Разработка экспериментальных методов и константного обеспечения ядерного микроанализа тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, доктор физико-математических наук Гурбич, Александр Фаддеевич

• Гурбич, Александр Фаддеевич
• доктор физико-математических наук
• 1999

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Гурбич, Александр Фаддеевич

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА

1.1. Автоматизированная установка дли ядерного микроанализа

1.2. Полупроводниковый спектрометр СКТ

1.3. Исследование природы низкоэнергетического фона в спектрах заряженных частиц

ГЛАВА 2. ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ МЕТОДЫ АНАЛИЗА ПОВЕРХНОСТИ

ПО УПРУГОМУ РАССЕЯНИЮ УСКОРЕННЫХ ИОНОВ

2.1. Анализ факторов, ограничивающих чувствительность анализа

2.2. Полупроводниковая спектрометрия с подавлением наложений методом времени пролета.

2.3. Полупроводниковая спектрометрия с подавлением наложений при помощи АЕ-Е телескопа детекторов.

2.4. Полупроводниковая спектрометрия обратного рассеяния с использованием метода идентификации типа частицы.

2.5. Нерезерфордовекое обратное рассеяние как высокочувствительный метод анализа поверхности.

2.5.2. Сечение упругого рассеяния S6Fe(p,p)S6Fe

2.5.1. Сечение упругого рассеяния 160(р,р)

2.6. Экспрессный метод определения отношения хром/железо в стали

ГЛАВА 3. АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ ПО ГАММА - ИЗЛУЧЕНИЮ,

ВОЗБУЖДАЕМОМУ ПРОТОНАМИ

3.1. Элементный анализ по гамма-лучам из резонансного радиационного захвата

3.1.1. Анализ натрия.

3.1.2. Анализ алюминия.

3.1.3. Анализ углерода.

3.1.4. Анализ хрома. 85 32. Анализ кислорода по гамма-излучению из реакции прямого нерезонансного радиационного захвата.

3.3. Высокочувствительный ядерный микроанализ с возбуждением у-излучения импульсным протонным пучком

3.4. Анализ по характеристическому рентгеновскому излучению, возбуждаемому протонами (PIXE)

ГЛАВА 4. КОМПЛЕКСНОЕ ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДОВ ЯДЕРНОГО

МИКРОАНАЛИЗА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ РЕАКТОРНЫХ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

4.1. Исследование толстых оксидных пленок методом упругого нерезер-фордовского рассеяния протонов

42. Анализ примеси натрия в термически окисленном кремнии

4.3. Анализ состава поверхности стенки парогенератора БН-600 ядерно-физическими методами но гамма-излучению, возбуждаемому протонами

4.4. Анализ скрытых слоев Gai xAl*As в лазерных гетероструктурах

4.5. Анализ водорода, имплантированного в кремний, методом ядер отдачи 11 б

ГЛАВА 5. БАЗА ДАННЫХ ПО СЕЧЕНИЯМ ЯДЕРНЫХ РЕАКЦИЙ ДЛЯ

ЯДЕРНОГО МИКРОАНАЛИЗА

5.1. Проблема ядерных данных для ядерного мтфоанализа

52. Состав базы данных NRABASE

5.3. Стуктура базы

5.4. Распространение NRABASE

ГЛАВА 6. ОЦЕНКА ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ СЕЧЕНИЙ УПРУГОГО

РАССЕЯНИЯ УСКОРЕННЫХ ИОНОВ

6.1 Общий подход к оценке дифференциальных сечений упругого рассеяния протонов и ионов гелия

62. Теоретическое описание дифференциальных сечений

6.3. Сечение упругого рассеяния протонов на углероде

6.4. Сечение упругого рассеяния протонов на кислороде

6.5. Сечение упругого рассеяния протонов на кремнии

6.6. Сечение упругого рассеяния ионов 4Не на углероде

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка экспериментальных методов и константного обеспечения ядерного микроанализа»

Ядерный микроанализ (английский эквивалент Ion Beam Analysis, сокращенно IBA) - это совокупность методов исследования поверхности по мгновенному излучению, сопровождающему взаимодействие ускоренных ионных пучков с ядрами элементов, находящихся вблизи поверхности образца. В зависимости от типа взаимодействия различают анализ по обратному рассеянию (RBS, EBS), по частицам-продуктам ядерных реакций (NRA), по испускаемым в процессе реакции гамма-квантам (PIGE), по ядрам отдачи (ERD) и, наконец, по рентгеновскому излучению (РЕХЕ), причем в последнем случае, традиционно рассматриваемому вместе с методами ядерного микроанализа, речь идет об использовании характеристического рентгеновского излучения, т.е. атомного, а не ядерного процесса. При помощи этих методов во многих случаях удается получать информацию о структуре и составе поверхности и тонких пленок с большей чувствительностью, с лучшим разрешением по глубине и избирательностью, чем это возможно с использованием других методов. К тому же, методы ядерного микроанализа являются, как правило, неразрушающими, что позволяет применять их для исследования динамики поведения поверхности в различных процессах, изучения уникальных произведений искусства и археологических образцов и даже биологических объектов in vivo. Анализу подлежат, практически, все элементы от водорода до урана, причем, постольку, поскольку анализ ведется с использованием ядерных взаимодействий, оказывается доступной и информация о изотопном составе образца, что важно, например, при изучении состава метеоритов.

Методы ядерного микроанализа начали активно развиваться на базе накопленного в ядерно-физических исследованиях опыта с конца 60-х годов, чему способствовало наличие значительного парка электростатических ускорителей и появление сравнительно простых и эффективных методов регистрации заряженных частиц и гамма-квантов при помощи полупроводниковых детекторов. На первом этапе развития были предложены и опробованы многие, ставшие затем традиционными, методики, было создано первое справочное руководство [1], написаны ставшие классическими первый учебник [2] и первая монография [3], проведена первая международная конференция (Yorktown Heights, New York, 1973), положившая начало серии конференций, проводимых раз в два года (последняя, IBA-14, в 1999 году в Дрездене).

Если поначалу на первом плане было развитие экспериментальных методов, позволявших в результате ядерно-физического эксперимента получать информацию о структуре и составе поверхности, то со временем предметом все большего числа публикаций стало применение ядерного микроанализа для решения конкретных задач. На сегодняшний день ядерный микроанализ является одним из самых мощных методов исследования поверхности. Физика поверхности стала в последние десятилетия самостоятельной наукой, и роль ядерно-физических методов в прогрессе этой науки трудно переоценить. Аппаратурой для проведения ядерного микроанализа оборудованы сотни лабораторий, как в развитых, так и в развивающихся странах. Ежегодно в мире выпускается несколько десятков электростатических ускорителей и другое оборудование, предназначенное для работ в области ядерного микроанализа. Кроме непосредственно физики поверхности ядерный микроанализ широко применяется при разработке новых материалов и технологий (особенно в полупроводниковой промышленности), в исследованиях в области высокотемпературной сверхпроводимости, в биологии, медицине, геологии, экологии, искусствоведении, археологии и других отраслях.

Актуальность темы диссертации определяется расширяющимся полем исследований в области физики поверхности и физики твердого тела, новыми технологическими задачами в различных отраслях, возникновением новых сфер применения ядерно-физических методов исследования вещества. Все это требует усовершенствования известных и разработки новых методов, отличающихся повышенными аналитическими характеристиками [4].

Методы ядерного микроанализа существенно используют данные по сечениям ядерных взаимодействий для заряженных частиц низкой (<10 МэВ) энергии. Общепризнанно [5], что обеспечение ядерными данными является одной из самых актуальных проблем ядерного микроанализа, решение которой насущно необходимо для успешного развития ядерно-физических методов исследования поверхности. Эта проблема была предметом обсуждения на специальных заседаниях, прошедших в рамках ряда Международных конференций (Third International Conference on Chemical Analysis by Charged Particle Irradiation, Namur, 1991; IBA-11, Balatonfured, Hungary, 1993; IBA-12, Tempe, Arizona, USA, 1995; IBA-13, Lisbon, Portugal, 1997). По итогам конференции IBA-13 по инициативе автора был принят Меморандум, посвященный координации работ по обеспечению ядерного микроанализа ядерно-физическими константами. Работа автора в этом направлении была поддержана Международным агентством по атомной энергии (Research Contract No. 8883, 1995-1996).

Об актуальности исследований в области разработки методов ядерного микроанализа свидетельствует множество публикаций в отечественных и зарубежных научных изданиях, число которых с каждым годом возрастает. С 1984 года для публикации работ по ядерному микроанализу и другим применениям ускоренных ионных пучков началось издание отдельной серии "В" журнала Nuclear Instruments and Methods in Physics Research: Beam Interactions with Materials and Atoms, где опубликована и значительная часть основных результатов диссертации. Опыт, накопленный за примерно два десятилетия интенсивного развития ядерного микроанализа обобщен в изданном в 1995 году новом справочном руководстве [6].

В ФЭИ работы по ядерному микроанализу начались в середине 70-х годов, коща с участием автора были проведены первые опыты по исследованию оксидных покрытий на поверхности стали [7]. Затем, с 1976 по 1995 год, разработка и применение ядерно-физических методов анализа поверхности была основной задачей специально созданной лаборатории, в которой автором и была выполнена большая часть диссертации.

Цель диссертационной работы состояла в разработке усовершенствованных методик ядерного микроанализа и обеспечении ядерного микроанализа ядерно-физическими данными.

Диссертация состоит из шести глав. Первая глава посвящена экспериментальной технике и технике эксперимента. В первых двух разделах этой главы рассмотрены предложенные и осуществленные автором технические усовершенствования. Здесь описаны автоматизированная установка для ядерного микроанализа, позволяющая проводить массовые измерения по заданной программе без участия оператора, и полупроводниковый спектрометр СКТ-04, применение которого привело к существенному улучшению чувствительности и избирательности анализа методом NRA. В третьем разделе первой главы приведены результаты исследования природы низкоэнергетического фона в спектрах обратного рассеяния.

Вторая глава посвящена разработкам в области анализа по упругому обратному рассеянию (RBS и EBS). Проанализированы источники фона, ограничивающего чувствительность при анализе тяжелой примеси в легкой матрице, описаны разработанные модификации метода RBS, приводящие к практически полному исключению фона, представлены результаты экспериментов, наглядно демонстрирующие преимущества разработанных методов. Для случая анализа легкой примеси в тяжелой матрице рассмотрены возможности анализа с использованием нерезерфордовского обратного рассеяния (EBS), приведены результаты измерений дифференциальных сечений упругого рассеяния протонов на кислороде и железе, предложен экспрессный метод определения отношения концентраций хром /железо в нержавеющих сталях.

В третьей главе рассмотрены методы анализа по возбуждаемому протонами гамма-излучению (PIGE). Для случая резонансного взаимодействия проанализированы оптимальные условия эксперимента по анализу углерода, натрия, алюминия и хрома. Приведены измеренные выходы у-квантов вблизи ре-зонансов, представляющих интерес для использования в аналитических целях. Исследованы возможности анализа кислорода по гамма-квантам из прямого нерезонансного радиационного захвата. Описан разработанный метод анализа с применением импульсного протонного пучка, продемонстрированы его преимущества. Рассмотрен метод PIXE, как эффективный способ элементного анализа для обнаружения и идентификации следовых количеств тяжелых примесей.

В четвертой главе приведены примеры комплексного применения разработанных методов дня анализа образцов реакторных и полупроводниковых материалов. Здесь, в частности, рассмотрен совместный анализ методами RBS, PIGE и FIXE скрытых слоев в полупроводниковых гете-роетруктурах, описана методика и приведены результаты анализа методом PIGE распределения концентраций углерода, кислорода, натрия и хрома вблизи поверхности трубы парогенератора реактора БН-600, описан анализ следовых количеств натрия в поверхностных слоях кремниевых пластин, подвергшихся окислению в технологическом процессе, продемонстрированы достоинства метода нерезерфордовского упругого рассеяния (EBS) при анализе оксидных покрытий на поверхности нержавеющей стали, контактировавшей с тяжелым теплоносителем, приведен пример анализа водорода по ядрам отдачи (ERD).

В пятой главе описана база ядерно-физических данных для ядерного микроанализа, которая является первой попыткой создания с использованием современных технологий всеобъемлющего источника информации по течениям тех ядерных взаимодействий, которые чаще всего используются в ядерном микроанализе. В этой главе проанализировано состояние проблемы, очерчен круг источников информации, из которых брались данные. Рассмотрен способ восстановления цифровых значений данных, представленных в оригинальных работах только в графическом виде. Описаны структура и состав базы данных, приведены сведения о круге ее пользователей.

Шестая глава посвящена оценке сечений ядерных реакций, возбуждаемых заряженными частицами. Здесь рассмотрены предпосылки и необходимость оценки ядерных данных, используемых в ядерном микроанализе, сформулирована теоретическая модель, в рамках которой производились расчеты, продемонстрированы преимущества использованного подхода по сравнению с чисто математическими методами параметризации функций возбуждения. Рассмотрены особенности применения ядерно-физических моделей в низкоэнергетической области. Приведены результаты оценки сечений нерезерфордовского упругого рассеяния протонов и альфа частиц для наиболее важных в практическом отношении случаев. Продемонстрирована предсказательная сила разработанного подхода.

Научной новизной обладают практически все полученные в работе результаты. Разработаны новые модификации традиционных методов ядерного микроанализа: по обратному рассеянию ускоренных ионов с подавлением фона тремя различными методами, по продуктам ядерных реакций с регистрацией вылетающих частиц телескопом детекторов и по гамма-излучению, возбуждаемому импульсным протонным пучком. В результате кардинально повышена чувствительность анализа. Разработанные методы применены к новой для ядерного микроанализа области исследования -анализу материалов ядерных энергетических установок. Разработан подход и впервые проведена оценка сечений упругого рассеяния протонов и ионов гелия на легких ядрах. Создана первая база ядерных данных для ядерного микроанализа.

Методические разработки в области ядерного микроанализа имеют смысл только в том случае, если они реально осуществимы и могут быть применены в конкретных исследованиях. Все представленные в диссертации разработки были инициированы потребностями практики, и с их помощью были выполнены следующие работы:

- анализ легких примесей (азот, кислород) в углеродных образцах;

- анализ следовых примесей тяжелых элементов в полупроводниковых материалах;

- пооперационный контроль кремниевых пластин в технологии производства интегральных микросхем;

- определение скрытых слоев в полупроводниковых лазерных гетерострук-турах на арсениде галлия;

- исследование массопереноса основных компонент конструкционных легированных сталей (Fe, Cr, Ni), неметаллических примесей внедрения (С, N, О), легирующих добавок и элементов жидкометаллических теплоносителей в задачах изучения коррозии материалов оболочек ТВЭЛов и стенок парогенераторов ЯЭУ;

- анализ динамики роста оксидных пленок на поверхности конструкционных сталей в водяных парах и изменения стехиометрии пленок в процессе окисления;

- исследование роста оксидных пленок на поверхности сталей, находящихся в контакте с тяжелометаллическим (Pb, Bi) теплоносителем.

Большая часть из пречисленных выше исследований была выполнена на автоматизированной установке, специально разработанной для проведения массовых измерений.

Материалы, представленные в диссертации, докладывались на Всесоюзном совешании-семинаре "Диагностика поверхности ионными пучками". Донепк, 1980, XXXVI совещании по ядерной спектроскопии и структуре атомного ядра (Харьков, 1986), Совещании по микроанализу на ионных пучках (Харьков, 1988), II Всесоюзной конференции "Микроанализ на ионных пучках" (Сумы, 1991), Научном совете РАН по применению методов ядерной физики "Экспрессные и чувствительные методы анализа вещества" (Москва, 1996), Международной конференции "Nuclear Data for Science and Technology" (Триест, Италия, 1997), Международных конференциях IBA-13 и IBA-14 (Лиссабон, Португалия, 1997 и Дрезден, Германия, 1999), XI, XII и XIII Совещаниях по электростатическим ускорителям (Обнинск, 1995, 1997 и 1999).

Основные результаты диссертации опубликованы в открытой печати в отечественных и иностранных журналах и в материалах конференций [9, 14, 42, 46, 52, 55-57, 79, 83, 85, 87-88, 92, 104-105, 115, 132-133, 146, 157, 171 ]. Подавляющая часть выносимых на защиту результатов опубликована без соавторов, что делает определение личного вклада автора излишним.

Автор защищает:

• Новые высокочувствительные модификации традиционных методов ядерного микроанализа:

- метод полупроводниковой спектрометрии обратного упругого рассеяния с подавлением фона наложений по времени пролета;

- метод полупроводниковой спектрометрии обратного упругого рассеяния с подавлением фона наложений при помощи АЕ-Е телескопа детекторов;

- метод полупроводниковой спектрометрии обратного упругого рассеяния с использованием идентификации типа частицы;

- микроанализ по гамма-квантам из (р,у)-реакций на ядрах анализируемого элемента с возбуждением гамма-излучения импульсным пучком.

Результаты исследования природы низкоэнергетического фона в спектрах обратного рассеяния.

Экспериментальные данные по сечениям упругого рассеяния протонов на ядрах 1бО, 28Si, ^Fe и ^Zr и по выходам резонансных (р,у)-реакций на ядрах Z3Na, 27А1 и 5гСг.

Результаты исследования возможностей нерезерфордовского обратного рассеяния как высокочувствительного метода анализа поверхности. Результаты исследования возможностей элементного анализа натрия, алюминия, углерода и хрома по гамма-лучам из резонансного радиационного захвата и кислорода по гамма-излучению из реакции прямого нерезонансного радиационного захвата.

Результаты исследования реакторных и полупроводниковых материалов при помощи разработанных методов.

Разработанный подход к оценке дифференциальных сечений упругого рассеяния протонов и ионов гелия и результаты оценки сечений упругого рассеяния протонов для углерода, кислорода и кремния и для рассеяния ионов 4Не на углероде.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Гурбич, Александр Фаддеевич

Основные результаты настоящей работы сводятся к следующему. Разработана и внедрена в практику автоматизированная установка для ядерного микроанализа, позволяющая проводить массовый анализ образцов без участия оператора.

Впервые применен для задач ядерного микроанализа полупроводниковый спектрометр с "on-line" идентификацией частиц по типу, в результате чего улучшены разрешение по глубине и предел обнаружения, обеспечена возможность экспрессного проведения анализа многокомпонентных образцов в одном эксперименте.

Исследована природа низкоэнергетического фона в спектрах обратного рассеяния. Экспериментально доказано, что этот фон не может быть полностью объяснен ни несовершенством функции отклика детектора, ни низкоэнергетической компонентой первичного пучка. Разработаны новые высокочувствительные модификации традиционных методов ядерного микроанализа:

- полупроводниковая спектрометрии обратного упругого рассеяния с подавлением фона наложений методом времени пролета; полупроводниковая спектрометрия обратного упругого рассеяния с подавлением фона наложений при помощи АЕ-Е телескопа детекторов;

- полупроводниковая спектрометрия обратного упругого рассеяния с использованием метода идентификации типа частицы;

- микроанализ по гамма-квантам из (р,у)-реакций на ядрах анализируемого элемента с возбуждением гамма-излучения импульсным пучком.

Исследованы возможности нерезерфордовского обратного рассеяния как высокочувствительного метода анализа поверхности. Исследованы возможности элементного анализа натрия, алюминия, углерода и хрома по гамма-лучам из резонансного радиационного захвата и кислорода по гамма-излучению из реакции прямого нерезонансного радиационного захвата.

• Разработанные методики применены для комплексного исследования реакторных и полупроводниковых материалов:

- метод упругого нерезерфордовского рассеяния протонов применен для исследования толстых оксидных пленок, в результате чего получена новая информация о зависимости состава оксидной пленки, образующейся на поверхности конструкционной стали при контакте с эвтектическим сплавом свинец-висмут при повышенных температурах;

- оптимизированная методика измерения распределения следовых количеств натрия вблизи поверхности позволила выявить звено в технологической цепи полупроводникового производства, ответственное за загрязнение образцов;

- комплексный анализ состава поверхности стенки парогенератора БН-600 по гамма-излучению, возбуждаемому протонами, дал новую информацию о коррозионной стойкости стали в процессе ее взаимодействия с натриевым теплоносителем при длительной эксплуатации в действующем быстром реакторе;

- комплексное применение различных методов ядерного микроанализа позволило преодолеть ограничения каждой из отдельно взятых методик и получить полную и надежную информацию о структуре и составе слоев полупроводниковой гетеросгруктуры на основе арсе-нида галлия;

- методом спектрометрии ядер отдачи получены данные о профиле распределения водорода, имплантированного в кремний.

• Создана, используемая во многих лабораториях, база данных, содержащая экспериментальную информацию о сечениях упругого рассеяния и ядерных реакций, представляющих интерес для использования в ядерном микроанализе.

• Выработан подход к оценке дифференциальных сечений упругого рассеяния протонов и ионов гелия. Разработано соответствующее программное обеспечение. Сделана оценка сечений упругого рассеяния протонов для наиболее часто исследуемых элементов - углерода, кислорода и кремния и для рассеяния ионов 4Не на углероде.

• Получены экспериментальные данные по дифференциальным сечениям упругого рассеяния протонов на ядрах 160, 28Si, 56Fe и 90Zr.

• Получены экспериментальные данные для выходов гамма-квантов из резонансных (р,у)-реакций на ядрах 23Na, 27А1 и 52Сг.

В результате выполненной работы были созданы методики ядерного микроанализа, превосходящие мировой уровень по ряду важнейших характеристик, впервые в практике ядерного микроанализа стали применяться оцененные данные по сечениям ядерных взаимодействий. Все полученные в работе результаты опубликованы и широко используются в стране и за рубежом.

БЛАГОДАРНОСТИ

Значительный объем работы был выполнен в бывшей лаборатории ядерного микроанализа ФЭИ, и автор искренне благодарен коллегам, развивавшим вместе с ним новое для института направление, за многочисленные плодотворные дискуссии и помощь в работе. Особая благодарность - тем из них, кто в разное время работал непосредственно в группе автора. Отдельно автор благодарит проработавшего все эти годы рядом с ним лаборанта.

Экспериментальная часть работы была сделана в основном на ускорителях ФЭИ, за мастерскую эксплуатацию которых автор благодарен коллективам ЭГ-2.5 и ЭГП-10М.

177

Автор благодарен за сотрудничество сотрудникам СНИИПа и бывшего отдела радиоэлектроники ФЭИ, учитывавшим в своих разработках все пожелания автора.

Автор благодарен также зарубежным коллегам, проявлявшим интерес к результатам выполненной работы, за полезные дискуссии и сотрудничество.

178

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Гурбич, Александр Фаддеевич, 1999 год

1. 1.n Beam Handbook for Material Analysis / Ed. J.W.Mayer, E. N.Y.Rimini. -N.Y.: Acad. Press, 1977. - 334 p.

2. Deconninck G. Introduction to Radioanalytical Physics. Amsterdam: Elsevier, 1978.-242 p.

3. Chu W.-K., Mayer J.W., Nicolet M.-A. Backscattering Spectrometiy. N.Y.: Acad. Press, 1978.-384 p.

4. Baglin J.E.E., Davis J.C., Gabella P., Prozesky V.M., Sie S. Future analytical needs for industry and technology, it Nucl. Instr. and Meth. 1998. - V.B136-138.-P. 35-41.

5. Vickridge I.C. A workshop on cross-section data bases for IBA. /7 Nucl. Instr. and Meth. 1992. - V.B66. - P. 303-305.

6. Handbook of Modern Ion Beam Material Analysis / Ed. J.R.Tesmer, M.Nastasi. Pittsburgh: MRS. - 1995. - 704 p.

7. Барышников А.И., Гурбич А.Ф. Микроанализ окисных пленок посредством ядерных реакций с заряженными частицами. Отчет о НИР (промежуг.) ФЭИ Инв. № ЭФ-1477. - Обнинск, 1976. - 37 с.

8. Marion J.B., Young F.C. Nuclear Reaction Analysis, Graphs and Tables, -Amsterdam: North Holland, 1968.

9. Гамаюнов C.H., Гурбич А.Ф., Майсюков В.Д., Шевченко А.П., Шорин B.C. Применение полупроводникового спектрометра СКТ-04 в ядерном микроанализе. // ПТЭ 1986. - №3. - С. 45-49.

10. АндриашинА.В., Мильшин В.И. Блок динамической памяти емкостью 4096 16 бит. Препринт ФЭИ-1050. - Обнинск, 1980.

11. И. Миронов А.Н., Нестеренко B.C., Семенов В.А. Многоканальный счетчик. -Препринт ФЭИ-1553. Обнинск, 1984.

12. Гончар А.И., Нестеренко B.C., Чубаров С.И. Спектрометрический анало-го-ццифровой преобразователь. // Проблемы создания преобразователей формы информации. Киев, Наукова думка, 1984. 4.2. С. 269-280.

13. Мильшин В.И., Андриашин А.В., Царев В.Н. Автономный контроллер для быстродействующих систем КАМАК. Препринт ФЭИ-1505. - Обнинск, 1983.

14. Amsel G., Girard Е., Vizkelethy G., Battistig G., Girard Y., Szilagyi E. High pulse rate and pileup handling in precision RBS. // Nucl. Instrum. and Methods.- 1992.-Y. B64.- P. 811-816.

15. Thomas J.-P., Engerran J., Cachard A., Tardy J. A telescope detection system applied to low-energy ion-beam surface analysis. // Nucl. Instrum. and Methods.- 1974. V. 119, .M> 2. - P. 373-380.

16. Курашов А. Л. Идентификация ионизирующих излучений средних и низких энергий. М.: Атомиздат, 1979. - 264 с.

17. Абашидзе Л. И., Авдейчиков В. В., Авраменко С. А. и др. Препринт ОИЯИ, № 1-83-185. - Дубна, 1983; ПТЭ, 1985. №4. - С. 33.

18. Авдейчиков В. В., Ганза Е. Л., Гришин Б. А. и др. Идентификация тяжелых ионов методом полупрводниковых АЕ-Е детекторов. Препринт Радиевого института им. В.Г.Хлопина, РИ-66, - Л., 1977.

19. Butler G.W., Poskanzer A.M., Landis D.A. Identification of nuclear fragments by a combined time-of flight, AE-E technique. // Nucl. Instr. and Meth. 1970. V. 89. - P. 189-198.

20. Гурбич А. Ф., Истомин И. В., Карабаш В. А. и др. Ядерный микроанализ примесей азота и кислорода в углеродных образцах. Препринт ФЭИ, № 1122-Обнинск, 1980.

21. Гурбич А. Ф., Истомин И. В., Карабаш В. А., и др. // Тез. докл. Всесоюз. совет, -семинара "Диагностика поверхности ионными пучками". -Донепк, 1980. С. 287.

22. Гурбич А.Ф., Майсюков В.Д., Шорин B.C. Метод ядерного микроанализа на основе реакции 13C(d,t)12C // Ядерная спектроскопия и структура атомного ядра. Тез. докл. XXXVI сов. 15-18 апреля 1986. Харьков. - Л.: Наука. - 1986. С.540.

23. Whitlow H.J., Winzell Т., Thungstrom G. Extremely thin silicon tsE detectors for ion beam analysis. // Nucl. Instrum. and Methods. 1998. - V. B136-138. -P. 616-622.

24. Балдин C.A., Игнатов H.A., Ерыхайлов Ю.В., Ионнесианц Л.М., Матвеев В.В., Сельдяков Ю.В. Прикладная спектрометрия с полупроводниковыми детекторами. М.: Атомиздат, 1974.

25. Weber A., Mommsen Н., Sarter W., Weller W. A. Double scattering in Rutherford backscattering spectra. II Nucl. Instr. and Meth. 1982. - V. 198. -P. 527-533.

26. Weber A., Fazly Q., Mommsen H. Background in proton-, alpha-, and 12C-Rutherford-backscattering spectra. //Nucl. Instr. and Meth. 1984. -V. B4. -P. 79-87.

27. Бондаренко B.H. Двукратное резерфордовское рассеяние на тонких мишенях. // Письма в журнал технической физики. 1989. - Т. 15. - С. 9-12.

28. Шорин B.C. Эффекты кратного рассеяния быстрых ионов в POP спектрах. // Поверхность. 1994. М? 8-9. - С. 131-135.

29. Varga L. Contribution from the experimental apparatus to the low energy background in Rutherford backscattering experiments. // Nucl. Instr. and Meth. -1986.-V. B17. P. 260-264.

30. Steinbauer E., Bauer P., Biersaek J. Monte-Carlo simulation of RBS spectra: comparision to experimental and empirical results. //Nucl. Instr. and Meth. -1990. V. B45. - P. 171-175.

31. Bauer P., Steibauer E., Biersaek. Rutherford backscattering beyond the single scattering model. //Nucl. Instr. and Meth. 1993. -V. B79. - P. 443-445.

32. Saarilahti J., Rauhala E. Interactive personal-computer data analysis of ion backscattering spectra. //Nucl. Instr. and Meth. 1992-Y. B64. - P. 734-738.

33. Бусленко Н.П., Голенко Д.И., Соболь И.М., Срагович В.Г., Шрейдер Ю.А. Метод статистических испытаний (метод Монте-Карло). М.: Гос. издат. физ.-мат. лит., 1962. - 327 с.

34. Bazhukov S.I., Kibardin A.V., Pyatkova T.M. Analysis of the composition of incident hydrogen ion beams accelerated by a Van de Graaff elecrostatic accelerator. // Nucl. Instr. and Meth. 1991. - V. B58. - P. 242-246.

35. Акимов Ю.К., Калинин А.И., Кушнирук В.Ф., Юнгклауссен X. Полупроводниковые детекторы ядерных частиц и их применение. М.: Атомиздат, 1967. - 255 с.

36. Абрамов А.И., Казанский Ю.А., Матусевич Е.С. Основы экспериментальных методов ядерной физики. М.: Атомиздат, 1970. - 559 с.

37. Klein S.S., Knapen М. Detection of low-intensity alpha decay branches with semiconductor detectors. //Nucl. Instr. and Meth. 1969. - V.69. - P. 194-196.

38. Альдер К., Бор О., Хус Т., Моттельсон Б., Битер О. Изучение структуры ядра при кулоновском возбуждении ионами // Деформация атомных ядер / М.: Изд. иностр. лит., 1958. С.9-231.

39. Folkman F., Gaardle С., Huus Т., Kemp К. Proton induced X-ray emission as a tool for trace element analysis, // Nucl. Instr. and Meth. 1974. - V.I 16.1. P.487-499.

40. Gurbich A.F. On the origin of the low energy tail in charged particle spectra. // Nucl. Instr. and Meth. 1995.- V. A364. - P. 496-500.

41. Ключников А.А., Пучеров H.H., Чеснокова Т.Д., Щербин В.Н. Методы анализа на пучках заряженных частиц. Киев: Наук, думка, 1987. - 152 с.

42. Ковальский Е. Ядерная электроника. М.; Атомиздат, 1972 - 358 с.

43. Haase L.E., Khubeis I. Measurement of oxygen depth profiles using the 160(d,a)14N reaction and a fast pulse pile-up rejection,circuit. //Nucl. Instr. and Meth. 1985. -V. BIO/11. - P. 727-734.

44. Андреев B.B., Барышев В.Г., Гурбич А.Ф., Истомин И.В., Столяров А.А. Исследование поверхности диэлектрика после сканирования ртутным зондом. //Электронная техника, Сер. 6, Материалы. 1988. - Вып. 4(233). - С. 66-68.

45. Wielopolski L., Gardner R.P. Prediction of the pulse-height spectral distortion caused by the peak pile-up effect. // Nucl. Instr. and Meth. 1976. - V. 133. -P. 303-309.

46. Tenney F.H. Idealized pulse pileup effects on enebgy spectra. // Nucl. Instr. and Meth. 1984. -V. 219. - P. 165-172.

47. Weller R.A. Instrumental effects on time-of-flight spectra. // Nucl. Instr. and Meth. 1993. - Y. B79. - P. 817-820.

48. Gunzler R., Schule V., Seeliger G., Weiser M., Bohringer K., Kalbitzer S. A multisegment annular Si-detector system for RBS analysis. // Nucl. Instr. and Meth. 1988. - Y. B35. - P. 522-529.

49. Dobrovodsky J., Kovac P., Klatt Ch., Kalbitzer S. Application of a deflector-detector system for RBS analysis. // Program and Abstracts of the 4th ECAART. August 29 -September 2,1995. Zurich, Switzerland, 1995. Abstract A7.

50. Gurbich A.F., Kornilov N.V. Backscattering spectrometry with time-of-flight pile-up rejection. //Nucl. Instr. and Meth. 1991. -V. B62. - P. 151-154.

51. Немец О.Ф., Гофман Ю.В. Справочник по ядерной физике. Киев: Наук, думка, 1975. - 415 с.

52. Thomas J.-P., Engerran J., Cachard A.„ Tardy J. A telescope counter detection system applied to low energy ion-beam surface analysis. // Nucl. Instr. and Meth. 1974.-V. 119.- P. 373-380.

53. Gurbich A.F. Evaluation of non-Rutherford proton elastic scattering cross section for silicon. Nucl. Instr. and Meth. 1998. - V. B145. - P. 578-583.

54. Gurbich A.F. Pile-up suppression in backscattering spectrometry using AE-E detector telescope. // Nucl. Instr. and Meth. 1994. - V. B88. - P. 293-296.

55. Gurbich A.F. Pile-up suppression in backscattering spectrometry using particle identification technique. // Nucl. Instr. and Meth. 1996. - V. B111. - P. 137140.

56. Brandle Н., Wylie W.R., Zamboni F., Zych W. The isobarie analog pair gFe-gCo. //Nucl. Phys. 1970. -V. A151. - P. 211-224.

57. Ajzenberg-Selove F. Energy levels of light nuclei. A= 16-17. // Nucl. Phys. -1993 V. A564, P.l-123.

58. Сорока В.И. Пружне резонансне розаяння ioHiB як метод ядерного MiKpoанализу. Автореф. дис. д-ра физ.-мат. наук. Киев., 1995. - 38 с.

59. Wylie W.R., Zamboni F., Zych W. Elastic scattering of protons from chromium. // Helv. Phys. Acta 1971. - V. 44. - P. 757-762.

60. Lindston D.P. et al. Fine structure of analogue states. // Nucl. Phys. 1971. - V. A168.-P. 37-55.

61. Maurel В., Amsel G., Nadai J.P. Depth profiling with narrow resonances of nuclear reactions: theory and experimental use. // Nucl. Instr. and Meth. 1982. -V. 197.-P. 1-13.

62. Meyer M.A., Reinecke J.P.L.,, Reitmami D. A study of the 23Na(p,y)24Mg reaction and the excited states of24Mg. // Nucl. Phys. 1972. - V. A185. - P. 625-643.

63. Bodart F., Deconninck G., Demortier G. Quantitative analysis of sodium by (p,y) reactions. // J. Radioanal. Chem. 1977. - V. 35. - P. 95-108.

64. Deconninck G., Demortier G. Quantitative analysis of aluminium by prompt nuclear reactions. //J. Radioanal. Chem. 1972. - Y. 12- P. 189-208.

65. Meyer M.A.et al. Energy levels of 2»Si. // Nucl. Phys. 1975.- V. A250.- P. 235-256.

66. Rolfs C., Azuma R.E. Interference effects in l2C(p,y)13N and direct capture to unboung states. // Nucl. Phys. 1974. - V. A227. - P. 291-308.

67. Heggie J.C.P., Switkowski Z.E. A precise determination of the 12C(p,y)13N reaction Q-value. //Nucl. Instr. and Meth. 1977. -V. 147. - P. 425-429.

68. Pierce T .B., Peck P.F., Cuff D.R.A. Analytical applications of a 0.5-MeV Cockroft-Walton set based on the measurement of prompt y-radiation. // Analyst. 1967. - V. 92. - P. 143-150.

69. Brune D., Hellborg R. Studies of the carbon content of steel and its depth distribution by means of proton activation analysis. // Anal. Chim. Acta. 1970. -V. 52.-P. 109-114.

70. Старков O.B., Истомин И.В., Карабаш B.A., Кононюк М.Х., Соснин А.Н., Шорин B.C. Исследование ядерно-физическими методами массопереноса углерода и азота натриевым теплоносителем. // Атомная энергия. 1984. -Т. 57. - С. 10-14.

71. Gosset C.R. A method for determining depth profiles of transmission elementsin steel. it Nucl. Instr. and Meth. 1980. - V. 168. - P. 217-221.

72. Shulte R.L., King J.D., Taylor H.W. States in 53Mn from the 52Cr(p,y)5%ln reaction. //Nucl. Phys. 1975. -V. A243. - P. 202-214.

73. Joy Т., Barnes D.G. Some practical applications of the observation of the16 O-direct proton capture reaction with a Ge(Li) detector. it Nucl. Instr. and Meth. 1971.-V. 95.-P. 199-201.

74. Rolfs CM Rodney W.S., Durrance S., Winkler H. A new method for measurement of proton beam energies. // Nucl. Phys. 1975. - V. A240. - P. 221-234.

75. Chow H.C., Griffiths G.M., Hall Т.Н. The i60(p,y)"F direct capture cross section with an extrapolation to astropftysical energies. // Can. J. Phys. 1975. -V. 53- P. 1672-1686.

76. Gurbich A.F. PIGE with pulsed beam for high sensitivity. // Nucl. Instr. and Meth. 1997. - V. B129. - P. 439-441.

77. Folkmann F., Borgren J., Kjeldgaard A. Sensitivity in trace element analysis by p, alpha, '1бО induced X-ray. it Nucl. Instr. and Meth. 1974. - V. 119. - P. 117123.

78. Коляда B.M., Зайченко A.K., Дмитренко P.B. Рентгено-спектральный анализ с ионным возбуждением. ^ М.: Атом из дат, 1978.

79. Deconninck G., Demortier G., Bodart F. Application of X-ray production by charged particles to elemental analysis. // At. Energy Rev. 1975. V. 13. - P. 367-412.

80. Гурбич А.Ф. Анализ состава и структуры материалов на ускорителях ФЭИ. // Труды XI совещания по электоростатическим ускорителям. 27-30 ноября 1995. Обнинск, 1996. С. 48-52.

81. Гурбич А.Ф., Андреев В.А. Исследование толстых оксидных пленок методом упругого нерезерфордовского рассеяния протонов. // Труды XII международной конференции по электростатическим ускорителям. 25-28 ноября 1997. Обнинск, 1999. С. 18-20.

82. Troocellier P., Nens В., Engelmarai С. Measurements of the hydrogen sodium and aluminium cooncentration versus depth in the near surface region of glasses by resonant nuclear reactions. //Nucl. Instr. and Meth. 1982. - V. 197. - P. 15-25.

83. Гурбич А.Ф., Истомин И.В., Расторгуев М.И., Семенов А.В. Ядерный микроанализ примеси натрия в термически окисленном кремнии. // Электронная промышленность. 1987. - Вып. 4(162). - С. 45-46.

84. Балин В.Г., Гурбич А.Ф., Истомин И.В., Карабаш В.А., Старков О.В., Шорин B.C. Ядерно-физический метод исследования массопереноса углерода в материалах парогенераторов АЭС. Препринт ФЭИ-1341. - Обнинск, 1982.

85. Старков О.В. Об особенностях проникновения натрия в сталь. Препринт ФЭИ-1370. - Обнинск, 1983.

86. Бескоровайный Н.М., Иолтуховский А.Г. Конструкционные материалы и жидкометаллические теплоносители. М.: Энергоатомиздат, 1983.

87. Гурбич А.Ф., Истомин И.В., Семенов А.В. Ядерно-физический метод анализа состава поверхности стенки парогенератора БН-600. // Атомная энергия. Т. 68. - 1990. - С. 204-206.

88. Mayer J.W., Ziegler J.F., Chang L.L., Tsu R., Esaki L. Profiling of periodic structures (GaAs-GaAlAs) by nuclear backscattering. // J. Appl. Phys. V. 44. -P. 2322-2325.

89. Kalish R., Bahir C. PIXE analysis of compound materials. // Nucl. Instr. and Meth. 1983. -V. 218. - P. 415-419.

90. Чернов И.П., Шадрин В.Н. Анализ содержания водорода и гелия методом ядер отдачи. М.: Энергоатомиздат, 1988.

91. Хабибулаев П.К. Скородумов Б.Г. Ядерно-физические методы определения водорода в материалах. Ташкент: Фан, 1985.

92. Соснин А.Н., Шорин B.C. Программ но-математическое обеспечение ядерного микроанализа мишеней многокомпонентного состава. Препринт ФЭИ-2192. - Обнинск, 1991.

93. Turos A., Meyer О. Depth profiling of hydrogen by detection of recoiled protons. // Nucl. Instr. and Meth. 1984. - V. B4. - P. 92-97.

94. Sellschop J.P.F., Connel S.H. A detailed inventory of all reactions of interest or potential interest to IBA. //Nucl. Instr. and Meth. 1994. - V. B85. - P. 1-19.

95. Vickridge I.C. Proposed ASCII format for communication of reaction cross sections in the IBA community. // DSIR Physical Sciences Report 33. Lower Hutt, New Zealand, 1991, - 7 p.

96. Leavitt J.A., Mclntyre Jr., L.C., Ashbaugh M.D., Oder J.G., LinZ., Dezfouly-Aijomandy B. Cross sections for 170.5° backscattering of 4Hefrom oxygen. // Nucl. Instr. and Meth. 1990. - V. B44. - P. 260-265.

97. Knox J.M., Harmon J.F. Non-Rutherford elastic scattering in fluorine. II Nucl. Instr. and Meth. 1989. - V. B44. - P. 40-42.

98. Nuclear Data Newsletter No.23. IAEA, 1997.

99. Гурбич А.Ф., Ершова B.A. База данных по сечениям ядерных реакций для ядерного микроанализа. // Вопросы атомной науки и техники. Серия: Ядерные константы. Вып.1 - 1996. С. 99-101.

100. Gurbich A.F., Ignatyuk A.V. Cross section data base for ion beam analysis. // Conference Proceedings. 1997. -V. 59. - P. 1740-1742.

101. Luomajarvi M., Rauhala E., Hautala M. Oxygen detection by non-Rutherford proton backscattering below 2.5 MeV. // Nucl. Instr. and Meth. 1985. - V. B9. - P. 255-258.

102. Amirikas R., Jamieson D.N., Dooley S.P. Measurement of (p,p) elastic cross sections for С, О and. Si in the energy range 1.0-3.5 MeV. // Nucl. Instr. and Meth. 1993. -V. B77. - P. 110-116.

103. Ходгсон П.Е. Оптическая модель упругого рассеяния. М.: Атомиздат, 1966.-232 с.

104. Gyarmati В., Lovas R.G.„ Vertse Т., Hodgson Р.Е. Low-energy behaviour of the real depth of the proton optical potential. //J. Phys. 1981. -V. G7. - P. L209-L213.

105. Зеленская H.C., Теплов И.Б. Обменные процессы в ядерных реакциях. -М.: МГУ, 1985.- 167 с.

106. Veeser L., Haeberly W. Polarization measurements near isobaric analogue resonances in i»La and141 Pi'. // Nucl. Phys. 1968. - V. A115. - P. 172-184.

107. Bersilon O. The computer code SCAT-2. // Workshop on applied nuclear theory and nuclear model calculations for nuclear technology applications. 15 February -18 March 1988. Triest, 1988. - SMR/284-16.

108. Kailas S., Mehta M.K., Gupta S.K., Viyogi Y.P., Ganguly N.K. Proton optical model potential at sub-Coulomb energies for medium weight nuclei. // Phys. Rev. 1979. -V. C20. - P. 1272-1278.

109. Титаренко H.H. О неоднозначности расчета сечений упругого и неупругого рассеяния протонов на ядрах в области кулоновского барьера. -Препринт ФЭИ-1081. Обнинск, 1980. -13 с.

110. Гурбич А.Ф., Титаренко Н.Н. Протонный оптический потенциал для яядра 90Zr вблизи кулоновского барьера. // Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Ядерные константы. 1996. - Вып. 2. - С. 142-148.

111. Титаренко Н.Н. Применение численных методов оптимизации в расчетах двухчастичных ядерных реакций. Препринт ФЭИ-1868. - Обнинск, 1987.

112. Титаренко Н.Н. Программа СМТ-80. Расчет сечений бинарных реакций в рамках статистической модели. Препринт ФЭИ-1260. - Обнинск, 1982.

113. Salomonovic R. Angular distribution of proton non-Rutherford elastic scattering cross section of carbon and silicon. //Nucl. Instr. and Meth. 1993. - V.B 82. - P. 1-6.

114. И 9. Guohua Y., Dezhang Z., Hongjie X., Haochang P. Proton elastic scattering for light element cross section enhancement with Ep > 2.5 MeV. // Nucl. Instr. and Meth. 1991. -V. В 61. - P. 175-177.

115. Liu Z.f Li В., Duan Z., He H. Cross section measurements for 170° backscatter-ing of protons from carbon in the energy range 0.3-3.0 MeV. // Nucl. Instr. and Meth. 1993. - V. B74. - P. 439-442.

116. Goldhaber G., Williamson R.M. Elastically scattered protons from carbon. // Phys. Rev. 1951. - V. 82 - P. 495-498.

117. Jackson H.L., Galonsky A.I., Eppling F.J., Hill R.W., Goldberg E., Cameron J.R. The Q2(p,p)Q2 differential cross section. // Phys. Rev. 1953. - V.89 - P. 365-369.

118. Reich C.W., Phillips G.C., Russel J.L., Jr. // Phys.Rev. 1956. - V. 104. - P. 143.

119. Barnard A.C., Swint J.В., Clegg T.B. Cross sections as a function of angle and complex phase shifts for the scattering of protons from 12C. // Nucl. Phys. -1966.-V. 86-P. 130-144.

120. Meyer H.O., Plattner G.R., Sick I. Elasticp + l2C scattering between 0.3 and 2.0 MeV. // Z.Physik . 1976. - V. A279 - P. 41.

121. Rauhala E. Proton elastic scattering cross section of carbon nitrogen and silicon for backscattering analysis in the energy range 0.7-2.5 MeV. // Nucl. Instr. and Meth. 1985. - V В 12. - P. 447-452.

122. Liu J., Xie Т., Fischbeck H ,J. Nuclear resonance effects in the analysis of proton backscattering from carbon and silicon films. // Nucl. Instr. and Meth. -1993.-V. B79.-P. 468-470.

123. Ajzenberg-Selove F. Energy levels of light nuclei. A=13-15. //Nucl. Phys. -1991. -V. A 523- P. 46.

124. Mazzoni S., Chiari M., Giuntini L., Mando P.A., Taccetti N. Proton elastic scattering cross section on carbon from 350 keV to 3 MeV. // Nucl. Instr. and Meth. 1998. - P. 86-90.

125. Bozoian M., Hubbard K.M., Nastasi M. Deviations from Rutherford-scatteringcross sections, // Nucl. Instr. and Meth. 1990. - V. B51. - P. 311-319.

126. Tang J., Sun Y., Cheng H., Shen H. Comments on the classical approach to non-Rutherford cross-section calculations. //Nucl. Instr. and Meth. 1993. - V. B74 . - P. 491-495.

127. Gurbich A.F. Evaluation of non-Rutherford proton elastic scattering cross section for carbon. // Nucl. Instr. and Meth. 1998. - V. B136-138. - P. 60-65.

128. Gurbich A.F, Proton elastic scattering cross section for carbon: confrontation of theory and experiment. // Nucl. Instr. and Meth. 1999. - Y. B152. - P. 403405.

129. Mazzoni S., Chiari M., Giuntini L., Mando P.A., Taccetti N. Erratum to: " Proton elastic scattering cross section on carbon from 350 keY to 3 MeV" jNIM В 136-138 (1998) 86-90. //Nucl. Instr. and Meth. 1999. -V. B159.-P.191.

130. Laubenstein R.A., Laubenstein M. J.W., Koester L.J., Mobley R.C. The elastic scattering and capture of protons by oxygen. // Phys. Rev. 1951. - V. 84. - P. 12-18.

131. Laubestein R.A., Laubenstein M. J.W. Assignment of angular momenta to the energy levels of F". // Phys. Rev. 1951. - V. 84. - P. 18-28.

132. Eppling F.J., Cameron J.R., Davis R.H., Divatia A.S., Galonsky A.I., Goldberg E., Hill R.W. The elastic scattering of protons by O16. // Phys. Rev. 1953. -V. 91.-P. 438.

133. Ajzenberg-Selove F. Energy levels of light nuclei. A=16-17. //Nucl. Phys. -1986.-V. 460.-P.1.

134. Salisbury S.R., Richards H.T. F" level parameters. // Phys. Rev. 1962. - V. 126.-P. 2147-2158.

135. Salisbury S.R., Hardie G., Oppliger L., Dangle R. Proton-oxygen differential cross sections. // Phys. Rev. 1962. - V. 126. - P. 2143-2147.

136. Harris R.W., Phillips G.C., Miller Jones C. Phase-shift analysis of the elastic scattering of protons from oxygen. // Nucl. Phys. 1962. - V. 38. - P. 259.

137. Gomes V., Douglas R.A., Polga Т., Sala O. The Ep=2.66 MeV resonance in 016(p,p)0. //Nucl. Phys. 1965. - Y. 68. - P. 417-425.

138. Chow H.C., Griffits G.M., Hall Т.Н. The i60(p.y)"F direct capture cross section with an extrapolation to astrophysical energies. // Can. J. Phys. 1975. -V.53 - P. 1672-1686.

139. Braun M., Fried T. Elastic backscattering cross sections of protons on oxygen. // Z. fur Physik. 1983. - V. A311. - P. 173-175.

140. Becchetti F.D., Jr., Greenlees G.W. Nucleon-nucleus optical-model parameters, A>40, E<50 MeV. ii Phys. Rev. 1969. - V. 182. - P. 1190-1209.

141. Gurbich A.F. Evaluation of non-Rutherford proton elastic scattering cross section for oxygen. // Nucl. Instr. and Meth. 1997. - V. B129. - P. 311-316.

142. Вальтер A.K., Малахов И.И., Сорокин П.В., Таранов А.И. Упругое рассеяние протонов ядрами Si28. Спин и четность уровней 4,31 и 4,73 MeV ядра Р^. // Изв. АН СССР Сер. физ. 1958. - Т. 22. - С. 871-876.

143. Belote Т.А., Kashy Е., Risser J.R. Excited states in P29 from scattering of protons by Si" ii Phys. Rev. 1961. - V. 122. - P. 920-928.

144. Vorona J., Olness J.W., Haeberli W., Lewis H.W. Levels of P29 from Si28(p,p)Si28 and Si^(p,p')Si2s*. // Phys. Rev. 1959. - V. 116. - P. 1563-1571.

145. Endt P.M. Energy levels of Z=11-21 nuclei, ii Nucl. Phys. 1990. - V. A 521. -P. 294.

146. Perey F.G. Optical-model analysis of proton elastic scattering in the range of 9 to 22 MeV. ii Phys. Rev. 1963. - Y. 131. - P. 745-763,

147. Львов A.H., Попов А.И., Сорокин П.В., Сторижко В.Е. Уровни Р30. // Изв. АН СССР Сер. физ. 1966. - Т. 30. - С. 439-443.

148. Nelson R.O., Bilpuch E.G., Westerfeldt C.R. Proton resonances in з°Р. // Phys. Rev. 1983. - V. С 27. - P. 930-938.

149. Вальтер A.K., A.I., Попов А.И., Сторижко В.Е. Упругое рассеяние протонов ядрами Si30. //ЖЭТФ 1962. - Т. 43. - С. 2038-2041.

150. Cheng H.-S., Shen H., Tang J„ Yang F. // Acta Physica Sinica 1994. - ¥. 43. - P. 1569.

151. Healy M.J.F., Gurbich A.F. New data on the proton elastic scattering cross section for silicon. // Ion Beam Analysis: Final programme and abstracts of the 14th international conference. 26-30 July 1999. Dresden, 1999. P. 73.

152. Leavitt J.A., Mclntyre L.C., Jr. Non-Rutherford 4He cross sections for ion beam analysis. // Nucl. Instr. and Meth. 1991. - V. B56/57. - P. 734-739.

153. TongS.Y„ Lennard W.N., Alkemade P.F.A., Mitchell I.V. Behaviour of the 12C(4He,4He)12C elastic scattering cross section at E=0.4-1.8 MeV. // Nucl. Instr. and Meth. 1990. -V. В 45. - P. 30-32.

154. Gosset C.R. Non-Rutherford elastic backscattering for light element cross section enhancement. //Nucl. Instr. and Meth. 1989. -V. B40/41. - P. 813-816.

155. Feng Y., Zhou Z,, Zhou C., Zhao G. Cross sections for 165° backscattering of 2.0 -9.0 MeV 4He from carbon. // Nucl. Instr. and Meth. 1994. - V. В 86. - P. 225-230.

156. Hill R.W. Elastic scattering of alpha-particles by carbon. // Phys. Rev. 1953. - V. 90. - P. 845-848.

157. Bittner J.W., Moffat R.D. Elastic scattering of alpha particles by carbon. // Phys. Rev. 1954. - V. 96. - P. 374-377.

158. Jones С. M., Phillips G.C., Harris R.W., Beckner E.H. The scattering of alpha particles from 12c. //Nucl. Phys. Nucl. Phys. - 1962. -V. 37. - P. 1-22.

159. Marvin T.P., Singh P.P. Energy levels of 160 between 10.0 and 17.1 MeV excitation. // Phys. Rev. 1972. - V. A 180. - P. 282-310.

160. Clark G.J., Sullivan D.J., Treacy P.B. lzC+a elastic scattering and states of 160 between 9.16 and 12.11 MeV. // Nucl. Phys. 1968. - V. A 110. - P. 481-489.

161. Plaga R., Becker H.W., Redder A., Rolfs C., Trautvetter H.P., Langanke K. The scattering of alpha particles from 12C and 1гС(а,у)1бО stellar reaction rate. // Nucl. Phys. 1987. - V. A 465. - P. 291-316.

162. Somatri R., Chailan J.F., Chevarier A., ChevarierN., Ferro G., Monteil Y., Vincent H., Bouix J. Alpha backscattering used in stoichiometiy determination of thin SiC coatings on Si(100) wafers. // Nucl. Instr. Meth. 1996. - V. B113. -P. 284-287.

163. Gurbich A.F. Evaluation of the cross sections for elastic scattering of 4He from carbon and oxygen. // Ion Beam Analysis: Final programme and abstracts of the 14th international conference. 26-30 July 1999. Dresden, 1999. P. 72.