Повышение работоспособности режущего инструмента на основе автоматического управления технологическим процессом вакуумно-плазменного упрочнения тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.13.06, кандидат технических наук Кабанов, Александр Викторович

• Кабанов, Александр Викторович
• кандидат технических наук
• 2006

Оглавление диссертации кандидат технических наук Кабанов, Александр Викторович

ОГЛАВЛЕНИЕ

ПЕРЕЧЕНЬ ПРИНЯТЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ.

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ МЕТОДОВ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОГО УПРОЧНЕНИЯ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА.

1.1. Характеристика процесса комбинированного вакуумноплазменного упрочнения.

1.2. Технологические параметры процесса комбинированного вакуумноплазменного упрочнения.

1.3. Автоматизация npoifeccoe вакуумноплазменной обработки. Состояние вопроса.

1.4. Вакуумно-плазменная установка как объект автоматического управления.

ГЛАВА 2. АНАЛИЗ СУЩЕСТВУЮЩИХ МЕТОДОВ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ И

УПРАВЛЕНИЯ ЗНАЧИМЫМИ ПАРАМЕТРАМИ

ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА КОМБИНИРОВАННОГО ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОГО УПРОЧНЕНИЯ.

2.1. Основные трудности при реализации автоматического управления процессом комбинированного вакуумно-плазменного упрочнения реэ/сущего Ш1струмента из быстрорежущей стали.

2.2. Контроль температуры подложки.

2.3. Состав газовой смеси.

2.4. Контроль состояния катодов дуговых испарителей.

ГЛАВА 3. МЕТОДЫ, ПОЗВОЛЯЮЩИЕ ПОВЫСИТЬ ЭФФЕКТИВНОСТЬ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ КОМБИНИРОВАННОГО ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОГО УПРОЧНЕНИЯ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА.

3.1. Метод автоматического контроля и управления температурой упрочняемого режущего инструмента.

3.2. Метод автоматического контроля и управления составом газовой смеси в камере вакуумно-плазменной установки.

3.3. Метод автоматического контроля состояния катода дугового испарителя.

ГЛАВА 4. СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОГО

УПРАВЛЕНИЯ И КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА КОМБИНИРОВАННОГО ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОГО УПРОЧНЕНИЯ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА.

4.1. Система автоматического управления температурой упрочняемого инструмента.

4.2. Система автоматического управления составом и давлением газовой среды в вакуумной камере вакуумно-плазменной установки.

ГЛАВА 5. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ПОДТВЕРЖДЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ РАЗРАБОТАННЫХ

МЕТОДОВ И СИСТЕМ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение работоспособности режущего инструмента на основе автоматического управления технологическим процессом вакуумно-плазменного упрочнения»

Современное автоматизированное механообрабатывающее производство все в большей степени использует ресурсосберегающие, экологически чистые технологии, позволяющие не только увеличивать производительность обработки резанием, но и обеспечивать высокую гибкость производственных процессов[2,5-7,32,72]. Тенденции развития механообрабатывающего производства связаны с отказом от применения высокотоксичных жидких, газовых и твердых технологических сред, способствующих загрязнению окружающей среды. Отказ от применения технологических сред в связи с экологическими проблемами приводит к снижению интенсивности процессов обработки. Между тем применение дорогостоящего автоматизированного станочного оборудования требует использования интенсивных режимов обработки, что связано с необходимостью самоокупаемости такого оборудования. Поэтому применение в автоматизированном механообрабатывающем производстве высоконадежного режущего инструмента, способного интенсифицировать резание даже при невозможности использования технологических смазочно-охлаждающих сред, определяет способность оборудования для мехобработки функционировать при оптимальных экономических показателях[3,5,6,30-33].

Наиболее эффективным путем повышения надежности режущего инструмента является использование инструментальных материалов с модифицированными поверхностными свойствами, формируемыми методами ионно-плазменной обработки[1,4,10,11,22].

Электродуговые испарительные устройства[ 1,1 2,1 3,34,63] занимают устойчивую самостоятельную позицию в числе друг их традиционных средств, осуществляющих вакуумную металлизацию изделий. К достоинствам электродуговых испарительных устройств относятся:

• простота конструкции;

• безопасность обслуживания;

• простота регулирования процесса испарения;

• относительно небольшие затраты энергии на единицу массы испаренного металла;

• возможность испарения любых металлов без каких-либо конструктивных изменений;

• нахождение испаряемого металла в состоянии плазмы, что позволяет широко регулировать энергию частиц испаряемого металла, влияя тем самым на процесс конденсации.

Дуговые испарительные устройства применяются для осаждения металлов, сплавов и химических соединений (нитридов, карбидов, оксидов) для получения износостойких, декоративных и др. покрытий высокого качества, а также проведения комплексной (комбинированной) обработки.

Установки для комбинированной вакуумно-плазменной обработки электродуговым методом [8,27-29,83,88] широко используются в промышленности для упрочнения (повышения износостойкости) режущего инструмента из быстрорежущей стали. Эффект упрочнения инструмента достигается за счет создания на его поверхности износостойкой структуры, состоящей из азотированного подслоя с возрастающей к поверхности микротвердостью и твердого керамического мокрытия.

Технология и оборудование для комбинированной обработки режущего инструмента в вакууме позволяет[7,25,26,81 - 83]:

• проводить эффективную очистку изделий ионами газа при режимах, исключающих образование дуговых пробоев и эрозии поверхности;

• проводить процесс нагрева и химико-термической обработки при положительном, отрицательном или плавающем потенциале, что позволяет регулировать процесс в широких пределах;

• разделить процессы прогрева изделия и его ионной очистки, что позволяет вести последнюю с оптимальном дозой облучения ионами;

• производить эффективную химико-термическую обработку и нанесение износостойких покрытий за один технологический цикл;

• повысить эксплуатационную стойкость режущего инструмента с комплексной обработкой не менее чем в 1,5-3 раза по сравнению с инструментом, упрочнение которого осуществлялось только путем нанесения износостойкого покрытия.

Подавляющее большинство вакуумно-плазмепных установок отечественного производства не оснащены системами управления и для обслуживания требуют подготовленных специалистов-операторов. При этом работоспособность инструмента, подвергнутого комбинированному вакуумно-плазменному упрочнению на установках без автоматического управления, в значительной степени зависит от профессиональной квалификации и опыта оператора.

Актуальность автоматизации технологических процессов вакуумно-плазменного упрочнения[14,25] определяется, во-первых, стремлением производителей инструмента к повышению качества продукции, что возможно только с исключением влияния человеческого фактора, и, во-вторых, обостряющимся дефицитом высококвалифицированных операторов установок.

Однако автоматизация процессов комбинированного вакуумно-плазменного упрочнения наталкивается на ряд серьезных трудностей[36,89,92]. На работоспособность упрочненного инструмента влияет целый ряд параметров технологического процесса, для контроля за которыми необходимы дорогостоящие специальные средства, практически не применимые в реальных производственных условиях. Если в алгоритм управления не введены все переменные факторы, оказывающие существенное влияние на процесс вакуумно-плазменного упрочнения, и не предусмотрены соответствующие коррекции управляющего воздействия, то технологический процесс не может быть автоматически воспроизведен с требуемым качеством.

Ряд технологических режимов процесса комбинированного вакуумно-плазменного упрочнения, оказывающих существенное влияние на работоспособность упрочненного инструмента, в современных условиях легко поддается автоматическому контролю и управлению. Это, например, токи, напряжения и мощности источников питания дуговых испарителей и источника напряжения смещения, закон перемещения упрочняемого режущего инструмента в вакуумной камере, давление газовой с меси.

К параметрам технологического процесса, в наибольшей степени влияющим на работоспособность упрочненного инструмента и трудно поддающимся автоматическому контролю в реальных производственных условиях, относятся:

• состав газовой смеси, в которой происходят различные стадии процесса комбинированного вакуумно-плазменного упрочнения;

• температура упрочняемого режущего инструмента и распределение ее полей по поверхности инструмента;

• состояние (степень выработки) катодов электродуговых испарителей.

Разработка и практическая реализация методов автоматического управления комбинированным вакуумно-плазменным упрочнением, учитывающих перечисленные выше параметры, может существенно повысить работоспособность упрочненного режущего инструмента и в связи с этим является чрезвычайно актуальной задачей.

Цель работы:

Повышение работоспособности режущего инструмента на основе разработки и практической реализации системы управления процессом комбинированного вакуумно-плазменного упрочнения, включающей автоматическое регулирование состава и давления газовой смеси, дискретный пирометрический контроль температуры и инструмента и диагностирование состояния катодов ■электродуговых испарителей вакуумно-плазменной установки по косвенным признакам.

Для достижения поставленной цели в работе были поставлены следующие задачи:

• проведение анализа параметров технологического процесса комбинированного вакуумно-плазменного упрочнения режущего инструмента; выявление степени влияния различных параметров на работоспособность упрочненного режущего инструмента и надежность процесса;

• проведение анализа существующих методов автоматического контроля и управления значимыми параметрами технологического процесса комбинированного вакуумно-плазменного упрочнения; определение основных проблем, препятствующих дальнейшему повышению эффективности автоматического управления комбинированным упрочнением инструмента;

• разработка методов и алгоритмов автоматического контроля и управления: составом газовой смеси в камере вакуумно-плазменной установки, температурой упрочняемого режущего инструмента, состоянием катодов электродуговых испарителей;

• разработка и программная реализация алгоритмов автоматического управления и контроля параметров технологического процесса комбинированного вакуумно-плазменного упрочнения режущего инструмента; алгоритмы должны быть интегрированы в программное обеспечение компьютерной системы управления вакуумно-плазменной установкой; экспериментальное подтверждение влияния разработанных методов автоматического управления на повышение стойкости режущего инструмента из быстрорежущей стали Р6М5. аучной новизной работы являются: метод автоматического регулирования состава и давления газовой смеси и дискретного пирометрического контроля температуры при комбинированном вакуумно-плазменном упрочнении инструмента, позволяющий значительно повысить его работоспособность; модель и алгоритм диагностирования состояния катодов электродуговых испарителей вакуумно-плазменной установки по косвенным признакам, позволяющий исключить ее отказы из-за катастрофической выработки катода.

Заключение диссертации по теме «Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)», Кабанов, Александр Викторович

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. Основным препятствием на пути повышения эффективности автоматического управления вакуумно-плазменным упрочнением является наличие ряда параметров, трудно поддающихся автоматизированному контролю и управлению в промышленных условиях. К этим параметрам относится состав газовой смеси, температура поверхности упрочняемого изделия и состояние катода дугового испарителя.

2. Применение метода автоматического управления парциальными давлениями рабочих газов, образующих газовую смесь, позволяет существенно повысить среднюю стойкость режущего инструмента из быстрорежущей стали - в частности, сверл малого диаметра из стали Р6М5 с азотированным подслоем и покрытием ZrN при обработке стали 40Х - до 2-х раз по сравнению с аналогичными сверлами, упрочненными без применения автоматического управления.

3. Применение метода автоматического дискретного пирометрического контроля температуры наиболее нагретых участков поверхности режущего инструмента из быстрорежущей стали позволяет, во-первых, отказаться от менее эффективного и дорогостоящего метода термопарного контроля температуры по детали-представителю, во-вторых, получить износостойкость инструмента, аналогичную износостойкости инструмента, упрочненного опытным оператором без автоматического управления процессом.

4. Автоматическая диагностика состояния катода дугового испарителя по интегралу тока дуги позволяет снизить вероятность отказа установки из-за катастрофической выработки катода и повысить коэффициент использования катода - в частности, катода к установкам типа ННВ-6.6 и «СТАНКИН-АПП» - на 8. 10%.

ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

1. Григорьев С.Н., Алешин С.В., Палютин А.А., Штепенко Ю.Ю., А.Г. Андреев, А.В. Кабанов, А.А. Шеин Технология нанесения вакуумно-плазменных покрытий на режущий инструмент // Качество машин: Сб. тр. IV международной научно-технич. конф. Т.2. Брянск: БГТУ, 2001. С. 130-132.

2. Горовой А.П., Федоров С.В., Кабанов А.В., Алешин С.В., Волосова М.А. Разработка и создание установки для низкотемпературного нанесения ионно-плазменных покрытий для упрочнения длинномерных изделий. Отчет по Гос. контракту 301-204301-18 (00)-П. (per. № ВНТИЦ 01.2.00 100986), 2001 г. 22 с.

3. Турин В.Д., Кабанов А.В., Мельник Ю.А. Разработка технологии поверхностной обработки изделий из диэлектрических материалов. // Производственные технологии. Материалы отчетной конференции-выставки по НТП «Научные исследования высшей школы по приоритетным направлениям науки и техники». - Москва, 2002. - С. 323. (Секция 11. Высокие технологии межотраслевого применения).

4. Григорьев С.Н., Горовой А.П., Кабанов А.В. Разработка технологии нанесения износостойких покрытий на длинномерные изделия с использованием планарного электродугового испарителя металлов. - Научно-технический журнал «Наука Москвы и регионов». - № 1. -М., 2002. - С. 75-76.

5. Григорьев С.Н., Кудымов Д.Н., Кабанов А.В. Разработка компьютерных систем программного управления установками для нанесения вакуумно-плазменных покрытий // Материалы IV Юбилейной Всероссийской научной конференции «Ресурсосберегающие технологии в машиностроении». Бийск, 23-24 сентября 2004г., с. 18-22.

6. Григорьев С.Н., Кабанов А.В., Кудымов Д.Н. Универсальная инструментальная программная система для создания систем автоматизированного управления технологическим оборудованием // Материалы V Всероссийской научно-технической конференции «Измерение, автоматизация и моделирование в промышленности и научных исследованиях». Бийск, 7-8 октября 2004г., с. 85-89.

7. Андреев А.Г., ■ Кудымов Д.Н., Кабанов А.В. Автоматизированное управление оборудованием для вакуумно-плазменной поверхностной обработки // Упрочняющие технологии и покрытия. - № 9, 2005. - С. 48.

8. Григорьев С.Н., Андреев А.Г., Барабанов А.Б., Кабанов А.В. Автоматизация технологических процессов вакуумного электродугового нанесения износостойких покрытий // Новые технологии в научных исследованиях, проектировании, управлении, производстве, Всероссийская научно-техническая конференция, Воронеж, 25-26 апреля 2006 г., с.93-94.

9. Григорьев С.Н., Кабанов А.В., Барабанов А.Б. Новая система компьютерного управления технологическим оборудованием для поверхностной упрочняющей обработки-изделий // Ресурсосберегающие технологии в машиностроении, 5-я Всероссийская юбилейная научно-практическая конференция, Бийск, 20-22 сентября 2006, с.90-95.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Кабанов, Александр Викторович, 2006 год

1. Андреев А.А., Саблев Л.П., Шулаев В.М., Григорьев С.Н. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005

2. Поляк М.С. Технологические методы упрочнения. Справочник в 2-х томах. М.: "Л В. М.- СКРИПТ, Машиностроение, 1995, 832 с.

3. Верещака А.С. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями. М.: Машиностроение, 1993. - 336 с.

4. Андреев А.А., Гаврилов А.Г., Падалко В.Г. Прогрессивные технологические процессы в инструментальном производстве. М.: Машиностроение, 1981.-214 с.

5. А.С. Верещака, И.П. Третьяков. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями. М,: «Машиностроение», 1986, 192 с.

6. Григорьев С.Н. Повышение надежности режущего инструмента путем комплексной ионно-плазменной поверхностной обработки. Диссертация на соискание ученой степени докт. техн. наук:: 05.03.01. Москва, 1995 г.

7. Григорьев С.Н. Комбинированная вакуумно-плазменная' обработка инструментов. Производственно-техническийжурнал «Металл. Оборудование. Инструмент». Июнь. -2003. - с. 36-40.

8. Арзамасов Б.Н., Братухин А.Г., Елисеев Ю.С., Панайоти Г.А. Ионная химико-термическая обработка сплавов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э.Баумана, 1999, 400 с.

9. L.P.Sablev, A.A.Andreev, V. V.Kunchenlco, S.N.Grigoriev. Vacuum-Arc Evaporator of Metals with an Extended Planar Cathode // Proc. Of the TATF'98, Germany, Regensburg , 1998, h. 323 -326.

10. A. H. Кузнецов, H. В. Прахов. Вакуумный электродуговой источник плазмы с анодным и катодным режимами горения разряда. Прикладная физика, 2003, № 5, с. 46-48.

11. Ковальчук Е.Р., Косов М.Г., Митрофанов В.Г. и др. Основы автоматизации машиностроительного производства: Учебник для вузов (под ред. Соломенцева Ю.М.). Изд. 2-е. М: Высшая Школа. 2001. 312 с.

12. Соломенцев Ю. М., Вороненко В. П., Схиртладзе А.Г. Проектирование машиностроительного производства: Учебник для вузов. М.: Янус-К. 2002. -348 с.

13. Соломенцев Ю.М. Проектирование автоматизированных участков и цехов: Учебник для ВУЗов. М: Высшая Школа. 2003.

14. Мрочек Ж.А., Жолобов А.А., Акулович J1.M. Основы технологии автоматизированного производства в машиностроении: Учебное пособие для вузов. Минск: Технопринт. 2003.

15. Рей У. Методы управления технологическими процессами: Пер. с англ. -М.: Мир, 1983.

16. Капустин Н.М. Автоматизация машиностроения: Учебник для ВТУЗов. М: Высшая Школа. 2003.

17. Корытин A.M., Петров Н.К., Радимов С.Н., Шапарев П.К. Автоматизация типовых технологических процессов и установок. М.; Энергоатомиздат, 1988.

18. Ю.М. Осипов. Автоматизация процессов машиностроения: Учебное пособие. Томск, 1994.

19. Вакуумные технологии и оборудование: Сборник докладов 5-й Международной конференции / Под редакцией В. И. Лапшина, В. М. Шулаева. — Харьков: ННЦ ХФТИ, ИПЦ «Контраст», 2002.

20. М.Хокинг, В.Васантасри, П.Сидки. Металлические и керамические покрытия. Пер. с англ. -М.: Мир, 2000.

21. Барвинок В.А., Богданович В.И., Митин Б.С. Закономерности формирования покрытий в вакууме. // ФХОМ. №5.-1 986. С. 92-97.

22. Андреев А.А., Кунченко В.В., Саблев Л.П., Шулаев В.М. Дуплексная обработка инструментальных сталей в вакууме. // Сб. докл. 2-го Междунар. симп. ОТТОМ-2, ч. 2, г. Харьков, 2001.

23. F. Sanchette, Е. Damond. Single cycle plasma nitriding and hard coating deposition in a cathodic arc evaporation device. Surface & Coating Technology. 1997, p. 261 267.

24. Саблев Л.П., Андреев А.А., Кунченко В.В. Плазменное азотирование режущего инструмента из быстрорежущейл стали. Труды симп. ОТТОМ, г. Харьков, 2000.

25. Григорьев С.П., Ильичев Л.Л., Рудаков В.И. Ионно-плазменное упрочнение инструментальных сталей. -Оренбург: ГОУ ОГУ, 2005. 415 с.

26. Верещака А.С., Табаков В.П. Физические основы процесса резания и изнашивания режущего инструмента с износостойкими покрытиями. Ульяновск, 1998.

27. Табаков В.П. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями на основе сложных нитридов и карбонитридов титана. Ульяновск, 1998.

28. Синопальников В.А., Григорьев С.Н. Надежность и-диагностика технологических систем: Учебник. -М.: ИЦ МГТУ «СТАНКИН», Янус-К. 2003.

29. J.Vetter. Vacuum arc coatings for tools: potential and application. Surface and Coatings Technology. V76-77, 1995. p.719-724.

30. B.Coll, D.Sanders. Design of vacuum arc-based sources. Surface and Coatings Technology. V.81, 1996. p.42-51.

31. Справочное пособие по теории систем автоматического регулирования и управления. Под общ. ред. Е.А. Санковского. Мн.: «Вышэйшая школа», 1973.

32. Автоматизация процессов и управления: Сборник статей (под редакцией Торлина В.Н.). Севастополь, 1996.

33. Фандеев Е.И., Васильев Б.В., Бараненко А.П. Низкотемпературные пирометры с тепловыми приемниками излучения. М.: Энергоатомиздат. - 1993. - 159с.

34. Ранцевич В.Б. Пирометрия при посторонних источниках излучения. Под ред. А. Г. Шашкова; АН БССР, Ин-т прикл. физики. Минск: Наука и техника. - 1989.

35. Лобов Д.Г. Специализированные инфракрасные пирометры' для контроля технологических процессов: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук. -Омск, 1999.

36. Ермолаев А.Н. Применение методов оптической пирометрии для определения температурного состояния поверхности металлов в условиях плазмообразования при лазерной обработке: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук. М., 1990.

37. Вакуумные дуги. Теория и приложения. Под ред. Дж. Лафферти. М.: Мир, 1982.

38. Таблицы физических величин. / Под ред. И.Н.Кикоина. М.: Атомиздат, 1976

39. Физико-химические свойства элементов. Справочник. Под ред. Г.В. Самсонова. Киев, Наукова думка. 1965.

40. Горохов Е.В. Построение позиционных систем управления при автоматизации технологического оборудования в приборостроении (исследование, разработка, внедрение): автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук. М., 1993.

41. Приборы и средства автоматизации: Отрасл. каталог / Рос.НИИ информ. и экономики (Информприбор). М. -1993.

42. Автоматизация и роботизация производственных процессов. Межвуз.сб.науч.тр. Воронеж.Гос.Техн.Ун-т. Изд-во ВГТУ, Воронеж. 1996.

43. Я. Буда, В. Гановски, B.C. Вихман и др. Автоматизация процессов машиностроения: Учебное пособие (под ред. А.И. Дащенко). М.: Высшая школа, 1991

44. А.Э.Рафальсон, А.М.Шерешевский, Масс-спектрометрические приборы, М. — Л., 1968.

45. Джейрам Р., Масс-спектрометрия. Теория и приложения. М., Мир, 1969.

46. Handbook of Vacuum Arc Science and Technology / Ed. by R.L. Boxman, D.M. Sanders, P.I. Martin. New York: Noyes Publications, Park Ridge, 1995.

47. Любимов Г.А., Раховский В.И. УФН, 1978, т. 125, с. 665.

48. Грановский В.Jl. Электрический ток в газе. Установившийся ток. М.: Наука. 1973.

49. Кесаев И.Г. Катодные процессы электрической дуги. М.: Наука, 1968

50. Месяц Г.А. Эктоны. Екатеринбург: Наука, 1994.

51. А.Ф.Дьяков, Ю.К.Бобров, А.В.Сорокин, Ю.В.Юргеленас. Физические основы электрического пробоя газов. М., Изд-во МЭИ, 1999. 400с.

52. Голант В.Е., Жилинский А.П., Сахаров И.Е. Основы физики плазмы. М.: Атомиздат, 1977. 384с

53. А.Г.Николаев, Е.М.Окс, Г.Е.Юшков. ЖТФ, 1998, т. 68, №9

54. Д.Ф.Алферов, В.П.Иванов, В.А.Сидоров. Устойчивость горения вакуумной дуги постоянного тока в осесимметричном радиальном магнитном поле. Прикладная физика, 2001, № 4, с. 27-34.

55. А.С.Бугаев, В.И.Грушенец, А.Г.Николаев, Е.М.Окс, Г.Ю.Юшков. Исследования направленных скоростей ионов в вакуумном дуговом разряде эмиссионными методами. ЖТФ, т.70, №9, 2000.

56. G. Yu. Yushkov, Е. М. Oks, A. Anders, I. G. Brown, //J. Appl. Phys., 2000, v. 88, p. 5618.

57. Boxman R.L., Goldsmith S. IEEE Trans. Plas. Sci. 1990.Vol. 18. N 2. p. 231-236.

58. И.И.Аксенов. Вакуумная дуга в эрозионных источниках, плазмы. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. 212с.

59. D.A. Karpov. Cathodic arc sources and macroparticle filtering. Surface and Coatings Technology. V.96, 1997. p.22-33.

60. С.Дэшман. Научные основы вакуумной техники. М.: Мир, 1964

61. Пауэр Б. Д. Высоковакуумные откачные устройства. М.: Энергия, 1969.

62. Г.Левин. Основы вакуумной техники. М.: Энергия, 1969.

63. Г.Л. Эшбах. Практические сведения по вакуумной технике. M.-JL: Энергия, 1966

64. М.К. Марахтанов, A.M. Марахтанов. Формирование катодного кратера в низковольтной вакуумной дуге с холодным катодом. Письма в ЖТФ, Т.24, №13, 1998.

65. М.К. Марахтанов, A.M. Марахтанов. Эффект термоэлектронного вентиля и ритм катодного кратера в низковольтной вакуумной дуге с холодным катодом. Письма в ЖТФ, Т.24, №14, 1998. .

66. С.С.Арапов, Н.Б.Волков. О формировании и структуре токовых ячеек катодного пятна вакуумной дуги. Письма в ЖТФ.т.29, №1, 2003.

67. С.А. Баренгольц, Е.А.Литвинов, Е.Ю.Садовская, Д.Л.Шмелев. Движение катодного пятна вакуумной дуги во внешнем магнитном поле. ЖТФ, т.68, №6, 1998.

68. P. Siemroth, Т.Н. Schulke, Т.Н. Witke, В. Schultrich. Short-time Investigation of Laser and Arc Assisted Deposition Process // Thin Films. Edited E. Heht, F. Richter, J. Hahn, 1994, DGM Informationgeselshaft mbH, Verlag.

69. B. Juttner, "The dynamics of arc cathode spots in vacuum: New Measurements", J. Phys. D: Appl. Phys., vol. 30, No. 2, 1997, pp. 221-229.

70. Ю.П. Райзер. Основы современной физики газоразрядных процессов. М., Наука, 1980.

71. В. Juttner "Cathode Spots of Electric Arcs", Topical Reviw, J. Phys. D: Appl. Phys., vol. 34 (2001) pp.103-123.

72. Мартинов Г.М. Теория и техника систем числового программного управления с открытой модульной архитектурой для автоматизации машиностроительного оборудования: автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук. М., 2001.

73. Новицкий П.В. Электрические измерения неэлектрических величин. Ленинград: Энергия, 1975. - 576с.

74. Новицкий П.В., Зограф И.А. Оценка погрешностей результатов измерений. 2-е изд., Л.Ж Энергоатомиздат. Ленингр. отд-ние, 1991. -304 с.

75. П. Гарет. Аналоговые устройства для микропроцессоров и мини-ЭВМ. М., Мир. 1981.

76. Автоматическое управление электротермическими установками. Под ред. А.Д. Свенчанского. М., Энергоатомиздат. 1990.

77. Чекалова Е.А. Повышение надежности инструмента из быстрорежущей стали путем комбинированной обработки с оптимальными параметрами ионно-плазменной среды: Диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.03.01. Москва, 1997 г.

78. Григорьев С.Н., Федоров С.В., Волосова М.А., Туманова М.А. Технология и оборудование для комплексной ионно-плазменной обработки режущего инструмента. Качество машин: Сб. тр. IV международной научно-технич. конф. Т.2. Брянск: БГТУ, 2001.

79. Григорьев С.Н., А.С. Метель, Е.Р. Цыновников, Ю.А. Мельник, С.В. Федоров. Плазменный эмиттер ионов. Патент России № 21 10867, Н 0127/04

80. А.С. Vlasveld, S.G. Harris, E.D. Doyle, D.B. Lewis, W.-D. Munz. Characterisation and performance of partially filtered arc TiAIN coatings // Surface and Coatings Technology. 2002, v. 149, p. 217 224.

81. Y. Tanaka, T.M.Gur, M. Kelly et all. Properties of (Ti,.xAIx)N coatings for cutting tools prepared by the cathodic arc ion plating method.// J. Vac. Sci. Technol. A 10(4), Jul/Aug. 1992, p. 1749 1756.

82. Башков B.M., Кацев П.Г. Испытания режущего инструмента на стойкость. М.: Машиностроение, 1985.

83. Григорьев С.Н., Л.П. Саблев, А.П. Горовой, С.В. Федоров и др. Разработка технологии и устройства для комплексной обработки изделий. Совместная сессия и выставка-ярмарка перспективных технологий/Сб. тезисов докладов. Тула, 1997.

84. Григорьев С.Н., Андреев А.Г., Кудымов Д.Н. Инструментальная система для разработки программногообеспечения компьютерных систем управления дискретными технологическими машинами. Вестник компьютерных и информационных технологий. № 5, 2005.

85. Федоров С.В. Комбинированная поверхностная ионпо-плазменная обработка инструмента из быстрорежущей стали. Диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.02.01. Москва, 2004г.

86. А.П. Бурмаков, В.Н.Кулешов. Контроллер расходов газов для процессов нанесения пленок сложного состава, «Электроника инфо». №5(29), 2006.

87. Д.Н.Кудымов. Разработка инструментальной программной системы для создания компьютерных систем программного управления технологическими машинами. Диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.06 Москва, 2003г.