Разработка методов и методик проектирования многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат технических наук Шерова, Елена Викторовна

• Шерова, Елена Викторовна
• кандидат технических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат технических наук Шерова, Елена Викторовна

ВВЕДЕНИЕ.

1. МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ.

1.1. Анализ принципов построения и особенностей технологической реализации микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений.

1.1.1. Технология объемной микрообработки.

1.1.2. Технология поверхностной микрообработки.

1.1.3. Смешенная объемно-поверхностная микрообработка.

1.1.4. ЬЮА-технология.

1.1.5. МиМРэ-технология.

1.2. Обзор микромеханических сенсоров линейных ускорений.

1.2.1. Осевые сенсоры линейных ускорений.

1.2.2. Маятниковые сенсоры линейных ускорений.

1.3. Обзор микромеханических сенсоров угловых скоростей.

1.3.1. Сенсоры угловых скоростей ЬЬ-типа.

1.3.2. Сенсоры угловых скоростей ГЛ-типа.

1.3.3. Сенсоры угловых скоростей М1-типа.

1.3.4. Камертонные и волновые сенсоры угловых скоростей.

1.4. Выводы.

1.5. Постановка задач диссертационной работы.

2. РАЗРАБОТКА МЕТОДА И МЕТОДИКИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ДВУХОСЕВЫХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ

УСКОРЕНИЙ С ОДНОЙ ИНЕРЦИОННОЙ МАССОЙ.

2.1. Разработка конструкции двухосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой.

2.2. Моделирование двухосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой.

2.3. Метод и методика проектирования двухосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой.

2.4. Выводы.

3. РАЗРАБОТКА МЕТОДА И МЕТОДИКИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ

ДВУХОСЕВЫХ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ

СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ С ОДНОЙ ИНЕРЦИОННОЙ МАССОЙ И ПРОМЕЖУТОЧНОЙ РАМКОЙ.

3.1. Разработка конструкции двухосевого микромеханических сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой и промежуточной рамкой.

3.2. Моделирование двухосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой и промежуточной рамкой.

3.3. Метод и методика проектирования двухосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой и промежуточной рамкой.

3.4. Выводы.

4. РАЗРАБОТКА МЕТОДА И МЕТОДИКИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ

ТРЕХОСЕВЫХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ

УСКОРЕНИЙ С ДВУМЯ ИНЕРЦИОННЫМИ МАССАМИ.

4.1. Разработка конструкции трехосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с двумя инерционными массами.

4.2. Моделирование трехосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с двумя инерционными массами.

4.3. Метод и методика проектирования трехосевых микромеханическкх сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с двумя инерционными массами.

4.4. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка методов и методик проектирования многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений»

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) определяют одно из перспективных направлений развития микроэлектроники XXI века, которое влечет за собой изменение промышленных и потребительских изделий с большой областью применения. Рынок МЭМС в 2006 году составил ~6,3 млрд долл., а в 2009г. он составит ~11 млрд долл. при среднегодовых темпах прироста 20% [1-17].

Микроэлектромеханические системы - это устройства с интегрированными на поверхности или в объеме твердого тела электрическими и микромеханическими структурами. Статическая или динамическая совокупность этих структур обеспечивает реализацию процессов генерации, преобразования, передачи энергии и механического движения в интеграции с процессами восприятия, обработки, передачи и хранения информации [2,18].

В настоящее время наиболее динамично развивающимися микромеханическими компонентами являются сенсоры угловой скорости и линейного ускорения. Данные компоненты находят применения от микросистем стабилизации изображения в фотоаппаратах, видеокамерах и сотовых телефонах до инерциальных навигационных систем, используемых, как для ориентации и навигации подвижных объектов, так и для мониторинга параметров движения тела человека [7,13-17].

Лидирующими организациями на мировом рынке МЭМС являются ГУ НПК «Технологический центр» МИЭТ (ТУ) (г. Зеленоград), НИИ «Физических измерений (г. Пенза), ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор» (г. Санкт-Петербург), Центр микротехнологий и диагностики ФГОУ ВПО «Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета (ЛЭТИ) им. В.И. Ульянова (Ленина)» (г. Санкт-Петербург), ОАО «Раменское приборостроительное конструкторское бюро» (РПКБ) (г. Москва), Bosh, Delpi, Hewlett Packard, Lionix, Akustica, Discera, Rnowles, Lightconnect, Analog

Devices, STMicroelectronics, Freescale, Infeneon/Sensonor, DALSA Semiconductors и др. [13,15].

Из-за высокой интеграции и междисциплинарной природы МЭМС трудно отделять проектирование устройства от его изготовления. Следовательно, высокий уровень знания производства необходим для проектирования МЭМС-устройства. Кроме того, значительные время и средства затрачиваются на создание опытного образца. Поскольку успешная разработка устройства требует физического и имитационного моделирования, важно, чтобы разработчики МЭМС имели доступ к соответствующим аналитическим инструментам. Поэтому более мощные инструменты имитационного и физического моделирования необходимы для точного прогнозирования поведения МЭМС-устройства [17-20].

Преимуществом математического моделирования является возможность определения структуры, механических и физических параметров элементов МЭМС, а также возможность с помощью моделирования проанализировать функционирование любого сенсорного элемента МЕМС [18,21].

В настоящее время на рынке МЭМС преобладают одноосевые сенсоры угловых скоростей (микромеханические гироскопы) и сенсоры линейных ускорений (микромеханические акселерометры). Однако, для уменьшения массы и габаритных размеров микросистем в целом, целесообразно применение двух- и трехосевых сенсоров угловых скоростей, функционально интегрированных с сенсорами линейных ускорений [4,5,22-29].

В связи с этим задача разработки и исследования сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с двумя и тремя осями чувствительности и методик их проектирования является актуальной.

Таким образом, диссертационная работа посвящена решению актуальной проблемы - функциональной интеграции многоосевых сенсоров угловой скорости и сенсоров линейного ускорения в одном устройстве, что позволяет улучшить массогабаритные характеристики данных микросистем, а также уменьшить их себестоимость, разработке методов и методик проектирования данных сенсоров.

Целью данной диссертационной работы является разработка конструкций интегральных сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки, методов и методик их проектирования.

Для достижения поставленной цели в работе решались следующие основные задачи:

1. Разработка конструкций интегральных сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с двумя осями чувствительности, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки;

2. Разработка конструкции интегрального сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с тремя осями чувствительности, изготавливаемого по технологии поверхностной микрообработки;

3. Разработка и исследование электромеханических моделей интегральных двухосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений;

4. Разработка и исследование электромеханических моделей интегральных трехосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений;

5. Разработка методов и методик проектирования интегральных двухосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений;

6. Разработка методов и методик проектирования интегральных трехосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений;

Научная новизна диссертационной работы выражается в следующем:

1. Предложен метод построения сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений на основе принципов функциональной интеграции;

2. Разработаны и исследованы электромеханические модели одномассовых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с двумя осями чувствительности, выполненных по технологии поверхностной микрообработки;

3. Разработаны и исследованы электромеханические модели двухмассовых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с тремя осями чувствительности, выполненных по технологии поверхностной микрообработки;

Предложенные интегральные конструкции и технологические маршруты изготовления, методы и методики проектирования двух- и трехосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений разработаны при выполнении НИР и внедрены в учебный процесс Технологического института ФГАОУ ВПО «Южный федеральный университет» в г. Таганроге.

Основные результаты работы докладывались на: I, III Ежегодных научных конференциях студентов и аспирантов базовых кафедр Южного научного центра РАН (г. Ростов-на-Дону, 2005г., 2007г.); VIII-IX Всероссийских научных конференциях студентов и аспирантов «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления» (г. Таганрог, 2006, 2008гг.); Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения» (г. Москва, 2006-2010 гг.); XIX Всероссийской научно-технической конференции студентов, молодых ученых и специалистов «Биотехнические, медицинские и экологические системы и комплексы» (г. Рязань, 2006 г.); 14-ой Всероссийской межвузовской научно-практической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2007» (г. Москва, 2007 г.); IX-X Международных конференциях «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы» (г. Ульяновск, 2007-2010 гг.); VII Международной конференции «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии» (г. Кисловодск-г.Ставрополь, 2007 г.); XI Научной молодёжной школе по твердотельной электронике «Нанотехнологии, наноматериалы, нанодиагностика» (г. Санкт-Петербург, 2008 г.); X Конференции молодых ученых «Навигация и управление движением» (г.

Санкт-Петербург, 2008-2009 гг.); Международной научно-технической школе-конференции «Молодые ученые - науке, технологиям и профессиональному образованию» (г. Москва, 2008 г.); Международной научно-технической конференции «Микроэлектроника и наноинженерия -2008» (г. Москва, 2008 г.); Молодёжной школе по твердотельной электронике «Физика и технология микро- и наносистем» (г. Санкт-Петербург, 2009 г.); Всероссийской молодежной школе-семинаре «НАнотехнологии и инНОвации» (г. Таганрог, 2009 г.); Международной научно-технической конференции и молодежной школе-семинаре «Нанотехнологии - 2010» (г. Таганрог, 2010 г.); Ежегодных конференциях профессорско-преподавательского состава ТТИ ЮФУ (г. Таганрог, 2006-2009 гг.) и научных семинарах кафедры КЭС.

По теме исследований опубликовано 31 печатных работ, в том числе 2 научные публикации в изданиях, рекомендованных ВАК, получено 3 патента РФ на изобретение. В ВНИИТЦ зарегистрировано 10 отчетов по НИР, выполненных при участии автора.

Основные положения и результаты, выносимые на защиту:

- интегральные конструкции двухосевых и трехосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений.

- электромеханические модели двухосевых и трехосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений.

- методы и методики проектирования интегральных сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Шерова, Елена Викторовна, 2010 год

1. Бочаров Л.Ю., Мальцев П.П. Состояние и перспективы развития микроэлектромеханических систем за рубежом // Микросистемная техника. -1999. -№ 1,-С. 41-46.

2. Климов Д.М., Васильев A.A., Лучинин В.В., Мальцев П.П. Перспективы развития микросистемной техники в XXI веке // Микросистемная техника. -1999.-№ 1.-С. 3-6.

3. Васенко А., Епифанов В., Юдинцев В. Микроэлектромеханические системы. Настало время выходить в свет. ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес; 1998, № 5-6, с. 55-59.

4. Вернер В.Д., Мальцев П.П., Сауров А.Н., Чаплыгин Ю.А. Синергетика миниатюризации: микроэлектроника, микросистемная техника, наноэлектроника // Микросистемная техника. 2004. - № 7. - С. 23-29.

5. ПогаловА.И., Тимошенков В.П., Тимошенков С.П., Чаплыгин Ю.А. Разработка микрогироскопов на основе многослойных структур кремния и стекла // Микросистемная техника. 1999. - № 1. - С. 36-41.

6. Michalicek М.А. Introduction to micromechanical systems. URL: http://mems.colorado.edu.

7. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие- Тул. Гос. университет: Тула 2002.-392 с.

8. Мартыненко Ю.Г. Тенденции развития современной гироскопии // Соросовский образовательный журнал 1997 - №11- С. 120-127.

9. Picraux S.T., McWhorter P.J. The broad sweep of integrated Microsystems // IEEE Spectrum.-december 1998.-pp.24-33.

10. Гольцова M.M., Юдинцев B.A. МЭМС: Большие рынки малых устройств // Нано- и Микросистемная техника. 2008. - № 4. - С. 9-13.

11. Вернер В.Д., Мальцев П.П., Резнев А.А., Сауров А.Н., Чаплыгин Ю.А. Современные тенденции развития микросистемной техники // Нано- и Микросистемная техника. 2008. - № 8. - С. 2-6.

12. Горнев Е.С., Зайцев Н.А., Равилов М.Ф., Романов И.М., Ранчин С.О., Былинкин Д.А. Анализ разработанных зарубежных изделий микросистемной техники // Микросистемная техника. 2002. - № 7. - С. 6-11.

13. Мальцев П.П. Перспективы разработки микросистемной техники в России // Микросистемная техника 2002 - №8 - С.7-11.

14. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. М.: Машиностроение - 2007. - 400 с.

15. Лысенко И.Е. Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Таганрог: Изд-во ТРТУ.- 2005. - 103 с.

16. Z.Mrcarica, V.B.Litovski, H.Detter. Modeling and simulation of microsystems using hardware description language // Microsystem Tehnologies 1997 - pp.8085.

17. Бубенников A.H. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем: Учеб. Пособие по спец. «Физика и технология материалов и компонентов электронной техники». М.: Высшая школа, 1989. - 320.:ил.

18. Коноплев Б.Г., Лысенко И.Е. Моделирование интегрального микромеханического гироскопа с тремя осями чувствительности // Микросистемная техника. 2006. - № 7. - С. 49-53.

19. Корляков А.В., Лучинин В.В. Перспективная элементная база микросистемной техники // Микросистемная техника. 1999. - № 1. - С. 1215.

20. Соколов Л.В., Твердотельные микроприборы и микросистемы с интегрированными микромеханическими структурами // Зарубежная электронная техника 1998.- №2 - С.62-79.

21. Будкин В.Л., Паршин В.А., Прозоров C.B., Саломатин А.К., Соловьев В.М. Инерциальные датчики для систем навигации и ориентации. // Микросистемная техника 2000 - №2 - С. 31-34.

22. Daniel J.H., Igbal S., Milington R.B. Sensors and Actuators. // A Physical. 1998. -V71. -P.81-88.

23. Шелепин H.A. Кремниевые микросенсоры и микросистемы: от бытовой техники до авиационных приборов // Микросистемная техника 2000 - №1.-С.40-43.

24. Шелепин H.A. Кремниевые преобразователи физических величин и компоненты датчиков // Микросистемная техника 2002 - №9 - С.2-10.

25. Вернер В.Д. Пурцхванидзе И.А. Микросистемы: проблемы и решения // Микросистемная техника- 2002 №10 - С.13-18.

26. Пешехонов В.Г. Ключевые задачи современной автономной навигации // Гироскопия и навигация 1996 - №1 (12).- С. 48-55.

27. Мальцев П.П., Телец В.А., Никифоров А.Ю. Технологии и изделия микроэлектромеханики // Микросистемная техника 2001.- № 10 - С. 18-24.

28. Лучинин В.В., Таиров Ю.М., Васильев A.A. Особенности материаловедческого и технологического базиса микросистем // Микросистемная техника. 1999. - № 1. - С. 7-11.

29. Цветков Ю.Б. Анализ совмещаемости слоев в производстве изделий микросистемной техники // Микросистемная техника. 2004. - № 8. - С. 3337.

30. Михайлов П.Г. Микроэлектронные датчики: вопросы разработки // Микросистемная техника. 2003. - № 1. - С. 4-7.

31. Козин С.А. Технология МЭМС в разработках интегральных датчиков механических параметров // Микросистемная техника 2003 - № 11- С.10-14.

32. Holmes A.S. and Saidam S.M. Sacrificial Layer Process with Laser-driven Release for Batch Assembly Operations // Journal of Microelectromechanical Systems-Vol. 7. No. 4.-December 1998.

33. Колясников B.A., Рахимбабаев Т.Я. Микрожидкостные системы и их реализация с использованием LIGA-технологии // Микросистемная техника. 1999. -№ 1. - С. 15-21.

34. Колясников В. А., Рахимбабаев Т.Я. Синхротронное излучение в микротехнологии // Микросистемная техника. 2000. - № 1. - С. 9-13.

35. Koester D.A., Mahadevan R, Hardy В., Markus K.W. MUMPs design handbook. Revision 5.0. URL: http://www.memsrus.com.

36. W.Sun, W.J.Li, Y.Xu. A MUMPs angular-position and angular-speed sensor with off-chip wireless transmission // Microsystem Technologies 2001- pp.63-70.

37. R.A.Lawes. Fabrication technology for microengineering // Sensor Review-1996-vol. 16,#2.-pp. 16-22.

38. Мальцев П.П., Телец B.A., Никифоров А.Ю. Интегрированные технологии микросистемной техники // Микросистемная техника- 2001- № 11- С.22-24.

39. Willke T.L., Onggosanusi Е. and Gearhart S.S. Micromachined Thick-metal Coplanar Coupled-line Filters and Couplers. // IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest- 1998-Vol. l.-P. 115-118.

40. Sun Y., H. van Zeijl, Tauritz J.L. and Baets R.G.F. Suspended Membrane Inductors and Capacitors for Application in Silicon MMIC's // Microwave and Millimeter-wave Monolithic Circuits Symposium Digest of Papers. IEEE 1996-P. 99-102.

41. Miller D.C., Zhang W. and Bright V.M. Microrelay Packaging Technology Using Flip-chip Assembly. The Thirteenth Annual International // Conference on Micro Electro Mechanical Systems 2000.- P. 265-270.

42. Robertson S.V., Katehi L.P.B. and Rebeiz G.M. Micromachined Self-packaged W-band Bandpass Filters. // IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest. -1995.-Vol.3.-P. 1543-1546.

43. Катыс П.Г., Катыс Г.П. Микродатчики, реализованные на основе МЭМС и МОЭМС // Микросистемная техника 2001.- №11- С.3-7.

44. Королев М.А., Чаплыгин Ю.А., Тихонов Р.Д. Интегрированные микросистемы перспективные элементы микросистемной техники // Микросистемная техника - 2003- № 7- С.6-7.

45. Hocker G.B. MEMS-based sensors. URL: http://bsac.eecs.berkeley.edu.

46. Дж. Фрайден. Современные датчики. Справочник. М.: Техносфера, 2005. -592 с.

47. В.Варадан, К.Виной, К.Джозе ВЧ МЭМС и их применение. Москва: Техносфера,- 2004. — 528с.

48. Muller R.S. Microactuators. URL: http://bsac.eecs.berkeley.edu.

49. Navid Yazdi, Farrokh Ayazi, Khalil Najafi. Micromachined Inertial Sensors // Proceedings of the IEEE.-August 1998.-vol. 86, no. 8,-pp. 1640-1659.

50. Будкин B.JI., Паршин B.A., Прозоров C.B., Саломатин А.К., Соловьев В.М. Инерциальные датчики для систем навигации и ориентации // Микросистемная техника 2000 - №2 - С.31-34.

51. Мокров Е.А., Папко А.А. Акселерометры НИИ физических измерений -элементы микросистемотехники // Микросистемная техника- 2002 № 1-С.3-9.

52. Былинкин С.Ф., Вавилов В.Д., Вавилов И.В., Китаев И.В. Разработка и исследование микросистемных акселерометров // Микросистемная техника — 2003,-№6.- С.2-5.

53. Лестев A.M., Попова И.В., Евстифеев М.И., Пятышев Е.Н., Лурье М.С., Семенов А.А. Особенности микромеханических гироскопов // Микросистемная техника- 2000 — №4 С.16-18.

54. Шахнович И. МЭМС-гироскопы единство выбора // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. - 2007. - № 1. - С.76-85.

55. Сафронов А. и др. Малогабаритные пьезоэлектрические вибрационные гироскопы: особенности и области их применения // Электроника: НТБ-2006. № 8. - С.62-64.

56. Geen J., Krakauer D. New iMEMS Angular-Rate-Sensing Gyroscope // Analog Dialogue 37-03(2003). URL: http://www.analog.com.61 .Ишлинский А.Ю., Борзов В.И., Степаненко Н.П. Лекции по теории гироскопов М.: Изд-во МГУ - 1983 - 248 с.

57. Шестов С.А. Гироскоп на земле, в небесах и на море М.: Знание - 1989188 с.

58. Lestev A.M., Popova I.V. Micromechanical Gyroscopes Present State in Theory and Practice // 5-th St. Petersburg International conf. on integrated navigation systems. 1998. - P. 173-182.

59. Лестев A.M., Попова И.В. Современное состояние теории и практических разработок микромеханических гироскопов // Микросистемная техника.-2000.- №4.- С.81-94.

60. Магнус К. Гироскоп: Теория и применение М.: Мир - 1974 - 526 с.

61. Ачильдиев В.М., Дрофа В.Н., Рублев В.М. Микромеханический вибрационный гироскоп-акселерометр // Микросистемная техника- 2001— №5,- С.8-10.

62. Горнев Е.С., Зайцев H.A., Равилов М.Ф., Романов И.М., Ранчин С.О. Обзор микрогироскопов, . сформированных по технологии объемной микрообработки // Микросистемная техника 2002 - №8 - С.2-6.

63. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Морозова Е.С., Балычев В.Н., Прокопьев Е.П. Передаточные функции чувствительного элемента микромеханического вибрационного гироскопа LL-типа // Нано- и Микросистемная техника-2007- № 9 С.32-34.

64. Джашитов В.Э., Панкратов В.М., Лестев A.M., Попова И.В. Расчет температурных и технологических погрешностей микромеханических гироскопов // Микросистемная техника- 2001- №3 С.2-10.

65. Селезнев В. П. Навигационные устройства: Учебное пособие. М.: Машиностроение, 1974. - 600 с.

66. Броксмейер Ч.Ф. Системы инерциальной навигации. / Пер. с англ. М.И. Малтинского, И.М. Окона, Д.С. Никитина и др.; Под ред. С.С. Ривкина. Л.: Судостроение, 1967. — 279 с.

67. Ривкин С.С. Теория гироскопических устройств. Ч. 1. Л.: Судпромшз, 1962.-507 с.

68. Ривкин С.С. Теория гироскопических устройств. Ч. 2. Л.: Судостроение, 1964.£

69. Полищук Е.В.* Моделирование микромеханического гироскопа-акселерометра // Тезисы докладов 14-ой Всероссийской межвузовской научно-практической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика 2007». - М.: МИЭТ, 2007. - С. 116.

70. Е.Б.Механцев, И.Е.Лысенко. Физические основы микросистемной техники: Учеб. пособие Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2004- 54с.

71. A.B.Александров, В.Д.Потяпов, Б.П.Державин. Сопротивление материалов: Учеб. Для вузов-М.: Высшая школа, 1995- 560 с.

72. В.И.Бутенко, А.Д.Захарченко, И.В.Косов, Д.Л.Ретивова, А.А.Сущенко. Механика машин, механизмов и приборов. Информационно-справочное пособие. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2000.- 248 с.

73. Х.Кухлинг. Справочник по физике: Пер. с нем.-М.: Мир 1982- 520с.

74. И.В.Савельев. Курс общей физики: Учеб. пособие. В 3-х т. Т.1. Механика. Молекулярная физика- 3-е изд., испр М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986.-432 с.

75. Шерова Е.В., Лысенко И.Е. Моделирование упругого подвеса многоосевого микромеханического гироскопа-акселерометра // Известия вузов. Электроника. №4, 2009. С.48-55.эфе

76. M.A.Michalicek. Introduction to micromechanical systems. URL: http ://mems. Colorado, eduФ

77. Шерова Е.В. Модель упругого подвеса микромеханического гироскопа-акселерометра // Тезисы докладов XI научной молодёжной школы по твердотельной электронике "Нанотехнологии, наноматериалы, нанодиагностика".- СПб: Изд-во СПбГЭТУ (ЛЭТИ), 2008.- С.64-65.

78. Лысенко И.Е., Полищук Е.В.* Моделирование микромеханического гироскопа-акселерометра на основе углеродных нанотрубок // Труды IX Международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы». Ульяновск: УлГУ, 2007. - С. 27.

79. Шерова Е.В., Приступчик Н.К. Моделирование многоосевого микромеханического гироскопа-акселерометра // Труды X конференции молодых ученых «Навигация и управление движением».- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2008.- С. 100.

80. Шерова Е.В., Приступчик Н.К. Методика моделирования многоосевого автоэмиссионного акселерометра // Труды X конференции молодых ученых «Навигация и управление движением».- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2008-С. 102.

81. Шерова Е.В., Приступчик Н.К. Методика моделирования многоосевого автоэмиссионного акселерометра // Материалы докладов X конференции молодых ученых "Навигация и управление движением".- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2009.- С. 329-335.

82. Шерова Е.В., Приступчик Н.К. Моделирование многоосевого микромеханического гироскопа-акселерометра // Материалы докладов X конференции молодых ученых "Навигация и управление движением".- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2009.- С. 375-382.

83. Хемди A. Taxa Глава 18. Имитационное моделирование // Введение в исследование операций = Operations Research: An Introduction. — 7-е изд. — M.: «Вильяме», 2007. — С. 697-737. — ISBN 0-13-032374-8

84. Строгалев В. П., Толкачева И. О. Имитационное моделирование. — МГТУ им. Баумана, 2008. — С. 697-737. — ISBN 978-5-7038-3021-5

85. Zhang W.-M., Meng G., Chen Di. Stability, Nonlinearity and Reliability of Electrostatically Actuated MEMS Devices // Sensors. 2007. V. 7. P. 760-796.

86. Ривкин C.C. Статистический анализ гироскопических устройств. JI.: Судостроение, 1970, 424с.

87. Евсеев, М.И. Требования к точности изготовления упругого подвеса микромеханического гироскопа Текст. / М.И. Евсеев, A.A. Унтилов // Гироскопия и навигация №2- 2003 - С.24-31.

88. Челпанов И.Б. Оптимальная обработка сигналов в навигационных системах. М.: Наука, 1967. 392 с.

89. Michael Kranz. Design, Simulation, and Implementation of Two Novel Micromechanical Vibratory-Rate Gyroscopes- M.D.Thesis.- Carnegie Mellon University, May, 1998-p.41.

90. Справочник начинающего радиолюбителя / Под ред.Малинина P.M. М. -JI.: Госэнергоиздат, 1961. - 624с.

91. Стрелков С. П., Введение в теорию колебаний, 2 изд., М., 1964.

92. Горелик Г. С., Колебания и волны, 2 изд., М., 1959.

93. Сивухин Д. В., Общий курс физики, т. 3 — Электричество, М., 1977.

94. Шерова Е.В. Аналитическая модель упругого подвеса микромеханического гироскопа-акселерометра // Труды X Международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы». -Ульяновск: УлГУ, 2008. С. 100.

95. Шерова Е.В. Микромеханический сенсор угловых скоростей и линейных ускорений // Труды X Международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы». Ульяновск: УлГУ, 2008.-С. 106.

96. Шерова Е.В. Модель упругого подвеса трехосевого ММГА // МатериалыМеждународной научно-технической школы-конференции «Молодые ученые науке, технологиям и профессиональному образованию» (Молодые ученые - 2008).- М.: МИРЭА, 2008.- Ч.1.- С. 179-182.

97. Шерова Е.В. Модель микроподвеса трехосевого микромеханического гироскопа-акселерометра // Тезисы докладов XII научной молодёжной школы по твердотельной электронике "Физика и технология микро- и наносистем".- СПб: Изд-во СПбГЭТУ (ЛЭТИ), 2009.- С.79-80.

98. Шерова Е.В. Микромеханический сенсор угловых скоростей и линейных ускорений на основе углеродных нанотрубок // Тезисы докладов всероссийской молодежной школы-семинара «НАнотехнологии и инНОвации» (НАНО-2009). Таганрог: ТТИ ЮФУ, 2009.- С.42-43.