Разработка методики и программы автоматизированного контроля микрогеометрии поверхностей деталей приборов с помощью графических критериев и их использование в технологических исследованиях тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.14, кандидат наук Филимонова, Елена Алексеевна

• Филимонова, Елена Алексеевна
• кандидат наук
• 2014

Оглавление диссертации кандидат наук Филимонова, Елена Алексеевна

Оглавление

Введение

Глава 1 Анализ состояния проблемы

1.1 Микрогеометрия поверхности и эксплуатационные свойства деталей приборов

1.2 Современные модели описания микрогеометрии поверхности

1.2.1 Представление о микрогеометрии как о наборе выступов правильной геометрической формы

1.2.2 Теоретико-вероятностный подход (представление микрогеометрии случайным полем)

1.2.3 Модель фрактальной микрогеометрии поверхности

1.3 Обзор критериев оценки микрогеометрии поверхностей

1.3.1 Параметры оценки микрогеометрии профиля

1.3.2 Трёхмерные параметры, используемые для оценки поверхности

1.3.3 Графические критерии оценки и контроля микрогеометрии поверхности

Выводы по главе 1

Глава 2 Разработка методики и программы автоматизированной оценки и контроля микрогеометрии поверхностей деталей с помощью графических критериев

2.1 Методика оценки и контроля микрогеометрии поверхностей с помощью графических критериев

2.2 Оценка и контроль микрогеометрии поверхностей на основе профилей

2.2.1 Поступление входных данных

2.2.2 Модуль подсчёта параметров микрогеометрии поверхности согласно ГОСТ 2789-73

Вычисление средней линии, линии выступов и линии впадин

Вычисление критериев по ГОСТ 2789-73

2.2.3 Модуль подсчёта графических критериев микрогеометрии поверхности

Построение функции плотности распределения ординат и тангенсов углов наклона профиля

Построение функции распределения ординат и тангенсов углов наклона профиля

2.2.4 Модуль фильтрации

Прямое Фурье-преобразование (получение амплитудного спектра)

Обратное Фурье-преобразование (получение профиля после фильтрации)

2.2.5 Модуль сравнения с эталоном

Построение графических критериев и поля допуска эталонного профиля

2.3 Оценка и контроль микрогеометрии поверхности на основе их микротопографий

2.3.1 Поступление входных данных

2.3.2 Построение микротопографии поверхности

2.3.3 Фильтрация микротопографии поверхности

2.3.4 Вычисление графических критериев по микротопографии поверхности

Построение функции плотности распределения ординат микротопографии

2.3.5 Оценка и контроль микротопографии с использованием графических критериев

2.4 База данных взаимосвязи графических критериев и видов и режимов обработки62

Выводы по главе 2

Глава 3 Практическое применение графических критериев микрогеометрии для ее оценки и контроля

3.1 Исследование влияния амплитуды осцилляции инструмента на микрогеометрию поверхности при фрезеровании титановых образцов

3.2 Исследование влияния амплитуды осцилляции инструмента на микрогеометрию поверхности при фрезеровании алюминиевых образцов

3.3 Исследование влияния расстояния между импульсами на микрогеометрию поверхности при фрезеровании алюминиевых образцов

Выводы по 3 главе

Глава 4 Технологические исследования оптических поверхностей

4.1 Исследование влияния микрорельефа на процессы возникновения трещин на поверхности оптического материала при циклических нагрузках

Исследование профилей поверхности (Ю)

Исследование микротопографий поверхности (ЗО)

Измерение количества циклов нагрузки до возникновения трещин

4.2Исследование зависимости лучевой прочности поверхности от её микрорельефаЮЗ

Исследование профилей поверхности (2В)

Исследование микротопографий поверхности (ЗБ)

Измерение лучевой прочности

Выводы по главе 4

Заключение

Литература

Приложение А

Приложение Б

Приложение В

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка методики и программы автоматизированного контроля микрогеометрии поверхностей деталей приборов с помощью графических критериев и их использование в технологических исследованиях»

Введение

Повышение качества и надёжности изделий в приборо- и машиностроении в условиях конкурентной рыночной экономики является одной из важнейших задач промышленности. Обычно, данную задачу решают за счёт повышения точности изготовления изделий или использования более качественных материалов, однако это ведёт к большим экономическим затратам. В то же время решение проблемы оптимизации характеристик поверхностного слоя деталей позволило бы при достаточно небольших затратах существенно повысить качество изделий. Под оптимизацией здесь понимается нахождение наилучшей из возможных микрогеометрии в данных конкретных производственных условиях. Например, известно, что она способствует существенному улучшению двух десятков функциональных свойств поверхностей и количество таких свойств со временем будет возрастать. Доказано, что к таким свойствам относятся износостойкость, контактная жёсткость, коэффициент трения, коррозионная стойкость и ряд других свойств поверхностей [1 - 5]. Эта зависимость, в общем случае, является нелинейной, а оптимальные значения свойств находятся в довольно узких пределах [1]. В настоящее время сильно недооценены также возможности автоматизации микрогеометрии поверхности, которая позволила бы не только сократить время технологического процесса, но и повысить качество конечного изделия.

Помимо этого, большинство исследований влияния микрогеометрии поверхности на эксплуатационные свойства изделий в отечественном приборостроении проводятся с использованием существующего стандарта ГОСТ 2789-73. Однако, использование существующих стандартов для оптимизации микрогеометрии поверхностей непригодно [6]. Одним из требований к оптимизации является точное описание оптимальной микрогеометрии. На текущий момент для задания микрогеометрии на чертеже чаще всего используют только один стандартный параметр для каждой поверхности: Яа или Иг. Тем не

менее, многочисленными исследованиями доказано, что использование только одного параметра для оценки и оптимизации микрогеометрии абсолютно недостаточно [2, 7-9]. Поэтому, проведение исследований по нахождению таких критериев микрогеометрии, которые были бы наиболее информативны и эффективны, а также автоматизация процессов контроля микрогеометрии очень актуальны.

Целью данной работы является разработка методики и программного обеспечения для автоматизированной оценки и контроля микрогеометрии поверхностей с использованием графических критериев, а также проверка их эффективности в технологических исследованиях.

В ходе исследования были поставлены следующие задачи:

1) проанализировать существующие модели описания микрогеометрии поверхности;

2) проанализировать критерии оценки микрогеометрии поверхности;

3) разработать методику и программу для автоматизированных оценки и контроля микрогеометрии поверхности;

4) исследовать влияния амплитуды осцилляции инструмента и величины расстояния между импульсами на микрогеометрию поверхности при импульсном фрезеровании, как одной из эффективных технологий в приборостроении, с использованием графических критериев оценки;

5) исследовать влияние микрогеометрии поверхности на лучевую прочность и процессы возникновения усталостных трещин при циклической нагрузке для оптических материалов с использованием графических критериев оценки.

Научная новизна данной работы состоит в следующем:

1) впервые разработаны методика и программа проведения автоматизированных оценки и контроля микрогеометрии поверхностей деталей с использованием графических критериев как для профилей

поверхностей, так и для их микротопографий;

2) впервые исследована зависимость микрогеометрии поверхности от амплитуды осцилляции инструмента и расстояния между импульсами при импульсном фрезеровании с использованием графических критериев;

3) впервые исследованы зависимости лучевой прочности покрытия и процессов возникновения усталостных трещин оптического материала от микрогеометрии поверхности с использованием графических критериев. Практическая ценность работы заключается в следующем:

1) разработанные методика и программное обеспечение для автоматизированной оценки микрогеометрии с помощью графических критериев (получены 2 свидетельства о регистрации программы для ЭВМ [10; 11], приложение А) позволяют практически приемлемым способом повышать качество изделий за счет оптимизации микрогеометрии поверхностей их деталей (акт о внедрении программы приведен в приложении А);

2) получена зависимость микрогеометрии поверхности от амплитуды осцилляции инструмента и расстояния между импульсами при импульсном фрезеровании с использованием графических критериев;

3) предложен метод определения влияния микрогеометрии поверхности на лучевую прочность оптических элементов и процессы возникновения трещин при циклической нагрузке в оптических элементах.

Что касается методов исследования, то в работе проводились как теоретические, так и экспериментальные исследования. В теоретическом исследовании были использованы методы математического анализа, Фурье-анализа, математической статистики, теории вероятности и основные положения теории технологии приборостроения.

На защиту выносятся следующие положения и результаты:

1) разработана методика автоматизированной оценки и контроля микрогеометрии поверхности деталей;

2) разработана программа автоматизации оценки и контроля микрогеометрии поверхности деталей;

3) выведена зависимость микрогеометрии поверхности от амплитуды осцилляции инструмента и расстояния между импульсами при импульсном фрезеровании с использованием графических критериев;

4) выведены зависимости лучевой прочности покрытия и процессов возникновения усталостных трещин оптического материала от микрогеометрии поверхности с использованием графических критериев. Достоверность результатов проведённых исследований

подтверждается корректным использованием основных положений математического анализа, Фурье-анализа, математической статистики, теории вероятности и апробацией полученных данных. Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на различных межвузовских и международных конференциях, также имеются публикации материалов в виде научных статей и тезисов докладов. Результаты диссертации нашли применение на предприятии «Алкор Текнолоджис», в Государственном оптическом институте имени С. И. Вавилова, а также в учебном процессе на кафедре Технологии приборостроения Санкт-Петербургского научно-исследовательского университета информационных технологий, механики и оптики.

Результаты диссертационной работы были представлены на I, II, III Всероссийском конгрессе молодых ученых (Санкт-Петербург, 2012-2014 гг.); на ХЫ, Х1Л1, ХЫИ Научной и учебно-методической конференции СПб НИУ ИТМО (Санкт-Петербург, 2012-2014 гг.); Мой и 15ой Международной научно-практической конференции «Технологии упрочнения, нанесения покрытий и ремонта: теория и практика» (Санкт-Петербург, 2012-2013 гг.); на Одиннадцатой сессии международной научной школы «Фундаментальные и прикладные проблемы надежности и диагностики машин и механизмов» (Санкт-Петербург, 2013 г.)

Глава 1 Анализ состояния проблемы

1.1 Микрогеометрия поверхности и эксплуатационные свойства деталей

приборов

Качество изделия во многом определяется эксплуатационными свойствами его деталей и узлов. Исследователями давно доказано, что микрогеометрия поверхности влияет примерно на 20 эксплуатационных свойств поверхности. Под эксплуатационными свойствами понимаются свойства, которые характеризуют способность прибора работать в конкретных условиях. Такие исследования неоднократно производились как отечественными, так и зарубежными исследователями.

Например, учёными В. Ф. Безъязычным [12], И. В. Крагельским [13-16] и его последователями В. С. Комбаловым [17] и Н. Б. Демкиным [18] были проведены исследования микрогеометрии трущихся поверхностей. И. В. Дунин-Барковский занимался изучением влияния микрогеометрии поверхности на коррозию металлов и контактную усталость [19]. Профессор Ю. Г. Шнейдер провёл анализ зависимости различных эксплуатационных свойств поверхности с нанесенным на неё регулярным микрорельефом от её микрогеометрии (например, износостойкости, прирабатываемости, сопротивления ползучести, контактной жесткости, коррозионной стойкости, а также оптических и

электрических свойств) [1]. Исследованиями процесса износа деталей в

зависимости от микрогеометрии поверхности занимался В. А. Красный в своих работах [20 - 22]. Труды [23 - 25] посвящены взаимосвязи микрогеометрии и гидро- и аэродинамических свойств поверхности. Также исследователями было отмечено влияние микрогеометрии на величину коэффициента аккомодации энергии, что имеет существенное значение в технике космических полётов и теплоизоляции [26 - 28]. В. А. Валетов исследовал зависимость усталостной прочности [29], коэффициента сопротивления качению, долговечности [30] и

некоторых других эксплуатационных свойств [31, 32] от микрогеометрии поверхности. Аналогичные исследования проводили также такие отечественные ученые, как Маталин А. А. [33], Рыжов Э. В. [34], Суслов А. Г. [34], Сулима А. М. [35] и многие другие.

В то же время и за границей ведутся работы по изучению зависимости теплопроводности [36], гидродинамических [37 - 39], оптических [40, 41], механических [42] и других свойств поверхности от микрогеометрии.

Таким образом, доказано влияние микрогеометрии поверхности на определённое количество эксплуатационных свойств, поэтому будет целесообразным оптимизировать её для данных конкретных свойств. Одним из основных условий оптимизации микрогеометрии является возможность её полного и точного описания.

1.2 Современные модели описания микрогеометрии поверхности

Точная и надёжная математическая модель шероховатой поверхности необходима для решения многочисленных задач, например, для проведения оценки характеристик трения поверхностей, расчёта контактных напряжений и так далее. Здесь приведены математические модели шероховатой поверхности, получившие наибольшее распространение в современном приборостроении.

Однако, следует помнить, что все описанные ниже модели микрогеометрии поверхности обладают одним существенным недостатком. В практическом применении они все сводятся к использованию определённого набора параметрических критериев оценки микрогеометрии поверхности, которых для полного и точного описания последней требуется от 3 до 25 [43, 44]. Следовательно, для проведения оптимизации микрогеометрии поверхности необходимо будет получить зависимость каждого из этих критериев от параметров обработки поверхности, что реально не осуществимо. В некоторых

из описанных моделей используются так называемые комплексные критерии, которые по сути являются комбинацией всё тех же неинформативных параметров оценки микрогеометрии поверхности. Кроме этого, указанные критерии оценки микрогеометрии используются только в узкоспециализированных исследованиях, а в условиях реального предприятия применяются другие параметры из стандартов наподобие параметра Иа из ГОСТ 2789-73.

1.2.1 Представление о микрогеометрии как о наборе выступов правильной

геометрической формы

В одной из первых моделей микрогеометрия представлялась набором тел правильной геометрической формы, расположение которых в пространстве определяет распределение материала в поверхностном слое. Например, предпринимались попытки описать единичный выступ микрогеометрии в виде клина [45], пирамиды [46], стержня [47], конуса [48], сферы [18, 49, 50], эллипсоида [51, 52] и ряда других. Результаты исследований показали, что наиболее удобной является модель выступов в виде сферических сегментов [18]. Она часто используется и в настоящее время.

В. А. Журавлёв был одним из первых, кто применил этот подход в 1940 году [53]. Шероховатую поверхность он рассматривал как набор сферических сегментов с постоянным радиусом, а распределение по высоте характеризовал прямой. Похожий подход использовал И. В. Крагельский для расчёта контактного взаимодействия [14]. Продолжили развитие методик оценки характеристик трения поверхностей такие отечественные учёные, как Н. Б. Демкин, Н. М. Михин, В. С. Комбалов, П. Е. Дьяченко, С. А. Чижик и другие.

Зарубежные исследователи также применяли аналогичный подход при моделировании шероховатой поверхности. В частности, Дж. Арчард (I. АгсЬагё) [54] описал микрогеометрию как иерархическую структуру в виде совокупности

сфер, покрытых малыми сферами, которые в свою очередь покрыты ещё более мелкими сферами и так далее. Это была первая фракталоподобная модель поверхности. Известна модель Д. Гринвуда (J. Greenwood) и Д. Вильямсона (J. Williamson) [55], в которой микрогеометрия представляется как система сферических сегментов постоянного радиуса, высота которых является случайной величиной, подчиняющейся определённому закону распределения. Согласно проведённым исследованиям этих учёных распределение высоты пиков для большинства поверхностей подчиняется закону Гаусса. Модификацию модели Гринвуда-Вильямсона проводили многочисленные учёные, среди которых Д. Трипп (J. Tripp) [56], В. Чанг (W. Chang), И. Этисон (I. Etsion) [57] и другие.

Однако, данная модель чувствительна к длине выборки и разрешающей способности измерительного прибора, кроме того в ней не учитываются структурные свойства поверхности. Вместе с тем она непригодна к использованию при большой плотности пятен контакта для расчёта характеристик трения поверхностей [58].

1.2.2 Теоретико-вероятностный подход (представление микрогеометрии

случайным полем)

Следующая модель описывает шероховатую поверхность в виде случайного поля (или двумерного случайного поля в случае топографии). Для её описания используются методы теории вероятности.

П. Наяк (P. Nayak) был первым, кто в 1971 г. применил для описания микрогеометрии принципы случайных процессов [59]. Он рассматривал высоту как двумерную случайную переменную. В своей работе Наяк ввёл 3 комплексных критерия: то, Ш2, гщ - спектральные моменты профиля поверхности. Тем не менее эта модель описывает только случайные, изотропные,

нормально распределённые поверхности, а распределения высот поверхности далеко не всегда подчиняются закону Гаусса [2, 60].

Отечественные учёные А. П. Хусу и Ю. Р. Виттенберг также применяли для оценки микрогеометрии вероятностные методы, в которых модель микрогеометрии «... представляется в виде двух составляющих: детерминированной, описываемой некоторой периодической функцией со случайной фазой, и случайной, которая описывается нормально распределённой случайной функцией» [2, с. 27]. В качестве критериев для профиля поверхности предлагаются так называемые функционалы, например, число пересечений с уровнем, число максимумов на интервале и ряд других. Авторами также представлена модель описания микротопографии поверхности и соответствующие параметры для её оценки и контроля. Также, как и в предыдущем случае, эта модель описывает только нормально распределённые поверхности.

В модели Д. Уайтхауза (Б. \Vhitehouse) и Дж. Арчарда (1. АгсЬагс!) [61] в качестве критериев используются среднеквадратическое отклонение и коэффициенты автокорреляционной функции рг, р2- Автокорреляционная функция позволяет определить взаимосвязь между высотой неровностей соответственно их удалению друг от друга. С помощью данной функции можно определить наличие детерминированных или случайных процессов в микрогеометрии поверхности [62]. Однако, следует учитывать, что автокорреляционная функция зависит от шага дискретизации, и её коэффициенты соответственно тоже.

Основным недостатком всех моделей, использующих теоретико-вероятностный подход, является чувствительность их к длине исходной выборки и разрешающей способности прибора, структурные свойства поверхности в ней также не учитываются.

1.2.3 Модель фрактальной микрогеометрии поверхности

Первым исследователем, который применил фракталоподобную модель, был Дж. Арчард (J. Archard) (смотри пункт 1.2.1). Одним из главных параметров текущей модели является фрактальная размерность, по которой можно определить усложнение формы объекта и увеличение степени упорядоченности элементов на поверхностном слое [63, 64]. Проводились исследования [65, 66] по проверке гипотезы о возможности описания части поверхностей как фрактальных. Фрактальную модель для описания микрогеометрии использовали в своих работах А. Маджумдар (A. Majumdar), Б. Бхушан (В. Bhushan) [65, 66], Т. Уоррен (Т. L. Warren), Д. Крайчинович (D. Krajcinovic) [67], К. Вильнер (К. Willner) [68], В. Ян (W. Yan) и К. Комвопоулос (К. Komvopoulos) [69].

У текущей модели отсутствуют ограничения, связанные с чувствительностью к длине выборки и разрешающей способностью измерительного прибора, к тому же, в ней учитываются геометрико-структурные свойства поверхности.

Тем не менее, модель применима далеко не ко всем поверхностям, так как существует определённое количество нефрактальных поверхностей. Также невозможно применить её для описания геометрии области фактического контакта [58].

1.3 Обзор критериев оценки микрогеометрии поверхностей

Нахождение оптимальной микрогеометрии (наилучшей из возможных в данных условиях для данного конкретного эксплуатационного свойства поверхности) является приоритетной задачей в условиях современного производства. Однако, после нахождения оптимальной микрогеометрии для дальнейшего использования в процессах контроля качества поверхностного слоя изделия надо уметь её правильно описать. В попытках найти параметр или

группу параметров, которые бы наиболее точно и полно описывали микрогеометрию поверхности, были проведены многочисленные отечественные и зарубежные исследования.

1.3.1 Параметры оценки микрогеометрии профиля

Первыми параметрами, которые использовались для оценки микрогеометрии поверхности, были среднеарифметическое отклонение профиля (Ra) и среднеквадратическое отклонение профиля (Rq). Однако, так как данные параметры не описывали в полной мере структуру поверхности, начался поиск новых параметров микрогеометрии поверхности, который продолжается до сих пор.

На данный момент в России используется разработанный ещё в СССР ГОСТ 2789-73 (с изменениями 1981 г.) [70]. Он описывает 6 стандартных параметров, а именно:

• высотные параметры Ra, Rz (показывают среднюю высоту неровностей), Rmax (показывает полную высоту);

• шаговые параметры S, Sm;

• параметр tp, определяющий высотные свойства, а также фактическую площадь контакта на данном уровне сечения.

Наибольшую распространённость на современных предприятиях получила оценка микрогеометрии по параметрам Ra или Rz.

На международной арене всё большую популярность приобретают стандарты ИСО. Стандарт ISO 4287:1997 [71] описывает следующие высотные параметры микрогеометрии:

• максимальная высота выступа (Rp) и впадины (Rv) профиля;

• Rz (максимальная высота профиля) составляет сумму Rp и Rv в пределах базовой длины. Параметр аналогичен Rmax из ГОСТ 2789-73;

• Rc (средняя высота элементов профиля);

• Rt (полная высота профиля) аналогичен параметру Rz, но в пределах длины оценки;

• Ra (среднее арифметическое отклонение оцениваемого профиля) аналогичен Ra по ГОСТ 2789-73, является самым распространённым международным параметром;

• Rq (среднеквадратическое отклонение) аналогичен Rq по ГОСТ 2789-73, часто применяется для оценки чистых поверхностей;

• Rsk (асимметричность оцениваемого профиля) используется для определения соотношения количества выступов и впадин;

• Rku (эксцесс) используется для определения угла наклона неровностей.

Из шаговых параметров в ISO 4287:1997 описан только Rsm (средняя ширина элементов профиля), который аналогичен Sm по ГОСТ 2789-73.

Кроме того, в стандарте рассматриваются так называемые гибридные параметры (зависят и от высоты неровностей и от шага):

• RAq (среднеквадратический наклон оцениваемого профиля);

• Rmr (относительная опорная длина профиля) соответствует параметру tp по ГОСТ 2789-73.

Тем не менее всех перечисленных параметров недостаточно для полноценного описания поверхности потому, что в них отсутствует информация о форме и размерах неровностей, а также о частоте и закономерности их появления.

Сейчас в отечественном и международном приборо- и машиностроении используется, как правило, лишь один усреднённый параметр оценки микрогеометрии для отдельной поверхности. Для отечественных предприятий -это параметр Ra или Rz, для европейских - только параметр Ra. Тем не менее использование одного параметра возможно только для оценки одного типа

поверхностей, обработанных одним и тем же методом в тех же условиях. Для полного же описания поверхности одного параметра абсолютно недостаточно, например, доказано, что для описания микрогеометрии поверхности детали автомобильного двигателя требуется от 3 до 6 параметров [72].

Могут существовать десятки поверхностей с одинаковым значением параметра оценки микрогеометрии 11а, но отличие эксплуатационных свойств этих поверхностей может быть достаточно сильным. Например, рассмотрим два профиля поверхности, представленные на рисунке 1.1. Уже из формы профилограммы видно, что данные поверхности имеют совершенно разные эксплуатационные свойства.

Исходный профиль

Ц,мкм

а)

Исходный профиль

[_, мкм б)

Рисунок 1.1 - Профилограммы двух поверхностей: а - платообразная; б -островершинная: У - высота профиля; Ь - длина профиля

Теперь рассмотрим параметры микрогеометрии по ГОСТ 2789-73, представленные в таблице 1.1 и на рисунке 1.2.

Таблица 1.1. Параметры микрогеометрии для платообразного и островершинного профиля по ГОСТ 2789-73

Критерий микрогеометрии Платообразный профиль Островершинный профиль

Яа, мкм 0,786 0,786

Яг, мкм 3,029 3,054

Итах, мкм 3,089 3,089

мкм 0,913 0,913

Б, мкм 7,80 7,80

Бт, мкм 6,82 6,82

Относительная опорная длина профиля

а)

Относительная опорная длина профиля

р,%

б)

Рисунок 1.2 - Относительная опорная длина для профилей: а — платообразного, б - островершинного: Тр - относительная опорная длина профиля, р - уровень сечений профиля

За исключением значений относительной опорной длины профиля на некоторых уровнях все остальные параметры оценки микрогеометрии имеют одинаковые значения в пределах допуска, что доказывает неэффективность использования только одного параметра для достоверного описания микрогеометрии поверхности.

1.3.2 Трёхмерные параметры, используемые для оценки поверхности

В последнее время наряду с двухмерной оценкой микрогеометрии поверхности по профилограмме начинает набирать популярность трёхмерная оценка. Несмотря на то, что для двухмерной оценки требуется меньше временных и денежный затрат, трёхмерная оценка имеет ряд неоспоримых преимуществ, а именно [73]:

1) оценка более точна и более надёжна, по сравнению с двухмерным случаем;

2) оцениваются реальные характеристики всей поверхности, а не её среза;

3) можно получить реальные экстремальные значения выступов и впадин поверхности, что для оценки по профилограмме обычно неверно (можно получить только экстремальные значения данного среза поверхности);

4) саму поверхность можно визуализировать для дополнительной оценки, проверки.

Первым стандартом, учитывающим трёхмерную структуру поверхности стал стандарт ISO 25178 «Геометрические характеристики изделий (GPS). Структура поверхности: Ареал» [74]. В России на данный момент аналогичных стандартов не представлено.

В стандарте ISO описаны параметры, подобные профильным параметрам оценки микрогеометрии, указанным в пункте 1.3.1, только расчёт производится для всей поверхности [73]. Например, известны такие параметры как Sa, Sq, St, соответствующие параметрам Ra, Rq, Rt для двухмерного случая.

Также в качестве критериев оценки в стандарте указаны такие кривые как:

• относительная опорная кривая поверхности (аналог относительной опорной кривой);

• кривая относительного материального объёма (по данной кривой можно определить долю подвергшегося износу материала).

Тем не менее, как и в двухмерном случае, для контроля микрогеометрии поверхности используется, как правило, только один, параметр, например, Sa, что, как уже было доказано ранее, абсолютно недостаточно для полного описания поверхности.

1.3.3 Графические критерии оценки и контроля микрогеометрии

поверхности

Из-за непригодности существующих стандартных параметров для оптимизации микрогеометрии профессором В. А. Валетовым предложен «непараметрический подход» к контролю и оценке микрогеометрии поверхности [43]. А именно, использование графиков различных функций в качестве критериев оценки и контроля микрогеометрии поверхности. Так плотность

распределения ординат показывает вероятность появления определённой высоты для данного профиля, а функция распределения ординат является суммарной вероятностью профиля поверхности. Расчёт данных функций и построение графиков показано в следующей главе.

График функции плотности распределения профиля содержит в себе практически всё информацию о профиле. Например, в зависимости от сдвига экстремума функции вправо или влево от положения экстремума для нормального распределения можно судить о соотношении концентрации материала в выступах и впадинах. Рассмотрим графики плотностей распределения ординат для профилей, представленных на рисунке 1.1. Например, для графика плотности распределения платообразного профиля (рисунок 1.3, а) характерен сдвиг экстремума вправо, соответственно для этого профиля большее количество материала сосредоточено в вершинах. Для графика плотности распределения островершинного профиля (рисунок 1.3, б) всё наоборот: наблюдается концентрация материала во впадинах.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Филимонова, Елена Алексеевна, 2014 год

Литература

1. Шнейдер, Ю.Г. Эксплуатационные свойства деталей с регулярным микрорельефом / Ю.Г. Шнейдер // Машиностроение. - Ленинград, 1982 г. -247 с.

2. Хусу, А.П. Шероховатость поверхностей (теоретико-вероятностный подход) текст. / А.П. Хусу, Ю.Р. Виттенберг, В.А. Пальмов // Наука. -Москва, 1975. - 344 с.

3. Витенберг, Ю.Р. Шероховатость поверхности и методы её оценки / Ю.Р. Витенберг// Судостроение. - Москва, 1971. - 98 с.

4. Демкин, Н.Б. Контактирование шероховатых поверхностей / Н.Б. Демкин // Наука. - Москва, 1970 - 227 с.

5. Комбалов, B.C. Влияние шероховатости твёрдых тел на трение и износ / B.C. Комбалов // Наука. - Москва, 1974. - 112 с.

6. Валетов, В.А. О практической пригодности некоторых критериев для оценки шероховатости поверхности. / В.А. Валетов // Технология корпусостроения, судового машиностроения и сварки в судостроении. ЛКИ. - Ленинград, 1978. - 62-65 с.

7. Маталин, A.A. Шероховатость поверхности деталей в приборостроении / A.A. Маталин // Машгиз, - Москва, 1949 г. - 42с.

8. Каширин, А.И. Предисловие к книге Г. Шлезингера «Качество поверхности» / А.И. Каширин // Машгиз. - Москва, 1947 г. - 10 с.

9. Линник, Ю.В. Математико-статистическое описание неровностей профиля поверхности при шлифовании / Ю.В. Линник, А.П. Хусу // Инженерный сб. - АН СССР. - № 20 - 1954.

10. Программа автоматизированного контроля микрогеометрии поверхностей с помощью непараметрических критериев: свидетельство о

государственной регистрации программы для ЭВМ / В.А. Валетов, Е.А. Филимонова -№2011613843 заявл. 03.04.2014 опубл. 18.05.2011.

11.Программа автоматизированного контроля и оценки микрогеометрии поверхностей с помощью микротопографий: свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ / В.А. Валетов, Е.А. Филимонова - № 2014614458; заявл. 03.03.2014; опубл. 24.04.2014.

12. Безъязычный, В.Ф. Влияние качества поверхностного слоя после механической обработки на эксплуатационные свойства деталей машин / В.Ф. Безъязычный // Инженерный журнал. Справочник. - №4. - 2000. - С. 9-16.

13. Крагельский, И.В. Основы расчётов на трение и износ / И.В. Крагельский, Н.М. Добычин, B.C. Комбалов. - Машиностроение. - Москва, 1974. - 526 с.

14. Крагельский, И.В. Трение и износ / И.В. Крагельский. - Машиностроение. -Москва, 1968.-480 с.

15. Крагельский, И.В. Узлы трения машин: Справочник / И.В. Крагельский, Н.М. Михин. - Машиностроение. - М., 1984. - 280 с.

16. Крагельский, И.В. Влияние шероховатости поверхности на трение. / И.В. Крагельский. // Изд-во АН СССР. - 1945.

17. Комбалов, B.C. Оценка триботехнических свойств контактирующих поверхностей / B.C. Комбалов // - Наука. - М., 1983. - 134 с.

18. Демкин, Н.Б. Качество поверхности и контакт деталей машин / Н.Б. Демкин, Э.В. Рыжов. - Машиностроение. - М., 1981. - 244 с.

19. Дунин-Барковский, И.В. Измерения и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности / И.В. Дунин-Барковский, А.Н. Карташова // Машиностроение. - М., 1978г. - 232 с.

20. Булатов, В.П. Оптимизация исходной шероховатости деталей ЦПГ с целью улучшения условий приработки и уменьшения последующего изнашивания / В.П. Булатов, В.А. Красный // Двигателестроение. - 1984. -№ 10.-С. 46-48.

21. Красный, В.А. О роли микрогеометрии рабочих поверхностей поршневого кольца в процессе приработки и изнашивания пары кольцо-втулка цилиндра / В.А. Красный, В.П. Булатов // Труды Ленинградского кораблестроит. ин-та. - 1980. - С. 66-74.

22. Булатов, В.П. Исследование шероховатости поверхностей трения деталей цилиндропоршневой группы судовых дизелей / В.П. Булатов, Ю.Р. Витенберг, В.А. Красный // Трение и износ. - 1986. - Т. 7. - № 3. - С. 467473.

23. Костюков, А. А. Сопротивление воды движению судна / A.A. Костюков // Судостроение. - 1968 г.

24. Дунин-Барковский, И. В. Применение теории вероятностей и спектральной теории неровностей поверхности для расчёта допустимых значений геометрических параметров при функциональной взаимозаменяемости / И.В. Дунин-Барковский // Сборник «Взаимозаменяемость и технические измерения в машиностроении». -Машиностроение. - 1964г. - Выпуск № 4.

25. Михайлов, В.И. Основные виды шероховатости наружной обшивки корпуса судна / В.И. Михайлов // Сборник «Теория корабля и экспериментальная гидромеханика судна». - Судостроение. - 1961 г. -Выпуск № 39.

26. Ерофеев, А.И. О влиянии шероховатости на взаимодействие потока газов с поверхностью твёрдого тела / А.И. Ерофеев // Сборник «Механика жидкости и газа». - Выпуск № 6. - 1967 г.

27. Дрига, М.И. Измерения коэффициента аккомодации / М.И. Дрига, E.H. Фролова // Труды ВНИИМ. - Выпуск 85, - 1966 г.

28. Баранцев, Р.Г., Отражение молекул газа от шероховатых поверхностей / Р.Г. Баранцев // Сборник «Аэродинамика разреженных газов», - Труды ЛГУ. - Выпуск № 1, - 1963 г.

29. Валетов В.А. Влияние исходной шероховатости поверхностей роликовых направляющих на их усталостную прочность / В.А. Валетов // В кн.:

Качество поверхности и эксплуатационные свойства деталей машин и приборов. Новосибирск: НТО - Машпром. -1982. - С. 24-26.

30. Валетов, В.А. Влияние исходной микрогеометрии на коэффициент сопротивления качению и долговечность роликовых направляющих. / В.А. Валетов // Трение и износ. - 1982. - Том III. - № 5. - С. 914-918.

31. Валетов, В.А. Изменение микрогеометрии поверхностей трения деталей цилиндропоршневой группы судовых дизелей в процессе их работы / В.А. Валетов // Трение и износ. - 1983. - том4. - №6. - С. 1104-1107.

32. Валетов, В.А. Исследование закономерностей изменения микрогеометрии поверхностей деталей при трении-скольжении / В.А. Валетов, С.Д. Третьяков // Научно-технический вестник. - СПб, 2001 - С. 79-82.

33. Маталин, А.А. Качество поверхности и эксплуатационные свойства деталей машин / А.А. Маталин // Машгиз. - 1956. — 252 с.

34. Рыжов, Э.В. Технологическое обеспечение эксплуатационных свойств деталей машин / Э.В. Рыжов, А.Г. Суслов, В.П. Федоров. — Ivi.: Машиностроение, 1979. — 175 с.

35. Сулима, А. М. Шероховатости, технологическое обеспечение твердых тел / A.M. Сулима, В.А. Шулов, Ю.Д. Ягодкин // Машиностроение. - М., 1988. -240 с.

36. Liu, Y. Effect of surface microstructure on microchannel heat transfer performance/ Y. Liu, J. Cui, W.Z. Li, N. Zhang // J. Heat Transf. - 2011.- P. 1-6.

37. Rostamy, N. The effect of surface roughness on the turbulence structure of a plane wall jet / N. Rostamy, D.J. Bergstom, D. Sumner, J.D. Bugg // Phys. Fluids-2011.-23.-P. 1-10.

38. Tian, Z.F. Numerical investigation into the effects of wall roughness on a gas-particle flow in a 90 degrees bend/ Z.F. Tian, K. Inthavong, J. Tu, G. Yeoh// Int. J. Heat Mass Transf. - 2008. - 51. - P. 1238-1250.

39. Jean, M.B. Introduction to surface roughness and scattering/ M. B. Jean, L. Mattsson Washington. - Optical Society of America. - 1993.

40. Zeman, M. Effect of Interface Roughness on Light Scattering and Optical Properties of A-Si: H Solar Cells / M. Zeman, R. van Swaaij, M. Zuiddam, J. Metselaar // In Amorphous and Heterogeneous Silicon Thin Films: Fundamentals to Devices-1999: Materials Research Society. - Warrendale, PA, USA,1999. - Volume 557. - P. 725-730.

41. Bedeaux, D. Optical properties of Surfaces/ D. Bedeaux, J. Vlieger //Imperial College Press. - 2001.

42. Kotousov, A. Theoretical model for roughness induced opening of cracks subjected to compression and shear loading / A. Kotousov, L.B. Neto, S.S. Rahman // Int. J. Fract. - 2011. - 172. - P. 9-18.

43. Валетов, В.А. Возможные критерии оценки шероховатости обработанных поверхностей / В.А. Валетов // Труды ЛКИ. - 1976. - Вып. 108. - С. 135140.

44. Валетов В.А. Целесообразность изменения стандарта на шероховатость поверхностей деталей / В.А. Валетов // Машиностроение и автоматизация производства. Межвузовский сборник № 6. - СЗПИ. - СПб, 1997 - С. 118121.

45. Бобрик, П.И. Влияние качества обработки металлов на жёсткость наружных стыков: автореферат диссертации / П.И. Бобрик // Москва, 1977 г. - 24 с.

46. Ильиченко, О.Т. Определение площади контакта двух плоских тел / О.Т. Ильиченко // Вестник машиностроения. - 1958. - № 10. - С. 24-26.

47. Крагельский, И. В. Трение покоя двух шероховатых поверхностей / И.В. Крагельский - Известия АН СССР ОТН. - М., 1948. - № 10. - С. 1621 -1625.

48. Ling, F.F. On Asperity Distributions of Metallic Surfaces / F.F. Ling // J. Appl. Phys. - vol. 29.-№8.- 1958.-P. 1168- 1174.

49. Крагельский, И.В. Определение фактической площади касания, Трение и износ в машинах / И.В. Крагельский, Н.Б. Демкин // Издательство АН СССР. - М., 1960. - С. 37-62.

50. Archard, J.F. Elastic Deformation and the Contact of Surfaces Nature / J.F. Archard// vol. 172. - 1951.-P. 918-919.

51. Дьяченко, П. E. Определение фактической площади контакта сопряженных поверхностей / П.Е. Дьяченко, Н.Н. Толкачева, Т.М. Карпова // Труды третьей всесоюзной конференции по трению и износу. - АН СССР. - Москва, 1960. - С. 46-50.

52. Рыжов, Э.В. Контактная жесткость деталей машин / Э.В. Рыжов // Машиностроение. -М., 1966. - 194 с.

53. Greenwood, J. A. Contact of nominally flat surfaces / J.A. Greenwood, J.B. Williamson // Proc. Roy. Soc. London. - 1966. - vol. 295. - № 1442. - P. 300319.

54. Журавлев, В.А. К вопросу о теоретическом обосновании закона Амонтона-Кулона для трения несмазанных поверхностей / В.А. Журавлев // Журнал технической физики. - 1940. Т.10. - Вып. 17. -1447 с.

55. Greenwood J. A., Tripp J. Н. The elastic contact of rough spheres / J.A. Greenwood, J.H. Tripp // ASME: J. Appl. Mech. E. - 1967. - vol. 34. - № 1. -P. 153-159.

56. Archard, J.F. Elastic Deformation and the Laws of Friction / J.F. Archard // Proceedings of the Royal Society of London A, - London, 1957. - P. 190-205.

57. Chang, W.R. An Elastic-Plastic Model for the Contact of Rough Surfaces / W.R. Chang, I. Etsion, D.B. Bogy // ASME Journal of Tribology. - 1987. - 257.

58. Горячева, И.Г. Механика фрикционного взаимодействия / И.Г. Горячев. -Наука-М., 2001. -478 с.

59. Nayak, P. R.: Random Process Model of Rough Surfaces / P.R. Nayak // In: Journal of Lubrication Technology 93. - 1971. - P. 398-407.

60. Williamson, J. B. P. Microtopography of Surfaces / J.B. Williamson, R.T. Hunt // Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. - Vol. 182. - Part 3K -1968. -21 p.

61. Whitehouse, D. J The Properties of Random Surfaces of Significance in their Contact / D. J Whitehouse // Proceedings of the Royal Society of London. -Series A 316-1970.-P. 97-121.

62. Whitehouse, D.J. Beta-flinctions for surface typologie Annals of SIRP/ D.J. Whitehouse // Proceedings of the Royal Society of London. - 1978. - Vol. 27/1. -491 p.

63. Потапов, А.А Исследование микрорельефа обработанных поверхностей с помощью методов фрактальных сигнатур / А.А. Потапов, В.В. Булавкин, В.А. Герман, О.Ф. Вячеславовна // ЖТФ. - 2005. - Т. 75. - № 5. - С. 28 - 45.

64. Герасименко, Н.Н. Фрактальные методы анализа степени упорядоченности наноструктур / Н.Н. Герасименко, С.А. Апрелов // Российские нанотехнологии. - 2007. - № 1-2. - С. 136-139.

65. Majumdar, A. Role of fractal geometry in characterization and contact mechanics of surfaces / A. Majumdar, B. Bhushan // Ibid. - 1990. - vol. 112. -P. 205-216.

66. Majumdar A. Fractal model of elasto-plastic contact between rough surfaces / A. Majumdar, B.Bhushan // Ibid. - 1991. - vol. 113.-1-11.

67. Warren T. L. Fractal Models of Elastic-Perfectly Plastic Contact of Rough Surfaces Based on Cantor Set, International Journal of Solids and Structures/ T.L. Warren, D. Krajcinovic// 32 19. -1991.- 1 -11

68. Wilner K., Elasto-Plastic Normal Contact of Three-Dimensional Fractal Surfaces Using Halfspace Theory / K. Winner // Journal of Tribology: 126. -1995. - 28-33.

69. Yan W., Komvopoulos K., Contact Analysis of Elastic-Plastic Fractal Surfaces / W. Yan, K. Komvopoulos // Journal of Applied Physics: 84 (7). - 1998. - P. 3617-3624

70. ГОСТ 2789-73. Шероховатость поверхности: параметры, характеристики, обозначения. - М: Изд-во стандартов - 7 стр.

71 .ISO 4287/1 Surfaces roughness - Terminology - Part 1: Surface and its parameters. International Standard, 1984.

72. Табенкин, А.Н. Шероховатость, волнистость, профиль. Международный опыт / А. Н. Табенкин, С. Б. Тарасов, С. Н. Степанов / Изд-во Политехнического университета. - СПб, 2007. - 136 с.

73. Порошин, В. В. Основы комплексного контроля топографии поверхности деталей / В.В. Порошин // Монография. -Машиностроение. - М., 2007. -196 с.

74. Структура поверхности. Википедия, материалы бесплатной энциклопедии [Электронный ресурс]. - 2013. - Режим доступа: http://en.wikipedia.org/wiki/ISO_25178. - Дата доступа: 23.11.2013

75. Иванов, А.Ю. Влияние шероховатости поверхности на усилие распрессовки прессовых соединений / А.Ю. Иванов, Д.Б. Леонов // Научно-технический вестник ИТМО - № 3 (85). - 2013 - 147-150 с.

76. Валетов, В.А. Исследование микрогеометрии трущихся поверхностей / В.А. Валетов, И.Р. Цимбал, Ю.С. Андреев // Трибология и надежность №10: Сборник научных трудов X Международной конференции. -Петербургский государственный университет путей сообщения. - СПб, 2010.-85-92 с.

77. Юльметова, О.С. Методика экспериментального исследования влияния микрогеометрии поверхностей на их трибологические характеристики / О.С. Юльметова, В.А. Валетов // Трибология и надежность № 9: Сборник научных трудов IX Международной конференции. - Петербургский государственный университет путей сообщения. - СПб, 2009. - с. 101-107.

78. Валетов, В.А. Обеспечение качества поверхностей деталей на электроэрозионном оборудовании / В.А. Валетов, В.В. Медунецкий // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.-№2(78)-2012.- С. 113-117.

79. Валетов, В.А. Программа автоматизированного контроля микрогеометрии поверхностей с помощью непараметрических критериев / В.А. Валетов, Е.А. Филимонова // Металлообработка. -Политехника. - СПб, 2011. - № 5. -С. 45-48.

80. Валетов, В.А. Автоматизация контроля микрогеометрии поверхности с помощью непараметрических критериев / В.А. Валетов, Е.А. Филимонова // Технологии упрочнения, нанесения покрытий и ремонта: теория и практика, часть 1, Материалы к 14-й Международной научно-практической конференции. - Издательство Политехнического университета. - СПб, 2012.

81. Валетов, В.А. Достоверная оценка шероховатости функциональных поверхностей с использованием микротопографий / В.А. Валетов, О.С. Юльметова, Е.А. Филимонова // Металлообработка. -Политехника. - СПб,

2012.-№4.-С. 43-46.

82. Валетов, В.А. Программа оценки и контроля шероховатости поверхностей деталей на основе их микротопографий / В.А. Валетов, Е.А. Филимонова // Технологии упрочнения, нанесения покрытий и ремонта: теория и практика, часть 1, Материалы 15ой международной научно-практической конференции. - Издательство Политехнического университета. - СПб,

2013. - С. 245-247.

83. Валетов, В.А. Оптимизация микрогеометрии поверхностей детали в приборостроении / В.А. Валетов // Учебное пособие. - Ленинград, 1989. -ЛИТМО.

84. Парфенов, О.Д. Технология микросхем / О.Д. Парфенов // Учебное пособие для вузов. -Высшая школа. - М., 1977.

85. Шор, Я. Б. Статистические методы анализа и контроля качества и надежности / Я.Б. Шор // Госэнергоиздат. - М., 1962. - 552 с.

86. Kolmogoroff, A. Sulla determinazione empírica di una legge di distribuzione / A. Kolmogoroff // Guornale dell' Instituto Italiano degli Attuari. - 1933. - V.4. -№1. -P. 83-91.

87. Метод прямоугольников [Электронный ресурс]. - 2014. - Режим доступа: http://ш.wikipedia.org/wiki/Meтoд_пpямoyгoльникoв. - Дата доступа: 01.05.2014.

88. Рабинер, Л. Теория и применение цифровой обработки сигналов /Л. Рабинер, Б. Гоулд // Мир. - М., 1978. - 834 с.

89. Кирьянов, Д. В. Вычислительная физика / Д.В. Кирьянов, Е.Н. Кирьянова // Полибук Мультимедиа. - М., 2006. - 352 с.

90. Зеркальный эффект [Электронный ресурс]. - 2014. - Режим доступа: http://psi-logic.narod.ru/fft/fft8.htm. - Дата доступа: 17.03.2014.

91. Аппроксимация эмпирически полученной поверхности методом наименьших квадратов [Электронный ресурс]. - 2014. - Режим доступа: http://www.delphikingdom.com/asp/viewitem.asp?catalogid=1368. - Дата доступа: 17.03.2014

92. Андреев, Ю.С. Исследование микрогеометрии поверхности пары трения скольжения в период приработки / Андреев Ю.С., Валетов В.А. // Трибология и надежность №11: Сборник научных трудов XI Международной конференции. - Петербургский государственный университет путей сообщения. - СПб, 2011. - С. 44-52.

93. Валетов, В.А. Оценка микрогеометрии поверхности с помощью непараметрических критериев при импульсном фрезеровании / В.А. Валетов, Е.А. Филимонова // Известия вузов. «Приборостроение» - Санкт-Петербург, 2014. - Т. 57. - Выпуск 8 - С. 52-54.

94. Безъязычный, В.Ф. Назначение режимов резания по заданным параметрам качества поверхностного слоя текст. / В.Ф. Безъязычный. // Ярославль, 1978. - 86 с.

95. Васильков, Д.В. Обеспечение стабильности качества поверхностного слоя изделий при механической обработке на основе алгоритмов автоматизированного проектирования / Д. В. Васильков, А. Г. Ташевский,

A. А. Лыченков // Металлообработка. - 2007. - № 6. - С. 8-11.

96. Васильков, Д.В. Влияние ионно-вакуумной обработки на микрогеометрию рабочих поверхностей инструментов / Д.В. Васильков,

B.М. Петров, И.А. Сенчило // Инструмент, № 4. - 1996. - 22-23с.

97. Васильков, Д.В Комплексное исследование состояния поверхностного слоя инструментальных материалов при ионно-вакуумной обработке / Д.В. Васильков, В.М. Петров, И.А. Сенчило // Управление качеством финишных методов обработки. Сб. науч. тр. - ПГТУ. - Пермь, 1996. - С. 176-179.

98. Eigenbrod, H. Fräsprozesse durch überlagerte Bewegungen optimieren / H. Eigenbrod, J.P. Bergmann // VDI-Z II. - Band: 155/ - Ausgabe: 2. - S. 30 - 31.

99.Топорец, A.C. Оптика шероховатых поверхностей / A.C. Топорец.-Машиностроение.- JI., 1988.- 191с.

100. Таганов, O.K. Исследование степени когерентности излучения, прошедшего шероховатую поверхность / O.K. Таганов, A.C. Топорец // Оптика и спектроскопия. - 1976. - Т. 40. - Выпуск 4. - С. 741 - 746.

101. Bennet, Н.Е Relation between Surface Roughness and Specular Reflactance at Normal Incidence / H.E. Bennet, J. O. Porteus // Journal of the Optical Society of America. -1961. - Vol. 51. - № 2. - P. 123-129.

102. Топорец, A.C. О диффузном отражении света от шероховатой поверхности / A.C. Топорец, М.М. Мазуренко // Журнал прикладная спектроскопия. - 1968. - Т. 8. - Вып. 1. - С. 161 - 163.

103. Полянский, В.К. К вопросу об отражении света шероховатыми поверхностями / В.К. Полянский, В.П. Рвачев // Оптика и спектроскопия. -1966. - Т. 20. - Вып. 4. - С. 701-708.

104. Чумаков, П.Н. О деполяризующих свойствах шероховатых металлических поверхностей / П.Н. Чумаков // Журнал Прикладная спектроскопия. - 1975.-Т. 22.-Вып. 1.-С. 110-113.

105. Lambropoulos, J.C. Subsurface damage in microgrinding optical glasses / J.C. Lambropoulos, S.D. Jacobs, B. Gillman, F. Yang, and J. Ruckman // LLE. -1997. - Review 73. - P. 45-49.

106. Гагарский, C.B. Исследование лучевой прочности диэлектрических покрытий, нанесённых на оптическую поверхность / C.B. Гагарский, В. С.

Ермолаев, А. H. Сергеев, M. В. Пузык // Известия вузов. Приборостроение. - 2012. - Т. 55. - № 7. - С. 80-84

107. Модулятор добротности лазера на эффекте нарушения полного внутреннего отражения (НПВО): пат. 27974 Рос. Федерация: МПК H01S /

B.Н. Арефьев, Б.М. Каплан, JI.JI. Шапиро; заявитель и патентообладатель -Открытое акционерное общество "JIOMO". - 4 с.

108. Материалы оптические и элементы твердосплавных лазеров. Метод определения лазерной прочности: ОСТ 11-070.802-80.

109. Имас, Я.А. Оптический пробой прозрачных диэлектриков / Я.А. Имас // Обзор экспериментальных работ. - Минск: Институт тепло- и массообмена АН БССР. - 1982. - 60 с.

110. Колодный, Г.Я. Многослойные интерференционные покрытия в квантовой электронике / Г.Я. Колодный, Е.А. Левчук, Ю.Д. Подрядин, П.П. Яковлев // Электронная промышленность. - 1981. - № 5—6. - С. 93—101.

111. Маненков, A.A. Лазерное разрушение прозрачных тел / A.A. Маненков, A.M. Прохоров // Успехи физ. наук. - 1986. - Т. 148. - Вып. 1. -

C. 5—38.

112. Гагарский, С.В Лазерные оптические элементы: лучевая прочность, обработка поверхности / C.B. Гагарский, В. С. Ермолаев, М. В. Иночкин, А. Н. Сергеев, Б. В. Шимберев // Тез. докл. XXXVII науч. и учеб.-метод, конф. - СПбГУ ИТМО. - СПб, 2008.