Разработка метода получения многокомпонентных покрытий в магнетроне с мозаичным катодом тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат технических наук Ширяев, Сергей Аркадьевич

• Ширяев, Сергей Аркадьевич
• кандидат технических наук
• 0

Оглавление диссертации кандидат технических наук Ширяев, Сергей Аркадьевич

ВВЕДЕНИЕ.

Глава 1. Обзор литературы.

1.1. Методы нанесения покрытий.

1.2. Метод магнетронного распыления.

1.3. Закономерности распыления.

1.4. Магнетроны с составными катодами.

Глава 2. Методика эксперимента.

2.1. Оборудование.

2.2. Методы исследования физических свойств синтезированных покрытий.

2.3 Методы измерения механических, трибологических, коррозионных свойств покрытий.

Глава 3. Разработка магнетрона с мозаичным катодом.

3.1. Анализ распыления катода магнетрона, состоящего из разных материалов.

3.2. Об эрозии катода магнетрона, состоящего из разных материалов.

3.3. Распределение осадка распыленных компонентов катода.

Глава 4. Синтез нитридных покрытий и их физические свойства.

4.1. Синтез покрытий ТШ, СПА1)Н (А12г)И.

4.2. Профилометрические измерения толщин покрытий.

4.3. Компонентный состав покрытий по толщине.

4.4. Фазовый состав и микроструктура покрытий.

4.5. Микроструктура синтезированных покрытий.

4.6. Обсуждение результатов экспериментов.

4.7. Выводы.

Глава 5. Синтез покрытий карбидов и карбонитридов металлов и их физические свойства.

5.1. Синтез покрытий TiC, TiCN, CrC, МоС, MoCN, WC, NbC, VC,ZrC.

5.2. Профилометрические измерения толщин покрытий.

5.3. Компонентный состав покрытий по толщине.

5.4. Фазовый состав и микроструктура покрытий.

5.5. Обсуждение результатов экспериментов.

5.6. Выводы.

Глава 6. Технические характеристики покрытий и их практические применения.!

6.1. Микротвердость покрытий.

6.2. Износостойкость и коэффициент трения покрытий.

6.3. Окислительные и коррозионные свойства покрытий.

6.4. Адгезия.

6.5.Выво д.

6.6. Тест - испытания многокомпонентных покрытий, полученных распылением мозаичных мишеней.

6.7. Практическое внедрение результатов.

ВЫВОДЫ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка метода получения многокомпонентных покрытий в магнетроне с мозаичным катодом»

Подавляющее количество деталей и узлов современных машин и механизмов работает в экстремальных условиях воздействия высоких нагрузок, агрессивных сред и повышенных температур. Перспективным путем повышения ресурса и надежности машин является модифицирование поверхности, поскольку поверхность определяет многие свойства материалов и в первую очередь, механические, трибологические и коррозионные.

Решение этой проблемы можно осуществить, используя новые физические методы модификации поверхностных свойств материалов изделий и нанесения защитных покрытий. Технологические процессы, позволяющие управлять структурно-фазовым состоянием поверхностных слоев и их составом являются предметом нового направления прикладного материаловедения.

Начиная с 30-х годов прошлого столетия и до последнего времени, для повышения механических, трибологических, коррозионных и других поверхностных свойств широко применяется ионная бомбардировка поверхности [1].

Процессы, происходящие при взаимодействии ионов с поверхностью, различны для разных энергий ионов [2-4] и определяются в основном кинетической энергией бомбардирующих ионов.

При очень низких кинетических энергиях (меньше 5 эВ) взаимодействие по существу ограничивается самым верхним поверхностным слоем материала мишени. Когда атом с такой низкой кинетической энергией падает на атомарно чистую поверхность твердого тела, он либо отражается от поверхности, либо вступает с ней в термическое равновесие и затем десорбируется. В этой области энергий состояние атома описывается с помощью коэффициента аккомодации, прилипания и передачи импульса. Важную роль здесь играет потенциальная энергия, поскольку она определяет электронные переходы, вызывающие эмиссию вторичных электронов, или же в случае сложных материалов или наличия примесей, адсорбированных на поверхности, разрыв или восстановление химических связей. Это вызывает десорбцию, химические реакции, полимеризацию и т.д.

При кинетической энергии ионов, превышающей энергию связи атомов (~ 5эВ), возникает новое явление. Атомы решетки при ионной бомбардировке перемещаются в новые положения, что приводит к поверхностной миграции атомов и поверхностным повреждениям. При энергиях ионов, превышающих пороговую энергию распыления, решающую роль начинает играть выбивание атомов из поверхности мишени - процесс распыления. Для большинства материалов пороговая энергия распыления составляет 12-30 эВ.

При энергиях ионов, превышающих 5 КэВ и более, падающих на поверхность твердого тела, доминируют имплантация ионов и генерация дефектов в объеме твердого тела.

Для различных целей используются ионные пучки и плазменные потоки с разными значениями энергии ионов.

Ионы с энергией от единиц до нескольких сотен эВ- для очистки и травления поверхности твердых тел.

От пороговой энергии до нескольких тысяч эВ - для ионно-плазменного распыления и осаждения пленок, а также для метода ионного покрытия и имплантации ионов в растущие пленки. При энергиях ионов, превышающих несколько десятков КэВ, - для ионной имплантации.

Одним из наиболее освоенных промышленностью и широко применяемых методов нанесения износостойких покрытий является диффузионное насыщение, составляющее основу таких методов, как азотирование, цементация, борирование, сульфоцианирование и др.

В 1932 году Бергхаузом был получен первый патент [1, 5] по разработке метода азотирования сталей в тлеющем разряде. В 50-60 годах в ФРГ, Франции и Швейцарии началось промышленное освоение метода азотирования для повышения твердости, износостойкости, задиростойкости, предела выносливости и коррозионной стойкости сталей и сплавов [1]. В СССР первая полупромышленная установка для азотирования в тлеющем разряде создана под руководством Ю.М. Лахтина [6].

В последние десятилетия интенсивно развиваются работы по модификации свойств конструкционных материалов ионно-плазменными методами, позволяющими изменять физико-механические, электрофизические, химические, трибологические, коррозионные и другие поверхностные свойства материалов и изделий из них [7-14].

Широкое распространение получили методы получения вакуумных ионно-плазменных покрытий, к которым относится электродуговой метод (метод КИБ) [15-16], используемый для получения износостойких покрытий на основе карбидов и нитридов тугоплавких металлов.

При осаждении ионов из низкоэнергетичных потоков плазмы защитный слой формируется на поверхности материалов с выраженной границей раздела. Состав этого слоя определяется либо составом потока плазмы, получаемой при распылении многоэлементных катодов (типа жаростойких покрытий), либо при взаимодействии потоков ионов реакционно-способных металлов (типа Тл, Мо, 7л и т.д.) с атомами остаточной атмосферы реакционных газов (N2, О2, СН4 и т.д.) с созданием на поверхности нитридных, карбидных и других соединений. Толщины осаждаемых слоев составляют, как правило, единицы-десятки мкм. При больших толщинах возникает проблема сопряжения механических свойств покрытия и основного материала. Серийно выпускаемые напылительные установки вакуумно-дугового («Булат», «Пуск» и др.) и магнетронного («МИР-2») типов обеспечивают создание покрытий на площадях 102 - 103 см2 за время порядка десятков мин. [17-19].

Вместе с тем практика применения описанного метода показала, что многие свойства таких покрытий оказываются недостаточными для удовлетворения все возрастающих требований. Главным недостатком такого рода покрытий является наличие капельной фазы и недостаточно высокая прочность сцепления покрытия с основой.

Среди современных методов получения износостойких и антифрикционных покрытий особое место занимает метод химического осаждения из газовой фазы (СУЭ), обеспечивающий получение тонких твердых слоев высокой плотности. Недостатками метода являются взрывоопасность применяемой смеси, содержащей водород, и высокая температура нагрева покрываемой поверхности (1273 - 1473 К), необходимая для разложения газовых смесей и образования соединений. В связи с этим СУБ - применяется в основном для нанесения покрытий на твердые сплавы [20].

Одним из наиболее перспективных вакуумных ионно-плазменных способов нанесения покрытий является метод, основанный на реактивном магнетронном распылении, на постоянном токе [21-23], позволяющий осуществлять синтез покрытий из химических соединений практически на любых конструкционных материалах при значительно меньшей температуре обрабатываемой поверхности, с более высокой адгезией и более высокой производительностью, чем в других вакуумных ионно-плазменных способах.

При нанесении покрытий магнетронным способом конденсация происходит на атомарном уровне и поток распыленных атомов не содержит капельной и кластерной фаз. Это позволяет получать покрытия без ухудшения исходной шероховатости поверхности деталей.

Для получения покрытий заданного состава методом магнетронного распыления используют либо катод, приготовленный из сплава этого состава, либо набор нескольких магнетронов с катодами из различных материалов [24].

Метод реактивного магнетронного распыления позволяет осуществить воспроизводимый синтез покрытий из химических соединений в ультрадисперсном состоянии [22] и даже аморфных материалов [23]. Это открывает возможность синтеза покрытий, характеризующихся комплексом свойств, значительно превышающих объемные основные свойства этих материалов.

В последнее время все больший интерес вызывают проблемы получения композиционных материалов, характеризующихся особыми свойствами [24-26].

Новые технологии и оборудование для целенаправленной обработки поверхности металлов развивались параллельно с потребностями в новых областях науки и техники. Так, решение проблемы электромагнитного метода разделения изотопов большинства элементов Периодической системы в 50-60-х годах привело к разработке мощных источников ионов, что в свою очередь стимулировало развитие и применение метода ионной имплантации в полупроводниках [27-28] и металлах [29-38].

Разработка ионных движителей привела к созданию уникальных плазменных ускорителей [33], используемых для очистки поверхности и азотирования материалов при низких энергиях ионов и больших плотностях тока [35-38].

Получение покрытий методом магнетронного распыления широко используется в промышленности для повышения износостойкости и коррозионной стойкости, понижения коэффициента трения, для получения декоративных покрытий и других целей.

Эффективным средством повышения ресурса и надежности деталей машин является использование новых физических методов модификации поверхностных свойств. Модифицирование и легирование поверхности с применением ионных, электронных, плазменных и лазерных потоков является одной из наиболее перспективных областей материаловедения. Сочетание различных методов модифицирования поверхности является новым направлением в арсенале науки и техники о материалах.

Настоящая работа посвящена совершенствованию одного из наиболее эффективных методов получения покрытий - магнетронного распыления - с целью создания:

• многокомпонентных покрытий заданного состава с равномерным распределением компонентов в покрытии;

• нанокристаллических и аморфных покрытий; 8

• покрытий с хорошей адгезией с любой основой при толщине покрытия от нескольких мкм до 10-15 мкм;

• покрытий, характеризующихся заданными поверхностными свойствами.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Ширяев, Сергей Аркадьевич

ВЫВОДЫ

Разработан относительно простой метод нанесения многокомпонентных пленочных покрытий путем распыления специально сконструированных мозаичных мишеней - катодов магнетрона в высокоскоростном режиме при плотности мощности ионно- плазменного разряда в зоне эрозии материала от 20 до 500 Вт/см2 и остаточной индукции сбалансированного магнитного поля, равной 0,03-0,1 Гс.

2.Расчетным и экспериментальным путем установлено условие работы ионно-плазменной магнетронной системы распыления, при которых материалы с разными коэффициентами распыления имеют одинаковую скорость эрозии, определено расположение вставок из различных компонентов в зоне эрозии мозаичной мишени катода, а также расстояние покрываемой поверхности до катода, необходимо для получения однородных покрытий заданного состава.

3. Экспериментально показано, что при распылении мозаичных мишеней, состоящих из двух, трех и более разнородных материалов, включая графит, при установлении в зоне эрозии мишени необходимого уровня поверхности распыляемых элементов в пределах 0,01 - 1 мм, дальнейшее их распыление ведется автоматически в режиме одинаковой линейной скорости распыления материалов всех элементов мозаичной мишени, а относительную величину суммарной площади каждого материала на рабочей поверхности мишени задают пропорционально выраженному в атомных процентах содержанию соответствующего компонента в слое наносимого покрытия.

4. С использованием мозаичных катодов, состоящих из двух элементов Ti-Al и Al-Zr с различным соотношением компонентов были синтезированы покрытия TiAl, (TiAl)N, (AlZr)N толщиной от нескольких мкм до нескольких десятков мкм, свойства которых не отличались от свойств покрытий, полученных традиционным путем распыления мишеней из сплавов. Особенностью покрытий, полученных из мозаичных мишеней, является их нанокристаллическая структура, наличие в составе фаз, соответствующих высокотемпературному состоянию, и возможность нанесения покрытия больших толщин 10-30 мкм.

5. При распылении мозаичных мишеней - типа металл-углерод, где использованы в качестве металла - тугоплавкие металлы IVA-VIA групп периодической системы, нержавеющая сталь и медь, а углерода-графит были синтезированы карбидные, с введением азота карбонитридные и композитные, содержащие свободный углерод и металл, покрытия, обладающие ультрадисперсной нанокристаллической структурой, высокой твердостью в случае чистых карбидов и карбоиитридов, низким коэффициентом трения в случае композитов, высокой эрозионной и коррозионной стойкостью по сравнению со своими аналогами, получаемыми реактивным распылением в атмосфере углеродосодержащих газов.

6. Путь получения карбидов и композитов на основе металл-углерод совместным распылением металла и графита из мозаичных катодов проще и в технологическом плане более универсальный: можно варьировать составом, структурой, природой металла и углерода в широком диапазоне и, кроме того, он обладает существенной особенностью, что синтез соединения происходит в потоке пара и на подложке, в отличие от реактивного распыления, где соединения образуются на мишени и адекватно переносятся на подложку.

7. Покрытия металл углерод с нанокристаллической структурой по сравнению с кристаллическими материалами этого класса имеют более высокую коррозионную стойкость в ряде кислот и высокую окислительную стойкость на воздухе.

8.При нанесении многокомпонентных покрытий из мозаичных мишеней можно получать покрытия толщиной до нескольких десятков мкм и для повышения их адгезии к различным материалам может использоваться предварительная имплантация высокоэнергетичных ионов Аг+ и И+ (30-40 КэВ) в подложку.

9. Проведено тестирование широкой гаммы покрытий по методикам и на оборудовании аттестованном Евросоюзом, определен состав, толщина, адгезия, коэффициент трения, износ. Показано, что покрытия из карбидов, сложных нитридов по свойствам аналогичны таким же материалам, полученным обычным более сложным и дорогостоящим путем, чем из мозаичных мишеней: покрытия композиционного типа на основе металл-углерод, ряд из которых не имеет аналогов, обладают уникальными твердосмазочными свойствами с низким коэффициентом трения.

10. Результаты практического внедрения разработанного в диссертации метода в три современные области машиностроения: атомную, криогенную и турбинную (энергетические турбины) подтверждают технический и экономический эффект от использования данного новшества.

11. Использование метода для моделирования новых составов существенно облегчает задачу металлургам и материаловедам на стадии поиска: конструкторам на стадии разработки технического проекта, а технологам на стадии отработки опытной технологии

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Ширяев, Сергей Аркадьевич, 0 год

1. Коган Я.Д. Металловедение и термическая обработка металлов, № 9, 1974, с.2-4.

2. Grant W.A., Williams J.S. The modification of surface layers by ion implantation. Sci. Prog. (Oxf), 1976, v.63, p.27-64.

3. Мейер Дж, Эриксон Ч., Дэвис Дж. Ионное легирование полупроводников / Пер. с англ., под ред. В.М. Гусева. М.: Мир, 1973.- 296 с.

4. Townsend P.D., Kelly J.C., Hartley N.E.W. Ion Implantation, Sputtering and Their Applications. N.Y. London: Academic Press, 1976, p.333.

5. Берхаузер, Патент № 668639 DRP Б.

6. Лахтин Ю.М., Крымский Ю.Н., Семенов Р.А. «МиТОМ», 1964, № 3, с. 37-41.7. "Ion implantation" ed. J.K. Mirvinen, Treatise on materials science and Technology, v.18, 1980. N.York, London, Toronto.

7. Poate J.M., Foti G., Jacobson D.C. "Surface modification and Alloys by laser, Ion and Electron beams", Plenum Press, N. York, London, 1983.

8. Proc. of Inter. Conf. on Ion Beam Modification of Materials.- Tokyo, Japan, 1988.

9. Труды Всесоюзной конференции по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Томск, НИИ ЯФ при ТПИ, 1988.

10. Труды Всесоюзной конференции по ионно-лучевой модификации материалов. -Каунас, КПИ, 1989.

11. Хирвонен Дж. Ионная имплантация. М.: Металлургия, 1985. - 392 с.

12. Гусева М.И. Ионная имплантация в металлы. М.: Поверхность, 1982. - № 4. с.27-50.

13. Диденко А.Н., Лигачев А.Е., Куракин И.Б. Воздействие пучков заряженных частиц на поверхность металлов и сплавов. М. : Энергоатомиздат. 1987. - 184 с.

14. Погребняк А.Д., Толопа A.M. Аналитический обзор «Применение ионно-плазменных потоков металлов для обработки конструкционных материалов», Харьков, 1990, ДОРНТИ 7.1.3.

15. Семенов А.П. Трение и износ, 1982, т.З, № 3, с. 401.

16. Аксенов И.И., Паданка В.Г., Хороших К.М. Формирование потоков металлической плазмы // Обзор. М.: ЦНИИ атоминформ, 1984. - 83 с.

17. Лаферти Дж. Вакуумные дуги. М.: Мир, 1982. - 432 с.

18. Гришин С.Д., Лесков Л.В., Козлов Н.П. Плазменные ускорители. М.: Машиностроение, 1983, - 213 с.

19. Mannling H.D., Patil D.S., Moto К. et al. Surface and Coatings Technology, 146-147, p.263.

20. Марей A.P., Воронин H.A., Семенов А.П. Поверхность. Физика, химия, механика, 1993,10,с. 100-105.

21. Ионно-лучевая модификация материалов. Всесоюзная Конференция, Каунас, КПИ, 1989,с.168.

22. Марей А.Р., Хрущев М.М., Свешников C.B. и др. Тезисы доклада V Всесоюзного семинара «Структура дислокации и механические свойства металлов и сплавов», Свердловск, 1990,с. 164.

23. Kelly P. J., Arnell R.D. Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications, Vacuum 56 (2000) 159-172.

24. Relly P.J., R.D. Arnell,Vacuum 56 (2000), 159-172. v

25. Хохлов Г.Г., Кардашев Б.К., Костыгов A.C. и др. Известия АНСССР, сер. Физ., Т.40, №7,1976.

26. Smith R.P. Trans AIME, 1960, 218,218, № 2, 62.

27. Гусев В.М., Бушаров Н.П., Проничев A.M. ПТЭ, 1968, № 4, с. 19-27.

28. Гусев В.М., Гусева М.И. Природа, № 12, 1979, с.42-52.

29. Баженов Г.П., Бугаев С.П., Ерохин Г.П, и др.// Источник ионов металлов на основе дугового разряда с холодным катодом // Тезисы доклада V Всесоюзной Конференции по сильноточной электронике. Томск, ИСЭ СО АН СССР, 1984,- Т.2. - С. 93-95.

30. Арзубов Н.М., Исаев Г.П., Рябчиков А.И. Вакуумно-дуговой частотно-импульсный источник ионов // Тезисы докладов VI Всесоюзного симпозиума по сильноточной электронике. Томск, ИСЭ СО АН СССР, 1986. - Т.З.-С. 184-186.

31. Габович М.Д. «Плазменные источники ионов», Киев, 1964, Наукова Думка.

32. Гусева М.И., Атаманов М.В., Веселовзоров А.Н. и др. Российский Патент № 2070607,25.12.1992.

33. Гусева М.И., Атаманов М.В., Веселовзоров А.Н. и др. Российский Патент № 2039126, 25.12.1992.

34. Гусева М.И., Атаманов М.В., Веселовзоров А.Н, Владимиров Б.Г. Авторское свидетельство № 1517371" Su 168 168 1695 17.08.1987.

35. Guseva M.I., Gordeeva G.V., Martynenko Yu.V. et al. Rad. Effects and Defects in Solids, 2001, v. 153,p.191-203.

36. Ulrich S., Holleck H, Ye. H et al Forschungsentmm Karlsruhe, TZO GmbH.

37. Musil J., Yicek J., PolakovaN, Baroch P., Han J.G. Magnetron with gas injection through hollow cathodes machined in sputtered target. University of West Bohemia, Czech Republic, Sung Kyun Kwan university , Korea.

38. Schiller S., KirchoffV. (Invited) High Rate Deposition by Pulsed Magnetron Sputtering for Flat Panel Applications, Fraunhofer Institute for Electronen-strahl und Plasmatechnik (Germany).

39. Karvankova P., Mannling H.-D., Eggs C., Veprek S. Thermal stability ofZnN-Ni and CrN-Ni superhard nanocomposite coatings, Int. Conf. On Metalurgical Coatings and Thin Films, San Diego April/May 2001, Surf. Coat. Technol. in press, p. 1-11.

40. Yang S., Teer D.G. Investigation of sputtered carbon and carbon/ chromium multi-layered coatings, Surface and Coatings Technology 131 (2000) 412-416.

41. Liu C., Leyland A., Bi Q., Matthews A. Corrosion resistance of multi-layered plasmaassisted physical vapour deposition TiN and CrN coatings. Surface and Coatings Technology 141 (2001) 164-173.

42. Kwon S-C, Lee G-H, Choi B.H. Improvement of Adhesion by Ion Implantation of nitrogen for TiN Coating, 5th Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Proceedings, v. 3, Tomsk, Russia, 24-29 September 2000, c.386-389.

43. Hsieh J.FL, Zhang W.H., Li C., Sun C.Q. Characterization of(TixCro.6-x)No,4 coatings and their tribological behaviors against an epoxy molding compound,, Surface and Coatings Technology 146-147 (2001) 331-337.

44. Fontaine J., Donnet C., Grill A., LeMogne T. Tribochemistry between hydrogen and diamond-like carbon films. Surface and Coatings Technology 146-147 (2001) 286-291.

45. Lauwerens W., Boeck A.De, Thijs M., Claessens S., Stappen M.V., Steenackers P. PVD Al-Ti and Al-Mn coatings for high temperature corrosion protection of sheet steel, Surface and Coatings Technology 146-147 (2001) 27-32.

46. Bjork Т., Berger M., Westergard R., Hogmark S.,Bergstom J. New physical vapour deposition coatings applied to extrusion dies. Surface and Coatings Technology 146-147 (2001)33-41.

47. Person A., Bergstom J., Burman C., Hogmark S. Influence of deposition temperature and time during PVD coating of CrN on corrosive wear in liquid aluminium. Surface and Coatings Technology 146-147 (2001) 42-47.

48. Gell M, Jordan E.H., Sohn Y.H., Goberman D., Shaw L., Xiao T.D. Development and implementation of plasma sprayed nano structured ceramic coatings. Surface and Coatings Technology 146-147 (2001) 48-54.

49. Sanz A. Tribological behavior of coatings for continuous casting of steel, Surface and Coatings Technology 146-147 (2001) 55-64.

50. Гусева М.И. Ионная имплантация в неполупроводниковые материалы, Итоги науки и техники, Физические основы лазерной и пучковой технологии, т.5. 1989. с.5-54.

51. Плешивцев Н.В., Бажин А.И. Физика воздействия ионных пучков на материалы, М.:

52. Вузовская книга, 1998. 392 с.

53. Martynenko Yu.V., Carter G. Rad. Effects and Defects in Solids, 1994, v. 132, p. 103118.

54. Пранявичюс Д., Дудонис Ю. Модификация свойств твердых тел ионными пучками, Вильнюс, «МОКСЛАС», 1980.

55. Валяев А.Н., Погребняк А.Д., Плотников С.В. Радиационно-механические эффекты в твердых телах при облучении высокоинтенсивными импульсными электронными и ионными пучками, Алматы, Гылым, 1998.

56. Window В., Savvides N. J Vac.Sci. Technol A 1986; 4 (2): 196-202.

57. Window В., Savvides N. J Vac.Sci. Technol A 1986; 4 (2): 453-6.

58. Savvides N. Window В., J Vac.Sci. Technol A 1986; 4 (2): 504-8.

59. O'Brien J. Arnell R.D. Surf. Coat. Technol 1996; 8687: 200-6.

60. Sproul W.D., Rudnick P.J., Graham M.E., Rohde S.L. Surf. Coat. Technol 1990; 43/44;270.8.

61. Teer D.G., UK patent № 2 258 343, USA patent № 5 554 519, European patent № 0 521 045.

62. Monaghan D.P., Teer D.G., Laing K.C, Efeogly I, Arnell R.D. Surf. Coat. Technol, 1993; 59;21.5.

63. Fox V., Hampshire J., Teer D.G. Surf Coat Technol 1999; 112: 118-22.

64. Teer D.G. Surf. Coat. Technol 1989; 39/40: 565.

65. Gencoa Product Information: V-Tech Magnetrons. Gencoa, 4 Wavertree Boulevard South, Liverpool L7 9PF, UK. Web address: www.Gencoa.com.

66. Schiller S, Goedicke K, Reschke J, KirchoffV, Schneider S, Milde F. Surf Coat Technol 1993;61:331-7.

67. Scherer M, Schmitt J, Latz R., Schanz M. J Vac Sei Technol A 1992; 10: 1772.

68. Frach P, Heisig U, Gottfried Chr, Walde H. Surf Coat Technol 1993; 59: 277.

69. Glocker D.A. J Vac Sei Technol A 1993; 11: 2989.

70. Sproul W.D., Graham M.E., Wong M.S., Lopez S, Li D, Scholl R.A. J.Vac Sei Technol A 1995;13:1188.

71. Kelly P.J., Abu-Zeid O.A., Arnell R.D., Tong J. Surf. Coat. Technol., 1996; 86-87:28-32.

72. Fortuna S.V., Sharkeev Yu.P., Stepanov I.V., Shulepov LA., Perry A.L, Matossian J., 5th Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Proceedings, v. 3, Tomsk, Russia, 24-29 September 2000, c.460-463.

73. Perry A.L, Manory R.R., Nowak R, Rafaja D., Vacuum., 49 (1995) 89.

74. Matossian J., Wei R., Vajo J., Hunt G, Gardos M, Chambers G., Oliver D., Jay L., Taylor C.M., Alderson G., Komanduri R., Perry A.J., Surf.Coat. Technol., 108-109 (1998) 496.

75. Clayton В., Jarratt M., Teer D.G., Yang S. A new cylindrical magnetron for coating the internal surfaces of engineering components, Teer Coatings Ltd., DY104JB, United Kingdom.

76. Мартыненко Ю.В. Взаимодействие плазмы с поверхностями, Итоги науки и техники, Физика плазмы, т. 3, с. 119-175.

77. Патент GB № 2258343, С23С14/34, 1997 г.

78. Патент US № 4842706, С23С 14/34, 1989 г.

79. Заявка JP 61-250165, С23С14/34, 1986 г.91. Заявка JP 63-65070,1988г.

80. Патент DE № 2940369, С23С 15/00, 1983 г.

81. Перекрестов В.И., Хворост В.А., Павлов А.В. Сверхтвердые материалы, 2000, № 5, с. 10-15.

82. Заявка JP № 1-75673, С23С14/34, 1989 г.

83. Заявка Японии JP № 61-54112, С23С14/36,1986 г.

84. SU.No 1816288, С23С14/35,1993 г.

85. Ширяев С.А., Атаманов М.В., Гусева М.И., Мартыненко Ю.В., Митин А.В., Митин B.C., Московкин П.Г., Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерод с нанокристаллической структурой. ЖТФ, 2002, Т 72, с. 99-104.

86. Ширяев С.А., Атаманов М.В., Гусева М.И., Мартыненко Ю.В., Митин А.В., Митин B.C., Московкин П.Г., Нанокристаллические композитные покрытия, полученные магнетронным распылением с мозаичным катодом, Перспективные материалы, 2002cJb.G?- .

87. Ширяев С.А., Атаманов М.В., Гусева М.И., Мартыненко Ю.В., Митин А.В., Митин B.C., Получение композитных покрытий магнетронным распылением, Физика и химия обработки материалов, 2002., №3, стр 33-37

88. J.F. Ziegler and J.P. Biersack, The Stopping and Range of Ions in Solids, Pergamon Press, NY, 1985, JSBM 0 08 021603 -X.

89. Ширяев С.А., Атаманов М.В., Гусева М.И., Мартыненко Ю.В., Митин А.В., Митин B.C., Московкин П.Г., Структура и адгезия покрытия (TiAl)N на нержавеющей стали, Металлы, 2002, № c-7/ъ. ^•

90. J.Musil and J.Vlcek, 5th Conf. On Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, Russia 24-29 September, 2000, v. 3 p. 393-398.

91. Рекламный проспект фирмы «PLATIT».

92. Гусева М.И., Коршунов C.H., Мартыненко Ю.В. и др. 5th Conf. On Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, Russia 24-29 September, 2000, v.l.p.66-69.

93. Martynenko Yu.V., Moskovkin P.G. (1994), Rad. Effects and Defects in Solids, 129,19

94. Зеленский Г.К., Иолтуховский А.Г., Митин B.C., Русанов А.Е. и др. «Оценка коррозионной стойкости металла опытных плавок в свинце с различным содержанием кислорода», отчет ВНИИНМ, инв. № 9769, Москва, 2001, 54с.

95. Митин B.C., Саванович O.A., Ширяев С.А. и др. Авторское свидетельство. № 1102291 от 07.04.1984 г, по заявке № 342.4817 с приоритетом от 19.04.1984 г., кл. С23С 15/00. «Устройство для ионно-плазменного распыления покрытий ».

96. Митин A.B., Ширяев C.JL, Десятова JI.A., Саванович O.A. Кривоспицкнй K.M. Авторское свидетельство №1610925 от 01 Ж 1990г. по заявке 4618237 с приоритетом от 27.11.1988 г., кл. С23С13/00, «Способ нанесения покрытия».

97. Митин B.C., Синев В.П., Ширяев С.А. и др., «Разработка моделей формирования двухкомпонентных покрытий магнетронным распылением мозаичных мишеней с целью оптимизации их конфигураций». Отчет № 7019, ВНИИНМ, Москва, 1989, 26с.

98. Митин B.C., Форстман В.А., Ширяев С.А. ,и др., «Математическое моделирование процесса нанесения покрытий с использованием мозаичных мишеней методом магнетронного напыления», Отчет № 7456 ВНИИНМ, Москва 1991 г. 19с.