Повышение эффективности обработки отверстий в деталях из хрупких неметаллических материалов на основе алмазного сверления тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.01, доктор технических наук Балыков, Александр Викторович

• Балыков, Александр Викторович
• доктор технических наук
• 2004

Оглавление диссертации доктор технических наук Балыков, Александр Викторович

Введение

Глава 1. Состояние вопроса, цель и задачи исследования

1.1 Алмазное сверление хрупких неметаллических материалов

1.1.1 Область применения алмазного сверления

1.1.2 Особенности алмазного сверления отверстий различной 15 глубины и диаметров

1.1.3 Параметры технологического процесса алмазного сверления

1.2 Инструмент для алмазного сверления

1.3 Оборудование для алмазного сверления

1.4 Цель и задачи исследования

Глава 2. Исследование задачи выбора оптимальных параметров технологического процесса алмазного сверления

2.1 Показатели технологического процесса и факторы, действующие на 78 процесс, задачи моделирования

2.2 Моделирование процесса алмазного сверления

2.2.1 Фазы, условия микрорезания и объемы диспергируемого 87 материала при моделировании работы сверла одним алмазным зерном

2.2.2 Механизмы изнашивания сверла, объемы диспергированного 107 шлама при работе группы зерен

2.2.3 Роль смазочно-охлаждающей жидкости в процессе сверления

2.2.4 Модель поверхностного слоя обрабатываемого материала

2.2.5 Тепловые процессы алмазного сверления

2.2.6 Математические модели алмазного сверления отверстий 136 малых и больших диаметров

2.3 Параметрическая оптимизация процесса алмазного сверления

2.4 Выводы

Глава 3. Классификация, исследование и изыскание новых конструкций и характеристик алмазных сверл

3.1 Исследование геометрии режущей части и создание оригинальных 176 конструкций алмазного инструмента

3.1.1 Классификация алмазных сверл

3 Л .2 Подковообразные сверла

3.1.3 Кольцевые тонкостенные и профильные сверла

3.1.4 Универсальные алмазные сверла

3.2 Исследование и изыскание новых характеристик алмазных сверл

3.2.1 Обоснование применения технологии изготовления алмазного 214 инструмента методом пропитки (сварки) в вакууме

3.2.2 Влияние прочности и металлизации алмазного порошка на 220 работоспособность инструмента

3.2.3 Влияние зернистости алмазного порошка на параметры 229 процесса сверления

3.2.4 Выбор оптимальной концентрации алмазов для сверл на связке 232 "МонАлит"

3.3 Исследование технологических особенностей алмазного сверления

3.3.1 Выбор схемы сверления

3.3.2 Особенности механизма изнашивания и правки сверл

3.3.3 Исследование влияния состава СОЖ на процесс сверления

3.4 Выводы

Глава 4. Исследование адаптивного управления процессом алмазного сверления

4.1 Определение необходимости адаптивного управления процессом 266 обработки

4.2 Измерение показателей процесса

4.3 Исследование акустической эмиссии в процессе алмазного 274 сверления, как средства измерения показателей процесса

4.4 Реализация системы адаптивного управления за счет стабилизации 289 силы резания

4.5 Выводы

Глава 5. Разработка станков с ЧПУ для алмазного сверления подложек микросхем

5.1 Разработка технического задания

5.2 Технические характеристики и особенности станков для сверления 308 подложек микросхем

5.2.1 Станок с ЧПУ для алмазного сверления с гравитационной 309 подачей

5.2.2 Станок с ЧПУ для алмазного сверления с адаптивным 330 управлением по силе резания

5.3 Особенности системы управления станков

5.4 Выводы 353 Общие выводы и результаты 354 Список литературы 359 Приложение 1. Результаты экспериментов для моделирования процесса 374 алмазного сверления отверстий диаметром 6-70 мм.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение эффективности обработки отверстий в деталях из хрупких неметаллических материалов на основе алмазного сверления»

В радиоэлектронике, машиностроении и приборостроении, в оптической, часовой и ювелирных отраслях промышленности, в строительстве и быту широкое применение находят конструкционные хрупкие неметаллические материалы — стекло, кварц, керамика, ферриты, ситаллы. Эти материалы отличаются высокой твердостью, прочностью и хрупкостью.

При изготовлении деталей приборов и машин из перечисленных материалов получение отверстий является весьма трудоемкой операцией. До недавнего времени эту операцию выполняли с помощью абразивных суспензий. Одно отверстие в стеклянной шкале толщиной 6 мм обрабатывали в течение 5-7 минут, сверление отверстий диаметром 2 мм на глубину 300 мм и более в керамических деталях и вырезка дисков диаметром 500-1000 мм из ситалла были затруднены.

При использовании алмазного инструмента отверстие в шкале можно просверлить за 5-7 секунд. Алмазное сверление является одним из наиболее эффективных методов обработки отверстий или формообразования тел вращения диаметром 1-1000 мм из хрупких твердых неметаллических материалов (ХТНМ). Однако, несмотря на значительное развитие процессов алмазного сверления, на сегодняшний день отсутствуют обобщенные рекомендации по технологическим схемам и наладкам, применяемой оснастке и оборудованию, классификации и выбору конструкций алмазного инструмента, их характеристикам и режимам работы.

Для крупносерийного и массового производства изделий стеклофурнитуры и зеркал созданы специальные сверлильные станки-полуавтоматы и автоматические линии. На этих станках отверстия обрабатывают одновременно большим числом сверл, но при этом требуется обеспечить их одинаковую работоспособность, износостойкость и взаимозаменяемость.

Специфические требования предъявляют к алмазному сверлению в мелкосерийном и единичном производствах. В частности, возникает необходимость в разработке универсальных сверл, позволяющих производить обработку отверстий диаметром от нескольких миллиметров до нескольких метров одним инструментом.

Эффективность процесса обработки и качество получаемой детали зависят от технологической схемы сверления, конструкции и характеристики инструмента, конструкции и материала обрабатываемой детали, оборудования, оснащения станка, состава СОЖ, режима обработки. Выбор каждого параметра зависит от конкретных условий производства. Правильно выбранные параметры должны обеспечивать получение отверстий по 7-12 квалитету точности, с величиной сколов по краям отверстий не более 0,1 мм, шероховатостью поверхности Ra=0,63-2,5 мкм, с высокой производительностью. В настоящее время отсутствуют обобщенные рекомендации по выбору параметров процесса обработки, связанные с особенностями выбранной технологической системы. Создание таких рекомендаций, позволяющих учесть взаимосвязи между конструкциями, характеристиками алмазных сверл, технологическими условиями обработки, свойствами обрабатываемых материалов и выходными параметрами процесса алмазного сверления является важной и актуальной задачей.

Анализ конструктивно-технологических решений современных микросборок, изготовляемых в России и за рубежом, показал, с одной стороны, устойчивую тенденцию появления новых, дорогостоящих материалов, обладающих уникальными электрофизическими свойствами, способных выдерживать высокие механические и температурные нагрузки, с другой стороны - постоянный рост требований к качеству и точности их размерной обработки, особенно на финишных операциях, какими являются сверления отверстий диаметром 0,8-5 мм в подложках микросхем.

Недостижимой мечтой многих специалистов, занимающихся обработкой стекла, является алмазноабразивный инструмент, сочетающий хорошую работоспособность, сложность формы режущей части и высокую стойкость, особенно кромкостойкость. Это противоречие существует на протяжении многих лет. Гальваническим методом можно изготовить алмазные инструменты любой конфигурации. Но они имеют низкую стойкость, особенно острых кромок из-за однорядного расположения зерен.

Наоборот, инструменты, изготовленные методом порошковой металлургии, отличаются большой стойкостью. Однако изготовить таким способом сверла малых диаметров или с тонкой режущей кромкой не представляется возможным. Дело в том, что для обеспечения прочности конструкции инструмента необходимо наличие зазоров в виде связки между зернами алмазов, что ограничивает их предельную концентрацию. При миниатюрных размерах инструмента диаметром 0,8-2 мм, они становятся соизмеримыми с размерами алмазных зерен, и сверло разрушается. Кроме того, при механическом креплении алмазных зерен, они по мере износа связки обнажаются и вырываются из связки, не успев износиться. Чем больше размер вырванного зерна — тем меньше эффективность его использования и ниже кромкостойкость инструмента.

Таким образом, актуальной задачей является разработка принципиально новой технологии создания алмазного инструмента и доведение ее до промышленного производства. Необходимо также создать новые конструкции алмазных сверл, позволяющие сочетать в себе высокую производительность, хорошие условия для подвода СОЖ и технологичность в изготовлении.

Принимая во внимание также существенный рост объемов производства подложек микросхем для изделий микроэлектроники, необходимость автоматизации процессов и отсутствие до последнего времени в стране специального инструмента и оборудования с ЧПУ, разработка их для финишных операций алмазного сверления являются также актуальной задачей.

Кроме того, для условий серийного и массового производства изделий из стекла, необходимы новые конструкции оборудования с системами адаптивного управления процессом обработки. Решение этой задачи невозможно без моделирования и оптимизации процесса алмазного сверления. Создание систем адаптивного управления позволит существенно повысить эффективность обработки отверстий в труднообрабатываемых неметаллических материалах.

Проведенный анализ работ, прямо или косвенно связанных с вопросами обработки отверстий в хрупких неметаллических материалах, позволяет говорить о недостаточной проработке проблем выбора соответствующих технологических систем и режимов обработки, отсутствии прогрессивных конструкций инструмента и оборудования, а также математических моделей, позволяющих оптимизировать процесс алмазного сверления и управлять им. Необходимо изыскание новых методов и подходов к решению указанных проблем.

В исследованиях процессов алмазного сверления хрупких неметаллических материалов отсутствует теоретическая проработка вопросов обрабатываемости различных материалов, а немногочисленные экспериментальные исследования не определяют их общие закономерности.

Таким образом, для повышения эффективности технологического процесса алмазного сверления отверстий в хрупких неметаллических материалах, основной задачей настоящих исследований было поставлено выявление взаимосвязей между технологическими условиями обработки, конструкциями и характеристиками алмазных сверл, свойствами обрабатываемых материалов и параметрами процесса, и разработка, на их основе, новых конструкций инструмента и оборудования, а также создания методов адаптивного управления алмазным сверлением.

Результаты проведенных исследований позволяют утверждать, что открыто новое перспективное научное направление в технологии обработки хрупких твердых неметаллических материалов, заключающееся в том, что все процессы, протекающие в ходе обработки, рассматриваются качественно и количественно связанными друг с другом, вследствие чего становится возможным нахождение оптимальных решений по выбору параметров точной высокопроизводительной обработки, а также адаптивного управления технологическим процессом в целом.

Практическая ценность настоящих исследований состоит в доведении решений до реализации на конкретных производствах, разработке прогрессивных технологий получения нового алмазного инструмента, создании новых конструкций инструмента и моделей оборудования для алмазного сверления. Практические достижения подтверждены патентами и авторскими свидетельствами, ссылки на которые приведены в списке литературы.

Заключение диссертации по теме «Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки», Балыков, Александр Викторович

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ

1. В результате выполненных теоретических и экспериментальных исследований получены технические и технологические решения, заключающиеся в разработке оптимальной технологии алмазного сверления, рациональных конструкций алмазного инструмента и специального станка с адаптивным управлением для алмазного сверления отверстий в хрупких неметаллических материалах, внедрение которых внесло значительный вклад в развитие экономики России и повышение её обороноспособности. Показано, что с использованием вышеуказанных решений достигнуто повышение производительности обработки в 1,5 раза, износостойкости алмазного инструмента в три раза и расширение технологических возможностей процесса алмазного сверления (возможность обработки отверстий диаметром 0,8—6 мм, 70-1000 мм и более, прецизионных отверстий, ступенчатых отверстий с фасками, эллиптических отверстий), что является решением проблемы, имеющей важное народнохозяйственное значение.

2. Выявлены качественные закономерности механизма хрупкого разрушения (диспергирования) поверхности обрабатываемого материала и изнашивания режущей поверхности алмазных сверл и установлены связи между их физико-механическими свойствами и силой резания. При этом для обеспечения диспергирования поверхности детали и повышения износостойкости алмазного инструмента напряжения, создаваемые под действием этой силы алмазными рабочими зернами в обрабатываемом материале, должны превышать предел прочности хрупкого разрушения материала, и, соответственно, напряжения, создаваемые в связке сверла этими же алмазными зернами, должны быть ниже предела прочности разрушения связки.

3. Получена математическая модель алмазного сверления деталей из хрупких неметаллических материалов, устанавливающая связи между силами резания процесса, качеством поверхности обрабатываемого материала (шероховатость, сколы), износостойкостью сверл (удельный расход, стойкость) с одной стороны и характеристиками алмазных сверл (прочность, концентрация и зернистость алмазного порошка и связки), режимами обработки (скорость резания, подача), условиями охлаждения (расход и давление смазывающе-охлаждающей жидкости), физико-механическими свойствами обрабатываемого материала с другой стороны, которая позволяет поставить и решить оптимизационную задачу определения максимальной производительности. Математическая модель представляет собой систему из десяти уравнений для отверстий двух диапазонов диаметров: от 1 мм до 6 мм и от 6 мм до 70 мм.

4. Обоснован выбор оптимальных характеристик алмазного инструмента и технологических условий обработки; конструкций тонкостенных и профильных алмазных сверл; оптимальной концентрации алмазных сверл на основании параметрической оптимизации математической модели процесса алмазного сверления по критерию максимальной производительности методом последовательного отражения (поиска оптимума при помощи шестимерного симплекса), позволивший повысить производительность процесса в 1,5-2 раза.

5. На основе теоретических и экспериментальных исследований с целью расширения технологических возможностей процесса алмазного сверления созданы оригинальные конструкции специального алмазного инструмента:

• подковообразные сверла диаметром 0,8-6,0 мм, позволяющие исключить условия контакта с нулевой скоростью и заклинивание керна;

• регулируемые сверла-зенкера для обработки отверстий и фасок одним инструментом;

• регулируемые сверла для обработки точных отверстий по 8-9 квалитету;

• универсальные сверла с унифицированными режущими алмазными элементами эллипсообразной формы, базирующимися на плоских и криволинейных планшайбах для формообразования отверстий от 70 мм до 1000 мм и более.

6. Установлено, что особенностью изнашивания и самозатачивания алмазных сверл является эволюция формы алмазных зерен на режущей поверхности сверла (изнашивание, микросколы, вырывы зерен) от взаимодействия с обрабатываемым материалом и одновременное изнашивание связки абразивным шламом, вымываемым смазываю ще — охлаждающей жидкостью под давлением через кольцевой зазор зоны резания. Разработана модель эвакуации шлама из зоны резания и изнашивания связки сверла, обеспечившая работу сверла в режиме самозатачивания.

7. Выявлена связь характера износа алмазных зерен с прочностью связки алмазного сверла. В частности для традиционной связки Ml, имеющей

7ссвж < 800 МПа, доминирующим является изнашивание вершин режущих зерен с последующим их вырывом и появлением новых зерен вследствие разрушения связки. Для разработанной связки М ("МонАлит") имеющей

Тсж-1200 МПа, преобладающим является постепенное хрупкое микроскалывание алмазных зерен с образованием новых режущих кромок, что обеспечивает повышение эффективности использования алмазных зерен.

8. Проведенные теоретические и экспериментальные исследования выявили связи между механическими свойствами связки сверл и максимальной силой резания, исключающей выров целых алмазных зерен из матрицы. На основании полученных данных применена технология изготовления сверл с высокой относительной концентрацией алмазов методом вакуумной пропитки, особенностью которой является обеспечение надежных адгезионных связей между связкой и алмазными зернами, повышение прочности и термостойкости связки ("МонАлит"). Технология обеспечила повышение износостойкости сверл на связке "МонАлит" в три раза по сравнению со сверлами на связке Ml.

9. Получена зависимость для определения температуры и температурных напряжений, как в зоне резания, так и на некотором расстоянии от нее с помощью решения дифференциального уравнения теплопроводности для линейного теплового потока методом интегрального преобразования Лапласа. Расчеты показывают, что температуры не достигают точки плавления материала и температуры графитизации алмаза. Глубина сколов на алмазных зернах за счет температурных напряжений может достигать 10 мкм.

10. Установлены соотношения макроизноса торцевой и цилиндрической рабочих поверхностей кольцевых алмазных сверл для связки Ml и М ("МонАлит"). Полученные результаты позволили разработать тонкостенные кольцевые сверла диаметром 4—70 мм с шириной режущей кромки 0,6-1,0 мм на связке "МонАлит", обеспечивающие повышение производительности сверл в 1,5 раза.

11. На основании проведенного моделирования процесса алмазного сверления и разработки конструкций подковообразных алмазных сверл разработано техническое задание на проектирование специального станка с адаптивным управлением стабилизацией силы резания для алмазного сверления отверстий диаметром 0,8-6 мм в подложках микросхем.

12. Определены необходимые условия применения системы адаптивного управления для процесса алмазного сверления, заключающиеся в нахождении оптимальной точки режимов обработки на границах допустимой области, определяемой системой функциональных ограничений. На основании исследования функциональной матрицы системы уравнений, описывающих объект управления и измеритель, установлены условия существования функциональной зависимости между регулируемой и измеряемой величинами.

13. Созданы станки с ЧПУ для алмазного сверления мод. УАС-6 с гравитационной подачей и мод. УРСА-6 с адаптивной системой стабилизации силы резания, которые позволили решить проблему автоматического сверления подложек микросхем из стекла, ситалла, поликора и повысить производительность обработки в 1,3 раза при требуемом качестве поверхности.

14. Разработаны научно-обоснованные рекомендации по выбору конструкций и характеристик алмазных сверл, режимов обработки, условий охлаждения, технологических схем и наладок процесса сверления хрупких неметаллических материалов, обеспечившие повышение производительности процесса алмазного сверления в 1,5-2 раза.

15. Организовано серийное производство специальных станков для алмазного сверления мод. УАС-6 с гравитационной подачей и мод. УРСА-6 с адаптивным управлением на заводе «Точрадиомаш» (г. Майкоп). Изготовленные станки внедрены на 31 предприятии России и стран СНГ. Освоено на фирме «Рус—Атлант» серийное изготовление инструмента «МонАлит» для алмазного сверления (подковообразных, кольцевых и универсальных сверл для обработки отверстий диаметром 1-1000 мм, зенкеров и регулируемых зенкеров). К настоящему времени изготовлено 40000 единиц инструмента, которые эффективно используются более чем на 50 предприятиях. Ориентировочный годовой экономический эффект от результатов работы составляет 12 млн. руб.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Балыков, Александр Викторович, 2004 год

1. Абдуллин Ш.А. Гальванопластический алмазный инструмент. М., Журнал «Оптико-механическая промышленность», 1972, № 6.

2. Абразивная и алмазная обработка материала. Справочник. Под ред. Резникова А.Н. М.: Машиностроение, 1977. 392 с.

3. Алексеев Н.М. Вдавливание сферического индентора в бесконечно-протяжённый слой пластического материала ограниченной толщины. Контактное взаимодействие твердых тел и расчет сил трения и износа. М.: «Наука», 1971.

4. Ардамацкий A.JI. Алмазная обработка оптических деталей: JL: Машиностроение, 1978, 232 с.

5. Архипов А.Г. Механизм разрушения горных пород при алмазном бурении и его акустико-спектральная диагностика. СПб., ВИТР, 2000.

6. Базров Б.М. Технологические основы проектирования самоподнастраивающихся станков. М.: Машиностроение, 1978, 216 с.

7. Бакуль В.Н. Число зерен в одном карате — одна из важнейших характеристик алмазного порошка. М., Журнал «Синтетические алмазы», 1978, №4, с. 22-27.

8. Бакуль В.Н., Лощак М.Г., Мильнев В.И. Микротвердость алмаза и ее зависимость от температуры. М., Журнал «Синтетические алмазы», 1978, №1, с. 7-10.

9. Балыков А.В. Механическая алмазная обработка кварцевых пластин. РТМ ЮГО 054.037, 1969.

10. Балыков А.В. Опыт внедрения и исследования алмазного шлифования кварцевых пластин пьезорезонаторов. Материалы семинара МДНТП «Прецизионная отделочная обработка», 1969, с. 150-160.

11. Балыков А.В., Попов С.А. Состояние поверхностного слоя кварцевых пластин при алмазном шлифовании. М., Журнал «Вестник машиностроения», 1970, №2, с. 73-76.

12. Балыков А.В. Исследование процесса алмазного шлифования кварцевых пластин специальных радиоэлектронных приборов. Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук, 1971.

13. Балыков А.В. Исследование работоспособности сверл из алмазов марки САМ. М., Журнал «Алмазы», 1972, №11, с. 9-10.

14. Балыков А.В., Старшинов П.С., Калугина Л.М. Влияние вида алмазно-абразивной обработки на шероховатость поверхности кварцевых пластин. М., Журнал «Вопросы радиоэлектроники», сер. Технология производства и оборудования, вып.2, 1972, с. 101-109.

15. Балыков А.В., Цесарский А.А. Алмазные сверла с подковообразным профилем рабочей части. М., Журнал «Алмазы», 1973, №1, с. 8-10.

16. Балыков А.В., Цесарский А.А., Калугина Л.М. Выбор СОЖ при алмазном сверлении хрупких неметаллических материалов. Журнал «Алмазы и сверхтвердые материалы», вып. 7, М.: НИИМАШ, 1974, с. 14-16.

17. Балыков А.В. Кольцевое сверло. Авторское свидетельство №410955. Бюл. №2 от 15.01.1974.

18. Балыков А.В. Кольцевое сверло. Авторское свидетельство №455015. Бюл. №43 от 30.12.1974.

19. Балыков А.В., Цесарский А.А. Сверление алмазное отверстий в твердых хрупких неметаллических материалах. Типовые технологические процессы. ОСТ 4 Г0.054.079, 1974, 43 с.

20. Балыков А.В., Цесарский А.А., Войнов В.А. Алмазное кольцевое сверло. Авторское свидетельство №37621. Бюл. №28, от 30.07.1974.

21. Балыков А.В., Цесарский А.А. Универсальный алмазный инструмент для сверления неметаллических материалов. Сборник «Синтетические алмазы», вып.4, К.: Наук. Думка, 1975, с. 30-34.

22. Балыков А.В., Кирова Н.Ф., Цесарский А.А. Работоспособность алмазных сверл, изготовленных из различных марок алмазного сырья. Журнал «Алмазы и сверхтвердые материалы», вып. 4, М.: НИИМАШ, 1975, с. 7-10.

23. Балыков А.В., Цесарский А.А., Войнов В.А. Инструмент для образования отверстий в твердых и хрупких материалах. Авторское свидетельство №443771. Бюл. №35, от 25.09.1976.

24. Балыков А.В., Цесарский А.А. Алмазное сверление отверстий. М, Журнал «Обмен опытом в радиопромышленности», вып.8, 1976, с. 31-36.

25. Балыков А.В., Войнов В.А., Кирилычева Г.П. Качество поверхности феррита при алмазном шлифовании. М., Журнал «Алмазы и сверхтвердые материалы», вып.12, 1976, с. 11-15.

26. Балыков А.В. О некоторых закономерностях алмазного шлифования хрупких неметаллических материалов. В кн. «Синтетические алмазы — ключ к техническому прогрессу», ч.2. К.: Наук. Думка, 1977, с. 171-181.

27. Балыков А.В., Сотников Ю.А., Карпушин Ю.В., Цесарский А.А. Кольцевое сверло. Авторское свидетельство №570489. Бюл. №32, от 30.08.1977.

28. Балыков А.В., Кирова Н.Ф., Цесарский А.А. Влияние термомеханических характеристик синтетических алмазов новых марок на работоспособность алмазных сверл. М., Журнал «Алмазы и сверхтвердые материалы», вып. 10, 1977, с. 5-7.

29. Балыков А.В., Войнов В.А., Калугина JI.M., Цесарский А.А. Режущий элемент для кольцевых сверл. Авторское свидетельство №605720. Бюл.№17, от 05.05.1978.

30. Балыков А.В., Войнов В.А., Куликов Б.А., Цесарский А.А. Инструмент для образования отверстий в твердых и хрупких материалах. Авторское свидетельство №607744. Бюл.№19, от 25.05.1978.

31. Балыков А.В., Войнов В.А., Куликов Б.А., Цесарский А.А. Кольцевое сверло. Авторское свидетельство №647119. Бюл. №6, от 15.02.1979.

32. Балыков А.В., Калугина Л.М. Работоспособность алмазных кругов при шлифовании неметаллических материалов. М., Журнал «Алмазы и сверхтвердые материалы», вып. 6, 1979, с. 4-6.

33. Балыков А.В., Цесарский А.А. Алмазное сверление деталей из труднообрабатываемых материалов. М.: Машиностроение, 1980, 64 с.

34. Балыков А.В., Цесарский А.А., Войнов В.А. Алмазное кольцевое сверло. Авторское свидетельство №745701. Бюл. №25, от 07.07.1980.

35. Балыков А.В., Войнов В.А., Гусев С.С., Цесарский А.А. Кольцевое сверло. Авторское свидетельство №781075. Бюл. №43, от 23.11.1980.

36. Балыков А.В., Сотников Ю.А., Цесарский А.А., Карпушин Ю.В., Пугачев С.М. Кольцевое сверло. Авторское свидетельство №799957. Бюл. №4, от 30.01.1981.

37. Балыков А.В., Цесарский А.А. Алмазный инструмент. Авторское свидетельство №1804457. Бюл. №6, от 15.02.1981.

38. Балыков А.В. Установка с ЧПУ для алмазного сверления отверстий в твердых и хрупких неметаллических материалах. Доклады XXXVII Всесоюзной научной сессии, посвященной дню радио. М.: «Радио и связь», 1982, с. 3-4.

39. Балыков А.В., Батров Е.И. Оборудование и инструмент для сверления и резки деталей. М., Журнал «Обмен производственно-техническим опытом», вып.З, 1988, с. 26-28.

40. Балыков А.В., Бабичев В.Ю., Батров Е.И. Оптимизация алмазно-абразивной обработки неметаллических материалов путем адаптивного управления. Доклады Всесоюзной научной сессии, посвященной дню радио. М.: «Радио и связь», 1989, с. 5-7.

41. Балыков А.В., Бабичев В.Ю. Станок с ЧПУ для сверления и резки алмазным инструментом. М., Журнал «Обмен производственно-техническим опытом», вып.4, 1989, с. 59-61.

42. Балыков А.В., Арсентьев А.В. Управление процессами микрорезания кристаллических материалов с использованием акустико-эмиссионного контроля. Материалы МДНТП «Диагностика технологических процессов в машиностроении», М., 1990, с. 36-42.

43. Балыков А.В. Управление качеством поверхности по параметрам акустической эмиссии. Материалы МДНТП «Чистовая обработка материалов резанием», М., 1990, с. 84-88.

44. Балыков А.В. Диагностика шлифования хрупких твердых неметаллических материалов по динамическим параметрам. Доклады 8 Международной конференции по шлифованию, абразивным инструментам и материалам», Д., 1991,ч.2, с. 107-112.

45. Балыков А.В. и др. Многошпиндельный станок. Патент РФ №1839745.

46. Балыков А.В., Сухонос С.И. Новый алмазный инструмент для обработки стекла. М., Журнал «Стекло и бизнес», 1999, №2, с. 20-23.

47. Балыков А.В. , Сухонос С.И. Алмазное сверление стекла. М., Журнал «Стекло и бизнес», 1999, №3, с. 28-30.

48. Балыков А.В. , Сухонос С.И. Новое поколение алмазно-абразивного инструмента. М., Журнал «Технология металлов», 1999, №8, с. 46-48.

49. Балыков А.В. Новый алмазно-абразивный инструмент «МонАлит». М., Журнал «ИСОТ», 1999, №2.

50. Балыков А.В., Сухонос С.И. Новые возможности алмазно-абразивного инструмента "МонАлит". М., Журнал «Стекло и бизнес», 2001, №2, с. 34-35.

51. Балыков А.В. Алмазно-адаптивное сверление стекла. М., Журнал "Стекло и бизнес", 2002, №2, с. 44-45.

52. Балыков А.В. Моделирование процесса алмазного сверления неметаллических материалов. М., Журнал "Стекло и керамика", 2003, №3, с. 13-16.

53. Балыков А.В. Оптимизация процесса алмазного сверления методом планирования экстремальных экспериментов. М., Журнал "Стекло и керамика", 2003, №7, с. 17-20.

54. Балыков А.В. Автоматизация алмазного сверления отверстий малых диаметров. Сборник трудов научно-технической конференции МГАПИ "Технологические процессы и материалы в машиностроении", М., 2003, с. 37-42.

55. Балыков А.В. Моделирование процесса алмазного сверления, как метод повышения эффективности обработки. Сборник научных трудов МГАПИ "Математическое моделирование и управление сложных системам", М., вып. 6, 2003, с. 109-115.

56. Балыков А.В. Новые технологии алмазного сверления. М., Журнал "Технология металлов", 2003, №6, с. 30-32.

57. Балыков А.В. Повышение эффективности алмазного сверления отверстий. М., Журнал "Технология металлов", №10, 2003.

58. Балыков А.В. Аналитические модели алмазного сверления труднообрабатываемых неметаллических материалов. Сборник VIII Международной научно-технической конференции "Проблемы машиностроения и технологии металлов на рубеже веков", Пенза, 2003, с. 299-303.

59. Бардин А.Н. Технология оптического стекла. М., 1955, 495 с.

60. Бармин Б.П. Сверление деталей из стеклопластика синтетическими алмазами. Науч.-техн. реф. сб. «Алмазы», вып. 7. М.: НИИМАШ, 1972.

61. Бертенев Г.М. Сверхпрочные и высокопрочные неорганические стекла. М.: «Стройиздат», 1974.

62. Бойцова JI.B. Исследование процесса алмазного сверления стекла. Автореферат на соискание ученой степени кандидата технических наук, Тольятти Куйбышевский политехнический институт им. В.В. Куйбышева, 1970.

63. Бокучава Г.В. Шлифование металлов с подачей охлаждающей жидкости сквозь поры шлифовального круга. М.: Машгиз, 1959, 107 с.

64. Бокучава Г.В. Влияние физико-механических свойств абразивных материалов на процесс шлифования. В кн.: Передовая технология и автоматизация управления процессом обработки деталей машины. Д.: Машиностроение, 1970, с. 453-458.

65. Бочкин О.И. и др. Механическая обработка полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1973.

66. Боуден Ф.П., Тейбор Д. Трение и смазка твердых тел. М.: Машиностроение, 1968.

67. Бужинский И.М. и др. Способ механической обработки хрупких деталей. Авт. свид. № 308876. Бюллетень «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1971, № 22.

68. Ваксер Д.Б. и др. Алмазная обработка технической керамики. JL: Машиностроение, 1976, 160 с.

69. Глейзер JI.A. О сущности процесса круглого шлифования. — В кн.: Вопросы точности технологии машиностроения. М.: Машиностроение, 1959, с. 5-24.

70. Голуб Г.Ф. и др. Алмазное сверление отверстий в очковых линзах. М., Журнал «Синтетические алмазы», 1972, № 5.

71. Голуб Г.Ф. Современные конструкции алмазных сверл. К., Журнал «Сверхтвердые материалы», 1981, №1.

72. Гурвич Р.А. и др. Алмазное сверло. Авт. свид. № 297434. Бюллетень «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1971, № 10.

73. Гурвич Р.А. и др. Станок для внутреннего и глубинного алмазно-электролитического шлифования. М., Журнал «Синтетические алмазы», 1973, № 1.

74. Довгань М.Е., Карпенко М.Т. Высверливание втулок из лейко-сапфира. М., Журнал «Синтетические алмазы», 1974, № 2.

75. Дуда Т.М. Взаимодействие на границах контакта алмаз-покрытие-связка. К., Журнал "Сверхтвердые материалы", 1986, №5, с.30-32.

76. Евсеев Д.Г., Сальников А.Н. Физические основы процесса шлифования. Изд-во Сарат. ун-та, 1978, 128 с.

77. Журавлев В.В. Влияние металлизации на прочность алмаза и величину внутренних напряжений системы алмаз-металл. В сб. Повышение эффективности применения алмазных инструментов. Труды ВНИИалмаза, М., 1986, с. 50-56.

78. Захаров В.И. и др. Сверление отверстий в стеклопластике алмазным инструментом. М., Журнал «Синтетические алмазы», 1972, № 3.

79. Зедгинидзе И.Г. Планирование эксперимента для исследования многокомпонентных систем. М.: Наука, 1976, 390 с.

80. Зибров А.С. и др. Алмазное или абразивное трубчатое сверло. Автор, свид. № 252121. Бюллетень «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1969, № 28.

81. Злобин В.А. и др. Ферритовые материалы. JL: Энергия, 1970.

82. Золотарева Р.С. и др. Сверление отверстий в дверных полотнах из стекла. М., Журнал «Синтетические алмазы», 1973, № 2.

83. Карбань В.И., Кой П., Рогов В.В. и др. Обработка полупроводниковых материалов. К.: Наук, думка, 1982, 256 с.

84. Карбань В.И., Борзаков Ю.И. Обработка монокристаллов в микроэлектронике. М.: Радио и связь, 1988, 104 с.

85. Кангун В.Р., Цыпкин Р.З. Сверление неметаллических материалов алмазными перфорированными сверлами. М., Журнал «Станки и инструмент», 1973, № 12.

86. Каталог фирмы Diamant Boart «Алмазные инструменты для обработки стекла».

87. Качалов Н.Н. Технология шлифовки и полировки листового стекла. M.-JI. изд. АН СССР, 1958, 382 с.

88. Кизиков Д.Д. и др. Алмазно-металлические композиции. К.: Техника, 1988, 135 с.

89. Колев А.Н., Ищенко С.Ю., Владимирский В.К., Боруха С.Ю. Виброакустическая диагностика алмазного сверления активных каналов кольцевых оптических квантовых генераторов. М.: Электронная техника, сер.7, ТОПО, вып.24, 1988.

90. Колев А.Н., Пермин А.С., Ищенко С.Ю. Оптимизация процесса алмазного сверления методом планирования экстремальных экспериментов. М.: Электронная техника, сер.7, вып.2, 1988.

91. Колев А.Н., Ищенко С.Ю. Диагностика процессов алмазной обработки твердых и хрупких неметаллических материалов. М.: Электронная техника, сер.7, вып.7, 1988.

92. Колев А.Н. и др. Виброакустическая диагностика алмазного сверления активных каналов кольцевых оптических квантовых генераторов: М.: Электронная техника, сер.7, вып.2, 1988.

93. Кольцевые алмазно-металлические свезла. Информационный листок 9 3-74. М.: НИИМАШ, 1974.

94. Комолаева JI.B., Скрипко Г.Ф. Сверление глубоких точных отверстий в кварце и ситалле алмазным инструментом. Тезисы докл. Всесоюз. конф. «Теория и практика алмазной и абразивной обработки деталей приборов и машин», М.: МВТУ им. Баумана, 1973.

95. Комолаева JI.B., Пащенко Н.Г. Установка для глубокого сверления неметаллических материалов. М., Журнал «Синтетические алмазы», 1974, №3.

96. Корчак С.Н. Производительность процесса шлифования стальных деталей. М.: Машиностроение, 1974, 280 с.

97. Крагельский И.В., Добычин М.Н., Комбалов B.C. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977, 526 с.

98. Криштопа Н.А., Пучков А.С. Специальное сверло для обработки слоистых материалов. Науч.-техн. сб. «Технология и организация производства», К.: УкрНИИНТИ, 1971, № 6.

99. Кузнецов В.Д. Физика резания и трения металлов и кристаллов. М.: Наука, 1977,310 с.

100. Лапаев Ю.А. и др. Устройство для сверления кварцевых блоков. Автор, свид. № 364453. «Бюллетень «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1973, № 5.

101. Лоладзе Т.Н., Бокучава Г.В. Износ алмазов и алмазных кругов. М.: Машиностроение, 1967, 112 с.

102. Марков А.И. и др. Алмазное сверление ситаллов с воздействием ультразвука. Науч.-техн. реф. сб. «Алмазы», вып. 3. М.: НИИМАШ, 1972.

103. Марков А.И. Ультразвуковая обработка металлов. М.: Машиностроение, 1980, 237 с.

104. Марков А.И., Ивкин Е.И. Ультразвуковые комплексы для интенсификации технологических процессов алмазной обработки деталей из твердых хрупких материалов: Межотраслевой научно-технический сборник. Научно-технические достижения, М.: ВИМИ, 1994, №5.

105. Марков А.И. и др. Влияние ультразвука на физико-механические и режущие свойства металлоалмазных композиций для обработки высокопрочной керамики, М.: СТИН, 2000, №2.

106. Маслов Е.Н. Теория шлифования материалов. М.: Машиностроение, 1974, 320 с.

107. Миркин М.Г. Устройство для закрепления деталей примораживанием. Авт. свид. № 350635. Бюллетень «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1972, № 27.

108. Михелькевич В.Н. Автоматическое управление шлифованием. М.: Машиностроение, 1975, 304 с.

109. Морозов Е.М., Никишков Г.П. Метод конечных элементов в механике разрушения. М.: Наука, 1980, 256 с.

110. Муминов Н.А., Митрофанов В.Г. Адаптивное управление технологическими процессами в машиностроении. Ташкент, изд-во "Фан" УзССР, 1976, 176 с.

111. Налимов В.В., Чернова Н.А. Статистические методы планирования экстремальных экспериментов, М.: Наука, 1965, 340 с.

112. Найдич Ю.В., Шуркал В.В., Уманский В.П. и др. Улучшение качества буровых коронок при использовании металлизированных природных алмазов. К., Журнал «Сверхтвердые материалы», 1990, №2, с. 39-43.

113. Никехин А.А., Корнюшина Н.М. Трубчатое сверло. Авт. свид. № 327068. Бюллетень «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1972, № 5.

114. Ногин И.С. и др. Алмазное кольцевое сверло. Авт. свид. № 284675 -Бюллетень «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1970, №32.

115. Ногин И.С. Исследование процесса алмазного сверления бетона и железобетона. Автореферат на соискание ученой степени кандидата технических наук, Тольятти, Куйбышевский политехнический институт им. В.В. Куйбышева, 1973.

116. Ногин И.С., Яшин Г.Г., Зубов В.А. Алмазное сверление неметаллических материалов с охлаждением воздухом. М., Журнал «Алмазы и сверхтвердые материалы», вып. 9, 1981, с. 11-13.

117. Островский В.И. Вид и структура аналитических зависимостей теории шлифования. К., "Сверхтвердые материалы", 1987, №6, с.48-50.

118. Партон В.З. и др. Динамика хрупкого разрушения. М.: Машиностроение, 1977, 240 с.

119. Патент США №3710 516. 175-20.

120. Патент Англии № 1 010318. В, 24d, £7.

121. Патент Франции № 1 322 844. В, 236.

122. Патент Бельгии № 718357. С, 03 е.

123. Пермин О.С., Тургин В.И., Третьяков JI.M. Автоматизация управления сверлением глубоких отверстий в неметаллах. К., Журнал «Сверхтвердые материалы», 1980, №6.

124. Попов С.А., Малевский Н.П., Терещенко Л.М. Алмазно-абразивная обработка металлов и твердых сплавов. М.: Машиностроение, 1977, 263 с.

125. Постриков В.М., Морозов Е.М. Механика разрушения твердых тел. СПб.: "Профессия", 2002, 320 с.

126. Прудников E.JI. Инструмент с алмазно-гальваническим покрытием. М.: Машиностроение, 1985, 96 с.

127. Пшеничный И.С. и др. Способ механической обработки хрупких деталей. Авт. свид. № 341655. Бюллетень «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1972, № 19.

128. Расчеты на прочность в машиностроении. Т. II, М.: Машгиз, 1958.

129. Ребиндер П.А., Епифанов Т.И. Об энергетическом балансе процесса резания металлов. ДАН СССР, т. XVI, 1949, №4.

130. Резание труднообрабатываемых материалов. Под ред. проф. П.Г. Петрухи. М.: «Машиностроение», 1972.

131. Резников А.Н. Справочник по алмазной обработке. Куйбышевское книжное издательство, 1967.

132. Резников А.Н. Теплофизика процессов механической обработки материалов. М.: Машиностроение, 1981, 288 с.

133. Родин П.Р., Криштопа Н.А. Установка для сверления слоистых материалов в замороженной среде. М., Журнал «Вестник машиностроения», 1973, № 1.

134. Рогов В.В., Букатов К.И. Алмазная обработка часовых и приборных камней из синтетического корунда. К.: УкрНИИНТИ, 1969.

135. Романов А.И. Получение мелкоразмерных отверстий в керамических подложках СВЧ-модулей. Обзор. М.: "Румб", 1989, 45 с.

136. Сагарда А.А. и др. Алмазно-абразивная обработка деталей машин. К.: «Техника», 1974.

137. Сверление глубоких отверстий малого диаметра в стекле. Экспресс-информация «Технология и оборудование механосборочного производства», 1973, № 17.

138. Селех В.Ф., Петренко А.П. Устройство для обработки отверстий. Авт. свид. № 382479. Бюллетень «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1973, № 23.

139. Семибратов М.Н. и др. Технология оптических деталей. М.: Машиностроение, 1978, 415 с.

140. Симкин Л.Л. и др. Механизация процессов алмазной обработки стеклопластика. М., Журнал «Синтетические алмазы», 1974, № 1.

141. Соломенцев Ю.М., Митрофанов В.Г. и др. Адаптивное управление технологическими процессами. М.: Машиностроение, 1980, 536 с.

142. Старков В.К. Обработка резанием: управление стабильностью и качеством в автоматизированном производстве. М.: Машиностроение, 1989, 295 с.

143. Стекло. Справочник. М.: «Стройиздат», 1973.

144. Сухонос С.И. и др. Абразивный инструмент. Патент РФ № 2092302, 1997.

145. Третьяков И.П., Карпов А.Б. и др. Метод исследования напряженного состояния системы связка-зерно-обрабатываемый материал при динамических нагрузках. Науч.-техн. реф. сб. «Алмазы», вып. 4. М.: НИИМАШ, 1978, с. 19-22.

146. Троицкий Н. Д. Глубокое сверление. JL: «Машиностроение», 1971.

147. Фадеев П.Л., Албагагиев А.Ю. Повышение надежности деталей машин. М.: Машиностроение, 1993, 96 с.

148. Флом И.Г. Опытно-промышленная установка для вырезки круглых стеклоизделий алмазными кольцевыми сверлами. Науч.-техн. реф. сб. «Алмазы», вып. 4. М.: НИИМАШ, 1973.

149. Френкель Ш.Т., Скрипко Г.Ф. Устройство для отрезки столбиков из твердых и хрупких материалов. Автор, свид. № 298441. Бюллетень «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1971, № п.

150. Худобин Л.В. Смазочно-охлаждающие средства, применяемые при шлифовании. М.: Машиностроение, 1971, 212 с.

151. Чегина Л.Г., Яхимович Д.Ф. Ультразвуковая размерная обработка алмазным инструментом. Науч.-техн. реф. сб. «Электрофизические и электрохимические методы обработки», вып. 2, 3. М.: НИИМАШ, 1974.

152. Черников Б.Г. Очистка смазочно-охлаждающих жидкостей. Журнал «Машиностроитель», 1969, № 9.

153. Шило А.В. и др. Изготовление алмазных трубчатых сверл методом гальванопластики. М., Журнал «Синтетические алмазы», 1970, № 1.

154. Шнейнер Л.А. Твердость хрупких тел. М.: Издательство АН СССР, 1949.

155. Шубников А.В. Элементарные механические явления при шлифовании и полировании. В сб. «Качество поверхности деталей машин», М.: Издательство АН СССР, 1957.

156. Щиголев А.Г., Полупан Б.И., Коломиец В.В. Определение количества зерен по глубине рабочего поверхностного слоя алмазного инструмента. М., Журнал «Синтетические алмазы», 1979, № 3, с. 19-25.

157. Щиголев А.Г., Виноградов А.А. Расчет сил при резании единичным алмазным зерном. К., Журнал "Сверхтвердые материалы", 1981, №1, с.51-56.

158. Якимов А.В. Оптимизация процесса шлифования. М.: Машиностроение, 1975, 176 с.

159. Diamond micro-points drill miniature holies in ceramic, Solid Stale. Technol, vol. 11, № 10, 1968.

160. Evans A.G., Charles E.A. Fracture Toughness Determination by Indentation, J. Amer. Ceram. Soc. vol. 59, 1976.

161. Griffith A.A. The phenomena of rupture and flam in solid. Phil. Trans. Roy. Soc. A. 1921.221 №2-P. 163-198.

162. Griffith A.A. The theory of rupture. Proc. First Int. Cong. Appl. Mech. 1924 -P. 55-63.

163. Irwin G.R. Analysis of stress and strains near the end of crack traversing a plate. J. Appl. Mech. 1957. Vol. 24, №3 P. 361-364.

164. Lawn B.R., Evans A.G. A model for crack initiation in elastic/plastic indentation fields. Journal of Material Science. 1977, vol. 12, P. 195-199.

165. Wapler H. Diamond in the glass industry. «Industrial Diamond Review». German edition v. 2, № 4, 1969.