Повышение эффективности размерной и поверхностной обработки деталей и инструмента за счет применения источников пучков быстрых нейтральных молекул тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.07, кандидат технических наук Панин, Виталий Вячеславович

• Панин, Виталий Вячеславович
• кандидат технических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат технических наук Панин, Виталий Вячеславович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ОСНОВНЫЕ МЕТОДЫ РАЗМЕРНОЙ И ПОВЕРХНОСТНОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ МАШИН ПУЧКАМИ ИОНОВ И БЫСТРЫХ АТОМОВ.

1.1. Конструкция и принцип работы «сухих» газовых уплотнений.

1.2. Основные методы создания газодинамических канавок на плоских поверхностях колец «сухих» газовых уплотнений.

1.2.1 Технологические процессы ионно-плазменного травления материалов.

1.2.1.1 Методы плазмохимического травления.

1.2.1.1.1 Плазменное травление.

1.2.1.1.2 Радикальное травление.

1.2.1.2 Методы ионно-химического травления.

1.2.1.2.1 Реактивное ионно-плазменное травление.

1.2.1.2.2 Реактивное ионно-лучевое травление.

1.2.1.3 Методы «сухого» физического ионного травления.

1.2.1.4 Использование для создания газодинамических канавок источников широких пучков ионов.

1.2.1.5 Создание газодинамических канавок с помощью источников быстрых нейтральных молекул.

1.3. Ионное азотирования режущих инструментов из быстрорежущей стали.

1.3.1. Ионное азотирование инструментов из быстрорежущей стали в плазме тлеющего разряда.

1.3.2. Ионное азотирование инструментов из быстрорежущей стали в плазме тлеющего разряда с электростатическим удержанием электронов.

1.3.3. Ионное азотирование инструментов из быстрорежущей стали в плазме двухступенчатого вакуумно-дугового разряда.

1.3.4. Азотирование инструментов из быстрорежущей стали в плазме, получаемой ионизацией газа пучком быстрых молекул азота.

1.4. Анализ данных литературного обзора. Постановка цели и задач исследований.

ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ИСТОЧНИКОВ ШИРОКИХ ПУЧКОВ БЫСТРЫХ НЕЙТРАЛЬНЫХ АТОМОВ И МОЛЕКУЛ С СЕКЦИОНИРОВАННЫМИ ЭМИССИОННЫМИ СЕТКАМИ И ХОЛОДНЫМИ ПОЛЫМИ КАТОДАМИ.

2.1. Источник быстрых нейтральных атомов и молекул прямоугольного сечения с секционированными электродами.

2.2. Источник быстрых нейтральных атомов и молекул круглого сечения с секционированными электродами.

2.3. Исследование возможности длительной бесперебойной работы источников широких пучков быстрых нейтральных молекул прямоугольного и круглого сечения.

2.4. Создание лабораторного стенда для изучения технологических процессов размерной и поверхностной обработки изделий машиностроения с помощью источников быстрых нейтральных атомов и молекул.

2.5. Использование технологии маскирования для физического «сухого» травления изделий из керамических материалов.

2.5.1. Способы маскирования поверхностей обрабатываемых образцов.

2.5.2. Получение углублений с требуемыми параметрами качества за счет использования способа свободной маски.

2.5.3. Способы создания прорезей (окон) в масках (шаблонах).

2.5.3.1. Механическая (лезвийная) обработка.

2.5.3.2. Методы обработки концентрированными потоками энергии.

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПУЧКА БЫСТРЫХ АТОМОВ АРГОНА И ПРОСТРАНСТВЕННОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ СКОРОСТИ ТРАВЛЕНИЯ ИМИ МЕТАЛЛОВ В РАБОЧЕЙ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ.

3.1. Описание экспериментальной установки.

3.2. Исследование радиального распределения скорости травления подложек при различных режимах работы источника быстрых нейтральных атомов.

3.3. Определение эффективного диаметра пучка по отпечаткам на плоских мишенях.

3.4 Исследование угловых характеристик быстрых нейтралов в пространстве рабочей вакуумной камеры.

3.5. Изучение основных факторов, определяющих диаметр области однородного травления подложки пучком быстрых атомов аргона.

ГЛАВА 4. ИЗУЧЕНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ И РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ТРАВЛЕНИЯ ТВЕРДОЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ИСТОЧНИКОМ ПУЧКА С СЕКЦИОНИРОВАННОЙ СЕТКОЙ.

4.1. Использование для травления диэлектрических поверхностей источников быстрых нейтральных молекул с секционированными электродами.

4.2. Исследование радиального распределения в пространстве вакуумной камеры скорости травления подложек с помощью источников быстрых нейтральных молекул с секционированными электродами.

4.3. Разработка технологии травления газодинамических канавок с требуемыми параметрами качества на плоской поверхности образцов, изготовленных их сверхтвердых непроводящих керамик

ГЛАВА 5. АЗОТИРОВАНИЕ РЕЖУЩИХ ИНСТРУМЕНТОВ ИЗ БЫСТРОРЕЖУЩЕЙ СТАЛИ В ПЛАЗМЕ, ПОЛУЧАЕМОЙ ПРИ ИОНИЗАЦИИ ГАЗА ПУЧКОМ БЫСТРЫХ НЕЙТРАЛЬНЫХ

МОЛЕКУЛ АЗОТА.

5.1. Применение источников быстрых нейтральных молекул для ионизации газа и нагрева изделий в вакуумной камере.

5.2 Изучение пространственного распределения концентрации плазмы в вакуумной камере технологической установки.

5.3 Повышение концентрации и однородности азотной плазмы в пространстве вакуумной камеры.

5.4 Азотирование в несамостоятельном тлеющем разряде, поддерживаемом пучком быстрых нейтральных молекул азота.

5.5. Изучение микрогеометрии главной режущей кромки режущих пластин, азотированных в плазме, полученной ионизацией газа пучком быстрых молекул азота.

5.6. Изучение микроструктуры режущих пластин, азотированных в плазме, полученной ионизацией газа пучком быстрых молекул азота.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение эффективности размерной и поверхностной обработки деталей и инструмента за счет применения источников пучков быстрых нейтральных молекул»

Большой проблемой в современном машиностроении является создание профилированных углублений (пазов) с требуемыми параметрами качества на плоских поверхностях изделий, изготовленных из сверхтвердых керамических материалов.

Одним из основных элементов бесконтактного торцового уплотнения вала компрессора является кольцо, имеющее на своей плоской рабочей поверхности газодинамические канавки (каналы) [1-5]. Профилированные канавки работают на эффекте использования вязких свойств газа. При перемещении поверхностей друг относительно друга, канавки обеспечивают нагнетание газовой среды и повышение давления в зазоре между поверхностями колец, а это приводит к их устойчивому разделению. Несущая способность газового слоя сильно зависит от формы (очертаний) и точности изготовления газодинамических канавок [6-8]. Допуски на отклонение размеров такого профиля по глубине, как правило, не превышают ~ (5-10) % от номинальных значений, которые для глубины канавок составляют от нескольких единиц до нескольких десятков микрометров.

Создание в «сухих» газовых уплотнениях (СГУ) сверхмалых рабочих зазоров ~ 10 мкм и наличие в них сухого трения в момент пуска и остановки требует выбора соответствующего материала для их изготовления. Применяемые для создания вращающихся колец уплотнений с газовой смазкой материалы (оксид алюминия, нитрид кремния, карбид кремния) обладают повышенной твердостью и стойкостью к агрессивным средам. Поэтому механические и химические (жидкостные) методы формирования канавок с заданной конфигурацией малоэффективны. В настоящее время широко используют новые высокоэффективные технологии обработки, такие как электроэрозионная, электроннолучевая, ионно-лучевая, лазерная, а также обработка быстрыми нейтральными атомами и молекулами. В отличие от методов механической лезвийной обработки они базируются на иных физических механизмах диспергирования материала заготовки, позволяющих без износа инструмента обрабатывать любой материал независимо от его механических свойств.

Для изготовления газодинамических канавок на поверхности подвижного уплотнительного кольца из керамики можно использовать технологию «сухого» физического травления [9-10] через прорези (окна) в маске. В этом случае поверхностные атомы обрабатываемого материала выбиваются с поверхности под воздействием налетающего на нее потока ионов или быстрых атомов.

Для распыления диэлектрической поверхности необходим источник пучка ионов или быстрых нейтральных атомов с поперечным сечением, превышающим ее размеры. Сечение пучка известных ионных источников с термоэмиссионными катодами [11-12] позволяет обрабатывать металлические поверхности диаметром до 500 мм. Однако при травлении диэлектрической поверхности осаждение на катодах и других электродах такого источника пленок диэлектрического материала, поступающего в него через ускоряющие сетки, сразу приводит к выходу источника из строя. Осаждение диэлектрических пленок на эмиссионной сетке и холодном полом катоде источника быстрых нейтральных атомов и молекул также приводит к выходу его из строя. Пленки вызывают пробои между этими электродами и плазменным эмиттером источника, следующие друг за другом с высокой частотой, и приводят к выходу из строя системы дугозащиты источников электропитания.

Таким образом, разработка и исследование новых принципов и технологий изготовления фасонных канавок с требуемыми параметрами качества и в установленном производственной программой количестве на плоских поверхностях изделий машиностроения из керамических материалов с помощью источников быстрых нейтральных атомов и молекул является актуальной задачей. Кроме того, технологии обработки такими источниками можно использовать не только для размерной, но и для поверхностной обработки режущих инструментов из различных материалов, например, ионной химико-термической обработки, нанесения покрытий и комбинированной обработки инструмента, включающей предварительное упрочнение его поверхностного слоя и последующее осаждение на него сверхтвердого покрытия.

Цель работы заключается в повышении эффективности травления канавок различного профиля в деталях из керамических материалов и поверхностной упрочняющей обработки режущих инструментов на основе разработки и применения источника быстрых нейтральных атомов и молекул и выбора рациональных условий обработки.

Научная новизна состоит в:

- разработанных и экспериментально подтвержденных принципах физического травления газодинамических канавок различного профиля в деталях из керамических (диэлектрических) материалов с использованием источника быстрых нейтральных атомов аргона, обеспечивающего создание профилированных углублений глубиной более 0,02 мм с требуемыми показателями качества;

- установленных взаимосвязях между показателями качества фасонных газодинамических канавок на плоской торцовой поверхности изделий, изготовленных из сверхтвердых диэлектрических материалов, и технологическими режимами процесса травления - энергией ускоренных нейтральных частиц, их эквивалентным током и расстоянием от эмиссионной сетки источника до подложки.

Практическая ценность работы заключается в:

- разработанной конструкции источника широких пучков быстрых нейтральных атомов и молекул, способного длительное время распылять диэлектрические материалы и получать пучки быстрых молекул химически активных газов; разработанной технологии изготовления спиральных газодинамических канавок на поверхности подвижного уплотнительного кольца из а-корунда глубиной до 20±0,5 мкм, с шероховатостью Яа ~ 0,4 мкм; разработанной технологии комбинированной обработки инструмента, включающей предварительное азотирование и последующее осаждение сверхтвердого покрытия с нагревом инструмента пучком быстрых нейтральных молекул в плазме, получаемой ионизацией газа в камере быстрыми молекулами. В результате такой обработки не происходит увеличения радиуса округления режущей кромки по сравнению со значением данного параметра, достигаемого при использовании традиционных технологий, предусматривающих нагрев инструмента ионами из плазмы, ускоренными подаваемым на инструмент отрицательным напряжением.

Первая глава содержит обзор литературных данных по источникам широких пучков ионов и быстрых нейтральных атомов, используемых для травления спиральных газодинамических канавок в керамических кольцах и азотирования режущих инструментов из быстрорежущей стали.

Во второй главе представлено оборудование, используемое для проведения экспериментальных исследований в соответствие с целями и задачами работы.

В третьей главе представлены результаты измерений пространственного распределения скорости травления металлов в камере с помощью источника без секционирования электродов, который формирует пучок диаметром ~ 200 мм с током до 0,8 А быстрых атомов аргона с энергией до 4 кэВ.

Четвертая глава посвящена исследованию травления с требуемыми параметрами качества образцов из диэлектрических материалов с помощью источников быстрых нейтральных атомов и молекул с секционированными электродами. Представлены результаты разработки технология травления газодинамических канавок на плоских поверхностях колец торцовых уплотнений компрессоров, изготовленных из а-корунда (А1203).

На защиту выносятся следующие научные положения:

1. С помощью источника быстрых нейтральных атомов и молекул можно изготавливать спиральные газодинамические канавки на поверхности подвижного уплотнительного кольца из а-корунда глубиной до 20±0,5 мкм, с шероховатостью Яа ~ 0,4 мкм.

2. Азотирование режущих пластин из быстрорежущей стали Р6М5 можно проводить в плазме, создаваемой пучком быстрых нейтральных молекул азота. Поток быстрых нейтралов способен нагревать образцы до температуры 500 °С.В результате модификации твердость поверхностного слоя увеличивается в 1,5 раза, а радиус округления режущей кромки не увеличивается.

Работа выполнялась в рамках государственного контракта с Минобрнауки России № 02.740.11.0129 от 15.06.2009г. «Проведение коллективом научно-образовательного центра «Центр физико-технологических исследований» работ по созданию и практической реализации технологий и оборудования для высокопроизводительного травления сложнопрофильных углублений в изделиях из композиционных и керамических материалов широким пучком быстрых атомов» ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России». И

Результаты работы удостоены бронзовой медали и диплома Международного салона изобретений - «Конкурс Лепин» в г. Париже в 2011 году и серебряной медали XIV Московского международного Салона изобретений и инновационных технологий «АРХИМЕД - 2011».

Основные положения диссертационной работы докладывались и обсуждались на 63-ей конференции по газовой электронике и 7-ой Международной конференции по химически активной плазме (Париж, 2010), на Международной конференции «Технология материалов, применяемых в энергетике» (Манчестер, 2010), на 10-ой Международной конференции по модификации материалов пучками ускоренных частиц и потоками плазмы (Томск, 2010), на Научной сессии МИФИ-2009 (Москва, 2009), 47-ой и 49-ой Международных научных студенческих конференциях «Студент и научно-технический прогресс» (Новосибирск, 2009 и 2011), 10-ой Международной научно-технической конференции по качеству машин (Брянск, 2011) и на Совместной сессии и выставке-ярмарке перспективных технологий (Орск, 2011).

Автор выражает благодарность научному руководителю работы проф., д.ф.-м.н. A.C. Метель, д.т.н., проф. С.Н. Григорьеву д.т.н., проф. H.A. Воронину, к.т.н., проф. В.И.Власову, к.т.н., старшему преподавателю М.А. Волосовой, зав. лабораторией кафедры «Высокоэффективные технологии обработки» В.Ф. Севастьянову, к.ф.-м.н., с.н.с. Ю.А. Мельнику, к.т.н., зав. лаборатории ЦФТИ C.B. Федорову, а также инженерно-техническому и рабочему персоналу ЦФТИ МГТУ «СТАНКИН» и

Заключение диссертации по теме «Автоматизация в машиностроении», Панин, Виталий Вячеславович

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. В диссертационной работе решена научно-техническая задача, имеющая большое значение для машиностроения, состоящая в повышении эффективности травления канавок различного профиля в деталях из керамических материалов и поверхностной упрочняющей обработки режущих инструментов на основе разработки и применения источника быстрых нейтральных атомов и молекул и выбора рациональных условий обработки.

2. Экспериментально показано, что с помощью источника быстрых нейтральных атомов аргона можно изготавливать спиральные газодинамические канавки на поверхности подвижного уплотнительного кольца из а-корунда с показателями качества, которые невозможно обеспечить альтернативными способами обработки (точность глубины канавки ±0,5 мкм, а шероховатость ее дна Яа ~ 0,4 мкм).

3. Комплекс проведенных аналитических и экспериментальных 3» исследований показал, что азотирование инструментов из быстрорежущей ? стали можно проводить в плазме, создаваемой пучком быстрых нейтральных молекул, который нагревает инструмент до температуры 500 °С без затупления его режущей кромки. В частности, при азотировании в течение часа режущих пластин из стали Р6М5 радиус округления режущей кромки не увеличивается, а наоборот, снижается примерно на 2 мкм, в то время как значение данного параметра при использовании традиционных технологий нагрева инструмента ионами из плазмы, ускоренными подаваемым на инструмент отрицательным напряжением, значительно увеличивается.

4. Разработана оригинальная конструкция и создан опытный образец многофункционального источника быстрых нейтральных атомов и молекул, способного длительное время обрабатывать подложки из любых материалов в условиях интенсивного загрязнения его электродов, а также формировать пучки быстрых молекул химически активных газов. С его помощью можно выполнять размерную обработку деталей из керамических материалов и поверхностную обработку металлорежущих инструментов.

5. Установлено, что при использовании источника пучка быстрых нейтральных атомов с круглой эмиссионной сеткой основными факторами; определяющими распределение скорости травления материалов в пространстве рабочей вакуумной камеры, являются расстояние до эмиссионной сетки и отношение эквивалентного тока пучка к энергии ускоренных частиц. Это позволяет для заданного диаметра подложки, требуемой точности глубины канавок и шероховатости их дна подобрать оптимальное расстояние от сетки источника до обрабатываемой поверхности.

6. Экспериментально показано, что секционирование круглой сетки, обеспечивающее работоспособность источника в химически активных газах и в условиях интенсивного загрязнения электродов материалом диэлектрических подложек, приводит к азимутальной неоднородности пучка. Для обеспечения монотонности радиального распределения скорости травления подложки источником с секционированной сеткой необходимо ее вращать вокруг оси пучка.

7. Разработаны технологические рекомендации по выбору рациональных режимов травления канавок различного профиля в деталях из керамических материалов и поверхностной упрочняющей обработки режущих инструментов с использованием источника быстрых нейтральных атомов и молекул.

8. Результаты диссертационной работы предложены для применения на предприятиях машиностроительного профиля и используются в учебном процессе ФГБОУ ВПО МГТУ «СТАНКИН» при подготовке магистров по направлению «Конструкторско-технологическое обеспечение машиностроительных производств» в рамках магистерской программы «Технология размерной формообразующей обработки».

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Панин, Виталий Вячеславович, 2011 год

1. Пинегин C.B., Орлов A.B., Табачников Ю.Б. Прецизионные опоры качения и опоры с газовой смазкой. — М.: Машиностроение, 1984. -216 с.

2. Майер Э. Торцовые уплотнения. М.: Машностроение, 1978. - 218 с.

3. Дроздович В. Н. Газодинамические подшипники. Л.: Машиностроение (Ленингр. отд-ние), 1976. - 208 с.

4. Пинегин C.B., Емельянов A.B., Табачников Ю.Б. Газодинамические подпятники со спиральными канавками. М.: Наука, 1977. — 108 с.

5. Подшипники с газовой смазкой / Под ред. Грэссема Н.С. и Пауэлла Дж. У. М.: Мир, 1966. 424 с.

6. Фалалеев C.B., Новиков Д.К., Балякин В.Б., Россеев Н.И., Медведев С.Д., Клячин Ю.А «Сухое» газовое уплотнение для нагнетателя 37018-1 // Газовая промышленность, 1998. № 4. С. 55 — 57.

7. Фалалеев C.B., Новиков Д.К., Косицын И.П., Вигурский A.B. Опыт создания «сухих» уплотнений для высокооборотного компрессора // Гервикон 2005: Труды 11—й межд. научно-техн. конф. — Сумы, Украина: Вид-во СумДУ, 2005, т. 3. С. 270 — 277.

8. Смоллей. Теория узких канавок для газовых подшипников со спиральными канавками. Разработка и применение обобщенного метода численного решения // Проблемы трения и смазки, 1972. №1. С. 83—90.

9. Григоров А.И., Семенов А.П. Обработка газовых подшипников с применением ионного распыления. М.: Наука, 1976. - 124 с.

10. Батлер. Получение канавок в гидродинамических подшипниках методом ионного фрезерования // Проблемы трения и смазки, 1975. №2. С. 209 — 211.

11. Лабунов В.А., Данилович Н.И., Громов В.В. Многопучковые ионные источники для систем ионного травления распыления // Зарубежная электронная техника, 1982. № 5 (251). С. 82 - 120.

12. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Ионное травление микроструктур. М.: Советское радио, 1979. - 104 с.

13. Пинегин C.B., Поспелов Г.А., Пешти Ю.В. Опоры с газовой смазкой в турбомашинах ограниченной мощности. М.: Наука, 1977. - 150 с.

14. Ченг, Чоу, Кастелли. Рабочие характеристики высокоскоростных бесконтактных газовых уплотнений, профилированных спиральными канавками и скрытой ступенью Рэлея // Проблемы трения и смазки, 1969. №1. С. 67-76.

15. Максимов В. А., Хадиев М.Б., Хисалиев И.Г., Галиев P.M. Бесконтактные уплотнения роторов центробежных и винтовых компрессоров. Казань.: ФЭН, 1998. - 292 с.

16. Фалалеев C.B., Чегодаев Д.Е. Торцовые бесконтактные уплотнения двигателей летательных аппаратов: Основы теории и проектирования. — М.: Изд-во МАИ, 1998. — С. 276.

17. Гольвсвейн Я. Сухие уплотнения фирмы «John Сгапе»//Уплотнения и вибрационная надежность центробежных машин: Труды VI научно-техн. конф. — Сумы, 1991. С. 295—313.

18. Григорьев С.Н., Воронин H.A. Технология вакуумно-плазменной обработки инструмента и деталей машин. Учебник. М.: «Янус-К», ИЦ ГОУ МГТУ «Станкин», 2005. - 508 с.

19. Ефремов А. М., Светцов В. И., Рыбкин В. В. Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учеб. Пособие Иваново: ГОУ ВПО Иван, гос. хим.-технол. ун-т., 2006. - 260 с.

20. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Ионное травление микроструктур. М.: Советское радио, 1979. - 104 с.

21. Минайчев В.Е. Вакуумное оборудование для нанесения пленок. М.: Машиностроение, 1978. - 58 с.

22. Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968.-340 с.

23. Григорьев С.Н., Мельник Ю.А., Метель A.C., Панин В.В. Изготовление канавок износостойкой диэлектрической поверхности с помощью широкого пучка быстрых атомов аргона // Упрочняющие технологии и покрытия. 2010. № 6 С. 23 - 27.

24. Hayes А. V., Kanarov V., Vidinsky В. Fifty centimeter ion beam source. -Rev. Sei. Instrum. 1996. V. 67. No 4. P. 1638 1641

25. S Patent No 6,285,025, Int. CI. H01S 1/00; H01S 3/00. Source of fast neutral molecules / A.S. Metel, S.N. Grigoriev / PCT Filed Mar. 18, 1997 // Dated Sep. 4,2001.

26. Grigoriev S., Melnik Yu., Metel A // Surf. Coat. Technol. 2002. V. 156. No 1/3. P. 44-49.

27. Григорьев C.H., Мельник Ю.А., Метель A.C., Панин B.B., Источник широкого пучка быстрых атомов, получаемых при перезарядке ионов, ускоряемых между двумя областями, заполненными плазмой // Приборы и техника эксперимента. 2009. № 4. С. 166 172.

28. Гасанов И.С. Плазменная и пучковая технология. — Б.: Элм, 2007. — 175 с.

29. Панин В.В. Источники широких пучков быстрых молекул с секционированными электродами для обработки деталей машин и инструмента // Вестник МГТУ «Станкин». 2011. № 4 . С. 39 42.

30. J.C. Avelar-Batista, Е. Spain, J. Housden, A. Matthews et al. // Surf. Coat. Technol. 2005. V. 200. P. 1954.

31. Арзамасов Б.Н., Братухин А.Г., Елисеев Ю.С., Панайоти Г.А. Ионная химико-термическая обработка сплавов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э.Баумана, 1999, - 400 с.

32. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д., Бемер З.Т. Теория и технология азотирования. М.: «Металлургия», 1991. - 320 с.

33. Федоров C.B. Комбинированная поверхностная ионно-плазменная обработка инструмента из быстрорежущей стали: Диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.02.01. Москва, 2004 г.

34. Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. М. Металлургия. 1990 г.-216 с.

35. Фукс-Рабинович Г.С., Моисеев В.Ф. и др. Износостойкость азотированного инструмента из быстрорежущих сталей. Трение и износ, т 16. №4.1995 г. С. 780-786.

36. Черкасов П.М. Повышение стойкости сверл малого диаметра из быстрорежущей стали за счет выбора рациональных режимов вакуумно плазменной обработки: Диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.03.01,05.02.01. Москва, 2004 г.

37. Григорьев С.Н., Клебанов Ю.Д. Физические основы применения концентрированных потоков энергии в технологиях обработки материалов. Издание второе. Учебник. М.: ИЦ МГТУ «Станкин», Янус-К, 2005. - 220 с.

38. Григорьев С.Н., Мельник Ю.А., Метель A.C., Панин В.В. Заполнение рабочей камеры технологической установки однородной плазмой с помощью стационарного тлеющего разряда // Физика плазмы. 2009. Т. 35.№ 12.-С. 1140-1149.

39. Григорьев С.Н., Федоров C.B., Волосова М.А., Туманова М.А. Технология и оборудование для комплексной ионно-плазменной обработки режущего инструмента // Качество машин: Сб. тр. IV международной научно-технич. конф. Т.2. Брянск: БГТУ, 2001. С. 126-127.

40. Саблев Л.П., Андреев A.A., Кунченко В.В. Плазменное азотирование режущего инструмента из быстрорежущей стали. // Труды симп. ОТТОМ, г. Харьков, 2000, с. 133 137.

41. Sablev L.P., Andreev A.A., Grigoriev S.N., Metel A.S. // US Pat. No 5,503,725. Int. Cl. HOIS 1/00; HOIS 3/00. 1996.

42. Мельник Ю.А., Метель A.C., Панин В.В., Прудников В.В. Несамостоятельный тлеющий разряд с электростатическим удержанием электронов, поддерживаемый пучком быстрых нейтральных молекул // Физика плазмы. 2011. Т.37, № 4. С. 387 — 395.

43. Grigoriev S., Melnik Yu., Metel A. Broad fast neutral molecule beam source for industrial scale beam - assisted deposition // Surf. Coat. Technol. 2002. V. 156. No 1/3. P. 44 - 49.

44. Мельник Ю.А. Источники широких пучков быстрых молекул газа и атомов металла на основе тлеющего разряда с электростатическим удержанием электронов: Диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.08. Москва, 2006.

45. Метель А. С., Григорьев С. Н. Тлеющий разряд с электростатическим удержанием электронов: физика, техника, применения. М.: Янус-К, 2005. 452с.

46. Данилин Б.С. Вакуумные процессы и оборудование микроэлектроники. М.: Машиностроение, 1987. - 71 с.

47. Данилин, Б. С. Вакуумное нанесение тонких пленок. М.: Энергия, 1967.-312 с.

48. Паркин A.A. Технология обработки концентрированными потоками энергии: Учебное пособие. Самара. Самарский государственный технический университет., 2004 - 494 с.

49. Левинсон Е.М., Лев B.C. Справочное пособие по электротехнологии. Электроэрозионная обработка металлов. Л.: Лениздат, 1972. — 327 с.

50. Артамонов Б.А., Волков Ю.С., Дрожалова В.И. и др. Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов М.: Высшая школа, 1983. в 2-х т.

51. Немилов Е.В. Электроэрозионная обработка металлов: учебник для ПТУ. Л.: Машиностроение (Ленингр. отделение), 1983. - 160 с.

52. Бруннер В. Справочник по лазерной технике: Пер. с нем. М.: Энергоатомиздат, 1991. - 544 с.

53. Рыкалин H.H., Углов A.A., Зуев И.В., Кокора А.Н. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов: Справочник. — М.: Машиностроение, 1986.-495 с.

54. Мак-Даниель И. Процессы столкновений в ионизованных газах. — М.: Мир, 1967.-832 с.

55. Балкевич В.Л. Техническая керамика: Учеб. пособие для втузов.—2-е изд., перераб. и доп. — М.: Стройиздат, 1984. — 256 с.

56. Гаршин А.П., Гропянов В.М., Зайцев Г.П. и Семенов С.С. Керамика для машиностроения. — М.: ООО Издательство "Научтехлитиздат", 2003. —384 с.

57. Матренин C.B., Слосман А.И. Техническая керамика: Учебное пособие Томск: Изд-во ТПУ, 2004. — 75 с.

58. Григорьев С. Н., Мельник Ю.А., Метель A.C., Панин В.В., Прудников В.В. Компактный источник пара материала проводящей мишени, распыляемой ионами с энергией 3 кэВ при давлении 0,05 Па // Приборы и техника эксперимента. 2009. № 5. С. 127 133.