Проблема создания металл-керамических соединений с использованием вакуум-плазменных технологий тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.10, кандидат физико-математических наук Кривуца, Зоя Федоровна

• Кривуца, Зоя Федоровна
• кандидат физико-математических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Кривуца, Зоя Федоровна

Введение

ГЛАВА 1. Способы металлизации керамики. Физико-химические процессы при металлизации и пайке керамики. Свойства покрытий при электродуговом распылении металлов в вакууме и атмосфере различных газов

1.1. Пайка керамики твердыми припоями. Способы металлизации керамики

1.2. Пайка керамики активными металлами ^

1.3. Металлизация керамики с использованием вакуум-плазменных технологий

1.4. Физико-химические процессы при металлизации и пайке керамики

1.5. Взаимодействие компонентов металлизирующего покрытия с газовой средой

1.6. Взаимодействие титана с керамикой на основе оксида алюминия

1.7. Общая характеристика структуры конденсированных пленок металлов ^

1.8. Структура покрытий при электродуговом распылении металлов

1.9. Фазовый и химический состав покрытия

1.10. Адгезионная прочность покрытия

1.11. Ионно-стимулированные процессы при формировании покрытий ^ ^

ГЛАВА 2. Методика исследования

2.1 Характеристика объекта исследования ^

2.2 Установка для металлизации алюмооксидной керамики ^

2.3 Методика исследования структуры и свойств металлизирующего покрытия

2.3.1 Рентгеноструктурный анализ

2.3.2 Определение плотности и характера распределения дислокаций из анализа уширения линий дифрактограммы металлизирующего покрытия

2.3.2.1 Определение величины микродеформации и размера зоны когерентного рассеяния

2.3.2.2 Определение плотности дислокаций в пленках титана

2.3.3 Определение аксиальной текстуры металлизирующего покрытия

2.3.4 Просвечивающая электронная микроскопия и микродифракция

2.3.5 Термогравиметрический анализ

2.3.6 Методика определения адгезионной прочности пленок

2.3.7 Определение макрокраевого угла смачивания

ГЛАВА 3. Термодинамический анализ взаимодействия в зоне контакта металл-керамика

3.1. Кристаллохимические реакции замещения катиона оксида

3.2. Реакция образования сложных оксидов

3.3. Синтез оксидных соединений титана

3.4. Реакция растворения оксида в металле

3.5. Определение кинематических параметров процесса термического окисления пленок

3.6. Рентгенографическое исследование реакций в зоне контакта металл-керамика

ГЛАВА 4. Структура и адгезия титановых покрытий

4.1. Структура титановых покрытий

§

4.2. Адгезия титановых покрытий ЮЗ

ГЛАВА 5. Структурные несовершенства и характеристики субструктуры металлизирующего слоя Ю

5.1. Определение параметров структуры титановых покрытий по эффектам уширения рентгеновских линий юз

5.2. Анализ аксиальной текстуры металлизирующих покрытий Ю

ГЛАВА 6. Основные характеристики паяного шва \

6.1. Пайка алюмооксидной керамики \ \ 5 6.1.1 .Система жидкий металл-тугоплавкий оксид \ \ 5 6.1.2. Система жидкий металл - твердый металл \

6.2. Экспериментальное исследование макрокраевого угла смачивания И

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Проблема создания металл-керамических соединений с использованием вакуум-плазменных технологий»

Керамика как конструкционный материал для различного рода приборов получила широкое применение в различных областях современной науки и техники, особенно, в производстве электронных и ионных приборов, атомных реакторов, ускорителей заряженных частиц, аппаратов химической промышленности, медицинской аппаратуры и пр.

Современные керамические материалы должны обладать высокой механической и электрической прочностью при высоких температурах и в различных средах, вакуумной плотностью, термостойкостью, химической и радиационной стойкостью. Наиболее полно этим требованиям удовлетворяют керамические материалы на основе оксида алюминия А1203. Поэтому керамика на основе А120з стала незаменимым конструкционным диэлектриком современного приборостроения.

Наряду с разработкой керамических материалов возникла необходимость создания высокопрочных, вакуумплотных соединений керамики с различными металлами и сплавами.

За последние годы разработаны и внедрены в производство различные способы изготовления металлокерамических узлов: пайка предварительно металлизированной керамики твердыми припоями, контактно-реактивная пайка, пайка с помощью глазурей, стеклоцементов и др.

Важным технологическим этапом получения металлокерамического соединения является металлизация керамики. Металлизация керамики методом вакуумного осаждения металла обеспечивает образование металлизирующего покрытия с плотной структурой. Методы вакуумного напыления дают возможность на атомарном уровне воздействовать на процессы формирования покрытия. Это создает возможность существенно улучшить физико-технические параметры материалов.

Одним из основных и трудно выполняемых требований, предъявляемых к металлизирующим покрытиям, является необходимость стабильного воспроизведения их состава и структуры. Эти трудности связаны с резкой зависимостью фазового состава и особенно структуры пленок от условий их получения. Конденсированные пленки характеризуются высокой дисперсностью, высокой концентрацией различного рода структурных несовершенств.

Вследствие различия состава и коэффициентов термического расширения соединяемых материалов в пленках возникают значительные упругие макронапряжения, которые могут приводить к отслаиванию пленок, а релаксация этих макронапряжений - к образованию дислокаций, развитию нежелательных процессов на границах раздела между керамикой и металлизирующим покрытием и в самих пленках, приводящих к браку или снижению служебных характеристик металлокерамических узлов. Поэтому возможность использования покрытий, наносимых электродуговым распылением в вакууме, требует изучения механизма формирования их структуры и путей управления этим механизмом, а также исследования связи между структурой и свойствами пленок.

Получение металлизирующего покрытия, обладающего высокими адгезионными свойствами по отношению к материалу подложки, изучение физических характеристик этих материалов, а также исследование взаимодействия керамики с металлами в твердой фазе является актуальной задачей.

Целью диссертационной работы является исследование взаимодействия титановых покрытий, наносимых электродуговым распылением в вакууме, на керамику МК (микролит), имеющую большое процентное содержание АЬ03.

При этом в диссертационной работе решались следующие задачи:- изучение возможности образования промежуточных фаз в металл-керамических соединениях;

- исследование термоокисления титановых пленок в вакууме и воздушной атмосфере;

- исследование структуры наносимого покрытия;

- исследование дефектов кристаллического строения металлизирующего слоя;

- изучение адгезионной прочности соединяемых металлов. Научная новизна работы состоит в следующем:

1. изучены структурные и фазовые превращения в металлизирующем слое при высокотемпературном отжиге в вакууме и атмосфере;

2. исследована морфология поверхности металлизирующего слоя, показано влияние предварительной обработки поверхности керамики на адгезию покрытия;

3. определены параметры и дефекты субструктуры конденсированных титановых пленок на керамике микролит;

4. исследована возможность получения соединения титана с керамикой на основе оксида алюминия с использованием вакуум-плазменных методов металлизации.

На защиту выносятся результаты:

- расчета кинетических параметров процесса термического окисления;

- образования промежуточных фаз в зоне контакта керамика-металл в результате отжига до 1200 °С;

- результаты исследования структурных и фазовых превращений при высокотемпературном отжиге в вакууме и атмосфере металлизирующего покрытия;

- экспериментально установленное возникновение дефектов кристаллического строения II рода в пленках титана при конденсации на керамику микролит;

Практическая ценность. Предложенный метод электродугового осаждения покрытий представляется перспективным для создания соединения керамики микролит с титаном, благодаря уникальным свойствам покрытия, заключающимся в высокой плотности, хорошей адгезии, способности сохранять состав переносимого материала, а также высокой дисперсности металлизирующего слоя, увеличивающей реакционную способность материала покрытия. 9

Апробация работы. Основные положения и результаты диссертационной работы докладывались на Региональных научно-технических, конференциях (1995-2000 г.г., Благовещенск, ДальГАУ), на международном симпозиуме "Принципы и процессы создания неорганических материалов" (Первые Самсоновские чтения, 1998), на 3 — международной встрече Керамических обществ Тихоокеанского обрамления (Корея, 1998).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 8 работ.

Заключение диссертации по теме «Физика полупроводников», Кривуца, Зоя Федоровна

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

Основные полученные результаты работы можно сформулировать в следующих выводах:

1. Отжиг титановых покрытий, наносимых электродуговым распылением в вакууме, в различных температурных интервалах и в различных газовых средах позволяет синтезировать оксидные соединения ТЮ и ТЮ2, улучшающие качество соединения титана с керамикой на основе оксида алюминия;

2. При одинаковых температурах реакция окисления титановой пленки в воздухе имеет более низкую энергию активации, чем массивный титан и соответственно для пленок реакция окисления протекает с большей скоростью;

3. В зоне контакта керамики микролит с металлизирующим покрытием в результате отжига до 1200°С в течение часа образуется фаза АПл2;

4. Титановые пленки характеризуются наличием капельной фазы, при напылении покрытия под углом а-0° относительно нормали к поверхности катода, частицы с диаметром более 6 мкм составляют наименьшую частоту осаждаемых частиц (до1%). При увеличении угла напыления до 50° капельная фаза резко уменьшается, но снижается скорость напыления покрытия;

5. При образовании титановых пленок возникает дефекты кристаллического строения II рода;

6. Средний размер кристаллитов титановой пленки в кристаллографическом направлении (110) составляет 900-1600А,

3 3 величина микродеформации 1,0x10" - 1,6x10" ;

7. Полагая, что источником микродеформации решетки является хаотически распределенные дислокации, плотность дислокаций

1 1 ^ составила р=6,95.-10 см"";

8. Текстура, возникающая в титановых пленках, наносимых электродуговым распылением в вакууме, определяется процессами коалесценции.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Кривуца, Зоя Федоровна, 2000 год

1. Schirmer R.E. Coating vitreous sodies with metal. U.S. pat. % 035015, Marct.- 1936.

2. Puifrich H. Ceram.-to-metal seal. U.S. pat. % 2063407, 1936, June 20, Ceram. Abstr., 1936, % 18(8), 226.

3. Nolte H., Spurck R. F. Metal-ceramic sealing with manganese.-«Television Eng.», 1960,% 1(11), p. 14-18.

4. Иванов В.П., Метлин Г. А. Вакуумноплотные спаи керамических материалов с металлами. //Труды НИИ МРТП - 1957,- Вып. 5(41).-С. 3-52.

5. Pincus A. G. Mechanism of ceramic-to-metal adherence of molybdenum to alumina ceramics. «Ceramic Age», -1954, % 3, p-20.

6. Преснов B.A., Новодворский Ю. Б., Якубеня М.П. Основы техники и физики спая. Томск: Изд. Томского университета, -1961.- 337 с.

7. Решетников А. М. Технология получения вакуумно-плотных спаев керамики с металлами. //Труды конференции по электронной технике.- 1966.- Вып. 1.- С. 3-16

8. Макаркин А.Я., Метелкин И.И. Способ соединения керамики с металлами без вжигания металлических порошков. -//Труды конференции по электронной технике. 1966. -№ 1.- С. 165-172.

9. Степанов В.В., Эрмантраум М.М. Плазменная металлизация керамики УФ-46 молибденом. //Электронная техника. Сер. 10.1969,- Вып. 6(31).- С. 3-9.

10. Герасимова Л.Ф., Торжевская В.М. Метод металлизации керамических изделии водным раствором солей тяжелых металлов. -//Электронная техника. Сер. 10.- 1966. Вып. 7.- С. 201-204

11. Батыгин В.Н., Метелкин И.И., Решетников A.M. Вакуумно-плотная керамика и ее спаи с металлами.-М.: Энергия, -1973.-268 с.

12. Еременко В. Н., Найдич Ю. В., Насонович А. А. Смачивание поверхностей окислов растворами металл-кислород //Электроника-1959,-№4. с. 136-145

13. Bondley R. Metall ctramic seals - «Electronics», -1947, V. 20, №7, p. 97

14. Piarsall G., Sealing titanium and nonmetallie bodys «Material and Methodes», -1953, 30, p. 61

15. De Cecco. The brasing of titanium. «Welding Journal», November, 1953, p. 1C71

16. Beggs J. Sealing metal and ceramiparts by forming reacture alloys IRE Trang on Compon, 1957, V. 4. № 1

17. Макквеллен А. Ф., Макквеллен M. К. Титан.//Перевод с английского под редакцией С. Т. Тлазунова, JI. П. Лужникова ГНТН.-М.:- 1958.-410 с.

18. Еременко В. Н. Титан и его сплавы.- К.: Киевское издательство АНХССР, I960,- 270 с.

19. Метелкин И.И., Шмелев А.Е. О пайке керамики активными металлами // Физика и химия обработки материалов. -1972.-№ 4,-С. 90-92

20. Жмудь Е.С., Шмелев А.Е., Воеводина Р.И. Исследование спаев титана с керамикой // Электронная техника. Сер. 1.-1968. Вып. 8. -С. 116-125

21. Аксенов И.И., Падалка В.Г., Хороших В.М. Формирование потоков металлической плазмы. — М.: ЦНИИ атоминформ, -1984. 83 с.

22. Дороднов A.M., Петросов В.А. О физических принципах и типах вакуумных технологических плазменных устройств. // ЖТФ, -1991.-Т.51.- Вып. 3. С.504-524.

23. Sanders P. M. J. Vac. Set. Technol. 1989, А 7(39) p. 2339

24. Ершов B.K. Металлокерамические вакуумплотные конструкции. Сер. Электронное материаловедение. М.: Энергия, 1970.- 160 с.

25. Chernyaev V. N., Korzev V. F., е.а. Radio Electron. Commun. Syst. 1982-V. 25-F. 68

26. Aksenov I.I., Belokhvostikov A.N., Padalka V.G. e.a. Instr. Exp. Tech 1978. V. 21. - p.2

27. Aksenov I.I., Belokhvostikov A.N., Padalka V.G. e.a. Plazma contr. Fusion 1986.-V. 28 p.716

28. Ключко Г.В., Ладанка В.Г., Саблев Л.П. и др. Патент США №4492485

29. Sanders P. M. J. Vac. Set. Technol. 1988.- V.6. -p. 1829

30. Васин А. П., Дороднов A.M., Легров В.А. //Письма в ЖТФ, 1979. Том 5. - 634 с.

31. Преснов В. А. Исследованея физико-химической природы спая стекла и керамики с металлом (электронная теория). -//Электроника.- 1959.- №4,- с 104-122

32. Преснов В. А. и др. Керамика и ее спаи с металлом в технике.- М., Атомиздат, 1969.-342 с.

33. Cole S. S., Sommer J. Glass migration mechanism of ceramic-to-metal hal adherence. - "J. Am. Ceram. Soc.", 1961, V. 44, №6, p 265271

34. Коул, Лариш. Теория сцепления в металлокерамических спаях. -В кн.: Техника электронных ламп. 14.-М.: Издательство иностранной литературы, -1963. С 70-86

35. Pulfrieh И. Ceramic-to-metal Seals, U. S. Part 2, 163, 407, June 20, 1939, Ceram. Abstr. 18(8), 226,1939

36. Pinkus A. G. «J. Am. Cer. Soc», 1953. V. 36. N.5

37. Pinkus A. G. «Ceramic Age», 1954. V. 63. N. 3

38. Floed J. R. «J. Am. Cer. Soc. Bull», 1963. V. 42. N. 2

39. Керамика и огнеупоры /Дентон, Роунсон. пер. под. ред. П. П. Буд-никова, А. М. Черепанова.- М.: Сб. Изд-во иностранной литературы,-1963.-415 с.

40. Ракоч А.Г., Опара Б.К., Фокин М.Н., Иремашвили В.И. О некоторых термодинамических и кинетических закономерностях высокотемпературного окисления металлов. // Защита металлов. -1983.-№ 6-С. 909-913.

41. Крупин А.В. Прокатка металлов в вакууме. М.: Металлургия, -1974.-248 с.

42. Куликов И.С. Термическая диссоциация соединений. М.: Металлургия, -1969.-576 с.

43. Фромм Э., Гебхардт Е. Газы и углерод в металле. М.: Металлургия,-1980.- 712 с.

44. Soltan S. Podstawowe zjawiska zachodzace и systemach prozniowych piecow do obrobri cieplnev // Metaloznvstvo I obrob. Ciepln. 1973. № 5. - S.30-36.

45. Western H.W. Vacuum heat treatment today // J.Vac. Sci. Technol. -1874. -11,№6.-P.1106-1108.

46. Хауффе К. Реакции в твердых телах и на их поверхности. М.: Издательство иностранной литературы, -1963,- 275 с.

47. Pechamps М., Lehr P. Lowpressure ther thetmogravimetry applied to the study of the oxidation mechanisme of zirconium and titanium ofhigh temperature. // Progr. Vacuum Microbalance Techn: Proc. 12 th cont., Loyn, 1974. London, 1975. -Vol.3. -P.259-268.

48. Кофстад П. Высокотемпературное окисление металлов. M.: Мир, 1969.- 392 с.

49. Демин В.H. Исследование окисления титана методом вторичной ионно-ионной эмиссией. //Взаимодействие атомных частиц с твердым телом: IV Всесоюз. Конф- Харьков.:-1976. -ч.З,- С. 139-141.

50. Нагасака М. Окисление металлов в атмосфере кислорода при низком давлении. Методы измерений // Босеку гидзюку. 1975.- №4 . -С. 193-204.

51. Coddet с. La corrosion seche a houte temperature, processus diffusionnels at propriétés mecanigues.Cas des alliages a bese titane:These Doct. Sei. Unv. Et Med. / Inst. Nat.Polithechn. Grenoble, 1977. -236p.

52. Ракоч А.Т. , Опара Б.К., Фокин M.H., Иремашвили В.И. О некоторых термодинамических и кинетических закономерностях высокотемпературного окисления металлов. // Защита металлов. -1983 ,-№б-С. 909-913

53. Ракоч А.Г. Исследование влияния способа нагрева и парциального давления кислорода на механизм металлов и сплавов //Автореф. Дис. конд. тех. наук. М.:-1977.-24. с.

54. Пешков В.В., Подоприхин М.Н., Воронцов Е.С., Спичкин Ю.В. О кинетике взаимодействия титана с кислородом при пониженном давлении // Изв. вузов. Цв. металлургия.-1980.-№2.-С.62.

55. Подоприхин М.Н., Пешков В.В, Воронцов Е.С. и др. Исследование окисления титана при пониженном давлении воздуха методом интерференционной индикации // Журн. Физ. Химии.-1981.-Вып.10.-С.663-665

56. Горбовицкий Т.Т., Парацкая JI.H. Возникновение и развитие очагов окисления на поверхности металла, являющейся стоком вакансий и дислокаций // Физика металлов и металловедения .-1979.- Вып.З,-С.578-583

57. Гурский Л.И., Зеленин В.А., Структура и кинетика взаимодействия металла с окисляющими средствами. Минск: Наука и техника,1982.-192 с.

58. Кабрера Н. Возникновение ямок травления и центров окисления на дислокациях // Элементарные процессы роста кристаллов. М.: Изд.-во Иностр.мет.,-1959.-С.2166-2177

59. Dechamps M., Lehr P. Low pressure ther thetmogravimetry applied to the study of the oxidation mechanisme of zirconium and titanium at high temperature // Progr. Vacuum Microbalance Techn: Proc. 12 th cont., Lyon, 1974.-London, 1975. -Vol.3/-P.259-268.

60. Бенар Ж. Окисление металлов. M.: Металлургия, 1969.-Т.2.-444 с.

61. Economos G, Kingery W.D.«J. Amer. Ceram. Soc.», 1953, v. 36, № 12, p 403.

62. Гуламова Д.Д., Саркисова M.X. Взаимодействие оксидов алюминия и титана при высоких температурах //Неорганические материалы.-1989,-№5,-С. 789-794

63. Жмудь Е.С., Шмелев А.Е. Рентгенофазовое исследование взаимодействия титана с окисью алюминия // Неорганические материалы,-1973.-№ 10.- С. 1733-1737

64. Коганицкая E.B. //Электроника,- 1959-№4.-С. 86-93

65. Метелкин И.И., Шмелев А.Е., Жмудь Е.С. //Сварочное производство.-1974.- №8.- С. 8-10

66. Антунина Ю.Ф., Глазунов С.Г. Двойные сплавы титан-алюминий. -В сб., Титан в промышленности.// Под редакцией С.Г. Глазунова-М.: Оборончиз, -1961. -С. 5-30

67. Глазова В.В. Легирование титана.- М.: Металлургия, -1966.- 192 с.

68. Коненко Е.А. Новый способ пайки с применением гидрида титана в качестве флюса. //Труды НИИМПСС.- 1950- №2,- С.32-49

69. Economos G., Kingery W.O. Metall ceramic interactions. II. Metall -oxide interfacial reactions at elevated temperature - «J. Oner. Gezom Zoe.», 1953 V. 36, №12, p. 403-409

70. Агнивуев Ю.Г. Исследование переходной зоны в спаях алюмооксидной керамики и кварца с титаном //Журнал прикладной химии.-1968.-Вып. 5.-С. 1010-1017

71. Палатник Л.С., Фуко М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок.- М: Наука, 1972.-321 с.

72. Палатник Л.С. и др.//ФММ.-1961.-№11.-С. 864

73. Палатник Л.С. и др.// ФММ,- 1966,- №21.-С. 848

74. Пинес Б.Я., Бублик А.И.// ТФ.- 1954.-№ 24.-С. 1 139

75. Хирш П.Б. Успехи физики металлов. -М: Металлургиздат, 1960.304 с.

76. N.S Petch, S Iron Steel I nst., 174, 25 (1953); есть в переводе: Успехи физики металлов, т.2,- М.: Меатллургиздат, 1958.- С. 8

77. Палатник Л.С., Федоров Г.В., Косевич В.Н.// Зав. лаб., -1985.-№6.-С. 751

78. Палатник Л.С., Ильинский А.И. //УФН.-1968.-№ 95. -С. 613

79. Уочман Г. Взаимодействие газов с поверхностями,- М.:Сб. Мир, 1965. -С. 35

80. Эрлих Г. Взаимодействие газов с поверхностями,- М.:Сб. Мир, 1965. -С. 47

81. Мак-Карролл Б. Взаимодействие газов с поверхностями.- М.:Сб. Мир, 1965. -С. 101

82. Палатник Л.С. и др.,//РЬуБ. Stat. Solidi.-1966.-№ 17,- 543 с.

83. Балуффи Р.В., Келер Дис. С., Симмонс P.O. Возврат и рекристаллизация. -М.: Металлургия, 1966.-25 с.

84. Matthuvs J.W, Grundbaum Е., Phil, Mag., 11, 1233 (1965)

85. Muzz L.E., Inman M.C., Phil, Mag., 14,135 (1966)

86. Фукс М.Я. //ФММ.-1969.-№ 28.-С. 645

87. Аксенов И. И., Коновалов И. И., Кудрявцев Е. Е. И д.р.// ЖТФ,-1984.-Том 54,-№8-с. 1530

88. Андреев Ю. Н. Андронова Т. М., Вовси А. И. и д.р. Электродуговое распыление металлов и сплавов в вакууме //Лат НИИНТИ- 1982.45 с.

89. Анциферов В. И., Кантор С. П., Семенов Ю. Т. и д.р.// ЖТФ,- 1988.-Том 58,- С. 1539

90. Аксенов И. И. Украинский физический журнал, 1979. -Том 24, -№4. -С. 515

91. Андронова Т. М. Нанесение покрытий в вакууме. //Рма,- Зинатне. -1986. -С.70

92. Зимон А.Д. Адгезия пленок и покрытий. -М.: Химия, 1977.- 352 с

93. Андронова Т. М. Линин Ю. В. Формирование покрытий электродуговым распылением в вакууме //Обзор Рма: Лит НИИНТИ,- 1990.- 45 с.

94. Schiller S., Heisig U., Godicke К. Ionenplattieren-ein neues Verfahren der Vakuumbeschichtung. Vacuum- Technique, 1976, Bd. 25, H.3, s. 65-72.

95. Schiller S., Heisig U., Godicke K. Ion deposition techniques for industrial application. InA Proc. 7th Intern. Vac. Congr. Ang 3ld Intern. Conf. Solid Surfaces. Vienna, 1977. p. 1545-1552.

96. Schiller S., Heisig U., Godicke K. Alternating ion plating-a meted of high-rate ion vapor deposition. -J. Vac. Sci. Technol., 1975, V. 12, №4, p.858-864.

97. Grant W.A., Williams J.S. The modification of surface layers by ion implantation. Sci. Prog (Oxf.), 1976. v.63, p.27-64.

98. Майер Дис, Эриксон Ч., Дэвис Дис. Ионное легирование полупроводников /Рер. с анг., под ред. В.М. Гусева. М.: Мир, 1973. -276с.

99. Townsend P.D., Kelly J.C., Hartley N.E.W. Ion Implantation, Sputtering and Jheir Applicotions. N.Y. London: Academic Press, 1976, p.333.

100. Ерошев В.К. Металлокерамические вакуумно-плотные конструкции. -М.: Энергия, 1970. -160 с.

101. Конюшков Г.В., Копылов Ю.И. Диффузионная сварка в электронике. -М.: Энергия, 1974.-168 с.

102. Метелкин И.И., Павлова М.А., Поздеева Н.В. Сварка керамики с металлами,- М.: Металлургия, 1972.-160 с.

103. Мусин Р.А., Конюшков Г.В. Соединение металлов с керамическими материалами. М: Машиностроение, 1991. - 224 с. и

104. Новая керамика. /Под ред. П.П. Будникова.- М.: Стройиздат, 1969.- 311 с.

105. Установка "ННВ-6.6-И1". Проспект с выставки "Научнотехнический110. прогресс 85", Информэлектро 1985г.

106. Никитин М.М. Технология и оборудование вакуумного напыления.-М.: Металлургия, 1992-112 с.

107. Ушанский Я.С., Скаков Ю.А., Иванов А.Н., Расторгуев JI.H. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия.- М.: Металургия, 1982. -632 с.

108. Pauder diffaction file. Search Material joint Commite on Pauger Piffraction ctandarts ( JCPDS) USA, 1973, Д. 875 p.

109. Руководство по рентгенометрическому исследованию минералов. /Под ред. В.А. Франк Каменецкого.-JI.: Недра, -1975.-399 с.

110. Хайкер М., Зевин Л.С. Рентгеновская дифрактометрия. М.: Физмат изд., 1963.-380 с.

111. Риз А. Химия кристаллов с дефектами.-М.: Изд-во ИЛ.-1956.-275с.

112. Рид В.Т. Дислокации в кристаллах. М.: Металлургиздат,- 1957.С178.185

113. Чалмерс Б. Физическое металловедение.-М.: Изд-во Металлургия,- 1963. -456 с.

114. Бюрен Ван. Дефекты в кристаллах. М.: Изд-во ИЛ, -1962. С 86-97

115. Орлов А.Н.// ФММ.-1965.-№ 20,- С 12

116. Орлов А.Н.// ФММ.-1965.-№ 20,- С 131

117. Кривоглаз М.А. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах. Киев: Наукова думка, -1983. -408 с.

118. Уманский Я.В., Скаков Ю.А., Иванов А.Н., Расторгуев Л.Н. Кристалография, рентгенография и электронная микроскопия. М.: Металлургия, 1982. - 632 с.

119. Вишняков Я.Д. Современные методы исследования структуры деформированных кристаллов.-М.: Металлизация,-1975.-С.285-304.

120. Горелик С.С., Скаков Ю.А., Расторгуев Л.Н. Рентгенографический и электронноптический анализ.- М.: Наука, 1990.- 510 с.

121. Коган A.C., Уникель Д.П. //Заводская лаборатория. -1980. -№5.-С 406

122. Иванов А.H., Крюкова JLM. Введение поправки на дублетность Ка излучении при определении ширины рентгеновской линии // Заводская лаборатория.-1988,- т.54.- №2.- С. 57-58

123. Русаков A.A. Рентгенография металлов. М.: Автомиздат, 1977. -480 с.

124. Горелик С.С., Скаков Ю.А., Расторгуев JI.H. Рентгенографический и электронноптический анализ. М.: Металлургия, 1970.- 366 с.

125. Берг Л.Г. Введение в термографию.- М.: Наука, 1969. -С 141-148

126. Горбачев В.Н. Определение кинематических констант по ДТА кривым на ДСК калориметрах //ЖФХ,- 1979,- Т.53- № 9.-С.12-15

127. Пилоян Г.О. Введение в теорию термического анализа. М.: Наука, 1964.-231с.

128. Топор Н.Д., Огородова Л.П. Термический анализ минералов и органических соединений. М.: МГУ, 1987. - С 26-35

129. Дерягин Б.В., Кротова И.А., Смилга В.П. Адгезия твердых тел,-М.: Наука, 1973,- 279 с.

130. Куликов Г.М., Матвеев Г.М., Рудной Б.Л., Шоршоров М.Х. //Физика и химия обработки материалов,- 1968.- №4,- С.120-125

131. Мозжухин Е.И. В кн.: "Высокотемпературные материалы". М.: "Металлургия", 1969,-С.79-105

132. Матвеев Г.М., Рудной Б.Л., Шоршоров М.Х. //Физика и химия обработки материалов,- 1969.-№6 С.94-102

133. Kubaschewski О. "Rev. Hautes Temper, et Refract.", 1966, v3, р229.

134. Уэндланд У. Термические методы анализа. М.: Мир, 1978.-345 с.

135. Термические константы веществ. Выпуск VII (первая часть). Справочник, под рук. Акад. В.П. Глушко. -М.: Мир, 1974,- 342 с.

136. Наумов Г.Б., Рыженко Б.Н., Ходаковский И.Л. Справочник термодинамических величин,- М.:Атомиздат, 1983, -240 с.

137. Morosin В., Linch R.W. Strukture ctudies an Ai2Ti05 at room temperature and at 600 °C. // Acta crystallogr. 1972. V. 28. №4. P. 1040-1046.

138. Lang S. M., Fillmore C.L., Maxwell L.H. The system berillia -aluminatitania: phase relation and general of three- component porcelain //J. Rec. Nat. Bur. Stand. A. 1952. Y. 48. № 4. P. 289-312.

139. Хамано К. Керамика на основе титана алюминия // Тайкабуцу.1975,- Т. 27. №215.- С. 520-527

140. Бережной А.С., Гулько Н.В. Титанат алюминия как огнеупорный материал //Сб. науч. работ по химии и технологии силикатов. М.: Госстройиздат, 1956. С. 218-233

141. Bagley R.D., Cutler I.B., Johnson D.L. Effect of Ti02 on initial sintering of A1203.-J. Amer. Ceram. Soc.,1970, Y. 53, № 3, p. 136

142. Demchuk V.A., Krivutca Z.F., Melnikova M.A. Titanium oxide formation in Ti-films, produced by ejector-Are deposition in vacuum //The 3 Ynternational Meeting of Pacific Rim Ceramic Societies: Book of Abstracts.- Kyongju, Korea, 1998. - 01- P-17.

143. Еремин E.H. Основы химической кинетики. M.: Высшая школа,1976.-375 с.

144. Демчук В.А., Кривуца З.Ф., Левицкий Ю.Т. Образование оксида титана, в пленках титана, полученных электродуговым распылением в вакууме // сб. Механизация и электрификация технологических процессов в АПК.-1998.- Вып. 4,-С. 126-131135

145. Киреев A.B. Краткий курс физической химии. М.: Химия, 1978.621 с.

146. Палатник JI.C., Фуко М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. -М.: Наука, 1972.-320с.

147. Сумм Б.Д., Горюнов Ю.В. Физико-химические основы смачивания и растекания. М.: Химия. 1976. 232 с.

148. Зимов А.Д. Адгезия жидкости и смачивание. М.: Химия, 1974. -413 с.