Разработка основ лазерно- и магнитостимулированной технологии электроосаждения Ni/Bi2Te3 контактов термоэлементов Пельтье тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат технических наук Веприков, Владимир Иванович

• Веприков, Владимир Иванович
• кандидат технических наук
• 2008

Оглавление диссертации кандидат технических наук Веприков, Владимир Иванович

Введение.

Глава 1. Аналитический обзор.

1.1 Современное состояние проблемы. I ) '

1.2 Совокупный параметр качества термоэлемента.

Г.З Анализ применяемых способов улучшения технологии процесса электроосаждения металлов.

1.4 Физико-химические свойства воды как растворителя.

1.4 Выводы и постановка задачи.

Глава 2. Математическое моделирование процесса электроосаждения металлических плёнок.

2.1 Математическая модель процесса электроосаждения металлических плёнок из водного раствора электролита под действием постоянного магнитного поля и лазерного излучения.

2.2 Расчёт влияния действия лазерного излучения и магнитного поля на кинетические коэффициенты электродного процесса.

2.2.1 Выбор метода расчёта кинетических параметров электрохимического процесса: плотности тока обмена j0 и коэффициента переноса а.

2.2.2 Расчёт влияния лазерного излучения на величину коэффициента переноса а в процессах электроосаждения никеля.

2.2.3 Расчёт влияния индукции постоянного магнитного поля на величину плотности тока обмена.

2.3 Расчётные данные распределение концентрации ионов Ni+B объёме раствора электролита и приращения массы никеля в процессе электролиза.

2.4 Выводы.

Глава 3. Методика экспериментальных исследований.

3.1 Планирование эксперимента.

3.1.1 Многофакторный эксперимент.

3.1.2 Построение математической модели.

3.1.3 Определение оптимальных параметров лазерного излучения и величины индукции магнитного поля для получения максимальной скорости электроосаждения.

3.1.4 Проверка значимости модельной зависимости для масс восстановленного вещества и ее коэффициентов.

3.1.5 Оценка погрешности теоретической формулы для массы восстановленного вещества относительно результатов эксперимента.

3.2 Методы экспериментальных исследований.

3.3 Определение физико-механических свойств осаждаемых плёнок.

3.4 Поляризационные измерения.

3.5 Рентгеноструктурный анализ: выбор метода исследования, описание объекта исследования и характеристика основных параметров.

3.6 Исследование влиянияпостоянного магнитного,поля.и лазерного излучения на структуру и рельеф поверхности образцов методом атомно-силовой микроскопии.

3.7 Определение длины волны с помощью дифракционнойрешётки.

3.8 Определение выхода подтоку.

3.9"Измерение коэффициента термо-ЭДС термоэлектрических материалов.

ЗЛО Определение электропроводности термоэлектрических материалов.

Глава-4. Разработка и исследование технологии электроосаждения Ni/Bi2Te

4.1 Разработка технологии электроосаждения низкоомных Ni/Bi2Te3 контактов термоэлементов Пельтье на основе использования лазерного излучения.

4.1.1 Описание экспериментальных установок.

4.1.2 Анализ факторов, влияющих на скорость электрохимической реакции.

4.1.3 Фотостимулирование электроосаждения металлических плёнок.

4.1.4 Лазерностимулированное электроосаждение металлических плёнок.

4.2 Обоснование выбора источника излучения.

4.2.1 Определение спектральных характеристик водного раствора хлорида никеля.

4.3 Исследование действия лазерного излучения на процесс электроосаждения.

414 Разработка технологии электроосаждения низкоомных Ni/Bi2Te3 контактов элементов Пельтье при действии постоянного магнитного поля.

4.4.1 Описание экспериментальных установок.

4.4.2 Применение постоянного магнитного поля для электроосаждения металлических плёнок.

4.4.3 Зависимость скорости электроосаждения от структуры постоянного магнитного поля.

4.4.4 Влияние индукции постоянного магнитного поля на токи обмена и предельные токи диффузии.

4.5 Разработка и исследование технологии электроосаждения Ni/Bi2Te3 контактов термоэлементов Пельтье при комплексном действии лазерного излучения и постоянного магнитного поля.

Глава 5. Результаты экспериментальных исследований.

5.1 Действие лазерного излучения на поля на характеристики контактов.

5.1.1 Результаты рентгеноструктурного анализа и атомно-силового сканирования никелевых плёнок, осаждённых при действии лазерного излучения.

5.2 Действие постоянного магнитного поля на характеристики контактов.

5.2.1 Результаты рентгеноструктурного анализа и атомно-силового сканирования никелевых плёнок, осаждённых при действии постоянного магнитного поля.

5.3 Результаты экспериментальных исследований влияния комплексного воздействия лазерного излучения и постоянного магнитного поля на характеристики контактов.

5.4 Определение оптимальных характеристик технологического процесса электроосаждения никеля.

5.4.1 Влияние постоянного магнитного поля и лазерного излучения на коэффициент термо — ЭДС термоэлектрических материалов.

5.4.2 Определение выхода по току.

5.4.3 Измерение удельной электропроводности образцов термоэлектрических материалов.

5.4.4 Влияние морфологии поверхности на коэффициент растекания.

5.4.5 Определение оптимальных значений водородного показателя рН.

5.4.6 Влияние индукции постоянного магнитного поля и плотности тока на приращение массы, осаждаемого никеля.

5.4.7 Влияние индукции постоянного магнитного поля и мощности-лазерного излучения на увеличение выхода годных изделий.

5:5 Описание термоэлемента Пельтье и технологические рекомендации к повышению качества контактов.

5.5.1 Технологический маршрут электроосаждения МЛ^Тез контактов термоэлементов Пельтье.

Основные результаты работы.

Список используемых источников.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка основ лазерно- и магнитостимулированной технологии электроосаждения Ni/Bi2Te3 контактов термоэлементов Пельтье»

Важнейшей задачей твердотельной электроники является обеспечение надёжных адгезионных и электрофизических свойств контактных площадок на различных диэлектрических и полупроводниковых подложках.

Из многообразия методов получения плёночных контактов наиболее простым и недорогим является электроосаждение. Этот метод используется при изготовлении контактов термоэлементов на основе эффекта Пельтье, которые нашли применение в качестве элементной базы устройств для термостабилизации технологических процессов в электрохимии, изготовления компактных, экономичных охлаждающих и термогенерирующих устройств в автомобильной и авиационной технике, в компьютерной технике для охлаждения процессоров; для утилизации тепловой энергии от любых источников в полевых условиях в электрическую энергию и энергию электромагнитного излучения. В сочетании с экономичными фотоэлектрическими модулями, использование термоэлементов на основе эффекта Пельтье позволяет расширить диапазон применения изделий от приборов бытового назначения до использования в качестве элементов космических технологий.

Однако стандартный технологический процесс электроосаждения контактов термоэлементов Пельтье не обеспечивает требуемую адгезию и паяе-мость, контактные площадки имеют высокую пористость и высокое переходное сопротивление [1-6]. Поэтому для улучшения характеристик контактов целесообразно использовать методы электроосаждения контактов с использованием лазерных технологий и магнитных полей, которые широко используются в микроэлектронике при изготовлении СБИС, на операциях отжига ионно-легированных слоёв, формировании контактно-металлизацион ной системы, изготовлении изоляции, геттерирования, рекристаллизации поликристаллических слоёв.

Для решения проблемы предлагается метод получения металлических плёнок с улучшенными функциональными свойствами, основанный на применении совместного, комплексного действия на процесс электроосаждения лазерного излучения и постоянного магнитного поля.

Элементы коммутации функциональных узлов применяются во многих приборах твердотельной электроники и методы, предлагаемые для решения частной задачи электроосаждения низкоомных Ni/Bi2Te3 контактов, являются перспективными для повышения качества широкого класса элементов коммутации. Поэтому разработка технологии осаждения контактов с использованием лазерных и магнитных полей является актуальной; Цель работы

Разработка основ технологии электроосаждения никелевых контактов на теллуриде висмута с использованием магнитного поля и лазерного излучения для термоэлементов на основе эффекта Пельтье.

Задачи диссертационной работы Для достижения с поставленной цели в работе решались следующие задачи:

- провести исследование влияния лазерного излучения и. постоянного магнитного поля? на кинетику и закономерности электроосаждения никелевых контактов и улучшение характеристик электроосаждённых контактных площадок термоэлементов Пельтье;

- разработать технологический процесс электроосаждения при комплексном воздействии постоянного магнитного поля и лазерного излучения;

- провести структурные и морфологические исследования никелевых контактов, осаждённых при воздействии постоянного магнитного поля и лазерного излучения;

- разработать и изготовить установку для реализации технологии электроосаждения Ni/Bi2Te3 контактов при комплексном действии постоянного магнитного поля и лазерного излучения;

- разработать математическую модель процесса электроосаждения Ni/Bi2Te3 контактов при комплексном действии постоянного магнитного поля и лазерного излучения.

Объект исследования

Закономерности электроосаждения металлов при действии постоянного магнитного поля и лазерного излучения.

Предмет исследования

Предметом исследования в диссертации являются вопросы совершенствования физико-технологических методов электроосаждения металлических плёнок, наиболее полно отвечающих требованиям современных приборов электронной техники.

Личный вклад автора заключается:

- в обобщении и анализе литературных данных по теме работы;

- в формулировке цели и постановке задачи исследования;

- в создании математической модели процесса электроосаждения металлических плёнок из водного раствора электролита под действием постоянного магнитного поля и лазерного излучения и разработке компьютерной программы «Электролиз»;

- в обработке и анализе результатов эксперимента;

- во внедрении результатов работы в производство и в учебный процесс.

Эксперименты выполнены автором работы лично и под руководством автора совместно с сотрудниками кафедры «Математика» ЮРГУЭС г. Шахты, кафедры «Технологии электрохимических производств» ЮРГТУ (НПИ) г. Новочеркасск, кафедры "Общепрофессиональных и естественнонаучных дисциплин" ВИС ЮРГУЭС г. Волгодонск, Научно-производственного центра «Элион» г. Волгодонск, «Лаборатории нанотехнологий» Южного научного центра РАН, г. Таганрог, в Научно-исследовательском Институте физики Ростовского гос. университета, г. Ростов-на-Дону.

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Веприков, Владимир Иванович

Основные результаты диссертационной работы 1. Проведён анализ влияния постоянного магнитного поля и лазерного излучения на процесс электроосаждения никеля на теллурид висмута. Показано, что реализация технологического процесса возможна без повышения температуры электролита фотохимическим методом в постоянном магнитном поле.

2. Разработана математическая модель процесса электроосаждения Ni/Bi2Te3 контактов, учитывающая влияние постоянного магнитного поля и лазерного излучения на скорость осаждения никеля.

3. Выявлены закономерности влияния лазерного излучения, постоянного магнитного поля и совместного воздействия постоянного магнитного поля и лазерного излучения. При удельной мощности лазерного излучения 2,7 Вт/см2 наблюдается более однородная структура плёнок никеля и снижение скорости электроосаждения. При лазерном облучении (Руд = 0,88 Вт/см ) скорость осаждения никеля возрастает в 1,2 раза. Совместное воздействие лазерного излучения и постоянного магнитного поля приводит к снижению пористости плёнок по сравнению со стандартным в 1,76 раза и увеличение коэффициента термо-ЭДС термоэлемента в 1,1 раза.

4. Установлено влияние постоянного магнитного поля и лазерного излучения на кинетические параметры процесса электроосаждения. Показано, что при удельной мощности лазерного излучения Руд = 2,7 мВт/см , длине волны X = 679,87 нм увеличивается коэффициент переноса ионов никеля в 1,1 раза. Слабое постоянное магнитное поле В = 21 мТл увеличивает ток обмена jo, в 1,5 раза и предельный ток в 1,9 раза.

5. Установлено влияние лазерного излучения и постоянного магнитного поля на морфологию осаждаемой никелевой плёнки. Установлено, что при средних размерах микронеровностей 280 нм, адгезия возросла в 1,26 раза (0,42 до

2 2 0,53 Н/мм ), число пор уменьшилось с 3 до 2,7 пор/см (в 1,1 раза), размеры пор уменьшились в 4,2 раза, с 5 до 1,2 мкм.

6. Проведена оптимизация режимов электроосаждения Ni/Bi2Te3 контактов. Показано, что совместное воздействие лазерного излучения и постоянного магнитного поля увеличивает термо-ЭДС в 1,1 раза при плотности лазернол го излучения J = 0.88 Вт/см и индукции постоянного магнитного поля В =

1,3 Тл. Наилучшие характеристики контактов получаются при температуре отжига 200°С.

7. Разработана и изготовлена установка, позволяющая реализовать технологический процесс электроосаждения Ni/Bi2Te3, при воздействии лазерного излучения и постоянного магнитного поля.

8. Использование лазерного излучения и постоянного магнитного поля позволило разработать более эффективный технологический процесс электроосаждения Ni/Bi2Te3 контактов термоэлементов Пельтье.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Веприков, Владимир Иванович, 2008 год

1. Антропов Л.И. Теоретическая электрохимия. М.: Высшая школа, 1984. 512 с.

2. Измайлов В.А. Электрохимия растворов М.: Высшая школа,1988. 419 с.

3. Краснов К. С., Воробьёв Н. К., Годнев И. Н. Физическая химия т.2 / Под редакцией К. С. Краснова Электрохимия. Химическая кинетика и катализ. М.: Высшая школа 2001. 319 с.

4. Гудман К. Теория роста и методы выращивания кристаллов. М.: Мир. 1981. 221 с.

5. Денисов Е.Т., Саркисов О.М., Лихтенштейн Г.И. Химическая кинетика М.: Высшая шк., 2000. 487 с.

6. Коленко Е.А. Термоэлектрические охлаждающие приборы, изд. АН СССР Ленинград, 1962, 185 с.

7. A. Krause, М. Uhlemann, A. Gebert, L. Schultz, The effect of magnetic fields on the electrodeposition of cobalt // Leibniz Institute for Solid State and Materials Research, Dresden, Germany, Electrochimica Acta 2004. P. 4127-4134.

8. N.D. Nikoli, J. Serb. Some aspects of nickel electrodeposition in the presence of a magnetic field// Chem. Soc. 2005. P. 1213-1217 (2005)

9. Chu Yanqiu, Huang Feng, Qin Qizong Изучение осажденных под действием импульсного лазера аморфных композитных пленок никель-У205 и их электрохимических свойств Niaxie wuli xuebao = Chin. J. Спет. Phys. 2002. 15, N 3, с. 193-197.

10. M.C. Hissao and C.C. Wan "The Investigations of Laser-Enhanced Copper Plating on a Good Heat Conducting Copper Foil". J. Elektrochem. So. Vol. 138, No. 8 August 1991 The Elektrochemikal Society, Inc.

11. Серянов Ю.В. и Аравина JI.В "Кинетика лазерно-стимулируемого электроосаждения никеля на плоскую цилиндрическую и сферическую поверхность меди". 1993-06 KR00 ВИНИТИ ISSN 1561-7165.

12. Ротинян A.JL, Зельдес В.Я. Гидратообразование в условиях электролиза никеля // Журнал прикладной химии. 1950 Т. 23, вып. 7.-С. 757-763.

13. Кудрявцев Н.Т. Электрические покрытия металлами. — М.: Химия, 1979, 1979.-365 с.

14. Жуховицкий А. А., Шварцман Л. А., Физическая химия М.: Металлургия 2001 -687с.

15. Бродский A.M., Гуревич Ю.Я. Основы теории магнитоэлектрохимиче-ских явлений // Электрохимия. 1973. - Т .9, № 10. — С. 1523 — 1527.

16. Гак Е.И., Рохинсон Э.Х., Бондаренко Н.Ф. Особенности изменения кинетики электродных процессов в электролитах в постоянных магнитных полях. // Электрохимия. 1975. - Т .11, № 4. - С. 528 - 534.

17. Гак Е.И., Рохинсон Э.Х. Применение магнитных полей для управления скоростью электродных процессов // Электронная обработка металлов. — 1973- №4. С. 75-77.

18. Железнов А.В. Магнитополярография. Полярографическое исследование поведения ионов в переменном магнитном поле // Журнал аналитической химии 1973. - Т . 28, № 7. С. 1403 - 1405.

19. Шваб Н.А. Электродные процессы в водных растворах //под ред. B.C. Кублановского, Наукова Думка. Сб. науч. тр. — Киев, 1979 — 215 с.

20. Зацепина Г. Н. Свойства и структура воды. М: изд. МГУ 1974, 48 с.

21. Классен В. И. Омагничивание водных систем Изд-во Химия, М., 1982. 295с.

22. Кублановский B.C. Сборник научных трудов Электродные процессы в водных растворах. Киев Наукова думка с. 215 1979 г.

23. Гукетлев Ю.Х., Васенков А.А., Гарицин А.Г., Федорченко В.В. Лазерная технология интегральных схем. М: Радио и связь. 1991 319 е.

24. Ямпольский A.M., Ильин В.А. Краткий справочник гальванотехника. — Л.: Машиностроение, 1981. 269 с.

25. ВеприковаЮ. В., Веприков В. И. Управление дифференцированием внешнего воздействия на подсистемы водных растворов электролитов. //Сборник материалов III Международной научно практической конференции Новочеркасск 2004. С. 50 - 52.

26. Веприков В.И., Веприкова Ю.В. Внешние воздействия на процесс кристаллизации. ЮРГУЭС. // Информационные технологии в науке и образовании. Сб. науч. трудов, г. Волгодонск 2002 С. 193 195.

27. Веприкова Ю. В., Веприков В. И. Влияние постоянного магнитного поля на процесс электрохимического осаждения. // Сборник материалов III Международной научно практической конференции Новочеркасск 2004.1. С. 47 50.

28. Мелик-Гайказаян И.В., Мелик-Гайказян М.В., Тарасенко В.Ф. Методология моделирования нелинейной динамики сложных систем. М.: Физматлит, 2001. - 272 с.

29. Чуличков А.И. Математические модели нелинейной динамики. -М.: Физматлит, 2000. 296 с.

30. Арсенин В.М. Математическая физика. Основные уравнения и специальные функции. — М: Наука, 1966, 368 с.

31. Фомин Г. П. Математические методы и модели в коммерческой деятельности. М.: Финансы и статистика 2001г., 544с.

32. Бахвалов Н.С., Кобельков Г.М. Численные методы., М.: Физмат лит. 2000, 622 с.

33. Тихонов А.Н., Самарский А.А. Уравнения математической физики. М.: Наука, 1977. - 736 с.

34. Филькин Г.В. Методы расчета полей концентрации загрязняющих веществ, поступающих в водотоки со сточными водами. — Диссер. канд. техн. Наук. — Новочеркасск, 1986. 148 с.

35. Новицкий П.В., Зограф Э.Н. Оценка погрешностей измерений. — Л.: Энергия, 1983, 380с.

36. Планирование эксперимента в исследовании технологических процессов //К. Хартман, Э. Лецкий, В.Шефер и др.—М.: Мир, 1977, 552 с.

37. Адлер Ю. П., Маркова Е. В., Грановский Ю. В. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий.—М.: Наука, 1976, 279 с.

38. Ахманов С.А., Дьяков Ю.Е., Чиркин А.С. Введение в статистическую радиофизику и оптику. — М.: Наука, 1981.

39. Бурсиан Э.В. Физические приборы. — М.: Просвещение, 1984, 270 с.

40. Куликовский К.Р., Купер В.Я. Методы и средства измерений. -М.: Энергоатомиздат, 1986.

41. Аналоговые электроизмерительные приборы// Под ред. А.А.Преображенского.— М.: Высшая школа, 1979, 351с.

42. Кремер Н.Ш. Теория вероятностей и математическая статистика: Учебник для вузов. М.: ЮНИТИ-ДАНА, 2001. - 543 с.

43. Антонов В.А. Технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов М. Высш. Шк. 1979, 367 с.

44. Овчинникова Т.М., Таран Л.А., Ротинян А.Л. Изменение кислотности в прикатодном слое при электролизе растворов хлористого никеля // Журнал физической химии. 1962. - Т. 36, вып. 9. - С. 19о9 - 1913. - Т. 6(37). -С. 36-41.

45. Назарова Е.М., Николов Ц. Влияние рН раствора на потенциал нулевого заряда олова, никеля и их сплава (65% Sn и 35% Ni) // Электрохимия. -1980.-Т. 16, вып. 8.-С. 1231-1233.

46. Бланк Т.В . Гольдберг Ю.А. Механизмы протекания тока в омических контактах металл-полупроводник // Физика и техника полупроводников, 2007, т. 41, вып. 11

47. Суржко О.А., Короленко В.А., Люедарский В.А. Кинетика некоторых контактных реакций в магнитном поле // Исследования в области прикладной электрохимии: Сб. науч. тр. — Новочеркасск, 1970 С. 75 - 77.

48. Кукоз Ф. И., Чернов Г. К., Скалозубов М. Ф. //Пром. энергетика 1955, №2, С. 34-35.

49. Бейдер Р. Атомы в молекулах. — М.: Мир. 2001. 532 с.

50. Анималуа А. Квантовая теория кристаллических твёрдых тел. М.: Мир 1991.571 с.

51. Веприков В.И., Дигун О.Г. Основы оптоэлектроники. Учебное пособие. г. Новочеркасск, НГТУ, 1995 103с.

52. Дигун О.Г., Веприков В. И. Сигналы, помехи, шумы. Учебное пособие, г. Новочеркасск, НГТУ, 1994 94 .

53. Мандель JL, Вольф Э. Оптическая когерентность и квантовая оптика: Пер. с англ./Под ред. В.В. Самарцева М.: Наука. Физматлит, 2000. - 896с.

54. Шен И. Р. Принципы нелинейной оптики. М.: Наука 1989. 558 с.

55. Ханин Я. И. Основы динамики лазеров. М.: Наука. Физматлит, 1999. 386 с.

56. В. В. Карпухин, И. А. Соколов, Г. Д. Кузнецов Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов. М.: Металлургия, 1982 г, 352 с.

57. Веприкова Ю. В., Липкин М. С., Веприков В. И. Влияние магнитного поля на кинетику электрохимического восстановления никеля из водных растворов. // Сборник материалов III Международной научно — практической конференции Новочеркасск 2004. С. 42 47.

58. Веприков В. И., Веприкова Ю. В., Киселёв Я.А. Методы расчёта магнитного поля. ЮРГУЭС. Информационные технологии в науке и образовании. Сб. науч. трудов, г. Волгодонск 2003 С. 85 89.

59. Веприков В. И., Веприкова Ю. В., Киселёв Я. А. Методы получения магнитного поля. ЮРГУЭС. // Информационные технологии в науке и образовании. Сб. науч. трудов, г. Волгодонск 2003 .С. 89 — 93.

60. Веприкова Ю. В., Липкин М. С., Веприков В. И. Влияние магнитного поля на кинетику электрохимического восстановления никеля из водных растворов. // Сборник материалов III Международной научно — практической конференции Новочеркасск 2004. С. 42 47.

61. Веприков В. И., Веприкова Ю. В., Киселёв Я.А. Методы расчёта магнитного поля. ЮРГУЭС. Информационные технологии в науке и образовании. Сб. науч. трудов, г. Волгодонск 2003 С. 85 89.

62. Веприков В. И., Веприкова Ю. В., Киселёв Я. А. Методы получения магнитного поля. ЮРГУЭС. // Информационные технологии в науке и образовании. Сб. науч. трудов, г. Волгодонск 2003 .С. 89-93.

63. Веприкова Ю. В., Веприков В. И. Управление дифференцированием внешнего воздействия на подсистемы водных растворов электролитов. //Сборник материалов III Международной научно — практической конференции Новочеркасск 2004. С. 50 52.

64. Веприков В. И. Анализ влияния факторов внешнего воздействияна процесс кристаллизации. // Известия высших учебных заведений. Северо-Кавказский регион. Естественные науки. Приложение №7. г. Ростов-на-Дону. 2003. С. 28 32.

65. Гак Е.И., Рохинсон Э.Х. Применение магнитных полей для управления скоростью электродных процессов // Электронная обработка металлов. — 1973-№4. С. 75-77.

66. Иродов И.Е. Электромагнетизм. Основные законы . 3-е изд., испр. М.: Лаборатория Базовых Знаний, 2000. - 352 с.

67. Горелик С.С., Расторгуев Л.Н., Скаков Ю.А. Рентгенографический и электроннооптический анализ. — М.: Металлургия, 1970. — 369 с.

68. Горелик С.С., Расторгуев Л. Н., Скаков Ю. А. Рентгенографический и электронно-оптический анализ. М., «Металлургия» 1970. 366 е., прил. 106 с.

69. Миркин Л. И. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов. М., Физматгиз, 1961, 863 с.

70. Феттер К. Электрохимическая кинетика. Пер. с нем. М.: Химия, 1967.-856 с.

71. Ротинян А.Л., Козин Е.С. Внутренние напряжения в катодных нмке-левых осадках // Журнал прикладной химии. — 1958 Т. 31, вып. 3. — С. 424 -428.

72. Кудрявцев Н.Т. Электрические покрытия металлами. — М.: Химия, 1979, 1979.-365 с.

73. Хейфец В.Л., Грань Т.В. Электролиз никеля. М.: Металлургия. 1975. -334 с.

74. Рагаускас Р.А., Ляуксминас В.А. Выделение водорода при разряде ионов никеля из хлоридных растворов // Электрохимия. — 1987. — Т. 23, вып. 3-С. 321 -327.

75. Кудрявцева И.Д., Балакай В.И., Свицин Р.А. Исследование возможности применения гальванических покрытий никель — бор // Современные технологические процессы защиты металлов от коррозии: Тез. докл. к конф. Свердловск: СДТ НТО, 1988, - С. 43 - 44.

76. Грань Т.В., Хейфец B.JI. Пути интенсификации процесса электроосаждения никеля. Цветные металлы. - 1964. №4. — С. 22 - 26.

77. Балакай В.И., Кислякова JI.M. Возможности ускорения нанесения никелевых покрытий из разбавленного хлоридного электролита // Исследования в области электрохимии : Сб. науч. тр. Новочеркасск, гос. техн. унт. Новочеркасск: 1996. - С. 34 - 38.

78. Селиванов В.Н., Шестак С.Г., Манохина Н.А., Нотик Т.А. Особенности массопереноса в электролитах никелирования при высоких плотностях тока // Электрохимия. 1999. - Т. 36, вып. 8. - С. 959 - 962.

79. Кудрявцева И.Д., Балакай В.И. Возможность повышения скорости электроосаждения никелевых покрытий // Прогрессивная технология и вопросы экологии в гальванотехнике: Матер, конф. 21-22 сент. 1995. -Пенза: 1995.-С. 14-16.

80. Вайнер Я.В., Даосян М.А. Технология электрохимических покрытий. JL: Машиностроение, 1972. — 464 с.

81. ОСТ4 ГО. 054. 076 Покрытия металлические и неметаллические неорганические. Типовые технологические процессы. Редакция 1 -73, 1973. УДК 621.357.7 Группа В06.

82. Селиванов В.Н. Электроосаждение металлов из малоконцентрированных электролитов-коллоидов // Южно-Российский гос. техн. ун-т. — Новочеркасск: ЮРГТУ, 2001. 85 с.

83. А.Ф. Иоффе, JI.C. Стильбанс, Е.К. Иорданашвили, Т.С. Ставицкая. Термоэлектрическое охлаждение. Изд. АН СССР М. JL, 1956.

84. A. Sagar, J.W. Fanst, J. Appl. Phys. 38, 3479 (1967)/

85. J.M. Schultz, J.P. Mchugh, W.A. Tiller, J. Appl. Phys. 33, 2443 (1962)