Разработка системы подачи вязких высококипящих реагентов для процессов химического осаждения из газовой фазы тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, кандидат наук Клейманов Роман Валерьевич

• Клейманов Роман Валерьевич
• кандидат наук
• 2023

Оглавление диссертации кандидат наук Клейманов Роман Валерьевич

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1 Литературный обзор

1.1 Аэрозоли в процессах химического осаждения из газовой фазы

1.2 Системы подачи труднолетучих жидких реагентов

1.3 Применение аэрозолей для осаждения пленок

1.4 Применение аэрозолей для синтеза наночастиц

1.5 Методы генерации жидких аэрозолей для ХОГФ распылением

1.6 Современное состояние работ в области разработки систем подачи жидких реагентов

1.7 Выводы и постановка задачи исследования

Глава 2 Методы математического моделирования течения газа и жидкости

2.1 Система уравнений Навье-Стокса

2.2 Альтернативные методы моделирования течения

Глава 3 Разработка конструкции и исследование аэродинамического распылителя для подачи реагентов с высокими расходами

3.1 Определение наиболее эффективной схемы распылителя

3.2 Профилирование канала для разгона потока газа до сверхзвуковой скорости

3.3 Конструкция распылителя

3.4 Моделирование течения в распылителе с применением численных методов

3.5 Течение газа в сверхзвуковом сопле

3.6 Моделирование течения реагента

3.7 Экспериментальная проверка работоспособности конструкции, спроектированной на основе численного моделирования течения

Глава 4 Разработка конструкции и исследование системы подачи реагента в среде легкого газа

4.1 Компоновочная схема и конструкция

4.2 Численная модель испарителя

4.3 Результаты численного моделирования

4.3 Экспериментальное исследование испарителя

4.4 Экспериментальный стенд

4.5 Результаты экспериментального исследования

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ВВЕДЕНИЕ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка системы подачи вязких высококипящих реагентов для процессов химического осаждения из газовой фазы»

Актуальность темы исследования

Значительное количество технологических процессов получения различных материалов (пленок, наночастиц, нанотрубок и пр.) осуществляется методами химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ, англ. Chemical vapor deposition, CVD). Подача реагентов, при нормальных условиях находящихся в жидком состоянии, осуществляется в виде пара или аэрозоля (мелкие капли распыленной жидкости, переносимые потоком газа-носителя) с последующим испарением капель. Одним из важнейших направлений в применении процессов ХОГФ является получение особо чистых материалов в больших количествах, например, осаждение кварцевого стекла, осуществляемое в пламени горелки (ХОГФП) из различных летучих соединений кремния. Это один из наиболее производительных технологических процессов, обеспечивающий получение кварцевого стекла высокой степени чистоты в виде монолитных заготовок с линейными размерами до нескольких метров и массой до нескольких сотен килограмм. В качестве перспективных реагентов для получения кварцевого стекла методами ХОГФП особый интерес представляют кремнийорганические соединения, не выделяющие в качестве побочного продукта хлороводород, как в случае использования хлорсиланов. Переход на жидкие низколетучие высоковязкие кремнийорганические реагенты требует разработки оригинальных систем подачи реагента, обеспечивающие большие расходы реагента в виде мелкодисперсного аэрозоля или пара в среде водорода или кислорода.

Сочетание высоких требований к чистоте получаемого продукта и большим объемам осаждаемого материала, с учетом сложности и многостадийности процесса осаждения, приводит на практике к необходимости разработки нового технологического оборудования для ввода реагента в пламя кислородно-водородной горелки.

Решение данной задачи требует рассмотрения существующих способов подачи реагентов и разработки устройства, обеспечивающего выполнение требований, предъявляемых к подобным системам с учетом используемых реагентов и газов. На сегодняшний день в технической литературе отсутствует информация об успешном решении данной проблемы, а недостаточная изученность и сложность процессов, сопровождающих получение, транспорт и испарение аэрозоля и процессов ХОГФП не позволяет решить задачу за счет комбинации ранее примененных решений.

Степень разработанности темы исследования

Достоверность результатов и обоснованность выводов полученных в диссертационной работе, определяется комплексным использованием современных экспериментальных, аналитических и численных методик, соответствием полученных экспериментальных и расчётных результатов, их воспроизводимостью и корреляцией с данным из литературных источников.

Целью настоящей работы являлась разработка конструкции, создание и проверка работоспособности системы подачи вязкого высококипящего реагента в виде аэрозоля или паров в установку химического осаждения, обеспечивающей высокую производительность и возможность регулировки расхода жидкости в широких пределах.

Достижение данной цели предусматривает решение следующих задач:

1. Построение и отладка (настройка) численной модели распылителя на основе сверхзвукового сопла для определения геометрических параметров каналов подачи газа и жидкости.

2. Разработка конструкции и создание прототипа аэродинамического распылителя на основе сверхзвукового сопла, способного распылять вязкий высококипящий реагент с достаточно большим расходом и высокой дисперсностью формируемого аэрозоля при распылении.

3. Экспериментальная проверка работоспособности конструкции распылителя, спроектированной на основе численной модели.

4. Построение и отладка численной модели испарителя, учитывающей особенности тепломассообмена в двухфазном потоке. Настройка геометрии проточной части, схемы расположения и мощности нагревателей, позволяющей обеспечить наиболее эффективное испарение реагента, исключающее засорение проточной части испарителя продуктами разложения реагента. Отладка численной модели подразумевает сокращение требуемых вычислительных ресурсов при сохранении достаточной степени точности работы модели для проведения расчетов без привлечения суперкомпьютеров.

5. Разработка конструкции и создание прототипа системы подачи реагента испарительного типа для работы с "легкими" (водород, гелий) газами-носителями.

6. Экспериментальная проверка работоспособности конструкции испарителя, спроектированной на основе численной модели.

Научная новизна

1. Разработана численная модель распылителя оригинальной конструкции, позволяющая экономить вычислительные ресурсы при расчете течения в сверхзвуковом сопле и переносе параметров для расчета расхода реагента. Модель распылителя позволяет рассчитывать расход реагента на основе нестационарного неизотермического описания течения газа-носителя с учетом косых скачков уплотнения, возникающих в канале плоского сверхзвукового сопла с внутренним телом.

2. Впервые получены экспериментальные данные о режимах работы системы распыления реагента на базе плоского сверхзвукового сопла, обеспечивающая дробление капель за счет косых скачков уплотнения и возможность плавного регулирования расхода газа и реагента за счет изменения геометрии критического сечения сопла.

3. Разработана численная модель испарителя оригинальной конструкции, описывающая двухфазный двухкомпонентный неизотермический поток и позволяющая рассчитывать требуемую мощность и конфигурацию нагревателей. Модель базируется на нестационарной модели течения газа-носителя с учетом

теплообмена, впервые дополненной уравнениями переноса концентрации дисперсной фазы и корректировкой полей скорости, давления и температуры с учетом испаряющегося реагента;

4. Разработан испаритель оригинальной конструкции, позволяющий переводить высококипящие реагенты в пар в потоке легкого газа при температурах стенок испарителя ниже температур объемного кипения.

Теоретическая и практическая значимость работы

Разработанные модели для расчета аэродинамических распылителей и канальных испарителей могут быть применены для численного моделирования процессов генерации и транспорта аэрозольных частиц в условиях сложного тепломассообмена в устройствах распыления и испарения аэрозолей в потоке газа-носителя. Данные модели основываются на методах расчета течения турбулентных потоков газа при пониженном давлении, близком к атмосферному и повышенном давлении, а также при высоких скоростях потока газа и отличаются высокой производительностью и простотой настройки, что значительно ускоряет процесс предварительного моделирования при разработке систем подачи реагентов в виде аэрозолей или паров.

Продемонстрировано, что аэродинамический распылитель на основе плоского сопла Лаваля с внутренним телом способен производить распыление жидких реагентов со значительно различающимися показателями вязкости и поверхностного натяжения.

Показано, что методика моделирования испарения аэрозоля в потоке газа на основе численной модели переноса концентрации дисперсной фазы позволяет с приемлемой точностью описывать теплообмен в двухфазном потоке при низких концентрациях аэрозоля. За счет этого удается избежать ресурсоемкого моделирования поверхности теплообмена, представляющей собой поверхности аэрозольных частиц, что позволяет значительно быстрее выполнять расчеты и обеспечивает удовлетворительную точность при сравнении результатов моделирования с испытаниями лабораторных макетов.

Разработанные и апробированные в ходе лабораторных испытаний образцы технологического оборудования позволяют осуществлять подачу высококипящих реагентов с расходами газа-носителя до 27 л/мин (по кислороду) и до 300 г/ч жидкого реагента (декаметилциклопентасилоксана, Э5) с возможностью как увеличения, так и уменьшения оных. Применительно к процессам ХОГФ, данное оборудование может быть использовано для химического осаждения из газовой фазы особо чистого кварцевого стекла в больших количествах, осуществляемое в пламени горелки (ХОГФП).

Методология и методы исследования

Для анализа течения транспортирующего газа и потока аэрозоля реагента в нем применяется численное моделирование течения одно- и двухфазных неизотермических потоков методами вычислительной гидродинамики. Модель представляет собой совокупность отдельных модулей, предназначенных для последовательного и параллельного построения полей физических величин, необходимых как для построения картины течения, так и в качестве исходных данных для последующих расчетов, например, для расчета испарения частиц аэрозоля по мере продвижения парогазовой смеси по реактору или проточной части испарителя. Для проверки работоспособности конструкции и методов расчета, заложенных при ее проектировании и численном моделировании, проводится натурный эксперимент с лабораторным образцом аэродинамического распылителя и трубчатого испарителя.

Положения, выносимые на защиту:

1. Оригинальная конструкция аэродинамического распылителя на основе плоского сопла Лаваля, обеспечивающая распыление реагента (декаметилциклопентасилоксана, Б5) с расходом 300 г/ч в среде кислорода, при давлениях газа-носителя 1,6 -2,0 атм. и расходе газа 18 л/мин.

2. Численная модель, позволяющая рассчитывать производительность распылителя оригинальной конструкции с учетом свойств транспортирующего газа и жидкого реагента. Модель распылителя обеспечивает расчёт расхода реагента на основе нестационарного неизотермического описания течения газа-

носителя с учетом косых скачков уплотнения, возникающих в канале плоского сверхзвукового сопла с внутренним телом. Использованные в численной модели методы описания течения базируются на высокопроизводительных расчетных алгоритмах, что позволяет экономить вычислительные ресурсы и ускоряет проведение расчетов.

3. Оригинальная конструкция испарителя для вязких высококипящих реагентов, предназначенная для перевода высококипящего реагента (декаметилциклопентасилоксана, Э5 с расходом 300 г/ч) в пар в потоке легкого газа-носителя (водорода с расходом 0.4 м3/ч) при температурах стенок испарителя ниже температур объемного кипения реагента (145 оС).

4. Численная модель двухфазного двухкомпонентного неизотермического течения с испарением аэрозоля, модель позволяет определять мощность нагревателей в зависимости от типа и расхода транспортного газа и реагента, а также расхода реагента в широком диапазоне, базирующаяся на нестационарной модели течения газа-носителя с учетом теплообмена, впервые дополненной уравнениями переноса концентрации дисперсной фазы и корректировкой полей скорости, давления и температуры с учетом испаряющегося реагента.

Степень достоверности и апробация результатов

Обоснованность выводов полученных в диссертационной работе, определяется комплексным использованием современных экспериментальных, аналитических и численных методик, соответствием полученных экспериментальных и расчётных результатов, их воспроизводимостью и корреляцией с данным из литературных источников.

Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях, семинарах и школах: «XXI Школа-семинар молодых ученых и специалистов под руководством академика А.И. Леонтьева "Проблемы газодинамики и тепломассообмена в энергетических установках"» (2017, Санкт-Петербург), конференция с международным участием

"International youth conference of electronics, telecommunications and information" (YETI-2021).

Публикации

По теме диссертации опубликовано 3 научные работы, из них:

1 статья в научном журнале, рекомендованном ВАК, 2 статьи в научных журналах, индексируемых «SCOPUS»

Личный вклад автора имеет определяющее значение в постановке цели и задач, в выборе объектов и методов исследования. Изготовление образцов, их теоретическое и экспериментальное исследование, а также анализ полученных результатов, проводились лично автором или совместно с соавторами.

Структура и объем диссертационной работы

Диссертационная работа состоит из введения, четырёх глав, заключения, и библиографического списка, включающего 198 наименований. Диссертация содержит 129 страниц машинописного текста, включая 51 рисунок и 3 таблицы.

Глава 1 Литературный обзор

1.1 Аэрозоли в процессах химического осаждения из газовой фазы

Процессы химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) были разработаны, прежде всего, для получения высококачественных слоев различных веществ, однако в последние десятилетия нашли широкое применение для получения разнообразных наноматериалов: наночастиц, нано трубок, нановолокон, наностержней и т.д. Процессы ХОГФ основаны на протекании химических реакций между реагентами, поступающими в зону синтеза в виде паров или плазмы, приводящими к образованию желаемого продукта. В связи с ограниченным кругом реагентов, находящихся в газообразном состоянии при нормальных условиях, широкое распространение получили жидкие реагенты, заранее переводимые в парообразное состояние либо в отдельно расположенных от реактора испарителях, либо в зонах испарения, представляющих собой часть реактора, находящуюся по потоку перед зоной синтеза [1-3].

В последние два десятилетия широкое распространение получили способы подачи реагентов в испарители обоих типов в виде аэрозолей, что позволило использовать реагенты с высокими температурами кипения, а также достигнуть существенного увеличения расходов реагентов и, следовательно, скоростей осаждения. Более того, использование аэрозолей реагентов, а, особенно, растворов реагентов в различных растворителях, открыло новые возможности в получении наночастиц разной формы, включая имеющие строение «ядро-оболочка».

Целью настоящего раздела является аналитический обзор имеющихся сведений о применении аэрозолей в процессах химического осаждения из газовой фазы.

1.2 Системы подачи труднолетучих жидких реагентов

Поскольку для осуществления большинства процессов ХОГФ, требуется доставлять реагент в зону реакции в виде газа или пара, а количество перспективных реагентов, находящихся в жидком состоянии, постоянно увеличивается, к настоящему времени разработано большое число испарителей различных конструкций. Выбор тех или иных способов подачи реагента определяется в первую очередь, особенностями процесса осаждения и применяемыми реагентами. Для подачи жидких реагентов, в том числе, труднолетучих возможно применение испарительных устройств различной конструкции [4-6] (приведите рисунки, хотя бы нескольких). Испарители представляют собой замкнутые объемы с внешними или внутренними нагревателями и системой патрубков, обеспечивающей транспорт паров от испарителя до реактора (рисунок 1). В ряде случаев требуется организация подогрева транспортных магистралей для исключения конденсации реагента на стенках каналов [7, 8]. С точки зрения тепломассообмена, такие испарители являются близкими к различным парогенерирующим устройствам, используемым в промышленной теплоэнергетике, вместе с тем, невозможен прямой перенос данных с одной конструкции на другую ввиду того, что различия в условиях теплообмена определяются свойствами среды [9, 10].

Подача паров из парогенератора осуществляется за счет разности давлений в парогенераторе и реакторе и в случае, когда процесс осаждения протекает при давлении, близком к атмосферному, такая система может показывать неудовлетворительную производительность [8]. Увеличение же температуры для поднятия давления паров реагента не всегда возможно реализовать из-за недостаточной стабильности реагентов при росте температур [11-13]. При нагреве реагента в испарителе может применяться продувка парогенератора транспортным газом, который осуществляет перенос паров реагента за счет сил вязкого трения, что позволяет несколько нивелировать снижение производительности при

уменьшении перепада давлений между испарителем и реактором. Такие испарителя в литературе называют «диффузионными», поскольку выход молекул пара в поток транспортного газа осуществляется за счет их диффузии в пограничном слое газа [14]. При этом увеличение скорости транспортного газа слабо влияет на скорость испарения, наличие продувки транспортным газом позволяет осуществлять доставку реагента за счет энергии потока транспортного газа, а не только избыточного давления насыщенных паров реагента, которое может быть невелико для некоторых режимов работы испарителя [4, 5, 15].

Рисунок 1 - Схемы работы испарителей, слева направо: без продувки, «диффузионный» испаритель с продувкой транспортным газом, испаритель с продувкой транспортного газа через жидкость (барботер).

Для интенсификации выхода молекул пара с поверхности жидкости в поток транспортного газа может применяться продувка транспортного газа через жидкость (барботирование). При этом, за счет образования пузырей увеличивается поверхность контакта нагретого реагента и газа-носителя, что увеличивает интенсивность парообразования. Регулировка подобных устройств осуществляется путем изменения температуры нагрева реагента и скорости потока транспортного

газа. При этом, система отличается высокой инертностью за счет того, что время релаксации тепловых процессов относительно велико, что может способствовать более стабильной работе в случае некоторых флуктуаций, например, в уровне жидкости, пульсаций скорости транспортного газа, пульсаций давления в самом испарителе при схлопывании пузырьков пара и т.п. Испарение жидкости приводит к изменению ее уровня и объема, что требует установки дополнительных систем контроля и поддержания уровня реагента в испарителе, кроме того, контроль массового расхода пара при изменении его температуры требует применения специальных расходомеров [16-18]. Поддержание уровня жидкости в испарителе за счет питающих устройств [19, 20] вносит изменение в интенсивность испарения в случае, если подаваемая жидкость холоднее, чем реагент в испарителе, дополнительная система подогрева отчасти нивелирует этот негативный эффект.

Задачи оптимизации процесса испарения реагентов в устройствах с продувкой газом и без нее успешно решаются с применением численного моделирования за счет оптимизации поведения потока пузырей в жидкости и течения парогазовой смеси, однако принципиальный недостаток в виде большой тепловой инерции (чем больше объем жидкости, тем стабильнее становится поддержание температуры в ней), а также невоспроизводимых пульсаций от схлопывания пузырьков газа на поверхности жидкости, которые приводят к флуктуациям давления и концентрации реагента [21]. Путем моделирования процесса теплообмена в испарителе и его оптимизации, удается достичь насыщение газа-носителя парами реагента на уровне 98-99% [22], что позволяет использовать относительно труднолетучие реагенты в реакторах, работающих при давлении, близком к атмосферному. Применение дополнительных сепараторов, мембран и байпасных линий и обогреваемых каналов отчасти решает проблемы испарения труднолетучих реагентов с требуемой производительностью, однако приводит к усложнению всей системы в целом.

Главной проблемой являются сугубо нелинейные зависимости процессов теплообмена между газом и жидкостью при изменении скоростей движения газа и, особенно, при пропускании газа через жидкость в барботажных парогенераторах.

Увеличение поверхности теплообмена за счет введения нагревателей с развитой поверхностью в объем испарителя или применением подвижный поверхностей, на которых проходит испарение в тонком слое позволяет увеличить поверхность теплообмена без продувки газа сквозь жидкость, однако возникает проблема контроля нагрева для уменьшения перегрева реагента [23]. При режимах течения транспортного газа с умеренными скоростями потока возможно поддерживать концентрацию паров реагента близкой к постоянной, что облегчает контроль за подачей реагента, однако поддержание стабильной скорости испарения проще организовать в испарителе диффузионного типа за счет того, что в данном случае проще организовать ламинарный поток транспортного газа [24].

Стоит отметить высокую химическую активность некоторых реагентов, особенно с ростом температуры, для которых недопустим контакт с металлами даже при комнатных температурах, что требует применения покрытий из керамики, стекла или кварца для испарителей [25, 26]. В случае использования металлорганических соединений, даже при температурах ниже температуры кипения может наблюдаться объемная полимеризация, усиливающаяся при контакте реагента с металлическими элементами испарителя, кроме того, большие объемы жидкости, призванные улучшить температурную стабильность процесса испарения, нежелательны с точки зрения токсичности многих реагентов, особенно, при их нагреве [27, 28].

1.3 Применение аэрозолей для осаждения пленок

Использование жидких реагентов в ходе ХОГФ подразумевает их испарение вне реактора и подачу реагента в реакционную зону в виде паров, или непосредственное введение жидкости в виде аэрозоля в реактор с последующим испарением капель и реакциями в газовой фазе на поверхности подложек или частиц. Метод прямого впрыска жидкости (Direct Liquid Injection CVD) [29] привлекателен с точки зрения высокой скорости осаждения, достижимой при

подобном способе подачи реагента. Одним из вариантов его реализации является распыление непосредственно на разогретые подложки аэрозолей, содержащих термически разлагающиеся соли соответствующих компонентов сложных или простых оксидов, а также распылительный пиролиз в среде активного или инертного газа (Aerosol Assisted CVD, Spray Pyrolysis), описанный в работах [3034].

При любом способе подачи реагента, необходимо произвести перевод капель жидкости в пар для осуществления химических реакций паров реагента вблизи подложки, это влечет за собой установку нагревателей следом за распылителями или испарение аэрозолей во входном сечении реактора.

В ходе постепенного испарения жидких капель, образуются пары реагента, которые реагируют на подложке. Данный способ позволяет также использовать и нелетучие реагенты, для этого требуется подбор растворителя, который обеспечил бы генерацию аэрозольных капель, содержащих частицы нелетучего реагента. Процесс осаждения при распылительном пиролизе можно разделить на следующие этапы: получение аэрозоля из смеси реагента и жидкого растворителя; транспорта аэрозольных частиц и испарение растворителя; химические реакции между реагентами химические реакции с участием реагента на поверхности подложки и образование пленки [35, 36]. Стоит отметить, что процесс формирования пленки при данном способе весьма сложен и малоизучен [37, 38]. Для получения однородной сплошной пленки важно, чтобы капля жидкости полностью испарилась до осаждения на подложку.

Аэрозольная подача реагентов позволяет осуществлять доставку больших объемов реагента и контролировать скорость испарения за счет изменения как температуры в области реакции, так и условий транспорта реагента (скорости потоков, размер частиц и пр.) это вызволяет достичь высокого качества осаждаемых покрытий за счет высокой скорости транспорта в зоне высоких температур и реакций непосредственно на подложке, а также достичь высоких скоростей осаждения [30, 35].

Метод пиролиза аэрозолей позволяет получать пленки на основе ZrO2, СеО2 и ВаСеО3 для топливных элементов [39-42], сверхпроводящие пленки из композиций Bi-Sr-Ca-Cu [43, 44]. Для этих методов требуется обеспечение достаточно высокого качества покрытий и минимальное количество дефектов. Подробное изложение принципов распылительного пиролиза представлено в работах [37, 45-48]. Способы разложения реагентов на поверхности подложки можно разделить на термические (Thermal CVD), с помощью плазмы (Plasma-Enhanced CVD), ультрафиолетового излучения (Photo-Initiated CVD) и т. д. Если в качестве реагентов используют металлоорганические соединения, такой метод осаждения получил обозначение MOCVD (Metalorganic Chemical Vapor Deposition). MOCVD широко применяется для получения различных полупроводниковых материалов группы AInB^ AIIBVI, а также пленок карбидов, нитридов, оксидов, сульфидов металлов [49-52].

Перевод реагента в аэрозоль с контролем процесса распыления и испарения позволяет задавать и поддерживать необходимые объемные концентрации паров реагента в процессе ХОГФ при увеличении скоростей осаждения, по сравнению с чисто испарительной схемой подачи реагента. В случае использования нестабильных при высоких температурах металлорганических соединений, предварительное распыление и подача реагента в виде аэрозоля позволяет добиться не только высокой производительности, но и достаточного качества пленок за счет сокращения времени, в течение которого реагент находится в жидком состоянии при высокой температуре.

Аэрозольная подача реагента в зону испарения позволяет интенсифицировать процесс испарения высококипящих жидкостей и растворов реагентов и минимизировать негативные процессы в реагенте, возникающие при продолжительном нагреве относительно больших объемов жидкого реагента, особенно, в присутствии металлов. Высокие скорости испарения капель, достижимые при распылении реагента перед его испарением позволяют сохранить высокое качество осаждаемых материалов при увеличении скорости процесса.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Клейманов Роман Валерьевич, 2023 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Hou X. Processing and Applications of Aerosol-Assisted Chemical Vapor Deposition / X Hou, K. L. Choy // Chemical vapor deposition. - 2006. - Vol. 12. - №. 10. - Р. 583-596.

2. Choy K. L. Chemical vapor deposition of coatings / K. L. Choy // Progress in materials science. - 2003. - Vol. 48. - №. 2. - Р. 57-170.

3. Jung D. S. Design of particles by spray pyrolysis and recent progress in its application / D. S Jung., S. B.Park, Y. C Kang // Korean Journal of Chemical Engineering.

- 2010. - Vol. 27. - №. 6. - Р. 1621-1645.

4. O'Brien P. Developments in CVD Delivery Systems: A Chemist's Perspective on the Chemical and Physical Interactions Between Precursors / O'Brien P., N.L. Pickett, D.J. Otway // Chem. Vap. Deposition. - 2002. - Vol. 8. - № 6. - Р. 237249.

5. Пауэлл К. Осаждение из газовой фазы / Перевод с англ. под ред. К. Пауэлла, Дж. Оксли, Дж. Блочера. - М.: Атомиздат, 1970. - 384 с.

6. Vahlas C. Liquid and Solid Precursor Delivery Systems in Gas Phase Processes / C Vahlas., B Caussat., W.L. Gladfelter // Recent Patents on Materials Science.

- 2015. - Vol. 8. - № 2. - Р. 91-108.

7. Patent 0079286. USA, Method and apparatus for the pulse-wise supply of a vaporized liquid reactant: 10/475726: published 29.04.2004 / S. Lindfors- 11p.

8. Pierson H.O. Handbook of Chemical Vapor Deposition, Second Edition: Principles, Technologies and Applications / H.O. Pierson.- New Jersey: Noyes Publications, 1999. - 506 р.

9. Лойцянский Л.Г. Механика жидкости и газа. / Л.Г Лойцянский -Изд-во «Дрофа», 2003. - 846 с.

10. Абрамович Г.Н. Прикладная газовая динамика. Учебное руководство для втузов. / Н.Г. Абрамович - М: «Наука», 1991. - 600 с.

11. Patent 6045125. USA, Doubs M.E. High pressure quartz glass bubbler ampoule and assembly: US6045125A: published 04.04.2000 / M.E. Doubs, J.H. Murphy Jr. - 5p.

12. Patent 4844006. USA, Apparatus to provide a vaporized reactant for chemical-vapor deposition: US4844006A: published 4.07.1989 / T.V. Page, T.F.Boydston, J.G. Posa; - 7p.

13. Maury F. Optimization of the Vaporization of Liquid and Solid CVD Precursors: Experimental and Modeling Approaches / F Maury., F.-D Duminica., F. Senocq // Chemical Vapor Deposition. - 2007. - Vol. 13. - P. 638-643.

14. Patent 8518484. USA, Spohn R.F. Bubbler apparatus and delivery method: US8512635B2: published 20.08.2013/ R.F. Spohn, D.W. Peters- 35p

15. Patent 5476547. USA, Gas feeding device for controlled vaporization of an organometallic compound used in deposition film formation: 8/232,431 published 19.12.1995 / N Mikoshiba., K. Tsubouchi, K. Masu - 8p.

16. Boer H.J. Liquid-injection system based on mass flow controllers / H.J. Boer // Solid State Technology. - 1996. - P. 149-152.

17. Middleman S. Some problems related to the performance of an evaporator as a vapor delivery system / S. Middleman // J Cryst Growth. - 1991. - Vol. 114. - P. 1321.

18. Love A. The dynamics of bubblers as vapor delivery systems / A. Love, S. Middleman, A. K. Hochberg // Journal of Crystal Growth. - 1993. - Vol. 129. - № 1-2. - P. 119-133.

19. Patent 0182425. USA, Bubbler apparatus and method for delivering vapor phase reagent to a deposition chamber: US20080182425A1: published 31.07.2008 / R. F. Spohn., D. W. Peters. - 35p.

20. Patent 0116019. USA, High flow rate bubbler system and method: US20030116019A1: published 26.06.2003 / A. Torkaman- 11 p.

21. Boer H.J. Mass Flow Controlled Evaporation System / H.J. Boer // Journal de Physique IV Colloque. - 1995. - Vol. 05. - № 5. - P.961-966.

22. Hersee S. D. The operation of metalorganic bubblers at reduced pressure / S. D. Hersee, J. M Ballingall. // Journal of Vacuum Science & Technology A. - 1990. - Vol. 8. - №2. - Р. 800-804.

23. Kim K.W. Fabrication and Characterization of Ru Thin Films Prepared by Liquid Delivery Metal-Organic Chemical Vapor Deposition / K.W. Kim, N.S. Kim, Y.S. Kim // Japanese Journal of Applied Physics. - 2002. - Vol. 41. - Р. 820-825.

24. Jones A.C. Chemical vapor deposition: precursors, processes and applications/ A.C. Jones, M.L. Hitchman. - Cambridge: Royal Society of Chemistry, 2009. - 600 р.

25. Patent 4134514. USA, Liquid source material container and method of use for semiconductor device manufacturing: US4134514A / J. C. Schumacher, A. Lagendijk.- 5p.

26. Patent 4761269. USA, Apparatus for depositing material on a substrate: US4761269A: published 12.06.1986 / D. R. Conger, J. G. Posa, D. K. Wickenden. - 13p.

27. Edusi C. Aerosol-Assisted CVD of Titanium Dioxide Thin Films from Methanolic Solutions of Titanium Tetraisopropoxide. Substrate and Aerosol-Selective Deposition of Rutile or Anatase / C. Edusi // Chemical Vapor Deposition. - 2011. - Vol. 17. - №. 1-3. - Р. 30-36

28. Ogi T. Synthesis of nanocrystalline GaN from Ga2O3 nanoparticles derived from salt-assisted spray pyrolysis / T.Ogi // Advanced Powder Technology. - 2009. -Vol. 20. - №. 1. - Р. 29-34.

29. Chemical Vapor Deposition, Principles and Application./ Eds. M.L. Hitchman, K.F. Jensen- London: Academic Press, 1993. - 678 р.

30. Perednis D. Thin Film Deposition by Spray Pyrolysis and the application in solid oxide fuel cells / Perednis Dainius - Doctoral Thesis. - ETH, Zurich

31. Паньков В.В. Применение метода распылительного пиролиза для получения функциональных материалов / В.В. Паньков // Вестник БГУ. - 2007. -Сер. 2. № 2. - С. 3-13

32. Perednis D. Thin Film Deposition Using Spray Pyrolysis / D. Perednis, L.J. Gauckler // Journal of Electroceramics. - 2005. -№ 14. - Р. 103-111.

33. Rajan R. Correlations to predict droplet size in ultrasonic atomization / R. Rajan, A.B. Pandit // Ultrasonics. - 2001. - V. 39. - № 4. - P. 235-255.

34. Rizkalla A.A. Influence of Liquid Properties on Airblast Atomizer Spray Characteristics / A.A. Rizkalla, A.H. Lefebvre // Journal of Engineeringfor Power. -1975. - V. 97. -№ 2. - P. 173-179.

35. Ganan-Calvo A.M. Current and Droplet Size in the Electrospraying of Liquids / A.M. Ganan-Calvo, J. Davila, A. Barrero. Laws Scaling // Journal of Aerosol Science. - 1997. - V. 28. - № 2. - P. 249 - 275.

36. Weber S. B. Einarsrud M.-A. Deposition mechanisms of thick lanthanum zirconate coatings by spray pyrolysis / S. B. Weber, H. L. Lein, T. Grande // Journal of the American Ceramic Society. - 2011. - V. 94. - № 12. - P. 4256-4262.

37. Yu H.F. Evaporation of solution droplets in spray pyrolysis / H.F. Yu, W.H. Liao // International Journal of Heat and Mass Transfer. - 1998. - V. 41 - № 8-9. - P. 993-1001.

38. Viguie J.C. Chemical Vapor Deposition at Low Temperatures /J.C. Viguie, J. Spitz // Journal of the Electrochemical Society. - 1975. - V. 122. - № 4. - P. 585-588.

39. Filipovic L. Modeling Spray Pyrolysis Deposition /L. Filipovic, S. Selberherr, C. Mutinati , Brunet , S. Steinhauer, ock A., J. Teva, J. Kraft, J. Siegert, F. Schrank //Proceedings of the World Congress on Engineering (WCE -2013, July - 3-5, London, U.K.). - London, -2013. - V. II.

40. Setoguchi T. Application of the Stabilized Zirconia Thin Film Prepared by Spray Pyrolysis Method to SOFC / T. Setoguchi, M. Sawano, K. Eguchi, H. Arai // Solid State Ionics. - 1990. - V. 40-41. - P. 502-505.

41. Stelzer N.H.J. Synthesis of Terbia-Doped Yttria-Stabilized Zirconia Thin Films by Electrostatic Spray Deposition (ESD) / N.H.J. Stelzer, J. Schoonman // Journal of Materials Synthesis and Processing. - 1996. - V 4. - № 6. - P. 429-438.

42. Kelder E.M. Low-temperature synthesis of thin filmsof YSZ and BaCe03 using electrostatic spray pyrolysis (ESP) / E.M. Kelder, O.C.J. Nijs, J. Schoonman // Solid State Ionics. - 1994. - V. 68. - № 1-2. - P. 5-7.

43. Bohac P. Chemical spray deposition of YSZ and GCO solid electrolyte films / P. Bohac L.J., Gauckler // Solid State Ionics. - 1999. - V. 119. - № 1-4. - P. 317-321.

44. Hsu H.M. Dense Bi-SrCa-Cu-0 superconducting films prepared by spray pyrolysis / H.M. Hsu, I. Yee, J. DeLuca, C. Hubert, R.F. Miracky, L.N. Smith // Applied Physics Letters. - 1989. - V. 54. - № 10. - P. 957-959.

45. Blanchet G.B. High temperature deposition of HTSC thin films by spray pyrolysis / G.B. Blanchet, C.R. Fincher // Superconductor Science & Technology. - 1991. - V. 4. - № 2. - P. 69-72.115.

46. Холькин А.И. Экстракционно-пиролитический метод. Получение функциональных оксидных материалов. / А.И. Холькин, Т.Н. Патрушева // - М.: КомКнига, -2006. -292 с.

47. Zhang H. Aerosol Spray Pyrolysis and Solution Phase Synthesis of Nanostructures. / H. Zhang // - ProQuest, - 2008. - 228 p.

48. Munjer A. Thin Film Deposition By Spray Pyrolysis Technique: Automatic Control of Spray Pyrolysis, Film Characterization, Application in Solar Cell. / A.Munjer, H.R. Habib, A. Raihan // - LAP LAMBERT Academic Publishing, - 2012. - 120 p.

49. Kaul A. MOCVD of high quality LuBa2Cu3O7-x thin films / R. Kaul, O. Gorbenko // Journal of Alloys and Compounds. - 1997. - T. 251. - C. 342-346.

50. Samoilenkov S. Epitaxial Calcium and Strontium Fluoride Films on Highly Mismatched Oxide and Metal Substrates by MOCVD: Texture and Morphology / S. Samoilenkov, A.Kaul, // Chemistry of Materials. - 2010. - V. 22. - № 1. - P. 175-185.

51. Kaul A. Synthesis of (Hg,Pb)(Sr,Ba)2Ca3Cu3Oz Superconducting Films via MOCVD and PLD / А. Kaul, S. Samoilenkov, // Physica C. - 2002. - V. 383. - P. 37-42.

52. Алесковский В.Б. Стехиометрия и синтез твердых соединений. / В.Б. Алесковский // - Л.: Наука, -1976.

53. Бердоносов С.С. Твердые дисперсные фазы из полых сферических и трубообразных неорганических микрочастиц / С.С. Бердоносов, С.Б. Баронов, Ю.В. Кузьмичева // Российский химический журнал. - 2001 (1). Т. XLV. C. 35-45.

54. Мелихов И.В. Тенденции развития нанохимии / И.В. Мелихов // Российский химический журнал. -2002 (5). Т. - XLVI. C. 7 - 14.

55. Андриевский Р.А. Наноматериалы: концепции и современные проблемы / Р.А. Андриевский // Российский химический журнал. -2002 (5).Т. -XLVI. C. 50 - 56.

56. Хайрутдинов Р.Ф. Химия полупроводниковых наночастиц / Р.Ф. Хайрутдинов // Успехи химии. -1998 (2). Т. -67. С. 125-131.

57. Segal D. Chemical synthesis of ceramic materials, J. Mater. / D. Segal Chem.// -1997, -7(8), -1297-1305

58. Сергеев Г.Б. Нанохимия металлов / Г.Б. Сергеев. // Успехи химии, -2001, Т. -70, С. - 915-933.

59. Опенов Л. Нанохимия. / Л. Опенов. // Промышленные ведомости, № 1, -2007, C. -10-21.

60. Смирнов В.М. Химия наноструктур. Синтез, строение, свойства. / В.М. Смирнов. // СПб, СПбГУ, -1996. -108с.

61. Edusi C. Aerosol-Assisted CVD of Titanium Dioxide Thin Films from Methanolic Solutions of Titanium Tetraisopropoxide; Substrate and Aerosol-Selective Deposition of Rutile or Anatase / C. Edusi // Chemical Vapor Deposition. - 2011. - Vol. 17. - №. 1-3. - P. 30-36.

62. Carmichael P. Atmospheric pressure chemical vapour deposition of boron doped titanium dioxide for photocatalytic water reduction and oxidation / P. Carmichael // Physical Chemistry Chemical Physics. - 2013. - Vol. 15. - №. 39. - P. 16788-16794.

63. Conde-Gallardo A. Gas-phase diffusion and surface reaction as limiting mechanisms in the aerosol-assisted chemical vapor deposition of TiO 2 films from titanium disopropoxide / A. Conde-Gallardo //Journal of materials research. - 2006. -Vol. 21. - №. 12. - P. 3205-3209.

64. Tahir A. A. Nanostructured a-Fe2O3 thin films for photoelectrochemical hydrogen generation / A.A. Tahir // Chemistry of Materials. - 2009. - Vol. 21. - №. 16.

- P. 3763-3772.

65. Cesar I. Translucent thin film Fe2O3 photoanodes for efficient water splitting by sunlight: nanostructure-directing effect of Si-doping / I.Cesar // Journal of the American Chemical Society. - 2006. - Vol. 128. - №. 14. - P. 4582-4583.

66. Glasscock J. A. Enhancement of photoelectrochemical hydrogen production from hematite thin films by the introduction of Ti and Si / J. A. Glasscock // The Journal of Physical Chemistry C. - 2007. - Vol. 111. - №. 44. - P. 16477-16488.

67. DuFaux D. P. Nanoscale unagglomerated nonoxide particles from a sodium coflow flame / D. P. DuFaux, R. L. Axelbaum // Combustion and Flame. - 1995. - Vol. 100. - №. 3. - С. 350-358.

68. Saravanan S. Synthesis and characterization of Y 3 Al 5 O 12 and ZrO 2-Y 2 O 3 thermal barrier coatings by combustion spray pyrolysis / S. Saravanan // Surface and Coatings Technology. - 2008. - Vol. 202. - №. 19. - P. 4653-4659.

69. Chiarello G. L. Flame-spray pyrolysis preparation of perovskites for methane catalytic combustion / G. L. Chiarello, I. Rossetti, L. Forni //Journal of catalysis.

- 2005. - Vol. 236. - №. 2. - P. 251-261.

70. Грехов Л. В. Топливная аппаратура и системы управления дизелей: Учебник для вузов. / Л. В. Грехов, Н. А. Иващенко, В. А. Марков. - М.: Легион-Автодата, - 2004. - 344 с.

71. Nasr G.G. Industrial Sprays and Atomization. Design, Analysis and Applications / G.G. Nasr, A.J. Yule, L. Bendig. // - New York: Springer, -2002. - 514 p.

72. Lefebvre A.H. Atomization and Sprays, Second Edition / A.H. Lefebvre, V.G. McDonell. // -Second edition. - Boca Raton: Taylor & Francis Group, CRC Press. -2017. - 301 p.

73. Ashgriz N. Handbook of Atomization and Sprays: Theory and Applications / N. Ashgriz.// - New York: Springer, -2011. - 953 p.

74. Sazhin S. Droplets and Sprays / S. Sazhin. - New York: Springer, -2014. -

345 p.

75. Денкер И.И. Технология окраски самолетов и вертолетов гражданской авиации / И.И. Денкер, В.Н. Владимирский. - 2-е изд., перераб. и доп. - М: Машиностроение, - 1988. - 128 c.

76. Harari R. Optimization of a plain-jet airblast atomizer. / R. Harari, E. Sher // - 1997. - Vol. 7. - № 1. - P. - 71-113.

77. Reynolds O. "On the Dynamical Theory of Incompressible Viscous Fluids and the Determination of the Criterion", Phil. Trans. Roy. Soc., / O. Reynolds // - 1895, 186, -123 -161 (русский перевод в О. Рейнольдс "Динамическая теория движения несжимаемой вязкой жидкости и определение критерия", Проблемы турбулентности. - М.; Л.: ОНТИ, -1936, c. 135-227).

78. Гарбарук А.В. Моделирование турбулентности в расчетах сложных течений. / А.В. Гарбарук, М.Х. Стрелец, М.Л. Щур. - Изд. СПбПУ, -2012. -88с.

79. Плановский А.Н. Процессы и аппараты химической технологии / А.Н. Плановский, В.М. Рамм, С.З. Каган. - М. : изд. «Химия», -1967г. - 848 с.

80. Smagorinsky J. General circulation experiments with the primitive equations: I. the basic experiment / J. Smagorinsky // Monthly weather review. - 1963. -Vol. 91. - General circulation experiments with the primitive equations. - № 3. - P. 99164.

81. Germano M. A dynamic subgrid-scale eddy viscosity model / M. Germano // Physics of Fluids A: Fluid Dynamics (1989-1993). - 1991. - Vol. 3. - № 7. - P. 17601765.

82. Launder B.E. Lectures in Mathematical Models of Turbulence. / B.E. Launder, D.B. Spalding. Academic Press // - London - England. -1972.

83. Reynolds W.C. Fundamentals of turbulence for turbulence modeling and simulation. Lecture Notes for Von Karman Institute Agard Report No. / W.C.Reynolds //-755. -1987.

84. Smagorinsky J. General circulation experiments with the primitive equations: I. the basic experiment / J. Smagorinsky // Monthly weather review. - 1963. -Vol. 91. - General circulation experiments with the primitive equations. - № 3. - P. 99164.

85. Germano M. A dynamic subgrid-scale eddy viscosity model / M. Germano // Physics of Fluids A: Fluid Dynamics (1989-1993). - 1991. - Vol. 3. - № 7. - P. 17601765.

86. Ueha S. Mechanism of ultrasonic atomization using a multi-pinhole plate. Acoust. Set of claims. / S. Ueha, Jpn. (E) 6,1:21 -1985.

87. Хмелёв В.Н. Ультразвуковые распылители наноматериалов / В.Н. Хмелёв, А.В. Шалунов, М.В. Хмелёв, Д.В. Генне // материалы XII Международной конференции по микро- и нанотехнологиям и электронным устройствам EDM' — 2011.

88. Patrick J Smith. Reactive Inkjet Printing, Editors / J. Patrick Smith, M. Aoife, Royal Society of Chemistry, Cambridge -2018.

89. Kenyon, R.W. Chemistry and technology of Printing and Imaging Systems. Glasgow UK: Blackie Academic & Professional. / R.W. Kenyon // pp. -114-115. -1996

90. Gas Sensor Devices Obtained by Ink-jet Printing of Polyaniline Suspensions / F. Loffredo, // Macromolecular Symposia. -247 (1): 357-363. -2007.

91. Хмелев В.Н Ультразвуковое распыление жидкостей./ В.Н. Хмелев, А.В. Шалунов, А.В. Шалунова. - Барнаул: АлтГТУ, -2010. - 272 с.

92. Ультразвуковой аэрозольный аппарат: пат. 98945 Рос. Федерация. № 2010122218/13: заявл. 31.05.10: опубл. 10.11.10 / В.Н. Хмелев. - 4 с.

93. Хмелев В.Н. Применение ультразвуковых колебаний высокой интенсивности в промышленности / В.Н. Хмелев, Р.В. Барсуков, А.Н. Сливин, С.Н. Цыганок, А.В. Шалунов. - Барнаул: АлтГТУ, - 2010. -196 с.

94. Д. Розенберг Физические основы ультразвуковой технологии / под ред. Л.Д. Розенберга. - М.: Наука, -1968. - 688 с.

95. Игнатович. Э. Химическая техника. Процессы и аппараты. / Э. Игнатович. -М. Техносфера. - 2007. -269 с.

96. Леонтьева А.И. Оборудование химических производств. / А.И. Леонтьева. -М. Колос, -2008, -479 с.

97. Kang Y.C. A high-volume spray aerosol generator producing small droplets for low pressure applications / Y.C. Kang, S.B. Park // Journal of Aerosol Science. -1995. - Т. 26. - № 7. - С. 1131-1138.

98. Jen, T. / Effects of shock waves on the particle acceleration for cold gas dynamic spray / T. Jen, // American Society of Mechanical Engineers, Heat Transfer Division,Vol. -375. -2004.

99. Патент № 2409787. C1 Российская Федерация, МПК F23D 11/34. Распылитель акустический: № 2009132297/06 : заявл. 27.08.2009 : опубл. 20.01.2011 / О. С. Кочетов. -7 с.

100. Кочетов О. С. Исследование динамических характеристик акустических форсунок / О. С. Кочетов // Современные инновации в науке и технике: сборник научных трудов 9-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием. -2019. - С. 201-206.

101. Патент 307255. СССР, МПК B05B 17/06. Акустический распылитель для растворов: опубл. 01.01.1971 / А. Е. Крикунов, М. А. Погер, Ю. Н. Кузьмин, Э. И. Мельникова, В. В. Страхов, В. П. Притыке. - 2с.

102. Патент № 2017536 C1. Российская Федерация, МПК B05B 5/025. Электростатический распылитель: № 5029082/05: заявл. -09.10.1991: опубл. 15.08.1994 / Болога А.М. - 2с.

103. Болога, А. М. Моделирование индукционного заряжения жидкостей в электростатических распылителях / А. М. Болога, Л. М. Макальский, В. К. Слышалов // Современное состояние, проблемы и перспективы энергетики и технологии в энергостроении (IV Бенардосовские чтения) : Тезисы докладов. -1989. - С. 15.

104. Савушкин, А. В. Экспериментальные исследования параметров электростатического распылителя / А. В. Савушкин // Применение электроэнергии в сельском хозяйств: сборник научных трудов, -М.: Московский институт инженеров сельскохозяйственного производства, -1990. - С. 48-52.

105. Касьянов, В. В. Обзор способов распыления / В. В. Касьянов, В. И. Коновалов // Научное обеспечение агропромышленного комплекса : Сборник

статей по материалам XII Всероссийской конференции молодых ученых, Кубанский государственный аграрный университет имени И.Т. Трубилина, -2019.

- С. 128-129.

106. Patent 4748314. USA, C23C16/00. Liquid delivery system, heater apparatus for liquid delivery system, and vaporizer: US5882416A: published 16.03.1999 / P.C. Van Buskirk, S.M. Bilodeau, R.J. Carl Jr. - 23p.

107. Kang Y.C. A high-volume spray aerosol generator producing small droplets for low pressure applications / Y.C. Kang, S.B Park // Journal of Aerosol Science. - 1995.

- Т. 26. - № 7. - С. 1131-1138.

108. Jung D.S. Design of particles by spray pyrolysis and recent progress in its application / D.S. Jung, S.B. Park, Y.C. Kang // Korean Journal of Chemical Engineering.

- 2010. - Т. 27. - № 6. - С. 1621-1645.

109. Лекомцев, П. Л. Методика расчета электрогидравлического распыливателя жидкостей / П. Л. Лекомцев, А. М. Ниязов, Е. В. Дресвянникова // Инженерный вестник Дона. - 2018. - № 4(51). - С. 76.

110. Репинский С.М. Химическая кинетика роста слоев диэлектриков / С.М. Репинский // Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников. Новосибирск: Наука. Сиб. Отд., -1989. -С. 90-152.

111. Франк-Каменецкий Д.А. Диффузия и теплопередача в химической кинетике. / Д.А. Франк-Каменецкий // -М.: Наука, -1967. - 326 c.

112. Strem Chemicals: -URL: https://www.strem.com/ (дата обращения 06.07.22). -Текст: электронный.

113. Patent. EP2115345B1. EU, F16J415/02. Reagent dispensing apparatus and delivery method: filled 28.01.2008: published 24.08.2016 / F.R. Spohn., D.W. Peters. -40p.

114. Patent US2007/0120275A1. USA, B01D47/00. High stability and high capacity precursor vapor generation for thin film deposition: published 31.05.2007 / Y.H. B. Liu. - 15 p.

115. Patent 7775508. USA, B01F3/04. Ampoule for liquid draw and vapor draw with a continuous level sensor: filled 31.10.2006: published 17.08.2010 / K.T. Choi, P.K. Narwankar, S.S. Kher. -13 p.

116. Patent 7828274. USA, B10F9/04. Method and apparatus to help promote contact of gas with vaporized material: filled 23.01.2009: published 9.11.2010 / J.N. Gregg, S.L. Battle, J.I. Banton. - 23 p.

117. Patent 0016404. USA, C23C16/00. Vaporizer delivery ampoule: filled 23.06.2002: published 29.01.2004 / J. Gregg, S. Battle, J.I Banton. - 18 p.

118. Patent 5361800. USA, F16K31/365. Liquid pump and vaporizer: filled 23.07.1993: published 08.11.1994 / J.H. Ewing. - 12 p.

119. Hur'yeva T. Ruthenium Films Deposited by Liquid-Delivery MOCVD Using Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium with Toluene as the Solvent / T. Hur'yeva, M. Lisker, E.P. Burte // Chemical Vapor Deposition. - 2006. - Vol. 12. - № 7. - P. 429434.

120. Alluri P. ECR-MOCVD of the Ba-Sr-Ti-O system below 400°C. Part I: Processing / P. Alluri, P. Majhi, D. Tang // Integrated Ferroelectrics. - 1998. - Vol. 21. -№ 1-4. - P. 305-318.

121. Direct Liquid Injection Vaporizers for High-Efficiency, Cost-effective Photovoltaic Manufacturing. -URL: https://www.brooksinstrument.com (дата обращения 06.07.22). -Текст: электронный.

122. Patent 7332040. USA, C23C16/00. Semiconductor manufacturing system having a vaporizer which efficiently vaporizes a liquid material: filled 08.09.2000: published 19.02.2008 / V. Sivaramakrishnan, J.M. White. -20 p.

123. Patent 6210485. USA, F02M15/00. Chemical vapor deposition vaporizer: filled 13.07.1999: published 03.04.2001 / J. Zhao, L. Luo, X. Jin et al. - 16p.

124. Patent 6784118. USA, H01L21/31. Method for vaporization of liquid organic feedstock and method for growth of insulation film: filled 20.04.2001: published 31.08.2004 / Y. Hayashi, J. Kawahara, H. Ono. - 22p.

125. Liquid Source Vaporization Control Systems. -URL: http://www.horiba.com/fileadmin/uploads/Semiconductor/Photos/

applications/Products/Liquid_Source_Vaporization_System.pdf (дата обращения 06.07.22). -Текст: электронный.

126. PerkinElmer Nebulizers. -URL: https://www.perkinelmer.com/category/nebulizers (дата обращения 06.07.22). -Текст: электронный.

127. MEINHARD OneTouch Nebulizers. -URL: https://www.meinhard.com/shop-by-product/nebulizers (дата обращения 06.07.22). -Текст: электронный.

128. Glass Expansion Nebulizers. - URL: https://www.geicp.com/cgi-bin/site/wrapper.pl?c1=Products_nebs (дата обращения 06.07.22). -Текст: электронный.

129. Гарбарук А.В. Моделирование турбулентности в расчетах сложных течений. / А.В. Гарбарук, М.Х. Стрелец, М.Л. Щур // - СПБ, - 2012.

130. Клейманов Р.В. Настройка моделей турбулентности для расчета диффузорных течений / Р.В. Клейманов, А.В. Коршунов // - Компрессорная техника и пневматика. - 2016.

131. Bardina J.E. Turbulence modeling validation, testing, and development. / J.E. Bardina, P.G. Huang, T.J. Coakley // NASA Technical Memorandum -1997, -AIAA.

132. Anderson D.A. Computational fluid mechanics and heat transfer. / D.A Anderson, , J.C. Tannehill, S.N. Pletcher, R.H. Hemisphere, -New York - 1984

133. Bradshow P. Calculation of boundary-layer development using the turbulent energy equation. / P. Bradshow, D.H. Ferris, N.P. Atwell // Journal of Fluid Mech., -1967, -V. 28(3), P. - 593-616.

134. Versteeg H.K. An introduction to computational fluid dynamics. The finite volume method. / H.K. Versteeg, W. Malalasekera. - Library of Congress Cataloguing-in-Publication Data. -1995.

135. Driver D.M. Experimental Study of a Three-Dimensional, Shear-Driven, Turbulent Boundary Layer. / D.M. Driver, S.K. Hebbar, // AIAA Journal, -1987, V. - 25, N. - 1, PP.35-42.

136. Ferziger J. Numerische Stromungsmechanik. / J. Ferziger, M. Peri'c.-Springer Verlag, -2008.

137. Menter F.R. Zonal two -equation turbulence models for Aerodynamic Flows. / F.R.Menter. - AIAA, 1993.

138. Spalart P.R. Comments on the feasibility of LES for wings, and on a hybrid RANS/LES approach (invited). 1st AFOSR Int. Conf. on DNS/LES, / P.R. Spalart, W.-H. Jou, M. Strelets, S.R. Allmaras, , Ruston, LA. In «Advances in DNS/LES», C. Liu and Z. Liu Eds., Greyden Press, -1997.

139. Spalart P.R. Dirct and Reynolds-averaged numerical simulations of transitional separation bubble. / P.R. Spalart, M.Kh. Strelets //11 Symposium on Turbulent Shear Flows,-1997, -V. 3, -P. 30-18.

140. Shur M. Detached-eddy simulation of an airfoil at high angle of attack. 4th Int. Symposium on Eng. Turb. / M. Shur, P. R. Spalart, M. Strelets, A. Travin, // Modeling and Measurements,-1999.

141. Wilcox D.C. Comparison of Two-Equation Turbulence Models for Boundary Layers with Pressure Gradient. / Wilcox D.C. // AIAA Journal -1993, -V. 31, -N. 8, -PP. 1414-1421.

142. Wilcox D.C., Turbulence Modeling for CFD. / D.C. Wilcox, Griffin Printing, Glendale, California. - 1993. - 75 p.

143. Wilcox D.C. A two-equation turbulence model for wall-bounded and free-shear flows. / Wilcox D.C. AIAA Paper. -1993. -AIAA. - 25 p.

144. Белов И.А. Модели турбулентности: Учебное пособие / Белов И.А. - 2-е изд., перераб. и доп. - Л.: ЛМИ, 1986. -108c.

145. Лапин Ю.В. Внутренние течения газовых смесей. / Ю.В. Лапин, М.Х. Стрелец-М.: Наука -1989. -368c.

146. Powell M.J.D. The BOBYQA algorithm for bound constrained optimization without derivatives. / M.J.D. Powell. Department of Applied Mathematics and Theoretical Physics, Cambridge, England., -2006.

147. M.J.D. Powell. Least Frobenius norm updating of quadratic models that satisfy interpolation conditions. / M.J.D. Powell. // Mathematical Programming (Springer). -2004. -P. 183-215

148. Kendlbacher C. Large Engine Injection Systems for Future. / Kendlbacher C., P. Mueller, M. Bernhaupt, G. Rehbichler. Bergen CIMAC, - 2010. -50 p.

149. Марков В. А. Топливная аппаратура и системы управления дизелей: Учебник для вузов / В. А. Марков., Л. В. Грехов, Н. А. Иващенко,- М.: Легион-Автодата, -2004. - 344 с.

150. Юдаев Б.Н. Техническая термодинамика. Теплопередача / Б.Н. Юдаев.

- М.: Высшая школа. -1988. - 479 c.

151. Дыбан Е.П. Тепломассообмен и гидродинамика турбулизированных потоков. / Е.П. Дыбан, Э.Я. Эпик. -Киев, -1985. - 296 c.

152. Андрианов В.И. Основы радиационного и сложного теплообмена / В.И. Андрианов. - М., -1972. - 464 с.

153. Сафарова Н.С. Простая формула для определения поверхности раздела фаз при конденсации затопленной струи пара / В.Е. Накоряков, Н.С. Сафарова // Изд. Сиб. Отд. АН СССР, 1975, вып. №2. -№8. -С. 69 -71.

154. Форсайт Дж. Машинные методы математических вычислений / Форсайт Дж., Малкольм М., Моулер К. Пер. с англ. -М.: Мир., -1980. -280 с.

155. Роуч П. Вычислительная гидродинамика / П. Роуч. - М. : Мир, -1980.

- 616 с.

156. Нигматулин Р.И. Основы механики гетерогенных сред. / Нигматулин Р.И. -М.: Наука, -1982. - 336 с.

157. Нигматулин Р.И. Динамика многофазных сред. / Р.И. Нигматулин-М.: Наука, -1987. - 464 с.

158. Mazumder S. The Importance of Predicting Rate-limited Growth for Accurate Modeling of Commercial MOCVD Reactors. / S. Mazumder, S. Lowry // J. Crystal Growth, -2001. - Vol. 224. № 1-2. -P. 165-174.

159. В. Кольман. Методы расчета турбулентных течений. Под ред. В. Кольмана. М.: Мир, -1984. -464 с.

160. Лабусов А.Н. Алгебраические модели турбулентности для некоторых канонических пристенных течений: Автореферат / Лабусов А.Н. канд.дисс. СПб: СПбГТУ, -1999. -16с.

161. Гарбарук А.В. Современные полуэмпирические модели турбулентности для пристенных течений: тестирование и сравнительный анализ: автореферат / А.В. Гарбарук автореф. канд.дисс. -СПб: -СПбГТУ, -1999. -16с.

162. Белов И.А. Взаимодействие неравномерных потоков с преградами / И.А. Белов. - Л.: Машиностроение, -1983. -144с.

163. Рейнольдс А. Дж. Турбулентные течения в инженерных приложениях. / А. Дж Рейнольдс. - М.: Энергия, -1979. - 408с.

164. Kleimanov R. Numerical Simulation of CVD Reactor for Oxide Semiconductor Layer Deposition / R. Kleimanov, A. Korshunov, I. Komarevtsev et al. In: E.Velichko, V. Kapralova, P. Karaseov, S. Zavjalov, P. Angueira, S. Andreev (eds) International Youth Conference on Electronics, Telecommunications and Information Technologies. -Springer Proceedings in Physics. -Vol 268. -Springer -2022. -P. 229234

165. Lumley J.L. Computational modeling of turbulent transport / J.L. Lumley, B. Khajeh-Nouri // Adv.in Geophys. N.Y.: Pergamon Press, -1974. -V.18A. -P.169-193.

166. Hanjalic K. A Reynolds stress model of turbulence and its application to thin shear flows / K. Hanjalic, B.E. Launder // J. Fluid Mech. -1972. -V.52. -Pt.4. -P.609-638.

167. Козлов Б.К. Виды течений газожидкостных смесей и границы их устойчивости / Б.К. Козлов // ЖТФ. -1954. - Е.24. - С.2285-2288.

168. Исаченко В.П. Теплообмен при конденсации/ В.П. Исаченко -М.: Энергия, -1997. -239 с.

169. Катаока Образование и распределение капель по размерам в кольцевом двухфазном течении / И. Катаока, M. Исии, К. Мисима // Труды ASME, теоретические основы инженерных расчетов. -1983. -№2. -С. 166-175.

170. Исаев С.А. Численное и физическое моделирование низкоскоростного воздушного потока в канале с круговой вихревой ячейкой / С.А. Исаев, С.В.

Гувернюк, М.А. Зубин, Ю.С. Пригородов // Инженерно-физический журнал. -2000. -Т.73. -№2. - С.346-353.

171. Вулис Л.А. Теория струй вязкой жидкости. / Л.А. Вулис, В.П. Кашкаров. -М.: Наука, -1965. -431 с.

172. Абрамович Г.Н. Теория турбулентных струй / Г.Н. Абрамович. -М.: Наука, -1984. -716 с.

173. Эккерт, Э. Р. Теория тепло- и массообмена / Э. Р. Эккерт, Р. М. Дрейк. - М. : Госэнергоиздат, -1981. - 576 с.

174. Невинский В.В. Гидрогазодинамика плоских и пространственных течений / Невинский В.В. -Л.: ЛПИ, -1975. --174 с.

175. Соу, С. Гидродинамика многофазных систем : пер. с англ. / C. Соу; под ред. М. Е. Дейга. - М. : Мир, -1981. - 536 с.

176. Смирнов Ю.А. Одномерный расчет инжекторов, работающих на водяном паре и вскипающей воде/ Ю.А. Смирнов, В.А. Барилович. // Труды СПбГТУ (энергетические машины и установки). -1999. -№ 481. -С. 3-13.

177. Дейч М.Е. Газодинамика двухфазных сред / М.Е. Дейч, Филиппов Г.А. -М.: Энергоиздат, -1981. - 472 с.

178. Рейнольдс А. Дж. Турбулентные течения в инженерных приложениях / А. Дж. Рейнольдс. -М.: Энергия, -1979. -408 с.

179. Фрост У. Турбулентность. Принципы и применения. / Под ред. У. Фроста, Т.Моулдлена. -М.: Мир, -1980. -536 с.

180. Bradshaw P. Engineering calculation methods for turbulent flow. / P. Bradshaw, T. Cebeci, J.H. Whitelaw. -N.Y.: - Academic Press, -1981. -331p.

181. Патанкар, С. Численные методы решения задач теплообмена и динамики жидкости / С. Патанкар. - М.: Энергоатомиздат, -1984. - 152 с.

182. Лабунцов Д.А. Механика двухфазных систем. / Д.А. Лабунцов, В.В. Ягов. -М.: Изд. МЭИ, -2000. -373 с.

183. Эллиот Д. Исследование применения насосов с несущим газом в ракетных двигателях. / Д. Эллиот // Вопросы ракетной техники. -1964. -№4. -С. 88-112.

184. Блинков В.Н. Модель течения вскипающей жидкости в соплах / В.Н. Блинков, С.Д. Фролов // ИФЖ. -1982. -Т.42. -№5.-С 45-56.

185. Aziz, K. Numerical Solution of the Three-Dimensional Equations of Motion for Laminar Natural Convection. / Aziz, K. and Heliums, J. D. // Phys. Fluids -vol. 10, -p. 314. -1967.

186. Baliga, B. R. A New Finite-Element Formulation for Convection-Diffusion Problems. / B. R.Baliga, S. V. Patankar // Numerical heat transfer. - 1979. -P. 393-409

187. Sparrow E. M. Relationships among Boundary Conditions and Nusselt Numbers for Thermally Developed Duct Flows, / E. M. Sparrow, S. V. Patankar // J. Heat Transfer -Vol. 99, -P. 483.

188. Ramsey J. W. Interaction of a Heated Jet with Deflecting Stream, NASA CR-72613 / J. W. Ramsey, R. J. Goldstein // // J. Heat Transfer.- Vol. 93 - P. 365-372.

189. Pratap V. S. Fluid Flow and Heat Transfer in Three-Dimensional Duct Flows, Int. J. / V. S. Pratap, D. B. Spalding // Heat Mass Transfer. -Vol. 19. -P. 11831976.

190. NIST-JANAF Thermochemical Tables 4th Edition Monograph / M. Chase. -1998. -1952 p.

191. Брэдшоу Л.Дж. Турбулентные сдвиговые течения 2 / Под ред. Л.Дж.Брэдшоу, Ф.Дурста, .Е.Лаундера и др. - М.: Машиностроение, -1983. -422с.

192. Хинце И.О. Турбулентность. Ее механизм и теория. / И.О. Хинце. -М.: Физматгиз, -1963. - 680с.

193. Колльман В. Методы расчета турбулентных течений / Под ред. В.Колльмана. - М.: Мир., - 1984. -464с.

194. Гинзбург И.П. Аэрогазодинамика. / И.П. Гинзбург. - М.: Высшая школа, -1966. -404 с.

195. Монин А.С. Статистическая гидродинамика. Теория турбулентности. СПб: Гидрометеоиздат / А.С. Монин, А.М. Яглом. -1996. - Т.2. -742с.

196. Lewis E.R.W. Numerical methods in heat transfer / E.R.W. Lewis, K. Morgan, O.C. Zienkiewicz. -N.Y. John Wiley and Sons Ltd, -1981. -536p.

197. Albina F.O. Numerical simulation of jet instabilities / F.O. Albina, S. Muzaferija, C. Peri // Proc. 16th Annual Conference on Liquid Atomization and Spray Systems. -Darmstadt. -Vl.l.l -. - 2000. - 67p.

198. Cain A.B. A three-dimensional simulation of transition and early turbulence in a time-developing mixing layer / A.B. Cain, W.C. Reynolds, J.H. Ferziger. -Contractor Report, Dept. Mech. Engra., Stanford University. -1981. -187p.