Поверхностные волны пространственного заряда в СВЧ-структурах тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.03, кандидат физико-математических наук Бабенко, Владимир Александрович

• Бабенко, Владимир Александрович
• кандидат физико-математических наук
• 1998

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Бабенко, Владимир Александрович

Введение

Глава 1. Теоретический анализ распространения поверхностных волн пространственного заряда (ГЮГО) в дол, поверхности диэлектрического цилиндра

1.1 Постановказадачи

1.2 Определение дисперсионных характеристикПВПЗ

1.3 Результаты

Глава 2. Экспериментальная уст ановка для исследования ПВПЗ в цилиндрической

СВЧ-структуре.

2.1 Устройствами возбуждения ПВПЗ. Расчет СВЧ-устройетвадля возбуждения ПВПЗ

и вакуумной камеры

2.2 О писание установки

2.3 Результаты

ГлаваЗ. Исследование параметров ПВПЗ, распространяюгцихся вдоль поверхности

кварцевого цилиндра

3.1 Параметры симметричной ПВПЗ

3.2 Параметры несимметричной ГЮГО

3.3 Резужгаш

Глава4. Исследование свойств ПВГО, распространяющейся вдоль плоской волноведущей

СВЧ-структуры, и возможностей её прикладного использования.

4.1 Теоретический анализ ПВПЗ, распространяющейся вдоль плоской волноведущей СВЧ^руктуры

4.2 Использование ПВПЗ в плоской металлодиэлеюрической СВЧ-структуре для осаждения плёнки аморфного углерода на диэлектрические подложки

4.3 Результаты

Заключение

Литература

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Поверхностные волны пространственного заряда в СВЧ-структурах»

ВВЕДЕНИЕ.

Газовый разряд, инициируемый электрическим пробоем, в результате которого возникает шшзменная среда, является богатым физическим явлением, стоящим на одном из первых мест по своему использованию как в научных, так и прикладных исследованиях.

В зависимости от способавозбуждения существуют несколько основных видов газового разряда, а именно : разряд постоянного тока, импуш,сный разряд и разряд в переменном, обычно гармоническом, электрическом поле. В последние годы большой интерес привлекает к себе газовый разряд, возбуждаемый СВЧ-колебаниями различного вида; это объясняется несколькими причинами:

1) широкими возможностями возбуждения СВЧ-разряда с разнообразными энергетическими характеристиками и геометрией за счёт многообразия СВЧ-волноводных и резонансных структур и элементов, наличием высокоэффективных мощных СВЧ-генерагоров и контрольно-измерительной аппаратуры в этом диапазоне;

2) возникновением специфических «слоистых» резонансных или волноводных структур, важнейшим из элементов которых является шшзменная среда, придающая упомянутым СВЧ-структурам новые полезные свойства;

3) высокой активностью и другими особенностями физико-химических процессов, происходящих в газовом СВЧ-разряде, позволяющими использовать его в целом ряде новых перспективных технологий, в частности, для получения диэлектрических плёнок различного типа, применяемых в микроэлектронике, медицине и т.д.

Кроме того, скорость образования плёнок, их физико-химические свойства и геомегрия могут служить своеобразным индикатором свойств газового СВЧ-разряда, таких как распределение поглощённой мощности, концентрации электронов и пр.

Основная идея данной работы состоит в использовании дня возбуждения, изучения и практического применения СВЧ-разрадав газах волноводов поверхностной волны, прежде всего плоских или круглых в силу их простоты и удобства использования. При подведении достаточной СВЧ-

и и и V '

мощности к такой структуре, окруженной газовой смесью определенного состава, на ней возоуж-

дается поверхностный разряд в результате распространения поверхностной волны пространственного заряда (ПВГО) вдол» поверхности волновода

Впервые поверхностная волна пространственного заряда исследовалась в работе [1]: волна пространственного заряда, распространявшаяся по внутренней поверхности стеклянной трубы, расположенной внутри металлического волновода, впоследствии получившей название «волна Трайвежиса-Гоудца». Позже появились устройства, позволяющие создавать плазменные столбы большой протяжённости (до 2-х метров и больше [43]) при распространении ПВШ по внутренней поверхности диэлектрических труб при пониженном давлении газовой среды (&ти1к(гоп) [44,45]. ВЧ-и СВЧ-разряды, создаваемые этими устройствами в различных условиях, исследовались целым рядом авторов [46-51,55,69-70 и др.] и нашли широкое применение в различных научно-технических приложениях: для создания инверсной заселённости в активных средах Н-Ь' (ели О-Р) [21] и Не-Ме [22] лазеров, в спектральных источниках для атомной эмиссионной спектроскопии [23-25], в источниках ионов [26], в спектральных лампах [6], для нанесения тонких плёнок на плоские подложки [27,28], защитного покрытия наволоконные световоды [29] и пр.

Распространение поверхностной электромагнитной (как считают авторы статьи) волны, поля которой в диэлектрике определялись гиперболическими функциями, вдоль плоской волноведутцей мегаллодиэлектрической структуры, находящейся в продольном (вдоль структуры) магнитном поле, рассмотрено в теоретической работе [41]. В ней показано, что в зависимости от величины последнего изменяются поперечный и продольный размеры плазменной среды, локализованной вдоль структуры.

Распространение поверхностной электромагнитной волны вдоль метаплодиэлектрических структур цилиндрической геометрии рассмотрено в [56,57], причём в последней работе в качестве диэлектрика была вакуумная прослойка между металлическим стержнем и плазменной средой, которая образовывалась (прослойка) за счёт приложении к стержню постоянного потенциала

Плазменная средав длинной (до 1,5 м, ширина-0,04 м) полосковой линии, образованной двумя плоскими металл-тонкий диэлектрик структурами исследовалась в [58,59]. Показано, что при подведении ВЧ-мощности (/=27 МГц) в полосковой линии при пониженном давлении газовой среды (Р(Аг)И-120 Па) образуется существенно неоднородный по сечению и вдоль структур плазменный слой из-за образования режима«стоячей волны» вдоль полосковой линии.

В работе [54] в целях диагностики низкотемпературной плазмы рассматривалось распространение поверхностной электромагнитной волны вдоль тонкого кварцевого стержня, погруженного в плазменную среду.

Рассмотренные в работах [41,54,56-59] волтноведущие структуры являются достаточно перспективными сточки зрения возможностей их использования в различных шшмохимических процессах и технологиях, например, для нанесения на диэлектрические подложки большой площади поверхности (>1000 см2) алмазных и алмазоподобных плёнок, получения заготовок волоконных световодов и т.д., а также в различных научных приложениях - в качестве источников ионов, спектральных источников и пр.

Однако, рассмотренная в случае плоской меташтодиэлекгрической структуры поверхностная волна, поля которой в диэлектрике определяются гиперболическими функциями [41], не является единственной волной, которая может распространяться в данной структуре. Как показано в настоящей работе, теоретически и экспериментально (см.га.4), в указанной структуре возможно распространение ПВГО, поля которой в диэлектрике определяются тригонометрическими функциями.

Для того, чтобы возбудить поверхностную волну, рассмотренную в [41], СВЧ-энергию необходимо подводить непосредственно к поверхности диэлектрической пластины со стороны вакуума (внешней стороны), поскольку нормальная компонента электрического поля волны, ответственная за пробой в газовой среде, в вакууме имеет максимум величины на границе с диэлектриком и экспоненциально убывает в глубь последнего к границе с металлом. Для этого необходимо использовал, коаксиальную линию, внутренний проводник которой должен быть связан с внешней стороной диэлектрика,, или диэлектрический волновод. Однако, в этом случае поперечное распределение подводимой СВЧ-энергии, а, следовательно, и поперечное распределение мощности возбуждаемой ПВГО, будет существенно неоднородным с максимумом в центре поперечного сечения диэлектрической пластины. Поперечный размер области, где поперечное распределение мощности

ПВГО можно считать достаточно однородным, относительно мал и составляет примерно ^ " К

часть ш ирины пластины.

В случае ПВГО, поля которой в диэлектрике определяются тригонометрическими функциями, максимум нормальной компоненты электрического поля в диэлектрике находится на границе с металлом и поэтому для возбуждения ПВГО можно использовать, как это было сделано в настоящей

работе (см.гл.4), полосковую линию, образованную двумя плоскими металлическими поверхностями и заполненную диэлектриком, например, в виде кварцевой призмы.

Поперечная однородность распределения мощности ИВГО определяется количеством одновременно распространяющихся в полосковой линии нечётных симметричных мод типа #(2п+1)0 ,

где п=ОД,..., суммарная интенсивность которых и определяет поперечное распределение мощности ПВПЗ. Число мод т = пашх+1 определяется поперечным размером а и диэлектрической проницаемостью диэлектрика ел : /Я+1/2 , где X - рабочая длина волны СВЧ-генерагора К тому же, СВЧ-мощностъ, которую можно подвести к волноведущей структуре по полосковой линии может быть существенно больше по величине максимальной мощности, которую можно подвести по коаксиальной линии.

Таким образом, степень поперечной неоднородности мощности ПВГО, поля которой в диэлектрике определяются тригонометрическими функциями, существенно меньшей, чем для ПВГО, поля которой определяются гиперболическими функциями, что делает этот тип волны более перспективным в целом ряде практических приложений, например, при создании новых технологий производстватонких диэлектрических плёнок.

Целью настоящей работы являлось исследование условий возникновения, основных физических свойств и особенностей распространения ПВГО вдоль волноведущих СВЧ-структур двух базовых типов, а именно: цилиндрической диэлектрической и плоской металлодиэлектрической как наиболее распространённых и определение для указанных структур энергетических и электродинамических характеристик ПВГО в зависимости от условий разряда, прежде всего, от давления газовой среды, подводимой СВЧ-мощности и геометрических параметров волноведущей СВЧ-структуры. Кроме того, в практическом плане была поставлена задача оценить и реализовать возможность использования ПВГО, как основы нового перспективного способа получения диэлектрических плёнок достаточно произвольной геометрии с увеличенной площадью по сравнению с уже известными способами.

Для достижения поставленной цели автору было необходимо: 1) построить качественную теорию, отвечающую поставленной задаче, которая могла бы адекватно описать основные физические особенности процессавозникновения и распространения ПВГО в выбранных СВЧ-структурах;

2) создать СВЧ-усгановку для эксперименташюто исследования свойств ПВШ, в том числе разраг ботать и изготовить устройствавозбуждения ПВЮ для диэлектрического круглого и мегаштоди-элекгрического плоского волноводов;

3) провести необходимые экспериментальные исследования свойств ПВШ и сопоставить их результаты с результатами качественной теории;

4) провести пробные осаждения на кварцевые подложки ряда диэлектрических плёнок, определить их характеристики и оценить перспективность использования ПВШ для создания новой технологии получения диэлектрических плёнок

Научная новизна проведенных исследований (эксперименгашюге и теоретическою) состоит в следующем:

1) получены дисперсионные характеристики и условия распространения ПВШ вдоль волноведу-тцих структур в различных режимах распространения, определяющихся распределениями полей внутри диэлектрика- в кварцевой цилиндрической и в плоской мегаллодиэлектрической;

2) получены энергетические характеристики ПВШ (для кварцевого цилиндра) и распределения полей с учётом потерь в плазменной среде.

Достоверность полученных результатов подтверждается использованием адекватной качественной теории, описывающей свойстваПВГО в указанных структурах, проверенных экспериментальных методик и общепринятых способов обработки экспериментальных данных.

Базащ игу выносятся:

1) определение основных закономерностей процессараспространения ПВШ вдоль волноведущих СВЧ-структур двух базовых типов: цилиндрической диэлектрической и плоской меташюдиэлек-трической;

2) экспериментальная установка, в том числе расчёт и схемы устройств для возбуждения ПВШ, распространяющихся вдоль волноведущих СВЧ-структур в виде диэлектрического цилиндрам плоского мегаплодиэлекгрического волновода;

3) способ нанесения диэлектрических плёнок на подложки, основанный на использовании ПВШ.

Теоретический анализ ПВШ, распространяющихся вдоль цилиндрической (см. главу 1) и плоской металлодиэлекгрической (для волны, поля которой в диэлектрике определяются тригонометрическими функциями) (глава4) СВЧ-структур, позволил определить их основные свойства, условия распространения, электродинамические характеристики ПВШ, а также поперечные размеры

кварцевой трубы, ограничивающей объём с коаксиально расположенным кварцевым цилиндром. Кроме того, установлено, что потоки энергии в поверхностной волне пространственного зардда, переносимые внутри диэлектрика и в плазменной среде, распространяются в противоположных направлениях: внутри диэлектрика - от генератора, вне его (в плазменной среде) - к генератору; определены зависимости волновых чисел (внутреннего и внеш него) и коэффициентазамедления от концентрации электронов и поперечных размеров волноведущих структур, эффективность поглощения подводимой СВЧ-энергии, продольные (вдоль оси кварцевой СВЧ-структуры) распределения потоков энергии, распространяющихся внутри и вне кварцевого цилиндра, радиальные распределения компонент электрического поля ПВПЗ. Указанные параметры позволяют определить энергетические характеристики волноведущ ей структуры, например, максимальную подводимую СВЧ-мощность из условия достижения максимашюй допустимой разности температур (ДГ)^ поверхности и на оси кварцевого цилиндра (w™ га(&Т)жХгЦ = 5,А1кВт ,ще £ - 2гщ / ptf ~ 111,7 (для имеющих место в работе разрядных условий), Хг - коэффициент теплопроводности кварца, L - длиназоны локализации ПВПЗ, v1 - частота ионизации, рх - усреднённый по длине зоны локализации внеш нее волновое число, Vt - тепловая скорость ионов, (ДГ)_« 3000).

Экспериментальные исследования ПВПЗ, распространявшихся по кварцевому цилиндру, позволили определить энергетические характеристики последних (удельное поглощение на единицу длины плазменного столба, Wfd = 75 + 225 Вт/см), усреднённый по длине области локализации

ПВПЗ коэффициент замедления (TP = 1,41, кварцевый цилиндр), длину области локализации поверхностной волны пространственного заряда, продольное распределение концентрации электронов и их зависимость от давления газовой среды и подводимой СВЧ-мощности (см. главу 3 ). Кроме того, в случае кварцевого цилиндра проведено теоретическое обоснование наблюдаемого продольного распределения концентрации электронов в «стоячей» волне пространственного заряда (глава 3).

Значительное внимание в работе уделяется устройствам возбуждения поверхностных волн. Приведен детальный расчет СВЧ-устройства для возбуждения ПВПЗ, трансформирующего подводимую к нему СВЧ-энергию в энергию азимутально-симметричной ПВПЗ (Я01), распространяющуюся вдоль поверхности кварцевого цилиндра при пониженном давлении газовой среды.

Кроме того, приведена схема СВЧ-устройства для возбуждения ПВШ гибрвдного типа {НЕп) круговой поляризации и указаны схемы реализации возбуждения ПВШ симметричного и несимметричною типов (см. главу 2).

Проведено сравнение параметров ПВШ типов Е01 и НЕп круговой поляризации, распространявшихся по кварцевому цилиндру; экспериментально определено и теоретически обосновано, что удельное поглощение в плазменной среде НЕп -волны круговой поляризации значительно превосходит (в 3-5 раз, в зависимости от давления газовой среды) удельное поглощение в Е01 -волне.

Основные результаты работы докладывались на научных семинарах лаборатории 267 ФИРЭ РАН, натретъей сессии научно-технического совещания «Получение, исследование и использование шшмы в СВЧ-полях», Иркутск, 1989г., навтором Всесоюзном совещании «Высокочастотный разряд в волновых полях», Куйбышев, 1989г., на международном симпозиуме по теоретической и прикладной шшмохимии, Рига, 1991г., на третьем международном симпозиуме по алмазным пленкам, Санкт-Петербург, 1996г., и на девятом международном симпозиуме. «Тонкие плёнки в электронике», Иваново, 1998г.

Диссертационная работа проводилась с 1990 по 1997 тт. в ходе выполнения НИР лаб. 267 («Утёс») и лаб. 276 («Укол») ФИРЭ РАЕ Основные результаты диссертации опубликованы в 5-и печатных работах.

Диссертация состоит из Введения, четырёх глав с результатами в конце каждой главы, Заключения, списка использованной литературы и 42 рисунков.

В первой главе рассмотрены теоретические аспекты распространения по поверхности диэлектрического цилиндра ПВШ симметричного (Е01) и несимметричного (НЕп) типов. Приведены дисперсионные уравнения и показаны результаты их численного решения на ПЭВМ. Определены распределения полей и дисперсионные характеристики в различных режимах распространения поверхностных волн пространственного заряда

Во второй главе рассмотрена экспериментальная установка, проведен расчет СВЧ-устройства дш возбуждения ПВШ и вакуумной камеры, а также указаны различные схемы возбуждения ПВГО, распространяющихся вдоль кварцевой волноведущей СВЧ-структуры.

В третьей главе приведены результаты исследования параметров ПВГО, распространявшихся вдоль поверхности кварцевого цилиндра* симметричного (Еса) и несимметричного (НЕи) круговой поляризации типов.

В четвёртой главе проведён теоретический анализ ПВГО, распространяющейся вдоль плоской метагшодиэлектрической структуры, распределение поля которой в диэлектрике определяется тригонометрическими функциями. В бесстолкновительном приближении определены продольные (вдоль структуры) распределения концентрации электронов в плазменной среде, фазовой скорости, коэффициента поглощения и удельного (на единицу дайны вдоль оси структуры) поглощения, а также длина области локализации ПВГО вдоль структуры. Приведены также результаты экспериментов по осаждению на плоские кварцевые подложки (а х / = 10 х 10см2 ) плёнки аморфного углерода (ПАУ) при распространении ПВГО вдоль волноведущей структуры в газовой среде Ar / С2Н2 (Ar. С2 Н2 «10:1) при пониженном давлении 5 Topp). Была получена ПАУ, у которой в спекгре Рамановского рассеяния отсутствовала характерная линия 1332 см'1, что указывает на отсутствие в плёнке кристаллической алмазной фазы, и регистрировался широкий пик в обмети 1580 см"1, что указывает на аморфную структуру плёнки, отсутствие графитовых микрокристаллических включений. Средняя толщина пленит по ширине подложки составляла ¡» 0,3 мкм при максимальном отклонении не более 5% с максимумом в центральной части. Скорость процесса осаждения была не менее 15 мкм/мин.

и

Заключение диссертации по теме «Радиофизика», Бабенко, Владимир Александрович

ЗАКЛЮЧЕНИЕ.

Основными результатами диссертационной работы являются:

1. Предложена идея возбуждения плазменных волн в открытых волноведущих СВЧ-струкгурах на поверхностной волне; создана качественная теория, описывающая свойстваэтих волн, в частности, реш енаэлектродинамическая задана о распространении поверхностных волн пространственного зарядав двух типах структур, а именно: вдоль поверхности диэлектрического цилиндра с учётом потерь в плазменной среде (1-мода) и вдоль открытой плоской металлодиэлектриче-ской волноведугцей структуры для волны, поля которой в диэлектрике определяются тригонометрическими функциями. В результате теоретического рассмотрения получены рабочие формулы для определения энергетических и электродинамических характеристик НВГО в зависимости от давления газовой среды и подводимой к разряду СВЧ-мотц носги, а именно: удельного поглощения и плотности энергии; потоков энергии, переносимых внутри диэлектрика и в плазменной среде;эффективности поглощения подводимой СВЧ-мощности;продольного и поперечного волновых чисел; распределений коэффициента замедления, концентрации и температуры электронов, компонент электрического поля вдоль волноведугцей СВЧ-структуры в виде кварцевого цилиндра;условия распространения волн; фазовой и групповой скоростей.

2. Основанный нарезультагах теоретического исследования рабочий расчёт и практическое создание установки для экспериментального исследования свойств ПВШ.

3. Экспериментальное исследование условий возникновения и основных физических свойств ПВПЗ, распространяющихся вдоль волноведущих СВЧ-структур цилиндрического и плоского типов. Результаты этих исследований находятся в удовлетворительном согласии с выводами созданной качественной теории. Наиболее существенные характеристики ПВШ, полученные в ходе исследований, это: усреднённое удельное поглощение, коэффициент замедления, продольные распределения интегральной интенсивности излучения и усреднённой по сечению области локализации ПВШ концентрации электронов, длина области локализации ПВШ вдоль волноведугцей СВЧ-структуры и зависимость указанных величин от давления газовой среды и подводимой к разряду СВЧ-мощности.

4. На основании проведённого теоретического и эксперименгатьного исследований свойств 11В1В в СВЧ-струкгурах поверхностной волны предложен новый перспективный способ потения алмазных, алмазоподобныж, ЗЮ2 и пр. плёнок большой площади (-1000 ем* и болте) на подложках различной геометрии и конфигурации, что является важной с прикладной точки зрения отличительной особенностью предложенного способа от уже известных.

Таким образом, в диссертации рассмотрен комплекс взаимосвязанных задач, результаты решения которых позволяют создавать в определённых СВЧ-струкгурах 11ВГО с требуемыми характеристиками и использовать созданную в ходе работы СВЧ-установку в качестве прототипа технологической установки для осаждения диэлектрических плёнок, которые могут использоваться в машиностроении, микроэлектронике, медицине и т.д. Последнее подтверждается, в частности, успешным осаждением плёнок аморфного углерода на плоские кварцевые подложки при распространении ПВПЗ вдоль меташюдюлектрической волноведущей СВЧ-структуры при пониженном давлении газовой среды с достаточно приемлемыми для первоначальной реализации предложенного способахарактерисшками. по

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Бабенко, Владимир Александрович, 1998 год

Литература

1. Ttwelpiece A. W. and Gould R. W. Space diarge waves m cylindrical ptema columns//1 of AppI Physies-1959 Vol 30,N11-P. 1784-1793.

2. Вайштейн Л. А. Электромагнитные волны -M. ¿Радио и связь, 1988.

3. Бабенко В. А., Блинов Л. М. Функция распределения электронов по энергиям в сверхвысокочас-

готном разряде пониженного давления в 02 и газовой смеси О iCl// Радиотехника и элекрони-ка-1996-Т. 41, N2-C. 220- 222.

4. Тамир Т. Олинер A.A. Спектр элекгроматнитньгх волн, направляемых плазменным сло-ем//П«Р-1963-Н2-С. 347-362.

5. Взятышев В. Ф. Диэлектрические волноводы Ж. :Сов. Радио, 1970.

6. Sola А. , Gam er о А. , Coirino J. , Balfesteros J. , Colomer V. Los plasmas creados for on da de superficie:caracteris ticas у propiedades, perspectives de suestudio у aplica ciones a la ciencia у la tecnoIogia/ZAnalas de fisica 1989-Ser. B, VoL 85-P. 278-301.

7. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Электродинамика сплош ных фед /М. :Наука 1982, С. 425.

8. Лебедев II В. Техника и приборы CB4iB 2 т. Ж. Высш ая ш кола 1970- Т. 1.

9. Грим Г. Спектроскопия плазмыШ. Атомиздаг, 1969.

10. Галечян Г. А. Химия шюзмыМ. Атомиздаг, 1980-Вып. 7-С. 218-251.

И. Sabadil R Zur radial struktur der diffusions bestimmten positiven saufe der sauerstoffentlandung bei niederen gasdrucken/ZBeär. Plasm ^hys. -1973-Bdl3,N4-P. 235-251.

12. Никольский В. В. Электродинамика и распространение радиоволн/М.: Наука, 1973.

13. Райзф Ю. П Физика газового разрядам.: Наука 1987.

14. Babenko V. А. ,BlinovL М., Volodko V. V. ,KaganovL. I, Razhavsky A., Solomatin A. M. Plasma chemical process modelling in fiber wave-guide technology/Sov. Lightwave Commim. 1992-V. 2-P. 199-212. Printed in the UK.

15. Александров Д К Модель газофазных процессов в СВЧ- разряде пониженного давления 02/SiC14/SF6 при осаждении слоев Si02: Дисс... канд. ф. -м. наук,М. (ИОФАН), 1987.

16. Bauch К, Krause D., Kersten R. Th. et al Chem ical v^our dфoskюn in m icrowave produced plasm as for fiber preform sf/J. Opt Commun. -1987-T. 8,N4-P. 130-135.

17. Ландау JI. Д.,Лифшиц Е. М. ГидродинамикаМ.: Наука, 1988.

18. Кэй Д. и Лэби Т. Таблицы физических и химических посгоянных/М. Физмат, литературы, 1962.

19.Lydtai Н PCVD:A technique suitable for large-scale fabrication on optical fibers Ш. of Lightwave Techn.

-1986-LT-4,N8-P. 1014-1038.

20. Chollet P. , Saala S. Model and rate constant detennnation for SPCVD fiber preform fabrication#roc. OFC.iOOC87- Poster 105-Reno, 1987.

21. BertrandL ,Monchalin J. P. ,PetreR., MeyerM. L. , Gagne J. M., Moisan M. //Rev. Sci lnslr. -1979-Vol 50-P.708.

22. Moutoulas C., Moisan M., Bertram! L., Hubert J., Lachambre J. L. and Ricard A. //Appl Phys. Lett -1985-Vol 46-P. 323.

23. Developments in atom icplasmaspectrochemical analysis/HanaiT. ,Coulomb S., Moisan M. , Hubert J.; Ed. R. Banes- London: Heyden, 1981.

24. Chevrier G., Han aiT. JranK., Hubert J.//Can.J.Chem.-1982-Vol 60-P.898.

25. AbdaffiiaH , Coulomb S., MemetJ. M., Hubert J. /Specirochim. Ada- 1982-Vol 37B-P. 583.

26. Henry D., Hajlaoui Y., Amal Y., Pantel P., Moisan M. An efficient ion source using a surface wave launcher//Conf. on Surface Wave in Plasmas- Blagoegrad, Bulgaria, 1981.

27. LoncarG. ,MusilJ. ,BardosL. //Czech. J. Phys. -1980-Vol 30B-P. 688.

28. Borges C. F. M., Moisan M., Gicquel A. A novel technique for diamond film deposition using surface wave discharge&//Diamond and Related Mat -1995- Vol 4-P. 149-154.

29. Babenko V. A., Grjgorjants V. V., Shilov I. P. Plasm a surface wave deposition method for production

of diamond and diamond-like fifens//3rd Int Symp. on Diamond Films- Saint-Petersburg, 16-19 June, 1996.

30. Gradsteyn I. S., Ryziiik I. M. Table ofmtegrafe, series and products-New York: Acad. Press, 1979.

31. Бабенко В. А. Распространение плазменных поверхностных волн по поверхности кварцевого цилиндра//Радиотехникаиэлектроника-1997-Т. 42,N3-C. 284-289.

32. Boucher D. A. LP.D. (Axsiai Lateral Plasm a Deposition): A new process for the industrial production of low-loss step-index optical fibers/ZProc. 30th Int Wire & Cabls Symp. -Cherry Hill, 17-19 November, 1981.

33. Muehlich A. et al Anew doped fused silicaasbulk material for low-loss optical fibers//Proc. 1st ECOC-Post-deadline Paper-London 1975.

34. Блинов Л. М., Володько В. В., Куликовский Н В. и др. Использование плазмы ВЧ- и СВЧ-разрадов в производстве кварцевых волоконных световодов // Радиотехника и Злектроника-1995-N6-C. 115426.

35. Gradov Ü.M. aid Stenflo UPhysics Reports-1983-94-P. 111.

36. Ковдратенко АЛ Поверхностные и объёмные волны в ограниченной гошме - М: Энергоатом -нздат, 1985.

37. Гинзбург В. Л. Распространение электромагнитных волн в шшме//М: Наука, 1967-С.683.

38. Электродинамика плазмы А.И Ахиезер, ИА. Ахиезер, Р.В. Половин, А.Г. Ситенко, К.Н Степа-новМНаукаД981-С.719.

39. Bekefi G. Radiation processes in plasm as$Stew York:Wifey,1966.

40. BenovaE., Zhelyazhov I., StaikovP. and Cap FiPhys.Rev.-1991-A44-P.2625.

4L Azarenkov N.A., Denisenko IB. and Ostrikov K.N. A model of large-area planar plasma producer besed on surface wave propagation in a plasma-metal structure with a dielectric sheath// J.Phys.D: ApplPhys.-1995-28-P.2465.

42. Трайвелпис A.B., Гоудд P.B. Волны пространственного заряда в цилиндрическом плазменном столбе//В кн.: Колебания сверхвысоких частот в плазме. Под ред. Бернашевского Г.А., Чернова З.С.//Мйностр.лит.,1961-С.173-198.

43. Ferreira С.М. Plasmas sustained by surface waves at radio aid microwave frequncies: basic processes and modeling//NATO Advenced Research Workshop //New Yoik: Plenum, 1986.

44. Moisan M., Beaudry C. and Leprinee P. A new HF device for the production of long plasma columns atahigh electron density,Mys.Lett-1974-50A-2-P.125.

45. Moisan M., Beaudry C. aid Leprinee P. A sm all m icrowave plasm a source for long column production wihoutmagnetic fiekMEEE Tn«s.PlasmaScL- PS-3 -2-P.55-59.

46. Moisan M.,ZakrzewskiZ. andPantelR. /ÄPhys.D'ApplPhys.-1979-12-P.219.

47. Moisan M.,PantselR., Ricard A., Glaude V M M., Leprinee P. and Allis W. //Rev. Physique App.-1980-15-P.1383.

48. Moisan M., Ferreira C.M., Hajlaoui Y., Henry D., Hubert X, Pantel R., Ricard and Zakzewski ZJI Rev. Physique AppU982-17-P.707.

49. Moisan M„ ShivarovaA. andTrive^)ieceA.W.//PlasrnaPhys.-1982-24-P.1331.

51. Mateev V., Zhe^azkov I. Atanassov MM. Appl Phys.-1983-54-P.3049.

52. Aliev Yu. M. Some aspects of nonlmea-theory of ionizing surface plasm a washes /Microwave dischatge: Funlam entals and Application. Ed. by C.M.Ferrera and MMoisan ШАТО ASI Series. Ser. B: Physics-V. 302-P. 105-115. N. Y.: Plenum Press,1993.

53. Aliev YU.M., Boev A.G., Shivarova A.P. On the non-linear theory of along gas discharge produced by an ionizing slow electromagnetic wave/Phys.Leit-1982-92-5-P.235-237.

54. Лисицкая А.А.,ШустинЕ.Г. СВЧ-интерферометр повышенной разрешающей способности для диагностики никотемпфагурной нгшмььШриборы и техн. экспфим.-1981-1-С.151.

55. BenovaE., Zhelyazhov I. and Staikov P. Modeling of aplasm a column produced and sustained by a travelling electrom agiteiic wave in the presence of a constant axial m agnetic field //Phys.Rev.A-1991-44-4-P.2625-2640.

56. Azarenkov N.A., Denisenko LB. and Ostr&ov K.N. //J.PfesmaPhys.4993-50- P.369-384.

57. Laurin J.J.,Morn G.A. and Baknain K.G. //Radio Sci-1989-24-P.289-300.

58. NonakaS. Long plasmaproduction by aradio-frequency discharge between dielectric covered parallel electrodes/#apanes IApplPhys.-1990- 29-3-P. 571.

59. NonakaS. Mode identification of elecfrom^e^ waves for la^e-^^ptea"RFpkMaprodiiction/(J. ofPhys.Soc.ofJapan-1992-61-5-P.1449-1452.

60. Aisenberg S., ChabotR./MpplPhys.-1977-№42-P.2953.

61. Bowling D. et al/Surface and Coatings Technotogy-1992-№53-P. 177.

62. Anderson L№ Solid Fiks-1981-№86-P.193.

63. Angus J. et al//Thin Solid Film s-1984-№118-P.311.

64. Sunil D., Vankar V., ChoprdK./#.ApplPhys.-1991-69-6-P.3719.

65. Grill A., Meyrson В., Patel У.ШВ XRes.Devetop.-1990-34-6-P.849.

65. BubenzerA. et «Appl.Phys.4983-№54-P.4590.

67. FourchesN., Turban G. Ркапа^фокйюп ofhydrogenated amorphous carbon: growth rates, propeties and structured Thin Solid Film s-1994-240-34-P.28-38.

68. Zhang X.L., DiasF.M., FerreiraC.M. A sett-contained modelling and experknental study of surface wave produced argon discharges in a coaxial setup with a central metallic cylinder. 1. Modelling/Plasma Sources Sci. andTechnol -1997-6-1-P.29-38.

69. V ill V., Bernard I, Laval G. Modelling and characterization of a kge-diameter plasm a cylinder produced by surface wavesm\vs.D-1996-29-6-P.1500-1508.

70. Peres I., Margot I The power balance of amaaieticaily confined surface wave plasma cokmn#Iasm a Sources Sri. and TechnoL-1996-54-P.653-661.

71. Степанов K.E О влиянии плазменного резонанса нераспространение поверхностных волн в не-однороднойншме/7ЖТФ-1965-35-6-С.1002-1010.

72. Долгополое В.В., Омельченко А.Я. 0 характере бессголкновительного «затухшия» электромагнитных вож в области сильной неоднородности холодной шшзмы/ЖЭТФ-1970~584-С.1384-1389.

73. Голант В.Е., Жишнский АН, Сахаров С.А. Основы физики плазмы /М.: Атомиздаг, 1977.

74. Бабенко В.А., Григорьянц В.В., Хомич А.В., Шилов ЕЕ Плазменные поверхностные волны для осаждения плёнок аморфного углерода на диэлектрическую нодложку//М агериалы IX между -народного симпозиума«Тонкие плёнки в электронике», с. 4048, Россия, г. Иваново, 13-17 сентября 1998 г.