Повышение эффективности процессов абразивной обработки кварцевых кристаллических элементов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.01, кандидат технических наук Торшин, Дмитрий Дмитриевич

• Торшин, Дмитрий Дмитриевич
• кандидат технических наук
• 2002

Оглавление диссертации кандидат технических наук Торшин, Дмитрий Дмитриевич

Введение.

1. Совершенствование абразивной обработки изделий из кварца на основе повышения эффективности технологических процессов обработки кварцевых кристаллических элементов.

1.1. Влияние качества поверхности кварцевых пластин на их электрофизические характеристики

1.2. Влияние смазочно-охлаждающей жидкости на качество поверхности кварцевых кристаллических элементов

1.3. Влияние технологических режимов обработки на качество поверхности ККЭ.

1.4. Цель и задачи исследования.

2. Математическое моделирование процессов абразивного диспергирования изделий из кварца.

2.1. Феноменологическая модель режущей способности алмазных кругов при распиловке ККЭ.

2.2. Моделирование процесса распиловки кварца алмазным инструментом.

2.3. Феноменологическая модель режущей способности суспензий при доводке.

3. Разработка методов и критериев оценки величины и характера нарушений поверхностного слоя, их изменение на различных стадиях обработки и влияние на параметры кварцевых изделий.

3.1. Избранные методы исследований.

3.2. Особенности внешней и внутренней морфологии кристаллов кварца. Физико-химические исследования структурных несовершенств

3.3. Исследования зоны нарушений кристаллов кварца типа двойник».

3.4. Структура, характер и величина нарушений в поверхностных слоях кварцевых пластин на различных стадиях обработки 95 4. Методика проведения технологических испытаний.

4.1. Исследование физико-химических смазочно-охлаждающих жидкостей (СОЖ).

4.1.1. Смазывающее свойство смазочно-охлаждающей жидкости.

4.1.2. Определение поверхностного натяжения полустатическим методом максимального давления пузырьков.

4.1.3. Смачивание твердых тел.

4.2. Моющая способность СОЖ.

4.3. Вязкость СОЖ.

4.4. Контроль качества смазочно-охлаждающей жидкости.

4.5. Исследования абразивных суспензий.

4.5.1. Исследование реологических свойств.

4.5.2. Методика исследования тиксотропных свойств суспензий.

4.5.3. Исследование агрегативной устойчивости суспензии.

4.5.4. Определение «угла сползания» седиментационного осадка.

4.5.5. Определение размеров частиц суспензий методом микроскопирования.

4.6. Методика проведения технологических исследований СОЖ при распиловке кварца на экспресс-стенде.

4.6.1. Устройство и технологические данные стенда.

4.6.2. Режимы испытания.

4.7. Критерии оценки технологических свойств СОЖ.

5. Подбор составов пожаро- и взрывобезопасных смазочно-охлаждающих жидкостей (СОЖ) для распиловки ККЭ.

5.1. Исследование физико-химических и сопутствующих свойств СОЖ.

5.2. Лабораторные технологические испытания СОЖ

5.3. О влиянии технологических параметров процесса распиловки на качественные показатели.

5.4 Исследование процесса распиловки кварца с применением

СОЖ «Синхо-6».

6. Выбор дисперсионных сред суспензий для доводки изделий из кварца.

6.1. Исследование коллоидно-химических и сопутствующих свойств дисперсионных сред и суспензий.

6.2. Исследование сравнительной технологической эффективности дисперсионных сред при доводке суспензиями.

7. Производственные испытания.

7.1. Производственные испытания СОЖ.

7.2. Производственные испытания стабилизированных суспензий

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение эффективности процессов абразивной обработки кварцевых кристаллических элементов»

Проблема повышения качества и объемов выпуска кварцевых кристаллических элементов (ККЭ) имеет важное народно-хозяйственное значение.

В качестве пьезоэлектрических материалов могут применяться, помимо кварца, турмалин, виннокислый калий и виннокислый этилендиамин, различные керамики (титанат бария, цирконат - титанат свинца и др.) и многие другие моно- и поликристаллы. Однако ни один из них до сих пор не стал достаточно сильным конкурентом кварцу благодаря тому, что в кварце сочетаются многочисленные достоинства. К числу этих достоинств следует отнести и то, что кристаллы кварца являются почти идеально упругими телами, обладают ничтожным внутренним трением, большой механической и термической прочностью и встречаются в природе в виде чрезвычайно крупных образований (известны монокристаллы кварца весом свыше тонны). Кроме того, в настоящее время во многих странах мира развито промышленное производство синтетических кристаллов кварца, практически не уступающих по своему качеству природным. Одно из ведущих мест в этой отрасли принадлежит нашей стране.

Пьезоэлектрические кварцевые резонаторы изготовляются в настоящее время в широком ассортименте и охватывают диапазон частот от нескольких сотен герц до нескольких сотен мегагерц. С помощью радиотехнических средств, применяемых для умножения и преобразования частоты, кварцевые резонаторы удается использовать для стабилизации электрических колебаний в еще более широком диапазоне, вплоть до сантиметровых волн. Применение пьезоэлектрических кристаллов для упомянутых целей привело к образованию особой отрасли науки и техники, базирующейся на достижениях кристаллографии и кристаллофизики, теории колебаний, технологии хрупких материалов и электровакуумных производств.

Данная проблема может быть решена путем совершенствования технологии изготовления ККЭ, применения новых технических решений и подходов. Качество ККЭ во многом предопределяется условиями, в которых происходит их формирование на стадиях механической обработки.

Основным фактором повышения качества кварцевых кристаллических элементов - это рациональная организация технологии их производства. В соответствии с технологическими процессами изготовление ККЭ осуществляется с помощью абразивного инструмента. К числу основных видов операций, применяемых при изготовлении ККЭ, относятся: распиловка були кварца с целью получения заготовки, абразивная обработка - шлифование и последующая доводка до получения заданных параметров по геометрии и электрофизическим показателям.

Отклонения в основных геометрических параметрах кварцевого резонатора выявляются на заключительных стадиях изготовления резонатора, и выражаются в отклонениях электрофизических показателей изделия от требований нормативных условий. Выявление брака на этой стадии технологии делает невозможным исправление изделия, а это приводит к значительным материальным потерям.

Проведенный нами литературный анализ показал, что в исследованиях Смагина А.Г., Ярославского М.И., Пешкова В.А., Пачевского В.М., и многих других возникли следующие проблемы:

- проблема неплоскопараллельности реза, т.е. проблема получения заданных параметров обработки;

- проблема минимизации засаливания, возникающего в процессе распиловке на поверхности алмазного инструмента;

- проблема, стоящая в области доводке - стабилизация дисперсных систем;

- переход к пожаро- и взрывобезопасной СОЖ, и проблема неслеживания суспензии в процессе хранения.

Таким образом, на основании вышеперечисленных проблем, целью работы является повышение эффективности технологических процессов абразивной обработки изделий из кварца.

Для достижения поставленной цели в диссертационной работе решены следующие задачи:

- разработана феноменологическая модель процесса распиловки ККЭ;

- изучено влияние технологических параметров на показатели качества обработанной поверхности ККЭ;

- исследовано влияние качества поверхностного слоя кварцевых кристаллических элементов на их электрофизические показатели;

- разработаны принципы подбора пожаро- и взрывобезопасных СОЖ и состава дисперсионных сред абразивных суспензий для операций абразивной обработки ККЭ.

Работа выполнена в соответствии с координационными планами Всесоюзных, Всероссийских программ и заказами предприятий.

Основой работы явились теоретические и экспериментальные исследования составов абразивных суспензий и СОЖ, методология выбора компонентов СОЖ, суспензий, выполненные автором в Волжском инженерно-строительном институте филиале Волгоградской государственной архитектурно-строительной академии, на заводе «Метеор».

Заключение диссертации по теме «Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки», Торшин, Дмитрий Дмитриевич

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

В диссертационной работе впервые проведен комплекс теоретико - экспериментальных исследований технологического процесса при изготовлении ККЭ и получены следующие научные выводы и практические результаты:

- разработана и экспериментально подтверждена феноменологическая модель процесса распиловки кварцевых кристаллических элементов отрезными кругами;

- изучено влияние технологических параметров на показатели качества обработанной поверхности кварцевого кристаллического элемента;

- установлена линейная зависимость показателя пропускания инфракрасного спектра от толщины нарушенного слоя, от добротности и усилия резания; толщина нарушенного слоя колеблется в пределах (40ч-60) х10~6 м;

- разработана методика, успешно заменившая рентгеноструктурный анализ, для определения характера и причин возникновения «двойника» на ранних стадиях обработки в обрабатываемой заготовке, это метод ИК-спектроскопии, используемый в качестве технологического контроля, как на начальных, так и на конечных стадиях обработки;

- разработаны принципы подбора пожаро- и взрывобезопасных СОЖ и состава дисперсионных сред абразивных суспензий для операций абразивной обработки ККЭ с обеспечением требуемого качества. На основании проведенных экспериментов проведена замена трансформаторного масла водной пожаро- и взрывобезопасной СОЖ «Синхо - 6» на операции разрезания кварца. Шероховатость поверхности деталей полученная при распиловке ККЭ с данной, СОЖ, составляет Ra= 0,26 -ь 0,96 мкм.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Разработана математическая модель процесса распиловки кварца отрезными кругами с учетом требований точности и производительности обработки.

По данным электронно-микроскопических исследований наблюдается изменение структуры кварца в зависимости от технологических параметров на ранних стадиях обработки. При изменении усилий резания от 5 до 80 Н глубина структурно измененного слоя среза AT колеблется в пределах (60 - 100) х10~6 м.

Двойниковая область» имеет более измельченную структуру с отражающими гранями, наклоненными к исходным граням матрицы под углом 13 -f-15° . Кристаллографическая ось «двойника» имеет изгиб до 0,03°. Область, предшествующая образованию двойника, имеет структуру исходного материала и изгиб кристаллографической оси двойника.

Установлена линейная зависимость показателя пропускания инфракрасного спектра от величины нарушенного слоя. В зависимости от добротности и усилия резания величина нарушенного слоя колеблется в пределах (40 60) х10~6 м.

Инфракрасный спектр изделия, забракованного по электрофизическим параметрам, имеет пониженный показатель пропускания и размытия полосы поглощения, что однозначно интерпретируется как наличие поверхностных, либо объемных искажений.

Предлагается метод ИК-спектроскопии в качестве технологического контроля, как на начальных, так и на конечных стадиях обработки.

Предложен и апробирован метод рентгеноструктурного анализа локальных нарушений поверхностного слоя на предварительно деформированных

3 1 слоях с чувствительностью к плотности нарушений порядка 1,5 х10" м~ . Апро

3 1 бация метода на образце после резки показала плотность порядка 30x10" м" .

На основании результатов исследования проведена замена трансформаторного масла водной пожаро- и взрывобезопасной СОЖ «Синхо - 6» на операции распиловки кварца с обеспечением требуемого качества. Шероховатость поверхности деталей, полученная с данной СОЖ, составляет Ra - 0,26 0,96 мкм.

Стабилизированная суспензия обеспечивает устойчивость микропорошка в объеме практически неограниченное время, что позволяет исключить образование плотного осадка в емкостях при отключении станков на длительное время.

На станках с ручной подачей суспензии производительность процесса обработки повышается в 1,5 раза. Снижение содержания шлифовального микропорошка в суспензии в 2 раза не снижает производительность процесса и качество обработанных деталей.

Показана возможность замены микропорошка электрокорунда нормального микропорошками карбида кремния зеленого и черного той же зернистости с равноценными результатами по производительности и шероховатости.

На станках с автоматическим дозатором суспензии производительность процесса со стабилизированной суспензией с уменьшенным в 2 раза количеством микропорошка не уступает базовой.

Разработана и испытана схема доводочного станка на операции полирования сфер резонаторов с Р = 30 мм. Предложенная схема и головка для крепления обрабатываемых изделий обеспечивает получение требуемых параметров точности и качества обработки. Практическое применение доводочного станка с предложенной схемой позволит исключить ручной труд на операции «посадки» резонатора на частоту.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Торшин, Дмитрий Дмитриевич, 2002 год

1. Шубников А.В. Кварц и его применение. Изд-во АН СССР, 1940.

2. Ярославский М.И. Экспериментальные исследования методов повышения стабильности кварцевых резонаторов: Дис. .канд. техн. наук. АН СССР: Ин т кристаллографии, 1959.

3. Кэди У. Пьезоэлектричество и его практические применения. Изд -во ин. лит., 1949.

4. Шубников А.В., Флинт Е.Е., Бокий Г.Б. Основы кристаллографии. Изд во АН СССР, 1940.

5. Иоффе А.Ф. Физика кристаллов. М.: Изд - во ОНТИ, 1968.

6. Глюкман Л.И. Производство пьезоэлектрических кварцевых резонаторов. М.: Энергия, 1964. - 236с.

7. Смагин А.Г. Пьезоэлектричество кварца и кварцевые резонаторы. -М.: Энергия, 1970.-488 с.

8. Смагин А.Г. Исследование асимптотических методов диссипации энергии в кристаллах кварца // Вопросы радиоэлектроники, 1964. Сер. III, вып.11. С. 23-27.

9. Смагин А.Г. Пьезоэлектрические резонаторы и их применение. М.: Изд - во стандартов, 1967.

10. Zener С., Phys. Rev., 1937, v 52, р 230.

11. П.Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Механика. М.: Физматгиз, 1958.

12. Зубов В.Г., Штыркова А.П., Фирсова М.М., Глушкова Т.М. Физика твердого тела, 1979. Т. 21. С. 2519.

13. З.Афанасьев И.И., Андрианова Л.К. Физика твердого тела, 1991. Т. ЗЗ.-С. 1173 1177.

14. Н.Сканави Г.И. Физика диэлектриков (область слабых полей). М.: ГТТИ, 1949. - 500 с.

15. Смагин А.Г. Прецизионные кварцевые резонаторы, физические основы. М.: Изд - во стандартов, 1964.

16. Глазов В.М., Земсков B.C. Физико-химические основы легирования полупроводников. -М.: Наука, 1967.

17. Ахматов А.С. Молекулярная физика. М.: Физматгиз., 1963. - 472 с.

18. Пинскер З.Г. Монокристаллические пленки. -М.: Мир, 1966.-390 с:

19. Деларова И.И., Беляев Б.Д., Рябов А.Н., Крашенинников А.А. Исследование поверхностного нарушенного слоя в монокристаллах методом химического травления // Физика и химия обработки материала, 1978. № 4. С. 148 - 151.

20. Скупов В.Д., Пашков В.И. Рентгеновский способ измерений малых деформаций монокристаллических пластин // Приборы и техника эксперимента, 1979. № 1.-С. 212-213.

21. Маслов Е.Н., Новиков Н.Н., Швидкий Б.А., Щербаков J1.E. Исследование глубины поверхностного слоя напряженного в процессе шлифовки монокристаллов кварца // Физика и химия обработки материалов, 1979. № 1. С. 139-141.

22. Ашкеров Ю.В., Альтшуллер В.М., Коровкин В.П. Исследование сил трения при склерометрическом моделировании шлифования оптических материалов // Оптико-механическая промышленность, 1983. № 12. С. 24.

23. Королев А.В. Исследование процессов образования поверхностей инструмента и детали при абразивной обработке. Изд во Саратовского ун - та, 1975,- 192 с.

24. Умаров Б.С., Ярославский М.И. Вопросы радиоэлектроники, 1965. серия III. № 2,3.

25. Витовский Б.В., Татаринова Л.И. Кристаллография, 1959. Т.4. вып. 6.

26. Frondel. С. Amer. Min. 1945. v.30. 432р.

27. Смазочно охлаждающие технологические среды / Сборник научных трудов. ЦНИИТЭНефтехим. - М., 1992. - 171с.

28. Бердичевский Е.Г. Смазочно-охлаждающие технологические средства для обработки материалов: Справочник. М.: Машиностроение, 1984. - 224с.

29. Альтшуллер В.М., Коровкин В.П. Смазочно-охлаждающие жидкости для алмазной обработки оптического стекла // Оптико-механическая промышленность, 1987. № 6. С. 56-61.

30. Екогава К. Эффект СОЖ для шлифования // Кикай'то когу, 1969. Т. 13. №3. С. 158 - 169.

31. Резников А.Н. Теплофизика резания М.: Машиностроение, 1969. -■288 с.

32. Якимов А.В. Оптимизация процесса шлифования М: Машиностроение, 1975. - 176 с.

33. Саютин Г.Н. Выбор шлифовальных кругов М.: Машиностроение, 1976г.-64 с.

34. Филимонов JI.H. Стойкость шлифовальных кругов JL: Машиностроение, 1973 - 136 с.

35. Есикава А.В. Шлифовальные круги и обработка шлифованием. Со-общ. 1. Механические свойства абразивных зерен // Кикай то когу, 1964. Т. 8. № 1.

36. Худобин JI.B. Смазочно охлаждающие средства, применяемые при шлифовании - М.: Машиностроение, 1971. - 214 с.

37. Ящерицын П.И., Зайцев А.Г. Повышение качества шлифования поверхностей и режущих кромок свойств абразивно-алмазного инструмента. -Минск.: Наука и техника, 1972. 478 с.

38. Ящерицын П.И. Исследование механизма образования шлифовальных поверхностей и их эксплуатационных свойств. Дис. . д-ра техн. наук. -Минск, 1962.

39. Скотт Г. Износ алмаза при трении по стеклу. В кн.: Новые работы по трению и износу. - М.: Изд-во иностр. лит., 1959. - С. 78 - 81.

40. Худобин И.Л. О демпфирующем действии СОЖ при шлифовании // Вестник машиностроения, 1981. № 5. С. 55 - 57.

41. Худобин JI.В., Глузман А.Л., Полянсков Ю.В. Применение смазочно-охлаждающих жидкостей при шлифовании кругами из сверх твердых материалов. В кн.: Синтетические алмазы - ключ к техническому прогрессу, 1977. Т. 1.- С.155 - 160.

42. Альтах О.Л, Саркисов П.Д. Шлифование и полировка стекла и стекло изделия, 1983. 207 с.

43. Ребиндер П.А., Лихтман В.И., Щукин Е.Д. Физико-химическая механика металлов М.: АНСССР, 1962. - С. 303.

44. Ребиндер П.А. Поверхностно-активные вещества-М.: Знание, 1961. -С. 198.

45. Цвенкин Р.З. и др. Алмазное шлифование неметаллических материалов / Обзор НИИМАШ М., 1978. - С. 11 - 12.

46. Clarke F.W. Proceeding of Industrial Diamond Conference. 1967. - p. 213-218.

47. Mairlot H., Verres et refract, vol. 23, № 4-5. p. 473 - 493.

48. Коровкин В.П., Альшуллер В.М., Ашкеров Ю.В. Применение нового состава СОЖ, способствующего повышению эффективности тонкого алмазного шлифования оптического стекла // Оптико механическая промышленность, 1985. № 12. - С. 20 - 22.

49. Коровкин В.П. и др. А.С. № 1074895 А. (СССР) Смазочно-охлаждающая жидкость для алмазной обработки оптического стекла. «Оптика 1». опуб. 1984. №9.

50. Патент США № 3922821 кл. 51 284 - Заявка № 569245. опуб. 18.04.75 .

51. Смирнова Е.Н., Курылева Е.Ф. Применение новых растворов олигомеров в качестве СОЖ для шлифования стекла. Стекло и керамика, 1992. С. 11 - 12.

52. Бабинер JI.M., Шныликов А.Д., Можейко В.И., Георгиев Т.И., Ле-шинский Д.А. СОЖ при алмазном шлифовании химико-лабораторных изделий из стекла. // Синтетические алмазы, 1970. вып.5. С. 1 - 4.

53. Бабинер JI.M., Лешинский Д.А. Органические жидкости в качестве СОЖ при шлифовании стекла алмазным инструментом. НТК ЛТИ им. Ленсовета, Ленинград, 1972. С. 59.

54. Сухобрус А.А., Трембовецкий А.Н. Исследование процесса резки пьезокварца на пластины / В сб.: Сверхтвердые материалы для промышленности Киев, 1973. - С. 185 - 186.

55. Сухобрус А.А., Таланцев Л.Л., Шкурен ко Е.А., Шульман В.Г1. Прогрессивные методы резки неметаллических материалов инструментом из синтетических алмазов / В сб.: Сверхтвердые материалы Киев, 1981. Т. 2. - С. 180- 181.

56. Сухобрус А.Л., Скрупко Г.Ф. Разрезка кварцевого оптического стекла кругами АКВР // Синтетические алмазы, 1976. № 4. С. 59 - 60.

57. Рогов В.В., Берман Л.Л., Лепитова Н.П. Эффективность применения инструментов из синтетических алмазов при обработке стекла // Синтетические алмазы ключ к техническому прогрессу - Киев, 1977. Ч. 2. - С. 102 -108.

58. Прихна А.И. Резка оптического стекла кругами из высокопрочных синтетических алмазов // Синтетические алмазы, 1977. № 2. С. 38 - 40.

59. Сухобрус А.Л. Повышение эффективности применения алмазных отрезных кругов с внутренней режущей кромкой // Синтетические алмазы -ключ к техническому прогрессу, 1977. Ч. 2. С. 146 - 154.

60. Балыков А.В. О некоторых закономерностях алмазного шлифования хрупких неметаллических материалов // Синтетические алмазы ключ к техническому прогрессу, 1977. Ч. 2. - С. 171 - 181.

61. Пачевский В.М., Данилов Ю.М. Оптимизация режимов шлифования кварца алмазными кругами // Синтетические алмазы, 1978. № 3. С. 54 - 55.

62. Пешков В.А., Пачевский В.М. Алмазная резка кварца, влияние режимов и условий обработки на качество пластин // Синтетические алмазы в промышленности Киев: Наукова думка, 1974. - С. 278 - 280.

63. Пачевский В.М., Иванов Л.А. Пути интенсификации процесса алмазной обработки полупроводниковых материалов // Сверхтвердые материалы -Киев, 1981. Т.2. С. 171.

64. Багдасарян Ж.А. О работоспособности шлифовальных кругов и работе шлифования / В сб.: Основные вопросы «высокопроизводительного шлифования М.: Машгиз, 1960. - С. 102- 105.

65. Ваксер Д.Б. Влияние геометрии абразивного зерна на свойства шлифовального круга / В сб.: Основные вопросы высокопроизводительного шлифования М.: Машгиз, 1960. - С. 140 - 144.

66. Ваксер Д.Б. Пути повышения производительности абразивного инструмента при шлифовании М. - Л.: Машиностроение, 1964. - 123 с.

67. Ягцерицын П.И. Скоростное шлифование М. - Свердловск: Машгиз, 1953.- 112 с.

68. Худобин Л.В. Влияние смазочно-охлаждаюгцей жидкости на засаливание шлифовальных кругов // Станки и инструмент, 1969. №9. С. 37 - 40.

69. Якимов А.В., Ларшин В.П., Скляр A.M., Ковальчук Е.Н. Расчет глубины дефектного слоя при шлифовании // Станки и инструмент, 1986. С. 34 -35.

70. Бокучава Г.В. Износ и стойкость абразивного инструмента. Автореф. дисс. . д-ра техн. наук. Тбилиси, 1968. 25 с.

71. Лоладзе Т.Н. Износ режущего инструмента М.: Машгиз, 1958. - 161с.

72. Лоладзе Т.Н. Бокучава Г.В. Износ алмазов и алмазных кругов М.: Машиностроение, 1967. - С. 112.

73. Лоладзе Т.Н. Бокучава Г.В. Режущие свойства алмазно-абразивного инструмента и пути повышения его качества / В кн. Синтетические алмазы в промышленности К., 1974.-С. 149 - 155.

74. Резников А.Н., Федосеев О.Б., Шипанов В.В. Вопросы теории и практики шлифования систематическими сверхтвердыми материалами / В кн.: Син

75. Синтетические алмазы ключ к техническому прогрессу - К., 1977. Т. 1. - С. 88-95.

76. Редько С.Г. Количество абразивных зерен шлифовального круга, участвующих в резании // Станки и инструменты, 1960. № 12. С. 10 - 12.

77. Редько С.Г., Королев А.В. Расположение абразивных зерен на рабочей поверхности шлифовального круга // Станки и инструменты, 1970. № 5. -С. 40-41.

78. Попов С.А. Геометрия рельефа режущей поверхности абразивных инструментов из синтетических алмазов и кубического нитрида бора / В кн.: Синтетические алмазы в промышленности К., 1974. - С. 47 - 54.

79. Попов С.А., Соколова JI.C. Влияние однородности зернового состава абразива и формы зерен на рельеф режущей поверхности шлифовальных кругов // Абразивы, 1972. №12. С. 2 - 6.

80. Попов С.А. Анализ схем стружкообразования в связи с геометрией рабочей поверхности шлифовального круга / В кн.: Основные вопросы высокопроизводительного шлифования М., 1960. - С. 30 - 58.

81. Ипполитов Г.М. Абразивные инструменты // Станки и инструмент, 1967г. № 11.-С. 24-28.

82. Ипполитов Г.М. Абразивно алмазная обработка - М.: Машиностроение. 2-е изд., 1967. - 336с.

83. Бокин П.Я. Механические свойства силикатных стекол JL: Наука, 1970.-179с.

84. Павлушкин Н.М. Стекло. Справочник. М.: Стройиздат, 1973.487 с.

85. Ардамацкий A.JI. Изготовление оптических деталей М.: Сборонгиз, 1955.-492 с.91 .Ардамацкий A.JI. Алмазная обработка оптических деталей. Л.: Машиностроение. Ленинградское отделение, 1978. -232с.

86. Бардин А.Н. Технология оптического стекла. М.: Высшая школа, 1963.-519 с.

87. Винокуров В.М. Исследования процесса полировки стекла М.: Машиностроение, 1967. - 196 с.

88. Качалов Н.Н. Основы процессов шлифовки и полировки стекла М. -Л.: изд-во АН СССР, 1946. - 275 с.

89. Качалов Н.Н. Технология шлифовки и полировки листового стекла -М. Л.: изд-во АН СССР, 1958. - 382 с.

90. Куклева З.А. О некоторых особенностях процесса шлифования кристаллов Л.: Труды ГОИ, 1960. Т. 28. Вып. 157. С. 98 - 104.

91. Цеснек Л.С. Механика и микрофизика формообразования оптических поверхностей. // ОМП, 1970. № 8. С. 60 - 69.

92. Цеснек Л.С. Статистическая интерпретация механического изнашивания твердых тел / В сб. Контактные взаимодействия твердых тел М., 1971. -С. 5-47.

93. Кузнецов С.М., Бурман Л.Л. Влияние склерометрической нагрузки на характер деформации стекла // Синтетические алмазы, 1970. № 4. С. 26 - 29.

94. Кузнецов С.М., Бурман Л.Л. Об упрочнении поверхностного слоя стекла // Стекло и керамика, 1970. № 3. С. 11-13.

95. Бурман Л.Л. Оптимальные условия осуществления формообразования оптических деталей алмазным инструментом / В кн.: Теория и практика алмазной и абразивной обработки деталей приборов и машин М., 1974. - С. 14-19

96. Шубников А.В. К вопросу о сущности процесса шлифовки и полировки твердых тел и их значение для техники М.: Труды Ломоносовского института АН СССР, 1936. № 8. - С. 71 - 93.

97. Rupp W.I. Mechanism of the Diamond Lapping Prozess. // Applied Optics. 1974. № 6. p. 1264 - 1269.

98. Маслов Е.Н. Теоретические основы процесса алмазной абразивной обработки материалов / В кн.: Обработка машиностроительных материалов алмазным инструментом М., 1966. - С. 14-19.

99. Минарж С. Применение синтетических алмазов при обработке оптического стекла / В кн.: Синтетические алмазы в промышленности Киев, 1974.-С. 278 -280.

100. Юб.Резников А.Н. Краткий справочник по алмазной обработке изделий и инструментов. Куйбышевское книжное изд-во, 1967. 200 с.

101. Pahlizsch G., Kern D. Flachschleifen von optischen Glas mit Diamant -Toptscheiben. «Feinwerktechnik», 1968. № 4. - S. 175 - 180.

102. Ю8.Прохорчик C.M. Производительность процесса шлифования стекла кальциевым алмазным инструментом // ОМП, 1967. № 6. С. 43 - 49.

103. Маслов Е.Н. Механизм работы абразивного зерна при шлифовании / В кн.: Основные вопросы высокопроизводительного шлифования М., 1960. -С. 5-29.

104. Медведев П.Ю. Причины переориентации обрабатываемой поверхности плоской заготовки в процессе ее двусторонней доводки. // Электронная техника, 1983. Сер.5. в. 1 (50). С. 71 - 73.

105. ПЗ.Вотегин И.Н., Медведев П.Ю. Современные представления о причинах переориентации поверхностей плоской заготовки в процессе ее двусторонней обработки. // Электронная техника, 1984. Сер. 5. в. 4 (57). С. 51 - 53.

106. Satava V. Kochanovska. Collect. Crechoslov. C-hem. Communs, 1952. 1. 42 S. 413.• 117.Фейгин Л.А., Рожанский B.H. Докл. АН. СССР, 1957. 115.-С. 946

107. Г.С. Ходаков, П.А. Ребиндер. Доклад АН. СССР, 1959. 127. С.1070; 1960. 131.-С. 1316; Коллоидный ж., 1960. 22.-С. 365; 1961. 23. - С. 482.

108. Rehbinder Р.А., Chodakow G.S. Silikattechnik, 1962. 13. S. 200.

109. Ребиндер П.А., Епифанов Г.Н. Сб. Развитие теории трения и изнашивания М.: Изд-во АН СССР. 1957. - С. 47.121 .Rehbinder Р.А. Freiberger Forshungshefte, А 392. Berlin, Akad. Ver-lag, 1966.-S.61.

110. Schrader R. Freibergen Forshungshefte, A 392. Berlin, Akad. Verlag, 1966. - S. 81. Vortrage zum Festkolloguium anlasslich des 65. Geburtstages von P.A. Thiessen. Berlin, Akad. - Verlag, 1966. - S. 51.

111. Лавров В.А. Разработка технологического процесса доводки незакрепленных абразивных кварцевых кристаллических элементов в условиях серийного производства: Автореферат на соиск. . к.т.н., М., 1985. - 25с.

112. Дюжиков В.И., Лавров В.А., Хоривуло А.Г. Механическая обработка пьезоэлементов кварцевых резонаторов. Обзор / электронная техника. Сер. 10. Радиокомпоненты, 1970. в. 4. С. 72.

113. Лавров В.А., Дюжиков В.И., Смирнова Е.С. Исследование погрешностей формы и качества поверхности шлифовальных кварцевых пластин. // Электронная техника. Сер. 10. Радиокомпоненты, 1972. в. 3. С. 87 - 99.

114. Орлов П.Н., Лавров В.А. Качество поверхностного слоя кварца после механической обработки алмазными суспензиями // Алмазы и сверхтвердые материалы М.: НИИМАШ, 1977. вып. 7.

115. Цеснек Л.С., Коган Ю.И., Балтрушевич Т.А. Температурная зависимость характеристик абразивного разрушения поверхности твердых тел // ОМП, 1985. №5.-С. 36-39.

116. Ходиков Г.С. Механизм абразивного шлифования стекла // ОМП, 1985. № 5.-С. 31-36.

117. Маслов Е.Н. Теория шлифования металлов. М.: Машиностроение, 1974.-320с.

118. Абезгауз В.Л. Режущие органы машины фрезерного типа для разработки горных пород и грунтов. М.: Машиностроение, 1965. - 280с.

119. Байкалов А.К., Вал Е.И. Исследование закономерностей износа чашечных кругов из кубического нитрида бора // Синтетические алмазы, 1970. № 6. С. 24 - 29.

120. Мифлиг Д.М., Александров В.А. Экспериментальное определение параметров сечения стружек, срезаемых зернами алмазного инструмента // Синтетические алмазы, 1976. № 2. С. 60 - 64.

121. Мифлиг Д.М., Шор Г.М. Фактурная обработка гранита инструментами новых конструкций // Синтетические алмазы, 1974. № 4. С. 33 - 37.

122. Головчан В.Т., Петасюк Г.А., Алалыкин В.Е., Чигринский О.М. Определение критических параметров устойчивости алмазных кругов для разделенных полупроводниковых пластин // Сверхтвердые материалы, 1987. №3. -С. 23-25.

123. Szinivasan V., Ramamurti V. Bending of an annular plate in the presence of a concentrated, in-plane edge load //1 bid, 1980. vol.22. №7. p.401 - 418.

124. Тимошенко С.П., Войновский-Кригер С. Пластинки и оболочки. -М.: Наука, 1966.-635с.

125. Циглер Г. Основы теории устойчивости конструкции М.: Мир, 1971.- 192с.

126. Алфутов Н.А. Основы расчета на устойчивость упругих систем М.: Машиностроение, 1978. - 708с.

127. Кремень З.И. Выбор оптимальных условий абразивной доводки // Вестник машиностроения, 1960. № 5. С. 48 - 49.

128. Орлов П.Н., Савелова А.А., Полухин В.А. Доводка прецизионных деталей машин. М.: Машиностроение, 1978. - 256с.143 .Хрущев М.М., Бабичев М.А. Абразивное изнашивание.- М.: Наука, 1970.-251с.

129. Кузнецов В.Д. Поверхностная энергия твердых тел. М.: Гостехиз-дат, 1954.-200с.

130. Кунич Н.Ф. Теория упругих сред с микроструктурой. М.: Наука, 1975,- 415с.

131. Соколова Н.С. О допусках на центровку линз объективов // ОМП, 1973. №7.-С. 53 56.

132. Rabinowitsz Е. Resistance Thermometer for Transient High. Temperature Studies. - I. Of. Appl. Physics, 1956. Vol. 27. № 1. - p. 97 - 98.

133. Rabinowitsz E. Triction and Wear of Materials, № 1. 1965. P. 244.

134. Tsukidzoe Т., Joshimoto G. On the mechanism of wear between metal surfages. Wear, 1858. Vol. 1. № 6. P. 472 - 490.

135. Davies R. Proceedings of the Symposium on Friction and Wear. Detroit, 1957.-P.174.

136. Цеснек JI.С., Ходаков Г.С. Разрушение прозрачных диэлектриков лазерным излучением // Обзор. ОМГТ. № 9. 55 с.

137. Цеснек Л.С. Механика и микрофизика формообразования оптических поверхностей // ОМП, 1970. № 8. С. 253 - 256.

138. Цеснек Л.С. Статическая структурная модель поверхностного деформирования и разрушения при трении // Изв. ВУЗов. Физика, 1972. № 4. С. 85 -90.

139. Цеснек Л.С. Механика и микрофизика истирания поверхностей. -М.: Машиностроение, 1979. 262с.

140. Богомолов Н.И. Оптимизация и особенности процессов абразивной доводки: Тез. докл. Всесоюз. Конф. «Теория и практика алмазной и абразивной обработки деталей приборов и машин». МВТУ им. Баумана Н.Э., 1973. -С. 13 19.

141. Kragelsky I.V. Reibung und Verschleisb 2 Auf 1. Berlin VEB Verlag Technik, 1971.

142. Пинегин C.B. Контактная прочность и сопротивление качению. М.: Машиностроение, 1969. - 244с.

143. Manea G. Metodele de calcul aplikate organelor de masini in lumina cerceterilor moderne. Sesiunea jubiliara IAM4. Bis 7.6.1960. Ed. Academici. S. 67 -69.

144. Lipson Ch. Waer Considiration in Design. New York: Prentice Hall, Inc. Engelewood - Gliffs, 1967. - S.145.

145. Шумячер B.M. Мехаио-химические процессы и эффективность сма-зочно-охлаждающих технологических сред при суперфинишировании, хонин-говании и доводке. Дис. . д-ра техн. наук, Волжский, 1997. 265 с.

146. Алейников Ф.К. Влияние некоторых физико-механических свойств хрупких материалов на процессе шлифовки // ЖЭТФ, 1957. № 12. С. 2775.

147. Хаджи В.Е., Цинобей А.И., Штеренлихт Л.М. и др. Синтез минералов М.: Недра, 1987. В 2-х томах. Т.1. - 487с.176

148. Щукин Е.Д., Перцов А.В., Амелина Е.А. Коллоидная химия М.: Изд - во Московского университета, 1982. - С. 302 -- 303.

149. Бибик Е.Е. Реология дисперсных систем JL: Изд - во Ленинградского университета, 1981. - 171с.

150. Лавров И.С. Практикум по коллоидной химии М.: Высшая школа, 1983. - С. 147-148.

151. Закиева С.Х. и др. II Коллоидный журнал, 1971. т.ЗЗ. №1. С. 64 - 68.