Повышение эксплуатационных характеристик электроплазменных геттерных и эмиссионных покрытий, применяемых в производстве электровакуумных приборов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.09.10, кандидат технических наук Филимонов, Сергей Александрович
- Специальность ВАК РФ05.09.10
- Количество страниц 152
Оглавление диссертации кандидат технических наук Филимонов, Сергей Александрович
ВВЕДЕНИЕ.
1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
1.1. Нанесение функциональных покрытий в производстве ЭВП.
1.2. Технология и оборудование плазменного напыления в производстве ЭВП.
1.3.Аппаратура и методы исследования функциональных плазмонапыленных покрытий.
1.3.1. Прочность, поверхность и структура покрытий.
1.3.2. Сорбционно-десорбционные свойства в вакууме.
1.4. Свойства плазмонапыленных покрытий.
1.4.1. Антиэмиссионные титановые покрытия.
1.4.2. Эмиссионные покрытия из тройного карбоната щелочноземельных металлов.
2. РАЗРАБОТКА АППАРАТУРЫ И МЕТОДИКИ ДЛЯ КОМПЛЕКСНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ ПЛАЗМОНАПЫЛЁННЫХ ПОКРЫТИЙ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ПРОИЗВОДСТВЕ ЭВП.
2.1. Принципы комплексной разработки оборудования и методик для исследования и контроля качества плазмонапыленных покрытий.
2.2. Конструирование гибких сверхвысоковакуумных комплексов для исследования плазмонапыленных покрытий.
2.2.1. Условия функционирования покрытий в ЭВП.".".
2.2.2. Принципы конструирования ГСВВК.
2.2.3. Разработка ГСВВК для исследования сорбционно-десорбционных, газодиффузионных и эмиссионных свойств материалов.
2.3. Методика изучения сорбционно-десорбционных свойств плазмонапыленных покрытий.
2.3.1. Подготовка образцов.
2.3.2. Проведение измерений и обработка результатов.
2.4. Методика и аппаратура для изучения физико-механических свойств и структуры плазмонапыленных покрытий.
3. ИССЛЕДОВАНИЯ ПОРИСТОЙ СТРУКТУРЫ И СОРБЦИОННО-ДЕСОРБЦИОННЫХ СВОЙСТВ ПЛАЗМОНАПЫЛЁННЫХ ПОКРЫТИЙ.
3.1. Особенности формирования пористой структуры плазмонапыленных титановых покрытий.
3.2. Сорбционно-десорбционное взаимодействие титановых покрытий с водородом.
3.2.1. Сорбционно-десорбционные характеристики покрытий.
3.2.2. О механизме поглощения водорода при различных температурах.
3.3. ИССЛЕДОВАНИЕ ГАЗОВЫДЕЛЕНИЯ ЭМИССИОННЫХ ПОКРЫТИЙ ИЗ ТРОЙНОГО КАРБОНАТА ЩЕЛОЧНОЗЕМЕЛЬНЫХ МЕТАЛЛОВ В УСЛОВИЯХ
АКТИВ ИРОВКИ.
3.3.1. Газовыделение покрытий.
3.3. 2. Формирование эмиссионного слоя. Энергия активации разложения тройного карбоната. у 4. ПРИМЕНЕНИЕ ПОЛУЧЕННЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ.
4.1. Многопараметрическая оптимизация плазмонапылённых покрытий ЭВП.
4.2. Сорбционные характеристики плазмонапылённых геттерных титановых покрытий ,у> катодно-сеточных узлов МГЛ.
ВЫВОДЫ.
Рекомендованный список диссертаций по специальности «Электротехнология», 05.09.10 шифр ВАК
Исследование процессов ультразвукового электроплазменного напыления биоактивных титан-гидроксиапатитовых покрытий и их модельной резорбции в изотоническом растворе2002 год, кандидат технических наук Мазанов, Константин Владимирович
Влияние окисления титана на свойства плазмонапыленных титан-гидроксиапатитовых и оксидных биосовместимых покрытий дентальных имплантатов2004 год, кандидат технических наук Родионов, Игорь Владимирович
Обоснование и реализация комбинированной механической и физико-химической обработки титановых деталей в ультразвуковом поле с учетом электроплазменного напыления композиционных покрытий2009 год, доктор технических наук Лясникова, Александра Владимировна
Управление формообразованием и свойствами биокомпозиционных покрытий дентальных имплантатов при электроплазменном напылении2000 год, кандидат технических наук Протасова, Наталия Владимировна
Обеспечение качества деталей высокоточных изделий на основе формирования однородных структур покрытий при их плазменном напылении и абразивно-алмазной обработке с воздействием ультразвука1999 год, доктор технических наук Бекренев, Николай Валерьевич
Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение эксплуатационных характеристик электроплазменных геттерных и эмиссионных покрытий, применяемых в производстве электровакуумных приборов»
В настояпдее время ускорение научно-технического прогресса в раз, личных отраслях промышленности во многом определяется успешным освоением современных технологических процессов, позволяющих существенно улучшать качественные показатели выпускаемых изделий и обеспечивающих высокую технико-экономическую эффективность и экологическую 't/' культуру производства. Весьма перспективными в этом отношении являются технологии, основанные на использовании низкотемпературной плазмы, и в г,^ частности плазменное напыление покрытий из порошковых материалов [1-II].Плазменное напыление - это один из способов обработки материалов, широко используемый в промышленности для получения поверхностей со специальными свойствами. При его реализации в плазменную струю, создаваемую с помощью плазменной горелки (плазмотрона), непрерывно впрыскивается порошок напыляемого материала. Частицы порошка подхватываются потоком плазмы, ускоряются и разогреваются до высокой температуры, что, как правило, вызывает их плавление. На пути движения частиц на определенном расстоянии от плазмотрона устанавливается опыляемая подложка, при столкновении с которой частиц порошка происходит формирование плазмонапыленного покрытия. Относительная простота устройства плазмотронов, легкость управления газодинамическими и техническими характеристиками плазменной струи, возможность формирования среды, в которой .^^v осуществляется процесс, позволяют получать прочно связанные с подложкой покрытия всевозможного назначения с программируемыми функциональ\^ными и эксплуатационными свойствами [7,12] .Начиная приблизительно с 1970 года плазменные процессы широко внедрялись в производство электровакуумных приборов (ЭВП) [ 13-21].К настоящему времени разработаны и внедрены технологии и оборудования для плазменного напыления покрытий, используемых в качестве эмиссионных, антиэмиссионных, геттерных, электроизоляционных и др. При этом ряд •^t покрытий по своим свойствам являются многофункциональными. Так титановое покрытие, нанесенное на сетку мощной генераторной лампы (МГЛ) для снижения динатронного эффекта, является,-кроме того, высокотемпературным газопоглотителем.Вопросы разработки технологии и оборудования для получения плазмонапыленных покрытий, исследования их свойств и оптимизации условий их практического применения в производстве ЭВП нашли достаточно широ*|^ кое отражение в ряде работ [15, 16, 22-39] . Вместе с тем многие из проведенных исследований выполнялись для решения частных практических задач, не имели единого плана, осуществлялись без широкого использования средств автоматизации проведения измерений и обработки полученных результатов, не содержали детального анализа происходящих физикохимических процессов с точки зрения различных моделей их протекания. Все это затрудняет разрешение современных проблем в области освоения плазменных технологических процессов, таких как расширение функционального использования плазмонапыленных покрытий, разработка и внедрение гибких производственных систем плазменной обработки материалов, создание информационного обеспечения систем автоматизированного проектирования (САПР) плазменных процессов и пр. [15,35,40-41 ] .В этой связи весьма актуальным направлением работ является создание современной методической и аппаратурной базы для проведения комплексных исследований плазмонапыленных покрытий, изучение покрытий различного назначения с целью выяснения механизмов физико-химических процессов, протекающих на них в условиях функционирования, и их корреляций со структурными параметрами покрытий и технологическими режимами их получения.Эти работы могут быть составной частью как технологических разработок, так и разработок современного плазменного оборудования или САПР плазменных процессов.Т :ii :^j Поэтому задачами настоящей работы являлись: создание автоматизированного исследовательского оборудования для изучения плазмонапыленных покрытий в условиях, близких к условиям их эксплуатации в ЭВП, разработка методик комплексного изучения структуры и вакуумных свойств плазмонапыленных покрытий, позволяющих моделировать процессы их формирования, технологической обработки и функци<щ'1 онирования, изучение с использованием разработанных методик процессов формирования пористой структуры и взаимодействия с водородом анти эмиссионных титановых покрытий, изучение газовыделения эмиссионных покрытий из тройного карбоната щелочноземельных металлов при активировке, использование полученных результатов в разработках, внедряемых в серийное производство ЭВП. В процессе выполнения работы были сформулированы и опробованы основные принципы конструирования гибких сверхвысоковакуумных комплексов (ГСВВК) для изучения и испытания плазмонапыленных покрытий различного назначения и конструктивных элементов, применяемых в производстве ЭВП, в условиях, близких к эксплуатационным [ 41,42] .На основании предложенных принципов были разработаны ГСВВК для исследования сорбционно-десорбционных, газодиффузионных и эмиссионных свойств материалов [43 ] и ГСВВК для испытания катодов мощных ЭВП [ 44 ]. Комплексы внедрены в научно-производственную практику при выполнении ОКР по разработке ряда технологий и САПР процесса плазменного напыления [ 45-48 ] .Разработана и реализована на созданных ГСВВК методика комплексного исследования сорбционно-десорбционных процессов, протекающих на плазнонапыленных покрытиях в вакууме в интервале температур 300 К 1300 К, позволяющая моделировать реальные газо-вакуумные условия тех? нологической обработки и функционирования этих покрытий в ЭВП [49,50 ] .Разработаны также алгоритмы и программное обеспечение для автоматизированного проведения измерений, обработки и анализа получаемых результатов [ 51,52 ] , Для изучения пористой структуры плазмонапыленных покрытий предложена методика послойного напыления с последовательным фотографированием изображений поверхности образующихся слоев покрытия, полу^ ченных при помощи растрового электронного микроскопа с увеличением в интервале от 100 до 1000 раз. Эта методика использована наряду с традици(у онными методами определения пористости и шероховатости поверхности при изучении антиэмиссионных титановых покрытий. В результате проведенных исследований выделены основные процессы формирования пористой структуры покрытия при столкновении частиц напыляемого материала с поверхностью подложки или напыленными ранее слоями, установлены типы и размеры элементов пористости и шероховатости, их зависимости от технологических параметров плазменного напыления [ 33,53 ], Сорбционно-десорбционное взаимодействие антиэмиссионных титановых покрытий с водородом исследовано на созданном ГСВВК [43] с помощью комплексной «циклической» методики, заключающейся в проведении многократной последовательной сорбции и десорбции водорода покрытием в широком интервале температур [50]. В результате исследований установлено, что термоводородная обработка позволяет дополнительно активировать покрытие за счет очистки поверхности и микрорастрескивания, при температурах выше 685 К поглощение водорода определяется его диффузией в объёме покрытия, а при температуре ниже 685 К - диффузией в порах и образованием гидридной фазы в результате хемосорбции. Количественные характеристики исследованных процессов хорошо согласуются с известными из литературы данными, полученными для компактного металла [54].С помощью предложенной методики изучения термодесорбции было т* d; проведено сравнительное исследование газовыделения эмиссионных покрытий из тройного карбоната щелочноземельных металлов, нанесенных плазменным способам и традиционным способом намазки, в условиях активировки оксидного катода [ 49 ] . В результате исследований установлены особенности формирования эмиссионно-активного слоя плазмонапыленного оксидного катода, определена энергия активации разложения тройного карбоната, нанесенного разными способами, предложены пути практического использо^ ' вания полученных данных.Внедрение произведенных разработок и исследований в научно1у производственную практику осуществлено посредством реализации результагов ОКР по совершенствованию технологий производства ряда ЭВП и решению некоторых вопросов создания САПР процесса плазменного напыления порошковых покрытий [ 45-48 ].Таким образом, в результате выполнения настоящей работы на защиту выносятся: аппаратурные и методические разработки в области конструирования ГСВВК для исследования плазменных • покрытий, применяемых в производстве ЭВП, в условиях функционирования; методические разработки в области проведения структурных и сорбционно-десорбционных исследований плазменных покрытий, анализа и обработки получаемых результатов; результаты структурных и сорбционно-десорбционных исследований антиэмиссионных и эмиссионных плазмонапыленных покрытий; практические рекомендации по оптимизации технологии плазменного напыления функциональных покрытий на сетки и катоды ЭВП и их последующей обработке, а также ряд принципов моделирования процессов функционирования плазмонапыленных покрытий при разработке ГПМ и САПР плазменного напыления.В целом настоящая работа может служить методической основой при комплексном исследовании и оптимизации функциональных свойств любых t j V i 1/ V, V $ и плазмонапыленных покрытий, используемых во внутреннем объеме ЭВП. При этом измерительные и информационно-управляющие системы разработанных ГСВВК могут быть достаточно легко модифицированы и дополнены соответствующими средствами и методиками функциональных измерений.Диссертация изложена на ±SZ , стр. машинописного текста, содержит 46 рисунков, 7 таблиц и список цитируемой литературы из 135 источников.
Похожие диссертационные работы по специальности «Электротехнология», 05.09.10 шифр ВАК
Экспериментальное определение тонких механизмов поглощения водорода титаном для расширения номенклатуры эксплуатационных характеристик пористых геттеров2008 год, кандидат технических наук Полунина, Алиса Александровна
Разработка комбинированной технологии электрохимического и электроплазменного формирования биоактивных композиционных покрытий2008 год, кандидат технических наук Сюсюкина, Елена Юрьевна
Повышение качества покрытий путем электроплазмотермических воздействий, обеспечивающих эвтектическое плавление, развитую морфологию и пористость2005 год, кандидат технических наук Наконечных, Андрей Сергеевич
Разработка технологии создания пористого титанового покрытия на деталях эндопротезов тазобедренного сустава путем плазменного напыления2006 год, кандидат технических наук Егоров, Евгений Николаевич
Повышение качества порошковых покрытий в производстве электровакуумных приборов за счет совершенствования технологической схемы электроплазменного напыления и автоматизации оборудования2003 год, кандидат технических наук Веселкова, Ольга Ивановна
Заключение диссертации по теме «Электротехнология», Филимонов, Сергей Александрович
ВЫВОДЫ.
1. Сформулированы принципы комплексной разработки оборудования и методик для исследования и контроля качества плазмонапылённых покрытий, согласно которым необходимо обеспечить наиболее полную совместимость результатов измерений на различных установках и системах за счёт единого подхода к разработке плана и методик выполнения измерений, подобия структур измерительных систем и систем обработки данных, применения типовых образцов исследуемых покрытий в различных экспериментах.
2. Определена оптимальная структурная схема гибкого сверхвысоковакуум-ного комплекса (ГСВВК) для исследования и контроля качества плазмонапылённых покрытий, содержащая сверхвысоковакуумную (СВВ) систему, предусматривающую возможность транспорта объекта исследований, анализ состояния объекта посредством реализации различных тестовых воздействий при контроле состояния газовакуумной среды и информационно-управляющую систему (ИУС) с автоматизированным управлением процессами измерений, автоматической регистрацией и обработкой результатов, а также документированием полученной информации.
3. Реализован ГСВВК для исследования сорбционно- десорбтдионных, газодиффузионных и эмиссионных характеристик плазмонапылённых покрытий и других материалов ЭВП, позволяющий реализовать метод термодесорбцион-ной (ТДС) масс-спектроскопии, динамический метод сорбции (ДМС), волю-мометрический метод сорбции, масс-спектрометрический динамический метод определения газопроницаемости мембран, термоэмиссионный и вторично-эмиссионный методы измерения работы выхода электрона, а также различные комбинации этих методов между собой и методами анализа поверхности при вакууме до 10"7 Па и максимальной температуре нагрева образцов до 1700К.
4. Исследованы трёхслойные плазмонапылённые титановые покрытия и показано, что их адгезия превышает 25МПа, пористость по методу гидростатического взвешивания в декане составляет около 15%, удельная поверхность л по методу БЭТ - 0,7 - 1,0 м /г и коэффициент профилометрической шероховатости-до 3000.
5. Методом ТДС на ГСВВК изучены сорбционно-десорбционные характеристики плазмонапылённых титановых покрытий и обнаружено, что основными компонентами выделяющегося газа являются водород, метан, моно- и диоксид углерода, причём выделение водорода превалирует и его кривые ТДС имеют максимумы при 700К и 920 К. Максимальный уровень сорбционных характеристик обеспечивала СВВ активировка при 1100К, а многократное циклирование показало растрескивание титанового покрытия из-за большего мольного объёма гидридов по сравнению с металлическим титаном по правилу Пиллинга-Бедуорта.
6. На основании экспериментальных данных, полученных методом ДМС, предложена диффузионная и хемосорбционная модели поглощения водорода плазмонапылёнными титановыми покрытиями. При температурах до 600К расчётные значения коэффициентов твёрдофазной диффузии составили 4,1 • 10-9 —1,1 • 10~8см1 /с при энергии активации порядка 5кДж/моль , а при температурах свыше 600К коэффициенты диффузии составили 2,2• 1 (Г8 - 9,6 • 10"7сл*2 /с при энергии активации 69 кДж/моль. Низкотемпературная сорбция водорода может быть объяснена образованием приповерхностного гидридного слоя, а высокотемпературная - хемосорбцией водорода, подчиняющейся уравнению Еловича.
7. Методом ТДС было установлено, что плазмонапылённое порошковое покрытие из тройного Ва, Sr, Са карбоната обладает высокой устойчивостью и хорошо сформированной структурой по сравнению с покрытием нанесённым пульверизацией при энергиях активации десорбции 125 и 172 кДж/моль, соответственно. При этом активировка плазмонапылённого катодного покрытия проводится быстрее и при более низком давлении СО>, а плазменный способ формирования тройного оксидного покрытия значительно превосходит традиционный.
8. С помощью компромиссного индекса оптимизации (КИО) произведена двухпараметрическая оптимизация плазмонапылённых титановых покрытий по их пористости и адгезии как функций дистанции напыления (L) и дисперсности титановых частиц при силе тока плазменной дуги 1=450А. Было обнаружено, что оптимальные значения средней пористости составляют
П* =45-65% и адгезии а*0{)г =15-19МПа при оптимальных значениях входных параметров Y' = 45 0J,Г = 120 мм,й' = 80 -120мкм.
9. На ГСВВК с применением метода ДМС были исследованы сорбционные характеристики ленточных плазмонапылённых геттеров по отношению к газам остаточной атмосферы ЭВП, в частности, катодно-сеточных узлов мощных генераторных ламп (МГЛ). Было обнаружено, что в начале работы геттеров происходит поглощение окислительных компонентов атмосферы в виде кислорода и оксидов углерода, а далее решающее значение приобретает сорбция азота и водорода.
10. Кинетические кривые сорбции азота плазмонапылёнными титановыми геттерами имеют участки быстрого и медленного экспоненциального спада со временем при 700К, отвечающие константам адсорбционных равновесий 42,3 и 902, а также энтальпиям адсорбции -21,8 и -39,6 кДж/моль, соответственно. Первый участок быстрого экспоненциального спада отвечает обратимой твёрдофазной диффузии азота в тонком приповерхностном слое плазмо-напылённого титанового покрытия, а второй - квазистационарный участок -необратимой хемосорбции продиффундировавшего азота с образованием нитридных фаз при сорбционной ёмкости 0,48л -Па/см2. При 973К азот в значительной мере, но не полностью, удаляется из титанового геттера.
11. Кинетические кривые сорбции водорода плазмонапылёнными титановыми геттерами имеют участки быстрого и медленного экспоненциального спада со временем при 450К отвечающие константам адсорбционных равновесий 3,54 и 1,89, а также энтальпиям адсорбции -4,73 и -2,39 кДж/моль, соответственно. Оба участка отвечают обратимой твёрдофазной диффузии водорода в титановой геттер, причём первый участок быстрого спада соответствует приповерхностному слою плазмонапылённого титана с толщиной примерно ЮОмкм, а второй квазистационарный — глубинному слою титана толщиной около 200мкм при общей толщине покрытия ЗООмкм, и переходные диффузионные процессы идут, тем самым, по всей толщине титанового геттера. Переход от участка быстрого спада к квазистационарности обусловлен образованием гидридно-титановых фаз с появлением внутренних напряжений сжатия, дислокационной дефектности и микрорастрескивания. Сорбционная ёмкость по водороду увеличивается при этом с 2,87 до 7,45 л-Па! см1, что позволяет считать плазмонапылённые титановые покрытия великолепными геттерами водорода с температурой активировки 973К.
12. Предложена блок-схема установки плазменного напыления порошкового покрытия, реализующей способ адаптивного управления на основе принципов нечёткой логики. Установка находится в стадии конструкторской и программной разработки.
13. Внедрение активированных плазмонапылённых титановых геттеров в конструкцию МГЛ позволило улучшить рабочий вакуум ламп на 1-2 порядка, снизить коэффициент шума на 10-15%, сократить разброс сеточного тока и увеличить срок службы в 2 раза.
138
Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Филимонов, Сергей Александрович, 2004 год
1. Плазменные процессы в металлургии и технологии неорганических материалов: Сб.статей /Под ред. Б.В.Патона и др.- М : Наука,1973.-243 с.
2. Костиков В.И., Шестерин Ю.А. Плазменные покрытия.- М: Металлургия, 1978.- 159 с.
3. Донской А.В, Клубникин В.С.Электроплазменные процессы и установки в машиностроении- Л. : Машиностроение (Ленингр. отд-е), 1979.- 221 с.
4. Плазменная технология: Опыт разработки и внедрения / Сост. А.Н. Герасимов- Л:Лениздат, 1980,- 150 с.
5. Борисов Ю.С., Борисова А.Л. Плазменные порошковые покрытия.-Киев: Техника, 1986,- 223 с.
6. Порошковая металлургия и напыленные покрытия / Под. ред. Б.С. Митина. М.: Металлургия, 1987.- 792 с.
7. Хасуй А. Техника напыления: Пер. с япон. /Под ред. С.Л. Масленникова.- М.: Машиностроение, 1975,- 288 с.
8. Hasui A. Plasma jet spraying //The Journal of the Metal Finishing Society of Japan.-1982.-Vol.33,N12.-P.625-632.
9. Steffens H.-D., Hohle H.-M., Srturk E. Low pressure plasma spraying of reactive materials//Thin Solid Film.-1980.-Voi.73,Nl.-P. 19-29.
10. Жуков М.Ф., Смоляков Б.Я., Урюков Б.А. Электродуговые нагреватели газа (плазмотроны).- М.: Наука, 1973.- 232 с.
11. Краснов А.Н., Шаривкер С.Ю. , Зильберберг В.Г. Низкотемпературная плазма в металлургии.- М.; Металлургия, 1970.- 216 с.
12. Березин М.И. Низкотемпературная плазма и области её применения: . Обзоры по электронной технике. Сер.7, Технология, организация производства и оборудование.- М.: ЦНИИ "Электроника", 1973.-Вып. 24 (167).-46 с.
13. Лясников В.Н., Украинский B.C., Богатырев Г.Ф. Плазменное напыление покрытий в производстве • изделий электронной техники.« Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 1985,- 200 с.
14. Таран В.М., Орлов Б.И. Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники:- Обзоры по электронной технике. Сер. 7, Технология, организация производства и оборудование.- М.: ЦНИИ "Электроника, 1987,-Бып 16 ( )-50с.
15. Harris D.H., Janowiecki R.J. Are — Plasma deposits may yield some big microwave dividends//Electronics.-1970.-Vol.43,N3.-P. 108-115.
16. Plasma Coating one answer to piston ring problems//The Motor Ship.-1977.-Vol.58,N682.-P.86-87.
17. Yeorge F. Hurley and Frank D.Yac. Structure and Thermal Diffusivity of Plasma-Sprayed А120^ //American Ceramic Society Bulletin.-1979.1. Vol.58,N5.-P.509-511.
18. Babbit R.W. Arc Plasma Fabrication of Frrite Dielectric Composites//Yornal of the American Ceramic Society.- 1976.-Vol.55,N6.-p.566-568.
19. Proceeding of the International Conference on Metallurgical Coating/-1980.-San Diego, California, USA, April, 21-25.
20. Демина Т.И., Куликов Ю.В., Родкин А.Г. Слоевые нераспыляемыегеттеры // Электроннал техника. Сер. I, Электроника СВЧ.-1972.1. Вып. И.- С. 101-102.
21. Способ нанесения тугоплавких антиэмиссионных покрытии / A.B.Mo розов, Ю.В. Куликов, А.Г. Родкин, А.Е. Филиппова //Электронная техника. Сер.1,Электроника СВЧ.- 1973.- Вып.5.- С. 103-107.
22. Низкотемпературный геттер / В.Д.Быков, В.Е.Вислоух, Г.Д.Глебов, О.И.Шугалей // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Общая и ядерная физика.- 1978.- Вып. 4.- С. 43-45.
23. Нанесение сверхплотных покрытий в низкотемпературной плазме/
24. С.А. Валуйский, А.В.Донской, C.B. Дресвин и др. //Электронная техника. Сер. 4, Генераторные, модуляторные и рентгеновские приборы.- 1969.-Вып. I.-C, 26-30.
25. Нанесение эмиссионных покрытий катодов плазменным методом / Л.Н.Зубов. Ю.А. Лотапов, В.А.Смирнов, В.А. Шугаев //Электронная промышленность.- 1972.-Вып. I.- С. 102-104.
26. Плазменное напыление титана на сетки мощных генераторных ламп/ В.Н. Лясников, В.М. Таран, В.Н.Лаврова и др. // Электронная техника. Сер.4, Электровакуумные и газоразрядные приборы.- 1980.-Вып. 1.- С. 93-104.
27. Плазменное напыление порошковых материалов в контролируемой среде / В.Н. Лясников, В.М.Таран, Г.Ф. Богатырев и др. //Электронная техника. Сер. 7, Технология, организация производства и оборудование.- 1906,- Вып. 4,- С. 9-13.
28. Орлов В.И., Таран В.М. Плазменно-дуговое напыление покрытий, технология и оборудование: Обзоры по электронной технике. Сер.7, Технология, организация производства и оборудование.-М.: ЦНИИ "Электроника"; 1981.- Вып. 18 (833).- 50 с.
29. Лясников В.Н. Оборудование для плазменного напыления: Обзоры по электронной технике. Сер. 7, Технология, организация производства и оборудование,- М.: ЦНИИ "Электроника", 1981.- Вып.5 (775).- 47 с.
30. Лясников В.Н., Глебов Г.Д. Свойства плазменных покрытий: Обзоры по электронной технике. Сер.1, Электроника СВЧ.- М.: ЦНИИ "Электроника", 1979.- Вып. 2 (611).- 62 с.
31. Лясников В.Н., Курдюмов A.A. Свойства плазменных титановых покрытий: Обзоры по электронной технике. Сер.7, Технология, организация производства и оборудование.- М. :ЦНИИ "Электроника", 1983.- Вып. I (925).- 71 с.
32. Вислоух В.Е. Исследование технологических и эксплуатационных характеристик низкотемпературных геттерных покрытий: Автореферат дис. канд. техн. наук,- М.,- 1978.- 16 с.
33. Швачкина Т.А. Взаимодействие водорода с плазмонапыленными титановыми покрытиями: Автореферат дис.канд.техн.наук.-М.,1983г.-22с.
34. Таран В.М. Исследование и разработка процесса плазменного на пыления покрытий с совмещенной активацией поверхности газовыми разрядами: Автореф. дне. канд. техн. наук.- М., 1983.-14с.
35. Лясников В.Н. Комплексные исследования свойств функциональных плазменных покрытий, разработка оборудования и технологии и внедрение в серийное производство ЭВП: Дис. в форме науч. докл. док. техн. наук.- М., 1988.- 47 с.
36. Денисов А.Г. Роль центров физико-химических исследований и высокоточных измерений в совершенствовании технологических процессов // Электронная промышленность.- 1987.- Вып.5.- С.33-34.
37. Филимонов С.А., Лясников В.Н.Принципы комплексной разработки оборудования для наследования и контроля качества плазменных покрытий // Распределенные информационно-управляющие системы.-Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 1983.- С.118.
38. Гибкий экспериментальный комплекс для исследования свойств материалов в сверхвысоком вакууме / В.И.Куликов, В.В. Лапшин,
39. B.Н.Лясников, В.С.Украинский, С.А.Филимонов // Электронная промышленность.- 1987.- Вып. 2.- С. 32-35.
40. Разработка и внедрение пакета прикладных программ для автоматизированного проектирования технологических процессов плазменного напыления покрытий: Отчет об ОКР / Руководитель И.И.Фили монова.- Шифр "250-55", № ГРУ 42194,- Саратов. 1988.- 28 с.
41. Лясников В.Н., Украинский В.С., Филимонов С.А. Плазменное на пыление тройного карбоната щелочно-земельных металлов в производстве мощных ЭВП // Электронная промышленность.- 1988.-Вып.З,- С. 54-57.
42. Лясников В.И., Филимонов С.А. Взаимодействие водорода с плазмо-напыленными титановыми покрытиями // Высокоинтенсивные процессы химической технологии: Межвуз. сб. науч. тр.- Л.: ЛТИ им. Ленсовета, 1988,-С. 126-140.
43. Лясников В.Н., Новак Ю.М., Филимонов С.А. Особенности формирования пористей структуры плазменных титановых газопоглотителей // Порошковая металлургия.- 1990.
44. Компаниец Т.Н., Курдюмов A.A., Лясников В.Н. Кинетика проникновения водорода сквозь металлы: Обзоры по электронной технике. Сер. I. Электроника СВЧ.- М.: ЦНИИ "Электроника", 1980.-Вып. 1 (694).- 84 с.
45. Попов В.Ф., Горин .О.И. Процессы и установки электронно-ионной технологии: Учеб. пособие для вузов.- М.:Высш.шк.,1988.-255 с.
46. Никонов Б.П. Оксидный катод.- Л.: Машиностроение, 1979.-367с.
47. Кусидис В .Г. Полуавтомат для плазменного напыления // Сварочное производство. 1981. - №7 - С. 40-41.
48. Плазменная очистка и пайка металлов в производстве мощных генераторных ламп высокотемпературными припоями на роторной линии /В.Н. Лясников, В. С. Украинский, В.М.Таран, Й.Ф. Зоткин//
49. Jmamoto N. Problems to obtain high-quality plasma sprayed materi-als//Proceedings of the Seventh International Conference on Vacuum Metallurgy.-Tokio, 1982, November 26th to 30th .-P.283-294.
50. Eschnauer H. Hard material powders and hard alloy powders for plasma surface coating//Thin Solid Films.-1980.-Vol.73, N1.-17.
51. Houben I.M. Thermisch spuiten//Polytechnisch tijdschrift werktuigbouw.-1981.-Vol.36,N9.-S.43 8-447.
52. Ахназарова C.A., Кафаров B.B. Оптимизация эксперимента в химии и химической технологии. М.: Выс. шк., 1978. - 319 с.
53. Pawlowslci L. Optimisation of are plasma spraying parameters//Surfacing Iournal.-1980.-Vol.l 1,N3.-P.8-16.
54. Жуков М.Ф., Урюков Б.А., Энгелынт B.C. и др. Теория термической электродуговой плазмы. 4.1, 4.2. Новосибирск: Наука. - 1987.
55. Харламов Ю.А. Измерение адгезионной прочности газотермических покрытий. Деп. Укр. НИИНТИ 23.09.86 - Ворошиловоград, 1986.- 278с.
56. Jacobson R., Kruse. Measurement of Adhesion of thin evaporated films on Ylass Iubstrates by means of the direct Pull Method.-Thin Solid Films.-1973.-Vol.15.-P.71-77.
57. Грег С., Синг К. Адсорбция, удельная поверхность, пористость. -М.: Мир, 1984. -310с.
58. Рогожин В.М., Акимова Л.В, Смирнов Ю,В. Определение пористости напыленных покрытии методом гидростатического взвешивания// Порошковая металлургия. 1980. - №9. - С.42-46.
59. Методы эталонной порометрии и возможные области их применения в электрохимии ЛО.М. Вольфкович, В.С.Баюцкий, В.Е.Сосенкин,
60. Е.И .Школьников // Электрохимия. 1980. - т.ХУ1, вып.Н. -- С. 1620-1652.
61. Методы анализа поверхности / Под. ред. A.M. Зандерны: Пер. с англ. М.: Мир, 1979. - 582с.
62. Диагностика металлических порошков / В.Я.Буланов, Л.И. Кватер, Т.В. Довгаль и др. М.: Наука, 1983. - 278с.
63. Буц В.Г., Рэхэпапп Ю.А., Хера В.В. Сорбтомер EMS-51 для определения удельном поверхности порошковых материалов // Порошковая металлургия. -1986. М. - С. 102-105.
64. A.C. 935778 СССР. Способ определения структурных характеристик пористого металлического электрода / Ю.М. Новак, Д.К.Грачев, И.Б. Яськои др. Опубл. в Бюлл, изобр. №22, 1982г.
65. Глебов Г.Д. Поглощение газов активными металлами, М-Л: Госэнергоиздат, 1961. - 184 с.
66. Черепнин И.В. Сорбционные явления в вакуумной технике.
67. М.: Советское радио, 1973. 382 с. 82. Агеев В.И. Адсорбционно-десорбционные процессы на поверхности твердого тела // Поверхность. Физика, химия, механика. 1364.- 13 -С. 5-26.
68. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники: Пер. с анг./ Под ред. М.И.Меньшикова. М. Мир, 1964. - 716 с.
69. Куликов В.И., Филимонов С.А., Лапшин В.В. Автоматизированная вакуумная установка для исследования сорбционных и газо— диффузионных свойств материалов, применяемых в электронной технике//Информационный листок №303-86. Саратовский ЦНТИ, 1986. -2 с.
70. Della Porta P. Performance characteristics of barium getters with particular reference to their application in thermionic valves //Vacuum.-1954.-Vol.4.-№3.-P.284-302.
71. Демина Т.И. Поглощение водорода и паров воды пленками титана// Вопросы радиоэлектроники. Сер. I, Электроника. 1961.2. С 69-77
72. Боярина М.Ф. Сорбционные характеристики пористых нераспы-ляемых газопоглотителей СПН // Электронная техника. Сер Л, Электроника СВЧ. 1970. - Вып. II. - С, 124-132.
73. Terrario В., Tigini A., Borghi М. A new generation of porous no evaporable getters//Vacuum.-1984.-Vol.3,№l.-p. 13-17.
74. Глебов Г .Д. Поглощение азота плазмонапыленным титаном // Электронная техника. Сер. 6, Материалы. 1984. - Вып.1 ~ С.3-7.
75. Вислоух В.Е., Глебов Т.Д., Егоров Ю.Г. Поглощение водорода плазмонапыленными покрытиями // Электронная техника. Сер.6, Материалы. Ш1. ~ Вал.9 - 0,14-16.
76. Попов В.С. Нераспыляемые газопоглотителя. J1,: Энергия, 1975. - 104 с.
77. Евсеева Л.И., Лысогоров О.С. Термодинамические свойства системы пористый титан водород // Электронная техника, Сер, I, Электроника СВЧ. - 1934. - Вып. 4. - С. I4I-I52.
78. Габис И.Е., Курдюмов А. А., Лясников В.Н. Установка для исследования водородопроницаемости металлов // Физико-химическая механика материалов. 1984. -№1. - С. 122-123.
79. Автоматизированная установка для исследования взаимодействия водорода с металлами / И.В. Милясевич, И.Е, Габис, А.А. Курдюмов,
80. B.Н. Лясников // Электронная техника. Сер.6, Материалы. -1986. Вып.4.1. C. 62-65.
81. Скакун А.И., Маханов В.И., Савенков Н.В. Исследование десорбции водорода в выключенном магнитном электроразрядном насосе / / Электронная техника. Сер .7, Технология, организация производства и оборудование. 1975. - Вып.З - С.45-51.
82. Parkash Surya. Sorption of active gases to no evaporable getters// Vacuum.-1983.-Vol.33,№5.-P.295-299.
83. Becher J.A., Hartman C.D. Fild emission microscope and flash filaments technique for the study of structure and adsorption on metal surface//J.Phys. Chem.-1953.-Vol.57.P.152-159.
84. Вассерман A.M., Кунин Л.Л., Суровой Ю .И. Методы определения газов в металлах. И.: Наука, 1976. - 218 с.
85. Redhed Р.А. Jhermal desorption of dases//Vacuum.-1962.-Vol.l2,№14.-P.203-207.
86. KM.Rangaswanug S., Nerman H., Sarais S. Thermall expansion study of plasma -sprayed oxide coatings//Thin Solid Films.-1980.-Vol.3,№ 1 .-P.43-52.
87. Курдюмов A.A., Лясников В,H., Швачкина T.A. Водородопромни-цаемость плазменных титановых покрытий / / Физико-химическая механика материалов. 1982. - № 4,- С.24-29
88. Водородо проницаемость и работа выхода плазменных титановых покрытий / А.А. Курдюмов, В.Н. Лясников, И .В .Милясевич, Т.И.Швачкина//Журнал физической химии. -1980,- Т.54,№ II-С. 2918 -2920
89. Габис И.Е., Курдюмов А.А., Лясников В.Н. Поглощение и пропускание водорода системой сталь I2XI8HIOT плазмонапылен-ный титан //Журнал физической химии,- 1982. - Т.56, № I -С. 155-157.
90. Вислоух В.Е., Глебов Г.Д.Шведов И.К. Нераспыляемые геттеры для крупногабаритных ЭВП // Электронная промышленность. 1974.-Вып.10.-С. 78-79.
91. Куряшов А.А., Лясников В.Н., Швачкина Т.А. Газовыделение и сорбция водорода плазмонапыленным титаном // Журнал физической химии. -1982. Т.56, №1.-С. 155-157.
92. Ш.Егоров Ю.Г., Глебов Г Д. Плазменно-дуговая металлизация вакуумных камер // Электронная техника. Сер.6, Материалы. 1982. Вып.9. — С.10-13.
93. Yiorgi I.A.,Ferrario В., Storey В. An update review of deters and gettering//S.Vac.Sci.Technol.-1985.-Vol.3,№2.-P.417-422.
94. Вислоух B.E., Глебов Г.Д., Егоров Ю.Г. Поглощение водорода плазмонапыленными покрытиями // Электронная техника. Сер .6, Материалы. 1981. - Вып.9. - C.I4-I6.
95. Сверхвысокий вакуум в радиационно-физическом аппаратостро-тии / Под ред. Г.Д. Саксаганского. М: Атомиздат. - 1976.288 с.
96. Пикус Г.Я., Шмюков В.Ф., Христов А.И. Исследование газовыделения и испарения катодов с плотным покрытием, полученных методом плазменного напыления // Электронная техника. Сер.6, Материалы. 1971. - Вып. I. - С. 11-19.
97. Большаков А.Ф., Емельянов B.C., Лясников В.Н., Исследование фазового состава катодных покрытий, полученных плазменным напылением тройных карбонатов Ва, Sr, Са. // Электронная техника. Сер.6, Материалы. 1989. - Вып.6. - С. 17 -21.
98. Взаимодействие водорода с металлами / В.И .Агеев, И.Н. Бекман, О.П.Бурмистрова и др. М.: Наука, 1967.- 296с.
99. Швыряев A.A., Бекман И.Н. Диаграммные бумаги для обработки результатов диффузионных экспериментов. М., 1980. - 14с. - Деп. В ВИНИТИ, №4647-80.
100. Лобко В.Н., Рябов P.A. Диффузия водорода в металлах в условиях роста гидридного слоя. Владимир, 1983.- 7с. -Деп. в ВПИ, №818хп-Д83.
101. Томис Дж., Томас У. Гетерогенный катализ/Пер.с англ. под ред. A.M. Рубинштейна.- М.: Мир, 1985.-452с.
102. Адлер Ю.П. Введение в планирование эксперимента. М.: Металлургия, 1968.- 155с.
103. Налимов В.В. Теория эксперимента. — М.: Наука, 1971.-324с.
104. Серянов Ю.В., Квятковская Л.М., Гришанин В.А. Оптимизация ультразвукового электроосаждения меди в каналах узких коммутационных отверстий интегральных схем // Защита металлов.-1994. — т.30, № 3. с. 330-332.
105. Серянов Ю.В. Соногальванопластическое формообразование медных деталей субмиллиметровых размеров // Электрохимия. 1997. - т.ЗЗ, № 1.-е. 85-91.
106. Серянов Ю.В., Фоменко Л.А., Соколова Т.Н., Чеботаревский Ю.В. Электрохимическая обработка металлов. Саратов : СГТУ, 1998. - 124с.
107. Де Бур Я. Динамический характер адсорбции / Пер. с аш л. М. : Мир, 1962.-312с.
108. Жуховицкий A.A., Шварцман JI.A. Физическая химия. М. : Металлургия, 1976. - 543с.г
109. Краткий справочник физико-химических величин / Под ред. К.П. Мищенко и A.A. Равделя. — Л. : Химия, Леииигр. Отд-пис. 1972. 200с.
110. Теория и технология азотирования /Ю.М. Лахтим, Я.Д. Коган, Г.-И. Шпис, 3. Бемер. М. : Металлургия, 1991. — 320с.
111. Корнилов И.И. Титан. — М. : Металлургия, 1975. 308с.
Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.