Распыление платины ионами инертных газов низких энергий тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.04, кандидат физико-математических наук Хайдаров, Абдусаме Аббосович

• Хайдаров, Абдусаме Аббосович
• кандидат физико-математических наук
• 1999

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Хайдаров, Абдусаме Аббосович

СОДЕРЖАНИЕ

Введение

Глава I. Распыление одноэлементных материалов (основные

закономерности, механизмы)

1.1 Введение

1.2. Характеристики, используемые при описании распыления

1.3. Распыление монокристаллов

1.3.1. Анизотропия угловых распределений монокристаллов

1.3.2. Механизмы распыления монокристаллов

1.4. Распыление поликристаллов и аморфных мишеней

1.4.1 Каскадный механизм и теория распыления Зигмунда

1.4.2. Распыление легкими ионами

1.4.3. Режим первичного выбивания атомов

1.4.4. Режим тепловых пиков

1.4.5. Угловые распределения распыленных частиц

1.4.6. Заключение к обзору и постановка задачи

Глава II. Методика изучения угловых распределений распыленных частиц

2.1. Экспериментальная установка

2.2. Методика и условия проведения экспериментов по изучению угловых распределений распыленных частиц

2.3. Подготовка мишеней

2.4. Применение обратного резерфордовского рассеяния для измерения угловых распределений распыленных частиц

2.5. Компьютерное моделирование

66

Глава III. Угловые распределения частиц при распылении поликристалла

Pt ионами Аг+

3.1. Введение

3.2. Угловые распределения атомов при распылении текстурированного поликристалла Pt

3.3. Угловые распределения атомов, распыленных из нетекстурированного поликристалла Pt

3.4. Влияние массы бомбардирующих ионов на угловое распределение распыленных частиц

Глава IV. Распыление поликристалла Pt легкими ионами

4.1. Введение

4.2. Угловые распределения частиц, распыленных из поликристалла Pt, облучаемого ионами Не+

4.3. Парциальные угловые распределения распыленных частиц

4.4. Механизмы распыления поликристалла Pt низкоэнергетичными ионами Не+ и Аг+

4.5. Влияние энергии бомбардирующих ионов на вклад различных механизмов в распыление Pt

Основные результаты и выводы

Литература

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Распыление платины ионами инертных газов низких энергий»

Введение.

При бомбардировке поверхности твердого тела ускоренными ионами наблюдается процесс распыления, т.е. эмиссии атомов твердого тела. Надежно установлено, что атомы твердого тела эмитируются в вакуум (или распыляются) . вследствие столкновений, инициируемых

бомбардирующими частицами в приповерхностных слоях твердого тела.

Большой прогресс в понимании физики распыления был достигнут после открытия в 1955 году Венером анизотропии угловых

распределений частиц, распыленных из монокристаллов и опубликования в 1969 году Зигмундом каскадной теории распыления. Однако, сегодня, когда распыление стало неотъемлемой частью разнообразных технологических процессов и играет существенную роль в функционировании различных устройств, требуются все более детальные сведения о механизмах процесса распыления.

С этой точки зрения изучение пространственных распределений распыленных частиц занимает важное место в исследованиях распыления. Эта особая роль связана с тем, что пространственные распределения содержат богатейшую информацию о процессах атомных столкновений, происходящих при ионной бомбардировке в приповерхностных слоях твердого тела. Поэтому исследование пространственных распределений распыленных частиц можно рассматривать как очень эффективный метод изучения механизмов распыления.

Кроме того, сведения об угловых распределениях распыленного материала необходимы для таких практических приложений как

напыление тонких пленок, развитие методов анализа на основе масс-спектрометрии вторичных ионов (МСВИ) и распыленных нейтралей (МСРН), проблема первой стенки УТР и т.д.

Согласно наиболее часто используемой в настоящее время каскадной теории распыления Зигмунда зависимость числа распыленных частиц от угла вылета 9 соответствует закону косинуса, т.е.:

У(9) = Уо соэ 0 ,

где У0 - число частиц, распыленных по нормали к поверхности мишени. Наблюдаемые в эксперименте пространственные распределения распыленных частиц практически никогда не соответствуют закону косинуса. При низких энергиях бомбардирующих ионов выход распыленных частиц вблизи нормали подавлен по сравнению с распределением, описываемым законом косинуса. Такие распределения принято называть подкосинусным. А с увеличением энергии угловые распределения вытягиваются вдоль нормали к поверхности, образуя так называемые надкосинусные угловые распределения. Лишь совсем недавно на базе различных модификаций каскадной теории распыления удалось описать трансформацию угловых распределений распыленных частиц с ростом энергии бомбардирующих ионов. Однако, многие важные детали формирования потока распыленных частиц до сих пор не выяснены до конца. Поэтому необходимы систематические экспериментальные \ исследования, направленные на изучение механизмов формирования пространственных распределений распыленных частиц. Кроме того,

выводы аналитической теории о трансформации угловых распределений распыленных частиц также требуют всесторонней экспериментальной проверки.

Очень важным направлением в исследованиях распыления является распыление легкими ионами. Интерес к изучению распыления легкими ионами возник в связи с проблемой интерпретации результатов анализа лунного грунта, а позднее, в связи с развитием работ по управляемому термоядерному синтезу. Основное внимание здесь уделялось изучению энергетической зависимости коэффициента распыления, блистеринга и охрущивания. В то же время, угловые распределения распыленных частиц, информация о которых необходима при решении проблемы первой стенки УТР, изучены недостаточно. Поэтому в настоящей работе была поставлена задача провести экспериментальные исследования угловых распределений распыленных частиц при бомбардировке мишени легкими ионами. Для выявления роли различных механизмов в формировании угловых распределений распыленных частиц параллельно с экспериментальными исследованиями, проводилось компьютерное моделирование распыления легкими ионами.

Целью работы является:

- экспериментальное исследование пространственных распределений частиц, распыленных из поликристалла Р1 ионами разного типа;

- исследование роли различных механизмов в формировании пространственных распределений распыленных частиц при бомбардировке поликристалла легкими и тяжелыми ионами;

- экспериментальная проверка современных аналитических теорий распыления.

Научная новизна.

В работе впервые:

- проведено систематическое экспериментальное исследование угловых распределений частиц, распыленных из поликристаллической мишени;

разработана методика анализа угловых распределений распыленных частиц на базе компьютерной программы TRIM.SP;

- показано, что механизм распыления обратнорассеянными ионами играет основную роль в распылении поликристалла Pt ионами Не+ с энергиями от 1,5 до 9 кэВ;

- изучена роль различных механизмов (поверхностные и каскадный механизмы, распыление обратнорассеянными ионами) в формировании угловых распределений распыленных частиц;

- экспериментально исследовано влияние соотношения масс-бомбардирующего иона и атома мишени на характер угловых распределений распыленных частиц.

Научная и практическая значимость работы.

Постоянный интерес к проблемам физики распыления определяется широким применением низкоэнергетичных ионных пучков (0,5 -ь 10 кэВ) в анализе поверхности и тонких пленок, основанном на регистрации распыленных частиц, например, в МСВИ и МСРН. Однако, недостаточное понимание фундаментальных процессов, развивающихся в приповерхностном слое, и их влияния на формирование потока

распыленного материала не позволяет использовать в полной мере возможности этих уникальных методов. Вследствие этого изучение роли различных механизмов в формировании потока распыленных частиц, выполненное в настоящей работе, представляет значительный интерес для расшифровки экспериментальных распределений распыленных частиц.

Установленные в работе закономерности распыления легкими ионами представляют значительный интерес для решения проблемы первой стенки УТР.

Основные положения, выносимые на защиту:

1. Угловые распределения частиц, распыленных из поликристалла Pt ионами Не+ с энергиями от 1,5 до 9 кэВ являются надкосинусными.

2. Методика анализа угловых распределений распыленных частиц на основе компьютерной программы TRIM.SP.

3. Механизм распыления обратнорассеянными ионами дает основной вклад в распыление поликристалла Pt ионами Не+ с энергиями от 1,5 до 9 кэВ.

4. Анизотропия каскада атомных столкновений приводит к формированию надкосинусных угловых распределений частиц, распыленных из поликристалла Pt ионами Ne+ и Аг+, причем степень неизотропности каскада определяется соотношением масс бомбардирующего иона и атома мишени.

Апробация результатов работы.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на XIII Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью» (Звенигород, Россия, 1997), XVII Международной

конференции по атомным столкновениям в твердых телах (Китай, 1997), Международной конференции «Эмиссионная электроника, новые методы и технологии» (Ташкент, Узбекистан, 1997), XXVIII Международной конференции «Взаимодействие заряженных частиц с кристаллами (Москва, Россия, 1998), 2-ом Японско-Российском симпозиуме.«Взаимодействие быстрых заряженных частиц с твердыми телами» (Нагойя, Япония, 1998) и опубликованы в работах [95-101].

Структура и объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, четырех глав и заключения. Работа содержит 122 страницы машинописного текста и 45 рисунков. Список литературы насчитывает 101 наименование.

8а

Заключение диссертации по теме «Физическая электроника», Хайдаров, Абдусаме Аббосович

Основные результаты и выводы.

1. Экспериментально изучены угловые распределения частиц распыленных из поликристалла Pt легкими ионами Не+ и относительно тяжелыми ионами Ne+, Аг+ и установлено, что в исследованном диапазоне энергий бомбардирующих ионов угловые распределения являются надкосинусными.

2. На основе компьютерного моделирования распыления с использованием программы TRIM.SP разработана методика анализа угловых распределений распыленных частиц.

3. Экспериментально исследовано влияние текстуры в поликристалле Pt на угловые распределения распыленных частиц. Установлено, что наличие текстуры в облучаемом ионами Аг+ поликристалле Pt приводит к более узким по сравнению с нетекстурированным поликристаллом угловым распределениям распыленных частиц.

4. Экспериментально установлено, что форма угловых распределений частиц, распыленных из нетекстурированного поликристалла Pt, одинакова при облучении легкими ионами (Не+) и тяжелыми ионами (Аг+). Показано, что при распылении Pt ионами Не+ основной вклад в распыление вносит механизм распыления обратнорассеянными ионами, а при облучении ионами Аг+ неизотропность каскада, дающего основной вклад в распыление, приводит к формированию надкосинусного углового распределения распыленных частиц.

5. Изучен вклад различных механизмов в коэффициент распыления и угловые распределения частиц, распыленных из поликристалла Pt ионами Не+ и Аг+ разных энергий. Показано, что распыление обратнорассеянными ионами дает в килоэлектронвольтном диапазоне энергий вклад в распыленный поток более, чем в 3 раза превышающий вклад бомбардирующих ионов с оценками различных теорий и компьютерного моделирования легкими ионами сделанными ранее.

6. Экспериментально исследовано влияние соотношения масс бомбардирующего иона - mi и атома мишени - т2 на угловые распределения распыленных частиц. Показано, что в случае распыления поликристалла Pt ионами Ne+ и Аг+ показатель степени п, определяющий согласно последним теоретическим разработкам форму угловых распределений распыленных частиц (т.е. Y(0) ~ cos" 0) не зависит от соотношения m2/mi.

Я приношу сердечную благодарность своему научному руководителю Чернышу B.C. за предложенную тему и практическую помощь в выполнении настоящей работы.

Автор благодарен также Куликаускасу B.C., Машковой Е.С., Молчанову В.А., Еловикову С.С. и Миннебаеву К.Ф. за научное сотрудничество и помощь в проведении исследований.

В заключение автор считает своим приятным долгом выразить глубокую благодарность заведующему кафедрой физической электроники, профессору Александрову А.Ф. за постоянную поддержку и интерес к настоящей работе.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Хайдаров, Абдусаме Аббосович, 1999 год

Литература

1. W.R. Grove. On the electro-chemical polarity of gases. Phil. Trans. Roy. Soc. London, 1852, part 1, 87-93.

2. H.B. Плешивцев. Катодное распыление. M.: Атомиздат, 1968, 347 с.

3. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984,336 с.

4. V.A. Hippel. Zur Theorie der Kathodenzersaubung. Ann. Physik., 1926, 81, 1043-1049.

5. R. Seeliger, K. Sommermeyer. Bemerkung zur Theorie der Kathoden-zerstaübung. Zs. Phys., 1935, 93, 692-965.

6. J. Stark. Zur Theorie der zerstaubüng durch Atomstrahlen. Zs. Electrochem., 1908,14, 752-756.

7. G.K. Wehner. Sputtering of metal single crystals by ion bombardment. J. Appl. Phys., 1955,26, 1056-1057.

8. R.E. Honig. Sputtering of surfaces by positive ion beams of low energy. J. Appl. Phys., 1958, 29, 549-555.

9. M.W. Thompson. A direct measurements of the focusing energy for <110> collision sequences in Gold. Phys. Lett., 1963, 6, 24-27.

10. Распыление под действием бомбардировки частицами. Вып. III. Под ред. Р. Бериша и К. Виттмака. М.: Мир, 1998, 551 с.

11. G.K. Wehner. Sputtering by ion bombardment. Advances in Electronics and Electron Physics, 1955, 7, 239-245.

12. В.Е. Юрасова. Современные теории катодного распыления и микрорельеф разрушаемой поверхности металла. ЖТФ, 1958, 28, 19661970 с.

13. В.Е. Юрасова, Н.В. Плешивцев, И.В. Орфанов. О направленном выходе частиц при распылении монокристалла меди пучками ионов с энергией до 50 кэВ. ЖЭТФ, 1959, 37, 966-972.

14. M.W. Thompson, R.S. Nelson. Atomic collision sequences in crystals, of Copper, Silver and Gold revealed by sputtering in energetic ion beams. Proc. Roy. Soc, 1961, A259, №1299, 458-479.

15. B. Perovic. Cathode sputtering of metal single crystals by high energy A+ ions. Proc. Of V Int. Conf. on Phenomena in Gases. Munich, 1961. Amsterdam, North-Holland Publ. Сотр., 1962, v.2, p.l 172.

16. P.Sigmund. Mechanisms and theory of physical sputtering by particle impact/ Nucl. Instr. And Meth in Phys. Reseach., 1987, B27, 1-20.

17. Взаимодействие заряженных частиц с твердым телом: В 25. Пер. с англ. М.: Высш. шк., 1994. 752 с.

18. Е. С. Машкова, В.М.Молчанов. Пространственные распределения частиц, распыленных под действием ионной бомбардировки. Часть I. Теоретические результаты. Поверхность. 1995, № 3, 5-25. Часть II. Компьютерное моделирование и экспериментальные результаты. Поверхность. 1997, № 11, 73-90.

19. R.H. Selsbee. Focusing in collision problems in solids. J. Appl. Phys., 1957, 28, 1246-1250.

20. Chr. Lehmann, P. Sigmund. On the mechanism of sputtering. Phys. Stat. Solidi., 1966,16, 507-511.

21.N.T. Olson, H.P. Smith. Evidence against focused chains in high-yield copper sputtering. J. Phys. Rev., 1967, 157, 241-245.

22. R.G. Musket, H.P. Smith. Competition between random and preferential ejection in high-yield mercury-ion sputtering. Jr. J. Appl. Phys., 1968, 39^ №8, 3579-3580.

23. B.C. Черныш. Распыление и вторичная ионная эмиссия металлов и сплавов в области фазовых переходов. Дисс. докт. ф.-м. наук. М.: МГУ, 1989, 363 с.

24. D. Onderdeliden. Single crystal sputtering including the channeling phenomenon. Can. J. Phys., 1968, 46, 739-745.

25. V.I. Shulga. Computer simulation of single crystal and poly-crystal sputtering I. Rad. Eff., 1983, 70, 65-83.

26. R.S. Pease. Sputtering of solids by penetrating ion. In Rendiconti della Scuola Intern.di Fisica «Enrico Fermi». Corso XIII. Societa Italiana di Fisica, Bologna, 1960, p. 15 8-167.

27. F. Keywell. Measurement and collision radiation damage theory of high-vacuum sputtering. Phys. Rev., 1955, 97, 1611-1619.

28. Ю.В. Булгаков. К теории распыления металлов легкими ионами. ЖТФ, 1963,33, 500-504.

29. M.W. Thompson. The energy spectrum of ejected atoms during the high energy sputtering of gold. Phil. Mag, 1968, 18, 377-414.

30. P. Sigmund. Theory of sputtering. I Sputtering Yield of Amorphous and Polycrystalline Targets. Phys. Rev., 1969, J_84, 383-416.

31. R. Behrish, G.Maderlechner, B.M.V.Scherzer. The sputtering Mechanism for Low-Energy Ions. J.Appl.Phys., 1979,18, 391-398.

32. U. Littmark, S. Fedder. Primary recoil contribution to low energy light ion sputtering. Nucl. Jnstr. and Meth., 1982, 194,607-610.

33. J.P. Biersack, W. Eckstein. Sputtering studies with the Monte Carlo Program TRIM.SP. Appl. Phys., 1984, A34, 73-94.

34. M.T. Robinson, I.M. Torrens. Computer simulation of atomic-displacement cascades in-solids in the binary-collisions approximation. Phys.Rev., 1974, B9, №12, p.5008-5024.

35. V.I. Shulga. Ejection of fast recoils under ion bombardment of crystals. Rad.Eff., 1980, 51, №1-2, p. 1-10.

36. В. Экштайн. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела. Пер. с англ. - М: Мир, 1995, 321 с.

37. О. Almen, G. Bruce. Sputtering experiments in the high energy region. Nucl. Jnstr. And Meth. 1961, H, p.279-289.

38. D. Rosendberg, D.K. Wehner. Sputtering yields for low energy He+-, Kr+-, Xe+-ion bombardment. J.Appl.Phys, 1962, 32, №5, 1842-1845.

39. J.M. Poate, W.L. Brown, R. Homer, W.M. Augnstyniak, J.W. Mayer, K.N. Tu, W.F. Weg. The sputtering of PtSi and NiSi. Nucl. Jnstr. And Meth., 1976, 132, p.345-349.

40. J.Roth, J.Bohdansky, W.Ottenberger: IPP-Report 9/26, 1979, p. 1-21.

41. N.Laegreid, G.K.Wehner. Sputtering yields of metals for Ar+ and Ne+- ions with energies from 50 to 600 eV. J. Appl.Phys., 1961, 32, №3, 365-369.

42. C.H.Weijsenfeld, A.Hoogendoorn, M.Koedam. Sputtering of polycrystalline metals by inert gas ions of low energy (100-1000 eV). Physica, 1961, 27, 763.

43. H.L.Bay, J.Bohdansky, E.Hechtl. Low-energy sputtering yields of nickel as a function of ion mass.A reinvestigation. Rad. Eff., 1979, 4!, p.77-79.

44. D.Aiello, V.V. Pletnev, G. Falcone and L. Forlano. Contributions of Different Generations of Recoils to Sputtering by Backscattered Light Jons. II NUOVO CIMENTO, 1994, 16D, p. 75-88.

45. H.H. Andersen, H.L. Bay. Sputtering - yield studies on silicon and silver targets. Rad. Eff., 1973, 19, №3, p. 139-146.

46. H.L. Bay, J. Bohdansky, W.O. Hofer, Angular distribution and differential sputtering yield for low-energy light-ion irradiation of polycrystalline nickel and tungsten. J. Appl. Phys., 1980, 21, №4, p. 327-333.

47. K. Rodelsperger, A. Schurmann. Angular distribution measurements of sputtered atoms with characteristic X-ray emiision. Nucl. Instr. and Meth. In Phys. Res., 1976,132, 355-362.

48. F.R. Vossen. A sputtering technique for coating the inside walls of through-holes in substrates. J. Vac. Sci. Technol., 1974,1, p. 875-877.

49. Y. Matsuda, Y. Yamamura, Y. Ueda, K. Uchino, K. Muraoka, M. Moeda and M. Akazaki. Energy dependence of angular distributions of sputtered particles by ion-beam bombardment at normal incidence. Jpn. J. Appl. Phys., 1986, 25, p. 8-11.

50. Y.Yamamura, K. Muraoka. Over-cosine distributions of sputtered atoms at normal incidence. Nucl. Jnstr. and Meth. In Phys. Res., 1989, B42, p. 175181.

51. H.H. Andersen, B. Stenum, T. Sorensen and H. Whitlow. Angular distribution of particles sputtered from Cu, Pt and Ge targets by keV Ar+ ion bombardment. Nucl. Instr. and Meth. In Phys. Res., 1985, B6, P- 459-465.

52. R.J. MacDonald. Temperature dependence of the sputtered ejection pattern from Ge (100) surfaces. Phys. Lett., 1969, 29A, P- 256-257.

53. Y. Yamamura, Т. Takiguchi, M. Ishida. Energy and angular distributions of sputtered atoms at normal incidence. Rad. Eff., 1991, 118, p. 237-261.

54. T. Nagatomi, K. Min, R. Shimizu. Angular distributions of sputtered particles ejected from pure Cu, Pt and Cu-Pt alloy under 3 keV Ar+ ion bombardment. Jpn. J. Appl. Phys., 1994, 33, p. 6675-6679.

55. T. Okutani, M. Shikata, S. Ichimura and R. Shimizu. Angular distribution of Si atoms sputtered by keV Ar+ ions. J. Appl. Phys., 1980, 51, p. 2884-2887.

56. W.O. Hoffer, H.L. Bay, P.J. Martin. Sputter-erosion and impurity emission from titanium and vanadium at low-energy ion bombardment. Nucl. Mater., 1978, 76/77, p. 156-162.

57. F.R. Vozzo, G.W. Reynolds. Sputtering of two alloy systems by polyatomic

ions: Ag-Au and Cu-Zn. Nucl. Instr. and Meth., 1983, 209/210, p. 555-560.

58. H.E. Roosendaal, I.B. Sanders. On the energy distribution and angular distribution of sputtered particles. Rad. Eff., 1980, 52, p. 137-144.

59. B.M. Буханов, К.Ф. Миннебаев, И.Ф. Уразгильдин, B.C. Черныш. Угловые и энергетические распределения вторичных ионов при распылении поликристаллов. Вест. Моск. Унив-та. Сер.З, Физика, Астрономия, 1990, т. 31, №1, с.28-33.

60. В. Garrison. Energy distribution of atoms sputtered from poly crystalline surfaces. Nucl. Instr. And Meth. In Phys. Res., 1986, Ш7, p. 305-308.

61.1.P. Baxter, I. Sing, G.A.Schick, P.H. Kobrin, N. Winograd. Energy and angle-resolved studies of neutrals desorbed from ion bombardment

polycrystalline metal. Nucl. Instr. And Meth. In Phys. Res., 1986, B17, p. 300-304.

62. Д. Фальконе. Теория распыления. Успехи физ. наук. 1992, 162, с. 71117.

63. А.И. Толмачев. Развитие каскадной теории распыления на случай произвольных энергий распыленных частиц. Изв. АН СССР. Сер. физ., 1991,55, с.2409-2413.

64.1.B. Sanders, Н.Е. Roosendaal. On the distribution of recoil momenta in a collision cascade. Rad. Eff., 1975, 34, P- 161-172.

65. K.T. Waldeer, H.M. Urbassek. Collision cascade evolution in media with energy independent scattering: spatial energy and angular distribution. Appl.Phys.1988, A45, №3, p.207-215.

66. А.И. Толмачев. Угловое распределение самораспыленных атомов при нормальном падении ионов на мишень. Поверхность. 1994, №3, с.40-43

67. M.W. Sekerl, P. Sigmund, М. Vicanek. Particle Fluxes in Atomic Collision Cascades. Math. Phys. Medd.K.Selskab. 1996, 44:3, p. 1-63.

68. H.E. Roosendaal, U. Littmark, I.B. Sanders. Spatial distribution of recoiling atoms with a specific momentum generated in collision cascade. Phys. Rev. B, 1982, 26, p.5261-5263.

69. Bay H.L., I. Bohdansky, W.O. Hoffer, I. Roth. Angular distribution and differential sputtering yields for low-energy light-ion irradiation of polycrystalline nickel and tungsten. Appl.Phys.1980, 21, p.327-333.

70. B.C. Тубольцев, B.C. Черныш, B.C. Куликаускас. Эффект массы бомбардирующих ионов в распылении сплавов. Письма в ЖЭТФ, 1996, 63, вып.7, 507-510.

71. B.C. Черныш, В. Экштайн, B.C. Куликаускас. Влияние энергии бомбардирующих ионов Не+, Nе+, Аг+ на угловые распределения частиц, распыленных из сплава. Тез. докл. XXVII Межд. конф. по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. - М.: МГУ, 1997, с.103.

72. А.А. Андреев, В.И. Бачурин, С.П. Линник, B.C. Черныш. Сверхвысоковакуумная установка для исследований методом вторичной ионной эмиссии. В сб. «Вторичная ионная и инно-фотонная эмиссия», Харьков, Изд. ХГУ, 1983, с.305-311.

73. Н.Н. Andersen, I. Chevallier, V.S. Chernysh. The angular distribution of material sputtered from AgAu and CuPt by 20-80 keV argon. Nucl. Instr. and Meth, 1981, 191, p.241-244.

74. H.H. Andersen, V.S. Chernysh, B. Stenum, T. Sorensen, H. Whitlow. Measurements of angular distributions of sputtered materials as a new tool for surface-segregation studies: segregation in CuPt alloys. Surf. Sci., 1982, 123, №1, p.39-46.

75. G.K. Wehner. Isotope enrichment in sputter deposits. Appl. Phys. Lett., 1977, 30, p.185-187.

76. R.R. Olson, M.E. King, G.K. Wehner. Mass effects on angular distribution of sputtered atoms. J. Appl. Phys., 1979, 50, p.3677-3683.

77. Z. Wang, L. Zheng, I. Pan. Surface topography effect on sputtering angular distributions from a Fe-W alloys. Rad. Eff. And Defects in Solids, 1989, 108, p.351-354.

78. W. Huang. Measurement of sputtering by sputter deposition method. Phys. Lett. A, 1989, 134, p.269-271.

79. K.M. Hubbard, R.A. Weller, D.L. Weathers, T.A. Tombrello. The angular distribution of atoms sputtered from a Ga-In eutectic alloy target. Nucl. Instr. and Meth. In Phys. Res., 1989, B36, p.395-403.

80.1.M. Fayazov, Sh.N. Garin, A.V. Sidorov, A.I. Yunusov. The angular distribution of sputtered particles from nickel. Rad. Eff. and Defects in Solids, 1992, 124, p. 197-202.

81. W.H. Wang, I. Roth, R. Behrish. Sputtering yields and angular distributions of the eroded atoms for deuterium irradiation of stainless steel 304<N at temperatures between 300 and 1200 K. Nucl. Instr. and Meth. In Phys. Res., 1989, B42, p.29-37.

82. M.R. Weller, T.A. Tombrello. Surface sticking probabilities for sputtered atoms of 93Nb and 103Rh. Rad. Eff., 1980, 49, p. 239-246.

83. B. Emmouth, H. Bergsaker. Sticking of sputtered particles to different surface. Nucl. Instr. and Meth. In Phys. Res., 1988, B33, p.435-437.

84. Итоги науки и техники. Серия «Пучки заряженных частиц и твердое тело», т.1. Редактор А.Ф. Тулинов. М.: ВИНИТИ, 1990, 155 с.

85. А.Ф. Тулинов, Н.Г. Чеченин, А.А. Бедняков и др. Оборудование и методы, используемые в НИИЯФ МГУ, для модификации и контроля свойств полупроводниковых и других материалов. Препринт НИИЯФ МГУ - 88-55/76. Москва, 1988, 24 с.

86.1.W. Mayer, Е. Rimini. Ion beam handbook for material analysis. New Iork-London: Academic Press, 1977.

87. K. Wittmaark. Energy- and angle-resolved depth of origin of isotopes sputtered from an elemental target. Phys. Rev. B, 1997, 56, p.R5701-R5704.

88. V.I. Shulga, W. Eckstein. Depth of origin of sputtered atoms for elemental targets. Nucl. Instr. and Meth. In Phys. Res., 1998, B145, p.492-502.

89. G.N. Van Wyk, H.I. Smith. Crystalline reorientation due to ion bombardment. Nucl. Instr. and Meth. In Phys. Res., 1980, 170, p.433-439.

90. H.I. Smith, G.N. Van Wyk. Increase of range of Ni+ ions in Cu due to ion bombardment induced crystalline reorientation. Phys. Lett. A., 1977, 64A, №3, p.327-329.

91. A.B. Лусников. О механизме распыления поверхностных атомов. ФТТ, 1978, 20, вып.8, с. 2491-2494.

92. R.S. Walker, D.A. Tompson. Computer simulation of ion bombardment collision cascades. Rad. Eff, 1978, 37, №1-2, p. 113-120.

93. P. Sigmund. Mechanism and theory of physical sputtering by particle impact. Nucl. Instr. and Meth. In Phys. Res., 1987, B27, p. 1-20.

94. Я.С. Уманский и др. Физические основы металловедения. М.: Металлургиздат. 1955, 724 с.

95.V.S. Chernysh, W. Eckstein, A.A. Haidarov, V.S. Kulikauskas, V.A. Kurnaev, E.S. Mashkova, V.A. Molchanov. Angular Distributions of Particles Sputtered from polycrystalline Platinum. Nucl. Instr. Meth. In Phys. Res. 1998, B135, p.285-288.

96. B.C. Куликаускас, E.C. Машкова, B.A. Молчанов, A.A. Хайдаров, B.C. Черныш, В. Экштайн. Распыление платины ионами инертных газов. Изв. РАН. Сер. физ. 1998, 62, №7, с. 1425-1430.

97. B.C. Куликаускас, Е.С. Машкова, В.А. Молчанов, А.А. Хайдаров, B.C. Черныш, В. Экштайн. Механизмы распыления платины ионами инертных газов низких энергий. Поверхность. 1999, №4, с. 42-47.

98. B.C. Куликаускас, Е.С. Машкова, В.А. Молчанов, А.А. Хайдаров, B.C. Черныш, В. Экштайн. Распыление платины ионами инертных газов. // Тез.докл. XII - Международной конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью». Звенигород, 1997, с. 67-70.

99. И.С. Куликаускас, Е.С. Машкова, В.А. Молчанов, А.А. Хайдаров, B.C. Черныш, В. Экштайн. Угловые распределения частиц, распыленных из платины при бомбардировке ионами инертных газов.// Тез. докл. Международная конференция «Эмиссионная электроника, новые методы и технологии. Ташкент, Узбекистан. 1997, с. 125.

100. B.C. Куликаускас, Е.С. Машкова, В.А. Молчанов, А.А. Хайдаров, B.C. Черныш, В. Экштайн. Угловые распределения частиц, распыленных из платины ионами инертных газов низких энергий. Тез. докл. XXVIII Международной конференции по физике «Взаимодействие заряженных частиц с кристаллами. Москва, Изд. МГУ, 1998, с.62.

101.V.S. Chernysh, А.А. Haidarov, V.S. Kulikauskas. Sputtering of binary alloy. Proc. Of the 2-nd Japan-Russia Symposium on Interaction of Fast Charged Particles with Solids (Nagoya University, October 5-9, 1998). Nagoya, 1998, p. 88-93.