Разработка методик контроля и оценки эффективности систем фильтрации воздуха чистых помещений тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат наук Пьо Тху

• Пьо Тху
• кандидат наук
• 2020

Оглавление диссертации кандидат наук Пьо Тху

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧ ИССЛЕДОВАНИЙ

1.1. Взаимосвязь классов чистоты помещений с технологическими процессами производства изделий микроэлектроники

1.2. Многоступенчатая система фильтрации воздуха СКФВ ЧП

1.3. Типы воздушных фильтров

1.4. Современные системы контроля запыленности ЧП

1.5. Основные выводы и постановка задач исследований

ГЛАВА 2. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ НАРУЖНОГО ВОЗДУХА

2.1. Оценка влияния погодно-климатических условий на функционирование СКФВ

2.2. Анализ загрязненности наружного воздуха

2.3. Динамика изменения концентрации пыли в основных элементах СКФВ ЧП

2.4. Выводы

ГЛАВА 3. РАСЧЕТ ОСНОВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МНОГОСТУПЕНЧАТОЙ СИСТЕМЫ ФИЛЬТРАЦИИ СКФВ

3.1. Структурно-целевая модель проблемы эффективности многоступенчатой системы фильтрации ЧП

3.2. Расчет аэродинамического режима ЧП

3.3. Расчет фильтров МСФВ

3.4. Определение числа ступеней очистки наружного воздуха

3.5. Режимы движения воздуха в ЧП и вторичная пылегенерация

3.6. Выводы

ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА МЕРОПРИЯТИЙ ПО ПОВЫШЕНИЮ ЭФФЕКТИВНОСТИ МСФВ ЧП

4.1. Эффективность СКФВ и периодичность замены фильтров

4.2. Концентрация частиц и кратность воздухообмена

4.3. Расчет механической эксергии основных элементов системы

4.4. Статистическое управление обеспечения требуемого класса ЧП

4.5 Выводы

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ 1. АКТЫ ВНЕДРЕНИЯ

ПРИЛОЖЕНИЕ 2. СОСТАВ ЭКСПЕРТОВ

ОСНОВНЫЕ СОКРАЩЕНИЯ И ОБОЗНАЧЕНИЯ

ЧП - чистое помещение;

МСФВ - многоступенчатая система фильтрации воздуха;

СКФВ - система кондиционирования и фильтрации воздуха;

ИЭТ - изделия электронной техники;

НПТГ - наукоёмкая природно-техническая геосистема;

НВ - наружный воздух;

ВЗУ- воздухозаборное устройство;

ОС - окружающая среда;

СФ - стартовые фильтры;

ЦК - центральный кондиционер;

КД - кондиционер-доводчик;

РЦК - рецикуляционный контур;

СУВ - система удаления воздуха;

БО - буферный объем;

ФФ - финишные фильтры;

ФП - фальшпол;

ТО - технологическое оборудование;

ТПГ и ХПГ - теплый и холодный периоды года;

ВВ и ВН - всасывающий и нагнетательный воздуховоды;

ПС - прямоточная система;

ПДС - подсистема;

СИ - стандартный индекс;

ИЗА - индекс загрязнения атмосферы;

ССБТ - система стандартов безопасности труда;

ПДК - предельно-допустимая концентрация.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка методик контроля и оценки эффективности систем фильтрации воздуха чистых помещений»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность проблемы. В связи с уменьшением топологических размеров элементов изделий электронной техники (ИЭТ) возрастают требования к качеству внутрипроизводственной среды чистых помещений (ЧП) и, как следствие, к эффективности функционирования многоступенчатой системы фильтрации воздуха (МСФВ) ЧП.

Повышение эффективности системы может быть обеспечено путем исследования процессов энергопревращений в ней, установления источников потерь энергии и решения ряда научно-технических вопросов по минимизации этих потерь.

По стандарту ИСО 14644-1, чистое помещение - это помещение, в котором контролируются счетная концентрация аэрозольных частиц, температура воздуха, его относительная влажность, а также при необходимости и другие параметры [1].

Таким образом, определяющими факторами, влияющими на обеспечение и поддержание требуемого класса ЧП, являются счетная концентрация и размер аэрозольных частиц. Выполнение этих требований возлагается на МСФВ, как подсистему системы кондиционирования и фильтрации воздуха (СКФВ), которая находится в тесной взаимосвязи с погодно-климатическими условиями, состоянием атмосферного воздуха, конструктивно-технологическими особенностями СКФВ,

аэротермодинамическими процессами, протекающими в ней, режимом работы технологического оборудования, организацией труда персонала и др.

Объект исследования - многоступенчатая система фильтрации воздуха как компонента совокупности технических аппаратов и устройств воздухоподготовки чистого помещения.

Предмет исследования - аэродинамические и эксергетические характеристики многоступенчатой системы фильтрации воздуха как подсистемы СКФВ чистых помещений.

Целью работы является разработка и реализация методик контроля и оценки аэродинамических и эксергетических потерь в многоступенчатой системе фильтрации воздуха чистых помещений на основе методов математического и компьютерного моделирования.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

1. Анализ современного состояния систем контроля эффективности фильтрации воздуха для ЧП и определение направлений повышения их информативности и оперативности.

2. Установление взаимосвязи погодно-климатических условий и фазово-компонентного состава атмосферы с эффективностью МСФВ ЧП.

3. Оценка влияния различных компоновочных решений на эффективность функционирования МСФВ.

4. Разработка методики контроля аэродинамических процессов в основных элементах СКФВ ЧП с точки зрения обеспечения заданного класса ЧП.

5. Разработка методики оценки эксергетических потерь в элементах МСФВ ЧП с позиции выявления малоэффективных компонентов системы.

6. Проведение математического и компьютерного моделирования динамики изменения эксергетических потерь в основных элементах СКФВ ЧП для реализации методики эксергетической оценки системы.

7. Проверка параметров ЧП на соответствия заданному классу ЧП на основе статистического подхода и построение контрольных карт Шухарта для счетной концентрации частиц в ЧП, перепада давления и эффективности очистки воздуха в основных элементах СКФВ ЧП.

Научная новизна работы состоит в следующем:

1. Разработана структурно-целевая модель обеспечения заданного класса ЧП, учитывающая погодно-климатические условия, фазово-компонентный состав атмосферы и конструктивно-технологические особенности СКФВ.

2. Предложен критерий эффективности функционирования многоступенчатой системы фильтрации, основанный на достижении минимума эксергетических потерь в СКФВ и в её элементах.

3. Разработана методика всепогодного обеспечения требуемого класса чистоты ЧП, основанная на анализе аэродинамических процессов в системе и повышающая управляемость аэро- и термодинамических процессов в СКФВ.

4. С использованием методов математического и компьютерного моделирования разработана методика эксергетической оценки СКФВ, позволяющая минимизировать эксергетические потери самой системы.

Теоретическая и практическая значимость:

1. Теоретическое обоснование необходимости учета погодно-климатических условий и фазово-компонентного состава обрабатываемого в СКФВ воздуха, обеспечивающего соблюдение заданных параметров технологического микроклимата ЧП.

2. Установлены взаимосвязи потерь эксергии в элементах системы и запыленности воздуха в ЧП, позволяющие определить малоэффективные процессы обработки воздуха для различных компоновочных решений системы.

3. Разработан критерий эффективности функционирования СКФВ на основе эксергетического анализа системы фильтрации воздуха и минимизации потерь эксергии при обработке воздуха.

4. На основе комплекса теоретических и практических исследований разработаны методики по контролю и оценки аэродинамических

процессов и эксергетических потерь в элементах системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений.

5. Разработаны научно-обоснованные рекомендации по периодичности замены фильтров, повышающие эффективность эксплуатации системы на 7,5%.

6. Разработаны практические рекомендации по организации и управлению процессами обработки воздуха на основе аналитического определения запыленности воздуха в ЧП, перепада давления и эффективности очистки воздуха в элементах СКФВ ЧП.

Достоверность полученных результатов. Достоверность разработанных математических и физических моделей подтверждена отсутствием противоречий положениям основных законов аэро- и термодинамики, подтверждается проверками на соответствие по экспериментальным данным и сравнением с зарубежными и отечественными данными научно-технических литературных источников. Экспериментальные исследования проводились на современном отечественном и зарубежном оборудовании, а также на специально разработанных стендах в институте «Перспективные материалы и технологии» НИУ МИЭТ. Предложенные методики проверены аналитическими расчетами, промышленными испытаниями и компьютерным моделированием.

Внедрение результатов работы. Результаты диссертационной работы были внедрены при энергомониторинге системы воздухоподготовки НИУ МИЭТ и в учебный процесс НИУ МИЭТ в качестве основных учебно-методических разработок для магистров по программам «Энергетическая эффективность производств электронной техники» по направлению подготовки 11.04.04 и «Безопасность

технологических процессов и производств» по направлению 20.04.01 (Приложение 1).

Личный вклад автора. Все основные результаты диссертации получены лично автором. Главными из них являются:

1. Определение проблемной области исследований, формулировка цели и основных задач диссертационной работы.

2. Результаты системного и статистического анализа современных проблем прецизионной системы фильтрации воздуха ЧП.

3. Учет влияния изменения погодно-климатических характеристик и фазово-компонентного состава атмосферы Зеленоградской НПТГ на эффективное функционирование системы фильтрации воздуха в ЧП.

5. Результаты эксергетического анализа СКФВ ЧП и установление основных факторов, влияющих на эффективное функционирование системы.

6. Результаты компьютерного моделирования оценки эксергетической эффективности системы фильтрации воздуха в ЧП.

На защиту выносятся:

1. Результаты системного и статистического анализа состояния погодно-климатических условий и фазово-компонентного состава атмосферы НПТГ, как фактора влияния на эффективное функционирование СКФВ ЧП.

2. Теоретическое обоснование необходимости поддержания счетной концентрации аэрозольных частиц в заданных пределах, как основного показателя обеспечения и контроля требуемого класса чистоты в ЧП.

3. Математическая и компьютерная модель СКФВ ЧП и методика контроля аэродинамических параметров с целью их оптимизации по критерию минимума потерь давления воздуха в основных элементах системы.

4. Результаты эксергетической оценки основных элементов системы фильтрации воздуха ЧП и выявление факторов влияния на эффективность системы.

Апробация работы. Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на: 23-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции (г. Москва, МИЭТ, 2016 г.); 24-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции (г. Москва, МИЭТ, 2017 г.); Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), 2018 IEEE Conference of Russia; 25-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции (г. Москва, МИЭТ, 2018 г.); III Международной научно-практической конференции «Технические науки: научные приоритеты учёных» (г. Пермь, 2018 г.); XVIII Международной научно-практической конференции «Экология и безопасность жизнедеятельности» (г. Пенза, 2018 г.); Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), 2019 IEEE Conference of Russia; 26-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции (г. Москва, МИЭТ, 2019 г.), а также на научных семинарах института «Перспективные материалы и технологии» НИУ МИЭТ.

Публикации. Основные положения диссертационной работы опубликованы в 17 работах, в том числе 3 статьи в журналах, входящих в перечень изданий, рекомендованных ВАК РФ и 4 публикации в зарубежных изданиях, включенных в систему цитирования «Scopus». Разработана одна программа для ЭВМ, имеющая Государственную регистрацию.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, 4 глав и заключения. Общий объем составляет 112 страниц машинописного

текста, включая 34 рисунка, 41 таблицу, список литературных источников, состоящий из 120 наименований и 2-х приложений.

ГЛАВА 1. СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ И ПОСТАНОВКА

ЗАДАЧ ИССЛЕДОВАНИЙ

1.1. Взаимосвязь классов чистоты помещений с технологическими процессами производства изделий микроэлектроники

В настоящее время чистые помещения классифицируются в соответствии с современными стандартами, устанавливающими класс чистоты по счетной концентрации аэрозольных частиц [1-4]. При этом рассматриваются аэродисперсные системы (множества частиц), имеющие распределения с ограниченными снизу размерами частиц (предельными значениями) от 0,1 до 5,0 мкм (табл. 1.1).

Таблица 1.1 - Классификация чистых помещений

Класс ЧП Пределы максимально допустимых концентраций частиц в м3 с размерами, равными или большими следующих значений, шт.

0,1 мкм 0,2 мкм 0,3 мкм 0,5 мкм 1,0 мкм 5,0 мкм

1 ИСО 10 2 — — — —

2 ИСО 100 24 10 4 — —

3 ИСО 1000 237 102 35 8 —

4 ИСО 10000 2370 1020 352 83 —

5 ИСО 100000 23700 10200 3520 832 29

6 ИСО 1000000 237000 102000 35200 8320 293

7 ИСО — — 352000 83200 2930

8 ИСО — — — 3520000 832000 29300

9 ИСО — — — 35200000 8320000 293000

В таблице 1.1 приведены классы чистоты согласно пределам максимально допустимымх концентраций частицы и с размерами, равными и большими, обозначенными в стандарте [1]. Число частиц в

воздухе ЧП обозначается классификационным числом N. Максимально допустимая их концентрация Сп для соотвествующего размера частиц В можно определить по следующей формуле:

С = ^ х

01

V В J

(1.1)

где: Сп - максимально допустимая концентрация частиц в 1 м3 воздуха; N - классификационное число ИСО (не более 9); В -контролируемый размер частиц, мкм; 0,1 - константа.

Характерная особенность высокотехнологических производств микроэлектроники состоит в тесной взаимосвязи технологической внутрипроизводственной среды ЧП с атмосферой (погодно-климатические условия и фазово-компонентный состав) природно-технической геосистемы (ПТГ), в которой эксплуатируется промышленный объект. Состояние атмосферы ПТГ оказывает непосредственное влияние на параметры внутрипроизводственной среды ЧП самого производства ИЭТ, и, как следствие, на выход годной продукции [5, 6].

С ростом степени интеграции ИЭТ повышается чувствительность прецизионных технологических процессов к загрязнениям, что объясняет более жесткие требования, предъявляемые к технологической внутрипроизводственной среде, качеству исходных материалов, нормам технологической точности оборудования и к организации труда персонала. Необходимо выделить следующие характерные особенности технологических процессов при производстве изделий микроэлектроники (таблица 1.2).

Таблица 1.2 - Особенности технологических процессов микроэлектроники

Возможные последствия и требования к организации технологического процесса

Групповые методы обработки изделий и многожественности операций Возрастание риска брака при отклонении технологического процесса от регламента и суммирования дефектов на отдельных операциях

Миниатюрность изделий Высокие требования к чистоте и качеству технологического микроклимата и технологических сред

Многообразие и особая чистота веществ и материалов Специальные требования технологического и санитарно-гигиенического характера

Разнообразность физических, химических и других процессов Мониторинг различных видов воздействий и явлений

Значительная зависимость внутрипроизводственной среды от внешней атмосферы ПТГ Мониторинг параметров атмосферы ПТГ, СКФВ и внутрипроизводственной среды в ЧП

Очевидно, что успешность столь сложного производства изделий микроэлектроники возможно только в условиях особого технологического микроклимата, важнейшей характеристикой, которого является счетная концентрация аэрозольных частиц в воздухе ЧП. Задача обеспечения этого доминирующего параметра технологического микроклимата возлагается на систему многоступенчатой фильтрации воздуха, эффективность которой определяется характеристиками аппаратов очистки, схемой их компоновки, а также аэродинамическими явлениями в процессе очистки

[7-9].

1.2. Многоступенчатая система фильтрации воздуха СКФВ ЧП

Анализ зарубежной и отечественной практики эксплуатации ЧП показывает, что в настоящее время для чистых помещений высоких

классов используются МСФВ различного конструктивного исполнения [10-18]. В основе всего разнообразия МСФВ лежит базовая схема, приведенная на рисунке 1.1.

Рисунок 1.1 - Базовая схема многоступенчатой системы фильтрации воздуха ЧП: НВ - наружный воздух; ВЗУ - воздухозаборное устройство; СФ - стартовые фильтры; ЦК - центральный кондиционер; КД -кондиционер-доводчик; РЦК - рецикуляционный контур; ПС -прямоточная схема; БО - буферный объем; ФФ - финишные фильтры; ЧП - чистое помещение; ФП - фальшпол; ТО - технологическое оборудование; СУВ - система удаления воздуха; ОС - окружающая среда; 1-6 - ступени очистки.

Число ступеней очистки и тип используемых воздушных фильтров зависит от требуемого класса ЧП. Рассматриваемая схема имеет пять ступеней очистки, каждая из которых выполняет свою функцию по обеспечению требуемой чистоты воздуха, подаваемого в ЧП.

На первой ступени наружный воздух поступает в ВЗУ, где производится первичная обработка воздуха посредством СФ. Основным

элементом второй ступени очистки является фильтры центрального кондиционера, очищающие обрабатываемый воздух с эффективностью 95,5% для частиц размером более 0,3 мкм. Также необходимо отметить, что в ЦК возможно отклонение указанных параметров за пределы допустимых значений. Окончательная доводка значений обрабатываемого наружного воздуха производится в фильтрах КД (третья ступень очистки).

Затем воздух поступает в финишные фильтры (четвертая ступень очистки), где проводится очистка от частиц пыли размером ~0,1 мкм с эффективностью очистки 99,995%. Также необходимо учесть, что для рабочих мест с повышенными требованиями к чистоте воздушной среды, устанавливаются дополнительные прецизионные фильтры (пятая ступень). Для обеспечения заданного класса чистоты ЧП, загрязненный отработанный воздух отводится по рециркуляционному контуру (~90% от всего объема воздуха) и подается обратно в КД, пройдя повторную очистку на третьей ступени [5].

Оставшаяся часть воздуха удаляется в окружающую среду, предварительно пройдя очистку в СУВ до соответствующих санитарных норм [5, 6].

1.3. Типы воздушных фильтров

Воздушные фильтры грубой очистки применяют практически во всех схемах воздухоподготовки [19-22]. В зависимости от функционального назначения на каждой из ступеней очистки используются определенные типы воздушных фильтров, которые классифицируются по назначению (таблица 1.3) [23].

Таблица 1.3 - Классификация воздушных фильтров

Применение фильтров Класс очистки Степень очистки Примечание

EN779

Фильтры грубой очистки с обычными требованиями к чистоте воздуха Грубая очистки G1 A (%) Эффективность определяется крупнодисперными частицами пыли более 2 мкм

Фильтры грубой очистки от высокой концентрации пыли G2 65

G3 80

G4 90

Фильтры тонкой очистки Тонкая очистка F5 E (%) Эффективность определяется мелкодисперсными частицами пыли до 1 мкм

F6 60

F7 80

F8 90

F9 95

Фильтры ультратонкой очистки воздуха от мелкодисперсной пыли Особо тонкая очистка Ш0 85 Эффективность определяется мелкодисперсной пылью от 0,1 до 0,5 мкм

Ш1 95

Ш2 95,5

H13 99,95

H14 99,995

U15 99,9995

U16 99,99995

U17 99,999995

Данные типы фильтров предназначены для очистки наружного атмосферного воздуха, а в ряде случаев, и вытяжного воздуха из ЧП. Конструктивное решение фильтров определяется характером аэрозольной пыли (загрязнений) и требуемой чистотой воздуха в ЧП. По размерам эффективно улавливаемых аэрозольных частиц согласно Европейским стандартам, фильтры делятся на три класса: фильтры грубой, тонкой и особо тонкой очистки. При грубой очистке задерживаются частицы

величиной 10 мкм и более, при особо тонкой очистке, задерживаются частицы меньших размеров, вплоть до 0,1 мкм. В зависимости от эффективности очистки в каждом классе выделяется несколько типов фильтров [23].

Фильтры грубой очистки типа 01 применяются при невысоких требованиях к чистоте воздуха. Фильтры 02-04 предназначены для того, чтобы уменьшить уровень запыленности воздуха, подаваемого в вентилируемые помещения с обычными требованиями, и применяются в тех случаях, когда концентрация пыли в районе расположения промышленного объекта или вблизи места забора воздуха превышает ПДК, установленную санитарными нормативами. Данные типы фильтров применяются для защиты теплообменников, холодильных секций, камер орошения, воздуховодов, приборов автоматического контроля и управления СКФВ от загрязнений. Фильтры грубой очистки, как правило, используют в качестве первой ступени очистки в МСФВ [19-22].

При неблагоприятной экологической обстановке ПТГ, когда имеет место высокая загрязненность воздуха на месте забора воздуха применяются фильтры тонкой очистки Б5-Р9. Высокоэффективные фильтры типа и Б9 применяются при производстве

высокочувствительных изделий, например, в микроэлектронике. Фильтрующими элементами в таких аппаратах служат материалы из синтетических волокон, выполненные в виде фильтрующих панелей и листов [23-26].

Воздушные фильтры сверхвысокой эффективности обеспечивают строгое выполнение жестких требований к чистоте внутрипроизводственной среды в ЧП высоких классов [25, 26].

Для очистки вредных паров и газов токсичных и пахнущих веществ применяют фильтры с активированным углем [27], которые обычно

используют при температуре воздуха до 400С и его относительной влажности до 70% [28-30].

Для воздушных фильтров ультратонкой очистки фильтровальными элементами служат стекловолокнистый материал и клееная бумага субмикронных волокон с гидрофобным покрытием [31, 32].

Все фильтры герметично крепятся к металлической раме так, чтобы была возможность их замены или регенерации. Замена фильтра или его регенерация происходит при условии превышения допустимого значения перепада давления и его эффективности. Наибольшее распространение в ЧП микроэлектроники получили НЕРА-фильтры (High Efficiency Particulate Air) с минимальной эффективностью 99,97% для частиц размером 0,3 мкм [33].

Однако современное производство ИЭТ достигло уровня, требующего обеспечения и контроля более мелкодисперсных частиц и с большей эффективностью. Это достигается за счет ULPA-фильтров (Ultra-Low Penetration Air) с эффективностью более 99,999% для частиц размером 0,1 мкм [34-36]. Принцип работы и конструкции НЕРА и ULPA-фильтров аналогичны.

1.4. Современные системы контроля запыленности ЧП

С целью минимизации энергозатрат технологическое ядро ЧП, как правило, окружают зоны с меньшим классом чистоты. Поскольку потоки персонала и материалов между чистыми зонами повышают риск переноса загрязнений, необходим постоянный мониторинг cчетной концентрации аэрозольных частиц во внутрипроизводственной среде ЧП. К настоящему времени сложилась концепция контроля аэрозольных частиц на соответствие заданному классу чистоты по ИСО, нашедшая широкое

применение на большинстве предприятий микроэлектроники (рис. 1.2) [37].

Рисунок 1.2 - Концепция контроля запыленности ЧП

Концепция основана на применении двух основных разновидностей защиты критической зоны: защита аэродинамическими методами и с помощью физических барьеров.

Аэродинамические методы состоят в изменении формы и направления потока воздуха (рис. 1.3), а физические барьеры могут быть активными и пассивными (рис. 1.4).

Рисунок 1.3 - Принципы организации ЧП с использованием аэродинамических методов: а) - защита изделия; б) - защита персонала и внутренней среды; в) - защита изделия, персонала и внутренней среды; 1

направление воздушного потока 20

12 2 1

Пассивная система Активная система

Рисунок 1.4 - Принципы организации ЧП с использованием физического барьера защиты изделия и персонала:1 - безопасная зона для

персонала; 2 - зона защиты изделия

Для защиты ЧП от загрязнений, вносимых из менее чистых зон, необходимо поддерживать в ЧП более высокое статическое давление по сравнению с соседними смежными зонами, либо поддерживать достаточную скорость воздушного потока в месте разграничения чистой и менее чистой зоны. Обратное движение воздуха может представлять риск загрязнений.

Здесь возможны два подхода:

- принцип вытесняющего потока (малый перепад давления, высокая скорость воздуха в ЧП), когда разделение чистой и менее чистой соседних зон может быть получено, например, за счет низкотурбулентного

вытесняющего потока воздуха (рис. 1.5).

-р-

Рисунок 1.5 - Принцип вытесняющего потока

Скорость вытесняющего потока должна быть, как правило, более 0,2

м/с в направлении от более чистой зоны к менее чистой. Необходимая

21

скорость воздуха должна быть выбрана с учетом физических препятствий, источников тепла, вытяжки и источников загрязнений.

- принцип перепада давления (большой перепад давления, низкая скорость воздуха), когда между зонами с различными классами чистоты существует перепад давления (рис. 1.6).

Рисунок 1.6 - Принцип перепада давления

Для предотвращения возникновения обратного потока воздуха перепад давления должен быть стабильным и достаточным по значению. Принцип перепада давления можно комбинировать с другими методами контроля загрязнений. Для беспрепятственного открывания дверей и шлюзов, а также исключения непредусмотренного встречного потока воздуха из-за турбулентности, как правило, перепад давления между ЧП или чистыми зонами с различными классами чистоты должен быть от 5 до 20 Па [37].

Статическое давление между ЧП с различными классами чистоты, а также между ЧП и неклассифицируемыми зонами следует поддерживать с использованием различной техники балансирования потоков воздуха (активных/автоматизированных и пассивных/ручных систем), при этом необходимо регулировать расход воздуха, который подается в каждую зону системой подачи воздуха и удаляется из нее через воздуховоды или другим образом.

Если перепады давления находятся на нижней границе указанных пределов, следует принять специальные меры для обеспечения правильного измерения скорости разделяющего потока или давления и доказательства стабильности работы чистого помещения [38 -47]. Для иллюстрации эффективности принципа вытесняющего потока или принципа перепада давления может использоваться как физическая, так и компьютерная визуализация потоков воздуха.

Для контроля запыленности непосредственно вблизи критичных технологических процессов устанавливаются пробоотборники датчиков аэрозольных частиц, с определенной скоростью прокачивающих через себя воздух и подсчитывающих счетную концентрацию частиц. Данные об их количестве и размерах заносятся в соответствующий протокол измерений. При необходимости, в него вносят данные состояния технологического микроклимата ЧП (температуры воздуха, его относительной влажности, перепада давления, скорости воздуха, кратности воздухообмена и др.).

При выборе числа точек пробоотбора в ЧП, прежде всего, руководствуются критическими точками технологического процесса, где ИЭТ находится в открытой внутрипроизводственной среде и велик риск опасности его загрязнения. Также в критических точках контролируется счетная концентрация частиц в чистой зоне, непосредственно примыкающей к зоне с критическими по отношению к чистоте воздуха процессами. Эти процедуры относятся к вопросам организации системы непрерывного контроля и мониторинга заданного класса ЧП.

Если класс ЧП или особенности протекания технологического процесса позволяют проводить не непрерывный, а периодический контроль, то в критических точках эпизодически проводят инструментальные замеры счетной концентрации частиц с помощью

портативных аэрозольных счетчиков частиц. В этом случае периодичность пробоотбора определяется соответствующими стандартами и техническим регламентом предприятия. На основании вышесказанного, можно сделать вывод, что количество точек пробоотбора частиц - это число мест, где необходимо непрерывно или периодически контролировать количество и концентрацию аэрозольных частиц заданного класса ЧП, которые в свою очередь определяются еще на этапе проектирования ЧП [45-47].

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Пьо Тху, 2020 год

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

1. ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц.

2. ГОСТ ИСО 14644-1-2002. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха. - М.: Стандартинформ, - 2008.

3. ISO 14644-1-2015. Cleanrooms and associated controlled environments. Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration.

4. US 209C. Federal standard for cleanrooms.

5. Рябышенков А.С. Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники: дис. д-ра техн. наук: 05.11.13 - М., - 2018. - 288 с.

6. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С., Штерн Ю.И. Технология микроклимата чистых помещений микроэлектроники: учеб. пособие. - М.: МИЭТ, - 2019. - 120 с.: ил.

7. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С., Федосов А.Д. Анализ энергоэффективности системы воздухоподготовки в чистых помещениях. Сборник научных трудов «Методы анализа и контроля объектов ПТГ». - М.: МИЭТ. - 2014. - С.79-83.

8. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С. Оценка эффективности функционирования чистых помещений на основе энергетического подхода. - Уфа: РИО ИЦИПТ. - 2015. - С.72-76.

9. Каракеян В.И., Корчагин Е.П., Рябышенков А.С. Анализ методов оптимизации энергетической эффективности в чистых помещениях. - М.: МИЭТ. - 2016. - С.15-22.

10. Mana Sezdi, Yavuz Üzcan. Clean room classification in the operating room. Medical Technologies National Congress. - 2016. - PP.1-4.

11. An-Shik Yang, Chang-Wei Lu, Chao-Wen Chen, Yang-Cheng Shih. Automated control solution for contaminant dispersal in a cleanroom. 8th IEEE International Conference on Industrial Informatics. - 2010. - PP.34-39.

12. Mana Sezdi. Clean room classification in the operating room. Medical Technologies National Congress (TIPTEKNO). - 2016. - PP.15.

13. Chien C.C, Chang C.C, Jefferson Shyu, Eric Hsiao, Tang B.S, Liang-Kun Zhu. Innovative precise-environment design and technology of removing the pollutant from a clean room. E-Manufacturing & Design Collaboration Symposium (eMDC). - 2013. - PP.1-4.

14. Захаров А.Н., Никулина И.М. Анализ эффективности комфортного кондиционирования воздуха в чистых помещениях. Материалы XII международной НПК «Безопасность жизнедеятельности предприятий в промышленно развитых регионах» [Электронный ресурс] ФГБОУ ВО «Кузбас. гос. техн. ун-т им. Т.Ф. Горбачёва», - Кемерово, -2017. - С.308-1-308-7.

15. Гаврилин В.А., Каракеян В.И. Оценка эффективности системы кондиционирования воздуха чистых производственных помещений с учетом термодинамических параметров. «Известия вузов. Электроника», Т. 23, № 2, - 2018. - С.133-140.

16. Larionnov N.M, Phyo Thu, Ryabyshenkov A.S. Analysis of the air conditioning and filtration systems in cleanroom. Proceedings of 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering. - PP.1943-1946.

17. Ларионов Н.М., Пьо Тху, Тхеин Хтут У. Формирование требований к системе кондиционирования и фильтрации воздуха чистых

помещений. Актуальные проблемы повышения эффективности производств микроэлектроники. - М.: МИЭТ, - 2016 г. - С.9-14.

18. Пьо Тху, Тхеин Хтут У. Анализ многоступенчатой системы фильтрации в чистых помещениях. Тезисы докладов 23-ей Всероссийской межвузовской научно-технической конференция студентов и аспирантов.

- М.: МИЭТ, - 2016 г. - 293 с.

19. ГОСТ Р EH 1822-2. Высокоэффективные фильтры очистки воздуха EPA, HEPA и ULPA. Часть 2: Генерирование аэрозолей, испытательное оборудование, статистика счета частиц. M.:2012 г. - С.7-13.

20. ГОСТ Р 51251-99. Фильтры очистки воздуха. Классификация Маркировка. - М.: Госстандарт России. - 1999. - 5 с.

21. ГОСТ Р ЕН 1822-1-2010. Высокоэффективные фильтры очистки воздуха ЕРА, НЕРА И ULPA. Часть 1: Классификация, методы испытаний, маркировка. - М.: Стандартинформ, - 2011. - 15 с.

22. ГОСТ Р ЕН 779-2014. Фильтры очистки воздуха общего назначения. Определение технических характеристик. - М.: Стандартинформ, - 2014. - 15 с.

23. Федотов А.Е. Чистые помещения. 2-е изд. - М.: Асинком, - 2003.

- 576 с.

24. Федотов А.Е. Чистые помещения. - М.: АСИНКОМ, - 2015. -

512 с.

25. Уайт В. Технология чистых помещений. Основы проектирования испытаний и эксплуатации. - М.: изд-во «Клинрум», -2008. - 304 с.

26. Уайт В. Проектирование чистых помещений. Под ред. Пер. с англ. - М.: изд-во «Клинрум». - 360 с.

27. Бъйорквист Д.У., Бирс П.У., Коллиас Д.И., Митчелл М.Д., Онони А.И., Пиркс Э.Т. Фильтры, включающие частицы активированного угля,

покрытые полидиаллилдиметиламмоний хлоридом, и способы их изготовления. Патент на изобретение RUS 2572884 09.12.2010.

28. Ананьев В.А., Балуева Л.Н., Мурашко В.П. Системы вентиляции и кондиционирования. Теория и практика. Новая редакция. - 2008. - 504 с.

29. Стандарт АВОК: Рекомендации по повышению энергетической эффективности систем вентиляции и кондиционирования воздуха - М.: Энергосбережение, - 2015. - № 2. - С.24-25.

30. ГОСТ 30494-2011. Здания жилые и общественные. Параметры микроклимата в помещениях.

31. ГОСТ 6943.10-2015. Материалы текстильные стеклянные. Метод определения разрывной нагрузки и удлинения при разрыве.

32. ГОСТ Р 53206-2008. Бумага для гофрирования. Технические условия.

33. ГОСТ Р ЕН 779-2007. Фильтры очистки воздуха общего назначения. Определение эффективности фильтрации.

34. Садов В.С., Угорова С.В. Вентиляция изолированных чистых помещений. Новый университет. Серия: Технические науки. - 2014. № 11 (33). - С.43-46.

35. ГОСТ Р ЕН 1822-4-2012. Высокоэффективные фильтры очистки воздуха ЕРА, НЕРА И ULPA. Часть 4 - Испытания фильтров на утечку (метод сканирования).

36. Пьо Тху. Анализ многоступенчатой системы фильтрации воздуха для чистых помещений микроэлектроники. Тезисы докладов 25-ой Всероссийской межвузовской межвузовской НТК.- М.: МИЭТ, - 2018 г. -280 с.

37. ГОСТ Р ИСО 14644-4-2002. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4: Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию.

38. Веселая М.И., Ковбасюк И.Е., Маслаков О.Ю., Хозяшева Е.С., Шахов И.Н. Проектирование системы мониторинга: 10 главных ошибок и как их избежать. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», - 2016, № 1. - С.24-34.

39. Реймонд Д. Обнаруживаем проблемы, находим решения. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», - 2016, № 3. - С.38-39.

40. Албер М., Шахова М. Системы мониторинга чистых помещений: краткое руководство по внедрению. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», - 2014, № 3. - С.24-26.

41. Шахова М. Практические рекомендации для мониторинга частиц в воздухе чистых помещений, в барьерных системах ограниченного доступа (rabs) и в изоляторах. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», - 2014 № 2. - С. 19-27.

42. Калечиц В.И. Рекомендации по созданию систем мониторинга чистоты воздуха на основе датчиков Lighthouse. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», - 2013, № 2. - С. 15-31.

43. Калечиц В.И. Компьютерные системы контроля параметров чистых производственных помещений. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», - 2003, № 4. - С.23-31.

44. Блатнер Ю., Цвинг Г. Контроль содержания частиц в чистых помещениях (схемы мониторинга). Журнал «Чистые помещения и технологические среды», - 2007, № 4. - С.28-33.

45. Холлворт М. Выбор наиболее подходящего расположения точек пробоотбора для взвешенных в воздухе частиц, не являющихся микроорганизмами. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», 2008, № 1. - С.12-13.

46. Деркс М. Контроль загрязнений в минисредах и изоляторах. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», - 2003, № 4. -С.36-38.

47. Полен М., Хилл Б. Системы контроля параметров чистых помещений и их соответствие CFR 21, часть 11. Журнал «Чистые помещения и технологические среды», - 2004, № 1. - С.34-36.

48. ГОСТ Р ИСО 13381-1-2016. Контроль состояния и диагностика машин прогнозирование технического состояния. Часть 1 : Общее руководство.

49. ГОСТ Р 56063-2014. Производственный экологический мониторинг. Требования к программам производственного экологического мониторинга.

50. Ларионов Н.М., Пьо Тху. Анализ контроля физико-химических параметров химических реактивов, использующихся в микроэлектронике. Сборник тезисов научно-практических проблем безопасности природно -технических комплексов. - М.: МИЭТ, - 2015 г. - С.129-139.

51. ГОСТ Р ИСО 21501-4-2012. Получение распределения частиц по размерам. Оптические методы оценки отдельных частиц. Часть 4: Счетчики частиц в воздухе для чистых зон, работающие на принципе рассеяния света. - М.: Стандартинформ, - 2008. - 49 с.

52. Рябышенков А.С. Основные источники загрязняющих частиц и методы их контроля при производстве изделий электронной техники [Электронный ресурс] - Кемерово: КузГТУ. - 2015. - Режим доступа: http://science.kuzstu.ru/wp-content/Events/Conference/BGD/2015/bgd2015/ pages/Articles/3/16.pdf.

53. СП 336.1325800.2017. Системы вентиляции и кондиционирования воздуха. Правила эксплуатации. Дата введения 201803-16.

54. Национальный стандарт Российской федерации. Вентиляция в нежилых зданиях. Технические требования к системам вентиляции и кондиционирования. Дата введения 2008-10-01.

55. Гаврилин В.А., Пьо Тху, Тхеин Хтут У. Анализ влияния параметров атмосферного воздуха на эффективность функционирования системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений. Экологические системы и приборы, №8, - 2017 г. - С.3-13.

56. Тхеин Хтут У, Шараева В.П. Влияние параметров наружного воздуха на эффективность воздухоподготовки помещения. Материалы III Международной научно-практической конференции «Технические науки: научные приоритеты учёных», - г. Пермь, - 2018г. - С.18-20.

57. Кольцова О.В. Физико-химическое моделирование превращений ингредиентов воздушной среды в системе мониторинга на примере г. Зеленограда: автореф. дис. канд. тех. наук: 05.11.13. - М.: 2012. - 147 с.

58. Теплова Я.О. Развитие теории информационной поддержки средств повышения эффективности экологического мониторинга городской инфраструктуры: автореф. дис. канд. тех. наук: 05.11.13.- М.: 2012. - 179 с.

59. Замятин А.В. Научно-методические основы построения и программное обеспечение региональной системы мониторинга с интеллектуальной высокопроизводительной обработки данных: дис. д -ра техн. наук: 05.11.13. - Томск. - 2011. - 365 с.

60. Тхеин Хтут У. Разработка метода контроля параметров технологического микроклимата чистых помещений на основе эксергетического подхода: дис. на канд. техн. наук: 05.11.13. - Москва, -2019. - 143 с.

61. Балданова Л.П. Влияние качества атмосферного воздуха на состояние здоровья населения в Иркутской области. Иркутск: Известия Байкальского государственного университета, - 2013. - 161 с.

62. Бадмаева С.Э., Циммерман В.И. Антропогенное загрязнение атмосферного воздуха городов Красноярского края. Красноярск: Вестник Красноярского государственного аграрного университета, - 2015. - 28 с.

63. Лавыгина О.Л. Состояние атмосферного воздуха как основной критерий экологии городской среды. Иркутск: Известия вузов. Инвестиции. Строительство. Недвижимость, - 2014. - 82 с.

64. Курсов С.В. Монооксид углерода: физиологическое значение и токсикология. - Владикавказ: Медицина неотложных состояний, 2015. -С.9-16.

65. Бельская Е.Н., Медведев А.В., Михов Е.Д., Тасейко О.В. Моделирование пространственного распространения оксида азота в атмосферном воздухе городской среды. Красноярск: Решетневские чтения, - 2017. - 96 с.

66. Даутова Д.А., Окрут И.Е. Оксид азота как показатель активности свободнорадикального окисления при метаболическом синдроме. Нижний Новгород: Инновационная наука, - 2015. - С.132-133.

67. Алексеева Н.И., Микеров А.Н., Чаева Е.В., Шинтаев Т.К. Загрязнение атмосферного воздуха и иммунная защита легких. - Саратов: Бюллетень медицинских Интернет-конференций, - 2013. - 339 с.

68. Нестеренко Д.А. Исследование влияния химико-биологических свойств озона на разные уровни организма человека. - Постулат, - 2018. -29 с.

69. РД 52.04.667-2005. Документы о состоянии загрязнения атмосферы в городах для информирования государственных органов,

общественности и населения. Общие требования к разработке, построению, изложению и содержанию.

70. Чернявский С.А. Исследование трансформации химических примесей в атмосфере и оценка экологического риска как условие повышения информативности системы мониторинга: дисс. канд. техн. наук: 05.11.13. - М., - 2015. - 136 с.

71. Погода в мире [электронный ресурс] - режим доступа: https://rp5.ru.

71. Погода в России [электронный ресурс] - режим доступа: http://meteo7.ru/stations.

73. ГОСТ 12.1.005-88. Система стандартов безопасности труда. Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны.

74. РД 52.04.667-2005. Документы о состоянии загрязнения атмосферы в городах для информирования государственных органов, общественности и населения. Общие требования к разработке, построению, изложению и содержанию. Москва. Метеоагентство росгидромета, 2006.

75. Каракеян В.И., Рябышенков А.С., Ушаков В.И. Расчет концентрации пыли в чистых помещениях. - М.: Известия высших учебных заведений. Строительство и архитектура, - 1991. - №3. - С.68-72.

76. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С. Динамика изменения запыленности воздуха в системах кондиционирования и фильтрации. Производственно-технический журнал «Экология и охрана труда». - 2008. -№ 11. - С. 19-21.

77. Пьо Тху. Исследование запыленности воздуха в чистых помещениях. Тезисы докладов 24-ой Всероссийской межвузовской научно-технической конференция студентов и аспирантов. - М.: МИЭТ, -2017 г. - 267 с.

78. Рябышенков А.С. Системный анализ функционирования чистых помещений для микроэлектроники. Научно-технический журнал. Известия вузов. Электроника. - 2016. - № 3. 21 т. - С.218-223.

79. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С. Методология системного анализа применительно к исследованию аэродинамического режима чистых помещений. Наука и образование: инновации, интеграция и развитие: Материалы II Международной научно-практической конференции. Уфа: РИО ИЦИПТ. - 2015. - С.130-135.

80. Рябышенков А.С. Функционально-структурный подход для оценки экологичности системы воздухоподготовки чистых помещений. Тамбов: Изд-во Першина Р. В., - 2016. - 124 с.

81. Григорьев А.Ю., Григорьев К.А., Гриневич Б.С., Медведева К.А. Определение локальной концентрации загрязняющих частиц в чистых помещениях. Научный журнал НИУ ИТМО. - 2016, № 3. - С.1-4.

82. Дисветова Н.М., Каракеян В.И., Ларионов Н.М. Чистое помещение микроэлектроники как источник загрязнения атмосферы. Sheffield UK. - 2016. - С.6-11.

83. Каракеян В.И. Обеспечение равномерности воздушного потока в чистом помещении высокотехнологического производства - М.: Известия вузов. Электроника. - 2006, № 1. - С. 13-17.

84. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С. Методология системного анализа применительно к исследованию аэродинамического режима чистых помещений. Уфа: РИО ИЦИПТ. - 2015. - С.130-135.

85. Калинина И.С. Разработка средств термостабилизации воздуха в чистых производственных помещениях: дис. канд. техн. наук: 05.27.07. М.: МИЭТ. - 1993. - 177 с.

86. Гаврилин В.А., Каракеян В.И., Рябышенков А.С. Оценка эффективности системы кондиционирования воздуха чистых

производственных помещений с учетом термодинамических параметров. «Известия вузов. Электроника», - Т. 23, № 2, - 2018. - С.133-140.

87. Рябышенков А.С., Тхеин Хтут У. Обеспечение температурно-влажностных характеристик в чистых помещениях микроэлектроники. Экологические системы и приборы. - 2018. № 6. - С.28-37.

88. Рябышенков А.С., Пьо Тху. Анализ системы кондиционирования и фильтрации воздуха, чистых помещениях микроэлектроники. Экологические системы и приборы, - № 9, - 2018 г. - С.22-28.

89. Ларионов Н.М., Рябышенков А.С., Пьо Тху, Тхеин Хтут У. Анализ влияния параметров наружного воздуха на эффективность функционирования чистых помещений. Сборник тезисов «Актуальных проблемов повышения эффективности производств микроэлектроники». -М.: МИЭТ, - 2016 г. - С.64-70.

90. Черняков Е.В. Повышение энергоэффективности систем подготовки и распределения воздуха чистых помещений 05.23.03, дисс. на соискание уч. ст. канд. техн. наук. Ставрополь - 2014. - 165 с.

91. Азембаев А.А., Изотов А.А., Кусниева А.Е. Система воздухоподготовки производственного помещения по стандартам GMP. Вестник Казахского Национального медицинского университета. - 2014. № 1. - С.348-351.

92. Горшков-Кантакузен В.А. К вопросу вычисления коэффициента Дарси методом регрессионного анализа. Материалы XXI Международного симпозиума «Динамические и технологические проблемы механики конструкций и сплошных сред» имени, 16-20 февраля 2015, Вятичи. Том 1. МАИ. - М.: ООО «ТРП», - 2015. - С.59-60.

93. Горшков-Кантакузен В.А., Бакулева А.Н. Вычисление критерия Рейнольдса в рамках гемодинамики. Бюллетень НЦССХ «сердечно-

сосудистые заболевания»: (Приложение), - май-июнь 2015, - № 3, Т.6. -180 с.

94. Гаврилина В.А., Рябышенков А.С., Пьо Тху, Тхеин Хтут У Анализ системы фильтрации чистых помещений высокотехнологичных производств. Экологические системы и приборы, - №5, - 2019 г. - С.44-48.

95. ГОСТ Р 56190-2014. Чистые помещения. Методы энергос бережения.

96. Бродянский В.М., Михалек К., Фратшер В. Эксергетический метод и его приложения. - М.: Энергоатомиздат, - 1988. - 288 с.

97. Кириллин В.А., Сычев В.А., Шейндлин А.Е. Техническая термодинамика.- М.: Энергоатомиздат, - 1983. - 416 с.

98. Карпенко Г.А., Меркер Э.Э., Тынников И.М. Энергосбережение в промышленности и эксергетический анализ технологических процессов: учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению «Металлургия». - 2-е изд., - Старый Оскол, - 2007. - 315 с.

99. Котарев В.И., Шевцов А. А. Эксергетический анализ энергоэффективной биотехнологии порошкообразных ферментных препаратов. Известия ТСХА. - 2015, - № 1. - С.79-90.

100. Казаков В.Г., Луканин П.В., Смирнова О.С. Эксергетические методы оценки эффективности теплотехнологических установок: учебное пособие. - СПб.: Санкт-Петербургский государственный технологический университет растительных полимеров, - 2013. - 63 с.

101. Рымкевич А.А. Системный анализ оптимизации общеобменной вентиляции и кондиционирования воздуха. - СПб: Изд-во «АВОК Северо-Запад», - 2003. - 272 с.

102. Гатапова Н.Ц., Колиух А.Н., Тишин О.А., Харитонов В.Н. Теоретические основы энерго и ресурсосбережения в химической технологии: учеб. пособие.- Тамбов, ФГБОУ ВПО «ТГТУ», - 2012. - 92 с.

103. Шишов В.В. Энтропийно-статистический анализ холодильных циклов для систем кондиционирования. Инженерный журнал: наука и инновации. - 2012. - № 5 (5). - С. 143-156.

104. Karakeyan V.I, Zakharov Artem, Ryabyshenkov Andrei S. Exergetic analysis of the clean room air preparation system. 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Publication Year: - 2018. - PP.1960-1964.

105. Thein Htut Oo, Phyo Thu, Zakharov Artem, Larionnov Nikolay M, Ryabyshenkov Andrei S. Analysis thermodynamic efficiency of air conditioning system of clean rooms. Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), 2019 IEEE Conference of Russian. - PP.2227-2230.

106. Ryabyshenkov Andrei S, Thein Htut Oo, Phyo Thu, Zakharov Artem, Larionnov Nikolay M. An exergy approach to the assessment of a multistage air filtration system for clean rooms. Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), 2019 IEEE Conference of Russian. - PP.2237-2240.

107. Zakharov Artem, Phyo Thu, Ryabyshenkov Andrei S, Thein Htut Oo, Bogacheva Ekaterina. Exergy approach to the assessment of a multistage air filtration system for clean rooms. Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), 2019 IEEE Conference of Russian. - PP.2333-2336.

108. Karakeyan Valery, Zaharov Artem, Larionnov Nikolay, Ryabyshenkov Andrei S. Exergy analysis of the recirculation scheme for air preparation of clean rooms based on a system approach. 2019 International Seminar on Electron Devices Design and Production, SED 2019 - Proceedings IEEE, 2019. - PP.8798384-1-8798384-4.

109. Рябышенков А.С., Пьо Тху, Тхеин Хтут У. Структурно-энергетический анализ процесса воздухоподготовки помещения. XVIII Международная научно-практическая конференция «Экология и безопасность жизнедеятельности». - г. Пенза, - 2018 г. - С.300-302.

110. Пьо Тху. Эксергетическая оценка многоступенчатой системы фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники. Тезисы докладов 26-ой Всероссийской межвузовской межвузовской НТК. - М.: МИЭТ, - 2019 г. - 280 с.

111. Рябышенков А.С., Рощин В.М., Гущарин Д.А., Головлев А.А., Севрюкова Е.А., Захаров А.Н., Гермогенов А.В., Тхеин Хтут У, Пьо Тху. Программа «ExEnergy» для расчета значений эксергии и статического давления на про-тяжении всей траектории перемещения воздуха, от воздухозаборников до выпускных отверстий вентиляции в системах кондиционирования и фильтрации воздуха для чистых помещений (программа для ЭВМ). Свидетельство о государственной регистрации про-раммы для ЭВМ № 2018617762 от 02.07.2018, Российская Федерация. Заявка № 2018615293 от 02.07.2018 г.

112. Захаров А.Н. Расчет механической эксергии системы воздухоподготовки чистых помещений микроэлектроники. Микроэлектроника и информатика: тезисы докладов. 2018. МИЭТ, - 2018. - 269 с.

113. Бродянский В.М., Верхивкер Г.П., Долинского А.А., Карчев Я.Я. Эксергетические расчеты технических систем: справ. пособие. Ин-т технической теплофизики АН УССР. - Киев: Наук.думка, - 1991. - 360 с.

114. ГОСТ Р ИСО 7870-2-2015. Национальный стандарт РФ статистические методы контрольные карты. Часть 2: Контрольные карты Шухарта.

115. Tagaras G.A. Survey of Recent Developments in the Design of Adaptive Control Charts. Journal of Quality Technology. - 1998, 30. - PP.212231.

116. Nishina K, Kuzuya K, Ishi N. Reconsideration of Control Charts in Japan. Frontiers in Statistical Quality Control. - 2005,8. - PP.136-150.

117. Yashchuk V.V, Artemiev N.A, Lacey I, McKinney W.R, Padmore H.A. Advanced environmental control as a key component in the development of ultrahigh accuracy ex situ metrology for X-ray optics. Optical Engineering. -2015. Т. 54. № 10. - 104 с.

118. Каменев Н.А. Автоматизированное проектирование чистого помещения участка сборки станков на основе программного комплекса «Cleanrooms». Вестник магистратуры. - 2016. № 5-2 (56). - С.47-51.

119. Алешкин Н.А., Фарафонов В.Г., Степанов А.Г. Методика интеллектуального управления микроклиматом в производственном помещнеии для изготовления электроники. Вопросы радиоэлектроники. -2017. № 10. - С.78-81.

120. Уилер Д., Чамберс Д. Статистическое управление процессами. Оптимизация бизнеса с использованием контрольных карт Шухарта. Пер. с англ. - М: Альпина Бизнес Букс. - 409с.

ПРИЛОЖЕНИЕ 1. АКТЫ ВНЕДРЕНИЯ

«УТВЕРЖДАЮ» ЯИЙИсгор МИЭТ по ХСД

Смирнов В.В.

2019 г.

АКТ О ВНЕДРЕНИИ

результатов диссертационной работы Пьо Тху «Разработка методик контроля и оценки эффективности систем фильтрации воздуха чистых помещений»

Комиссия в составе: главного инженера Аваева Г.В., главного энер1тггика Дуги нова В.В, рассмотрела материалы результатов диссертации Пьо Тху «Разработка методик контроля и оценки эффективности систем фильтрации воздуха чистых помещений», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук, и установила, что разработанная автором методика контроля и оценки эффективности системы фильтрации воздуха использована и внедрена в тепловом узле НИУ МЭТ (корпуса 2, 3 н 4) с целью обеспечения необходимых условий технологического микроклимата в учебных и лабораторных аудиториях НИУ МИЭТ.

Главный инженер /у Г.В. Аваев

Про'рект о УР

д.т.н., проф. Иг натова И.Г. « » 2019 г.

2019 г

АКТ

об использовании в учебном процессе Национального исследовательского университета «МИЭТ» Института «Перспективные материалы и технологии» результатов

диссертационной работы Пьо Тху, представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук

Настоящим подтверждается, что результаты диссертационной работы Пьо Тху на тему «Разработка методик контроля и оценки эффективности систем фильтрации возду ха чистых помещений» используются в учебном процессе Ш1У МИЭТ при подготовке магистров но направлениям 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» (программа «Энергетическая к|)фективность производств электронной техники») и 20.04.01 «Техносферная безопасность» (программа «Безопасность технологических процессов и производств») в качестве основных учебно-методических разработок для лекционных и практических занятий по следующим дисциплинам: «Инфраструктура чистых помещений», «Технологические среды и оборудование чистых помещений», «Инженерно-технические основы природно-технических геосистем», а также при выполнении магистерских диссертаций поданной программе.

Начальник АНОК

И.М. Никулина

Заместитель директора Института «ИМТ»,

д.т.н., профессор

Е.А. Севркжова

ПРИЛОЖЕНИЕ 2. СОСТАВ ЭКСПЕРТОВ

Эксперт Предприятие Должность Уч. степень Стаж работы, лет

1 МИЭТ Профессор Д. т. н 46

2 МИЭТ Профессор Д. т. н 2

3 МИЭТ Профессор Д. т. н 10

4 МИЭТ Профессор к. т. н 40

5 МИЭТ Доцент к. т. н 16

6 НПК «Технологич еский центр» Начальник лаборатории к. т. н 20

7 ОАО Начальник 12

«Ангстрем» отдела к. т. н

8 ОАО «Ангстрем» Начальник лаборато рии - 8

9 ОАО Начальник 10

«Микрон» цеха -

Начальник

10 НИИМЭ лаборато рии - 11