Построение лазерной измерительной информационной системы для контроля отклонений от прямолинейности на принципах поляризационной интерферометрии с дифракционной решеткой тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.16, кандидат технических наук Косинский, Дмитрий Владимирович

• Косинский, Дмитрий Владимирович
• кандидат технических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат технических наук Косинский, Дмитрий Владимирович

ОГЛАВЛЕНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ПРОБЛЕМЫ КОНТРОЛЯ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ

1.1. Состояние проблемы измерения отклонений от прямолинейности

1.2. Анализ механических и оптико-механических методов измерения отклонений от прямолинейности

1.3. Анализ интерференционных методов измерения отклонений от прямолинейности

1.4. Оптическое гетеродинирование и гетеродинные интерференционные

методы измерения отклонений от прямолинейности

1.5 Требования к точности средств измерений для контроля отклонений от

прямолинейности в машино- и приборостроении

1.6. Постановка задачи исследования

ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ИНФОРМАЦИОННОЙ ЛАЗЕРНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ

2.1. Принцип построения лазерной гетеродинной измерительной информационной системы для контроля отклонения от прямолинейности

2.2. Математическое описание и структурная схема оптических преобразований в ИИС

2.3. Математическая модель дифракционных преобразований

2.3.1. Математическая модель дифракции света на решётке

2.3.2. Математическая модель акустооптического преобразования

2.4. Математическая модель поляризационных преобразований

2.5. Обобщенная математическая модель оптических преобразований в лазерной гетеродинной ИИС

2.6. Анализ потенциальной точности лазерной гетеродинной ИИС

2.7. Основные выводы

ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЛАЗЕРНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ

3.1. Экспериментальные исследования

3.1.1. Позиционная чувствительность дифракционной решетки

3.1.2. Сведение лучей на поляризационных элементах

3.2. Макет измерительной интерференционной системы

3.2.1. Гомодинный поляризационный интерферометр для измерения отклонений от прямолинейности

3.2.2. Гетеродинный поляризационный интерферометр для измерения отклонений от прямолинейности

3.3. Метрологическое исследование влияния технологических погрешностей изготовления оптических элементов

3.3.1. Влияние погрешности изготовления дифракционной решетки

3.3.1.1. Влияние погрешности шага решётки на результат измерений

3.3.1.2. Влияние погрешности формы штриха решетки на результат измерений

3.3.1.3. Погрешность сведения лучей из-за погрешности шага дифракционной решётки

3.3.1.4. Погрешность сведения лучей из-за погрешности формы подложки решётки

3.3.2. Влияние погрешности изготовления поляризационных элементов

3.3.2.1. Угловая погрешность изготовления призм Волластона

3.3.2.2. Погрешность поляризации

3.3.3. Влияние погрешности источника лазерного излучения

3.3.3.1. Влияние угловой погрешности падающего излучения

3.3.3.2. Угловая погрешность из-за погрешности длины волны падающего излучения

3.3.3.3. Влияние рефракции на результат измерений

3.4. Выводы

ГЛАВА 4. ПУТИ ДАЛЬНЕЙШЕГО РАЗВИТИЯ ЛАЗЕРНОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ СИСТЕМЫ

4.1. Модификация ИИС

4.2. Применение ИИС для измерения отклонений от перпендикулярности двух осей

4.3. Применение ИИС для измерения отклонения от параллельности двух осей

4.4. Применение ИИС для измерения отклонений от плоскостности

4.5. Интерферометр для измерения углов поворота

4.6. Интерферометр для измерения отклонений от прямолинейности движения в пространстве

4.7. Выводы

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

ЛИТЕРАТУРА

ПРИЛОЖЕНИЕ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Построение лазерной измерительной информационной системы для контроля отклонений от прямолинейности на принципах поляризационной интерферометрии с дифракционной решеткой»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы. Измерение отклонений от прямолинейности — одна из важнейших научно-технических задач, возникающих при разработке, изготовлении, калибровке и аттестации машиностроительного оборудования. Особенно это актуально для многокоординатного оборудования (станков, координатно-измерительных машин и других средств координатных измерений, робототехнических систем, реализуемых как в традиционной компоновке в комбинации декартовых и полярных координат, так и в системах с параллельной кинематикой на основе управляемой платформы Стюарта). Во всех этих устройствах, разнообразных по своему применению и кинематике, необходимо обеспечить прямолинейность движения подвижных узлов вдоль осей системы координат, что является важнейшим условием обеспечения точности обработки, контроля и транспортировки изделий в пространстве.

Средства измерений отклонений от прямолинейности используются для обеспечения прямолинейности профиля сечения поверхностей и для оценки прямолинейности перемещения исполнительных узлов систем (прямолинейность оси в пространстве). Первый вариант относится к оценке качества изготовления узлов. Второй вариант используется для определения прямолинейности направления, по которому происходит перемещение подвижных узлов оборудования.

Важность оценивания отклонения от прямолинейности как профиля изделий, так и осей перемещения привело к созданию большого количества средств измерений, анализ которых проводится в Главе 1 данной диссертации. Все известные методы базируются на методе сравнения измеряемой линии с образцовой [42]. При этом методы воспроизведения идеальной поверхности и способы определения отклонений измеряемых профилей от образцового профиля могут иметь различную природу. Анализ механических и оптико-механических средств измерения отклонений от прямолинейности показывает, что наиболее перспективными являются оптические методы, где в качестве

эталона прямой линии рассматривается энергетическая ось светового пучка. Под последней понимается линия, представляющая собой геометрическое место точек, являющихся центром энергетического распределения светового потока в каждом поперечном сечении в направлении распространения.

В настоящее время оптические методы контроля отклонений от прямолинейности (коллимационные, автоколлимационные, интерференционные) достигли высокого совершенства и обеспечивают измерение этих отклонений с погрешностью до 1 мкм/м. Однако, анализ требований, предъявляемых к геометрическим параметрам непрямолинейности изделий и узлов в современном машино- и приборостроении показывает, что при контроле прецизионного технологического и измерительного оборудования (станков классов В, А и С, КИМ и других средств координатных измерений высших классов точности) требуется дальнейшее повышение точности измерения до долей мкм/м.

Бурное развитие нанотехнологий, в том числе технологии изготовления изделий с нанометрической точностью, также требует в перспективе достижения погрешности измерения отклонений от прямолинейности на уровне десятых — сотых долей мкм/м.

Можно сказать, что потенциальная точность известных оптических методов измерения отклонений от прямолинейности практически достигнута, и дальнейшее повышение точности ограничивается свойствами, присущими оптическому измерительному каналу. Это ограничение принципиальное и связано с неоднородностью распределения показателя оптического преломления воздушной среды по трассе измерения. Показатель оптического преломления зависит от распределения температуры, влажности, давления, газового состава среды, в которой распространяется оптическое излучение, несущее измерительную информацию.

Дальнейшее повышение точности измерений в известных методах связано с необходимостью стабилизации параметров окружающей среды по трассе измерения, что весьма затратно, а во многих случаях практически невозможно.

Кроме того, предъявляются жесткие требования к параметрам излучаемого светового пучка. Энергетическое распределение по сечению пучка должно быть постоянно на всей трассе измерения, а диаграмма направленности светового потока и его расходимость должны сохраняться неизменными.

Для любого источника света, как теплового, так и лазерного, эти условия практически не осуществимы. Флуктуации энергетических распределений и направленности светового пучка эквивалентны эталонной линии.

Факторы, влияющие на отклонения эталонной линии оптического пучка от прямолинейности являются источниками погрешности, целиком входящие в погрешность измерения отклонения от прямолинейности.

Таким образом, повышение точности измерения отклонения от прямолинейности связано с поиском такого принципа измерения, при котором влияние этих факторов существенно снижается или исключается.

Целью данной работы является поиск такого принципа построения оптического средства измерения, при котором перечисленные выше факторы существенно меньше влияют на погрешность измерения и, тем самым, открывается путь к достижению погрешности измерения на уровне десятых-сотых долей мкм/м.

Цель диссертационной работы заключается в повышении точности измерений отклонений от прямолинейности по сравнению с традиционными интерферометрическими методами на основе использования принципов поляризационной лазерной интерферометрии с дифракционной решёткой, базирующихся на физическом явлении дифракции когерентного лазерного излучения на фазовой дифракционной решётке, являющейся подвижным индикатором отклонения профиля поверхности или оси от прямолинейности, поляризационном выделении дифракционных порядков соответствующих номеров с одновременным преобразованием их поляризации в ортогональные, коллинеарной интерференции этих дифракционных порядков и последующим гомодинным или гетеродинным детектированием поля интерференции с амплитудным или фазовым цифровым электронным преобразованием

измерительной информации.

Исходя из указанной цели, основные задачи исследования заключаются в следующем:

1. Исследование фазовой позиционной чувствительности дифракционных решёток.

2. Построение математической модели оптических преобразований и исследование схем поляризационной интерферометрии с целью обеспечения коллинеарной интерференции дифракционных порядков с ортогональными поляризациями.

3. Рассмотрение факторов, влияющих на точность и разрешающую способность ИИС.

4. Рассмотрение факторов, ограничивающих длину трассы измерения и диапазон измерений ИИС.

5. Исследование перспектив развития предложенного метода с целью измерения других параметров геометрических отклонений многокоординатного оборудования (станков, координатно-измерительных машин, роботов и т. п.).

Методологической базой исследований послужили работы В. П. Линника, Б. М. Левина, М. А. Палея, В. В. Леонова, Т. Pfeifer (ФРГ) и др. в области геометрических измерений; работы Ю. В. Коломийцова, В. И. Телешевскош, R. R. Baldwin (США), D. R. McMurtry (Великобритания) и др. в области интерференционных измерений отклонений от прямолинейности.

Методы исследования. В работе использованы принципы апланометрии для оценки геометрических отклонений, дифракционной оптики на основе аппарата фурье-оптики, акустооптики, поляризационной оптики с применением матричного аппарата Джонса, Мюллера и Стокса, интерференции света, оптического детектирования и гетеродинирования, теории погрешностей измерений. Математическое моделирование выполнено в средах Maple и MathCAD в сочетании с экспериментальными исследованиями макетных образцов.

Научная новизна работы заключается в:

1. определении свойств фазовой позиционной чувствительности дифракционной решётки как индикатора отклонения от прямолинейности;

2. создании архитектуры поляризационного преобразования порядков дифракции на решётке с целью получения коллинеарного поля их интерференции в процессе распространения света с одновременным обеспечением ортогональности их поляризаций;

3. определении способа детектирования поля коллинеарной интерференции ортогонально поляризованных дифракционных порядков на основе гомодинного и гетеродинного акустооптического метода;

4. установлении закономерностей влияния девиации геометрических параметров дифракционной решётки, явления рефракции света по трассе измерения, отклонения характеристик поляризационных элементов и флуктуаций геометрических параметров лазерного излучения на точность и диапазон измерения отклонений от прямолинейности.

Практическая значимость работы заключается в:

1. создании практических схем оптического канала ИИС с подвижной дифракционной решёткой, используемой как индикатор отклонения от прямолинейности, и двулучепреломляющими поляризационными элементами, обеспечивающими коллинеарную интерференцию выделенных дифракционных порядков с ортогональными поляризациями;

2. снижении влияния неизбежных в оптических методах погрешностей, связанных с неоднородностью оптических свойств среды в процессе распространения света и флуктуации параметров источника лазерного излучения, что обеспечивает потенциально более высокую точность измерения по сравнению с известными оптическими методами;

3. создании практических схем детектирования поля коллинеарной интерференции дифракционных порядков на основе гомодинного и гетеродинного акустооптического детектирования;

4. создании методики моделирования и экспериментального исследования разработанной лазерной ИИС для контроля отклонений от

прямолинейности на принципах поляризационной интерферометрии с подвижной дифракционной решёткой;

5. определении геометрических и оптических параметров фазовой дифракционной решётки для достижения наибольшей чувствительности и точности измерений;

6. определении путей дальнейшего развития разработанной ИИС применительно к задачам измерения отклонений от параллельности, перпендикулярности осей, отклонения от плоскостности, углов поворота и комплексного отклонения от прямолинейности движения.

Реализация работы

Материалы работы использованы при выполнении государственного контракта с Минпромторгом России № 7410.1003702.06.006 от 19.09.2007 г. «Разработка технологий производства отечественных импортозамещающих лазерных интерференционных измерительных устройств как базовой системы для контроля точности в составе прецизионных станков, координатно-измерительных машин и измерительных приборов».

Теоретические исследования, проведённые в данной работе, используются в учебном процессе по направлению 200100 «Приборостроение».

Апробация работы и публикации.

Основные положения работы докладывались на конференциях:

1. «Машиностроение — традиции и инновации», МГТУ «Станкин», ноябрь-декабрь 2010 г.

2. «Состояние и проблемы измерений», МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2628 апреля, 2011 г.

Основное содержание диссертации опубликовано в трех статьях в изданиях, включённый в перечень ВАК.

Для разработанной ИИС получено два патента на полезную модель.

Основные положения, выносимые на защиту:

- Принципы построения, структура и архитектура информационной измерительной системы для измерения отклонения от прямолинейности на

основе поляризационной интерферометрии с дифракционной решёткой;

- Параметры дифракционной решётки, выбранные с точки зрения энергетической эффективности;

- Математическая модель системы для измерения отклонений от прямолинейности;

- Результаты реализации измерительной информационной системы в гомодинном и гетеродинном исполнении;

- Результаты метрологического анализа влияния различных факторов на результат измерения и возможность измерения;

- Метод уменьшения, влияния рефракции света на результат измерений;

- Пути дальнейшего развития измерительной системы с возможностью расширения номенклатуры измеряемых геометрических величин с сохранением основных принципов построения системы.

, Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, четырёх глав, основных выводов, списка литературы из 75 наименований и приложения. Общий объём работы 164 страницы.

Заключение диссертации по теме «Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)», Косинский, Дмитрий Владимирович

4.7. Выводы

Исходя из вышеизложенного можно заключить следующее:

1. Приведённые оптические схемы можно достаточно легко изменять с целью получения новых полезных свойств измерительной системы.

2. Для построения схем измерения поляризационные элементы могут быть использованы в различных сочетаниях и занимать различные положения в последовательности производимых оптических преобразований без потери функциональности системы в целом.

3. Метод измерений, основанный на изменении фазового сдвига оптического излучения может быть использован для построения измерительных информационных систем, предназначенных для измерения различных линейных и угловых величин.

4. На основе этого метода возможно построение измерительной системы, предназначенной для измерения комплексных величин отклонений.

5. Изменяя форму нарезания штрихов в пространстве можно изменять алгоритм вычисления комплексной величины отклонения от номинального расположения в пространстве, то есть изменять величину вклада проекций отклонения на оси координат в конечный результат измерений.

Таким образом, рассматриваемая измерительная система обладает достаточной гибкостью и может быть применена для решения широкого круга измерительных задач, возникающих в машиностроении.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Основными результатами работы являются:

1. В результате исследований установлено, что сдвиг дифракционной решетки в пространстве вызывает пропорциональный ему сдвиг фазы колебаний пучка света ненулевых дифракционных порядков, детектирование которого можно осуществить амплитудным и фазовым методами. Это позволяет использовать дифракционную решетку как индикатор отклонения от прямолинейно ста.

2. Разработана методика построения лазерных ИИС для контроля отклонений от прямолинейности, обладающих коллинеарной интерференцией дифракционных порядков с взаимно ортогональной поляризацией. На основе построенной математической модели оптических преобразований, производимых такими системами, установлена потенциальная нанометрическая разрешающая способность измерений.

3. Выявлены основные факторы, влияющие на точность измерений и разрешающую способность системы: точность геометрических размеров поляризационных элементов и дифракционной решетки. Установлено значение глубины фазовой модуляции дифракционной решетки, обеспечивающее максимальную точность измерений. Определены функциональные зависимости между значениями влияющих факторов и погрешностью измерений.

4. Предложенный в работе метод дополнительного снижения влияния рефракции позволит увеличить точность измерения отклонений от прямолинейности.

5. Выявлены основные факторы, ограничивающие длину трассы измерения отклонений от прямолинейности: точность угловых параметров поляризационных элементов и клиновидность подложки дифракционной решетки. Определены зависимости влияния этих факторов на потенциальную длину трассы измерений.

6. Установлена возможность применения разработанной ИИС для измерения комплексного отклонения от прямолинейности движения, отклонений от перпендикулярности осей, отклонений от параллельности осей, отклонения от плоскостности поверхности и угловых отклонений.

7. На основе проведенных исследований установлено, что применение методов построения измерительных систем на основе поляризационной интерферометрии, обладающих свойством коллинеарной интерференции дифракционных порядков позволяет повысить точность измерений отклонений от прямолинейности более, чем в два раза по сравнению с традиционными интерференционными средствами измерения.

Исходя из проведённого анализа и полученных результатов можно сделать следующие выводы:

1. Анализ известных /0 -методов измерения отклонений от прямолинейности показывает, что оптические методы, в том числе и интерференционные обеспечивают наивысшую точность измерений, достигающие погрешности до 1 мкм/м.

2. Основным ограничением дальнейшего повышения точности измерения оптическими методами является наличие оптических неоднородностей, расположенных по трассе измерений.

3. Формирование коллинеарной интерференции пучков, движущихся по общей трассе, но несущие информацию о смещении дифракционной решётки, обеспечивает существенное снижение влияния оптической неоднородности среды.

4. Наиболее перспективным индикатором измерений отклонений от прямолинейности по /0-методу является дифракционная решётка, фаза света дифракционных порядков которой несет информацию о смещении поверхности по трассе измерений.

5. Схема из поляризационных элементов обеспечивает эффективное выделение и коллинеарную интерференцию дифракционных порядков, несущих информацию об измеряемой величине.

6. Гомодинное фотоэлектрическое детектирование обеспечивает амплитудное преобразование значения отклонения от прямолинейности в уровень электрического сигнала.

7. Гетеродинное акустооптическое преобразование обеспечивает преобразование значения отклонения от прямолинейности в фазу выходного электрического сигнала на высокой несущей частоте.

8. Разрешающая способность метода определяется шагом решётки и может достигать субмикронных и нанометрических значений, а использование фазовых пропускающих дифракционных решёток с определённой глубиной модуляции и профилем обеспечивает эффективное использование светового потока.

9. Результаты теоретических и экспериментальных исследований подтверждают основные положения диссертационного исследования.

10. Метрологический анализ погрешностей показывает, что применение коллинеарной интерференции порядков дифракции на измерительной дифракционной решётке позволяет сократить область влияния рефракции до части пространства, расположенного между источником лазерного излучения и подвижным узлом системы.

11. Предложенный шаговый метод позволяет снизить влияние рефракции оптического излучения в атмосфере на результат измерений.

12. Предложенная методология построения лазерной измерительной системы на принципах поляризационной интерферометрии с дифракционной решёткой позволяет создавать разнообразную архитектуру измерительных систем, использующие различные типы поляризующих элементов и различное взаимное расположение измерительной дифракционной решётки.

13. Разработанная ИИС может быть использована для измерений различных отклонений формы и расположения поверхностей — отклонений от плоскостности поверхности, отклонений от перпендикулярности и параллельности осей в пространстве.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Косинский, Дмитрий Владимирович, 2011 год

ЛИТЕРАТУРА

1. Ахманов С. А. Физическая оптика: Учебник. 2-е изд. / Ахманов С. А., Никитин С. Ю. - М.: Изд-во МГУ; Наука, 2004. - 656 с.

2. Балакший В. И., Парыгин В. Н., Чирков JI. Е. Физические основы акустооптики. - М.: Радио и связь, 1985. - 280 с.

3. Бегунов Б. Н. Геометрическая оптика. - М.: Издательство Московского Университета, 1966. - 211 с.

4. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. Изд. 2-е. / Пер. с англ. - М.: Наука, 1973. - 720 с.

5. Васильев JI. А., Ершов И. В. Интерферометр с дифракционной решёткой. - М.: «Машиностроение», 1976. - 232 с.

6. Глубоков А. В., Телешевский В. И. Компьютеризированная измерительная информационная система для контроля отклонений от плоскостности на базе электронных уровней. // Измерительная техника. — 2004. -№11.-С. 15-18.

7. Горелик Г. С. Колебания и волны. Введение в акустику, радиофизику и оптику. - М.: Государственное издательство физико-математической литературы, 1959. - 572 с.

8. Горин А. М. Метод взаимного контроля прямолинейности. // Измерительная техника. - 1972. - № 10.

9. ГОСТ 8.420-2002. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерения отклонений от прямолинейности и плоскостности. - Взамен ГОСТ 8.420-81: Введ. 01.03.2003.-8 с.

10. ГОСТ 24642-81. Основные нормы взаимозаменяемости. Допуски формы и расположения поверхностей. Основные термины и определения. -Взамен ГОСТ 10356-63 в части ; Введ. 01.07.81 до 01.01.2012. - 45 с. - Группа Г00.

11. ГОСТ 24643-81. Основные нормы взаимозаменяемости. Допуски формы и расположения поверхностей. Числовые значения. - Взамен ГОСТ 10356-63 в части разд. 3; Введ. 01.07.81. - 8 с. - Группа Г12.

12. Гришин С. Г., Телешевский В. И. Построение измерительной информационной системы для нанометрологии на принципах гетеродинной лазерной интерферометрии. // Труды V международного конгресса «Конструкторско-технологическая информатика-2005», М.: ИЦ ГОУ МГТУ «Станкин», Янус-К» 2005, с.146-150.

13. Гришин С. Г., Телешевский В. И. Гетеродинная лазерная интерферометрия с цифровым фазовым преобразованием измерительной информации. // Измерительная техника. - 2006. - №6. - С. 13-18.

14. Гришин С. Г., Телешевский В. И. Фазовая цифровая измерительная информационная система для нанометрологии на основе гетеродинной лазерной интерферометрии. // Вестник МГТУ «Станкин». Научный рецензируемый журнал. М.: МГТУ «Станкин». - 2008. - №2. - С.33-40

15. Гудмен Дж. Введение в фурье-оптику. / Пер. с англ. - М.: Мир, 1970. - 364 с.

16. Джеррард А., Бёрч Дж. М. Введение в матричную оптику. / Пер. с англ. - М.: Мир, 1978. - 341.

17. Дитчберн Р. Физическая оптика. / Пер. с англ. - М.: «Наука», Главная редакция физико-математической литературы, 1965. - 637 с.

18. Дифракционная компьютерная оптика: / Под ред. В. А. Сойфера. -М.: ФИЗМАТЛИТ, 2007. - 736 с.

19. Дьяков В. А., Тарасов Л. В. Оптическое когерентное излучение. М.: Советское радио, 1974. - 165 с.

20. Зуев В. Е., Кабанов М. В. Перенос оптических сигналов в земной атмосфере (в условиях помех). - М.: «Сов. Радио», 1977. - 368 с.

21. Калитеевский Н. И. Волновая оптика. Учеб. пособие для ун-тов. Изд. 2-е, испр. и доп. М.: «Высш. школа», 1978. - 383 с.

22. Киссам Ф. Оптические приборы. М. - Л.: Машиностроение, 1966. -

166 с.

23. Коломийцов Ю. В., Духопел И. И. и др. Оптические приборы для измерения линейных и угловых величин в машиностроении. (Справочная книга). / Под ред. Коломийцова Ю. В. М.Машиностроение, 1964. - 256 с.

24. Колосов М. А., Шабельников А. В. Рефракция электромагнитных волн в атмосферах Земли, Венеры и Марса. - М.: Сов. Радио, 1976. - 220 с.

25. Корпел А. Акустооптика. / Пер. с англ. - М.: Мир, 1993. - 240 с.

26. Косинский Д. В. Лазерный гетеродинный интерферометр для измерения отклонений от прямолинейности. // Материалы III научно-образовательной конференции «Машиностроение — традиции и инновации» (МТИ-2010). Секция «Машиностроительные технологии» Сборник докладов. -М.: МГТУ «Станкин», 2010. - с. 126 - 130.

27. Косинский Д. В. Лазерный интерферометр для измерения отклонений от прямолинейности. // XI Всероссийская научно-техническая конференция «Состояние и проблемы измерений». 26-28 апреля 2011 г. / М.: сборник материалов МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - с. 87 - 90.

28. Косинский Д. В. Построение интерферометров на поляризационных элементах. // Вестник МГТУ «Станкин». - 2011. - №4. - с. 31 -34.

29. Косинский Д. В., Телешевский В. И. Поляризационный гетеродинный интерферометр на дифракционной решётке для измерения отклонений от прямолинейности. // Приборы. - 2011. - №6. - с. 22 - 26.

30. Косинский Д. В., Телешевский В. И., Соколов В. А. Гетеродинные методы лазерной интерферометрии на основе дифракции Френеля. // Измерительная техника 2011 - №8 - с. 7 - 10.

31. Кравцов Ю. А., Орлов Ю. И. Геометрическая оптика неоднородных сред. - М.: Наука. Главная редакция физико-математической литературы, 1980. -304 с.

32. Ландау JI. Д., Лифшиц Е. М. Теоретическая физика. В 10-ти т. Т. 7. Теория упругости: Учеб. пособие. - 4-е изд., испр. и доп. - М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. Лит., 1987. - 248 с.

33. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Теоретическая физика. В 10-ти т. Т. 8. Электродинамика сплошных сред: Учеб. пособие. - 4-е изд., испр. и доп. - М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1982. - 621 с.

34. Левин Б. М. Оптическая линейка ИС-36. - Л.:3нание, 1966.

35. Левин Б. М. и др. Прибор для автоматической регистрации непрямолинейности поверхности. // Измерительная техника. - 1970. - №1.

36. Левин Б. М., Леонтьева Г. В. Контактный оптический волнограф. // Измерительная техника. - 1969. - № 7.

37. Левин Б. М., Шевцов И. В., Серегин А. Г. Экспериментальное исследование вероятностных характеристик смещения энергетической оси оптического луча под действием воздушных рефракций в закрытых помещениях. // Оптико-механическая промышленность. - 1973. - № 4. - с. 3 - 8.

38. Левитес А. Ф., Телешевский В. И. Гетеродинный лазерный интерферометр с акустооптическим модулятором. // Приборы и техника эксперимента. - 1973. - №6. - с.139-140.

39. Леонов В. В. Анализ методов измерений отклонений от прямолинейности и плоскостности поверхностей. - М.:Изд-во стандартов, 1982. - 248 с.

40. Магдич Л. Н., Молчанов В. Я. Акустооптические устройства и их применение. - М.: Сов. Радио, 1978. - 112 с.

41. Мандель Л., Вольф Э. Оптическая когерентность и квантовая оптика : Пер. с ант. / Под ред. Самарцева В. В. - М.: Наука. Физматлит, 2000. -896 с.

42. Медянцева Л. Л., Горбачева В. В., Шарова Е. Е. Контроль прямолинейности и плоскостности поверхностей. М.: Изд-во стандартов, 1972. -119 с.

43. Методы компьютерной оптики / Под ред. Сойфера В. А.: Учеб. для вузов. - 2-е изд., испр. - М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. - 688 с.

44. МИ 2007-89. Рекомендация. Государственная система обеспечения единства измерений. Плиты поверочные и разметочные. Методика поверки. -Взамен ГОСТ 8.210-76; Введ. 01.07.90. - 69 с. - Группа Т88.1.

45. My стел ь Е. Р., Парыгин В. Н. Методы модуляции и сканирования света. - М.: Наука, 1970. - 295 с.

46. Нагибина И. М. Интерференция и дифракция света: Учеб. пособие для приборостроительных вузов оптических специальностей. 2-е изд., перераб. и доп. - Л.: Машиностроение, Ленингр. Отд-ние, 1985. - 332 с.

47. Нефёдов Е. И. Дифракция электромагнитных волн на диэлектрических структурах. М.: Наука, 1979. - 270 с.

48. Никитин Б. Д. Гидростатические методы измерения прямолинейности и плоскостности. // Станки и инструменты. - 1957. - № 7.

49. Палей М. А., Брагинский В. А. Международные и национальные нормы взаимозаменяемости в машиностроении. Справочник-транслятор. - М.: «Наука и техника», 1997. - 659 с.

50. Папулис А. Теория систем и преобразований в оптике. / Пер. с англ. - М.: Мир, 1971.-495 с.

51. Патент (США) № 3.726.595 МГЖ G01b9/02. Method for optical detection and/or measurement of movement of a diffraction grating / K. Matsumoto. -Заявл. 05.01.1971; Опубл. 10.04.1973; Приоритет 07.01.1970.

52. Патент (США) № 3.790.284 МПК GO 1Ь9/02. Interferometer system for measuring straightness and roll / R.R. Baldwin. - Заявл. 08.09.1972; Опубл. 05.02.1974; Приоритет 08.09.1972.

53. Патент (США) № 4.466.693 МПК G03H1/02, G01B11/27. Holographic straightness meter / K.Matsuda, K.Tenjinbayashi, T.Kohno. - Заявл. 18.11.1981; Опубл. 21.08.1984; Приоритет 25.11.1980.

54. Патент (США) № 4.787.747 МПК G01B9/02. Straightness of travel interferometer / G.E.Sommargren, P.S.Young. - Заявл. 13.11.1987; Опубл.

29.11.1988; Приоритет 13.11.1987.

55. Патент (США) № 5.026.163 МПК G01b9/02 Straightness interferometer system / D.R.MeMurtry, RJ.Chaney. - Заявл. 24.08.1988; Опубл. 25.01.1991; Приоритет 20.04.1989.

56. Протопопов В. В., Устинов Н. Д. Лазерное гетеродинирование / Под ред. Н. Д. Устинова. - М.: Наука. Главная редакция физико-математической литературы, 1985. - 288 е., ил.

57. Рабинович С. Г. Погрешности измерений. - Л.: Энергия, 1978. - 262

с.

58. Слюсарев Г. Г. Расчет оптических систем. - Л.: Машиностроение, 1975. - 638 с.

59. Солименко С., Крозиньяни Б., Ди Порто П. Дифракция и волновое распространение оптического излучения. / Пер. с англ. - М.:Мир, 1989. - 664 с.

60. Стюард И. Г. Введение в фурье-оптику. / Пер. с англ. - М.: Мир, 1985.- 182 с.

61. Татарский В. И. Распространение волн в турбулентной атмосфере. -М.: Наука, 1967. - 548 с.

62. Телешевский В. И. Гетеродинные методы лазерной интерферометрии на основе акустической модуляции света. // Измерительная техника. - 1975. - №1. - с.42-45.

63. Телешевский В. И. Лазерный гетеродинный метод измерения перемещений на основе акустооптического взаимодействия. // Измерительная техника.-№11.- 1984.- с.20-21.

64. Френель О. Избранные труды по оптике. М.: Гостехиздат, 1955. -

603 с.

65. Хёнл X., Мауэ А., Вестфаль К. Теория дифракции. / Пер. с нем. -М.: Мир, 1964.-428 с.

66. Цуккерман С.Т., Панков Э.Д. Влияние размеров воздушного тракта на точность приборов управления лучом. // Изв. вузов СССР. Приборостроение. - 1969.-т. 12. -№1.

67. Чернов JI. А. Волны в случайно-неоднородных средах. М.: Наука, 1977. 172 с.

68. Чуриловский В. Н. Теория оптических приборов. JI.Машиностроение, 1966. - 564 с.

69. Шерклифф У. Поляризованный свет. / Пер. с. ант. - М.: Мир, 1965. - 264 с.

70. Шубников А. В. Основы оптической кристаллографии. - М.: Наука, 1958.-200 с.

71. Baldwin R. R., Grote В. Е., Harland D. A. A laser interferometer That Measures Straightness of Travel. // Hewlett-Packard journal, 1974 - №1 — p. 10 -20.

72. Chiba T. Spot dancing of the laser beam propagated through the turbulent atmosphere. //Appl. Opt., 1971. - v. 20. - N 11.

73. Handbook of optics. Volume I. Fundamentals, Techniques, and Design. / Sponsored by Optical Society of America. / M. Bass, editor in chief. - 2nd ed. -McGraw-Hill, 1995. - 1606 p.

74. Handbook of optics. Volume II. Devices, Measurements, and Properties. / Sponsored by Optical Society of America. / M. Bass, editor in chief. -2nd ed. - McGraw-Hill, 1995. - 1496 p.

75. Pfeifer Т., Bambach M., Schneider C. Automatisiete Laserverfahren zur Durchführung geometzischer Prüfungen an Maschinen. // Feinwerktechn. Messtechn., 1977. - Bd 85. - N 7.