Повышение производительности и качества поверхностного слоя деталей путём дополнительной ионизации газа при ионно-плазменной обработке тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.08, кандидат технических наук Агзамов, Рашид Денисламович

• Агзамов, Рашид Денисламович
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Агзамов, Рашид Денисламович

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. МЕТОДЫ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО МОДИФИЦИРОВАНИЯ

ПОВЕРХНОСТЕЙ КОНСТРУКЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ

1.1. Анализ процессов азотирования

1.2. Методы ионно-плазменного азотирования

1.2.1. Ионное азотирование с использованием источников ионов

1.2.2. Азотирование в тлеющем разряде (ионное азотирование)

1.2.3. Взаимодействие плазмы с поверхностью детали при азотировании в тлеющем разряде 34 Анализ методов нанесения вакуумных ионно-плазменных покрытий 4ш Коррозионные свойства вакуумных ионно-плазменных покрытий

15. Многослойные вакуумные ионно-плазменные покрытия

Цель и задачи работы

ГЛАВА 2. ОБЪЕКТ, МЕТОДЫ И МЕТОДИКИ

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ

2.1. Объект исследований, механические свойства исследованных материалов и покрытий

2.2. Описание модернизированной установки ЭЛУ-5 для ионного азотирования в тлеющем разряде

2.3. Описание модернизированной установки ННВ-6,6-И1 для плазменно-ассистированного нанесения покрытий

2.4. Методика измерения микротвердости

2.5. Методика металлографического исследования азотированного слоя

3.1. Ионное азотирование в тлеющем разряде на основе эффекта полого катода

3.2. Экспериментальные исследования вольт-амперных характеристик тлеющего разряда

3.3. Экспериментальные результаты температурных зависимостей при ионном азотировании

2.6. Методика рентеноструктурного анализа покрытий

2.7. Методы оценки коррозии

2.7.1. Определение коррозионностойкости по изменению массы образца

2.7.2. Электрохимические методы испытаний

ГЛАВА 3. ИОННОЕ АЗОТИРОВАНИЕ КОНСТРУКЦИОННЫХ

СТАЛЕЙ И ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ

3.4. Исследования влияние состава рабочих газов и режимов азотирования на микротвердость и глубину азотированных слоев

3.5. Структура азотированного слоя 78 3 6. Исследование азотирования несамостоятельным сильноточным диффузионным разрядом, реализуемым плазменным источником «ПИНК»

ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМЕННО-АССИСТИРОВАННОГО НАНЕСЕНИЯ ' МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ КОМПОЗИЦИИ Т1-ТШ НА ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ СВОЙСТВА

4.1. Математическая модель осаждения ионно-плазменных покрытий

4.2. Результаты рентгеноструктурного анализа образцов с многослойными покрытиями Ti-TiN

4 3, Коррозионные свойства многослойных покрытий композиции

Ti-TiN нанесенных методом плазменно-ассистированного нанесения покрытий

4.4. Исследование теплостойкости и термостойкости многослойных покрытий композиции Ti-TiN

ГЛАВА 5. ПРОЕКТИРОВАНИЕ ПРОИЗВОДСТВЕННОГО УЧАСТКА

ДЛЯ ПЛАЗМЕННО-АССИСТИРОВАННОГО НАНЕСЕНИЯ

ПОКРЫТИЙ НА КОРПУСА ИСКРОВЫХ СВЕЧЕЙ ЗАЖИГАНИЯ

5.1. Объект производства

5.2. Анализ технологии создания защитно-декоративного покрытия на предприятии

5.3. Методы контроля качества искровых свечей зажигания

5.4. Технологический процесс плазменно-ассистированного нанесения покрытий композиции Ti-TiN

5.5. Проектирование участка для нанесения ионно-плазменных покрытий с учётом экономических затрат на производство

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение производительности и качества поверхностного слоя деталей путём дополнительной ионизации газа при ионно-плазменной обработке»

Детали современных энергонагруженных машин работают в условиях высоких температур и нагрузок, наличия агрессивных сред.

Наиболее распространенными причинами повреждения деталей машин являются износ и коррозия поверхности.

Изнашивание является сложным физико-химическим процессом, нередко сопровождается коррозией и называется коррозионной эрозией, коррозионным износом или фреттинг-коррозией.

Для повышения эксплуатационных свойств применяются различные методы: различные виды химико-термической обработки, поверхностно-пластического упрочнения, нанесения покрытий и т.д.

Так, например, одним из методов повышения износостойкости поверхности деталей является азотирование. Широко используемый в промышленности метод азотирования в диссоциированном аммиаке с применением печного нагрева обладает такими серьёзными недостатками, как большая длительность процесса, трудность насыщения азотом легко пассивирующихся высоколегированных сталей, образование хрупкой е-фазы на поверхности деталей.

Процессы ионного азотирования позволяют не только избавиться от перечисленных выше недостатков, но и добиться ряда важных преимуществ: большая скорость насыщения; получение диффузионных слоев заданного фазового состава и строения; возможность проведения регулируемых процессов азотирования; незначительные деформации изделий и высокий класс чистоты поверхности; возможность азотирования пассивирующихся материалов без дополнительной депассивирующей обработки; значительное сокращение общего времени процесса за счёт уменьшения времени нагрева и охлаждения партии обрабатываемых деталей и исключения промежуточных технологических операции по активации поверхности детали; большую экономичность процесса, повышения коэффициента использования электроэнергии, сокращение расхода насыщающих газов; процесс нетоксичен и отвечает требованиям по защите окружающей среды.

В зависимости от характера коррозии и условий ее протекания применяются различные методы защиты. Выбор того или иного способа определяется его эффективностью в данном конкретном случае, а также экономической целесообразностью. Любой метод защиты изменяет ход коррозионного процесса, либо уменьшая скорость, либо прекращая его полностью.

Наиболее распространенным методом защиты деталей машин от коррозии является нанесение покрытий и легирование защищаемой поверхности.

Один из простых и наиболее разработанных методов нанесения металлических покрытий - это электролитическое осаждение. К недостаткам этого метода следует отнести слабое сцепление покрытия с основой, так как осаждение происходит при комнатной температуре, и диффузионные процессы между слоем и материалом образца практически не протекают. Кроме того, в этом случае затруднено нанесение равномерных по толщине покрытий на детали сложной конфигурации. Возникают также сложности при формировании покрытий на непроводящие материалы.

Метод испарения и конденсации в высоком вакууме отличается от остальных высокой чистотой получаемых покрытий, что во многих случаях приводит к улучшению физических и механических параметров. Этот метод используется при получении металлических защитных покрытий на различных сильно окисляющихся материалах.

Для устранения или торможения коррозионных процессов на границе среда-металл, негативно воздействующих на эксплуатационные свойства материалов, целесообразно использовать вакуумно-плазменные покрытия на основе карбидов и нитридов металлов. Надежность и долговечность деталей зависит от стабильности коррозионно-механических характеристик конструкционных материалов при комплексном воздействии механических нагрузок, высоких температур и сред. Достижение положительного эффекта при применении вакуумно-плазменных покрытий во многом обуславливается физико-химическими свойствами покрытий: составом, структурой, толщиной, шероховатостью, остаточными напряжениями и др.

Анализ литературных данных показал, что в качестве наиболее перспективных методов обработки поверхности рассматриваются вакуумные ионно-плазменные технологии (ВИПТ), обладающие целым рядом принципиальных преимуществ: универсальностью, высокой производительностью и воспроизводимостью параметров поверхностного слоя, практически полным отсутствием экологических проблем.

Однако, несмотря на значительное число выполненных исследований и решенных практических задач, перед ионно-плазменной технологией стоит ряд сложных проблем, связанных с совершенствованием технологических процессов (интенсификация процессов обработки, совершенствование разработанных и создание новых более перспективных методов, повышение точности обработки и качества поверхностного слоя).

Анализ работ, выполненных в последнее время, показал, что повышение производительности ионно-плазменной обработки и качества поверхностного слоя, возможно за счёт дополнительной ионизации атомов газа.

Таким образом, весьма актуальным является исследование методов ионно-плазменной обработки с дополнительной ионизацией атомов газа, обеспечиваемой путем применения различных технических решений.

Основные научные результаты, полученные лично автором и выносимые на защиту:

1. Характеристики тлеющего разряда с использованием эффекта полого катода (ЭПК) в условиях ионного азотирования (при Р>100 Па).

2. Закономерности влияния обработки поверхности тлеющим разрядом с использованием ЭПК в различных газах на распределение твердости по глубине поверхностного слоя.

3. Характеристики несамостоятельного сильноточного диффузионного разряда, реализуемого плазменным источником «ПИНК», и закономерности влияния обработки поверхности в смеси газов Аг25%-Ы250%-С2Н225% на распределение твердости по глубине поверхностного слоя.

4. Структурно-фазовый состав и экспериментальные зависимости коррозионной стойкости и термостойкости многослойных покрытий композиции ТьНЫ, нанесенных в условиях бомбардировки ионами газа (плазменно-ассистированное нанесение покрытий (ПАНП)).

Научная новизна:

1. Исследован метод ионного азотирования в тлеющем разряде с использованием ЭПК, заключающийся в том, что в системе, состоящей из специального экрана в виде сетки и обрабатываемой поверхности детали, находящихся под отрицательным потенциалом, формируется плазма с повышенной концентрацией заряженных частиц, генерируемых быстрыми осциллирующими электронами, эмитируемыми с поверхности катодной полости.

2. Впервые экспериментально установлено влияние обработки поверхности тлеющим разрядом с использованием ЭПК в различных газах на распределение твердости по глубине поверхностного слоя.

3. Впервые экспериментально получены характеристики несамостоятельного сильноточного диффузионного разряда в смеси газов Аг25%-Ы250%-С2Н225% и установлено распределение твердости по глубине поверхностного слоя, обработанного в данной смеси.

4. Установлено, что плазменно-аосистированное нанесение многослойных покрытий ТьНЫ приводит к увеличению коррозионной стойкости, по сравнению с нитридом титана, нанесенным методом катодной ионной бомбардировкой (КИБ). Это обусловлено тем, что в многослойных покрытиях ТьНЫ образуются фазы а-Тл и ИЫ с текстурами различных направлений, причем с увеличением числа слоев увеличивается разориентация кристаллов указанных выше фаз. Из анализа величин физического уширения рентгеновских пиков установлено, что увеличение числа слоев приводит к снижению внутренних напряжений в покрытии. Указанные особенности многослойных покрытий, полученных методом ПАНП, обеспечивают большую коррозионную стойкость и термостойкость, по сравнению с монослойными покрытиями нитрида титана.

Практическая ценность работы

1. Исследованный метод обработки поверхности в тлеющем разряде с эффектом полого катода, а также зависимости скорости нагрева детали и температуры от давления в камере, напряжения и тока разряда могут быть использованы при назначении технологических режимов при ионном азотировании.

2. Закономерности плазменно-ассистированного нанесения слоевых композиций Тл-'ПК могут быть использованы при разработке технологического процесса напыления многослойных покрытий.

Реализация результатов работы

Разработан технологический процесс плазменно-ассистированного нанесения многослойных покрытий Ть'ПЫ на корпуса искровых свечей зажигания и подготовлен проект участка для его реализации на Уфимском заводе электротехнических изделий (УЗЭТИ).

По результатам работы было проведено плазменно-ассистированное нанесение многослойных покрытий 'П-'ПН на опытную партию корпусов искровых свечей зажигания А17ДВ-1. Свечи с покрытиями успешно прошли заводские эксплуатационные испытания.

Результаты исследований внедрены в учебный процесс УГАТУ в виде методических указаний к лабораторным работам.

Апробация работы

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на: Международной научно-технической конференции «Современная электротехнология в машиностроении» (Тула, 2002); Пятой международной конференции "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц" (Томск, 2002); Международной конференции «ОТТОМ-4» (Харьков, 2003); Международной научно-технической конференции «Проблемы и перспективы развития двигателестроения» (Самара, 2003); Региональных научно-технических конференциях (Уфа, 2000, 2002, 2003).

Аннотация диссертационной работы по главам

В первой главе проведен анализ методов азотирования и нанесения ионно-плазменных покрытий, обеспечивающих повышение эксплуатационных характеристик поверхностей деталей машин.

Во второй главе рассмотрены механические свойства и химический состав исследуемых сталей и сплавов. Приведены методики определения микротвердости, металлографического исследования, коррозионной стойкости и рентгеноструктурного анализа.

В третьей главе представлены экспериментальные исследования ионного азотирования в тлеющем разряде с использованием ЭПК и ионно-плазменного азотирования несамостоятельным сильноточным диффузионным разрядом.

Четвертая глава посвящена исследованию эксплуатационных свойств многослойных покрытий композиции ТьНЫ, полученных методом плазмен-но-ассистированного нанесения покрытий.

Пятая глава посвящена разработке технологии плазменно-ассистированного нанесения многослойных покрытий ТьТШ на металлические корпуса искровых свечей зажигания. и

1. МЕТОДЫ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО МОДИФИЦИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ КОНСТРУКЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ

Как было отмечено выше, вакуумные ионно-плазменные технологии (ВИПТ) имеют ряд важных преимуществ перед традиционными методами обработки поверхности. Однако широкого применения в промышленности ВИПТ не находят. Это связано со сложностью оборудования применяемого для обработки методами ВИПТ и нехваткой высококвалифицированных специалистов.

Однако автор уверен, что в будущем данные технологии будут востребованы и, несомненно, необходимо продолжать исследования в данной области.

Заключение диссертации по теме «Технология машиностроения», Агзамов, Рашид Денисламович

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

1. Впервые исследован метод азотирования в тлеющем разряде в условиях проявления ЭПК при давлениях от 100 до 500Па, заключающийся в том, что в системе, состоящей из специального экрана в виде сетки и обрабатываемой поверхности детали, находящихся под отрицательным потенциалом, формируется плазма с повышенной концентрацией заряженных частиц, что позволяет увеличить скорость азотирования до 2 раз по сравнению с азотированием в тлеющем разряде с плоским катодом.

2. Исследованы характеристики несамостоятельного сильноточного диффузионного разряда в газах Аг, 1М2, и смеси 25% Аг-5 0%М2-25 %С2Н2. Установлено, что применение смеси газов позволяет повысить ток разряда на 50-70% по сравнению с током разряда в чистом азоте.

3. Установлено, что азотирование в тлеющем разряде в чистом азоте неэффективно для сталей. Введение ацетилена и аргона в азот приводит к эффективному насыщению поверхности стальных образцов азотом как при обработке в тлеющем разряде, так в несамостоятельном сильноточном диффузионном разряде (твердость на поверхности увеличивается 3,5ч-4 раза). Азотирование титановых сплавов в азоте и смеси азота и аргона приводит к увеличению твердости на поверхности в 2,3-ь2,5 раза.

4. Установлено, что многослойные покрытия на основе ТьТ11ч[, полученные методом плазменно-ассистированного нанесения покрытий, состоят из фаз а-Тл и ТО^ с текстурами различных направлений, что приводит к увеличению коррозионной стойкости в 4-5 раз, теплостойкости в 3 и более раз по сравнению с однослойным покрытием нитрида титана. Количество циклов при термоциклировании до разрушения покрытий возрастает 2 и более раз.

5. Разработан технологический процесс плазменно-ассистированного нанесения многослойных покрытий корпусов искровых свечей, снижающих технологическую себестоимость по сравнению с базовой технологией на 40%.

6. Спроектирован производственный участок для плазменно-ассистированного нанесения многослойных покрытий на корпуса искровых свечей с программой выпуска до 1 млн. шт. в год.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Агзамов, Рашид Денисламович, 2004 год

1. Агзамов Р.Д. Взаимодействие потоков частиц с поверхностью конструкционных материалов при ионно-плазменном азотировании // Вестник УГАТУ. -Уфа, 2001. -№2(4).-С.167-169.

2. Агзамов Р.Д. Коррозионные свойства многослойных покрытий композиции

3. Ti-TiN нанесенных методом плазменно-ассистированного нанесенияпокрытий / Агзамов Р.Д., Будилов В.В., Адашева C.JL // Инновационные проблемы развития машиностроения в Башкортостане: сб. тр. / Научн.-тех. конф. -Уфа: Гилем, 2003.-С.242-254.

4. Агзамов Р.Д. Структура и твердость азотированного слоя при ионно-плазменных методах азотирования. // Инновационные проблемы развития машиностроения в Башкортостане: сб. тр. / Научн.-тех. конф. -Уфа: Гилем, 2003.-С.234-241.

5. Агзамов Р.Д., Будилов В.В. Ионное азотирование в тлеющем разряде с эффектом полого катода. // ОТТОМ-4: сб. докладов / Международная конференция. -Харьков, 2003.-С.262-265.

6. Анциферов В.Н., Косогор С.П. Многослойные вакуумные ионно-плазменные покрытия на основе карбидов титана и хрома, их структура и свойства. //Физика и химия обработки материалов. -1996. -№6. -С.61-65.

7. Ю.Арцимович JI.A. Элементарная физика плазмы. -М.: Атомиздат, 1969. -191 с.11 .Бабад-Захряпин A.A. Химико-термическая обработка в тлеющем разряде. -М.: Атомиздат, 1975.-175 с.

8. Бабад-Захряпин A.A., Кузнецов Г.Д., Радиационно-стимулируемая химико-термическая обработка, -М.: Энергоиздат, 1982. 182 с.

9. Барвинок В. А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. -М.: Машиностроение, 1990. 385 с.

10. Башков В.П. Износостойкие покрытия режущего инструмента, состояние и тенденции развития. // Вестник машиностроения. -1999. -№1. -С. 35-39.

11. Бородин B.C., Коган Ю.М. Исследование разряда в полом катоде. // ЖТФ. -1966. -Т XXXVI. -Вып. 1. -С. 181 -185.

12. Бородин B.C., Коган Ю.М., Лягущенко Р.Н. Исследование разряда в полом катоде -2. // ЖТФ. -1966. -Т XXXVI. -Вып. 7. -С. 1198-1201.

13. Будилов В.В. Обеспечение эксплуатационных свойств деталей ГТД вакуумными ионно-плазменными методами обработки с учетом технологической наследственности. Диссертация на соискание доктора технических наук. -Уфа, 1994. 372 с.

14. Будилов В.В. Использование эффекта полого катода при азотировании в плазме тлеющего разряда/ Будилов В.В., Агзамов Р.Д. // Машиноведение, конструкционные материалы и технологии: Сб. тр. / Научн.-тех. конф. -Уфа: Гилем, 2002.-С.178-186

15. Будилов В.В. Коррозионная стойкость вакуумно-плазменных покрытий на конструкционных сталях // Оптимизация технологических процессов по критериям прочности: Межвуз. науч. сб. -Уфа: УАИ. -1991.-С.35-41.

16. Будилов В.В. Технология вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий. -Уфа: УГАТУ, 1993. -77 с.

17. Буди лов В.В. Физические основы вакуумно-плазменной технологии нанесения покрытий. -Уфа: УГАТУ, 1993. -74 с.

18. Будилов В.В. Электронная обработка материалов в вакууме на основе несамостоятельного сильноточного диффузионного разряда / Будилов В.В.,

19. Агзамов Р.Д., Киреев P.M. // Наукоемкие технологии машиностроения: Сб. тр. / Научн.-тех. конф. --Уфа: Гилем, 2000.-С.91-102

20. Будилов В.В., Киреев P.M., Измайлова Н.Ф., Шехтман С.Р. Особенности нанесения вакуумно-плазменных покрытий с использованием эффекта полого катода. // Сб. Поверхность. Технологические аспекты прочности деталей. Межвузовский сборник. Уфа, 1994г. С.49-54.

21. Будилов В.В., Киреев P.M., Шехтман С.Р. Ионное модифицирование поверхности с использованием эффекта полого катода // 4 Всероссийская конференция "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц". -Томск, 1996. -С. 134-138

22. Будилов В.В., Шехтман С.Р., Киреев P.M. Использование разряда с полом катодом для обработки поверхности конструкционных материалов // Физика и химия обработки материалов. -2001. -№2. -С.31-35.

23. Будовицин В.А., Репин М.Ф. Повышение эффективности извлечения заряженных частиц из плазменного источника на основе отражательного разряда с полым катодом. // Электронная обработка материалов. №4. 1990. -С.44-47.

24. Быковский Ю.А., Неволин В.Н., Фоминский В.Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. М.: Энергоатомиздат, 1991., 237 с.

25. Васильева Г.Г., Крейндель Ю.Е. Эффект полого катода в разряде типа пеннинга низкого давления //ЖТФ. -1969. -Т. XXXIX. -Вып. 2. -С. 298-301.

26. Велихов Е.П., Ковалев A.C., Рахимов A.C. Физические явления в газоразрядной плазме. М.: Атомиздат, 1987. -312 с.

27. Верещака A.C., Третьяков И.П. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями. М.: Машиностроение, 1986. - 192 с.

28. Вершина А.К., Бельчин И.А., Пителько A.A. Защитно-декаративные свойства электродуговых вакуумных Ti и TiN-покрытий, осажденных в потоках плазмы // Физика и химия обработки материалов. -1990, -Т5. -С.93-96.

29. Вершина А.К., Изотова С.Д., Пителько A.A. Влияние технологических параметров процесса осаждения из сепарированного плазменного потока TiN покрытий и их защитные свойства // Физика и химия обработки материалов. -1991. -ТЗ. -С.65-68.

30. Витязь П. А. Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана. Мн.: Наука и техника, 1983. 96с.

31. Воронин Н. А., Семёнов А. П. Вакуумные ионно-плазменные технологии упрочнения поверхностей деталей машин // Сб. «Методы и средства упрочнения поверхностей деталей концентрированными потоками энергий». Москва: Наука, 1991. -402 с.

32. Воронин H.A. Абразивная стойкость и несущая способность тонких вакуумных ионно-плазменных покрытий. // Трение и износ. -1998. -том 19.5, -С.616 — 620.

33. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. -М.: Атомиздат, 1972. -356 с.

34. Галицкий В. М. и др. Теория столкновений атомных частиц / В. М. Галицкий, Е. Е. Никитин, Б. М. Смирнов. -М.: Наука, 1981. -254 с.

35. Голант В. Е. и др. Основы физики плазмы / В. Е. Голант, А. П. Жилинский, И. Е. Сахаров. -М.: Атомиздат, 1977.-384 е.:

36. Голубев B.C., Пашкин C.B. Тлеющий разряд повышеного давления. -М.: Наука, 1990.-380 с.

37. Грановский B.JI. Электрический ток в газах. Установившийся ток. -М.: Наука, 1971.-544 с.

38. Жолткевич Н.Д., Горницкий А.Я., Будённый М.М., Ряховский A.B. Применение упрочняющих покрытий для повышения износостойкости рабочих элементов штампов // Кузнечно-штамповое производство, 1998,11, с. 28-32.

39. Жоу Кесонг, Жанг Ронгуо Исследования и разработка технологии поверхностной обработки металлов в Китае // Физика и химия обработки материалов, 1997. -№ 5. -С. 64 -73.

40. Источники заряженных частиц с плазменным эмиттером. -Екатеринбург: УИФ Наука, 1993. -144 с.

41. Клубникин B.C. Напыление и покрытия: особенности развития и достижения // Тезисы докладов международной научно-технической конференции "Напыление и покрытия 95", Санкт-Петербург, 1995. -С. 3-6.

42. Клярфельд Б.Н., Москалев Б.И. Роль фотоэффекта в эмиссии электронов из катода тлеющего разряда в Кг и Хе // ЖТФ. -1969. -Т. XXXIX. -Вып. 6. -С. 1066-1069.

43. Коваль Н.Н. Источники низкотемпературной плазмы и электронных пучков на. основе дуговых разрядов низкого давления с полым анодом / Диссертация в виде научного доклада на соискание ученой степени доктора технических наук. Томск, 2000. -74 с.

44. Костржицкий А.И., Карпов В.Ф., Паскал В.В. Электрохимическое поведение вакуумных покрытий из нитрида титана на стали // Физико-химическая механика материалов. -1988, -Т2. -С. 115-117.

45. Костржицкий А.И., Лебединский О.В. Многокомпонентные вакуумные покрытия. -М.: Машиностроение, 1987.-208 с.

46. Крейндель Ю.Е., Лемешев Н.М., Слосман А.И. Эффект полого катода при азотировании в тлеющем разряде // Электронная обработка материалов. -1990.-вып. 6. -С. 38-47.

47. Крейндель Ю.Е., Никулин С.П. Тлеющий разряд с полым катодом в режиме частичного заполнения полости плазмой // ЖТФ. -1992. -Т 62. -Вып. 4. -С. 89-93.

48. Крейндель Ю.Е. Влияние электронной эмиссии из плазмы на структуру отражательного разряда с полым катодом / Крейндель Ю.Е., Никулин С.П., Шубин O.A. // ЖТФ. -1990. -Т 60. -Вып. 4. -С.88-92.

49. Крейндель Ю.Е. Параметры плазмы в отрицательном разряде с полым катодом / Крейндель Ю.Е., Осипов И.В., Ремпе.Н.Г. // ЖТФ.-1992. -Т 62. -Вып. 10. -С. 165-169.

50. Кудинов В.В. Нанесение покрытий плазмой. -М.: Наука, 1990. 170с.

51. Кудинов В.В., Бобров Г.В. Нанесение покрытий, напыление теория, технология и оборудование. -М.: Металлургия, 1992. 432 С.

52. Кудинов В.В., Иванов В.М. Нанесение плазмой тугоплавких покрытий. -М.: Машиностроение, 1981. -126 с.

53. Куляпин В.М., Старцева O.A. Взаимосвязанные процессы в электрическом разряде. -Уфа: УАИ, 1989. -51 с.

54. Кучеренко Е.Т. Справочник по физическим основам вакуумной техники. -Киев: Вища школа, 1981. -358 с.

55. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д. Азотирование стали. -М.: Машиностроение, 1976. -256 с.

56. Лахтин Ю. М. Металловедение и термическая обработка металлов: Учебник для вузов. 3-е изд., перераб. и доп. -М.: Металлургия, 1983. -360 с.

57. Лахтин Ю. М., Арзамасов Б. Н. Химико-термическая обработка металлов: Учеб. пособие для вузов по спец. "Металловедение, оборуд. и технология терм, обраб. металлов. -М.: Металлургия, 1985. -256 с.

58. Лахтин Ю. М., Коган Я. Д. Структура и прочность азотированных сплавов / Сер. под общ. ред. М. Л. Бернштейна, И. И. Новикова. -М.: Металлургия, 1982.-175 е.:

59. М.И. Гусева и др. Глубокое азотирование мартенситной стали и титанового сплава при имплантационно-плазменной обработке // Металлы. -2000. -№2. -С. 106-111.

60. Максимович Г.Г., Шатинский В.Ф. Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями. -Киев: Накова думка , 1983. -264 с.

61. Мингажев А.Д. Исследование и разработка технологии получения на деталях ГТД конденсированных жаростойких покрытий с дискретным перемещающимся фронтом наращивания: Автореф. дис.канд.техн.наук. -Уфа, 1987.-24 с.

62. Мовчан Б.А., Малашенко И.С. Жаростойкие покрытия осаждаемые в вакууме. -Киев: Наукова думка, 1983. -232 с.

63. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / под. ред. Паута Дж.М. М.: Машиностроение, 1987. - 424 с.

64. Москалев Б.И. Разряд с полым катодом. -М.: Энергоатомиздат, 1969. -180 с.

65. Мубояджян С.А., Будиновский С.А. Конденсированные и конденсационно-диффузионные покрытия для лопаток турбин из жаропрочных сплавов с направленной кристаллической структурой. -МиТОМ, 1996. -№4, -с. 15-18.

66. Мухин B.C. Технологические аспекты прочности деталей ГТД // Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов. -Уфа: Уаи,1990. 75 с.

67. Мухин B.C. Формирование специальных свойств поверхности деталей летательных аппаратов. -Уфа: УАИ,1986. -76 с.

68. Мухин B.C., Смыслов A.M., Боровский С.М. Модификация поверхности деталей ГТД по условиям эксплуатации. М.: Машиностроение, 1995, -190 с.

69. Мухин B.C., Шустер Л.Ш. Износ инструмента и долговечность из авиационных материалов. -Уфа: Уаи, 1987. -215 с.

70. Насыров Ш.Г. Исследование и синтез компьютерной поддержки разработки технологии нанесения коррозионностойких ионно-плазменных покрытий: Автореф. дис. на соис. уч. ст. канд. техн. наук. Оренбург. 1997. - 23 с.

71. Никитин В.И. Коррозия и защита лопаток газовых турбин. -Ленинград: Машиностроение, 1987. -272 с.

72. Никитин М.М. Технология и оборудование вакуумного напыления. -М.: Металлургия, 1992. 265 с.

73. Никулин С.П. Устойчивость и эмиссионные свойства газоразрядных структур с осциллирующими электронами // Автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. -Томск, 1992. 19 с.

74. Никулин С.П. Характеристики тлеющего разряда низкого давления с цилиндрическим полым катодом при большой протяженности катодного слоя // ЖТФ. -1992. -Т 62. -Вып. 12. -С. 21-27.

75. Новиков И.И., Строганов Г.Б., Новиков А.И. Металловедение, термообработка и рентгенография. -М.:МИСИС, 1994. -480с.

76. Пат. № 2087586, МПК, С23С 14/48. Способ ионной имплантации/Будилов В.В., Киреев P.M., Шехтман С.Р. -Опубл. 20.08.97. -Бюл. №23.

77. Перспективы применения ионной обработки в авиадвигателестроении / Каблов E.H., Мубояджян С.А., Сулима A.M., Ягодкин Ю.Д. и др.// Авиационная промышленность. -1992. ••№ 9. -С. 9-12.

78. Плещивцев М.В. Катодное распыление. -М.: Атомиздат, 1988. -343 с.

79. Попов В.Ф. Ионно-лучевые установки. Л.: Энергоиздат, 1981. -212с.

80. Попов В. Ф., Горин Ю. Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии: Учебн. пособие для вузов по спец. электрон, техники. -М.: Высш. шк,1988. -254 с.

81. Исследование коррозионных свойств вакуумно-плазменных нитридно-титановых покрытий на сплаве ВТ-8 / Пятыхин Л.И., Падалка В.Г., Купченко В.В. и др. // Защита металлов. -1988. -Т.ХХ1У. -№6.-С.996-998.

82. Р. Чаттерджи-Фишер и др. Азотирование и карбонитрирование. -М.: Металлургия, 1990. -280 с.

83. Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов. -М.: Наука, 1980. 416 с.

84. ЮО.Райзер Ю. П. Физика газового разряда. -2-е изд., перераб. и доп. -М.:Наука,1992. -535с.

85. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. -М.: Высшая школа,1987. -320 с.

86. Ройх И.Л., Колтунова Л.Н., Лебединский О.В. Защитные покрытия, получаемые методом ионного осаждения в вакууме. -М.: Машиностроение, 1976. -350 с.

87. Симс Ч., Хатель В. Жаропрочные сплавы. -М: Металлургия, 1976. -568 с.

88. Юб.Синкевич O.A., Стаханов И.П. Физика плазмы. Стационарные процессы в частично ионизованном газе. М.: Высшая школа, 1991. 191 с.

89. Смирнов Б.М. Ионы и возбужденные атомы в плазме. -М.: Атомиздат, 1974.-367 с.

90. Смирнов Б.М. Физика слабо-ионизированного газа в задачах с решениями. -М.: Наука, 1985.-424 с.

91. Смирнов Б.М. Физика атома и иона. -М.:Энергоатомиздат, 1986. -215 с.

92. Струмилова Н.В. и др. Ионно-стимулированное легирование поверхности конструкционной стали // 6-th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, 2002. -401-404p.

93. Сулима A.M., Шулов В.А., Ягодкин Ю.Д. Поверхностный слой иIэксплуатационные свойства деталей машин. М.: Машиностроение, 1988.

94. Технологические преимущества ионного азотирования деталей машин / Б.Н. Арзамасов, A.B. Виноградов, J1.M. Мулякаев, С.И. Бурдонский // Вестник машиностроения. 1978. -№ 7. -С. 67-71.

95. Тушинский Л.И.,Плохов A.B. Исследование структуры и физико-механических свойств покрытий. Новосибирск: Наука, 1986. - 197 с.

96. Пб.Фокин М. Н. Жигалова К. А. Методы коррозионных испытаний металлов. Под ред. Колотыркина Я. М. -Москва: Металлургия, 1986. -80с.

97. Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб.статей 1986-1987 гг. Перевод с англ./ Сост. Машкова Е.С. -М.: Мир, 1989.349 с.

98. Шатинский В.Ф., Нестеренко А.И. Защитно-диффузионные покрытия. -Киев: Наукова думка, 1988. -267 с.

99. Шехтман С.Р. Исследование и разработка технологии нанесения жаростойких покрытий на лопатки турбину ГТД с использованием эффекта полого катода // Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук, Уфа, 1997 г. -16с.

100. Шехтман С.Р. Технология ионного модифицирования и нанесения жаростойкого покрытия на лопатки турбины ГТД с использованием эффекта полого катода // Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов: Межвуз. сб. -Уфа, 1996. С. 23-25.

101. Ягодкин Ю.Д. Основы технологических процессов обработки пучками заряженных частиц деталей газовых турбин при их изготовлении и ремонте: Автореф. дис. док. техн. наук. Москва, 1995. 38 с.

102. Ягодкин Ю.Д. Покрытия и способы их получения // Новости науки и техники. Сер.: Новые материалы, технология их производства и обработки. -Москва, 1988. -№ 6. -С.1 41.

103. Goncharenko I.M. Evolution of the structure and phase composition of hardened 4140 steel in the process of plasma nitriding // 5-th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. -Tomsk, 2000. -330-333p.

104. Koval N.N. Elion nitriding of steels // 5-th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. -Tomsk, 2000. -327-329p.

105. Mantyla T.A. Corrosion behavior and protective quality of TiN coating // Thin. Sol. Films, 1985 -v. 126, -N3/4. -P. 275-281.