Определение электрофизических параметров диэлектрических слоев на проводящей основе методом электростатической индукции тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.09.10, кандидат технических наук Михайлов, Борис Александрович

• Михайлов, Борис Александрович
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Михайлов, Борис Александрович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ.

1.1. Поляризация диэлектриков.

1.2. Влияние внешних факторов на диэлектрические характеристики.

1.3. Математическое описание процессов поляризации.

1.4. Диэлектрические характеристики материалов со структурными неоднородностями.

1.5. Методы определения электрофизических параметров материала.

1.6. Выводы.

ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ О ЭЛЕКТРОЕМКОСТНЫХ СИСТЕМАХ.

2.1. Классические определения и теория емкостных систем на основе полевых представлений.

2.2. Модели емкостных систем с поперечным и продольным полем.

2.3. Емкостные системы со скрещенными полями.

2.4. Выводы.

ГЛАВА 3. ОСНОВНЫЕ ПРАКТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЕМКОСТНЫХ СИСТЕМ. ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ИНДУЦИРОВАННОГО ЗАРЯДА В ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ТОК И

ОПРЕДЕЛЕНИЕ УДЕЛЬНОЙ ПРОВОДИМОСТИ

СЛОЕВ.

3.1. Аппроксимация коэффициента передачи емкостных систем и способы формирования электрического поля.

3.2. Преобразование индуцированного заряда в электрический ток.

3.3. Общий случай преобразования индуцированного заряд в электрический ток.

3.4. Особенности определения удельной проводимости слоев.

3.5. Выводы.

ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА И

ОСОБЕННОСТИ КОНСТРУКЦИИ ЕЕ ЭЛЕМЕНТОВ.

4.1. Структурная схема.

4.2. Зонды.

4.3. Сканирующее устройство с датчиками синхронизации.

4.4. Элементы коронатора.

4.5. Входная цепь и усилительные тракты.

4.6. Тестовые структуры.:.

4.7. Общие методические вопросы.

4.8. Выводы.

ГЛАВА 5 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ

ИНТЕРПРЕТАЦИЯ.

5.1. Методические вопросы определения плотности поверхностного заряда при электризации слоя в поле «короны».

5.2. Электризация однородного слоя в поле коронного разряда.

5.3. Электризация неоднородных слоев.

5.4. Особенности электризации рельефных поверхностей.

5.5. Определение диэлектрической проницаемости, плотности поверхностного заряда, удельной проводимости и толщины в локальной области.

5.6. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Определение электрофизических параметров диэлектрических слоев на проводящей основе методом электростатической индукции»

Создание новых диэлектрических, полупроводниковых и композиционных материалов с заданными электрофизическими свойствами с применением различных технологий, особенно электротехнологий -плазменного напыления, электрохимического роста пленок, кристаллов и др., дальнейшее исследование изменения их свойств - диэлектрической проницаемости, проводимости и других, опосредованно связанных с ними, в зависимости от различных внешних воздействий - температуры, давления, влажности, широкого спектра электромагнитных излучений требует разработки оперативных бесконтактных неразрушающих методов определения указанных характеристик материала с усреднением информации по относительно малому объему - порядка сотых долей мм . Очень важно, практически на любой стадии электротехнологического процесса, иметь возможность контроля выходных параметров материала, к которым относится также и однородность их распределения по поверхности и в объеме.

Особый интерес для различных областей физики и техники, в том числе и электротехнологии, составляет именно возможность исследования панорамы диэлектрической проницаемости, проводимости, толщины различных диэлектрических пленок и покрытий на проводящей подложке, а также возможность исследования процессов накопления и релаксации заряда в них под действием различных внешний факторов в пределах всего объекта, или на определенной траектории.

Однако, существующие подходы к математическому * описанию процессов измерения параметров емкости системы электродов с распределенными диэлектрической проницаемостью и известными геометрическими характеристиками позволяют определить диэлектрическую проницаемость всего объекта только в целом (интегрально). Как правило пользуются представлением плоскопараллельного поля.

Остается в стороне также вопрос о измерении проводимости материала при статическом (квазистатическом) электрическом поле, а также определении электростатических (поверхностных и объемных) зарядов в некоторых слоях (пиро-, пъезо-, электро-, опто и др.), влияние которых на электрофизические параметры значительно, но мало изучено.

В электроемкостной системе квазистатическое электрическое поле возникает в результате действия напряжений между электродами (классическое представление). Однако оно (электрическое поле) возникает и под действием точечных, линейных, поверхностных и объемных зарядов, находящихся в ней. Таким образом, имеет место явление электростатической индукции, на основе которого можно построить единую теорию электроемкостных методов измерения параметров материалов.

Существует круг задач электрофизики, электротехнологии, физики диэлектриков и полупроводников, других направлений физики и техники, решение которых без применения электроемкостных систем проблематично.

Вышеизложенное определяет актуальность данной работы.

Диапазон применения емкостных систем достаточно широк -определение диэлектрической проницаемости, толщины слоев, рельефа поверхности и его изменения, амплитуд и частот вибрации, исследования пространственного распределения этих параметров в материале. Очень важно также, что эти системы позволяют измерять неразрушающе электрический заряд, возникающий в материалах за счет внешнего влияния, что недоступно другим существующим средствам на современном этапе их развития.

Цель данной работы заключается в дальнейшем развитии теоретических представлений о электроемкостных системах и их практического применения . Для определения диэлектрической проницаемости, проводимости и толщины диэлектрических слоев, расположенных на проводящей подложке, а также электрических зарядов разработке экспериментальной установки для панорамного преобразования обозначенных параметров в электрический сигнал, применении соответствующих алгоритмов и документировании информации. Особенностью является пространственная разрешающая способность (10"10

3 8 3 м ) и чувствительность по заряду (10" Кл/м ), которая связана с точностью определения искомых параметров слоя.

В соответствии с этим, основными задачами диссертационной работы являются:

- развитие теоретических представлений о электроемкостных системах;

- практическое воплощение теоретической концепции в экспериментальной установке, реализующей некоторые возможности электроемкостных систем;

- экспериментальное подтверждение возможности определения диэлектрической проницаемости, толщины и проводимости диэлектрического слоя на проводящей подложке, а также распределений электрического заряда.

Практическая значимость работы заключается в том, что, наряду с уточнением теоретических представлений о электроемкостных системах, предложен, обоснован и экспериментально реализован новый способ определения диэлектрической проницаемости, толщины и проводимости диэлектрических слоев на проводящей подложке, заключающийся в том, что в локальной области слоя формируется поверхностный электростатический заряд (например, в поле коронного разряда) и в дальнейшем фиксируется его релаксация, а также предложен оригинальный зонд для определения анизотропных параметров материала.

Методы исследования

В диссертации использован теоретический аппарат процессов возникновения индуцированных зарядов и токов в многоэлектродной системе при анизотропном состоянии диэлектрической среды и эксклюзивная экспериментальная установка, основные элементы которой реализованы на основе этих теоретических представлений, позволяющая наблюдать панораму распределения поверхностного электростатического заряда на слое, распложенном на проводящей подложке.

Научная новизна работы состоит в том, что впервые ( по нашим данным) в отечественной и зарубежной практике обоснована теория электроемкостных систем с возбуждением электрического поля посредством внешних источников напряжения, а также распределенных точечных, линейных, поверхностных и объемных зарядов. Это значительно расширяет возможности их применения не только для измерения локальных значений диэлектрической проницаемости, толщины и проводимости, но и распределений электрического заряда.

Достоверность и обоснованность полученных результатов.

Теоретические результаты в диссертации достоверны, так как получены с применением методов математической физики и подтверждены экспериментальными данными при исследовании различных слоев на проводящей подложке с помощью разработанной и созданной нами установки и физической интерпретацией результатов.

Основные положения и результаты, выносимые на защиту.

1. Предложенные представления об электроемкостных системах позволяют наиболее полно реализовать их при определении параметров новых материалов, создаваемых с помощью электротехнологий и других способов.

2. Совокупность и анализ методов возбуждения электрического поля в системе электродов посредством формирования продольного и поперечного по отношению к слою полей расширяют область применения емкостных систем за счет возможности одновременного определения нескольких параметров.

3. Метод определения поперечной составляющей проводимости слоя на проводящей подложке с использованием релаксации поверхностного электростатического заряда позволяет определять диэлектрическую проницаемость, толщину, проводимость и плотность заряда с погрешностями не превышающими 5%.

4. Предложенный способ панорамного определения электрических свойств слоев обладает линейной разрешающей способностью до 0,1 мм.

5. Автоматизированный ; экспериментальный аналого-цифровой комплекс на основе электроемкостных систем с применением АЦП, ПЭВМ и устройств отображения и регистрации информации позволяет определить основные электрофизические и геометрические параметры слоев на проводящей подложке, полученных с помощью электротехнологий.

Апробация работы.

Основные положения и результаты диссертационной работы < докладывались и обсуждались на:

- VI международной конференции «Кристаллы.» г.Александров, Владимирской обл. сентябрь 2003г.

- X Международной конференции «Физика диэлектриков» (Диэлектрики-2004) в 2004г. г. С.-Петербург, 23-24.05.2004г.

- V Всероссийской конференции «электромагнитная совместимость» сентябрь 2004г. г. С.-Петербург

- Международной юбилейной конференции, посвященной 50-ти летию ВНИИСИМС г. Александров, Владимирской обл. июнь 2004г.

- Расширенном научном семинаре кафедры физики Московского университета математики и электроники

- Научно-техническом совете Всесоюзного научно-исследовательского института синтеза минерального сырья (ВННИСИМС), г.Александров, Владимирской обл.

- Расширенном семинаре кафедры «Электроника твердого тела» Самарского государственного университета.

- На конференциях профессорско-преподавательского состава СГАУ с приглашением ведущих специалистов Саратовского государственного университета.

Публикации

Материалы диссертации изложены в 1 монографии (соавтор В.П. Пронин), 14 статьях, трудах и материалах международных конференций, авторский приоритет защищен свидетельством на полезную модель и патентом РФ на способ измерения параметров диэлектрических слоев на проводящей основе (всего 17 научных работ).

Личный вклад автора заключается в участии построения общих теоретических представлений о электроемкостных системах, в разработке и реализации отдельных элементов экспериментальной установки, теоретическом обосновании возможности и экспериментальной проверке определения относительной диэлектрической проницаемости, проводимости слоев на проводящей подложке, их толщины в локальной области и плотности поверхностного заряда, а также в постановке задач и участии в обсуждении результатов их решения.

Структура и объем диссертационного материала.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, содержащих выводы, заключения и списка литературы. Общее количество страниц - 177, в том числе 57 рисунков.

Заключение диссертации по теме «Электротехнология», Михайлов, Борис Александрович

Основные результаты исследований следующие:

1. Обоснован общий подход к описанию электроемкостных систем, в которых электрическое поле возникает как за счет электродов и внешних источников напряжения, так и вследствие наличия в межэлектродном пространстве внутренних источников -поверхностных и объемных зарядов.

2. На основании теоремы Остроградского - Гаусса с применением теоремы Грина установлена простая связь между индуцированном на одном (нескольких) электроде емкостной системы зарядом, обусловленным действием всех источников поля и некоторой функцией, определяемой в результате решения уравнения Лапласа с известными граничными условиями в рассматриваемой емкостной системе.

Показана принципиальная возможность осуществления с помощью емкостных систем различных интегральных преобразований. Предложены и обоснованы простые модели с поперечным, продольным по отношению к слою полем и модели, реализующие их совместное использование при решении основной задачи, связанной с определением электрофизических параметров диэлектрических слоев на проводящей подложке в локальной области. Обоснована возможность аппроксимации сложного аналитического выражения аппаратной функции простыми, а также целесообразность применения в некоторых случаях приближения плоско- параллельного поля.

Предложен и обоснован: способ определения диэлектрической проницаемости, удельной проводимости и плотности поверхностного заряда в локальной области, а также толщины слоя. Для этих параметров j получены простые соотношения через индуцированный в цепи. зонда ток и характеристики самой емкостной системы. (Патент на изобретение РФ). Разработан и создан экспериментальный комплекс, состоящий из устройств формирования электрического поля, систем селекции и преобразования информации, устройств синхронизации, АЦП и ПЭВМ с устройствами отображения информации. Предложена оригинальная конструкция емкостного зонда для исследования анизотропии материалов по диэлектрической проницаемости, плотности заряда и толщине (Патент РФ на полезную модель). и Г

9. С помощью созданного комплекса выполнены эксперименты, подтверждающие правильность сделанных теоретических выводов и оценены погрешности определения диэлектрической проницаемости, удельной проводимости (сопротивления), плотности поверхностного заряда и толщины слоя, которые не превышают 5%.

Исследования выполнены • на кафедре физики Саратовского государственного аграрного университета имени Н.И. Вавилова.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Результаты теоретических и экспериментальных исследований свидетельствуют, что основная цель работы, заключающаяся в дальнейшем развитии теоретических представлений о электроемкостных системах и их практического применения для определения диэлектрической проницаемости, проводимости, толщины диэлектрических, полупроводниковых и композиционных слоев на проводящей основе, а также поверхностных и объемных зарядов, разработке и создании приборных средств для преобразования обозначенных характеристик в электрический сигнал и алгоритмов его обработки достигнута.

Процессы возникновения в цепи зонда индуцированных зарядов и токов описываются на основании полученных с применением формулы Грина соотношений, связывающих два состояния одной и той же системы ; электродов. В отличие от ранее"применяемых моделей и математических описаний, используемый подход позволяет наиболее полно рассматривать спектр возможных применений электрических индукционных систем и определить наиболее целесообразные модификации в каждом конкретном случае [37,98 - 106]. ^

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Михайлов, Борис Александрович, 2005 год

1. Сканави Г.И. Физика диэлектриков. Область слабых полей. M-JL, 1949.-500с.

2. Слетер Дж. Диэлектрики, полупроводники, металлы.-М. Мир.-1969.450с.

3. Физика диэлектриков// Материалы 9-й международной конференции «Диэлектрики 2000» под редакцией Гороховатского Ю.А./ С.-Петербург, РГПУ имени А.И. Герцена

4. Леб Л. Статическая электризация. М.Л., Госэнергоиздат.-1963.-281с.

5. Яворский Б.М., Детлаф А.А. Справочник по физике М.-Наука.-1974.-942с. Г

6. Frohlich Н Thery of dielectrics dielectrics constant and dielectrics loss. Oxford, Clarendon Press.-1949.-180p.

7. Матис И.Г. Электроемкостные преобразователи для неразрушающего контроля. Рига.-. «Зинатне».-1982.-302с.

8. Лобанов A.M., Эдельнант М.П. Электрические свойства полимеров. М., Химия.-1970.-376с. , ' • •

9. Егуртджян Ш.Т., Петросян В.П. Изучение стеклования полимеров под действием внешнего давления методом диэлектрических потерь.Изв.вузов. АН Армянск. ССР.-Физика.-1978.-Т13.-№1.- с.65-71

10. Ю.Игонин П.А., Овчинников Ю.В. Влияние высоких давлений на диэлектрические потери полимеров. ДАН.-1959.-Т.128.-№1.-С. 127-128

11. П.Соломенко И.И., Шовкопляс В.В. Изменения диэлектрических потерь в кристаллах при пластической деформации.- в кн. Физика твердого тела.-Л.-1972.-С. 70-73

12. Мае Sh., Higashi A. Effects of plastic deformation of the dielectric properties office.- Crystal Lattice Deffects.-1973.-V,4.-№4.-P.295-308169

13. Williams G. Complex dielectric constant of dipolar compounds as a function of temperature, pressure and frequency.-Trau. Faradey Soc.-1964.-V.60.-№501.-Pt.9.-P. 1556-1573

14. Гершберг M.B., Ильюшин H.C. Неразрушающие методы контроля судостроительных стеклопластиков.- JI. Судостроение.-197.-189с.

15. Heydemanu P. Dielectric relaxation of РММА as function of pressure, temperature and frequency.-Kolloid-Ztschr., Ztschr. Polymere.-1964.-Bd.z.-H.2.-S.122-128.

16. Sayre I.A., Swanson S.R. The effect of pressure on the volume and the dielectric relaxation of linear polyethylene.-J.Polymer Sci. Polymer Phys.-1978.-V.16.-№10.-P. 1739-1759/

17. Браун В. Диэлектрики.М.-ИЛ.-1961.-326c.

18. Schweidler E. Studien iber die Anomalien in Verhalten der Dielectric.-Ann. Phys.-1907.-Bd.24.-S711-770,-v

19. Jager W. The distribution of relaxation tims in typical dielectricab.-Physics.-1936.-V.7.-№12. P.434-450

20. Fuoss R.M., Krikwood J.G. Electrical properties of solids.- J. Amer. Chem. Soc., 1941.-V.63.-P.385-394. ,

21. Cole K.S. Cole G.H. vDispersion and absorption in dielectrics. I. Alternating currents characteristics.-J. Chem. Phys.-1941.-V.9.-№4.-P.341-351.

22. Нетушил A.B., Жуховицкий Б.Я. Высокочастотный нагрев диэлектриков и полупроводников, М., ГЭИ.-1959.-479с.

23. Lichtenecker К. Der electrische Leitungswiderst and Rinstlicher und naturlicher Aggregate.- Phys. Zischr.-1929.-Bd.30.-S.805.

24. Гаврильяк С., Негами С. Переходы и релаксационные явления в полимерах. М., Мир.-1968.-118с.

25. Ермаков Г.А., Фокин А.Г. О вариационном методе вычисления диэлектрической проницаемостйГнеоднородных диэлектриков./ ЖТФ-1974.-Т.44.-№2.-С.249-256. //

26. Davies W.A. The dielectric constant of fibre composites./ J. Phys. Ser.D.-1974.-V.7.-№1.-P.120-130.

27. Герасимов В.Г., Сухорукое B.B. Электромагнитный контроль М. Высшая школа.-1990.-317с.

28. Гринберг Г.А. Избранные вопросы математической теории электрических и магнитных явлений. M.JI.-1948.-728c.

29. Тамм Н.Е. Основы теории электричества. М.-Наука.-1966.-500с.

30. Миролюбов Н.Н., Тиходоев Н.Н. Методы расчета электростатических полей. М.-Высшая школа.-1963.-500с.

31. Иоссель Ю.Я. Расчет электрической емкости. М.-Энергия.-1969.240с.

32. Резвых К.А. Расчет электростатических полей. М.Энергия.-1967.-120с.

33. Пронин В.П. Одновременное определение потенциала и компонент напряженности трехмерного поля./ ЖТФ.-1971.-Т.41.-№2.-С.285-291.

34. Пронин В.П. Одновременное определение электростатического заряда и параметров диэлектрических слоев./ ЖТФ.-1984.-Т.54.-№8.-С.1479-1487.

35. Смайт Т.В. Электростатика и электродинамика. М.-Ил.-1954.-604с.

36. Pronin V.P. Electric capacitance method of multiparametric panoramic Examination of Dielectric and semiconductor Lagers// J. of Advanced Materials.-1995. 2 (2).-P. 162-170.

37. Пронин В.П., Михайлов Б.А. Основы теории и применение электроемкостных систем. Саратов.-СГАУ.-2003.-200с.

38. Морс Ф.М., Фешбах Г. Методы теоретической физики. М.-И.Л. 1958.-T.1.-930C. tf

39. Пронин В. Электрические индукционные микросистемы для научных исследований и контроля Дисс. д-ра техн.наук. МЭИ.М.-1987г.

40. Тихонов А.Н., Арсенин .Я. Методы решения некорректных задач. М.-Наука.-1979.-285с.

41. Пронин В.П. Электростатические индукционные системы преобразования информации. М.-Электроника.-1975.-Сер.10.1 (50).-С.93-99.

42. Матвеева И.А. Метрологические свойства зондовых систем для измерения поверхностных зарядов//Радиотехника и электроника.-1982.-№4.-С.804-812. ^

43. Пронин В.П., Шевченко В.И. Многопараметровый электроемкостный контроль диэлектрических слоев // Дефектоскопия.-1988.-№7.-С. 19-26.

44. Корн Г., Корн Т. Справочник по математике. М.-Наука.-1974.-831с.

45. Михайлов Б.А., Пронин В.П. Копланарные электроды в емкостных системах для исследования однородности электрофизических свойств диэлектрических слоев // Материалы VI Международной конференции «Кристаллы.» г. Александров-ВНИИСИМС.-2003г. с.257-262

46. Мамин Д.В. Емкостный метод определения однородности физических свойств электротехнологических материалов Дисс. Канд.техн. Наук/СГТУ, Саратов, 2002.

47. Бутковский А. Структурная теория распределенных систем. М.-аука, 1977.-280с. .

48. Краус М., Вошни Э. Измерительные информационные системы / Пер. под ред. Я.В. Малкова. М., 1975-270с.

49. Connolle Р and Fafrish О. Surface charge measurement // Pros. IEE.-1984.-V. 117.-№ 1 .-P.405-413. 4.ТЦ

50. Седин В.А., Яровой Г.П. Измерение распределения заряда по поверхности электретов // Метрология. Ежемесячное приложение к журналу «Измерительная техника».-1974.-№12.-с.26-30.

51. А.С. 574684 СССР, МКИ3 GR 29/12. Способ измерения локальной плотности поверхностного заряда// Арсентьев Ю.Д., Пронин В.П. 1977 Бюл. Изобр.№36.

52. Тихонов Б.И. Измерения электрических потенциалов селеновых электрофотографических слоев/ Электрография и магнитография. Вильнюс.-1959.-С.161-165.

53. Добровольские А.Г., Мотеюнас К.С., Сакалаускас С.Ю. емкостные преобразователи для исследования и контроля качества поверхности материалов электронной промышленности // Научные труды вузов Литвы.-Сер. Радиоэлектроника.-1985.-Т.2 (2).-С.25-32.

54. Марцинкявичус В.А.^- Мотеюнас К.С., Сакалаускас С.Ю. Особенности измерителя поверхностного потенциала с датчиком на основе МДМ структуры // Вопросы радиоэлектроники. - Вильнюс.-1985.-Вып.9.-С.63-67.

55. Губкин А.Н., Митронина B.C. Методы измерения заряда электретов // ПТЭ.-1959.-№4.-С. 113-118. Ч^ Л

56. Губкин А.Н. Электреты М.-Наука.-1978.-192с.

57. Cornelis W., Rocdyk P. The measurement of surface charge // J. Electrochem. Soc.-1968.-V.115-№l.rp.318-321.

58. Mitchinson J.C., Pringle*. R.D., Faveis W.E. Surface potential measurement using a rotation dynamic capaciton // J. Phys. E. Sci. Jnstrum.-1971.-V.4.-№7.-P.525-529.

59. Scrutton В., Blott В. Ahigh resolution probe for scabbing electrostatic protiles across surface // J. Phys. E.Sci. Instrum.-1973.-V.6.-№5.-P.472-474.

60. A.C. 1100583 СССР, МКИ3 601 R 18/10 Устройство для измерения потенциала заряженных слоев // Фулга В.И., Панасюк Л.М. (СССР).-1984.-Бюл.№2.

61. Юнда Н.Г. Измеритель поверхностного потенциала // ПТЭ.-1981.-№1.-С.250-253.

62. Бахтизин В.З., Гоц С.С., Сушко Б.К. Измеритель величины поверхностной плотности заряда диэлектриков // ПТЭ.-1983.-№1.-С.230-233.

63. Богуш Г.Е., Гроссе Л.Т., Кравцов Л.И. Измеритель электростатических зарядов// Измерительная техника.-1978.-№5.-С.70-71.

64. А.С. 418815 (СССР), МКИ3 601 R 18/10. Устройство для измерения поверхностной плотности заряда // Куликовский К.Л., Курочкин Е.П., Петрова Т.А.-1974.-Бюл.23. V:

65. Juvec A., Ronald. Hay R. Robert. Electrostatic voltmeter (Hewlt Packard) // Пат. 4197493 (США).-Бюл.23

66. Грищенко В.Л., Матвеева И.А. Применение электростатической индукции для определения потенциала и плотности заряда диэлектрических и полупроводниковых структур.*Саратов, СГУ.-1990.-134с.

67. Матвеева И.А., Пронин В., Шехтман Л.А. К теории измерения поверхностных зарядов методом электростатической индукции // ЖТФ.-1977.-Т47.-№7.-С. 1389-1295.

68. Пронин В.П. Электроемкостные системы в электрофизике. Саратов.-СГАУ.-1997.-3 Юс. , ч

69. Шихов В.Н., Попов С.Ф. Приборы для измерения величин зарядов статического электричества//Нефтяное хозяйство.-1963.-№12.С. 49-54.

70. Артамонов О.М., Зыев В.И., Курочкин Е.П. Измерение потенциала на поверхности диэлектрйКОй* динамическим конденсатором // Измерительная техника.-1974.-№6.и С. 59-61.

71. Захаров А.К., Корюшкин Н.А. Квазистатический метод определения поверхностного потенциала полупроводника // Микроэлектроника.-1978.-Т.7.-№2.-С. 174-177. ' .

72. А.С. 57684 СССР МКИ3 GIIR 29/12. Способ измерения локальной плотности поверхностного заряда // Арсентьев Ю.Д., Пронин В.П. (СССР).-1977.- Бюл. №36.

73. Сакалаускас С.Ю., Добровольские А.Г. Измеритель распределения поверхностного электрического потенциала III ПТЭ.-1978.-№6.- С. 165-168.

74. Герштейн Г.М. Моделирование полей методом электростатической индукции. М.-Наука.-1970.-316с.

75. А.С. 921322 СССР, МКИ3 GnR 29/24 Устройство для измерения заряда электретов / Пронин В.П. (СССР).-1981. Бюл. изобр. №36.

76. Беляева Ю.Н., Пронин В.П. Прибор для экспресс исследований микрораспределений электрических свойств пленочных материалов // Методы и средства контроля полупроводниковых и диэлектрических структур. ССР.8.-М. ЦНИИ Электроник.-1986. Вып. 2(232).-С.46-48.

77. Пронин В.П. Прибор для панорамного исследования процессов накопления и релаксации электрических зарядов//ПТЭ.-1987.-№5.- С.184-186.

78. Патент на п.м. № 36144 Емкостный зонд // Пронин В.П., Михайлов Б.А. бюл.№6 от 27.02.2004г.

79. Пронин В.П., Шехтман Л.А. Наведение токов движущимся зарядом в системе проводников с комплексными нагрузками // ЖТФ.-1967.-Т37.-№8. С.1387-1392.

80. Блейвас И.М., Герштейн Г.М., Пронин В.П. Автоматическое моделирующее устройство для, вычисления и построения траекторий заряженных частиц // Радиотехника и электроника.-1973.-№12.-С. 2036-2046.

81. Леонтьев Г.Е., Армонавичус В.П. Малошумящий предусилитель // ПТЭ.-1984.-№1.-С. 126-127. i

82. Пронин В.П. Потенциальные тесты для бесконтактных емкостных методов дефектоскопии // Дефектоскопия.-1985.-№8.- С. 88-93.

83. Гончаровский В.А., Леонов А.С., Ягола А.Г. Численные методы решения обратных задач астрофизики. М.-Наука.-1978.-300с.

84. Патент РФ на изобретение № 2249224// Б.А. Михайлов, В.П. Пронин. Электроемкостный~зондовый способ/ Опубл. Бюл. №9 от 27.03.2005г./ МНК G01R 29/24. , V

85. Шаферт P.M. Электрофотография. М.-Атомиздат.-1974.-621с.

86. Сесслер Г. Электреты. М. Мир.-1983.-488с.

87. Гущо Ю.П. Фазовая рельефография. М., Энергия.-1974.-137с.

88. Слышалов В.К. О расчете некоторых нестационарных распределений электрических зарядов по движущимся технологическим лентам// Изв.вузов Сер. Электромеханика. 1982.-№2.-с.164-169.

89. Цырлин П.Э. Избранные задачи расчета электрических и магнитных полей. М. Сов.Радио. 1977.-319с.

90. Харькович А.А. Спектры и анализ. М.: Физматиз. 1962.-236с.

91. Васильчикова Е.Н., " , Кошкин Н.И. Элементарная физика (справочник) М. «Столетие». 1996^-ЗООс.

92. Б.А. Михайлов, В.П. Пронин. Определение локальных электрофизических свойств материалов методом электростатической индукции// Труды X международной конференции «Диэлектрики-2004» /С.Петербург, РГПУ, 2004Г.-С.365-368/

93. Б.А. Михайлов, В.П. Пронин. Емкостный метод определения проводимости слоев// Труды X международной конференции «Диэлектрики-2004» /С.-Петербург, РГПУ, 2004г;-с.363-365.

94. Б.А. Михайлов. Определение локальной проводимости диэлектрических слоев на проводящей подложке// Труды 6-й международной конференции «Кристаллы.» /г. Александров, ВНИИСМС.-2003г.-с.662-666.

95. Б.А. Михайлов, В.П. Пронин. Измерение параметров диэлектрических и полупроводниковых слоев на проводящей основе емкостным методом// Труды 6-й международной конференции «Кристаллы.» /г. Александров, ВНИИСМС.-2003г.-с.674-679.

96. И.С. Луцева, Б.А. Михайлов, В.П. Пронин. Измерение локальной проводимости диэлектрических и композиционных слоев емкостным методом// Сб.докладов 9-й Российской НТК «ЭМС-2004» С.-Петербург, 2004г.-с.437-441. i-i

97. B.A.Michaylov, V.P. Pronin. Electrocapacitive defectoscopy of dielectric// Materials international jubilee conference singlecrystals and their application in the XXI centuey-2004 VNIISIMC /Alexandrov, Russia, June 8-11.-2004.-p.273-274.

98. Б.А. Михайлов Определение локальных параметров диэлектриков в ЭМС емкостным методом// Б.А. Михайлов, В.П. Пронин, Т.Ю. Суринская, М.В. Шаталина/ Труды 7-й Всероссийской конф. «ЭМС-2002» С.-Петербург 18 сентября.-с. 113-124.

99. Б.А. Михайлов, В.П. Пронин. Определение проводимости диэлектрических слоев методом электростатической индукции// Материалы 6-й международной конференции «Кристаллы.» /г. Александров, ВНИИСМС.-2003г.-с.253-257. •'

100. Б.А. Михайлов, В.П. Пронин. Измерение электрофизических параметров слоев на проводящей подложке в локальной области// Труды 6-й международной конференции. «Кристаллы.» /г. Александров, ВНИИСИМС.-2003г.-с. 187-201. у

101. И.С. Луцева, Б.A.-vМихайлов, В.П. Пронин. Накопление и релаксация заряда в кристалле ниобата лития при импульсном тепловом воздействии// Труды X международной конференции «Диэлектрики-2004» /С.-Петербург, РГПУ, 2004г.-с.358-361.

102. Б.А. Михайлов, В.П. Пронин. Особенности изменения электростатического заряда в ниЬбате лития// Материалы 6-й международной конференции «Кристаллы.» /г. Александров, ВНИИСМС.-2003г.-с.246-259.

103. Б.А. Михайлов, В.П. Пронин. Накопление и релаксация термостимулированного заряда в LiNbO;}// Труды 6-й международной конференции «Кристаллы.»/г.-Александров, ВНИИСМС.-2003г.-с.667-673.