Оптические методы высокоточного измерения геометрических размеров объектов на основе дифракции света тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, кандидат физико-математических наук Ялуплин, Михаил Дмитриевич

• Ялуплин, Михаил Дмитриевич
• кандидат физико-математических наук
• 2006

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Ялуплин, Михаил Дмитриевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ

ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ РАЗМЕРОВ ОБЪЕКТОВ В ПРОХОДЯЩЕМ

СВЕТЕ.

1. 1 Теневые проецирующие методы.

1. 2 Лазерные сканирующие методы.

1. 3 Дифракционные методы.

Выводы.

ГЛАВА 2. МОДЕЛИРОВАНИЕ И РАСЧЁТ ДИФРАКЦИОННЫХ ПОЛЕЙ ФРЕНЕЛЯ ДЛЯ ОДНОМЕРНЫХ ЩЕЛЯХ И ЭКРАНАХ.

2.1 Френелевское изображение стандартных объектов в когерентном свете и анализ их структуры.

2.2 Моделирование и расчёт интерференционных явлений в окрестности геометрических краёв френелевского поля щели.

2.3 Исследование особенностей формирования френелевского дифракционного поля объекта в частично-когерентном свете.

2.4 Расчет картины дифракции на полуплоскости при пространственно-неравномерном освещении гармонического типа.

Выводы.

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ДИАПАЗОНА И ПОГРЕШНОСТЕЙ ФРЕНЕЛЕВСКОГО МЕТОДА ИЗМЕРЕНИЙ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ РАЗМЕРОВ ОБЪЕКТОВ.

3.1 Оценка погрешности определения положения края полуплоскости при низкочастотном неравномерном освещении.

3.2 Определение геометрических размеров объектов с высокой точностью в условиях их неравномерного освещения.

3.3 Изучение интегрирующих свойств ПЗС линейки при регистрации дифракционного изображения.

3.4 Исследование диапазона измерений и разработка способов его расширения.

3.5 Оценка общей погрешности метода измерения.

Выводы.

ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ И РАСЧЁТ ДИФРАКЦИИ ФРАУНГОФЕРА НА ОДНОМЕРНЫХ ЭКРАНАХ МАЛОГО РАЗМЕРА В РАСХОДЯЩЕМСЯ ПУЧКЕ СВЕТА. ФРАУНГОФЕРОВСКИЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ.

4.1 Моделирование и расчёт дифракционного поля Фраунгофера.

4.2 Определение размеров одномерных экранов по их фраунгоферовским изображениям.

4.3 Исследование и оценка диапазона измерений фраунгоферовского метода.

4.4 Экспериментальные результаты.

Выводы.

ГЛАВА 5. РАЗРАБОТКА, СОЗДАНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ФРЕНЕЛЕВСКОГО ИЗМЕРИТЕЛЯ ДИАМЕТРОВ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ.

5.1 Принципы построения и расчёт оптической схемы измерителя.

5.2 Френелевский измеритель размеров: технические характеристики.

5.3 Результаты экспериментальных исследований измерителя.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Оптические методы высокоточного измерения геометрических размеров объектов на основе дифракции света»

Улучшение качества машиностроительной, металлургической и атомной продукции в условиях современного поточного производства, освоение новых технологий в значительной степени зависят от оснащения промышленности высокоэффективными средствами размерного контроля. Такие системы должны обеспечивать бесконтактность и надежность измерений, высокое разрешение (от долей микрон до нескольких микрон) и быстродействие (не менее 500 изм./сек), широкий измерительный диапазон (от нескольких микрон до десятков миллиметров), допускать контроль в большом измерительном объеме. Эти средства измерения должны быть относительно недорогими и достаточно компактными настолько, чтобы их можно было встраивать в различные технологические линии производства изделий. Среди бесконтактных методов контроля всё большее распространение получают оптические, которые в сравнении с известными методами (индуктивными, ёмкостными, пневматическими и др.) обеспечивают более высокие технические характеристики [1-6].

Для контроля изделий с чёткой теневой проекцией в России [7-9] и за рубежом [10-14] производятся оптические измерители на основе сканирующих теневых, проекционных теневых и дифракционных методов. Класс таких изделий достаточно широк и включает в себя, прежде всего, объекты цилиндрического типа: трубы, таблетки, нити, проволоки и др.

Принцип действия теневых сканирующих методов основан на сканировании объекта узким лучом лазера с помощью качающегося зеркала [3,12-15]. Реализация этой идеи требует применения дорогостоящих сканеров и специальной 0-оптики. Такие измерители критичны к вибрациям, требуют частой калибровки, что затрудняет их применение в промышленных условиях.

Принцип действия теневых проекционных измерителей основан на формировании с помощью проецирующей оптики теневого изображения объекта с его последующим фотосчитыванием и обработкой [7,11,16,17]. Основными недостатками таких систем являются невысокая точность измерения и необходимость применения высококачественной проекционной оптики для формирования изображения в плоскости регистрации.

Суть дифракционных систем основана на использовании для целей измерения дифракционных картин Фраунгофера (пространственно-частотных спектров объектов) [3,18-29]. Такие измерители обладают высокими точностными характеристиками (разрешение 0,1 мкм), которые, однако, заметно ухудшаются при контроле непрозрачных объектов малых размеров (от 50 мкм и ниже) вследствие влияния нулевого порядка дифракции (проходящей недифрагированной волны). Кроме того, такие системы имеют ограниченный верхний предел измерения (до 100 мкм) и требуют для реализации применения высококачественных Фурье-объективов.

Существенно, что приведённые измерительные системы не в полной мере удовлетворяют современным техническим и массогабаритным требованиям. Всё острее ощущается потребность в компактных, широкодиапазонных и высокоточных измерителях, пригодных к применению в промышленных условиях (вибрация, пыль и др.) для контроля различных технологических процессов.

Поэтому актуальным является поиск альтернативных подходов решения задачи размерного контроля средствами оптики на основе интегральных преобразований волновых фронтов изображений объектов, исследование их возможностей в реальных условиях, выбор и разработка перспективных измерительных методов, открывающих возможность создания принципиально новых систем бесконтактного размерного контроля геометрических параметров объектов с улучшенными техническими характеристиками и массогабаритными показателями.

Одним из таких перспективных оптических методов является метод, основанный на использовании для целей измерения дифракционных картин Френеля контролируемого объекта [30]. При формировании такой картины в качестве "оптического элемента" выступает свободное пространство, которое, в сравнении с проекционными оптическими системами, преобразует входное распределение во френелевское изображение с более высокой точностью. Характеристики такого «элемента» близки к идеальным: он не вносит дополнительных искажений при формировании френелевского изображения объекта и, таким образом, лишён всякого рода аберраций [31,32], присущих даже совершенным линзовым системам. При этом расстояние между контролируемым объектом и считывающим фотоприёмником, определяющее структуру дифракционной картины Френеля и задающее габаритные размеры измерителя, не превышает нескольких десятков миллиметров.

Экспериментальные системы на основе такого френелевского метода размерного контроля и достигнутые при этом результаты представлены в работах [35-37].

Однако, судя по публикациям [33, 34] глубоких теоретических исследований в этом направлении, нацеленных, прежде всего, на достижение предельных характеристик френелевского метода, до сих пор не приводилось. Одна из возможных причин - сложность математического аппарата, описывающего дифракционные явления Френеля, что препятствует также широкому применению его в инженерной практике.

Вместе с тем использование явления дифракции Френеля и Фраунгофера на объекте для измерительных целей открывает новые возможности как в части радикального улучшения технических характеристик, так и в части создания принципиально новых - малогабаритных, дешёвых и конкурентоспособных -датчиков для решения различных задач.

Существенно, что при рассмотрении и анализе дифракционных изображений Френеля на этапе разработки измерительных систем не учитывается ряд факторов [38], влияние которых может значительно ухудшить точностные характеристики метода. Среди них отметим следующие: неравномерность освещающей объект волны, влияние конечных размеров частично-когерентного источника излучения, интерференция дифракционных изображений краёв, искажение профиля френелевского изображения объекта при регистрации его многоэлементным фотоприёмником вследствие конечных размеров его элементов.

Целью диссертации является исследование дифракционных явлений Френеля и Фраунгофера на объектах щелевого и экранного типов применительно к их размерному контролю и разработка на основе полученных результатов высокоточных и широкодиапазонных оптических методов измерения геометрических размеров изделий.

Для достижения поставленной цели необходимо было решить следующие задачи:

1. Исследовать и провести расчёт дифракционных явлений Френеля на одномерных экранах и щелях с учётом пространственной неравномерности освещающей волны и степени когерентности света. Разработать алгоритмы определения геометрических параметров исследуемых объектов на основе анализа структуры регистрируемых полей (изображений).

2. Разработать высокоточный и широкодиапазонный оптический метод измерения размеров объектов на основе дифракции Френеля и теоретически исследовать его метрологические характеристики (диапазон и погрешность измерений).

3. Разработать высокоточный метод измерения размеров объектов экранного типа на основе дифракции Фраунгофера в расходящейся сферической волне света и теоретически исследовать его метрологические характеристики.

4. Изучить особенности дифракции Фраунгофера на одномерных экранах малого размера (до 100 мкм) при освещении их расходящейся сферической волной света и предложить новый высокоточный алгоритм определения размеров объектов, устойчивый к влиянию проходящей недифрагированной волны.

5. Экспериментально исследовать метрологические характеристики предложенных оптических методов измерения. Разработать и создать опытный образец оптико-электронного френелевского измерителя размеров объектов.

Связь с государственными программами и НИР. Работа выполнена в Кубанском госуниверситете на кафедре оптоэлектроники в период с 2003 по 2006 годы по теме «Исследование и разработка новых физико-технологических принципов построения оптоэлектронных, микро- и нанооптических устройств сбора , обработки и передачи информации и перспективных сред для микролазеров», а также в лаборатории технического зрения Конструкторско-технологического института научного приборостроения СО РАН в соответствии с программой Президиума СО РАН по физико-техническим наукам 10.4 "Новые оптические материалы, технологии и приборы, их применения" в рамках проекта «Научные основы оптико-электронных технологий прецизионного контроля 3D объектов и формирования заданных объемных микроструктур поверхности» (рег.№:0120.0403176). Методы исследований. В работе использовались методы геометрической и волновой оптики, теории преобразования оптических сигналов и теории измерений.

Достоверность результатов подтверждалась сравнением получаемых теоретических данных с физическим экспериментом. Достоверность данных, полученных экспериментальным путем, обеспечена путём использования метрологически аттестованного и поверенного оборудования. Научная новизна диссертационной работы состоит в том, что в ней впервые:

- решена задача расчёта дифракционного поля Френеля для одномерных экранов и щелей с учетом влияния неравномерности освещения гармонического типа, конечных размеров частично-когерентного источника излучения, интерференции дифракционных изображений краёв исследуемого объекта и интегрирующих свойств многоэлементного фотоприёмника. Получены аналитические соотношения для оценки погрешностей определения положения геометрических краёв объекта;

- предложены методы определения с высокой точностью геометрических размеров объектов по их дифракционным картинам Френеля и способы расширения на порядок нижнего предела измерений таких размеров;

- решена задача расчёта дифракционных явлений Фраунгофера на одномерных экранах при их освещении расходящейся сферической световой волной. Впервые предложен новый высокоточный алгоритм определения геометрических размеров объектов экранного типа на основе анализа контраста их дифракционных полей и получены аналитические соотношения для оценки диапазона измерений;

- предложен метод построения френелевских измерителей геометрических размеров объектов, который, в отличие от известных, обеспечивает более высокую точность и более широкий диапазон измерений.

Практическая ценность работы

Результаты расчета дифракционных явлений Френеля на одномерных экранах и щелях с учётом их неравномерного освещения и степени когерентности света, интегрирующих свойств многоэлементного фотоприёмника и интерференционных явлений, предложенные методы измерений и их схемотехнические решения, методы анализа и обработки дифракционных полей составляют новый арсенал средств для инженерных применений в области оптического приборостроения и могут быть рекомендованы разработчикам при создании оптико-электронных измерительных систем нового поколения.

На основе проведенных исследований разработан и создан опытный образец оптико-электронного френелевского измерителя для размерного контроля топливных таблеток для тепловыделяющих элементов ядерных реакторов ВВЭР-1000 (по заказу РОС АТОМА). На защиту выносятся следующие положения:

1. Методы и результаты расчёта френелевских полей одномерных экранов и щелей с учетом влияния параметров освещающего пучка, интегрирующих свойств многоэлементного фотоприёмника и интерференционных явлений, возникающих при взаимодействии дифракционных изображений краёв объекта.

2. Способы повышения точности и расширения нижней границы диапазона измерений геометрических размеров объектов френелевского метода по их дифракционным изображениям.

3. Фраунгоферовский высокоразрешающий (0.01 мкм) метод измерения малых размеров (до 100 мкм) непрозрачных объектов при освещении их расходящейся сферической волной света.

4. Способ определения геометрических размеров объектов по контрасту их дифракционных изображений Фраунгофера.

5. Опытный образец оптико-электронного френелевского измерителя геометрических размеров объектов.

Публикации. Материалы диссертации опубликованы в 11 научных работах, в том числе в 4 журнальных статьях и в 7 статьях отечественных и международных симпозиумов и конференций.

Работа состоит из введения, 5-ти глав, заключения, списка использованных источников из 89 наименований и приложения. Объём диссертации 118 страниц, 40 иллюстраций и 8 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Оптика», Ялуплин, Михаил Дмитриевич

Основные результаты диссертации состоят в следующем:

1. Проведён расчёт и анализ дифракционных полей Френеля на одномерных экранах и щелях в когерентном и частично-когерентном свете применительно к их размерному контролю.

2. Выявлены основные источники погрешностей измерения френелевского метода. Установлено, что вследствие эффекта интерференции дифракционных краёв контролируемого объекта происходит смещение края объекта на величину, обратно пропорциональную числу зон Френеля в пределах контролируемого объекта, значение которой снижается соответствующим выбором параметров измерителя на этапе проектирования или использованием частично-когерентного освещения. Показано также, что применение частично-когерентного освещения позволяет значительно улучшить структуру регистрируемого сигнала за счет подавления когерентных шумов и дополнительной микроструктуры дифракционного изображения. Предложен и экспериментально исследован высокоточный алгоритм определения геометрических параметров объектов в зависимости от угловых размеров источника света.

3. Исследованы особенности формирования френелевских изображений при пространственно-неравномерном освещении гармонического типа. Установлено, что влияние параметров освещающего пучка на френелевскую картину объекта определяется соотношением между периодом колебаний этого распределения и размером зоны Френеля. Выявлено, что влияние неравномерности высокочастотного типа снижается при использовании частично-когерентного освещения или низкочастотной фильтрации френелевского изображения.

4. Аналитически показано, что в случае неравномерного низкочастотного освещения его влияние на структуру френелевского изображения полуплоскости в окрестности геометрического края объекта носит локальный характер. Предложен и экспериментально исследован высокоточный алгоритм определения положения границ объекта при освещении его волной со слабой неравномерностью, основанный на учёте поведения поля в окрестности его края. Он позволяет в десятки раз повысить точность измерения.

5. Изучены особенности формирования френелевских изображений измеряемых объектов ПЗС линейкой. Установлено, что вследствие нелинейного распределения регистрируемого поля линейным многоэлементным фотоприёмником с конечными размерами пикселей возникает систематическая погрешность определения истинных границ объекта, значение которой обратно пропорционально числу элементов ПЗС линейки, укладываемых на размере зоны Френеля. Данная составляющая погрешности заметно снижается путём оптимального выбора параметров оптической системы.

6. Исследован диапазон измерения размеров объектов френелевским методом. Показано, что при освещении объекта плоскими волнами света верхняя граница диапазона определяется рабочей апертурой многоэлементного фотоприёмника и может составлять десятки миллиметров, а нижняя граница -размером зоны Френеля (до 25 мкм). С целью радикального повышения точности измерений (на порядок и более) объектов с размерами порядка зоны Френеля предложен новый алгоритм обработки измерительной информации, учитывающий особенности дифракционных картин в переходной области (между дифракцией Френеля и Фраунгофера). Показано, что освещение объекта расходящимися сферическими волнами позволяет снизить нижнюю границу диапазона измерений до 10 мкм.

7. Проведён расчёт и анализ дифракции Фраунгофера на одномерных объектах экранного типа при их освещении расходящейся сферической волной света. Предложен высокоточный метод определения геометрических параметров контролируемых объектов на основе анализа контраста их дифракционных изображений. Показано, что верхняя граница измерения определяется условием дифракции Фраунгофера и может составлять 100 мкм, а нижняя граница - 3 мкм. Экспериментальная погрешность измерения в диапазоне 5-90 мкм не превысила 0.05 - 0.1 мкм.

8. Разработан и создан опытный образец френелевского измерителя для размерного контроля диаметров топливных таблеток ТВЭЛ ядерных реакторов ВВЭР-1000 со следующими техническими характеристиками: измерительный диапазон 0.2 - 25 мм, погрешность не более 3 мкм, измерительный объём 10 х 10 мм, быстродействие 250изм./сек (определяется используемым фотоприёмником).

Полученные результаты могут быть использованы при разработке широкодиапазонных оптико-электронных измерительных систем нового поколения (в проходящем свете) для решения различных задач высокоточного размерного контроля. Большой диапазон измерений (от нескольких микрон до десятков мм) может быть достигнут путём одновременного использования в системе как фраунгоферовского, так и френелевского методов измерений (в зависимости от размеров объектов) на основе использования дифракционных явлений в свободном пространстве.

Автор выражает искреннюю благодарность проф., д.т.н. Н.А. Яковенко, проф., д.т.н. Ю.В. Чугую за руководство и полезные обсуждения, к.т.н. JI.B. Финогенову за денные советы и полезные замечания, а также всем сотрудникам ОНИЛ ТЗ КТИ НП СО РАН за поддержку и внимание к работе.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В диссертации поставлена и решена задача исследования физических основ построения высокоточных оптических методов измерения геометрических размеров объектов с использованием явления дифракции Френеля и Фраунгофера и разработка френелевского и фраунгоферовского методов, обеспечивающих в сравнении с существующими более высокие метрологические характеристики.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Ялуплин, Михаил Дмитриевич, 2006 год

1. Волосов С.С., Педь Е.И. Приборы для автоматического контроля в машиностроении. -М.: Изд-во стандартов, 1975. С. - 123,252.

2. Мироненко А.В. Фотоэлектрические измерительные системы. М.: Энергия, 1967.-360 с.

3. Неразрушающий контроль и диагностика. Справочник / Под ред. В.В. Клюева. М.: Изд-во Машиностроение, 2003.

4. Волосов С.С., Педь Е.И. Приборы для автоматического контроля в машиностроении: Учеб пособие для вузов.- М.: Изд-во стандартов, 1975.

5. Герасимов В.Г., Клюев В.В., Шатерников В.Е. Методы и приборы электромагнитного контроля промышленных изделий. М.: Энергоатомиздат, 1983.-С. 20-24.

6. Матис И.Г. Электроёмкостные преобразователи для неразрушающего контроля. Рига: Зинавтне, 1982. 302 с.

7. Ладыгин В. И., Чугуй Ю. В., Юношев В. П. и др. Оптико-электронное устройство для бесконтактного контроля геометрических параметров ТВЭЛ // Автометрия. 2004.- №2. - Т. 40.

8. Лазерный измеритель диаметра «ЛИД-1» / Проспект фирмы «Диаконт». Беларусь, 2002.

9. Лазерный измеритель диаметра «ЛИД-1М» / Проспект фирмы «Диаконт». Беларусь, 2002.

10. Gordon М. Brown, Kevin G. Harding, H. Philip Stahl. Industrial Application of Optical Inspection, Metrology and Sensing//Proc. SPIE. 1821, 1992.

11. High-Speed, High-Accuracy CCD Micrometer LS-7000 Series / Проспект фирмы «Кеуепсе». Япония, 2002.

12. Costanzo D. Measuring and Testing // WIRE JOURNAL INTERNATIONAL. 2001. - Dec. - P. 64-77.

13. Spizzamiglio A., Zampieri E. On-line diameter measuring of ferrous wire on dry drawing benches: how laser gauges can do their job in this very harsh environment//Proc. ICWCE. Dusseldorf, 1999.

14. The measurement, instrumentation and sensors. Handbook / Editor-in-chief John G. Webster. USA: CRC press LLC, 1999.

15. Model 102-200 / Проспект фирмы «BetaLaserMike». США, 2005.

16. Чугуй Ю.В., Юношев В.П., Кривенков Б.Е. и др. Фотодиодный оптико-электронный измеритель размеров «Сенсор» // Автометрия. 1989. - С. 83-91.

17. Пат.1458828 Япония. Non-contact type dimension measuring device / Kabushiki Kaisha.

18. Chugui Yu. V., Bytchkov R.M., Koronkevitch V.P. Theaded article parameter measurement by spatial spectra analysis // Applied Optics. -1979. №2. -V.18.-P. 197-200.

19. Чугуй Ю.В. Лазерный дифракционный измеритель / Чугуй Ю.В., Финогенов JI.B., P.M. Бычков и др. // Тез.докл. III Всероссийской шк. по оптич. обраб. информ. Рига: 1980. - 4.2. - 46 с.

20. Pryor T.R., Hageniers О. L., North Diffractographic dimensional measurement//Applied optics. 1972. - №2. -V.l 1. - P. 308-313.

21. Митрофанов A.C., Тарлыков B.A. Исследование дифракционного способа контроля диаметра проводов и проволок // Приборостроение. 1976. -№1. -T.XIX. - С. 104-108.

22. Лизунов В.Д. Бесконтактный метод измерения малых линейных размеров// Измерительная техника. 1976. - №2. - С. 37-40.

23. Бычков P.M., Кривенков Б.Е., Чугуй Ю.В. Повышение точности дифракционных методов размерного контроля // Автометрия. 1984. - №3. - С. 75-84.

24. Е.П. Осмоловская, М.Н. Лоди Применение лазера для измерения ширины тонких лент // Измерительная техника. 1973. - №6. - С. 30-31.

25. Лизунов В.Д., Весельев В.М. Лазерная фотоэлектрическая установка для измерения малых поперечных размеров // Измерительная техника. 1977. -№3. - С. 36-38.

26. Осмоловская Е.П., Лоди М.Н. Пределы и погрешности измерения тонких лент дифракционным методом // Измерительная техника. 1973. - №9. -С. 25-26.

27. Пат. 4394683 Япония. New photodetector array based optical measurement system / N.L.-Wagner.

28. West P. On-line gauge for wire and fibre diameter measurement // Measuring and control. 1974. - №2. -V.7. - P. 45-46.

29. Митрофанов A.C., Тарлыков В.А.Анализ дифракционных способов измерения диаметра тонких цилиндрических изделий: Материалы науч,-технической конф. Современная прикладная оптика и оптические приборы. -1975.-Ч. IV.-С. 41-44.

30. Митрофанов А.С., Тарлыков В.А. Исследование дифракционного способа контроля диаметра проводов и волокон // Приборостроение. 1976. -№1. - T.XIX.- С. 106-106.

31. Горелик Г.С. Колебания и волны. М.: ГИФМЛ, 1959. - С. 380-387.

32. Русинов М.М. Техническая оптика. М.: ГНТИМЛ, 1961. - С. 94119,153-163.

33. Кругер М.Я., Панов В.А., Кулагин В.В. и др. Справочник конструктора оптико-механических приборов.- М.: ГНТИМЛ, 1963. С. 143-183.

34. Fischer J., Radii Т. / Proc. Workshop 2002. Prague 2002. - P. 474-475.

35. Пат. 0924493 Германия. Measurement of diameter using diffraction borders and electronic soiling correction. Опубл. 1999.

36. Laser measuring system for dimensions and edge positions / Проспект фирмы «Schafter+Krichhoff». Германия.

37. Han-Seok L., Yoke-San W. On-machine Optical Measurement of Micro-EDM Tool Wear / Proc. ISIST 2004. Xi'An (China), 2004. - P. 1027-1033.

38. Dr. Winkler Besonderheiten der Bilderfassung mit CCD-Zeilen. Humboldt-Universitat zu Berlin Institut fur Informatik, Lehrveranstaltung: Schaltkreisentwurf (SKE Seminar), 2001.

39. Чугуй Ю.В., Яковенко H.A., Ялуплин М.Д. Метод измерения размеров объектов в когерентном свете на основе преобразования Френеля // Автометрия. 2004. - №5. - Т. 40. - С. 38-55.

40. Никулин В.И. Оптико-электронные устройства для измерения линейных размеров: реф. обзор / В.И. Никулин, Н.Г. Соловьёв, J1.B. Финогенов. М.: ЦНИИ и ТЭИ. - №1305. - 86 с.

41. Полонник B.C. Телевизионные автоматические устройства. М.: Связь, 1974.-216 с.

42. Секен К. Приборы с переносом заряда / К. Секен, М. Томпсет. М.: Мир, 1978.-327с.

43. Неизвестный С.И., Никулин О.Ю. Приборы с зарядовой связью основа современной телевизионной техники. Основные характеристики ПЗС // Специальная техника. - 1999. - №4.

44. Лемешко 10. А., Чугуй Ю.В. Размерный контроль круговых отражающих цилиндров интерференционным методом // Автометрия. 2003. -№ 5. - Т. 39.

45. Dew C.D. The application of spatial filtering techniques to profile inspection and an associated interference phenomenon // Optica Acta. 1970. - № 4. - V. 17. -P. 237-257.

46. Chugui Yu.V., Pavlov A.A. Peculiarities of cylinder diameter determination by diffraction method / Proc.IMEKO. 2000. - V. 2. - 169 p.

47. Измеритель ЛИД50.02 АЛ2.766.992ТУ / Проспект фирмы «Измерение».-М.

48. Измеритель БИД / Проспект фирмы «Измерение». М.

49. Измеритель Цикада / Проспект фирмы «Эрмис+». Томск.

50. Пат. DE3437412 Германия. Contact-free optical linear measurement device / Juerger R. Опубл. 1986.

51. Пат. JP7198346 Япония. Optical system and device for measurement of wire diameter by bidirectional laser scanning / Ito Norihisa. Опубл. 1995.

52. Пат. JP5018717 Япония. External diameter measuring apparatus /Toshiji K.

53. Катыс Г.П., Кравцов H.B., Чиркин JI.E. и др. Модуляция и отклонение оптического излучения. М.: Наука, 1967.

54. Рябов С.Г., Торопин Г.Н., Усольцев И.Ф. Приборы квантовой электроники. М.: Сов.радио, 1967. - 310 с.

55. Тарасов JI.B. Физические основы квантовой электроники. М.: Сов.радио, 1976. - 368 с.

56. Берковский А.Г., Гаванин В.А., Зайдель И.Н. Вакуумные фотоэлектронные приборы. М.: Радио и связь, 1988. - 277 с.

57. Анисимова И.Д., Викулин И.М., Заитов Ф.А. и др. Полупроводниковые фотоприёмники: УФ, видимый и ближний ИК диапазоны спектра. М.: Радио и связь, 1984. - 216 с.

58. Носов Ю.Р., Шилин В.А. Полупроводниковые приборы с зарядовой связью. М.: Сов.радио, 1976. - 141 с.

59. Измеритель ORle и OR2e / Проспект фирмы «СиэМэС».- М.

60. Измеритель ALS12XY / Проспект фирмы «Aeroel». Италия.

61. Spizzamiglio A. L'utilizzo di micrometri laserometri controllo del diametro nei processioce ditrafila afilatura del filodiradelfilo di rame. Tecnologie del filoedelcavo, organizzato da Tecniche Nuove Congressi. Erba (CO), 8 novembre 2002.

62. Spizzamiglio A. Laser Technology Improves and Makes Easier Post-Process Measuring On Centreless Grinders. Grindline-eng.doc, 04.09.2001.

63. Пат. 3620900 Россия. Дифракционный способ измерения ширины протяжённого объекта / А.С. Бернштейн, М.Н. Лоди. Опубл. 1986.

64. Пат. 3929414 Россия. Дифракционный способ измерения линейного размера изделия и устройство для его осуществления / К.И. Крылов, В.Т. Прокопенко и др. Опубл. 1987.

65. Крылов К.И. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении / К.И. Крылов, В.Т. Прокопенко.- М.: Машиностроение, 1978. -334 с.

66. Ахманов С.А. Физическая оптика / С.А. Ахманов, С.Ю. Никитин. М.: МГУ, 1998.-С. 379,391-419.

67. Jian-wen С., Wen-yan Т. Measurement of thin cylinder diameter by optical diffraction / 3-rd ISIST, 2004. P. 1245-1247.

68. Пат. DEI9758214 Германия. Optical precision measuring device for measuring various parameters of workpieces during manufacture. Опубл. 1999.

69. Пат. US4775236 США. Laser Metric System / D. Cohen, D. Papurt. Опубл. 1988.

70. Гудмен Д. Введение в Фурье оптику. М.: Мир, 1970. - С. 63, 176.

71. Chugui Y.V., Yakovenko N.A., Yaluplin M.D. Measurement Characterization of Fresnel Method in Dimensional Metrology // Journal of the Chinese Society of Mechanical Engineers. 2005. -V. 26. - № 3. - P. 271-278.

72. Chugui Y.V., Yakovenko N.A., Yaluplin M.D. Metrology of Fresnel measurement method // Journal Measurement Science and Technology. 2005. - № 16.-P. 1-4.

73. Чугуй Ю.В., Яковенко H.A., Ялуплин М.Д. Повышение точности френелевского метода измерений при использовании частично-когерентного освещения // Автометрия. -2005. № 6. - Т.41. - С. 13-23.

74. Ландсберг Г.С. Оптика. М.: Наука, 1976. - С. 62-69,150-170.

75. Chugui Yu.V., Yakovenko N.A., Yaluplin M.D. A Fresnel method for measurement of object dimensions in coherent light / ISPMM. Frankfurt, 2004. -23-24 June, P. 445-459.

76. Сивухин Д.В. Общий курс физики. Оптика. М.: Наука, 1980. - 286 с.

77. Chugui, Y., Krivenkov В.: Fraunhofer diffraction by volumetric bodies of constant thickness // Journal of the Optical Society of America. A6 (1989) 5. - P. 618-619.

78. Бронштейн И. H. Справочник по математике / И.Н. Бронштейн, К.А. Семендяев. М.: Наука, 1964. - С. 145,322.

79. Chugui Y.V., Yakovenko N.A., Yaluplin M.D. Metrology for Fresnel measuring method // 7-th ISSMT&II. Huddersfield (UK), 2005. - P. 386-390.

80. Chugui Yu.V., Yakovenko N.A., Yaluplin M.D. Improving the precision characteristics of a Fresnel method by using coherent and partially coherent illumination / 8-th ISMQCP. Erlangen, 2004. - Oct. 12-15. - P. 43-52.

81. Chugui Yu.V., Yakovenko N.A., Yaluplin M.D. A Fresnel method of measuring the dimensions of object in partially coherent light / 3rd ISIST. -Xi'an(China), 2004,-Aug. 18-22.-V. 2.-P. 1034-1039.

82. Chugui Y.V., Yakovenko N.A., Yaluplin M.D. Limiting characterization of Fresnel measuring method / Proc. of sec. IASTED. Novosibirsk, 2005. - P. 63-66.

83. Чугуй Ю.В., Яковенко H.A., Ялуплин М.Д. Исследование точностных характеристик френелевского метода измерений размеров объектов // VI Международная конф. Прикладная оптика. СПб (Россия), 2004. - 18-21 окт. -Т. 1(2). - С. 400-406.

84. Chugui Yu.V., Yakovenko N.A., Yaluplin M.D. Fresnel method accuracy increase for measurement of object dimensions / The 2nd ISPMM. Beijing (China), 2004. - August 24-28. - 5 p.

85. Папулис А. Теория систем и преобразований в оптике.- М.: Мир, 1971. -253 с.

86. Расковская И.Л., Ринкевичюс Б.С., Толкачёв А.В. Дифракционный метод одновременного определения размера и скорости большой цилиндрической частицы // Измерительная техника. 2004. - № 2.- С. 25-29.

87. Raffel М., Willert С., Kompenhance J. Particle image velocimetry. Berlin: Sprinder, 1998.

88. Расковская И.Л., Ринкевинчюс Б.С. // Вестник МЭИ. 1998. - № 12.93 с.

89. Para light electronics со data sheet part no EP20xx-150xx / Проспект фирмы ParaLight.

90. Лабусов B.A., Плеханова И.В., Финогенов Л.В. Исследование апертурных характеристик фотодиодных линеек // Автометрия. 1989. - № 5. -С.112-117.