Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.14, кандидат технических наук Скрябин, Андрей Станиславович

• Скрябин, Андрей Станиславович
• кандидат технических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат технических наук Скрябин, Андрей Станиславович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ ИЗВЕСТНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ И МЕТОДОВ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ.

1.1. Промышленные технологии получения поликристаллического кремния.

1.2 Лабораторные методы получения поликристаллического кремния.

1.3. Недостатки существующих технологий и методов получения кремния.

ГЛАВА 2. СХЕМНОЕ РЕШЕНИЕ И ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ ОБОСНОВАНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО МЕТОДА ПОЛУЧЕНИЯ

КРЕМНИЯ.

2.1. Плазмохимический метод прямого получения кремния из его оксидов.

2.2. Квазиодномерная модель расчёта температуры и скорости потока несущего газа в плазмохимическом реакторе.

2.3. Критерии реализации основных фаз плазмохимического метода.

ГЛАВА 3. ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИХ

ПРОЦЕССОВ ОСНОВНЫХ ФАЗ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО МЕТОДА.

ЗЛ. Исследование параметров высокотемпературного потока и эффективности испарения частиц оксидов кремния.

ЗЛ.1. Расчётная физико-математическая модель.

3 Л. 1Л. Физико-математическая модель расчёта параметров высокотемпературного потока плазмообразующего газа.

3.1.1.2. Физико-математическая модель расчёта нагрева и испарения частиц оксидов кремния в высокотемпературном потоке.

3.1.2. Результаты и анализ расчётов параметров высокотемпературного гетерофазного потока и эффективности испарения в нём частиц оксидов кремния.

3.1.2.1. Результаты расчётов параметров высокотемпературного потока.

3.1.2.2. Результаты исследования эффективности испарения частиц оксидов кремния в высокотемпературном потоке.

3.2. Исследование неравновесных газофазных высокотемпературных химических процессов в плазмохимическом реакторе.

3.2.1. Кинетическая модель высокотемпературных газофазных химических процессов в плазмохимическом реакторе.

3.2.2. Результаты расчетов и анализ кинетики высокотемпературных газофазных химических процессов в ПХР при переработке оксидов кремния с использованием различных восстановителей.

3.2.2.1. Результаты расчетов и особенности кинетики процессов в плазмохимическом реакторе при переработке кварца с использованием водорода.

3.2.2.2. Результаты расчетов и особенности кинетики процессов в плазмохимическом реакторе при переработке кварца с использованием углеводородов.

3.2.2.3. Результаты расчетов и особенности кинетики процессов в плазмохимическом реакторе при переработке моноксида кремния с использованием водорода.

3.3. Сравнение результатов теоретических исследований получения кремния из его монооксида и кварца при использовании различных восстановителей.

ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО МЕТОДА ПРЯМОГО ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЯ ИЗ ЕГО ОКСИДОВ.

4.1. Описание экспериментальной установки для исследования плазмохимического метода.

4.2. Экспериментальное исследование энергомощностных параметров использованного в экспериментальной установке генератора плазмы.

ГЛАВА 5. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПЛАЗ

МОХИМИЧЕСКОГО МЕТОДА ПРЯМОГО ПОЛУЧЕНИЯ

КРЕМНИЯ ИЗ ЕГО ОКСИДОВ.

5.1. Экспериментальные методики исследования исходного сырья и продуктов их плазменной переработки на поликристаллический крений.

5.2. Экспериментальные исследования плазмохимического метода получения кремния из кварца.

5.3. Экспериментальные исследования плазмохимического получения кремния из его монооксида.

5.4. Схема и параметры пилотной опытно-промышленной установки для неравновесного плазмохимического прямого восстановления кремния.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов»

На основании сказанного выше актуальность данной диссертационной работы связана со следующими положениями:

- во-первых, с необходимостью расширения МСБ кварцевого сырья России путём разработки новых эффективных и безопасных технологий его переработки на ПК; во-вторых, с необходимостью уменьшения дефицита поликристаллического кремния, вызванного ростом производства солнечных элементов.

Таким образом, благодаря большим запасам качественного кварцевого сырья и при условии обладания соответствующими технологиями РФ может стать одним из ключевых игроков не только на Мировом рынке получения солнечного поликристаллического кремния, но и в области производства высокоэффективных солнечных энергетических установок наземного и космического базирования.

В настоящее время накоплен большой объём информации об исследовании различных плазменных методов получения кремния. Интерес к использованию плазмы в качестве рабочей среды для создания таких технологий обусловлен рядом её особенностей: высокий уровень энерговклада и возможность реализации различных высокотемпературных (в т.ч. неравновесных) химических реакций [8].

Данная диссертационная работа посвящена разработке и исследованию плазмохимического метода прямого получения ПК из твёрдофазных оксидов кремния (из кварца и монооксида кремния БЮ) с общей формулой 8ЮХ. Использование в качестве исходного сырья различных оксидов существенно расширит возможности предлагаемого метода и позволит организовать получение кремния не только на горно-обогатительных комбинатах (из 8Ю2), но и на производстве ферросилицидов (из БЮ).

Плазмохимический метод прямого получения кремния основан на возможности осуществления неравновесного газофазного процесса связывания кислорода, полученного в результате диссоциации молекул 8ЮХ в потоке плазмы инертного газа (Аг), атомами газообразного элемента-восстановителя ЭВ (водородом Н2 или углеводородом с общей формулой СаНр) с последующей конденсацией газообразного кремния и образованием поликристаллического кремния.

Целью работы являлось обоснование схемы и оптимизация режимных параметров теплофизических процессов на различных фазах плазмохимического метода прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов.

Для успешного выполнения поставленных целей были решены следующие теоретические и экспериментальные задачи:

1) проведено теоретическое обоснование схемы реализации и определены условия осуществления плазмохимического метода;

2) разработаны физико-математические модели основных процессов на разных фазах плазмохимического метода;

3) выполнен комплекс расчётных исследований влияния режимных параметров плазмохимического метода на эффективность получения кремния;

4) разработаны и созданы технические средства для экспериментального исследования плазмохимического метода;

5) проведён комплекс экспериментальных исследований плазмохимического метода получения кремния;

6) с использованием комплекса современных диагностических методик проведены исследования физико-химического состава продуктов переработки оксидов кремния с целью оценки эффективности плазмохимического метода.

Научная новизна работы заключается в том, что в ней впервые:

-131) на основании комплекса экспериментально-теоретических исследований доказана возможность получения поликристаллического кремния из его твердофазных оксидов методом прямого плазмохимического восстановления водородом или углеводородами;

2) экспериментально установлено, что на созданной плазменной установке с использованием электродугового плазмотрона мощностью 3 кВт может быть получен поликристаллический кремний с выходом до 60 % в виде сфероподобных частиц со средним размером 100-200 мкм и чистотой 99,8-99,9 %;

3) сформулирована кинетическая модель газофазных химических процессов в смесях Аг, 81, О, Н и С при температурах 2,0-6,5 кК, на основании которой установлены оптимальные значения степени неравновесности и других режимных параметров;

4) установлено влияние отдельных конструктивных (диаметр и длина плазмохимического реактора) и режимных (электрическая мощность, расходы газов и дисперсность перерабатываемого сырья) параметров плазменной установки на эффективность восстановления кремния.

На защиту выносятся следующие научные положения и результаты:

-141) модели и результаты теоретического исследования теплофизических процессов прямого получения кремния из его оксидов плазмохимическим методом;

2) результаты экспериментального исследования плазмохимического метода прямого восстановления кремния из его оксидов;

3) схема и параметры опытно-технологической и опытно-промышленной установок для реализации плазмохимического метода получения кремния.

Достоверность результатов теоретических исследований обеспечивается использованием адекватных физико-математических моделей и хорошо зарекомендовавших себя программных продуктов, применяемых при расчётах, и сравнением полученных результатов с имеющимися литературными данными. Достоверность экспериментальных исследований обусловлена применением различных современных эффективных и хорошо апробированных методик исследований свойств исходного SiOx и полученного кремния. Приведены оценки погрешности измерений.

Практическая значимость результатов работы состоит в том, что:

1) полученные экспериментально-теоретические данные и расчетные модели являются основой для создания высокоэффективных технологий переработки Si02 и SiO на поликристаллический кремний с энергозатратами 70-80 кВт-час/кг Si;

-152) создана опытно-технологическая плазмохимическая установка на основе электродугового плазмотрона (мощностью 3 кВт) для получения поликристаллического кремния с использованием водородного восстановителя;

3) разработаны методики расчета процессов испарения твердых частиц оксидов кремния и газофазных химических превращений, позволяющие определить оптимальные параметры плазмохимической системы при использовании плазмотронов произвольной мощности;

4) предложена схема и выбраны параметры опытной промышленной установки производительностью до 1 кг БУчас с индукционным плазмотроном мощностью 30 кВт для осуществления прямого плазмохимического получения кремния из его оксидов.

Личный вклад автора состоит в том, что представленные результаты получены автором или при его непосредственном участии. Автором лично разработаны физико-математические модели и выполнено исследование испарения частиц оксидов кремния в высокотемпературном гетерофазном потоке при вариации режимных параметров процесса. Также диссертант участвовал в создании физико-математической модели и исследовании неравновесного высокотемпературного восстановления кремния из его оксидов водородом. Автором проведено проектирование основных узлов лабораторной установки для исследования неравновесного процесса получения кремния - блока получения поликристаллического кремния, генератора плазмы, систем охлаждения установки и подачи в неё перерабатываемых оксидов кремния. Диссертантом лично проведено экспериментальное исследование влияние различных параметров на эффективность восстановления кремния плазмохимическим методом. Автор участвовал в проведении диагностики продуктов переработки на предмет обнаружения в них поликристаллического кремния, определении его концентрации, чистоты, формы присутствия и пр.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения и

Заключение диссертации по теме «Теплофизика и теоретическая теплотехника», Скрябин, Андрей Станиславович

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ

1. Впервые на основе комплекса экспериментально-теоретических исследований доказана возможность получения поликристаллического кремния из его твердофазных оксидов (8Ю2 и БЮ) методом прямого плазмохимического восстановления углеводородами и водородом.

2. Теоретически на основе сформулированной кинетической модели установлено влияние степени неравновесности газофазных процессов, происходящих в газовой смеси Аг, 81, О, С и Н, на эффективность связывания свободного кислорода и образование паров кремния. Теоретически изучено влияние начальных концентраций газообразного кремния, расхода и типа элемента-восстановителя (ацетилена, пропана и водорода) на эффективность восстановления кремния. Определены оптимальные значения данных параметров, для которых теоретический выход паров кремния может достигать значений 80-90 %.

3. Создана и внедрена в опытно-технологическую эксплуатацию экспериментальная плазмохимическая установка на основе электродугового плазмотрона (мощностью 3 кВт) для получения поликристаллического кремния улучшенного металлургического качества с использованием водорода в качестве восстановителя.

4. Экспериментально установлено влияние удельного энерговклада в плазму, размеров исходных частиц оксидов кремния и расхода водорода на эффективность восстановления кремния. На созданной экспериментальной установке получен поликристаллический кремний с выходом до 60 % и чистотой 99,8-99,9 %. Показано, что энергетические затраты на получение кремния плазмохимическим методом составляют 70-80 кВт-час/кг что в 1,5-2,0 раза ниже, чем у существующих методов и технологий.

5. Предложены практические рекомендации по промышленной реализации плазмохимического метода прямого получения кремния на плазменной установке на основе индукционного плазмотрона. Выбраны параметры пилотного образца такой плазменной установки производительностью до 1 кг 81/час с индукционным плазмотроном мощностью 30 кВт, позволяющей организовать получение поликристаллического кремния солнечного качества.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Скрябин, Андрей Станиславович, 2012 год

1. Справочник по геохимии / Г.В. Войткевич и др.. М.: Недра, 1990. 480 с.

2. Кварц Бурятии: Аналитическая записка по состоянию МСБ кварцевого сырья высокой чистоты в Республике Бурятия и перспективам его использования. 2005 Электронный ресурс. URL: http://geoconsult.ru/samples/kvarz/kvb/ (дата обращения: 16.11.2011)

3. О перспективах использования МСБ кварцевого сырья России в промышленности высоких технологий / Н.М. Серых и др. // Разведка и охрана недр. 2003. №1. С. 17-20.

4. New processes for the production of solar-grade polycrystalline silicon: A review / A.F.B. Braga et. al. // Solar Energy Materials & Solar Cells.2008. № 92. P. 418-424.

5. Получение кристаллического кремния из моносилана в электронно-пучковой плазме / В.О. Константинов и др. // Прикладная физика.2009. №4. С. 95-101.

6. Теоретическая и прикладная плазмохимия / JI.C. Полак и др.. М.: Наука, 1975. 304 с.

7. Технология полупроводникового кремния / Э.С. Фалькевич и др.. М.: Металлургия, 1992. 408 с.

8. Салли И.В., Фалькевич Э.С. Производство полупроводникового кремния. М.: Металлургия, 1969. 152 е.

9. Gribov B.G., Ziniv'ev K.V. Preparation of High-Purity Silicon for Solar Cells // Inorganic Materials. 2003. №7. P. 653-662.

10. Gribov B.G., Ziniv'ev K.V. New Technologies for Production of Polycrystalline Silicon for Solar Power Engineering // Semiconductors. 2008. № 13. P. 1475-1479.

11. Bathey B.R., Cretella M.C. Review solar-grade silicon // Journal of Materials Science. 1982. № 17. P. 3077-3096.

12. Khattak Ch.P., Joyce D.B., Schmid F. A simple process to remove boron from metallurgical grade silicon // Solar Energy Materials & Solar Cells. 2002. № 74. P. 77-89.

13. The production of solar cell grade from bromsilanes: research report (final) / J.P. Schumacher and Co; Manager: J.P. Schumacher. Oceanside, 1979. 70 p. (№ 79-20482).

14. Production of metallurgical silicon of enhanced quality for land-based solar cells / I.M. Abdyukhanov et. al. // Metal Science and Heat Treatment. 2000. № 5. P. 246-249.

15. New Methods for the Production of Solar Grade Silicon / Z. Taisheng et. al. // Proceeding of ISES Solar World Congress 2007: Solar Energy and Human Settlement. Beijin, 2007. P. 1174-1179.

16. US patent № 4321246. Polycrystalline silicon production. / K.R. Sarma et. al.; assignee: Motorolla, Inc; appl. № 148093; filed: 09.05.1980; realized: 23.03.1982.

17. Production of Solar Grade (SoG) Silicon by Refining Liquid Metallurgical Grade (MG) Silicon: report (annulal) / Crystal Systems, Inc; Manager: C.P. Khattak. Salem, 1999. 38 p. (№ NREL/SR-520-27593).

18. Silicon processing: from quartz to crystalline silicon solar cells / B.S. Xakalashe, M. Tangstad // Proceeding of Southern African Pyrometallurgy. Johannesburg, 2011. P. 83-100.

19. Горелик С. С., Дашевский М.Я. Материаловедение полупроводников и диэлектриков: Учебник для вузов. М.: МИСиС, 2003. 480 с.

20. Combustion Synthesis of Silicon Nanopowders / Zh. Yermekova et. al. // International Journal of SelfPropagating HighTemperature Synthesis.2010. №. 2, P. 94-101.

21. SHS of Composite Ceramics from Mechanochemically Treated and Thermally Carbonized Si02 Powders / Z. A. Mansurov et. al.

22. International Journal of Self-Propagating High-Temperature Synthesis. 2007. №4. P. 213-217.

23. Глинка H.JI. Общая химия. Д.: Химия, 1985. 702с.

24. Пат. 2000129571/02 Российской Федерации 7С22В 9/20 Н05 7/18, 7/20. Дуговая плавильная печь, электродный модуль и метод плавки / В.Н. Аникеев и др.; заявитель и патентообладатель НИИ ЭМ МГТУ им. Н.Э. Баумана // Бюллетень изобретений. 2000. №9.

25. Бок Р. Методы разложения в аналитической химии. Пер. с англ./ Под ред. А.И. Бусева и Н.В. Трофимова. М.: Химия, 1984. 432 с.

26. Schant M., Boukis N., Dinjus E. Corrosion of alumina ceramics in acidic aqueous solutions at high temperatures and pressures // Journal of Materials Science 2000. № 35. P. 6251 6258.

27. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Под ред. В.Е. Фортова. М.: Наука МАИК Наука/Интерпериодика. Вводный том. Книга III, 576 с.

28. Elwell D., Rao G.M. Electrolytic production of silicon // Journal of Applied Electrochemistry. 1988. № 18. P. 15-22.

29. Пат. 2367600 Российской Федерации МПК С 01 В 33/023. Способ получения кремния высокой чистоты / В.Д. Афанасьев и др.; заявитель и патентообладатель Грибов Б.Г. // Бюллетень изобретений. 2001. №22.

30. Юхимчук С.А., Шинка В.П. Плазменное восстановление оксидов кремния водородом и природным газом // Плазменные процессы в металлургии и технологии неорганических материалов: Тезисы докладов Всесоюзного совещания. М., 1976. С.8.

31. Исследование процесса восстановления монооксида кремния в плазме дугового разряда / М.Б. Бибиков и др. // ХВЭ. 2010. № 44. С. 60-64.

32. Preparation of solar grade silicon from optical fiber wastes with thermal plasmas / W. Ma et. al. // Solar Energy Materials and Solar Cells. 2004. № 81. P. 477-483.

33. Трусов Б.Г. Моделирование химических и фазовых равновесий при высоких температурах (ACTPA-4/pc). М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1994. 50 с.

34. Нигматулин Р.И. Динамика многофазных сред. М.: Наука, 1987. Ч. 1. 484 с.-14844. Вараксин А.Ю. Турбулентные течения газа с твёрдыми частицами. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. 192с.

35. Ferguson F.T., Nuth J.A. Vapor Pressure of Silicon Monoxide // J. Chem. Eng. Data. 2008. № 53. P. 2824-2832.

36. Vaporization process of Si02 particles for slurry injection in inductively coupled plasma atomic emission spectrometry / H. B. Lim et. al. // J. Anal. At. Spectrom. 2002. № 17. P. 109-114.

37. Таблицы физических величин: Справочник / Под ред. И.К. Кикоина. М.: Атомиздат, 1976. 1008 с.

38. Silicon monoxide: Электронный ресурс. URL: http://en.wikipedia.org/wiki/Siliconmonoxide (дата обращения: 16.11.2011).

39. Зельдович Я.Б., Райзер Ю.П. Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений. М.: Наука, 1966. 688 с.

40. Кузнецов Н.М. Кинетика мономолекулярных реакций. М.: Наука, 1982. 205 с.

41. Фукс Н.А. Испарение и рост капель. М.: Изд-во АН СССР, 1958. 94 с.

42. Lee Y. C., Chyou Y. P., Pfender E. Particle Dynamics and Particle Heat and MassTransfer in Thermal Plasmas. Part II. Particle Heat and Mass Transfer in Thermal Plasmas // Plasma Chemistry and Plasma Processing. 1985. № 4. P. 391-414.

43. Pfender E., Lee Y. C. Particle Dynamics and Particle Heat and MassTransfer in Thermal Plasmas. Part I. The Motion of a Single Particle without Thermal Effects // Plasma Chemistry and Plasma Processing. 1985. № 3. P. 211 -237.

44. Menter F.R. Two-Equation Eddy-Viscosity Turbulence Models for Engineering Applications // AIAA Journal. 1994. № 8. P. 1598-1605.

45. User Guide. HELP ANSYS CFX Version 12.1 Электронный ресурс. ANSYS, Inc. 2010. 1 электрон, опт. диск (CD-ROM).

46. Huang P. C., Heberlein J. and Pfender E. A Two-Fluid Model of Turbulence for a Thermal Plasma Jet // Plasma Chemistry and Plasma Processing. 1995. №. 1. P. 25 46.

47. Goortani B.M., Mendoza N. and Proulx P. Synthesis of Si02 Nanoparticles in RF Plasma Reactors: Effect of Feed Rate and Quench Gas Injection

48. Излучательные свойства твёрдых материалов. Справочник / Под общей ред. А.Е. Шейдлина. М.: Энергия, 1974. 473 с.

49. Воздействие концентрированных потоков энергии на материалы / Под ред. Н.Н. Рыкалина. М.: Наука, 1985. 125 с.

50. Патанкар С. Численные методы решения задач теплообмена и динамики жидкости. М.: Энергоатомиздат, 1984. 152 с.

51. Пейре Э., Тейлор Т. Вычислительные методы в механике жидкости. Л.: Гидрометеоиздат, 1986. 160 с.

52. Химия горения / У. Гардинер и др.. М.: Мир, 1988. 464 с.

53. Evaluated kinetic data for combustion modeling / D.L. Baulch et. al. // J. Phys. Chem. Ref. Data. 1992. №. 21. P. 411 429.

54. Cohen, N., Westberg, K.R. Chemical kinetic data sheets for high-temperature chemical reactions // J. Phys. Chem. Ref. Data. 1983. № 12. P. 531 590.

55. Millar T.J. Silicon chemistry in dense clouds // Astrophysics and Space Science. 1980. № 72. P. 509-517.

56. Sieck L.W., Herron Jh. Т., Green D.S. Chemical Kinetics Database and Predictive Schemes for Humid Air Plasma Chemistry. Part I: Positive Ion-Molecule Reactions // Plasma Chemistry and Plasma Processing. 2000. № 2. P. 235-258.

57. Herron Jh. Т., Green D.S. Chemical Kinetics Database and Predictive Schemes for Humid Air Plasma Chemistry. Part II: Neutral Species Reactions // Plasma Chemistry and Plasma Processing. 2001. № 3. P. 459 -481.

58. Troe J. Predictive possibilities of unimolecular rate theory // J. Phys. Chem. 1979. № 83. P. 114-126.

59. Troe J., Theory of thermal unimolecular reactions at low pressures. II. Strong collision rate constants. Applications // The Journal of Chemical Physics. 1977. № 11. P. 4758-4775.

60. Кондратьев B.H., Никитин E.E. Кинетика и механизм газофазных реакций. М.: Наука, 1974. 558 е.

61. Hill C.G. An Introduction to Chemical Engineering and Reactor Design. NY: Wiley, 1977. 586 p.

62. Райзер Ю.П. Физика газового разряда: Учебное руководство. М.: Наука, 592 с.

63. Ковба Л.М., Трунов В.К. Рентгенофазовый анализ; изд. второе, дополненное и переработанное. М.: МГУ, 1976. 184 с.

64. Scanning electron microscopy and X-ray Microanalysis / J. Goldstein et. al.. NY: Kluwer Academic / Plenum Publesher, 2009. 677 p.

65. Baranov V.I., Tanner S. D. A dynamic reaction cell for inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-DRC-MS) Part 1. The rf-field energy contribution in thermodynamics of ion-molecule reactions // J. Anal. At. Spectrom. 1999. № 14. P. 1133-1142.

66. Лазерный дифракционный анализ: электронный ресурс. URL: http://www.ism.ac.ru/struct/sytschev/exp lasr.php (дата обращения: 16.11.2011).

67. Грановский В.Л. Электрический ток в газе. Установившийся ток М.: Наука, 1971.527 с.

68. Основы расчёта плазмотронов линейной схема / Под ред. М.Ф. Жукова. Новосибирск: ИТФ СО АН СССР, 1979. 146 с.

69. Энергия разрыва химических связей. Потенциалы ионизации и сродство / Л.В. Гурвич и др.. М.: Наука, 1974. 351 с.-15387. Ferzinger J.H., Peric M. Computation Methods for Fluid Dynamics. New

70. York: Springer, 2002. 431 p.