Разработка технологических методов управления функциональными характеристиками узлов гироприборов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.14, кандидат технических наук Юльметова, Ольга Сергеевна

• Юльметова, Ольга Сергеевна
• кандидат технических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат технических наук Юльметова, Ольга Сергеевна

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ОБЪЕКТ И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧ ИССЛЕДОВАНИЯ.

1.1. Конструкторско-технологические и метрологические аспекты процесса создания роторов электростатических гироскопов.

1.2. Функциональные характеристики роторов электростатических гироскопов.

1.3. Тенденции развития исследований шероховатости функциональных поверхностей.

1.4. Оценка влияния шероховатости растрового рисунка на оптические характеристики ротора гироскопа.

1.5. Современное состояние и перспективы развития технологических методов формирования контрастного рисунка.

1.5.1. Электрохимический метод.

1.5.2. Фотолитография.

1.5.3. Лазерное маркирование.35.

ГЛАВА 2. ЭЛЕМЕНТЫ ТЕОРИИ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ РАЗРАБОТКИ МЕТОДОВ УПРАВЛЕНИЯ ФУНКЦИОНАЛЬНЫМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ ГИРОУЗЛОВ.

2.1. Информационно-логическая модель исследований по повышению качества роторов электростатических гироскопов.

2.2. Технологические методы обеспечения управляемости оптических характеристик ротора гироскопа.

2.2.1. Методика оптимизации шероховатости функциональных поверхностей

2.2.2. Методика оценки шероховатости с использованием трехмерных топографий.

2.2.3. Оптимизация влияния шероховатости на контрастность рисунка сплошного бериллиевого ротора.

2.2.4. Оптимизация влияния шероховатости на контрастность рисунка тонкостенного бериллиевого ротора с покрытием нитрида титана.

2.2.5. Создание базы данных для конструкторско-технологического и метрологического обеспечения шероховатости функциональных поверхностей

2.3. Разработка принципов управления электрофизическими свойствами маркированного рисунка.

ГЛАВА 3. ОБОРУДОВАНИЕ И МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ.

3.1. Маркировочный лазерный комплекс для создания контрастного растра.

3.2. Прибор для оценки шероховатости прецизионных поверхностей.

3.3. Оборудование для контроля оптических характеристик рисунка.

3.4. Применение сканирующего зондового микроскопа для контроля электрических свойств поверхности ротора.

3.5. Особенности методики исследования характеристик функциональных поверхностей.

ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ПРАКТИЧЕСКОЕ ПРИМЕНЕНИЕ.

4.1. Экспериментальная разработка программы в среде МАТЛАБ для построения непараметрических критериев оценки шероховатости.

4.2. Этапы разработки базы данных для технологического обеспечения микрогеометрии функциональных поверхностей.

4.3. Результаты рентгеноэлектронного анализа состава растра.

4.4. Экспериментальное исследование влияния режимов лазерной обработки на оптические свойства растра.

4.5. Особенности процесса создания рисунка методом лазерного маркирования на сферических поверхностях узлов гироприборов.

4.6. Экспериментальные результаты применения лазерного маркирования при создании рисунка на роторах БЭСГ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка технологических методов управления функциональными характеристиками узлов гироприборов»

Развитие современного общества во многом связано с постоянным мониторингом окружающей среды и непрерывным процессом получения и обработки информации о состоянии сложных технических объектов, используемых человечеством в своих нуждах.

К требующим особого внимания техническим объектам, в первую очередь следует отнести космическую и ракетную технику, средства авиации, морские суда и атомные подводные лодки.

Средствами получения информации для указанных объектов служат изделия точного приборостроения, надежность и достоверность показаний которых обусловливает объективность и адекватность принимаемых решений, связанных с конкретными действиями по управлению этими техническими объектами. Сюда в первую очередь можно отнести навигационные системы и комплексы, основой частью которых являются гироскопические приборы.

Наиболее точными гироскопическими приборами являются электростатические гироскопы, входящие в состав систем навигации и предназначенные для автономной выработки координат движущихся объектов морского флота, авиации и ракетно-космической техники.

Примерами таких гироскопов являются разработанные в ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург) и не имеющие аналогов электростатический гироскоп ЭСГ и бескарданный вариант электростатического гироскопа БЭСГ, представляющие собой датчики первичной информации с оптоэлектронной системой съема данных об угловом положении сферического ротора по светоконтрастному рисунку.

Эти гироскопы были разработаны в нашей стране.под руководством главных конструкторов A.C. Анфиногиенова и Б.Е. Ландау. Большой вклад в теоретическое и практическое решение конструкторских задач внесли Б.Н. Агроскин, О.И. Парфенов, В.Н. Цветков, Н.В. Нарвер. Создание технологии изготовления основных узлов этих гироскопов - сферических роторов - определили работы В.И. Гаврюсева и А.Г. Щербака (прецизионная диффузионная сварка), В.Г. Кедрова и С.М. Осипова (асферизация, доводка и балансировка), А.К. Гуттовской, В.А. Гинзбурга, Н.В. Марковской и С.М. Дюгурова (формирование контрастного рисунка).

С учетом условий эксплуатации (космическая техника и объекты морского флота подводного' базирования) эти две модификации гироскопа с электростатическим подвесом отличаются5 по габаритам, конфигурации ротора (полый и сплошной), особенностям съема информации, ряду рабочих характеристик (перегрузочная способность), и т.д. Однако общим являются высокие требования к геометрической точности и дисбалансу (десятые и сотые доли микрометра) ротора; а также к качеству светоконтрастного рисунка, нанесенного на его- поверхность и обеспечивающего съем информации* об' угловом положении ротора. А поскольку ротор' является основным узлом электростатических гироскопов, то повышение их точности и надежности связано с улучшением параметров ротора, к которым; в первую очередь, можно отнести геометрическую точность, дисбаланс, а также функциональные характеристики растрового рисунка.

Таким образом, перспективы дальнейшего развития и совершенствования указанных гироскопических приборов связаны, в первую^ очередь, 'с повышением качества изготовления основного конструктивного элемента гироскопов і этого типа — ротора, являющегося носителем кинетического момента.

Роторы представляют собой доведенный сферический узел (сплошной бериллиевый для БЭСГ и тонкостенный бериллиевый, покрытый нитридом титана, для ЭСГ), на наружную поверхность которого методом локального электрохимического травления1 (ЭХТ) наносится контрастный рисунок, необходимый для функционирования оптоэлектронной системы съема информации. Для ротора ЭСГ рисунок наносится на полюсах сферы, в то время как на роторе БЭСГ рисунок занимает всю поверхность ротора (два полюса и экваториальную часть). Именно такая схема нанесения рисунка и позволяет реализовать модель бескарданного варианта электростатического гироскопа, существенно уменьшая вес и габариты изделия.

Однако необходимость повышения точности гироскопов требует создания более совершенной схемы нанесения рисунка. Например, для'ротора БЭСГ повышение точности связано с уменьшением угла наклона полос растрового рисунка, увеличивающего соотношение сигнал-шум, а также с возможностью варьирования количества полос. Компьютерное моделирование-показывает, что увеличение числа полос рисунка в 2 раза, наряду с увеличением разрядности процессоров, используемых в оптоэлектронном блоке системы съема информации, позволит увеличить * точность системы съема как минимум в 1,5 раза. В^ свою < очередь, повышение точности БЭСГ обеспечивает увеличение длительности временного- интервала при включении систем; коррекции орбиты космического летательного аппарата, что актуально для аппарата любого назначения.

Стратегическое значение имеет также перспектива создания технологии нанесения контрастного рисунка в экваториальной части- на поверхности ротора гироскопа ЭСГ (самого точного гироскопа в мире среди существующих аналогов) без снижения1 его точности. Это определяет возможность реализаций морских инерциальных систем с бескарданными конструкциями гироориентаторов, поскольку здесь требуется- высокая: точность! индикации положения ротора гироскопа по рисунку на: его поверхности при сохранении достигнутых в настоящее время его основных эксплуатационных характеристик. Перспективным решением для ротора ЭСГ также является нанесение полюсных меток с относительной разностью контраста не менее 10%, что позволит сократить время готовности гироскопа при запуске.

Однако электрохимический метод нанесения рисунка в принципе не может обеспечить стабильную разницу контрастности, а незначительное изменение конфигурации рисунка требует кардинальной перестройки всей технологии.

Поэтому совершенствование гироскопических приборов определяется совокупным решением конструкторских (изменением конфигурации рисунка), навигационных (возможность реализации инерциалвных систем с бескарданными конструкциями) и технологических задач, решение которых требует учета целого ряда факторов.

Так, например, отличительной особенностью гироскопических приборов является геометрическая точность, нормируемая десятыми- и сотыми^ долями микрометра, входящих в их состав, деталей и узлов, на прецизионных, поверхностях которых создаются функциональные элементы, обеспечивающие требуемые условия^ эксплуатации изделия- и обладающие заданными, электрическими, оптическими, трибологическими, механическими свойствами, или целым комплексом, из перечисленных характеристик.

Примером могут служить роторы- электростатических гироскопов, соответствие техническим требованиям которых определяется комплексом указанных функциональных характеристик: оптических, описываемых контрастностью рисунка, механических, нормируемых дисбалансом, и электрофизических, обусловленных необходимостью соизмеримости электропроводности базовой поверхности ротора' и нанесенного рисунка. « Однако растровый рисунок, полученный методом ЭХТ, имеет диэлектрическую природу, нестабильную шероховатость, рыхлую.структуру, и» неравномерную'толщину модифицированного слоя* порядка 1,5-2,0 мкм, что негативно сказывается на динамике ротора при его вращении в электростатическом подвесе.

Необходимость поиска альтернативной технологии создания рисунка для роторов электростатических гироскопов обусловлена не только отсутствием возможности варьирования конфигурации и контрастности растра, но и, в большей степени, недостаточной управляемостью технологии электрохимического травления, выраженной в плохой* повторяемости оптических характеристик, ухудшением геометрии ротора (некруглость может превышать допустимую величину в сотые доли микрометра) и нестабильной шероховатостью нанесенных растров, что не позволяет осуществить оптимизацию шероховатости для оптических и механических свойств. Эти же недостатки присущи и способу выполнения растра посредством фотолитографии, где дополнительным негативным фактором является использование органических соединений, что нежелательно для электровакуумных приборов.

А при переходе к точностям в сотые доли микрометра, с гарантированной' стабильностью этих точностей, создание технологии, обеспечивающей управляемость процесса обработки прецизионных поверхностей с формированием целого комплекса функциональных характеристик, является крайне необходимым. Такой подход связан с разработкой совокупности взаимосвязанных объективных критериев и прогрессивных технических решений, позволяющих обеспечить управляемый характер технологического процесса, что позволит решить проблему изготовления прецизионных деталей и узлов гироскопических приборов с обеспечением требуемых параметров геометрической точности.

В конечном счете, это позволит повысить точность и надежность гироскопов, а также систем и комплексов, в которых эти гироскопы используются. Большое значение имеют и технико-экономические показатели, улучшение которых определяется совершенствованием технологии изготовления роторов. Например, разработка технологии нанесения растрового рисунка, обеспечивающей уменьшение диапазона разброса контрастности в 2 раза, позволит сократить технологический отход роторов на 10%.

Рассмотренные аспекты определяют актуальность и практическую потребность исследований по использованию в качестве метода формирования функциональных характеристик роторов такой прогрессивной технологии, как лазерное маркирование, являющееся Р, V, М, /, т, А- процессом (Р — мощность излучения, V- скорость движения лазерного луча, N — плотность линий - число линий, приходящихся на 1 мм. обрабатываемой поверхности, / - частота импульсов, т- длительность импульсов, А — газовая среда).

Данный способ создания контрастного рисунка практически не содержит ограничений по применяемым материалам, и, что более важно, - он позволяет управлять функциональными характеристиками ротора. — оптическими, геометрическими, электрофизическими — путем варьирования параметров^ процесса лазерного маркирования.

Однако- наряду с' разработкой и исследованием: технологического процесса, позволяющего создать рисунок с требуемым уровнем функциональных характеристик,: важна, разработка методов и приемов- по обеспечению их управляемости: и стабильности,. выражаемой в воспроизводимости результатов^технологического процесса^ то есть получении контрастности рисунка с минимальной? зоной-разброса- оптического показателя при условии сохранения геометрии и дисбаланса узла, полученных на предшествующих операциях. овременньїе исследования? в области микрогеометрии: поверхностей прецизионных деталей дают основание полагать, что: стабильность функциональных характеристик в ряде случаев определяется постоянством шероховатости'поверхности. Поэтому одним из возможных путей повышения качества изделий является исследование корреляции характера шероховатости и функциональных характеристик изделия:

Основателями теории: влияния шероховатости на функциональные характеристики по праву можно считать И.В. Крагельского Ю. К.Шнейдера, 10. Р. Виттенберга, Я. А. Рудзита, В.А. Валетова, В. М. Мусалимова и др.

Ключевым моментом в.процессе исследования влияния шероховатости, на функциональные характеристики является выбор способа описания шероховатости. Традиционно отечественные и зарубежные: исследования шероховатости проводятся с использование параметрического описания профиля. Однако в работах В.А. Валетова обоснована ограниченность использования параметрических критериев в процессе оптимизации микрогеометрии для функциональных характеристик. Более эффективными признаны непараметрические критерии оценки шероховатости, ал именно: функции, и плотности распределения ординат профилей, функции и. плотности распределения-тангенсов углов наклона профилей поверхностей.

Таким образом, для. повышения качества роторов электростатических гироскопов требуется всесторонний анализ способов формирования-растрового рисунка, поиск, оптимальных условий создания роторов с требуемым,уровнем функциональных характеристик и выявлением прогрессивных методов? их контроля,и оценки:

Целью. диссертации- являлось. исследование и разработка-технологических методов управления функциональными* характеристиками узлов гироприборов, обеспечивающих стабильность оптических и регулирование.электрофизических характеристик прецизионной поверхности с сохранением геометрии узла.

Для достижения поставленной" цели необходимо, решение- следующих, задач:

1. исследование и выявление прогрессивного метода формирования растрового рисунка на прецизионных поверхностях узлов гироприборов;

2. анализ влияния основных параметров процесса обработки поверхности на функциональные характеристики узлов гироприборов;

31 разработка принципов математического моделирования для управления оптическими характеристиками рисунка;

4. разработка технологических методов управления* электрофизическими параметрами рисунка;

5. разработка комплекса методик для оценки качества рисунка (контрастности, электропроводности, шероховатости):

Научная новизна

1. Разработаны не имеющие- аналогов математические модели процесса формирования растрового рисунка методом лазерного маркирования, позволяющие установить взаимосвязь оптического критерия оптимизации, представляющего собой коэффициент контрастности растрового рисунка^ с режимами и условиями процесса лазерного маркирования прецизионных поверхностей бериллия и тонкопленочного покрытия нитрида титана.

2. Впервые сформулированы принципы использования термодинамического анализа химических взаимодействий при формировании рисунка методом лазерного маркирования на основе расчета величины и знака изобарно-изотермического потенциала и оценки кинетических факторов этих взаимодействий, что позволяет регулировать химический состав растрового рисунка и, как следствие, управлять его электрофизическими свойствами.

3. Определены управляющие факторы процесса формирования функциональных характеристик растра, основанные на варьировании парциальных давлений компонентов и состава газовой среды, а также температуры протекания химических реакций при использовании метода лазерного маркирования.

4. Разработана оригинальная методика процесса оптимизации микрогеометрии прецизионных поверхностей, включающая анализ методов оценки шероховатости, выявление функционального критерия и совокупности управляющих факторов с последующей оптимизацией на основе метода Бокса-Уилсона.

5. Предложен непараметрический критерий оценки и контроля шероховатости, сформированный путем построения эмпирических плотностей распределения ординат (или тангенсов углов наклона) трехмерных топографий, позволяющий, в отличие от существующих параметрических критериев, оценивать и контролировать шероховатость прецизионных поверхностей.

Практическая значимость

1. Разработана принципиально новая технологическая схема формирования оптических элементов заданной контрастности на прецизионной сферической поверхности сплошного бериллиевого ротора электростатического гироскопа с использованием метода лазерного маркирования.

2. Сформулированы и обоснованы общие принципы и условия- процесса корректировки электрофизических свойств светоконтрастного рисунка, полученного методом лазерного маркирования, на основе регулирования состава и варьирования парциальных давлений компонентов газовой среды.

3. Разработана методика контроля контрастности рисунка с использованием микроскопа-спектрофотометра МСФУ-К, позволяющая осуществлять контроль оптических характеристик рисунка любой конфигурации.

4. Представлена методика оценки электрических свойств рисунка, сформированного методом лазерного маркирования, на основе построения вольт-амперных характеристик, полученных при помощи сканирующей зондовой микроскопии.

5. Разработана впервые программа, для автоматизированного контроля шероховатости прецизионных поверхностей с использованием трехмерных топографий, позволяющая осуществлять сравнение топографий не только качественно методом визуальной оценки, но и количественно на. основе построения их непараметрических кривых в едином масштабе.

6. Разработан не имеющий аналогов информационный классификатор для хранения данных о конструкторских признаках, а также технологических и метрологических условиях создания и контроля поверхностей с требуемым уровнем функциональных характеристик.

Апробация* работы. Основные результаты работы докладывались и обсуждались на Международной- конференции «Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий» (FLAMN-10) (СПбГУ ИТМО, СПб., 2010' г.); ежегодной конференции молодых ученых и специалистов «Новые материалы и технологии» (КМУС-2010) (ФГУП ЦНИИ КМ «Прометей», СПб., 2010 г.); Девятой сессии международной научной школы «Фундаментальные и прикладные проблемы надежности и диагностики машин и механизмов» (СПбГУ ИТМО, СПб., 2009 г.); X, XI, XII, XIII конференциях молодых ученых «Навигация и управление движением» (ЦНИИ «Электроприбор», СПб., 20082011 гг.); V, VI, VII, VIII Всероссийской межвузовской конференции молодых ученых (СПбГУ ИТМО, СПб., 2008-2011 гг.); XXXIX, XL научной и учебно-методической конференции (СПбГУ ИТМО, СПб., 2010-2011 гг.).

Публикации. Основные результаты работы изложены в 18 статьях и докладах на конференциях, среди которых 5 статей в журналах из перечня ВАК. Ряд статей был опубликован при поддержке РФФИ в рамках работ по проекту № 10-08-00158а.

Объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы из* 69 источников. Общий объем работы составляет 120 стр., в тексте приведено 37 рисунков и 17 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Технология приборостроения», Юльметова, Ольга Сергеевна

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В результате проведенного комплекса теоретико-прикладных, научно-исследовательских и экспериментальных работ впервые создан комплекс технологических методов и средств, обеспечивающих управляемость процесса формирования функциональных (геометрических, оптических и электрофизических) характеристик узлов точного приборостроения, что позволило существенно расширить возможности технологии получения контрастного рисунка на роторах электростатических гироскопов по сравнению с существующем уровнем, основанным на применении метода электрохимического травления. При этом выявлен ряд принципиально новых технических решений, связанных с созданием рисунка на поверхности тонкопленочных покрытий методом лазерного маркирования, где в качестве управляемых факторов технологического процесса, наряду с режимами оборудования, являющимися регуляторами оптических характеристик, выступают предложенные дополнительные факторы, обеспечивающие возможность управления электрофизическими характеристиками рисунка, -характеристики газовой среды и температурные условия процесса.

Основные научные и практические результаты сводятся к следующему:

1. На основании анализа, обобщения и систематизации известных и перспективных технических решений по формированию рисунка и расчетно-прикладных методов обеспечения управляемости функциональных характеристик узлов точного приборостроения разработана информационно-логическая модель (ИЛМ) исследований по повышению качества роторов различных модификаций электростатических гироскопов.

2. Сформулированы принципы математического моделирования процесса создания контрастного рисунка методом лазерного маркирования на примере доведенной поверхности покрытия нитрида титана и прецизионной бериллиевой поверхности роторов электростатических гироскопов, позволяющие решить задачу регулирования оптических характеристик гироузлов.

3. Предложены и обоснованы положения и условия, определяющие использование термодинамического анализа, основанного на расчете величины и знака изобарно-изотермического потенциала химических взаимодействий, и кинетической оценки этих взаимодействий при формировании рисунка методом лазерного маркирования, позволяющие регулировать химический состав растрового рисунка и, как следствие, управлять его электрофизическими свойствами.

4. Впервые разработана технологическая схема регулирования электрофизических свойств поверхности сплошных роторов БЭСГ посредством варьирования состава и парциальных давлений компонентов газовой- среды, а также температурой процесса при формировании рисунка методом лазерного маркирования.

5. Разработана оригинальная методика оптимизации шероховатости для-функциональных характеристик, основанная на использовании теории планирования эксперимента и непараметрических критериях оценки и контроля шероховатости функциональных поверхностей.

6. Разработан непараметрический критерий оценки и контроля шероховатости поверхностей, сформированный путем построения плотностей распределения ординат (или тангенсов углов наклона) трехмерных топографий, позволяющий, в отличие от существующих параметрических критериев, решить задачу контроля качества поверхностей прецизионных узлов гироскопических приборов.

7. Разработана не имеющая аналогов программа для автоматизированного контроля шероховатости прецизионных поверхностей с использованием трехмерных топографий, позволяющая осуществлять сравнение топографий не только качественно методом визуальной оценки, но и количественно на основе построения их непараметрических кривых в едином масштабе.

8. Впервые создан комплекс методик для оценки качества растрового рисунка, основанный на измерении контрастности, оценке шероховатости на базе непараметрических критериев и контроле электропроводности на основе построения вольт-амперных характеристик тонких пленок при помощи сканирующей зондовой микроскопии.

9. Разработана блок-схема построения базы данных для технологического обеспечения шероховатости функциональных поверхностей, включающая конструкторский, технологический и метрологический информационные блоки, положенная в основу разработки информационного классификатора.

10. Впервые разработан информационный классификатор для хранения данных о конструкторских признаках изделий, технологических методах их создания и условиях метрологического контроля их функциональных характеристик и коррелирующих с ними критериев оценки шероховатости поверхности, что обеспечивает возможность формализации технологических этапов в процессе разработки прецизионных узлов и позволяет сократить длительность цикла создания объектов новой техники.

11 .Предложена качественно новая технология, которая обеспечивает возможность создания оптических элементов заданной разноконтрастности на роторе электростатического гироскопа, и позволяет формировать растровый рисунок любой ориентации относительно оси вращения ротора, что способствует повышению точности оптоэлектронного съема информации.

12. Выполнено формирование растровых рисунков различной конфигурации на реальных роторах БЭСГ с получением комплекса функциональных характеристик значительно более высокого уровня по сравнению с предшествующей технологией.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Юльметова, Ольга Сергеевна, 2011 год

1. Пешехонов В.Г. Перспективы ииерциальной навигации. СПб.: «ЦНИИ Электроприбор», «Гироскопия и навигация», № 1 (8), 1995 г., с. 20-26.

2. Щербак А.Г. Прецизионная технология диффузионной сварки узлов точного приборостроения.: Дис. док. техн. наук. СПб., 1994,273 с.

3. Бериллий. Наука и технология / пер. с англ. под ред. Тихинского Г.Ф. и Папирова И.И. М.: «Металлургия», 1984, 624 с.

4. Папиров И.И., Тихинский Г.Ф. Физическое металловедение бериллия. М.: «Атомиздат», 1968,452 с.

5. Дарвин Дж. и Баддери Дж. Бериллий. / пер. с англ. под ред. Рейфмана М.Б. М.: Изд-во иностр. лит-ры, 1962, 324 с.

6. Ландау Б.Е., Буцык А.Я., Щербак А.Г., Буравлёв А.П., Беляев С.Н. Способ изготовления ротора шарового гироскопа./ Патент РФ* 2286535 от 10.03.2005 г., МКИ G01C 25/00, В23Р 15/00, Бюл. № 30, 27.10.2006 г. v

7. Гаврюсев В.И. Размерная стабильность материалов и элементов конструкций. Л.: ЦНИИ «Румб», 1990, 113 с.

8. Гусинский В.З., Осипов С.М., Щербак А.Г. Способ изготовления ротора шарового гироскопа / патент РФ № 2164665 от 09.11.99, МКИ G 01 С 25/00, Бюл. № 9,27.03.2001 г.in

9. Щербак А.Г., Пешехонов В .Г., Анфиногенов A.C. и др. Способ диффузионной сварки полусфер ротора шарового гироскопа / патент РФ № 2085348 от 01.07.94 г., МЬСИВ 23 К 20/00.

10. Щербак А.Г., Гаврюсев В.И., Способ изготовления ротора шарового гироскопа / патент РФ № 2257548 от 12.04.2004 г., МКИ G 01 С 25/00, Бюл. №21,27.07.2005 г.

11. Беляев С.Н., Щербак А.Г. Средства оснащения процессов напыления покрытий на узлы гироприборов, имеющие форму тел вращения. «Навигация и управление движением» Материалы X конференции молодых учёных, ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2008.

12. Карпов Ю.И. Чижмаков М.Б. Особенности формирования покрытий Ti(N,C) на твердосплавных пластинах. СПб.: «Вестник машиностроения», № 3, 1992.

13. Беляев С.Н. Исследование процессов прецизионного формообразования сферических элементов узлов гироприборов с использованием прогрессивных методов выполнения неразъемных соединений.: Дис. канд. техн. наук. СПб., 2009.- 155 с.

14. Юльметова О.С. Исследование корреляции шероховатости с функциональными свойствами узлов гироприборов // Гироскопия и навигация № 2(69), 2010, с. 68.

15. Юльметова О.С. Оптимизация микрогеометрии функциональных поверхностей деталей приборов для повышения? их качества // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. 2008, № 48, с. 140-142.

16. Юльметова О.С. Современное состояние и перспективы развития исследований микрогеометрии поверхности // Гироскопия и навигация № 2(65), 2009, с. 81-82.

17. Крагельский И. В. Трение и износ. М.: Машиностроение, 1968.- 480 с.

18. Крагельский И. В., Комбалов В. С. Расчет величины стабильной шероховатости после приработки. ДАН ССР, 1970, т. 193, № 3. - с.554-556.

19. Шнейдер Ю.Г. Эксплуатационные свойства деталей с регулярным микрорельефом. СПб: СПбГОТТМО (ТУ), 2001.-264 е.

20. Валетов В.А. Динамика фрикционного; . взаимодействия// В;М. Мусалимов — СПб.: ПИМаш, 2006. — 168 с.

21. Waletow W., Staufert G: Moderne Methoden der Oberilächenforschung. -Technische Rundschau, 1981, № 10, s. 5-7.

22. Valctov W.A., Grabow J. Neue Verfahren auf dem Gebiet der; Analyse und Kontrolle der Oberflächenmikrogeometrie. 41 Internationales wissenschaftliches Kolloquium, 1996, Band 2, s. 622-625.

23. Valetov WA., J.Grabow., S. Trctiakow. Zur experimentellen; Erforschung der Mikrogeometrie von Rcibungsoberflächen. 47. Internationales wissenschaftliches Kolloquium, 2002, Tagungsband, s.403-404

24. ГОСТ 2789-73. «Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики»

25. Табенкин А. Н., Тарасов С. Б., Степанов С. Н. Шероховатость, волнистость, профиль. Международный опыт/ Под ред. к.т.н. Н. А. Табачноковой. СПб: Изд-во Политех. Ун:-та, 2007 ,136.

26. Чернышова Ю.В. Закономерности влияния объемной и поверхностной-структуры на электрохимическую коррозию имплантатов из сплавов на основе титана ишикелида титана .: Дис. канд. техн. наук; М., 2008.-155 с.

27. Шкурупий В. Г. Повышение; эффективности: технологии финишной обработки светоотражательных поверхностей деталей из тонкого листа и лент.: Дис. канд. техн. наук. X., 2006.- 294 с.

28. Агроскин Б. Н. Сравнительная оценка электрохимического и фотохимического методов формообразования светоконтрастного рисунка на роторе бескарданного электростатического гироскопа // Б. Н: Агроскин и др.// Гироскопия и,навигация №3 (14), 1996 г.

29. Мороз ЛИ, и др. Электрохимическая обработка металлов. М.: Машиностроение, 1969. - 208 с.

30. Смоленцев В.П. Технология.электрохимической обработки внутренних поверхностей. -М.: Машиностроение, 1978.- 176 с.

31. Черепанов Ю.П., Самецкнй Б.И. Электрохимическая обработка в машиностроении. -М.: Машиностроение, 1972.- 72 с.

32. Смоленцев В.П. Электрохимическое маркирование- деталей. М.: Машиностроение, 1983. - 72 с.

33. Гинзбург В А., Гуттовскяя А.К. и др. Размерная обработка металлических покрытий фотолитографическим методом на сферической поверхности// Судостроительная промышленность. Сер. Навигация и гироскопия, 1989, Вып.24 с. 95-98.

34. Марковская Н.В. Метод формирования прецизионных рисунков на роторах гироскопических приборов.: Дис. канд. техн. наук. СПб., 2003.-112 с.

35. Валиулин А., Горный С., Гречко Ю., Патров М., Юдин К., Юревич В. Лазерная маркировка материалов. / Фотоника № 3, 2007 , с. 16-22.

36. Пейчев Г.И., Кондратюк Э.В., Зиличихис С.Д., Шапар Б. И., Кришталь Н.П. Особенности лазерного маркирования деталей ГТД. Вестник двигателестроения №1,2009, с. 116-118.

37. Дыоли У. Лазерная технология и анализ материалов. М., 1986.

38. Астапчик С.А., Голубев B.C., Маклаков А.Г. Лазерные технологии в машиностроении и металлообработке. Минск: Белорус. Наука, 2008. - 251 с.

39. Григорьянц А.Г., Шиганов И.Н., Мисюров А.И. Технологические процессы лазерной обработки. М.: МГТУ, 2006. - 664 с.

40. Юльметова О.С. Исследование контрастности лазерных меток на прецизионных металлических поверхностях.// Тезисы докладов IX конференции молодых ученых и специалистов. СПб.: ГНЦ ФГУП ЦНИИ «Прометей», 2010, с. 55.

41. Юльметова О.С., Третьяков С.Д. О проблемах оптимизации микрогеометрии поверхностного слоя деталей приборов // Известия вузов. «Приборостроение», т. 53, № 8, СПб., 2010, с.12-15.

42. Юльметова О.С. Оптимизация микрогеометрии функциональных поверхностей деталей приборов для повышения их качества // Гироскопия и навигация № 2 (61), 2008, с. 96.

43. Юльметова О.С. Анализ моделей описания шероховатости в контексте этапов развития науки // Сборник тезисов докладов конференции молодых ученых, Выпуск 3. Труды молодых ученых/ Главный редактор д.т.н. проф. В.О. Никифоров. СПб.: СПбГУ ИТМО, 2010, с. 156.

44. В.А. Валетов, С.Д. Васильков, А.Н. Сисюков, О.С. Юльметова. Методика исследования характеристик поверхностного слоя деталей приборов: Учебное пособие. СПб.: СПбГУ ИТМО, 2010.- 92 с.

45. Адлер Ю.П. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий // Е.В. Макарова, Ю. В. Грановский. Москва, Наука, 1976. - с. 279

46. Юльметова О.С. Щербак А.Г., Геращенко М. Д. Оптимизация процесса формирования функциональных поверхностей прецизионных узлов гироприборов. // Гироскопия и навигация № 2 (73) , СПб: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2011, с. 92

47. Сидняев Н. И. Теория планирования эксперимента и анализ статистических данных. Издательство: М., ЮРАЙТ, 2011 399 с.

48. Планирование эксперимента в исследованиях технологических процессов. М.: Мир, 1977.

49. Юльметова О.С., Щербак А.Г. Исследование процесса формирования светоконтрастного растра посредством лазерного маркирования // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. 2010, № 05(69), с. 28-34.

50. Юльметова О.С., Щербак А.Г. Термодинамический анализ топохимических взаимодействий при формировании растрового рисунка посредством лазерного маркирования на бериллиевых узлах гироприборов //

51. Сборник тезисов докладов конференции молодых ученых. Выпуск 2. СПб.: СПбГУ ИТМО, 2011, с. 318.

52. Войтович Р.Ф. Тугоплавкие соединения. Термодинамические характеристики: Справочник. Киев: Наукова думка, 1971. - 220 с.

53. Щербак А.Г., Кедров В.Г. Технология прецизионной диффузионной сварки в точном приборостроении. СПб: ГНЦ РФ-ЦНИИ «Электроприбор», 1997.-166 с.

54. Термические константы веществ: Справочник / Под ред. В.П. Глушко. -М.: Изд-во ВИНИТИ АН СССР, 1965-1982. Вып. 1-Х. - 635 с.

55. Ахметов Б.А., Новиченко Ю.П., Чапурин В.И. Физическая и коллоидная химия. JL: Химия, 1986. 320 с.

56. Юльметова О.С., Юльметова Р. Р., Сисюков А. Н. Создание базы данных непараметрических критериев оценки микрогеометрии функциональных поверхностей. // Известия вузов. «Приборостроение», т. 53, № 8, СПб., 2010, с.15-19.

57. Хорстманн К.С., Корнелл Г. Java 2. Том 2. Тонкости программирования, М.: Вильяме, 2007

58. Пирогов В. Ю. Информационные системы и базы данных: организация и проектирование. СПб.: БХВ-Петербург, 2009.

59. Yulmetova O. S., Matyzhonok V.N. Research on the contrast of laser marks on precise surfaces of metals // Abstracts of International conference «Fundamentals of laser assisted micro- and nanotechnologies» (FLAMN-10). St. Petersburg: ITMO, 2010 p.107.

60. Юльметова O.C., Яковлева C.A. Вопросы размерной стабильности материалов и элементов конструкций в приборостроении // Известия вузов. «Приборостроение», т. 53, № 8, СПб., 2010, с. 23-26.

61. Методические указания. Методика выбора и оптимизации контролируемых параметров технологических процессов. РДМУ 109-77. -М.: Издательство стандартов, 1978.