Разработка и исследование оптических магнитоуправляемых микромеханических устройств тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, кандидат технических наук Корнеев, Владимир Станиславович

• Корнеев, Владимир Станиславович
• кандидат технических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат технических наук Корнеев, Владимир Станиславович

Введение.

1. Методы управления оптическими лучами.

1.1. Классификация методов управления оптическими лучами в пространстве.

1.2. Параметры дефлекторов.

1.3. Основные типы дефлекторов и их параметры.

1.3.1. Электрооптические дефлекторы.

1.3.2. Дискретные поляризационные дефлекторы.

1.3.3. Жидкокристаллические дефлекторы.

1.3.4. Ультразвуковые дефлекторы.

1.3.5. Оптико-механические дефлекторы.

1.3.6. Магнитоэлектрические (гальванометрические) дефлекторы.

1.3.7. Пьезоэлектрические дефлекторы.

1.3.8. Таблица основных параметров дефлекторов разных типов.

2. Микросистемные устройства и технологии.

2.1. Технология МЭМС (MEMS technology).

2.1.1. Фотолитография.

2.1.2. Формирование структур микромеханических устройств.

2.1.3. Легирование.

2.2. Объемная микромеханика.

2.3. Поверхностная микромеханика.

2.4. Другие технологии.

3. Разработка математических моделей и методов расчета оптических микромеханических устройств с магнитным управлением.

3.1. Сравнительный анализ магнитного и электростатического крутящих моментов.

3.2. Анализ вертикального прогиба балки (микрополоски) с закрепленными концами.

3.3. Подвижный элемент с электромагнитным управлением.

3.4. Подвижный элемент с магнитоэлектрическим управлением.

3.5. Анализ крутильных колебаний подвижных элементов.

3.6. Анализ формирования сканирующего оптического пучка и управление его пространственным положением.

3.7. Анализ влияния искривления формы поверхности на расходимость светового пучка.

4. Разработка микромеханических магнитоуправляемых устройств.

4.1. Микромеханический сканер.

4.2. Коммутатор оптических каналов.

4.3. Сканирование спектра отраженного излучения.

5. Экспериментальные исследования.

5.1. Разработка технологических процессов производства микромеханических сканеров с составным зеркалом.

5.1.1. Разработка технологии производства микромеханических структур сканера.

5.1.2. Вариант с токовыми петлями.

5.1.3. Вариант с микромагнитами:.

5.2. Технология получения магнитных элементов на кремнивых микрополосках.

5.3. Экспериментальный стенд.

5.4. Исследования параметров сканеров в «старт-стопном» режиме.

5.5. Исследования параметров сканеров в динамическом режиме.

5.6. Методика определения угла наклона отражающих элементов.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование оптических магнитоуправляемых микромеханических устройств»

В современных системах воздушной разведки, наземного лазерного сканирования и других, требуется большая скорость перемещения луча, высокая разрешающая способность и большие углы сканирования, поэтому при конструировании этих систем особое внимание уделяется устройствам управления лазерным лучом: дефлекторам, сканерам и т.д. Из всех известных типов дефлекторов наиболее разработаны так называемые оптико-механические дефлекторы, они могут работать в любом диапазоне электромагнитных волн, обеспечивают большие углы отклонения и высокую разрешающую способность. Однако эти устройства обладают существенными недостатками, главными из которых являются: сложность получения больших скоростей сканирования луча, малая надежность и нестабильность в работе, трудность воздействия в процессе развертки на частоту и амплитуду угла сканирования. Все перечисленные недостатки заставляют инженеров и конструкторов искать новые технологии производства приборов и устройств.

Известно, что классические промышленные технологии, используемые при изготовлении традиционных электромеханических устройств по мере снижения линейных размеров деталей механических систем, характеризуются резким увеличением себестоимости производства и контролем точности их изготовления. В то же время, достигнутая в настоящее время совместимость технологий микроэлектроники и микропрофилирования кремния позволяет создавать микроприборы и интегрированные с микромеханическими структурами системы управления, применение которых наиболее перспективно в электронно-вычислительных устройствах, оптоэлектронике, а также в сенсорных микроэлектронных системах сбора и обработки информации о состоянии природной среды и промышленных объектов.

Современные микромеханические устройства получили название МЭМС (MEMS - micro-electro-mechanical systems), они обладают рядом существенных преимуществ по сравнению с аналогичными приборами, выпускаемыми по традиционным технологиям. Среди этих преимуществ необходимо отметить повышенное быстродействие, высокую стабильность параметров, низкое энергопотребление и существенное снижение себестоимости при промышленном производстве партии однотипных устройств.

Одной из перспективных областей применения МЭМС современные эксперты считают рынок телекоммуникаций. Появление микро- опто- электромеханических систем (МОЭМС) дает возможность построения полностью оптических телекоммуникационных сетей, без необходимости прямого и обратного преобразования оптического сигнала в электрический.

На сегодняшний день большинство серийно выпускаемых МОЭМС базируются на электростатическом управлении положением микрозеркал, и могут обеспечить только два положения оптического луча. Использование электромагнитного и магнитоэлектрических методов управления дает возможность увеличить число фиксированных угловых положений оптических лучей, кроме того, сравнительный анализ крутящих моментов, проведенный в данной работе для микроустройств, доказывает многократное превышение интенсивности магнитных силовых воздействий над электростатическими. В связи с этим, исследование новых принципов построения оптических систем и инструментов, включая теоретические основы функционирования МОЭМС, а также совершенствование конструкций и технологии производства магнитоуправляемых микромеханических устройств является актуальной задачей.

Цель работы и задачи исследований

Целью диссертации является разработка и исследование оптических магнитоуправляемых микромеханических устройств. Для достижения поставленной цели решаются следующие задачи:

1. Разработка математических моделей и конструкторско-технологических основ создания микромеханических устройств, использующих для управления положением подвижных элементов энергию магнитного поля.

2. Создание методик и расчет параметров разрабатываемых оптических микромеханических устройств.

3. Разработка теории управления отраженным оптическим излучением с помощью системы подвижных микрозеркал, раположенных периодически.

4. Разработка измерительного стенда и исследование электромеханических и оптических параметров экспериментальных образцов микромеханических дефлекторов и сканеров.

Инфорлшционная база исследования

По теме диссертации проведен поиск литературных источников, в которых систематизированы методы управления оптическими лучами [1 - 4]. Большое внимание при составлении обзора литературы уделено микросистемной технологии и МЭМС устройствам [5-37].

Первые публикации, посвященные микромеханике, относятся к началу 80-х годов прошлого столетия, среди них особое место занимает работа К. Е. Пе-терсона [5]. В нашей стране значительный вклад в развитие пленочной электромеханики в 80-90-е годы прошлого века сделан сотрудниками ИМ СО РАН под руководством Дятлова В. JI [6].

В настоящее время в ИА и ЭМ СО РАН под руководством Косцова Э.Г. [7] получены МЭМ преобразователи энергии на нанометровых зазорах, в НГТУ под руководством Драгу нова В.П. [8] разработаны МЭМ преобразователи энергии механических колебаний в электрическую энергию.

Под руководством академика Кулипанова Г. Н. в ИЯФ им Будкера A.M. совместно с другими институтами СО РАН проводятся исследования по созданию «микролабораторий на чипе».

В ходе НИР, проведенных в СГГА 1999-2003 годах, авторами [9] были разработаны основные принципы функционирования микромеханических устройств, основанных на магнитоэлектрическом управлении матрицами подвижных тонкопленочных микрозеркал, результаты этих исследований нашли дальнейшее продолжение и развитие в рамках данной диссертационной работы.

Научная новизна темы исследования

Научная новизна диссертации заключается в разработке теоретических и конструкторско-технологических основ создания микромеханических устройств, использующих подвижные микрозеркальные системы.

При этом:

1) разработаны математические модели микромеханических устройств, основанные на взаимодействии внешнего магнитного поля с собственным или индуцированным магнитным моментом подвижных элементов;

2) предложены технические решения и разработана методика расчета параметров микромеханических магнитоуправляемых устройств;

3) проведен анализ упругих деформаций, возникающих при крутильных колебаниях подвижных элементов, рассмотрено влияние искажения формы отражающей поверхности на расходимость светового пучка;

4) сформулированы положения теории формирования оптического пучка в сканере с составным зеркалом, имеющим периодическую структуру;

5) предложена методика измерения углов наклона отражательных элементов, основанная на анализе функции распределения интенсивности отраженного от составного зеркала дифрагированного излучения.

Практическая значимость диссертационной работы

1. Разработанные микромеханические сканеры по своим параметрам (быстродействие, потребляемая мощность, массогабаритные характеристики) превосходят оптико-механические и пьезоэлектрические устройства аналогичного назначения и могут существенно улучшить параметры разрабатываемой на их основе аппаратуры.

2. Разработанное устройство управляемого углового дискретного позиционирования оптического луча (патент № 2383908), может использоваться при лазерной локации объектов и обеспечит дискретное угловое управление сканируемым лучом.

3. Созданные методики расчетов оптических параметров позволяют разрабатывать микромеханические сканирующие устройства для различных диапазонов спектра электромагнитных волн и оптимизировать их конструкции для различных применений.

Личный вклад автора

Представленные в диссертационной работе материалы получены автором самостоятельно или в соавторстве. При этом автор лично разработал базовые положения математических моделей микромеханических магнитоуправляемых устройств, методику расчета параметров оптических микромеханических устройств, основы теории управления отраженным оптическим излучением; разработал экспериментально-измерительный стенд, провел исследования экспериментальных образцов микромеханических дефлекторов и сканеров, обработал и обобщил полученные результаты.

Реализация результатов работы

Результаты диссертационной работы были использованы при выполнении НИР по теме «Исследование возбуждения и распространения медленных акустических волн в тонкопленочных свободных структурах и разработка функциональных элементов оптики и оптоэлектроники на их основе» проводимых в ГОУ ВПО «Сибирская государственная геодезическая академия» в 2009-10 гг., а также в курсе лабораторных работ кафедры физики ГОУ ВПО СГГА.

Апробация работы

Результаты диссертационной работы докладывались на следующих научных конференциях и конгрессах:

1. 1-У1 Международный научный конгресс «Гео - Сибирь» 2005-10 г.г., СГГА, Новосибирск;

2. Международный оптический конгресс «Оптика XXI- век», 10-12 октября 2006 г., Оптическое общество им. Д.С. Рождественского, Санкт-Петербург;

3. Международная школа-семинар по фундаментальным проблемам на-но- и микросистемной техники «MNST-2008», 10-12 декабря 2008 г., НГТУ, Новосибирск;

4. IX Международный симпозиум по измерительной технике и научному оборудованию «9-th Int. Symposium On Measurement Technique and Intelligent Instruments», 29 июня - 2 июля 2009 г., Оптическое общество им. Д.С. Рождественского, Санкт-Петербург;

5. XII Международная конференция «Актуальные проблемы электронного приборостроения - АПЭП-2010», 22-24 сентября 2010 г., НГТУ, Новосибирск.

Публикации

По материалам диссертации опубликовано 14 работ, из которых 3 входят в перечень рекомендованных ВАК Минобрнауки РФ, получен патент РФ. Соискателем лично опубликовано 8 работ.

Заключение диссертации по теме «Оптика», Корнеев, Владимир Станиславович

Основные результаты диссертационной работы:

1. Разработаны и исследованы математические модели микромеханических устройств с электромагнитным и магнитоэлектрическим управлением подвижными элементами, выявлено оптимальное направление внешнего магнитного поля по отношению к продольной оси микрополосок, полученные аналитические выражения позволили рассчитать параметры управления угловым положением подвижных элементов в форме микрополосок.

2. В рамках модели упругих деформаций, возникающих при крутильных колебаниях полосковых микрозеркал, показано, что при расчете результирующей амплитуды вынужденных колебаний необходим учет основной и одной из неосновных форм собственных крутильных колебаний, предложены способы компенсации линейных искажений средней части микрозеркал.

3. Сформулированы основы теории управления отраженным оптическим излучением с помощью периодической системы подвижных микрозеркал, показано, что периодичность структуры составного зеркала приводит к фиксированным угловым положениям сканируемого монохроматического пучка.

4. Разработано устройство управляемого углового дискретного позиционирования оптического луча (патент РФ № 2383908), которое может использоваться при лазерной локации объектов, и обеспечит дискретное угловое управление сканируемым лучом.

5. Разработан и предложен вариант конструкции чипа микромеханического сканера с электромагнитным управлением, проведен расчет параметров управления и потребляемой им мощности, представлен вариант использования микромеханического сканера в качестве коммутатора оптических каналов со временем переключения 8 мкс, и числом каналов 50.

6. Показано, что разработанные микромеханические сканеры по основным параметрам превосходят оптико-механические и пьезоэлектрические устройства аналогичного назначения.

7. Разработан экспериментальный стенд для исследования оптических и электромеханических параметров микромеханических магнитоуправляемых устройств, подготовлены опытные образцы микромеханических сканеров и экспериментально исследованы их оптические и электромеханические параметры.

8. Предложена методика определения угла наклона отражательных элементов в динамическом режиме, основанная на графическом анализе функции распределения интенсивности отраженного дифрагированного излучения, методика использована при обработке экспериментальных данных, показано, что наименьшая экспериментальная величина угла наклона составляет 0,5 мрад.

Список работ опубликованных по теме диссертации:

1 Корнеев, B.C. Определение остаточной намагниченности микромагнита микромеханического-дефлектора // Сб. науч. трудов аспирантов и молодых ученых СГГА. - Новосибирск: СГТА, 2005. - Вып. 2. - С.95-99.

2 Корнеев, B.C. Коэффициент пропускания микромеханического модулятора //

Сб. материалов Междунар. науч. конгр. «ГЕО-Сибирь-2006». - Т.4. - Новосибирск: СГГА, 2006. - С. 109-113.

3 Чесноков, Д.В. Микромеханический дефлектор - модулятор и его оптические характеристики / Д. В. Чесноков, B.C. Корнеев // Сб. трудов Междунар. оптич. конгр. «Оптика XXI век». — С.Пб: Оптическое общество им Д.С. Рождественского, 2006. - С.208-213.

4 Корнеев, B.C. Оптические характеристики микромеханических модуляторов и дефлекторов // Сб. материалов Междунар. науч. конгр. «ГЕО-Сибирь-2007». - Т.4, Новосибирск: СГГА, 2007. - С.214-220.

5 Корнеев, B.C. Исследование рабочих параметров микромеханических дефлекторов с электромагнитным управлением // Сб. материалов Междунар. науч. конгр. «ГЕО-Сибирь-2008». — Т.4, ч.2, Новосибирск: СГТА, 2008-С.61-65.

6 Корнеев, B.C. Исследование рабочих параметров микромеханических устройств с электромагнитным управлением // Электроника Сибири. - №3, Новосибирск: НГТУ, 2008. - С.59-61.

7 Чесноков, Д.В. Возникновение самоупорядоченного рельефа в тонкопленочных структурах / Д.В. Чесноков, Д.М. Никулин, В.В. Чесноков, А.Е. Чесноков, B.C. Корнеев, С.Л. Шергин // Письма в ЖТФ. - 2009. - Т. 35, вып. 14. -С.54-58.

8 V. S. Korneyev^V. V. Chesnokov, D. V. Chesnokov. Micro- opto- mechanical scanner for terahertz spectrum diapason // "9-th Int. Symposium on Measurement Technique and Intelligent Instrument" Proc, of ISMTII - 2009, V.2. - S-p-b. D.S. Rozhdestvensky Opt. Soc., 2009. P.2 361 - 2 365.

79

9Корнеев, B.C. Особенности спектральных характеристик микромеханической управляемой дифракционной решетки /B.C. Корнеев, В.В. Чесноков, Д.В. Чесноков // Сб. материалов Междунар. науч. конгр. «ГЕО-Сибирь-2009». - Т.4, ч.2. - Новосибирск: СГГА, 2009. - С.24-28.

10 Vladimir S. Korneyev Study of the parameters of micromechanical devices with electromagnetic control // Inter, school and seminar Modern problems of Nan electronics, Micro- and Nan systems Technologies. Novosibirsk: NSTU, 2009. -P.113-115.

11 V. S. Korneyev, V. V. Chesnokov, D. V. Chesnokov. Micromechanical optical scanner for terahertz spectrum diapason // Key Engineering Materials. 2010. V.473. - P.291-295.

12 Корнеев, B.C. Микромеханическая управляемая дифракционная решетка с изменяемым углом блеска // Оптический журнал. — 2010. - Т. 77, № 5. — С.69-71.

13 Пат. № 2 383 908 Российская Федерация МПК G02B 26/10 (2006.01) Устройство управляемого углового дискретного позиционирования оптического луча // В.В. Чесноков, Д.В. Чесноков, B.C. Корнеев; заявитель и патентообладатель: Сиб. гос. геодез. академ. (ГОУ ВПО СГГА); заявл. 16.06.08; опубл. 10.03.10; Бюл.№7.

14 Чесноков, В.В. Искажение формы колеблющихся микрозеркал микромеханических сканеров /В.В. Чесноков, B.C. Корнеев, Д.В. Чесноков // Материалы Междунар. конф. «АПЭП-2010». - Новосибирск: НГТУ, 2010. - Т.2. - С.70-74.

Список цитируемых источников:

1 Ребрин, Ю.К. Управление оптическим лучом в пространстве. — М.: Сов. Радио; 1977. - 335с. '

2 Электрооптические дефлекторы света. / Б.Н: Гриб, И. И. Кон дилен ко, П. А.

Коротков, Ю.П. Цященко. - Киев: Техника, 1980. — 208с.

3 Слободян, М.С. Оптический дефлектор корректора волнового фронта. / М.С.

Слободян, С.М. Слободян, А.А. Цупин // Оптический журнал. - 2008. -Т.75, №5. С.22-27.

4 Тевяшов, В.И. Оптические дефлекторы для: современных тепловизионных приборов. / В.И. Тевяшов, С.Н. Шушарин // Оптический журнал. - 2007. — Т.74, №1 - С.12-16.

5 Petersen К.Е. Silicon Torsional Scanning Mirror. // IBM Y. Res. Develop. - 1980. V.24, №5. - P.631-637.

6 Пленочная Электромеханика. / В-Л. Дятлов, В.В. Коняшкин, Б.С. Потапов;

С. И; Фадеев- Новосибирск: Наука, 1991. - 248с.

7 Косцов, Э.Г. Состояние и перспективы микро- и наноэлектромеханики. //

Автометрия. - 2009. Т.45, №3 - С.3-52.

8 Драгунов, В.П. МЭМ электростатический5 преобразователь энергии. / В.П.

Драгунов, Э.Г. Косцов // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - №1 Т. -С.47-53.

9 Исследование физических проблем нано- и микроразмерных функциональных механических устройств информационных оптоэлектронных систем: отчет о НИР / Сиб. Гос. Геодез. Акад. / рук. В.В. Чесноков; исполн. Д.В Чесноков. - Новосибирск- 2003. - 89 с. -№ Г. Р. 0199.0010326.

10 Лучинин, В.В. О термине «Микросистемная техника» на русском и английском языках. / В!В. Лучинин, П.П. Мальцев;// Нано- и микросистемная техника. 2006. - №2. - С.39-41.

11 Cohn R.W., Sampsell Y.B. Deformable mirror devices uses in frequency excision and optical; switching. //Appl. Opt. - 1985. - V.27, № 5. - P.937-940. 81 "

12 Ayazi F., Najafi K. Design and fabrication of a high-performance polysilicon vibrating ring gyroscope. // Micro Electro Mechanical Systems Workshop. - 1998. - P.621-626.

13 Elwenspoek M., Wiegerink R. Mechanical microsensors. // Springer Verlag, Heidelberg. - 2001. - P.301.

14 G. Kovacs G., Maluf N., Petersen K. Bulk micromachining of silicon. // Proc. IEEE, - 1998. - V.86. - P.1536-1551.

15 Tjerkstra Drs. R.W. (1999, September 23), Isotropic etching of silicon in fluoride containing solutions as a tool for micromachining. // Ph.D. thesis, University of Twente, ISBN 90-36513286.

16 Oosterbroek Ir. R.E. (1999, November 12), Modeling, design and realization of micro fluidic components. // Ph.D. thesis University of Twente, ISBN 9036513464.

17 Howe R., Muller R. Polycrystalline silicon micromechanical beams. // J. Electro-chem. Soc., - 1983. - V.130. - P.1420-1423.

18 Howe R., Muller R. Resonant micro bridge vapour sensor. // IEEE Trans. Elect. Dev. - 1986. - V.33.-P.499.

19 Bustillo J., Howe R., Muller R. Surface micromaching for micro-electromechanical systems. // Proc. IEEE, - 1998. - V.86. - P.1552-1574.

20 Elwenspoek M., Jansen H.V. Silicon Micromachining. // Cambridge University Press, Cambridge, New York, 1999.

21 Legtenberg R. Electrostatic actuators fabricated by surface micromachining techniques. Ph.D. Dissertation, University of Twente, - 1996, ISBN 90-3650796-0.

22 Tas N., Wissink J., Sander L., Lammerink T., Elwenspoek M. Modeling, Design and Testing of the Electrostatic Shuffle Motor. // Sensor and Actuator. A - V.70. -1998. —P. 171-178.

23 Stengl R., Tan T., Gosele U. A model for the silicon wafer bonding process. // Jpn. J. Appl. Phys. - 1989. - V.2. - P.1735.

24 Gui C. (1998, November 13). Direct wafer bonding with chemical mechanical polishing. Ph.D. Dissertation, University of Twente, ISBN 90-36512328.

82

25 Berenschot J., Gardeniers J., Lammerink Т., Elwenspoek M. New applications of r. f.-sputtered glass films as protection and bonding layers in silicon micromachin-ing. // Sensors and Actuator. - 1994. - A 41 - 42 - P.338.

26 Liu A.Q. Micro-opto-mechanical grating switches. // Sensor and Actuators. -2000. - №86 - P.127-134.

27 Piyawattanametha W., Fan L., Lee S. S., John G. D., Wu M. C. MEMS Technology for optical crosslink for micro/nano satellites. // Department of Electrical Engineering, University of California, Los Angles, USA, December 1999.

28 Toshiyoshi H. Electrostatic driving technique for high-precision 2-D scanning mirror. // Eng of University of California Los Angeles, USA, April 2000.

29 Dufour I., Sarraute E. Analytical modeling of beam behavior under different actuation: profile and stress expressions. // Journal of Modeling and Simulation of Microsystems. - 1999. - V.l, № 1 - P.57-64.

30 Francais O., Dufour I. Normalized abacus of for the global behavior of diaphragms: pneumatic, electrostatic, piezoelectric or electromagnetic actuation. // Journal of Modeling and Simulation of Microsystems. - 1999. V.l, № 2 - P. 149160.

31 Драгунов, В.П. Влияние формы упругого элемента на характеристики микро- электромеханических систем. // Микросистемная техника. - 2004. - №1. -С.20-26.

32 Драгунов, В.П. Нелинейная модель упругого элемента микроэлектромеханических систем. // Микросистемная техника. - 2004. - №6. - С. 19-24.

33 Драгунов, В.П. Нелинейная динамическая модель упругого элемента микромеханических систем. // Микросистемная техника. - 2004. - №10. - С.25-29.

34 Yang Н.Н., Judi J.W. Ferromagnetic micromechanical magnetometer. // Sensors and Actuators. - 2002. - A 97-98 - P.88-97.

35 Yong Y., Liu C. High-yield assembly of hinged 3-D optical MEMS devices using magnetic actuation. // in Proc. 1997 Int. Conf. On Solid-state Sensor and Actuators, Chicago, IL, V.l - P.241-44.

36 Чесноков, B.B. Микромеханические модуляторы света. // Изв. вузов. Сер.

Приборостроение. - 1990. - №6. - С.82-85.

37 Чесноков, Д.В. Микромеханический дефлектор световых потоков. // Оптический журнал. - 2007. - Т.74, .№ 4. - С.51-54.

38 Справочник по сопротивлению материалов. / Отв. ред. Г.С. Писаренко. - Киев: Наукова думка, 1988. - 320с.

39 Скучик, Е. Простые и сложные колебательные системы. / Пер. с англ. М.: Мир, 1971. - С.24-28.

40 Калитеевский, Н.И. Волновая оптика. — М.: Наука, 1971. - 376с.

41 Нагибина, И.М. Интерференция и дифракция света. - JL: Машиностроение, 1974.-360с.

42 Прикладная физическая оптика. / И.М. Нагибина, В.А. Москалев, H.A. По-лушкина, B.JI. Рудин - М.: Высшая школа, - 2002. - 565с.

43 Пейсахсон, И.В. Оптика спектральных приборов. - 2-е изд., доп. и перераб.-JL: Машиностроение, 1975. — 312с.

44 Скоков, И.В. Оптические спектральные приборы. — М.: Машиностроение, 1984.-240с.

45 Лебедева, В.В. Техника оптической спектроскопии. — М.: изд. МГУ, 1977. -384с.

46 Москалев, В.А. Теоретические основы оптико-физических измерений. - JL: Машиностроение, 1987. - 318с.

47 Февралева, Н.Е. Магнитотвердые материалы и постоянные магниты. - Киев: Наукова думка, 1969. - 210с.

48 Преображенский, A.A. Магнитные материалы и элементы. / A.A. Преображенский, Е.Г.Бишард - М.: Высшая школа, 1986. - 320с.

Заключение