Разработка и исследование амплитудных волоконно-оптических датчиков давления тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат технических наук Бялик, Александр Давидович

• Бялик, Александр Давидович
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Бялик, Александр Давидович

Список сокращений.

ВВЕДЕНИЕ.

1. СТРУКТУРНЫЕ, КОНСТРУКТИВНЫЕ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ. ОБЗОР

ЛИТЕРАТУРЫ.

1.1.Общая структура преобразования в волоконно-оптических датчиках.

1.2. Классификация, принципы построения и особенности волоконно-оптических датчиков.

1.3. Общие конструкционные проблемы волоконно-оптических датчиков давления.

1.4. Классификация оптических волокон, использующихся в волоконно-оптических датчиках.

1.5. Классификация источников и приемников излучения, использующихся в волоконно-оптических датчиках.

1.6. Чувствительные элементы для волоконно-оптических датчиков.

1.6.1. Материалы для изготовления чувствительных элементов.

1.6.2. Технологические приемы изготовления чувствительных элементов для волоконно-оптических датчиков давления.

1.7. Варианты конструкций и схемных решений волоконно-оптических датчиков.

1.8. Некоторые принципы построения электронных блоков обработки сигнала волоконно-оптических датчиков.

Выводы по главе №1. Постановка задачи.

2. ОСОБЕННОСТИ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ АМПЛИТУДНЫХ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ

ДАВЛЕНИЯ РЕФЛЕКТОМЕТРИЧЕСКОГО ТИПА.

2.1. Введение.

2.2. Элементы конструкции амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа со стандартизованными характеристиками элементов конструкции.

2.3. Элементы конструкции амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа с вариабельными свойствами и характеристиками.

2.3.1 Преобразовательные характеристики амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа в двухволоконном приближении.

2.3.2 Преобразовательные характеристики амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа в многоволоконном приближении.

2.3.3 Расчетные характеристики амплитудного волоконно-оптического датчика давления рефлектометрического типа.

Выводы по главе №2.

3.ОБОСНОВАНИЕ ВЫБОРА ТИПА ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТ А.

3.1. Введение.

3.2. Расчет преобразовательной функции упругого микрозеркала при помощи вариационного метода.

3.3. Моделирование прогибов упругого микрозеркала методом конечных элементов.

3.4. Экспериментальное исследование частной преобразовательной функции

Выводы по главе №3.

4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК АМПЛИТУДНЫХ ВОЛОКОННО - ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ.

4.1. Введение.

4.2. Структура разработанного волоконно-оптического датчика давления.

4.3.Преобразовательные характеристики волоконно-оптических датчиков. 103 4.3.1. Частная преобразовательная характеристика Р2 для плоских полированных отражающих поверхностей.

4.3.2. Преобразовательные характеристики для отражающих поверхностей с чередующимися участками с различными коэффициентами отражения.

4.3.3. Преобразовательные характеристики для отражающих поверхностей с микрорельефом.

4.4. Общие преобразовательные характеристики волоконно-оптических датчиков статического давления.

4.5. Температурные зависимости общей преобразовательной характеристики волоконно-оптических датчиков.

Выводы по главе №4.

5. КОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОПРОСЫ СОЗДАНИЯ

ВОЛОКОННО - ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ.

5.1.Введение.

5.2 Волоконно-оптический преобразователь.

5.2.1 Общая структура и назначение отдельных частей волоконно-оптического преобразователя.

5.2.2. Технологический маршрут изготовления упругого микрозеркала и основания для упругого микрозеркала.

5.2.3. Сборка и юстировка волоконно-оптического преобразователя.

5.3. Волоконно-оптический кабель.

5.4. Блок электронной обработки.

5.5. Преобразовательные характеристики разработанного волоконно-оптического датчика давления.

5.6. Применение амплитудных волоконно-оптических датчиков в экспериментальных установках, использующих электрогидравлический эффект.

5.7. Методика проектирования амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа.

Выводы по главе №5.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование амплитудных волоконно-оптических датчиков давления»

Использование волоконно-оптических датчиков (ВОД) является перспективным в тех отраслях науки и техники, где необходима высокая чувствительность измерительных систем к измеряемым параметрам в сочетании с требованиями пожаро-, взрыво- и электробезопасности, нечувствительности к внешним электромагнитным полям и агрессивным средам.

Вместе с тем, такие датчики имеют относительно высокую стоимость и большие габариты, а также специфические источники погрешностей, из-за чего ВОД целесообразно применять в тех случаях, когда не могут использоваться более традиционные тензорезистивные и ёмкостные датчики.

Развитие волоконно-оптических датчиков получило новый импульс с применением технологии микроэлектроники и микросистемной техники. Открылись хорошие возможности на пути миниатюризации ВОД и уменьшении их стоимости при сохранении высокой чувствительности к механическому воздействию.

Общие проблемы построения волоконно-оптических датчиков давления рассматриваются в данной диссертации.

Объект исследования: амплитудные волоконно-оптические датчики давления рефлектометрического типа, преобразовательные характеристики и общие принципы проектирования таких датчиков.

Основные задачи исследования: комплексное рассмотрение вопросов проектирования, в частности, теоретический расчет преобразовательной характеристики, и изготовления амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа на основе технологии микроэлектроники и исследование их экспериментальных характеристик.

Для достижения поставленной цели в диссертационной работе были:

1) Исследованы особенности преобразовательных характеристик датчиков;

2) Рассмотрены общие вопросы проектирования таких датчиков;

3) Исследованы особенности применения микроэлектронной технологии для создания чувствительных элементов датчиков.

4) Методами математического моделирования проведен расчет преобразовательных характеристик чувствительных элементов датчиков и сравнение результатов расчетов с экспериментальными данными;

5) Созданы экспериментальные образцы амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа с применением микроэлектронной технологии;

6) Исследовано действие изменений температуры на преобразовательные характеристики датчиков.

Научная новизна работы:

- В диссертационной работе предложено двухволоконное приближение для анализа частной преобразовательной характеристики оптической модуляции Б? и исследовано влияние на нее различных конструктивных параметров;

- Показана целесообразность обобщения двухволоконной модели на кластер волокон оптического кабеля. Установлена возможность повышения чувствительности волоконно-оптических датчиков при слоистом расположении излучающих и приемных волокон;

Показана возможность управления частной преобразовательной характеристикой ¥2;

- Предложено выражение для функции механического преобразования Р| микрозеркала в нелинейном приближении по прогибам, исследовано влияние конструктивных параметров на ее чувствительность и нелинейность;

Экспериментально и методом конечных элементов исследованы особенности функции механического преобразования Б] для микрозеркала с различной геометрией;

Практическая ценность работы:

- Предложен алгоритм расчета полной преобразовательной характеристики амплитудных волоконно-оптических датчиков рефлектометрического типа;

- Даны рекомендации по выбору режима работы волоконно-оптического преобразователя датчика;

Разработан технологический маршрут изготовления амплитудных волоконно-оптических датчиков с использованием методов микроэлектронной технологии;

Предложены и реализованы методы компенсации температурной нестабильности блока электронной обработки и временной нестабильности источника оптического излучения амплитудных волоконно-оптических датчиков давления;

- Разработаны практические варианты конструкции амплитудных волоконно-оптических датчиков давления на диапазон 100-1500 Па и 0 - 2,5 МПа.

Личный вклад автора:

Личный вклад автора в диссертационную работу определяется общей формулировкой и обоснованием целей и задач исследований, выбором методов их решения. Автор принимал непосредственное участие в проведении экспериментальных работ, разработке технологических маршрутов и операций. Автору принадлежит также анализ и интерпретация полученных результатов.

Лично автором предложена методика определения полной преобразовательной характеристики амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа;

Автором предложена модель для анализа частной преобразовательной характеристики оптической модуляции как важной составной части общей функции преобразования. В процессе анализа показана возможность управления частной преобразовательной характеристики оптической модуляции и предложены рекомендации по выбору режима работы волоконно-оптического преобразователя датчика;

Автором совместно с доцентом кафедры ГШ и МЭ НГТУ Кругловым В.В. разработан технологический маршрут изготовления амплитудных волоконно-оптических датчиков с использованием методов микроэлектронной технологии, предложены и реализованы методы компенсации температурной нестабильности блока электронной обработки и временной нестабильности источника оптического излучения амплитудных волоконно-оптических датчиков давления, разработан практический вариант конструкций амплитудных волоконно-оптических датчиков давления на диапазон 100-1500 Па и 0-2,5 МПа.

Автором лично в эксперименте и совместно с ассистентом кафедры ПП и МЭ НГТУ Шапориным A.B. при помощи методов конечных элементов исследованы зависимости прогибов от давления упругих микрозеркал с жестким центром как чувствительных элементов исследуемых датчиков для различных геометрических размеров микрозеркал.

Достоверность результатов и выводов диссертационной работы подтверждена экспериментальной частью исследования, патентом РФ, полученным по результатам исследований, разработанными и изготовленными лабораторными образцами датчиков.

Реализация результатов работы:

- Созданы лабораторные образцы амплитудных волоконно-оптических датчиков давлений рефлектометрического типа;

- Разработанный амплитудный волоконно-оптический датчик давления рефлектометрического типа применен в СибНИИЭ, г. Новосибирск в качестве измерителя перепадов давления трансформаторного масла в силовых трансформаторах, а также в научной лаборатории кафедры «Электроэнергетические системы и электротехника» ФГОУ ВПО «НГАВТ» в качестве измерителя давления жидкости в установке, использующей электрогидравлический эффект.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались и обсуждались: на научно-технической конференции «Информатика и проблемы телекоммуникаций», Новосибирск, 1998 год., 1999 год., Международной научно-технической конференции «Актуальные проблемы электронного приборостроения, АПЭП-98», АПЭП-2000, АПЭП-2008 Международной научно-технической конференции «KORUS-2000», Новосибирск, 2000 год., Международной научно-технической конференции IEEE «М1А-МЕ», Новосибирск, 1999 год., Международной научно-технической конференции «Electron devices and materials, EDM-2002».

Публикации. Основные результаты диссертации отражены в 21 печатной работе, из них: 3 работы в изданиях, вошедших в перечень рекомендованных ВАК РФ, 2 работы в сборниках научных трудов НГТУ, 1 патент на изобретение РФ, 1 свидетельство на полезную модель РФ, 7 работ в сборниках трудов международных научно-технических конференций.

Автор защищает следующие основные положения:

- Предложенный в работе подход к расчету полной преобразовательной характеристики амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа;

- Результаты исследования влияния конструктивно-технологических факторов на характеристики датчиков;

- Технологическую реализацию кремниевого микрозеркала и схемотехническую реализацию волоконно-оптических датчиков.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, 5 глав, заключения и приложения. Работа изложена на 167 страницах основного текста и иллюстрируется 54 рисунками и 3 таблицами. Список цитируемой литературы содержит 133 наименования.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Бялик, Александр Давидович

Выводы по главе №5.

В результате проведенных экспериментов можно сделать следующие выводы:

1) конструктивно реализована концепция построения амплитудных ВОД давления рефлектометрического типа на примере датчиков, рассчитанных на диапазон давления 100-1500 Па и 0-2,5 МПа;

2) разработана конструкция волоконно-оптического преобразователя для амплитудного датчика давления рефлектометрического типа, предложен технологический маршрут изготовления кремниевых чувствительных элементов и кремниевых оснований для чувствительных элементов таких датчиков на основе технологии микроэлектроники, последовательность операций сборки ВОП в единую конструкцию;

3) в результате исследований показано, что для улучшения характеристик ВОД необходимо использовать схему сравнения с опорным сигналом и термостабилизацию источников и приемников излучения и электронного преобразователя сигнала;

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В результате проведенной работы показано, что:

1) амплитудные волоконно-оптические датчики давления рефлектометрического типа следует рассматривать как отдельный класс датчиков со специфическими особенностями проектирования, конструкции и технологией изготовления;

2) предложена математическая модель преобразовательной характеристики амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа;

3) экспериментально и при помощи методов математического моделирования исследованы механические свойства чувствительных элементов волоконно-оптических датчиков и их влияние на преобразовательные характеристики ВОД. Показано, что в пределах 5-7% данные экспериментов согласуются с результатами математического моделирования;

4) экспериментально подтверждена правильность предложенной теоретической модели преобразовательных характеристик ВОД;

5) даны предложения по выбору оптимального режима работы волоконно-оптических преобразователей амплитудных датчиков давления рефлектометрического типа;

6) предложен технологический маршрут изготовления волоконно-оптических преобразователей амплитудных датчиков давления рефлектометрического типа методами микроэлектронной технологии;

7) рассмотрена концепция конструктивной реализации ВОД. Показано, что для обеспечения характеристик ВОД необходимо использовать схему сравнения сигнала с рабочего фотоприемника с сигналом с опорного фотоприемника и термостабилизацию блока электронной обработки датчиков, что уменьшает начальный разбаланс выходного сигнала датчика до ± 25 мкВ;

8) изготовлены экспериментальные образцы амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа, рассчитанных на диапазон давления 100-1500 Па и 0-2,5 МПа, и исследованы их основные экспериментальные характеристики;

9) на примере внедрений показана возможность работы ВОД в пожароопасных средах, в условиях наличия сильных электромагнитных полей, а также резких перепадов давления.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Бялик, Александр Давидович, 2009 год

1. Бусурин, В.И. Волоконно - оптические датчики: физические основы расчета и применения / В.И. Бусурин, Ю.Р. Носов. - М,: Энергоатомиздат, 1990.-256 с.

2. Окоси, Т. Волоконно-оптические датчики /Т. Окоси, К. Окамото, М. Оцу и др. Л.: «Энергоатомиздат», 1990. - 256 с.

3. Зак, Е.А. Бесконтактные фотоэлектрические стекловолоконные вибропреобразователи / Е.А. Зак, Г.А. Злодеев, В.Д. Малинский // Измерительная техника — 1976 — №5 с. 43—45.

4. Зак, Е.А. Волоконно-оптические преобразователи с внешней модуляцией / Е.А. Зак М,: Энергоатомиздат, 1989. - 128 с.

5. Vaganov, V.l. Construction problems in sensors / V.l. Vaganov // Sensors and actuators, A 1991-№28 - p. 161-172.

6. Зак, Е.А. Особенности проектирования рефлектометрических ВОД перемещений / Е.А. Зак, А.Л. Тув // Измерительная техника 1997 - №1 -с. 28-30.

7. Таланчук, П.М. Сенсо ры в контрольно-измерительной технике / П.М. Таланчук, С.П. Голубков Киев: Тэхника, 1991 - 146 с.

8. Виглеб, Г. Датчики. Устройство и применение / Г. Виглеб М.: Мир, 1989 -208 с.

9. Жилин, В.Г. Волоконно-оптические измерительные преобразователи скорости и давления /В.Г. Жилин М.: Энергоатомиздат, 1987 - 156 е.

10. Бадеева, Е.А. Классификация амплитудных волоконно-оптических преобразователей / Е.А. Бадеева, В.А. Мещеряков, Т.И. Мурашкина // Датчики и системы. 2003. - №2. - с. 20 - 25.

11. Мурашкина, Т.И. Амплитудные волоконно-оптические датчики автономных систем управления / Т.И. Мурашкина, В.И. Волчихин. Пенза: Информационно-издательский центр ПТУ, 1999. - 173 с.

12. Мурашкина, Т.И. Волоконно-оптические датчики для внутриобъектовых волоконно-оптических сетей сбора данных / Т.И. Мурашкина, В.П. Каршаков, Ю.А. Артемов // Радиотехника. 1995. - №10. - С. 29 - 31.

13. Пивкин, А.Г. Волоконно-оптические датчики аттенюаторного типа для летательных аппаратов / А.Г Пивкин, В.А. Мещеряков, Т.И. Мурашкина и др. // Датчики и системы. 2003. - №4. - С. 11 - 14.

14. Пивкин, А.Г. Волоконно-оптические датчики аттенюаторного типа для космической техники / А.Г Пивкин, Т.И. Мурашкина Пенза: Информационно-издательский центр ПТУ, 2005. - 152 с.

15. Конюхов Н.Е. Оптоэлектронные контрольно-измерительные устройства / Н.Е. Конюхов, А.А. Плютт, П.И. Марков // М.:Энергоатомиздат», 1985 89 с.

16. Пивкин, А.Г. Теоретические основы проектирования амплитудных волоконно-оптических датчиков давления с открытым оптическим каналом / А.Г. Пивкин, Е. А. Бадеева, А.В. Гориш и др.. М. : МГУЛ, 2004 - 246 с.

17. Tohyama, О. A fiber-optic silicon pressure sensor for ulra-thin catheters / O. Tohyama, M. Kohashi, K. Yamamoto // Sensors and actuators, A 1996 -№54 - p. 622-625.

18. Young-Tae, L. High temperature pressure sensor using double SOI structures with two A1203 films / L. Young-Tae, S. Heedon, M. Ishida // Sensors and actuators», A 1994 - № 43 - p. 59-64.

19. Obieta, I High-temperature polysilicon pressure microsensor / I. Obieta, E. Castano,. F.J. Gracia // Sensors and actuators», A 1995 - №46-47 - p. 161-165.

20. Kaltsas, G Frontside bulk silicon micromachining using porous-silicon technology / G. Kaltsas, A.G. Nassiopoulou // Sensors and actuators, A 1998 -№65-p. 175-179.

21. Klaassen, E. H. Silicon fusion bonding and deep reactive ion etching: a new technology for microstructures / E. H. Klaassen, K. Petersen, J.M. Noworolski // Sensors and actuators, A -1996 №52 - p. 132 - 139.

22. Loke, Y. Fabrication and characterization of silicon micromachined threshold accelerometers / Y.loke, G.H. McKinnon, M.J. Brett // Sensors and actuators», A -1991 -№29- p.241-250.

23. Zhang, Q. A new approach to convex corner compensation for anisotropic etching of (100) Si in KOH / Q. Zhang, L. Liu, Zh. Li // Sensors and actuators, A-1996-№56- p. 251 -254.

24. Marty, J. Fiber-optic accelerometer using silicon micromachining techniques / J. Marty, A. Malki, C. Renouf // Sensors and actuators, A 1991 - №25- 27 -p. 9 - 13.

25. Li, Y.X. SIMPLE A technique of silicon micromachining using plasma etching / Y.X. Li, P.J. French, P.M. Sarro // Sensors and actuators, A -1996 -№57 - p.223-232.

26. Wen, H. Ko A fiber optic reflective displacement micrometer / H. Ko. Wen, Kow-ming Chang, Gwo-Jen Hang //Sensors and actuators, A-1995-№49- p.51 -55.

27. Dzuiban, J. A. Silicon optical pressure sensor / J. A. Dzuiban, A. Goreska-Drzazga, U. Lipowicz // Sensors and actuators, A 1992 - №32 - p.628 - 631.

28. Libo, Y. Fiber-optic diaphragm pressure sensor with automatic intensity / Y. Libo// Sensors and actuators, A 1991 - №28 - p.29 - 33.

29. Marty, J. Fiber-optic accelerometer using silicon micromachining techniques / J.Marty, A. Malki, C. Renouf // Sensors and actuators», A 1995 -№46-47 -p. 470 -473.

30. Strandman, C. A production process of silicon elements for a fibre-optic pressure sensors / C. Strandman, L. Smith, L. Tenerz // Sensors and actuators», A 1997- №63 -p.69-74.

31. Lange, V. Static and dynamic characterization of Si membranes/ V. Lange, G. Higelin // Sensors and actuators, A 1995 - №46-47 - p.47 - 50.

32. Петерсен, К.Э. «Кремний как механический материал»/ К.Э. Петерсен // ТИИЭР, май 1982- т.70- с.5-49.

33. Li, X. Maskless etching of three-dimensional silicon structure in КОН / X. Li, M. Bao, S. Shen // Sensors and actuators, A 1996 - №57 - p. 47 - 52.

34. Tu, X.-Z. Vertical-membrane optical-fiber pressure sensor/X.-Z. Tu, J.N. Zemel // Sensors and actuators, A 1993 - №39 - p. 49-54.

35. Romanov, S.I. Characterization of porous silicon layers containing a buried oxide layer»/ S.I. Romanov, A.V. Dvurechenskii // Sensors and actuators, A -1993- №39 p. 49-54.

36. Shikida, M. Differences in anisotropic etching properties of KOH and TMAN solutions / M. Shikida, K. Sato, K. Tokoro // Sensors and actuators», A 2000 -№80- p. 179-188.

37. Черняев, B.H. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров/ В.Н.Черняев М.: Радио и связь, 1987- 252 с.

38. Ning, Y.N. Fibre-optic interferometric systems using low-coherence light sources/ Y.N. Ning, K.T.V. Grattan, A.W. Palmer // Sensors and actuators», A -1993- №30- p. 181 192.

39. Butler, C. A novel non-contact sensor for surface topography measurement using a fiber optic principle/ C. Butler, G. Gregoriou // Sensors and actuators», A -1992- №31 p. 68-74.

40. Даниелян, Г. JI. Волоконно оптические датчики микроперемещений / Г. JI. Даниелян, Ю.Н. Федин // Приборы и системы управления. - 1998 -№8 - с. 23 - 26.

41. Gambling, W.A. Optical fiber for sensors/ W.A. Gambling // Sensors and actuators, A- 1991- №25-27- p. 191 196.

42. Peters, D. Integrated optics based on silicon oxinitride thin films deposited on silicon substrates for sensor applications/ D. Peters, K. Fischer, J. Muller // Sensors and actuators, A 1991 -№25 - 27 - p. 425 - 431.

43. Peters, D. Integrated optics based on silicon oxinitride thin films deposited on silicon substrates for sensor applications/ D. Peters, K. Fischer, J. Muller // Sensors and actuators, A 1991 - №25 - 27 - p. 425 - 431.

44. Маркузе, B.C. Оптические волноводы/В.С. Маркузе -М.: Мир,1974 58 с.

45. Клер, Ж.-Ж. Введение в интегральную оптику / Ж.-Ж. Клер М.: Советское радио, 1980 - 86 с.

46. Световоды с дискретной коррекцией для передачи информации / подред. А. Г. Мурадяна М.: Связь, 1975- 56 с.

47. Бутусов, М.М. Волоконно-оптические системы передачи / М. М. Бутусов, С. М Верник и др. М.: Радио и связь, 1992 - 320 с.

48. Мещеряков, В.А. Волоконно-оптические датчики давления отражательного типа для летательных аппаратов / В.А. Мещеряков, Т.И. Мурашкина, Е.А. Мурашкина // Датчики и системы 2001.- №9. - с. 14 - 18.

49. Справочник по основам инфракрасной техники / под ред. JI.3. Криксунова- М.: Советское радио, 1978 153 с.

50. Иванов, В.И. Полупроводниковые оптоэлектронные приборы. Справочник / В. И. Иванов, А. И. Аксенов, А. М. Юшин М.: Энергоатомиздат, 1988 - 196 с.

51. Справочник. Полупроводниковые приборы. Высокочастотные диоды. Диоды импульсные.Оптоэлектронные приборы.//М.:Кубк, 1996 г.

52. Справочная книга по светотехнике. / под ред. Ю. Б. Айзенберга, М.: Энергоатомиздат, 1983 122 с.

53. Ишанин, Г.Г. Источники и приемники излучения. Учебник для ВУЗов./ Г.Г. Ишанин, Э.Д. Панков, A.JI. Андреев / Санкт-Петербург, "Политехника", 1991 г.

54. Физический энциклопедический словарь. / A.M. Прохоров и др. под ред. A.M. Прохорова // М.: Советская энциклопедия, 1984 852 с.

55. Светотехника, источники света и технология их производства. //

56. Межвузовский сборник научных трудов, Саранск, 1990 г.

57. Свечников, C.B. Элементы оптоэлектроники /C.B. Свечников — М.: Советское радио, 1971 256 с.

58. Ишанин, Г.Г. Приемники излучения оптических и оптико-электронных приборов / Г.Г. Ишанин Л.: Машиностроение, 1986 - 175 с.

59. Павлов, А. В. Приемники излучения автоматических оптико-электронных приборов/ A.B. Павлов, А.И. Черников М.: Энергия, 1972 - 240 с.

60. Пихтин, А.Н. Оптическая и квантовая электроника / А.Н. Пихтин -М.: Высшая школа, 2001 573 с.

61. Коган, JI.M. Полупроводниковые излучающие диоды / Л.М. Коган // М.: Энергоатомиздат, 1983 73 с.

62. Аксененко, М.Д. Приемники оптического излучения. Справочник./ М.Д. Аксененко, М.Л. Бараночников М.: Радио и связь, 1987- 296 с.

63. Ландау, Л.Д.Теория упругости/ Л.Д. Ландау, Е.М. Лившиц / М.: Высшая школа, 1977 - 373 с.

64. Лехницкий, С.Г. Анизотропные пластинки /С. Г. Лехницкий ОГИЗ, Гостехиздат,1947 - 208 с.

65. Гридчин, В. А. Проектирование кремниевых интегральных тензопреобразователей с квадратными упругими элементами/ В.А. Гридчин // Межвузовский сборник научных трудов «Полупроводниковые тензорезисторы» Новосибирск, НЭТИ, 1985 - с.97-108.

66. Гридчин, В.А. Физика микросистем», ч. 1/ В.А. Гридчин, В.П. Драгунов Новосибирск, НГТУ, 2004 - 415 с.

67. Прочность, устойчивость, колебания. Справочник./И.А. Биргер: под ред. И.А. Биргера -М.: Машиностроение, 1968 831 с.

68. Гридчин, В.А. Пределы применимости модели малых прогибов тензопреобразователей мембранного типа / В.А. Гридчин, А.П. Лисофенко, С.А. Афанасьев // Межвузовский сборник научных трудов «Полупроводниковая тензометрия» Новосибирск, НЭТИ, 1988 - с. 71-76.

69. Лурье, С.А. Исследование достаточности условий существования разложений граничных условий функций по однородным решениям взадачах изгиба прямоугольных ортотропных пластин / С.А. М.: МАИ, 1983 - 46 с.

70. Kendall, D. L. Critical technologies for the micromachining of silicon / D. L. Kendall, С. B. Fleddermann, K. J. Malloy // Semiconductors and semimetals -1995- vol.37 c. 28-33

71. Krassow, H. Wafer level packaging of silicon pressure sensors/ H. Krassow, F. Campabadal, E. Lora-Tamayo // Sensors and actuators», A 2000 - № 82 -p. 229-233.

72. Walles G. Field assisted glass-metal sealing /G. Walles, D. I. Pomerantz // Journal of applied physics vol.40 - № 10- p.3946- 3949.

73. Zubel, I. Silicon anisotropic etching in alkaline I. The geometric description of figures developed under etching Si (100) in various solution / I. Zubel, I. Barycka // Sensors and actuators», A 1998 - №70 - p. 250 - 259.

74. Гудков, Ю.И. Применение микропроцессорных средств в устройствах на основе волоконно-оптических датчиков / Ю.И. Гудков, Зак Е.А // Измерительная техника — 1996- №12— с. 21-24.

75. Culshaw В. Fibre optic sensor: integration with micromachined devices / B. Culshaw // Sensors and actuators», A 1995 - №46 - 47 - p. 463 - 469.

76. Круглов, B.B. Волоконно-оптический датчик давления / В.В. Круглов, А.Г. Годнев // Приборы и системы управления 1993 - №5 - с. 25-26.

77. Круглов, В.В. , Бялик А.Д. Диффернциальный волоконно-оптический измеритель малых давлений/ В.В. Круглов, А.Д. Бялик // Тезисы Международной научно-технической конференции «Информатика и проблемы телекоммуникаций» Новосибирск, 1998 - с. 43-45.

78. Kruglov, V.V. Fiber-optic transdusers of mechanical quantities / V. V. Kruglov, A.D. Byalik // Abstracts of the third Russian-Korean international symposium of science and technology (Korus'99)-Novosibirsk 1999 - vol. 2-p. 696.

79. Капании, M. Волоконная оптика» / M. Капани M.: Мир - 1967 - 186 с.

80. Даниелян, Г. JI. Многоканальные волоконно-оптические жгуты/ Г. JI. Даниелян, Ю.Н. Федин //Приборы и системы управления -1998 -№8-с.27-28.

81. Носов Ю.Р., Сидоров А.Н. «Оптроны и их применение» // Москва, «Радио и связь», 1981 г.

82. Бялик, А.Д. Особенности проектирования амплитудных волоконно-оптических датчиков давления/А. Д. Бялик // Сборник трудов НГТУ 2003 - №4- с. 159-164.

83. Гридчин, В.А. Особенности проектирования амплитудных волоконно-оптических датчиков давления, использующих кремниевые мембранные чувствительные элементы /В.А. Гридчин, А. Д. Бялик// Приборы 2005 -№7 -с.25 -29.

84. Бялик, А.Д. Особенности преобразовательных характеристик амплитудных волоконно-оптических датчиков давления рефлектометрического типа / А.Д. Бялик // Научные проблемы транспорта Сибири и дальнего востока 2009. - №1 - с. 338-341.

85. Свидетельство на полезную модель 26652 РФ 7 G 01 L 11/02

86. Амплитудный волоконно-оптический преобразователь механических величин / Бялик А.Д. (РФ). № 2002114123; заявл. 27.05.2002; опубл. 10.12.2002-4 с.

87. Rogers, A. J. Intrinsic optical fibre current sensors / A. J. Rogers // Sensors review- 1994- vol. 18, 1 p.17-22.

88. Pinnock, R. A. Optical pressure and temperature sensors for aerospace applications / R. A. Pinnock//Sensors review 1994- vol. 18, 1 - p. 32-38.

89. Гридчин, В.А. Физические основы сенсорной электроники. Часть 1. Сенсоры механических величин: учебное пособие / В.А. Гридчин -Новосибирск: НГТУ, 1995 107 с.

90. Гридчин, В.А. Математическое моделирование мембранных чувствительных элементов амплитудных волоконно-оптических датчиков давления / В.А. Гридчин, А.Д. Бялик // Автометрия — 2005 том 41 - № 3 -с. 56-63.

91. Любимский, В.М. Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния: Диссертация на соискание д-ра техн. наук: 05.27.01 НГТУ, Новосибирск, 2005 294 с.

92. Драгунов, В.П. Нелинейность упругих элементов микромеханических систем»/ В.П. Драгунов // Микросистемная техника 2004 - № 5 - с. 21-27.

93. Драгунов, В.П. Анализ прогибов полупроводниковых мембран в нелинейном приближении / В.П. Драгунов // Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления: материалы IX научно-технической конференции Москва, 2002 - с. 84 - 85.

94. Cockshott, С. P. Compensation of an optical fiber reflective sensor / C.P. Cockshott, S.J. Pacaud // Sensors and actuators», A 1989 - №17 - p. 167-171.

95. Peiner, E. A micromachined vibration sensor based on the control of power transmitted between optical fibres / E. Peiner, D. Scholz, A. Schlachetzki / / Sensors and actuators», A 1998 - №65 - p. 23-29.

96. Каплун, А.Б. ANSYS в руках инженера, Практическое рукаводство/ А.Б.Каплун, Е.М. Морозов, М.А. Олферьева М: Едиториал УРСС,2003 -272 с.

97. Чигарев, A.B. ANSYS для инженеров. Справочное пособие / A.B. Чигарев, A.C. Кравчук, А.Ф.Смалюк // М.: Машиностроение-1, 2004 512с.

98. Басов К.А. ANSYS Справочник пользователя / К.А. Басов // М.: ДМК Пресс, 2005 640с.

99. Тимошенко С.П. Пластинки и оболочки / С.П. Тимошенко, С. Войновский-Кригер -М., 1963 -635 с.

100. Румшинский, Л.З. Математическая обработка результатов эксперимента. Справочное руководство / Л.З. Румшинский // М.: Наука, 1971- 192 с.

101. Халилулин К.А. «Обработка результатов измерений» // Ленинград Механический институт, 1990 г.

102. ГОСТ 22520-85 Датчики давления, разрежения и разности давлений с электрическими аналоговыми сигналами ГСП. Общие технические условия // ГК СССР по стандартам, М.: Изд-во стандартов, 1985 -25 с.

103. ГОСТ 28836-90 Датчики силоизмерительные тензорезистивные. Общие технические требования и методы испытаний // ГК СССР по управлению качеством продукции и стандартам, М.: Изд-во стандартов, 1990-30 с.

104. Алиев, Т.М. Измерительная техника / Т. М. Алиев, / A.A. Тер-Хачатуров М.: Высшая школа, 1991 - 384 с.

105. Круглов, В.В. Исследование характеристик ВОП давления, использующих волоконные ответвители / В.В. Круглов, А.Д. Бялик // Тезисы Международной научно-технической конференции «Информатика и проблемы телекоммуникаций» Новосибирск, 1999 - с. 122 - 124.

106. Бялик, А.Д. Экспериментальное исследование передаточных амплитудных волоконно-оптических датчиков давления /А. Д. Бялик // Сборник трудов НГТУ 2004 - №1 - с.3-8.

107. Бялик, А.Д. Амплитудные волоконно-оптические датчики как элементы систем управления и контроля в электроэнергетике / А.Д. Бялик // Научные проблемы транспорта Сибири и дальнего востока 2008. - №1 - с. 278-282.

108. Бушев, В.В. Серия микроэлектронных датчиков давления МИДА / В.В. Бушев, В.М. Николайчук, В.М. Стучебников // Датчики и системы -2000-№1- с. 21-27.

109. Патент 2180100 РФ, 7 G 01 L 11/02. Амплитудный волоконно-оптический преобразователь механических величин / Бялик А.Д. (РФ). № 2000101105; заявл. 12.01.2000; опубл. 27.02.2002 - 6 с.

110. Ettouhami, A. Thermal buckling of silicon capacitive pressure sensor / A. Ettouhami, A. Essaid, N. Ouakrim // Sensors and actuators, A 1996 - №57 -p. 167-171.

111. Rosengren, L. A system for implantable pressure sensors/ L. Rosengren, P. Rangsten, Y.Backlund // Sensors and actuators, A 1994 - №43 - p. 55-58.

112. Tohyama, О. A fiber-optic microsensor for biomedical applications / O. Tohyama, M. Kohashi, K. Yamamoto //Sensors and actuators, A 1998 - №66 -p.150-154.

113. Xiao, Z. Diafragm deflection of silicon interferometer structures used as pressure sensors / Z. Xiao, O.Engstrom, N.Vidovic // Sensors and actuators, A— 1997-№58- p.99-107.

114. Raatikainen, P. Fiber-optic liquid-level sensor / P. Raatikainen, I. Kassamakov, R. Kakanakov // Sensors and actuators, A 1997- №58- p.93-97.

115. Dzuiban, J. A. Silicon optical pressure sensor / J. A. Dzuiban, A. Goreska-Drzazga, U. Lipowicz // ж-л «Sensors and actuators, A 1992 - №32 - p.628-631.

116. Zook, J. D. Fiber-optic vibration sensor based on frequency modulation of light-excited oscillators / J. D. Zook, W.R. Herb, C.J. Bassett // Sensors and actuators, A 2000 - №83 - p.270-276.

117. Гутников B.C. Интегральная электроника в измерительных устройствах / B.C. Гутников // JL: Энергоатомиздат, 1988 -206 с.

118. Алексенко, А. Г. Применение прецизионных аналоговых микросхем /

119. A. Г. Алексенко, Е. А. Коломбет, Г. И. Стародуб // М.: Радио и связь, 1985.

120. Карпов, В.И. Планирование контрольных испытаний на подтверждение средней наработки до отказа высоконадежных датчиков /

121. B.И. Карпов // Приборы и системы управления 1995 - №4 - с. 22-25.

122. Юткин, JI.А. Электрогидравлический эффект и его применение в промышленности / Л.А. Юткин Л.; Машиностроение, 1986 - 253 с.

123. Драгунов В.П. Полупроводниковый датчик для измерения быстроменяющегося давления газа / В.П. Драгунов // Приборы и системы управления 1993 - № 5 - с.23-24.

124. Коптев, Ю.Н. Волоконно-оптические датчики космического базирования / Ю.Н. Коптев, A.B. Гориш // Радиотехника- 1995 №10 - с. 7-9.

125. Михайлов, П.Г. Пьезодатчики быстропеременных, импульсных и акустических давлений / П. Г. Михайлов, В.И. Бутов, Т.Н. Политменцева // Радиотехника- 1995- №10 с. 36-37.

126. Драгунов В.П. Физические основы и принципы проектирования интегральных полупроводниковых датчиков переменных давлений: Диссертация на соискание д-ра техн. наук: 05.27.01, 01.04.10 НГТУ, Новосибирск, 2005 495 с.