Повышение износостойкости твердосплавных режущих инструментов путем управления параметрами функциональных слоев наноструктурированных покрытий тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, доктор наук Верещака Алексей Анатольевич

• Верещака Алексей Анатольевич
• доктор наук
• 2021

Оглавление диссертации доктор наук Верещака Алексей Анатольевич

Содержание

Введение

Глава 1. Анализ методов и направлений повышения режущих свойств инструмента путем нанесения функциональных покрытий

1.1 Применение режущих инструментов с износостойкими покрытиями на операциях механической обработки

1.1.1 Основные методы получения покрытий для режущих инструментов

1.1.2 Процессы химического осаждения покрытий ХОП(СУи)

1.1.3 Процессы физического осаждения покрытий ФОП (РУО)

1.1.4 Эффективность режущих инструментов с износостойкими покрытиями на операциях механической обработки

1.1.5 Влияние условий процесса резания на изнашивание режущих инструментов с покрытием

1.2 Ключевые направления повышения эксплуатационных свойств износостойких покрытий

1.2.1 Основные пути совершенствования оборудования для нанесения покрытия

1.2.2 Основные пути совершенствования архитектур и составов

покрытий для режущего инструмента

Выводы по Главе

Глава 2. Теоретическое обоснование выбора рациональной архитектуры и элементного состава МНИП

2.1 Факторы, влияющие на прочность МНИП и характер их 94 разрушения

2.2 Теоретические предпосылки построения механико-математических моделей процессов осаждения, трещинообразования и разрушения по вязкому и хрупкому

механизмам функциональных слоев

МНИП

2.2.1 Особенности трещинообразования в структуре МНИП

2.2.2 Факторы сдерживания развития трещин в структуре МНИП

2.3 Модели процессов трещинообразования и разрушения

функциональных слоев МНИП

2.3.1 Модель синтеза наноструктурированного МНИП. Формирование кластерной структуры

2.3.2 Модель деградации физико-механических свойств МНИП

2.3.3 Модель накопления повреждений в МНИП при взаимодействии с обрабатываемым материалом

2.3.4 Модели процессов эволюции структуры повреждений

2.3.5 Модель формирования заданных макроскопических свойств МНИП

2.3.6. Влияние нанослойной и нанозернистой структуры на свойства

материала МНИП

2.4. Выбор рационального элементного состава МНИП

2.4.1 Требования к кристаллохимическим свойствам МНИП

2.4.2 Оценка элементного состава слоев МНИП на основе метода термодинамического потенциала (энергии Гиббса)

2.4.3 Оценка элементного состава слоев МНИП на основе правил Юм-Розери (Нише^оШегу) и построенных на их базе методик

2.4.4 Пути повышения температурной остабильности и стойкости к высокотемпературному окислению функциональных слоев

МНИП

Выводы по Главе

Глава 3. Разработка многослойно-композиционных наноструктурированных износостойких покрытий

3.1 Определение направлений исследования

3.2 План проведения экспериментов по установлению взаимосвязи

между параметрами структуры МКИП и их функциональными свойствами

3.3 Выбор параметров процесса осаждения МНИП, особенности технологии

3.3.1 Аттестация установки ВИТ-2

3.3.2 Параметры процесса осаждения исследуемых МНИП

3.4 Установление функциональных связей между параметрами процесса осаждения и параметрами микро- и наноструктуры, элементным и фазовым составом и функциональными свойствами МНИП

3.4.1 Установление функциональных связей между параметрами процесса осаждения и параметрами микро- и наноструктуры функциональных слоев МНИП

3.4.2 Установление закономерностей формирования элементного и фазового состава МНИП

3.4.3 Установление закономерности влияния параметров наноструктуры и элементного состава покрытия на микротвердость и прочность адгезионной связи с субстратом и когезионных связей между отдельными слоями

МНИП

3.5 Установление закономерности влияния параметров наноструктуры и элементного состава покрытия на триботехнические свойства

МНИП

3.5.1 Методика проведения исследований

3.5.2 Исследование влияние температуры на трибологические свойства МНИП различного состава

3.5.3 Исследование влияния толщины нанослоев износостойкого слоя на трибологические параметры МНИП при различных температурах

Выводы по Главе

Глава 4. Установление закономерностей влияния параметров наноструктуры и элементного состава МНИП на режущих свойства, кинетику изнашивания и процессы трещинообразования в твердосплавных режущих инструментах

4.1 Условия проведения экспериментов по исследованию режущих свойств инструментов с МНИП

4.1.1 Методика статистического анализа результатов сравнительных испытаний

4.1.2 Выбор геометрии твердосплавного режущего инструмента с МНИП

4.1.3 Обоснование выбора марок обрабатываемых материалов

4.2 Установление закономерностей влияния параметров наноструктуры и элементного состава МНИП на режущих свойства твердосплавных инструментов

4.2.1 План проведения экспериментов

4.2.2 Установление закономерностей влияния элементного состава МНИП на износостойкость твердосплавного

инструмента

4.2.3 Установление закономерностей влияния толщины износостойкого слоя МНИП на износостойкость и режущие свойства твердосплавного инструмента

4.2.4 Установление закономерностей влияния соотношения толщин переходного и износостойкого слоя МНИП на износостойкость твердосплавного инструмента

4.2.5 Установление закономерностей влияния величины нанослойного периода износостойкого слоя МНИП на период стойкости твердосплавного режущего инструмента

4.2.6 Установление закономерностей влияния функциональной архитектуры МНИП на период стойкости твердосплавного режущего инструмента

4.3 Установление закономерностей влияния функциональной архитектуры МНИП на кинетику изнашивания твердосплавных режущих инструментов

4.3.1 Кинетика изнашивания твердосплавного режущего инструмента с покрытиями

4.3.2 Установление закономерностей влияния элементного состава МНИП на кинетику изнашивания твердосплавного режущего инструмента

4.3.3 Установление закономерностей влияния толщины износостойкого слоя МНИП на кинетику изнашивания твердосплавного режущего инструмента

4.3.4 Установление закономерностей влияния соотношения толщин износостойкого и переходного слоев МНИП на кинетику изнашивания твердосплавного режущего инструмента

4.3.5 Особенности механизма изнашивания твердосплавного режущего инструмента с МКИП

4.4 Установление закономерностей влияния структуры и элементного

состава МНИП на характер процессов трещинообразования

Выводы по Главе

Глава 5. Установление закономерностей влияния основных параметров структуры МНИП на диффузионные и окислительные процессы при резании

5.1 Особенности окислительных и диффузионных процессы при резании инструментом с МНИП

5.2 Установление закономерностей влияния основных параметров структуры МНИП на окислительные процессы при резании

5.3 Установление закономерностей влияния основных параметров

структуры МНИП на диффузионные процессы при резании

5.4 Установление закономерностей влияния основных параметров структуры МНИП на общий характер структурных и фазовых

изменений в поверхностном слое инструмента при резании

Выводы по Главе

Заключение

Список литературы

Приложения

Приложение А. Акты внедрения результатов НИР

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение износостойкости твердосплавных режущих инструментов путем управления параметрами функциональных слоев наноструктурированных покрытий»

Введение

Актуальность работы. Машиностроение является и будет оставаться одной из ключевых и динамично развивающихся областей человеческой деятельности. В данной области происходит как совершенствование имеющихся, так и создание принципиально новых производственных технологий. Реализация технологий высокоскоростного и высокопроизводительного резания является важным фактором повышения общей эффективности производства. Развитие современных машиностроительных производств в значительной степени связано также с появлением новых конструкционных материалов, инновационных конструкций изделий, широким внедрением систем автоматизированного проектирования, принципов компьютеризированного интегрального производства, постоянным ростом требований к точности и качеству обработки при необходимости снижения производственных затрат, а также уменьшению негативного воздействия производственных процессов на окружающую среду и здоровье человека. В этой связи предъявляются все более высокие требования к повышению эффективности производственных операций, в частности -операций лезвийной обработки. В то же время режущий инструмент остается слабым звеном технологических производственных процессов, во многом сдерживающим их более интенсивное развитие, что делает особо актуальным глобальные усилия по разработке инновационных высокоэффективных инструментальных материалов и конструкций режущего инструмента. Модифицирующие покрытия приобретают все большее значение, как один из наиболее эффективных и актуальных способов существенного повышения основных эксплуатационных возможностей современного металлорежущего инструмента. При этом ряд аспектов, связанных с влиянием структуры (в

частности, наноструктуры) и состава покрытий на условия резания и износостойкость металлорежущего инструмента, остается исследованным в недостаточной степени, что сдерживает дальнейшее повышение надежности и производительности процесса резания.

Степень разработанности. Значительный вклад в исследования различных аспектов проблемы резания с использованием режущего инструмента с покрытием и создание теории его проектирования внесли такие исследователи, как Верещака А.С., Табаков В.П., Григорьев С.Н., Кабалдин Ю.Г., Внуков Ю.Н., Klocke F., Vetter J., Fox-Rabinovich G.S., Boxman R., Goldsmith S., Kumar C.S., Bouzakis K.-D., Yamamoto K., Veldhuis S.C., Kovalev A.I., Beake B.D., Veprek S., и ряд других, в работах которых раскрыты механизмы и природа изнашивания инструментов с покрытиями для различных условий обработки. На основе анализа рассмотренных работ можно сделать заключение о перспективности дальнейшего повышения эксплуатационных свойств режущего инструмента путем применения многослойных нанострукутрированных износостойких покрытий с рациональной структурой и элементным составом, синтезированных с использованием модернизированных процессов и оборудования вакуумно -дугового синтеза. Несмотря на большой объем имеющихся исследований и достигнутые результаты, ряд важных свойств износостойких покрытий и их влияние на процесс резания металлов остаются недостаточно изученными с учетом современных задач и современного уровня развития науки. В частности, в недостаточной степени исследовано влияние параметров функциональных слоев покрытий на условия резания и износостойкость режущего инструмента, не предложено методики определения рациональных параметров структуры покрытий. Не исследовано в достаточной степени влияние нанослойной структуры покрытия на характер диффузионных и окислительных процессов при резании.

Цель работы. Повышение износостойкости твердосплавного инструмента при резании заготовок из материалов различных групп обрабатываемости на основе применения покрытий с наноструктурированными

функциональными слоями с рационально подобранными программируемыми параметрами структуры и многокомпонентным элементным составом.

Объектом исследований являются многослойные наноструктурированные износостойкие покрытия (МНИП) для твердосплавного режущего инструмента

Предметом исследования являются процессы формирования структуры функциональных слоев покрытия, закономерности взаимосвязи структуры функциональных слоев с эксплуатационными свойствами покрытий и износостойкостью твердосплавных режущих инструментов при точении заготовок из материалов различных групп обрабатываемости.

Для достижения поставленной цели работы решены следующие задачи.

1. Разработан и обоснован способ выбора программируемых рациональных параметров структуры покрытий различного состава для твердосплавного режущего инструмента, используемого при обработке заготовок из стали различных групп обрабатываемости и титановых сплавов.

2. Разработана феноменологическая математическая модель синтеза покрытий и формирования их кластерной структуры с учетом стохастических условий протекания процесса, а также - феноменологическая модель усталостного разрушения покрытий при резании, в условиях стохастически воздействующего нагружения. С использованием разработанных математических моделей сформулирована и обоснована рабочая гипотеза определения параметров рациональной структуры покрытий, получившая экспериментальное подтверждение в процессе проведения исследований.

3. Установлены функциональные связи между параметрами процесса осаждения (время осаждения, скорость вращения поворотного стола и скорость планетарного вращения) и параметрами наноструктуры функциональных слоев покрытия, а также - функциональные связи между основными параметрами покрытия (общая толщина, толщина функциональных слоев, величина нанослойного периода, соотношение толщин переходного и износостойкого слоев, элементный состав функциональных слоев) и его эксплуатационными свойствами (прочность адгезионной связи с субстратом, микротвердость,

коэффициент трения, трещиностойкость) и режущими свойствами инструментов.

4. Установлены закономерности влияния параметров наноструктуры и элементного состава покрытия на механизмы и кинетику изнашивания режущего инструмента, механизмы трещинообразования в покрытиях; установлены значения параметров структуры покрытий, способствующие торможению развития трещин и, соответственно, повышающие эксплуатационные свойства инструмента с покрытием, установлен характер влияния на перечисленные факторы параметров процесса осаждения покрытий.

5. Установлены закономерности влияния основных параметров структуры покрытий на диффузионные и окислительные процессы при резании металлов.

6. На основе установленных закономерностей разработаны покрытия различного состава с рационально подобранными программируемыми параметрами структуры, обеспечивающими существенное повышение износостойкости режущего инструмента при обработке заготовок из стали различных групп обрабатываемости и титановых сплавов.

Методы исследования. Работа выполнена на основе использования фундаментальных положений теории резания материалов и физики твердого тела, методов статистического анализа результатов экспериментальных исследований. Исследование процесса изнашивания и усталостного разрушения режущих инструментов с МНИП проводили на основе моделей микро и макро неоднородных сред. Изучение механизмов влияния параметров процессов осаждения МНИП на различные свойства системы «инструментальный материал - МНИП - обрабатываемый материал» и вторичные структуры, возникающие при изнашивании в процессе резания или триботестах, выполняли на основе современных методов металлографического и металлофизического анализов с использованием методик вторичной ионной масс-спектрометрии (ВИМС), энерго-дисперсионной спекрометрии (ЭДС), электронно -сканирующей (СЭМ) и просвечивающей (ПЭМ) микроскопии, включая построение электронограмм и исследование элементного состава слоев МНИП.

Основные положения, выносимые на защиту:

1. Рационально подобранные параметры структуры МНИП (толщина функциональных слоев и соотношение их толщин, а также - величина нанослойного периода износостойкого слоя), позволяющие повысить функциональные свойства покрытий и износостойкость режущего инструмента. Характер (локально-экстремальный) влияния указанных параметры структуры МНИП на износостойкость режущего инструмента при различных условиях резания.

2. Установленные функциональные связи влияния величины нанослойного периода и толщины износостойкого слоя МНИП на процесс трещинообразования.

3. Установленные функциональные связи между параметрами структуры МНИП и износостойкостью режущего инструмента в зависимости от скорости резания и группы обрабатываемости материала заготовки.

4. Экспериментально доказано, что применение МНИП с наноструктурированными функциональными слоями снижает интенсивность интердиффузии и окисления при резании, что дополнительно повышает износостойкость режущего инструмента

Научная новизна результатов работы заключается в:

1. Методике выбора и значениях рациональных параметров структуры МНИП различного состава, обеспечивающих повышение режущих свойств твердосплавного инструмента при точении заготовок из материалов различных групп обрабатываемости, и разработанной на основе данной методики серии МНИП для различных условий токарной обработки, обеспечивающих существенное повышение режущих свойств инструмента по сравнению с ранее известными решениями

2. Установленных закономерностях влияния:

• параметров технологического процесса осаждения на структуру и эксплуатационные свойства МНИП и износостойкость режущих инструментов с МНИП

• величины нанослойного периода МНИП различного состава на характер трещинообразования, а также - диффузионные и окислительные процессы в поверхностных слоях режущего инструмента с МНИП при точении

3. Феноменологической математической модели синтеза покрытий и формирования их кластерной структуры с учетом стохастических условий протекания процесса, а также - феноменологической модели усталостного разрушения покрытий при резании, в условиях стохастически воздействующего нагружения.

Теоретическую значимость имеют следующие результаты:

1. Феноменологическая математическая модель синтеза покрытий и формирования их кластерной структуры с учетом стохастических условий протекания процесса, а также - феноменологическая модель усталостного разрушения покрытий при резании, в условиях стохастически воздействующего нагружения.

2. Методика выбора рациональных параметров структуры МНИП различного состава, обеспечивающих повышение режущих свойств твердосплавного инструмента при точении заготовок из материалов различных групп обрабатываемости

3. Установленные закономерности влияния величины нанослойного периода МНИП различного состава на характер трещинообразования, а также -диффузионные и окислительные процессы в поверхностных слоях режущего инструмента с МНИП при точении

4. Установленные закономерности влияния параметров технологического процесса осаждения на структуру и эксплуатационные свойства МНИП и износостойкость режущих инструментов с МНИП

Практическую значимость имеют следующие результаты:

1. Конструкции МНИП и способы их осаждения.

2. Технологические режимы осаждения МНИП.

3. Рекомендации по составам и толщинам функциональных слоев МНИП, величине нанослойного периода и толщинам нанослоев и соотношению толщин

переходных и износостойких слоев, обеспечивающих повышение износостойкости твердосплавного инструмента.

Опытно-промышленные испытания, проведенные в производственных условиях на ряде промышленных предприятий, подтвердили высокую работоспособность твердосплавных инструментов с разработанными МНИП. Результаты исследований внедрены на ФГУП «ЦАГИ», ЗАО «Резьбовые технологии» и ОАО «НПО САТУРН» и ряде других предприятий. Результаты исследований внедрены в учебный процесс подготовки магистров по направлению 15.04.05 - Конструкторско-технологическая подготовка машиностроительных производств.

Достоверность полученных результатов. Достоверность выводов и положений диссертационной работы подтверждается большим количеством непротиворечивых и повторяемых результатов экспериментальных исследований, полученных с использованием современного оборудования и аттестованных методик, а также применением статистических методов обработки полученных данных.

Апробация результатов работы. Основные положения диссертационной работы были доложены лично автором на 32 -х международных и республиканских научно-технических конференциях по тематике диссертации, в том числе на ключевых международных научных конференциях по рассматриваемой тематике: International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (Россия, Томск 2019 г.); CIRP Conference on High Performance Cutting (Швейцария, Цюрих 2012 г., США Беркли 2014 г., Германия Кемниц 2016 г., Венгрия Будапешт 2018 г.); International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (США, Сан Диего 2015, 2017, 2019, 2021 гг.); CIRP Conference on Manufacturing Systems (Португалия, Сетубал 2014, Италия, Неаполь 2015, Германия, Штутгарт 2016, Тайвань, Тайджун 2017, Словакия, Любляна 2019; International Conference on High Speed Machining (Великобритания, Ливерпуль 2012 г., Испания, Сан-Себастьян 2018 г., Чехия, Прага 2019 г., Онлайн 2021); International Conference on Plasma Surface

Engineering (Германия, Гармиш-Партенкирхен 2016, 2018 гг.); 7th Annual World Congress of Nano Science &Technology (Япония, Фукуока 2017 г.). Диссертационные исследования под руководством автора проводились в рамках проекта РНФ 15-19-00231 (тема 15-36/РНФ) 2015-2017 гг; проекта РНФ 18-1900312 (тема 18-24/РНФ) 2018-2020 гг.; государственного задания Минобрнауки России№ 16.9575.2017/6.7 на выполнение государственных работ в сфере научной деятельности.

Соответствие диссертации паспорту научной специальности.

Диссертационная работа представляет собой научное обоснование новых технических решений, совершенствующих средства реализации процессов формообразования тел на этапе изготовления, за счет изучения связей физико -технических процессов, протекающих при удалении части объема материала и повышающих надежность и работоспособность средств реализации. По теме и содержанию материалов диссертационная работа соответствует научной специальности 05.02.07 - «Технология и оборудование механической и физико-технической обработки» в части п.2 и п.3 раздела «Области исследований» её паспорта.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка литературы и приложений. Объем работы: основной текст содержит 559 страниц, включая 340 рисунков и 19 таблиц; список литературы включает 373 наименования.

Публикации. Основные теоретические и практические результаты диссертации опубликованы в 185 печатных работах, в том числе 47 статей в изданиях из перечня ВАК, 94 статьях в изданиях из базы цитирований Scopus и Web of Science, из них 25 статей в изданиях, входящих в первый квартиль - Q1, получено 15 патентов на изобретения и полезные модели.

Глава 1. Анализ методов и направлений повышения режущих свойств инструмента путем нанесения функциональных покрытий.

1.1 Применение режущих инструментов с износостойкими покрытиями на

операциях механической обработки

1.1.1 Основные методы получения покрытий для режущих инструментов

В последнее время достигнут существенный прогресс в повышении ключевых характеристик инструментальных материалов (быстрорежущей стали, твердых сплавов, режущей керамики и, в некоторых случаях, сверхтвердых материалов) путем нанесения модифицирующих покрытий с применением различных технологий их осаждения, что, в свою очередь, ведет к повышению производительности обработки и надежности режущих инструментов. Создание прогрессивных технологий нанесения покрытий, разработка нового и модернизация существующего оборудования для их синтеза позволило осуществить настоящий прорыв в области поверхностной модификации инструментальных материалов, что, в свою очередь, позволило существенно повысить эксплуатационные характеристики режущего инструмента. К таким характеристикам относятся, в частности, твердость поверхностного слоя, теплостойкость, низкая адгезия с обрабатываемым материалом, стойкость к окислению при повышенных температурах, сопротивляемость разрушению, особенно в условиях действия знакопеременных механических и термических напряжений (в частности, были повышены ударная вязкость и трещиностойкость), стойкость к диффузионному и химическому взаимодействию с обрабатываемым материалом и ряд других свойств.

Существующие технологические процессы дают возможность осаждать наноструктурированные покрытия многослойно-композиционного типа на основе

одинарных, двойных, тройных и многокомпонентных соединений тугоплавких металлов IV-VI группы Периодической системы элементов (карбиды, нитриды, бориды, оксиды, силициды и их смеси), с возможностью включения в состав металлов III группы (в первую очередь - Al) и VII - IX группы, а также некоторых неметаллов S и т.д.). Толщина нанослоев в структуре таких покрытий может составлять несколько нанометров, за счет чего может быть обеспечена их чрезвычайно низкая дефектность. Указанное позволяет говорить о приближении к теоретически возможной прочности материала и, соответственно, получении многослойных композитных материалов (субстрат + покрытие), способных обеспечить максимальное повышение эффективности и надежности режущего инструмента.

В металлообрабатывающей индустрии режущие и штамповые инструменты с покрытием активно используются, начиная с семидесятых годов двадцатого века, причем объем их применения неуклонно увеличивается. Известно, что внедрение режущих инструментов с покрытиями позволило увеличить производительность на 40% и выше, а также обеспечить увеличение стойкости до 2 - 5 раз при значительном улучшении качества поверхности обрабатываемых изделий [1-11].

Был разработан ряд технологий модификации поверхностных характеристик инструментальных материалов, которые позволяют в широких пределах управлять их ключевыми физико-механическими свойствами и, таким образом оказывать существенное влияние на эксплуатационные параметры режущего инструмента. Данные технологии можно разделить на две группы: методы модификации поверхностного слоя (например, ионная имплантация, азотирование, наклеп (дробеструйный, гидравлический и т.д.) и ряд других методов) и методы нанесения покрытий. Имеется также ряд методов, сочетающих модификацию поверхностного слоя с нанесением покрытия.

В связи с тем, что осаждение модифицирующих покрытий, в частности -модифицирующих покрытий для металлорежущего инструмента, является перспективной и востребованной технологией, ведутся многочисленные работы по созданию новых и совершенствованию имеющихся методов нанесения таких

покрытий. В Таблице 1.1. приведен ряд методов, многие из которых применимы для осаждения износостойких покрытий на металлорежущий инструмент [12-26]. Стоит отметить, что зачастую некоторые методы весьма близки друг к другу и различия между ними способны найти только опытные патентоведы.

Таблица 1.1. Методы нанесения покрытий на основе технологий ХОП(СУО) и ФОП (РУО) [12-26]

1 Методы на основе технологии ХОП(CVD)

1.1 XOn(CVD) при атмосферном давлении (Atmospheric Pressure CVD (APCVD))

1.1.1. Термо XOn(CVD) при атмосферном давлении (Atmospheric Pressure Thermal CVD (APTCVD)

1.1.2. Плазменный XOn(CVD) при атмосферном давлении (Atmospheric Pressure Plasma CVD (APPCVD)

1.2 XOn(CVD) Низкого давления (Low-Pressure CVD (LPCVD))

1.3 Ультравысоковакуумное XOn(CVD) (Ultrahigh Vacuum CVD (UHVCVD))

1.4 XOn(CVD) с аэрозольным ассистированием (Aerosol assisted CVD (AACVD))

1.5 XOn(CVD) с прямой инжекцией жидкости (Direct Liquid Injection CVD (DLICVD))

1.6 XOn(CVD), активированный микроволновой плазмой (Microwave PlasmaAssisted CVD (MPCVD)

1.7 Усиленный плазмой XOn(CVD) (Plasma-Enhanced CVD (PECVD))

1.8 Усиленный удаленной плазмой XOn(CVD) (Remote Plasma-Enhanced CVD (RPECVD))

1.9 XOn(CVD) с активацией удаленной плазмой (Remote plasma activated chemical vapor deposition (RPACVD)

1.9.1. Импульсное удаление пульсирующей плазмы (Pulsed plasma-pulsed

injection RPACVD (P31- RPACVD)

1.10 XOn(CVD) атомных слоев (Atomic-layer CVD (ALCVD))

1.11 XOn(CVD) сгорания (Combustion Chemical Vapor Deposition (CCVD))

1.12 XOn(CVD) с горячей нитью, каталитический XOn(CVD) (Hot-wire CVD (HWCVD), или Cat-CVD, или HFCVD)

1.13 Гибридное химико-физическое осаждение из паровой фазы (Hybrid Physical-Chemical Vapor Deposition (HPCVD))

1.14 Металлорганический XOn(CVD) (Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD))

1.15 Быстрое термическое XOn(CVD) ( Rapid thermal CVD (RTCVD))

1.16 Парофазная эпитаксия (Vapor-Phase Epitaxy (VPE))

1.17 Фото-инициированное XOn(CVD) (Photo-initiated CVD (PICVD))

1.18 Плазмохимическое осаждение с источником индуктивно связанной плазмы (CVD-ICP)

1.19 XOn(CVD), ассистируемое плазмой (Plasma Assisted CVD (PACVD)

1.20 XOn(CVD), ассистируемое пламенем (Flame Assisted Chemical Vapor Deposition (FACVD))

1.21 XOn(CVD) с электростатическим ассистированием (Electrostatic Spray Assisted Vapour Deposition (ESAVD)

1.22 ХОП (CVD) с ассистированием лазером (Laser-Assisted CVD (LACVD)

1.23 Атомно-слоевое осаждение (молекулярного наслаивания (МН)) (Atomic Layer Epitaxy (ALE), ALD

1.23.1 Термическое атомно-слоевое осаждение (молекулярного наслаивания (МН)) (Thermal ALD)

1.23.2 Атомно слоевое осаждение с удаленным источником плазмы (Remote Plasma ALD)

1.24 XOn(CVD) в кипящем слое (fluidised bed chemical vapour deposition (FBCVD)

2 Методы на основе технологии ФОП (PVD)

2.1 Ионно-лучевое осаждение (ИЛО) (Ion-Beam Deposition (IBD))

2.1.1. Физическое распыление поверхности мишени ионным лучом инертного газа автономного ионного источника и осаждение распыленного материала на подложку.

2.1.2. Прямое осаждение на подложку ионного луча, сформированного АИИ из требуемого материала покрытия. Ионно-лучевое осаждение со смещенной мишенью (Biased target ion beam deposition)

2.2 Технология ионно-плазменного нанесения (ИПН) (Evaporative deposition) 2.2.1. Реактивное ионно-плазменное нанесение (РИПН)

2.3 Осаждение, ассистируемое ионным лучом (Ion Beam Assisted Deposition —BAD или IAD)

2.4 Осаждение, индуцированное электронным лучом (Electron Beam-Induced Deposition (EBID))

2.5 Прямое электронно-лучевое испарение (Electron Beam Physical Vapor Deposition или EBPVD)

2.6 Катодное дуговое осаждение Cathodic arc deposition или Arc-PVD

2.7 Высоко-Ионизированная Пульсация High Ionization Pulsing (HIP) PVD

2.8 Молекулярная лучевая эпитаксия (Molecular Beam Epitaxy (MBE))

2.9 Испарение лазерным лучом (Pulsed Laser Deposition (PLD))

2.10. Осаждения распылением (Sputter Deposition), магнетронное осаждение

2.10.1. Несбалансированное Магнетронное Распыление (Unbalanced Magnetron Sputtering (UBMS))

2.10.2. Ионное (ионно-лучевое) распыление (Ion-Beam Sputtering (IBS))

2.10.3. Реактивное распыление (Reactive Sputtering)

2.10.4. Осаждение, ассистируемое ионами (Ion-Assisted Deposition (IAD))

2.10.5. Распыление с использованием высокой мишени (High-Target-Utilization Sputtering (HiTUS))

2.10.6. Магнетронное распыление с высокой плотностью импульса (Highpower impulse magnetron sputtering HIPIMS или HiPIMS)

2.10.7. Магнетронное распыление с высокой плотностью пульсации HighPower Pulsed Magnetron Sputtering, HPPMS)

2.10.8. Пульсирующее магнетронное распыление с ионным покрытием (Pulsed Magnetron Sputter Ion Plating (MSIP) PVD

2.10.9. Распыление в потоке газа (Gas Flow Sputtering)

2.10.10. Высоко Ионизированное Распыление (High Ionization Sputtering (HIS PVD)

3 Методы нанесения с применением электроэнергии (Spraying With

Electricity)

3.1. Напыление с плазменной дугой косвенного действия (Nontransferred Plasma Arc Spraying)

3.2. Электродуговое распыление. (Electric Arc Spraying)

3.3. Высокочастотное плазменное напыление (RF(radio-frequency) Plasma Spraying)

3.4. Атмосферное плазменное напыление (Atmospheric Plasma Spraying (APS))

3.5. Вакуумное плазменное напыление (Vacuum plasma spraying (VPS) и Low-Pressure Plasma Spraying (LPPS))

3.6. Плазменное напыление в контролируемой атмосфере (Controlled-Atmosphere Plasma Spraying (CAPS), Inert Plasma Spraying (IPS), Shrouded Plasma Spraying (SPS))

Кроме использования перечисленных выше методов предпринимаются попытки применять с целью повышения эксплуатационных свойств металлорежущих инструментов методы газотермического напыления (Thermal Spraying), в частности - газопламенное взрывное (детонационное) напыление (Detonation Flame Spraying) и высокоскоростное (сверхзвуковое) газопламенное напыление (High Velocity Oxy/Fuel Spraying (HVOF), High Velocity Air Fuel (HVAF)), а также - электролитические методы.

При всем многообразии возможных методов осаждения покрытий широкое практическое применение получили только несколько ключевых технологий на основе XOn(CVD) и ФОП (PVD) (в частности, Arc-PVD и магнетронное осаждение). Данные технологии позволяют обеспечить сочетание необходимых свойств: высокую твердость, хорошую адгезию с субстратом, плотность и равномерность осаждения, возможность управление составом и архитектурой покрытий. Каждая из указанных технологий имеет свои преимущества и недостатки, предпочтительные области применения. Поэтому основные тенденции совершенствования технологий нанесения покрытий часто связаны с разработкой комбинированных методов модификации поверхностных свойств инструментальных материалов, сочетающих преимущества различных технологий.

1.1.2 Процессы химического осаждения покрытий - ХОП(СУО)

Химическое осаждение покрытий из паровой фазы (ХОП, CVD) предполагает диссоциацию и/или химические реакции газообразных реагентов в активированной (высокой температурой, светом, плазмой и т.д.) среде, с последующим образованием стабильного твердого вещества (Рисунок 1.1.). Осаждение включает однородные газофазных реакции, которые происходят в газовой фазе, и/или гетерогенные химические реакции, которые имеют место на

(или вблизи) нагретой поверхности и приводят к образованию порошков или пленок [12].

Рис. 1.1. Схема формирования ХОП(CVD) покрытия [12].

Методы ХОП(CVD) имеют весьма долгую историю. Промышленное применение ХОП(CVD) можно проследить, начиная с патента выдающегося русского инженера А. Н. Лодыгина ^е Lodyguine) [13], который в 1893 году добился осаждение вольфрама на углерод нити накаливания ламп за счет восстановления WQ6 водородом. Начиная с этого момента метод ХОП(CVD) применялся, как экономически целесообразная технология для производства тугоплавких металлов высокой чистоты, таких как Т^ №, и Та. Однако, широкое применение метод ХОП(CVD) получил только в последние 50 лет. В этот период технология ХОП(CVD) стала массово применяться, причем с акцентом именно на процесс осаждения покрытий. Такое изменение направленности от получения порошков к осаждению покрытий сделало ХОП(CVD) важным методом в технологии нанесения покрытия, в частности - износостойких покрытий для металлорежущего инструмента. Эти покрытия могут включать элементы III - V и II - VI групп Периодической Системы, С, В, Si, и их бориды, карбиды, нитриды, оксиды, силициды и сульфиды.

Список литературы диссертационного исследования доктор наук Верещака Алексей Анатольевич, 2021 год

Список использованной литературы

1. Бродский, Л.Л. Высокие технологии - основа развития современного производства / Л.Л. Бродский, А.С. Верещака, А.В. Рыбаков, С.А. Шептунов. -Москва: Вестник компьютерных и информационных технологий - 2004. - № 5.

- С. 22-32.

2. CIRP Dictionary of Production Engineering. Volume II: Material Removal Processes / ed. K. Lange, K.J. Weinmann, L. Mathieu. - Berlin; Heidelberg: Springer

- 2004. - 573 p.

3. Klocke, F. Producing turbine components - Modern cutting materials improve productivity / F. Klocke, K. Gerschwiler // IX Internationals Productionstechnisches kolloquium PTK-98. - Berlin: - 1998. - p. 203-210.

4. Scherbarth, S. Moderne Scheidstoffe und Werkzeuge - Wege zur gesteigerten Productivitat. Dusseldorf: Sandvik Warkzeugtagung - 2002. -170 p.

5. Nano-scale multilayered-composite coatings for the cutting tools. Vereshchaka, A.A., Vereshchaka, A.S., Mgaloblishvili, [и др.]. International Journal of Advanced Manufacturing Technology, -2014. - Vol. 72(1). - C. 303-317

6. Mattox, D.M. The Foundations of Vacuum Coating Technology/ D.M. Mattox -New York: William Andrew Publishing - 2003. - 278 p.

7. Kassack, J. Fortschritte dei der GGV - Bearbeitung in der Automobilindustrie under Werkzeugaspekten. Ingolstadt: AUDI AG. Warkzeugtagung - 2002. - 170 p.

8. Верещака, А.С. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями / А. С. Верещака - Москва: Машиностроение, 1993. - 336 с.

9. Moll E. Hard coatings by plasma-assisted PVD technologies: industrial practice / E. Moll, E. Bergmann. Surface and Coating Technology - 1989. - Vol. 37(4). - p. 483509.

10. Holleck, H. Basic principles of specific application of ceramic materials as protective layers./ H. Holleck // Surface and coatings Tecnnology -1990. - Vol. 43/44(1). - p. 245-258.

11. Vetter J. The architecture and performance of compositionally gradient and multilayer PVD coating / J. Vetter, W. Burgmer, H. Dederichs, A. Perry // Material Science Forum. - 1994. - Vol. 163-165. - p. 527-532.

12. Choy, K.L. Chemical vapour deposition of coatings / K.L. Choy // Progress in Materials Science 48 (2003) p. 57-170

13. De Lodyguine, J.S. Illuminant for incandecent lamps. US patent 575002 - 1893.

14. Penning, F.M. Eine Neutronenröhre Ohne Pumpvorrichtung / F.M. Penning, J.H.A. Mobius // Physica. - 1937. - Vol. 4(11) - p. 1190-1199

15. Druyvesteyn, M.J. The mechanism of electrical discharges in gases of low pressure / M.J. Druyvesteyn, F.M. Penning // Reviews of Modern Physics -1940. -Vol. 12(2). - p. 87-174

16. Thornton J.A. Cylindrical magnetron sputtering. Sec II-2 in Thin Film Processes edited by J.L.Vossen and Werner Kern / J.A. Thornton, A.S. Penfold // New York: Academic Press, -1978. - p. 75

17. Carson, W.W. Sputter gas pressure and dc substrate bias effects on thick rf-diode sputtered films of Ti oxycarbides / W.W. Carson // Journal of Vacuum Scinece and Technology. -1975. -Vol. 12 - p. 845-849

18. Tonghe, Z. Industrialization of MEVVA source ion implantation/ Z. Tonghe, Z. Huixing, J. Changzhou, [h gp.] // Surface and Coatings Technology - 2000. - Vol. 128-129(1) - p.1-8

19. Adonin, A. Progress on MEVVA source VARIS at GSI / A. Adonin, R. Hollinger // Review of Scientific Instruments - 2018. - Vol. 89(5) - 052304

20. Sanders, D.M. Coating technology based on the vacuum arc - A review / D.M. Sanders, D.B. Boercker, S. Falabella // IEEE Transactions on Plasma Science -1990 -Vol. 18(6) - p. 883-894

21. Cobine, J. Introduction to Vacuum Arcs / Vacuum Arcs: Theory and Application / J. Cobine // New York: Wiley -1980. - p. 1-18.

22. Michalski, A. Structure and useful properties of multi-component titanium nitride obtained by pulse plasma deposition / A. Michalski // Journal Material Science Letter - 1991. - Vol. 10(9). - p. 503-505

23. Grigoriev, S.N. Broad beam source of fast atoms produced as a result of charge exchange collisions of ions accelerated between two plasmas / S.N. Grigoriev, Y.A. Melnik, A.S., V.V. Panin // Instruments and Experimental Techniques. - 2009. -Vol. 52(4). - p. 602-608.

24. Moll, E. Hard coatings by plasma-assisted PVD technologies: industrial practice / E. Moll, E. Bergmann // Surface and Coating Technology - 1989. - Vol. 37 - p. 483509.

25. Schoonover, D.R. Ion energies at the cathode for conduction throughr rarefield gases / D.R. Schoonover // Physical Review - 1968 - Vol. 176(1) - p. 331-336

26. Vetter, J. The architecture and performance of compositionally gradient and multilayer PVD coating / J. Vetter, W. Burgmer, H. Dederichs, A. Perry // Material Science Forum - 1994. - Vols. 163-165. - p. 527-532.

27. Rauscheudach, B. Gerlach J. Synthesis of metal nitrides by low-energy ion assisted film growth / B. Rauscheudach, S. Sienz, S. Six // Surface and Coating Technology - 2001. - Vols.142-144. - p. 371-375.

28. Steffens, H.D. Reduction of droplet emission in random arc technology / H.D. Steffens, M.K. Mack, K. Reichel // Surface and Coatings Technology - 1991. - Vol. 46 - p. 65-74.

29. Martin, P.J. Review of the filtered arc process and materials deposition / P.J. Martin, A.V. Bendavid // Thin Solid Films - 2001. - Vol. 394. - p. 1-14.

30. Додонов, A. Получение электродуговой плазмы в криволинейном плазмоводе и нанесение покрытия на подложку / A. Додонов, В. Башков // Патент на изобретение WO 98/45871 - 1998.

31. Fox-Rabinovich, G.S. Design and performance of AlTiN and TiAlCrN PVD coatings for machining of hard to cut materials / G.S. Fox-Rabinovich, A. Kovalev, M.H. Aguirre, Beake B.D. [и др.] // Surface and Coatings Technology - 2009. - Vol. 204. - p. 489-496.

32. Boxman, R. Macroparticle contamination in cathodic arc coatings: generation, transport and control / R. Boxman, S. Goldsmith // Surface and Coatings Technology

- 1992. - Vol. 52(1). - p. 39-50

33. Martin, P. J. Filtered arc evaporation / P.J. Martin // Surface Engineering - 1993.

- Vol. 9(1). - p. 51-58

34. Shalev, S. Macroparticle Dynamics During Multi-Cathode-Spot Vacuum Arcs / S. Shalev, R. Boxman, S. Goldsmith // IEEE Transactions on Plasma Science - 1986. -Vol. 14(1). - p. 59-62

35. McClure, G.W. Plasma expansion as a cause of metal displacement in vacuum -arc cathode spots / G.W. McClure // Journal of Applied Physics. - 1974. - Vol. 45(5).

- 2078-2084.

36. Boxman, R. Excited-state densities in a multicathode-spot Al vacuum arc. I. Spectroscopic measurements / R. Boxman, S. Goldsmith // Journal of Applied Physics.

- 1980. - Vol. 51(7). - p. 3644-3648

37. Vetter, J. Advances in cathodic arc technology using electrons extracted from the vacuum arc / J. Vetter, A.J. Perry // Surface and Coatings Technology - 1993. - Vol. 61. - 305-309.

38. Лоладзе, Т.Н. Прочность и износостойкость режущего инструмента / Т.Н. Лоладзе - Москва: Машиностроение, - 1982. - 320 с.

39. Табаков, В.П. Износостойкие покрытия режущего инструмента, работающего в условиях непрерывного резания / В.П. Табаков, А.В. Чихранов. -Ульяновск: УлГТУ, - 2007. - 255 с.

40. Григорьев, С.Н. Технологические методы повышения износостойкости контактных площадок режущего инструмента / С.Н. Григорьев, В.П. Табаков, М. А. Волосова. - Старый Оскол: ТНТ, - 2011. - 380 с.

41. Верещака, А.С. К вопросу о повышении эффективности инструментов из быстрорежущей стали с покрытием / А.С. Верещака // Повышение производительности и эффективности использования технологического оборудования. Ярославль: Ярославское областное правление НТО Машпром, -1982. - С. 49-50.

42. Верещака, А.С. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями / А.С. Верещака, И.П. Третьяков - Москва: Машиностроение, -1986. -196 с.

43. Wolfe, G.J. The role of hard coatings in carbide milling tools / G.J. Wolfe, C.J. Petrosky, D.T. Quinto // Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films -1986. - Vol. 4(6). - p. 2747-2754

44. Vereschaka, A.S. Carbide tools with wear resistant tin coatings / A.S. Vereschaka // Mach Tool - 1976. - Vol. 47(6). - p. 23-25

45. Верещака, А.С. Основные аспекты применения и совершенствования режущих инструментов с износостойкими покрытиями / А.С. Верещака // СТИН. - 2000. - № 9. - С.33-40.

46. Vereshchaka, A.S. Coated cutting tools for machining various structural materials / A.S. Vereshchaka // Soviet engineering research -1984. - Vol. 4(8). - p. 30-33

47. Верещака, А.А. Многослойно-композиционное покрытие / Верещака А.А., Пчелинцев А.К., Верещака А.С., Синицин В.С., Ласточкин С.С., Лапин В.Ф., Додонов А.И. // Патент РФ на изобретение RU 2198243 C2 Бюл. №4 от 10.02.2003 г.

48. Верещака А.А. Управление структурой и свойствами износостойких покрытий как метод повышения эксплуатационных характеристик режущего инструмента - процессы, оборудование, технология / А.А. Верещака, А.С. Верещака, В.Ф. Лапин // Сборник научных трудов «Высокие технологии в машиностроении» - Харьков: НТУ «ХПИ» - 2001. - № 1(4). - С.46-50.

49. Vereshchaka, A.S. Wear of coated cemented-carbide tooling / A.S. Vereshchaka // Soviet Engineering Research - 1981. - Vol. 1(4) - p. 37-40

50. Lierat F. The Main Trends of Vacuum-ARC Technology Synthesis of Multilayer Coatings for Cutting Tool Perfection / F. Lierat, A. Vereschaka // IX Internationals Productionstechnisches kolloquium PTK-98. Berlin -1998. - p. 211-225.

51. Lierat F. Entwicklungsstand und-trends der Hartstoff beschichtung / F. Lierat, A. Vereschaka // Tagungsband Magdeburger Produktionstechisches Kolloquium MPK'99. Die Wissensintensive Production - 1999.

52. Panckow, A. Advanced coating architecture deposited by pulsed and filtered arc ion-platting / A. Panckow, J. Steffenhagen, F. Lierath // Surface and Coating Technology. - 2003. - Vols. 163-164. - p. 128-134.

53. Аникин, В.Н. Высокопрочная градиентная керамика для экологически чистого резания / В.Н. Аникин, И.В. Блинков, А.С. Верещака // Производство. Технология. Экология. «Протек-2001»: Труды международной научно-практической конференции - Москва: Изд-во МГТУ Станкин, - 2001. - том 1. -С. 23-31.

54. Табаков, В.П. Формирование износостойких ионно-плазменных покрытий режущего инструмента / В.П. Табаков - Москва: Машиностроение, - 2008. - 311 с.

55. Santhanam, A.T. ASM Handbook, Surface Engineering / A.T. Santhanam, D.T. Quinto - Materials Park: ASM International - 1994. - vol.5 - p. 900-908.

56. Jindal, P.C. Performance of PVD TiN, TiCN, and TiAlN coated cemented carbide tools in turning / P.C. Jindal, A.T. Santhanam, U. Schleinkofer, A.F. Shuster // International Journal of Refractory Metals & Hard Materials - 1999. - Vol. 17. - p. 163-170.

57. Bhatt, A. Wear mechanisms of WC coated and uncoated tools in finish turning of Inconel 718 / A. Bhatt, H. Attia, R. Vargas, V. Thomson // Tribology International -2010. - Vol. 43. - p. 1113-1121.

58. Zheng, G. Frictional and wear performance of TiAlN/TiN coated tool against high-strength steel / G. Zheng, G. Zhao, X. Cheng, R. Xu // Ceramics International - 2018. - Vol. 44. - p. 6878-6885.

59. Desaigues, J.E. Experimental study of built-up layer formation during machining of high strength free-cutting steel / J.E. Desaigues, C. Lescalier, A. Bomont-Arzur, D. Dudzinski, O. Bomont // Journal of Materials Processing Technology - 2016. - Vol. 236. - p. 204-215

60. Chowdhury, M.S.I. Wear behaviour of coated carbide tools during machining of Ti6Al4V aerospace alloy associated with strong built up edge formation / M.S.I. Chowdhury, S. Chowdhury, K. Yamamoto, B.D. Beake [h gp.]. // Surface & Coatings Technology - 2017. - Vol. 313. - p. 319-327

61. Naskar, A. Investigation on flank wear mechanism of CVD and PVD hard coatings in high speed dry turning of low and high carbon steel / A. Naskar, A.K. Chattopadhyay // Wear - 2018. - Vols. 396-397. - p. 98-106.

62. Horling, A. Mechanical properties and machining performance of Tii-xAlxN -coated cutting tools / A. Horling, L. Hultman, M. Oden, J. Sjolen [h gp.]. // Surface & Coatings Technology - 2005. - Vol. 191. - p. 384-392.

63. Kumar, C.S. Investigations on the effect of thickness and structure of AlCr and AlTi based nitride coatings during hard machining process / C.S. Kumar, P.S. Kumar // Journal of Manufacturing Processes - 2018. - Vol. 31. - p. 336-347.

64. Kumar, C.S. Performance analysis and comparative assessment of nano-composite TiAlSiN/TiSiN/TiAlN coating in hard turning of AISI 52100 steel / C.S. Kumar, P.S. Kumar // Surface & Coatings Technology - 2018. - Vol. 335. - p. 265279.

65. Rosa, G.C. Wear analysis of ultra-fine grain coated carbide tools in hard turning of AISI 420C stainless steel / G.C. Rosa, A.J. Souza, E.V. Possamai, H.J. Amorim [h gp.]. // Wear - 2017. - Vols. 376-377. - p. 172-177.

66. Bouzakis, K.-D. Failure mechanisms of physically vapour deposited coated hardmetal cutting inserts in turning / K.-D. Bouzakis, N. Michailidis, N. Vidakis, K. Efstathiou // Wear - 2001. - Vol. 248. - p. 29-37

67. Aihua, L. Friction and wear properties of TiN, TiAlN, AlTiN and CrAlN PVD nitride coatings / L. Aihua, D. Jianxin, C. Haibing, C. Yangyang [h gp.]. // International Journal of Refractory Metals and Hard Materials. - 2012. - Vol. 31. - p. 82-88.

68. Bouzakis, K.-D. Cutting with coated tools: Coating technologies, characterization methods and performance optimization / K.-D. Bouzakis, N. Michailidis, G. Skordaris, E. Bouzakis // CIRP Annals - Manufacturing Technology - 2012. - Vol. 61. - p. 703723.

69. Willmann, H. Hardness evolution of Al-Cr-N coatings under thermal load / H. Willmann, P.H. Mayrhofer, L. Hultman, C. Mitterer // Journal of Materials Research -2008. - Vol. 23(11). - p. 2880-2885.

70. Reiter, A.E. Investigation of the properties of Ali-xCrxN coatings prepared by cathodic arc evaporation / A.E. Reiter, V.H. Derflinger, B. Hanselmann, T. Bachmann [h gp.]. // Surface and Coatings Technology. - 2005. - Vol. 200. - p. 2114-2122.

71. Fox-Rabinovich, G.S. Tribological adaptability of TiAlCrN PVD coatings under high performance dry machining conditions / G.S. Fox-Rabinovich, K. Yamamoto, S.C. Veldhuis, A.I. Kovalev [h gp.]. // Surface & Coatings Technology. - 2005. - Vol. 200. - p. 1804-1813.

72. Endrino, J.L. Hard AlTiN, AlCrN PVD coatings for machining of austenitic stainless steel / J.L. Endrino, G.S. Fox-Rabinovich, C. Gey // Surface & Coatings Technology - 2006. - Vol. 200. - p. 6840-6845.

73. Beake, B.D. Wear performance of different PVD coatings during hard wet end milling of H13 tool steel / B.D. Beake, L. Ning, C. Gey, S.C. Veldhuis [h gp.]. // Surface & Coatings Technology - 2015. - Vol. 279. - p. 118-125.

74. Fox-Rabinovich, G.S. Effect of mechanical properties measured at room and elevated temperatures on the wear resistance of cutting tools with TiAlN and AlCrN coatings / G.S. Fox-Rabinovich, B.D. Beake, J.L. Endrino, S.C. Veldhuis [h gp.]. // Surface & Coatings Technology. - 2006. - Vol. 200. - p. 5738-5742.

75. Beake, B.D. Using Nanomechanics to Optimise Coatings for Cutting Tools / B.D. Beake, S.R. Goodes, J.F. Smith, G.S. Fox-Rabinovich [h gp.]. // Nanostructured Thin

Films and Coatings: Mechanical Properties Ed. S. Zhang, Chapter 6 - Abingdon: Taylor & Francis 2010 - p. 205-244

76. Beake, B.D. Investigating the correlation between nano-impact fracture resistance and hardness/modulus ratio from nanoindentation at 25 - 500 °C and the fracture resistance and lifetime of cutting tools with Tii-xAlxN (x = 0.5 and 0.67) PVD coatings in milling operations / B.D. Beake, J.F. Smith, A. Gray, G.S. Fox-Rabinovich [и др.]. // Surface & Coatings Technology. - 2007. - Vol. 201. - p. 4585-4593

77. Erkens, G. Properties and performance of high aluminum containing (Ti,Al)N based supernitride coatings in innovative cutting applications / G. Erkens, R. Cremer, T. Hamoudi, K.-D. Bouzakis [и др.]., // Surface & Coatings Technology. - 2004. -Vols. 177-178. - p.727-734

78. Weirather, T. Increased thermal stability of Tii-xAlxN/TiN multilayer coatings through high temperature sputter deposition on powder-metallurgical high-speed steels / T. Weirather, K. Chladil, B. Sartory, D. Caliskanoglu [и др.]. // Surface & Coatings Technology. - 2014. - Vol. 257. - p. 48-57.

79. Tabakov, V.P. The Influence of Machining Condition Forming Multilayer Coatings for Cutting Tools / V.P. Tabakov // Key Engineering Materials. - 2012. -Vol. 496. - p. 80-85.

80. Tabakov, V.P. Development of technological means for formation of multilayer composite coatings, providing increased wear resistance of carbide tools, for different machining condition / V.P. Tabakov, A.S. Vereschака // Key Engineering Materials. - 2014. - Vol. 581. - p. 55-61.

81. Табаков, В.П. Определение механических характеристик износостойких ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана / В.П. Табаков, А.В. Чихранов // - Самара: Известия Самарского научного центра Российской академии наук - 2010. - 4-1. - т.12 - с. 292-297.

82. Табаков, В. П. Работоспособность торцовых фрез с многослойными износостойкими покрытиями / В. П. Табаков, М. Ю. Смирнов, А. В. Циркин. -Ульяновск: УлГТУ, - 2005. - 152 с.

83. Harry, E. Mechanical behavior of hard PVD multilayered coatings / E. Harry, M.

Ignat, Y. Pauleau, A. Rouzaud [h gp.]. // Surface and Coatings Technology - 2000. -Vol. 125. - p. 185-189.

84. Mo, J.L. Impact wear and abrasion resistance of CrN, AlCrN and AlTiN PVD coatings / J.L. Mo, M.H. Zhu, A. Leyland, A. Matthews // Surface & Coatings Technology - 2013. - Vol. 215. - p. 170-177.

85. Birol, Y. Sliding wear of CrN, AlCrN and AlTiN coated AISI H13 hot work tool steels in aluminium extrusion / Y. Birol // Tribology International - 2013. - Vol. 57. -p. 101-106.

86. Nohava, J. Characterization of tribological behavior and wear mechanisms of novel oxynitride PVD coatings designed for applications at high temperatures / J. Nohava, P. Dessarzin, P. Karvankova, M. Morstein // Tribology International - 2015.

- Vol. 81. - p. 231-239.

87. Antonov, M. Assessment of gradient and nanogradient PVD coatings behaviour under erosive, abrasive and impact wear conditions / M. Antonov, I. Hussainova, F. Sergejev, P. Kulu // Wear - 2009. - Vol. 267. - p. 898-906.

88. Henry, P. Wear mechanisms of titanium and aluminium nitride coatings: A microtribological approach / P. Henry, M.-J. Pac, C. Rousselot, M.-H. Tuilier // Surface & Coatings Technology - 2013. - Vol. 223. - p. 79-86.

89. Skordaris, G. A dynamic FEM simulation of the nano-impact test on mono- or multi-layered PVD coatings considering their graded strength properties determined by experimental-analytical procedures / G. Skordaris, K.-D. Bouzakis, P. Charalampous // Surface & Coatings Technology - 2015. - Vol. 265. - p. 53-61.

90. Ning, L. Investigation of wear behavior and chip formation for cutting tools with nano-multilayered TiAlCrN/NbN PVD coating / L. Ning, S.C. Veldhuis, K. Yamamoto // International Journal of Machine Tools & Manufacture - 2008. - Vol. 48. - p. 656665.

91. Erkens, G. Supernitrides: A Novel Generation of PVD Hard coatings to Meet the Requirements of High Demanding Cutting Applications / G. Erkens, R. Cremer, T. Hamoudi, K.-D. Bouzakis [h gp.]. // CIRP Annals-Manufacturing Technology -2003.

- Vol. 52(1). - p. 65-68.

92. Beake, B.D. Progress in high temperature nanomechanical testing of coatings for optimizing their performance in high speed machining / B.D. Beake, G.S. Fox-Rabinovich // Surface & Coatings Technology - 2014. - Vol. 255. - p. 102-111.

93. Skordaris, G. Brittleness and fatigue effect of mono- and multi-layer PVD films on the cutting performance of coated cemented carbide inserts / G. Skordaris, K.-D. Bouzakis, P. Charalampous, E. Bouzakis // CIRP Annals - Manufacturing Technology

- 2014. - Vol. 63. - p. 93-96.

94. Fox-Rabinovich, G.S. Wear behavior of adaptive nano-multilayered TiAlCrN/NbN coatings under dry high performance machining conditions / G.S. Fox-Rabinovich, K. Yamamoto, A.I. Kovalev, S.C. Veldhuis [h gp.]. // Surface & Coatings Technology - 2008. - Vol. 202. - p. 2015-2022.

95. Veprek, S. A concept for the design of novel superhard coatings / S. Veprek, S. Reiprich // Thin Solid Films - 1995. - Vol. 268. - p. 64-71.

96. Erturk, E. Comparison of the steered arc and random arc techniques / E. Erturk, H-J. Heuvel, H-G. Dedrichs // Surface & Coatings Technology - 1989. - Vol. 39-40(2). - p. 455-464.

97. Steffens, H-D. Reduction of droplet emission in random arc technology / H-D. Steffens, M. Mack, K. Moehwald, K. Reichel // Surface & Coatings Technology -1991. - Vol. 46(1). - p. 65-74.

98. Stuber, M. Graded layer design for stress-reduced and strongly adherent superhard amorphous carbon films / M. Stuber, S. Ulrich, H. Leiste, A. Kratzsch, [h gp.]. // Surface & Coatings Technology. - 1999. - Vols. 116-119. - p. 591-598.

99. Akari, K. Reduction in macroparticles during the deposition of TiN films prepared by arc ion plating / K. Akari, H. Tamagaki, T. Kumakiri, K. Tsuji, [h gp.]. // Surface & Coating Technology - 1990. - Vols. 43-44. - p. 312-323.

100. Sanders, D.M. Ion beam self-sputtering using a cathodic arc ion source / D.M. Sanders // Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films.

- 1988. - Vol. 6(3). - p. 1929-1933

101. Башков, В.М. Способ и устройство для получения многослойно-композиционных наноструктурированных покрытий и материалов / В.М. Башков, А.О. Беляева, А.И. Додонов // Патент РФ RU2463382C2 - 2012.

102. Michalski, A. Structure and properties of coatings composed of TiN-Ti obtained by the reactive pulse plasma method / A. Michalski // Journal of Materials Science Letters - 1984. - Vol. 3(6). - 505-508.

103. Aksenov, I.I. Plasma in a stationary vacuum-arc discharge. I. Plasma flux formation / I.I. Aksenov, V.G. Bren', V.A. Osipov, V.G. Padalka, [и др.]. // High Temperature - 1983. - Vol. 21(2). - p. 160-164.

104. Метель, А.С. Источник ионов / А.С. Метель // Патент RU 2008739 - 1994.

105. Aksenov, I.I. Plasma flux motion in a toroidal plasma guide / I.I. Aksenov, A.N. Belokhvotikov, V.G. Padalka, N.S. Repalov [и др.]. // Plasma Physics and Controlled Fusion -1986. - Vol. 28(5),002. - p. 761-770.

106. Voitsenya, V.S. Effect of a transverse magnetic field on plasma confinement in a stellarator and a torsatron / V.S. Voitsenya, A.Yu. Voloshko, A.V. Georgievskii, V.E. Ziser, [и др.]. // Sov Phys Tech Phys - 1974. - Vol. 18(11). - p. 1456-1459.

107. Аксёнов, И.И. Высокоэффективный источник чистой углеродной плазмы / И.И. Аксёнов [и др.]. // ЖТФ. - 1980. - Т. 50. - №9. - С. 2000-2004

108. Электронный ресурс (сайт фирмы Platit). - 2021. - URL: https://www.platit.com (дата обращения: 01.07.2021)

109. Григорьев, С.Н. Методы повышения стойкости режущего инструмента: учебник для студентов втузов / С.Н. Григорьев // - Москва: Машиностроение. -2009. - 368 с.

110. Внуков, Ю.Н. Повышение износостойкости быстрорежущих инструментов на основе исследования их трения с обрабатываемыми материалами и реализации новых технологических возможностей: дисс. д -ра техн. наук / Ю.Н. Внуков. Москва: -1992. - 371 с.

111. Кабалдин, Ю.Г. Повышение работоспособности и надежности рабочей части режущего инструмента в автоматизированном производстве: автореф. дис. д-ра. техн. наук. / Ю.Г. Кабалдин Москва: - 1987. - 47 с.

112. Jaycock, M.J. Chemistry of interfaces / M.J. Jaycock, G.D. Parfitt // N.Y.: John Wiley. - 1981. - 271 p

113. Дерягин, Б.В. Адгезия твердых тел / Б.В. Дерягин, Н.А. Кротова, В.П. Смилга // - Москва: Наука - 1973. - 310 с.

114. Blakely, J.M. Introduction to properties of crystal surfaces / J.M. Blakely -Oxford: Pergamon Press. - 1973. - 261 p.

115. Kinlok, A.J. Adhesion and adhesives / A.J. Kinlok - London: Chapman and Hall.

- 1987. - 484 p.

116. Boxman, R.L. Principles and applications of vacuum arc coatings / R.L. Boxman, S. Goldsmith // IEEE Transactions Plasma Science - 1989. - Vol. 17 - p. 705-712.

117. Yeh, J.-W. Recent Progress in High-entropy Alloys / J.-W. Yeh //Annales De Chimie - Science des Materiaux - 2006. - Vol. 31. - p. 633-648.

118. King, D.J.M. Predicting the formation and stability of single phase high-entropy alloys / D.J.M. King, S.C. Middleburgh, A.G. McGregor, M.B. Cortie // Acta Mater. -2016. - Vol. 104. - p. 172-179.

119. Holeck, H. Nanoskalige Schutyschichten für hochbeanspruchte Bauteile / H. Holeck, H. Leiste, N. Ulrich // NACHRICHEN - Forschungszentrum Karlsruhe Jahrg.

- 1999. - Vol. 31. - p. 13-20.

120. Miller, H.C. Constraints imposed upon theories of the vacuum arc cathode region by specific ion energy measurements / H.C. Miller // Journal of Applied Physics. -1981. - Vol. 52(7). - p. 4523-4530

121. Klocke, F. Coated tools for metal cutting - Features and applications / F. Klocke, T. Krieg // Ann. CIRP - 1999. - Vol. 48(2). - p. 515-525.

122. Messier, R. Geometry of thin-film morphology / R. Messier, J.E. Yehoda // Journal of Applied Physics. - 1985. - Vol. 58(10). - p. 3739-3746

123. Herman, M.A. Epitaxy: Physical Principles and Technical Implementation / M.A. Herman, W. Richter, H. Sitter - Berlin; New York: Springer - 2004. - 322 p.

124. Posti, E. Influence of coating thickness on the life of TIN coated high speed steel cutting tools / E. Posti, I. Nieminen // Wear - 1989. - Vol. 129. - p. 273-283.

125. De Bruyn, K. Coating thickness and surface roughness of TiN coated high speed steel in relation to coating functionality / K. De Bruyn, J.P. Celis, J.R. Roos, L.M. Stals [h gp.]. // Wear - 1993. - Vol. 166. - p. 127-129.

126. Kupczyk, M., Influence of coating thickness on tool life and wear / M. Kupczyk // Surface & Coating Technology - 1993. - Vol. 60. - p. 446-449.

127. Skordaris, G. Film thickness effect on mechanical properties and milling performance of nano-structured multilayer PVD coated tools / G. Skordaris, K.-D. Bouzakis, T. Kotsanis, P. Charalampous [h gp.]. // Surface & Coating Technology -2016. - Vol. 307. - p. 452-460

128. Bouzakis, K.-D. Adaption of graded Cr/CrN-interlayer thickness to cemented carbide substrates' roughness for improving the adhesion of HPPMS PVD films and the cutting performance / K.-D. Bouzakis, S. Makrimallakis, G. Katirtzoglou, G. Skordaris [h gp.]. // Surface & Coating Technology - 2010. - Vol. 205. - p. 15641570.

129. Bouzakis, K.-D. The effect of substrate pretreatments and HPPMS-deposited adhesive interlayers' materials on the cutting performance of coated cemented carbide inserts / K.-D. Bouzakis, G. Skordaris, S. Gerardis, G. Katirtzoglou, [h gp.]. // CIRP Annals - Manufacturing Technology - 2010. - Vol. 59(1). - p. 73-76.

130. Bouzakis, K.-D. The effect of coating thickness, mechanical strength and hardness properties on the milling performance of PVD coated cemented carbides inserts / K.-D. Bouzakis, S. Hadjiyiannis, G. Skordaris, I. Mirisidis, [h gp.]. // Surface & Coating Technology - 2004. - Vols. 177-178. - p. 657-666

131. Bouzakis, K.-D. Wear development on cemented carbide inserts, coated with variable film thickness in the cutting wedge region / K.-D. Bouzakis, S. Hadjiyiannis, G. Skordaris, I. Mirisidis [h gp.]. // Surface & Coating Technology -2004. - Vols. 188-189. - p. 636-643.

132. Bouzakis, K.-D. Milling performance of coated inserts with variable coating thickness on their rake and flank / K.-D. Bouzakis, S. Hadjiyiannis, G. Skordaris, I. Mirisidis [h gp.]. // CIRP Annals - Manufacturing Technology - 2004. - Vol. 53/1. - p. 81-84.

133. Tuffy, K. Determination of the optimum TiN coating thickness on WC inserts for machining carbon steels / K. Tuffy, G. Byrne, D. Dowling // J. Mater. Process. Technol. - 2004. - Vols. 155-156. - p. 1861-1866.

134. Ma, L.W. Effect of coating thickness on the deformation mechanisms in PVD TiN-coated steel / L.W. Ma, J.M. Cairney, M.J. Hoffman, P.R. Munroe // Surface & Coating Technology - 2010. - Vol. 204. - p. 1764-1773.

135. Avelar-Batista, J.C. Effect of coating thickness and deposition methods on the stripping rate of Cr-N coatings / J.C. Avelar-Batista, E. Spain, J. Housden, G.G. Fuentes // Surface & Coating Technology - 2005. - Vol. 200. - p. 1842-1848.

136. Fella, R. Preparation and properties of metastable TiC/SiC PVD coatings for wear protection / R. Fella, H. Holleck // Materials Science and Engineering A. -1991. - Vol. 140. - p. 676-681.

137. Holleck, H., 12th International Plansee Seminar-89 / H. Holleck // Proceedings Plansee -1989. - Vol. 3 - p. 1-12

138. Stuber, M. Properties and performance of new metastable Ti-B-C-N hard coatings prepared by magnetron sputtering / M. Stuber, V. Schier, H. Holleck // Surface & Coating Technology - 1995. - Vols. 74-75(2). - p. 833-837.

139. Veprek, S. Conventional and new approaches towards the design of novel superhard materials / S. Veprek // Surface & Coating Technology - 1997. - Vol. 97. - p. 15-22.

140. Johansson, C.H. Röntgenographische Bestimmung der Atomanordnung in den Mischkristallreihen Au-Cu und Pd-Cu / C.H. Johansson, J.O. Linde - Weinheim: WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, - 1925. - 352 p.

141. Koehler, J. Attempt to Design a Strong Solid / J. Koehler // Physical Review B. - 1970. - Vol. 2(2). - p. 547-551.

142. Yashar, P. Structure and mechanical properties of polycrystalline CrN/TiN superlattices / P. Yashar, S.A. Barnett, J. Rechner, W.D. Sproul // Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films - 1998. - Vol. 16(5). - p. 2913-2918.

143. Schuller, I. New Class of Layered Materials / I. Schuller // Physical Review Letters. - 1980. - Vol. 44(24), - p. 1597-1600

144. Barnett, S.A., Physics of Thin Films / S.A. Barnett // eds. M.H. Francombe and J.L. Vossen - New York: Academic Press - 1993. - p. 1-77.

145. Chu, X. Superhard Nanocomposite of Nitride Superlattices by Opposed-Cathod Unbalanced Magnetron Sputtering / X. Chu, M.S. Wong, W.D. Sproul, S.A. Barnett // Nanophase and Nanocomposite Materials Eds. S. Komarneni, J.C. Parker, G.J. Thomas, - Pittsburgh: MRS - 1993. - 527 p.

146. Chu, X. Deposition and properties of polycrystalline TiN/NbN superlattice coatings / X. Chu, M.S. Wong, W.D. Sproul, S.L. Rohde [h gp.]. // Journal of Vacuum Science & Technology A. - 1992. - Vol. 10. - p. 1604-1609.

147. Chu, X. Model of superlattice yield stress and hardness enhancement / X. Chu, S.A. Barnett // Journal of Applied Physics - 1995. - Vol. 77. - p. 4403-4411.

148. Hilz, G. Characterization of microstructure and interfaces in TiC-TiB2 coatings / G. Hilz, H. Holleck // Materials Science and Engineering A - 1991. - Vol. 139. -p. 268-275.

149. Li, D. Synthesis of superhard carbon nitride composite coatings / D. Li, X. Chu, S.-C. Cheng, X.-W. Lin [h gp.]. // Appl. Phys. Letters - 1995. - Vol. 67(3). - p. 203205.

150. Stueber, M. Concepts for the design of advanced nanoscale PVD multilayer protective thin films / M. Stueber, H. Holleck, H. Leiste, K. Seemann [h gp.]. // Journal of Alloys and Compounds. - 2009. - Vol. 483. - p. 321-333.

151. Yashar, P.C. Nanometer scale multilayered hard coatings / P.C. Yashar, W.D. Sproul // Vacuum. - 1999. - Vol. 55. - p. 79-90.

152. Karimi, A. Infuence of oxygen content on structure and properties of multielement AlCrSiON oxynitride thin films / A. Karimi, M. Morstein, T. Cselle // Surface and Coatings Technology. - 2010. - Vol. 204. - p. 2716-2722.

153. Endrino, J.L. Oxidation tuning in AlCrN coatings / J.L. Endrino, G.S. Fox-Rabinovich, A. Reiter, S.V. Veldhuis [h gp.]. // Surface and Coatings Technology. -2007. - Vol. 201. - p. 4505-4511.

154. Schier, V. Breakthrough in PVD coated aluminium oxide / V. Schier, D. Doerwald // Hauzer For You. - 2005. - Vol. 10. - p. 3-4.

155. Barthelma, F. Oxygen-improved hard coatings for high performance cutting processes / F. Barthelma, H. Frank, P. Mahr, S. Reich // Procedia CIRP. - 2012. -Vol. 1. - p. 208-213.

156. Najafi, H. Correlation between an ionic Substitution and structural properties in AlCr(OxNl-x) coatings deposited by Lateral rotating cathode arc PVD / H. Najafi, A. Karimi, P. Dessarzin, M. Morstein // Thin Solid Films - 2011. - Vol. 520.

- p. 1597-1602.

157. Pilkington, A. Machining with AlCr-oxinitride PVD coated cutting tools / A. Pilkington, S.J. Dowey, J.T. Toton, E.D. Doyle // Tribology International. - 2013. -Vol. 65. - p. 303-313.

158. Fox-Rabinovich, G. Evolution of self-organization in nano-structured PVD coatings under extreme tribological condition / G. Fox-Rabinovich, A. Kovalev, M.H. Aguirre, K. Yamamoto // Applied Surface Science. - 2014. - Vol. 297. - p. 22-32.

159. Fox-Rabinovich, G.S. Nano-crystalline filtered arc deposited (FAD) TiAlN PVD coatings for high-speed machining applications / G.S. Fox-Rabinovich, G.C. Weatherly, A.I. Dodonov, A.I. Kovalev, [h gp.]. // Surface & Coatings Technology.

- 2004. - Vols. 177-178. - p. 800-11.

160. Bouzakis, K.-D. Nano-impact test on a TiAlN PVD coating and correlation between experimental and FEM results / K.-D. Bouzakis, S. Gerardis, G. Skordaris, E. Bouzakis // Surface & Coatings Technology. - 2011. - Vol. 206. - p. 1936-1940.

161. Tsai, D-C. Oxidation resistance and structural evolution of (TiVCrZrHf)N coatings / D-C. Tsai, Z.-C. Chang, L.-Y. Kuo, T.-J. Lin, [h gp.]. // Thin Solid Films

- 2013. - Vol. 544. - p. 580-587.

162. Tong, C.J. Mechanical performance of the Alx CoCrCuFeNi high-entropy alloy system with multiprincipal elements / C.J. Tong, M.-R. Chen, S.-K. Chen, J.-W. Yeh [h gp.]. // Metallurgical and Materials Transactions A: Physical Metallurgy and Materials Science - 2005. - Vol. 36(5). - p. 1263-1271.

163. Chen, M.R. Effect of vanadium addition on the microstructure, hardness, and wear resistance of Al0.5 CoCrCuFeNi high-entropy alloy / M.R. Chen, S.-J. Lin, J.W. Yeh, S.-K. Chen [h gp.]. // Metallurgical and Materials Transactions A: Physical Metallurgy and Materials Science - 2006. - Vol. 37(5). - p. 1363-1369.

164. Li, B.S. Effects of Mn, Ti and V on the microstructure and properties of AlCrFeCoNiCu high entropy alloy / B.S. Li, Y.P. Wang, M.X. Ren, C. Yang // Materials Science and Engineering A - 2008. - Vol. 498(1-2). - p. 482-486.

165. Tsai, D.C. Effect of nitrogen flow ratios on the structure and mechanical properties of (TiVCrZrY)N coatings prepared by reactive magnetron sputtering / D.C. Tsai, Y.L. Huang, S.R. Lin, S.C. Liang, [h gp.]. // Applied Surface Science -2010. - Vol. 257(4). - p. 1361-1367.

166. Liang, S.C. Effects of substrate temperature on the structure and mechanical properties of (TiVCrZrHf)N coatings / S.C. Liang, Z.-C. Chang, D.-C. Tsai, Y.-C. Lin [h gp.]. // Applied Surface Science. - 2011. - Vol. 257. - p. 7709-7713.

167. Liang, S.C. Structural and mechanical properties of multi-element (TiVCrZrHf)N coatings by reactive magnetron sputtering / S.C. Liang, D.-C. Tsai, Z.-C. Chang, H.-S. Sung // Applied Surface Science. - 2011. - Vol. 258. - p. 399403.

168. Tsai, D.C. Effects of substrate bias on structure and mechanical properties of (TiVCrZrHf)N coatings / D.C. Tsai, S.-C. Liang, Z.-C. Chang, T.-N. Lin [h gp.].// Surface & Coatings Technology. - 2012. - Vol. 207. - p. 293-299.

169. Chang, S.Y. Mechanical properties, deformation behaviors and interface adhesion of (AlCrTaTiZr)Nx multi-component coatings / S.Y. Chang, S.Y. Lin, Y.C. Huang, C.L. Wu [h gp.]. // Surface & Coatings Technology. - 2010. - Vol. 204. - p. 3307-3314.

170. Lai, C.H. Preparation and characterization of AlCrTaTiZr multi-element nitride coatings / C.H. Lai, S.J. Lin, J.W. Yeh, S.Y. Chang // Surface & Coatings Technology. - 2006. - Vol. 201. - p. 3275-3280.

171. Chang, K-S. Growth (AlCrNbSiTiV)N thin films on the interrupted turning and properties using DCMS and HIPIMS system / K-S. Chang, K-T. Chen, C-Y. Hsu, P-D. Hong [h gp.]. // Applied Surface Science. - 2018, - Vol. 440. - p. 1-7

172. Liang, S.C. Thermally stable TiVCrZrHf nitride films as diffusion barriers in copper metallization / S.C. Liang, D.-C. Tsai, Z.-C. Chang, T.-N. Lin [h gp.]. // Electrochemical and Solid-State Letters - 2012. - Vol. 15(1). - p. H5-H8

173. Beresnev, V.M. Effect of High-Entropy Components of Nitride Layers on Nitrogen Content and Hardness of (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N Vacuum-Arc Multilayer Coatings / V.M. Beresnev, O.V. Sobol, S.V. Lytovchenko, U.S. Nyemchenko [h gp.]. // Journal of Nano- and Electronic Physics. - 2016. - Vol. 8(2).

- 02057-1-02057-4

174. Sergeev, V.P. Effect of Nanocomposite Coatings on the Basis of FeCrNi Nitrides on Tribotechnical Properties of MetalPolymeric of Friction Pair "Steel 38XH3MOA - Polyamide nA66" / V.P. Sergeev, M.V. Fedorischeva, F.R. Sungatulin, A.D. Korotaev [h gp.]. // - Tomsk: 9th CMM PROCEEDINGS. - 2008.

175. Pribytkov, G.A. Nanostructured Titanium Nitride Coatings Produced by Arc Sputtering of Composite Cathodes. I. Cathodes Structure, Phase Composition and Sputtering Peculiaritie / G.A. Pribytkov, E.N. Korosteleva, S.G. Psakhie, I.M. Goncharenko // - Tomsk: 13th International Symposium on High Current Electronics. - 2004. - p. 163-166

176. Zhu, Y. Microstructure formation and evolution mechanism of Cu-Ti coating during dual-magnetron sputtering and thermo plasma nitriding / Y. Zhu, M.F. Yan, Y. Zhang, Y. Yang // Vacuum - 2016. - Vol. 134. - p. 25-28.

177. Ivanov, Yu.F. Superhard nanocrystalline Ti-Cu-N coatings deposited by vacuum arc evaporation of a sintered cathode / Yu.F. Ivanov, N.N. Koval, O.V. Krysina, T. Baumbach [h gp.]. // Surface and Coatings Technology - 2012. - Vol. 207. - p. 430-434.

178. Du, J. Erosion-resistant PVD ZrAlCuN coating for titanium alloy / J. Du, P. Zhang, J.J. Zhao, Z.H. Cai // Advanced Materials Research - 2010. - Vols. 150-151.

- p. 51-55.

179. Kravchenko, Y. Corrosion resistance and antifriction properties of nitride multilayered coatings on the basis of V and Ta / Y. Kravchenko, J. Partyka, O.V. Bondar, B. Zhollibekov // Proceedings of the 6th International Conference Nanomaterials: Applications and Properties, NAP - 2016. - 7757221.

180. Vasyliev, V.V. Durability of the multicomponent nitride coatings based on TiN and (Ti,Al)N deposited by PIII&D method / V.V. Vasyliev, V. Goltvyanitsa, S.K. Goltvyanytsya, A.A. Luchaninov [и др.]. // Problems of Atomic Science and Technology - 2015. - Vol. 96(2). - p. 130-138.

181. Liu, X. The combined effects of Cu and Ag on the nanostructure and mechanical properties of CrCuAgN PVD coatings / X. Liu, J. Kavanagh, A. Matthews, A. Leyland // Surface and Coatings Technology - 2015. - Vol. 284. - p. 101-111

182. Латтес, Р. Метод квазиобращения и его приложения / Р. Латтес, Ж.-Л. Лионе - Москва: Мир. - 1970. - 336 с.

183. Тихонов, А.Н. Методы решения некорректных задач / А.Н. Тихонов, В.Я. Арсенин - Москва: Наука. - 1979. -283 с.

184. Жилин, В.А. Субатомный механизм износа режущего инструмента. / В.А. Жилин - Ростов: Издательство Ростовского университета -1973 -168 с.

185. Cantor, B. Microstructural development in equiatomic multicomponent alloys / B. Cantor, I.T.H. Chang, P. Knight, A.J.B. Vincent // Materials Science and Engineering A - 2004. - Vols. 375-377(1-2 SPEC. ISS.). - p. 213-218.

186. Hume-Rothery, W. The liquid state of the elements / W. Hume-Rothery // Journal of Physical Chemistry - 1940. - Vol. 44(5). - p. 824-825.

187. Mann, J.B. Configuration energies of the main group elements / J.B. Mann, T.L. Meek, L.C. Allen // Journal of the American Chemical Society - 2000. - Vol. 122(12). - p. 2780-2783.

188. Poletti, M.G. Electronic and thermodynamic criteria for the occurrence of high entropy alloys in metallic systems / M.G. Poletti, L. Battezzati // Acta Materialia -2014. - Vol. 75. - p. 297-306.

189. Huang, R. Loss of constraint on fracture in thin film structures due to creep / R. Huang, J.H. Prevost, Z. Suo // Acta Materialia - 2002. - Vol. 50. - p. 4137-4148.

190. Александров, А.В. Основы теории упругости и пластичности / А.В. Александров, В.Д. Потапов - Москва: Высшая школа - 1990. - 224 с.

191. Майстренко, А.Л. Прогнозирование износостойкости хрупких материалов по твердости и трещиностойкости / А.Л. Майстренко, С.Н. Дуб // Заводская лаборатория. - 1991. - № 2. - С. 52-54

192. Новиков, Н.В. Методы микроиспытаний на трещиностойкость / Н.В. Новиков, С.Н. Дуб, С.И. Булычов // Заводская лаборатория. - 1987. - № 7. - С. 60-67.

193. Миссол, В. Поверхностная энергия раздела фаз в металлах / В. Миссол. -Москва: Металлургия, - 1978. - 176 с.

194. Андрюшечкин, С.Е. Определение свободной энергии удельной поверхностной энергии покрытий на основе сплавов внедрения ряда переходных металлов / С. Е. Андрюшечкин, М. Г. Карпман // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - № 4. - Т. 65. - С. 37-39.

195. Гусев, А.И. Нанокристаллические материалы: Методы получения и свойства / А. И. Гусев. - Екатеринбург: УрО РАН, - 1998. - 115 с.

196. Saunders, N. CALPHAD: A Comprehensive Guide / N. Saunders, A.P. Miodownik // in: R.W. Cahn (Ed.), Oxford: Pergamon Materials Series -1998/2005. - 497 p.

197. Chang, Y.A. Phase diagram calculation: Past, present and future / Y.A. Chang, S. Chen, F. Zhang, X. Yan [и др.]. // Progress in Materials Science - 2004. - Vol. 49(3-4). - p. 313-345.

198. Zhang, F. An understanding of high entropy alloys from phase diagram calculations / F. Zhang, C. Zhang, S.L. Chen, J. Zhu // CALPHAD: Computer Coupling of Phase Diagrams and Thermochemistry - 2014. - Vol. 45. - p. 1-10.

199. Johnson, K.L., Contac Mechanics / K.L. Johnson - Cambridge: Cambridge University press, - 1985. - 452 p.

200. Матвиенко, Ю.Г. Модели и критерии механики разрушения / Ю.Г. Матвиенко - Москва: Физматлит - 2006. - 328 с.

201. Anderson, T.L. Fracture mechanics: Fundamentals and applications / T.L. Anderson - New York: CRC Press LLC - 1995. - 630 p.

202. Hertzberg, R.W. Deformation and fracture mechanics of engineering materials / R.W. Hertzberg - New York: John Wiley & Sons. - 1996. - 605 p.

203. Broberg, K.B. Cracks and Fracture / K.B. Broberg - San Diego: Academic Press, - 1999. - 752 p

204. Suresh, S. Fatigue of Materials / S. Suresh - Cambridge: Cambridge University Press. - 2004. - 701 p.

205. Gent, A.N. Strength of Elastomers / A.N. Gent, W.V. Mars // In: J.E. Mark, B. Erman and M. Roland (Editors), The Science and Technology of Rubber - Boston: Academic Press, - 2013. - p. 473-516

206. Paris, P. A rational analytic theory of fatigue / P. Paris, M. Gomez, W. Anderson // The Trend in Engineering - 1961. - Vol. 13. - p. 9-14.

207. Rans, C.D. Misinterpreting the results: how similitude can improve our understanding of fatigue delamination growth / C.D. Rans, R.C. Alderliesten, R. Benedictus // Compos Sci Technol - 2011. - Vol. 71. - p. 230-238.

208. Pascoe, J.A. Fatigue Disbonding of Bonded Repairs - An Application of the Strain Energy Approach / J.A. Pascoe, C.D. Rans, R.C. Alderliesten, R. Benedictus // 27th ICAF Symposium, Jerusalem - 2013. - p. 877-895

209. Pascoe, J.A. Characterizing fatigue delamination growth behavior using specimens with multiple delaminations: The effect of unequal delamination lengths / J.A. Pascoe, C.D. Rans, R. Benedictus // Engineering Fracture Mechanics - 2013. - Vol. 109. - p. 150-160.

210. Bannister, M. Toughening in brittle systems by ductile bridging ligaments / M. Bannister, H. Shercliff, G. Bao, F. Zok [и др.]. // Acta Metall, Mater. - 1992. - Vol. 40(7). - p. 1531-1537.

211. Suresh, S. Fatigue of Materials / S. Suresh - Cambridge: Cambridge University Press. - 2004. - 701 p.

212. Faber, K.T. Crack deflection processes - I. Theory / K.T. Faber, A.G. Evans // Acta Metall - 1983. - Vol. 31(4). - p. 565-576.

213. Dauskardt, R.H. Adhesion and debonding of multi-layer thin film structures / R.H. Dauskardt, M. Lane, Q. Mab, N. Krishna // Engineering Fracture Mechanics -1998. - Vol. 61. - p.141-162.

214. Kumar, S. Crack interaction with microstructure / S. Kumar, W.A. Curtin // Materials Today. - 2007. - Vol. 10(9), - p. 34-44.

215. Ghafouri-Azar, R. A stochastic model to simulate the formation of a thermal spray coating / R. Ghafouri-Azar, J. Mostaghimi, S. Chandra, M. Charmchi // Journal of Thermal Spray Technology - 2003. - Vol. 12(1). - p. 53-69.

216. Grujicic, M. Multi-length scale modeling of chemical vapor deposition of titanium nitride coatings / M. Grujicic, S.G. Lai // Journal of Materials Science -2001. - Vol. 36(12). - p. 2937-2953.

217. Birdsall, C.K. Particle-in-Cell Charged-Particle Simulations, Plus Monte Carlo Collisions with Neutral Atoms, PIC-MCC / C.K. Birdsall // IEEE Transactions on Plasma Science. - 1991. - Vol. 19 (2). - p. 65-85.

218. Kwok, D.T.K. Numerical simulation of metal plasma immersion ion implantation (MePIIID) on a sharp cone and a fine tip by a multiple-grid particle-in-cell (PIC) method / D.T.K. Kwok, C. Cornet // IEEE Transactions on Plasma Science

- 2006. - Vol. 34. - p. 2434-2442.

219. Bultinck, E. Particle-in-cell/monte carlo collisions treatment of an Ar/O2 magnetron discharge used for the reactive sputter deposition of TiOx films / E. Bultinck, A. Bogaerts // New Journal of Physics - 2009. - Vol. 11. - 103010.

220. Siemers, M. Model based investigation of Ar+ ion damage in DC magnetron sputtering / M. Siemers, A. Pflug, T. Melzig, K. Gehrke, [h gp.]. // Surface and Coatings Technology. - 2014. - Vol. 241. - p. 50-53.

221. Cansizoglu, H. Investigation of physical vapor deposition techniques of conformal shell coating for core/shell structures by Monte Carlo simulations / H. Cansizoglu, M. Yurukcu, M.F. Cansizoglu, T. Karabacak // Thin Solid Films - 2015.

- Vol. 583(1). - p. 122-128.

222. Fancey, K.S. A coating thickness uniformity model for physical vapour deposition systems: overview / K.S. Fancey // Surface and Coatings Technology -1995. - Vol. 71. - p. 16-29.

223. Fancey, K.S. A coating thickness uniformity model for physical vapour deposition systems: further analysis and development / K.S. Fancey // Surface and Coatings Technology -1998. - Vol. 105. - p. 76-83.

224. Fuke, I. Computational model for predicting coating thickness in electron beam physical vapor deposition / I. Fuke, V. Prabhu, S. Baek // J. Manuf. Process. - 2005.

- Vol. 7. - p. 140-152.

225. James, A.S. A simple model for the prediction of coating thickness uniformity from limited measured data / A.S. James, A. Matthews // Surface and Coatings Technology - 1993. - Vol. 61. - p. 282-286.

226. de Matos Loureiro da Silva Pereira, V.E. Modelling the EB-PVD thermal barrier coating process: Component clusters and shadow masks / V.E. de Matos Loureiro da Silva Pereira, J.R. Nicholls, R. Newton // Surface and Coatings Technology - 2017. - Vol. 311. - p. 307-313.

227. Baek, S. Technical paper: Simulation model for an EB-PVD coating structure using the level set method / S. Baek, V. Prabhu // Journal of Manufacturing Processes

- 2009. - Vol. 11(1). - p. 1-7.

228. Frenkel, D. Understanding molecular simulation / D. Frenkel, B. Smit - San Diego; San Francisco; New York; Boston; London; Tokio: Academic Press, - 2002.

- 638 p.

229. Moarrefzadeh, A. Simulation and modeling of physical vapor deposition (PVD) process / A. Moarrefzadeh // WSEAS Transactions on Applied and Theoretical Mechanics. - 2012. - Vol. 7(2). - p. 106-111.

230. Westkamper, E. A contribution of Molecular Dynamics simulation to sophisticated engineering of coating processes applied to PVD DC sputter deposition / E. Westkamper, P. Klein, B. Gottwald, S. Sommadossi, [h gp.]. // Surface and Coatings Technology - 2005. - Vol. 200 (1-4 SPEC. ISS.). - p. 872-875.

231. Аксенова, Е.В. Вычислительные методы исследования молекулярной динамики / Е.В. Аксенова, М.С. Кшевецкий - СПб.: СПбГУ. - 2009. - 50 с.

232. Pflug, A. Simulation of linear magnetron discharges in 2D and 3D / A. Pflug, M. Siemers, T. Melzig, L. Schäfer [и др.]. // Surface & Coatings Technology. - 2014.

- Vol. 260. - p. 411-416.

233. Liu, M.-J. Transport and deposition behaviors of vapor coating materials in plasma spray-physical vapor deposition / M.-J. Liu, M. Zhang, X.-F. Zhang, G.-R. Li [и др.]. // Applied Surface Science - 2019. - Vol. 486. - p. 80-92

234. Yoshiya, M. Computer simulation of nano-pore formation in EB-PVD thermal barrier coatings / M. Yoshiya, K. Wada, B.K. Jang, H. Matsubara // Surface and Coatings Technology - 2004. - Vol. 187(2-3). - p. 399-407.

235. Gidalevich, E. Modeling of nonstationary vacuum arc plasma jet interaction with a neutral background gas / E. Gidalevich, S. Goldsmith, R. Boxman // Journal of Applied Physics. - 2001. - Vol. 90. - p. 4355-4360.

236. Kubecka, M. Predictive simulation of antenna effect in PVD processes using fluid models / M. Kubecka, A. Obrusnik, P. Zikan, M. Jilekjr [и др.]. // Surface and Coatings Technology - 2019. - Vol. 379. - 125045.

237. Pinto, G. Numerical simulation applied to PVD reactors: An overview / G. Pinto, F. Silva, J. Porteiro, J. Miguez [и др.]. // Coatings - 2018. - Vol. 8(11). - 410.

238. Zhang, X.F. Gas-deposition mechanisms of 7YSZ coating based on plasma spray-physical vapor deposition / X.F. Zhang, K.S. Zhou, C.M. Deng, M. Liu, [и др.]. // Journal of the European Ceramic Society - 2016. - Vol. 36(3). - p. 697-703.

239. Li, J. Super-Hydrophobic Surface Prepared by Lanthanide Oxide Ceramic Deposition Through PS-PVD Process / J. Li, C.-X. Li, Q.-Y. Chen, J.-T. Gao [и др.]. // Journal of Thermal Spray Technology - 2017. - Vol. 26(3). - p. 398-408.

240. Hass, D.D. Pore evolution during high pressure atomic vapor deposition / D.D. Hass, Y.Y. Yang, H.N.G. Wadley // Journal of Porous Materials - 2010. - Vol. 17(1).

- p. 27-38.

241 Чигарев, А.В. Стохастическая и регулярная динамика неоднородных сред / А.В. Чигарев - Минск: Технопринт. - 2000. - 426 с.

242. Браунли, К.А. Статистическая теория и методология в науке и технике / К.А. Браунли - Москва: Наука, - 1977. - 408 с.

243. Vereschaka, A. Convection-diffusion model for the synthesis of PVD coatings and the influence of nanolayer parameters on the formation of fractal and hierarchical structures / A. Vereschaka, S. Grigoriev, A. Chigarev, F. Milovich [и др.]. // Coatings. - 2020. - Vol. 10(10), - p. 1-15, 927

244 Чигарев, А.В. Ползучесть и релаксация вследствие накопления повреждений / А.В. Чигарев, С.Г. Дрозд // Весщ АН РБ, сер. фiз. -тэхн., -1995. - №4. - c. 57-62.

245. Levy, P. Processus stochastiques et mouvement brownien / P. Lëvу - Paris: Gauthier-Villars, - 1965. - 433p.

246 Смолуховский, М. Границы справедливости второго начала термодинамики / М. Смолуховский // УФН. - 1967. - Т. 93, вып. 12.

247. Vereschaka, A. Development of a model of crack propagation in multilayer hard coatings under conditions of stochastic force impact / Vereschaka, S. Grigoriev, A. Chigarev, F. Milovich [и др.]. // Materials. - 2021. - Vol.14(2). - p. 1-20, 260.

248. Верещака, А.А. Теоретическое обоснование выбора рациональной архитектуры и элементного состава многослойно-композиционных износостойких покрытий / А.А. Верещака, С.Н. Григорьев // - Москва: ФГБОУ ВПО МГТУ «СТАНКИН». - 2020. - 141 с.

249. Kirkpatrick, S. Percolation and Conduction / S. Kirkpatrick // Reviews of Modern Physics. - 1973. - Vol. 45(4). - p. 574-588.

250. Stauffer, D. Scaling theory of percolation clusters / D. Stauffer // Physics Reports - 1979. - Vol. 54(1). - p. 1-74.

251. Amor, S.B. Percolation theory / S.B. Amor, T.D. Huy, M. Bui // 4th EUROCONTROL Innovative Research Workshop and Exhibition: Envisioning the Future - 2005. - p. 73-80.

252. Boccaletti, S. Complex networks: Structure and dynamics / S. Boccaletti, V. Latora, Y. Moreno, M. Chavez [и др.]. // Physics Reports - 2006. - Vol. 424. - p. 175-308.

253. Cox, D.R. Renewal theory / D.R. Cox - London: Methuen. - 1967. - 151 p.

254. Balakrishnan, V. Two-state random walk model of lattice diffusion. 1. Self-correlation function / V. Balakrishnan, G. Venkataraman // Pramana - Journal of Physics. - 1981. - Vol. 16. - p. 109-130.

255. Rabiner, L.R. A Tutorial on Hidden Markov Models and Selected Applications in Speech Recognition / L.R. Rabiner // Proceedings of the IEEE. - 1989. - Vol. 77(2). - p. 257-286.

256. Betten, J. The classical plastic potential theory in comparison with the tensor function theory / J. Betten // Engineering Fracture Mechanics. - 1985. - Vol. 21(4).

- p. 641-652.

257. Ilja Siepmann, J. Conflgurational bias Monte Carlo: A new sampling scheme for flexible chains / J. Ilja Siepmann, D. Frenkel // Molecular Physics. - 1992. - Vol. 75(1). - p. 59-70.

258. Turnbull, A. Modelling of environment assisted cracking / A. Turnbull // Corrosion Science. - 1993. - Vol. 34(6). - p. 921-960.

259. Horibe, S. Cyclic fatigue of ceramic materials: Influence of crack path and fatigue mechanisms / S. Horibe, R. Hirahara // Acta Metallurgica Et Materialia. -1991. - Vol. 39(6). - p. 1309-1317.

260. Ling, D.S. Nonlinear fracture analysis of delamination crack jumps in laminated composites / D.S. Ling, X.J. Fang, B.N. Cox, Q.D. Yang // Journal of Aerospace Engineering. - 2011. - Vol. 24(2). - p. 181-188.

261. Arafin, M.A. A Markov Chain-Monte Carlo model for intergranular stress corrosion crack propagation in polycrystalline materials / M.A. Arafin, J.A. Szpunar // Materials Science and Engineering A, - 2009. - Vols. 513-514(C). - p. 254-266.

262. Cayley, A. A theorem on trees / A. Cayley // Quart. J. Math - 1889. - Vol. 23.

- p. 376-378.

263. Fisher, M.E. Some cluster size and percolation problems / M.E. Fisher, J.W. Essam // Journal of Mathematical Physics. - 1961. - Vol. 2 (4). - p. 609-619.

264. Meakin, P. A simple model for elastic fracture in thin films / P. Meakin // Thin Solid Films. - 1987. - Vol. 151. - p. 165-190.

265. Вильдеманн, В.Э. Механика неупругого деформирования и разрушения композиционных материалов / В.Э. Вильдеманн, Ю.В. Соколкин, А.А. Ташкинов - Москва: Наука. Физматлит. - 1997. - 288 с.

266. Шемякин, Е.И. О свободном разрушении твердых тел / Е.И. Шемякин // ДАН. - 1998. - том 300. - №5. - с. 1090-1094.

267. Свешников, А.А. Прикладные методы теории случайных функций / А.А. Свешников - Москва: Наука. - 1968. - 464 с.

268. Zhang, S. Recent advances of superhard nanocomposite coatings: a review / S. Zhang, D. Sun, Y. Fu, H. Du // Surface and Coatings Technology - 2003. - Vol. 167.

- p. 113-119.

269. Petch, N.J. The Cleavage Strength of Polycrystals / N.J. Petch // J. Iron Steel Inst. London. -1953. - Vol. 173. - p. 25-28.

270. Schi0tz, J. Proceeding of the 22nd Riso International Symposium on Materials Science, Roskilde, Denmark / J. Schi0tz - 2001. - p. 127.

271. Schi0tz, J. Atomic-scale simulations of the mechanical deformation of nanocrystalline metals / J. Schi0tz, T. Vegge, F.D. Di Tolla, K.W. Jacobsen // Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics - 1999. - Vol. 60(17).

- p. 11971-11983.

272. Henk, H. In: Proceedings, Euro PM 99 European Conference on Advances in Hard Materials Production, Turin, Italy / H. Henk, A.H. Westphal - 1999.

273. Callister, W.D. Materials Science and Engineering: An Introduction / W.D. Callister, D.G. Rethwisch - Hoboken: John Wiley & Sons, Inc., - 2014. - XXIV, -962 p.

274. Gryaznov, V.G. The peculiarities of initial stages of deformation in nanocrystalline materials (NCMs) / V.G. Gryaznov, V.A. Solov'ev, L.I. Trusov // Scripta Metallurgica et Materiala - 1990. - Vol. 24(8). - 1529-1534.

275. Voevodin, A.A. Supertough wear-resistant coatings with 'chameleon' surface adaptation / A.A. Voevodin, J.S. Zabinski // Thin Solid Films - 2000. - Vol. 370. -p. 223-231.

276. Schi0tz, J. Softening of nanocrystalline metals at very small grain sizes / J. Schi0tz, F.D. Di Tolla, K.W. Jacobsen // Nature - 1998. - Vol. 391(6667). - p. 561563.

277. Rogstrom, L. Thermal stability and mechanical properties of arc evaporated ZrN/ZrAlN multilayers / L. Rogstrom, L.J.S. Johnson, M.P. Johansson, M. Ahlgren, [h gp.]. // Thin Solid Films - 2010. - Vol. 519. - p. 694-699.

278. Dong, Y. Superhard Nb-Si-N composite films synthesized by reactive magnetron sputtering / Y. Dong, Y. Liu, J. Dai, G. Li // Applied Surface Science. -2006. - Vol. 252. - p. 5215-5219.

279. Saladukhin, I.A. Thermal stability and oxidation resistance of ZrSiN nanocomposite and ZrN/SiNx multilayered coatings: A comparative study / I.A. Saladukhin, G. Abadias, V.V. Uglov, S.V. Zlotski [h gp.]. // Surface & Coatings Technology - 2017. - Vol. 332. - p. 428-439.

280. Ge, F. Tribological behaviors of a magnetron sputtered CrSiN coating under ambient air and wet environments / F. Ge, T. Shao, C. Jia, P. Li, [h gp.]. // Surface & Coatings Technology - 2017. - Vol. 332. - p. 304-311.

281. Gao, F. Influence of hysteresis effect on properties of reactively sputtered TiAlSiN films / F. Gao, G. Li, Y. Xia // Applied Surface Science - 2018. - Vol. 431.

- p. 160-164.

282. Lee, D.B. Oxidation of ZrAlSiN nano-multilayered thin films between 400 and 600 °C / D.B. Lee, S.K. Kim // Surface & Coatings Technology - 2014. - Vol. 259.

- p. 68-70.

283. Chang, C.-C. Duplex coating technique to improve the adhesion and tribological properties of CrAlSiN nanocomposite coating / C.-C. Chang, J.-G. Duh // Surface & Coatings Technology - 2017. - Vol. 326. - p. 375-381.

284. Navinsek, B. Oxidation resistance of PVD Cr, Cr-N and Cr-N-O hard coatings / B. Navinsek, P. Panjan // Surface and Coatings Technology. - 1993. - Vol. 59. -p.244-248

285. Талантов, Н.В. Физические основы процесса резания, изнашивания и разрушения инструмента / Н.В. Талантов - Москва: Машиностроение, - 1992.

- 240 с

286. Краткий справочник физико -химических величин / под редакцией К.П. Мищенко и А.А. Равделя, -Л.: Химия, - 1974. - 200 с.

287. Термические константы веществ / Под ред. В.П. Глушко, - Москва: ВИНИТИ. -1965-1981. - Вып. 1-Х.

288. Baudelet, B. Microstructure and mechanical properties of ultrafine-grained materials. Mechanical and corrosion properties. Series A / / B. Baudelet, J. Languillaume, G. Kapelski // Key engineering materials - 1994. - Vols. 97-98. - p. 125-140.

289. Kawasaki, M. Principles of superplasticity in ultrafine - grained materials / M. Kawasaki, T.G. Langdon // Journal of Materials Science - 2007. - Vol. 42(5)

- p. 1782-1796.

290. Sauvage, X. Grain boundaries in ultrafine grained materials processed by severe plastic deformation and related phenomena / X. Sauvage, G. Wilde, S.V. Divinski, Z. Horita [и др.]. // Materials Science and Engineering A - 2012. - Vol. 540. - p. 1-12.

291. Langdon, T.G. Ultrafine-grained materials: A personal perspective / T.G. Langdon // Zeitschrift fuer Metallkunde/Materials Research and Advanced Techniques - 2007. - Vol. 98(4). - p. 251-254.

292. Islamgaliev, R.K. Non-equilibrium grain boundaries in ultrafine-grained materials processed by severe plastic deformation / R.K. Islamgaliev, R.Z. Valiev // Materials Science Forum - 1999. - Vol. 294-296. - p. 361-364.

293. Верещака, А.А. Повышение режущих свойств твердосплавного инструмента путём рационального выбора состава, структуры и свойств наноразмерных износостойких комплексов. Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Москва - 2010. - 254 c.

294. Самсонов, Г.В. Конфигурационная локализация электронов в твердом теле / Г.В. Самсонов, В.И. Кофтун - Киев: Наукова думка, - 1978. - 438 с.

295. Фадеев, В.С. Научные основы разработки и получения слоистых композиционных материалов на поверхности твердых сплавов и оксидной керамики для повышения работоспособности режущего инструмента. Диссертация на соискание учёной степени доктора технических наук. Якутск

- 2005. - 395 с.

296. Верхотуров, А.Д. Научные основы разработки и получение слоистых материалов на поверхности твердых сплавов / А.Д. Верхотуров, А.В. Козырь, Л.А. Коневцов; под ред. д.т.н. А.Д. Плутенко. - Владивосток: Дальнаука, -2016. - 475 с.

297. Верещака, А.С. Многослойные наноструктурированные покрытия для режущего инструмента / А.С. Верещака, А.А. Верещака, Г.Ю. Савушкин, А.С. Сивенков // Перспективные материалы. - 2014. - № 5 - с. 39-48.

298. Лоладзе, Т.Н. Износ режущего инструмента / Т.Н. Лоладзе - Москва: Государственное научно-техническое издательство машиностроительной литературы. - 1958. - 355 с.

299. Yeh, J.W. Nanostructured high-entropy alloys with multiple principal elements: Novel alloy design concepts and outcomes / J.W. Yeh, S.-K. Chen, S.-J. Lin, J.-Y. Gan // Advanced Engineering Materials - 2004. - Vol. 6(5). - p. 299-303.

300. Kaufman, L. Computer Calculation of Phase Diagrams / L. Kaufman - New York: Academic Press, - 1970. - 334 p.

301. Cunliffe, A. Glass formation in a high entropy alloy system by design / A. Cunliffe, J. Plummer, I. Figueroa, I. Todd // Intermetallics - 2012. - Vol. 23. - p. 204-207.

302. Yang, X. Prediction of high-entropy stabilized solid-solution in multi-component alloys / X. Yang, Y. Zhang // Materials Chemistry and Physics - 2012.

- Vol. 132(2-3). - 233238.

303. Takeuchi, A. Alloy designs of high-entropy crystalline and bulk glassy alloys by evaluating mixing enthalpy and delta parameter for quinary to decimal equi-atomic alloys / A. Takeuchi, K. Amiya, T. Wada, K. Yubuta // Materials Transactions

- 2014. - Vol. 55(1). - p. 165-170.

304. Otto, F. Relative effects of enthalpy and entropy on the phase stability of equiatomic high-entropy alloys / F. Otto, Y. Yang, H. Bei, E.P. George // Acta Materialia - 2013. - Vol. 61(7). - p. 2628-2638.

305. Teatum, E. Compilation of calculated data useful in predicting metallurgical behaviour of the elements in binary alloy systems / E. Teatum, K. Gschneidner, J. Waber // Los Alamos: Los Alamos Scientific Laboratory, LA-2345 - 1960.

306. Guo, S. Phase stability in high entropy alloys: Formation of solid-solution phase or amorphous phase / S. Guo, C.T. Liu // Progress in Natural Science: Materials International - 2011. - Vol. 21(6). - p. 433-446.

307. Скрипов, В.П. Спинодальный распад (Фазовый переход с участием неустойчивых состояний) / В. П. Скрипов, А. В. Скрипов // Успехи Физических Наук - 1979. - Том. 128. - c.193-231.

308. Xu, Y.X. Thermal stability and oxidation resistance of sputtered Ti-Al-Cr-N hard coatings / Y.X. Xu, H. Riedl, D. Holec, L. Chen, [и др.]. // Surface & Coatings Technology - 2017. - Vol. 324. - p. 48-56.

309. Ezura, H. Micro-hardness, microstructures and thermal stability of (Ti,Cr,Al,Si)N films deposited by cathodic arc method / H. Ezura, K. Ichijo, H. Hasegawa, K. Yamamoto [и др.]. // Vacuum - 2008. - Vol. 82. - p. 476-481.

310. Ichijo, K. Microstructures of (Ti,Cr,Al,Si)N films synthesized by cathodic arc method / K. Ichijo, H. Hasegawa, T. Suzuki // Surface & Coatings Technology -2007. - Vol. 201. - p. 5477-5480.

311. Zhang, J. Effects of bias voltage on the microstructure and mechanical properties of (Ti,Al,Cr)N hard films with N-gradient distributions / J. Zhang, H. Lv, G. Cui, Z. Jing [и др.]. // Thin Solid Films - 2011. - Vol. 519. - p. 4818-4823.

312. Jung, D.H. Influence of ternary elements (X=Si,B,Cr) on TiAlN coating deposited by magnetron sputtering process with single alloying targets / D.H. Jung, K.I. Moon, S.Y. Shin, C.S. Lee // Thin Solid Films - 2013. - Vol. 546. - p. 242-245.

313. Kuo, Y.-C. The microstructure and mechanical properties evaluation of CrTiAlSiN coatings: Effects of silicon content / Y.-C. Kuo, C.-J. Wang, J.-W. Lee // Thin Solid Films - 2017. - Vol. 638. - p. 220-229.

314. Yamamoto, K. Properties of (Ti,Cr,Al)N coatings with high Al content deposited by new plasma enhanced arc-cathode / K. Yamamoto, T. Sato, K. Takahara, K. Hanaguri // Surface and Coatings Technology - 2003. - Vols. 174175. - p. 620-626.

315. Yamamoto, T. Effects of thermal annealing on phase transformation and microhardness of (TixCryAlz)N films / T. Yamamoto, H. Hasegawa, T. Suzuki, K. Yamamoto // Surface & Coatings Technology - 2005. - Vol. 200. - p. 321-325.

316. Hasegawa, H. The effects of deposition temperature and post-annealing on the crystal structure and mechanical property of TiCrAlN films with high Al contents / H. Hasegawa, T. Yamamoto, T. Suzuki, K. Yamamoto // Surface & Coatings Technology - 2006. - Vol. 200. - p. 2864-2869.

317. Yamamoto, K. Effect of alloying element (Si,Y) on properties of AIP deposited (Ti,Cr,Al)N coating / K. Yamamoto, S. Kujime, G. Fox-Rabinovich // Surface & Coatings Technology - 2008. - Vol. 203. - p. 579-583.

318. Fernandes, F. Tribological and cutting performance of TiAlCrN films with different Cr contents deposited with multilayered structure / F. Fernandes, M. Danek, T. Polcar, A. Cavaleiro // Tribology International - 2018. - Vol. 119. - p. 345-353.

319. Tam, P.L. Structural, mechanical, and tribological studies of Cr-Ti-Al-N coating with different chemical compositions / P.L. Tam, Z.F. Zhou, P.W. Shum, K.Y. Li // Thin Solid Films - 2008. - Vol. 516. - p. 5725-5731.

320. Wang, Q. Evaluating mechanical properties and crack resistance of CrN,CrTiN, CrAlN and CrTiAlN coatings by nanoindentation and scratch tests / Q. Wang, F. Zhou, J. Yan // Surface & Coatings Technology - 2016. - Vol. 285. - p. 203-213.

321. Chang, Y.-Y. High temperature oxidation resistance of multilayered AlxTi 1 -xN/CrN coatings / Y.-Y. Chang, C.-P. Chang, H.-Y. Kao // Thin Solid Films - 2011. - Vol. 519. - p. 6716-6720.

322. Yang, B. Synthesis and characterization of AlTiSiN/CrSiN multilayer coatings by cathodic arc ion-plating / B. Yang, C.X. Tian, Q. Wan, S.J. Yan [h gp.]. // Applied Surface Science - 2014. - Vol. 314. - p. 581-585.

323. Fukumoto, N. Effects of bilayer thickness and post-deposition annealing on the mechanical and structural properties of (Ti,Cr,Al)N/(Al,Si)N multilayer coatings / N. Fukumoto, H. Ezura, K. Yamamoto, A. Hotta [и др.]. // Surface & Coatings Technology - 2009. - Vol. 203. - p. 1343-1348.

324. Chang, Y.-Y. High temperature oxidation resistance of multicomponent Cr -Ti-Al-Si-N coatings / Y.-Y. Chang, C.-Y. Hsiao // Surface & Coatings Technology - 2009. - Vol. 204. - p. 992-996.

325. Zhang, S. A superhard CrAlSiN superlattice coating deposited by multi-arc ion plating: I. Microstructure and mechanical properties / S. Zhang, L. Wang, Q. Wang, M. Li // Surface & Coatings Technology - 2013. - Vol. 214. - p. 160-167.

326 Nguyen, T.D. High-temperature oxidation of nano-multilayered TiAlCrSiN thin films in air / T.D. Nguyen, S.K. Kim, D.B. Lee // Surface & Coatings Technology -2009. - Vol. 204. - p. 697-704.

327. Choi, P.-P. Thermal stability of TiAIN/CrN multilayer coatings studied by atom probe tomography / P.-P. Choi, I. Povstugar, J.-P. Ahn, A. Kostka, [и др.]. // Ultramicroscopy. - 2011. - Vol. 111(6). - p. 518-523.

328. Povstugar, I. Interface-directed spinodal decomposition in TiAlN/CrN multilayer hard coatings studied by atom probe tomography / I. Povstugar, P.-P. Choi, D. Tytko, J.-P. Ahn [и др.]. // Acta Materialia - 2013. - Vol. 61. - p. 75347542.

329. Barshilia, H. Structure, hardness and thermal stability of TiAlN and nanolayered TiAlN/CrN multilayer films / H. Barshilia, M. Surya Prakash, Anjana Jain, K.S. Rajam // Vacuum - 2005. - Vol. 77. - p. 169-179

330. Vereschaka, A.A. Development of modifying compounds for multilayer nanostructured coatings for cutting tools / A.A. Vereschaka, A.D.L. Batako, A.S. Vereschaka, A.I. Dodonov // International Journal of Nanotechnology. - 2017. - Vol. 14. - p. 574-583.

331. Волхонский, А.О. Разработка мультислойных наноструктурных покрытий для режущего твердосплавного инструмента расширенной области

применения. Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. - Москва, 2012. - 145 c.

332. Sundgren, J.-E. A review of the present state of art in hard coatings growns from the vapor phase / J.-E. Sundgren, T.G. Hentzell // J. Vac. Sci. and Technol A. - 1968. - Vol. 4(5). - p. 2259-2279.

333. Кристаллогеометрические и кристаллохимические закономерности образования бинарных и тройных соединений на основе титана и никеля / под ред. Потекаев А.И. - Томск: ТПУ. - 2011. - 312 с.

334. Knotek, O. On the structure of (Ti,Al)N-PVD coatings / O. Knotek, T. Leyendecker // Journal of Solid State Chemistry. - 1987. - Vol. 70. - p. 318-322.

335. Spencer, P.J. Computational Thermochemistry: from its Early Calphad Days to a Cost-Effective Role in Materials Development and Processing / P.J. Spencer // Calphad, - 2001. - Vol. 25(2). - p. 163-174.

336. Быков, Ю.А. Способ определения твёрдости покрытия / Ю.А. Быков, С. Д. Карпухин, М.К. Бойченко, В.О. Чепцов // Патент РФ № 222280. Опубликован 27.01.2004.

337. Cselle, T. Nanostracturierte Schichten in der Werkstaff / T. Cselle // Platit AG. Warkzeugtagung - 2002.

338. Vidakis, N. The VDI-3198 indentation test evaluation of a reliable qualitative control for layered compounds / N. Vidakis, A. Antoniadis, N. Bilalis // Journal of Materials Processing Technology. - 2003. - Vols. 143-144. - p. 481-485.

339. Mokritskii, B.Y. Comparative evaluation of efficiency of metal-cutting tool by method of pendulum scribing / B.Y. Mokritskii, D.A. Pustovalov, A.A. Vereschaka // Applied Mechanics and Materials. - 2015. - Vol. 798. - p. 452-456.

340. Begue, G. Laser Shock Adhesion Test (LASAT) of EB-PVD TBCs: Towards an industrial application / G. Begue, G. Fabre, V. Guipont, M. Jeandin [и др.]. // Surface & Coatings Technology - 2013. - Vol. 237. - p. 305-312.

341. ASTM C1624-05 // Standard Test Method for Adhesion Strength and Mechanical Failure Modes of Ceramic Coatings by Quantitative Single Point Scratch Testing.

342. Vereschaka, A.A., Study of cracking mechanisms in multi-layered composite nano-structured coatings / A.A. Vereschaka, S.N. Grigoriev // Wear. - 2017. - Vols. 378-379. - p. 43-57.

343. Bull, S.J. Failure modes in scratch adhesion testing / S.J. Bull // Surface and Coating Technology. - 1991. - Vol. 50. - p. 25-32.

344. Шустер, Л.Ш. Адгезионное взаимодействие режущего инструмента с обрабатываемым материалом / Л.Ш. Шустер - Москва: Машиностроение, -1988. - 96 с.

345. Чертовский, С.В. Исследование триботехнических свойств нитинола, полученного интенсивной пластической деформацией / С.В. Чертовский, Л.Ш. Шустер, В.В. Столяров // Вестник научно-технического развития. - 2016. - № 11(111) - c. 32-36

346. Irvin, J.O. On a criterion for the rejection of outlying observation / J.O. Irvin // Biometrika. - 1925. - Vol. 17. - P. 238-250.

347. Кобзарь, А.И. Прикладная математическая статистика / А.И. Кобзарь -Москва: ФИЗМАТЛИТ, - 2006. - 816 с.

348. Student (Gosset, W.). The probable error of a mean / Student (W. Gosset) // Biometrika. - 1908. - Vol. 6(1). - P. 1-25.

349. Astakhov, V.P. A system concept in metal cutting / P. Astakhov, S.V. Shvets // J. Mater. Process. Technol., - 1998. - Vol. 79. - Vol. 189-199.

350. Shaw, M.C. Metal Cutting Principles / M.C. Shaw - Oxford: Clarendon Press. - 1989. - 759 p.

351. Boothroyd, G. Fundamentals of Machining and Machine Tools / G. Boothroyd, W.A. Knight - Boca Raton: CRC Press - 2006. - 568 p.

352. Гуревич, Я.Л. Режимы резания труднообрабатываемых материалов: Справочник / Я. Л. Гуревич - Ленинград: Машиностроение. - 1986. - 240 с.

353. Blinkov, I.V. The effect of deposition parameters of multilayered nanostructure Ti-Al-N/Zr-Nb-N/Cr-N coatings obtained by the arc-PVD method on their structure and composition / I.V. Blinkov, A.O. Volkhonskii // Russian Journal of Non-Ferrous Metals. - 2012. - Vol. 53(2). - p. 163-168.

354. Baker, M.A. A study of the nanostructure and hardness of electron beam evaporated TiAlBN Coatings / M.A. Baker, M.A. Monclus, C. Rebholz, P.N. Gibson [h gp.]. // Thin Solid Films - 2010. - Vol. 518. - p. 4273-4280.

355. Sergevnin, V.S. Hardness, adhesion strength, and tribological properties of adaptive nanostructured ion-plasma vacuum-arc coatings (Ti,Al)N-Mo2N / V.S. Sergevnin, I. V. Blinkov, D. S. Belov, A. O. Volkhonskii [h gp.]. // Russian Journal of Non-Ferrous Metals. - 2016. - Vol. 57(6). - p. 572-579.

356. Sergevnin, V.S. Wear behaviour of wear-resistant adaptive nano-multilayered Ti-Al-Mo-N coatings / V.S. Sergevnin, I.V. Blinkov, A.O. Volkhonskii, D.S. Belov [h gp.]. // Applied Surface Science - 2016. - Vol. 388. - p. 13-23.

357. Araujo, J.A. Effect of periodicity on hardness and scratch resistance of CrN/NbN nanoscale multilayer coating deposited by cathodic arc technique / J.A. Araujo, G.M. Araujo, R.M. Souza, A.P. Tschiptschin // Wear - 2015. - Vol. 330331. - p. 469-477.

358. Konig, W. Physically vapor deposited coatings on tools: performance and wear phenomena / W. Konig, R. Fritsch, D. Kammermeier // Surface and Coatings Technology. - 1991. - Vol. 49. - p. 316-324.

359. Subramanian, S.V. Design of coatings to minimize tool crater wear / S.V. Subramanian, S.S. Ingle, D.A.R. Kay // Surface and Coatings Technology. - 1993. - Vol. 61. - p. 293-299.

360. Chang, Y.-Y. Wear behavior and cutting performance of CrAlSiN and TiAlSiN hard coatings on cemented carbide cutting tools for Ti alloys / Y.-Y. Chang, H.-M. Lai // Surface & Coatings Technology - 2014. - Vol. 259. - p.152-158.

361. Bar-Hen, M. Experimental study of the e ffect of coating thickness and substrate roughness on tool wear during turning / M. Bar-Hen, I. Etsion // Tribology International - 2017. - Vol. 110. - p. 341-347.