Повышение эффективности прецизионной обработки заготовок из лейкосапфира тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.07, кандидат технических наук Соловьев, Владимир Владимирович

• Соловьев, Владимир Владимирович
• кандидат технических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат технических наук Соловьев, Владимир Владимирович

ОГЛАВЛЕНИЕ

Стр.

Введение

Глава!. Анализ существующих способов и моделей процесса

обработки из лейкосапфира.

1.1. Перспективы применения лейкосапфира в промышленности

1.2. Основные свойства и характеристики лейкосапфира

1.3 Методы выращивания монокристаллов лейкосапфира и области 21 его применения.

1.4 Особенности обработки лейкосапфира для микроэлектроники

1.5 Требования к повышению точности размерных и качественных 29 параметров.

1.6. Существующие физические модели, механизмы, критерии и 33 способы поверхностной обработки твердых материалов.

1.7. Феноменологическое описание процессов поверхностной 44 обработки твердых кристаллических минералов в режиме квазипластичности.

1.8. Существующие представления о квазипластичной обработке. 50 Выводы и результаты. Постановка задачи исследования. 54 Глава 2 Методики теоретических и экспериментальных 57 исследований процесса прецизионной обработки заготовок из лейкосапфира.

2.1 Общая стратегия исследований

2.2 Методика определения взаимосвязи тепловых факторов, 59 сопровождающих процесс обработки заготовки, с технологическими условиями обработки.

2.3. Методика определения взаимосвязи тангенциальной и 61 нормальной составляющей силы резания с шероховатостью заготовки.

2.4. Методика проведения экспериментальных исследований

2.4.1. Цели и задачи эксперимента

2.4.2. Объекты исследования

2.4.3. Оборудование и оснастка, используемые при исследовании

2.4.4. Планирование и порядок проведения экспериментов

2.4.5. Порядок подготовки проведения экспериментов

2.4.6. Методика анализа результатов экспериментальных 78 исследований.

Выводы и результаты

Глава 3. Теоретическое исследование тепловых процессов,

сопровождающих прецизионную обработку заготовок из лейкосапфира.

3.1. Модельное представление тепловых процессов, происходящих 81 при квазипластичной обработке заготовок из лейкосапфира.

3.2. Математическая модель тепловых процессов, сопровождающих 86 квазипластичную обработку лейкосапфира.

3.3. Тепловой критерий процесса квазипластичной обработки

3.4. Взаимосвязь тепловых факторов, сопровождающих процесс 89 обработки заготовки с технологическими условиями обработки.

3.5. Взаимосвязь отношения тангенциальной и нормальной сил 94 резания с шероховатостью заготовки.

Выводы и результаты

Глава 4. Результаты исследований и рекомендации по получению 97 плоских поверхностей заготовок из лейкосапфира с получением нанометровой шероховатости поверхности и отсутствием микротрещин.

4.1. Ход и результаты экспериментальных исследований. 97 4.1.1 .Исследование коэффициента теплового расширения

4.1.2.Исследования температурных полей образца в процессе 98 обработки.

4.1.3.Ход экспериментов обработки заготовок из лейкосапфира в 101 режиме квазипластичности.

4.1.4. Результаты экспериментальных исследований 105 взаимозависимости отношение тангенциальной и нормальной составляющих силы резания и шероховатости поверхности образцов заготовок из лейкосапфира.

4.2.Анализ результатов экспериментальных исследований

4.2.1. Анализ зависимости коэффициента линейного расширения 106 монокристалла лейкосапфира от температуры.

4.2.2. Зависимость температуры поверхности заготовки из 107 лейкосапфира от технологических условий обработки.

4.2.3. Взаимосвязь отношения тангенциальной и нормальной 112 составляющей силы резания, глубины резания и температуры нагрева поверхности заготовки из лейкосапфира при квазипластичной обработке.

4.3. Результаты апробации методики выбора рациональных режимов 113 поверхностной обработки заготовок из лейкосапфира

4.4. Особенности технологических режимов и настройки 116 оборудования при прецизионном шлифовании заготовок из лейкосапфира.

Выводы и результаты

5. Возможности автоматизации процесса прецизионной обработки 123 лейкосапфира и перспективы ее применения для высокотехнологичных изделий.

5.1. Возможность автоматизации процесса прецизионной обработки

5.2. Разработка технологии управления процессом прецизионного 127 шлифования заготовок из лейкосапфира.

5.3. Выбор управляющих и контролируемых параметров и 132 составление алгоритмов управления процессом прецизионной обработки в режиме квазипластичности.

5.4. Экономическая эффективность прецизионной обработки

лейкосапфира и сравнительная характеристика технологии обработки.

5.5. Мировой рынок монокристаллов лейкосапфира и продукции из 142 них.

5.6. Оценка потребности квазипластичной поверхностной обработки 144 заготовок из лейкосапфира для производства высокотехнологичных изделий в области нанотехнологий.

5.7. Пути совершенствования квазипластичной обработки. 147 Основные результаты и выводы. 152 Библиографической список. 154 Приложение

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение эффективности прецизионной обработки заготовок из лейкосапфира»

Введение)

Актуальность работы.

Лейкосапфир благодаря своим физико-механическим и химическим свойствам находит все большее применение для изделий машиностроения, приборостроения, микро-наноэлектроники, медицины и других технологических изделий в области нанотехнологий. Продукция из лейкосапфира приходит на смену изделиям из кварца, керамики, стекла. Рынок изделий из лейкосапфира ежегодно растет на 15-20%, а рост рынка полированных подложек превышает 25%. Такая тенденция прогнозируется на 5-7 лет.

Обработка заготовок из лейкосапфира имеет особенности, связанные с его физическими свойствами - твердостью, анизотропией, наличием включений и другими. В настоящее время традиционным способом обработки заготовок из лейкосапфира является механическое шлифование свободным и связанным абразивом. В результате такой обработки получается поверхность с шероховатостью Яа около 0,2 мкм. Для уменьшения шероховатости и дефектов, связанных с обработкой, заготовка полируется и подвергается травлению в агрессивных средах.

Перспективным способом получения высококачественной поверхности заготовок из лейкосапфира с нанометроой шероховатостью поверхности является шлифование заготовок в режиме квазипластичности. Квазипластичность - проявление пластичных свойств поверхностным слоем твердых хрупких материалов при обработке.

Технология квазипластичной обработки твердых материалов основана на обеспечении механического воздействия на обрабатываемую поверхность (ОП) материала при глубине шлифования, составляющей доли мкм. При этом поверхностный слой (ПС) хрупких твердых материалов проявляет пластичные свойства и преобладающим механизмом становится не хрупкое разрушение, а квазипластичное удаление припуска с формированием

поверхности нанометровой шероховатости и с минимальными дефектами (не более 50 нм), внесенными процессом обработки. Квазипластичное удаление припуска происходит при данных глубинах резания под воздействием контактного взаимодействия зерен шлифовального круга (ШК) с ОП, создающего периодическое переменное механическое поле.

Способ шлифования в режиме квазипластичности является перспективным для автоматизации и серийного изготовления деталей из лейкосапфира с высококачественной поверхностью, востребованных в области нанотехнологий в машино- и приборостроении, микроэлектронике, оптике, энергетике, медицине и многих других отраслях промышленности.

Существенное влияние на процесс квазипластичной обработки оказывают тепловые факторы. Отсутствие исследований влияния тепловых процессов на обработку заготовок из лейкосапфира, учитывающих их физико-механические свойства, приводит к существенным погрешностям при назначении режимов обработки и их изменении в процессе обработки. Это в свою очередь приводит к браку деталей и не позволяет повысить производительность процесса обработки.

Исходя из вышеизложенного актуальной задачей является усовершенствование технологического процесса прецизионной обработки и оборудования для серийного производства деталей из лейкосапфира с нанометровой шероховатостью.

Цель работы повышение эффективности технологического процесса прецизионной обработки заготовок из лейкосапфира с получением нанометровой шероховатости поверхности и отсутствием микротрещин.

Методика исследований.

Теоретические исследования базируются на основах технологии машиностроения, теории технической диагностики, теории автоматического управления, теории точности металлорежущих станков, физики твердого тела, физической мезомеханики; теории дислокаций; основных положениях термодинамики. Экспериментальные исследования проводились на

станочном модуле с числовым программным управлением (ЧПУ) с использованием методов визуализации температурных полей термографом ИРТИС -2000 и точных методов контроля нанометровой шероховатости оптическим интерферометром белого света Zygo (New Vew 5000).

Научные положения, выносимые на защиту.

1. Разработанная модель процесса квазипластичного удаления припуска при прецизионной обработке заготовок из лейкосапфира, предполагающая расход основной энергии шлифования в снимаемом припуске и низкий коэффициент нестационарного теплообмена между снимаемым припуском и поверхностью заготовки.

2. Установленные теоретические и экспериментальные зависимости температуры поверхности заготовок из лейкосапфира от технологических условий обработки при прецизионном шлифовании.

3. Предложенный термический критерий выбора режима обработки заготовок из лейкосапфира, характеризующий энергетическое состояние поверхности. Введение этого критерия в систему существующих критериев квазипластичного шлифования позволяет более точно выбрать режимы обработки.

4. Обоснованные режимы квазипластичной обработки заготовок из лейкосапфира и параметры станочного модуля АН15ф4 (глубина резания, время нахождения заготовок под ШК и их воздушного охлаждения, допустимый интервал температур) для получения обрабатываемой поверхности нанометровой шероховатости и отсутствием микротрещин.

Научная новизна работы»

1. Впервые предложена модель процесса квазипластичного удаления припуска при прецизионной обработке заготовок из лейкосапфира, предполагающая расход основной энергии шлифования в снимаемом припуске и низкий коэффициент нестационарного теплообмена между снимаемым припуском и поверхностью.

2. Впервые предложен термический критерий выбора режима обработки заготовок из лейкосапфира, характеризующий энергетическое состояние поверхности.

3. Уточнена область допустимых значений силовых и скоростных технологических параметров квазипластичной обработки заготовок из лейкосапфира.

4. Впервые установлена комплексная зависимость, отражающая взаимосвязь отношения тангенциальной и нормальной составляющих силы резания, глубины резания и температуры нагрева поверхности заготовок из лейкосапфира при квазипластичной обработке.

Практическая ценность работы состоит в следующем:

1. Разработаны рекомендации по выбору рациональных режимов обработки заготовок из лейкосапфира, применение которых позволяют получить поверхности нанометровой шероховатости и исключить появление микотрещин в процессе обработки.

2. Составлены алгоритмы для управления в автоматическом режиме процессом обработки плоских поверхностей заготовок из лейкосапфира с получением нанометрового рельефа.

3. Разработана методика непрерывного контроля шероховатости поверхности заготовок из лейкосапфира в процессе обработки, применение которой позволяет получать обработанные поверхности заготовок заданной шероховатости.

4. Экспериментально уточнены параметры (начальная глубина резания, скорость вращения ШК, скорость продольной подачи стола станочного модуля, соотношение времени обработки и времени пассивного воздушного охлаждения), алгоритмы назначения начальных режимов резания и зависимости их изменения в процессе обработки при шлифовании заготовок из лейкосапфира в режиме квазипластичности с учетом влияния тепловых процессов, сопровождающих процесс обработки, и уточнены технические

требования к оборудованию (серийного выпуска) для прецизионной поверхностной обработки твердых хрупких материалов.

Обоснованность и достоверность научных положений, выводов и рекомендаций подтверждаются:

- применением фундаментальных научно обоснованных подходов оценки предельных параметров напряженно - деформируемого состояния, используемых для решения задач хрупкого разрушения, включая использование критериев прочности и пластичности анизотропных твердых тел, теории дислокации и основных положений термодинамики;

- описанием реального процесса обработки и соответствием предложенного математического описания положениям термодинамики (разделов тепломассопереноса, термического хрупкого разрушения), физики твердого тела, физической мезомеханики;

- представительным объемом экспериментальных исследований на образцах лейкосапфира;

- соответствием (с погрешностью не более 5%) расчетных и измеренных температур обрабатываемых заготовок из лейкосапфира; использованием современных аттестованных контрольно-измерительных приборов и оборудования, а также аттестованных методик измерения;

- высоким качеством поверхности (с шероховатостью до 2 нм), полученным при обработке заготовок из лейкосапфира, в соответствии с принятыми рекомендациями по выбору рациональных режимов механической обработки плоских поверхностей заготовок из лейкосапфира.

Реализация результатов работы. Результаты теоретических и экспериментальных исследований реализованы в виде:

- алгоритма управления процессом прецизионной обработки заготовок из лейкосапфира, используемого для станочного модуля с ЧПУ на предприятии «Анкон-Е.М.»;

- рекомендаций по выбору рациональных режимов механической обработки плоских поверхностей заготовок из лейкосапфира в режиме квазипластичности, применение которых на предприятии «Анкон-Е.М.» позволило получить стабильно воспроизводимые результаты поверхностной обработки заготовок из лейкосапфира с получением нанометрового рельефа поверхности (Ra = 2-10 им), и уточнения технических требований к оборудованию для серийной прецизионной обработки заготовок из лейкосапфира;

- части лекционного курса дисциплины «Технология гранильного производства», используемой в учебном процессе.

Результаты исследования могут быть применены: в машиностроении и приборостроении - для обработки лейкосапфировых приборных смотровых окон и иллюминаторов, окон сканеров; в микроэлектронике - для изготовления подложек; в медицине - для изготовления точных приборов и инструментов из лейкосапфира, и в других отраслях промышленности.

Апробация работы.

Основные положения диссертационной работы докладывались:

• на научных симпозиумах «Неделя горняка», Москва, МГГУ, 2005 , 2010- 2012гг.;

• Международном симпозиуме «Образование через науку», Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2005 г.;

• Научно-технической конференции «Аэрокосмические технологии», ФГУП «НПО машиностроения», Реутов, 2005 г.;

• Научно-технической конференции «Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения», Киев, 2005г.;

• Международном симпозиуме «Sympozjon Modelirowanie w mechanice», Wisla, 2010 г.;

• VI международный симпозиум «Механика материалов и конструкций» Польша, Авустов, 2011 г.;

• Научных семинарах кафедры ТХОМ МГГУ.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 12 научных работ, из них 5 - в журналах из перечня ВАК РФ, рекомендованных для опубликования результатов диссертационных работ.

Структура и объем работы. Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, основных выводов и результатов, приложений. Материалы диссертации представлены на 165 страницах текста, содержат 20 таблиц, 37 рисунков, библиографического спис ка использованных источников из 117 наименований.

Автор выражает благодарность научному руководителю д.т.н. Тепловой Т.Б., проф., д.т.н. Гридину О.М., проф., д.г.-м. н. Мельникову Е.П., к.т.н. Коныниу A.C., Щербакову М.И., Плотникову С.А. за помощь в проведении теоретических и экспериментальных исследованиях.

Заключение диссертации по теме «Автоматизация в машиностроении», Соловьев, Владимир Владимирович

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

В работе решена научно-техническая задача, имеющая существенное значение для технологии прецизионной механической обработки и заключающаяся в совершенствовании технологического процесса прецизионной обработки и оборудования на основе научно обоснованного выбора рациональных режимов квазипластичного шлифования плоских поверхностей заготовок из лейкосапфира с получением нанометровой шероховатости поверхности и отсутствием микротрещин.

1. Предложена модель процесса квазипластичного удаления припуска при прецизионной обработке заготовок из лейкосапфира, основанная на предположении, что основная часть энергии шлифования расходуется в снимаемом припуске при низком коэффициенте нестационарного теплообмена между снимаемым припуском и поверхностью заготовки.

2. Установленные теоретические и экспериментальные зависимости температуры поверхности заготовок из лейкосапфира от режимов квазипластичной обработки (глубины резания, времени нахождения заготовок под ШК и их воздушного охлаждения) при введении в систему ЧПУ станочного модуля позволят повысить эффективность процесс прецизионной обработки.

3. Уточнена область допустимых значений величины нормальной составляющей силы резания (5-10 Н/см ) за счет дополнения системы существующих критериев квазипластичного шлифования новым термическим критерием выбора режима обработки заготовок из лейкосапфира, характеризующим энергетическое состояние снимаемого припуска и поверхности заготовки.

4. На этапе прецизионного алмазного шлифования для получения нанометровой шероховатости поверхности заготовок из лейкосапфира наилучшая производительность обработки в режиме квазипластичности достигается при поддержании условий обработки в пределах обоснованного рационального диапазона, в частности, при режимах обработки с максимальной глубиной резания 0,03 мкм.

5. Разработана методика непрерывного контроля шероховатости заготовок из лейкосапфира в процессе обработки, применение которой позволяет получать обработанные поверхности заготовок заданной шероховатости.

6. Установлена зависимость температуры нагрева поверхности заготовки из лейкосапфира при квазипластичной обработке от глубины резания и отношения тангенциальной и нормальной составляющих силы резания, пользуясь которой можно выбирать режимы обработки, не допускающие перехода процесса обработки из квазипластичной области в область хрупкого разрушения.

7. Составлены алгоритмы для управления в автоматическом режиме процессом шлифования заготовок из лейкосапфира в режиме квазипластичности с учетом влияния тепловых процессов, сопровождающих процесс обработки, для получения обработанных поверхностей нанометровой шероховатости и отсутствием микротрещин.

8. По результатам исследований внесены корректировки в методику настройки оборудования, поправки в методические рекомендации выбора начальных режимов обработки и уточнены технические требования к оборудованию (серийного выпуска) для прецизионной обработки твердых хрупких материалов.

9. Разработаны рекомендации по выбору рациональных режимов обработки, применение которых на предприятии «Анкон Е.-М.» позволило получить поверхности заготовок из лейкосапфира нанометровой шероховатости (Яа=2 нм).

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Соловьев, Владимир Владимирович, 2012 год

Библиографический список

1. Адаптивное управление станками /Под ред. Б. С. Балакшина. -М.: Машиностроение, 1972. - 416 с.

2. Ашкинази Е.Е., Конынин А.С, Теплова Т. Б. и др. Получение лейкосапфировых подложек с критически контролируемыми параметрами шероховатости нанометровой величины/ Международный симпозиум «Образование через науку», Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана, 17-19 мая 2005г.

3. Байкалов А. К. Введение в теорию шлифования материалов. -Киев, Наукова думка, 1978 - 205 с.

4. Барзов A.A., Бочаров A.A. Технологические возможности методов контроля в процессах автоматизированной обработки алмазов. /Тез. докл. VI науч.- практ. конф. // Состояние и перспективы развития алмазно-бриллиантового комплекса России. - Смоленск, 1998. - С.82-89.

5. Биргер И.А. Техническая диагностика. - М.Машиностроение, 1978, 240 с.

6. Гончаров С.А. Термодинамика.-М.: МГГУ, 1997.-440с.

7. Гридин О.М, Теплова Т.Б, Могирева Е.С, Соловьев В.В. Критерии прецизионной обработки хрупких кристаллических материалов /Материалы VI международного симпозиума «Механика материалов и конструкций». -06. 2011г. Польша. - г. Авустов, 30.05 - 02

8. Гридин О.М, Теплова Т.Б, Соловьев В.В. Прецизионная обработка плоских поверхностей деталей из лейкосапфира. Наукоемкие технологии в машиностроении. - 2012. - №3 - С. 32-37.

9. Диагностирование оборудования комплексно-автоматизированного производства / Под ред. Б.Г. Нахапетяна. - М : Наука, 1984. - 196 с

10. Доронин В JI. Создание комплекса контрольно-измерительного оборудования для производства бриллиантов. /Тез. докл. VI науч.-

10. Гридин О.М., Теплова Т.Б., Могирева Е.С., Соловьев В.В. Критерии прецизионнойи перспективы развития алмазно-бриллиантового комплекса России. - Смоленск, 1998. - С.108-112.

11. Егорушкин В.Е. Динамика пластической деформации. Волны локализованной пластической деформации в твердых телах//Изв. Вузов.Физика. -1992. Т.35. - №4. -С.19-41.

12. Елисеев A.A. Методы исследования дефектов структуры полупроводников. М.: МИХим Машиностроения, 1883.

13. Епифанов В.И., Лесина А. Я., Зыков JI.B. Технология обработки алмазов в бриллианты. - М.: Высшая школа, 1987. - 333 с.

14. Епифанов Г.И. Физика твердого тела. - М.: Высшая школа,

1965.

15. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника.-М.: Высшая школа, 1986.

16. Желудев И. С., Физика кристаллических диэлектриков. - М.,

1968.

17. Игумнов Д.В., Королев Г.В., Громов И.С. Основы микроэлектроники. - М.: Высшая школа. - 1991.

18. Карбань В.И., Борзаков Ю.И. Обработка монокристаллов в микроэлектронике.- М.: Радио и связь, 1988.-104 с.

19. Каркашадзе Г.Г. Механическое разрушение горных пород. - М: Издательство Московского государственного горного университета, 2004. -222с.

20. Карслоу Г., Егер Д. Теплопроводность твердых тел. -М., Наука, 1964.

21. Качанов JIM. Основы механики разрушения. - М.: Наука, 1974. -311С.

22. Кашкаров П.К., Тимошенко В.Ю. Поверхность. Физика, химия, механика.- 1995.- № 6.- С. 5-34.

23. Келли А, Гровс Г. Кристаллография и дефекты в кристаллах -М: Мир. 1974.

24. Кондратенко A.B. Шлифовальный инструмент. Патент РФ № 2208511 С2 от 25.07.2001.

25. Косевич A.M. Дислокации в теории упругости. - Киев: Наукова думка, 1978.- 220 с.

26. Косевич A.M. Физическая механика реальных кристаллов. -Киев: Наукова думка, 1981.

27. Коньшин A.C. Управление процессом шлифования для повышения производительности и точности при одновременной многоинструментальной обработке. Автореф. дис. на соиск. учен. степ, канд . техн . наук, М.: ЭНИМС 1987.

28. Коньшин A.C., Сильченко О.Б, Брайан Джон Сноу. Способ микрошлифования твердоструктурных материалов и устройство для его реализации. Патент РФ №2165837 от 27.04.2001.С.216.

29. Коньшин A.C., Сильченко О.Б, Теплова Т.Б. Обработка твердоструктурных минералов резанием на шлифовальных станочных модулях с ЧПУ с применением новой технологии / Горные машины и автоматика. - 2001.- № 11. - С.31-33

30. Коньшин А. С, Теплова Т.Б, Соловьев В.В. Прецизионная обработка алмазов и сверхтвердых кристаллических материалов /Сборник статей XIII Международной конференции "Технология художественной обработки материалов". - М.: МГГУ.-2010.-С. 170-180.

31. Конева H.A. Козлов Э.Б. Структурные уровни пластической деформации и разрушения. -Новосибирск, Наука, 1990.- С.123-186.

32. Коттрелл А.Х. Дислокации и пластическое течение в кристаллах. - М: Металлургиздат, 1958. - 267с.

33. Кудинов В.А, Коньшин A.C. Перспективы производства шлифовальных станков с ЧПУ. -В кн. : Прогрессивные процессы абразивно-алмазной обработки, инструмент и его рациональная

эксплуатация. / Тез. докл. Всесоюз. науч.- техн. симпозиума «Шлифование-82». - Волжский, 1982.

34. Кудинов В.А. Динамика станков . - М.: Машиностроение, 1967.

35. Куланов Ю.М., Хрульков В.А., Дудин -Барковский И.В. Предотвращение дефектов при шлифовании. - М. : Машиностроение, 1975, 144 с.

36. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теория упругости. - М.: Наука, 1965.

37. Лихачев В. А., Хайров Р.Ю. Введение в теорию дислокаций. -Л.:Изд-во ЛГУ, 1975.- 183 с.

38. Макаров А.Д., Оптимизация процессов резания. М.: Машиностроение, 1976. - 278с.

39. Миков И.Н., Морозов В.И., Козочкин М.П. Управление качеством в художественных и ювелирных производствах. Учебное пособие. Часть2. М.: МГГУ, 2008.- 116с.

40.Михелькевич В.Н. Автоматическое управление шлифованием. М.Машиностроение, 1975, 304 с.

41. Невельсон М.С. Автоматическое управление точностью металлообработки. - Л.: Машиностроение, 1973, 176 с.

42. Новиков В.Ю., Брятова Л.И. Исследование алгоритма управления шлифованием с использованием коррекции при временном и размерном выкачивании. - Вестник машиностроения, 1978, N 5, с.37-41.

43. Обработка полупроводниковых материал ов/В.И.Карбань, П.Кой, В.В.Рогов и др.-Киев: Наукова думка, 1982.-256 с.

44. Орлов А.Н. Введение в теорию дефектов в кристаллах. - М: Высшая школа, 1983.

45. Панин В.Е. // В кн.: Физика хрупкого разрушения. Ч. 1. - Киев: Изд-во ИМП АН УССР, 1976. - С. 3-16.

46. Панин В.Е. Поверхностные слои нагруженных твердых тел как мезоскопический структурный уровень деформации //Физ. мезомеханика -2001., т.4 № 3 С.5-22

47. Панин В.Е. Основы физической мезомеханики//Физ. Мезомеханика. -1998. - т.1. - № 1. -С. 5 - 22.

48. Панин В.Е, Гриняев Ю.В. Физическая мезомеханика - новая парадигма на стыке физики и механики деформируемого тврдого тела// Физ. мезомеханика. - 2003. -Т.6.- №4.- С.9-36.

49. Панин В.Е. Современные проблемы пластичности и прочности твердых тел.//Изв. Вузов. Физика 1998 т.41-№1. - С 7-34.

50. Панин В.Е, Фомин В.М, Титов В.М. Физические принципы мезомеханики поверхностных слоев и внутренних границ раздела в деформируемом твердом теле //Физ. мезомеханика. - 2003.- Т.6 - №2 -С. 5 -14.

51. Партон В.З, Морозов Е.М. Механика упругопластического разрушения. М.: Наука, 1985. - 504 с.

52. Попов Г.М, Шафроновский И. И. Кристаллография. - М.: Наука, 1964, 284 с.

53. Предводителев A.A., Тяпунова H.A., Зиненкова Г.М, Бушуева Г.В. Физика кристаллов с дефектами. М.:Изд.-во Моск. Ун-та, 1986.

54. Протасов Ю.И. Разрушение горных пород: Учебное пособие. -М.: МГГУ,1995. - 450 С.

55. Работнов Ю.Н. Сопротивление материалов. - Л.: Наука, 1962. -

455с.

56. Работнов Ю.Н. Механика деформируемого твердого тела - М.: Наука, Гл. ред физ.-мат. лит, 1979. -744с.

57. Ральченко В.Г, Ашкинази Е.Е, Конышш A.C., Теплова Т. Б, Соловьев В.В, Плотников С.А. Микрошлифование алмазных пластин, выращенных в СВЧ плазме до наноразмерных величин микронеровностей/ Сборник трудов научно-технической конференции «Аэрокосмические технологии», Реутов, ФГУП «НПО машиностроения», 25 мая 2005г.

58. Ратмиров В. А. Основы программного управления станками. -М.: Машиностроение, 1978. - 240 с.

59. Ржевский В.В., Новик Г.Я. Основы физики горных пород - 4-е изд.-М. .-Недра, 1984.-3 59с.

60. Седов Л.И. Механика сплошной среды в 2-х т. - М: Наука, 1973 -Т. 1.-536с.

61. Селиванов В.В. Механика разрушения деформируемого тела: Учеб. Для втузов - М.: Изд-во МВТУ им.Н.Э. Баумана, 1999. - Т.2 -420с.

62. Соловьев В.В. Модель прецизионной обработки твердых хрупких кристаллических материалов с получением нанометрового рельефа поверхности. - Нано-и микросистемная техника. - 2010. - № 12,- С10-14.

63. Соловьев В.В. Модель прецизионной обработки твердых хрупких кристаллических материалов с получением нанометрового рельефа поверхности. - СТИН. - 2011. - №2. - С.37.

64. Сильченко О.Б., Коньшин A.C. Станки для бездефектной огранки алмазов на базе компьютерных технологий.- М., ГИАБ. - 1998. -№6.

65. Сильченко О.Б. Разработка метода и требований к оборудованию для бездефектного (пластичного) размерного резания хрупких материалов. . Автореф. дис. на соиск. учен. степ, канд . техн . наук. М.: АООТ ЭНИМС, 1995.

66. Сильченко О.Б. Теория и методы размерно-регулируемой и бездефектной обработки твердоструктурных минералов резанием. Автореф. дис. на соиск. учен. степ, докт . техн . наук. - М.: НИИ «Научный центр», 2000г.

67. Сильченко О.Б. Моделирование процессов бездефектного резания алмазов на принципах физической мезомеханики. / Тез. докл. науч.-практ. конф.- Неделя горняка-98. - ГИАБ. - 1999. - N8. - Зс.

68. Сильченко О.Б., Теплова Т.Б., Морозов В.И. Тестовые методы диагностирования параметров пластичного микрошлифования кристаллов.

Мат. конф. «V Юбилейная Школа Геомеханики».- Польша, Устрань, 16-19 ноября 2001.

69. Сироткин Ю.И, Шаскольская М.П. Основы кристаллофизики. Учебное пособие. - 2-е изд., перераб. - М: Наука. Главнвя редакция физико-математической литературы, 1979.- 639с.

70. Степанов A.B. Основы практической прочности кристаллов М.: Наука, 1974.

71. Структура поверхностных слоев монокристаллов корунда /Е.Р.Добровинская, В.В.Пищик, Н.М.Торчун, А.М.Цайгер//Монокристаллические материалы.-1983.-№1.-С. 74-81

72. Судзуки Т, Ёсинага X., Такеути С. Динамика дислокаций и пластичнось. М.: -Мир, 1989, 284с.

73. Теплова Т.Б, Сильченко О.Б, Коныпин A.C. Анализ путей повышения эффективности обработки алмазов. - ГИАБ. - 2000. - №9.- С. 184-187.

74. Теплова Т.Б, Сильченко О.Б, Коныпин A.C. Технологические аспекты диагностики бездефектной обработки кристаллов. - ГИАБ. - 2000. -№11. - С.218-220.

75. Теплова Т.Б, Коныпин A.C., Сильченко О.Б. Обработка твердоструктурных минералов резанием на шлифовальных станочных модулях с ЧПУ с применением новой технологии. - Горные машины и автоматика. - 2001. - № 11. - С.31-33.

76. Теплова Т.Б, Сильченко О.Б, Диагностирование параметров пластичного микрошлифования в мезообъемах/ Мат-лы X Международного симпозиума «GEOTECHNIKA - GEOTECHNICS» Польша, Устрань, 15-18 октября 2002г. - С 127-135.

77. Теплова Т. Б, Коныпин A.C., Соловьев В.В. Особенности микрошлифования кристаллов лейкосапфира на станочном модуле с ЧПУ. -ГИАБ. - 2005. - №3. - С. 52-56.

78. Теплова Т.Б., Коньшин A.C., Соловьев В.В., Ашкинази Е.Е. О выборе рациональных режимов процесса микрошлифования монокристалла лейкосапфира. - ГИАБ. - 2005. - №9. - С. 76-83.

79. Теплова Т.Б., Гридин О.М., Петронюк Ю.С., Левин В.М. О перспективах применения ультразвуковой микроскопии для оценки качества кристаллов после микрошлифования на станочном модуле с ЧПУ. -ГИАБ.-2005. -№11.-С. 124-129.

80. Теплова Т. Б., Гридин О.М., Коньшин A.C., Осциллографический метод контроля процесса микрошлифования на станочном модуле с ЧПУ. - ГИАБ. - 2005. - №10. - С. 84-88.

81. Теплова Т.Б., Гридин О.М., Соловьев В.В., Ашкинази Е.Е., Ральченко В.Г. Моделирование процесса квазипластичной поверхностной обработки твердых хрупких материалов электронной техники. Нано-и микросистемная техника. - 2010.- №11.- С.20-23.

82. Теплова Т.Б., Гридин О.М., Амосов В.И., Бирюков E.H., Соловьёв

B.В., Морозов А.Е. Перспективы применения лейкосапфира в промышленности и актуальность его поверхностной обработки /Сборник статей XIII Международной конференции "Технология художественной обработки материалов". - М.: МГГУ- 2010. - С. 141-149.

83. Теплова Т.Б., Сильченко О.Б., Могирева Е.С. Разработка модели и алгоритма автоматического выбора рациональных режимов шлифования для размерно-регулируемой обработки твердых минералов/ XLIV Sympozjonu ptmts Modelirowanie w mechanice, Wisla, 2005. - C. 407412.

84. Обработка поликристаллических CVD алмазов в упругой обрабатывающей системе, Е.Е.Ашкинази, В.Г.Ральченко, А.С.Коныпин, Т. Б. Теплова и др. / Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технологии его изготовления и применения / Сборник научных трудов.- Киев, ИСМ им.В.Н.Бакуля, выпуск 8, 2005г.-

C.216-220.

85. Теплова Т. Б, Самерханова A.C. Тенденции развития применения твёрдых высокопрочных минералов в технике, медицине и ювелирных изделиях. ГИАБ. - 2006. - №10. - С. 338-346.

86. Теплова Т.Б. Конынин A.C., Гридин О.М, Плотников С.А. Влияние теплового расширения на качество плоских поверхностей монокристалла лейкосапфира. - ГИАБ. - 2006-№11. - С. 345-350.

87. Теплова Т.Б. Самонастраивающееся управление со стабилизацией выходных параметров обработки на основе диагностирования параметров квазипластичного резания в мезообъемах. -ГИАБ.-2002.-№5.-С. 157-161.

88. Теплова Т. Б. Перспективы технологии размерно-регулируемого шлифования твердых высокопрочных минералов. - ГИАБ. -2005.-№1.-С. 90-94.

89. Теплова Т.Б. Энергетические особенности процесса обработки твёрдых кристаллов. - М. - ГИАБ. - 2006. -№12. - С. 326-333.

90. Теплова Т.Б. Учет акустических и температурных параметров при определении управляющих параметров обработки твёрдых материалов. - ГИАБ.-2007.-№1. С. 103-104.

91. Теплова Т.Б. Функциональная управляющая модель процесса механической обработки поверхностей твёрдых материалов, обеспечивающая получение шероховатости нанометрового уровня. -ГИАБ. -2007. -№1. - С. 357-359.

92. Теплова Т.Б. Теоретическая интерпретация процесса размерно-регулируемого микрошлифования твёрдых материалов. - ГИАБ. - 2007. -№2. - С. 363 - 370.

93. Теплова Т.Б. Тепловые процессы при механической обработке твердых минералов. - Горный журнал. - 2007. - №12. - С. 42-45.

94. Теплова Т.Б. Анализ энергетических и силовых параметров усталостного разрушения поверхностного слоя твердых минералов при механическом воздействии. - ГИАБ. - 2007. - №7. - С.91 - 98.

95. Теплова Т.Б. Критерии квазипластичного режима при направленном поверхностном разрушении твердых материалов. - ГИАБ. -

2007.-№4. С. 241-243.

96. Теплова Т.Б. Исследование возможности обработки хрупких твердых кристаллических материалов электронной техники в режиме квазипластичности для совершенствования качества обрабатываемой поверхности. - Нано-и микросистемная техника. -2008.- №2. -С. 45-47

97. Теплова Т.Б. Физико-технологические принципы получения нанометрового рельефа поверхности при обработке твердых хрупких материалов электронной техники. - Нано-и микросистемная техника. -

2008. -№7.

98. Обработка алмазных пластин, выращенных в СВЧ плазме до наноразмерных величин микронеровностей Ашкинази Е.Е., Ральченко В.Г., Коныпин A.C., Теплова Т. Б. и др. Научно-техническая конференция «Аэрокосмические технологии» Реутов ФГУП «НПО машиностроения»25 мая 2005г.- С. 127

99. Теплова Т.Б. Контроль качества обрабатываемой поверхности в процессе квазипластичной обработки твердых хрупких минералов.М.-Контроль Диагностика.-2008, №9

100. Теплова Т.Б. Обоснование рациональных режимов шлифования алмазов при их огранке. Автореф. дис. на соиск. учен. степ, канд . техн . наук. М.: МГГУ, 2002.

101. Теплова Т.Б. Разработка научных основ создания технологии прецизионной обработки твердых хрупких минералов. Автореф. дис. на соиск. учен. степ, доктора, техн . наук. М.: ЭНИМС 2009.

102. Тяпунова H.A., Христу Х.Ломакин А.ЛЖинетика и термодинамика пластической деформации. 4.1. Барнаул, изд. АПИ им. И.И. Ползунова, 1988. - С.З.

103. Ультрозвуковые методы исследования дислокаций/ Сборник статей. М. :Изд. Ин. лит-ры, 1963.

104. Уэрт Ч, Томсон Р. Физика твердого тела.- М.: Мир, 1969. - С

105. Федоров Ф.И, Теория упругих волн в кристаллах. М.: Наука,

1965.

106. Фикс-Марголин Б.Г. Обеспечение требуемой шероховатости при кругломврезном шлифовании на станках с ЧПУ. Автореф.дис. на соиск. ученой степ. канд. техн. наук. - М.: ЭНИМС, 1982.

107. Хусу А.П, Витенберг Ю.Р, Пальмов В.А. Шероховатость поверхностей. Теоретико-вероятностный подход. -М.: Наука, 1975. -344с.

108. Чубуков А. С. Разработка и исследование методов самонастройки режимов обработки на круглошлифовальных станках с оперативной системой ЧПУ на основе микро-ЭВМ. Автореф.дис. на соиск. ученой степ. канд. техн. наук. - М.: ЭНИМС, 1980.

109. Чубуков A.C., Ратмиров В.А, Коныпин A.C. Способ адаптивного управления. Авт. свид. N 878540 М. кл. В 24В 49/00. Изобретения, промышленные образцы, товарные знаки. 1981, N 41.

110. Черепанов Т.П. Механика хрупкого разрушения. - М. Наука. Гл. ред. Физ.мат лит. - 1974. - 640с.

111. Чукаев В.И. Исследование процесса финишной обработки синтетического корунда : Автореф.дис. на соиск. ученой степ. канд. техн. наук. Л: ЛГУ, 1974.

112. Шкуратник В.Л. Измерения в физическом эксперименте. М. Издательство академии горных наук.- 2000.

113. Ящерицын П.И, Зайцев А.Г, Барботько А.И. Тонкие доводочные процессы обработки деталей машин и приборов. - Мн: Наука и техника, 1976. - 328с.

114. Bifano.T.G. .1988. "Ductile-Regime Grinding of Brittle Materials". Ph.D. Thesis. NC State University. Raleigh. NC.

115. Bifano.T.G. and Dow. T.A. .1985. "Real Time Control of Spindle Runout". Optical Engineering, Vol. 24. No.5.

116. Bifano. T.G. .Blake. P., Dow, T.A., and Scattergood, R.O. , "Precision Machining of Ceramic Materials" Proc. of the Intersociety Symposium on the Machining of Ceramic Materials and Components.R. E. Parks.K. Subramsnian K Ball eds Am Cer. Soc., ASME Abras. End. Soc.pp.99-120, April. 1987 (Updated and Reprinted in American Ceramic Society Bulletin, June. 1988. Vol. 67, No.6. pp. 1038-1044.

117. Scattergood.R.O.,Srinivasan S., and Bifano. T.G., 1988. "R-Curve Effects for Machining and Wear of Ceramics". 7th International Symposium on Ceramics Bolonia. Italy.