Повышение эффективности контроля качества компонентов астрономических и космических оптических систем тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат технических наук Шаров, Александр Александрович

• Шаров, Александр Александрович
• кандидат технических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат технических наук Шаров, Александр Александрович

Введение

Глава

Современные направления развития некоторых компонетов астрономических и космических оптических систем высокого разрешения и особенности контроля их качества (обзор).

1.1 Объективы для систем наблюдения и фотографирования удалённых объектов. Контроль и обеспечение характеристик их качества.

1.1.1 Рефракторы-апохроматы для астрономических наблюдений на основе фторфосфатных кронов с особыми свойствами.

1.1.2 Оптические системы цифровой фотосъёмки для задач дистанционного зондирования Земли.

1.1.3 Общая характеристика интерферометрического метода измерения волновых аберраций и его применение для доводки высокоразрешающих оптических систем.

1.1.4 Метод оптического гетеродинирования и его преимущества для повышения точности интерференционных измерений формы волнового фронта.

1.1.5 Особенности процедуры окончательной доводки качества изображения высокоразрешающих оптических систем.

1.1.6 Сравнительный анализ аппаратуры и методов измерения функции передачи модуляции оптических систем.

1.1.6.1 Краткая характеристика основных методов контроля ФПМ оптических систем.

1.1.6.2 Средства измерения оптических передаточных функций.

1.2 Сегменты зеркал больших и сверхбольших астрономических телескопов-рефлекторов. Контроль характеристик температурного расширения зеркальных заготовок.

1.2.1 Общий обзор современных астрономических телескопов с сегментированным главным зеркалом.

1.2.2 Основные требования к характеристикам температурного расширения материалов зеркал больших астрономических телескопов на примере проекта SALT.

1.2.3 Краткий обзор известных методов измерения TKJIP стекла и ситаллов.

1.2.3.1 Абсолютные методы.

1.2.3.2 Относительные методы. выводы по главе 1. выбор направления исследований. задачи диссертационных исследований.

Глава

Исследование и разработка методов и средств для измерения и прогнозирования выходных характеристик оптических систем.

2.1 Исследование системы производственного контроля объективов по функции передачи модуляции (ФПМ).

2.1.1 Выбор математического аппарата получения количественных характеристик качества изображения.

2.1.2 Оптическая схема и принцип действия измерительной видеосистемы для контроля ФПМ.

2.1.3 Анализ источников погрешностей измерения ФПМ.

2.1.4 Экспериментальная оценка точности измерения ФПМ разработанной аппаратуры.

2.1.5 Совершенствование средств контроля ФПМ.

2.2 Контроль ФПМ оптических систем в широком интервале температур.

2.3 Разработка оперативного метода количественной оценки качества изображения оптических систем.

2.3.1 Теоретические основы метода оценки первичных аберраций.

2.3.2 Теоретический анализ возможностей метода.

2.3.3 Экспериментальная оценка точности метода оперативной оценки аберраций ОС

2.4 Разработка аппаратуры для контроля коэффициента отражения оптических покрытий.

2.4.1 Схема и конструкция рефлектометра для контроля коэффициента отражения просветляющих покрытий крупногабаритных линз.

2.4.2 Источники погрешностей рефлектометра.

2.4.3 Контроль спектрального коэффициента отражения и управление коэффициентом отражения просветляющих покрытий.

Выводы по главе 2.

Глава

Разработка методов и средств оценки качества изображения и других параметров оптических систем и их элементов на основе интерферометрического контроля волновых аберраций.

3.1 Повышение эффективности интерферометрического контроля астрономических объективов-рефракторов.

3.2 Разработка метода определения и коррекции собственного (инструментального) астигматизма компонентов оптической системы в сборе.

3.3 Экспериментальное исследование способа тонкой доводки высококачественной оптической системы методом формообразования корректора волнового фронта на основе данных интерферометрического контроля.

3.4 Разработка метода определения характеристик оптических элементов с использованием гетеродинной лазерной интерферометрии.

3.4.1 Определение характеристик оптических элементов при помощи двухлучевой гетеродинной интерферометрии.

3.4.2 Определение характеристик оптических элементов при помощи гетеродинной интерферометрии сдвига.

3.4.3 Применение гетеродинного метода интерференционных измерений характеристик оптических элементов на примере гетеродинного интерференционного диоптриметра.

3.4.3.1 Структурная схема и принцип действия гетеродинного интерференционного диоптриметра.

3.4.3.2 Электронная фазоизмерительная аппаратура.

3.3.3.3 Конструкция и работа экспериментального образца прибора.

Программное обеспечение. Точность измерений. выводы по главе 3.

4 Разработка методов и аппаратуры для контроля температурного коэффициента линейного расширения (TKJIP) термостабильных оптических материалов, предназначенных для изготовления зеркал больших астрономических телескопов.

4.1 Совершенствование интерференционной дилатометрической установки для задач контроля TKJIP Астроситалла®.

4.1.1 Схема и конструкция усовершенствованного интерференционного дилатометра

4.1.2 Автоматизация измерений TKJ1P. Программное обеспечение интерференционной дилатометрической установки.

4.1.3 Теоретико-экспериментальный анализ точности контроля TKJ1P методом абсолютных измерений.

4.2 Контроль неоднородности TKJIP в крупногабаритных оптических заготовках.

4.2.1 Типовая процедура контроля неоднородности TKJIP оптических заготовок. Оценка уровня точности измерений, необходимого для подтверждения соответствия заготовки требованиям по однородности TKJIP.

4.2.2 Разработка метода дифференциальных измерений для контроля неоднородности ТКЛР.

4.3 Экспериментальная оценка точности контроля ТКЛР на интерференционном дилатометре методом абсолютных измерений и дифференциальным методом.

4.3.1 Экспериментальное исследование погрешности измерения ТКЛР абсолютным методом.

4.3.2 Экспериментальное исследование погрешности измерения ТКЛР дифференциальным методом. '

4.4 Разработка измерительной системы для дилатометрических исследований на базе гетеродинной лазерной интерферометрии.

4.4.1 Оптическая система гетеродинного интерференционного дилатометра.

4.4.2 Электронная измерительная аппаратура.

4.4.3 Теоретический анализ и экспериментальное исследование составляющих погрешностей измерения гетеродинного интерференционного дилатометра.

4.4.4 Результаты экспериментальных исследований точности дилатометра.

Выводы по главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение эффективности контроля качества компонентов астрономических и космических оптических систем»

Высококачественные оптические системы формирования изображения бесконечно удалённых объектов, используемые как для наблюдения и фотографирования астрономических объектов с Земли, так и земной поверхности из космоса претерпели в течение предыдущего десятилетия значительное эволюционное развитие. Оно характеризуется появлением оптических систем нового поколения, для которых не только повышаются требования к точности контроля традиционных параметров, но и вводятся новые характеристики, которые требуют разработки соответствующих средств и методов контроля.

В частности, переход в современных системах космической съёмки от регистрации на плёнку к цифровой регистрации изображения потребовал оценки качества основных элементов аппаратуры по единому критерию. Таким критерием является функция передачи модуляции (ФПМ).

Для съёмочной аппаратуры микроспутников ограничены возможности стабилизации рабочей температуры системы. Актуальным становится создание термонерасстраиваемых объективов. Решение задачи их автономного контроля предполагает оценку ФПМ объектива в широком диапазоне температур.

Появление новых оптических стёкол, таких как фторфосфатные кроны обеспечило возможность создания крупногабаритных линзовых систем с апохроматической коррекцией и уровнем качества изображения близким к дифракционному пределу. Такой уровень может быть обеспечен, прежде всего, за счёт применения в производстве методов тонкой коррекции деформаций волнового фронта системы, метрологической основой которых служит интерферометрический контроль.

Прогресс высокоточных систем управления открыл дорогу созданию сегментированных управляемых астрозеркал, позволяющих существенно увеличить диаметр телескопа. Крупнейшие в мире оптические телескопы (диаметр 10 м) построены по этой технологии; стартовали проекты по созданию телескопов с составными зеркалами диаметром 30.40м. Для таких зеркал требуется оптический материал с малым значением температурного коэффициента линейного расширения (TKJ1P) и высокой его однородностью в пределах заготовки. Контроль однородности TKJIP является новой задачей, требующей высокой точности результатов и, как следствие, нестандартных подходов к решению.

Цель данной работы - повышение эффективности контроля высокоразрешающих оптических систем нового поколения и их компонентов за счёт повышения точности, информативности и производительности измерений.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие основные задачи:

1. Усовершенствовать средства и методы контроля выходных характеристик объективов космической съёмки (прежде всего ФПМ), а также их прогнозирования на промежуточных стадиях производства системы.

2. Повысить эффективность методов оценки и тонкой коррекции качества изображения оптических систем на основе интерферометрического контроля волнового фронта системы.

3. Повысить точность контроля крупногабаритных оптических заготовок по TKJ1P, в том числе и по однородности данного параметра, за счёт применения усовершенствованной аппаратуры и методов контроля.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Шаров, Александр Александрович

Результаты работы внедрены и используются при производстве широкого класса оптических систем и материалов (см. Приложение).

Заключение

В процессе решения задач, поставленных в диссертационной работе, получены следующие результаты:

- на основе анализа и учёта погрешностей оптимизированы параметры аппаратуры для исследования характеристик качества изображения оптических систем, что позволило реализовать производственную систему контроля объективов по функции передачи модуляции на широко доступной элементной базе. Разработан метод оценки качества изображения объективов по радиусу зрачка р0, для которого выполняется дифракционный критерий. Применение экспериментально установленного условия годности системы по р0 обеспечивает оперативность промежуточного технологического контроля при пороге чувствительности к изменению значений ФПМ системы от 5% до 10%;

- на основе применения гетеродинного метода интерференционных измерений предложены способы контроля и схемотехнические решения аппаратуры для определения характеристик оптических систем и элементов (пат. РФ №2078307), обеспечивающие возможность одновременного определения волновых аберраций системы и ряда других параметров, таких как оптическая сила, клиновидность и т.п.;

- в рамках решения задачи по повышению эффективности технологического процесса тонкой коррекции качества изображения крупногабаритных оптических систем по данным интерферометрического контроля предложен метод определения и компенсации собственного астигматизма линз объектива в сборе, обеспечивающий разницу между прогнозируемым и фактически полученным астигматизмом системы в окончательном состоянии порядка 0,02 длины волны; выполнено экспериментальное исследование метода тонкой доводки высококачественной оптической системы автоматизированным формообразованием корректора волнового фронта, продемонстрировавшее возможность уменьшения среднеквадратического отклонения некомпенсированных ошибок волнового фронта системы примерно в 2 раза.

- на основе предложенных конструктивных решений (пат. РФ №2257600) обеспечено достижение стабильно высоких характеристик качества изображения объективов (со среднеквадратическим отклонением волнового фронта менее 18 нм);

- установлена зависимость между требованиями к однородности материала по ТКЛР, погрешностью измерений и разбросом их результатов.; усовершенствована интерферометрическая аппаратура контроля температурного коэффициента линейного расширения (ТКЛР), применяемая при контроле термостабильных оптических материалов, в том числе разработана дилатометрическая установка на основе гетеродинного интерферометра, обеспечивающая погрешность измерения ТКЛР абсолютным методом на уровне 110"8 1/°С; разработан метод

160 контроля однородности ТКЛР в заготовках крупногабаритных астрономических зеркал (пат. РФ №2078307), позволяющий повысить точность измерений в 2,5.3 раза при контроле данного параметра.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Шаров, Александр Александрович, 2010 год

1. Попов Г.М. Современная астрономическая оптика. М.: Наука, 1988. - 192 с.

2. Мур П. Астрономия с Патриком Муром М.: ФАИР-ПРЕСС, 1999.

3. Волосов Д.С. Оптические стёкла, необходимые для перспективных разработок./ «Свойства и разработка новых оптических стёкол» Сборник трудов, посвящённых памяти проф. К.С. Евстропьева, под ред. Е.Н. Царевского. Л., Машиностроение 1977, с.36-49.

4. Слюсарев Г.Г. Методы расчёта оптических систем. Л.: Машиностроение. 1969. 672с.б.Слюсарев Г.Г. Расчёт оптических систем. Л.: Машиностроение, 1975. - 640 с.

5. Nankivell G.R. The Cooke Photovisual Objective and the 22.9cm Refractor at the Carter Observatory, New Zealand // Journal of the Antique Telescope Society №24. 2002. pp. 4-8.

6. Busch W. Herstellen eines fast apochromatischen Femrohr-Objectivs aus vorgefertigten Teilen / in the "Tips fur die Astropraxis" department of Sterne und Weltraum №16. 1977, pp. 338-341.

7. Karnapp A., Pudenz J. The lOO/lOOOmm APQ objective a new level of quality in astronomical optics // Jenaer Rundschau №31.3 .1986. pp. 140-141.

8. Справочник технолога-оптика / Под ред. М.А.Окатова. СПб.: Политехника, 2004. 679 с.

9. Шаров А.А., Понин О.В., Молев В.И. Производство крупногабаритных объективов-апохроматов на основе особого крона марки ОК4. / Сборник трудов VIII Международной конференции «Прикладная оптика» Том I Оптическое приборостроение. СПб.: 2008. - с.206-209.

10. Ган М.А., Котов В.В., Устинов С.И. Анализ деформаций волновых фронтов реальных оптических систем, ОМП 1984, №5, с. 17-20.

11. Тарасов В.В., Якушенков Ю.Г. Инфракрасные системы «смотрящего» типа . М., «Логос», 2004 г., 444 с.

12. Electro-optics handbook / R. W. Waynant, M. N. Ediger, editors.—2nd ed. McGrow-Hill, New York, 2000, 1000 p.

13. Шаров А.А., Понин O.B. Оптическая система для цифровой фотосъёмки Земли с борта МКС. / Сборник тезисов докладов седьмой международной научно-практической конференции «Пилотируемые полёты в космос» Звёздный городок: 2007. - с.79-81.

14. Понин О.В., Шаров А.А., Галявов И.Р. Объективы для съёмочной аппаратуры микроспутника. / Материалы 111 научно-технической конференции «Системы наблюдения, мониторинга и дистанционного зондирования Земли» М.: МНТОРЭС им. А.С. Попова, 2006. -с.78-80.

15. Ган М.А., Устинов С.И., Долгих С.Г., Котов В.В. Измерительно-вычислительный комплекс для обработки интерферограмм. ОМП, 1986, №6, с.43-45.

16. Грамматин А.П., Ган М.А. Математическое моделирование оптических систем на стадии разработки и изготовления, ОМП 1989, №1 с.9-12.

17. Schwider J., ЕЮпег К.-Е., Spolaczyk R. Echtzeitinterferometrie // Optica Applicata, Vol. XV. No 3. 1985. S.255-285.

18. Kafri O. Fundamental limit on accuracy in interferometry // Opt. Letters. 1989. Vol.14. No. 13. P.657.

19. Протопопов В.В., Устинов Н.Д. Лазерное гетеродинирование. М., Наука, 1985, 288 с.

20. Massie N.A., Nelson R.D., Holly S. High-performance real-time heterodyne interferometry // Appl. Opt. 1979. Vol. 18. No. 11. P. 1797.

21. Агурок И.П. Вычисление оптимальных углов разворота нескольких компонентов при сборке оптических систем // ОМП. 1982. №11. С.21.

22. Ган М.А., Устинов С.И. Компенсационный метод доводки оптических систем // ОМП. 1987. №11. С. 25.

23. Савельев А.С., Семёнов А.П., Катагаров Ф.К. и др. Программа для автоматизированной доводки крупногабаритных оптических деталей малым инструментом // ОМП. 1985. №10. С.35-37.

24. Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т. Оптические измерения / Под общ. ред. Д.Т. Пуряева. М.: Машиностроение. 1987. 264 с.

25. Гудмен Дж. Введение в Фурье-оптику. М.: Мир. 1970. 364 с.

26. Апенко М.И., Дубовик А.С. Прикладная оптика. М.: Наука. 1971. 392 с.

27. Schuster N. Optical systems for high-resolution digital still cameras // Proc. of SPIE. 1999. Vol. 3737. pp. 202-213.

28. Dutton Т.Е., Lomheim T.S., Nelson M.D. Survey and comparison of focal plane MTF measurement techniques. // Proc. SPIE. Vol. 4486. 2002. pp.219-246.

29. Song J.S. et al. Dual testing of a large-aperture optical system. // Proc. SPIE. Vol. 4778. 2002. pp.227-236.

30. Ган M.A., Устинов С.И. Прогнозирование полихроматических характеристик качества изображения на основе измерения зрачковой функции // Оптико-механическая промышленность. 1990. №2 С.29.

31. Loebich С., Wueller D., Klingen В., Jaeger A. Digital camera resolution measurement using sinusoidal Siemens stars // Proc. SPIE. Vol. 6502. Date: 20 February 2007.

32. Zhao L., Feng H.; Xu Z. Modulation transfer function measurement of charge-coupled devices using frequency-variable fringe patterns // Proc. SPIE. Vol. 6834. 2007.

33. Backman S. et al. Fast lens testing using random targets // Proc. SPIE. Vol. 4876. 2003. pp.1100-1109.

34. Campbell S.P. Use of a Nyquist chart for camera system evaluation // Proc. SPIE. Vol. 3965. 2000. pp.230-234.

35. Karbe P. et al. Lens testing device. // Patent U.S. 6346981 Bl. Int. CI.7 G01B 9/00, Feb. 12,2002.

36. Chen Y., Chen X., Shen W. A method for measuring modulation transfer function of CCD device in remote camera with grating pattern // Proc. SPIE. Vol. 6829. 24 January 2008.

37. Wang D.-X., Johnson K. Simple and effective method to quantify the optical performance of camera phones // Proc. SPIE. Vol. 5668. 2005. pp.214-219.

38. Шульман М.Я. Измерение передаточных функций оптических систем. Л.: Машиностроение. 1980.

39. Yang L. et al. Research of digital MTF test system based on CCD // Proc/ SPIE/ Vol. 6722. Date: 14 November 2007.

40. Fantone S.D. et al. MTF testing algorithms for sampled thermal imaging systems // Proc. SPIE. Vol. 6835. Date: 8 January 2008.

41. Wang Y., Wang J. Study on a New MTF Automatic Measure Instrument. // Proc. SPIE. Vol. 4927. 2002. pp.677-682.

42. Hwang H. et al. MTF assessment of high resolution satellite images using ISO 12233 slanted-edge method // Proc. SPIE. Vol. 7109. Date: 1 October 2008.

43. Yamazaki Т., Nokita M., Hayashida S., Inoue H. A method to measure the presampling MTF using a novel edge test device and algorithm // Proc. SPIE. Vol. 5368. pp.696-704. 2004.

44. Sadoulet S.P. MTF testing of imaging systems: A practical solution for production environments; Technical Digest // Proc. SPIE Vol. TD03. 2005. pp.79-81

45. Sadoulet S.P., Taylor B. Tilted edge for optical-transfer-function measurement. // Patent U.S.7518712 B2. Int. CI.7 G01B 9/00, Apr. 14, 2009.

46. Burns P.D. Application of Tatian's method to slanted-edge MTF measurement. // Proc. SPIE. Vol. 5668. pp.255-261. 2005.

47. Photonics Spectra. 1992. 26. №1. p.l 19.

48. MacDonald R.E., Breven D.M. Lens testing system. // Patent U.S. 6195159 Bl. Int. CI.7 G01J 1/00, Feb. 27, 2001.

49. Geier M., Lenhardt K.K., Litschel R., Meahringer R. Measurement equipment for CAQ-based final control of optical systems. Proc. SPIE, 1992, Vol. 1781, p.369.

50. Xiang C., Yang X. One-line testing of optical transfer function // Proc. SPIE. 1991. Vol. 1527. p.427.

51. Doherty V.G., Chapnik P.D. Precision evaluation of lens systems using a nodal slide/MTF optical bench//Proc. SPIE. 1991. Vol. 1531. p. 103.

52. Wang X. et al. MTF measuring method and system. // Patent U.S. 7330609 B2. Int. CI.7 G06K 9/56, Feb. 12, 2008.

53. Теребиж В.Ю. Современные оптические телескопы. M., Физматлит, 2005., 80 с.

54. Handbook of Optical Engineering ed. by Daniel Malacara and Brian J. Tompson. New York Basel: Marcel Dekker, Inc. 2001, 978 p.p.247-252.

55. Beckers M. M., Ulich B. L., and Williams J. T. Performance of the Multiple Mirror Telescope (MMT): I. MMT The First of the Advanced Technology Telescopes // Proc. SPIE, 332, 2-8 (1982).

56. Beckers, J. M. and Williams J. T. Performance of the Multiple Mirror Telescope (MMT): III. MMT Seeing Experiments with the MMT // Proc. SPIE, 332, 16-23 (1982).

57. Nelson, J. E. and Gilingham P. An Overview of the Performance of the W. M. Keck Observatory// Proc. SPIE, 2199, 82-93 (1994).

58. Stobie В., Meiring K., Bukley D. Design of the Southern African Large Telescope // Proc. of SPIE Vol. 4003 (2000) p.p.355-362.

59. Sebring T.A., Ramsey L.W. The Hobby-Eberly Telescope: A progress report // Proc. of SPIE 2871, pp. 32-37, 1997.

60. Ramsey L.W. et al. The early performance and present status of the Hobby-Eberly telescope // Proc. of SPIE 3352, pp. 34-42, 1998.

61. Ponin O.V., Sharov A.A, Galyavov I.R., Kompan T.A., Swiegers J., Swat A. Demonstrating the suitability of Sitall for the SALT primary mirror // Proc. of SPIE, Vol. 4837 (2003) p.795-804.

62. Мазурин O.B., Тотеш A.C., Стрельцина M.B., Швайко-Швайковская Т.П. Тепловое расширение оптического стекла. Л., Наука, 1969, 216 с.

63. Paganelli М. Apparatus for measuring variations in size on bodies subjected on temperature variations. Patent U.S. 6476922 B2. Int. CI.7 G01B 11/04, Nov. 5, 2002.

64. Paganelli M. Optical dilatometer. Patent U.S. 6767127 B2. Int. CI.7 G01N 25/00, Jul. 27, 2004.

65. Baehr H. Optical dilatometer. Patent U.S. 7524105 B2. Int. CI. G01N 25/00, Apr. 28, 2009.74. OCT 3-192-78.

66. Berg R.T. Method and apparatus for measuring coefficient of thermal expansion. Patent U.S. 4989980. Int. CI.5 G01B 11/02, Feb. 5, 1991.

67. Berg R.T. Method and apparatus for measuring coefficient of thermal expansion. Patent U.S. 5121987. Int. CI.5 G01B ll/02,Jun. 16, 1992.

68. Hansen G.L. Readout system for dilatometers. Patent U.S. 5479261. Int. CI.6 G01B 11/28, Dec. 26, 1995.

69. Davis M.J., Joseph S. Hayden J.S., Farber D.L. High-precision thermal expansion measurements using small Fabry-Perot etalons // Proc. SPIE, Vol. 6673, 12 September 2007.

70. Viliesid M, Castillo H.-A., Mendoza M. Development of an interferometric dilatometer for gauge blocks // Proc. SPIE Vol. 4401, 2001, pp.44-53

71. Castillo H.-A., Mendoza M. Development of a horizontal interferometric dilatometer for gauge blocks // Proc. SPIE Vol. 5776, 2005, pp.278-285

72. Okaji M., Yamada N., Nara K., Kato H. Laser interferometric dilatometer at low temperatures: application to fosed silica SRM 739. // Cryogenics v.35, pp. 887-891, 1995.

73. Badami V.G., Patterson S.R. Device for high-accuracy measurement of dimensional changes. Patent U.S. 7239397 B2. Int. CI. GO IB 9/02, Jul. 3, 2007.

74. Badami V.G., Patterson S.R. Optically balanced instrument for high accuracy measurement of dimensional change. Patent U.S. 7426039 B2. Int. CI. GO IB 9/02, Sep. 16, 2008.

75. Gohlke M., Schuldt Т., Weise D., Johann U., Peters A., Braxmaier C. Development of an ultrasensitive interferometry system as a key to precision metrology applications // Proc. SPIE Vol. 7389,: 17 June 2009.

76. Takeichi Y., Nishiyama I., Yamada N. High-precision (<lppb/°C) optical heterodyne interferometric dilatometer for determining absolute CTE of EUVL materials // Proc. SPIE. Vol. 6151, 23 March 2006.

77. Takeichi Y., Nishiyama I., Yamada N. High-precision optical heterodyne interferometric dilatometer for determining absolute CTE of EUVL materials // Proc. SPIE. Vol. 5751, 2005, pp. 10691076.

78. Mueller R., Erb K., Haug R., Klaas A., Lindig O., Wetzig G. Ultraprecision dilatometer system for thermal expansion measurements on low expansion glasses // 12th Thermal Expansion Symposium, Pittsburgh/РA, P.S. Gaal and D.E. Apostolescu eds., 1997.

79. Mitra I., Alkemper J., Muller R., Nolte U., Engel A., Hack H., Kohlmann H., Wittmer V., Pannhorst W., Davis M. J., Aschke L., Knapp K. Optimized Glass-ceramic Substrate Materials for EUVL Applications// Proc. SPIE vol. 5374, 2004, pp.96-103.

80. Jedamzik R., Muller R., Hartmann P. Homogeneity of the linear thermal expansion coefficient of ZERODUR measured with improved accuracy // Proc. SPIE, Vol. 6273, 6 July 2006.

81. Креопалова Г.В., Пуряев Д.Т. Исследование и контроль оптических систем. М.: Машиностроение. 1978. 224 с.

82. Hong Wei, E.Johnston, T.D.Binnie Experimental approach for Measuring Resolution of Complementary Metal Oxide Semiconductor Imaging Systems // Optical Engineering. 1998, September, p.2565.

83. Моисеев B.C. Системное проектирование преобразователей информации. JI.: Машиностроение, 1982, 255 с.

84. Порфирьев Л.Ф. Основы теории преобразования сигналов в оптико-электронных приборах. Л.: Машиностроение, 1989, 387 с.

85. Осипович И.Р. Принципы построения автоматизированных средств контроля качества изображения оптических систем // Контенант№2,3. 2008. С.41-48.

86. Устройства для измерения функции передачи модуляции съемочных объективов. Метод поверки, ОСТ 3-2635-82.

87. Шаров А.А. Метод количественной оценки первичных аберраций реальных оптических систем. // Сборник трудов VIII Международной конференции «Прикладная оптика» Том 1 Оптическое приборостроение. СПб.: 2008. - с. 198-200.

88. Шаров А.А. Оперативная оценка первичных аберраций реальных оптических систем в процессе производства// Оптический журнал. Т. 77. №2. 2010. С.79-83.

89. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. 720 с.

90. Проектирование оптических систем / Под ред. Р Шеннона и Дж. Вайанта. М.: Мир, 1983. 432 с.

91. Ган М.А. Автоматизация проектирования оптических систем. // Оптический журнал. 1994. №8. с.4-12.

92. Маркин Н.С. Основы теории обработки результатов измерений. М.: Издательство стандартов, 1991 г. 176 с.

93. Смирнов Н.В., Дунин-Барковский И.В. Курс теории вероятностей и математической статистики для технических приложений. М.: Наука, 1965 г. 511 с.

94. Афанасьев В.А. Оптические измерения.-М.: Машиностроение, 1981. -229 с.

95. Шаров А.А., Понин О.В., Белоусов С.П. Рефлектометр. Патент РФ на изобретение № 2091762 G01N 21/55. Опубликовано: 27.09.1997 Бюл. №27.

96. Шаров А.А. Рефлектометр для многоточечного контроля просветляющих покрытий крупногабаритных оптических деталей / Сборник тезисов III Международной конференции «Прикладная оптика». СПб.: 1998.

97. Кривовяз JI.M., Пуряев Д.Т., Знаменская М.А. Практика оптической измерительной лаборатории. М., Машиностроение, 1974, 332 с.

98. Запрягаева JT.A., Свешникова И.С. Расчёт и проектирование оптических систем. М.: Логос, 2000. - 584 с.

99. Справочник конструктора оптико-механических приборов /Под ред. В.А. Панова. — Л.: Машиностроение, 1980, с.271-273.

100. Шаров А.А. Оправа и способ крепления оптических компонентов в оправе. Патент РФ на изобретение № 2257600 G02B 7/02. Опубликовано: 27.07.2005 Бюл. №21.

101. Молев В.И., Понин О.В., Шаров А.А. Апохроматические объективы для любительской и профессиональной астрономии: особенности конструкции и технологии сборки // Контенант. 2009. №2. С.11-16.

102. Шаров А.А. Определение и коррекция собственного астигматизма линз оптической системы в сборе // Контенант. 2009. №2. С. 17-18.

103. Шаров А.А. Компенсация инструментального астигматизма в многокомпонентных оптических системах информационно-измерительных приборов // Приборы. 2010. №4. С. 15-17.

104. Родионов С.А. О векторном представлении астигматизма, вносимого цилиндричностыо поверхностей оптических деталей. // Изв. вузов. Приборостроение. 1978. Т.21. №7. с. 94-96.

105. Зельдович Я.Б., Мышкис А.Д. Элементы прикладной математики. СПб.: Издательство «Лань», 2002. 592 с.

106. Максутов Д.Д. Изготовление и исследование астрономической оптики. М.: Наука, 1984, 272 с.

107. Ган М.А., Устинов С.И. Моделирование оптических систем с реальными ошибками изготовления поверхностей. ОМП,1985, с. 18-20.

108. Ган М.А., Устинов С.И., Старков А.А. Компенсация аберраций реальных оптических систем с помощью неосесимметричной ретуши поверхностей // Оптический журнал. 1993. №8. С.60-63.

109. Оптический производственный контроль / Под ред. Д. Малакары. М.: Машиностроение, 1985,400 с.

110. Мальцев М.Д., Каракулина Г.А. Прикладная оптика и оптические измерения. М., Машиностроение, 1968, 472 с.

111. Оптические приборы в машиностроении. Справочник. М., Машиностроение, 1974, 238 с.

112. OMS-IOO. Instruction Manual. Rotlex Optics Ltd., 1989, 51 p.

113. О. Kafri et al. Moire deflectometry with the focused beam: radius of curvature, microscopy and thickness analysis. / Applied optics. Vol.29. No 1. 1990. pp. 133-136.

114. Застрогин Ю.Ф. Прецизионные измерения параметров движения с использованием лазеров.- М: Машиностроение, 1986.- 272 с.

115. Кулеш В.П. Анализ работы электрооптического частотного модулятора в качестве оптического гетеродина. Измерительная техника, 1986, №12, с.32.

116. Коронкевич В.П., Ханов В.А. Современные лазерные интерферометры. Новосибирск: Наука, 1985. 182 с.

117. Компан Т.А., Шаров А.А. Контроль однородности ТКЛР в заготовках крупногабаритных оптических элементов // Измерительная техника. №7. 2009. С.46-49.

118. Мюллер П., Нойман П., Шторм Р. Таблицы по математической статистике. М., Финансы и статистика, 1982 г. 278 с.

119. Шаров А.А., Галявов И.Р., Понин О.В. Применение дифференциального метода измерений для контроля однородности ТКЛР заготовок крупногабаритных оптических зеркал. /

120. Сборник трудов VIII Международной конференции «Прикладная оптика» Том 1 Оптическое приборостроение. СПб.: 2008. с.210-213.

121. Коломийцов Ю.В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976 г. 296 с.

122. Компан Т. А. Метрологическое обеспечение измерений теплового расширения материалов. Краткий анализ, разработки последнего десятилетия и перспективы развития тематики во ФГУП «ВНИИМ им. Д.И Менделеева» // Главный метролог. №4. 2007. с.36.

123. Кулеш В.П., Москалик Л.М., Шаров А.А. Гетеродинный лазерный интерферометр для дилатометрических исследований // Измерительная техника. №12. 2009. С.27-32.

124. Kafri О. Fundamental limit on accuracy in interferometry // Opt. Letters. 1989. - Vol.14. No.13. P.657.

125. A.c. 1598610 СССР МКИ3 G01 В 21/00 Устройство для счета интерференционных полос / Кулеш В.П., Москалик В.Л., Москалик Л.М.

126. ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВОшшзшв

127. ЛЫТКАРИНСКИЙ ЗАВОД ОПТИЧЕСКОГО СТЕКЛАул. Парковая, дом № 1 г. Лыткарино Московской области, Россия, 140080 Телекс: 206760 LZOS RU Факс: [phone] E-mail: Lzos @ comail. RU web//www. Lzos ОКПО 07527443 ОГРН 102500317897 ИНН/КПП 5026000300/5026^1001