect // J.Phys. Chem. -1965. Vol. 69, №4. - P. 1238.

47. Яцямрский B.K. О минимальном размере частиц кристаллической фазы // Теорет. и эксперим. химия. -19 70. Т.6, №5. - С. 704-708.

48. Коробков И.И., Игнатов Д.В. Электронографические исследования полиморфизма двуокиси циркония в тонких пленках // Докл. АН СССР. -1958. Т. 120, *3. - С. 527.

49. Shaushnoury J.A., Kudenko V.A., Ibrahim I.A. Polymorphic behavior of thin evaporated films of zirconium and hafnium oxides // J. Amer. Chem. Soc. -1970. Vol. 53. - P. 264.

50. McDevitt N.T., Baun D.L. Metastabile zirconia (tetragonal and cubic ) // J.

51. Amer. Chem. Soc. 1964. - Vol. 47. - P. 622 - 624

52. Mumpton F.A., Roy R. Low-temperature equilibria among Zr02, Th02 and U02 // J. Amer. Chem. Soc. 1960. - Vol. 43, №5. - P. 234 - 240.

53. Whitney E.D. Kinetics and mechanism of the transition of metastable tetragonal to monoclinic zirconia // Trans. Faraday Soc. 1965. - Vol.61, №9. - P. 1991 - 2000.

54. Глушкова В.Б. Полиморфизм в оксидных системах La203 Zr02 и Ьа20з -НЮ2 // Редкоземельные металлы, сплавы и соединения. - М.: Наука,1973.-С. 216-217.

55. Рутман Д.С., Торопов Ю.С., Полежаев Ю.М. и др. Направление развития химии и технологии высокоупорных материалов // Научные основы материаловедения М.: Наука, 1981. - С. 27-38.

56. Третьяков Ю.Д. Принципы создания новых твердофазных материалов// Изв. АН СССР. Неорганические материалы.-1985.- Т.21, № 5, С.693-701.

57. Dambe R.V. Lead zirconate by coprecipitation// Phys. status solidi. 1967.-Vol.22, №1. - P.63-65.

58. Мейдупова Т.П., Волошина Jl.C., Кисель Н.Г., Серая J1 .Я. Изучение процесса старения при получения титаната кальция совместным осаждением // Изв. АН СССР. Неорган, материалы. -1974. Т. 10, №2. - С.375-376.

59. Полежаев Ю.М., Барбина Т.М., Рутман Д.С., Торопов Ю.С. Определение условий совместного осаждения гидроксидов циркония и иттрия // Огнеупоры. 1984.- №7. - С.25-27.

60. Лукин Е.С., Оппен Д. Спекание керамики из Zr02, полученной методом соосаждения со стабилизаторами // Огнеупоры. 1976.- №6. - С.49-52

61. Фомина Л.Г. и др. Термическое поведение некоторых гидроокисей // Тр.

62. Института электрохимии УНЦ АН СССР., 1973. Вып. 20.- С. 134 139.

63. Грибовский П.О. Горячее литьё керамических изделий. JL: Госэнергоиз-дат, 1961,- 400 с.

64. Грибовский П.О. Керамические твердые схемы.- М.: Энергия,-1971.- 63с.

65. Кайнарский И.С., Алексеенко JI.C., Дегтярева Э.В. Исследование уплотнения двуокиси циркония при горячем прессовании// Порошковая металлургия.- 1967. №4. - С.24-28.

66. Pat. 292026 BRD HOIM 8/12 Paste zur Herstellung von Festelektroly-ten/KJkerawa, H.Takao, K.Matoba, S.Jshitani, S.Kimura. Offenleg. Опубл. 22.11.79.

67. Гильберман В.К. и др. Плазменное напыление порошков стабилизированной Zr02, полученных методом соосаждения гидроокисей// Тр. Института электрохимии УНЦ АН СССР., 1977. Вып. 25.- С. 93 97.

68. Патент 357775 HOIM 27/00. Способ изготовления высокотемпературной топливной батареи с твердым электролитом/ Г. Танненбергер, Р. Шмидт (Швейцария). Опубликовано 31.08.68.

69. Izenberg А.О. Energy conversion Via solid oxide electrolyte electrochemical cells at high temperatures // Solid State Ionics. -1981. 3/4. - P.431 - 437.

70. Александров В.И., Осико В.В. и др. Новый метод получения тугоплавких монокристаллов и плавленых керамических материалов // Вест. АН СССР. 1973. - № 12. - С. 29-39.

71. Шматко Б.А. Твердоэлектролитные Ро2- метры для водяных циркуляционных систем // Твердые электролиты и их аналитическое применение: Тез. докл. II Всесоюз. симпоз. Свердловск, 1985. - С. 172 - 173.

72. Гордиенко П.С., Руднев B.C. Электрохимическое формирование покрытий на алюминии и его сплавах при потенциалах искрения и пробоя. -Владивосток,1999.-232с.

73. Гюнтершульце А., Бетц Г. Электролитические конденсаторы. -М.: Оборонно, 1938. 198 с.

74. Белеванцев В.И., Терлеева О.П., Марков Г.Я., Шулепко Е.К., Слонова А.И., Уткин В.В. Микроплазменные электрохимические процес-сы//3ащита металлов.-1998.-Т.З 4,№5 .-С.469-484.

75. Черненко В.И., Снежко Л.А., Папанова И.И. Получение покрытий анод-но-искровым электролизом. Л.: Химия, 1991. -127 с.

76. Ridley В.К. Mechanism of electrical breakdown in silicon dioxide films // Appl. Phys. 1975. - Vol. 46, № 3. - P. 998-1007.

77. Костров Д.В., Мирзоев P.A. Тепловой пробой диэлектрических анодных пленок // Электрохимия. 1987. - Т. 23, Вып. 5. - С. 595-600.

78. Mott N.F. Conduction in noncrystalline systems. VII. Nonohmic behavior and switching// Phylos. Mag. Paper VII. -1971. Vol. 24., №190. - P. 911-934.

79. Dignam M. Mechanism of ion transfer through oxide films // Oxide and oxide films. 1973. - Vol.1. - P.92-286.

80. Игната Д.В. О механизме окисления титана и защите его от газовой кор-ро:ии // Титан и его сплавы,-1963. Вып.10. - С. 205 -210.

81. Роуз А. Основы теории фотопроводимости. М.: Мир, 1966. - 192 с.

82. Boddy F.G. Khang D. Chen. Oxyden evaluation on potassium tantalate anodes // Electrochim. Acta. -1968. Vol.13, №6. -P.1311.

83. Ханина Е.Я. Искрение в системах металл-окисел-электролит и металл-окисел-МпОг-электролит// Анодные окисные пленки. Петрозаводск:: Наука, 1978.-С.158-149.

84. Одынец Л.Л., Прохорова Л.А., Чекмасова С.С. Импеданс системы металл-окисел-электролит//Электрохимия. -1975.-Т.12,№11.- С.1743.

85. Krysmann W., Kurze P., Dittrich K.H.,Schneider H.G. Process characteristicand paramétrés of anodic oxidation by spark discharge // Crystal, les. and Technol. 1984. - Vol.19, № 7. - P. 973 - 979.

86. Наугольных K.A., Рой H. А. Электролитические разряды в воде. М.: Наука, 1971. - 155 с.

87. Гордиенко П.С., Руднев B.C. Образование покрытий на аноднополяризо-ванных электродах в воднох электролитах при потенциалах искрения и пробоя. Владивосток: Дальнаука, 1996. - 215 с.

88. Dittrich К.Н., Krysmann W., Kurse P., Schneider H.G. Structure and properties of ANOF-layers // Cristal. Res. and Technol.- 1984. Vol.19, № 1. P.93-99.

89. Van T.V., Brown S.D., Wintz G.P. Anodic spark deposition from aqueous solutions NaA102 and Na2 Si03//J. Amer. Ceram. Soc. 1971. - Vol.52, №8. -P.384 -390.

90. Николаев А.В., Марков Г.А., Пищевицкий В.Н. Новые явления в электролизе // Изв. СО АН СССР.-1977.- №12, Сер. хим. наук, Вып.2. С.32-33.

91. Гнеденков C.B. Формирование покрытий на титане методом микродугового оксидирования, их состав и свойства :Дис. канд. хим. Наук. Владивосток, 1988. - 165 с.

92. Щукин Г.Л., Беланович A.JL, Савенко В.П., Ивашкевич JI.C., Свиридов В.В. Микроплазменное анодирование алюминия и его медьсодержащего сплава в растворе гексафторгексоната калия // Жур. прикладной химии. 1996. - Т.69, Вып. 6. - С.939 - 941.

93. Хрисанфова О.А., Волкова JI.M., Гнеденков C.B., Кайдалова Т.А., Гордиенко П.С. Синтез пленок химических соединений на титане в условиях микроплазменных разрядов // Ж. неорган, химии.-1995,- Т.40, №4. -С.558-662.

94. Яровая Т.П., Гордиенко П.С., Руднев B.C., Недозоров П.М., Завидная А.Г. Электрохимический синтез на поверхности вентильных металлов тонких пленок, содержащих оксиды переходных элементов // Электрохимия. -1994. Т.ЗО, № И. - С. 1395 - 1396.

95. Bensadon Е.О., Nascente Р.А.Р., Olivi P., Bulhoes L.O.S., Pereira E.C. Cubic Stabilized Zirconium Oxide Anodic Films Prepared at Room Temperatures // Chem. Mater. -1999, №11. P. 277-280.

96. Diquarto F., Piazza S., Suseri C. Breakdown Phenomena during the growth oft

97. Anodic Oxide-Films on Zirconium Metal Influence of Experimental Parameters on Electrical and Mechanical Breakdown // J. Of the Electrochemical Society. -1984, Vol.131. - P.2901-2906.

98. Patent 203079 DDR. Verfahren Zur Oberflaechenbehandlung von Zirconium Odcr-Legierungen / P. Kurse, K.-H. Dittrich. 6 p.

99. Юнг JI. Анодные оксидные пленки. Л.: Энергия,1967. - 232 с.

100. Кабанов Б.Н. Электрохимия металлов и адсорбция,- М.: Наука, 1966.-343с.

101. Колотыркин Я.М. О стационарных потенциалах саморастворяющихся металлов в кислых растворах // Журн. физ. химии. -1951. Т.25, вып.Ю. - С. 1248 -1257.

102. Бардина Н.Г. Анодные оксидные пленки // Успехи ХИМИИ. 1964. - Т. 33, №5. - С. 602 - 618.

103. Феттер К. Электрохимическая кинетика. М.: Химия, 1967. - 856 с.

104. Одынец Л.Л., Орлов В.М. Анодные оксидные пленки. Л.: Наука, 1990. -200 с.

105. Закгейм Л.Н. Электролитические конденсаторы. М.: Госэнергоиздат, 1963. - 283 с.

106. Байрачный Б.И. ,Андрющенко Ф.К. Электрохимия вентильных металлов. Харьков: Высшая школа, 1985. - 144 с.

107. Харченко Э.П., Марченко В.А. Модифицированный способ получения фазового анодного оксида циркония // Изв. ВУЗов. Сер. Химия и хим. технология. -1976.- Т.19, Вып.П. С.1742 -1745.

108. Файзуллин Ф.Ф., Яхваров Г.И., Мосолов В.В. Электрохимическая кинетика анодного оксидирования циркония в растворах некоторых солей // Электрохимия. 1973. - Т.9, вып.Ю. - С. 1508 - 1510.

109. Khalil N., Bowen A., Leach J.S.L. The anodic oxidation of valve metals. The influence of anodizing conditions on the transport processes during the ano-dicoxidation of zirconium // Electrochem. acta. 1988. - Vol.33, № 12. - P. 1721 - 1727.

110. Leach J.S.L., Panagopoulus C.N. Growth kinetics of anodic zirconia films grown in alkaline solutions // Electrochem. acta. 1988. - Vol. 32, № 3. - P. 411-414.

111. Яхваров Г.И. , Файзуллин Ф.Ф. , Мазуренко Н.Д. Взаимное влияние анионов на анодное оксидирование циркония в растворах солей // Защита металлов. -1978. Т.14, №2. - С. 186 -187.

112. Яхваров Г.И., Мазуренко Н.Д. Кинетика анодного окисления циркония в фосфатно-буферном растворе // Защита металлов. -1986. -Т. 22, №3.-С. 451-452.

113. Жукова И.О., Одынец JI.JI. Электрические свойства оксидных пленок на вентильных металлах и механизм электрического выпрямления // Физика полупроводников и металлов. М. - Д.: Наука.-1964,- С.18-40.

114. Малиненко В.П., Одынец JI.JI. О природе асимметрии проводимости и токах утечки оксидно-полупроводниковых конденсаторов // Электронная техника. Сер.5, Радиодетали.-1972.- №2 (27). - С.71-76.

115. Киселев В.Ф., Крылов О.В. Электронные явления в адсорбции и катализе на полупроводниках. М.: Наука. -1979. - 234с.

116. Young P.L.D.C. electrical conduction in thin Ta2Os film. 1.Bulk-limited conduction // J. Appl. phys. 1976. - Vol.47, №1. - P.235 -241.

117. Берлинер M.A. Измерение влажности. M.: Энергия. - 1973. - 400с.

118. Khanna V.K., Nahar R.K. Surface conduction mechanisms and electrical properties of A1203 humidity sensor // Surface Sci.-1987. Vol.28, 33. - P. 247-264.

119. Stover E.M. Aluminum oxide humidity element for radio-sonde weather measuring use //Rev.Scientific Instruments. 1963. - №6. - P.82.

120. Мийата А. Гигрометр с анодно-окисленной пленкой алюминия // Влажность. Измерение и регулирование в научных исследованиях и технике: В 4 т. Л.: Гидрометеорол. изд-во, 1967. - T.I. - С.328 - 344.

121. Джонсон А.С. Некоторые свойства гигрометра с анодно-окисленной алюминиевой пленкой // Влажность. Измерение и регулирование в научных исследованиях и технике: В 4т. Л.: Гидрометеорол. изд-во, 1967.- T.I - С. 304-327.

122. Волькенштейн Ф.Ф. Физико-химические поверхности полупроводников. М.: Наука, 1975. - 599с.

123. Киселев А.В., Лыгин В.Н. Инфракрасные спектры поверхностных соединений и адсорбированных: веществ. М.: Наука,1972. - 458 с.

124. Цундель Г. Гидратация и межмолекулярное взаимодействие. М.: Мир, 1972. - 404 с.

125. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. М.: Мир, 1980.- 488с.

126. Полежаев Ю.М. , Кортов B.C., Микшевич М.В., Гаприндашвили А.И. Образование анионных дефектов при дегидратации окислов и гидроокисей Ti и Zr // Неорган, материалы. -1975. Т. 11, №3. - С.486-490.

127. Киселев В.Ф., Крылов О.В. Адсорбционные процессы на поверхности полупроводников и диэлектриков. М.: Наука, 1978. - 255с.

128. Полежаев Ю.М., Микшевич М.В., Пилипенко Г.И., Лахов В.М. Образование и отжиг анионных дефектов при термическом разложении гидроокиси циркония в вакууме // Неорган, материалы.-1976.-Т. 12, №6. С. 1052-1056.

129. Третьяков Н.Е., Поздняков Д.В., Оранская О.М., Филимонов В.Н. Исследование адсорбции некоторых молекул на двуокиси циркония методом инфракрасной спектроскопии // Ж.физ. химии.-1970. Т.44, №4.- С. 1077-1083.

130. Гороховатский Ю.А., Бордовский Г.А. Термоактивационная токовая спектроскопия высокоомных полупроводников и диэлектриков. М.: Наука, 1991. - 248с.

131. Сесслер Г. Электреты: Пер. с англ. М.: Мир, 1985. - 520с.

132. Зудов А.И., Зудова Л.А. О формировании отрицательного заряда в анодных пленках в процессе их роста // Электрохимия. 1973. -Т.9, №3. -С.331-333.

133. Наймушина С.И., Зудова Л.А., Зудов А.И. О влиянии объемного заряда на рост анодных окисных пленок // Электрохимия. 1978. - Т. 14,17. - С. 1044 - 1048.

134. Лобушкин В.Н., Соколова И.М., Таиров В.Н. Исследование объемного заряда анодных пленок // Электрохимия. I976.-T.12, №3. - С.392 - 396.

135. Михо В.В., Колебошин В.Я. О природе поляризационного состояния в окисных пленках алюминия и тантала // Электрохимия. 1980. - Т. 16, №12.- С.1841-1843.

136. Михо В.В., Воронцов В.Д., Дмитренко З.Ф. Изучение активных центров на поверхности методом термовысвечивания // Кинетика и катализ.-1976.-Т.17,12.-С.517-518.

137. Бедер Л.К., Косюк Л.М. Влияние неоднородности строения алюминиевых анодных оксидньх пленок на процессы поляризации. М.: Электроника,1988.- 53с.

138. Litvin D.V., Smith D.A. Titanium for marine application // Naval. Eng. J. -1971. Vol.83, №5. - P. 37-44.

139. Синебрюхов С.Л. Закономерности роста, физико-химические свойства покрытий, сформированных методом микродугового оксидирования на титане: Дис. канд. Хим. наук. Владивосток, 1998. - 181с.

140. Бирке Л.С. Рентгеновский микроанализ с помощью электронного зонда.- М.: Металлургия, 1966. 205с.

141. Ковба Л.М., Трунов В.К. Рентгеновский анализ. М.: Изд-во Моск. Университета, 1976. - 231с.

142. Garvie R.C., Nicolson P.S. Phase analysis in zirconia systems // J. Amer. Ce-ram. Soc. 1972. - Vol.55, № 6. - P.303 - 305.

143. Klug H.P., Alexander L.E. X-ray diffraction procedures. N.Y.: Wiley, 1954.- P.930.

144. O'Brien F.E.M. The control of humidity by saturated salt solutions // Rev. Scientific Instruments, 1958, № 3. P.283.

145. Виглеб Г. Датчики. M.: Мир, 1989. - 196c.

146. Хауффе К. Реакции в твердых телах и на их поверхности. М.: ИЛ, ч.1, 1962. - 415с.

147. Вассерман И.М. О полиморфных (хемополиморфных) превращениях нестехиометрических соединений // Изв. АН СССР. Неорган, материалы. -1977. Т.13,№ 9. - С. 1623 - 1626.

148. Ефименко A.B., Семенова Т.Л., Гордиенко П.С. Условия и принципы получения анодных пленок на цирконии заданного фазового состава // Сб. Оксид циркония. Ленинград. - 1990. - С. 78.

149. Патент СССР 1809845, МКИ 3 С 25 D 11/26. Способ обработки поверхности циркония и его сплавов / Ефименко A.B., Семенова Т.Л., Гордиенко П.С. Заявка № 4841712. Заявл. 29.05.90. Опубл. 1992, бюлл. № 14, С.233.

150. Стрекаловский В.Н., Полежаев Ю.М., Пальгуев С.Ф. Оксиды с примесной разупорядоченностью. М.: Наука, 1987. - 158 с.

151. Ефименко A.B., Семенова Т.Д., Гордиенко П.С., Волкова Л.М. Форми-ровоание анодных пленок заданного фазового состава на цирконии // Журн. неорган, химии. 1993. - Т.З8, № 7. - С. 1157 - 1159.

152. Ефименко A.B., Семенова Т.Д., Гордиенко П.С.Формирование защитных покрытий на графите методом микроискрового оксидирования // Электрохимия. 2005.-Т.41, №12.- С. 1-3.

153. Ефименко A.B., Семенова Т.Д., Волкова Л.М. Фазовая диаграмма и механизм полиморфных превращений пленок стабилизированного кальцием Zr02, полученных микроискровым оксидированием // Изв. РАН, Неорган. материалы. 1997. - Т.ЗЗ, № 11. - С. 1344 - 1347.

154. Ефименко A.B., Семенова Т.Д., Волкова Л.М. Фазовая диаграмма и механизм полиморфных превращений анодных пленок Zr02 в процессах микроискрового оксидирования Zr // Сб. докл. Химия твердого тела и новые материалы. Екатеринбург: 1996. - Т.2. - С.37.

155. Термодинамические свойства индивидуальных веществ/Справочник под ред. Глушко В.П. и др. М.: Наука, 1982. - Т. 1. - 622 с.

156. Сухаревский В.Я., Вишневский И.И. О кинетике полиморфного превращения Zr02/ Докл. АН СССР. 1962. - Т. 147, № 4. - С.882 - 885.

157. Stefanovich E.V., Shluger A.L. Theoretical study of the stabilization of cubic-phase Zr02 by impurities // the American Physical Society. 1994. -V.49,№17.-P. 11560.

158. Ефименко A.B., Гарбер M.P., Ильенко Г.К., Семенова Т.Л. Чувствительные элементы к влажности воздуха на основе легированных анодных пленок // Тр. Ленинградского Гидрометинститута. С.-Петербург: Гид-рометеоиздат. - 1992. - С. 83 - 89.

159. Влажность. Принципы и методы измерения влажности в газах. Л.: Гидрометеоиздат. -1967. - Т.1. - С.304-357.

160. Митрофанов В.В., Фогель В.А. Физика и химия полупроводников.- Л.: Из-во «Судостроение», Ленингр.-1965.-219с.

161. Лобушкин В.Н., Таиров В.Н. Внешнее электрическое поле анодных окисных пленок // Электрохимия.-1976.-Т.12, №5. С.778 - 780.

162. Лобушкин В.Н., Могунов М.О., Шкода Г.М. Зарядка анодных окисных пленок / Деп. ВИНИТИ. Деп. №2900-79. 1979. - 11с.

163. Зудов А.И. О заряжении поверхности анодных пленок // Изв. ВУЗов. Сер. физика -1971, № I. C.II8-II9.

164. Зудова Л.А., Агапова С.И., Зудов А.И. Двухслойная модель анодного окисла алюминия // Изв. ВУЗов. Сер. Химия и химич. технология.-1976.-Т.12, №12. C.I876 -1879.

165. Зудова Л.А., Агапова С.И., Зудов А.И., Стрехова В.А. Влияние условий получения анодных окисных пленок на их поляризационное состояние, возникающее в процессе роста пленок // Электрохимия.-1975.-Т. 11, №8. С.1239-1243.

166. Наймушина С.И. Релаксация электретного состояния системы алюминий-анодная оксидная пленка алюминия // VI Всесоюз. конф. по физике диэлектриков: Тез. докл. Томск, 1988. - С. 114.

167. Михо В.В., Дмитренко З.Ф. К вопросу о применении метода термовысвечивания для изучения параметров активных центров // Кинетика и катализ.-1978.-Т.19, №3.- С. 720-724.

168. Ефименко A.B., Михайлин В.В. Исследование центров захвата CaS-фосфоров термическими методами. В кн. «Физика твердого тела». Материалы юбил. конф. Владивосток. 1972. С.264-268.

169. Волынец В.Д., Гордиенко П.С., Ефименко A.B., Семенова T.JI. Электрохимическая природа термостимулированных токов MOM струк-тур//Электрохмия.-1990.- Т.26. - С. 1531-1533.

170. Ефименко A.B., Михайлин В.В., Иванов JI.H., Карелин В.В. Исследование фосфоров CaS-Mn методами ДТВ и ИК-стимуляции / Изв. Вузов, сер. Физика. 1974. №4. С. 153-154.

171. Ефименко A.B., Михайлин В.В. Оптические характеристики центров захвата сульфидов. В кн. «Физика твердого тела». Материалы юбил. конф., Владивосток. 1972. С.260-263.

172. Ефименко A.B., Семенова Т.Д.Влияние адсорбции влаги на электрофизические параметры анодных оксидов алюминия //Сб. Теория и практика анодного окисления алюминия. Казань, 1990. - 4.2. - С.73-76.

173. Физико-химические свойства оксидов / Справочник. Под ред. Самсоно-ваГ.В. М.: Металлургия, 1978. - 472 с.

174. Крегер Ф. Химия несовершенных кристаллов: Пер. с англ. М.: Мир, 1969. - 654 с.

175. Жук Н.П. Курс коррозии и защиты металлов. М.: Изд-во Металлургия, 1968. - 408 с.

176. Чеботин В.Н., Перфильев М.В. Электрохимия твердых электролитов. -М.: Химия, 1978.-312 с.

177. Опара Б.К., Фокин М.Н., Бартини О.Г., Втулкин A.B., Кравецкий Г.А. Электрохимический механизм высокотемпературного окисления циркония и его сплавов // Защита металлов. -1975. Т. 11, №4. -С. 436-441.

178. Опара Б.К., Втулкин A.B., Фокин М.Н., Кравецкий Г.А., Ракоч А.Г. Исследование особенностей процесса окисления циркония (в газовой фазе) в интервале температур 1000-1400°С по электрохимическим параметрам // Защита металлов.-1973. Т.9, №2. - С.131-136.

179. Третьяков Ю.Д. О возможности применения стабилизированной двуокиси циркония как электролита при изучении термодинамических равновесии методом э.д.с.//Неорг. материалы.-1966.-Т. И, ЖЗ.-С.501-506.

180. Вечер A.A., Вечер Д.В. Термодинамические свойства окисных систем. И. Определение термодинамических свойств окислов методом э.д.с. в случае смешанной проводимости твердого тела // Жур. физ. химии.-1967. Т. 41, №6. - C.I288 -1293.

181. Вечер A.A., Вечер Д.В. О переносе вещества сквозь твердый электролит гальванических элементов, применяющихся в термодинамических исследованиях / Докл. АН СССР.- 1967.- Т. II, №7. С. 610 - 612.

182. Burke L.D., Rickert Н., Steiner R. Elektrochemische Untersuchungen zur Teilleitfahigkeit, Beweglichkeit und konzentration der Elektronen und Defektelektronen i dotiertem Zirkondioxid und Thoriumdioxid // Z. Physic. Chem., 1971. Vol. 74. - S. 146.

183. Укше E.A. Электродные потенциалы в твердых электролитах// Элек-трохимия.-1989.-Т.25, вып. I. С. 98-104.

184. Боресков Т.К. Катализ. Новосибирск: Наука, 1987. - 536 с.

185. Сикейра Ц.А.К. Влияние низкоуровневой проводимости на кислородную проницаемость диоксида циркония, стабилизированного кальцием // Электрохимия, 1993. Т.29. - С.1446.

186. В ;чер A.A., Вечер Д.В. О возможности применения твердых электролитов в кислородной проводимостью для изучения термодинимических свойств сплавов активных металлов // Журн. физ.-химии. 1968. - Т.42. - С.799.

187. Ефименко A.B., Семенова T.JL Исследования электрохимических свойств анодных пленок диоксида циркония // Электрохимия. 1999. -Т.35, вып.2. - С. 1325 - 1332.

188. Патент РФ № 2100801. Твердотельный газовый сенсор / Ефименко A.B., Семенова Т.Л. Заяв. № 96108011/25 (013158) от 27.12.97. Б.И. № 36.

189. Патент РФ №2102735, 20.01.98. Б.И. №2. Твердотельный газовый сенсор / Ефименко A.B.

190. Ефименко A.B., Семенова Т.Л., Салюк А.Н., Яцков Л.П. Новые высокочувствительные анодно-пленочные газовые сенсоры // Сб. Экология и психическое здоровье человека. Владивосток, 1994. - С.25-30.

191. Efimenko A.V., Semenova T.L. Gas sensors of the new type on the basic of anodic films of zirconia // Abstracts third APAM topical seminar «Asian Priorities in Materials Development». Novosibirsk, 1999. - P.127.

192. Гордиенко П.С., Ефименко А.В., Семенова T.JI. Закономерности синтеза и физико-химические свойства оксидных структур анодных пленок диоксида циркония. Владивосток.: Дальнаука. 2001. 93 с.

193. Ефименко А.В., Семенова Т.Л., Салюк А.Н. Закономерности процесса генерации э.д.с. в структурах анодных пленок вентильных металлов //Электронный журнал «Исследовано в России». 205. 2407-2418. 2003. http//zhurnal.ape. relarn.ru/artcles /2003/205/pdf.

194. Hiroyuki Kaneko, Takayuki Okamura, Hitoshi Taimatsu // Sensors and Actuators. 2003. В 93. P. 205-208.

195. Solid state gas sensors / Edited by Moseley P.T. and Tofield B.C. Bristol. : Printed in Great Britain by J.W. Arrowsmith LTD, 1987. 245 p.

196. Oomman K. Varghese, Dawei Gong, Maggie Paulose, Keat G. Ong, Craig A.Grimes. Hydrogen sensing using Titania nanotubes // Sensors and Actuators. B.93. 2003. p. 338-344.

197. Плёночные измерительные преобразователи с использованием ультрамикроскопических оксидных частиц. Atsushi Abe, «котай буцури», 1987, 22, №22, 127-132 (яп.). М.: ВИНИТИ. Экспресс-информация. Кон-трольноизмерительная техника. №1.1988. С.7-10.

198. Efimenko A., Semenova Т. Gas Sensors of tne New Type on Basic of Anodic Films Zirconia / American Ceramic Society's 100th Annual Meeting and Exposition, Cincinnati, Ohio, May 3-5,1998, Abstrac Book, p.95.

199. Ефименко A.B., Семенова Т.Л., Гордиенко П.С. "Новый класс сенсоров электронно-ионного типа на основе оксидных структур анодных пленок" Электронный журнал "Исследовано в России", 179, 1905-1922, 2004 http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2004/179.pdf

200. Moseley P.T. Non-Nernstian, Potential-generating gas Sensors // Solid state gas Sensors / Edited by Moseley P.T. and Tofield B.C. Bristol. : Printed in Great Britain by J.W. Arrowsmith LTD, 1987. p. 139-150.

201. Tofield B.C.State of the Art and Future Prospects for Solid State gas Sensors Solid state gas sensors / Moseley P.T., Tofield B.C. Bristol.: Printed in Great Britain by J.W. Arrowsmith LTD, 1987. p. 198-235.

202. Norio Miura, Yongtie Yan, Geyu Lu, Noboru Yamazoe. Sensing characteristics and mechanism of hydrogen sulfide sensor using stabilized zirconia and oxide sensing electrode // Sensors and Actuators. B.34.1996. P.367-372.

203. Eric L. Brosha, Rangachary Mukundan, David R. Brown, Fernando H. Garzon. Mixed potential sensors using lanthanum manganate and terbium zirconium oxide electrodes // Sensors and Actuators. B.87. 2002. P. 47-57.

204. Гордиенко П.С., Ефименко A.B. Исследование термопар с многокомпонентными термоэлектродами // Теплофизика высоких температур. -1984. 2. - №3. - С.564-568.

205. Гордиенко П.С., Ефименко А.В., Горин Л.Ф., Коварский Н.Я. и др. Исследование термоэлектрических свойств гальванических датчиков тепловых потоков // Изв. СО АН СССР. Новосибирск, сер. тех. наук. -1981. - 2. - №8. - С.22-27.

206. А.с. №786259, заяв. №2800817,13.07.79. Состав для получения электроизолирующего покрытия и способ приготовления состава / Гордиенко П.С., Хрисанфова О.А., Горин Л.Ф., Ефименко А.В.

207. А.с.№1332885, заяв. №3956321, 06.09.85. Способ и электролит для получения защитных покрытий на ниобии и его сплавах. Гордиенко П.С., Хрисанфова О.А., Гнеденков С.В., Ефименко А.В., Недозоров П.М.

208. Гордиенко П.С., Ефименко А.В., Исаева А.А., Горин Л.Ф. Исследование кинетики высокотемпературного окисления никеля, как компонента термопары // Защита металлов. -1985. 21. - №1. - С.123-126.

209. Мотт Н., Девис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах. М.: Мир. 1974. 414 с.

210. Проспект, http://www.figarosensor.com

211. Ефименко А.В., Семенова Т.Д. Сенсорные свойства гетероструктур оксидных анодных пленок // Сб. «Химия твердого тела и современые микро- и нанотехнологии», материалы IV Международной конф., Кисловодск, 2004, С. 55-57.

212. Рябцев С.В., Тутов Е.А., Бормонтов Е.Н., Шапошник А.В., Иванов А.В. Взаимодействие металлических наночастиц с полупроводником в поверхностно легированных газовых сенсорах. ФТП, 2001, т.35, В.7,С.48-53.

213. И.А. Мясников, В.Я. Сухарев и др. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях. М.: «Наука». 1991. 326с.