Процессы, происходящие при магнитной сепарации твердых дисперсных сред, и их роль в технике получения экологически безопасных конструкционных материалов для радиоэлектроники тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат технических наук Власко, Алексей Вячеславович

• Власко, Алексей Вячеславович
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Власко, Алексей Вячеславович

Введение.

ГЛАВА 1. Физические процессы, протекающие при эксплуатации конструкционных материалов в отпаянных вакуумных и газоразрядных приборах, а также при получении высокочистых порошковых сред.

1.1. Перспективные вакуумные СВЧ- и газоразрядные приборы.

1.2. Современное состояние разработки холодных катодов для вакуумных СВЧ-приборов.

1.3. Методы получения особо чистых шихтовых (порошкообразных) веществ. Физические процессы, наблюдаемые при их реализации

Выводы к главе

ГЛАВА 2. Техника эксперимента: способы получения и оборудование для изготовления объектов исследования и методы определения их основных физических свойств.

2.1. Объекты исследования.

2.1.1. Кварцевое стекло.

2.1.2. Композиционные палладий-бариевые ленты.

2.2. Способы и оборудование для очистки дисперсных систем от посторонних примесей.

2.3. Оборудование для получения и исследования основных физических свойств модельных и экспериментальных образцов.

Выводы к главе 2.

ГЛАВА 3. Получение особо чистых дисперсных материалов и изучение физических свойств образцов, изготовленных на их основе (экспериментальная часть).

3.1. Технические принципы и способы получения особо чистых металлических и диэлектрических дисперсных сред.

3.1.1. Техника процесса очистки дисперсных порошков на основе палладия.

3.1.2. Технические приемы очистки кварцевых песков.

3.2. Особенности приготовления экспериментальных партий порошков Pd5Ba.

3.2.1. Физико-технические основы получения и применения Pd5Ba в экспериментальных композиционных образцах.

3.2.2. Детальное описание экспериментальных исследований по получению интерметаллида.

3.2.3. Экспериментальные образцы с интерметаллидом Pd5Ba.

3.2.4. Изучение структуры и физических свойств модельных композиционных образцов и лент PdBa.

3.2.5. Эмиссионные свойства модельных образцов Pd-Pd5Ba.

3.3. Получение экспериментальных образцов из особо чистых дисперсных материалов на основе палладия.

3.4. Технология применения порошковой массы Pd5Ba, подвергнутой магнитной сепарации, в композиционных изделиях.

3.4.1. Получение палладиевых дисперсных сред (шихты).

3.4.2. Изготовление экспериментальной композиционной Pd-Pd5Ba ленты.

3.4.3. Изготовление композиционных колец Pd-Pd5Ba для безна-кальных магнетронов с автоэмиссионным запуском.

3.5. Свойства очищенных магнитной сепарацией кварцевых песков и результаты их использования.

Выводы к главе

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Процессы, происходящие при магнитной сепарации твердых дисперсных сред, и их роль в технике получения экологически безопасных конструкционных материалов для радиоэлектроники»

Важнейшей задачей физики конденсированного состояния и, в частности физики твердого тела, является установление связи между структурой и свойствами веществ и предсказание на этой основе путей поиска новых и совершенствования уже существующих материалов.

Главная отличительная особенность таких материалов — способность обладать целым рядом прецизионных свойств, сохранять форму при воздействии на них высоких температур, значительных плотностей ионно-электронной бомбардировки и излучения. Это определило физику конденсированного состояния в качестве важного раздела физики, наиболее близкого к практическому применению в машиностроении, радиоэлектронике и приборостроении.

Особое место среди объектов физики конденсированного состояния занимают дисперсные твердые среды - порошковые материалы, как металлические, так и диэлектрические. Именно они являются исходными компонентами для изготовления композиционных материалов. Структура их может быть кристаллической или аморфной, но от состава их композиций зависят физические свойства и эксплуатационные параметры готовых изделий. Не менее важным является и степень чистоты каждой из компонентов дисперсной твердой среды. Иногда даже незначительное количество инородных примесей не позволяет достигнуть того или иного параметра в готовом изделии.

Важнейшим требованием конца прошлого столетия и тем более наступившего 21-го века является разработка экологически безопасных материалов с параметрами, равными или превосходящими известные материалы, созданные с применением веществ I класса опасности (бериллия, тория и т.п.), используемых серийно.

Поэтому актуальной задачей является получение высокочистых дисперсных твердых сред, не содержащих в своем составе веществ I класса опасности, но обеспечивающих получение на их основе композиционных материалов и изделий с физическими свойствами, удовлетворяющими требованиям, предъявленным к ним современной техникой, в частности, вакуумной.

Вакуумная наука и техника по-прежнему является одним из основных векторов развития оборонных отраслей промышленности. Вакуумные сверхвысокочастотные приборы и газоразрядные лазеры — базовая основа современных радиолокационных и навигационных систем. К этим отпаянным приборам постоянно возрастают требования по увеличению надежности и долговечности. Прежде всего, это касается таких конструкционных материалов как источники электронов (катоды) и активные элементы вакуумных и газоразрядных приборов. От их свойств во многом зависят основные параметры приборов. Как и для большинства конструкционных элементов, исходными материалами вторично-эмиссионных катодов вакуумных сверхвысокочастотных приборов и кварцевых элементов газоразрядных лазеров являются порошки металлов и соединений металлов с кислородом, азотом, углеродом и т.п.

Выбор путей получения высокочистых порошковых материалов и способов очистки основного материала от содержащихся в нем посторонних примесей невозможен без изучения физико-химических процессов, происхо дящих в порошках (дисперсных средах) при выводе из них примесей.

На данный момент существует множество экспериментальных исследований, посвященных выводу нежелательных или загрязняющих основную порошковую массу веществ, в том числе электрическими, электромагнитными и магнитными способами. Однако до сих пор нет единого представления о природе особенностей вывода загрязняющих веществ из основного потока порошкообразного вещества в извлекающей и транспортной зоне многополюсных сепараторов с бегущим магнитным полем, хотя и считается, что этот способ является самым эффективным при сухой сепарации. Как правило, в ранее выполненных работах авторы при создании композиционных холодных катодов обеспечивали их долговременную устойчивость к ионноэлектронной бомбардировке за счет уникальных свойств добавок (бериллаты бария, алюмобериллаты лития и т.д.), характерных для веществ I класса опасности — бериллия, лития, тория, и не проводили глубоких исследований в направлении создания эмиттеров с аналогичными вторично-эмиссионными параметрами без их использования. Нет среди этих работ и целенаправленных обобщений техники очистки кварцевых песков для получения высокочистых отечественных кварцевых стекол.

Целью настоящей работы является изучение физических механизмов, обеспечивающих высокую чистоту твердых дисперсных сред в магнитном поле, и исследование параметров конструкционных материалов, полученных с их использованием.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

- провести экспериментальные работы по созданию автоматизированной установки для синтеза интерметаллида Рс15Ва;

- выполнить экспериментальные исследования по изучению влияния магнитного поля на относительную степень очистки измельченного стальными шарами интерметаллида Рс15Ва и природного кварцевого песка;

- получить модельные образцы с использованием в шихте материалов, подвергнутых магнитной сепарации, и изучить их основные физические свойства;

- методом растровой электронной микроскопии (РЭМ) в сочетании с методом рентгеноспектрального микроанализа (РСМА) исследовать структуру и состав композиционных Рс1-Ва катодов, полученных прессованием, спеканием в вакууме и прокаткой порошков;

- составить представление о физических механизмах формирования композиционных материалов с интерметаллидами на этапах уплотнения порошков и обеспечения вторично-эмиссионных свойств;

- предложить технологические схемы получения материалов для радиоэлектроники из дисперсных сред, подвергнутых очистке в магнитных полях, созданных магнитами неодим-железо-бор (МёРеВ) на примере разработки экологически безопасных композиций;

- провести измерение основных свойств модельных и экспериментальных образцов из кварцевого стекла и композиций с интерметаллидами, сравнить их с результатами исследований других авторов, в том числе по структуре и параметрам, полученным для сплавных и композиционных эмитти-рующих материалов, разработанных без и с применением веществ 1-го класса опасности;

- осуществить работы по практическому внедрению выполненных экспериментальных исследований.

Объекты исследования: дисперсные твердые среды в виде порошкообразных БЮг и интерметаллидов Рс15Ва и конструкционные модельные и экспериментальные образцы на их основе или с их использованием.

Научная новизна результатов заключается в следующем:

- в исследовании процесса взаимодействия дисперсных твердых сред с рабочей зоной магнитных барабанных сепараторов с многополюсной магнитной системой на основе постоянных магнитов ИсШеВ в ее извлекающей и транспортных частях, где продукты сепарации подвергаются действию магнитных и механических сил, и в установлении оптимальных параметров выделения из основного потока кварцевого сырья и интерметаллидов Рс15Ва магнитных частиц при протекании сухой сепарации;

- в получении данных для реализации нового метода синтеза экспериментального интерметаллида Рё5Ва в вакууме путем выдержки палладия в расплаве бария и его паров, в разработке способа получения из него тонкодисперсного порошка с параметрами, удовлетворяющими технике изготовления композиционных вторично-эмиссионных материалов типа палладий-барий;

- в установлении пр и изучении микроструктуры модельных образцов композиционной ленты Рс1-Рё5Ва методами растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального микроанализа в комплексе с методикой цветной катодолюминесценции важного фактора, заключающегося в том, что частицы интерметаллида Рё5Ва в палладиевой основе распределены относительно равномерно вдоль исследуемой поверхности, что в значительной степени гарантирует обеспечение однородности вторично-эмиссионных свойств композиционных эмиттеров из РсН-2% (масс.) Ва;

- в разработке, с использованием порошков интерметаллидов Рё5Ва, экологически безопасных композиционных Рс1-Ва лент и кольцевых эмиттеров с параметрами, удовлетворяющими требованиям, предъявляемым к ним в вакуумных СВЧ-приборах, и в получении магнитносепарированного кварцевого сырья, пригодного для производства высокочистого кварцевого стекла.

На защиту выносятся следующие основные положения:

1. Способ синтеза интерметаллида Рс15Ва в вакуумированных отпаянных вращающихся кварцевых ампулах путем выдержки порошкообразного палладия в расплаве и парах бария в течение 11,5 часа при температуре

1170 К, с целью получения слитка с химическим составом Рс12Ва и последующей его гомогенизацией в течение 20 минут при температуре 1570. 1590 К для получения стабильного соединения Рс15Ва.

2. Результаты экспериментального исследования процесса одностадийной магнитной сухой сепарации в виде монослойного потока частиц с наложением вибрации при выведении ферромагнитных загрязнений из размолотых слитков интерметаллида Рё5Ва и двухстадийного процесса сепарации кварцевого сырья: извлечение сильномагнитных примесей в слабом магнитном поле и слабомагнитных загрязнений в сильном.

3. Режимы получения композиционных образцов в виде колец и лент из смеси порошков палладия и порошкообразного интерметаллида Рс15Ва (до 2% масс. Ва) методом холодного прессования, спекания в вакууме и последующей холодной прокатки.

4. Уточненные вторично-эмиссионные характеристики системы Р<1-Ва, композиционных изделий с интерметаллидом Рс15Ва, синтезированным в вакууме.

Достоверность результатов обеспечивается: применением апробированного технологического и аналитического оборудования, использованием широко известных экспериментальных методик исследований и расчетами погрешностей измерения, сравнением экспериментальных результатов и теоретических зависимостей с имеющимися надежными данными работ, выполненных другими авторами.

Практическая ценность диссертации заключается в том, что полученные экспериментальные результаты по существенному улучшению параметров (чистоты) дисперсиых твердых систем методами магнитной сепарации и предложенный способ синтеза интерметаллидов в вакуумированных объемах с последующим измельчением и выводом из помола ферромагнитных примесей применены для изготовления композиционных Рс1Ва-эмиттеров и высокочистого кварцевого стекла и могут быть полезными при создании новых и модернизации известных композиционных материалов не только в радиоэлектронике, но и в других отраслях промышленности при разработке экологически безопасных конструкционных материалов.

Апробация работы. Материалы диссертации докладывались на 2-ой областной студенческой конференции (Калуга, 2007г.), на 1-ой Всероссийской школе-семинаре студентов, аспирантов и молодых ученых по направлению «Наноинженерия» (Москва, 2008г.), на Всероссийских научно-технических конференциях «Наукоемкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе» (Москва, 2007г., 2008г., 2009г.).

Публикации. Основные результаты, представленные в диссертации, опубликованы в 9 изданиях, в том числе в 2 журналах из списка ВАК по физике.

Личный вклад автора: разработаны методики и режимы магнитной сепарации кварцевого сырья и порошков интерметаллидов Рс15Ва в магнитных сепараторах, созданных с участием автора; собраны автоматизированные экспериментальные установки для синтеза интерметаллидов Рё5Ва и для реализации процессов магнитной сепарации порошков; выполнены все аналитические и экспериментальные исследования по получению модельных и экспериментальных образцов; проведена интерпретация всех результатов экспериментов, сформулированы положения, выносимые на защиту.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, трех глав, заключения, общих выводов и списка цитируемой литературы. Работа изложена на 119 страницах и содержит 34 рисунка, 13 таблиц и 105 наименований цитируемой литературы.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Власко, Алексей Вячеславович

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Проанализирован процесс взаимодействия дисперсных твердых систем с рабочей зоной магнитных барабанных сепараторов с многополюсной магнитной системой на основе постоянных магнитов КёРеВ в ее извлекающей и транспортных частях, где продукты сепарации подвергаются действию магнитных и механических сил. Установлены оптимальные параметры выделения из основного потока кварцевого сырья и интерметалл и дов Рс^Ва магнитных частиц при протекании сухой сепарации применительно к многополюсным системам с бегущим полем. Определена частота поля, при которой разрушаются магнитные флоккулы при сепарации мелкодисперсных частиц. Используя расчетные и экспериментальные данные, разработаны: одностадийный процесс магнитной сухой сепарации в виде монослойного потока частиц с наложением вибрации при выделении загрязнений из мелкодисперсных порошков Рс15Ва и двухстадийный - извлечение сильномагнитных примесей в слабом магнитном поле, а слабомагнитных загрязнений - в сильном - при сепарации кварцевого сырья.

2. Представлен новый метод синтеза интерметаллида Рс15Ва путем выдержки порошка палладия в расплаве и парах бария при температурах 1170 К и 1590 К в вакуумированных вращающихся ампулах из высокочистого кварца и способ получения его порошка с параметрами, удовлетворяющими технике изготовления композиционных вторично-эмиссионных материалов типа палладий-барий. Изучение модельных образцов, изготовленных из порошков палладия и с концентрацией порошка интерметаллидов до 2% масс, по Ва показало, что процесс их уплотнения при холодном прессовании удовлетворяет классическому уравнению Балыпина, поскольку твердость частиц Рё5Ва примерно соответствует твердости оксидов.

3. Методами растровой электронной микроскопии и рентгеноспек-трального микроанализа в комплексе с методикой цветной като до люминесценции изучена микроструктура модельных образцов композиционной ленты

РсЬ-Рс^Ва, где установлено, что частицы интерметаллида Рс15Ва в палладиевой основе распределены относительно равномерно вдоль поверхности, что гарантирует обеспечение однородности вторично-эмиссионных свойств таких эмиттеров.

4. Исследования вторично-эмиссионных свойств композиционных модельных и экспериментальных образцов (2% масс. Ва в Рс1 матрице) из высокочистых порошков показали, что по поведению коэффициента вторичной электронной эмиссии (а) в диапазоне энергий первичных электронов (Ер) от 200 эВ до 1000 эВ (функция Брюининга - а=/(Ер)) они идентичны по характеристикам металлосплавным катодам и близки к параметрам вторично-эмиссионных эмиттеров, разработанных с применением Ве и Ы (веществ первого класса опасности).

5. Разработанные с использованием магнитносепарированных порошков интерметаллидов Рё5Ва экологически безопасные композиционные ленты и кольцевые эмиттеры по данным опытного тестирования удовлетворяют требованиям, предъявляемым к ним в вакуумных СВЧ-приборах, а режимы и техника магнитной сепарации кварцевого сырья применены в серийном производстве на ряде отечественных стекольных предприятий.

Ill

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Выполненная работа подтвердила важность знаний о процессах, происходящих в твердых дисперсных средах, прежде всего в порошкообразных материалах на основе 8Ю2 и Рс15Ва, подвергнутых воздействию магнитного поля.

Применение сепараторов с магнитной системой на основе магнитов ЫсШеВ с вращающейся периодической структурой магнитной системы позволило получить высокочистые твердые дисперсные среды с качеством, удовлетворяющим требованиям, предъявляемым к исходным порошковым материалам для получения кварцевого стекла и композиционных катодов (на основе композиционных Рс1Ва лент и колец). Причем, если для получения кварцевого сырья необходимого качества требуется двухстадийная магнитная сепарация: сначала необходимо осуществить извлечение сильномагнит

5 3 ных примесей (% > 4-10" м /кг) слабым магнитным полем, а затем требуется о т очистить сырье от слабомагнитных примесей (% > 750. 10-10" м /кг) в сильном магнитном поле, то при очистке порошка интерметаллида Рс15Ва

5 3

Х> 4Т0" м /кг) от ферромагнитных примесей достаточно было одностадийной магнитной обработки.

При магнитной сухой сепарации мелкодисперсных порошков Рс15Ва опасались образования сильномагнитных флоккул в поле сепаратора, однако применение "мокрой" технологии сепарации (например, в этиловом спирте) могло привести и к непредсказуемым последствиям, хотя такая технология может обеспечить высокую производительность процесса. Поэтому было принято решение применить монослойную подачу очищаемого порошка Рё5Ва с наложением вибрации. Подбором скорости вращения магнитного барабана с многополюсной магнитной системой удавалось разрушать сильномагнитные флоккулы. Возможно, при серийном производстве порошка интерметаллида к этому вопросу придется возвращаться из-за относительно невысокой производительности сухой технологии. По крайней мере понятно, что синтезированные слитки Рё5Ва в вакуумированных ампулах из особо чистого кварца могут быть успешно размолоты в мелкий порошок в серийных стальных мельницах порошковой металлургии и очищены от ферромагнитных примесей применением процессов оптимизированной магнитной сепарации. Это дает возможность разработать экологически безопасные вторично-эмиссионные катоды на основе высокочистых композиций Рё-Рс^Ва с параметрами, не худшими, чем это было достигнуто для серийных аналогов, содержащих в своем составе вещества 1 класса опасности.

Откорректированная по результатам изготовления и испытания модельных образцов технология получения экспериментальных композиционных Рс1Ва ле нт и колец позволила изготовить опытные партии вторично-эмиссионных эмиттеров, которые удовлетворяют всем требованиям, предъявляемым к ним в современных и вновь создаваемых вакуумных СВЧ-приборах.

Однако для реализации серийной технологии производства композиционных РёВа лент и колец необходимо решить не менее сложную техническую задачу: получение тонкодисперсных порошков палладия. Гранулометрический состав выпускаемых серийно порошков палладия таков, что мелкая его фракция (менее 50 мкм) составляет всего половину, от всей массы порошка. Крупные фракции палладия востребованы при синтезе интерметалли-да РсУВа по предложенной вакуумной технологии получения. Однако такого количество палладиевого порошка не требуется для этих целей. Размалывать крупнодисперсный порошок палладия трудоемко, поскольку палладий является пластичным металлом и процесс его дробления в шаровых или вибрационных мельницах является длительным. Если в ближайшее время не будет решена задача получения крупных партий мелкодисперсного порошка палладия, то будет необходимо применить вышеприведенный способ измельчения порошка палладия и очистки его от продуктов истирания со стенок мельниц и шаров магнитной сепарацией, эффективность которой показана в данной работе.

Что касается получения высокочистого сырья для изготовления качественных кварцевых стекол и изделий из них, то, как было приведено в данной работе, разработанный процесс и магнитные сепараторы, созданные с участием автора диссертации, успешно применены на различных предприятиях стекольной промышленности.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Власко, Алексей Вячеславович, 2009 год

1. The National Nanotechnology 1.itiative: Research and Development Leading to a Revolution in Technology and Industry, www.nano.gov / NNI08Budget.pdf

2. Викулов И., Кичаева H. Вакуумная СВЧэлектроника в США. Состояние и тенденции развития // ЭЛЕКТРОНИКА: НТБ. 2007. № 5. С. 66-71.

3. Вакуумная наука и техника: Материалы XIV научно-технической конференции / Под ред. д.т.н., проф. Д.В. Быкова. М.: МИЭМ, 2007. 387 с.

4. Гулоян Ю.А. Физико-химические основы технологии стекла: Учебное пособие. Владимир: Транзит-ИКС, 2008. 736 с.

5. Байбородин Ю.В. Введение в лазерную технику. Киев: Техшка, 1977. 248 с.

6. Коржавый А.П., Марин В.П., Сигов А.С. Некоторые аспекты создания технологий и конструкции изделий квантовой электроники // Наукоемкие технологии. 2002. Т. 3, № 4. С. 20-31.

7. Taii Y., Higo A., Fujita PI. Transparent color pixels using plastic MEMS technology for electronic papers // IEICE Electronics Express. 2006. Vol.3, №6. P. 97-101.

8. Брукнер Эли. Радиолокационные станции с фазированными антенными решетками // В мире науки: Пер. с анг. М.: Мир, 1985. № 4. С. 5464.

9. Испытания РЛС / Под ред. А.И. Леонова / А.И. Леонов и др.. М.: Радио и связь, 1990. 460 с.

10. Использование радиолокационных измерений ограниченного объема для определения геометрических и кинематических характеристик движущихся объектов / Ю.А. Кавин и др. // Информационно-измерительные и управляющие системы. 2008. Т. 6, № 6. С. 11-15.

11. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 592 с.

12. Новые технологии для повышения надежности элементов лазерных систем экологического мониторинга / А.П. Коржавый и др. // Наукоемкие технологии. 2006. Т. 7, № 4-5. С. 64-66.

13. Ребров С.И. Основные тенденции и перспективы развития СВЧ-электроники на 1994-1996 г.г. // Электронная промышленность. 1993. № 11-12. С. 5-8.

14. Динамика радиоэлектроники 1 / Под ред. Ю.И. Борисова. М.: Техносфера, 2007. 400 с.

15. Динамика радиоэлектроники 2 / Под ред. Ю.И. Борисова. М.: Техносфера, 2008. 376 с.

16. Есаулов Н.П., Марин В.П. Разработка сандвич-структур для катодов мощных ЭВП СВЧ // Наукоемкие технологии. 2001. Т. 2, № 4. С. 2028.

17. Korzhavyi А.Р. Advanced metallic materials for Vacuum devices // Journal of Advanced Materials. 1994. №1 (11). P. 46-53.

18. Евстигнеев С.И., Ткаченко A.A. Катоды и подогреватели электровакуумных приборов. М.: Высшая школа, 1975. 196 с.

19. Хирс Д., Паунд Г. Испарение и конденсация. М.: Металлургия, 1966. 240 с.

20. Уокер Р.Ф. Высокотемпературные измерения и стандарты в диапазоне 1000-3000 °С. Исследования при высоких температурах. М.: Наука, 1967. С. 28-40.

21. Прасицкий В.В. Современные катоды для отпаянных приборов // Электронная промышленность. 1996. № 3. С. 91-92.

22. Катод электронного прибора:а.с.502418 СССР с приоритетом от 06.12.1973г./А.П. Казаков и др..

23. Дюбуа Б.Ч. Современные эффективные катоды // Радиотехника. 1999. № 4. С. 55-60.

24. Шанк Ф.А. Структура двойных сплавов. М.: Металлургия, 1973. 760 с.

25. Савицкий Е.М., Бурханов Г.С. Металловедение сплавов тугоплавких и редких металлов. М.: Наука, 1971. 356 с.

26. Гурко A.A., Скрипкин Н.И., Поляков Ю.В. Развитие представлений о принципе работы катода в магнетроне с автоэмиссионным запуском // Вакуумная наука и техника: Тез. доклад. XV научно-техн. конф. М., 2008. С. 201-203.

27. Дюбуа Б.Ч. Металлосплавной «холодный» вторичноэмиссионный катод // Радиотехника. 2005. № 4. С. 211-216.

28. Металлокерамические катодные материалы для электровакуумных приборов / А.П. Коржавый и др. // Порошковая металлургия. 1973. №2(122). С. 101-107.

29. Металловедение платиновых металлов / Е.М. Савицкий и др.. М.: Металлургия, 1975. 247 с.

30. Зоркин А .Я., Лемякин A.A., Зоркина O.A. Образование и рост зародышей оксида бария в сплавных катодах // Вакуумная наука и техника: Тез. докл. XIV научно-техн. конф. М., 2007. С. 287-292.

31. Кусков В.Б., Никитин М.В. Обогащение и переработка полезных ископаемых: Учебное пособие. СПб.: Издательство СПб горн, ин-та, 2002. 84 с.

32. Брюининг Г. Физика и применение вторичной электронной эмиссии: Пер с англ. / Под ред. В.Н. Фаворина. М.: Сов. радио, 1958. 189 с.

33. Полиградиентные магнитные сепараторы / Под ред. Н.Ф. Мясникова. М.: Недра, 1973.438 с.

34. Фоменко B.C. Эмиссионные свойства элементов и химических соединений: Справочник / Под ред. Г.В. Самсонова. Киев: Наукова думка,1964. 102 с.

35. Благородные металлы: Справочник / Под ред. Е.М. Савицкого. М.: Металлургия, 1984. 395 с.

36. Аниеимова С.П., Бизберг П.Б. Диаграммы состояния металлических систем. М.: ВИНИТИ, 1971. 287 с.

37. Скорость испарения бария из сплавов Pt-Ba и Pd-Ba / В.Н. Ильин и др. // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1971. Вып. 5. С. 120-127.

38. О составе пара над сплавами Pd-Ba и Pt-Ba / Д.М. Чижиков и др. //Журнал физической химии. 1971. T. XLV, № 8. С. 2064-2065.

39. Груздев В.Ф., Котюргин Е.А., Ворончиков A.A. Послойный масс-спектральный анализ образцов из ленты сплава Pt-Ba // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1970. Вып. 10. С. 84-91.

40. Роус Б. Стекло в электронике / Пер. с чеш. М.: Наука, 1969. 286 с.

41. Справочник по производству стекла / Под ред. И.И. Китайгородского, С.И. Сильвестровича. М.: Металлургия, 1963. Т. 1. 425 с.

42. Магнитная система: патент 2301709 РФ / В.В. Котунов, C.B. Котунов заявл. 08.06.05; опубл. 27.06.07. Бюлл. №18.

43. Котунов C.B. Власко A.B. Возможности повышения качества сырья // Стекло и керамика. 2006. № 9. С. 40-44.

44. Власко A.B., Котунов C.B. Экологически безопасная технология очистки порошковых и жидких сред от антропогенных загрязнений и опасных веществ магнитным полем // Труды областной студенческой научн. конф. Калуга. 2007. С. 86-87.

45. Технические и экологические аспекты магнитной обработки жидких и твердых высокодисперсных веществ / A.B. Власко и др. // Наукоемкие технологии. 2009. Т. 10, № 5. С. 52-59.

46. Новые технологии получения композиционных материалов, обеспечивающих повышенный ресурс / A.B. Власко и др. // Наукоемкие технологии. 2008. Т. 9, № 10. С. 4-9.

47. Савицкий Е.М., Полякова В.П., Тылкина М.А. Сплавы палладия. М.: Наука, 1966. 327 с.

48. Прокатка в вакууме тугоплавких металлов и биметаллов / А.В. Крупиц и др.. М.: Цветметинформация, 1966. 186 с.

49. Фариасов Г.А., Фридман А.Г., Каринский В.Н. Плазменная плавка. М.:. Металлургия, 1968. 265 с.

50. Герасимов Я.И., Крестовников А.Н., Шахов А.С. Химическая термодинамика в цветной металлургии: Справочник. М.: Металлургиздат, 1962. 463 с.

51. Савицкий Е.М. Новые металлические сплавы. М.: Знание, 1967. 197 с.

52. Вол А.Е. Строение и свойства двойных металлических систем. М.: Физматгиз, 1959. 656 с.

53. Карслоу Г., Егер Д. Теплопроводность твердых тел. М.: Наука, 1964. 340 с.

54. Захаров М.И. Нагрев тела импульсным электронным потоком //Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1971. Вып. И. С. 12-22.

55. Малинин Н.Н. Прикладная теория пластичности и ползучести. М.: Машиностроение, 1968. 258 с.

56. Хмара В.А. Об оценке работоспособности металлов в условиях длительного воздействия импульсного электронного потока //Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1969. Вып. 12. С. 100-103.

57. Бакиш Р. Электронно- и ионнолучевая технология. М.: Металлургия, 1968. 189 с.

58. Libby W. Measurment of radioactive tracers // Anal. Chemisty. 1947. V. 19, № l.P. 2-8.

59. Тиктин C.A. Некоторые вопросы теплотехники электровакуумных приборов: дис. . канд. тех. наук. Киев. 1960. 186 с.

60. Физико-химические свойства элементов: Справочник / Под ред.

61. Г.В. Самсонова. Киев: Наукова думка, 1965. 610 с.

62. Эспе В. Технология электровакуумных материалов. M.-JL: Госэнерго-издат, 1962. Т. 1. 631 с.

63. Термодинамические свойства металлических сплавов и современные методы исследования / Под ред. В.Н. Еременко. Киев: Наукова думка, 1976. 114 с.

64. Шумиловский H.H., Стаховский Р.И. Масс-спектральные методы. M.-JL: Энергия, 1966. 356 с.

65. Смирнова H.A. Методы статистической термодинамики в физической химии. М.: Высшая школа, 1973. 310 с.

66. Вагнер К. Термодинамика сплавов. М.: Металлургиздат, 1967. 412 с.

67. Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Физматгиз, 1963. 387 с.

68. Анашкип A.A., Гундобин Г.С. Состояние и перспективы развития устройств, выполненных на приборах М-типа. Динамика радиоэлек-троники-2 / Под ред. Ю.И. Борисова. М.: Техносфера, 2008. С. 145153.

69. Редёга К.П., Ширяева Д.И., Звонецкий В.И. Некоторые свойства вторично-эмиссионных материалов на основе вольфрама // Электронная техника. Сер. Материалы. 1983. Вып. 8. С. 14-15.

70. Редёга К.П. Изменение ВЭ-свойств композиционных катодов под действием электронной бомбардировки // Электронная техника. Сер. Материалы. 1981. Вып. 7. С. 15-18.

71. Звонецкий В.И. Вторично-эмиссионные материалы на основе никеля с бериллатами бария и лития // Электронная техника. Сер. Материалы.1983. Вып. 4. С.6-7.

72. Шульга В.И. Угловые зависимости и механизмы распыления (машинное моделирование) // Поверхность. 1982. №3. С.38-41.

73. Roth J., Bobdansky J., Martinelly A. Low energy light ion sputtering ot metals and carbides // J. Appl. Phys. 1980. Vol. 51, №5. P. 2861-2865.

74. Жиглинский А.Г., Кучинский B.B., Шейкин Е.Г. Перенос атомов в газоразрядной плазме // ЖТФ. 1986. Т-56, № 9. С. 1718-1723.

75. Массоперенос и селективное распыление конструкционных материалов ионами низкой энергии при взаимодействии плазмы с поверхностью / Д.А. Дричко и др. // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Термоядерный синтез. 1987. № 1. С. 23-29

76. Hyaiesh A.R. Target profile change during magmetron sputtering // Vacuum. 1986. №6. P. 307-309.

77. Нарушение изотропности движения атомов вблизи поверхности и определение коэффициентов конденсации атомов металла в плазме. А.Г. Жиглинский и др. //ЖТФ. 1987. Т.57, № 9. С. 1741-1745.

78. Голант В.Г., Жиглинский А.Г., Сахаров И.Е. Основы физики плазмы. М: Атомиздат, 1977. 384 с.

79. Коваленко Ю.А., Шумилин В.П. О функции распределения положительных ионов в сильном электрическом поле // ЖТФ, 1979. Т. 49, № 5. С. 964-969.

80. Каган Ю.М., Перель В.И. О подвижности и пространственном заряде ионов в неоднородном // ДАН СССР, 1956. Т. 108, № 2. С. 222-225.

81. Бондаренко A.B. Масс-энергетический анализ ионов в прикатодной области аномального тлеющего разряда // ЖТФ. 1973. Т. 43, № 4. С.821-628.

82. Кучинский В.В., Шейкин Е.Г. Энергетический спектр быстрых атомов в темном катодном пространстве // Известия вузов. Сер. Физика. 1987. № 8. С. 62-67.

83. Боярчиков O.A., Соболев В.Д., Шипалов A.C. Методика прогнозирования срока службы приборов тлеющего разряда // Электронная техника. Сер. 3. Газоразрядные приборы. 1971. № 4. С. 62-66.

84. Мак. Даниэль М. Процессы столкновений в ионизированных газах. М.: Мир, 1967. С. 832.

85. Семенов Д.С. Аналитическое описание характеристик упругих столкновений атомных частиц // Поверхность. 1967. № 6. С. 41-44.

86. Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. М.: Атомиздат, 1969. 292 с.

87. Велихов Е.П., Ковалев A.C., Рахимов А.Т. Физические явления в газоразрядной плазме. М.: Наука, 1987. 160 с.

88. Брауне С. Элементарные процессы в плазме газового разряда. М.: Атомиздат, 1961. 324 с.

89. Назарова Р.И. Исследование окисления металлов в условиях тлеющего разряда в кислороде // ЖФХ. 1958. Т. 32, № 1. С. 79-85.

90. Лабунов В.А., Паршутин В.П. Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме // Обзоры по электронной технике. Сер. Микроэлектроника. М.: ЦНИИ "Электроника", 1978. Вып. 1(557). 70 с.

91. Ананьин B.C., Бабурин A.A., Покосовский Л.Н. Исследование внедрения инертных газов в твердое тело при ионной бомбардировке // Электронная техника Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1975. Вып. 5. С. 33-37.

92. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1986. Вып. 1. 488 с.

93. Зернов Д.В., Ямпольский Н.Л. Электронная эмиссия из диэлектрических слоев при наличии в них сильного электрического поля // Радиотехника и электроника. 1964. Т. 9, № 11. С. 1903-1919.

94. Мотт Н., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах. М.: Мир, 1974. 472 с.

95. Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. Эмиссионная электроника. М.: Наука, 1966. 564 с.

96. Серебров JI.A., Фридрихов С.А. К вопросу о зарядовом, возникающем на поверхности диэлектрической мишени при бомбардировке электронным пучком // Радиотехника и электроника. 1960. Т. 5, № 10. С. 1680-1686.

97. Киселев А.Б., Морозов O.A., Смирнов В.А. Катоды магнетронов // Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-техника. 2000. Вып. 2 (476). С. 1417.

98. Култашов O.K., Куранова Е.Д., Макаров А.П. Механизм старения ме-таллосплавных катодов // Изв. АН СССР. Сер. физическая. 1988. Т. 52, № 8. С. 1619-1622.

99. ОО.Повышение надежности электронных приборов СВЧ в процессе производства / Под ред. С.И. Реброва. М.: Изд-во: ЦНИИ "Электроника", 1968. 320 с.

100. Киселев А.Б. Катоды и катодные узлы долговечных электронных приборов // Обзоры по электронной технике Сер. 1. Электроника СВЧ. М.: ЦНИИ "Электроника", 1992. Вып. 11 (1684). 97 с.

101. Интегральная эмиссионная микро-наноэлекгроника / С.А. Гаврилов и др. // Электронная промышленность. 2004. № 3. С. 43-49.

102. ЮЗ.Трубецков Д.И., Рожков А.Г., Соколов Д.В. Лекции по сверхвысокочастотной вакуумной микроэлектронике. М.: Изд-во Государственного научного центра "Колледж", 1996. 238 с.

103. Возможности вакуумной микроэлектроники на пути к построению СВЧ-вакуумных интегральных схем. / Н.И. Синицын и др. // Радиотехника. 1999. № 4. С. 8-17.

104. Коржавый А.П. Роль поверхностных факторов при ионно-электронной бомбардировке в получении оптимальных характеристик вторично-эмиссионных катодов // Электронная техника. Сер. Материалы. 1990. Вып. 8. С. 6-17.