Разработка конструкции и технологии микроэлектронных приборов точного измерения параметров газовых сред тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Локтев, Дмитрий Викторович

• Локтев, Дмитрий Викторович
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Локтев, Дмитрий Викторович

Введение

Содержание.

ГЛАВА 1.Аналитический обзор литературы.

1.1.Значение измерений свойств и параметров газовых сред.

1.2.Материалы, конструкции и математические модели терморезисторов.

1.2.1.Свободная и остеклованная проволока.

1.2.2.Тонкопленочная и мембранная конструкция.

1.2.3.Кремниевая нанообъемная конструкция.

1.3.Приборное применение терморезисторов.

1.3.1.Термометры сопротивления.

1.3.2.Термоанемометр ы.

1.3.3.Датчики теплопроводности хроматографов.

Выводы по главе 1.

ГЛАВА 2.Физико - математическая модель нанообъемного нагревателя.

2.1. Дифференциальное уравнение теплопроводности в сферических координатах.

2.2.0дномерная и двумерная задачи теплопроводности.

Выводы по главе 2.

ГЛАВА З.Нанообъемный терморезистор, как инструмент исследования свойств газов.

3.1.Преимущества монокристаллического кремния в качестве материала чувствительного элемента.

3.2.Моделирование геометрической формы.

3.3. Технология изготовления нанообъемных терморезисторов.

ЗАМодель тепловой инерционности.

3.5.Схема автоматического регулирования.

3.5.1.Аналоговая схема поддержания постоянной температуры микронагревателя.

3.5.2.Схема микропроцессорной обработки.

Выводы по главе 3.

ГЛАВА 4.Исследование свойств газов в микросистемах.

4.1 .Температурная зависимость теплопроводности.

4.2.Влияние давления и состава газа.

4.3.Конвективная устойчивость.

4.4.Термофорез в плотном газе.

4.5.Тепловая детурбулизация потока.

Выводы по главе 4.

ГЛАВА 5.Разработка приборов, метрологические характеристики, натурные испытания и внедрение.

5.1.1.Термоанемометр для малых расходов газов.

5.1.2.Автомобильный датчик массового расхода воздуха.

5.1.3.Измерительная часть системы обнаружения мест утечки осушенного воздуха в магистральных телефонных кабелях.;.

5.2.Датчики по теплопроводности для хроматографов.

5.3.Термокондукционный миниатюрный газоанализатор.

Выводы по главе 5.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка конструкции и технологии микроэлектронных приборов точного измерения параметров газовых сред»

Достижения микроэлектроники, положившие начало современной информационной революции, основывались на использовании единственного базового материала - монокристаллического кремния. В его изучение вложены огромные средства, и помимо электрических полупроводниковых, выявлены ценные в практическом отношении механические, пъезорезистивные, химические свойства этого материала, его оксида, нитрида и силицидов. Это привело к возникновению нового направления - микромеханики, изделия которой выполняют механо - электрические функции, и потому получили название механо -электрических микросистем (МЭМС). Была разработана их серия: микроклапаны, микронасосы, пьезоприводы, гироскопы, но наибольшее развитие получило производство датчиков - пьезорезистивных сенсоров давления и акселерометров. При этом процесс миниатюризации не встретил принципиальных затруднений в виде новых размерных эффектов и потому потребовал главным образом решения чисто технологических задач, чего нельзя сказать о большой группе сенсоров, основанных на тепловых эффектах: термоанемометрах, катарометрах, пелисторах, вакуумметрах Пирани, и даже простых термометрах. И это несмотря на наличие прибора, напрямую преобразующего тепло в электрический сигнал и обратно -терморезистора. Выяснилось, что простой перенос методик тепловых измерений из макро- в микрообласть невозможен, т.к. при этом не исключено проявление размерного эффекта в виде смены механизма.

Объектом настоящей работы выбраны газы, играющие огромную роль в жизнедеятельности человека и подавляющем большинстве технических устройств. Поэтому при измерении их параметров с помощью МЭМС необходимо учитывать и аэродинамические особенности сенсора, чему до сих пор не отводилось должного внимания.

На ранних этапах массового производства МЭМС основные усилия были направлены на повышение воспроизводимости параметров чувствительных элементов (ЧЭ), с тем, чтобы избежать необходимости индивидуальной калибровки. Считалось даже, что этим почти целиком определялась жизненность прибора. Однако , разброс геометрических и физических характеристик не удавалось снизить до требуемых пределов; он даже возрастал по мере миниатюризации.

Выход был найден после того, как получили массовое распространение микропроцессоры и появилась возможность вводить их в схему каждого прибора. В результате подстройка параметров (в случае терморезисторов - сопротивления и ТКС) стала осуществляться автоматически. Таким образом, микроэлектроника открыла дорогу для миниатюризации сенсоров и становления сенсороэлектроники.

Кроме того, микроэлектроника имела разработанную для массового производства постоянных резисторов групповую тонко- и толстопленочную технологии. Но производство терморезисторов требовало дополнительного точного контроля ТКС, значение которого зависит от многих факторов и может изменяться при эксплуатации, и этот дрейф не может учесть схемный микропроцессор. В результате точность прибора снижается непредсказуемым образом. Преодолеть этот недостаток платиновых тонкопленочных терморезисторов, широко используемых в приборостроении, не удалось даже ведущим фирмам США, Германии, Японии.

Микроэлектроника и в этом случае подсказывает радикальное решение -переход на монокристаллический кремний, в котором нет границ зерен, невозможны сегрегация и рекристаллизация, и потому он более стабилен, чем любой поликристаллический материал. Конечно, это было известно давно, однако не было найдено конструктивно - технологического решения, которое позволило бы реализовать в полной мере преимущества полупроводника, способные компенсировать его дороговизну и дефицитность а также затраты, связанные с переходом на нетрадиционные для резисторостроения технологии.

Коллективом кафедры МПТЭ была разработана конструкция, в которой используется весь комплекс специфических особенностей монокристаллического кремния. Был изготовлен оригинальный терморезистор (двойного назначения -микронагреватель и термометр сопротивления), тело которого имеет размеры, не превышающие 100 мкм. Была впервые достигнута трехмерная миниатюризация и сосредоточение тепловыделения в точке (отметим, что типографская точка имеет диаметр более 200 мкм). Сразу же была обнаружена аномалия теплоотдачи, названная эффектом гигантской теплоотдачи. Однако, долгое время природа его оставалась неясной, как и роль, которую он способен сыграть в тепловых МЭМС.

Поэтому была поставлена цель теоретического изучения этого эффекта и сопровождающих его явлений, разработки модели и создания на новой основе ряда тепловых МЭМС следующего поколения.

Помимо чисто практического значения решение задачи миниатюризации тепловых сенсоров, пригодных для точных, скоростных измерений при длительной эксплуатации, содержит перспективу расширения теоретических представлений в теплотехнике, которая до сих пор не имела средств для таких измерений.

Для достижения этой цели необходимо было решить следующие задачи:

- разработать методики эксперимента и выполнить измерения параметров, необходимые для создания модели;

- используя уравнение Фурье и кинетическое уравнение Больцмана обосновать эффект гигантской теплоотдачи;

- на основании модели определить практически значимые следствия этого эффекта и выполнить экспериментальную проверку; разработать конструкции термоанемометра, катарометра и термокондукционного миниатюрного газоанализатора;

- в соответствии с требованиями заказчиков изготовить опытные образцы и провести их метрологические испытания.

Научная новизна.

1. На основании решений уравнений Фурье и Больцмана дано возможное теоретическое обоснование эффекта гигантской теплоотдачи телами субмиллиметровых размеров.

2. Предложена физико - матеметическая модель теплопроводности плотных газов в условиях высокого температурного градиента.

3. Показано, что в условиях высокого температурного, проявляется существенная неравновесность, служащая причиной частичной упорядоченности в явлениях переноса.

4. Предсказаны и обнаружены экспериментально особенности газовых сред, проявляющиеся в тепловом пограничном слое микронагревателя: аномальная температурная зависимость коэффициента теплопроводности, термофорез, конвективная устойчивость и ламинаризирующая поток способность.

Практическая ценность.

Разработаны принципиально новые конструкции измерительных приборов.

1. Прецизионный термоанемометр для малых расходов.

2. Измеритель массового расхода воздуха для двигателей автомобилей.

3. Измерительная часть системы обнаружения мест утечки осушенного воздуха в магистральных телефонных кабелях.

4. Термокондукционный миниатюрный газоанализатор.

5. Катарометр для хромотографов.

Метрологические испытания выполнены у заказчиков:

ОАО НПО «ХИМАВОМАТИКА» ИЦ «Хроматография»,

ФГУП «АНАЛИТПРИБОР»,

ОАО «Грамеком»,

ЗАО НПЦ «Лазеры и аппаратура ТМ».

Приводятся акты внедрения.

Положения, выносимые на защиту.

1. Использование базового материала микроэлектроники, групповой технологии производства чувствительных элементов термосенсоров, микропроцессорной обработки выходного сигнала позволяет создать новое эффективное средство для изучения тепловых процессов в микросистемах.

2. Пограничный тепловой слой, окружающий микронагреватель, вследствие высокого температурного градиента структуризируется, и типичное для плотных газов в обычном состоянии хаотическое движение преобразуется в частично упорядоченное.

3. Следствиями (и дополнительными доказательствами) предложенной модели служат явления термофореза, конвективной устойчивости и детурбулизации, обнаруженные экспериментально.

4. Нанообъемный терморезистор - микронагреватель обладает по сравнению с традиционными проволочными и тонкопленочными конструкциями комплексом преимуществ, подтвержденных в испытаниях и при эксплуатации опытных образцов термоанемометров, катарометров и газоанализаторов.

Апробация работы.

Основные результаты работы обсуждены на 12-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика - 2005" (Москва, 2005 г.), Second International Conference on Transport Phenomena in Micro and Nanodevices. II Ciocco Hotel and Conference Center ( Barga, Italy, 2006), 13-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика - 2006" (Москва, 2006 г.), THERMES 2007: Thermal Chelenges in Next Generation Electronic Systems, ( USA,2007), 14-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика - 2007" (Москва, 2007 г.), Всероссийском конкурсном отборе инновационных проектов молодых ученых, аспирантов и студентов в рамках научно-технической конференции "Электроника - 2007" (Москва, 2007 г.).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 10 работ и 1 научно-технический отчет по НИР.

СТРУКТУРА И ОБЪЕМ ДИССЕРТАЦИИ. Диссертация состоит из введения, пяти основных глав с выводами, общих выводов, заключения, списка использованных источников из 75 наименований и приложения. Основное содержание диссертации изложено на 103 страницах и содержит 51 рисунка и 12 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Локтев, Дмитрий Викторович

Общие выводы по работе.

1. Анализ состояния исследований теплопередачи в газообразных микросистемах показал, что вследствие отсутствия адекватных метрологических средств в этой области превалируют традиционные представления, как правило, исключающие возможности изменений механизма, и проявления размерных эффектов.

2.Решение уравнения Фурье в сферических координатах оказалось недостаточным для объяснения эффекта гигантской теплоотдачи в условиях, далеких от равновесия.

3.Предложена модель теплопроводности плотных газов в микросистемах.

4.Приближенное численное решение кинетического уравнения Больцмана показало наличие разности компонентов тензора температуры молекул по осям X и Y в условиях высокого температурного градиента вблизи нагревателя большой кривизны, свидетельствующей о наличии частичной упорядоченности теплового движения молекул.

5.Предложенная модель получила многочисленные экспериментальные подтверждения в виде следующих эффектов, предсказанных, исходя из теоретических представлений:

- необычное для тепловых приборов быстродействие;

- аномально высокая температурная зависимость локального коэффициента теплопроводности;

- конвективная устойчивость теплового пограничного слоя;

- термофорез в плотном газе;

- тепловая детурбулизация потоков.

6.Исключительная структурная стабильность материала позволяет в полной мере использовать возможности современных средств цифровой обработки сигналов, обеспечивающих преимущества нанообъемных чувствительных элементов в тепловых МЭМС.

7.Полностью разработаны и изготовлены опытные образцы термоанемометров различного назначения, детекторов хроматографов, оригинальных термокондукционных газоанализаторов, испытанных и применяемых ведущими предприятиями.

Заключение.

Выполненное экспериментальное и теоретическое исследование теплопередачи в микросистемах свидетельствует о перспективности микротеплотехники, как нового направления прикладной науки. Его дальнейшее развитие связано прежде всего с уменьшением размеров чувствительного элемента еще в несколько раз, чему нет ограничений ни по технологии, ни по точности измерения температуры и мощности. Такое приближение к кнудсеноской границе способно более четко определить характер зависимости теплопроводности от параметров среды и тем самым углубить представление о механизме теплопередачи в переходном режиме.

Потребности техники будут стимулировать прогресс математической физики по части решения кинетического уравнения Больцмана, которое только и может дать прямое доказательство предложенной модели. Обнаруженный эффект целесообразно рассмотреть и с иных позиций - неравновесной термодинамики и синергетики, так как упорядоченность вследствие сильной неравновесности является одним из основных постулатов этих дисциплин.

Что касается применения, то помимо совершенствования уже имеющихся приборов планируется разработка следующих МЭМС:

- времяпролетные термоанемометры;

- наклономеры;

- болометры;

- резонансные прецизионные датчики параметров газовых сред;

- вакуумметры;

- датчики близости и возможно иные, основанные на том же принципе и конструкции ЧЭ, приборы

Опытные партии ЧЭ производились далеко не в идеальных условиях; по мере расширения применения будут созданы специализированные технологические линейки, обеспечивающие не только повышение качества при снижении себестоимости, но и усовершенствование конструкции прежде всего за счет интеграции на кристалле аналоговой части первичной обработки сигнала.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Локтев, Дмитрий Викторович, 2007 год

1. Bepnep В.Д., Чаплыгин Ю.А., Сауров А.Н. Микросистемы и биочипы -трансфер технологии микроэлектроники. Электронные компоненты. №1, 2003, с. 3 -5.

2. Ж. Аш. Датчики измерительных систем,- М.: Мир, 1993, т.2.

3. Фабер Т.Е. Гидроаэродинамика. М. Постмаркет, 2001.

4. A. Jacquot, G. Chen, Н. Scherrer, A. Dauscher, В. Lenoir. Improvements of on-membrane method for thin film thermal conductivity and emissivity measurements. Sensors and Actuators A 117 (2005) 203-210.

5. Devis F., Tanda G. Investigation of natural convection heat transfer from a horizontal isothermal plate by schlieren thermography. Промышленная теплотехника, 1999, т. 21, №2-3, с. 13-18.

6. Shuyun Wu*, Qiao Lin, Yin Yuen, Yu-Chong Tai. MEMS flow sensors for nano-fluidic applications. Sensors and Actuators 2862 (2000) 1-7.

7. Сивухин Д.В. Общий курс физики. Термодинамика и молекуляярная физика. М.: Наука, 1979, с.182-184.

8. В.Н. Луканин (ред.). Теплотехника, М, Высшая школа, 2002.

9. Проспект НПО «Микропровод». ( http://www.rnikroprovod. com/ru microprovod.html)

10. Резисторы. Справочник, под ред. И.И. Четверткова.- М.: Радио и связь, 1991.11. проспект Heraeus. Платиновый микронагреватель. Технические данные. http://www.atos.ru/LABELS/hplat.htm

11. Зиновьев Д.В., Тузовский К.А., Андреев В.М. Микронагреватель. Патент РФ №2170992 от 14.09.1998.

12. Бочкарев Э.П., Зиновьев Д.В., Андреев В.М., Тузовский К.А. Эффект гигантской теплоотдачи телами субмиллиметровых размеров. Доклады АН РФ т. 366, №2,1999, с. 178-180.

13. М.А. Shannon, Т.М. Leicht, P.S. Hrnjak, N.R. Miller, F.A. Khan. Thin-®lm resistance sensor for measuring liquid mass fraction in super-heated refrigerant. Sensors and Actuators 2827 (2000) 1-14.

14. Timothy Moulton, G.K. Ananthasuresh. Micromechanical devices with embedded electro-thermal-compliant actuation. Sensors and Actuators A 2877 (2001) 111.

15. C. Rossi, E. Scheid, D. Estive. Theoretical and experimental study of silicon microheater. Sensors and Actuators, A-63, (1997), 183-189.

16. Mitsuhiko Nagata, Malcolm Stevens, Nicholas Swart, Thangaraj Dravia, Arokia Nathan. Optimization of two-element flow microsensors using quasi 3-D numerical electrothermal analysis. Sensors and Actuators A 2888 (2001) 1-9.

17. J. Courteaud, P. Combette, N. Crespy, G. Cathebras, A. Giani. Thermal simulation and experimental results of a micromachined thermal inclinometer. Sensors and Actuators A 1847 (2007) 9-17.

18. Зиновьев Д.В. Разработка интегральных термосенсоров на основе монокристаллической кремниевой фольги и исследование их характеристик. Диссертация на соискание ученой к.т.н. МИЭТ, 1999 г.

19. Кремлевский П.П. Расходомеры и счетчики количества. Справочник 4-е изд.Л.: Машиностроение, Ленинградское отделение.1989 г.

20. Nicholas Gralenski. Creating a better mass flow meter. Solid state technology. May 2004. p. 26 28.f

21. R. W. Gehman, M. G. Murray, and J. W. Speldrich.Reduced Package Size for Medical Flow Sensor. Previously Presented at the IMAPS Technical Symposium. 3 may 2000. p. 2-5

22. J. C. Lotters. Micro Fluidic Flow and Pressure Control Modules for Integration Into Compact Systems. Gases&Technology FEATURE. September/October 2005.24-27.

23. G.B. Hocker, R.G. Johnson, R.E. Higashi, P.J. Bohrer, A Microtransducer for Air Flow and Differential Pressure Applications, Micromachining and Micropackaging of Transducers, Elsevier, Amsterdam, 1985, pp. 207-214.

24. Датчик массового расхода воздуха. ТУ 37.473.017-99.2001 г.

25. Клименко А.В., Зорин В.М. Теоретические основы теплотехники. Теплотехнический эксперимент. Справочник, изд. МЭИ, 2001.

26. К. Хайвер. Высокоэффективная газовая хроматография. М.: Мир. 1993 г.

27. Сакодинский К.И., Бражников К.М. и др. Приборы для хроматографии. М.: Машиностроение, 1987 г.

28. Столяров Б.В. Руководство по хроматографии. Д.: Химия, 1978 г.

29. Иродов И.Е. Физика макросистем. Основные законы. Физматлит. М., 2001г.

30. Frank М. White. Fluid Mechanics. Fourth edition. McGraw-Hill. 2002 371-389

31. Телегин B.K. Тепло и массоперенос. M.: Металлургия. 1995 г.

32. А.К.Кикоин, И.К.Кикоин. Молекулярная физика.-М., Наука, 1976. . стр. 164-171.

33. G. Bird, Molecular Gas Dynamics and the Direct Simulation of Gas Flows, Clarendon Press, Oxford, 1994.

34. Аристов B.B., Черемисин Ф.Г. Прямое численное решение кинетического уравнения Больцмана. ВЦ РАН. 1992

35. Cercignani, С 1988 The Boltzmann Equation and its Application. New York: Springer.

36. Кинетическое уравнение Больцмана и подходы к его решению для инженерной практики: учеб. пособие для вузов. А.П. Крюков, В.Ю. Левашов, И.Н. Шишкова, А.К. Ястребов — М.: Издательство МЭИ, 2005. — 80 с.

37. D.V. Zinoviev, V.M. Andreev, К.А. Tuzovsky, D.V. Loktev. Investigation of microobjects heat transfer. Second International Conference on Transport Phenomena in Micro and Nanodevices. И Ciocco Hotel and Conference Center, Barga, Italy. 11-15 June 2006

38. Тузовский К.А., Зиновьев Д.В., Андреев В.М., Гришаев А.А. Полупроводниковый терморезистор. Патент РФ №2058604. Бюллетень изобретений №11,1996г.

39. Тузовский К.А., Андреев В.М., Зиновьев Д.В. Полупроводниковая кремниевая структура. Патент РФ №2110117. Бюллетень изобретений №12, 1998г.

40. Тузовский К.А., Павленко Е.Ю., Зиновьев Д.В. Монокристаллическая кремниевая фольга и её применения. Электронная техника. Серия 3 Микроэлектроника, вып. 1,1997г.

41. Зиновьев Д.В., Тузовский К.А., Андреев В.М., Сорокин И.Н. Новые направления технологической интеграции. Сборник научных трудов под ред. И.Н. Сорокина. Технологические процессы и материалы компонентов электронных устройств, Москва 1996г.

42. Тузовский К.А., Андреев В.М., Сорокин И.Н., Зиновьев Д.В. Высокоточные термисторные преобразователи температуры. Сборник научных трудов под ред. И.Н. Сорокина. Технологические процессы и материалы компонентов электронных устройств, Москва 1996г.

43. А.Б. Каплун, Е.М. Морозов, М.А. Олферьева. ANSYS в руках инженера. Практическое руководство. Изд.2-е, испр.М.: Едиториал УРСС, 2004 г.

44. К.А. Басов. ANSYS в примерах и задачах. М.: КомпьютерПресс, 2002г.

45. Локтев Д.В., Зиновьев Д.В., Тузовский К.А., Андреев В.М. Точечный МЭМС термоанемометр. Тезисы докладов. V Международная научно -техническая конференция «Электроника и информатика 2005» (Москва, 2005 г.).

46. Тузовский К.А. Кремниевые структуры с диэлектрической изоляцией пассивных и активных компонентов. Диссертация на соискание ученой к.т.н. МИЭТ, 1985 г.

47. Д.В. Зиновьев, В.М. Андреев. Быстродействующий терморезистор -микронагреватель. Межотраслевой научно-технический сборник // «Оборонный комплекс научно-техническому прогрессу России», №3,2001, стр. 23-26.

48. Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технолгия и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. М.: Техносфера, 2007 г.

49. Зиновьев Д. В., Андреев В. М. Микрорезонатор с термическим возбуждением. Патент РФ №2280320 от 2005.02.03.

50. Ж. Аш. Датчики измерительных систем.- М.: Мир, 1993, т.1,с. 234-237.

51. Предприятие п/я А 7840. Клей марки ВК - 26М. ТУ 1 - 596 - 224 -85.1995 г.

52. Зиновьев Д.В., Андреев В.М. Быстродействующий терморезистор-микронагреватель. Межотраслевой научно-технический сборник «Оборонный комплекс научно-техническому прогрессу России», №3, Москва 2001 г.

53. Локтев Д.В. Кремниевый термоанемометр. Тезисы докладов. 13-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика 2006".1. Москва, 2006 г.).

54. D. Zinoviev, V. Andreev, D. Loktev & К. Tuzovsky. Thermal MEMS for inertial systems, THERMES 2007: Thermal Challenges in Next Generation Electronic Systems, Proceedings of THERMES 2007 conference, Santa Fe, New Mexico, January 7-10,2007.

55. Alcatel (Франция). Вакуумметр Пирани API 111. Technical data. www.iontecs.ru

56. Локтев Д.В. Микромодульный измеритель расхода газа. 14-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика 2007" (Москва, 2007 г.).

57. B.S. MacGibbon, А.А. Bushaina, В. Fardi. The effect of thermophoresis on particle deposition. Journal of the electrochemical Society v. 146, №8 (1999), 29012905

58. И.К. Кузьмин, Ю.И. Якимов. Теория нестационарного термофореза. ЖТФ, 1.11, вып.2,2007 г.

59. Д.В. Локтев, В.М. Андреев, Д.В.Зиновьев, К.А. Тузовский. Эффект термофореза в тепловых МЭМС . Нано и микросистемная техника. №9, 2007 г.№9, стр.52 - 53.

60. Т. Себиси. Конвективный теплообмен. Мир, 1987г.

61. Локтев Д.В., Зиновьев Д.В. Способ эпитаксиального наращивания. Тезисы докладов. 12-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика 2005" (Москва, 2005 г.).

62. Зиновьев Д.В., Тузовский К.А., Андреев В.М. Кремниевые структуры для приборов микроэлектроники. Учебное пособие по курсу «Технология микроэлектроники». М.: МИЭТ, 2006 г.

63. Д.В.Локтев, Д.В. Зиновьев. Тепловая детурбулизация потока в микроканалах. Известия ВУЗов. Электроника. №6,2007 г. в печати.

64. Gad-el-Hak М.(1999)."ТЪе Fluid Mechanics of Microdevices—The Freeman. Scholar Lecture" Journal of Fluids Engineering, Vol. 121, pp. 5-31.

65. AWM92100V. Product Specifications. http.V/sensing.honeywell. com/index.cfm?ci id= 140301 &pr id= 106155&productList=l 06155%2C 106162

66. K. Komiya, F. Higuchi, K. Ohtani. Characteristics of thermal gas flowmeter. Rev. Sci. Instrum., 59,1988, №3,477-479.

67. RB GMBH. Датчик массового расхода воздуха тип HFM5 4.7 с датчиком температуры. Техническая информация Потребителя. 2001 г.

68. Ian A. Fowlis. Gas Chromatography. John Wiley&Sons. 1994. p 80 87.

69. НПО «Цвет». Газовый хроматограф «Цвет 800». Технические характеристики хроматографа, http://www.tsvet.com/tsvet800.htm

70. ФГУП СПО «Аналитприбор». Переносной газоанализатор АМТ 03. номенклатурный перечень. 2007 г. с. 86.

71. GasCheck 5000is. Technical Data, http://www.edwardsvacuum.com/ Products/75934/overview/ProductDetaiIs.aspx

72. Открытое акционерное общество Научно-производственноеобъединение "ХИМАВТОМАТИКА"1. ИЦ «Хроматография»129226 Мосхва-226 Сельскохозяйственная, д.12-а тел. [phone] факс [phone]от 2007г. №1. На№ от 2007 г.

73. Акт внедрения диссертационной работы "Разработка конструкции и технологии микроэлектронных приборов точного измерения параметров газовых сред" Локтева Д.В.

74. По типовой программе, указанной в ГОСТе, датчик прошел испытания на стандартном хроматографе Цвет-500.

75. Сравнительные характеристики разработанного датчика с детектором «ДТП-125-02» представлены в таблице:1. Средний шум, мВ1. Дрейф, мкВ/час

76. Предел детектирования, г/мл1. Стандартный ДТП0.0043940.190652.0Е-0091. МИЭТ0.00244 -29.42853 0.632Е-009

77. Вследствие минимального объема камеры новая конструкция особенно перспективна применительно к капиллярным колонкам.

78. Наше предприятие готово устанавливать разработанный датчик на серийные газовые хроматографы Яуза 100 и Яуза - 200.

79. Директор ИЦ «Хроматография» проф., д.х.н.1. Яшин Я. И.

80. Акт внедрения диссертационной работы "Разработка конструкции и технологии микроэлектронных приборов точного измерения параметровгазовых сред" Локтева Д.В.

81. Прецизионное измерение расходов газов используется для точного обнаружения мест повреждения кабельных линий связи.

82. При использовании магистральных расходомеров, представленных соискателем в составе нашего оборудования, были выявлены следующие преимущества в сравнении с используемыми у нас датчиками фирмы Honeywell.

83. Погрешность измерения расхода, % Дрейф нуля, ' %/год Температурная зависимость, %/°Снуля чувствительности

84. AWM92100V Honeywell ±4 ~5 0.05 0.1

85. Каф.МПТЭ, МИЭТ ±1 <1 0.02 0.03

86. Опытные образцы датчиков прошли эксплутационные испытания и в составе установки «МСУ 5Ц Суховей с АСУМ» поставлены на ГТС г. Ростова на Дону.

87. Подчеркнем, что автор не ограничился научным сообщением о проделанной работе он неоднократно приезжал на наше предприятие, участвуя в совместной доводке и испытаниях.

88. Впервые в практике взаимодействия с представителями ВУЗа получен реально действующий прибор вполне конкурентоспособный на мировом рынке.

89. Автор проявил глубокое понимание процесса детектирования в газовой хроматографии и продемонстрировал на деле роль микроэлектроники в развитии других отраслей техники.

90. Наше предприятие готово использовать подобный датчик в перспективных разработках газоаналитической техники.