Особенности формирования структуры и свойств многоэлементных ионно-плазменных покрытий на основе хромоникелевой стали тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.16.09, кандидат наук Сыздыкова Айгуль Шаяхметовна

• Сыздыкова Айгуль Шаяхметовна
• кандидат наук
• 2020

Оглавление диссертации кандидат наук Сыздыкова Айгуль Шаяхметовна

ВВЕДЕНИЕ

1 ВЫБОР МЕТОДА НАНЕСЕНИЯ И СОСТАВА МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ ПОКРЫТИЙ

1.1 Предпосылки проведения научных исследований

1.2 Анализ существующих методов нанесения ионно-плазменных покрытий

1.3 Анализ составов и свойств применяемых функциональных покрытий

1.4 Особенности нанокристаллических многоэлементных покрытий

1.5 Основные модели формирования плазменных покрытий

1.6 Выводы, постановка цели и задач работы

2 ОБЪЕКТЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ

2.1 Объекты исследования

2.2 Экспериментальное оборудование для нанесения покрытий

2.3 Снижение капельной составляющей при нанесении ионно-плазменных покрытий

2.4 Методы исследования структуры покрытий

2.5 Определение элементного и фазового составов покрытий

2.6 Определение микро- и нанотвердости

2.7 Определение трибологических свойств покрытий

2.8 Испытания на коррозионную стойкость покрытий

2.9 Испытания на жаростойкость покрытий

2.10 Методика определения поверхностной энергии покрытий

Выводы по Главе

3 РОЛЬ ПОВЕРХНОСТНОЙ ЭНЕРГИИ В ФОРМИРОВАНИИ СТРУКТУРЫ И

СВОЙСТВ ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ

3.1 Самоорганизация структуры плазменных покрытий

3.2 Влияние поверхностной энергии на кинетику формирования структуры плазменных покрытий

3.3 Поверхностная энергия исследуемых плазменных покрытий

3.4 Термодинамические модели физических свойств покрытий

Выводы по Главе

4 СТРУКТУРА И СВОЙСТВА МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ ЛЕГИРОВАНИЕМ СТАЛИ 12Х18Н10Т

4.1 Структура и свойства покрытий, легированных титаном

4.2 Структура и свойства покрытий, легированных цирконием

4.3 Структура и свойства покрытий, легированных алюминием

4.4 Влияние технологических параметров на свойства покрытий

4.5 Влияние азотирования на микротвердость покрытий

4.6 Трибологические свойства легированных стальных покрытий

4.7 Практическое использование результатов исследований

Выводы по Главе

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЯ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Особенности формирования структуры и свойств многоэлементных ионно-плазменных покрытий на основе хромоникелевой стали»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность работы. Развитие современного машиностроительного производства связано с применением новых материалов и технологий, позволяющих повысить ресурс работы деталей узлов и механизмов, особенно работающих в экстремальных условиях различных видов износа и высоких температур. Довольно часто значительно повысить надежность и долговечность работы деталей различных машин и инструмента возможно использованием методов изменения химического состава поверхностного слоя деталей, а также его структуры. Формирование поверхностных слоев с элементным, фазовым составом и структурой, которые обеспечивают повышенные эксплуатационные свойства покрытий, является приоритетным направлением материаловедения. Перспективным технологическим решением этой задачи является использование подходов инженерии поверхности (surface engineering), основанных на создании покрытий наноразмерного уровня с использованием методов вакуумного ионно-плазменного напыления. Эти методы пользуются большой популярностью благодаря экологической чистоте производства и высокому качеству получаемых защитных пленок. Такие покрытия позволяют получать конструкции малой массы и высокой износостойкости. Эффект усиливается тем, что вакуумная ионно-плазменная технология практически не изменяет первоначальную конфигурацию детали и не оказывает заметного воздействия на микроструктуру ее материала в объеме вследствие локальности термического воздействия. Это дает возможность при нанесении покрытия сохранить высокую точность детали.

Степень разработанности темы исследования. В области разработки, использования и промышленного применения ионно-плазменных покрытий российскими и зарубежными специалистами проведено большое количество исследований. Большой вклад в разработку покрытий различного назначения внесли видные ученые: Анциферов В.Н., Барвинок В.А., Верхотуров А.Д., Белоцерковский М.А., Богданович В.И., Коротков В.А., Корсунов К.А., Морозкин И.С., Мрочек Ж.А., Панин В.Е., Пантелеенко Ф.И., Петров В.М., Погодаев Л.И., Погребняк

А.Д., Пузряков А.Ф. и др. Современными материалами являются нанокомпозит-ные однослойные покрытия на основе нитридов тугоплавких металлов, обладающих высокими физико-механическими свойствами. В то же время, в однослойном покрытии эксплуатационные характеристики реализуются не полностью. Современные твердые пленки, формируемые распылением в вакууме мишеней из Л1, Si и др. элементов, обладают одновременно высокой твердостью и прочностью. Однако, при этом наблюдаются высокие значения коэффициента динамического трения при контактах с основными материалами, используемыми в машиностроительных узлах. Улучшить низкие антифрикционные характеристики покрытий с одной стороны, повысив при этом стойкость к изнашиванию с другой, можно за счет применения многоэлементных композитных нитридных систем. В связи с этим, в последние годы получила распространение и концепция развития многоэлементных (высокоэнтропийных) покрытий [1, 2]. Выбор металлов для формирования различных типов таких покрытий определяется разной реакционной способностью металлов к образованию нитридов и возможностью растворимости друг в друге. В этом отношении перспективно использование композиции из хромоникелевой стали и таких металлов как Zr и Zn, Л1, часто используемых для улучшения условий трения скольжения. Вместе с тем, процессы структуро- и фазообразования в таких покрытиях, а также диффузионная подвижность атомов, механизмы формирования механических свойств и термическая стабильность существенно отличаются от аналогичных процессов в традиционных покрытиях и требуют проведения дополнительных исследований. Не изученным является и влияние технологических параметров нанесения многоэлементных ионно-плазменных покрытий на их качество.

Большую роль в формировании свойств таких покрытий играет их поверхностная энергия [3]. Однако, оценка поверхностной энергии многоэлементных покрытий и ее связь с их свойствами не изучена. Отсутствие теории таких процессов, недостаточное количество исследовательских работ, выполненных в этом направлении, не позволяет прогнозировать свойства вновь синтезируемых подобных покрытий.

Поэтому исследование многоэлементных (высокоэнтропийных) покрытий и их свойств является актуальной задачей практического материаловедения и промышленного машиностроительного производства.

Вышеизложенное позволяет предполагать повышение физико-механических и эксплуатационных свойств ионно-плазменных покрытий на основе хромонике-левой стали за счет использования многоэлементного легирования.

Для реализации такого процесса необходимо:

- осуществить выбор многоэлементных систем для нанесения ионно-плазменных покрытий;

- проанализировать особенности структурообразования многоэлементных покрытий;

- установить роль поверхностной энергии в формировании свойств таких покрытий;

- исследовать структуру, дюрометрические, трибологические и эксплуатационные свойства выбранных многоэлементных покрытий;

- на основе полученных результатов предложить конкретные составы покрытий и аппробировать их на производстве.

Научная новизна:

1. Показано, что с увеличением поверхностной энергии на границе раздела фаз в схеме образования кластера при формировании покрытия уменьшается скорость диссипации свободной энергии и большая часть подводимой энергии идет на формирование ячеистых наноструктур, обусловливающих повышенную твердость поверхностного слоя.

2. Показано, что столбчатая структура формирования многоэлементных покрытий состоит меньшей частью из кластеров микронных размеров (до 10 мкм) и большей частью из наноразмерных кластеров (до 100 нм).

3. Установлена закономерность, заключающаяся в том, что поверхностная энергия и температура плавления многоэлементных покрытий, полученных в среде аргона выше, чем у покрытий, полученных в среде азота.

4. Выявлена зависимость повышения жаростойкости и коррозионной стойкости с увеличением поверхностной энергии многоэлементных покрытий.

5. Установлено, что формирование многоэлементных покрытий в атмосфере азота обусловливает структурно-фазовый состав с преимущественным содержанием MeN до 95 %, приводящий к существенному повышению микротвердости.

Теоретическая значимость работы

Теоретическая значимость полученных в работе результатов заключается в расширении знаний о природе физических процессов, происходящих при ионно -плазменном напылении многоэлементных покрытий на основе хромоникелевой, стали и развитии представлений о формировании их структуры и свойств.

Практическая значимость работы:

1. Установлены технологические параметры нанесения многоэлементных ионно-плазменных покрытий, обеспечивающие их качественное формирование и увеличение твердости на 30 %.

2. Предложено многоэлементное покрытие с высокой твердостью, полученное при распылении в азоте титанового катода и катода из стали 12Х18Н10Т, внедренное на горно-шахтных предприятиях (ТОО «Центрэнергомеханизация»).

3. Рекомендованы для использования жаростойкие и коррозионностой-кие многоэлементные покрытия систем 12Х18Н10Т+Fe-Al и 12Х18Н10Т+Cu, внедренные на тепловых электростанциях ТОО «Караганда Энергоцентр» и на горно-шахтных предприятиях (завод «Горные машины» АО «Арселор Миттал Темиртау).

На защиту выносятся следующие основные положения:

1. Заключение о роли поверхностной энергии в формировании структуры и свойств многоэлементных покрытий, определяющих их эксплуатационные характеристики.

2. Установленная взаимосвязь твердости, жаростойкости и скорости коррозии многоэлементных покрытий от их поверхностной энергии и температур плавления и рекристаллизации.

3. Результаты исследования физико-механических и эксплуатационных свойств многоэлементных ионно-плазменных покрытий на основе хромоникеле-вой стали.

4. Практические рекомендации по использованию предложенных многоэлементных покрытий для повышения эксплуатационных свойств деталей и механизмов и машин энергетических и горнодобывающих комплексов.

Личный вклад автора

Автор участвовал в решении задач, поставленных в рамках диссертационной работы: выполнение исследований микроструктуры и свойств покрытий; технологических параметров их нанесения; обработка полученных результатов; написание рукописей публикаций; формулировка выводов и положений, выносимых на защиту.

Публикации: по теме диссертации опубликованы 24 печатные работы, из них 5 статей в журналах, включенных в перечень российских рецензируемых научных журналов и изданий для опубликования основных научных результатов диссертаций, рекомендованных ВАК, 7 статей, входящих в международные реферативные базы Scopus и Web of Science.

Степень достоверности полученных результатов обеспечивается корректной постановкой цели и задач исследования, надёжной статистикой экспериментов, использованием комплекса независимых методов анализа с применением сертифицированного современного оборудования, согласованием полученных результатов с литературными данными.

Соответствие диссертационной работы паспорту специальности 15.16.09 - Материаловедение (машиностроение). Содержание работы выполнено в соответствии со следующими разделами паспорта специальности:

Формула специальности: Материаловедение (по отраслям) - область науки и техники, занимающаяся разработкой новых материалов с заданным комплексом свойств путем установления фундаментальных закономерностей влияния состава, структуры, технологии, а также эксплуатационных и других факторов на свойства материалов. Области исследований: п.1. Теоретические и экспериментальные ис-

следования фундаментальных связей состава и структуры материалов с комплексом физико-механических и эксплуатационных свойств с целью обеспечения надежности и долговечности материалов и изделий; п.4 Разработка физико-химических и физико-механических процессов формирования новых материалов, обладающих уникальными функциональными, физико-механическими, эксплуатационными и технологическими свойствами, оптимальной себестоимостью и экологической чистотой.

Апробация результатов

Основные положения и результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались: Международная научно практическая конференция «Техника и технологии в машиностроении», Омск, 25-30 марта 2015 г.; Всероссийская научно-практическая конференция аспирантов и студентов «Инновационные технологии в машиностроении», Пермь, 26-27 мая 2015 г.; Международные Сатпаевские чтения, Алматы, 10 апреля 2015 г.; 9-ая международная конференция «Хаос и структуры в нелинейных системах. Теория и эксперимент», Караганда, 2015 г.; XI Международная научная конференция «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах», Ялта, 31 августа-10 сентября 2015 г.; The 12th International Conference "Gas Discharge Plasmas and Their Applications" (GDP 2015), Томск, 6-11 сентября 2015 г.; XIII международная научная конференция «Физика твердого тела», посвященная 20-летию ЕНУ им. Л.Н. Гумилева, г. Астана, 26-28 апреля 2016 г.; 7-я Межд. Науч.-техн. конф. «Техника и технология нефтехимического и нефтегазового производства», Омск, 24-28 апреля 2017 г.; 10-я Межд. науч. конф. «Хаос и структуры в нелинейных системах. Теория и эксперимент», Алматы, 24-28 апреля 2017 г.; 9-я Межд. научно-тех. конф. «Техника и технология нефтехимического и нефтегазового производства», г. Омск, 26-28 февраля 2019 г, 8-я Межд. научно-тех. конф. «Техника и технологии машиностроения», г. Омск, 22-25 апреля 2019 г.

Список основных работ, опубликованных по теме диссертации

Статьи в журналах, включенных в Перечень рецензируемых научных изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты дис-

сертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание ученой степени доктора наук:

1. Еремин Е.Н., Сыздыкова А.Ш., Юров В.М., Гученко С.А. Исследование многоэлементных ионно-плазменных покрытий, полученных при одновременном распылении катодов в аргоне // Омский научный вестник. 2015. № 2(140). С. 2225.

2. Еремин Е.Н., Сыздыкова А.Ш., Юров В.М. Структура и свойства ионно-плазменных покрытий, полученных при одновременном распылении катодов 12Х18Н10Т и Ti // Омский научный вестник. 2015. № 2(140). С. 26-30.

3. Еремин Е.Н., Сыздыкова А.Ш., Юров В.М., Гученко С.А. Сверхтвердые ионно-плазменные стальные покрытия, легированные титаном // Известия ВУЗов. Физика. 2015. Т. 58. № 9/3. С. 102-106.

4. Юров В.М., Гученко С.А., Лауринас В.Ч., Еремин Е.Н., Сыздыкова А.Ш. Автоволновые процессы и самоорганизация структур при формировании ионно-плазменных покрытий // Известия ВУЗов. Физика. 2015. Т. 58. № 9/3. С. 164-169.

5. Еремин Е.Н., Юров В.М., Лауринас В.Ч., Сыздыкова А.Ш. Влияние технологических параметров нанесения многоэлементных ионно-плазменных покрытий на их качество // Омский научный вестник. 2019. № 4(166). С. 9-13.

В изданиях, индексируемых в базах данных Web of Science/SCOPUS

6. Yurov V.M., Guchenko S.A., Platonova E.S., Syzdykova A.Sh., Lysenko E.N. Multiphase composite coatings: structure and properties // IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering, 81, (2015) 012090.

7. Platonova E.S., Guchenko S.A, Syzdykova A.Sh., Laurinas V.Ch., Yurov V.M., Lysenko E.N., Mylnikova T.S. Effect of ion irradiation on tribological properties of composite coatings // IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering, 81, (2015) 012089.

8. Eremin E.N., Syzdykova A.Sh., Guchenko S.A., Yurov V.M. and Gyngazova M.S. Effect of ion irradiation on the properties multi-element plasma coatings // IOP Conf. Series: Mater. Science and Engineering 110 (2016) 012017.

9. Eremin E.N., Yurov V.M., Platonova Ye.S., Syzdykova A.Sh., Guchenko S.A. Evaluating the corrosion resistance of multi-element metal coatings // AIP Conference Proceedings 1876, 020073 (2017).

10. Сыздыкова А.Ш., Еремин Е.Н., Гученко С. А. Structure and properties of steel coating ligated zirconium // Bulletin of the university of Karaganda-physics. 2015. № 1(77). С. 36-45.

11. Syzdykova A.Sh., Eremin E.N., Guchenko S.A., Yurov V.M. Structure and properties of steel coating ligated zirconium // Bulletin of the university of Karaganda-physics. 2015. № 3(79). С. 32-39.

12. Laurinas V.Ch., Syzdykova A.Sh., Eremin E.N., Guchenko S.A., Yurov V.M. High-temperature strength and corrosion resistance of alloy steel coatings // Bulletin of the university of Karaganda-physics. 2015. № 4 (80). С. 24-30

Объём и структура диссертации: работа состоит из введения, четырех разделов, заключения и списка литературы. Она изложена на 165 страницах, включая 61 рисунок, 47 таблиц и 223 литературные ссылки

1 ВЫБОР МЕТОДА НАНЕСЕНИЯ И СОСТАВА МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ

ПОКРЫТИЙ

1.1 Предпосылки проведения научных исследований

Большинство деталей различного назначения на промышленных предприятиях Казахстана изготавливаются из стали, производимой АО «Арселор Миттал Темиртау», которое является крупнейшим металлургическим предприятием Казахстана.

В таблице 1.1 представлены некоторые марки сталей, производимых АО «Арселор Миттал Темиртау» и детали из них.

Таблица 1.1 - Стали и изделия из них

Марка стали Наименование деталей

5сп Втулки, гайки, болты

20пс Оси, вилки, штуцера, патрубки

45 Валы, шестерни, кулачки

60 Шпиндели, шайбы, пружинные кольца

Однако, многие детали металлургических предприятий, тепловых электростанций, горно-шахтного оборудования и ряда других отраслей промышленности используют высоколегированные стали или специальные сплавы, которые в Казахстане не производятся.

Например, завод «Горные машины» ОАО «Арселор Миттал Темиртау» изготавливает детали очистных и проходческих комбайнов, а также струговых установок. Для их изготовления используют легированные стали: хромокрем-немарганцевые (35ХГСА и др.), хромоникелевые (45ХН и др.). В теплоэнергетике наибольшее распространение получила хромоникелевая сталь марки 12Х18Н10Т аустенитного класса, называемая также нержавеющей сталью,

В пределах Карагандинской области были проведены маркетинговые иссле-

дования этой проблемы и изготовлены опытно-промышленные образцы покрытий на детали и механизмы машин и оборудования. Так, потребность в нанесении упрочняющих и антикоррозионных покрытий на заводе по ремонту горношахтного оборудования ОАО «Арселор Миттал Темиртау» составляет 160 тыс. деталей в год; на заводе «Горные машины» ОАО «Арселор Миттал Темиртау» -510 тыс. деталей; на энергозаводе ОАО «Арселор Миттал Темиртау» - 20 тыс. деталей в год; на Карагандинском литейно-механическом заводе ОАО «Корпорация Казахмыс» ~ 80 тыс. деталей в год; на Карагандинском турбомеханическом заводе - 30 тыс. деталей в год.

В Павлодарском регионе такая потребность есть у Павлодарского завода металлоконструкций - Имсталькон, Завода нестандартного оборудования, «Интерсталь ПВ» и других.

В Западно-Казахстанской области такая потребность есть у Уральского механического завода, Уральского авторемонтного завода, «Уральскагрореммаш», «Дормаш» и других.

В Восточно-Казахстанской области такая потребность есть у Усть-Каменогорского свинцово-цинкового комбината, Лениногорского полиметаллического комбината, Зыряновского свинцового комбината, Восточно-Казахстанского медно-химического комбината, Иртышский полиметаллического комбината и Жез-кентского горно-обогатительного комбината, а также Семипалатинского машиностроительного завода, Востокмашзавода, Конденсаторного завода, Усть-Каменогорского автомобильного завода, Комбайно-ремонтного завода и других.

Таким образом, в промышленном секторе Казахстана ощущается дефицит специальных сталей и сплавов, которые могли бы отвечать возрастающим потребностям производства, характеризующихся высокими технологическими нагрузками, иногда приближающимися к экстремальным (высокие температуры, давления, удары и пр.).

В то же время, поверхностный слой многих деталей подвергается коррозии (составляющий иногда несколько микрон), в результате в отход производства отправляются тонны дефицитного металла.

Уже в конце прошлого века во всех промышленно развитых странах началось сокращение производства специальных сталей и сплавов, и вместо этого начали развиваться технологии нанесения специальных покрытий на более дешевые сорта стали. Особенно актуально и перспективно нанесение таких покрытий для деталей горнодобывающего, горно-шахтного и энергетического оборудования [3, 18, 29, 57, 99, 123].

1.2 Анализ существующих методов нанесения ионно-плазменных покрытий

Шведская фирма «Sandvik Coromant» в 1968 г. разработала метод нанесения карбида титана на инструмент из твердых сплавов. Покрытия на основе нитрида титана получены фирмой «Teledyne Firth Sterlig» (США) в 1971 году [135]. В последующие годы появилось большое количество публикаций, обобщенных в многочисленных обзорах [13, 62, 73, 135], монографиях [2, 5, 10, 14, 16, 22, 24, 41, 65, 75, 80, 84, 91, 94, 103-106, 110, 133] и диссертациях [67, 86, 98, 109, 120, 122]. В указанных публикациях приведена обширная библиография, так что в представленном исследовании делаются ссылки на более поздние и обобщающие работы.

В настоящее время в промышленных условиях наибольшее распространение среди методов осаждения покрытий получили физические (PVD - physical vapor deposition) и химические (CVD - chemical vapor deposition) методы (рисунок 1.1) [73]. Внутри этих групп существует большое количество методов нанесения покрытий, включающих в себя различные комбинации других воздействий (например, ионное ассистирование) из других источников энергии, либо воздействие на уже готовое покрытие низко или высокоэнергетическими пучками электронов, лазерным излучением и т.д. При PVD-осаждении материал покрытия переходит из твердой фазы в газообразное состояние в результате распыления катодов за счет тепловой энергии электрической дуги или в результате распыления мишени за счет кинетической энергии налетающих на нее атомов или ионов.

Рисунок 1.1 - Параметры основных методов нанесения покрытия [73]

Нанесение покрытия методом РУО осуществляется при температуре до 450 °С и потому может быть использовано практически для любых марок стали.

Достоинства РУО-методов:

- создание тонких поверхностных покрытий, обладающих высокими физико-механическими и эксплуатационными свойствами;

- возможность нанесения покрытий из тугоплавких металлов и алмазопо-добных соединений;

- покрытие обладает равномерностью по толщине и высокой адгезией к подложке, а также высокой чистотой поверхности;

- возможность в пределах одной технологической операции варьировать состав покрытия.

Недостатками РУО-методов являются: малая толщина пленок, наличие вы-

4 2

сокого вакуума (10- -10-) Па, сложность и высокая стоимость оборудования, низкая производительность, возможность обработки только локальных поверхностей.

Метод химического осаждения (СУО) практически не имеет ограничений по химическому составу покрытий. Образование покрытия в этом случае зависит от применяемых материалов, реакционных газов и параметров химических реакций между атомами осаждаемых металлов и молекулами газа. Для протекания не-

обходимых химических реакций требуется температура до 1100 °С. Это условие существенно ограничивает число материалов, на которые можно нанести CVD-покрытие. Процессы CVD происходят при давлениях (100-1000) Па. Покрытие наносится на всю поверхность изделия. Отпадает необходимость вращения изделия как при методе PVD. Это одно из преимуществ CVD. Установки CVD, как правило, имеют достаточно большие габариты. Благодаря высокой температуре нанесения, обеспечивающей частичную диффузию наносимого материала в основу, покрытия CVD характеризуются лучшей адгезией. Область применения двух основных методов нанесения покрытий определяется их указанными выше свойствами.

Как показали маркетинговые исследования, большинство предприятий Казахстана используют стали, производимые АО «Арселор Миттал Темиртау». Эти стали имеют температуру отпуска от 550 до 800 °С. Это означает, что для нанесения покрытий на детали из подобных марок стали CVD-метод становится непригодным, так как требует для своего осуществления высокие температуры - до 1100 °С. В связи с вышеизложенным, в представленном исследовании выбран PVD-метод нанесения покрытий.

1.3 Анализ составов и свойств применяемых функциональных покрытий

Функциональные свойства покрытий определяются условиями работы соответствующих деталей: в условиях высокого абразивного износа, высоких температур и давлений, агрессивных сред и прочее. Поэтому на практике нужны разнообразные покрытия на деталях механизмов и машин: упрочняющие и износостойкие, коррозионностойкие, жаропрочные, антифрикционные и т.д. Для получения антифрикционных и износостойких покрытий широкое распространение получили двойные и тройные системы [58, 69, 140, 141, 143, 145, 158, 169, 190, 191, 192, 200-202, 207, 215, 216].

Так, например, в работе [140] в покрытия на основе нитридов хрома вводилась примесь алюминия (до 15 ат.%). Это достигалось путем совместного магне-тронного распыления мишеней из хрома и алюминия. На рисунке 1.2 показана зависимость коэффициента трения от времени фрикционного взаимодействия для нитрида хрома (рисунок 1.2, а) и для нитрида хрома с алюминием (рисунок 1.2, б).

Видно, что коэффициент трения уменьшается почти в 2 раза. При этом твердость увеличивается до 35 ГПа. В совокупности это приводит к повышению износостойкости подшипниковой стали, на которую были нанесены рассмотренные выше покрытия.

В покрытиях W-Ti-N [201] уменьшение коэффициента трения (до 0,4) достигалось увеличением концентрации азота до (40-43) ат.% (рисунок 1.3).

Этот пример показывает, что износостойкость и трибологические свойства покрытий существенно зависят от технологических параметров их нанесения.

Следуя изложенной выше логике, мы рассмотрим некоторые антикоррозионные покрытия, полученные магнетронным методом [137, 142, 168, 172, 174, 176].

-

•4 ...........И

1 • • •• ......

Йи|ги *52 1В9

(>N«1 1/ 1 «МП-111С

ЬиЬг1Г4П1 Рг>«

1ИМ цп

1» И/ ш/.

¿»•с

А(|Ш]>|>|к;| с

49. Тл

а)

;

\ / / А'

ем

о.ьв

|£)

« 4И Й Л8

к«

5-м НИ 1Н па

Ь | хк

СгНЛГЛЗЛ СгИГЧ-1<=>

иКг »XV

11*1 V»

ш.ее

Ткр<|'

ММУ.|>||ГГГ

.7*

12.

2«. ЭЬ.

: кЬйр-'ЛЛ) ПНЕ 4>.тН«>

48.

ЦД.

б)

Рисунок 1.2 - Зависимость коэффициента трения от времени фрикционного взаимодействия для нитрида хрома (а) и для нитрида хрома с алюминием (б) [140]

Рисунок 1.3 - Зависимость коэффициента трения от концентрации азота

для покрытия W-Ti-N [201]

В работе [142] исследовались коррозия и эрозия аустенитной стали AISI 304L при содержании азота в покрытии до 0,55 мас.%. Коррозия стали оценивалась по потере массы в процессе окисления, а эрозия - по анализу повреждений стали в реакторе, содержащем суспензию из 3,5% №0 и кварцевых частиц. Результаты этой работы показаны на рисунке 1.4.

Подход авторов заслуживает внимания, поскольку, в общем случае, синергизм - это свойство системы, заключающееся в том, что при совместном взаимодействии ее элементов (подсистем) обеспечивается увеличение их общего эффекта до величины большей, чем сумма эффектов этих же элементов (подсистем), действующих независимо друг от друга. Следовательно, это усиливающая связь элементов (подсистем) при условии их согласованного функционирования в составе системы.

Рисунок 1.4 - Синергизм между коррозией и эрозией стали АШ 304L без азотирования (а) и после азотирования (б) [142]

В настоящее время трактовке синергизма посвящено огромное количество работ: разработана своя методология, сформулированы основные законы. Однако эта теория опирается на общую теорию систем, которая настолько общая, что не дает количественного описания наблюдаемых эффектов. Поэтому не будем обращаться к синергизму при интерпретации экспериментальных данных.

В работе [176] показано, что коррозионная стойкость алюминиевого сплава является анизотропной. Это накладывает определенные условия на его поверх-

ностную обработку и, в частности, на его полировку, которая создает определенную плотность дислокаций в поверхностном слое сплава.

Интересной является работа [174], где исследована коррозионная стойкость покрытий БеСгУК на инструментальной стали. Здесь была поставлена цель - связать механические свойства покрытий на наноуровне и их распределение по площади образца с коррозионной стойкостью покрытий. Используя такой подход, можно прогнозировать появление коррозионного пятна на его ранней стадии и, в конечном счете, прогнозировать ранний «коррозионный пробой» сплава.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Сыздыкова Айгуль Шаяхметовна, 2020 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1 Адаскин, А. М. Материаловедение (металлообработка) / А. М. Адаскин, В. М. Зуев. - Москва: Издательский центр «Академия», 2009. - 285 с. -ISBN: 978-5-7695-6055-2. - Текст: непосредственный.

2 Азаренков, Н. А. Инженерия вакуумно-плазменных покрытий / Н. А. Азаренков, О. В. Соболь, А. Д. Погребняк, В. М. Береснев. - Харьков: Изд-во ХНУ им. Карамзина, 2011. - 344 с. - ISBN 978-966-623-607-1. - Текст: непосредственный.

3 Александров, Б. А. Горные машины и оборудование подземных разработок / Б. А. Александров, Л. Ф. Кожухов, Ю. А. Антонов [и др.]. - Кемерово: Изд-во: КузГТУ, 2006. - 114 с. - Текст: непосредственный.

4 Алексюк, М. М. Механические испытания материалов при высоких температурах / М. М. Алексюк, В. А. Борисенко, В. П. Кращенко. - Киев: Наукова думка, 1980. - 208 с. - Текст: непосредственный.

5 Андреев, А. А. Вакуумно-дуговые покрытия / А. А. Андреев, Л. П. Саблев, С. Н. Григорьев. - Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. - 318 с. - Текст: непосредственный.

6 Андреев, А. А. Азотирование сталей в газовом дуговом разряде низкого давления / А. А. Андреев, В. М. Шулаев, Л. П. Саблев. - Текст: непосредственный // Физическая инженерия поверхности. - 2006. - Т. 4. - № 2-3. - C. 191-197.

7 Арзамасов, Б. Н. Ионная химико-термическая обработка сплавов / Б. Н. Арзамасов, А. Г. Братухин, Ю. С. Елисеев, Т. А. Панайоти. - Москва: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. - 1998. - 400 с. - ISBN 5-7038-1358-1. - Текст: непосредственный.

8 Арнольд, В. И. Теория катастроф / В. И. Арнольд. - Москва: Едитор-нал УРСС, 2007. - 136 с. - ISBN: 978-5-354-01142-1. - Текст: непосредственный.

9 Баранов, А. В. Техника физического эксперимента в системах с пониженной размерностью / А. В. Баранов, Г. Н. Виноградова, Ю.М. Воронин [и др.]. -Санкт-Петербург: СПбГУ ИТМО, 2009. - 186 с. - Текст: непосредственный.

10 Барвинок, В. А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий / В. А. Барвинок. - Москва: Машиностроение, 1990. - 384 с. - ISBN 5-217-00852-0. - Текст: непосредственный.

11 Баркова Н. А. Неразрушающий контроль технического состояния горных машин и оборудования / Н. А. Баркова, Ю. С. Дорошев. - Владивосток: Изд-во ДВГТУ, 2009. - 157 с. - ISBN 978-5-7596-1135-6. - Текст: непосредственный.

12 Белоус, В. А. Наноиндентирование поверхностных слоев материалов / В. А. Белоус, В. С. Павлов. - Текст: непосредственный // Вопросы атомной науки и техники. - 2009. - № 6. - С. 146-148.

13 Береснев, В. М. Нанокристаллические и нанокомпозитные покрытия: структура и свойства / В. М. Береснев, А. Д. Погребняк, Н. А. Азаренков [и др.]. -Текст: непосредственный // ФИП. - 2007. - Т. 5. - № 1-2. - С. 4-27.

14 Берлин, Е. В. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок / Е. В. Берлин, С. А. Двинин, Л. А. Сейдман. - Москва: Техносфера, 2007. - 472 с.- ISBN 978-5-94836-134-5. - Текст: непосредственный.

15 Берштейн, М. Л. Механические свойства металлов / М. Л. Берштейн, В. А. Займовский. - [2-е изд., перераб. и доп.]. - Москва: Металлургия, 1979. -495 с. - Текст: непосредственный.

16 Блинков, И. В. Покрытия и поверхностное модифицирование материалов. Критерии выбора покрытий, их свойства / И. В. Блинков, В. С. Челноков. -Москва: Учеба МИСиС, 2003. - 76 с. - Текст: непосредственный.

17 Богомолова, Н. А. Практическая металлография / Н. А. Богомолова. -Москва: Высшая школа, 1982. - 272 с. - Текст: непосредственный.

18 Босяков, М. Н. Промышленное применение упрочняющей обработки деталей машин и механизмов методом ионного азотирования / М. Н. Босяков, Д. В. Жук, О. И. Назарова, И. Л. Поболь. - Текст: непосредственный // Сварщик. -2011. - № 5. - C. 28-33.

19 Боуден, Ф. П. Трение и смазка твердых тел / Ф. П. Боуден, Д. Тейбор. -Москва: Машиностроение, 1968. - 543 с. - Текст: непосредственный.

20 Вайнгард, У. Введение в физику кристаллизации металлов / У. Вайн-

гард. - Москва: Мир, 1967. - 170 с. - Текст: непосредственный.

21 Ведерников, Н. И. Горные машины и комплексы для добычи и обогащения полезных ископаемых / Н. И. Ведерников. - Алчевск: ДонГТУ, 2007. - 134 с. -Текст: непосредственный.

22 Верещака, А. С. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями / А. С. Верещака. - Москва: Машиностроение. - 1993. -336 с. - ISBN 5-217-01482-2. - Текст: непосредственный.

23 Винтизенко, Л. Г. Дуговые разряды низкого давления с полым катодом и их применение в генераторах плазмы и источниках заряженных частиц / Л. Г. Вин-тизенко, С. В. Григорьев, Н. Н. Коваль [и др.]. - Текст: непосредственный // Известия вузов. Физика. - 2001. - Т. 44. - № 9. - С. 28-35.

24 Внуков, Ю. Н. Нанесение износостойких покрытий на быстрорежущий инструмент / Ю. Н. Внуков. - Киев: Техника, 1992. - 143 с. - Текст: непосредственный.

25 Гегузин, Я. Е. Методы определения поверхностной энергии твердых тел / Я. Е. Гегузин, Н. Н. Овчаренко. - Текст: непосредственный // УФН. - 1962. -Т. 76. - Вып. 2. - С. 283-305.

26 Гершуни, Г. З. Конвективная устойчивость несжимаемой жидкости / Г. З. Гершуни, Е. М. Жуховницкий. - Москва: Наука, 1972. - 232 с. - Текст: непосредственный.

27 Гладких, Л. И. Дифракционные методы анализа внутренних напряжений. Теория и эксперимент / Л. И. Гладких, С. В. Малыхин, А. Т. Пугачев. -Харьков: НТУ «ХПИ», 2006. - 304 с. - Текст: непосредственный.

28 Гладких, Н. Т. Поверхностные явления и фазовые превращения в конденсированных пленках / Н. Т. Гладких, С. В. Дукаров, А. П. Кришталь [и др.]. -Харьков: ХНУ, 2004. - 276 с. - ISBN 966-623-243-Х. - Текст: непосредственный.

29 Глухарёв, Ю. Д. Техническое обслуживание и ремонт горного оборудования / Ю. Д. Глухарёв, В. Ф. Замышляев, В. В. Карамзин [и др.]. - Москва: Академия, 2003. - 400 с. - ISBN: 5-7695-1120-6. - Текст: непосредственный.

30 Гоголинский, К. В. Применение нанотвердомеров для изучения меха-

нических свойств твердых материалов на наноуровне / К. В. Гоголинский, А. С. Усеинов. - Текст: непосредственный // Заводская лаборатория. - 2007. - № 6. - Т. 73. - С. 28-39.

31 Головин, Ю. И. Наноиндентирование и механические свойства материалов в наношкале (обзор) / Ю. И. Головин. - Текст: непосредственный // ФТТ. -2008. - Т. 50. - № 12. - С. 2113-2142.

32 Головин, Ю. И. Введение в нанотехнику / Ю. И. Головин. - Москва: Машиностроение, 2007. - 496 с. - ISBN 978-5-217-03378-2. - Текст: непосредственный.

33 Головин, Ю. И. Исследование нанотвердости керамических материалов / Ю. И. Головин, С. Н. Дуб. - Текст: непосредственный // ФТТ. - 2005. - Т. 47. - № 6. - С. 961-973.

34 Горбатов, П. А. Горные машины для подземной добычи угля / П. А. Горбатов, Г. В. Петрушкин, Н. М. Лысенко [и др.]. - Донецк: Норд Компьютер, 2006. - 669 с. - Текст: непосредственный.

35 Горшков, В. А. Очистка и использование сточных вод предприятия угольной промышленности / В. А. Горшков. - Москва: Недра, 1981. - 269 с. -Текст: непосредственный.

36 Гохштейн, А. Я. Поверхностное натяжение твердых тел и адсорбция / А. Я. Гохштейн. - Москва: Наука, 1976. - 256 с. - Текст: непосредственный.

37 Гринберг, Г. А. О движении раздела фаз в задачах стефановского типа / Г. А. Гринберг, О. М. Чекмарёва. - Текст: непосредственный // ИСТФ. - 1970. - Т. 60. - № 10. - С. 2025-2031.

38 Дедкова, Е. Г. Приборы и методы зондовой микроскопии / Е. Г. Дед-кова, А. А. Чуприк, И. И. Бобринецкий, В. К. Неволин. - Москва: МФТИ, 2011. -160 с. - ISBN 978-5-8493-0218-8. - Текст: непосредственный.

39 Друянов, Б. А. Теория технологической пластичности / Б. А. Друянов, Р. И. Непершин. - Москва: Машиностроение, 1990. - 272 с. - ISBN 5-217-01122-Х. - Текст: непосредственный.

40 Дуб, С. Н. Испытания твердых тел на нанотвердость / С. Н. Дуб, Н. В.

Новиков. - Текст: непосредственный // Сверхтвердые материалы. - 2004. - № 6.-С. 16-33.

41 Евдокимов, В. Д. Технология упрочнения машиностроительных материалов / В. Д. Евдокимов, Л. П. Клименко, А. Н. Евдокимова. - Одесса-Николаев: Изд-во НГГУ им. Петра Могилы, 2005. - 352 с. - ISBN 966-336-029-1. - Текст: непосредственный.

42 Еремин, Е. Н. Трибологические свойства многоэлементных покрытий / Е. Н. Еремин, С. А. Гученко, Б. Б. Саркенов [и др.]. - Текст: непосредственный // Физика твердого тела: матер. XIII Междунар. науч. конф., посвящ. 20-летию ЕНУ им. Л.Н. Гумилева (г. Астана, 26-28 апреля 2016 г.). - Астана, 2016. - С. 141-143.

43 Еремин, Е. Н. Исследование многоэлементных ионно-плазменных покрытий, полученных при одновременном распылении катодов в аргоне / Е. Н. Еремин, А. Ш. Сыздыкова, В. М. Юров, С. А. Гученко. - Текст: непосредственный // Омский научный вестник. - 2015. - № 2(140). - С. 22-25.

44 Еремин, Е. Н. Сверхтвердые ионно-плазменные стальные покрытия, легированные титаном / Е. Н. Еремин, А. Ш. Сыздыкова, В. М. Юров, С. А. Гу-ченко. - Текст: непосредственный // Известия высших учебных заведений. Физика. - 2015. - Т. 58. - № 9/3. - С. 102-106.

45 Еремин, Е. Н. Структура и свойства ионно-плазменных покрытий, полученных при одновременном распылении катодов 12Х18Н10Т и Ti / Е. Н. Еремин, А. Ш. Сыздыкова, В. М. Юров. - Текст: непосредственный // Омский научный вестник. - 2015. - № 2(140). - С. 26-30.

46 Еремин, Е. Н. Оценка коррозионной стойкости металлических покрытий на деталях нефтегазового оборудования / Е. Н. Еремин, В. М. Юров, С. А. Гу-ченко [и др.]. - Текст: непосредственный // Техника и технология нефтехимического и нефтегазового производства: матер. 7-й междунар. науч.-техн. конф. (Омск, 24-28 апреля 2017 г.). - Омск: Изд-во ОмГТУ, 2017. - С. 151-152.

47 Еремин, Е. Н. Поверхностное натяжение многоэлементных плазменных покрытий / Е. Н. Еремин, В. М. Юров, С. А. Гученко, А. Ш. Сыздыкова. -Текст: непосредственный // ХАОС И СТРУКТУРЫ В НЕЛИНЕЙНЫХ СИСТЕ-

МАХ. ТЕОРИЯ И ЭКСПЕРИМЕНТ: Матер. 10-ой Междунар. науч. конф. - Алма-ты, 2017. - С. 145-149.

48 Иванова, В. С. Усталостное разрушение металлов / В. С. Иванова. -Москва: Металлургия, 1963. - 258 с. - Текст: непосредственный.

49 Имайкин, И. К. Гидрогеологические условия Кизеловского угольного бассейна во время и после окончания его эксплуатации, прогноз их изменений / И. К. Имайкин, К. К. Имайкин. - Пермь: Пермский гос. нац. исслед. университет. -2013. - 112 с. - Текст: непосредственный.

50 Инженерия поверхности деталей / под. ред. Суслова А.Г. - Москва: Машиностроение, 2008. - 320 с. - ISBN 978-5-217-03427-7. - Текст: непосредственный.

51 Квагинидзе, В. С. Металлоконструкции горных машин. Конструкция, эксплуатация, расчет / В. С. Квагинидзе, Г. И. Козовой, Ф. А. Чакветадзе [и др.]. -Москва: Изд-во «Горная книга», 2011. - 392 с. - ISBN: 978-5-98672-120-0. - Текст: непосредственный.

52 Киттель, Ч. Введение в физику твердого тела / Ч. Киттель. - Москва: Наука, 1978. - 792 с. - Текст: непосредственный.

53 Князева, А. Г. Влияние поверхностной активации и внутренних механических напряжений на диффузию атомов кислорода при электронно-лучевой обработке TiNi-сплавов / А. Г. Князева, А. В. Тян. - Текст: непосредственный // Физическая мезомеханика. - 2010. - Т. 13. - № 1. - С. 95-106.

54 Князева, А. Г. Численное моделирование электронно-лучевой обработки материалов с учетом поверхностной активации и внутренних механических напряжений / А. Г. Князева, А. В. Тян. - Текст: непосредственный // Вычислительные технологии. - 2010. - Т. 15. - № 3. - С. 82-98.

55 Князева, А. Г. Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления / А. Г. Князева, С. А. Шанин. - Текст: непосредственный // Известия ВУЗов. Физика. - 2010. - № 1. - С. 76-81.

56 Князева, А. Г. Перемешивание элементов в поверхностном слое цилиндрического образца в условиях осаждения покрытия из импульсной электродуго-

вой плазмы / А. Г. Князева, С. А. Шанин. - Текст: непосредственный // Известия ВУЗов. Физика. - 2011. - № 11. - C. 97-103.

57 Коваленко, В. В. Защита металлической крепи от коррозии с использованием торкрет-бетона / В. В. Коваленко. - Донецк: Национальный горный университет, 2012. - 108 с. - ISBN 978-966-350-324-0. - Текст: непосредственный.

58 Коваль, Н. Н. Структура и свойства нанокристаллических покрытий Ti-Si-N, синтезированных в вакууме электродуговым методом / Н. Н. Коваль, Ю. Ф. Иванов, И. М. Гончаренко [и др.]. - Текст: непосредственный // Известия ВУЗов. Физика. - 2007. - № 2. - С. 46-51.

59 Колачев, Б. А. Металловедение и термическая обработка цветных металлов и сплавов / Б. А. Колачев, В. И. Елагин, В. А. Ливанов. - Москва: МИСИС, 2005. - 416 с. - ISBN: 5-87623-128-2. - Текст: непосредственный.

60 Колесников, В. А. Информационно-измерительный прибор для определения коэффициента трения скольжения / В. А. Колесников, Я. Ж. Байсагов, В. М. Юров. - Текст: непосредственный // Фундаментальные исследования. - 2011. -№ 12. - Ч. 1. - С. 121-124.

61 Комаров, Ф. Ф. Радиационная стойкость высокоэнтропийных нано-структурированных покрытий (Ti, Hf,Zr,V,Nb)N / Ф. Ф. Комаров, А. Д. Погреб-няк, С. В. Константинов. - Текст: непосредственный // Журнал технической физики. - 2015. - Т. 85. - Вып. 10. - С. 106-111.

62 Коротаев, А. Д. Наноструктурные и нанокомпозитные сверхтвердые покрытия / А. Д. Коротаев, В. Ю. Мошков, С. В. Овчинников [и др.]. - Текст: непосредственный // Физическая мезомеханика. - 2005. - № 5. - С. 103-116.

63 Крагельский, И. В. Трение и износ / И. В. Крагельский. - Москва: Машиностроение, 1968. - 480 с. - Текст: непосредственный.

64 Крагельский, И. В. Коэффициенты трения / И. В. Крагельский, И. Э. Виноградова. - Москва: Машгиз, 1962. - 220 с. - Текст: непосредственный.

65 Кривобоков, В. П. Плазменные покрытия (свойства и применение) / В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьев. - Томск: Изд-во ТПУ, 2011. - 137 с. - Текст: непосредственный.

66 Криштал, М. М. Мир физики и техники: Сканирующая электронная микроскопия и рентгеноспектральный микроанализ в примерах практического применения / М. М. Криштал, И. С. Ясников, В. И. Полунин [и др.]. - Москва: Техносфера, 2009. - 206 с. - ISBN 978-5-94836-200-7. - Текст: непосредственный.

67 Крысина, О. В. Генерация газометаллической плазмы в дуговых разрядах низкого давления для синтеза многокомпонентных нанокристаллических защитных покрытий : специальность 01.04.04 - «физическая электроника» : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук / Крысина Ольга Васильевна; Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук. - Томск, 2016. - 192 с. - Текст: непосредственный.

68 Кузнецов, В. Д. Поверхностная энергия твердых тел / В. Д. Кузнецов. -Москва: Гостехиздат, 1954. - 226 с. - Текст: непосредственный.

69 Кунченко, В. В. CrNx покрытия получаемые вакуумно-дуговым методом на основе малолегированных сплавов хрома / В. В. Кунченко, А. А. Андреев, Ю. В.Кунченко, Г. Н. Картмазов. - Текст: непосредственный // Вопросы атомной науки и техники, сер. Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. - 2004. - № 3 (85). - С. 87-95.

70 Кунченко, В. В. Наноструктурные сверхтвердые nc-TiN/a-Si3N4 покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения / В. В. Кунченко, Ю. В. Кунченко [и др.]. - Текст: непосредственный // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика радиционных повреждений и радиционное материаловедение. - 2006. - № 4(89). - С. 185-190.

71 Лахтин, Ю. М. Теория и технология азотирования / Ю. М. Лахтин, Я. Д. Коган, Г. И. Шпис [и др.]. - Москва: Металлургия, 1991. - 320 с. - Текст: непосредственный.

72 Лахтин, Ю. М. Металловедение и термическая обработка металлов / Ю. М. Лахтин. - Москва: Машиностроение, 1983. - 359 с. - Текст: непосредственный.

73 Локтев, Д. Методы и оборудование для нанесения износостойких покрытий / Д. Локтев, Е. Ямашкин. - Текст: непосредственный // Наноиндустрия. -

2007. - № 4. - С. 18-24.

74 Малыгин, Г. А. Моделирование деформационного рельефа поверхности пластически деформируемого кристалла / Г.А. Малыгин. - Текст: непосредственный // ФТТ. - 2007. - Т. 49, В. 8. - С. 1392-1397.

75 Мацевитый, В. М. Покрытия для режущих инструментов / В. М. Ма-цевитый. - Харьков: Вища шк. Изд-во при Харьк. ун-те, 1987. - 128 с. - Текст: непосредственный.

76 Миркин, Л. И. Рентгеноструктурный контроль машиностроительных материалов. Справочник / Л. И. Миркин. - Москва: Машиностроение, 1979. - 134 с. - Текст: непосредственный.

77 Мовчан, Б. А. Исследование структуры и свойств толстых вакуумных конденсатов никеля, титана, вольфрама, окиси алюминия и двуокиси циркония / Б. А. Мовчан, А. В. Демчишин. - Текст: непосредственный // ФММ. - 1969. - Т. 28, № 4. - С. 23-30.

78 Монгайт, И. Л. Очистка шахтных вод / И. Л. Монгайт, К. Д. Текинид-зе, Г. И. Николадзе. - Москва: Недра, 1978. - 173 с. - Текст: непосредственный.

79 Мошников, В. А. Атомно-силовая микроскопия для нанотехнологии и диагностики / В. А. Мошников, Ю. М. Спивак. - Санкт-Петербург: Изд-во СПбГЭТУ ЛЭТИ, 2009. - 80 с. ISBN 978-5-7629-0980-8. - Текст: непосредственный.

80 Мрочек, Ж. А. Плазменно-вакуумные покрытия / Ж. А. Мрочек, А. К. Вершина, С. А. Иващенко. - Минск, 2004. - 368 с. - Текст: непосредственный.

81 Новиков, Н. В. Применение метода наноиндентирования для изучения фазовых переходов / Н. В. Новиков, С. Н. Дуб. - Текст: непосредственный // Сверхтвердые материалы. - 1996. - № 3. - С. 36-45.

82 Осипов, К. А. Вопросы теории жаропрочности металлов и сплавов / К. А. Осипов. - Москва: Изд-во АН СССР, 1960. - 285 с. - Текст: непосредственный.

83 Осипов, К. А. Некоторые активированные процессы в твердых металлах и сплавах / К. А. Осипов. - Москва: Изд-во АН СССР, 1962. - 131 с. - Текст: непосредственный.

84 Панин, В. Е. Наноструктурирование поверхностных слоев конструкционных материалов и нанесение наноструктурных покрытий / В. Е. Панин, В. П. Сергеев, А. В. Панин. - Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 2010. - 254 с. - Текст: непосредственный.

85 Панов, А. Г. Исследование микроструктуры методами автоматического анализа изображения ImageExpert Pro 3 и Image Expert Sample 2 / А. Г. Панов. -Набережные Челны: ИНЭКА, 2009. - 63 с. - Текст: непосредственный.

86 Панькин, В. А. Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана : специальность 01.04.07 «физика конденсированного состояния» : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Панькин Николай Александрович ; Мордовский государственный университет им. Н. П. Огарева. -Москва, 2008. - 17 с. - Текст: непосредственный.

87 Парфёнова, Г. К. Антропогенные изменения гидрохимических показателей качества вод / Г. К. Парфёнова. - Томск: Аграф-пресс, 2010. - 204 с. - ISBN 978-5-98693-042-8. - Текст: непосредственный.

88 Патент № 57691 Республика Казахстан. Способ измерения поверхностного натяжения твердых тел : опубл. 15.12.08 / Юров В. М., Ещанов А.

H., Кукетаев А. Т.

89 Погребняк, А. Д. Структура и свойства высокоэнтропийных сплавов и нитридных покрытий на их основе / А. Д. Погребняк, А. А. Багдасарян, И. В. Якущенко, В. М. Береснев. - Текст: непосредственный // Успехи химии. - 2014. -Т. 83, № 11. - С. 1027-1061.

90 Погребняк, А. Д. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нано-композитных покрытий / А. Д. Погребняк, А. П. Шпак, Н. А. Азаренков, В. М. Береснев. - Текст: непосредственный // Успехи физических наук. - 2009. - Т. 179, №

I. - С. 35-64.

91 Пранявичюс Л. Модификация свойств твёрдых тел ионными пучками / Л. Пранявичюс, Ю. Дудонис. - Вильнюс: Мокслас, 1980. - 242 с. - Текст: непосредственный.

92 Решетняк, Е. Н. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий / Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий. - Текст: непосредственный // Вопросы атомной науки и техники. - 2008. - № 2. - С. 119-130.

93 Родзевич, А. П. Методы анализа и контроля веществ / А. П. Родзевич, Е. Г. Газенаур. - Томск: Изд-во ТПУ, 2013. - 312 с. - Текст: непосредственный.

94 Ролдугин, В. И. Физикохимия поверхности / В. И. Ролдугин. - Долгопрудный: Издательский дом «Интеллект», 2011. - 568 с. - ISBN 978-5-91559-1164. - Текст: непосредственный.

95 Сизов, И. Г. Металловедение и термическая обработка металлов / И. Г. Сизов, Б. Д. Лыгденов, Д. М. Махаров [и др.]. - Улан-Удэ: ВСГТУ, 2006. - 238 с. - Текст: непосредственный.

96 Скрипов, В. П. Гомогенное зарождение кристаллов в жидкостях и аморфных слоях / В кн.: Проблемы современной кристаллографии / В. П. Скрипов, В. П. Каверда. - Москва: Наука, 1987. - С. 232-246. - Текст: непосредственный.

97 Соболь. О. В. О воспроизводимости однофазного структурного состояния многоэлементной высокоэнтропийной системы Ti-V-Zr-Nb-Hf и высокотвердых нитридов на ее основе при их формировании вакуумно-дуговым методом / О. В. Соболь, А. А. Андреев, В. Ф. Горбань [и др.]. - Текст: непосредственный // Письма в ЖТФ. - 2012. - Т. 38, В. 13. - С. 40-47.

98 Соколов, И. В. Закономерности формирования структуры в поверхностном слое деталей из конструкционных металлических материалов в процессе вакуумной ионно-плазменной обработки : специальность 05.16.06 «Порошковая металлургия и композиционные материалы» : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Соколов Игорь Викторович; Российский государственный технологический университет им. К. Э. Циолковского. - Москва, 2009. - 22 с. - Текст: непосредственный.

99 Справочник конструктора угольного машиностроения. - Москва: Ги-проуглемаш, 2004. - 418 с. - Текст: непосредственный.

100 Сыздыкова, А. Ш. Структура и свойства стальных покрытий, легиро-

ванных титаном / А. Ш. Сыздыкова, Е. Н. Еремин, С. А. Гученко. - Текст: непосредственный // Вестник КарГУ. Физика. - 2015. - № 1(77). - С. 36-45.

101 Сыздыкова, А. Ш. Структура и свойства композиционных покрытий, системы 12Х18Н10Т и Zn-Cu-Al / А. Ш. Сыздыкова, Е. Н. Еремин. - Текст: непосредственный // Материалы IV международной студенческой научно-практической конференции «Техника и технологии машиностроения», Омск: ОмГТУ, 2015. - С. 235-238.

102 Сыздыкова, А. Ш. Структура и свойства стальных покрытий, легированных алюминием / А. Ш. Сыздыкова, Е. Н. Еремин, В. М. Юров [и др.]. - Текст: непосредственный // Матер. межд. конф. «Хаос и структуры в нелинейных системах. Теория и эксперимент», Караганда, 2015. - С. 227-231.

103 Табаков, В. П. Комбинированная упрочняющая обработка режущего инструмента / В. П. Табаков, С. Н. Власов. - Димитровград: ДИТУД, 2003. - 124 с. - Текст: непосредственный.

104 Табаков, В. П. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями на основе сложных нитридов и карбонитридов титана / В. П. Табаков. - Ульяновск: УлГТУ, 1998. - 123 с. - Текст: непосредственный.

105 Табаков, В. П. Работоспособность торцовых фрез с многослойными износостойкими покрытиями / В. П. Табаков, М. Ю. Смирнов, А. В. Циркин. -Ульяновск: УлГТУ, 2005. - 151 с. - ISBN 5-89146-670-0. - Текст: непосредственный.

106 Табаков, В. П. Износостойкие покрытия режущего инструмента, работающего в условиях непрерывного резания / В. П. Табаков, А. В. Чихранов. -Ульяновск: УлГТУ, 2007. - 255 с. - ISBN 5-89146-710-0. - Текст: непосредственный.

107 Теплухин, Г. Н. Металловедение и термическая обработка / Г. Н. Теп-лухин, А. В. Гропянов. - Санкт-Петербург: СПбГТУ РП, 2011. - 169 с. - Текст: непосредственный.

108 Томленов. А. Д. Теория пластической деформации металлов / А. Д. Томленов. - Москва: Металлургия, 1972. - 408 с. - Текст: непосредственный.

109 Турбин, В. П. Физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения: специальность 01.04.07 «Физика твердого тела» : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Турбин Петр Васильевич; Сумской государственный университет. - Харьков, 2011. - 155 с. - Текст: непосредственный.

110 Тушинский, Л. И. Исследование структуры и физико-механических свойств покрытий / Л. И. Тушинский, А. В. Плохов. - Новосибирск: Наука, 1986. - 196 с. - Текст: непосредственный.

111 Тян, А. В. Нелинейные эффекты в поверхностном слое никелида титана в условиях его неравновесной активации импульсным электронным пучком /

A. В. Тян, А. Г. Князева, С. Г. Псахье. - Текст: непосредственный // Известия ВУЗов. Физика. - 2007. - № 3. - С. 8-16.

112 Углов, В. В. Методы анализа элементного состава поверхностных слоев /

B. В. Углов, Н. Н. Череда, В. М. Анищик. - Минск: Белорусский госуниверситет, 2007. - 164 с. ISBN 978-985-485-813-5. - Текст: непосредственный.

113 Федоров, А. В. Специальные методы измерения физических величин / А. В. Федоров, А. В. Баранов, А. П. Литвин, С. А. Черевков. - Санкт-Петербург: НИУ ИТМО, 2014. - 127 с. - Текст: непосредственный.

114 Фельдман, Л. Основы анализа поверхности и тонких пленок / Л. Фельдман, Д. Майер. - Москва: Мир, 1989. - 344 с. - ISBN 5-03-001017-3. - Текст: непосредственный.

115 Фролов, К. В. Современная трибология: Итоги и перспективы / К. В. Фролов. - Москва: Наука, 2008. - 480 с. - ISBN 978-5-382-01474-6. - Текст: непосредственный.

116 Хакен, Г. Информация и самоорганизация: Макроскопический подход к сложным системам / Г. Хакен. - Москва: УРСС, 2014. - 317 с. - ISBN 978-59710-1229-0. - Текст: непосредственный.

117 Хокинг, М. Металлические и керамические покрытия: получение, свойства и применение / М. Хокинг, В. Васантасри, П. Сидки. - Москва: Мир,

2000. - 518 с. - ISBN 5-03-002570-7. - Текст: непосредственный.

118 Чаттерджи-Фишер, Р. Азотирование и карбонитрирование / Р. Чаттер-джи-Фишер, Ф.-В. Эйзелл, Р. Хоффманн [и др.]. - Москва: Металлургия. - 1990. -280 с. - Текст: непосредственный.

119 Чернов, А. А. Современная кристаллография. - Т. 3. Образование кристаллов. / А. А. Чернов, Е. И. Гиваргизов, Х. С. Багдасаров [и др.]. - Москва: Наука, 1980. - 408 с. - Текст: непосредственный.

120 Чихранов, А. В. Повышение работоспособности режущего инструмента путем разработки и применения многоэлементных износостойких покрытий на основе модифицированного нитрида титана: специальность 05.03.01 «Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки» : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук / Чихранов Алексей Валерьевич; Ульяновский государственный технический университет. - Ульяновск, 2006. - 314 с. - Текст: непосредственный.

121 Шанин, С. А. Численное и экспериментальное исследование влияния технологических параметров на фазовый и химический состав карбидного покрытия, растущего в импульсной электродуговой плазме / С. А. Шанин, А. Г. Князева, И. Л. Поболь, А. Г. Дениженко. - Текст: непосредственный // Химическая физика и мезоскопия. - 2012. - Т. 14, № 4. - С. 525-535.

122 Шанин, С. А. Моделирование формирования состава покрытия при осаждении из плазмы : специальность 01.04.14 «Теплофизика и теоретическая теплотехника» : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Шанин Сергей Александрович; Национальный исследовательский Томский государственный университет. - Томск, 2012. - 20 с. -Текст: непосредственный.

123 Шилаев, В. П. Основы обогащения полезных ископаемых / В. П. Ши-лаев. - Москва: Недра, 1986. - 296 с. - Текст: непосредственный.

124 Энгель, Л. Растровая электронная микроскопия / Л. Энгель. - Москва: Металлургия, 1986. - 232 с. - Текст: непосредственный.

125 Юров, В. М. Запасание энергии в диэлектриках при облучении иони-

зирующей радиацией / В. М. Юров. - Текст: непосредственный // Вестник КарГУ. Серия «Физика». - 2008. - № 3(51). - С. 35-43.

126 Юров, В. М. Некоторые вопросы физики поверхности твердых тел / В. М. Юров. - Текст: непосредственный // Вестник КарГУ. Серия «Физика». - 2009. - № 1(53). - С.45-54.

127 Юров, В. М. Размерная зависимость поверхностного натяжения и гомогенное зарождение кристаллов / В. М. Юров. - Текст: непосредственный // Межвуз. сб. научных трудов. Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. - Тверь: Твер. гос. ун-т, 2015. - В. 7. - С. 548554.

128 Юров, В. М. Поверхностное натяжение металлов в жидкой и твердой фазах / В. М. Юров, С. А. Гученко, Н. Х. Ибраев. - Текст: непосредственный // Научная жизнь. - 2009. - № 5. - С.18-21.

129 Юров, В. М. Автоволновые процессы и самоорганизация структур при формировании ионно-плазменных покрытий / В. М. Юров, С. А. Гученко, В. Ч. Лауринас [и др.]. - Текст: непосредственный // Известия высших учебных заведений. Физика. - 2015. - Т. 58, № 9/3. - С. 164-169.

130 Юров, В. М. Экспериментальное определение поверхностного натяжения наночастиц и нанопленок / В. М. Юров, Н. Х. Ибраев, С. А. Гученко. - Текст: непосредственный // Известия ВУЗов. Физика. - 2011. - Т. 54, № 1. - С. 335-340.

131 Юров, В. М. Некоторые вопросы физики прочности металлических наноструктур / В. М. Юров, В. Ч. Лауринас, С. А. Гученко. - Текст: непосредственный // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. - Тверь: Твер. гос. ун-т, 2013. - В. 5. - С. 408-412.

132 Юров, В. М. Поверхностное натяжение упрочняющих покрытий / В. М. Юров, В. Ч. Лауринас, С. А. Гученко, О. Н. Завацкая. - Текст: непосредственный // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2014. - № 1. - С.33-36.

133 Юров, В. М. Структура и свойства многофазных ионно-плазменных покрытий / В. М. Юров, В. Ч. Лауринас, С. А. Гученко, О. Н. Завацкая. - Караганда: Изд-во Казахстанско-Российского ун-та, 2013. - 150 с. - Текст: непосред-

ственный.

134 Юров, В. М. Возникновение диссипативных структур при формирования плазменных покрытий / В. М. Юров, А. Ш. Сыздыкова, Е. Н. Еремин. - Текст: непосредственный // Матер. межд. конф. «Хаос и структуры в нелинейных системах. Теория и эксперимент», Караганда, 2015. - С. 221-226.

135 Юрьев, О. Б. Ионно-плазменное напыление: опыт западноевропейских фирм / О. Б. Юрьев. - Текст: непосредственный // Машиностроитель. - 1987. -№1. - С. 37-40.

136 Ahlgren, M. Influence of bais variation on residual stress and texture in TIAlN PVD coatings / M. Ahlgren, H. Blomqvist. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2005. - Vol. 200. - P. 157-160.

137 Alvarez-Asencio, R. Role of microstructure on corrosion initiation of an experimental tool alloy: A Quantitative Nanomechanical Property Mapping study / R. Alvarez-Asencio, M. Sababi, J. Pan [et al.]. - Текст: непосредственный // Corrosion Science. - 2014. - Vol. 89. - P. 236-241.

138 Barna, P. B. Formation and Characterization of the structure of surface coating / P. B. Barna, M. Adamik. - Текст: непосредственный // In Protective Coatings end Thin Films. - Kluwer Academic, Dortrecht, The Netherlans, 1977. - P. 279297.

139 Barshilia, Harish C. Structure, hardness and thermal stability of nanolay-ered TiN/CrN multilayer coatinqs / Harish C. Barshilia, Iain Anjana, K.S. Rajam. -Текст: непосредственный // Vacuum. - 2004. - Vol. 72. - P. 241-248.

140 Brizuela, M. Magnetron sputtering of Cr(Al)N coatings: Mechanical and tribological study / M. Brizuela, A. Garcia-Luis, I. Braceras [et al.]. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2005. - Vol. 200. - P. 192-197.

141 Carvalho, N. J. M. Deformation mechanisms in TiN/(Ti,Al)N multilayers underdepth-sensing indentation / N. J. M. Carvalho, J. Th. M. De Hosson. - Текст: непосредственный // Acta Materialia. - 2006. - Vol. 54. - P. 1857-1862.

142 Castillejo, F. E. Wear and corrosion resistance of niobium-chromium carbide coatings on AISI D2 produced through TRD / F. E. Castillejo, D. M. Marulanda, J.

J. Olaya, J. E. Alfonso. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2014. - Vol. 254. - P. 104-111.

143 Choi, E. Y. Comparative studies on microstructure and mechanical properties of CrN, Cr-C-N and Cr-Mo-N coatings / E. Y. Choi, M. C. Kang, D. H. Kwon [etal.]. - Текст: непосредственный // J. Mater. Process. Tech. Technol. - 2007. - Vol. 187-188. - P. 566-572.

144 Cozza, R. C. A study on friction coefficient and wear coefficient of coated systems submitted to micro-scale abrasion tests / R. C. Cozza. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2013. - Vol. 215. - P. 224-233.

145 Czaplicki, Jacek M. Mining Equipment and Systems: Theory and Practice of Exploitation and Reliability / Jacek M. Czaplicki. - London: CRC Press, Taylor & Francis Group, 2010. - 279 p. - ISBN-10: 0415877318. - Текст: непосредственный.

146 Daniel, R. Thermal stability of magnetron sputtered Zr-Si-N films / R. Daniel, J. Musil, P. Zeman, C. Mitterer. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2006. - V. 201. - P. 3368-3376.

147 Eremin, E. N. Effect of ion irradiation on the properties multi-element plasma coatings / E. N. Eremin, A. Sh. Syzdykova, S. A. Guchenko [et al.]. - Текст: электронный // IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering. - 2016. - 110. -012017.

148 Eremin, E. N. Structure and properties of steel coatings doped with aluminum / E. N. Eremin, V. M. Yurov, S. A. Guchenko, A. Sh. Syzdykova. - Текст: непосредственный // Eurasian Physical Technical journal. - 2015. - Vol. 12. - № 2(24). -P. 43-47.

149 Eremin, E. N. Method for determining the surface energy of nitrides, carbides and borides / E. N. Eremin, V. M. Yurov, V. C. Laurynas [et al.]. - Текст: электронный // IOP Conference Series: Journal of Physics. - 2019. - Vol. 1210. - P. 012041-1-012041-7. DOI: 10.1088/1742-6596/1210/1/012041.

150 Eremin, E. N. Evaluating the corrosion resistance of multi-element metal coatings / E. N. Eremin, V. M. Yurov, Ye. S. Platonova [et al.]. - Текст : электронный // AIP Conference Proceedings. - 2017. - 1876. - 020073.

151 Gautier, C. Study of the growth mechanisms of chromium nitridefilms deposited by vacuum ARC evaporation / C. Gautier, J. Magnet. - Текст: непосредственный // Thin Solid Films. - 1997. - Vol. 294. - P. 43-52.

152 Gleiter, H. Nanocrystalline materials / H. Gleiter. - Текст: непосредственный // Prog. Mater. Sci. - 1989. - V. 33. - P. 223-315.

153 Goncharenko, I. M. Nanostructured nitride coating produced by vacuum arc evaporation of sintered Ti-Al cathodes / I. M. Goncharenko , Yu. F. Ivanov, M. I. Lobach [et al.]. - Текст: непосредственный // 9th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: Proceedings. - Tomsk: Publishing house of the IAO SB RAS, 2008. - P. 430-433.

154 Guchenko, S. A. Surface tension of deposited coatings / S. A. Guchenko, V. M. Yurov, V. Ch. Laurynas, O. N. Zavatskiy. - Текст: непосредственный // International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effecs, Tomsk: Pub. House of IAO SB RAS, 2014. - P. 389.

155 Gupta, S. C. The Classical Stefan Problem: Basic Concepts, Modelling and Analysis / S. C. Gupta. - Amsterdam: Elsevier, 2017. - 750 p. - ISBN 978-0-44463581-5. - Текст: непосредственный.

156 Heilmann, P. Orientation determination of subsurface cells generated by sliding / P. Heilmann, W. A. T. Clark, D. A. Rigney. - Текст: непосредственный // Acta Metall. - 1983. - V. 31. - P. 1293-1305.

157 Hogberg, H. Strain relaxation of low-temperature deposited epitaxial titanium-carbide films / H. Hogberg, J. Birch, M. P. Johansson. - Текст: непосредственный // Journal of Crystal Growth. - 2000. - Vol. 219. - P. 237-244.

158 Holmberg, K. Coatings tribology - contact mechanisms and surface design / K. Holmberg [et al.]. - Текст: непосредственный // Tribology International. - 1998. -Vol. 31(1-3). - P. 107-120.

159 Huang, J. H. Effect of film thickness on the structure and properties of nanocrystalline ZrN thin films produced by ion plating / J. H. Huang, H. C. Yang, X. J. Guo, G. P. Yu. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. -2005. - V. 195. - P. 204-213.

160 Hughes, D. A. Near surface microstructures developing under large sliding loads / D. A. Hughes, D. B. Dawson, J. S. Korellis, L. I. Weingarten. - Текст: непосредственный // J. Mater. Eng. Perform. - 1994. - V. 3. - P. 459-475.

161 Jurov, V. M. Superfecial tension of pure metals / V. M. Jurov. - Текст: непосредственный // Eurasian Physical Technical journal. - 2011. - Vol. 8. - № 1(15). - P. 10-14.

162 Klemm, J. Multi-element-resolved electrochemical corrosion analysis. Part I. Dissolution behavior and passivity of amorphous Fe50Cr15Mo14C15B6 / J. Klemm, S. O. Klemm, M. J. Duarte [et al.]. - Текст: непосредственный //Corrosion Science. -

2014. - Vol. 89. - P. 59-68.

163 Kong, H. Wear mechanisms in brittle solids / H. Kong, M. F. Ashby. -Текст: непосредственный //Acta Metall. Mater. - 1992. - V. 40. - P. 2907-2920.

164 Korotaev, A. D. Features of the morphology, defect substructure, and phase composition of metal and alloy surfaces upon high-power ion beam irradiation / A. D. Korotaev, A. N. Tyumentsev, Yu. P. Pinzhin, G. E. Remnev. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2004. - Vol. 185. - P 38-49.

165 Koutsokeras, L. E. Conducting transition metal nitride thin films with tailored cell sizes: The case of 5-TixTa1-x N / L. E. Koutsokeras, G. Abadias, Ch. E. Lekka [et al.]. - Текст: непосредственный // Applid Phys. Letters. - 2008. - Vol. 93. - P. 13.

166 Laurynas, V. Ch. Effect of laser irradiation on structure and properties of composite coatings / V. Ch. Laurynas, E. N. Eremin, A. Sh. Syzdykova [et al.]. - Текст: непосредственный // Вестник Карагандинского университета. Серия «Физика». -2016. - № 1(81). - С. 18-24.

167 Laurinas, V. Ch. High-temperature strength and corrosion resistance of alloy steel coatings / V. Ch. Laurinas, A. Sh. Syzdykova, E. N. Eremin [et al.]. - Текст: непосредственный // Вестник Карагандинского университета. Серия «Физика». -

2015. - № 4(80). - С. 24-30.

168 Lee, Y. J. Microstructural and corrosion characteristics of tantalum coatings prepared by molten salt electrodeposition / Y.J. Lee, T. H. Lee, D. Y. Kim [et al.]. -

Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2013. - Vol. 235. -P. 819-826.

169 Lemm, J. D. The influence of surface hardness on the fretting wear of steel pairs-Its role in debris retention in the contac / J. D. Lemm, A. R. Warmuth, S. R. Pearson, P. H. Shipway. - Текст: непосредственный // Tribology International. - 2015. -Vol. 81. - P. 258-266.

170 Li, Ch. A comparative research on physical and mechanical properties of (Ti, Al)N and (Cr, Al)N PVD coatings with high Al content / Chen Li, Du Yong, S. Q. Wang, Li Jia. - Текст: непосредственный // International Journal of Refractory Metals. - 2007. - Vol. 25. - P. 400-404.

171 Li, X. Tribological properties of the Ti-Al-N thin films with different components fabricated by double-targeted co-sputtering / X. Li, C. Li, Y. Zhang[et al.]. -Текст: непосредственный // Applied Surface Science. - 2010. - V. 256. - P. 42724279.

172 Liu, R. Surface modification of a medical grade Co-Cr-Mo alloy by low-temperature plasma surface alloying with nitrogen and carbon / R. Liu, X. Li, X. Hu, H. Dong. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2013. - Vol. 232. - P. 906-911.

173 Lottermoser, B. G. Mine Wastes. Characterization, Treatment and Environmental Impacts / B. G. Lottermoser. - Berlin: Springer-Verlag, 2010. - 335 p. -ISBN 978-3-642-12418-1. - Текст: непосредственный.

174 Lorpez, D. Effect of nitrogen on the corrosion-erosion synergism in an aus-tenitic stainless steel / D. Lorpez, N. Alonso Falleiros, A. P. Tschiptschin. - Текст: непосредственный // Tribology International. - 2011. - Vol. 44. - P. 610-616.

175 Lu, L. Ultrahigh strength and high electrical conductivity in copper / L. Lu, Y. F. Shen, X. H. Chen [et al.]. - Текст: непосредственный // Science. - 2004. - V. 304. - P. 422-426.

176 Lv, J. Effect of surface burnishing on texture and corrosion behavior of 2024 aluminum alloy / Jinlong Lv, Hongyun Luo. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2013. - Vol. 235. - P. 513-520.

177 Marques, L. Study of the properties of Ti1-x-ySixAlyN solid solution / L. Marques, S. Carvalho, F. Vaz [et al.]. - Текст: непосредственный // Vacuum. - 2009.

- Vol. 83. - P. 1240-1243.

178 Martin, P. J. Nanocomposite Ti-S-N, Zr-S-N, Ti-AlSi-N, Ti-Al-V-Si thin film coatings deposited by vacuum arc deposition / P. J. Martin, A. Bendavid, J. M. Cairney, M. Hoffman. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2005. - Vol. 200. - P. 131-134.

179 Mayrhofer, P. H. Thermal stability of superhard Ti-B-N coatings / P. H. Mayrhofer, M. Stoiber. - Текст: непосредственный // Surface. - 2007. - Vol. 201. - P. 6148-6153.

180 Meng, Q. N. Preferred orientation, phase transition and hardness for sputtered zirconium nitride films grown at different substrate biases / Q. N. Meng, M. Wen, C. Q. Qu [et al.]. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. -2011. - V. 205. - P. 2865-2870.

181 Monclus, M. A. Investigation of the nanostructure and post-coat thermal treatment of wear-resistant PVD (Cr-Ti-Cu-B)N coatings / M. A. Monclus, M. A. Baker, C. Tsotsos [et al.]. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2005. - V. 200. - P. 310-314.

182 Musil, J. Structure and mechanical properties of magnetron sputtered Zr-Ti-Cu-N films / J. Musil, R. Danie. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2003. - V. 166. - P. 243-253.

183 Musil, J. Hard nanocomposite Zr-Y-N coatings, correlation between hardness and structure / J. Musil, H. Polakova. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2000. - V. 127. - P. 99-106.

184 Musila, J. Hard and superhard Zr-Ni-N nanocomposite films / J. Musila, P. Karvankova, J. Kasl. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology.

- 2001. - V. 139. - P. 101-109.

185 Oliver, W. C. An improved technigue for determining harduess and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments / W. C. Oliver, G. M. Pharr. - Текст: непосредственный // J. Mater. Res. - 1992. - V. 7. - P. 1564-

186 Otto, F. Relative effects of enthalpy and entropy on the phase stability of equiatomic high-entropy alloys / F. Otto, Y. Yang, H. Bei, E. P. George. - Текст: непосредственный //Acta Materialia. - 2013. - Vol. 61. - P. 2628-2638.

187 Park, J. K. Increase of hardness and thermal stability of TiAlN coating by nanoscale multi-layered structurization with a BN phase / J. K. Park, Y. J. Baik. -Текст: непосредственный // Thin Solid Films. - 2008. - Vol. 516 - P. 3661-3664.

188 Pinakidou, F. Nanostructural characterization of TiN-Cu films using EX-AFS spectroscopy / F. Pinakidou, E. C. Paloura, G. M. Matenoglou, P. Patsalas. -Текст: непосредственный // Surface. - 2010. - Vol. 204. - P. 1933-1936.

189 Platonova, E. S. Effect of ion irradiation on tribological properties of composite coatings / E. S. Platonova, S. A. Guchenko, A. Sh. Syzdykova [et al.] // IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering. - 2015. - Vol. 81. - 012089. - Текст электронный.

190 Polcar, T. Friction and wear behaviour of CrN coating at temperatures up to 500 °C / T. Polcar [et al.]. - Текст: непосредственный // Surf. Coat. Technol. - 2007. - Vol. 201. - P. 5228-5234.

191 Polcar, T. Tribological characteristics of CrCN coatings at elevated temperature / T. Polcar, L. Cvrcek, P. Siroky, R. Novak. - Текст: непосредственный // Vacuum. - 2005. - Vol. 80. - P. 113-117.

192 Rainforth, W. M. Microstructural evolution at the worn surface: a comparison of metals and ceramics / W. M. Rainforth. - Текст: непосредственный // Wear. -2000. - V. 245. - P. 162-177.

193 Rainforth, W. M. Deformation structures induced by sliding contact / W. M. Rainforth, R. Stevens, J. Nutting. - Текст: непосредственный // Philos. Mag. -1992. - V. A 66. - P. 621-641.

194 Rea, M. D. Study of ZrN layers deposited by reactive magnetron sputtering / M. D. Rea, R. Gouttebaron, J.-P. Dauchot [et al.]. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2003. - V. 174-175. - P. 240-245.

195 Rigney, D. A. Plastic deformation and sliding friction of metals / D. A.

Rigney, J. P. Hirth. - Текст: непосредственный // Wear. - 1979. - V. 53. - P. 345370.

196 Scheerer, H. Effects of the chromium to aluminum content on the tribology in dry machining using (Cr, Al)N coated tools / H. Scheerer, H. Hoche, E. Broszeit [et al.]. - Текст: непосредственный //Surface and Coatings Technology. - 2005. - V. 200.

- P. 203-207.

197 Scheerera, H. Effects of the chromium to aluminum content on the tribology in dry machining using (Cr, Al)N coated tools / H. Scheerera, H. Hochea, E. Brosze-ita [et al.]. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2005. -V. 200. - P. 203-207.

198 Schuh, B. Mechanical properties, microstructure and thermal stability of a nanocrystalline CoCrFeMnNi high-entropy alloy after severe plastic deformation / B. Schuh, F. Mendez-Martin [et al.]. - Текст: непосредственный // Acta Materialia. -2015. - Vol. 96. - P. 258-268.

199 Shen, W. Study of tribological properties of coating/substrate system in micrometer and nanometer scales with a scanning probe microscope / W. Shen, B. Jiang, S. M. Gasworth, H. Mukamal. - Текст: непосредственный // Tribology International.

- 2001. - Vol. 34. - P. 135-142.

200 Sheng, S. H. Phase stabilities and thermal decomposition in the Zr1-xAlxN system studied by ab initio calculation and thermodynamic modeling / S. H. Sheng, R. F. Zhang, S. Veprek. - Текст: непосредственный // Acta Materialia. - 2008. - V. 56. -P. 968-976.

201 Silva, P. N. Tribological behaviour of W-Ti-N sputtered thin films / P. N. Silva, J. P. Dias [et al.]. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2005. - Vol. 200. - P. 186-191.

202 Skliarova, H. Niobium-niobium oxide multilayered coatings for corrosion

1 Я

protection of proton-irradiated liquid water targets for [ F] production / H. Skliarova, M. Renzelli, O. Azzolini [et al.]. - Текст: непосредственный // Thin Solid Films. -2015. - Vol. 591. - P. 316-322.

203 Sun, H. Q. Sliding wear-induced microstructure evolution of nanocrystal-

line and coarse-grained AZ91D Mg alloy / H. Q. Sun, Y. N. Shi, M.-X. Zhang. -Текст: непосредственный // Wear. - 2009. - V. 266. - P. 666-670.

204 Sun, H. Q. Wear behavior of AZ91D magnesium alloy with a nanocrystalline surface layer / H. Q. Sun, Y. N. Shi, M.-X. Zhang. - Текст: непосредственный // Surf Coat. Technol. - 2008. - V. 202. - P. 2859-2864.

205 Sun, H. Q. Plastic strain-induced grain refinement in the nanometer scale in an Mg alloy / H. Q. Sun, Y. N. Shi, M.-X. Zhang, K. Lu. - Текст: непосредственный // Acta Mater. - 2007. - V. 55 - P. 975-982.

206 Suna, J. Enhanced hardness in sputtered Zr-Ni-N films / J. Suna, J. Musil, V. Ondok, J.G. Han. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology.

- 2006. - V. 200. - P. 6293-6297.

207 Sundberg, J. Influence of composition, structure and testing atmosphere on the tribological performance of W-S-N coatings / J. Sundberg, H. Nyberg, E. Sarham-mar [et al.]. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2014.

- Vol. 258. - P. 86-94.

208 Syzdykova, A. Sh. Structure and properties of steel coating ligated zirconium / A. Sh. Syzdykova, E. N. Eremin, S. A. Guchenko, V. M. Yurov. - Текст: непосредственный //Вестник КарГУ. Физика. - 2015. - № 3(79). - С. 32-40.

209 Thornton, J. A. Structure and topography of sputtering coatings / J. A. Thornton. - Текст: непосредственный // Ann. Rev. Material Sci. - 1977. - Vol. 7. - P. 239-260.

210 Tolman, R. C. The effect of droplet size on surface tension / R.C. Tolman. -Текст: непосредственный // J. Chem. Phys. - 1949, Vol. 17, No.2. - P. 333-337.

211 Tsai, M. H. High-entropy alloys: a critical review / M. H. Tsai, J. W. Yeh. -Текст: непосредственный // Mater. Res. Lett. - 2014. - Vol. 2. - P. 107-123.

212 Veprek, S. Composition, nanostructure and origin of the ultrahardness in nc-TiN a-Si N4 a- and nc-TiSi2 nanocomposites with Hv 80 to 105 GPa / S. Veprek, A. Niederhofer, K. Moto [et al.]. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2000. - Vol. 133-134. - P. 152-159.

213 Veprek, S. Different approaches to superhard coatings and nanocomposites /

S. Veprek, M. Veprek-Heijman, P. Karvankova, J. Prochazka. - Текст: непосредственный // Thin Solid Films. - 2005. - Vol. 476. - P. 1-29.

214 Verma, N. Micromechanisms of damage nucleation during contact deformation of columnar multilayer nitride coatings / N. Verma, S. Cadambi, V. Jayarama, S. K. Biswas. - Текст: непосредственный // Acta Materialia. - 2012. - Vol. 60. - P. 3063-3073.

215 Voevodin, A. A. Mechanical and tribological properties of diamond-like carbon coatings prepared by pulsed laser deposition / A. A. Voevodin, M. S. Donley, J.

5. Zabinsky, J. E. Bultman. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 1995. - Vol. 76-77. - P.534- 539.

216 Wang, L. Material transfer phenomena and failure mechanisms of a nanostructured Cr-Al-Ncoating in laboratory wear tests and an industrial punch tool application / L. Wang, X. Niea, J. Housden [et al.]. - Текст: непосредственный // Surface and Coatings Technology. - 2008. - V. 203. - P. 816-821.

217 Wang, Z. B. Effect of surface nanocrystallization on friction and wear properties in low carbon steel / Z. B. Wang, N. R. Tao, S. Li [at el.]. - Текст: непосредственный // Mater. Sci. Eng. - 2003. - Vol. 352. - P. 144-149.

218 Yeh, W. Nanostructured High-Entropy Alloys with Multiple Principal Elements: Novel AAlloy Design Concepts and Outcomes / W. Yeh, S. K. Chen, S. J. Lin [et al.]. - Текст: непосредственный // Advanced Engineering Materials. - 2004. - Vol.

6. - P. 299-303.

219 Yurov, V.M. Multiphase composite coatings: structure and properties / V. M. Yurov, S. A. Guchenko, E. S. Platonova [et al.]. // IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering. - 2015. - Vol. 81. - 012090. - Текст электронный.

220 Yurov, V. M. Emergence dissipative structures when forming plasma coatings / V. M. Yurov, A. Sh. Syzdykova, E. N. Eremin. - Текст: непосредственный // Eurasian Physical Technical journal. - 2015. - Vol. 12. - № 2(24). - P. 37-42.

221 Zakrzewski, V. Proc. Of the Second Conf. On Dimensioning and Stregth Calculations / V. Zakrzewski. - Budapest: Academical Kiado, 1965. - P. 597-605. -Текст: непосредственный.

222 Zeman, P. Structure and properties of hard and superhard Zr-Cu-N nano-composite coatings / P. Zeman, R. Cerstviy, P. H. Mayrhofer [et al.]. - Текст: непосредственный // Materials Science and Engineering. - 2000. - Vol. 289. - P. 189-197.

223 Zhang, Y. S. Friction and wear behaviors of nanocrystalline surface layer of pure copper / Y. S. Zhang, Z. Han, K. Wang, K. Lu. - Текст: непосредственный // Wear. - 2006. - V. 260. - P. 942-948.

163

ПРИЛОЖЕНИЯ

Приложение А

Справка о внедрении

В ДнссертаиионмыА со»мД 212.178.14 6+4050. Оме*.. Пр Мира. д. 11 Справка с внедрении

Настоящим подтверждаем что результаты диссертационного исследован ил Скздыкоеий АIII ма тему: "Исследование стр\\туры и СВОЙСТВ много элементных ионно-плазменных покрытия на основе кромоннкелевой стали ^ обладают актуальностью предггав.ггкл практический интерес я внедрены в производство иа тепловых электростаниилх ТОО -Караганда Энергоиснтр»- как жаростойкие поьрышл. а слученные при одновременное рзшшенни шодов 1а - А^ .Си и каюда од стазн 12Х18ШС1.

Исполнительный директор ■. .

ТОО ^Караганда Эвергоцснтр" /-•' 'Хг. * " Исаев Д Б

I 1Ш!Ш1 ТЯЯШЩ

Справка о внедрении

Приложение Б