Рассеивающая (локализующая) способность электролитов в контролируемых гидродинамических условиях тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.17.03, кандидат технических наук Яковец, Инна Викторовна

• Яковец, Инна Викторовна
• кандидат технических наук
• 2008

Оглавление диссертации кандидат технических наук Яковец, Инна Викторовна

ВВЕДЕНИЕ.

1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧ

ИССЛЕДОВАНИЯ.

1.1. Рассеивающая способность электролитов при катодном осаждении металлов.

1.1.1. Методы определения рассеивающей способности электролитов.

1.1.2. Интенсификация процессов электроосаждения и рассеивающая способность.

1.2. Распределение тока на поверхности электродов в контролируемых гидродинамических условиях.

1.2.1. Первичное распределение тока на вращающемся дисковом электроде.

1.2.2. Первичное распределение тока на вращающемся цилиндрическом электроде с диэлектрическим кожухом.

1.2.3. Распределение тока на вращающемся дисковом и цилиндрическом электродах при диффузионном контроле скорости реакции.

1.3. Рассеивающая (локализующая) способность электролитов в условиях электрохимической размерной обработки.

1.4. Локализация процессов микрообработки при нанесении изолирующих слоев на анодно растворяющейся поверхности.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Рассеивающая (локализующая) способность электролитов в контролируемых гидродинамических условиях»

Актуальность работы. В настоящее время электрохимические методы обработки поверхностей (включая микрообработку) получают все большее распространение, что позволяет находить новые области их приложения и широко использовать в промышленности.

Наиболее известный метод электрохимической обработки - получение гальванических покрытий на поверхностях деталей. Электроосаждаемые слои наносятся на поверхности, имеющие сложный профиль, изготавливаемые из разнообразных материалов, что требует применения различных методов обработки. При этом увеличивается число параметров, требующих контроля для управления процессом. Также возрастают требования к качеству гальванических покрытий и равномерности их нанесения, либо, наоборот, локального осаждения в сочетании с интенсификацией процессов.

Для оценки равномерностью толщины получаемых покрытий применяется понятие рассеивающей (локализующей) способности электролитов. На сегодняшний день существует немало методов определения рассеивающей способности. Однако, ни один из известных методов непригоден для определения рассеивающей (локализующей) способности в условиях интенсивного протекания процесса, которые, как правило, обеспечиваются применением интенсивных гидродинамических режимов. Использование интенсивных гидродинамических режимов, в свою очередь, требует разработки метода определения рассеивающей способности при контролируемых гидродинамических условиях.

В настоящее время большое внимания уделяется таким методам электрохимической размерной обработки как электрохимическая микрообработка, что продиктовано требованиями современных технологий и диктует создание новых. Повышение технических требований к точности и качеству поверхностей деталей машин и приборов позволяют расширить области использования электрохимической микрообработки. Также как и для процессов электроосаждения, возможна интенсификация процессов электрохимической микрообработки путем их осуществления в контролируемых гидродинамических условиях.

В случае применения электрохимической микрообработки в условиях анодного растворения немаловажную роль играет локализация процесса. Для достижения высокой степени локализации с успехом используется нанесение на обрабатываемую поверхность изолирующих масок. Одним из наиболее простых в изготовлении и недорогих видов является самоклеющаяся поливиншшюридная маска.

Степень локализации в условиях электрохимической микрообработки при наличии изолирующей маски определяется подтравливанием под изоляцию. Для процессов электрохимической микрообработки при наличии масок подтравливание под изоляцию, а, следовательно, и локализация, в значительной мере зависят от гидродинамических режимов, определяющих величину предельных токов анодного растворения. Поэтому необходима разработка методов определения локализующей способности процесса анодной обработки (травления поверхности) в контролируемых гидродинамических условиях.

Настоящая работа посвящена:

- разработке методов определения рассеивающей способности, а также локализующей способности электролитов при интенсивных режимах электролиза в контролируемых гидродинамических условиях;

- разработке метода определения локализующей способности в контролируемых гидродинамических условиях в условиях электрохимической микрообработки с применением изолирующих масок;

- использованию разработанных методов для определения рассеивающей и локализующей способности применительно к различным электрохимическим технологиям, основанным на процессах электроосаждения и электрохимической микрообработки с использованием изолирующих масйк;

- разработке основ технологии электрохимической микрообработки получения серии сложнопрофильных полостей с применением изолирующих масок.

Работа выполнена в НИЛ «Электрохимические производства» при кафедре «Технология машиностроения» Приднестровского государственного университета им.Т.Г.Шевченко в рамках заданий плана НИР.

Цель работы состояла в разработке методов определения рассеивающей (локализующей) способности в контролируемых гидродинамических условиях, экспериментальном исследовании с применением разработанных методов рассеивающей (локализующей) способности различных электролитов при электроосаждении и электрохимической микро-обработки; экспериментальному исследованию влияния условий ионного массопереноса на локализацию травления при анодном растворении; разработке основ технологии электрохимической микрообработки получения серии сложнопрофильных полостей с применением изолирующих масок.

Научная новизна работы состоит в том, что в ней: - описан разработанный при участии автора новый метод определения рассеивающей (локализующей) способности электролитов при электроосаждении и анодном растворении в интенсивных условиях обработки с использованием модификации ячейки Хулла с вращающимся цилиндрическим электродом;

- при использовании данной электродной системы на примере электроосаждения меди из медносульфатных электролитов показано, что при значениях icp / inp < 0,2 рассеивающая способность определяется исключительно вторичным распределением тока. При icp / inp > 0,2 наблюдается влияние эффектов ионного массопереноса, приводящее в данной электродной системе к значительному росту рассеивающей способности вследствие отличного, чем при низких значениях icp / inp, распределения катодной поляризуемости вдоль поверхности вращающегося цилиндра. Показана возможность значительного увеличения рассеивающей способности за счет применения низкоконцентрированных (разбавленных по основному реагенту) электролитов, что имеет немаловажное значение с экологической точки зрения в виду снижения нагрузки на окружающую среду;

- впервые разработана методика определения локализующей способности электролитов с использованием «утопленного вращающегося дискового электрода» и показаны возможность измерения локализующей способности электролитов различных составов и концентраций при нанесении изолирующих масок на обрабатываемой поверхности в зависимости от электрических и гидродинамических условий и контроля скорости ионного массопереноса, что позволяет «переносить» оптимальные условия обработки на отличные в гидродинамическом отношении системы;

- с применением электродной системы с утопленным вращающимся дисковым электродом для анодного растворения хромоникелевых сталей при нанесении на анодную поверхность изолирующей маски показано, что максимальная локализация травления и минимальная шероховатость получаемой после обработки поверхности достигается в условиях анодных предельных токов, определяемых скоростью ионного массопереноса в растворе, что позволяет выбирать оптимальные режимы обработки, включая плотности тока, гидродинамические условия, а также составы электролитов и их концентрации; Практическая значимость работы:

В рамках выполненной работы ее практическими результатами являются:

- возможности применения разработанных методов определения рассеивающей (локализующей) способности разнообразных электролитов при различных видах электрохимической обработки материалов;

- определение оптимальных условий, электрических и гидродинамических режимов при различных видах электрохимической обработки;

- возможность значительного увеличения рассеивающей способности путем применения низкоконцентрированных (по основному реагенту) сернокислых медносульфатных электролитов при электроосаждении меди;

- метод управления рассеивающей (локализующей) способности в условиях импульсного анодно-катодного растворения путем варьирования средней анодной плотностью тока (соотношением величин заряда в анодном и катодном импульсах (Qa/Qk))',

- разработаны научные основы технологии получения серии глухих сложнопрофильных полостей малой глубины анодным растворением в условиях электрохимической микрообработки с применением изолирующих масок, включающие выбор электролита, токовые и гидродинамические режимы процесса, обеспечивающие ее реализацию в условиях производства.

Результаты работы используются для разработки и промышленного внедрения технологии получения серии глухих сложнопрофильных полостей малой глубины анодным растворением в условиях электрохимической микрообработки Московским машиностроительным производственным предприятием «Салют».

Разработанный метод определения рассеивающей способности электролитов с использованием модификации ячейки Хулла с вращающимся цилиндрическим электродом принят к использованию ЗАО «Тираспольский электроаппаратный завод».

Научные результаты работы были использованы в Приднестровском государственном университете им. Т.Г.Шевченко для разработки на их основе лабораторных работ по курсам «Основы электрохимии и электрохимической технологии» и «Технология и оборудование нетрадиционных методов обработки».

Полученные результаты могут стать исходным научным материалом для дальнейших исследований в указанных направлениях.

На защиту выносятся:

- метод определения рассеивающей (локализующей) способности электролитов при различных видах и условиях обработки с использованием модификации ячейки Хулла с вращающимся цилиндрическим электродом;

- экспериментальные результаты, подтверждающие выводы о том, что электрические и гидродинамические режимы при различных видах обработки с применением электродной системы, использующей модификацию ячейки Хулла с вращающимся цилиндрическим электродом позволяют управлять значениями рассеивающей (локализующей) способности электролитов;

- методика определения локализующей способности электролитов с использованием «утопленного вращающегося дискового электрода» и экспериментальные данные, показывающие возможность измерения локализующей способности электролитов различных составов и концентраций при нанесении изолирующих масок на обрабатываемой поверхности в зависимости от электрических и гидродинамических условий и контроля скорости ионного массопереноса, что позволяет «переносить» оптимальные условия обработки на отличные в гидродинамическом отношении системы;

- метод получения серии глухих сложнопрофильных полостей малой глубины 15 мкм) в деталях из сложнолегированных сталей, основанный на использовании анодного растворения в условиях электрохимической микрообработки при нанесении изолирующей маски на анодной поверхности утопленного вращающегося дискового электрода, задающей форму полостей;

- научные основы технологии получения серии глухих сложнопрофильных полостей малой глубины анодным растворением в условиях электрохимической микрообработки с применением на анодной поверхности утопленного вращающегося дискового электрода изолирующих поливинилхлоридных масок, включающие выбор электролита, токовые и гидродинамические режимы процесса, обеспечивающие ее реализацию в условиях производства.

Апробация результатов работы осуществлялась путем:

- публикаций результатов исследований в рецензируемых изданиях;

- докладов и обсуждений результатов работы на конференциях, в том числе международных: I и П международных научно-технических конференциях «Электрохимические и элекгролитно-плазменные методы модификации металлических поверхностей» (Россия, г. Кострома, 2003 и 2007 гг.); П и Ш международных научно-практических конференциях «Региональные особенности развития Машино- и приборостроения, информационных технологий, проблемы и опыт подготовки кадров» (ПМР, г. Тирасполь, 2004 и 2006 гг.); Ш Международной научно-практической конференции «The Third International Conference Ecological Chemistiy» (Молдова, г. Кишинев, 2005 г.); и региональных научных конференциях профессорско-преподавательского состава ПТУ им. Т.ГЛ1евченко» (ПМР, г. Тирасполь, 2003 - 2008 гг.).

Достоверность и обоснованность полученных результатов исследований обеспечена корректным применением апробированных, взаимодополняющих и практически подтвержденных научно обоснованных методов исследования, качественного и количественного анализа данных, полученных в результате исследования, согласованностью с основными выводами и теоретическими положениями электрохимии и технических наук, а также практики; глубиной и объемом проанализированного материала; использованием приборов, регулярно поверяемых метрологической службой. Погрешности измерений оценивались по многократным измерениям с последующей обработкой результатов методами математической статистики. Подтверждением правильности полученных результатов является их практическая реализация в условиях промышленного производства. При оценке воспроизводимости экспериментально полученных данных использовались методы статистической обработки. Обоснованность выводов и результатов подтверждается успешно проведенными лабораторными испытаниями.

Личный вклад автора. С 2000 г. автор являлся исполнителем ряда тем исследований, а также научным руководителем дипломных работ студентов, основные результаты которых вошли в диссертационную работу. Автором совместно с научным руководителем поставлены цели и задачи исследования, проведен критический анализ литературных данных по теме диссертации. Экспериментальные результаты, а также теоретические обобщения и расчеты, представленные в работе, выполнены под руководством научного руководителя или лично автором, а также при участии соавторов публикаций.

Публикации. Основное содержание диссертационной работы изложено в 18 печатных работах, включающих 8 статей, в том числе 6 в ведущих журналах (из них 3 журнала ВАК России), 6 тезисов докладов, 4 патентами, подтверждающими прикладные результаты работы.

Структура и объем диссертационной работы. Диссертационная работа изложена на 155 страницах, содержит 51 рисунок, 12 таблиц и состоит из 5 глав с выводами, включает введение, обзора литературы, методику исследований, экспериментальную часть, основные выводы работы, список цитируемой литературы из 159 наименований, и приложений.

Заключение диссертации по теме «Технология электрохимических процессов и защита от коррозии», Яковец, Инна Викторовна

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Разработан метод определения рассеивающей (локализующей) способности электролитов при электроосаждении и анодном растворении в контролируемых гидродинамических условиях с использованием модификации Хулла с вращающимся цилиндрическим электродом (ВЦЭ). К основным достоинствам метода следует отнести возможность контроля и управления всеми тремя типами распределения тока (первичного, вторичного и третичного) и возможность применения для определения рассеивающей или локализующей способности электролитов при интенсивных режимах проведения различных электрохимических процессов. Метод применен к определению рассеивающей (локализующей) способности:

- интенсивного электроосаждения меди из электролита меднения с использованием постоянного тока;

- стандартного электролита хромирования при осаждении на постоянном токе и с применением импульсных режимов;

- процесса импульсного анодно-катодного растворения малоуглеродистой стали в 2 М NaN03.

2. Определена PC электролита меднения ((0,15 - 0,5) М C11SO4 + 1 М H2SO4) при различных соотношениях средней рабочей плотности токам (icp) к плотности предельного тока (inp). Установлено, что тафелевская аппроксимация применима для вышеуказанной системы при значениях icp/iw< 0,2, когда PC определяется исключительно вторичным распределением тока. Показано, что при icp / i„p > 0,2 большую роль играют эффекты ионного массопереноса (концентрационной поляризации), приводящие к существенно отличному, чем при низких значениях icp/ распределению катодной поляризуемости вдоль поверхности ВЦЭ. Это приводит в данной электродной системе к росту PC, обусловленному равнодоступностью поверхности вращающегося цилиндра в отношении распределения скоростей массопереноса. Область оптимальных (с точки зрения равномерности электроосаждения) значений / находится в пределах / ~ 0,4 — 0,5. Показано, что достижение высоких значений PC обеспечивается в разбавленных по основному реагенту электролитах, снижающих нагрузку на окружающую среду и упрощающих утилизацию отходов производства, что является значимым с экологической точки зрения.

3. Разработанным методом определена PC стандартного электролита хромирования с применением импульсных режимов и на постоянном токе. Установлено, что в отличие от электроосаждения на постоянном токе, при котором PC отрицательна, использование импульсного осаждения в секундном диапазоне длительностей импульса (скважность q — 4, т11МП = 2с) позволяет достичь значений PC ~ 90%.

4. Применение метода и электродной системы к процессу импульсного анодно-катодного растворения малоуглеродистой стали в 2 М NaNOs показало, что варьирование средней анодной плотностью тока (или соотношением величин заряда в анодном и катодном импульсах (Qa / QK)) позволяет управлять рассеивающей (локализующей) способностью. Показано, что подобная возможность обусловлена такой зависимостью выхода цо току растворения от средней плотности тока (Qa / QK), при которой, в определенной области значений Qa / QK наблюдается максимум выхода по току.

5. Разработана методика определения локализующей способности электролита (JIC) с использованием «утопленного вращающегося дискового электрода» (УВДЭ). Показана возможность измерения JIC электролитов различных составов и концентраций при нанесении изолирующих масок на обрабатываемой поверхности в зависимости от электрических и гидродинамических условий и контроля скорости ионного массопереноса, что позволяет «переносить» оптимальные условия обработки на отличные в гидродинамическом отношении системы. Использование электродных поверхностей, расположенных эксцентрично на ВДЭ (УВДЭ), позволяет моделировать условия ЭХРО при частичной изоляции анодной поверхности с целью определения оптимальных режимов обработки (степени локализации, скорости растворения и шероховатости поверхности).

6. На примере анодного растворения стали 12Х18Н10Т в хлоридных растворах показано, что максимальная локализация травления и минимальная шероховатость обработанной поверхности достигается в условиях анодных предельных токов, определяемых скоростью ионного массопереноса в растворе, что позволяет выбирать оптимальные режимы обработки, включая плотности тока, гидродинамические условия, составы и концентрации электролитов.

7. Предложен метод обработки серии глухих сложнопрофильных полостей малой глубины 15 мкм) в деталях из сложнолегированных сталей, основанный на использовании анодного растворения в условиях электрохимической микрообработки при нанесении изолирующей маски на анодной поверхности, задающей форму полостей. Разработаны научные основы технологии, включающие выбор электролита, токовые и гидродинамические режимы процесса, обеспечивающие ее реализацию в условиях производства.

8. Разработаные основы технологии переданы авиационному Московскому машиностроительному производственному предприятию «Салют» и в настоящее время на их основе производится создание и внедрение промышленной технологии.

Разработанный метод определения PC электролитов с использованием модификации ячейки Хулла с ВЦЭ, дающий возможность контроля и управления режимами обработки, принят к использованию ЗАО «Тираспольскии электроаппаратный завод».

Полученные в диссертационной работе научные результаты в настоящее время используются в Приднестровском государственном университете им. Т.Г.Шевченко в разработанных на их основе лабораторных работах по курсам «Основы электрохимии и электрохимической технологии» и «Технология и оборудование нетрадиционных методов обработки», а также в учебной практике.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Яковец, Инна Викторовна, 2008 год

1. Кудрявцев Н.Т. Электролитические покрытия металлами // М.: Химия, 1979-352 с.

2. Зайдман Г. Н., Петров Ю. Н. Формообразование при электрохимической размерной обработке металлов // Акад. наук МССР — Кишинев: Штиинца, 1990 208 с. - ISBN 5-376-00651-4.

3. Давыдов А. Д., Козак Е. Высокоскоростное электрохимическое фор-мообразорвание // М.: Наука, 1990 — 272 с.

4. Физико-химические методы обработки в производстве газотурбинных двигателей : учеб. пособие / Ю.С.Елисеев и др.; под ред. Б.П.Саушкина//М: Дрофа, 2002 656с.: ил., 16с. цв. вкл. -ISBN5-7107-6055-2.

5. Вайнер Я. В., Дасоян М. А. Технология электрохимических покрытий : учеб. для хим. техникум. // Изд.2 -е ; перераб. И доп. Л.: Машиностроение, 1972 — 464 с. : ил.

6. Гамбург Ю. Д. Электрохимическая кристаллизация металлов и сплавов // М.: Янус -К, 1997- 384 с.: ил. ISBN 5-88929-035-5.

7. Справочник по электрохимии. Под ред. А.М.Сухотина ПЛ. Химия, 1981 — 488 е., С. 269-308, 309.

8. Гамбург Ю. Д. Гальванические покрытия. Справочник по применению ИМ.: Техносфера, 2006 216 с. - ISBN 5-94836-079-2.

9. Крутиков С. С., Коварский Н. Я. Выравнивание микронеровностей при электроосаждении металлов // Электрохимия. Итоги науки и техники. М.: ВИНИТИ, 1975, том 10 С. 106-188.

10. Давыдов А. Д. Итоги науки и техники. Высокоскоростное катодное и анодное электрохимическое формообразование // Электрохимия. М.: ВИНИТИ, 1989, том 29 С. 38.

11. Прикладная электрохимия. Издание 2-е. Под ред. Н.Т.Кудрявцева // М.: Химия, 1985 552 с.

12. Дикусар А. И., Энгельгардт Г. Р., Петренко В. И., Петров Ю.Н. Электродные процессы и процессы переноса при электрохимической размерной обработке //К.: Штиинца, 1983 208 с.

13. Румянцев Е. М., Давыдов А. Д. Технология электрохимической обработки металлов // М.: Высшая школа, 1984 159 с.

14. Дикусар А. И., Петренко В. И. Факторы, определяющие рассеивающую способность электролитов при электрохимической размерной обработке металлов // Теория и практика электрохимической обработки металлов. К.: Штиинца, 1976—С. 43.

15. Каданер Л. И. К вопросу о рассеивающей способности электролитов // Ж. физ. химии. 1955, том 29 С. 832 - 838.

16. Кудрявцев Н.Т., Никифорова А. А. // ЖПХ 1949, том 22 С. 367 -376. (Цит. по 10.).

17. Практикум по прикладной электрохимии. Учебное пособие для вузов. Н.Т.Кудрявцев, П.М.Вячеславов (ред.) ПЛ.:Химия, 1980

18. Каданер Л. И. Справочник по гальваностегии // Киев: Техтка, 1976— 254 с.

19. Nohse W. The Investigation of Electroplating and Rerated Solution with the Aid of the Hull Cell. I I Taddington, Robert Draper LTD, 1966.

20. Маслий А.И., Поддубный Н.П., Пирогов Б.Я. Влияние формы и размера щели на распределение тока в щелевой ванне // Электрохимия, 1970, том 6 —С. 70 73.

21. Mohler I. В. // Metal Finish, 1972, том 70 -Р. 38 42. (Цит. по 10.).

22. ГОСТ 9.309-86. «Единая система защиты от коррозии и старения. Покрытия гальванические. Определение рассеивающей способности электролитов при получении покрытий».

23. Помогаев М.В. Разработка методов измерения рассеивающей способности электролитов и повышение равномерности гальванических покрытий с применением дополнительных приспособлений Дис. канд. техн. наук // Иваново, 2004.

24. Щербак М.В., Толстая М.А., Анисимов А.П., Постогонов В.Х. Основы теории и практики электрохимической обработки металлов и сплавов // М.: Машиностроение, 1981 263 с.

25. Давыдов А. Д., Левит М JL, Цветков И.В. Высокоскоростное электрохимическое выделение меди. Электродные процессы // Электрохимия, 1982, том 18, М 9- С. 1170-1173.

26. Jansson R.E.W., Ashworth G.A. The Continuous Deposition of metal Powders in a Pump Cell // J. Appl. Electrochem., 1977, Vol. 7,№>4,P 309 314.

27. Любимов B.B., СундуковВ.К., Белобрагин Ю.А., Новоселов A.M. Изучение начальной стадии электрокристиллизации меди из борофто-ристоводородного электролита при различных условиях электролиза // Электронная обработка материалов, 1985, №3 С. 65—70.

28. Левит М.Л., Цветков И.В., Давыдов А. Д. Высокоскоростное электрохимическое выделение меди. Получение толстых компактных осадков // Электрохимия, 1982, том 18, №12 -С. 1587 — 1591.

29. Давыдов А. Д., Крылов B.C. Массоперенос при протекании электрохимических процессов с тремя сортами ионов // Электрохимия, 1983, том 19, № 3 С. 397-399.

30. Полукаров Ю.М., Попков Ю.А., Гринина В.В., Шешенина З.Б. Влияние пульсирующего тока на морфологию роста кристаллов меди из сульфатных растворов//Электрохимия, 1982, том 18, № 9- С. 1224 —1229.

31. Цветков И.В., Мороз И.И., Левит МЛ., Давыдов А.Д. Высокоскоростное выделение меди. Получение изделий сложной формы // Электрохимия, 1985, том 21, № 5 С. 701 - 705.

32. Гамбург Ю.Д., Полукаров Ю.М. // VI Всесоюз. конф. по электрохимии: Тез. докл. // М., 1982, том 1 С. 206. (Цит. по 3.).

33. Janssen L.J.J. High-Rate Electrochemical Copper Deposition on Bars // J. Appl. Electrochem1988, vol 18,№ 3~R 339- 346.

34. Гусин Н.П., Коварский H. Я. Шероховатость электроосажденных поверхностей // Новосибирск: Наука, 1970 — 27 с.

35. Schaer G.R., Wada Т. // Plating and Surface Finish., 1981, vol 68, Ns 7 P. 52 - 55. (Цит. no 3.).

36. Давыдов А. Д., Рябой А.Я., Кащеев В.Д. // Электрохимия, 1970, том 6, №2 -С. 1371 1375. (Цит. по 3.).

37. Давыдов А. Д., Рябой А.Я., Кащеев В.Д. // Электрохимия, 1973, том 9, №9-С. 292. (Цит. по 3.).

38. Chin D.-T. // Plating and Surface Finish., 1977, vol 64, № 9 P. 57 - 59. (Цит. no 3.).

39. Коваль Н.П., Гальперин Г.М., Бернштейн А.Б., Петров Ю.Н., Зайдман Г.Н. Электроосаждение хрома в проточном электролите // Электронная обработка материалов, 1972, № 2 С. 42 — 47.

40. La Boda М.А., Holden A.N., Hoare J.P. High Speed Electrodeposition of Cromium from Low Concentration Chromic Acid Solutions // J. Electrochem. Soc., 1980, vol 127, №8-P. 1709 1713.

41. Hoare J.P., La Boda M.A., Holden A.N. // Plating and Surface Finish., 1982, vol 69, № 5 P. 101 -106. (Цит. no 3.).

42. Hoare J.P. II Ibid., 1985, vol 72, № 2 P. 56 - 59. (Цит. no 3.).

43. Hoare J.P.,Holden A.N., La Boda M.A. //Ibid, 1982, vol 69, M 10 -P. 64 70. (Цит. no 3.).

44. Friedrich F., Raub J., Maas T.A.M. // Galvanotechnic, 1985, bd. 76, N2 3-P. 288 -293. (Цит. no 3.).

45. Drela I., Popytak W., Kubicki J. Mathematical Modeling of High-Current Cloromium Plating with Application of Rotating Disk Electrod // J. Electrochem. Soc., 1983, vol 130, №8-P. 1671 -1676.

46. Drela I., Kubicki J. // Metalloberflache., 1985, bd. 39, № 5 P. 177 - 181. (Цит. no 3.).

47. Гимельфарб Р.Е., Каданер Л.И., Можаров М.В. // Вестник машиностроения, 1970, № 8 С. 58- 60. (Цит. по 3.).

48. La Boda М.А. // Surface Technol, 1980, vol. 11,№2-Р.91~ 98. (Цит. по 3.).

49. La Boda М.А. // Plating and Surface Finish., 1979, vol. 66, № 1 P. 50 -52. (Цит. no 3.).

50. Wallace A.J. IIIbid., 1980, vol 67, №9 -P. 66 70. (Цит. no 3.).

51. Плесков, Ю.В. Филиновский В.Ю. Вращающийся дисковый электрод // М: Наука, 1972 344 с.

52. Нюмен Дж. Электрохимические системы ИМ.: Мир, 1977- 434 с.

53. West А.С., Newman J. Current Distribution on Recessed Electrodes // J. Electrochem. Soc., 1991, vol. 138, Nq 6 ~ P. 1620-1625.

54. Dinan Т.Е., Matlosz M., Landolt D. Experimental Investigation of Current Distribution on a Recessed Rotating Dick Electrode // J. Electrochem. Soc., 1991, vol. 138, Na 10-P. 2947-2951.

55. Дикусар А.И., Редкозубова O.O., Ющенко С.П., Криксунов JI., Харрис Д. Макрораспределение скорости анодного растворения на вращающемся дисковом электроде с частично изолированной поверхностью И Электрохимия, 2003, том 39, № 10 С. 1269.

56. West А.С., Matlosz М., Landolt D. Primary Current Distribution in a Hull Cell and Related Trapezoidal Geometries // J. Appl. Electrochem., 1992, vol. 22-P. 1155.

57. Madore C., Matlosz M., Landlolt D. Experimental Investigation of the Primary and Secondery Current Distribution in a Rotating Cylinder Hull Cell // J. Appl Electrochem., 1992, vol 22-P. 1155.

58. Madore C., West A.C., Matlosz M., Landolt D. Design Considerations for a Cylinder Hull Cell with Vorced Convection // Electrochim. Acta, 1992, vol 37, № 1 -P. 69.

59. Eisenberg M., Tobias C.W., Wilke C.R. // J. Electrochem. Soc., 1954, vol 101-P. 306.

60. Левин В.Г. Физико-химическая гидродинамика ИМ.: Физматгиз., 1959.

61. Орлов В.Ф., Чугунов Б.И. Электрохимическое формообразование // М.: Машиностроение, 1990 — 240 с.

62. Chin D. Т., Wallace A.J. Jr. Anodic Current Efficiency and Dimentional Control in Electrochemical Machining // J. Electrochem. Soc., 1973, vol 120, №11-P. 1487-1493.

63. Boden P. J., Evans J.M. Reduction of Stray Current Attack in Electrochemical Machining//Electrochim. Acta, 1971, vol. 16, №7-P. 1071 -1079.

64. Landolt D. Throwing Power Measurements During High Rate Nicel Dissolution Under Active and Transpassive Conditions // J. Electrochem. Soc., 1972, vol. 119, №6-P. 708 712.

65. Chin D. Т., Wallace A.J. A Note on the Throwing Power of Electrolytes // Dissolution Under Active and Transpassive Conditions // J. Electrochem. Soc., 1971, vol. 118, №5-P. 831 - 833.

66. Журавский A.K. Избирательность процесса электрохимической размерной обработки Вопросы совершенствования технологии производства машин // (Труды УАИ). Уфа: УАИ, 1970, №> 20 С. 5 - 15.

67. Вишннцкий А.Л, Ясногородский ИЗ., Гричук И.IX. Электрохимическая и электромеханическая обработка металлов // J1.: Машиностроение, 1971.

68. Монина М.А., Мороз И.И. Методика определения обрабатываемости металлов при электрохимическом формообразовании // Электронная обработка металлов, 1974, № 1 С. 14— 18.

69. Сидоров В.М. Исследование выравнивающих свойств электролитов на основе NaCl при ЭХО // Электрохимическая размерная обработка металлов, Кишинев: Штиинца, 1974 С. 79 — 82.

70. Chin D.-T. Logarithmic Throwing Power Index for Measurements of Throwing Powers II J. Electrochemical Soc., 1971, vol. 118., №5-P. 818- 821.

71. Дикусар А.Й., Энгельгардт Г.Р., Молин A.H. Термокинетические явления при высокоскоростных электродных процессах // Акад. наук МССР -Кишинев: Штиинца, 1989- 144 с. -ISBN5-376-00085-0.

72. Петренко В.И. Исследование влияния электродных процессов на технологические характеристики электрохимической обработки никеля, хрома и жаропрочных сплавов на их основе. Дис. канд. техн. наук // Новочеркасск, 1979.

73. Петренко В.И. Рассеивающая способность электролитов при электрохимической обработке жаропрочных никель-хромовых сплавов Современные проблемы электрохимического формообразования // Кишинев: Штиинца, 1978 -С. 70-75.

74. Аржинтарь О.А., Дикусар А.И., Петренко В.И., Петров Ю.Н. Анодное растворение хрома в нейтральных растворах при высоких плотностях тока // Электронная обработка материалов, 1974, Мб-С. 9 -14.

75. La Boda М.А., Мс. Millan M.L. A New Electrolyte for Electrochemical Machining // Electrochemical Technology, 1967, vol. 5, № 7 8 - P. 340 - 346.

76. Ющенко С. П., Дикусар А.И., Редкозубова О.О., Глоба П.Г. Электрохимическая обработка и микрообработка при частичной изоляции поверхности диэлектрическими пленками // Металлообработка, 2003, № 6 (18)-С. 9-14.

77. Datta М., Romankiw L.T. Application of Chemical and Electrochemical Mi-cromachining in the Electronics Industry // J. Electrochemical Soc., 1989, vol. 136, No 6-P. 285.

78. Ильин B.A. Химические и электрохимические процессы в производстве печатных плат // приложение к журналу «Гальванотехника и обработка поверхности», 1994, выпуск 2 144 с.

79. Wong W., Holl M.R., Schwartz D.T. Rapid Protoyping of Masks For Through-Mask Electrodeposition of Thick Metallic Components // J. Electrochemical Soc., 2001, vol. 148, №5-P. 363.

80. Давыдов А.Д. Лазерно-электрохимическая обработка металлов // Электрохимия, 1994, том 30, № 8- С. 965.

81. Рыбалко А.В., Дикусар А.И. Электрохимическая обработка импульсами микросекундного диапазона // Электрохимия, 1994, том 30, № 4- С. 490.

82. Schuster R., Kirchner V., Aiiongue Ph., Erti G. Electrochemical Micro-machining // Science, July, 2000, vol. 259 P. 490.

83. Зайцев A.H. Прецизионные электрохимические копировально-прошивочные станки 2000 года // Электронная обработка материалов, 2001, № б -С. 71.

84. Редкозубова О.О. Импульсная анодно-катодная электрохимическая мик-рообработка при наличии изолирующих масок // Электронная обработка материалов, 2002, Кг б С. 4.

85. West А.С., Madore С., Matlosz М., Landolt D. Shape Changes during Through-Mask Electrochemical Micromachining of Thin Metal Films // J. Electrochem. Soc., 1992, vol. 139, №2-P. 499.

86. Rosset E., Landolt D. Experimental Investigation of Shape Changes in Electrochemical Micromachining Through Photoresist Mask // Precision Engineering, 1989, vol. 11, №2 -P. 79.

87. Редкозубова О.О. Импульсное анодное растворение макроскопически неоднородной поверхности с искусственной изоляцией Дис. докт. хим. наук // Кишинев, 2004.

88. Звонкий В.Г. Локализация анодного травления алюминиевых сплавов трафаретом из самоклеющихся полимерных масок Дис. канд. техн. наук // Иваново, 2005.

89. Shenoy R.V., Datta M. Effects of Mask Wall Angle on Shape Evolution during Through-Mask Electrochemical Micromachining // J. Electrochem. Soc., 1996, vol. 143, №2 -P. 544.

90. Клоков B.B., Сады ков З.Б., Хайрутдинов P.M., Шишикина Т.В. Исследование электрохимической обработки поверхности с нанесенным фоторезистором // Электронная обработка материалов, 1984, Ns 1 С. 10.

91. Грилихес С .Я. Обезжиривание, травление и полирование металлов If приложение к журналу «Гальванотехника и обработка поверхности», 1994, выпуск 1 192 с.

92. Москвин JI.H., Ошарин В.И. Фотохимическое фрезерование // М.: Машиностроение, 1978 92 с.

93. Мустяцэ А.Н., Эрлихман Ф.М., Энгельгардт Р.Г., Дикусар А.И. Электрохимическое формообразование в условиях локальной изоляции анодной поверхности. I. Теоретический анализ // Электронная обработка материалов, 1989, № 3 С. 11.

94. Shenoy R.V., Datta М., Romankiw L.T. Investigation of Island Formation during Through-Mask Electrochemical Micromachining // J. Electrochem. Soc., 1996, vol. 143, N2 7-P. 2305.

95. Chatterjee B. Fabrication of Fine Apertures in Metal Foils by Photoelecto-chemicalMilling//Electrochim. Acta, 1980, vol. 25, №10-P. 1255.

96. Kondo K., Fukui K. Evolution of Electrodeposited Bumps with Deep Cavity // J. Electrochem. Soc., 1998, vol. 145, № 9-P. 3007.

97. Kondo K., Fukui K., Yokoyama M., Shinohara K. Shape Evolution of Electro-deposited Copper Bumps with High Pickled Number // J. Electrochem. Soc., 1997, vol. 144, N2 2-P. 466.

98. Hayashi К., Fukui К., Tanaka Z., Kondo K. Shape Evolution of Electro-deposited Bumps into Deep Cavities // J. Electrochem. Soc.,2001, vol. 148, № 3 -P. 145.

99. Georgiadou M., Veyret D., Sani R. L., Alkire R.C. Simulation of Shape Evolution during Electrodeposition of Copper in the Presence of Additive // J. Electrochem. Soc., 2001, vol. 148, M> 1 P. 54.

100. West A.C, Matlosz M., Landolt D. Normalized and Average Current Distributions on Unevenly Spaced Patterns // J. Electrochem. Soc., 1991, vol 138, № 3-P. 728.

101. Kwon G. J., Sun H. - Y., Sohn H. - J. Wall Profile Developments in Through-Mask Electrochemical Micromachining of Invar Alloy Films // J. Electrochem. Soc., 1995, vol 142, №9-P. 3016.

102. Дикусар А.И., Келоглу О.Ю., Ющенко С.П. Моделирование эволюции формы полости в тонком слое металла при ЭХМО частично изолированной анодной поверхности // Электрохимия, 1999, том 35, № 6 С. 724.

103. Frankel G. S. Pitting Corrosion of Metals // J. Electrochem. Soc., 1998, vol 145, №6-P. 2186.

104. Pickering H. W., Frankenthal R. P. On the Mechanism of Localized Corrosion of Iron and Stainless Steel. Part I: Electrochemical Studies // J. Electrochem. Soc., 1972, vol 119, No 10-P. 1297.

105. Shinohara Т., Fujiraoto S., Laycock N.J., Msallem A., Ezuber H., Newman R. Numerical and Experimental Simulation of Iron Dissolution in a Crevice with a Very Dilute Bulk Solution // J. Electrochem. Soc., 1997, vol 144, No 11-P. 3791.

106. Engelgardt G., Strehblow H.H. The Determination of the Shape of Developing Corrosion Pitts // Corrosion Science, 1994, vol 36, Ns 10-P. 1711.

107. Galvele J. R. Transport Processes and the Mechanism of Pitting of Metals // J. Electrochem. Soc., 1976, Vol 123, M 4-P. 464.

108. Laycock N. J., White S. P. Computer Simulation of Single Pit Propagation in Stainless Steel under Potentiostatic Control // J. Electrochem. Soc., 2001, vol. 148, № 7-P. 1264.

109. McCafferty E. A Surface Charge Model of Corrosion Pit Initiation and Protection by Surface Alloying 111 Electrochem. Soc., 1999, vol. 146, M> 8 -P. 2863.

110. Suter Т., Webb E. G., Bohni H., Alkire R. C. Pit Initiation on Stainless Steels in 1M NaCl with and without Mechanical Stress // J. Electrochem. Soc., 2001, vol. 148, N2 5-P. 1174.

111. Гамбург Ю.Д., Давыдов А.Д., Харкац Ю.И. Изменение шероховатости поверхности при анодном растворении и катодном выделении металлов // Электрохимия, 1994, том 30, № 4 С. 422.

112. Дикусар А.И., Келоглу О.Ю., Ющенко С.П. Локализация и равномерность растворения при больших толщинах изолирующих масок в условиях ЭХМО // Электронная обработка материалов, 1998, No 3,4-С. 22.

113. Клоков В. В., Садыков 3. Б. Исследование прекращения электрохимического формообразования // Электронная обработка материалов, 1981, Nq 2 -С. 5.

114. Alkire R., Deligianni Н. The Role of Mass Transport on Anisotropic Electrochemical Pattern Etching // J. Electrochem. Soc, 1988, vol. 135, №5-P. 1093.

115. Alkire R., Deligianni H., Ju J.-B. Effect of Fluid Flow on Convective Transport in Small Cavities // J. Electrochem. Soc., 1990, vol. 137, №3- P. 818.

116. Дикусар А. И., Мустяцэ A. H. Электрохимическое формообразование в условиях частичной изоляции анодной поверхности. Скорость растворения в области границы с изоляцией // Электрохимия, 1994, том 30, N9 4-С. 483.

117. Дикусар А.И., Келоглу О.Ю., Ющенко С.П. Экспериментальное исследование эволюции формы полости в тонком слое меди при ЭХМО частично изолированной анодной поверхности в нитратных растворах // Электрохимия, 1999, том 35, N9 6- С. 730.

118. Дикусар А.И., Ющенко С.П., Киоссе Г.А., Петренко П.А. Диффузионная кинетика анодного растворения вольфрама, содержащего пассивную фазу, в щелочи // Электронная обработка материалов, 1995, № 5 -6~С. 64.

119. Дикусар А.И., Мичукова Н.Ю., Салтановская JI.B., Ющенко С.П., Яхова Е.А., Володина Г.Ф. Анодное растворение железа в нитратных растворах в предпассивной области // Электронная обработка материалов, 1998, № 5 6 - С. 53.

120. Georgiadou М., Alkire R.C. Modeling of Cupper Etching in Aerated Chloride Solutions II J. Appl. Electrochem., 1998, vol. 28, №2-P. 127.

121. Durba M., Orazem M.E. Current Distribution on a Rotating Disk Electrode below the Mass-Transfer-Limited Current // J. Electrochem. Soc., 1998, vol. 145, №6-P. 1940.

122. Мустяцэ A.H., Молин A.H., Белышева JI.B., Павлова T.A., Доменте Г.С., Дикусар А.И. Влияние рН на скорость анодного растворения меди и ее сплавов в нитратных растворах // Электронная обработка материалов, 1985, Мб-С. 85.

123. Datta М. Microfabrication by Electrochemical Metal Removal // IBM Journal of Research and Development. Electrochemical Microfabrication, 1998, vol. 42, № 5.

124. Lee H.P., Nobe K. Rotating Ring-Disk Electrode Studies of Cu-Ni Alloy Electrodissolution in Acidie Chloride Solution // J. Electrochem. Soc., 1984, vol. 131, № 6-P. 1236.

125. Lee H.P., Nobe K. Kinetics and Mechanisms of Cu Electrodissolution in Chloride Media // J. Electrochem. Soc., 1986, Vol. 133, №10-P. 2035.

126. Lee H.P., Nobe K., Pearstein A.J. Electrodissolution Kinetics of Iron in Chloride Solution I I J. Electrochem. Soc., 1993, vol. 140, №3-P. 721.

127. Тарасевич M.P., Хрущева Е.И., Филиновский В.Ю. Вращающийся дисковый электрод с кольцом // М.: Наука, 1987 248 с.

128. Landolt П., Muller R.H., Tobias C.W. High Rate Anodic Dissolution of Cupper // J. Electrochem. Soc., 1969, vol. 116, №10-P. 1384.

129. Datta M., Landolt D. On the Role of Mass Transport in High Rate Dissolution одд^ Iron and Nickel in ECM Electrolytes. I. Chloride Solution // Elec-trochim. Acta, 1980, vol. 25, № 10-P. 1255.

130. Дикусар A.M., Мустяцэ A.H., Ющенко СЛ. Термокинетическая неустойчивость поверхностных покрывающих слоев при высокоскоростном анодном растворении, контролируемом ионным массопереносом // Электрохимия, 1997, том 33,№ 2 С. 163.

131. Madore С., Landolt D. // Plat. Surf. Finish., 1993, vol 80 P. 73.

132. Podlaha E.J., Landolt D. Induced Codeposition. Ш. Molybdenum Alloys with Nickel, Cobalt andiron//J. Electrochem. Soc., 1997, vol 144-P. 1672.

133. Zech N., Podlaha E.J., Landolt D. Anomalous Codeposition of Iron Group Metalls I. Experimental Results // J. Electrochem. Soc., 1999, vol 146, № 8 -P. 2886.

134. Дикусар А.И., Салтановская JI.B., Ющенко С.П., Яхова Е.А. Импульс-но-потенциостатическое растворение железа в нейтральных нитратных растворах// Электронная обработка материалов, 2000, № 5 С. 53.

135. Цынцару Н.И., Бобанова Ж.И., Дикусар А.И. Влияние поверхностного тепловыделения на скорость хромирования при импульсном электроосаждении из стандартного электролита И Электронная обработка материалов, 2004, №6 -С. 4 -10.

136. Chin D.-T., Zhang Н.А. Study of Pulse Plating of Chromium // Electrochim Acta, 1986, vol. 31 P. 299 - 305.

137. Звягинцева A.B., Бурдыкина Р.И. Проблемы хромирования и альтернативные покрытия никель-бор // Гальванотехника и обработка поверхности, 2003, толi Ж, N° 2 С. 24 — 29.

138. Rosset Е., Datta М., Landolt D. Electrochemical Dissolution of Stainless Steel in Flow Chanel Cells with and without Photoresist Masks // J. Appl. Electrochem., 1990, vol. 20, № 1-P. 69.

139. Дикусар А*И., Редкозубова О.О., Ющенко С.П., Глоба П.Г. Электрохимическая обработка и микрообработка при частичной изоляции поверхности диэлектрическими пленками // Металлообработка, 2003, Мб (18) С 9-14.

140. Chin D.-T., Litt Н.М. Mass Transfer to Point Electrodes on the Surface of a Rotating Disk///. Electrochem. Soc., 1972, vol. 119, N°. 10 P. 1338.

141. Mohr C.M. jr., Newman J. Mass Transfer to an Accentric Rotating Disk Electrode II J. Electrochem. Soc., 1975, vol. 122-P. 928.

142. Цынцару Н.И. Импульсное электроосаждение хрома // Электронная обработка материалов, 2002, N° 5 С. 18 - 21.

143. Звонкий В.Г., Ющенко С.П., Дикусар А.И. Равномерность электроосаждения хрома при обработке длинномерных деталей постоянными и импульсными токами // Электронная обработка материалов, 2003, № 2 — С. 23-29.

144. Цынцару Н.И. Термокинетические явления при осаждении хрома из стандартного электролита // Электронная обработка материалов, 2003, Мб-С. 15-18.

145. Шекун Й.Ф., Дикусар А.И., Зайдман Г.Н. Повышение скорости растворения железа в концентрированных растворах использованием импульсных токов // Электронная обработка материалов, 1992, № б-С. 3.

146. Звонкий В.Г., Дикусар А.И, Электрохимическое маркирование деталей из алюминиевых сплавов с использованием поливинилхлоридных масок в качестве трафарета // Металлообработка, 2005, № 1 (25) С. 12.

147. Kuo Н.С., Landolt D. On the Role of Mass Transfer in High Rate Dissolution of Iron and Nickel in Concentrated Chloride Media // Electrochem. Acta, 1975, vol 20, Ж 5 -P. 393.159. http: // www.orafel.de