Рост и структура наноразмерных ориентированных гетероструктур с ограниченной взаимной растворимостью компонентов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Ампилогов, Вадим Петрович

• Ампилогов, Вадим Петрович
• кандидат физико-математических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Ампилогов, Вадим Петрович

1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР

1.1. Термодинамика формирования бинарных металлических систем методом вакуумного осаждения

1.1.1. Энергетический подход для определения механизмов роста

1.1.2. Влияние диффузии в двухкомпонентных системах на рост пленок

1.2. Кристаллогеометрический подход прогнозирования ориентации при сопряжении пленок

1.3. Изменение параметра кристаллической решетки компонентов многослойной и многокомпонентной пленки

1.4. Численные методы анализа для определения ориентационных соотношений в зависимости от энергии межфазных границ

1.5. Полиморфные превращения при росте многослойных и многокомпонентных пленок

2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА

2.1. Приготовление многослойных пленок Cu-V

2.2. Приготовление двухкомпонентных пленок с ограниченной взаимной растворимостью

2.3 Подготовка образцов для эл ектронно-микро скопических исследований

2.4 Методика анализа структуры, ориентации, субструктуры, количественного и фазового состава пленочных систем '

3. СУБСТРУКТУРНЫЕ И ОРИЕНТАЦИОННЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПРИ РОСТЕ МНОГОСЛОЙНЫХ СИСТЕМ С БОЛЬШИМ НЕСООТВЕТСТВИЕМ ПАРАМЕТРОВ РЕШЕТОК НА ПРИМЕРЕ Cu-V И Mo-Ni СИСТЕМ

3.1. Зависимость структуры пленок от ориентации подложки

3.1.1. Пленки Mo/Ni и Cu/V ha(lll)NaCl и фторфлого-пите

3.1.2. Зависимость ориентации и субструктуры двухслойных пленок Cu/V от толщины пленки ванадия на поверхности (001) NaCl

3.1.3. Ориентационные соотношения при смене последовательности конденсации компонентов

3.2. Ориентационные и субструктурные изменения при увеличении количества слоев

3.2.1. Трехслойные пленки Ni / Mo / Ni и Си / V / Си

3.2.2. Четырехслойные пленки Си / V / Си / V

Выводы к главе

4. ДИФФУЗИОННОЕ РАССЛОЕНИЕ ПРИ РОСТЕ ПЛЕНОК ДВУХКОМПОНЕНТНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ СИСТЕМ С ОГРАНИЧЕННОЙ ВЗАИМНОЙ РАСТВОРИМОСТЬЮ КОМПОНЕНТОВ

4.1 Системы с одинаковым типом кристаллических решеток

4.1.1 Зависимость ориентации и субструктуры пленок от температуры подложки

4.1.2 Изменение параметров кристаллических решеток компонентов наноструктуры

4.2 Системы с ГЦК - ОЦК и ГНК - ГПУ типами кристаллических решеток 73 4.3 Модель диффузионного расслоения двухкомпонентных пленок

Выводы к главе

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Рост и структура наноразмерных ориентированных гетероструктур с ограниченной взаимной растворимостью компонентов»

Актуальность темы. В последнее время на смену микроэлектронике и микротехнологиям приходят наноэлектроника и нанотехнологии. Интенсивно ведутся исследования по разработке способов получения новых нанокристаллических материалов и изучению их свойств. Повышенный интерес к нанокристаллическим материалам обусловлен несколькими причинами, среди которых возможность создания материалов с заданными физико-химическими и механическими свойствами.

Варьирование концентрации или размера наночастиц и толщины слоев, формирующих материал, существенно изменяет физические свойства: механические, электрические, магнитные. В частности, реальные значения прочности многослойных композитов могут превышать рассчитанные значения для отдельных компонентов многослойных гетерострук-тур в несколько раз. Гигантское магнитосопротивление, превосходящее магнитосопротивление в обычном состоянии на несколько порядков величины, обнаружено в ряде многослойных и гранулированных пленок. Многослойные пленки с резко отличающимися удельными сопротивлениями (например Cu-V) используются в качестве токопроводящих элементов.

Гранулированные наноструктуры с распределенными в немагнитной матрице наночастицами магнитной фазы формируют совместной конденсацией пар металлов с взаимно-ограниченной растворимостью (Ag-Co, Ag-Ni, Ag-Fe).

Основной проблемой нанокристаллических материалов является их нестабильность и возможность протекания рекристаллизации даже при комнатной температуре. Недостатки нанокристаллических материалов полученных методами порошковой технологии или пластической деформации можно избежать при получении материалов методом вакуумной конденсации.

Практическое применение вышеперечисленных систем стимулирует разработку способов получения нанокомпозитов с наперед заданной субструктурой. Один из путей совершенствования пленочных нанокомпозитов - использование ориентированной кристаллизации. Анализ результатов электронно-микроскопических исследований и описания технологии получения исследуемых нанокристаллических материалов показывают, что отсутствуют данные об ориентационных изменениях в процессе роста многослойных пленок, об ориентационных изменениях в широком интервале температур при получении нанокристаллических материалов.

Работа выполнена в Региональной научно-исследовательской лаборатории электронной микроскопии и электронографии кафедры физики Воронежского государственного технического университета в рамках проектов А-0032 и Б-0101 федеральной целевой программы «Интеграция».

Цель работы - установление закономерностей формирования ориентационных и субструктурных изменений в двухкомпонентных и многослойных пленках металлических систем с ограниченной взаимной растворимостью компонентов.

Для достижения поставленной цели решали следующие задачи:

1. Приготовление методом последовательной конденсации многослойных пленочных гетероструктур Ni / Mo и Си / V.

2. Приготовление двухкомпонентных пленок металлов с ограниченной взаимной растворимостью на основе Ag совместной конденсацией в вакууме из двух источников: а) систем с однотипными кристаллическими решетками ГЦК - ГЦК (Ag-Cu, Ag-Ni); б) систем с разнотипными кристаллическими решетками ГЦК - ОЦК (Ag-Cr) и ГЦК - ГПУ (Ag-Со).

3. Исследование полученных гетероструктур методами электронографии, просвечивающей электронной микроскопии, рентгеновской ди-фрактометрии.

4. Анализ ориентационных соотношений и субструктуры в зависимости от числа слоев в многослойных пленках.

5. Исследование зависимости субструктуры и ориентации двухком-понентных пленок Ag - Си, Ag - Ni, Ag - Cr, Ag - Co от температуры наращивания.

Для решения поставленных задач использовались современные методы получения нанокристаллических материалов (электронно-лучевое, термическое испарение и конденсация в вакууме) и их исследования (просвечивающая электронная микроскопия и электронография, рентгенография). Теоретические методы исследования включали в себя численное решение уравнений диффузии и расчет энергии межфазного взаимодействия.

Научная новизна.

1. Установлен ориентационный размерный эффект в плёнках V на (001) Си, проявляющийся в изменении ориентации пленки V на межфазной границе от (001) к (011) с увеличением толщины пленки V от 10 до 25нм.

2. Установлено, что в трехслойных пленках Mo / Ni / Mo и Си / V / Си ориентационные соотношения пар (111) Ni - (110) Mo и (110) Mo -(111) Ni, полученных на фторфлогопитовой слюде и (111) NaCl, и пар (001) Си - (110) V и (110) V - (001), полученных на (001) NaCl, сохраняются для каждой межфазной границы.

3. В четырехслойных пленках Си / V / Си / V, полученных на (001) NaCl, ориентационные соотношения не зависят от последовательности конденсации компонент и сохраняются для каждой межфазной границы.

4. Температура ориентированной кристаллизации двухкомпонентных тонких пленок с ограниченной взаимной растворимостью Ag - Сг лежит в интервале 330 - 350 °С, Ag - Со - 230 - 240 °С. Для объяснения наблюдаемых ориентационных изменений применена модель диффузионного расслоения.

5. Установлено, что изменение параметров кристаллических решеток пленок системы Ag - Си сильнее выражено для кристаллических фаз, находящихся во взаимно параллельной ориентации.

Практическая значимость. Установленные закономерности формирования структуры двухкомпонентных пленок могут быть использованы при выборе оптимальных условий для получения тонкопленочных многокомпонентных и многослойных гетероструктур на основе металлических систем с ограниченной взаимной растворимостью, а также при прогнозировании стабильности их структур.

Результаты диссертации могут быть использованы для студентов в области микроэлектроники и материаловедения в курсе лекций «Физика тонких плёнок».

На защиту выносятся следующие основные результаты и положения: для двухслойных пленок Си / V смена ориентации V с параллельной (001) V || (001) Си на ориентацию (110) V || (001) Си обусловлена увеличением толщины слоя ванадия; для трехслойных (Си IV/ Си, Ni / Mo / Ni) и четырехслойных (Си / V / Си / V) пленочных нанокомпозиций ориентационные соотношения не зависят от последовательности конденсации компонент и сохраняются для каждой межфазной границы; в двухкомпонентных нанокристаллических пленках Ag - Си, Ag - Ni, Ag - Cr, Ag - Co в узком интервале температур происходит ориентационное расслоение по составу в направлении роста при сохранении высокодисперсной структуры. Дисперсность структуры сохраняется и в пленках толщиной 1,2 мкм. изменение параметров кристаллических решеток пленок Ag -Си обусловлено конденсационно-стимулированным избыточным взаимным растворением Си и Ag и сильнее выражено для кристаллических фаз, находящихся во взаимно параллельной ориентации.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались и обсуждались на межотраслевом научно-практическом семинаре «Вакуумная металлизация» (Харьков, 1996), II Всероссийском семинаре «Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении» (Воронеж, 1999), III Всероссийском семинаре «Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении» (Воронеж, 2000), V Всероссийской конференции (Екатеринбург, 2000), школе-семинаре «Актуальные проблемы современной неорганической химии и материаловедения» (Дубна, 2001), Международной школе-семинаре «Нелинейные процессы в дизайне материалов» (Воронеж, 2002), научной сессии МИФИ-2002 (Москва, 2002), III Всероссийской конференции «Физико-химические процессы в конденсированном состоянии и на межфазных границах» ФАГРАН 2006 (Воронеж, 2006), VI Международном семинаре «Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении» (Астрахань, 2006).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 15 научных работ, в том числе 2 - в изданиях, рекомендованных ВАК РФ.

В работах, опубликованных в соавторстве и приведенных в конце автореферата лично соискателем выполнены: в [1, 5 - 12, 14,15] - работы по подготовке образцов двухкомпонентных пленок Ag - Си, Ag - Ni, Ag -Cr, Ag - Co и все электронно-микроскопические исследования влияния температуры на структуру этих пленок; в [2, 4, 13] - электронно-микроскопические исследования влияния толщины слоя V на структуру этих пленок; в [3] - анализ электронно-микроскопических изображений структуры пленок Mo-Ni.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, выводов, списка цитируемой литературы. Содержит 102 страницы, 34 рисунка, 4 таблицы, список литературы из 126 названий статей.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Ампилогов, Вадим Петрович

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. Для двухслойных пленок Си / V на (001) NaCl при увеличении толщины пленки V с 10 до 20 нм происходит смена ориентации зерен ванадия на межфазной границе от (001) [110] V (001) [100] Си к (110) <112> V (001) <011> Си. Наличие четырех эквивалентных ориентаций на начальных стадиях роста пленки определяет высокую дисперсность структуры. Для двухслойных пленок Mo / Ni и Си / V, полученных на фторфлогопитовых подложках и поверхности (111) NaCl, выполняются ориентационные соотношения Нишиямы-Вассермана. Смена последовательности конденсации компонент в двухслойных пленках Си / V на (001) NaCl не влияет на ориентационные соотношения.

2. Проведен анализ ориентационных соотношений и субструктуры пленок систем Mo - Ni и Си - V с изменением числа слоев. Установлено, что для трехслойных пленок Ni / Mo / Ni и Cu / V / Си и четырехслойных пленок Си / V / Си / V сохраняются ориентационные соотношения на каждой межфазной границе Ni - Mo, Mo -Ni; Cu - V, V - Cu с азимутальной разориентацией.

3. В двухкомпонентных пленках с ограниченной взаимной растворимостью Ag-Cu, Ag-Ni, Ag-Cr, Ag-Co в интервале температур в несколько десятков градусов, - образуются ориентированные нерегулярные слоистые композиции из чередующихся очень тонких, диаметром до нескольких нанометров, пластинок обеих фаз. При изменении температуры подложки выше температуры ориентированного роста происходит прорастание зерен по всей толщине подложки - формируется однофазная по толщине субструктура. При изменении температуры подложки ниже температуры ориентированного роста образуется высокодисперсная неориентированная субструктура.

4. Обнаружено, что при совместной конденсации серебра и меди растворимость меди в нанокристаллах серебра увеличивается до 17 ат. %, а концентрация серебра в зернах меди составляет ~ 1 ат. %, что установлено по изменению параметра кристаллической решетки. Конденсационно-стимулированное избыточное взаимное растворение Си и Ag сильнее выражено для кристаллических фаз, находящихся во взаимно параллельной ориентации.

Автор выражает благодарность всему коллективу «Региональной научно-исследовательской лаборатории электронной микроскопии и электронографии» и лично: Буровой С.В. за помощь и внимание при исследовании пленок системы Mo - Ni, Белоногову Е.К. за помощь в приготовлении образцов Cu/V. Автор благодарит Бабкину И.В. за консультации при проведении рентгенографических исследований. Особую благодарность автор выражает руководителю научной школы Иевлеву Валентину Михайловичу за неоценимую помощь и внимание.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Ампилогов, Вадим Петрович, 2007 год

1. Birringer R., Herr U., Gleiter H. Nanocrystalline materials - a first report. 11 Suppl. Trans. Japan. 1.st. Metals. 1986. - V 27. - P. 43 - 52.

2. Pogorily A, Kravets A., Shypil E., Pod'yalovsky D., Vovk A., Kim C., Prudnikova M., Khan H. Magnetic properties of heterogeneous (Fe-Ni)-Ag films in a wide composition range // Thin Solid Films. 2003. V. 423, Iss. 2. -P. 218-223.

3. Murzina O.V., Kim E.M., Matskevich S.E., Aktsipetrov O.A., Kravets A.F., Vovk A.Y. Magnetization-induced third harmonic generation in magnetic nanogranular films: correlation with giant magnetoresistance. // JETP Letters 2004.-V. 79,№4.-P. 155- 156.

4. Pereira de Azevedo M.M., Kakazei G.N., Kravets A.F., Amaral V.S., Pogorelov Yu.G., Sousa J.B. GMR in Co-evaporated Co-Ag granular thin films. // J. Magn. Magn. Mat. 1999. V. 196-197. - P. 40 - 42.

5. Sumiyama K, Suzuki K., Makhlouf S.A. et.al. Structural evolution and magnetic properties of nano-granular metallic alloys. // J.of Non-Cryst. Sol. 1995.-V. 192-193.-P. 539-545.

6. Michez L.A., Hickey B.J., Shatz Smadar, Wiser Nathan. Magnetoresistance of magnetic multilayers: A phenomenological approach. // J. Phys.: Condens. Matter. 2006. V. 18, № 19. - P. 4641 -4647.

7. Dediu V.I., Kabanov V.V., Sidorenko A.S. Dimensional effects in V/Cu superconducting superlattices. // Phys. Rev. B. 1999 V. 59, № 6. - P. 4027-4032.

8. Pohorily A.N., Kravets A.F., Shypil O.V., Vovk A.Ya, Kim C.S., Khan H.R. Composition dependence of transport properties in Co-Cu granular films.// J. Magn. Magn. Mat. 1999.-V. 196- 197.-P. 43-45.

9. Кобояси H. Ведение в нанотехнологию. M. БИНОМ. Лаборатория знаний. 2007. - 114 с.

10. Носкова Н.И., Корзников А.В., Идрисова С.Р. Структура, твердость и особенности разрушения наноструктурных материалов. // ФММ. 2000.-Т. 89,№4.-С. 103-110.

11. Коломиец А.Т., Турцевич Е.В., Бега Н.Д., Ожигов JT.C. Структурная чувствительность механических свойств слоистых композитов Сг -V. // Металлофизика и нов. технологии. 1995. Т. 17, № 5. - С. 67 - 72.

12. Krauss W., Gleiter Н. Grain-boundary component in W-Ga composites: a way towards skeleton structures. // Phys. Rev. B. 1998 V. 58, № 17. -P. 11226- 11229.

13. Liu W., Hu A, Jiang S.-S., Qiu Y., Liu W.-H., Wu Z.-Q. An x-ray diffraction study on Cu Ti metallic multilayers // J.Phys.: Condens. Matter. -1989.-V. l.-P. 8771 -8778.

14. Андриевский P.А., Глезер A.M. Размерные эффекты в нанокристаллических материалах. 1. Особенности структуры. Термодинамика. Фазовые равновесия. Кинетические явления. // ФММ. 1999. Т. 88, № 1. -С. 50-73.

15. Хирс Дж. П., Моазед K.JI. Образование зародышей при кристаллизации тонких пленок. // Физика тонких пленок. М.: Мир. 1970. Т. 4. -С. 123- 166.

16. Chamblies D.D., Wilson R.J., Chiang S. Nucleation of ordered Ni island arrays on Au (111) by surface lattice dislocation. // Phys. Rev. Lett. 1991. - V. 66, № 13. - P. 1721 - 1724.

17. Chambers S.A., Anderson S.B., Chen H.W. et.al. Growth of metasta-ble fee Co on Ni (001). // Phys. Rev. B. 1987. V. 35, № 6. - P. 2592 - 2597.

18. Winau D., Koch R., Fuhrmann A. et.al. Film growth studies with intrinsic stress measurement polycrystalline and epitaxial Ag, Cu and Au films on mica (001). // J. Appl. Phys. 1991. V. 70, № 6. - P. 3081 - 3087.

19. Koch R., Winau D., Fuhrmann A. Growth mode - specific intrinsic stress of thin silver films. // Phys. Rev. B. 1991. - V. 44, № 7. - P. 3369 - 3372.

20. Jones G,W., Marcano J.M., Norscov J.K. et.al. Energies controlling nucleation and growth processes: the case of Ag/W(110). Phys. Rev. Lett. 1990. V. 68, № 26. - P. 3317 - 3320.

21. Bauer E., Mundschau M., Pinkvos H. et.al. Low energy electron microscopy of thin films. // Vide, couches minces. 1991. V. 47, № 259. - P. 26 -31.

22. Shinn N.D., Berlowitz P.J. Growth, atomic structure and oxidation of chromium overlayers on W(110). // J. Vac. Sci. and Technol. A. 1988. V. 6, № 3, Pt. l.-P. 597-599.

23. Hikhov V., Bauer E. Growth, structure and energetics of ultrathin ferromagnetic single crystal films on Mo(l 10). // Surf. Sci. 1990. V. 232, № 1-2. -P. 73-91.

24. Goton Y., Yanokura E. Growth of Ag on an Mo(l 10) surface investigated by RHEED and SEM observation. // J. Cryst. Growth. 1990. V. 99, № 1-4, Pt. l.-P. 588-592.

25. Goton Y., Yanokura E. Surface ordered phases of Ag on the Mo(l 10) surface by RHEED observation. // Surf. Sci. 1992. V. 269-270, Pt. B. - P. 707-712.

26. Paffett M.T., Logan A.D., Simonson R.J. et.al. // A inultitechnique surface science examination of Sn deposition on Pt (100). // Surf. Sci. 1991. -V. 250, № 1-3.-P. 123- 138.

27. Heitzinger J.M., Gebhard S.C., Parker D.H. Growth mechanism and structure of ultrathin palladium films formed by deposition on Mo (100). // Surf. Sci. 1992.-V. 260, № 1-3.-P. 151 162.

28. Taylor T.N., Van der Gon O.W., Denier, Van der Veen J.I. Composition, structure and morphology for Ag deposition on Cu (110)% a medium-energy ion-scattering study. // Phys. Rev. B. 1990. V. 41. - P. 7474 - 7482.

29. Taylor T.N. Muenchausen R.E., Hoffbauer M.A. The structure and morphology of Ag film growth on Cu(llO). Surf. Sci. 1991.-V. 243, № 1-3.-P. 65 82.

30. Bauer E., van der . Structure and growth of crystalline superlattices: From monolayer to superlattice // Phys. Rev. В 1986. V33, № 6. - P. 3657 -3671.

31. Магомедов M.H. О зависимости поверхностной энергии от размера и формы нанокристаллов. // ФТТ. 2004. Т. 46, № 5. - С. 924 - 933.

32. Палатник J1.C., Папиров И.И. Эпитаксиальные пленки. М.: Наука. 1971.-480 с.

33. Taylor T.N., Muechausen R.E., Hoffbauer М.А., van der Gon A.W. Denier, van der Veen J.F. Temperature-dependent effects during Ag deposition on Си (110) // J. Vac. Sci. Technol. A 1990. V8, № 3. - P. 2732 - 2737.

34. Cunningham J.E., Flynn C.P. Growth of bicrystal superlattice: Ru-Ir // J.Phys. F: Met. Phys. 1988. V. 15. - P. L221-226.

35. Flynn C.P. Constraints on the growth of metallic superlattices // J.Phys. F: Met. Phys. 1988. -V. 18. P. LI 95 - L200.

36. Li H., Wu S.C., Tian D. et.al. Epitaxial growth of body-centered-tetragonal copper // Phys. Rev. B. 1989. V.40, № 8. - P. 5841-5844.

37. Quinn J., L.Y.S., Li. H. et. al Atomic and electronic structure of Fe films grown on Pd(001) // Phys. Rev. B. 1991. V. 43, № 5. - P. 3959-3968.

38. Antel W.J., Schwicker M.M., Tao Lin et al. Induced ferromagnetism and anisotropy of Pt layers in Fe / Pt (OOlXmultilaeyrs. // Phys. Rev. B. 1999. -V. 60, № 18.-P. 12933- 12940.

39. Yanagihara H., Kita Eiji, Salamon M.B. Aperiodical oscillation of interlayer coupling in epitaxial Co/Ir (001) superlattices. // Phys. Rev. B. 1999. -V. 60,№ 18.-P. 12957- 12962.

40. Mitchell K.A.R., Woodruff D.F., Vernon G.W. A test of energy averaging in leed: the coincidence lattice structure formed by Ag on Cu // Surf. Sci. 1974.-V. 46.№2.-P.418-426.

41. Yagi K., Takayanagy K., Kobayashi K., Honjo G. In situ electron microscope studies on epitaxial growth of thin metal films on metal substrates //Thin Solid Films. 1976.-V. 32, №2.-P. 185-190.

42. Vook R.W., Macur J.E. Microstructural characterization of epitaxial

43. Au/Cu bicrystals. // Thin Solid Films. 1996.-V. 208, №2.-P. 199-203.

44. Tang S.L., Carcia P.F., McGhie A.J.,'; James E.B. Effects of sputter gas medium on the nanometer scale surface structures of the Pt/Co multilayers. // Appl. Phys. Lett. 1991. V. 59, № 3. - P. 289 - 291.

45. Venugopal V., Seibel L.J., Thijsse B.J. Defects and morphological changes in nanothin Cu films on polycrystalline Mo analyzed by thermal helium desorption spectrometry. // J. Appl. Phys. 2005. V. 98, № 2. - P. 024315/1 -024315/12.

46. Б.И.Болтакс. Диффузия в полупроводниках. М.: Металлургия. 1961,-462 с.

47. Давыдов С.Ю. Расчет энергии активации поверхностной са-диффузии атомов переходных металлов // ФТТ. 1999. Т. 41, вып.1. С. 34 -42

48. Лариков Л.Н., Исайчев В.И. Диффузия в металлах и сплавах. Киев.: Наукова Думка, 1987. 510 с.

49. Бокштейн С.З. Строение и свойства металлических сплавов. М,: Металлургия. 1971 г. -496 с.

50. Евтеев А.В., Иевлев В.М., Косилов А.Т., Соляник С.А. «Эстафетный» механизм поверхностной диффузии. //Харьковская научная ассамблея ISTFE-15. 21-26 апреля 2003 г. Харьков. Украина. С. 34 - 36.

51. Косевич В.М., Иевлев В.М., Палатник JI.C., Федоренко А.И. Структура межкристаллитных и межфазных границ. М.: Металлургия. 1980.-256 с.

52. Иевлев В.М., Бармина Н.В., Аммер В.А. Ориентация и структура пленок висмута на ювенильной поверхности цинка. //Кристаллография. 1982.-Т. 27.-С. 1200- 1203.

53. Иевлев В.М., Бугаков А.В., Бармина Н.В. Применение теории 0-решетки к анализу ориентационных соотношений на межфазной границе подложка-пленка. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1984. № 5. -С. 21-28.

54. Иевлев В.М., Бугаков А.В. Ориентационные соотношения в пленочных металлических системах (111) ГЦК (110) ОЦК. // ФММ. 1993. -Т. 75, № 1.-С. 119-122.

55. Bollmann W. On the geometry of grain and phase, boundaries. // Phyl. Mag. 1967. V. 16, № 140. - P. 363 - 399.

56. Bollmann W. Crystal defects and crystal interfaces. // Springer. Berlin. 1970.- 244 P.

57. Raatz G., Woltersdorf J Structure of metal deposits on ceramic materials studied in the Ni/MgO system. // Phys. Stat. Sol. (a). 1989. V. 113. - P. 131-141.

58. Иевлев B.M., Золотухин И.В., Кущев С.Б. Ориентационные соотношения, наблюдаемые при вакуумной конденсации молибдена на фторфлогопите. // ФММ. 1977. Т. 43. - С. 199 - 204.

59. Koboyashi К., Akiko S., Sarma S Direct calculation of interfacial energetics. Roles of axial commensuration and strain in epitaxial growth. // Phys. Rev. B: Condens. Matter. 1987. V. 35, № 15. - P. 8042 - 8054.

60. Hitchock A.P., De Crescenzi M., Tyliszesak T. The C.u/Ag (111) interface studied by electron energyloss fine structure spectroscopy. // Physica B. 1989.-V. 158.-P. 666-671.

61. Matliere C., Renard D., Chauineau J.P. Study of interface roughness and crystallographic structure of Au/Co/Au sandwiches. // Thin Solid Films. 1991.-V. 201,№ 2.- P. 317 -321.

62. Gumbsch P., Daw M.S., Foiles S.M., Fishmeister H.F. Accommodation of tje lattice mismath in a Ag/Ni heterophase boundary. // Phys. Rev.B 1991.-V. 43, № 17.-P. 13833- 13837.

63. Wall M.A., Jankowski A.F. Atomic imaging of Au/Ni. multilayers. // Thin solid films. 1989.-V. 181.-P. 313-321.

64. Li Z.G., Carcia P.F., Cheng Y. Co thickness dependence of the mi-crostructure of Pt/Co multilayers. // J. Appl. Phys. 1993. V.73, № 5. - P. 2433 -2437.

65. Sato N. Crystallographic structure and magnetism of Co-Pd and CoPt films with an artificially layered structure. // J. Appl. Phys. 1988. V.64, № 11.-P. 6424-6433.

66. Гладких H.T., Дукаров C.B., Крышталь А.П., Ларин В.И., Сухов В.Н., Богатыренко С.И. Поверхностные явления и фазовые преврщения в конденсированных пленках. Харьков: ХНУ им. В.Н. Каразина. 2004. -276 с.

67. Иевлев В.М., Бугаков А.В. Структурная и субструктурная самоорганизация при росте многослойных пленочных металлических композиций. // Вестник ВГТУ. Серия «Материаловедение». 1999. В. 1.5. - С. 61-68.

68. Boding B.C., Carter E.A. Effect of strain on thin film growth: deposition of Ni on Ag(100). // Surf. Sci. 1992. V. 68, № 1-3. - P. 666 - 671.

69. Lamelas F.G., Lee C.H., He H., Vavra W., Clarke R. Coherent fee stacking in epitaxial Co/Cu superlattices. // Phys. Rev. В 1989. V.40, № 8. -P. 5837-5840.

70. Li Hong, Tonner B.P. Direct experimental identification metastable b.c.c. and f.c.c.cobalt. // Phys. Rev. В 1989. V. 40, 8. - P. 5837 - 5840.

71. Honjo G., Takayanagi K., Kobayashi K. et. al. Ultra-high-vacuum in situ electron microscopy of growth processes of epitaxial thin films // J. Cryst. Growth. 1977. V. 42. - P. 98-109.

72. Voiglander Bert, Meyer Gerhard, Amer Nabil M. Epitaxial growth of Fe on Au (111) a scanning tunneling microscopy investigation // Surf. Sci. 1991. V. 225, № 3. - P. L529-L535.

73. Wang Z.Q., Li Y.S., Jona F. et. al. Epitaxial growth of body-centered-cubic nickel on iron // Solid State Commun. 1987. V. 61, № 10. - P. 623 - 626.

74. Scheurer F., Cfrriere В., Devulle J.P. et.al. Evidence of epitaxial growth of b.c.c. Co on Cr (100) // Surf. Sci'. 1991. V. 245. № 3. P. L175-L178.

75. Stearns M.B., Lee C.H., Groy T.L. Structural studies of Co/Cr multi-layered thin films. // Phys. Rev. B. 1989. V. 40, № 12. - p. 8256 - 8269.

76. Rouyer D., Krembel C., Hanf M.C. et.al. Metastable film growth of Cr on Cu(001). // Surf. Sci. 1995. № 1 - 3. - P. 34 - 40.

77. Durbin S.M., Berman L.E., Batterman B.W. Epitaxial growt of fee Cr on Au (100). // Phys. Rev.B 1988. V. 37, № 12. - P. 6672 - 6675.

78. Yaun-hang W., An Hu, Zheng Yu, Xiang-jin Li, Duan F. A structural study of compositionally modulated Nb-Ti films // Phys. Stat. Sol. (a) 1986. V. 96.-P. 377-384.

79. Федосюк В.М., Шелег М.У., Касютйч О.И., Козич.Н.Н. Получение и исследование мультислойных структур Со/Си. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1991.-№ 11. С. 115-119.

80. Точицкий Т.А., Касютйч О.И., Федосюк В.П. Структура мультислойных Со/Си пленок. // ФТТ. 1992. Т. 34, № 5. - С. 1338 - 1342.

81. Касютйч О.И., Федосюк В.М., Макутина JLH., Макутин Г.В. Численный анализ сателлитных отражений многослойных покрытий Со/Си. // ФТТ. 1992. Т. 34, № 9. - С. 2861 - 2866.

82. Касютйч О.И. К модели идеальной сверхструктуры для многослойных пленок Со/Си. // ФТТ. 1992. Т. 36, №10.- С. 2961.- 2967.

83. Matsubara Е., Waseda Y. Structural study of Си/Со multilayer by anomalous small-angle X-ray scattering. // The Science Reports of the research institutes Tohoku University. A. 1993. V. 38, №1. - P. 14 - 23.

84. Dutcher J.R., Lee S., England C.D., Stegeman G.I., Falco C.M. Elastic properties of Co-Cu multilayers. // Mat. Sci. Eng. A. 1990. V. 126 - P. 13 -18.

85. Sato N. Structure and magnetism of transition-metal magnesium thin films with an artificially layered structure. // J. Appl. Phys. 1988. - V.64, №8.-P. 4113-4122.

86. Du J.H., Li Q., Wang L.C. et.al. Microstructural investigation of as-deposited nano-granular Co-Ag films by high resolution electron microscopy // Phys. Stat. Sol. A 1995.-V. 151. P. 313-317.

87. Иевлев B.M., Бугаков A.B., Трофимов В.И. Рост и субструктура конденсированных пленок. Воронеж: издательство ВГТУ. 2000. 386 с.

88. Roitburd A.L. Equilibrium structure of epitaxial layers. // Phys. Stat. Sol.(a). 1979. V. 37. P. - 329 - 339.

89. Палатник JT.C., Фукс М.Я., Косевич B.M. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М.: Наука. 1972. 320 с.

90. Беликов A.M., Косилов А.Т., Шепилов В.Б. Структурные и спектральные методы исследований. Воронеж: ВПИ. 1984.-223 с.

91. Хирш П., Хови А., Николсон Р. и др. Электронная микроскопия тонких кристаллов. М.: Мир. 1968. 574 с.

92. Гинье А. Рентгенография кристаллов. М.: Государственное издательство физико-математической литературы. 1961. 604 с.

93. Утевский JI.M. Дифракционная электронная микроскопия в металловедении. М.: «Металлургия». 1973. 584 с.

94. Powder Difraction file. Alphabetical Index Inorganic Compound . 1977. JCPDS, Pensilvania 19081, USA.

95. Бурова C.B., Ампилогов В.П. Структура многослойных пленок системы Ni-Mo. // Физика и технология материалов и изделий электронной техники. Межвузовский сборник научных трудов. Воронеж. 1994. С. 92-95.

96. Ампилогов В.П. Субструктурные изменения в однофазных и многослойных пленках с ростом толщины. // Тезисы докладов межотраслевого научно-практического семинара «Вакуумная металлизация». Харьков 16-18 апреля. 1996.-С. 64.

97. Ампилогов В.П., Шведов Е.В., Меркулов Г.В. Ориентация и субструктура двухслойных пленок Cu-V. // Международная школа-семинар «Нелинейные процессы в дизайне материалов». 19-21 апреля 2002 г. Тезисы докладов. Воронеж. 2002. С. 19 - 20.

98. Ампилогов В.П., Шведов Е.В. Ориентация и субструктура многослойных пленок Cu-V. // Вестник ВГТУ. Серия «Материаловедение». 2003.-В. 1.14.-С. 40-44.

99. Барабаш О.М., Коваль Ю.Н. Структура и свойства металлов и сплавов. Справочник. Киев: «Наукова Думка». 1986. 598 с.

100. Хансен М., Андерко К. Структуры двойных сплавов. Т. 1. М.: Металлургиздат. 1962.-560 с.

101. Иевлев В.М., Шведов Е.В., Ампилогов В.П., Мышляев М.М. Диффузионное расслоение при росте пленок двухкомпонентных систем с ограниченной взаимной растворимостью. // Вестник ВГТУ. Серия «Материаловедение». 1998.-В. 1.4.-С.41 -43.

102. Шведов Е.В., Ампилогов В.П. Диффузионное расслоение при росте двухкомпонентных пленок Ag Ni. // Вестник ВГТУ. Серия «Материаловедение». 1999. - В. 1.6. - С. 73 - 75.

103. Иевлев В.М., Шведов Е.В., Ампилогов В.П., Меркулов Г.В. Кинетика диффузионного расслоения при росте пленок двухкомпонентных металлических систем с ограниченной взаимной растворимостью. // ФММ. 2000. Т. 90, № 2. - С. 72 - 76.

104. Ievlev V.M., Shvedov E.V., Merkulov G.V., Ampilogov V.P. The diffusive layering during film in two-component systems with limited mutual solubility. // Phys. Low-Dim. Struct. 2000. -№ 11/12. P. 81 - 90.

105. Иевлев В.М., Шведов Е.В., Андрусевич Д.Е., Ампилогов В.П., Исаенко А.П., Субструктура двухкомпонентных металлических пленок с ограниченной взаимной растворимостью. // Материалы V Всероссийской конференции, Екатеринбург, 2000.- с. 412.

106. Шмыгарев Ю.М., Пашко Т.Д., Подгорная О.А., Пальчук И.М. Распределение зерен по размерам в конденсатах Си Мо. // Вопросы атомной науки и техники. Серия: ядерно-физические исследования (теория и эксперимент). 1990. - № 2 (10). - С. 67 - 70.

107. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции. М.: Мир. 1982.576 с.

108. Zhang Jian-Min, Xin Hong, Wei Xiu-Mei. Atomic-scale calculation of interface energy forAg/Ni. //Appl. Surface Sci. 2005. V. 246, № 1-3. - P. 14-22.

109. Чижик С.П., Гладких H.T., Григорьева JI.К. и др. Смещение границ растворимости в высокодисперсных системах. // Известия АН СССР. Металлы. 1985. № 2. - С. 175 - 178. '

110. Барабаш О.М., Коваль Ю.Н. Структура и свойства металлов и сплавов. Справочник. Киев: «Наукова Думка». 1986. 598 с.

111. Хансен М., Андерко К. Структуры двойных сплавов. Т. 1. М.: Металлургиздат. 1962. 560 с.

112. Горелик С.С., Расторгуев Л.Н., Скаков Ю.А. Рентгенографический и электронографический анализ металлов (приложения). М.: Гос. Научно-техническое издательство литературы по черной и цветной металлургии. 1968. 87 с.

113. Диаграммы состояния двойных металлических систем. Справочник. В 3-х т.: Т. 1/ Под ред. Лякишева Н.П. М.: Машиностроение. 1996. 992 с.

114. Иевлев В.М. Структура поверхности раздела в пленках металлов. М.: Металлургия. 1992. 173 с.

115. Fukuda Н., Goton Y. On possible preferred orientation relationships at the B.C.C (110) F.C.C. (111) interface.// Thin solid films. 1990. - V. 188. -P. 193-202.

116. Кацнельсон A.A., Лысенко O.B., Трушин O.C. Возмущение поверхности А1 одиночным атомом примеси // Поверхность. 1998. Вып. 7. -С. 99-101.

117. Шпилевский Е.М. Исследование диффузии в тонких пленках систем золото серебро и серебро - медь. // Автореф. канд. дис. Минск: БГУ. 1974.