Повышение качества юстировки сверхточного оборудования за счет улучшения параметров управления магнитореологическими модулями линейных перемещений тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.13.06, кандидат технических наук Борин, Дмитрий Юрьевич

• Борин, Дмитрий Юрьевич
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Борин, Дмитрий Юрьевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. СОСТОЯНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ ОБОРУДОВАНИЯ, ИСПОЛЬЗУЮЩЕГО МЕХАНИЗМЫ СВЕРХТОЧНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ.

1.1. Производство сверхбольших интегральных схем.

1.2. Позиционирование зеркал адаптивной оптики.

1.3. Настройка оптоволоконных систем.

1.4. Системы позиционирования в сканирующей микроскопии.

1.5. Виброизоляция прецизионного оборудования.

1.5.1. Пассивные виброизолирующие системы.

1.5.2. Активные и полуактивные виброизолирующие системы.

1.6. Обзор и анализ механизмов сверхточных перемещений и активной виброизоляции прецизионного оборудования.

1.6.1. Электромеханические механизмы.

1.6.2. Пьезоэлектрические и магнитострикционные механизмы.

1.6.3. Пневмо- и гидравлические системы точного позиционирования и виброизоляции.

1.6.4. Комбинированные системы позиционирования.

1.7. Развитие и перспективы использования магнитореологических устройств для прецизионного позиционирования и виброизоляции.

1.8. Сравнительный анализ устройств точного позиционирования.

1.9. Постановка цели и задач исследования.

ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА ФИЗИЧЕСКИХ И ДИНАМИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ МАГНИТОРЕОЛОГОЧИСКИХ МОДУЛЕЙ СВЕРХТОЧНЫХ ПЕРМЕЩЕНИЙ И ПРОЦЕССОВ, ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ ИХ РАБОТЕ.

2.1. Состав и структура магнитореологических и магнитных жидкостей.

2.2. Физические основы работы магнитореологических механизмов.

2.3. Физические модели поведения магнитореологических жидкостей в рабочих зазорах. Анализ и регулирование точности позиционирования.

2.4. Механические модели поведения магнитореологических жидкостей в рабочих зазорах. Влияние реологических процессов на динамические характеристики магнитореологических модулей.

2.5. Расчет постоянного магнита и влияние создаваемого им магнитного поля на параметры магнитореологического дросселя.

2.6. Нелинейная модель магнитореологического дросселя.

2.7. Разработка конструкции трехкоординатного магнитореологического модуля для адаптивной оптики.

2.7.1. Конструкция модуля позиционирования.

2.7.2. Конструкция гидростанции для магнитореологического модуля.

2.7.3. Конструкция арретира элементарного зеркала.

2.8. Разработка нелинейной динамической модели трехкоординатного магнитореологического механизма.

2.8.1. Уравнение перемещения магнитореологического механизма с учетом сил сопротивления и жесткости опорной конструкции перемещаемого объекта.

2.8.2. Анализ и синтез системы автоматического регулирования (САР).

Выводы к Главе 2.

ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПАРАМЕТРОВ УПРАВЛЕНИЯ МАГНИТОРЕОЛОГИЧЕСКИМИ ЖИДКОСТЯМИ МОДУЛЯ СВЕРХТОЧНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ.

3.1. Цель и задачи экспериментальных исследований.

3.2. Экспериментальное оборудование и аппаратура для исследования параметров управления магнитореологическими жидкостями.

3.2.1. Оборудование для исследования магнитных характеристик магнитоуправляемых жидкостей.

3.2.2. Реометр для исследования реологических свойств магнитоуправляемых жидкостей.

3.2.3. Реометр для исследования предела текучести магнитуправляемых жидкостей.

3.2.4. Стенд для исследования магнитореологического модуля для адаптивной оптики.

3.3. Исследование реологических свойств магнитореологической жидкости под действием магнитного поля и сдвиговых напряжений.

3.3.1. Получение кривых течения магнитореологической жидкости.

3.3.2. Исследование зависимости динамического предела текучести магнитореологической жидкости от приложенного магнитного поля.

3.4. Исследование динамики структурирования магнитореологической жидкости.

3.5. Исследование магнитных характеристик магнитореологической жидкости.

3.6. Исследование демпфирующих свойств магнитореологических жидкостей.

3.7. Исследование жесткости трехкоординатного магнитореологического модуля и несущей системы.

Выводы по главе 3.

ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ РАСЧЕТА И ВЫБОРА ПАРАМЕТРОВ УПРАВЛЕНИЯ МАГНИТОРЕОЛОГИЧЕСКИМИ МОДУЛЯМИ СВЕРХТОЧНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ.

4.1. Выбор исходных данных для расчета и выбора параметров управления магнитореологическим модулем сверхточных перемещений.

4.2. Инженерная методика расчета параметров управления магнитореологическим модулем.

4.2.1. Методика расчета параметров магнитореологического модуля.

4.2.2 Инженерная методика расчета параметров управления магнитореологическим дросселем.

4.3. Расчет параметров управления магнитореологическим модулем для адаптивной оптики.

4.4. Анализ и синтез системы автоматического регулирования магнитореологического модуля для адаптивной оптики.

Выводы по главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение качества юстировки сверхточного оборудования за счет улучшения параметров управления магнитореологическими модулями линейных перемещений»

Во многих областях современной науки и техники требуется использование прецизионных позиционирующих механизмов и виброизолирующих устройств. Особенно данная проблема актуальна для оборудования электронной промышленности.

Определяющим и наиболее сложным процессом в производстве интегральных схем является литография. Одной из основных операций, отвечающих за качество получаемой структуры, является операция совмещения изображений на шаблоне и подложке. При этом, например, в оборудовании для рентгеновской литографии при изготовлении современных сверхбольших интегральных микросхем для совмещения подложки и шаблона требуется обеспечить шестикоординатное перемещение с точностью не хуже 20 нм, при миллисекундном быстродействии в линейном диапазоне до 300 мм.

Сканирующая зондовая микроскопия (СЗМ) является одним из наиболее перспективных средств и методов нанотехнологий, позволяющих контролировать поверхность на атомарном уровне. Для операции сканирования требуется перемещать зонд с точностью до 1 нм с быстродействием на уровне нескольких миллисекунд. Перспективным является возможность осуществлять сканирование в широком диапазоне (до нескольких миллиметров) без существенных потерь в быстродействии, что ставит проблему сочетания нанометровой точности с диапазоном перемещений.

Развитие современной астрофизики неразрывно связано с интенсивным развитием астрономических средств нового поколения. Одним из основных направлений развития является создание сверхбольшого оптического телескопа (диаметр главного зеркала более 20 м). То, что главное зеркало таких телескопов состоит из большого числа отдельных оптических элементов (элементарных зеркал - ЭЗ), приводит к необходимости автоматического поддержания их как общей поверхности, кроме этого необходима функция коррекции искажения волнового фронта в реальном времени. Для управления элементами составных зеркал требуется обеспечить многокоординатную юстировку с точностью линейных перемещений 50 нм, угловых перемещений 0.02 и быстродействием не хуже 200 мс в линейном диапазоне до 10 мм и угловом диапазоне до 1°.

Большинство современных технологических и исследовательских комплексов (например, установки ВИМС анализа поверхностей, системы контроля положения в СЗМ) в качестве каналов связи используют оптоволокно. Для настройки оптоволоконных систем необходимо юстировать оптоволокно относительно источника излучения по трем координатам с точностью 20-50 нм в диапазоне до 4 мм. Существующие системы осуществляют данную задачу за десятки секунд из-за необходимости сочетать разные устройства для предварительного и точного позиционирования.

Работа прецизионного оборудования, в том числе позиционирующих устройств, требует качественной виброизоляции для снижения амплитуд вибрации, действующей со стороны основания, что очень важно, в частности, при производстве изделий электронной техники. При этом традиционные вибрационные защитные устройства, используемые в электронике, имеют ряд значительных недостатков, таких как малая нагрузочная способность, высокая инерция, проблемы с контролем по положению для активных систем.

Традиционные механизмы сверхточных перемещений, например электромеханические, не в состоянии обеспечить весь комплекс требований. Так, при достаточно высокой точности перемещений существенно снижается диапазон и быстродействие. Из-за использования сверхточных деталей цена таких механизмов очень высока. Наиболее распространенные в электронике пьезо- и магнитострикционные активаторы имеют недостаточный диапазон перемещений и очень маленькую нагрузочную способность.

Ранее было предложено решить комплекс задач, связанных с обеспечением прецизионного позиционирования, благодаря использованию новых механизмов основанных на применении управляемых «смарт» жидкостей, таких как магнито- и электрореологические суспензии. Были показаны возможности использования и заложены основы создания реологических модулей сверхточного позиционирования, но для обеспечения требований перспективного оборудования требуется улучшение рабочих характеристик модулей.

В результате работы проведены исследования реологических процессов в рабочих зазорах исполнительных элементов магнитореологических (МР) модулей линейных перемещений для оптимизации режимов автоматизированного управления многокоординатной сверхточной юстировкой различного класса оборудования. Создан новый МР модуль с возможностью обеспечения статической жесткости и расширенным диапазоном перемещений.

Автор выражает искреннюю благодарность и признательность научному руководителю проф., д.т.н. В.П. Михайлову, проф. кафедры МТ-11 МГТУ им. Н.Э. Баумана д.т.н. Е.А. Деулину, научному сотруднику «Института прикладных материалов» г. Мадрид к.т.н. Р.Н. Невшупе за дополнения и замечания, высказанные в процессе работы над диссертацией. Работа над диссертацией была бы невозможна без участия коллектива разработчиков проекта сверхбольшого астрономического телескопа «АСТ-25» под руководством д.т.н. В.В. Сычева. Автор рад случаю поблагодарить своих родных и близких за понимание и поддержку, а также выразить признательность всем сотрудникам кафедры МТ-11 МГТУ им. Н.Э. Баумана, аспирантам, выпускникам и членам студенческого конструкторского бюро, в том числе: Е.А. Родиной, И.К. Зобову, А.М. Базиненкову, Т.Н. Бродовой за помощь, оказанную при выполнении данной работы.

За предоставление возможности и оказание помощи в проведении экспериментальных исследований автор благодарен заведующему кафедры «Динамика магнитных жидкостей» (Magnetofluiddynamik) Технического Университета г. Дрезден (Германия) проф. Ш.Оденбаху (S. Odenbach) и его сотрудникам и аспирантам: X. Шаназиану (Н. Shahnazian), Л. Поп (L. Pop), Л. Ран (L. Rahn), X. Энглеру (Н. Engler), М. Райндалю (М. Reindl).

Исследования выполнены при частичной финансовой поддержки Федерального агентства по образованию (грант А04-3.15-63.) и немецкого фонда академических обменов «DAAD» (программа «Михаил Ломоносов-2006»).

Заключение диссертации по теме «Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)», Борин, Дмитрий Юрьевич

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1) Анализ комплекса требований к качеству систем юстировки перспективного сверхточного оборудования показал, что задача обеспечения субмикронной, миллисекундной юстировки может быть решена благодаря использованию МР модулей, основанных на применении МР жидкостей с управляемыми свойствами.

2) Физическая модель МР дросселя, основанная на процессах, происходящих в его элементах и в МР жидкости, протекающей через рабочий зазор, при воздействии на нее полей постоянного магнита и управляющих сигналов, позволяет выбирать расходные характеристики дросселя. Показано, что для сигнала в диапазоне от 0 до 1 А и расходе с л жидкости до 8-10" м/с управляемый перепад давлений на рабочем зазоре дросселя составляет от 0 до 1,4-106 Па.

3) При определении параметров МР жидкости в рабочем зазоре дросселя определяющих качество юстировки модуля в реверсивном режиме точной регулировки положения (при сдвиговых скоростях до 10"4 с*1) рекомендуется применять модель Фогта и аппроксимацию Кэссона.

4) Динамическая модель поведения МР жидкости позволила определить время структурирования и релаксации частиц в МР жидкости, находящейся в рабочем зазоре дросселя. За счет этого возможно варьирование динамических параметров МР модуля в режиме точной регулировки положения. Установлено, что для напряженностей поля в рабочем зазоре Н=35 кА/м; 85 кА/м; 135 кА/м время структурирования составляет 1=2 мс; 3 мс; 4 мс.

5) Динамическая модель МР модуля в режиме предварительной юстировки и в режиме точной регулировки положения позволяет определить параметры переходных процессов. Погрешность позиционирования и быстродействие для данных режимов составляют 5 мкм, 85 мс и 50 нм, 5 мс соответственно.

6) Для синтеза САР МР модуля в двух режимах позиционирования и для выбора регуляторов, необходимых для устойчивой работы модуля, рекомендуется применять разработанную комплексную динамическую модель модуля.

7) Проведенные исследования позволили создать методику расчета параметров управления МР дросселями и МР модулями с улучшенными характеристиками. При точности позиционирования 40 нм увеличен диапазон линейных перемещений до 10 мм, обеспечена статическая жесткость (удерживаемая нагрузка до 500 Н при выключенной САР) и обеспечена постоянная времени модуля не превышающая 100 мс.

175

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Борин, Дмитрий Юрьевич, 2007 год

1. Анисимов В.В., Деулин Е.А., Михайлов В.П. Прецизионный гидропривод поступательного перемещения с магнитореологическим распределителем // Приборы и техника эксперимента. — 1991. — №3. — С. 244-245.

2. Башта Т.М. Машиностроительная гидравлика— М.: Машиностроение, 1971. —672 с.

3. Белкин И.М., Виноградов Г.В. Леонов А.И. Ротационные приборы. Ротационные приборы. Измерения вязкости и физико-механических характеристик материалов. — М.: Машиностроение, 1968. — С.272.

4. Белкин Н.Д., Касперский В.Б., Сычев В.В. Большой астрономический телескоп России. Концепция создания// Оптический журнал. 1994. - №3. -С.5-11

5. Борин Д.Ю. Магнитореологический привод сегментного зеркала большого астрономического телескопа // Студенческая научная весна 2002: Материалы научно-технической конференции. — М., 2002. — С.127-131.

6. Борин Д.Ю., Михайлов В.П. Перспективы использования магнитреологических материалов // МИКМУС-2004: избранные труды XVI международной Интернет конференции молодых ученых и студентов по проблемам машиноведения. - М., 2005. - С. 74-82.

7. Быков В.А. Приборы и методы сканирующей зондовой микроскопии для исследования и модификации поверхностей: Дисс. . д-ра техн. наук. -М., 2000.-1097 с.

8. ГОСТ 19693-74. Магнитные материалы. Термины и определения. М.: Изд-во стандартов, 1975. - 34 с.

9. ГОСТ 8.417-81. ГСИ. Единицы физических величин. М.: Изд-во стандартов, 2003.-49 с.

10. Григорьев И. Физические величины. Справочник. М.: Энергоатомиздат, 1991 - 1232 с.

11. Гуль В.Е., Кулезнев В.Н. Структура и механические свойства полимеров: Учеб. для хим.-технолог. вузов. -М.: Лабиринт, 1994. 367 с.

12. Использование реологических процессов для прецизионного привода / Е.А. Деулин, В.П. Михайлов, Д.Ю. Борин и др. // Вакуумные технологии и оборудование: Сборник докладов 4-го Международного симпозиума. Харьков, 2001. — С.163-166.

13. Затевалов A.M., Ролдугин В.И., Туторский И.А. Диффузионно-контролируемая агрегация частиц вблизи фрактальных поверхностей // Коллоидный журнал. 2000.- Т. 62, № 4. — С. 483-487.

14. Каганов М.И., Цукерник В.М. Природа магнетизма — М.: Наука, 1982. -192 с.

15. Кандаурова Г.С. Природа магнитного гистерезиса // Соросовский образовательный журнал. 1997. - № 1. - С. 100 106.

16. Климов К.И. Антифрикционные пластичные смазки. Основы применения. М.: Химия, 1988. - 160 с.

17. Коновалов Г.Ф., Коноваленко О.В. Системы автоматического управления с электромагнитными порошковыми муфтами — М.: Машиностроение, 1976. — 156 с.

18. Логинов П.В. Обеспечение устойчивости сверхвысоковакуумного аналитического оборудования: Дисс. к-та техн. наук. Рязань, 1989. - 199 с.

19. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии: Учебное пособие— Нижний Новгород: Изд-во Института физики микроструктур РАН, 2004. —114с.

20. Михайлов В.П. Исследование зоны нечувствительности прецизионного магнитореологического привода: Методические указания к лабораторной работе по курсу «Расчет и конструирование элионного оборудования». М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2000.-16 с.

21. Мишин Д.Д. Магнитные материалы — М.: Высш. шк., 1991. 81 с.

22. Орлов Д.В., Михалев Ю.О., Мышкин Н.К. и др. Магнитные жидкости в машиностроении / Под общ. ред. Д.В. Орлова, В.В. Подгоркова. — М.: Машиностроение, 1993. —272 с.

23. Основы проектирования следящих систем / Под ред. H.A. Лакоты. М.: Машиностроение, 1978. -392 с.

24. Патент № 42697. Измерительное устройство для нанотехнологии. Зарегистр. в Гос. реестре изобретений 10.12.2004./ Е.В.Александров и др. // Б.И. 2004. - № 34

25. Патент № 1743797. Прецизионный узел поступательного перемещения. Зарегистр. в Гос. реестре изобретений 21.10.93./ В.В. Анисимов, Е.А. Деулин, В.П.Михайлов // Б.И. - 1992. - № 24.

26. Патент № 2029447. Координатный стол./ В.В. Анисимов, C.B. Кокорин, В.П. Михайлов // Б.И. - 1995. - № 5.

27. Патент № 2037702. Мембранный узел. / В.В. Анисимов, Е.А. Деулин, В .Г. Докукин и др. // Б.И. - 1995. - № 17.

28. Патент № 5277282 США, МКИЗ F16F 006/00. Magnetorheological Fluid Dampers / Carlson J.D., Chrzan M.J. № 900567; Заявлено 18.06.92; Опубл. 08.02.94.-7 с.

29. Михалев Ю.О., Антипов A.A. Применение магнитожидкостных уплотнений для герметизации валов // Механизация и автоматизация производства. 1990. - № 4. - С. 28-29.

30. Розенцвейг Р. Феррогидродинамика. — М.: Мир, 1989. — 357с.

31. Сильфоны. Расчет и проектирование / Под ред. JI.E. Андреевой. М.: Машиностроение, 1975. - 288 с.

32. Смирнов Н.В., Дунин-Барковский И.В. Курс теории вероятностей и математической статистики для технических приложений. М.: Наука, 1969. -511 с.

33. Смирнова В.И., Петров Ю.А., Разинцев В.И. Основы проектирования и расчета следящих систем: Учебник для техникумов.- М.: Машиностроение, 1983.-285 с.

34. Солодовников В.В., Зверев В.Ю. Расчет линейных стационарных систем автоматического регулирования с микропроцессорнымипромышленными регуляторами: Учебное пособие / МВТУ им. Баумана. М., 1985.-58 с.

35. Стешенко Н.В., Сычев В.В. Итоги науки и техники. Управление пространственной структурой оптического излучения— М.: ВИНИТИ, 1990. -Т.1.-С. 107-167.

36. Магниты постоянные спеченные на основе сплавов неодима с железом и бором : Каталог / Научно-промышленный комплекс ММТ. — М., 2003.-20 с.

37. Турпаев В.Н. Самотормозящиеся механизмы. М.: Машиностроение, 1981.-223 с.

38. Шенк X. Теория инженерного эксперимента М.: Мир, 1972. 381 с.

39. Цеберс А.О. Закономерности возникновения и особенности магнитных свойств концентрационных доменных структур магнитных коллоидов в плоских щелях // Магнитная гидродинамика. 1990. - №3- С.49-54.

40. Шлиомис М.И. Магнитные жидкости // Успехи физ.наук. 1974. -Т. 112, Вып.З. - С.427-458

41. Шульман З.П., Кордонский В.И. Магнитореологический эффект — Минск: Наука и техника, 1982. — 184 с.

42. Abu Hanieh A., Active Isolation and Damping of Vibrations via Stewart Platform: PhD Thesis. Brüssel (Belgium), 2003. - 155 p.

43. Ambacher O., Odenbach S., Stierstadt К. Rotational viscosity in ferrofluids // Z. Phys. B-Condensed matter. 1992. - № 86. - P. 29.

44. Beckers J.M. Adaptive optics for Astronomy: Principles, Performances and Applications // Annu. Rev. Astron.Astrophys. 1993. - № 31. - P. 13-62.

45. Carlson J. D. Low-Cost MR Fluid Sponge Devices // J. of Intelligent Systems and Structures. 1999. - № 10. - P. 589-594.

46. Carlson J.D. MR fluids and devices in the real world // International Journal of Modern Physics B. 2005. - Vol. 19, № 7-9. - P. 1463-1470.

47. Carlson J.D. MR Fluids: Enabling Technology for Practical Semi-Active Control // ERMR: Proc. International Conf. on ERF, MRS and Their Applications. -Yonezawa, 1997.-P. 112-113.

48. Coweley M.D., Rosensweig R.E. The interfacial stability of a ferromagnetic fluid // J. Fluid Mech. 1967. - № 30. - P. 672.

49. De Man P., P. Lemerle, P. Mistrot. An investigation of a semi-active suspension for a fork lift truck // Semi-active Vibration Suppression: Proceedings of Euromech Colloquium 455. Prag (Czechia), 2004. - P. 1 15.

50. Design, modeling, and performance of a high-force piezoelectric inchworm motor / Galante T., Frank J., Bernard J. et al. // J. of Intelligent Material Systems and Structures. 1999. - Vol. 10, № 12. - P. 962-972.

51. Esguerra M. Modelling Hysteresis Loops of Soft Ferrite Materials // Proc. International Conference on Ferrites ICF8. Kyoto (Japan), 2000. - P. 220-222.

52. Fleischer J. Rheologische Eigenschaften magnetischer Fluessigkeiten unterschiedlicher chemischer Zusammensetzung: PhD Thesis. Bremen (Germany), 2003.- 114 p.

53. Gabor G. Actuators for a Segmented Mirror Control System: Keck Observatory Report No.l 11 // Proc. of SPIE. 1983. - V. 444. - P. 287.

54. Gen? S., Phule P. Rheological properties of magnetorheological fluids // J. of Smart Mater. Struct. 2002. - № 11. - P. 140-146.

55. Gene S. Synthesis and properties of MR fluids: PhD Thesis. Pittsburg (USA), 2002.-153 p.

56. Ginder J.M. Behavior of Magnetorheological Fluids // MRS Bulletin. -1998.-№23 (8).-P. 26-28.

57. Ginder J.M., Davis L.C., Elie L.D. Rheology of Magnetorheological Fluids: Models and Measurements // Intern. J. Mod. Phys. B. 1996. - № 10 (23, 24). - P. 3293-3303.

58. Ginder J.M., Davis L.C. Shear Stresses in Magnetorheological fluids: Role of Magnetic Saturation // Applied Physics Letters. 1994. - № 65 (26). - P. 34103412.

59. Gordaninejad F., Kelso S. P. Fail-Safe Magneto-Rheological Fluid Dampers for Off-Highway, High-Payload Vehicles // J. Intelligent Material System and Structures. 2002. - Vol.11, № 5. - P.395-406.

60. Helbert J.N. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology and Applications — New York: William Andrew Publishing. 2001. -956 p.

61. Hodgdon, M.L. Application of a Theory of Ferro-magnetic // IEEE Trans. Mag. 1988. - № 24(1). - P.218 221.

62. Jinung An, Dong-Soo Kwon. Modeling of a Magnetorheological Actuator Including Magnetic Hysteresis // J. Intelligent Material Systems and Structures. -2002.-№ 14(9).-P. 541-550.

63. Jolly M.R., Carlson J.D., Munoz B.C. A model of the Behavior of Magnetorheological Materials // J. Smart Materials and Structures. 1996. - № 5. -P.607-614.

64. Jolly M.R., Bender J.W., Carlson D. Properties and Applications of Commercial Magnetorheological Fluids// J. Intelligent Material Systems and Structures. 1999. - № 10(1). - P. 5-12.

65. Joshi C. H. Compact Magnetostrictive Actuators and Linear Motors // Proc. of Actuator 2000 Conference. Bremen (Germany), 2000. - P. 57-63.

66. Karnopp D., Crosby M., Harwood R.A. Vibration control using semi-active suspension control // J. of Engineering for Industry. 1974. - № 96. - P. 619-626.

67. Karnopp D. Design principles for vibration control systems using semi-active dampers// Trans. ASME J. of Dynamics Systems, Measurements and Control. 1990. -№ 112. - P. 448-455.

68. Kordonsky W. Elements and Devices Based on Magnetorheological Effect // J. Intelligent Material Systems and Structures. 1993. - № 4(1). - P. 65 69.

69. Kuzhir P., Bossis G., Bashtovoi V. Optimisation of Magnetorheological Fluid Valves // International Journal of Modern Physics B. 2005. - Vol. 19, № 7-9.-P. 1229-123.

70. Larsonnier F., Ducourtieux S., Duhem S. Le LNE pousse la micromécanique vers des précisions nanométrologiques // Micronora informations. 2005. - №6 -P. 23-29.

71. Lemaire E., Bossis G., Grasselli Y. Yield stress and structuration of magnetorheological suspensions // J. of Magnetism and Magnetic Materials. -1993.-№ 122. -P.51-52.

72. Maiorov M.M. Measurement of the Viscosity of a Ferromagnetic Liquid in a Magnetic Field // Magnitohydrodynamic. 1980. - № 16(4). - P. 339.

73. Matthies G., Tobiska L. Numerical simulation of normal-field instability in the static and dynamic case // J. of Magnetism and Magnetic Materials. 2005. -№289.-P. 346.

74. McTague J.P. Magnetoviscosity of magnetic colloids // J. Chem. Phys. -1969.-№51(1).-P. 133.

75. Meakin P., Skjeltrop A.T. Application of experimental and numerical models to the physics of multiparticles systems // J. of Appl. Phys. 1993. - № 42. -P. 1.

76. Melle S. Study of the dynamics in MR suspensions subject to external fields by means of optical techniques: aggregation processes, structure formation and temporal evolution: PhD Thesis. Madrid (Spain), 2004. - 178 p.

77. Midé Magnetostrictive Actuators: Catalog / Midé Technology Corporation. Boston (USA), 2004 - 5 p.

78. Nelson J.E. Design Concepts for the California Extremely Large Telescope // Proc. of SPIE. 2000. - Vol. 4004. - P. 282-289.

79. Nielsen, L.E. Polymer Rheology. — New York: Marcel Dekker. 1977. -267 p.

80. Odenbach S. Magnetoviscous effects in ferrofluids.— Berlin: Springer, 2002.-151 p.

81. Odenbach S. Ferrofluids: Magnetically Controllable Fluids and Their Applications. New York: Springer-Verlag, 2002. - 251 pp.

82. Ossart F., Meunier G. Comparison between Various Hysteresis Models and Experimental Data // IEEE Trans. Mag. 1990. - № 26(5). - P. 2837 2839.

83. Pähl M. Praktische Rheologie der Kunststoffe und Elastomere. Dusseldorf: Verlag, 1991.-438 p.

84. Parameters of loop controlled magnetic rheology drive for segmented large mirror / E.A. Deulin, V.P. Mikhailov, O.N. Eliseev et al. // Proc. of SPIE. 2000. -Vol. 4003. - P.303-310.

85. Preumont A. Vibration control of active structures.- Dordrecht (Netherlands): Kluwer Academic Publishers, 1997. 259 p.

86. Richter R., Biasing J. // Rev. Sei. Instrum. 2001. - № 72. - P. 1729.

87. Rosensweig R.E. On magnetorheology and electrorheology as states of unsymmetric stress // J. of Rheology. 1995. - № 39(1). - P.179 - 192.

88. Shahnazian H., Odenbach S., Controlled shear stressed rheological investigations of ferrofluis // Recent Development in Ferrofluid Research: Book of Abstracts of Euromech Colloquium 470. Dresden (Germany), 2006. - P. 65-66.

89. Shimokohbe A. The development of Nano-meter positioning technology in Japan // ICAMT'99: Proc. of conference. Xi'an (China), 1999. - P. 83-87.

90. Shkel Y.M., Klingenberg D.J.Magnetorheology and magnetostriction of isolated chains of nonlinear magnetizable spheres // J. of Rheology. 2001. - № 45(2). - P. 351 -368.

91. Spencer B.F., Dyke S.J., Carlson J.D. Phenomenological Model of a Magnetorheological Damper // ASCE J. of Engineering Mechanics. 1997. - № . 123-P. 230-238.

92. Stewart D. A platform with six degrees of freedom // Proc Inst. Mech. Engn. -1965.- Vol.180 (15).-P.371-378.

93. The proposed 50 m Swedish Extremely Large Telescope/ Andersen T., Ardeberg A., Beckers J. et. al. // Proc. Backaskog Workshop on Extremely Large Telescopes. 1999. -P. 72-82.

94. Three-Axis Fiber-to-Lens Alignment: Application note TA004 / Mells Griot Co. New York (USA), 2003. - 7 p.

95. VSM System Hardware. 7400 Series: Reference Manual / Lake Shore. -Ohio (USA), 2004 108 p.

96. Weber A. Positioning for fiber optics assembly Электронный ресурс. // Assembly Magazine. 11.7.2001. - Режим доступа: http://www.assemblvmag.com/CDA/Archives/785a8a566b5c9010 Vgn VCM10000 0f932a8c0 свободный

97. Wereley N.M., Pang L., Kamath G.M. Idealized Hysteresis Modeling of Electrorheological and Magnetorheological Dampers // J. Intelligent Material Systems and Structures. 1998. - № 9(8). - P.642 649.

98. Witten Т.A., Sander L.M. Diffusion-limited aggregation, a kinetic critical phenomenon // Phys. Rev. Lett. 1981. - № 47. - P. 1400.

99. НИР «РАЗРАБОТКА ПРЕЦИЗИОННО ПЕРЕМЕЩАЕМОГО УЗЛА ДВУХДИСКОВОГО ВЫВОДА ЭНЕРГИИ ГИРОТРОНА С ВЫВОДОМ ДАННЫХ НА УПРАВЛЯЮЩИЙ КОМПЬЮТЕР»

100. В результате НИР, проведенной при участии Борина Дмитрия Юрьевича, студента дипломника МГТУ им. Баумана, выполнены следующие работы:

101. Научный руководитель ЗАО НПП «Гиком-М»

102. Мясников В.Е. Ничипоренко В.О.

103. Главный специалист ЗАО НПП «Гиком-М»,