Проводящие и СВЧ-отражающие свойства тонких металлических и металл-диэлектрических плёнок с включениями тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Макаров, Павел Андреевич

• Макаров, Павел Андреевич
• кандидат физико-математических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Макаров, Павел Андреевич

Оглавление

Введение

Глава 1. Обзор литературы

1.1. Практическое значение многослойных тонкопленочных структур

1.2. Формирование и структурные особенности тонких плёнок

1.3. Распространение ЭМВ в тонких плёнках

1.4. Теория эффективной среды

1.5. Постановка задачи

Глава 2. ЭМВ в мнослойных плёнках с включениями

2.1. Волновые уравнения для неоднородной среды

2.2. Кинетические коэффициенты сред с включениями

2.3. Граница раздела двух сред

2.4. Распространение СВЧ- излучения в многоплёночных системах

Глава 3. Методика эксперимента и результаты исследований

3.1. Методика и техника эксперимента

3.2. Результаты эксперимента и их обсуждение

Заключение

Авторский список литературы

Литература

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Проводящие и СВЧ-отражающие свойства тонких металлических и металл-диэлектрических плёнок с включениями»

Введение

Актуальность проблемы

Изучение проводящих и СВЧ - отражающих свойств низкоразмерных систем является одним из важнейших направлений современной физики конденсированного состояния, которое включает в себя исследование тонких плёнок, поверхностей, различных мультислойных и композитных структур, и имеет первостепенное значение для их практического использования.

Многослойные и композитные структуры широко исследуются в настоящее время в связи с разнообразием проявляемых ими аномальных электрических [1-8] и магнитных [2,9-20] свойств. Особенности микро - и наноструктуры подобных объектов непосредственно обуславливают их материальные параметры (диэлектрическую, магнитную проницаемость, проводимость), а вместе с ними и отражение, прохождение и поглощение электромагнитных волн в данных системах [А1-А9] [4,8,21-25,25-31].

Интерес к изучению микро - и наносистем связан также с решением различных фундаментальных проблем. Исследования в этой области подкрепляются как открытием новых явлений, таких, например, как квантовые эффекты Холла, Зенона, так и появлением принципиально новых технологий получения планарных структур, позволяющих изготавливать многослойные структуры из самых различных материалов. Всё это приводит к развитию новых идей и принципов, которые вызывают потребность в более глубоком и детальном теоретическом анализе, а также в постановке комплексных экспе-

риментальных исследований.

Большое значение имеют исследования пространственных неодно-родностей низкоразмерных структур [32, 33], обусловленных как несовершенством поверхности подложек, так и технологей получения плёнок. Зачастую подобные неоднородности делают достаточно сложным, а во многих случаях невозможным наблюдение «тонких» эффектов, усложняют понимание физической природы наблюдаемых явлений. В силу данных причин наблюдается бурное развитие техники и аппаратуры для измерений структурных, электрических и магнитных свойств низкоразмерных систем [34,35]. Степень неоднородности планарных структур, характер распределения дефектов по их поверхности являются важными факторами, влияющими на предельно достижимые параметры и надежность работы многих устройств на основе тонких плёнок. В связи с этим большой практический интерес вызывает исследование влияния неоднородности структуры плёночных систем на их электродинамические свойства.

Тема настоящей диссертационной работы соответствует перечню приоритетных направлений фундаментальных исследований, утверждённых Президиумом РАН (раздел 1.2. — «Физика конденсированного состояния вещества», подраздел 1.2.5. — «Физика твёрдотельных наноструктур, ме-зоскопия»). Диссертационная работа является частью комплексных исследований, проводимых на кафедре радиофизики и электроники ФГБОУ ВПО «Сыктывкарский государственный университет» при финансовой поддержке Министерства образования и науки (темплан НИР 2008 - 2011) и грантов РФФИ (06-02-17302, 09.-02-9800_р_север_а, 10-02-01327).

Объект и предмет исследования

Объект исследования — металлические, металл - диэлектрические плён-

ки с включениями и композитными структурами. Предметом исследования является вопрос взаимосвязи включений с проводимостью, диэлектрической проницаемостью и отражающими свойствами в СВЧ - диапазоне двухслойных металлодиэлектрических плёнок.

Цели и задачи настоящего исследования

Целью настоящей работы является комплексное исследование электрических и СВЧ - отражающих свойств тонких металлических и металлодиэлектрических плёнок с включениями и композитными структурами на диэлектрической подложке, включающее в себя как теоретическое моделирование, так и экспериментальное исследование их проводящих и отражающих свойств в СВЧ-диапазоне. Для достижения выбранной цели были поставлены следующие задачи:

1. Исследование поведения СВЧ электромагнитного поля в неоднородных средах;

2. Изучение диэлектрической проницаемости и проводимости композитных слоёв;

3. Расчет коэффициентов отражения, прохождения и поглощения в многослойных структурах с включениями;

4. Изготовление серий тонких плёнок Ре, (Ре)ж(ВаР2)у, (Ре)ж(А1)2/, (Ре)ж(\¥Оз)у, (Ре)ж(МоОз)2/ с разной толщиной;

5. Экспериментальное исследование проводящих и СВЧ - отражающих свойств полученных плёнок и влияние на них окисления слоя Ре и включений, возникающих при напылении диэлектрического слоя.

Научная новизна

1. Получены аналоги волновых уравнений электромагнитного поля в стационарных изотропных неоднородных средах.

2. На основе приближений Максвелла — Гарнетта, Полдера — ван Сан-тена, фон Бруггемана проанализирована эффективная диэлектрическая проницаемость и проводимость композитных сред в зависимости от концентрации включений.

3. Предложена методика расчета коэффициентов отражения, прохождения и поглощения СВЧ - волн в многослойных неоднородных композитных средах.

4. Проведен анализ влияния включений в составе многослойной системы на её проводящие и отражающие свойства.

5. Изготовлены образцы нанокомпозитных металлических и металло-диэлектрических плёнок Бе, (Бе)ж(ВаБ2)у, (Бе)ж(А1)2/, (Бе^^Юз)?,, (Бе)а;(МоОз)?/, исследованы их проводящие и СВЧ - отражающие свойства, а также наноструктура плёнок Бе, (Бе^ВаБг)^.

6. Измерено изменение массы плёнок от времени в процессе и после напыления.

Практическая значимость работы

Результаты диссертационной работы могут быть использованы для создания плёнок с заданными диэлектрической проницаемостью и проводимостью, и соответственно, коэффициентами отражения, а также для совершенствования технологии получения многослойных плёнок.

Методика расчета коэффициентов отражения, прохождения и поглощения может быть эффективно использована для оперативной диагностики тон-

коплёночных материалов, в том числе контроля концентрации и проводимости включений.

На защиту выносятся следующие положения:

1. Зависимость диэлектрической проницаемости, проводимости композитных слоёв от концентрации включений;

2. Методика расчета коэффициентов отражения, прохождения и поглощения СВЧ-волн в многослойных плёнках с композитными слоями;

3. Зависимости проводящих и СВЧ - отражающих свойств плёнок Ре, (Ре)ж(ВаР2)у от толщины слоёв и концентрации включений;

4. Методика определения концентрации и проводимости включений в металлических и металл - диэлектрических плёнках.

Апробация работы

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на конференциях, школах и семинарах: X, XII Всероссийской научной конференции студентов радиофизиков (Санкт-Петербург, 2006, 2007); 1 Всероссийской молодежной научной конференции (Сыктывкар, 2008); молодёжной научной конференции памяти Н. А. Фролова (Сыктывкар, 2009); XIV Всероссийской научной конференции студентов физиков и молодых учёных (Кемерово, 2009); международной конференции «Фазовые переходы, критические и нелинейные явления в конденсированных средах» (Махачкала, 2009); ХЫУ зимней школе ПИЯФ РАН, секция физики конденсированного состояния (Санкт-Петербург, 2010); молодёжной научной конференции памяти Ф.А.Бабушкина (Сыктывкар, 2008, 2010); университетских конференциях «Февральские чтения» (Сыктывкар, 2009 - 2012); научных семинарах ка-

федры радиофизики и электроники Сыктывкарского государственного университета.

Публикации

Основное содержание диссертационной работы опубликовано в 9 работах, в том числе в 2 статьях в рецензируемых журналах из перечня ВАК РФ и в 2 статьях в сборниках работ международных конференций.

Личный вклад автора заключается в выборе и постановке задач исследований, теоретическом моделировании диэлектрической проницаемости, проводимости и СВЧ-отражения композитных плёнок, а также в проведении экспериментов и анализе результатов экспериментальных исследований.

Структура и объем диссертации

Диссертация состоит из введения, трёх глав, заключения и списка авторской и цитированной литературы. Общий объем диссертации — 119 страниц, включая 36 рисунков и 1 таблицу. Библиографический список содержит 123 наименования.

Во введении дано обоснование актуальности темы диссертационной работы, сформулирована цель и задачи работы, приведены основные положения, выносимые на защиту. Раскрыта научная новизна и практическая значимость выполненной работы. Описана структура диссертации.

Первая глава носит обзорный характер. В ней приводятся различные свойства и параметры тонких композитных плёнок. Приведены физические принципы, на основе которых используются низкоразмерные структуры. Также рассмотрены различные типы отражения, прохождения, рассеяния и поглощения энергии электромагнитных волн в данных системах с использованием феноменологического подхода. Описаны основные результаты работ [8,36] по изучению связи проводящих и СВЧ свойств тонких многослой-

ных структур.

Рассмотрена вспомогательная задача об отклике сферического включения на внешнее электромагнитное поле в трёх случаях: в статическом приближении, в переменном поле невысокой частоты и высокочастотном поле, когда необходимо учитывать скин-эффект [37-39]. Для данных случаев выводятся поляризуемости частиц.

Последняя часть главы посвящена приближениям теории эффективной среды. Рассматривается диэлектрическая проницаемость композитных сред для модели Максвелла [40-42].

Вторая глава диссертации посвящена теоретическому исследованию распространения электромагнитных волн СВЧ-диапазона через низкоразмерные структуры — многослойные плёнки с включениями.

Приведён рекуррентный метод определения коэффициентов отражения Я, прохождения Т и поглощения электромагнитных волн при распространении через многослойные системы.

В третьей главе описана методика изготовления плёнок, техника эксперимента, приведены экспериментальные результаты и их обсуждение.

В заключении приводятся основные выводы по диссертационной работе и положения, выносимые автором на защиту.

Работа выполнена на кафедре радиофизики и электроники Сыктывкарского государственного университета.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Макаров, Павел Андреевич

Заключение

Таким образом, в диссертационной работе получены следующие основные результаты:

• В явном виде получены волновые уравнения СВЧ электромагнитного поля в средах неоднородностями диэлектрической и магнитной проницаемости £ И ¡1\

• Рассчитаны диэлектрическая проницаемость и проводимость сред с включениями в соответствии с моделями Максвелла — Гарнетта, Полдера — ван Сантена, фон Бруггемана. Построены графики концентрационных зависимостей е(п) для соответствующих приближений. Установлено, что в случае сферических включений с евкл < £Сред модель Максвелла — Гарнетта работает только для относительно небольших концентраций, а модели Полдера — ван Сантена и фон Бруггемана дают идентичные результаты. Положение порога протекания при этом зависит от соотношения между £вкл и £сред и наблюдается в среднем в области концентраций п ~ 0,7;

• Описана методика и выполнен расчет коэффициентов отражения Я, прохождения Т и поглощения ф электромагнитной энергии СВЧ - волн в многослойных плёнках с включениями.

Построены угловые зависимости й, Т и <3 для перпендикулярных и продольных поляризаций волны. Выявлены существенные различия в поведении коэффициентов отражения и прохождения в зависимости от типа поляризации, и практически полная идентичность коэффициентов поглощения.

Построены зависимости Я, Т и от толщины слоя железа при нормальном падении волны. Выявлено, что при изменении толщины проводящего слоя в пределах (1 6 (1,0 -г-10, 0) нм отражение, прохождение и поглощение СВЧ-волн кардинальным образом изменяется.

Рассчитаны зависимости энергетических коэффициентов отражения, прохождения и поглощения от концентрации включений. Установлено, что при различных толщинах слоя железа порог протекания наблюдается в области концентраций п е (0,5 -т- 0,7). Зависимость (¿(п) для плёнок относительно большой толщины при этом имеет резонансный вид;

• Изготовлены серии тонких плёнок Ре, (Ре)ж(А1)у, (Ре)ж(ВаР2)2/, (Ре)ж(МоОз)у, (Ре)ж(\УЬОз)у с различной толщиной. Экспериментально исследованы наноструктура, проводящие и СВЧ - отражающие свойств полученных металлодиэлектрических структур. Выявлено, что масса изготовленных плёнок существенно изменяется с течением времени на воздухе в связи с процессами окисления, адсорбции и абсорбции.

• Описана методика и выполнен расчет концентрации и средней проводимости включений в составе полученных плёнок. Искомые значения находятся в интервале сгвкл € (103 -т-104) См/м и п £ (0,6 0,7).

• Исследовано влияние окисления на электрическое сопротивление плёнок Ре, (Ре)ж(А1 )у, (Ре)ж(МоОз)у, (Ре)ж(\¥оОз)у. Выявлено, что тонкие плёнки Ре, толщиной до 10 нм начинают окисляться уже при напылении, находясь в вакуумной камере с остаточным давлением газа 10~5 Topp, и окисляются полностью на воздухе в течение нескольких секунд. Более толстые плёнки с толщиной, большей 20 нм, полностью не окисляются, однако слой окисла занимает значительную часть плёнки и увеличивается со временем. Основная часть железа, находясь на воздухе, окисляется в течение 200 секунд, однако, процесс окисления продолжается и далее.

Авторский список литературы

А1] Наноструктура, проводящие и отражающие свойства тонких пленок железа и (Ре)х(ВаГ2)у / И. В. Антонец, Л. Н. Котов, П. А. Макаров, Е. А. Голубев // ЖТФ. - 2010. - Т. 80, № 9. - С. 134-140.

А2] Сопротивление и окисление плёнок железа и влияние верхнего слоя из диэлектриков и металла / Л. Н. Котов, И. В. Антонец, Р. И. Королев, П. А. Макаров // Вестник Челябинского государственного университета. Физика. Вып. 12. — 2011. — Т. 39 (254). - С. 57-62.

АЗ] Макаров, П. А. Электродинамические исследования отражающих свойств многослойных тонкопленочных структур / П. А. Макаров, Л. Н. Котов, И. В. Антонец // Фазовые переходы, критические и нелинейные явления в конденсированных средах. Сборник трудов международной конференции. — Махачкала: 2009. — С. 87-90.

А4] Антонец, И. В. Проводящие и отражающие свойства тонких пленок железа и (Ре^ВаРг),/ / И. В. Антонец, П. А. Макаров // Магнитные фазовые переходы. Сборник трудов IX международного семинара. — Махачкала: 2009. - С. 79-82.

А5] Макаров, П. А. Исследование высокочастотных отражающих свойств тонкой двухслойной структуры / П. А. Макаров // X Всероссийская научная конференция студентов-радиофизиков: Тез. докл. — СПб.: Изд-во Политехи, ун-та, 2006. — С. 57-59.

А6] Макаров, П. А. Исследование обратных волн в тонких изотропных слоях / П. А. Макаров // Сборник тезисов, материалы Тринадцатой Всероссийской научной конференции студенов-физиков и молодых ученых (ВНКСФ-13, Ростов-на-Дону, Таганрог): Материалы конференции, тезисы докладов. — Екатеринбург — Ростов-на-Дону — Таганрог: АСФ России, 2007. - С. 565-566.

А7] Макаров, П. А. Электродинамические исследования тонких многослойных структур / П. А. Макаров // Сборник тезисов, материалы Пятнадцатой Всероссийской научной конференции студенов-физиков и молодых ученых (ВНКСФ-15, Кемерово — Томск): материалы конференции, тезисы докладов. — Екатеринбург — Кемерово: АСФ России, 2009. — С. 136-137.

Макаров, П. А. Исследование электромагнитных свойств композитных сред / П. А. Макаров // Материалы докладов I Всероссийской молодежной научной конференции «Молодежь и наука на Севере». — Т. 1. - Сыктывкар: 2008. - С. 42-43.

Макаров, П. А. Коэффициенты отражения и прохождения электромагнитных СВЧ волн для многослойных тонкопленочных структур / П. А. Макаров // Тезисы докладов ХЫУ Зимней школы ПИЯФ РАН, секция физики конденсированного состояния. — СПб.: 2010. — С. 66-68.

А8]

А9]

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Макаров, Павел Андреевич, 2012 год

Литература

1. Dielectric, ferroelectric, magnetic, and magnetoelectric properties of multifer-roic laminated composites / N. Cai, J. Zhai, C.-W. Nan et al. // Physical Review B. - 2003. - Vol. 68. - P. 224103.

2. Complex permittivity, permeability and electromagnetic wave absorption of a-Fe/C(amorphous) and Fe2B/C(amorphous) nanocomposites / Jiu Rong Liu, Masahiro Itoh, Takashi Horikawa et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2004. - Vol. 37. - Pp. 2737-2741.

3. Состав, структура и свойства наноструктурных плёнок боридов тантала / А. А. Гончаров, П. И. Игнатенко, В. В. Петухов и др. // ЖТФ. - 2006. -Т. 76, № 10. - С. 87-90.

4. Антпопец, И. В. Распространение волн через тонкие слои и пленки / И. В. Антонец, В. И. Щеглов. — Сыктывкар: Изд-во Сыктывкарского гос. ун-та, 2010. - С. 132.

5. Перевалов, Т. В. Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью / Т. В. Перевалов, В. А. Гриценко // УФЕ. - 2010. - июнь. - Т. 180, № 6. - С. 587-603.

6. Исследование эффективной диэлектрической проницаемости композитного материала CaS04 • 2Н20 — графит / И. В. Бычков, Д. В. Дубровских, И. С. Зотов, А. А. Федий // Вестник Челябинского государственного университета. - 2011. - Т. 7, № 9. - С. 7-15.

7. Электрические свойства композитов на основе полистирола и гибридных наноразмерных частиц диоксида кремния / О. А. Серенко, Г. А. Лутцей-кин, Е. В. Гетманова и др. // ЖТФ. - 2011. - Т. 81, № 9. - С. 63-66.

8. Проводящие и отражающие свойства тонких металлических пленок / И. В. Антонец, Л. Н. Котов, С. В. Некипелов, Е. Н. Карпушов // ЖТФ.

- 2004. - Т. 74, № 11. - С. 102-106.

9. Изотов, А. В. Исследование восприимчивости и магнитных неоднороднос-тей тонких плёнок методом ферромагнитного резонанса: Автореф. дис... канд. ф.-м. наук: 01.04.11 / Институт физики им. Л. В. Киренского СО РАН. - Красноярск, 2003. - С. 22.

10. Сукстанский, А. Л. Доменная структура в ультратонкой ФМ пленке. Трехпараметрическая модель / А. Л. Сукстанский, К. И. Примак // Физика твердого тела. — 2003. — Т. 45, № 1. — С. 105-112.

11. Dielectric and magnetic losses of microwave electromagnetic radiation in granular structures with ferromagnetic nanoparticles / L. V. Lutsev, N. E. Kazant-seva, I. A. Tchmutin et al. // Journal of physics: condensed matter. — 2003.

- Vol. 15. - Pp. 3665-3681.

12. Степанова, E. А. Магнитные свойства и состояние поверхности лент аморфных магнитомягких сплавов: Автореф. дис... канд. ф.-м. наук: 01.04.11 / Уральский государственный университет им. А. М. Горького, кафедра физики магнитных явлений. — Екатеринбург, 2004. — С. 24.

13. Cochrana, J. F. Ferromagnetic resonance in very thin films / J. F. Cochrana, V. Kambersky // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. — 2006. — Vol. 302. - Pp. 348—361.

14. de Cos, D. Ferromagnetic resonance in gigahertz magneto-impedance of multilayer systems / D. de Cos, A. Garcia-Arribas, J. M. Barandiaran // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2006. - Vol. 304. — Pp. 218-221.

15. Особенности частотного спектра нелинейного магнитоимпеданса многослойных пленочных структур / Н. А. Бузников, А. С. Антонов, A. JT. Дьячков, А. А. Рахманов // ЖТФ. - 2004. - Т. 74, № 5. - С. 56-61.

16. de Sihues, М. Diaz. A ferromagnetic resonance study of NiFe alloy thin films / M. Diaz de Sihues, C. A. Durante-Rincón, J. R. Fermin // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. — 2007. — Vol. 316. — Pp. e462—e465.

17. Thermal evolution of the ferromagnetic resonance in Fe^Os/SiC^ nanocom-posites for magneto-optical sensors / D. Ortega, J. S. Garitaonandi, C. Barrera-Solano, M. Domínguez // Sensors and Actuators A. — 2008. — Vol. 142. — Pp. 554-560.

18. Designs for ultra-tiny, special-purpose nanoelectronic circuits / Shamik Das, Alexander J. Gates, Hassen A. Abdu et al. // IEEE Transactions on Circuts and Systems - I: Regular Papers. — 2007. — Vol. 54, no. 11. — Pp. 2528-2540.

19. XANES- и USXES-исследования межатомных взаимодействий в наноком-позитах (Co4iFe3gB2o)x(Si02)i-a; / Э. П. Домашевская, С. А. Сторожилов, С. Ю. Турищев и др. // Физика твердого тела. — 2008. — Т. 50, N5 1. — С. 135-141.

20. Пудонип, Ф. А. Размерные эффекты и магнитные свойства аморфных наноструктур на основе полупроводников и металлов: Автореф. дис... д-ра ф.-м. наук: 01.04.07 / Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН. — М., 2011. - С. 52.

21. Гранулированные нанокомпозиты металл — диэлектрик с аморфной структурой / Ю. Е. Калинин, А. Т. Пономаренко, А. В. Ситников, О. В. Стогней // Физика и химия обработки материалов. — 2001. — № 5. - С. 14-20.

22. Бучельников, В. Д. Коэффициент отражения электромагнитных волн от поверхности пластины феррита кубической симметрии / В. Д. Бучельников, А. В. Бабушкин, И. В. Бычков // Физика твердого тела. — 2003. — Т. 45, № 4. - С. 663-672.

23. Высокочастотное спин-зависящее туннелирование в нанокомпозитах / А. Б. Грановский, А. А. Козлов, Т. В. Багмут и др. // Физика твердого тела. - 2005. - Т. 47, № 4. - С. 713-715.

24. Измерения толщины нанометровых слоев металла и электропроводности полупроводника в структурах металл-полупроводник по спектрам отражения и прохождения электромагнитного излучения / Д. А. Усанов,

A. В. Скрипаль, А. В. Абрамов, А. С. Боголюбов // ЖТФ. - 2006. -Т. 76, № 5. - С. 112-117.

25. Проводящие и отражающие свойства пленок нанометровых толщин из различных металлов / И. В. Антонец, Jl. Н. Котов, В. Г. Шавров,

B. И. Щеглов // Вадиотехника и электроника. — 2006. — Т. 51, № 12. —

C. 1394 1401.

26. Изменение типа резонансного отражения электромагнитного излучения в структурах «нанометровая металлическая пленка — диэлектрик» / Д. А. Усанов, А. В. Скрипаль, А. В. Абрамов, А. С. Боголюбов // Письма в ЖТФ. - 2007. - январь. - Vol. 33, по. 2. - Pp. 13-22.

27. Антонец, И. В. Отражающие и проводящие свойства тонких металлических пленок и их наноструктура: Монография / И. В. Антонец; Под ред. JI. Н. Котова. — Сыктывкар: Изд-во Сыктывкарского ун-та, 2007. — С. 124.

28. Coey, J. М. D. Magnetism and Magnetic Materials / J. M. D. Coey. - New York: Cambridge University Press, 2010. — P. 632.

29. Курин, В. В. Резонансное рассеяние света на наноструктурированных металлических и ферромагнитных плёнках / В. В. Курин // УФЕ. — 2009.

- Т. 179, № 9. - С. 1012-1018.

30. Recent Optical and Photonic Technologies / Ed. by Ki Young Kim. — Intech, 2010. - P. 450.

31. Структура, оптические и диэлектрические свойства наночастиц титаната бария, полученных механохимическим методом / Б. М. Горелов, Е. В. Котенок, С. Н. Махно и др. // ЖТФ. - 2011. - Т. 81, № 1. - С. 87-94.

32. Доброхотов, Э. В. Размерные эффекты в тонких плёнках алюминия / Э. В. Доброхотов // Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия: Физика. — 2010. — Т. 3, № 1. — С. 61-67.

33. Куликов, К. Г. Исследование влияния мелкомасштабных неоднороднос-тей на электрофизические характеристики тонкого слоя методом внутри-резонаторной лазерной спектроскопии / К. Г. Куликов // ЖТФ. — 2011.

- Т. 81, № 9. - С. 82-88.

34. Zhang, Z. Observation of ferromagnetic resonance in a microscopic sample using magnetic resonance force microscopy / Z. Zhang, P. C. Hammel,

P. E. Wigen // Applied Physics Letters. - 1996. - Vol. 68, no. 14. - Pp. 20052007.

35. Unguris, J. Scanning Electron Microscopy with Polarization Analysis (SEM-PA) and its Applications / J. Unguris // Magnetic Imaging and its Applications to Materials / Ed. by Marc De Graef, Yimei Zhu. — Academic Press, 2000. — Pp. 271 303.

36. Особенности наноструктуры и удельной проводимости тонких пленок различных металлов / И. В. Антонец, JI. Н. Котов, С. В. Некипелов, Е. А. Голубев // ЖТФ. - 2004. - Т. 74, № 3. - С. 24-27.

37. Хюлст, Ван де. Рассеяние света малыми частицами / Ван де Хюлст. — М.: Издательство иностранной литературы, 1961. — С. 536.

38. Нагаев, Э. JI. Малые металлические частицы / Э. Л. Нагаев // УФН. — 1992. - Т. 162, № 9. - С. 49-124.

39. Карпов, А. А. Моделирование переноса электромагнитного излучения в аэрозольных облаках / А. А. Карпов, В. В. Чередов // Математическое моделирование. - 1999. - Т. И, № 3. - С. 13-22.

40. Sihvola, Ari H. Effective Permittivity of Dielectric Mixtures / Ari H. Sihvola, Jin Au Kong // IEEE Transactions on Geoscience and Remote Sensing. — 1988. - Vol. 26, no. 4. - Pp. 420-429.

41. Sarabandi, Kamal. Numerical Scattering Analysis for Two-Dimensional Dense Random Media: Characterization of Effective Permittivity / Kamal Sarabandi, Paul R. Siqueira // IEEE Transactions on Antennas and Propagation — 1997. - Vol. 45, no. 5. - Pp. 858-867.

42. Сушко, М. Я. Метод компактных групп в теории диэлектрической проницаемости гетерогенных систем / М. Я. Сушко, С. К. Криськив // ЖТФ.

- 2009. - Т. 79, № 3. - С. 97-101.

43. Трубецков, Д. И. Лекции по сверхвысокочастотной электронике для физиков. / Д. И. Трубецков, А. Е. Храмов. - М.: ФИЗМАТЛИТ, 2004. -Т. 2. - С. 648.

44. Применение наноразмерных плёнок титаната бария-стронция для перестраиваемых сверхвысокочастотных устройств / Вас. М. Мухортов, С. И. Масычев, Ю. И. Головко и др. // ЖТФ. - 2006. - Т. 76, № 10.

- С. 106-109.

45. Ряды устройств для преобразования частоты на основе многофункциональной СаАв МИС / Ю. М. Богданов, В. Г. Красник, В. Г. Лапин и др. // Электронная техника. Сер. 1, СВЧ-техника, — 2007. — № 1(489). — С. 50-57.

46. Абакумова, Н. В. Проектирование монолитных аттенюаторов / Н. В. Абакумова, Ю. М. Богданов, А. К. Балыко // Электронная техника. Сер. 1, СВЧ-техника. - 2005. - № 2. - С. 6-20.

47. Тавгер, Б. А. Квантовые размерные эффекты в полупроводниковых и полуметаллических плёнках / Б. А. Тавгер, В. Я. Демиховский // УФН.

- 1968. - сентябрь. - Т. 96, № 1. - С. 61-86.

48. Гутников, В. С. Интегральная электроника в измерительных приборах / В. С. Гутников. — Л.: «Энергия», 1974. — С. 144.

49. Епифанов, Г. И. Физические основы микроэлектроники / Г. И. Епифанов.

- М.: «Советское радио», 1971. — С. 376.

50. Технология и автоматизация производства радиоэлектронной аппаратуры: Учебник для вузов / И. П. Бушминский, О. Ш. Даутов, А. П. Достанко и др.; Под ред. А. П. Достанко, Ш. М. Чабдарова. — М.: Радио и связь, 1989. - С. 624.

51. Веселое, В. И. Микроэлектронные устройства СВЧ: Учеб. пособие для радиотехнических специальностей вузов / Г. И. Веселов, Е. Н. Егоров, Ю. Н. Алехин; Под ред. Г. И. Веселова. - М.: Высш. шк, 1988. - С. 280.

52. Проектирование полосковых устройств СВЧ: Учебное пособие. — Ульяновск., 2001. - С. 130.

53. Вавилов, С. Н. Микроэлектроника / С. Н. Гавилов, С. М. Никулин. — М.: «Энергия», 1970. - С. 82.

54. Смит, Р. А. Полупроводники: Пер. с англ. / Р. А. Смит. — 2-е, перер. и доп. изд. - М.: Мир, 1982. - С. 560.

55. Эллипсометрическое исследование систем полупроводниковая подложка — полупроводниковая эпитаксиальная плёнка со сложным распределением легирующей примеси / А. С. Мардежов, К. К. Свиташев, А. И. Се-менеко, Л. В. Семененко // Микроэлектроника. — 1978. — Т. 7, № 6. — С. 545-552.

56. Агаханян, Т. М. Интегральные микросхемы / Т. М. Агаханян; Под ред. В. Н. Серова. — М.: Энергоатомиздат, 1983. — С. 464.

57. Врюэр, Дж. Р. Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов / Дж. Р. Брюэр, Д. С. Гринич, Д. Р. Херриот; Под ред. Дж. Р. Брюэр. — М.: Радио и связь, 1984. — С. 336.

58. Арзамасов, Б. Н. Материаловедение: Учебник для высших технических учебных заведений / Б. Н. Арзамасов, И. И. Сидорин, Г. Ф. Косолапов; Под ред. Б. Н. Арзамасова. — испр. и доп. 2-е изд. — М.: Машиностроение, 1986. - С. 384.

59. Hansen, J. R. Display of Infrared Laser Patterns by a Liquid Crystal Viewer / J. R. Hansen, J. L. Fergason, A. Okaya // Applied Optics. — 1964. — Vol. 3, no. 8. - Pp. 987-988.

60. Перлин, E. Ю. Физика твердого тела. Оптика полупроводников, диэлектриков, металлов. Учебное пособие / Е. Ю. Перлин, Т. А. Вартанян, А. В. Федоров. - СПб.: СПбГУИТМО, 2008. - С. 216.

61. Чопра, К. Л. Электрические явления в тонких плёнках (избранные главы из книги Thin film phenomena) / К. JI. Чопра; Под ред. Т. Д. Шермергора. - М.: «Мир», 1972. - С. 426.

62. Эпштейн, М. И. Измерения оптического излучения в электронике / М. И. Эпштейн. — М.: «Энергия», 1975. - С. 248.

63. Андреев, С. В. Методические указания к лабораторному практикуму по курсу «Оптические покрытия» / С. В. Андреев, Л. А. Губанова, Э. С. Пу-тилин. - СПб.: СПбГУИТМО, 2006. - С. 149.

64. Александров, Л. Н. Многослойные пленочные структуры для источников света / Л. И. Александров, А. С. Иванцев; Под ред. К. К. Свиташева. — Новосибирск: Наука, 1981. — С. 136.

65. Вончаренко, А. М. Получение и исследование тонкопленочных оптических волноводов / А. М. Гончаренко, В. П. Редько // Проблемы современ-

ной оптики и спектроскопии /' Под ред. Б. И. Степанова, А. А. Богуш. — Мн.: Наука и техника, 1980.

66. Технология тонких пленок. Справочник / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэн-га. — М.: «Советское радио», 1977. — Т. 2. — С. 768.

67. Костржицкий, А. И. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме / А. И. Костржицкий, В. Ф. Карпов, М. П. Кабанченко; Под ред. О. В. Маргулиса. — М.: Машиностроение, 1991. — С. 176.

68. Уэстон, Дж. Техника сверхвысокого вакуума / Дж. Уэстон. — М.: Мир, 1988. - С. 366.

69. Данилин, Б. С. Вакуумное нанесение тонких плёнок / Б. С. Данилин; Под ред. Р. А. Нилендер. — М.: «Энергия», 1967. — С. 312.

70. Кеменов, В. Н. Вакуумная техника и технология / В. Н. Кеменов, С. Б. Нестеров. - М.: Издательство МЭИ, 2002. - С. 84.

71. Низкотемпературная эпитаксия плёнок, конденсированных из лазерной плазмы / С. В. Гапонов, Б. М. Лускин, Б. А. Нестеров, Н. Н. Салагценко // Письма в ЖТФ. - 1977. - Т. 3, № 12. - С. 573-576.

72. Борн, М. Основы оптики / М. Борн, Э. Вольф. — испр. 2-е изд. — М.: «Наука», 1973. - С. 720.

73. Ландау, Л. Д. Теоретическая физика: учебное пособие в 10 т. / Л. Д. Ландау, Е. М. Лифшиц; Под ред. Л. П. Питаевского. — 4-е, стереот. изд. — М.: Физматлит, 2005. — Т. VIII. Электродинамика сплошных сред. — С. 656.

74. Ландсберг, В. С. Оптика / Г. С. Ландсберг. — 6 изд. — М.: Физматлит, 2010. - С. 848.

75. Стафеев, С. К. Основы оптики: Учебное пособие / С. К. Стафеев, К. К. Боярский, Г. Л. Башнина. - СПб.: Питер, 2006. - С. 336.

76. Бреховских, Л. М. Волны в слоистых средах / Л. М. Бреховских. — доп. и перераб. 2-е изд. — М.: «Наука», 1973. — С. 344.

77. Абрикосов, А. А. Основы теории металлов / А. А. Абрикосов. — М.: Наука, 1987. - С. 520.

78. Гершун, А. А. Прохождение света через плоский слой светорассеивающей среды / А. А. Гершун // Избранные труды по фотометрии и светотехнике.

- М.: Физматгиз, 1958. - С. 400.

79. Лифшиц, Е. М. Теоретическая физика: учебное пособие в 10 т. / Е. М. Лифшиц, Л. П. Питаевский; Под ред. Л. П. Питаевского. — 4-е, исправл. изд. — М.: Физматлит, 2004. — Т. IX. Статистическая физика. Часть 2. Теория конденсированного состояния. — С. 496.

80. Лифшиц, Е. М. Теоретическая физика: учебное пособие в 10 т. / Е. М. Лифшиц, Л. П. Питаевский; Под ред. Л. П. Питаевского. — 2-е, испр. изд. — М.: Физматлит, 2007. — Т. X. Физическая кинетика. — С. 536.

81. Виноградов, А. П. Электродинамика композитных материалов / А. П. Виноградов; Под ред. Б. 3. Каценеленбаума. — М.: Эдиториал УРСС, 2001.

- С. 208.

82. Вусев, А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии / А. И. Гусев. — М.: Физматлит, 2005. — С. 416.

83. Андриевский, В. А. Наноструктурные материалы / Р. А. Андриевский, А. В. Рагуля. - М.: «Академия», 2005. - С. 192.

84. Ландау, Л. Д. Теоретическая физика: учебное пособие в 10 т. / Л. Д. Ландау, Е. М. Лифшиц; Под ред. Л. П. Питаевский. — 8 изд. — М.: Физматлит, 2006. - T. II. Теория поля. - С. 536.

85. Снарский, А. А. Знал ли Максвелл о пороге протекания? (К пятидесятилетию создания теории протекания) / А. А. Снарский // УФН. — 2007. — Т. 177, № 12. - С. 1341-1344.

86. Каценеленбаум, Б. 3. Высокочастотная электродинамика. Основы математического аппарата / Б. 3. Каценеленбаум. — М.: «Наука», 1966. — С. 240.

87. Куру шин, Е. П. Электродинамика анизотропных волноведугцих структур / Е. П. Курушин, Е. И. Нефедов. - М.: «Наука», 1983. - С. 224.

88. Апресян, Л. А. Теория переноса излучения: Статистические и волновые аспекты / Л. А. Апресян, Ю. А. Кравцов. — М.: Мир, 1983. — С. 216.

89. Анго, А. Математика для электро- и радиоинженеров / А. Анго. — М.: Наука, 1964. - С. 772.

90. Тихонов, А. Н. Уравнения математической физики / А. Н. Тихонов, А. А. Самарский. — стереотипное 5-е изд. — М.: «Наука», 1977. — С. 736.

91. Современные численные методы решения обыкновенных дифференциальных уравнений / Дж. К. Батчер, Дж. Л. Лэмберт, А. Протеро и др.; Под ред. Дж. Холла, Дж. Уатта. - М.: Мир, 1979. - С. 312.

92. Scheller, Maik. Applications of effective medium theories in the teraherz regime / Maik Scheller, Christian Jansen, Martin Koch // Recent optical and photonic technologies / Ed. by Ki Young Kim. — InTech, 2010. — Pp. 231-250.

93. Усанов, Д. А. Комплексная диэлектрическая проницаемость композитов на основе диэлектрических матриц и входящих в их состав углеродных нанотрубок / Д. А. Усанов, А. В. Скрипаль, А. В. Романов // ЖТФ. — 2011. - Т. 81, № 1. - С. 106-110.

94. Киттелъ; Ч. Введение в физику твердого тела: Пер. с анг. / Ч. Киттель.

- 3 изд. - М.: Наука, 1978. - С. 792.

95. Боярский, Д. А. Частотно-зависимая модель эффективной диэлектрической проницаемости влажного снега / Д. А. Боярский, В. Г. Мировский,

B. В. Тихонов // Радиотехника и электроника. — 1994. — Т. 39, № 10. —

C. 1479-1485.

96. Нелин, Е. А. Импедансные условия резонансного прохождения и резонансной локализации волн в барьерных структурах / Е. А. Нелин // ЖТФ.

- 2011. - Т. 81, № 1. - С. 137-139.

97. Введение в физику поверхности / К. Оура, В. Г. Лифшиц, А. А. Саранин и др.; Под ред. В. И. Сергиенко. — М.: Наука, 2005. — С. 500.

98. Блиох, К. Ю. Что такое левые среды и чем они интересны? / К. Ю. Блиох, Ю. П. Блиох // УФН. - 2004. - Т. 174, № 4. - С. 439-447.

99. Вашковский, А. В. Возникновение отрицательного коэффициента преломления при распространении поверхностной магнитостатической волны через границу раздела сред феррит — феррит-диэлектрик-металл / А. В. Вашковский, Э. Г. Локк // УФН. - 2004. - Т. 174, № 6. - С. 657662.

100. Веселаго, В. В. Электродинамика веществ с одновременно отрицатель-

ными значениями £ и ¡1 / В. Г. Веселаго // УФН. ~ 1967. — Т. 92, № 3. — С. 517-526.

101. Гинзбург, В. Л. Оптические свойства металлов / В. Л. Гинзбург, Г. П. Мотулевич // УФН. - 1955. - Т. 55, № 4. - С. 469-535.

102. Соколов, А. В. Оптические свойства металлов / А. В. Соколов. — М.: Государственное издательство физико-математической литературы, 1961. - С. 462.

103. Туров, Е. А. Физические свойства магнитоупорядоченных кристаллов / Е. А. Туров; Под ред. С. В. Вонсовский. — М.: Издательство Академии Наук СССР, 1963. - С. 224.

104. Мотулевич, Г. П. Оптические свойства поливалентных непереходных металлов / Г. П. Мотулевич // УФН. - 1969. - Т. 97, № 2. - С. 211-256.

105. Каплан, А. Е. Об отражательной способности металлических пленок в СВЧ- и радиодиапазоне / А. Е. Каплан // Радиотехника и электроника.

1964. - Т. 10. - С. 1781-1787.

106. Маттис, Д. Теория магнетизма / Д. Маттис; Под ред. Л. В. Гессена. — М.: Мир, 1967. - С. 406.

107. Гуревич, А. Г. Магнитный резонанс в ферритах и антиферромагнетиках / А. Г. Гуревич. - М.: Наука, 1973. - С. 592.

108. Крупа, Н. Н. Управление магнитным состоянием многослойных наноп-ленок с помощью лазерного излучения / Н. Н. Крупа // ЖТФ. — 2011. — Т. 81, № 1. - С. 111-120.

109. Василевская, Т. М. Ферромагнитный резонанс и поле бистабильности в одноосной магнитной пленке / Т. М. Василевская, С. А. Володин, Д. И. Се-менцов // ЖТФ. - 2011. - Т. 81, № 9. - С. 154-158.

110. Демиховский, В. Я. Электромагнитнные возбуждения в металлах и полуметаллах в сильном магнитном поле / В. Я. Демиховский, А. П. Прото-генов // УФН. 1976. - январь. - Т. 118, № 1. - С. 101-139.

111. Кринчик, В. С. Физика магнитных явлений / Г. С. Кринчик; Под ред. Г. Е. Горелика. - М.: Изд-во Моск. ун-та, 1976. - С. 367.

112. Бабушкин, Ф. А. Динамическая теория магнитного рассеяния рентгеновских лучей в антиферромагнетиках / Ф. А. Бабушкин. — JL: Изд-во Ленингр. ун-та, 1979. — Р. 104.

113. Преображенский, А. А. Магнитные материалы и элементы / А. А. Преображенский, Е. Г. Бишард. — 3-е, перераб. и доп. изд. — М.: Высш. шк., 1986.

114. Червоненкис, В. В. Вандошкин А. Я. Прикладная магнитооптика /

B. В. Рандошкин А. Я. Червоненкис. — М.: Энергоатомиздат, 1990. —

C. 320.

115. Можен, Ж. Механика электромагнитных сплошных сред / Ж. Можен. - М.: Мир, 1991. - С. 560.

116. Ерюхин, А. В. Основы вакуумных измерений / А. В. Ерюхин. — М.: Машиностроение, 1977. — С. 40.

117. Пул, Ч. Мир материалов и технологий: Нанотехнологии / Ч. Пул, Ф. Оуэне. - М.: Техносфера, 2004. - С. 328.

118. Особенности формирования пленки Рез04 на поверхности Si(lll), покрытой тонким слоем Si02 / В. В. Валашев, В. В. Коробцов, Т. А. Писа-ренко, Л. А. Чеботкевич // ЖТФ. - 2011. - Т. 81, № 10. - С. 122-128.

119. Игнатенко, П. И. Напыление покрытий боридов, нитридов и силицидов с заданной морфологией и структурным совершенством / П. И. Игнатенко ff ЖТФ. - 2011. - Т. 81, № 2. - С. 108-112.

120. Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов / А. М. Бадалян, Л. Ф. Бахтурова, В. В. Каичев и др. // ЖТФ. — 2011. — Т. 81, № 9. - С. 113-118.

121. Влияние формирования нанокристаллической структуры на работу выхода электрона и ионно-электронную эмиссию никеля / Р. X. Хисамов, И. М. Сафаров, Р. Р. Мулюков и др. // ЖТФ. - 2011. - Т. 81, № И. -С. 122-124.

122. Исследование морфологии нанокомпозита серебро/полиакрилонитрил / М. А. Кудряшов, А. И. Машин, А. С. Тюрин и др. // ЖТФ. - 2011. -Т. 81, № 1. - С. 95-100.

123. Исследование прозрачности изотропного метаматериала в СВЧ-диапазоне / И. В. Бычков, Д. В. Дубровских, И. С. Зотов, А. А. Федий // Вестник Челябинского государственного университета — 2011. — Т. 15, № 10. - С. 25-30.