Разработка методики термодинамического анализа и контроля эффективности процесса удаления вентиляционного воздуха высокотехнологичного производства тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, кандидат наук Гундарцев Михаил Александрович

• Гундарцев Михаил Александрович
• кандидат наук
• 2022

Оглавление диссертации кандидат наук Гундарцев Михаил Александрович

Введение

Глава 1. Проблема удаления вентиляционного воздуха высокотехнологических производств

1.1. Особенности подготовки воздуха для высокотехнологических производств

1.2. Технология удаления отработанного воздуха

1.3. Характеристика отработанного воздуха

1.4. Эксергетический подход к оценке эффективности технических систем

1.5. Анализ моделей рассеивания примесей в атмосфере

Основные выводы и постановка задачи исследований

Глава 2. Системный анализ как метод исследования процесса удаления вентиляционного воздуха

2.1. Основные положения методологии системного анализа

2.2. Установление приоритетности задач исследования

2.2.1. Структурно-целевая модель анализа эффективности СУВВ

2.2.2. Методология системного анализа применительно к проблеме выбросов

2.3. Энергетическая оценка эффективности удаления выбросов

2.4. Основы функционально-экологического подхода к анализу эффективности удаления воздуха

2.5. Основы функционально-стоимостного подхода к анализу эффективности

удаления воздуха

Выводы

Глава 3. Системно-термодинамическая оценка эффективности системы

удаления вентиляционного воздуха

3.1. Методика термодинамического анализа и контроля эффективности процесса удаления вентиляционного воздуха

3.1.1. Эксергетический анализ общеобменной вентиляции

3.1.2. Эксергетический анализ местных вытяжных устройств

3.2. Аэродинамический анализ системы удаления вентиляционного воздуха

3.3. Критерии подбора датчика давления для мониторинга системы удаления

вентиляционного воздуха

3.4. Функционально - экологический анализ системы удаления вентиляционного воздуха

3.5. Функционально - стоимостной анализ системы удаления вентиляционного воздуха

3.6. Термоэкономический анализ системы удаления вентиляционного

воздуха

Выводы

Глава 4. Закономерности рассеивания вентиляционных выбросов в атмосфере

4.1. Энерго-экологический анализ системы удаления воздуха

4.2. Теоретические основы рассеивания примесей в атмосфере

4.3. Экологическая характеристика зеленоградской НТПГ

4.4. Построение экологической карты загрязнения промышленных

кластеров

Выводы

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список использованной литературы

Приложение

ВВЕДЕНИЕ Общая характеристика работы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка методики термодинамического анализа и контроля эффективности процесса удаления вентиляционного воздуха высокотехнологичного производства»

Актуальность проблемы.

Атмосфера природно-технической геосистемы является источником технологической среды для наукоемких производств и одновременно компонентом среды обитания человека. Это обстоятельство обуславливает необходимость постоянного контроля её состояния, которое в значительной степени определяется эффективностью системы удаления вентиляционного воздуха (СУВВ) высокотехнологичного производства. Для анализа и контроля эффективности этой системы требуется исследование её энергетических, экологических и экономических показателей.

СУВВ высокотехнологичных производств как подсистема системы кондиционирования воздуха представляет собой совокупность взаимодействующих устройств общеобменной и местной вентиляции и может рассматриваться как термодинамическая техническая система. Тогда к ее исследованию в полной мере применимы принципы системного подхода с последовательной декомпозицией проблемы на взаимосвязанные частные подпроблемы. Установление же взаимосвязи термодинамических, экологических и экономических показателей системы с параметрами окружающей среды должно базироваться на научно-обоснованном анализе всей последовательности происходящих термодинамических превращений в вентиляционном воздухе на его пути к атмосфере.

Использование производством широкого спектра химических веществ, большая часть которых весьма агрессивна и токсична, остро ставит вопрос о качестве отработанного вентиляционного воздуха как загрязнителя атмосферы. Проблема эта имеет комплексный характер, определяемый рядом термодинамических, экологических и экономических аспектов, требующих специфических решений в виде сочетания системного и термодинамического подходов. Необходимо также учитывать, что повышение экологичности

выбросов способствует росту конкурентоспособности производства, и, таким образом, исследование проблем контроля эффективности СУВВ имеет не только научное, но и практическое значение, что представляется своевременным и актуальным.

Объектом исследования является система удаления вентиляционного воздуха высокотехнологичного производства.

Предметом исследования - эффективность функционирования системы удаления вентиляционного воздуха высокотехнологичного производства.

Цель работы и задачи:

Целью диссертационной работы разработка способов повышения эффективности и экологичности процесса удаления вентиляционного воздуха высокотехнологичного производства.

Достижение поставленной цели обеспечивается решением следующих задач:

1. Анализ современного состояния проблемы, связанной с повышением эффективности процесса удаления отработанного вентиляционного воздуха высокотехнологичного производства.

2. Проведение системно-структурного анализа СУВВ и определение взаимосвязи между основными элементами системы, обеспечивающими ее эффективную эксплуатацию.

3. Разработка методики термодинамического анализа и контроля эффективности СУВВ на основе расчета эксергетического баланса и потерь эксергии в элементах системы.

4. Проведение аэродинамического анализа СУВВ и установление критерия ее эффективности на основе взаимосвязи потерь давления и эксергии.

5. Проведение энерго-экологического, функционально-экологического и функционально-стоимостного анализа системы, устанавливающего взаимосвязи между ее термодинамическими и эколого-экономическими показателями.

6. Исследование рассеивания примесей вредных веществ удаляемого вентиляционного воздуха в атмосфере, компьютерное моделирование полей их концентраций и разработка рекомендаций по оценке экологичности СУВВ.

Научная новизна работы состоит в следующем:

1. Разработана методика оценки эффективности функционирования СУВВ, основанная на применении термодинамического анализа и сопоставлении аэродинамических и эксергетических потерь в элементах системы кондиционирования, позволяющая оперативно оценивать эффективность её функционирования.

2. Установлены взаимосвязи между термодинамическими и эколого-экономическими показателями системы, позволяющие определить потери эксергии и соответствующие им финансовые затраты.

3. Установлен критерий на основе экологического индекса, связывающий значения эксергии выбросов вентиляционного воздуха с экономическим ущербом атмосфере, и позволяющий оценить экологичность различных вариантов аппаратных систем для удаления вентиляционного воздуха.

4. Определены закономерности рассеивания примесей вредных веществ в удаляемом вентиляционном воздухе, в зависимости от погодно-климатических условий с компьютерным отображением полей их концентраций в атмосфере, позволяющим построить экологические карты загрязнений. (Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2019665511 от 29.11.2019 г.).

Теоретическая и практическая значимость работы состоит в следующем:

1. Разработаны модели энерго-экологического, функционально-экологического, функционально-стоимостного анализа СУВВ.

2. Установлен критерий, связывающий потери эксергии выбросов с экономическим ущербом атмосфере, и позволяющий оценить экологичность различных вариантов аппаратных решений СУВВ.

3. С использованием термодинамических и эколого-экономических показателей разработаны практические рекомендации по оценке эффективности СУВВ.

4. Разработан высокоточный датчик давления и проведены его климатические испытания, подтверждающие целесообразность его включения в систему контроля аэродинамического режима при удалении вентиляционного воздуха.

5. Посредством установления связей аэродинамических и эксергетических потерь разработаны практические рекомендации по контролю эффективности СУВВ.

6. Построены экологические карты загрязнения атмосферы промышленных кластеров Зеленоградской природно-технической геосистемы.

Личный вклад автора.

Все основные результаты диссертации получены лично автором. Главными из них являются:

1. Определение проблемной области исследований, формулировка цели и основных задач диссертационной работы.

2. Проведение системного анализа современного состояния проблемы удаления отработанного вентиляционного воздуха в атмосферу и обоснование применимости системного подхода к ее исследованию.

3. Выполнение системно-структурного анализа, позволившего установить основные взаимосвязи между элементами СУВВ, и обеспечивающие ее эффективную эксплуатацию.

4. Проведение термодинамического анализа СУВВ на основе расчётов эксергетического баланса и основных показателей эффективности для выявления количественного и качественного потенциала воздействия на атмосферу природно-технической геосистемы.

5. Выполнение аэродинамического анализа и установление критерия эффективности на основе взаимосвязи потерь давления и эксергии СУВВ.

6. Проведение компьютерного моделирования рассеивания примесей вредных веществ удаляемого воздуха в атмосферу, оценка их концентраций, разработка рекомендаций по оценке экологичности СУВВ и построение экологической карты загрязнения атмосферы промышленных кластеров природно-технической геосистемы.

Внедрение результатов работы.

Результаты работы внедрены в учебный процесс МИЭТ при подготовке УМК ряда дисциплин магистерской программы «Безопасность технологических процессов и производств» направления «Техносферная безопасность» Национального исследовательского университета «МИЭТ», а также в АО «Ангстрем» при разработке нормативной документации предприятия (Приложение 1).

Методология и методы исследования.

Теоретической и методологической базой диссертации являются законы и методы классической термодинамики, ее раздела - эксергетического анализа, а при решении задач оценки эффективности сложных термодинамических систем, исследования их экологичности и выявления резервов энергосбережения -методология системных исследований.

В работе использован экспериментально-аналитический подход к решению рассматриваемой проблемы в соответствии с существующими положениями экоаналитической науки и практики. Основу исследований составляют структурно-функциональный, функционально-экологический и функционально-стоимостной анализ эффективности системы удаления воздуха чистых помещений.

Достоверность полученных результатов.

Достоверность теоретических результатов, полученных посредством системного анализа, обусловлена проверками их на адекватность на основе экспериментальных данных и сравнением со сведениями других исследователей. Фактические значения потерь давления получены экспериментально с помощью сертифицированного измерительного оборудования при натурных исследованиях. Расхождения между расчетными и

экспериментальными данными исследований находятся в пределах погрешности инженерных расчётов.

Апробация работы.

Основные положения и результаты работы докладывались на следующих научных конференциях и семинарах:

1. 24-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2017» (Москва, 2017);

2. 25-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2018» (Москва, 2018);

3. 26-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2019» (Москва, 2019).

4. 27-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2020» (Москва, 2020).

5. «Закономерности развития современного естествознания, техники и технологий» (Белгород, 2018).

6. IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, EIConRus, 2020 (Москва, 2020).

7. IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, EIConRus, 2021 (Москва, 2021).

8. International Seminar on Electron Devices Design and Production (SED-2021, Prague, Czech Republic).

9. European Conference on Renewable Energy Systems (ECRES 2021, Istanbul, Turkey).

Публикации:

Основные положения диссертационной работы опубликованы в 22 работах, в том числе 4 статьи в журналах, входящих в перечень изданий, рекомендованных ВАК РФ и 6 публикации в зарубежных изданиях, включенных в систему цитирования «Scopus». Разработаны две программы для

9

ЭВМ, имеющие Государственную регистрацию и 4 патента РФ на промышленные образцы. Результаты, содержащиеся в работах, выполненных в соавторстве, и включенные в диссертацию, получены автором лично и включены в диссертацию с согласия и одобрения соавторов этих работ.

Структура и объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы из 129 наименований и Приложения. Объем пояснительной записки диссертации составляет 130 страниц машинописного текста, включая 42 рисунка и 20 таблиц.

ГЛАВА 1. ПРОБЛЕМА УДАЛЕНИЯ ВЕНТИЛЯЦИОННОГО ВОЗДУХА ВЫСОКОТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОИЗВОДСТВ

1.1. Особенности подготовки воздуха для высокотехнологических

производств

Эффективность функционирования высокотехнологических производств является фактором существенного влияния на качество окружающей атмосферы одновременно как сырья для производственной технологической среды и как среды обитания человека [1-5]. Поэтому важнейшим аспектом успешности производства наряду с энергетическим является экологический, связанный с процессами очистки отработанного воздуха. Таким образом, задача повышения энергоэффективности на всех этапах транспортировки и преобразования воздуха и задача экологической эффективности являются актуальными, решение которых имеет далеко идущие положительные последствия.

Многочисленность различных технологических операций, особые свойства материалов и веществ, подвергаемым различным механическим, физическим и химическим воздействиям, разнообразие и неоднозначность факторов производственной и внешней среды, подлежащих контролю и управлению, составляют основные отличительные особенности технологических процессов высокотехнологических производств.

Обеспечение условий такого производства (минимизация концентрации аэрозолей и высокая точность поддержания параметров микроклимата) является целевой функцией системы кондиционирования воздуха, трансформирующей атмосферный воздух в технологическую среду определенного качества и удаляющей его в виде выброса в ОС. Протекающие при этом физико -химические, аэродинамические и термодинамические процессы изменяют свойства воздуха, отражающиеся на технико-экономических, энергетических и эколого - гигиенических показателях системы.

Контроль множества параметров и характеристик процессов, координация

всего энергетического, технологического и вспомогательного оборудования,

11

учет погодно-климатических и физиолого - гигиенических факторов, а также требований по организации производства, составляет основу успешного функционирования системы.

Исследования процессов подготовки воздуха для высокотехнологических производств как научной и практической проблемы привели в свое время к созданию обобщенной концепции технологической экологии, учитывающей различные аспекты эффективной эксплуатации СКВ [6-10]. Комплекс вопросов проектирования и эксплуатации высокотехнологических производств с расчетом и выбором технологического оборудования по критерию минимума пыле генерации рассматривался в работах отечественных и зарубежных исследователей, систематизировавших полученные теоретические и практические результаты, актуальные для того уровня технологий [6,7]. К настоящему времени можно отнести работы по теории ростового процесса молекулярных загрязнений и научным основам контроля чистоты поверхностей высокотехнологичных изделий [11-13].

В свете тенденций развития и повышения требований к технологическому микроклимату при современной строгости экологического законодательства достигнутые ранее результаты требуют углубления и расширения в направлении более полного учета взаимосвязи технических характеристик внешней средой и с аппаратно - технологическими особенностями СКВ, на оценку технологической, энергетической и экологической эффективности ее функционирования, на возможные физико-химические превращения в обрабатываемом и удаляемом воздухе [14-18]. В современных условиях производство конкурентоспособной продукции напрямую увязывается с энерго - экологическими характеристиками процесса удаления отработанного воздуха в ОС.

Основная функция (Ф) СКВ по обеспечению технологического микроклимата реализуется с помощью трёх подсистем ПС1, ПС2 и ПС3, выполняющих три главные функции Ф1, Ф2 и Ф3 (рисунок 1.1).

Рисунок 1.1 - Структурно - функциональная схема подготовки воздуха

Функция Ф1 подсистемы ПС1 состоит в первичной обработке наружного воздуха с учетом климато - метеорологических и экологических характеристик внешней атмосферы, определяющих фазово-компонентные превращения в воздухе в процессе его кондиционирования.

Функция Ф2, обеспечиваемая подсистемой ПС2, реализующей обработку воздуха как технологической среды, занимает главенствующее положение в обеспечении основной технологии, и именно она определяет структуру и энергоемкость генеральной схемы.

Функция Ф3, выполняемая подсистемой ПС3 в виде системы удаления вентиляционного воздуха (СУВВ), обеспечивает качество воздуха после выхода из системы с его термодинамическими и экологическими характеристиками, определяющими целесообразность его рекуперации через рециркуляционный контур (РЦК) или возможность его прямого удаления в ОС, а также необходимость его очистки от примесей с учетом экономических аспектов этой проблемы. В соответствии с природоохранным законодательством СУВВ должна включать аппараты очистки и обезвреживания воздуха, нагретого и обогащенного различными примесями, что характеризует эколого-экономическую сторону всей воздухоподготовки. В конечном счете здесь определяются объемы и состояния воздуха, направляемого в рециркуляционный контур и в атмосферу. Таким образом, главная функция СУВВ состоит в обеспечения вентиляционных выбросов в атмосферу в соответствии с

критерием безопасности техносферы в виде ограничения содержания вредных веществ в пределах ПДК для населенных мест.

Как правило, СУВВ включает в себя две основные подсистемы: общеобменную вытяжную вентиляцию, обеспечивающую нормируемую кратность воздухообмена и ассимилирующая теплоизбытки при отсутствии вредных примесей и местные устройства (МУ) в виде вытяжной органической вентиляции для устранения органических веществ адсорбционным методом, вытяжной кислотной, нейтрализующей пары кислот водным раствором щелочи и вытяжной щелочной, обезвреживающей пары щелочей. Помимо этого, для очистки от специальных газов (токсичных, пожаро-взрывоопасных) могут использоваться местные вытяжные устройства с аппаратами каталитического дожигания.

Независимо от принципа очистки на практике приходится сталкиваться с проблемой выбросов в атмосферу, связанной с изменениями термодинамических свойств удаляемого воздуха, содержащего специфические примеси. Поэтому СУВВ, как достаточно сложная техническая подсистема СКВ, в силу объективных причин может быть выделена в отдельное направление.

Все подсистемы СКВ функционируют во взаимодействии с равновесной окружающей средой, параметры которой (температура воздуха, его давление и состав) не зависят от действия системы, но в значительной степени определяют её характеристики. По сути дела СУВВ - это подсистема большой наукоемкой природно-технической системы, включающей также и городскую атмосферу, что делает целесообразным применение для ее исследования методологии системного анализа. В то же время СУВВ - это техническая термодинамическая система, представляющая собой совокупность взаимодействующего друг с другом оборудования, анализ которой должен осуществляться с учетом всех входных и выходных энергетических факторов процессов обработки и транспортирования воздуха.

1.2. Технология удаления отработанного воздуха

В настоящее время для выполнения функции Ф3 широко применяются две основные схемы организации потока, удаляемого из помещений и из местных устройств технологического оборудования (ТО) воздуха:

- при подаче от потолочных воздухораспределителей (ПВР) через вытяжные решетки (ВР) в нижней части чистого помещения ЧП (рисунок 1.2 а);

- при подаче от финишных фильтров (ФФ) через фальшпол (ФП) и подфальшпольное пространство (ПФП) (рисунок 1.2 б).

По классификации ГОСТ Р ЕН 13779-2007 «Вентиляция в нежилых зданиях. Технические требования к системам вентиляции и кондиционирования» как вытяжной из помещений воздух, так и удаляемый в ОС характеризуются очень высоким уровнем загрязнения [19-23]. В связи с этим должно соблюдаться минимальное расстояния между приемными устройствами наружного воздуха и устройствами для удаления воздуха за пределы здания. При этом эти устройства должны располагаться таким образом, чтобы свести до минимума влияние ветра и восходящих потоков воздуха.

а) б)

Рисунок 1.2 - Схема удаления воздуха через вытяжные решетки (а) и через

фальшпол (б).

Преимущества вытяжных решеток состоят в простоте и невысоких капитальных затратах на сооружение системы удаления воздуха, что в то же время не позволяет получить однонаправленный потоком воздуха по высоте технологического оборудования, установленного на полу помещения.

При использовании ФП отработанный воздух попадает в ПФП, соединенное с системой вытяжных воздуховодов и очистных аппаратов, через которые осуществляется выброс, что чаще всего характерно для высокотехнологичных производств высоких классов с ламинарным режимом потока. Воздуховоды прокладываются как внутри, так и снаружи помещения и могут достигать протяженности в десятки и сотни метров.

При организации выброса вентиляционного воздуха находят применение две основные схемы: прямоточные системы (ПрС) с удалением в атмосферу всего объема отработанного воздуха и с рециркуляцией его основной части (до 90%) (рисунок 1.3).

из СКВ

в ОС

Рисунок 1.3 - Структурная схема СУВВ

При наличии фальшпола (ФП) входными элементами для потока воздуха является пространство перед ним, далее следуют выход из ФП, подфальшпольное пространство (ПФП), предварительный фильтр (ПФ), основной фильтр очистки удаляемого воздуха (ОФ), вытяжной вентилятор (В), воздуховоды (ВВ) и вытяжное устройство (ВУ). В итоге воздух с

термодинамическими параметрами, приобретенными в СУВВ, поступает в атмосферу с термодинамическими параметрами ОС.

Взаимодействие потоков с различными энергетическими потенциалами инициирует ряд физико-химических процессов, определяющих трансформацию химических веществ под влиянием факторов внешней среды. Актуальным становится установление свойств и термодинамических характеристик удаляемого воздуха, а также закономерностей рассеивания примесей как основы адекватного мониторинга атмосферы.

1.3. Характеристика отработанного воздуха

Исходным рабочим телом в СКВ является наружный воздух (НВ) с его термодинамическими и фазово-компонентными характеристиками, определяемыми техносферной нагрузкой и погодно-климатическими условиями. Его однофазное состояние в виде смеси влажного и сухого воздуха наблюдается редко, как правило, он представляет собой многокомпонентную и многофазную гетерогенную систему. В общем случае в СКВ воздух поступает в виде (2-3)-х фазной и (6-8)-и компонентной смеси. В процессе дальнейшей обработки в подсистемах и элементах СКВ и СУВВ воздух может представлять трехфазную многокомпонентную систему (рисунок 1.4).

' ФФ ПФ (3-х фазная ОФ (3-х В (3-х фазная ВУ(3-х фазная

3-х фазная многокомпоне фазная многокомпон многокомпон

многокомпоне нтная смесь) многокомпон ентная смесь) ентная

нтная смест ентная смесь) смесь)

—ФЯ — |---- в ОС

в РЦК ПФП

Г

Рисунок 1.4 - Изменение свойств потока рабочего тела в СУВВ Можно выделить следующие процессы, определяющие характер эксергии и методику ее расчета (рисунок 1.3):

1. Изменение свойств потока за счет снижения концентрации аэрозолей без протекания химических реакций в ПФ, т.е. речь идет о разделении гетерогенной смеси.

2. Изменение свойств потока за счет его возможного увлажнения в ОФ в СУВВ, т.е. наблюдается смешение смеси.

3. Изменение свойств потока после выхода из СУВВ с образованием вторичных химических соединений в атмосфере.

В первом случае новые вещества не образуются, и эксергия определяется для компонентов дисперсной системы в виде влажного воздуха и пыли. Уровнем отсчета являются термодинамические параметры окружающей природной среды.

Во втором случае в потоке появляются вещества, отсутствующие в поступающем воздухе. При отсутствии полезной работы при адиабатическом смешении газов и других веществ определяется эксергия смеси влажного и сухого воздуха в целом.

Для третьей ситуации характерна химическая эксергия элемента или соединения, определяемая в общем случае суммой двух составляющих (реакционной ег и концентрационной ек), зависящих от концентрации вещества в смеси.

Поскольку СУВВ реализует разнохарактерные процессы, при оценке их эффективности целесообразно определять разности эксергии, значения которых не зависят от уровня отсчёта эксергии.

В настоящее время в области вентиляции и кондиционирования воздуха

все методики расчетов и нормативная документация основаны на

предположении об однофазном составе воздуха. В то же время, высказанные

соображения свидетельствуют о том, что отработанный воздух представляет

собой неоднородную газовую систему, состоящую из двух или нескольких фаз,

представленными твердыми пылевыми или жидкими и газообразными

частицами химических веществ и соединений, образовавшимися в

производственном процессе. Это обстоятельство приводит к ряду вопросов,

18

связанных с многофазностью и многокомпонентностью среды в элементах СУВВ и связанного с этим ее аппаратного решения.

Возможно предположение, что влияние пылевых частиц на качество выброса системы невелико в силу их невысокой концентрации, в то время как концентрация жидких или газообразных частиц может быть значительной (особенно для МУ), что, в конечном счете, и определяет экологичность высокотехнологичных производств.

Опираясь на структурную схему СУВВ (рисунок 1.3) можно проследить процессы трансформации отработанного воздуха на пути от ФП до его выброса в ОС (рисунок 1.5).

Динамика изменения концентрации пыли при прохождении воздушного потока через систему удаления иллюстрируется на рисунке 1.5 (а). Некоторое возрастание загрязненности на участках (1-2-3, 4-5, 6-7-8-9-10) объясняется эрозией воздуховодов и деталей вентилятора. Снижение концентрации примесей (Спр) до требований экологического законодательства происходит на предварительной (ПФ) ВЗ (участок 3-4) и окончательной фильтрации (ОФ) (участок 5-6).

Эффективность, количество ступеней, виды очистного оборудования для СУВВ могут быть определены из уравнения материального баланса примесей в виде пыли, газов или паров

По = Суд / (Сфф + Спг), (1.1)

где По=1-(1- Ппф)(1- Поф), По, Ппф, Поф - эффективности общая, предварительного и основного фильтров; Сфф - концентрация примесей в приточном воздухе после ФФ; Суд - концентрация примеси в удаляемом воздухе; Спг - концентрация примесей в воздухе за счет генерации в ЧП.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Гундарцев Михаил Александрович, 2022 год

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

1. Попова Н.В. Разработка и реализация унифицированного комплекса мониторинга состояния городской воздушной среды. / Дисс. на соиск. уч. степ. канд. техн. наук. - М.: 2012. - 166 с.

2. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С., Попова Н.В. Особенности организации системы мониторинга атмосферы наукоемкой природно-технической геосистемы. // Экология промышленного производства. -2014. №1(85). с.19-22.

3. Рябченко, О. И. Аспекты производственной безопасности и технического сервиса в системе "человек - среда обитания" / О. И. Рябченко, Я. В. Зачиняев, И. Х. Эмиров // Технико-технологические проблемы сервиса. -2012. - № 2(20). - С. 61-66.

4. Ахмадиев, Г. М. Актуальные экологические проблемы среды обитания человека / Г. М. Ахмадиев // NovaInfo.Ru. - 2018. - Т. 1. - № 90. - С. 281-289.

5. Новые технические разработки в области защиты среды обитания человекаКатин В.Д., Нестеров В.И.В сборнике: Интеллектуальная собственность в инновационном развитии региона. Материалы IV региональной научно-практической конференции - 2021. С. 15-17.

6. Каракеян В.И. Научные основы нормализации основных параметров микроклимата технологии интегральных схем в чистых производственных помещениях. / Дисс. на соиск. уч. степ. докт. техн. наук. - М.: 1994. - 461 с.

7. Рябышенков А.С. Разработка методов расчета элементов рециркуляционных контуров в чистых помещениях. /Дисс. на соиск. уч. степ. канд. техн. наук. - М.: 1994. - 153 с.

8. Уляшева, В. М. Совершенствование очистки воздуха в системах обеспечения микроклимата чистых помещений / В. М. Уляшева, С. М. Анисимов, Е. В. Михайлов // Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова. - 2019. - № 2. - С. 81-87. -DOI 10.12737/агйс1е 5с73ЫЬ02с9а5.88217220.

9. Tuleuova, G. K. Use of environmentally friendly construction and finishing materials in the solution of the problem of optimization of the Indoor climate / G. K. Tuleuova, Zh. M. Abdramanova // Актуальные научные исследования в современном мире. - 2020. - No 5-4(61). - P. 45-48.

10. Thu, P. Analysis of the air conditioning and filtration systems in cleanrooms / P. Thu, S. Ryabyshenkov Andrei, M. Larionnov Nikolai // Proceedings of the 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2018, St. Petersburg and Moscow, 29 января - 01 2018 года. - St. Petersburg and Moscow: Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2018. - P. 1916-1919. - DOI 10.1109/EIConRus.2018.8317483.

11. Редин В.М. Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационныхтранспортных средстви чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники. / Дисс. на соиск. уч. степ. докт. техн. наук. - М.: 1992. - 448 с.

12. ГОСТ Р 56640-2015. ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ. Проектирование и монтаж. Общие требования.

13. ГОСТ Р 56638-2015. ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ. Вентиляция и кондиционирование воздуха. Общие требования.

14. Каракеян В.И., Севрюкова Е.А. Экспериментальное исследование агломерации наночастиц при изменении влажности в чистом помещении микроэлектроники. //Оборонный комплекс-научно-технническому прогрессу России. - 2011. №3. c.56-58.

15. Севрюкова Е.А. Теория ростового процесса молекулярных загрязнений и научные основы контроля чистоты поверхностей изделий индустрии высоких технологий. / Дисс. на соиск. уч. степ. докт. техн. наук. -М.: 2016. - 286 с.

16. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2017617789 Российская Федерация. Программа "ClearView" для моделирования движения частиц пыли, осаждаемых в чистом помещении : № 2017614172 :

заявл. 04.05.2017 : опубл. 12.07.2017 / В. М. Рощин, А. С. Рябышенков, Д. А.

113

Гущарин [и др.] ; заявитель федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники».

17. Бахвалов, А. В. Исследование взаимосвязи между количеством аэрозольных частиц и микроорганизмов в чистых помещениях / А. В. Бахвалов, А. В. Берестина // Гармонизация подходов к фармацевтической разработке : сборник тезисов II Международной научно-практической конференции, Москва, 14 ноября 2019 года. - Москва: Российский университет дружбы народов (РУДН), 2019. - С. 72-75.

18. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2019660604 Российская Федерация. Программа для ЭВМ "Автоматизированная система управления параметрами микроклимата чистых помещений на базе ПЛК" : № 2019619578 : заявл. 25.07.2019 : опубл. 08.08.2019 / А. В. Сердцева.

19. ГОСТ Р 54428-2011 «Системы технические энергетические. Методы анализа». Часть 1. Основные положения. М.: Стандартинформ,2012.- 15 с.

20. ГОСТ Р ЕН 13779-2007 «Вентиляция в нежилых зданиях. Технические требования к системам вентиляции и кондиционирования». Москва, Стандартинформ, 2008.

21. Aliev, S. A. The importance of using a mechanical system of ventilation with heat recovery in residential buildings / S. A. Aliev // Modern Science. - 2019. -No 4-2. - P. 13-16.

22. Principles and means of developing heating and ventilation system of multistorey residential buildings / F. D. Nurmirzayev, M. X. Abelqosimova, N. Sh. Mansurova, K. O. Sobirjonova // Theoretical & Applied Science. - 2019. - No 5(73). - P. 658-663. - DOI 10.15863/TAS.2019.05.73.104.

23. Model predictive control for building energy reduction and temperature regulation / T. Zhang, M. P. Wan, B. F. Ng, S. Yang // IEEE Green Technologies Conference : Smart City, Austin, TX, 04-06 апреля 2018 года. - Austin, TX, 2018. -P. 100-106. - DOI 10.1109/GreenTech.2018.00027.

24. Бродянский В.М., Фратшер В., Михалек К. Эксергетический метод и его приложения. Под ред. В.М. Бродянского. -М.: Энергоатомиздат, 1988.

- 288 с.

25. Казаков В.Г., Луканин П.В., Смирнова О.С. Эксергетические методы оценки эффективности теплотехнологических установок: учебное пособие. СПб ГТУРП. - СПб., 2013.- 93 с.

26. Э.Э. Меркер, Г.А. Карпенко, И. М. Тынников. Энергосбережение в промышленности и эксергетический анализ технологических процессов. Издательство: ООО "ТНТ", 2012г.

27. Теоретические основы энерго- и ресурсосбережения в химической технологии: учебное пособие / О.А. Тишин, В.Н. Харитонов, Н.Ц. Гатапова, А.Н. Колиух. - Тамбов: Изд-во ФГБОУ ВПО «ТГТУ», 2012. - 92 с.

28. Использование эксергетического метода при термодинамическом анализе газовых процессов в тепловых машинах / Ф. И. Абрамчук, А. И. Харченко, А. И. Воронков, И. Н. Никитченко // Вестник Харьковского национального автомобильно-дорожного университета. - 2011. - № 53. - С. 3244.

29. Игонин, В. И. Об очевидности проявления свойств интегральности при системном термодинамическом анализе энергетической установки / В. И. Игонин // Международный научно-исследовательский журнал. - 2012. - № 5-2(5). - С. 93-94.

30. Mathematical modeling of an air split-conditioner heat pump operation for investigation its exergetic efficiency / V. Y. Labay, V. Y. Yaroslav, O. M. Dovbush, A. Y. Tsizda // Mathematical Modeling and Computing. - 2020. - Vol. 7. - No 1. - P. 169-178. - DOI 10.23939/mmc2020.01.169.

31. Mathematical modeling of a split-conditioner operation for evaluation of exergy efficiency of the R600A refrigerant application / V. Labay, O. Dovbush, V. Yaroslav, H. Klymenko // Mathematical Modeling and Computing. - 2018. - Vol. 5.

- No 2. - P. 169-177. - DOI 10.23939/mmc2018.02.169.

32. Каракеян В.И., Рябышенков А.С., Гундарцев М.А. Эксергетический анализ системы воздухообмена чистых помещений. Извест. ВУЗов. Электроника, 2019, т. 24, вып. 6. С. 573-580. DOI: 10.24151 / 1561-5405-2019-246-573-580.

33. Иванова А. П. Эксергетический анализ воздушно-холодильных машин в составе авиационных систем кондиционирования воздуха:/ Дисс. На соискание ученой степени кандидата технических наук. Новосибирск, 2013.176 с.

34. Игонин В. И. Об очевидности проявления свойств интегральности при системном термодинамическом анализе энергетической установки / В. И. Игонин // Международный научно-исследовательский журнал. — 2012. — №5 (5). — С. 93—94.

35. Иванова А. П. Эксергетический анализ воздушно-холодильных машин в составе авиационных систем кондиционирования воздуха:/ Дисс. На соискание ученой степени кандидата технических наук. Новосибирск, 2013.176 с.

36. Пащенко Н.И. Термодинамический анализ циклов систем кондиционирования воздуха: /Дисс. на соискание ученой степени кандидата технических наук. Новосибирск, 2010.- 155с.

37. В. Вычужанин. Эксергетический метод анализа эффективности комплекса система комфортного кондиционирования воздуха. Журнал С.О.К. Сантехника. Отопление. Кондиционирование. 2016.

38. Баймачев Е.Э. Определение минимальных затрат эксергии на отопление и естественную вентиляцию жилых зданий // Изв. вузов. Стр-во. -2014. N 7, с. 67-73.

39. Бэс Т. Эксергия в процессах отопления, кондиционирования воздуха и сушки. // Вопросы термодинамического анализа (эксергетический метод) / Пер. - М.: Мир, 1965. - сс.139-149

40. И.О.Суходуб, В.И. Дешко. Эксергетический анализ систем вентиляции с утилизацией полной теплоты //Инженерно-строительный журнал, №2, 2014, сс.36-46.

41. Галимова Л. В. Гуиди Тоньон Клотильде. Влияние внутренних рабочих параметров на эксергетические характеристики аммиачных холодильных установок различного назначения. / Вестник Астраханского государственного технического университета. Серия: Морская техника и технология, 2011, №1, сс.96-100

42. Казаков Р.А., Дарда И.В., Зволинский В.П. Основы теоретического анализа энергетической и экологической эффективности металлургических предприятий. // Современные проблемы науки и образования. 2012, № 4. сс. 38-43;

43. Адаменко О. Е. Эксергетический анализ в технологии получения цементного клинкера: Дисс. на соискание ученой степени кандидата технических наук: Москва, 1997, 214 с.

44. Горбачев М. В. Оценка эффективности цикла воздушно-холодильной машины в составе авиационной СКВ с помощью "метода циклов." / М. В. Горбачев // Научный вестник НГТУ, № 1 (42), с. 105-116.

45. Степанова Т.Б. Разработка методов комплексного энергетического анализа технических систем: Дисс. на соискание ученой степени доктора технических наук: Иркутск, 2000.- 348 с.

46. Берлянд М.Е. Современные проблемы атмосферной диффузии и загрязнения атмосферы. - Л.: Гидрометеоиздат, 1975. - 449 с.

47. Бызова Н.Л., Гаргер Е.К., Иванов В.Н. Экспериментальные исследования атмосферной диффузии и расчёты рассеяния примеси. - Л.: Гидрометеоиздат, 1991. - 278 с.

48. Гундарцев М.А., Каракеян В.И., Рябышенков А.С., Шараева В.П. Применение методологии энергоэкологического анализа для исследования системы удаления воздуха чистых помещений в микроэлектронике // Известия

вузов. Электроника. 2021. -Т. 26. № 3-4. С. 328-332.

117

49. Методы расчетов рассеивания выбросов вредных (загрязняющих) веществ в атмосферном воздухе. ПриказМинприроды России от 6 июня 2017 года N 273, 110с.

50. Кольцова О. В. Физико-химическое моделирование превращений ингредиентов воздушной среды в системе мониторинга на примере г. Зеленограда. / Дисс. на соиск. уч. степ. канд. техн. наук. - М.: МИЭТ, 2012. -147 с.

51. Чернявский С.А. Исследование трансформации химических примесей в атмосфере и оценка экологического риска как условие повышения информативности системы мониторинга. / Дисс. на соиск. уч. степ. канд. техн. наук. -М.: МИЭТ, 2015. - 136 с.

52. Швыряев И. А. Физико-химические превращения в атмосфере и оценка экологического риска от выбросов промышленных объектов. / Дисс. на соиск. уч. степ. канд. хим. наук. М.: МГУ им. М.В. Ломоносова, 2006. - 211 с.

53. Pleshko, E.S., Riabyshenkov, A.S., Gundartcev, M.A., Nikulina, I.M. Modeling the Distribution of Impurities in the Atmosphere from the Stationary Point Source. Proceedings of the 2020 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, EIConRus 2020 9039495, p. 2483-2485

54. Gundartcev, M.A., Riabyshenkov, A.S., Chechernikov, I.M., Karakeian, V.I., Pleshko, E.S. Analysis of the Effectiveness of the Cleanroom Air Removal System. Proceedings of the 2020 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, EIConRus 2020 9038985, с. 2490-2492.

55. Министерство природных ресурсов и экологии Российской Федерации. Приказ от 6 июня 2017 года N 273 «Об утверждении методов расчетов рассеивания выбросов вредных (загрязняющих) веществ в атмосферном воздухе».

56. Investigation of secondary formation of formic acid: Urban environment vs. oil and gas producing region / B. Yuan, P. R. Veres, C. Warneke [et al.] // Atmospheric Chemistry and Physics. - 2015. - Vol. 15. - No 4. - P. 1975-1993. -DOI 10.5194/acp-15-1975-2015.

57. Differences of the oxidation process and secondary organic aerosol formation at low and high precursor concentrations / T. Chen, Y. Liu, B. Chu [et al.] // Journal of Environmental Sciences. - 2019. - Vol. 79. - P. 256-263. - DOI 10.1016/j.jes.2018.11.011.

58. Klyta, J. Determination of secondary organic aerosol in particulate matter -Short review / J. Klyta, M. Czaplicka // Microchemical Journal. - 2020. - Vol. 157. -P. 104997. - DOI 10.1016/j.microc.2020.104997.

59. Антонов А.В. Системный анализ. — М.: Высшая школа, 2004. — 454 с.

60. Каракеян В.И., Дисветова Н.М.. Система кондиционирования воздуха чистых помещений как объект термодинамического анализа / Актуальные проблемы повышения эффективности производств микроэлектроники / Под ред.

B.И. Каракеяна. - М.: МИЭТ, 2016. - С. 3-10.

61. Рябышенков А.С., Захаров А.Н., Гаврилин В.А. Эксергетический анализ рециркуляционной системы кондиционирования и фильтрации воздуха в чистых помещениях / Актуальные проблемы повышения эффективности производств микроэлектроники / Под ред. В.И. Каракеяна. - М.: МИЭТ, 2016. -

C. 28-33.

62. Каракеян В.И., Никулина И.М. Контроль влажностных характеристик наружного воздуха как условие энергоэффективности высоких технологий. Мониторинг экологически опасных объектов природных экосистем: сборник статей II Всероссийской научно-практической конференции / МНИЦ ПГСХА. -Пенза.: РИО ПГСХА. 2013. С. 42-45.

63. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С. Структуризация мероприятий по повышению эффективности чистых помещений. Наука и технологии в современном мире: материалы II Международной научно-практической конференции (Уфа, 30-31 марта 2015г.). Уфа, 2015.- 220с., с.с. 94-98.

64. В.Е. Мочулаев. Практика применения энергетического подхода к оценке показателей технологических систем // «Академия Тринитаризма», М., Эл № 77-6567, публ.18263, 19.10.2013.

65. Каракеян В.И., Трифонова Т.К. Энергетический подход к анализу системы кондиционирования воздуха для чистого помещения. Методы анализа и контроля объектов природно-технических геосистем: сборник научных трудов/ Под ред. В.И. Каракеяна. - М.: МИЭТ. 2014. С. 60-65.

66. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С. Оценка эффективности функционирования чистых помещений на основе энергетического подхода. Векторы развития современной науки: материалы II Международной научно-практической конференции (Уфа, 30-31 января 2015г.). Уфа. 2015. С. 72-76.

67. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С. Исследование энергетического режима чистых помещений методами системного анализа. Актуальные проблемы энергосбережения и энергоэффективности в технических системах: тезисы докладов 2-й Международной конференции с элементами научной школы. Тамбов, 22-24 апреля 2015 г.Тамбов: Изд-во Першина Р.В., 2015. -469с. С. 120-121.

68. Гаврилин П.А. Функционально-экологическое проектирование технических систем. - М .: Издательство «Спутник+» 2008. -47с.

69. Каракеян В.И., Дисветова Н.М. Функционально-экологический анализ системы кондиционирования воздуха чистых помещений. Методы анализа и контроля объектов природно-технических геосистем: сборник научных трудов / Под ред. В.И. Каракеяна. - М.: МИЭТ, 2014. - С. 53-59.

70. Строительные нормы и правила РФ «Отопление, вентиляция и кондиционирование» СНиП 41-01-2003.

71. Р.2.2.2006-05 «Гигиеническими критериями оценки условий труда по показателям вредности и опасности факторов производственной среды, тяжести и напряженности трудового процесса».

72. ГОСТ Р 51750-2001 «Методика определения энергоемкости при производстве продукции и оказании услуг в технологических энергетических системах», принят и введен в действие Постановлением Госстандарта России от 21 мая 2001 г № 211-ст. ИПК Издательство стандартов № 2001 ИПК Издательство стандартов № 2004.

73. Performance analysis of heat and energy recovery ventilators using exergy analysis and nonequilibrium thermodynamics / M. A. Gjennestad, E. Aursand, E. Magnanelli, J. Pharoah // Energy and Buildings. - 2018. - Vol. 170. - P. 195-205. -DOI 10.1016/j.enbuild.2018.04.013.

74. Sayadi, S. Dynamic exergetic assessment of heating and cooling systems in a complex building / S. Sayadi, G. Tsatsaronis, T. Morosuk // Energy Conversion and Management. - 2019. - Vol. 179. - P. 561-576. - DOI 10.1016/j.enconman.2018.12.090.

75. Li, C. Theoretical analysis of exergy transfer and conversion in grain drying process / C. Li // Nongye Gongcheng Xuebao. - 2018. - Vol. 34. - No 19. - P. 1-8. -DOI 10.11975/j.issn.1002-6819.2018.19.001.

76. Valeria Sharaeva, Mikhail Gundartcev, Valery Karakeian, Andrei Riabyshenkov and Darya Redichkina Influence of operator movement on aerosol particles the distribution in clean rooms EIConRus 2021. 9396432, P. 2884-2886.

77. Valeria Sharaeva, Nikolay Kharlamov, Mikhail Gundartcev, Valery Karakeyan and Andrei Riabyshenkov Statistical control of ensuring the required class of clean rooms EIConRus 2021. 9396086, P. 2887-2890.

78. Riabyshenkov, A.S., Valery I. Karakeyan, Mikhail A. Gundartcev, Valeria P. Sharaeva, Nikolai R. Kharlamov. Exergy assessment of the energy efficiency of the clean room air treatment system. 9th European Conference on Renewable Energy Systems (ECRES 2021), 21-23 April 2021 Istanbul, Turkey - P.P. 121-128.

79. Riabyshenkov, A.S., Valery I. Karakeyan, Mikhail A. Gundartcev, Valeria P. Sharaeva, Nikolai R. Kharlamov. Structural and Objective Model for Providing a Given Class of Clean Rooms for Microelectronics. International Seminar on Electron Devices Design and Production (SED-2021), 27-28 April 2021, Prague, Czech Republic - Proceedingsthis 2021, 9444530.

80. Севрюкова Е.А. Исследование изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники. Дис. канд. техн. наук. Москва. 2011. - 226 с.

81. Ю. Д. Губернский. Экологические аспекты кондиционирования воздуха. (http://www.clear-air.ru/).

82. Information Support in Environmental Monitoring Systems / E. Kraeva, V. Miklush, I. Palkin [et al.] // IOP Conference Series: Earth and Environmental Science, Saint Petersburg, 26-27 марта 2020 года. - Saint Petersburg, 2020. - P. 012015. -DOI 10.1088/1755-1315/507/1/012015.

83. Mogahed, H. Sh. Development of a Lossless Data Compression Algorithm for Multichannel Environmental Monitoring Systems / H. Sh. Mogahed, A. G. Yakunin // Actual problems of electronic instrument engineering (APEIE) -proceedings APEIE - 2018 : Papers in English 14th International scientific-techical conference. In 8 Volumes, Novosibirsk, 02-06 октября 2018 года. - Novosibirsk: Новосибирский государственный технический университет, 2018. - P. 483-486. - DOI 10.1109/APEIE.2018.8546121.

84. IoT sensor solution using a PoF module for the environmental monitoring of HVDC-MMC systems / H. J. Park, S. Park, R. Kim [et al.] // ICPE 2019 - ECCE Asia - 10th International Conference on Power Electronics - ECCE Asia : 10, Green World with Power Electronics, Busan, 27-30 мая 2019 года. - Busan, 2019. - P. 2834-2839.

85. Разработка и интеграция газоанализаторов в информационные системы экологического мониторинга / М. Ю. Чиненков, Н. А. Дюжев, А. Л. Переверзев, В. Т. Рябов // Наноиндустрия. - 2020. - Т. 13. - № S4(99). - С. 139140. - DOI 10.22184/1993-8578.2020.13.4s.139.140.

122

86. Features of the synthesis of information and measurement systems using machine learning for conducting of environmental monitoring / Yu. M. Avdeev, A. I. Pakhomova, A. L. Zolkin [et al.] // IOP Conference Series, St.Petersburg, 03-06 марта 2021 года / Krasnoyarsk Science and Technology City Hall. - Krasnoyarsk, Russian Federation: IOP Publishing Ltd, 2021. - P. 32008. - DOI 10.1088/17426596/1889/3/032008.

87. Экономическая эффективность и энергосбережение чистых помещений. (http://protonos.ru/).

88. Винсент Сакраида (Vincent Sakraida). Проектирование и оценка расхода энергии в чистых помещениях с горизонтальным потоком воздуха. Технология чистоты. 2/2014, С. 20-22.

89. Е.В. Черняков. Влияние скорости приточного воздуха на перенос и удаление аэрозольных загрязнений из рабочей зоны. Технология чистоты. 4/2013, С. 23-28.

90. А. Е. Федотов. Экономия энергии в чистых помещениях. Технология чистоты. 2/2014. С. 5-13

91. А.Е. Федотов. Чистые технологии - ключевое направление технического прогресса, Технология чистоты. 2/2015, С. 5-11.

92. Лахов, Ю. А. Применение метода и средств мониторинга процесса энергопотребления чистыми помещениями на основе использования программного пакета STATISTICA neural networks / Ю. А. Лахов, А. В. Фомина, В. М. Балашов // Радиопромышленность. - 2018. - № 2. - С. 76-79.

93. Каракеян В.И, Ларионов Н.М., Рябышенков А.С., Дисветова Н.М. Методология системного анализа в исследовании энерго-экологических характеристик чистых помещений. Векторы развития современной науки: материалы III Международной научно-практической конференции (Уфа, 29-30 января 2016г.). Уфа:2016.-216с., С. 83-89.

94. Моисеева Н.К., Карпунин М.Г. Основы теории и практики функционально-стоимостного анализа. - М.: Высшая школа, 1988. - 192 с.

95. А. Е. Федотов. Чистые помещения в космической промышленности. Технология чистоты. 1/2015, С. 5-8.

96. В.А. Панков, С.В. Ковалевский, А.П. Бывшев. Функционально-стоимостный анализ технических и организационно-экономических систем. -М.: Новый мир.2005, - 257 с.

97. Дисветова Н.М. Методология функционально-экологического анализа при исследовании чистых помещений. Микроэлектроника и информатика -2015. 22-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов: тезисы докладов. - М.: МИЭТ, 2015. - С. 231.

98. Дисветова Н.М. Методология системного анализа для улучшения энерго-экономических показателей чистых помещений. Микроэлектроника и информатика - 2016. 23-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов: тезисы докладов. - М.: МИЭТ, 2016. - С. 287.

99. Рябышенков А. С. Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники / Дисс. на соиск. уч. степ. докт. техн. наук. - М.: МИЭТ, 2018. - 288 с.

100. Каракеян В.И., Гундарцев М.А. О свойствах потока в системе удаления воздуха чистых помещений микроэлектроники. Сборник научных трудов по материалам конференции: Международная научно-практическая конференция «Закономерности развития современного естествознания, техники и технологий» (30 января 2018г.), С. 184-188.

101. Гундарцев М.А., Каракеян В.И., Рябышенков А.С., Шараева В.П. Применение методологии энергоэкологического анализа для исследования системы удаления воздуха чистых помещений в микроэлектронике // Известия вузов. Электроника. 2021. Т. 26. № 3-4. С. 328332. DOI: 10.24151/1561-5405-2021-26-3-4-328-332.

102. Каракеян В.И., Гаврилин В.А., Рябышенков. А.С. Оценка эффективности системы кондиционирования воздуха чистых производственных помещений с учетом термодинамических параметров. Изв. вузов. Электроника. -2018. - Т. 23. - №2. С.133-140.

103. Valery I. Karakeyan, N. Artem Zakharov ; Andrei S. Ryabyshenkov. Exergetic analysis of the clean room air preparation system.2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus)Publication Year: 2018, Page(s):1960- 1964.

104. Valery I. Karakeyan ,Vyacheslav A. Gavrilin ; Artem N. Zakharov ; Alexander Germogenov. Analysis of aerodynamic efficiency of air conditioning and filtration systems for cleanrooms in microelectronic industry. 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus). Publication Year: 2018, Page(s):1890- 1893.

105. ГОСТ Р 51541-99. Энергосбережение. Энергетическая эффективность. Состав показателей. Общие положения. М.: Стандартинформ, 2013.

106. Идельчик И.Е. Справочник по гидравлическим сопротивлениям / И. Е. Идельчик - М.: Книга по Требованию, 2012. - 466 С.

107. Кольцов В.Б. Процессы и аппараты защиты окружающей среды: учебник и практикум для академического бакалавриата. - М.: Издательство Юрайт, 2014 - C.588.

108. Гундарцев М.А. Исследование влияния климатических факторов на точность датчика давления в системе мониторинга микроклимата чистых помещений / сборник тезисов 24-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции «Микроэлектроника и информатика-2017» - М.: МИЭТ, 2017. - С. 254.

109. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С., Дисветова Н.М. Чистое помещение микроэлектроники как источник загрязнения атмосферы. Materials of the XII International scientific and practical conference, "Science and

civilization", 30 January - 07 February 2016 on Ecology. Geography and geology. Agriculture. Construction and architecture. P.P. 6 - 11.

110. Karakeyan V.I., Larionov N.M., Ryabyshenkov A.S. Analisi della temperatura microelettronica camera bianca. Italian Science Review. 2014; 4(13). PP. 296-298.

111. Саргсян С. В., Абаев А. О., Сеничкин Н. В. Учет влияния расхода воздуха при определении параметров теплоизоляционного слоя на воздуховодах систем вентиляции и кондиционирования воздуха // Интернет-вестник ВолгГАСУ. Сер.: Политематическая. 2013. Вып. 4(29). URL: http://vestnik.vgasu.ru/attachments/SargsyanAbaevSenichkin-2013_4(29).pdf.

112. Каракеян В.И. Экономика природопользования. Учебник. 2-е изд. пер. и доп. М.: Юрайт, 2014, 575 c.

113. Каракеян В.И., Гундарцев М.А. Анализ моделей рассеивания примесей в атмосфере. Сборник научных трудов по материалам конференции: Международная научно-практическая конференция. «Современные тенденции развития естествознания и технических наук». 29 марта 2018г.), С. 175-178.

114. Chien C. C. Innovative precise-environment design and technology of removing the pollutant from a clean room / C. C. Chien; C. N. Chang; Jefferson Shyu; Eric Hsiao; B. S. Tang; Liang-Kun Zhu // 2013 e-Manufacturing & Design Collaboration Symposium (eMDC). - 2013. - PP. 1 - 4.

115. Гундарецв М.А., Гундарцев А.А. Разработка универсальной высокоточной системы контроля давления в системе удаления воздуха чистых помещений микроэлектроники", 26-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика-2019», МИЭТ, С 206.

116. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2018617689 Российская Федерация. Программа для нанесения маркировки на преобразователи давления серии 202МСУ : № 2018614921 : заявл. 16.05.2018 : опубл. 28.06.2018 / В. С. Суханов, В. В. Панков, М. А. Гундарцев ; заявитель Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации, федеральное государственное бюджетное научное учреждение «Научно-производственный комплекс «Технологический центр».

117. Патент на промышленный образец № 114355 Российская Федерация. Преобразователь абсолютного давления : № 2018503857 : заявл. 06.09.2018 : опубл. 25.04.2019 / В. С. Суханов, В. В. Панков, Д. В. Гусев, М.А. Гундарцев [и др.]; заявитель Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России), Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр".

118. Патент на промышленный образец № 114356 Российская Федерация. Преобразователь абсолютного давления : № 2018503858 : заявл. 06.09.2018 : опубл. 25.04.2019 / В. С. Суханов, В. В. Панков, Д. В. Гусев, М.А. Гундарцев [и др.]; заявитель Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России), Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр".

119. Патент на промышленный образец № 115289 Российская Федерация. Преобразователь избыточного давления : № 2018505398 : заявл. 05.12.2018 : опубл. 03.07.2019 / В. С. Суханов, В. В. Панков, Д. В. Гусев, М.А. Гундарцев [и др.]; заявитель Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России), Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр".

120. Патент на промышленный образец № 115290 Российская Федерация. Преобразователь избыточного давления : № 2018505397 : заявл. 05.12.2018 : опубл. 03.07.2019 / В. С. Суханов, В. В. Панков, Д. В. Гусев, М.А. Гундарцев [и др.]; заявитель Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России), Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр".

121. ГОСТ Р 51750-2001. «Методика определения энергоемкости при производстве продукции и оказании услуг в технологических энергетических системах». Дата введения 2002-01-01.

122. Гундарцев М.А., Рябышенков А.С., Каракеян В.И. Температурный режим воздухопроводной сети системы удаления воздуха чистых помещений. Промышленные АСУ и контроллеры, 2020, №10, с 12-17, ISSN:1561-1531.

123. ГОСТ 12.1.007-76. «Система стандартов безопасности труда ВРЕДНЫЕ ВЕЩЕСТВА Классификация и общие требования безопасности». Дата введения 1977-01-01.

124. СанПиН 2.2.1/2.1.1.1200-03. «Санитарно-защитные зоны и санитарная классификация предприятий, сооружений и иных объектов. Санитарно-эпидемиологические правила и нормативы» Утверждено постановлением Главного государственного санитарного врача Российской Федерации от 25 сентября 2007 года N 74.

125. М.А. Гундарцев Исследование полей рассеивания вредных примесей предприятиями микроэлектроники 26-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика-2020», МИЭТ, С 236.

126. Каракеян В.И., Гундарцев М.А. «О свойствах потока в системе удаления воздуха чистых помещений микроэлектроники». Сборник научных трудов по материалам Международной научно-практической конференции. Под общей редакцией Е.П. Ткачевой. 2018. С. 184-188.

127. Гундарцев М.А., Севрюкова Е.А, Рябышенков А.С., Плешко Е.С, Каракеян В.И. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2019665511 от 29.11.2019, Российская Федерация «Программа для расчета концентрации выброса в заданной точке пространства по стационарной модели Гаусса».

128. М.А. Гундарцев, А.А. Гундарцев, А.А. Константинова Построение полей рассеивания вредных примесей от промышленных предприятий. Промышленные АСУ и контроллеры. 2021, №1, с 14-20, ISSN:1561-1531.

129. Mikhail Gundartcev, Valeria Sharaeva, Valery Karakeian, Andrei Riabyshenkov and Andrei Gundartcev Analysis of the spread of harmful impurities in the atmosphere from microelectronic facilities EIConRus 2021. 9396234. Р. 27992802.

ПРИЛОЖЕНИЕ 1. АКТЫ ВНЕДРЕНИЯ

«УТВЕРЖДАЮ»

Проректор УР

УР

лроф, Игнатова ИЛ ,

<С''»■ 2021 г.

АКТ

об использовании в учебном процессе Национального исследовательского университета «МИЭТ» Института «Перспективные материалы и технологии» результатов

диссертационной работы Гундарцева М.А., представленной на соискание ученой

степени кандидата технических наук

Настоящим подтверждается, что результаты диссертационной работы Гундарцева М.А. на тему «Разработка методики термодинамического анализа и контроля эффективности процесса удаления вентиляционного воздуха высокотехнологичного производства» используются в учебном процессе НИУ МИЭТ при подготовке магистров по направлению 20.04.01 «Техносферная безопасность» (программа «Безопасность технологических процессов и производств») в качестве основных учебно-методических разработок для лекционных и практических занятий по следующим дисциплинам: «Инфраструктура чистых помещений», «Технологические среды и оборудование чистых помещений», «Инфраструктура природно-технических геосистем», а также при выполнении магистерских диссертаций поданной программе.

Начальник АНОК

И.М. Никулина

Заместитель директора Института Г1МТ, д.т.н., профессор

Е.А. Севрюкова

«УТВЕРЖДАЮ» Первый заместитель

»2021 г.

АКТ

об использовании в АО «Ангстрем» результатов диссертационной работы Гундарцева М.А., представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук

Настоящим подтверждается, что результаты диссертационной работы Гундарцева М.А. на тему «Разработка методики термодинамического анализа и контроля эффективности процесса удаления вентиляционного воздуха высокотехнологичного производства» использованы в АО «Ангстрем» при разработке нормативной документации предприятия, при плановой профильной модернизации технологических процессов и чистых производственных помещений.

Результаты диссертационной работы использованы в качестве дополнительных информационных материалов в отделе промышленной производственной безопасности предприятия.

Главный инженер

Г.А. Смирнов