Пирографитовые сеточные узлы электровакуумных приборов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.02, кандидат технических наук Трофимова, Оксана Александровна

• Трофимова, Оксана Александровна
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Трофимова, Оксана Александровна

ВВЕДЕНИЕ.

Глава 1. Материалы, применяемые для изготовления сеток КСУ, и методы их обработки.

1.1 Сетки КСУ, их роль в ЭВП СВЧ диапазона.

1.1.1 Металлические материалы для сеток

ЭВП СВЧ диапазона. Покрытия сеток ЭВП.

1.2 Получение сеток из пирографита.

1.3 Пирографит и его свойства.

1.4 Процессы лазерной резки анизотропных материалов.

1.4.1 Взаимодействие лазерного излучения с конденсированными средами. Влияние поверхностных характеристик материала на процесс формообразования отверстия при поглощении ЛИ.

1.4.2 Изменение глубины и диаметра единичных отверстий в анизотропных материалах при поглощении ЛИ.

Формообразование реза.

1.5 Оборудование, используемое для лазерной резки.

1.6 Выводы.

1.7 Задачи исследований.

Глава 2. Теоретические исследования процесса взаимодействия лазерного излучения с пирографитом.

2.1 Моделирование влияния основных технологических параметров на процесс резки анизотропных материалов.

2.1.1 Механизм образования неровностей края реза.

2.1.2 Сглаживание неровностей края реза.

2.1.3 Процессы, приводящие к разрушающим напряжениям в анизотропных материалах.

2.1.4 Минимизация процессов приводящих к напряжениям в анизотропных материалах.

2.3 Выводы.

Глава 3. Экспериментальные исследования процессов лазерной резки пирографита.

3.1 Материалы, используемые для лазерной резки.

3.2 Лазерно-технологическое оборудование, используемое для лазерной резки сеток.

3.3 Контроль основных параметров формообразования единичного отверстия.

3.4 Контроль основных параметров формообразования реза при наложении единичных отверстий.

3.5 Рентгеноструктурный анализ изменения материала в зоне действия лазерного излучения.

3.6 Выводы.

Глава 4. Разработка оборудования и технологии лазерной резки сеток ЭВП. Метод крепления сетки в КСУ.

4.1 Оптимизация параметров оборудования для лазерной резки сеток ЭВП.

4.2 Разработка технологического процесса лазерной резки сеток ЭВП.

4.3 Метод крепления сетки в КСУ.

4.4 Внедрение результатов в производство.

4.5 Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Пирографитовые сеточные узлы электровакуумных приборов»

Актуальность проблемы. Электровакуумные приборы (ЭВП) различных типов остаются одним из основных видов продукции электронной промышленности, несмотря на то, что в различных отраслях техники все более широкое применение находят твердотельные электронные приборы. В ряде изделий промышленной и бытовой техники ЭВП не имеют конкурентов, поэтому в последние годы наметилась тенденция существенного увеличения выпуска ряда типов ЭВП и в первую очередь средних и мощных генераторных ламп и СВЧ-приборов.

Разработка современных СВЧ усилителей с предельными выходными параметрами определяется, в первую очередь, качеством изготовления электронно-оптических систем (ЭОС).

Сетки и управляющие электроды различных типов приборов предназначены для управления электронным потоком. Материал сеток должен обладать высокой температурой плавления, высокой стойкостью к автоэлектронной эмиссии, катодному распылению и ионной бомбардировке. Чаще других металлов применяют гафний, молибден, вольфрам, медь, никель, сплавы этих металлов. Недостатком их при работе, например, в высоковольтных приборах, является низкая теплопроводность, приводящая к перегреву электродов и их деформации.

В приборах сантиметрового диапазона длин волн с уровнем средней выходной мощности более 70 Вт для управления током пучка широкое распространение получили пушки с токоперехватывающими и «теневыми» сетками (В.И. Шестеркин, Б.С. Правдин, Н.И. Григорьев, С.Н. Хотяинцев, М.В. Дере-новский, С.М. Дьяченко). Однако, как показали экспериментальные исследования (В.И. Шестеркин, Б.С. Правдин, Н.И. Григорьев, D. Demi, G. Lippert, W. Schwartz (Германия), T.B. Elfe, O.G. Koppins, R.R. Willis (США)), электроны в пучке, сформированном пушкой с «теневой» сеткой, имеют большой разброс по углам наклона электронных траекторий к оси пушки. Это связано с тем, что края перемычек теневой сетки вносят возмущения в электронный поток.

Для уменьшения возмущающего действия перемычек «теневой» сетки на структуру электронного потока необходимо уменьшать толщину перемычек «теневой» сетки. Однако уменьшение толщины перемычек «теневой» сетки ухудшает механические свойства и теплоотвод последней.

В конце 60 - начале 70 годов французская фирма "Thomson - CSF" предложила для изготовления электродов электронных ламп, в частности сеток мощных триодов, использовать пирографит. В настоящее время пока нет сведений об использовании его в качестве материала сеток в ЛБВО и клистронах. Это связано с более сложной технологией изготовления мелкоструктурных сеток с высокой прозрачностью 90 - 95 %).

Начало исследований воздействия лазерного излучения на углеродные пленки в Саратове началось в 1983 - 1985 гг. (в работах JI.A. Сурменко, Ю.Д. Самаркина рассмотрено воздействие непрерывного лазерного излучения на углеродные пленки) [1,2].

В 2000 г. в НПФ «Прибор-Т» г. Саратов исследовалось воздействие лазерного излучения на пирографит с целью изготовления сеточных структур [3].

В 2004 г. в ФГУП «НПП «Исток» предложили изготовление сеток из пи-рографита с использованием лазерного излучения лазера на парах меди («Кара-велла-1»), при этом использовался узкий диапазон высокочастотной, коротко-импульсной обработки [4].

Поставлена задача разработки технологического процесса изготовления сеток из пирографита методом лазерной обработки, т.к. в открытой печати публикаций на эту тему не было.

Проводилось исследование с возможностью переноса технологии на любой источник лазерного излучения, т.к. процесс рассматривался в терминах поглощенной плотности мощности излучения.

В данной работе для решения вопроса изготовления мелкоструктурных сеток для ЛБВ, ЛБВО, клистронов и клистродов с низкими термо- и вторичноэмиссионными свойствами, предлагается изготавливать сетки этих приборов из пирографита, с использованием широкой шкалы значений длительности импульса лазерного излучения (от не до мс).

Работа выполнялась в соответствии с Государственной программой развития вооружения, специальной и военной техники на 2001-2010 годы (утверждена Президентом РФ 23 января 2002г.), с программой совместных исследований и разработок ФГУПП «НПП «Контакт» и СГТУ (2003г.), с программой «Внедрение лазерного технологического процесса изготовления сферических управляющих сеток из пирографита электронно-оптических систем СВЧ-усилителей» (2007г.) (работа удостоена серебряной медали на II Саратовском салоне изобретений, инноваций, инвестиций).

Целью работы является разработка теоретических обоснований процессов воздействия лазерного излучения на пирографит, создание новых методов (технологического процесса) и оборудования для изготовления мелкоструктурных сферических сеток из пирографита на основе локального формирования структуры сеток импульсным лазерным излучением.

Для достижения этой цели поставлены следующие задачи:

1. Определить особенности механизма локального разрушения пирографита импульсным лазерным излучением;

2. Провести теоретические расчеты возникающих температурных полей и экспериментально определить термоупругие напряжения в пирографите при воздействии сфокусированного в пятно лазерного излучения;

3. Провести экспериментальные исследования процессов прошивки отверстий и резки пирографита импульсным излучением для различных плотностей мощности и частоты следования импульсов лазерного излучения;

4. Разработать технологические режимы и провести оптимизацию процессов импульсной лазерной резки пирографита;

5. Изготовить мелкоструктурную сферическую сетку ;

6. Внедрить в производство результаты исследований.

Методы и средства исследований. При выполнении работы использованы научные основы квантовой электроники, оптики, вакуумной электроники и электроники СВЧ, основные положения теплопередачи. Использована стандартная аппаратура для воздействия на пирографит лазерного излучения и исследования материала (лазерные технологические установки на базе «Квант-15», «4р222ф2», «ЛТИ-502», металлографические микроскопы NU(Carl Zeiss), Биолам-М и ММР-2Р, рентгеновский аппарат для структурного анализа типа УРС-50И). Обработка результатов на компьютере класса Pentium-4 выполнена с использованием программного пакета инженерных расчетов Mathcad 11 Enterprise Edition.

Научные положения, выносимые на защиту.

1. При лазерной обработке пирографита оптимизация режимов проводится по интенсивности лазерного излучения с учетом многоимпульсного характера обработки (МИО), при котором лазерная обработка проводится с минимальной длительностью и максимально возможной интенсивностью лазерного излучения, что приводит к превалированию процесса испарения материала над процессами модификации материала.

2. При воздействии на материал лазерным излучением, сфокусированным в пятно диаметром от 50 до 300 мкм, возникают внутренние напряжения, проявляющиеся в виде концентрических периодических колец относительно центра сосредоточенности пучка лазерного излучения. Значение внутренних остаточных напряжений необходимо снижать, оптимизируя режим лазерной обработки.

3. Зависимость количества колец напряжения и их ширины от длительности импульса лазерного излучения носит пороговый характер: при уменьшении длительности импульса менее 120 не при плотности мощности выбранного

6 7 2 диапазона 10 - 10 Вт/см ширина колец резко снижается, количество уменьшается до нуля.

4. Технологический режим обработки может быть оптимизирован с помощью критерия - —~— , между параметрами лазерного излучения (частотой следования / и длительностью импульсов г лазерного излучения, диаметром пятна d сфокусированного лазерного излучения) и толщиной заготовки, который выбирают из соотношения

7-Ю"5 <К< 12-Ю"5.

Научная новизна работы:

• показано экспериментально методом оптической микроскопии в поляризованном свете наличие колец напряжений концентричных отверстию, прошитому лазерным излучением в пирографите и установлено отличие структуры материала в кольцах от основного материала;

• выявлено методами оптической микроскопии и рентгеноструктурного анализа наличие периодических зон напряжения вокруг отверстий, прошитых лазерным излучением, и определено количество, ширина и расстояние колец от центра отверстия;

• установлено для всех значений плотности мощности действующего излучения при совместном повышении энергии и длительности импульса излучения: увеличение радиуса последовательных колец, конденсация сажи на стороне противоположной падающему излучению образцов;

• обнаружено уменьшение количества кольцевых зон напряжения и сужение их ширины при уменьшении длительности импульса лазерного излучения

6 7 2 менее 120 не при плотности мощности выбранного диапазона 10-10 Вт/см ;

• даны рекомендации по выбору технологических режимов лазерной резки пи-рографита.

Практическая значимость. На основании проведенных исследований разработаны технологические процессы для создания сферических сеток из пиро-графита. Предложенные сетки позволят улучшить геометрические характеристики потока электронов, создать высококачественные мощные ЛБВ с сеточным управлением и с высокими тактико-техническими характеристиками. Результаты теоретических и экспериментальных исследований могут быть внедрены при изготовлении сеток из пирографита любой конфигурации и сложности и применены к вырезке сеток лазерным излучением из любого другого материала. Разработанный технологический процесс позволяет снизить затраты на изготовление единичного изделия в 10 раз. Практическая значимость и новизна работы подтверждается принятой и рассмотренной заявкой на патент РФ.

Внедрение результатов работы.

Изготовлен сеточный узел из пирографита марки УПВ-1 методом лазерной обработки. Технологический процесс лазерной резки пирографита внедрен в НПФ «Прибор-Т» СГТУ при выполнении программы «Внедрение лазерного технологического процесса изготовления сферических управляющих сеток из пирографита электронно-оптических систем СВЧ-усилителей» (работа удостоена серебряной медали на II Саратовском салоне изобретений, инноваций, инвестиций).

Материалы исследований внедрены в учебный процесс на кафедре «Электронное машиностроение и сварка» Саратовского государственного технического университета в виде лабораторных работ в 2006г.

Апробация работы. Материалы диссертационной работы доложены и обсуждены на международной научно-технической конференции "Актуальные проблемы электронного приборостроения" (Саратов, 2004г., 2006г.); на Первой международной электронной научно-технической конференции «Компьютерные технологии в соединении материалов» 2004 - 2005 (Тула, 2005г); на Второй международной конференции the Second International Conference «Laser Technology in Welding and Materials Processing» (Киев, 2005); на третьем Самарском региональном конкурсе-конференции научных работ студентов и молодых исследователей по оптике и лазерной физике (Самара, 2005г); на XII международной научно-практической конференции the 12th International Scientific and Practical Conference of Students, Post-graduates and Young Scientists «Modern technique and technologies МТТ'2006» (Томск, 2006г.); на XIII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника» (Сочи, 2006г.); на 5-ой

Всероссийской с международным участием научно-технической конференции «Быстрозакаленные материалы и покрытия» (Москва, 2006г.); на научно-технической конференции «Электроника и вакуумная техника. Приборы и устройства. Технология. Материалы» (Саратов, 2007г.).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 9 работ (3 статьи в журналах рекомендованных ВАК, 6 статей в научных сборниках), подана и рассмотрена заявка на патент РФ № 2007117999 приоритет от 14.05.2007г.

Заключение диссертации по теме «Вакуумная и плазменная электроника», Трофимова, Оксана Александровна

4.5. Выводы

1. Для изготовления сферической сетки с малой стрелой прогиба можно использовать двухкоординатную систему. Для этого провели расчет афокаль-ной насадки и цилиндрической трубки фокусируемого излучения.

2. Рассчитали значение длины и диаметр световой трубки для работы в двухкоординатной системе. Оптимальная длительность импульса лазерного излучения при воздействии на пирографит - 70 - 12010'9с, что соответствует параметрам установки на базе «ЛТИ-502». Для получения сферической сетки со стрелой прогиба до 2 мм необходимо использовать диафрагму 2,5 мм, для получения световой трубки 2 мм и диаметра пятна излучения <0,1 мм. Достижимое значение длины световой трубки составляет до 5 мм.

3. Провели расчеты температурных ограничений частоты следования импульсов при прошивке отверстий. При воздействии на пирографит лазерного излучения с частотой следования импульсов превышающей предельную, произойдет накопление температурных напряжений в материале и образование дефектной зоны. Для предотвращения этого необходимо использовать частоту меньше предельной частоты следования импульсов лазерного излучения.

4. Определены оптимальные параметры лазерной резки пирографита. Технологические режимы оптимизируются по соотношению частоты следования и длительности импульсов лазерного излучения, диаметра пятна сфокусированного лазерного излучения, с учетом толщины и формы заготовки. При f-r-d этом критерий оптимизации А ~ ^ между оптимизируемыми параметрами и толщиной заготовки выбирают из соотношения 7-10~3 <К< 12-10~5.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

На основании комплексных теоретических и экспериментальных исследований решена актуальная научная задача, имеющая важное народнохозяйственное значение и заключающаяся в разработке технологического процесса для создания сферических сеток из пирографита, которые позволят улучшить геометрические характеристики потока электронов, создать высококачественные мощные ЛБВ с сеточным управлением и с высокими тактико-техническими характеристиками.

1. Изготовлены мелкоструктурные сферические сетки из пирографита для электровакуумных приборов с сеточным управлением методом лазерной обработки.

2. Установлено, что лазерную резку пирографита необходимо проводить в многоимпульсном режиме, интенсивность лазерного излучения 10б- 107 л

Вт/см , длительность импульса 10 - 120 не, что приводит к превалированию процесса испарения материала над процессами модификации материала, позволяющего получить рез пирографита с минимальными значениями внутренних остаточных напряжений.

3 . Обнаружено методом оптической микроскопии в поляризованном свете, что лазерная обработка пирографита сопровождается возникновением колец напряжений, концентричных обработанному отверстию.

4. Выявлено: для всех значений плотности мощности падающего излучения при совместном повышении энергии и длительности импульса излучения происходит увеличение радиуса последовательных колец, конденсация сажи на стороне образцов, противоположной падающему излучению, при уменьшении длительности импульса лазерного излучения менее 120 не при плотно

6 7 2 сти мощности выбранного диапазона - 10 - 10 Вт/см - происходит уменьшение количества колец и сужение их ширины.

5. Установлены оптимальные режимы лазерной обработки пирограf-T-d фита на основании предложенного критерия оптимизации К = —-— (f И частота следования, г - длительность импульсов лазерного излучения, d -диаметр пятна сфокусированного лазерного излучения, h - толщина заготовки), который соответствует диапазону значений 710'5 <К< 1210'5 (заявка на патент РФ № 2007117999 приоритет от 14.05.2007 г.).

6. Рекомендации по выбору технологических режимов лазерного излучения внедрены в НПФ «Прибор-Т» СГТУ.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Трофимова, Оксана Александровна, 2007 год

1. Доманов М.С. Применение лазера на парах меди для прецизионной обработки / М.С. Доманов, Н.А. Лябин, А.Д. Чурсин, М.А. Казарян // Лазер Информ, №22 (301), ноябрь 2004. - С. 6 - 10.

2. Попов В. XXI век. Электровакуумные лампы? Жизнь продолжается, господа / В. Попов, Н. Ветров, В. Клевцов, Б.Павлов // Электронные компоненты. №3 - 2001,- С. 19 - 22.

3. Козловский М. Современное состояние техники радиопередающих устройств для эфирного телевидения и стереовещания. / М. Козловский // История телевидения. -№10. 2001. - С. 25 - 28.

4. Григорьев Н.И. Электронно-оптические системы с сеточным управлением: Обзоры по электронной технике / Н.И. Григорьев, Б.С. Правдин, В.И. Шестеркин // Сер.1, Электроника СВЧ. М.: ЦНИИ «Электроника», 1987. - Вып.7 (1264). - 71 с.

5. Davis Р.Т. ЕСМ requirements spur development of dual mode TWTs / P.T. Davis//Microwave J. -Vol.10, №10. 1971. - P. 11 - 14.

6. ЛБВ с низковольтным управлением электронным потоком: Обзоры по электронной технике. Сер.1, Электроника СВЧ / А.Д. Ессин, В.М. Курицын, И.А. Шаталин и др. М.: ЦНИИ «Электроника», 1976. - Вып.6 (375). - 66 с.

7. Пат. 2535467 ФРГ, МКИ HOI j 19/04 Verfahren zum Herstellen einer Kathodengitteranordnung fur Leistungsrohren und nach diesem verfahren hergestellte Rohre /D. Demi, G. Lippert, W. Schwarz (ФРГ). №P2535467.0; Заявлено 08.08.75; Опубл. 12.02.77.

8. Пат. 3818260 США, МКИ Н01 j 1/46. Electron gun with masked cathode and non-intercepting control grid / T.B. Elfe, O.G. Koppins, R.R. Willis (США). -№338114; Заявлено 05.03.73; Опубл. 18.06.74.

9. Бабанов Ж.Н. Методы снижения вторичной электронной эмиссии с электродов СВЧ приборов / Ж.Н. Бабанов, Г.Н. Купцов // Обзоры поэлектронной технике. Сер. 1, Электроника СВЧ. М.: ЦНИИ «Электроника», 1986. -Вып.1 (1163). -25с.

10. К вопросу о подавлении термоэлектронной эмиссии с сеток электровакуумных приборов / Ж.Н. Бабанов, В.И. Козлов, В.Б. Авдеев и др. // Электронная техника. Сер.1, Электроника СВЧ. 1980. - Вып.8. -С. 14-17.

11. Цветков В.А. Некоторые особенности применения сеток в триодных пушках для мощных ЛБВ / В.А. Цветков // Техническая электроника и электродинамика: Межвузовский научный сборник. Вып.1. - Саратов: Политех, ин-т. 1976. - С. 13-19.

12. Кузьмина В.Г. Мощные сеточные лампы в США и Западной Европе / В.Г. Кузьмина, И.А. Словохотнова, Г.Н. Гутник // Зарубежная радиоэлектроника-№10 1978 - С. 108 - 111.

13. Жерля П. Новые технические решения при производстве мощных ламп с сеточным управлением и их влияние на работу телевизионных и УВЧ-передатчиков большой мощности / П. Жерля, Ш. Кальфон // ТИИЭР-Т.70, №11 1982 - С.104-116.

14. Forman R. Secondary electron emission properties of conducting surfaces for use in multistage depressed collectors / R. Forman // IEE Trans, on Electron Devices. Vol.ED - 25, №1 - 1978,- P. 69-70.

15. Curren A.M. TWT efficiency enhancement with textured carbon surfaces on copper MDC electrodes / A.M. Curren, R. Ramins // Int. Electron Devices Meet., Washington, D.C., 1985. -P.361-363.

16. Schneider P. Pyrolytic graphite layers for power-tube systems / P. Schneider,

17. K. Balik // Tesla Electronics. Vol.12, № 3 - 1979. - P. 85-87. 25.Smith W.H. Pyrolytic graphite / W.H. Smith, D.H. Leeds // Modern materials.- №7- 1970.-P. 139.

18. Патент 1444519 Великобритания, МКИ с 23 с 11/10. Improvements in or valating to grid electrodes / W.D.R. Rivers, D.M. Wilcox (Великобритания). -№ 34307/74; Заявлено 03.08.74; Опубл. 04.08.76.

19. A.C. 199103 ЧССР, МКИ Н01 j 1/48. Zpusob pokryru korovych soucastib vysoke teplotetani, zviaste z molybdenum, wolframu a tantalum pyroliticum graphitem / P. Hix, P. Shneider, K. Balick (ЧССР). № 8054-77; Заявлено 02.12.77; Опубл. 30.09.82.

20. A.C. 186349 ЧССР, МКИ Н01 j 1/48. Zpuzob pokryvani mrizek / P. Shneider, M. Brabenec (ЧССР). №2138-77; Заявлено 31.03.77; Опубл. 15.11.80.

21. A.C. 224267 ЧССР, МКИ Н01 j 1/46. Mrizka pro vykonove electronky / S. Zizka, K. Balik (ЧССР). № 9295-80; Заявлено 24.12.80; Опубл. 15.12.85.

22. Gerlach P. Neue Forsritte bei Leistungs rohren fur Grossleistungssender / P. Gerlach // Rundfunktechn. Mitteilungen. №4. - 1977. - S. 158 - 161.

23. Gerlach P. Eine neue koaxiale Leistungs tetrodenfamilie fur den VHF und UHF Bereich mit Pyrobloc - Gittern / P. Gerlach, P. Graf // Fernmelde -Praxis. - Bd.53, №4 - 1976. - S. 171-192.

24. Заявка 2276681 Франция, МКИ H01 j 1/46. La grille pour unetube / G. Pierre, B. Gilles; Thomson-CSF (Франция). № 7422686; Заявлено 28.06.74; Опубл. 23,01.76.

25. Патент 2353131 Франция, МКИ Н01 j 19/38. Electrode, notamenteu forte de grille, pour tubes electronique et son procede de fabrication / G. Pierre (Франция). № P2623828.8; Заявлено 25.05.77; Опубл. 23.12.77.

26. Gulnard P. Tubes electroniques de grande peussance pour le chauffage des plasmas / P. Gulnard, P. Palluel // Revue de Physique Applique. Vol.12, №8.- 1977.-P. 1163-170.

27. Заявка 2623828 ФРГ, МКИ HOI j 19/38. Electrode, insbesondere gitterformige Electrode fur Electronenrohren und Verfahren ZU denen Herstellung / K.I. Lehrsmacher, B.L. Hans, S. Horst (ФРГ). №>P.2623828.8; Заявлено 28.05.76; Опубл. 08.12.77.

28. А.с. 1149329 СССР, МКИ HOI j 19/38. Сетчатый электрод для электронного прибора и способ его изготовления / Ю.С. Сергеев, С.М. Шаталов, В.Г. Вильдгрубе и др. (СССР). № 3237651/18-21; Заявлено 13.02.81; Опубл. 07.04.85.

29. Федоров В.Б. Углерод и его взаимодействие с металлами / В.Б.Федоров, М.Х. Шоршоров, Д.К. Хакимова. М.: Металлургия, 1978. - 208с.

30. Gray B.R. High-power tetrodes with pyrolytic graphite grids in switch tube service / B.R. Gray, S.G. Menees // IEEE Conf. Rec. 14-th Pulse Power Modul. Symp., Los Angeles New York, 1980. - P. 56 - 64.

31. Сотникова E.M. Углеграфитовые материалы и способы их соединения с металлами / Е.М. Сотникова, Н.М. Радзимовская // Обзоры по электронной технике. Сер.7. Технология, организация производства и оборудование. - М.: ЦНИИ «Электроника», 1984. - 63с.

32. Свойства конструкционных материалов на основе углерода: справочник / под ред. к.т.н. В.П. Соседова. М.: Металлургия, 1975. - 336 с.

33. Рыкалин Н.Н. Лазерная обработка материалов / Н.Н. Рыкалин, А.А. Углов, А.Н. Кокора. -М.: Машиностроение, 1975. 296 с.

34. Банас К.М. Лазерная обработка материалов / К.М. Банас, В. Уэбб // ТИИЭР. Т.70, № 6. - 1982. - С.35 - 45.

35. Крылов К.И. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении/ К.И. Крылов, В.Т. Прокопенко, А.С. Митрофанов Л.: Машиностроение, 1978.-88 с.

36. Коэн М.Г. Микрообработка материалов / М.Г. Коэн, Р.А. Каплан, Ю.Г. Артуре // ТИИЭР. Т.70, № 6. - 1982. - С.25-29.

37. Бегунов Б.Н. Теория оптических систем / Б.Н. Бегунов, Н.П. Заказнов. -М.: Машиностроение, 1973. 383 с.

38. Лазеры в технологии / Под редакцией М.Ф.Стельмаха. М.: Энергия, 1975.-216с.

39. Рэди Дж. Действие мощного лазерного излучения: Пер. С англ. / Под ред. С.И.Анисимова М.: Мир, 1974. - 468 с.

40. Топорец А.С. Шероховатость поверхностей / А.С. Топорец // Оптико-механическая промышленность. № 1. - 1979. - С.34-36.

41. Емельянов В.И. Влияние коллективных эффектов на резонанс локального поля при воздействии излучения с шероховатой поверхностью твердого тела / В.И. Емельянов, Е.М. Земсков, В.Н. Семиногов // Поверхность. Физика, химия, механика. № 2. - 1984. - С.38-42.

42. Вивер Л.А. Применение лазеров для размерной обработки и сварки / Л.А. Вивер // В сб. "Применение лазеров" М.: Мир, 1974. - 304 с.

43. Либенсон М.Н. Учет влияния температурной зависимости оптических постоянных металла на характер его нагрева излучением ОКГ / М.Н. Либенсон, Г.С. Романов, Я.А. Имас // ЖТФ. Т.38, № 7. - 1968. - С. 1116-1119.

44. Spirev М. Temperature depedance of absortance in laser damage of metallic mirrors / M. Spirev, E. Loh //J. Appl. Opt. Soc. Amer. 1979. - Vol.69. -P.847 - 858.

45. Wagner R.E. Laser drilling mechanism / R.E. Wagner // J. of Appl/ Phys. -1974. Vol. 45, №10. - P. 4631 - 4637.

46. Длугунович В.А. Измерение отражательной способности диэлектриков / В.А. Длугунович, В.А. Ждановский, В.Н. Снопко // Журнал прикладной спектроскопии. 1975. - Т.23, № 6. - С.969-974.

47. Stegman R.L. Experimental studies of laser supported adsoption waves with 5-ms pulses of 10,6 micron radiation / R.L. Stegman, J.T. Schriempf, L.R. Hottche // J. Appl. Phys. 1973. - Vol.44. - P. 3674-3681.

48. Стельмах М.Ф. Последние достижения в области лазерной технологии / М.Ф. Стельмах // Известия АН СССР. Сер. Физическая. 1980. - Т.44, №8.-С. 1673 - 1676.

49. Алейников B.C. Лазерный технологический модуль на базе излучателя на углекислом газе импульсно-периодического действия / В.С.Алейников,

50. A.Н.Ануфриев, А.Е.Баланин и др. // Электронная промышленность. -1981.-Вып. 5-6.-С. 75-77.

51. Зеленев Н.Ф. Размерная обработка изделий электронной техники / Н.Ф. Зеленев, Е.М. Гусев, А.И. Тимофеев // Электронная промышленность. -1981.-Вып. 5-6.-С. 116-117.

52. Рекламный проспект фирмы "Control Laser Corp.".

53. Установка для лазерной сварки, газолазерной резки и прошивки отверстий "Квант-15" Информация ВДНХ СССР. ЦНИИ "Электроника", 1983. - 2 с.

54. Светолучевой станок с программным управлением 4Р222-Ф2: Проспект / НИИМАШ. М.,Металлообработка-84, 1984. - 4 с.

55. Макухин В.Н. Лазеры в микроэлектронной технологии / В.Н. Макухин,

56. B.А. Савельев // Зарубежная электроника. 1979. - № 3. - С. 75 - 96.

57. Технологические лазеры: справочник, Т. I, II. Под ред. Г.А. Абильсиитова. - М.: Машиностроение, 1991. - 432 с.

58. Забелин A.M. Лазерные технологии машиностроения / A.M. Забелин, Оришич A.M., A.M. Чирков Новосибирск: Новосиб. гос. ун-т. - 2004. -142 с.

59. Золотарев В.М. Оптические постоянные природных и технических сред /

60. B.М. Золотарев, В.Н. Морозов, Е.В. Смирнова Л.: Химия, Ленингр.отд., 1984.-216 с.

61. Новацкий В.И. Вопросы термоупругости / В.И. Новацкий М.: Изд-во АН СССР.- 1962.-364 с.

62. Вейко В.П. Лазерная обработка / В.П. Вейко, М.Н. Либенсон Л.: Лениздат, 1973. - 192 с.

63. Либенсон М.Н. Методы повышения точности лазерной размерной обработки / М.Н. Либенсон, Г.П. Суслов, А.Н. Кокора и др. Л. ЛДНТП,1972.-36 с.

64. Kobayashi A. Drilling of nonmetalls with rubin laser / A. Kobayashi // Bull. Japan. Soc. of Pres. Eng. 1972. - Vol QE-8, №7. - P. 492.

65. Dabby E.W. High-intensity laser-induced expansion of solid materials and correlation with theory / E.W. Dabby, U.C. Pack //IEE/OSA Conference on Laser Engineering and Application, Digest of Technical Papers. New York,1973.-P. 31.

66. Vissez A. Laserstrahlung als Wernzeug ftir die Fertigung / A. Vissez //VDI-7 -1975. -B.117, №11. S. 510-516.

67. Савинич B.C. Влияние формы теплового импульса на испарение пластины / B.C. Савинич // Физика и химия обработки материалов. -1980. № 5. - С.7 -11.

68. Коваленко B.C. Качество обработки микропазов импульсным излучением лазеров / B.C. Коваленко, Л.Ф. Головко, В.В. Романенко // Технология и организация производства. 1979. - № 1. - С.33 - 35.

69. Чеботаревский Ю.В. Об одной задаче теплопроводности для круглой пластинки с импульсными внутренними источниками тепла / Ю.В. Чеботаревский, О.А. Ягубова // Прикладная теория упругости: Межвуз. научн.сб. / СПИ Саратов, 1980. - С. 122 - 127.

70. Чеботаревский Ю.В. Температурное поле в круглой пластинке с линейными внутренними источниками тепла /Ю.В. Чеботаревский, О.А. Ягубова // Механика деформируемых сред: Межвуз. научн.сб. / СГУ -Саратов, 1983. Вып.8. - С. 125 - 132.

71. Ягубова О.А. Температурные поля и напряженно-деформированное состояние круглых пластинок при локальном нагреве импульсными внутренними источниками тепла: дис. . к-та техн. наук: 01.02.03 / Ягубова Ольга Алексеевна. Саратов, 1983.- 210 с.

72. Карслоу Г. Теплопроводность твердых тел / Г.Карслоу, Д. Егер / Перевод под ред. А. А. Померанцева, М.: Наука - 1964 - 487с.

73. Лыков А.В. Теория теплопроводности / А.В. Лыков, М.: Высшая школа, 1967 - 593с.

74. Миркин Л.И. Физические основы обработки материалов лучами лазера / Л.И. Миркин, М.: Издат-во Московского университета, 1975. - 383с.

75. Лехницкий С.Г. Анизотропные пластинки / С.Г. Лехницкий, М.: Гостехиздат, 1957.-463с.

76. Трофимова O.A. Формирование отверстий в пирографите излучением лазера на АИГ / О.А. Трофимова, Т.Н. Соколова, Г.В. Конюшков // Вестник СГТУ, №3(14), Выпуск 1, август: Изд-во СГТУ, 2006г., С. 121 -128.

77. Углов А.А. Теплофизические и гидродинамические явления в процессах лазерной обработки металлов / А.А. Углов // Физика и химия обработки материалов. 1974. - № 5. - С. 7 - 13.

78. Янушкевич В.А. Критерий возможности образования ударных волн при воздействии лазерного излучения на поверхность поглощающих конденсированных сред / В.А. Янушкевич // Физика и химия обработки материалов. 1975. - № 5. - С.9 - 11.

79. Stegman R.L. Experimental studies of laser supported adsoption waves with 5-ms pulses of 10,6 micron radiation / R.L. Stegman, J.T. Schriempf, L.R. Hottche // J. Appl. Phys. 1973. - Vol.44. - P. 3674 - 3681.

80. Спитцер Л. Физика полностью ионизированного газа / Л. Спитцер, М.: Мир, 1965.-216 с.

81. Вейко В.П. Обработка материалов излучением оптических квантовых генераторов / В.П. Вейко, М.Н. Либенсон, ЛДНТП, 1969. - 29с.

82. Соколова Т.Н. Сетки электровакуумных приборов СВЧ-диапазона из пирографита и формирование их структуры лазерной размерной обработкой / Т.Н. Соколова, О.А. Трофимова // Вакуумная техника и технология №3, ВТТ, 2006г., С.227 230.

83. Соколова Т.Н. Лазерная сварка в электронной технике: уч.пособие / Т.Н.

84. Соколова, Е.Л. Сурменко, А.В. Конюшин, О.А. Трофимова Саратов: Изд-во СГТУ, 2007. (в печати).

85. Miram G.V. Convergent electron gun with bonded non-intercepting control grid / G.V. Miram, E.L. Lien // Int. Electron Devices Meet. Washington, D.C., 1978., P. 164- 167.

86. Miram G.V. Convergent electron gun with bonded non-intercepting control grid / G.V. Miram, E.L. Lien // Int. Electron Devices Meet. New York, 1979., P. 290-292. ^^

87. Слуцкая В.В. Тонкие пленки в технике СВЧ М: Госэнергоиздат, 1967.

88. Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме М: Госэнергоиздат, 1963.

89. По результатам совместных разработок подана 1 заявка на оформление патента РФ № 2007117999 приоритет от 14.05.2007г.

90. Ведущий электроник, к.ф.-м.н.