Разработка и исследование технологического и аппаратурного обеспечения сканирующего туннельного микроскопа для изучения кластерных материалов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.14, кандидат технических наук Кизнерцев, Станислав Рафаилович

• Кизнерцев, Станислав Рафаилович
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Кизнерцев, Станислав Рафаилович

ПЕРЕЧЕНЬ СОКРАЩЕНИЙ И ОБОЗНАЧЕНИЙ.

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ВОПРОСОВ ПРИМЕНЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЯ КЛАСТЕРНЫХ МАТЕРИАЛОВ

1.1. Изучение кластерных материалов с применением СТМ.г.

1.2. Пьезоэлектрические устройства туннельного микроскопа и технология их изготовления.

1.3. Измерительные иглы СТМ и методы их получения.

1.3.1. Электрохимический процесс анодного растворения металлов.

1.3.2. Обзор методов изготовления игл туннельного микроскопа.

1.4. Выводы по главе 1 и постановка задач исследований.

ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА ТЕОРЕТИЧЕСКИХ ОСНОВ ПРОЦЕССА ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ИГЛ.

2.1. Общая модель для анализа процесса химического травления широкой пластины.

2.2. Моделирование процесса химического травления измерительной иглы.

2.2Л. Модель травления зондирующего острия.

2.2.2.0сновные положения и допущения.

2.2.3. Граничные и начальные условия задачи травления цилиндра.

2.2.4. Дискретные аналоги уравнений в частных производных для двухмерных задач.

2.2.5. Расчет поля скоростей.

2.2.6. Вычисление поля концентраций.

2.2.7. Адаптация конечно-разностной сетки к условиям задачи.

2.2.8. Результаты моделирования.

2.3. Выводы по главе 2.

ГЛАВА 3. СОЗДАНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ИГЛ.

3.1. Общие положения.

3.1.1. Приготовление заготовок образцов.

3.1.2. Выбор электролитов.

3.2. Обоснование режима травления.

3.3. Нахождение оптимального состава электролита.

3.4. Определение оптимальных режимов травления на переменном токе.

3.5. Разработка установок для изготовления измерительных игл.

3.5.1. Устройства для получения игл.

3.5.2. Формирование зондирующих острий в трехэлектродной электрохимической ячейке.

3.5.3. Устройство для получения многоступенчатых заготовок измерительных игл.

3.6. Выводы по главе 3.

ГЛАВА 4. КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ГОЛОВКИ СТМ ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ КЛАСТЕРНЫХ МАТЕРИАЛОВ.

4.1. Отличительные характеристики измерительной головки туннельного микроскопа для изучения металлических ультрадисперсных частиц.

4.2. Технология изготовления систем защиты измерительной головки от внешних воздействий.Х

4.2.Х. Система защиты от внешних акустических и электромагнитных воздействий. Х

4.2.2. Система виброзащиты СТМ.Х

4.3. Технологические отличия создания пьезосканеров.Х

4.4. Технологические особенности изготовления инерционного т привода.X

4.5. Конструкция туннельного микроскопа и технологические особенности его сборки.12Х

4.6. Выводы по главе 4.Х

ГЛАВА 5. ДИАГНОСТИЧЕСКОЕ И ПРОГРАММНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ СТМ.ХЗО

5.Х. Общие положения.ХЗО

5.2. Аппаратура и методы технической и метрологической диагностики пьезоэлектрических устройств.Х

5.3. Методы и средства настройки установки для травления игл.Х

5.4. Особенности программно-аппаратурного обеспечения универсальной измерительной головки.Х

5.5. Выводы по главе 5.Х

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование технологического и аппаратурного обеспечения сканирующего туннельного микроскопа для изучения кластерных материалов»

Актуальность темы связана с необходимостью получения наиболее полной измерительной информации о геометрических параметрах ультрадисперсных частиц (УДЧ) с размерами 10-1000А для создания кластерных материалов (КМ) с уникальными сочетаниями механических и физико-химических свойств. КМ на основе УДЧ обладают принципиально новыми механическими, магнитными, каталитическими и другими физико-химическими свойствами, в связи с чем находят широкое применение во всех областях науки и техники.

Получение измерительной информации с помощью сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) требует последовательного выполнения двух этапов: обнаружения частиц на большой площади поверхности образца ~(10х10 мкм ) с относительно невысоким разрешением и определения геометрических параметров частиц (площадь исследуемой области ~100x100 А2) с высоким (атомарным) разрешением. Очевидно, что оба этапа должны выполняться без замены сканирующего устройства (пьезосканера) невысокого разрешения на сканирующее устройство высокого разрешения, поскольку при такой замене теряется «привязка» сканирующего устройства к координатам обнаруженных частиц.

В результате возникает необходимость в создании универсальной измерительной головки, позволяющей без смены иглы и пьезосканера осуществлять изучение поверхности на воздухе и в жидких агрессивных средах как с невысоким, так и с высоким (атомарным) разрешением. Очевидно, что к экс-плутационным и метрологическим характеристикам пьезоэлектрических устройств и измерительных игл универсальной измерительной головки СТМ предъявляются повышенные требования.

Использование в универсальной головке многосекционных сканеров, имеющих для исследования с высоким и невысоким разрешением отдельные секции, затруднено по двум причинам. Первая - сложность изготовления, вторая - затрудненность согласования по точности и диапазону перемещений привода образца и секции высокого разрешения сканера. Устранение этих причин требует разработки специализированных пьезоустройств, отличающихся повышенной сложностью изготовления, а также детальной проработки технологических процессов, обеспечивающих достижение заданных характеристик этих пьезоустройств. При этом для использования усложненных механических конструкций следует предусмотреть дополнительные элементы виброакустической, электромагнитной и электростатической защиты.

Основные проблемы в области изготовления игл для СТМ заключаются в следующем. Для изготовления платиново-иридиевых игл обычно применяют метод механического среза (совмещенного с вытягиванием и разрывом места среза). При этом плохая воспроизводимость формы острия таких игл не позволяет применять их для изучения микроучастков поверхности с резкими перепадами высот. Все это делает актуальной задачу создания конусообразных измерительных игл (ИИ) с острием стабильной макроскопической формы, завершающимся одним атомом. Наиболее часто для создания используемых в СТМ вольфрамовых и платиново-иридиевых ИИ используется процесс электрохимического" травления металлических заготовок цилиндрической формы, однако сопутствующая такому травлению электрохимическая полировка конического острия не позволяет получить требуемое разрешение СТМ. Поэтому необходимы надежные средства исключения электрополировки атомарных микровыступов кончика игл.

Таким образом, исследования в области технологии изготовления специализированного СТМ, предназначенного для изучения УДЧ КМ с высоким разрешением и большим полем зрения имеют важное значение для создания новых материалов и являются актуальными.

Цель работы - разработка теоретических основ технологического и аппаратурного обеспечения специализированного сканирующего туннельного микроскопа для изучения ультрадисперсных частиц, используемых при создании перспективных кластерных материалов.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

- создать расчетную модель для описания процесса изготовления иглы методом химического травления;

- разработать технологию изготовления измерительных игл с повышенной жесткостью острия и с устранением процесса электрополировки его атомарных микровыступов в момент перетравливания заготовки;

- разработать технологию изготовления пьезосканеров с улучшенными метрологическими характеристиками;

- разработать технологию изготовления высокоточного инерционного пьезопривода образца;

- разработать технологию и оборудование для изготовления измерительных игл, пьезопреобразователей и других подсистем СТМ;

- создать средства программно-аппаратурной диагностики универсальной измерительной головки.

Объектом исследования является СТМ для изучения КМ, включающий измерительную иглу, программно-аппаратурные средства для выделения, обработки и визуализации измерительной информации.

Предметом исследования являются модели измерительной иглы и ее заготовок, модели химического процесса изготовления ИИ, программно-аппаратурное обеспечение СТМ.

Методы исследования. В диссертации использован комплексный метод, включающий теоретические исследования и экспериментальную проверку полученных результатов. Работа выполнялась с применением математического и физического моделирования. В теоретических исследованиях использовались: численные методы, цифровая обработка изображений и сигналов, теоретические основы информатики и программирования, принципы и методология разработки САПР. В экспериментальных исследованиях применялись: теория измерения электрических и механических величин, статистические методы обработки результатов исследований, теория точности измерительных систем.

Научная новизна работы состоит в следующих результатах:

- предложена исключающая электрополировку атомарных микровыступов кончика острия технология изготовления игл, в которой переход от электрохимической к химической обработке осуществляется непосредственно перед моментом перетравливания «шейки» иглы, а окончательное пере-травливание «шейки» осуществляется химическим способом;

- созданы модель и методика численного моделирования протекания процессов химического травления игл на основе уравнений гидродинамики и уравнений химической кинетики; численные исследования, выполненные с помощью модели, позволили определить оптимальную форму «шейки» заготовки иглы в момент перехода от электрохимической к химической обработке заготовки;

- исследованы различные составы раствора электрохимической ячейки; установлено, что оптимальным составом для электрохимической-химической обработки «шейки» вольфрамовой иглы является раствор: \ часть 10% КОН и 6 частей 10% КзРе(С1М)б; обосновано применение вспомогательного нейтрального раствора ССЦ в донной части ячейки, позволившего снизить влияние сил поверхностного натяжения основного раствора на фор* му «шейки» заготовки ИИ и, соответственно, на радиус закругления и жесткость кончика иглы; предложено размещать основную часть заготовки в нейтральном растворе;

- обосновано применение в специализированном СТМ для изучения кластерных материалов многосекционного пьезосканера и комбинированного пьезоэлектрического-электродинамического привода образца; установлен ряд технологических особенностей изготовления данных пьезоустройств; показано, что при изготовлении межэлектродной изоляции пьезосканера следует сочетать механическое удаление с локальным химическим вытравливанием электродов; при изготовлении корпуса комбинированного пьезопривода сближения следует использовать немагнитные материалы, при изготовлении электродинамического источника - постоянные магниты; рекомендован импульсный режим работы электродинамического источника, позволяющий снизить величину термодрейфов.

Основные результаты, выносимые на защиту:

1. Способ электрохимической-химической обработки «шейки» иглы, позволяющий исключить электрополировку атомарных микровыступов ее кончика. Схема установки для изготовления игл данным способом с наклонным расположением заготовки.

2. Методика моделирования процесса химического травления «шейки» заготовки иглы.

3. Схема электрохимической ячейки с нейтральным раствором в нижней ее части и активным электролитом в верхней части, расположением заготовки в нейтральном растворе и рабочей зоной перетравливания «шейки» заготовки на границе раздела двух сред, позволяющая изготавливать иглы с повышенной жесткостью ее кончика.

4. Технологические особенности изготовления многоэлектродного пьезосканера (использование скрайбирования и локального травления для получения межэлектродной изоляции) и комбинированного пьезоэлектрического-электродинамического привода сближения (применение немагнитных материалов, постоянных магнитов).

5. Методы и средства технической диагностики пьезоустройств, основанные на применении серийно выпускаемых измерительных приборов.

Достоверность полученных результатов основывается на данных натурных испытаний, использовании аттестованных измерительных средств, согласованности расчетных и экспериментальных данных.

Практическая ценность и внедрение результатов работы

Проведенные теоретические и экспериментальные исследования позволили решить задачу создания универсальной измерительной головки, а также технологического и программно-аппаратурного обеспечения СТМ для изучения КМ.

Рекомендации по выбору химического состава раствора (сочетание 10% раствора красной кровяной соли (КзРе(С1М)б) и 10% раствора КОН в соотношении 6:1 соответственно) электрохимической ячейки для изготовления вольфрамовых измерительных игл позволяют изготавливать иглы при малых и нулевых (химическое травление) токах с высокой степенью контроля за формой игл. Применение данного раствора в сочетании с СС14 в донной части электрохимической ячейки позволяет изготавливать многоступенчатые иглы с высокой жесткостью и повторяемостью формы ее кончика.

Предложены технология и схемы установок для изготовления игл, в которых наклонное расположение заготовки иглы позволяет непосредственно перед отрывом нижней ее части определять момент времени перехода от электрохимического травления к химическому.

Методы и средства диагностики пьезоустройств, основанные на использовании серийно выпускаемых измерительных приборов, достаточно просто реализуемы.

Результаты диссертационной работы использованы при разработке и совершенствовании программно-аппаратных средств и методов для изучения параметров микрорельефа КМ и электрофизических характеристик реконструированных поверхностей, а также в учебном процессе ИжГТУ.

Работа выполнялась в соответствии с планами госбюджетных НИР, проводимых ИПМ УрО РАН: «Разработка программно-аппаратных средств и методика изучения КМ на базе СТМ» (1990-2000г.), «Исследование закономерностей формирования кластеров и мезокомпозитов» (2000-2005г.), а также НИР, выполненных УДГУ в рамках научной программы «Университеты России - фундаментальные исследования»: «Разработка программно-аппаратных средств и исследование связей атомной структуры, электронного строения и химического состава с целью оптимизации электрофизических характеристик реконструированных поверхностей» (1995-1997г.) и «Разработка и исследование новых методов сканирующей туннельной микроскопии» (1998-1999г.).

Апробация и публикации.

Основной материал диссертации отражён в 24 научных публикациях.

Структура и объём работы. Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка литературы из 165 наименований и приложения (акты об использовании результатов работы). Работа содержит 161 стр. машинописного текста, включая 51 рис. и приложение.

Заключение диссертации по теме «Технология приборостроения», Кизнерцев, Станислав Рафаилович

5.5. Выводы по главе 5

1. Предложена методика испытаний инерционного пьезоэлектрического привода с электродинамическим источником вспомогательного воздействия на перемещаемый объект. В методике определение средней величины шагового перемещения после серии управляющих импульсов позволяет определять не только скорость и точность перемещений привода, но и оптимальные режимы его работы.

2. Для технической диагностики инерционного пьезоэлектрического привода с электродинамическим источником вспомогательного воздействия на перемещаемый объект в аппаратуре диагностики следует заложить токовые ключи для управления электродинамическим источником, возможности задания числа управляющих импульсов для определения средних шага и скорости привода.

3. При изготовлении программно-аппаратурных СТМ для изучения ультрадисперсных частиц следует применять управляющие блоки, позволяющие выполнять большой объем вычислений для реализации методов адаптивного управления.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В результате проведенных в работе комплексных исследований разработаны теоретические основы технологического и аппаратурного обеспечения сканирующего туннельного микроскопа для изучения ультрадисперсных частиц кластерных материалов. Разработка данных основ позволила решить задачи создания высокожестких зондирующих игл, пьезосканера с высоким разрешением и большим полем зрения, необходимых для создания на базе СТМ прибора для контроля дисперсности частиц. В ходе работ был получен ряд научных результатов, основные из которых приведены ниже.

1. Предложена технология изготовления игл с последовательным переходом от электрохимического к химическому травлению, позволяющая исключить электрополировку атомарных микровыступов кончика острия игл и повысить разрешающую способность СТМ. Установлен химический состав раствора электрохимической ячейки, позволяющий реализовать предложенную технологию - смесь 10% КОН и 10 % К3Ре (С1Ч)б в соотношении 1:6 соответственно.

2. Создана модель процесса изготовления игл методом химического травления, основанная на уравнениях гидродинамики и химической кинетики. Проведены численные исследования этой модели, которые позволили получить рекомендации по формированию малого радиуса кончика и необходимого профиля зондирующего острия, а также определить оптимальную форму «шейки» заготовки иглы- в момент перехода от электрохимической к химической обработке заготовки.

3. Предложено наклонное расположение заготовок игл, позволяющее определять момент отрыва нижней относительно «шейки» части заготовки по началу ее колебательного движения. В качестве регистрирующего устройства данного движения предложено использовать оптические средства, для которых разработаны схемы реализации.

4. Для изготовления игл или предварительной обработки заготовки в большом объеме электролита предложено осуществлять травление на границе раздела двух сред — нейтральной с высокой плотностью в донной части ячейки и активной в верхней. Установлено, что для вольфрамовых игл этими средами могут быть СС14 и 5% раствор КОН, ЫаОН или смесь КОН с К3Ре(СМ)б. При этом для изготовления высокожестких многоступенчатых игл заготовку иглы следует располагать в нейтральном растворе (для снижения площади смачивания).

5. Обосновано применение (в специализированном СТМ для контроля дисперсности УДЧ КМ) многосекционного пьезосканера, комбинированного пьезоэлектрического — электродинамического привода образца и многоступенчатой системы виброакустической, электростатической и электромагнитной защиты. Предложены конструкции и представлены основные технологические особенности изготовления данных устройств.

6. Показано, что для изготовления межэлектродной изоляции многосекционного пьезосканера следует применять механическое удаление верхней части покрытия и локальное травление оставшегося покрытия с последующим мониторингом характеристик сканера.

7. Определены материалы и режимы работы комбинированного привода образца СТМ. Установлено, что для снижения температурных дрейфов привода целесообразно в его электродинамической системе применять постоянные магниты и импульсные режимы работы.

8. Разработаны средства диагностики СТМ и его отдельных блоков. Предложены методики диагностики работоспособности сканера, комбинированного пьезопривода образца, системы регулирования туннельного промежутка, а также зависящих от них метрологических характеристик СТМ.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Кизнерцев, Станислав Рафаилович, 2004 год

1. Губин С.П. Химия кластеров - достижения и перспективы // ЖВХО им. Д.И.Менделеева.-1987.-Т.32.-1.-С. 3-11.

2. Фёдоров В.Е., Губин С.П. Кластерные материалы // ЖВХО им. Д.И.Менделеева. 1987.-Т.32.-№1.-С. 31-36.

3. Фёдоров Б.В., Тананаев И.В. Энергонасыщенные системы и кластеры // ЖВХО им. Д.И.Менделеева.-1987.-Т.32—№ 1 -С. 43-47.

4. Словохотов Ю.Л., Стручков Ю.Т. Архитектура кластеров // ЖВХО им. Д.И.Менделеева.—1987-Т.32.-№1- С. 11-19.

5. Пискорский В.П., Липанов A.M., Балу сов В. А. Магнитные свойства ультрадисперсных (кластерных) частиц//ЖВХО им. Д.И.Менделеева.-1987-Т.32.-Ш.-С. 47-51.

6. Новиков Ю.Н., Вольпин Е.В. Кластеры металлов в матрице графита и их каталитические свойства // ЖВХО им. Д.И.Менделеева.-1987.-Т.32-№1- С. 69-75.

7. Сергеев В.А., Васильков А.Ю., Лисичкин Г.В. Парофазный метод синтеза кластерных металлических катализаторов // ЖВХО им. Д.И.Менделеева-1987.-Т.32.-№1.- С. 96-100.

8. Варгафтик М.Н. От полиядерных комплексов к коллоидным металлам // ЖВХО им. Д.И.Менделеева.-1987.-Т.32—№1- С. 36-43.

9. Соколов В.И. Топологический дизайн кластерных структур // ЖВХО им. Д.И.Менделеева.-1987.-Т.32.-№ 1.- С. 19-24.

10. Семененко К.Н. Кластер глобула - металлическая фаза // ЖВХО им. Д.И.Менделеева.-1987.-Т.32.-№1- С 24-31.

11. Панченков Г.М., Лебедев В.П. Химическая кинетика и катализ М.:- Химия, 1985.- 592с.

12. Кодолов В.И., Липанов A.M. // Кластерные системы и технологии быстрого моделирования и прототипирования / С.3-15.

13. Кипнис А .Я. Кластеры в химии.- М.: Химия, 1981- 64с.

14. Липанов A.M., Бесогонов А.П. плазмогазодинамическая установка для получения и сбора кластеров //Кластерные материалы:Докл. 1 Всесоюзн. конф.-Ижевск, 1991.- С.95-99.

15. Петров Ю.И. Физика малых частиц.- М.: Наука, 1982,- 360с.

16. Липанов А.М., Вахрушев A.B., Шуппсов A.B., Стремоусов Ю.А. Исследования диспергирования порошков до ультрадисперсного состояния при энергетическом воздействии //Прикладная механика 1991- Т.27 - №2 — С. 160165.

17. Липанов А.М., Вахрушев А.В.Задача о диспергировании порошковых материалов взрывом //Прикладная механика- 1991.-Т.27 №2 - С.47-53.

18. Канунникова О.М., Гильмутдинов Ф.З., Кожевников В.И., Трапезников В.А. Методы фотоэлектронных исследований неорганических материалов,-Ижевск: изд-во Удм. ун-та, 1992-250с.

19. Лихтенштейн Г.И. Кластеры в биологических объектах // ЖВХО им. Д.И.Менделеева.-1987.-Т.32.-№ 1.- С.61 -69.

20. Хохряков Н.В. Параметрический метод сильной связи для расчёта физических свойств углеродных систем: Дис.канд. физ.-мат. наук Ижевск, 1996.-100с.

21. Елецкий A.B., Смирнов Б.М. Фуллерены и структуры углерода // УФН-1995.- Т. 165.- С.977-1009.

22. Пасынский A.A., Еременко И.Л. Химическое конструирование гетероме-таллических магнитоактивных кластеров // ЖВХО им. Д.И.Менделеева-1987.-t.32—№1- С.88-96.

23. Кукина М.А., Подольская И.П. Кластеры в процессах очистки углеводородных фракций // ЖВХО им. Д.И.Менделеева.-1987.-Т,32-№1.- С.51-55.

24. Костикова Г.П., Корольков Д.В. Особенности электронного строения кластерных комплексов переходных металлов // ЖВХО им. Д.И.Менделеева-1987-Т.32.—№1.- С.55-61.

25. Липанов А.М. и др. Установка для диспергирования порошковых частиц при сбросе давления // Кластерные материалы: Докл. 1 Всесоюзной конф.-Ижевск, 1991.- С.95-98.

26. Лахно В.Д. Кластеры в физике, химии, биологии.- Ижевск: НИЦ РХД, 2001.-256с.

27. Васильков А.Ю. и др. Криохимический синтез нанометровых металлических частиц контролируемой нуклеарности //Кластерные материалы: Тез. докл. 1 Всесоюзной конф.-Ижевск, 1991.- С. 18.

28. Белошапко А.Г. и др. Ударноволновой синтез оксидных порошков в ультрадисперсном состоянии // Кластерные материалы: Тез. докл. 1 Всесоюзной конф.-Ижевск, 1991.- С. 10.

29. Норматов И.Ш., Гаибуллаева З.Х, Мирсаидов У. Получение и исследование мелкодисперсных порошков кобальта // Кластерные материалы: Тез. докл. 1 Всесоюзной конф.- Ижевск, 1991.- С. 51.

30. Оленин А.Ю. Воздействие ультразвукового поля на процессы нуклеации кластеров металлов // Кластерные материалы. Тез. докл. 1 Всесоюзной конференции.-Ижевск, 1991.- С. 55.

31. Петров Ю.И. Кластеры и малые частицы. М.: Наука, 1986 367 с.

32. Анализ поверхности методами оже и рентгеновской спектроскопии / Под ред. Д.Бриггса и М.П.Сиха. М.: Мир, 1987.-598с.

33. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела — М.: Мир, 1980.- 448с.

34. Кук И., Силверман П. Растровая туннельная микроскопия // ПНИ.—1989-№2 —С.3-22.

35. Липанов A.M., Шелковников Е.Ю., Волгунов Д.В., Миронов В.Л., Петру-хин A.A. Сканирующий туннельный микроскоп для исследования поверхности кластерных материалов //Измерения, контроль и автоматизация производственных процессов. Барнаул, 1997. - С.81-82.

36. Шелковников Е.Ю. Измерение параметров микрорельефа поверхности кластерных материалов с помощью туннельного микроскопа // Информационно-измерительные системы на базе наукоёмких технологий. -Ижевск С.40-48.

37. Шелковников Е.Ю., Осипов Н.И., Фофанов Г.В. Исследование кластерных материалов с помощью сканирующего туннельного микроскопа // Кластерные системы и материалы. Ижевск, 1997. - С.43.

38. Липанов A.M., Шелковников Е.Ю., Кизнерцев С.Р. Применение туннельной микроскопии и спектроскопии для исследования кластерных материалов // Новые высокие технологии быстрого моделирования и прото-типирования. Ижевск, 1997. - С. 179-184.

39. Эдельман B.C. Сканирующая туннельная микроскопия // ПТЭ.-1989-№5 С.25-49. .

40. Bykov V.A. et al. Peculiarities of SPM design and methods for biology application // Scanning Probe Microscopy 2002: Proceedings of International Workshop.- N. Novgorod, 2002.- P. 261.

41. Bykov V.A. Modern Tendency of SPM Technique Developments //Scanning Probe Microscopy — 2002: Proceedings of International Workshop.- N. Novgorod, 2002.- P. 78.

42. Липанов A.M., Кизнерцев С.P., Шелковников Е.Ю. Программно-аппаратурное и технологическое обеспечение сканирующего туннельного микроскопа // Современные проблемы внутренней баллистики РДТТ.-Ижевск, 1996.- С.276-285.

43. Касаткин Э.В., Небурчилова Е.Б. Сканирующая туннельная микроскопия поверхности платины при контролируемом потенциале и аппаратура для таких измерений //Электрохимия-1996.-Т. 32.-№8.-С. 917-927.

44. Uosaki R., KitaH. // J. Vac. Sei. and Technol. A.-1990.-V8.-N1.-P.520.

45. Italya K., Sugawara S., Sachikata K, Furuya N. // J. Vac. Sei. and Technol. A.-1990.-V8.-N1.-P.515.

46. Данилов А.И. Сканирующая туннельная и атомно-силовая микроскопия в электрохимии поверхности //Успехи химии,1995.-Т.64,-№8.-С. 818-833.50.