Низковольтная автоэлектронная эмиссия из наноструктурированных углеродосодержащих материалов и покрытий тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.04, кандидат наук Архипов, Александр Викторович

• Архипов, Александр Викторович
• кандидат наук
• 2017

Оглавление диссертации кандидат наук Архипов, Александр Викторович

Оглавление

Введение

1. Современное состояние вопроса: эмиссионные модели

1.1. Усиление поля на внешней границе эмиттера

1.2. Усиление поля элементами внутренней структуры

1.3. Пониженная работа выхода

1.4. Размерные эффекты

1.5. Эффекты, связанные с латеральной неоднородностью поверхности

1.6. Проникновение поля в эмиттер, «горячие» электроны

1.7. Эффекты, связанные с электрон-фононным взаимодействием

1.8. Заключение к главе

2. Методика экспериментальных исследований

2.1. Измерение статических эмиссионных характеристик и пространственного распределения эмиссионного тока

2.2. Методика измерения динамических эмиссионных характеристик

2.3 Методика изучения пространственно-временных корреляций локальных эмиссионных токов

2.4 Методы изучения топографии поверхности, состава, структуры и электронных свойств образцов

3. Экспериментальные исследования

3.1.1. Объекты исследований

3.1.2. Эмиссионные характеристики для колоколообразных импульсов напряжения микросекундной длительности

3.1.3. Феноменологическая модель механизма эмиссии как двухступенчатого процесса

3.1.4. Влияние скоростей нарастания и спада напряжения на вид

эмиссионных характеристик

3.1.5. Эволюция эмиссионных характеристик при изменении состояния

эмиттера

3.1.6. Зависимость эмиссионных свойств наноуглеродных материалов

от геометрии полевого зазора

3.1.7. Выводы по итогам раздела

3.2. Статистические свойства и корреляция флуктуаций локальных эмиссионных токов

3.2.1. Эмиссионные изображения и флуктуации локальных токов

3.2.2. Корреляция флуктуаций токов различных участков эмиттера

3.2.3. Скачки тока

3.2.4. Обсуждение

3.2.5. Выводы по итогам раздела

3.3. Сравнительные исследования морфологии и эмиссионных свойств различных видов наноструктурированных углеродных материалов

3.3.1. Нанопористый углерод

3.3.1.1. Происхождение и морфология образцов

3.3.1.2. Эмиссионные характеристики

3.3.1.3. Обсуждение и выводы

3.3.2. Наноалмазный композит

3.3.2.1. Сведения о структуре материала

3.3.2.2. Эмиссионные свойства и их температурная зависимость

3.3.2.3. Обсуждение и выводы

3.3.3. Никель-углеродный нанокомпозит

3.3.3.1 Образцы покрытий и их морфология

3.3.3.2. Эмиссионные характеристики несплошных покрытий

3.3.3.3. Эмиссионные характеристики однослойных покрытий

3.3.3.4. Эмиссионное поведение образца толстого покрытия

3.3.3.5. Выводы по итогам раздела

3.3.4. Островковые пленки углерода на кремнии, нанесенные методом химического осаждения

3.3.4.1. Топография и состав покрытий

3.3.4.2. Эмиссионные свойства и их термическое активирование .

3.3.4.3. Выводы по итогам раздела

3.3.5. Углеродные пленки на кремнии, нанесенные методом магнетронного

распыления

3.3.5.1. Топография поверхности образцов

3.3.5.2 Эмиссионные характеристики образцов и их эволюция при отжиге

3.3.5.3. Обсуждение и выводы

113

114 118

3.4. Дополнительные исследования фазового состояния и электронных свойств

островковых покрытий на кремнии

3.4.1. Туннельные изображения и спектры

3.4.2. Фотоэлектрические свойства наноуглеродных структур

3.4.3. Обсуждение модели фотопроводимости островковых углеродных

покрытий и ее возможной связи с моделью облегченной эмиссии

ионной бомбардировки

3.5.1. Образцы покрытий: технология нанесения и свойства в исходном

состоянии

3.5.2. Изменение свойств покрытий под действием ионной бомбардировки

3.5.3. Обсуждение и выводы

4. Модели эмиссионного механизма

4.1. Упрощенная численная модель динамики двухступенчатого

эмиссионного процесса

4.1.1. Основные уравнения модели и ee программная реализация

4.1.2. Моделирование динамических характеристик эмиссии

в импульсном поле

4.1.2.1. Короткоимпульсный режим

4.1.2.2. Режим насыщения заселенности состояний поверхностного

домена

4.1.2.3. Режим ограничения тока внутренним барьером

4.1.2.4. Режим ограничения тока инжекции в поверхностный домен накопленным зарядом

4.1.3. Моделирование особенностей статических эмиссионных характеристик

4.1.4. Применение численной модели для анализа экспериментальных данных

о динамических характеристиках эмиссии из наноуглеродных материалов

4.1.4.1. Общие черты сценария изменения экспериментальных кривых при варьировании параметров импульса поля

4.1.4.2. Эмиттеры на основе астраленов

4.1.4.3. Эмиттеры на основе нанопористого углерода

4.1.5. Моделирование активирующего действия переменных полей

и автоколебаний эмиссионных токов

4.1.5.1. Активирование эмиссии кратковременным спадом поля

4.1.5.2. Активирование эмиссии высокочастотной составляющей поля

4.1.5.3. Развитие автоколебаний эмиссии и их активирующее действие . 177 4.1.6. Выводы по итогам раздела

4.2. Распределение электрического поля в изучавшихся наноуглеродных

структурах

4.2.1. Усиление поля в результате поляризации наночастиц

4.2.2. Моделирование распределения электрического поля для островковой пленки на полупроводящей подложке

4.3.1. Исходные положения

4.3.2. О влиянии разменных эффектов на время жизни горячих носителей

в эмиссионном центре

4.3.3. Термоэлектрические явления в окрестности эмиссионного центра

4.3.4. Общая формулировка модели и ее обсуждение

5. Вакуумный датчик с холодным наноуглеродным катодом

5.1. Общая схема датчика

5.2. Расчет электронно-оптической системы

5.3. Результаты экспериментального тестирования макетов датчика

6. Общее заключение и выводы

7. Список литературы

7.1. Публикации автора по теме диссертации: [a1-a46]

7.2. Прочие публикации: [1-289]

8. Приложение: Текст скрипта в среде Origin, реализующего упрощенную модель

динамики двухбарьерного эмиссионного процесса

184

188

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Низковольтная автоэлектронная эмиссия из наноструктурированных углеродосодержащих материалов и покрытий»

Введение

Актуальность проблемы

Несмотря на то, термоэмиссионные катоды сохраняют доминирующие позиции в вакуумной электронике, холодные полевые эмиттеры имеют перед ними ряд принципиальных преимуществ. К их числу можно отнести более высокую энергоэффективность и малое, практически нулевое, время включения. Традиционными недостатками холодных катодов считались сложность получения больших эмиссионных токов, а также недостаточная долговечность в условиях технического вакуума. В качестве ее причины указывалась (например, в [1, 2]) малая подвижность поверхностных атомов при комнатной температуре, не позволяющая эмиссионной структуре репарировать повреждения, получаемые ею в результате воздействия таких факторов, как ионная бомбардировка.

Ситуация в значительной степени изменилась после открытия углеродных нанотрубок (УНТ) и их способности к низковольтной эмиссии электронов [3, 4] (эмиссия из морфологически сходных с ними углеродных волокон была обнаружена несколько ранее [5, 6]). Эта способность определяется беспрецедентной величиной геометрического аспектного отношения нанотрубки, позволяющего получать на участках ее торцевой или даже латеральной поверхности чрезвычайно высокие значения коэффициента усиления приложенного поля [7, 8]. Ожидалось также, что полевые катоды на основе нанотрубок будут устойчивы к действию факторов технического вакуума : структура нанотрубки однородна по длине, поэтому разрушение ее торцевого участка может не оказывать значительного воздействия на эмиссионные свойства. В некоторой степени эти ожидания оправдались, и до настоящего времени катоды на основе УНТ и углеродных волокон находят наиболее широкое применение из всех видов автокатодов. Разработаны или уже используются холодные катоды для источников светового [9] , микроволнового [10] и рентгеновского [11-13] излучения, плазменных устройств [14], космических двигателей [15], систем литографии [16], микроэлектронных приборов [17, 18] и датчиков [19-23], а также некоторых других приложений [6, 8]. Особо можно выделить их применение для формирования электронных пучков, уже при эмиссии промодулированных по току высокочастотным сигналом, что позволяет создавать микроволновые генераторы и усилители новых типов [24-28].

Несмотря на повышенную устойчивость УНТ к действию разрушающих факторов, относительно быстрая деградация эмиссионных свойств остается одной из главных причин, ограничивающих практическое применение катодов на их основе [2, 7, 11]. Наиболее

подвержены разрушению эмитирующий участок нанотрубки, а также область ее контакта с подложкой [29, 30] или удерживающей матрицей [31]. В последнем случае сложности, по-видимому, носят технологический характер и со временем могут быть успешно преодолены. Проблема деградации эмитирующего участка представляется более фундаментальной. Именно здесь достигается наибольшее «геометрическое» усиление поля, здесь же концентрируются ионная бомбардировка и пондеромоторные силы, а нагрев джоулевым теплом может быть наиболее эффективным. Ионное [7, 32], механическое [29, 33] и термическое [7, 34, 35] разрушение принято считать основными причинами деградации УНТ и пробоев вакуумного промежутка. Одним из активно изучаемых путей увеличения устойчивости эмитирующего участка является увеличение его размерности - переход к «лезвийной» геометрии с использованием графеновых слоев, свободная граница которых ориентирована в направлении действующего поля. При этом ценой некоторого уменьшения коэффициента усиления поля Р достигается увеличение тепло- и электропроводности, а также механической устойчивости эмитирующей структуры. Такие структуры известны под различными названиями - например, нанолистки (nanosheets) [36, 37], наностенки [38-40], FLG (few layer graphene) [36] и другие [41, 42]. Несколько устройств на их основе разработаны с участием ученых МГУ [43, 44].

Следующим очевидным шагом в том же направлении видится переход к полностью или почти планарной системе, которая могла бы обладать еще более высокой тепловой и механической стабильностью, а также устойчивостью к ионному распылению за счет увеличения площади эмитирующего участка. Однако это неизбежно сопряжено с уменьшением коэффициента усиления приложенного извне электрического поля, что ставит вопрос о принципиальной возможности низковольтной полевой эмиссии. Тем не менее, уже на протяжении нескольких десятилетий известны многочисленные примеры материалов, демонстрирующих способность к низковольтной эмиссии при относительно гладкой эмитирующей поверхности, не содержащей (по крайней мере, на первый взгляд) морфологических элементов с высоким аспектным соотношением. Большинство из них обладают двумя общими признаками - (1) они неоднородны на нанометровом масштабе хотя бы в одном из измерений и (2) содержат в своем составе углерод. Механизм низковольтной эмиссии электронов из таких наноуглеродных материалов неочевиден и окончательно не установлен - при том, что предложено большое количество весьма разнообразных его моделей. Достоверное знание этого механизма необходимо для его практического использования, поскольку позволило бы вести целенаправленную разработку полевых

катодов с улучшенными характеристиками. Это соображение и определило выбор темы диссертации.

Цели и задачи диссертационной работы

Целью работы являлось установление механизма низковольтной эмиссии электронов из наноуглеродных структур с относительно гладкой поверхностью, не находящей удовлетворительного объяснения в рамках стандартной модели полевой эмиссии Фаулера-Нордгейма и подготовка элементов технологического задела для практического использования этого явления при создании холодных катодов для практических электронных устройств. Для достижения цели работы были поставлены следующие задачи:

- разработка экспериментальной методики, создание экспериментальной установки и проведение экспериментального исследования эмиссионных свойств нескольких видов наноуглеродных катодов в импульсном электрическом поле - при напряженности до ~30 кВ/мм и длительности импульсов поля порядка единиц или десятков микросекунд;

- построение феноменологической численной модели, удовлетворительно описывающей вид

временных зависимостей эмиссионных токов в импульсных полях и их видоизменение при варьировании формы и параметров импульса поля;

- разработка экспериментальной методики, создание экспериментальной установки и проведение экспериментального исследования флуктуаций локальных эмиссионных токов с поверхности наноуглеродных эмиттеров в постоянном электрическом поле, включая определение наличия корреляций эмиссионных токов во времени и пространстве на характерном масштабе порядка единиц микросекунд и десятков микрометров соответственно;

- выявление связи между структурой наноуглеродного материала или покрытия и его

эмиссионной способностью на основе экспериментов с несколькими принципиально различными видами наноуглеродных катодов;

- построение универсальной модели процесса низковольтной эмиссии, применимой для

катодов на основе островковых наноуглеродных структур;

- разработка технологий корректировки, в том числе локальной, фазового состава наноуглеродных покрытий для оптимизации их эмиссионных свойств;

- разработка конструкции практического устройства (ионизационного вакуумного датчика),

использующего наноуглеродный автокатод.

Научная новизна

1. Предложена и реализована методика измерения эмиссионного тока распределенного катода в импульсном электрическом поле, позволяющая регистрировать амплитуду (начиная приблизительно от 1 мкА) и форму импульса тока эмиссии с катода площадью порядка долей квадратного сантиметра при амплитуде импульса электрического поля до ~30 кВ/мм и длительности импульсов поля порядка единиц или десятков микросекунд.

2. Обнаружена и исследована особая форма гистерезиса эмиссионных характеристик покрытий на основе порошков нанопористого углерода и астраленов, проявляющаяся при эмиссии в импульсных электрических полях микросекундной длительности. Определена зависимость вида эмиссионных характеристик и их гистерезиса от формы, длительности и амплитуды импульсов поля.

3. Предложена упрощенная феноменологическая модель эмиссионного механизма, удовлетворительно объясняющая эмиссионное поведение катодов на базе нанопористого углерода и астраленов в импульсных полях. Модель основана на представлении об эмиссионном процессе как процессе последовательного переноса электронов через туннельные переходы между объемными электронными состояниями, одним или несколькими промежуточными состояниями (локализованными в приповерхностных областях) и состояниями вакуума. На основе данной модели предсказана возможность активирующего действия высокочастотных полей мегагерцового диапазона на эмиссионные свойства катодов данного типа.

4. Получены новые экспериментальные данные о флуктуациях эмиссионных токов с локальных участков поверхности наноуглеродных эмиттеров в постоянном поле: обнаружены особенности временных реализаций, а также функций авто- и взаимной корреляции токовых сигналов, противоречащие представлению о статистическом (дробовом) характере таких флуктуаций; получены значения характерных времен корреляции локальных эмиссионных токов и скорости распространения возмущений по поверхности эмиттера.

5. Получены новые данные о связи морфологии распределенных наноуглеродных эмиттеров

нескольких видов (нанопористый углерод, наноалмазный композит, никель-углеродный композит и островковые углеродные покрытия) с их способностью к низковольтной эмиссии в статическом поле.

6. Предложена и обоснована модель механизма низковольтной эмиссии, базирующаяся на

учете особенностей электрон-фононного взаимодействия и теплопереноса в наноразмерных доменах и через их границы.

7. Разработана конструкция миниатюрного вакуумного датчика, использующего наноуглеродный автокатод; проведены испытания его прототипов.

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Разработанный и реализованный метод измерения эмиссионных характеристик в импульсном электрическом поле, позволяющий регистрировать вольт-амперные зависимости для эмиссионного тока величиной от 1 мкА при амплитудных значениях напряженности поля до ~30 кВ/мм и длительности импульсов поля порядка единиц или десятков микросекунд.

2. В импульсном электрическом поле амплитудой порядка 10 В/мкм при длительности импульсов порядка единиц или десятков микросекунд наблюдается гистерезис вольт-амперных характеристик полевой эмиссии электронов из пленок нанопористого углерода и астраленов. Особенности гистерезиса не находят корректного описания в рамках наиболее распространенных физических моделей эмиссии и не могут быть объяснены влиянием факторов, обыкновенно привлекаемых для объяснения гистерезиса эмиссионных свойств в квазистатическом поле (тепловые явления, десорбция загрязнений, морфологическая перестройка поверхности).

3. Частотные спектры, а также функции авто- и взаимной корреляции флуктуаций локальных

токов автоэлектронной эмиссии пленок нанопористого углерода обладают рядом особенностей, не согласующихся с моделью случайных флуктуаций токов независимых эмиссионных центров. Флуктуации локальных токов различных участков эмиттера могут быть частично упорядоченными и коррелированными друг с другом. В этом случае характерные времена корреляции имеют порядок 1 -10 мкс, а скорости распространения возмущений - 10-100 м/с.

4. Предложенная численная модель эмиссионного механизма удовлетворительно описывает

форму гистерезиса эмиссионных характеристик наноуглеродных покрытий в импульсном поле и характер их эволюции при варьировании параметров импульса, а также корреляцию и автоколебания локальных эмиссионных токов. Модель представляет эмиссию как одно из проявлений туннельного переноса электронов между несколькими доменами (пространственными областями эмиттера, квантовыми системами), способными взаимодействовать друг с другом посредством электрических полей. Модель предсказывает возможность управления эмиссионными свойствами катода посредством использования нестационарной составляющей электрического поля с характерными частотами мегагерцового и микроволнового диапазонов.

5. Низковольтная автоэлектронная эмиссия наноуглеродных материалов (нанопористого

углерода, наноалмазного композита, никель-углеродного композита) обусловлена изначальным присутствием в их составе или формированием в ходе последующей обработки структурных элементов определенного вида, а именно омически не связанных с остальной частью эмиттера электропроводящих доменов, размеры которых лежат в диапазоне приблизительно от 2 до 50 нм.

6. Низковольтная автоэлектронная эмиссия островковых пленок (квантовых точек) углерода

на подложках из монокристаллического кремния наблюдается в электрическом поле средней напряженности менее или порядка 1 В/мкм при выполнении следующих условий:

■ углерод присутствует в островках в графитоподобном состоянии с обычным для этого состояния значением работы выхода;

■ островки (или большая их часть) не формируют сплошного покрытия и омически не связаны друг с другом и с подложкой;

■ размеры островков находятся в диапазоне 10-50 нм для латерального размера и 2-5 нм для высоты.

7. В рамках предложенной качественной модели эмиссионный процесс разделяется на следующие этапы: 1) туннельная инжекция электронов из объема эмиттера в обособленные электропроводящие домены (эмиссионные центры), где энергия таких электронов существенно превышает локальное значение энергии Ферми; 2) перемещение инжектированных в эмиссионный центр «горячих» электронов к его вакуумной границе с малыми энергопотерями и их выход в вакуум. При этом поддержание постоянного положительного потенциала эмиссионного центра по отношению к объему эмиттера может быть обусловлено термоэлектрическими явлениями. Предположения о низкой работе выхода наноструктурированных углеродосодержащих материалов или о значительном локальном усилении внешнего поля в модели не используются.

8. Разработанная и опробованная конструкция вакуумного датчика позволяет использовать в

его составе наноуглеродный автокатод при измерении давлений в диапазоне 10-6 -10-5 Торр.

Достоверность и практическая значимость результатов работы

Достоверность экспериментальных данных, полученных в ходе диссертационной работы, определяется комплексным использованием различных экспериментальных методов, повторяемостью и согласованностью результатов. Обоснованность предложенных физических моделей подтверждается хорошим согласием расчетных и экспериментальных результатов.

Полученные при выполнении работы экспериментальные данные об эмиссионных свойствах различных видов наноуглеродных материалов могут быть использованы при оценке возможности создания холодных катодов на их основе. Предложенные модели эмиссионного механизма могут быть полезными при разработке новых видов эмитирующих структур. Разработанная методика измерения эмиссионных характеристик в импульсном электрическом поле (выделения малых эмиссионных токов на фоне значительного емкостного тока) может быть использована в научных исследованиях близкой тематики. Разработанная конструкция ионизационного вакуумного датчика может послужить основой практического устройства.

Апробация работы

Результаты работы представлялись на следующих конференциях: International Conference "Displays and Vacuum Electronics", Garmisch-Partenkirchen (Germany) May 3-4, 2004; III Конференция "Микротехнологии в авиации и космонавтике", С.-Петербург, 8-9 июня 2004 г.; 16th International Vacuum Congress, Venice (Italy), June 28-July 2, 2004; 49th International Field Emission Symposium (IFES04), Seggau Castle (Austria), July 12-15, 2004; 7th International Workshop "Fullerenes and Atomic Clusters" (IWFAC'2005), St.Petersburg, June 27-July 1, 2005; 13th International Congress on Thin Films and 8th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ICTF 13/ACSIN 8), Stockholm (Sweden), June 19-23, 2005; 19th International Vacuum Nanoelectronics Conference and 50th International Field Emission Symposium (IVNC/IFES-2006), Guilin (China), July 17-20, 2006; International Conference "Nanocarbon&Nanodiamond 2006", St.Petersburg, September 11-15, 2006; 8th International Workshop "Fullerenes and Atomic Clusters" (IWFAC'2007), St.Petersburg, July 2-6, 2007; II Конференция молодых ученых "Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика", Саратов, 14-17 мая 2007 г.; 17th International Vacuum Congress, Stockholm (Sweden), July 2-6, 2007; VIII Международная школа "Хаотические автоколебания и образование структур" (ХА0С-2007), Саратов, 9-14 октября 2007 г.; International Conference "Advanced Carbon Nanostructures" (ACN'2011), St.Petersburg, July 4-8, 2011; 21st International Conference on Ion-Surface Interactions, Yaroslavl, August 22-26, 2013; International Conference "Advanced Carbon NanoStructures" (ACN'2013), St.Petersburg, July 01-05, 2013; XIII Международная конференция "Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов", Курск, 24-26 мая 2016 г.

Публикации.

Материалы диссертации изложены в 46 публикациях [а1-а46], в том числе в 21 статье [а1-а21] в рецензируемых научных изданиях, рекомендованных ВАК.

Личный вклад автора

Автор диссертации внес определяющий вклад в выбор тематики исследования, постановку задач конкретных работ, их планирование и осуществление. Основная часть приводимых результатов была получена автором лично либо совместно с соавторами публикаций, в большинстве своем - студентами, аспирантами и сотрудниками Санкт-Петербургского политехнического университета.

Структура и объем диссертации

Диссертация содержит 252 страницы. В текст работы включены 131 рисунок и 7 таблиц. Диссертация состоит из введения, пяти основных глав, описания выводов и одного приложения. Список литературы содержит 335 наименований, включая отдельно выделенный список 46 публикаций автора.

Глава1.

Современное состояние вопроса: эмиссионные модели

В данной главе предпринята попытка систематизации и критической оценки ранее предложенных моделей механизма низковольтной эмиссии электронов для наноструктурированных (преимущественно наноуглеродных) холодных катодов, рассматриваемых авторами публикаций как альтернативные либо дополнительные по отношению к механизму, основанному на «геометрическом» усилении поля элементами рельефа поверхности. Рассмотрение основано как на материале известных обзоров [6, 45-52], так и на результатах более новых оригинальных работ.

1.1. Усиление поля на внешней границе эмиттера

Одно из наиболее естественных объяснений способности углеродных материалов к низковольтной эмиссии электронов могло бы состоять в присутствии на их поверхности морфологических элементов, способных существенно усилить приложенное электрическое поле - таких как нанотрубки или волокна, - даже если такие элементы не создавались специально. Их поверхностная концентрация может быть относительно небольшой, что затрудняет не только их обнаружение на микроскопических изображениях, но и идентификацию с помощью любых экспериментальных методов, использующих поверхностно-усредненные данные.

В качестве типичного примера такого подхода можно привести статью [53], опубликованную в 1995 году исследователями из Института кристаллографии РАН. При объяснении вида эмиссионных зависимостей для алмазных частиц субмикронных и микронных размеров предложена гипотеза о присутствии на их поверхности сверхострых выступов с радиусом закругления менее 1 нм, из-за малого размера не наблюдаемых на изображениях, получаемых с помощью сканирующего электронного микроскопа (СЭМ). (В качестве альтернативой предложена модель понижения эффективной величины работы выхода в сильном поле - она обсуждается далее, в разделе 1.3.)

Аналогичное объяснение использовано в опубликованной приблизительно в то же время работе [54] швейцарских авторов (O. Groening и др.), исследовавших эмиссию из алмазоподобной пленки, легированной азотом (DLC, а именно ta-C:N). Измерив энергетические распределения электронов при полевой и фото-эмиссии (UPS), авторы установили положение вакуумного уровня и уровня Ферми, которые соответствовали значению работы выхода W = 4.9 эВ. Спектры автоэлектронов соответствовали эмиссии с уровня Ферми, а вид эмиссионных зависимостей в координатах Фаулера-Нордгейма (ФН)

был приблизительно линейным, что позволяло говорить о стандартном механизме полевой эмиссии. Однако при этом наклон эмиссионных зависимостей соответствовал существенно большей локальной напряженности поля, чем это можно было предположить для наблюдаемой топографии поверхности. Все это заставило авторов сделать однозначный вывод о присутствии на поверхности ненаблюдаемых острий, обеспечивавших дополнительное усиление поля в Р = 150-300 раз.

В более поздней работе той же группы [55] аналогичные измерения было проведены для алмазной пленки. Эти эксперименты дали сходные результаты, которые были интерпретированы аналогичным образом (работа выхода материала Ж« 6 эВ, локальное усиление поля Р « 925-1700). Однако в данном случае на СЭМ-изображениях поверхности, полученных при максимальном разрешении, действительно присутствовали иглоподобные образования. Оценка связанного с ними усиления поля дала значение Р « 50, недостаточное для объяснения наблюдаемых порогов полевой эмиссии. Авторы предположили, что эти свойства определяются остриями наибольшего размера, присутствующими на поверхности в небольших количествах, что препятствовало их прямому обнаружению.

Исследователи из Израиля (К КаНвЬ и др., 2003) наблюдали нановискеры (вероятнее всего, нанотрубки) на поверхности легированной алмазной пленки, обработанной плазменным разрядом [56]. Вискеры формировались в окрестности разрядных кратеров и, по-видимому, определяли наблюдавшееся после плазменной обработки понижение порога эмиссии.

Авторы работы [57] (США) специально стимулировали рост УНТ на поверхности полевого катода на основе графитовой пасты путем ионной бомбардировки и достигли приблизительно шестикратного снижения порогового поля эмиссии.

В статье [58] группы из ФТИ им. А.Ф. Иоффе на основании анализа результатов ряда экспериментальных работ предложена концепция графеновой «лестницы» как модели эмиссионного центра «рыхлых» наноуглеродных пленок. При приложении электрического поля присутствующие на поверхности удлиненные структуры из бензольных колец ориентируются вдоль силовых линий, обеспечивая его локальное усиление.

Аналогичное объяснение феномена низковольтной эмиссии из наноуглеродных материалов можно найти и в современных работах. В частности, в защищенной в 2015 году диссертации Е.А. Смольниковой (МГУ, рук. А.Н. Образцов) [40] изучались эмиссионные свойства нанографитных пленок, создаваемых методом химического осаждения из газовой фазы (СУО). Проведенный в диссертации (а также в более ранних публикациях той же научной группы [59-63]) морфологический анализ показал, что изучавшаяся пленка имела

структуру «наностенок» - вертикально ориентированных чешуек, каждая из которых образована небольшим количеством графеновых слоев. Сами по себе «нано-стенки» способны в некоторой степени фокусировать электрическое поле на локальных участках торцов графеновых чешуек. Однако на поверхности пленки присутствовали и элементы с более высоким аспектным соотношением, которые становились особенно хорошо заметными после нанесения поверх углеродной пленки слоя оксида титана (рис. 1.1). Было обнаружено, что эти элементы имели длину порядка нескольких микрометров и структуру «наносвитков» - спирально свернутых графеновых слоев - с достаточно широким основанием (десятки или сотни нанометров) и острым концом [63]. Поведение эмиссионных свойств образцов покрытия в зависимости от толщины слоя оксида титана позволило автору [40] утверждать, что эмиссионный ток углеродной пленки в основном определяется именно заостренными концами «наносвитков». Аналогичные наблюдения и выводы содержатся и в работах [39, 42] другой научной группы МГУ (НИИЯФ им. Д.В. Скобельцына).

К недостаткам данной, логически простейшей, модели механизма облегченной эмиссии можно отнести следующие.

Прежде всего, можно отметить, что ее практическое использование для создания катодов едва ли возможно, поскольку целенаправленно создаваемые массивы УНТ или других видов углеродных волокон в большинстве случаев будут эффективнее аналогичных структур, создаваемых ненамеренно.

Помимо этого, уже обсуждавшееся применительно к работе [55] несоответствие между значениями коэффициента усиления поля Р, рассчитываемыми исходя из морфологии наблюдаемых волокон и из эмиссионных характеристик, носит в действительности весьма общий характер. В частности, в работах ученых МГУ [60, 61] указывается, что, в предположении табличных значений работы выхода углерода, эмиссионные характеристики их нано-

углеродных образцов соответствовали значению Р > 5000. В то же время по морфологическим данным наибольший «геометрический» фактор усиления поля Р оценивался величинами от 50 до 500 [61]. В часто цитируемых работах А. Модиноса [64, 65] предлагалось использовать для приближенного расчета этой величины универсальную формулу:

в « й/кЯ , (1.1)

где ё - расстояние между катодом и анодом; Я - радиус острия усиливающего поле морфологического элемента; к - корректирующий коэффициент, численное значение которого можно принять равным 5 [65]. Применение этой формулы для типичных условий эксперимента дает оценку в « 150 [64].

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Архипов, Александр Викторович, 2017 год

7. Список литературы

7.1. Публикации автора по теме диссертации: [a1-a46]

a1. Архипов, А.В. Гистерезис импульсных характеристик автоэлектронной эмиссии с наноуглеродных пленок / А.В. Архипов, М.В. Мишин, Г.Г. Соминский, И.В. Парыгин // ЖТФ. - 2005. - Т. 75, Вып. 10. - С. 104-110. a2. Arkhipov, A.V. Hysteresis of pulsed characteristics of field emission from nano-carbon materials / A.V. Arkhipov, M.V. Mishin, I.V. Parygin // Surface and Interface Analysis. - 2007. - Vol.39, No 2-3. - P. 149-154. a3. Alexandrov, S.Ye. Carbon-film field-emission cathodes in a compact orbitron-type ionization vacuum sensor / S.Ye. Alexandrov, A.V. Arkhipov, M.V. Mishin, G.G. Sominski, // Surface and Interface Analysis. - 2007. - Vol.39, No 2-3. - P. 146-148. a4. Arkhipov, A.V. Nanodiamond composite as a material for cold electron emitters / A.V. Arkhipov, S.K. Gordeev, S.B. Korchagina, G.G. Sominski, A.A Uvarov // J. Phys.: Conf. Ser. -2008. - Vol. 100. - 072047. a5. Arkhipov, A.V. Interpretation of dynamic and dc field-emission characteristics of nanocarbons in terms of two-stage emission model / A.V. Arkhipov, M.V. Mishin // Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures. - 2011. - Vol. 19, No 1-2. - P. 75-80. a6. Arkhipov, A.V. On possible structure of field-induced electron emission centers of nanoporous carbon / A.V. Arkhipov, P.G. Gabdullin, M.V. Mishin // Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures. - 2011. - Vol. 19, No 1-2. - P. 86-91. a7. Arkhipov, A.V. "Fine structure" of emission I-V characteristics of nanodispersed films / A.V. Arkhipov; P.G. Gabdullin // Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures. - 2011. -Vol. 19, No 1-2. - P. 81 - 85 a8. Arkhipov, A.V. Field-induced electron emission from graphitic nano-island films at silicon substrates / A.V. Arkhipov, P.G. Gabdullin, S.I. Krel, M.V. Mishin, A.L. Shakhmin, S.K. Gordeev, S.B. Korchagina // Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures. - 2012. -Vol. 20, No 4-7. - P. 468-472. a9. Архипов, А.В. Простая модель облегченной полевой эмиссии электронов из наноматериалов / А.В. Архипов, С.И. Крель // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки. - 2012. - Вып. 1. - С. 74-81. a10. Архипов, А.В. Роль наночастиц в полевой эмиссии электронов из углеродных материалов / А.В. Архипов, Н.М. Гнучев, С.И. Крель // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки. - 2012. - Вып. 4 (158). - С. 98-103.

all. Емельянов, А.Ю. Морфология поверхности и полевая эмиссия углеродных пленок, полученных методом магнетронного напыления / А.Ю. Емельянов, П.Г. Габдуллин, А.В. Архипов, Н.М. Гнучев // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки. - 2013. - №3(177). - С. 144-150. a12. Arkhipov, A.V. Correlations in field electron emission current from local spots at nano-porous carbon films / A.V. Arkhipov, S.I. Krel, M.V. Mishin, A.A. Uvarov // St. Petersburg State Polytechnical University Journal: Physics and Mathematics. - 2013. - No 4-2 (182). - P. 123128.

a13. Shubina, E.N. Effect of temperature on properties of DLC films and DLC-Ni:C sandwich growth / E.N. Shubina, P.A. Karaseov, M.V. Mishin, V.S. Protopopova, A.Ya. Vinogradov, N.N. Karaseov, A.V. Arkhipov, A.L. Shakhmin, O.A. Podsvirov, A.I. Titov // St. Petersburg State Polytechnical University Journal: Physics and Mathematics. - 2013. - No 4-2 (182). - P. 115122.

a14. Карасёв, П.А. Влияние ионной бомбардировки на фазовый состав и механические свойства алмазоподобных пленок / П.А. Карасёв, О.А. Подсвиров, А.И. Титов, К.В. Карабешкин, А.Я. Виноградов, В.С. Беляков, А.В. Архипов, Л.М. Никулина, А.Л. Шахмин, Е.Н. Шубина, Н.Н. Карасёв // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2014. - Вып. 1. - C. 49-53. a15. Архипов, А.В. Низковольтная автоэлектронная эмиссия из углеродных пленок, полученных методом магнетронного распыления / А.В. Архипов, П.Г. Габдуллин, Н.М. Гнучев, А.Ю. Емельянов, С.И. Крель // Письма в ЖТФ. - 2014. - Т. 40, Вып. 23. - С. 58-66.

a16. Arkhipov, A. Field-induced electron emission from nanoporous carbons / A. Arkhipov, S. Davydov, P. Gabdullin, N. Gnuchev, A. Kravchik, S. Krel // Journal of Nanomaterials. -2014. - Vol. 2014. - 190232. a17. Архипов, А.В. Полевая эмиссия различных видов нанопористого углерода / А.В. Архипов, П.Г. Габдуллин, Н.М. Гнучев, С.Н. Давыдов, С.И. Крель, Б.А. Логинов // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки. - 2015. -Вып. 1(213). - С. 77-92. a18. Архипов, А.В. Вакуумметрический датчик орбитронного типа с наноуглеродным автокатодом / А.В. Архипов, П.Г. Габдуллин, М.В. Мишин // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки. - 2015. - Вып. 1(213). - С. 102-108.

a19. Protopopova, V.S. Field electron emission from a nickel-carbon nanocomposite / V.S. Protopopova, M.V. Mishin, A.V. Arkhipov, S.I. Krel, P.G. Gabdullin // Nanosystems: physics, chemistry mathematics. - 2014. - Vol. 5, No 1. P. 178-185. a20. Arkhipov, A.V. Field-emission properties of Ni-C nanocomposite films / A.V. Arkhipov, P.G. Gabdullin, M.V. Mishin, V.S. Protopopova, S.I. Krel, D.E. Drobinin, N.M. Gnuchev // Journal of Nano- and Electronic Physics. - 2016. - Vol. 8, No 2.- 02058. a21. Архипов, А.В. Фотостимуляция проводимости и электронные свойства автоэмиссионных наноуглеродных покрытий на кремнии / А.В. Архипов, П.Г. Габдуллин, С.К Гордеев, А.М. Журкин, О.Е. Квашенкина // ЖТФ. - 2016. - Т. 86, Вып. 12. - С. 135-144.

a22. Alexandrov, S.Ye. Orbitron-type vacuum pressure gauge with carbon-film field emitter / S.Ye. Alexandrov, A.V. Arkhipov, M.V. Mishin // Abstr. 16th Int. Vacuum Congress. - Venice, Italy, June 28-July 2, 2004. - Book 2, P. 1032. a23. Александров, С.Е. Вакуумметрический датчик орбитронного типа с наноуглеродным автоэмиссионным катодом / С.Е. Александров, А.В. Архипов, М.В. Мишин, Г.Г. Соминский // Тез. докл. III конф. "Микротехнологии в авиации и космонавтике". -Санкт-Петербург, 8-9 июня 2004 г. - C. 35. a24. Alexandrov, S.Ye. Carbon-film field-emission cathods in a compact orbitron-type ionization vacuum sensor / S.Ye. Alexandrov, A.V. Arkhipov, M.V. Mishin, G.G. Sominski // Abstr. 49th Int. Field Emission Symp. IFES04. - Seggau Castle, Austria, July 12-15, 2004. - P. 108. a25. Arkhipov, A.V. Performance of carbon electron emitters in pulsed high-voltage electric field / A.V. Arkhipov, P.G. Gabdullin, M.V. Mishin, G. G. Sominski, // Abstr. 16th Int. Vacuum Congress . - Venice, Italy, June 28-July 2, 2004. - Book 1, P. 307. a26. Arkhipov, A.V. Hysteresis of pulsed characteristics of field emission from nano-carbon materials / A.V. Arkhipov, M.V. Mishin, Sominski, I.V. Parygin, // Abstr. 49th Int. Field Emission Symp. IFES04. - Seggau Castle, Austria, July 12-15, 2004. - P. 102 a27. Arkhipov, A. Operation of nano-carbon field emitters in high-voltage device conditions / A. Arkhipov, V. Mishin, G. Sominski, I. Parygin // Proc. Int. Conf. "Displays and Vacuum Electronics". - Garmisch-Partenkirchen, Germany, May 3-4, 2004. - P.121-124. a28. Arkhipov, A.V. Mechanism of field electron emission from heterogeneous nano-carbon films / A.V. Arkhipov, M.V. Mishin, G.G. Sominski, I.V. Paryguin, A.A. Uvarov // Abs. 7th Int. Workshop "Fullerenes and Atomic Clusters" IWFAC'2005. - St Petersburg, June 27-July 1, 2005. - P206.

a29. Arkhipov, A. Dynamical and correlation characteristics of electron emission from carbon films in strong electric field / A. Arkhipov, M. Mishin, G. Sominski, I. Paryguin, A. Uvarov // Proc.

13 th Int. Congr. on Thin Films and 8 th Int. Conf. on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures ICTF 13/ACSIN 8. - Stockholm, Sweden, June 19-23, 2005. - 072047. a30. Архипов, А.В. Методика исследования флуктуаций тока полевой эмиссии электронов с наноуглеродной пленки / А.В. Архипов, М.В. Мишин, Г.Г. Соминский, Б.А. Кригель, И.В. Парыгин, А.А. Уваров // Труды СПбГТУ. - 2006. - Вып. 500. - С. 108-122. a31. Arkhipov, A.V. Time- and area-resolved investigation of field-induced electron emission from nanocarbon films / A.V. Arkhipov, M.V. Mishin, G.G. Sominski, B.A. Kriegel, I.V. Parygin, A.A. Uvarov // Tech. Digest IVNC/IFES-2006. - Guilin, China, July 17-20, 2006. - P. 219-220. a32. Arkhipov, A.V., Dynamics and interaction of active centers at nanocarbon electron emitters / A.V. Arkhipov, M.V. Mishin, G.G. Sominski, B.A. Kriegel, I.V. Parygin, A.A. Uvarov // Tech. Digest IVNC/IFES-2006. - Guilin, China, July 17-20, 2006. - P. 221 222. a33. Arkhipov, A.V. Self- and cross-correlations in field emission current from micrometer-scale spots at nanoporous carbon films / A.V. Arkhipov, M.V. Mishin, G.G. Sominski, B.A. Kriegel, I.V. Parygin, A.A. Uvarov // Abs. Int. Conf. "Nanocarbon&Nanodiamond 2006". -St.Petersburg, September 11-15, 2006. - P.105. a34. Arkhipov, A.V. Performance of nanocarbon field emitters in electron device relevant conditions / A.V. Arkhipov, M.V. Mishin, G.G. Sominski, A.A. Uvarov // Abs. 8th Int. Workshop "Fullerenes and Atomic Clusters" IWFAC'2007. - St.Petersburg, July 2-6, 2007. - P. 50. a35. Arkhipov, A.V. Emission properties of a nanodiamond composite / A.V. Arkhipov, S.K. Gordeev, S.B. Korchagina, G.G. Sominski, A.A. Uvarov // Abs. 8th Int. Workshop "Fullerenes and Atomic Clusters" IWFAC'2007. - St.Petersburg, July 2-6, 2007. - P. 193 a36. Arkhipov, A.V. Nanodiamond composite as a material for cold electron emitters / A.V. Arkhipov, S.K. Gordeev, S.B. Korchagina, G.G. Sominski, A.A. Uvarov // Abs. 17th Int. Vacuum Congress. - Stockholm, Sweden, July 2-6, 2007. - SSP4-228. a37. Сидак, Е.В. Взаимосвязь флуктуаций токов полевой эмиссии с различных участков поверхности пленочного наноуглеродного катода / Е.В. Сидак, Д. А. Смирнов, Б.П. Безручко, А.В. Архипов, Г.Г. Соминский // Матер. VIII Межд. школы "Хаотические автоколебания и образование структур" ХА0С-2007. - Саратов, 9-14 октября 2007 г. - С. 72

a38. Сидак, Е.В. Диагностика взаимодействия активных центров на поверхности пленочного наноуглеродного катода / Е.В. Сидак, Р.Н. Иванов, Д.А. Смирнов, Б.П. Безручко, А.В. Архипов, Г.Г. Соминский // Матер. II Конф. мол. уч. "Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика". - Саратов, 14-17 мая 2007 г, - С. 21-23.

a39. Arkhipov, A.V. Role of nano-sized objects in field-induced electron emission facilitation / A.V. Arkhipov, V.B. Bondarenko, P.G. Gabdullin // Abs. Int. Conf. "Advanced Carbon Nanostructures" ACN2011. - St.Petersburg, July 4-8, 2011. - P. 319. a40. Arkhipov, A.V. Field-induced electron emission from graphitic nano-island films at silicon substrates / A.V. Arkhipov, P.G. Gabdullin, S.K. Gordeev, S.B. Korchagina, M.V. Mishin // Abs. Int. Conf. "Advanced Carbon Nanostructures" ACN2011. - St.Petersburg, July 4-8, 2011. -P. 320.

a41. Podsvirov, O.A. Preparation and characterization of Ni carbon nanocomposite thin films / O.A. Podsvirov, A.I. Titov, A.Ya. Vinogradov, M.V. Mishin, V.S. Protopopova, V.S. Belyakov, A.V. Arkhipov, P.G. Gabdullin, S.I. Krel, N.N. Karasev, P.A. Karaseov // Proc 21st Int. Conf. on Ion-Surface Interactions. - Yaroslavl, August 22-26, 2013. - Vol.2, P. 327-330. a42. Protopopova, V.S. Field electron emission from a nickel-carbon nanocomposite / V.S. Protopopova, M.V. Mishin, A.V. Arkhipov, S.I. Krel, P.G. Gabdullin // Abs. 11th International Conference "Advanced Carbon NanoStructures". - St.Petersburg, July 01-05, 2013. - P. 207. a43. Protopopova, V.S. Growth and characterization of DLC-Ni-C nanocomposite sandwich structures / V.S. Protopopova, M.V.Mishin, A.Ya. Vinogradov, N.N. Karasev, A.V. Arkhipov, E.N. Shubina, P.A. Karaseov, A.I. Titov // Abs. 11th International Conference "Advanced Carbon NanoStructures". - St.Petersburg, July 01-05, 2013. - P. 235. a44. Podsvirov, O.A. Effect of ion bombardment on phase composition and mechanical properties of thin diamond like carbon films / O.A. Podsvirov, A.Ya. Vinogradov, N.N. Karasev, V.S. Belyakov, A.L. Shahmin, E.N. Shubina, A.V. Arkhipov, P.A. Karaseov, A.I. Titov // Abs. 11th International Conference "Advanced Carbon NanoStructures". - St.Petersburg, July 01-05, 2013. - P. 236.

a45. Arkhipov, A.V. Role of substrate in facilitated field electron emission from nanocarbon films / A.V. Arkhipov, P.G. Gabdullin, N.M. Gnuchev, A.Yu. Emelyanov, S.K. Gordeev, S.B. Korchagina // Abs. 11th International Conference "Advanced Carbon NanoStructures". -St.Petersburg, July 01-05, 2013. - P. 206. a46. Архипов, А.В. Автоэмиссионные свойства пленок никель-углеродного нанокомпо-зита / А.В. Архипов, П.Г. Габдуллин, М.В. Мишин, В.С. Протопопова, С.И. Крель, Д.Э. Дробинин, Н.М. Гнучев // Труды XIII Межд. конф. "Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов". -Курск, 24-26 мая 2016 г. - Ч. 1, С. 37-42.

7.2. Прочие публикации: [1-289]

1. Дюбуа, Б.Ч. Эмиссионная электроника, нанотехнология, синергетика (К истории идей в катодной технологии) / Б.Ч. Дюбуа, О.К. Култашев, О.В. Поливникова // Электронная техника. Серия 1: СВЧ-техника. - 2008. - Вып. 4(497). - С. 3-22.

2. Дюбуа, Б.Ч. Современные эффективные катоды (К истории их создания на ФГУП "НПП "Исток") / Б.Ч. Дюбуа, А.Н. Королёв // Электронная техника. Серия 1: СВЧ-техника. -2011. - Вып. 1(508). - С. 5-24.

3. Chernozatonskii, L.A. Electron field emission from nanofilament carbon films / L.A. Chernozatonskii, Yu.V. Gulyaev, Z.Ja. Kosakovskaja, N.I. Sinitsyn, G.V. Torgashov, Yu.F. Zakharchenko, E.A. Fedorov, VP. Val'chuk // Chem. Phys. Lett. - 1995. - Vol. 233, No 1-2. -P. 63-68.

4. Гуляев, Ю.В. Автоэлектронная эмиссия с углеродных нанотрубок и нанокластерных пленок / Ю.В. Гуляев, Н.И. Синицын, Г.В. Торгашов, А.И. Жбанов, И.Г. Торгашов, С.Г. Савельев // Радиотехника и электроника. - 2003. - Т. 48, Вып. 11. - С. 1399-1406.

5. Baker, F.S. Field emission from carbon fibers: a new electron source / F.S. Baker, A.R. Osborn, J. Williams // Nature. - 1972. - Vol. 239. - P. 96-97.

6. Шешин, Е.П. Структура поверхности и автоэмиссионные свойства углеродных материалов / Е.П. Шешин. - М.: Изд-во МФТИ, 2001. - 287 с.

7. Bonard, J.-M. Carbon nanotube films as electron field emitters / J.-M. Bonard, M. Croci, C. Klinke, R. Kurt, O. Noury, N. Weiss // Carbon. - 2002. - Vol. 40, No 10. - P. 1715-1728.

8. Елецкий, А.В. Холодные полевые эмиттеры на основе углеродных нанотрубок /

A.В. Елецкий // УФН. - 2010. - Т. 180, Вып. 9. - С. 897-930.

9. Бугаев, А.С. Катодолюминесцентные источники света (современное состояние и перспективы) / А.С. Бугаев, В.Б. Киреев, Е.П. Шешин, А.Ю. Колодяжный // УФН. - 2015. - Т. 185, Вып. 8. - С. 853-883.

10. Кравченко, В.Ф. Микровакуумные генераторы СВЧ с автоэмиссионными катодами /

B.Ф. Кравченко, А.К. Синицын // Электромагнитные волны и электронные системы. -2007. - № 10. - С. 51-56.

11. Li Tolt, Z. Carbon nanotube cold cathodes for application in low current x-ray tubes / Z. Li Tolt,

C. McKenzie, R. Espinosa, S. Snyder, M. Munson // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2008. - Vol. 26, No 2. - P. 706-710.

12. Ерошкин, П.А. Маломощные рентгеновские трубки с автоэмиссионным катодом на основе наноструктурированных углеродных материалов / П.А. Ерошкин, В.А. Романько, Е.П. Шешин // Нано- и микросистемная техника. - 2012. - №9. - С. 11-15.

13. Бугаев, А.С. Маломощные рентгеновские трубки (современное состояние) / А.С. Бугаев, П.А. Ерошкин, В.А. Романько, Е.П. Шешин // УФН. - 2013. - Т. 183, Вып. 7. - С. 727-740.

14. Rosen, R. Application of carbon nanotubes as electrodes in gas discharge tubes / R. Rosen, W. Simendinger, C. Debbault, H. Shimoda, L. Fleming, B. Stoner, O. Zhou // Appl. Phys. Lett. -2000. - Vol. 76, No 13. - P. 1668-1670.

15. Kronhaus, I. Field emission cathode with electron optics for use in Hall thrusters / I. Kronhaus, A. Kapulkin, M. Guelman // J. Appl. Phys. - 2010. - Vol. 108, No 5. - 054507.

16. Teo, K.B.K. Fabrication and electrical characteristics of carbon nanotube-based microcathodes for use in a parallel electron-beam lithography system / K.B.K. Teo, M. Chhowalla, G.A.J. Amaratunga, W.I. Milne, P. Legagneux, G. Pirio, L. Gangloff, D. Pribat, V. Semet, Vu Thien Binh, W. H. Bruenger, J. Eichholz, H. Hanssen, D. Friedrich, S.B. Lee, D.G. Hasko, H. Ahmed // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2003. - Vol. 21, No 2. - P. 693-697.

17. Manohara, H. Field emission testing of carbon nanotubes for THz frequency vacuum microtube sources / H. Manohara, Wei Lien Dang, P.H. Siegel, M. Hoenk, A. Husain, A. Scherer // Proc. SPIE. - 2004. - Vol. 5343. - P. 227-234.

18. Natarajan, S. High voltage microelectromechanical systems platform for fully integrated, on-chip, vacuum electronic devices / S. Natarajan, C.B. Parker, J.T. Glass, J.R. Piascik, K.H. Gilchrist, C.A. Bower, B.R. Stoner // Appl. Phys. Lett. - 2008. - Vol. 92, No 22. - 224101.

19. Kim, S.J. Измерители вакуума, использующие эмиттеры из углеродных нанотруб / S.J. Kim // Письма в ЖТФ. - 2005. - Т. 31, Вып. 14. - С. 34-39.

20. Choi, I.M. Improved metrological characteristics of a carbon-nanotube-based ionization gauge / I.M. Choi, S.Y. Woo, H.W. Song // Appl. Phys. Lett. - 2007. - Vol. 90, No 2. - 023107.

21. Bower, C.A. On-chip electron-impact ion source using carbon nanotube field emitters / C.A. Bower, K.H. Gilchrist, J.R. Piascik, B.R. Stoner, S. Natarajan, C.B. Parker, S.D. Wolter, J.T. Glass // Appl. Phys. Lett. - 2007. - Vol. 90, No 12. - 124102.

22. Yang, Y.C. A low-vacuum ionization gauge with HfC-modified carbon nanotube field emitters / Y.C. Yang, L. Qian, J. Tang, L. Liu, S.S. Fan // Appl. Phys. Lett. - 2008. - Vol. 92, No 15. -153105.

23. Wei, N. Carbon nanotube light sensors with linear dynamic range of over 120 dB / N. Wei, Y. Liu, H.H. Xie, F. Wei, S. Wang, L.M. Peng // Appl. Phys. Lett. - 2014. - Vol. 105, No 7. -073107.

24. Трубецков, Д.И. Лекции по сверхвысокочастотной вакуумной микроэлектронике / Д.И. Трубецков, А.Г. Рожнев, Д.В. Соколов. - Саратов: Изд-во ГосУНЦ "Колледж", 1996. - 238 с.

25. Fursey, G.N. Field emission in vacuum microelectronics / G.N. Fursey. - NY: Kluwer Academic-Plenum Publishers, 2005. - 205 p.

26. Teo, K.B.K. Microwave devices: Carbon nanotubes as cold cathodes / K.B.K. Teo, E. Minoux, L. Hudanski, F. Peauger, J.-P. Schnell, L. Gangloff, P. Legagneux, D. Dieumegard, G.A.J. Amaratunga, W.I. Milne // Nature. - 2005. - Vol. 437, No 7061. - P. 968.

27. Hagmann, M.J. Ultrafast optoelectronic devices using laser-assisted field emission / M.J. Hagmann / Proc. SPIE. - 2004. - Vol. 5352. - P. 372-381.

28. Dispenza, M. Towards a THz backward wave amplifier in European OPTHER project / M. Dispenza, F. Brunetti, C.-S. Cojocaru, A. de Rossi, A. Di Carlo, D. Dolfi, A. Durand, A.M Fiorello, A. Gohier, P. Guiset, M. Kotiranta, V. Krozer, P. Legagneux, ,R. Marchesin, S. Megtert, F. Bouamrane, M. Mineo, C. Paoloni, K. Pham, J.P. Schnell, A. Secchi, E. Tamburri, M.L.Terranova, G. Ulisse, V. Zhurbenko // Proc. SPIE. - 2010. - Vol. 7837. - 783706.

29. Bonard, J.-M. Degradation and failure of carbon nanotube field emitters / J.-M. Bonard, C. Klinke, K.A. Dean, B.F. Coll // Phys. Rev. B. - 2003. - Vol. 67, No 11. - 115406.

30. Захидов, А.А. Автоэлектронная эмиссия из наноуглеродных материалов: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / А.А. Захидов. - Москва, 2006. - 143 c.

31. Popov, E.O. Mass-spectrum investigation of the phenomena accompanying field electron emission / E.O. Popov, A.G. Kolosko, S.V. Filippov, I.L. Fedichkin, P.A. Romanov // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2015. - Vol. 33, No 3. - 03C109.

32. Bocharov, G.S. Degradation of a CNT-based field emission cathode due to ion sputtering / G.S. Bocharov, A.V. Eletskii // Fuller. Nanotub. Car. N. - 2012. - Vol. 20, No 4-7. - P. 444-450.

33. Glukhova, O.E. Ponderomotive forces effect on the field emission of carbon nanotube films / O.E. Glukhova, A.I. Zhbanov, I.G. Torgashov, N. I. Sinitsyn, G.V. Torgashov // Appl. Surf. Sci. - 2003. - Vol. 215, No 1-4. - P. 149-159.

34. Бочаров, Г.С. Тепловая неустойчивость холодной полевой эмиссии углеродных нанотрубок / Г.С. Бочаров, А.В. Елецкий // ЖТФ. - 2007. - Т. 77, Вып. 4. - С. 107-112.

35. Dionne, M. Energy exchange during electron emission from carbon nanotubes: Considerations on tip cooling effect and destruction of the emitter / M. Dionne, S. Coulombe, J.-L. Meunier // Phys. Rev. B. - 2009. - Vol. 80, No 8. - 085429.

36. Katkov, V.L. Energy distributions of field emitted electrons from carbon nanosheets: Manifestation of the quantum size effect / V.L. Katkov, V.A. Osipov // Письма в ЖЭТФ. -2009. - Т. 90, Вып. 4. - С. 304-308.

37. Zhu, M.Y. Enhanced field emission of vertically oriented carbon nanosheets synthesized by C2H2/H2 plasma enhanced CVD / M Y. Zhu, R.A. Outlaw, M. Bagge-Hansen, H.J. Chen, D M. Manos // Carbon. - 2011. - Vol. 49, No 7. - P. 2526-2531.

38. Takeuchi, W. Electron field emission enhancement of carbon nanowalls by plasma surface nitridation / W. Takeuchi, H. Kondo, T. Obayashi, M. Hiramatsu, M. Hori // Appl. Phys. Lett. -2011. - Vol. 98, No 12. - 123107.

39. Evlashin, S.A. Emission properties of carbon nanowalls on porous silicon / S.A. Evlashin, Y.A. Mankelevich, V.V. Borisov, A.A. Pilevskii, A.S. Stepanov, V.A. Krivchenko, N.V. Suetin, A.T. Rakhimov // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2012. - Vol. 30, No 2. - 021801.

40. Смольникова, Е.А. Исследование структурных и автоэмиссионных характеристик нанографитовых холодных катодов: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Е.А. Смольникова. - Москва, 2015. - 146 c.

41. Palnitkar, U.A. Remarkably low turn-on field emission in undoped, nitrogen-doped, and boron-doped graphene / U.A. Palnitkar, R.V. Kashid, M.A. More, D.S. Joag, L.S. Panchakarla, C.N.R. Rao // Appl. Phys. Lett. - 2010. - Vol. 97, No 6. - 063102.

42. Krivchenko, V.A. Nanocrystalline graphite: Promising material for high current field emission cathodes / V.A. Krivchenko, A.A. Pilevsky, A.T. Rakhimov, B.V. Seleznev, N.V. Suetin, M.A. Timofeyev, A.V. Bespalov, O.L. Golikova // J. Appl. Phys. - 2010. - Vol. 107, No 1. - 014315.

43. Obraztsov, A.N. A nano-graphite cold cathode for an energy-efficient cathodoluminescent light source / A.N. Obraztsov, V.I. Kleshch, E.A. Smolnikova // Beilstain J. Nanotechnol. - 2013. -Vol. 4. - P. 493-500.

44. Kleshch, V.I. Nano-graphite cold cathodes for electric solar wind sail / V.I. Kleshch, E.A. Smolnikova, A.S. Orekhov, T. Kalvas, O. Tarvainen, J. Kauppinen, A. Nuottajarvi, H. Koivisto, P. Janhunen, A.N. Obraztsov // Carbon. - 2015. - Vol. 81. - P. 132-136.

45. Robertson, J. Hard amorphous (diamond-like) carbons / J. Robertson // Prog. Solid St. Chem. -1991. - Vol. 21. - P. 199-333.

46. Robertson, J. Amorphous carbon cathodes for field emission display / J. Robertson // Thin Solid Films. - 1997. - Vol. 296, No 1-2. - P. 61-65.

47. Robertson, J. Mechanisms of electron field emission from diamond, diamond-like carbon, and nanostructured carbon / J. Robertson // J. Vac. Sci. Technol. B. - 1999. - Vol. 17, No 2. - P. 659-665.

48. Silva, S.R.P. Modeling of the electron field emission process in polycrystalline diamond and diamond-like carbon thin films / S.R.P. Silva, G.A.J. Amaratunga, K. Okano // J. Vac. Sci. Technol. B. - 1999. - Vol. 17, No 2. - P. 557-561.

49. Railkar, T.A. A critical review of chemical vapor-deposited (CVD) diamond for electronic applications / T.A. Railkar, W.P. Kenq, H. Windischmann, A.P. Malshe, H.A. Neseem, J.L. Devidson, W.D. Brown // Crit. Rev. Solid State Mat. Sci. - 2000. - Vol. 25, No 3. - P. 163277.

50. Forbes, R.G. Low-macroscopic-field electron emission from carbon films and other electrically nanostructured heterogeneous materials: hypotheses about emission mechanism / R.G. Forbes // Sol. St. Electron. - 2001. - Vol. 45, No 6. - P. 779-808.

51. Gupta, S. Electron field-emission mechanism in nanostructured carbon films: A quest / S. Gupta, G. Morell, B.R. Weiner // J. Appl. Phys. - 2004. - Vol. 95, No 12. - P. 8314-8320.

52. Xu, N.S. Novel cold cathode materials and applications / N.S. Xu, S. Ejaz Huq // Materials Science and Engineering R: Reports. - 2005. - Vol. 48, No 2-5. - P. 47-189.

53. Zhirnov, V.V. Field emission from silicon spikes with diamond coatings / V.V. Zhirnov, E.I. Givargizov, P S. Plekhanov // J. Vac. Sci. Technol. B. - 1995. - Vol. 13, No 2. - P. 418421.

54. Groning, O. Field emitted electron energy distribution from nitrogen-containing diamondlike carbon / O. Groning, O.M. Kuttel, P. Groning, L. Schlapbach // Appl. Phys. Lett. - 1997. -Vol. 71, No 16. - P. 2253-2255.

55. Groning, O. Properties and characterization of chemical vapor deposition diamond field emitters / O. Groning, L.-O. Nilsson, P. Groning, L. Schlapbach // Sol. St. Electron. - 2001. - Vol. 45. -P. 929-944.

56. Koenigsfeld, N. Improved field emission at electric-discharge-conditioned sites on diamond surfaces due to the formation of carbon nanotubes / N. Koenigsfeld, R. Kalish, A. Hoffman // Appl. Phys. Lett. - 2003. - Vol. 82, No 26. - P. 4687-4689.

57. Hunt, C.E. Carbon nanotube growth for field-emission cathodes from graphite paste using Ar-ion bombardment / C.E. Hunt, O.J. Glembocki, Yu Wang, S.M. Prokes // Appl. Phys. Lett. -2005. - Vol. 86, No 16. - 163112.

58. Бабенко, А.Ю. Графеновая «лестница» - модель центра полевой эмиссии на поверхности рыхлых наноуглеродных материалов /А.Ю. Бабенко, А.Т. Дидейкин, Е.Д. Эйдельман // ФТТ. - 2009. - Т. 51, Вып. 2. - C. 410-414.

59. Образцов, А.Н. Роль кривизны атомных слоев в полевой эмиссии электронов из графитоподобного наноструктурированного углерода / А.Н. Образцов, А.П. Волков, И.Ю. Павловский, А.Л. Чувилин, Н.А. Рудина, В.Л. Кузнецов // Письма в ЖЭТФ. - 1999. -Т. 69, Вып. 5. - С. 381-386.

60. Образцов, А.Н. Автоэлектронная эмиссия в графитоподобных пленках / А.Н. Образцов, И.Ю. Павловский, А.П. Волков // ЖТФ. - 2001. - Т. 71, Вып. 11. - С. 89-95.

61. Образцов, А.Н. Регибридизация атомных орбиталей и полевая эмиссия электронов из наноструктурированного углерода / А.Н. Образцов, А.П. Волков, А.И. Боронин, С В. Кощеев // ЖЭТФ. - 2001. - Т. 120, Вып. 4(10). - С. 970-978.

62. Захидов, Ал.А. Статистический анализ низковольтной автоэлектронной эмиссии из наноуглерода / Ал.А. Захидов, А.Н. Образцов, А.П. Волков, Д.А. Ляшенко // ЖЭТФ. -2003. - Т. 124, Вып. 6(12). - С. 1391-1397.

63. Chuvilin, A.L. Chiral carbon nanoscrolls with a polygonal cross-section / A.L. Chuvilin, V.L. Kuznetsov, A.N. Obraztsov // Carbon. - 2009. - Vol. 47, No 13. - P. 3099-3105.

64. Modinos, A. Electron emission from amorphous carbon nitride films / A. Modinos, J.P. Xanthakis // Appl. Phys. Lett. - 1998. - Vol. 73, No 13. - P. 1874-1876.

65. Modinos, A. Theoretical analysis of field emission data / A. Modinos // Sol. St. Electron. -2001.

- Vol. 45, No 6. - P. 809-816.

66. Захидов, Ал.А. Механизм низковольтной эмиссии электронов из наноуглеродных материалов / Ал.А. Захидов, А.Н. Образцов, А.П. Волков, Д.А. Ляшенко // ЖЭТФ. - 2005.

- Т. 127, Вып. 1. - С. 100-106.

67. Fursey, G.N. The field emission from carbon nanotubes / G.N. Fursey, D.V. Novikov, G.A. Dyuzhev, A.V. Kocheryzhenkov, P.O. Vassiliev // Appl. Surf. Sci. - 2003. - Vol. 215, No 1-4. - P. 135-140.

68. Суздальцев, С.Ю. Микротопография и автоэмиссионные свойства углеродных пленок, полученных в плазме микроволнового газового разряда / С.Ю. Суздальцев, Р.К. Яфаров // ФТТ. - 2004. - T. 46, Вып. 2. - C. 367-371.

69. Яфаров, Р.К. Получение наноалмазных композиционных материалов в плазме микроволнового газового разряда низкого давления / Р.К. Яфаров // ЖТФ. - 2006. - Т.76, Вып. 1. - С. 42-48.

70. Karabutov, A.V. Diamond/sp -bonded carbon structures: quantum well field electron emission / A.V. Karabutov, V.D. Frolov, V.I. Konov // Diam. Relat. Mater. - 2001. - Vol. 10. - P. 840846.

71. Frolov, V.D. Application of scanning tunneling-field emission microscopy for investigations of field electron emission from nanoscale diamond films / V.D. Frolov, A.V. Karabutov, S.M. Pimenov, E D. Obraztsova, V.I. Konov // Ultramicroscopy. - 1999. - Vol. 79. - P. 209215.

72. Ralchenko, V. Diamond-carbon nanocomposites: applications for diamond film deposition and field electron emission / V. Ralchenko, A. Karabutov, I. Vlasov, V. Frolov, V. Konov, S. Gor-deev, S. Zhukov, A. Dementjev, // Diam. Relat. Mater. - 1999. - Vol. 8. - P. 1496-1501.

73. Karabutov, A.V. Low-field electron emission of diamond/pyrocarbon composites / A.V. Karabutov, V.D. Frolov, V.I. Konov, V.G. Ralchenko, S.K. Gordeev, P.I. Belobrov // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2001. - Vol. 19. - P. 965-970.

74. Karabutov, A.V. BN-carbon and SiO2-carbon nanocomposites as low-field electron emitters / A.V. Karabutov, S.K. Gordeev, V.G. Ralchenko, S.B. Korchagina, S.V. Lavrischev, I.I. Vlasov // Diam. Relat. Mater. -2003. - Vol. 12. - P. 1698-1704.

75. Frolov, V.D. The low-dimensional effect in single carbon-based nanoemitters of electrons / V.D. Frolov, V.I. Konov, S M. Pimenov, V.I. Kuzkin // Appl. Phys. A. - 2004. - Vol. 78, No 1.

- P. 21-23.

76. Ilie, A. Effect of sp -phase nanostructure on field emission from amorphous carbons / A. Ilie, A.C. Ferrari, T. Yagi, J. Robertson // Appl. Phys. Lett. - 2000. - Vol. 76, No 18. - P. 26272629.

77. Ilie, A. Effect of work function and surface microstructure on field emission of tetrahedral amorphous carbon / A. Ilie, A. Hart, A.J. Flewitt, J. Robertson, W.I. Milne // J. Appl. Phys. -2000. - Vol. 88, No 10. - P. 6002-6010.

78. Xu, J. Stable field emission with low threshold field from amorphous carbon films due to layer-by-layer hydrogen plasma annealing / Jun Xu, Xiaohui Huang, Wei Li, Kunji Chen, Jianbin Xu // J. Appl. Phys. - 2002. - Vol. 91, No 8. - P. 5434-5437.

79. Carey, J.D. Role of nanostructure on electron field emission from amorphous carbon thin films / J.D. Carey, R.D. Forrest, C H. Poa, S.R.P. Silva // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2003. - Vol. 21, No 4. - P. 1633-1639.

80. Ahmed, Sk.F. Enhancement of electron field emission property with silver incorporation into diamondlike carbon matrix / Sk.F. Ahmed, M.-W. Moon, K.-R. Lee // Appl. Phys. Lett. - 2008.

- Vol. 92, No 19. - 193502.

81. Koh, A.T.T. Understanding tube-like electron emission from nanographite clustered films /

A.T.T. Koh, Y.M. Foong, J. Yu, D H C. Chua, A.T.S. Wee, Y. Kudo, K. Okano // J. Appl. Phys.

- 2011. - Vol. 110, No 3. - 034903.

82. Рахимов, А.Т. Исследование корреляции эмиссионных и структурных характеристик алмазных пленок методом сканирующей туннельной микроскопии. / А.Т. Рахимов,

B.А. Самородов, Е.С. Солдатов, Н.В. Суетин, М.А. Тимофеев, А.С. Трифонов,

B.В. Ханин // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. -1999. - Вып. 7. - С. 47-51.

83. Cheng, H. Modification on the microstructure of ultrananocrystalline diamond films for enhancing their electron field emission properties via a two-step microwave plasma enhanced chemical vapor deposition process / H. Cheng, C. Horng, H. Chiang, H. Chen, I. Lin // J. Phys. Chem. - 2011. - Vol. 115. - P. 13894-13900.

84. Li, Y.J. Field emission from tetrahedral amorphous carbon films with various surface morphologies / Y.J. Li, S.P. Lau, B.K. Tay, Z. Sun, J R. Shi, L.K. Cheah, X. Shi // Diam. Relat. Mater. - 2001. - Vol. 10. - P. 1515-1522.

85. Koenigsfeld, N. Field emission controlled by the substrate/CVD diamond interface / N. Koe-nigsfeld, B. Philosoph, R. Kalish // Diam. Relat. Mater. - 2000. - Vol. 9. - P. 1218-1221.

86. Kang, W.P. Effect of sp content and tip treatment on the field emission of micropatterned pyramidal diamond tips / W.P. Kang, A. Wisitsora-at, J.L. Davidson, D.V. Kerns, Q. Li, J.F. Xu,

C.K. Kim // J. Vac. Sci. Technol. B. - 1998. - Vol. 16, No 2. - P. 684-688.

87. Kokkorakis, G.C. Local electric field and enhancement factor around nanographitic structures embedded in amorphous carbon / G.C. Kokkorakis, J.P. Xanthakis // Surface and Interface Analysis- 2007. - Vol. 39. - P. 135-138.

88. Chen, C. Field emission characteristic studies of chemical vapor deposited diamond films / C. Chen, C. Chen, J. Lue // Sol. St. Electron. - 2000. - Vol. 44. - P. 1733-1741.

89. Zhirnov, V.V. Electron emission properties of detonation nanodiamonds / V.V. Zhirnov, O.A. Shenderova, D.L. Jaeger, T. Tyler, D A. Areshkin, D.W. Brenner, J.J. Hren // ФТТ. - 2004. -Т. 46, Вып. 4. - С. 641-645.

90. Ristein, J. Diamond surfaces: familiar and amazing / J. Ristein // Appl. Phys. A. - 2006. -Vol. 82, No 3. - P. 377-384.

91. Kulkarni, P. Electrical and photoelectrical characterization of undoped and S-doped nanocrystalline diamond films / P. Kulkarni, L.M. Porter, F.A.M. Koeck, Y.-J. Tang, R.J. Nemanich // J. Appl. Phys. - 2008. - Vol. 103, No 8. - 084905.

92. Yamada, T. Field emission properties of nano-structured phosphorus-doped diamond / T. Ya-mada, C.E. Nebel, S. Shikata // Appl. Surf. Sci. - 2009. - Vol. 256 No 4. - P. 1006-1009.

93. Okotrub, A.V. Field emission from products of nanodiamond annealing / A.V. Okotrub, L.G. Bulusheva, A.V. Gusel'nikov, V.L. Kuznetsov, Yu.V. Butenko // Carbon. - 2004. -Vol. 42, No 5-6. - P. 1099-1102.

94. Drummond, N.D. Electron emission from diamondoids: a diffusion quantum Monte Carlo study / N.D. Drummond, A.J. Williamson, R.J. Needs, G. Galli // Phys. Rev. Lett. - 2005. - Vol. 95, No 9. - 096801.

95. Whiteside, T. Properties of diamond nanomaterials / T. Whiteside, C. Padgett, A. McGuire // In: B. Bhushan et al. (eds.), Handbook of Nanomaterials Properties. Berlin-Heidelberg: SpringerVerlag. - 2014. - P. 555-574.

96. Батурин, А.С. Внедрение щелочноземельного металла в структуру графита с целью снижения работы выхода / А.С. Батурин, К.Н. Никольский, А.И. Князев, Р.Г. Чесов, Е.П. Шешин // ЖТФ. - 2004. - T. 74, Вып. 3. - С. 62-64.

97. Zhao, Y. Improved field emission properties from metal-coated diamond films / Y. Zhao, B. Zhang, N.Yao, G. Sun, J. Li // Diam. Relat. Mater. - 2007. - Vol. 16, No 3. - P. 650-653.

98. Баскин, Л.М. Влияние глубоких центров захвата на эмиссионную способность широкозонных полупроводниковых автокатодов / Л.М. Баскин, Н.В. Егоров, В.Э. Птицын, Г.Н. Фурсей // Письма в ЖТФ. - 1979. - Т. 5, Вып. 22. - С. 1345-1348.

99. Фурсей, Г.Н. Низкопороговая автоэлектронная эмиссия из углеродных нанокластеров, полученных методом холодной деструкции графита / Г.Н. Фурсей, В.И. Петрик, Д.В. Новиков // ЖТФ. - 2009. - Т. 79, Вып. 7. - С. 122-126.

100. Баскин, Л.М. Влияние дипольных структур на полевую эмиссию широкозонных полупроводниковых катодов / Л.М. Баскин, П. Нейттаанмяки, Б.А. Пламеневский // ЖТФ. - 2010. - Т. 80, Вып. 12. - С. 86-89.

101. Liu, J.J. Band gap structure and electron emission property of chemical-vapor-deposited diamond films / J.J. Liu, D.Y.T. Chiu, DC. Morton, D.H. Kang, V.V. Zhirnov, J.J. Hren, J.J. Cuomo // Sol. St. Electron. - 2001. - Vol. 45, No 6. - P. 915-919.

102. Heimann, R.B., Evsyukov S.E., Koga Y. Carbon allotropes: a suggested classification scheme based on valence orbital hybridization / R.B. Heimann, S.E. Evsyukov, Y. Koga // Carbon. -1997. - Vol. 35, No 10-11. - P. 1654—1658.

103. Хайманн, Р.Б. Аллотропия углерода / Р.Б. Хайманн, С.Е. Евсюков // Природа. - 2003. -Вып. 8. - С. 66-72.

104. Рейх, К.В. Определение оптимального вакуума при полевой эмиссии из алмазоподобной пленки / К.В. Рейх, Е.Д. Эйдельман, А.Т. Дидейкин, А.Я. Вуль // ЖТФ. - 2008. - Т. 78, Вып. 2. - С. 119-122.

105. Глухова, О.Е. Автоэлектронная эмиссия из углеродных нанокластерных пленок, легированных элементами IV группы / О.Е. Глухова, И.Г. Торгашов, Г.В.Торгашов, В.Б. Байбурин, З.И. Буянова, А.И. Жбанов, Н.И. Синицын // Гетеромагнитная микро-

электроника: сб. науч. тр. / под ред. проф. А.В. Ляшенко. - Саратов : Изд-во Сарат. ун-та, 2013. - Вып. 14: Гетеромагнитная микро- и наноэлектроника. Методические аспекты физического образования. - 144 с., С. 24-33.

106. Симонов, С.В. Влияние легирующей примеси на электронные свойства поверхности углеродных пленок / С.В. Симонов, С.Ю. Суздальцев, Р.К. Яфаров // Письма в ЖТФ. -2002. - Т. 28, Вып. 14. - С. 54-58.

107. Карасев, С.А. Влияние микротопографии и режима осаждения на автоэмиссионные свойства графитоподобных углеродных пленок / С.А. Карасев, С.В. Симонов, С.Ю. Суздальцев, Р.К. Яфаров // Письма в ЖТФ. - 2002. - Т. 28, Вып. 23. - С. 9-13.

108. Усанов, Д.А. Исследование автоэлектронной эмиссии из наноуглеродных материалов: Учеб. пособие для студ. фак. нано- и биомедецинских технологий / Д.А. Усанов, Р.К. Яфаров. - Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 2006. -23 с.

109. Гладкий, А.Н. Влияние технологических параметров на структуру и морфологию поверхности углеродных пленок / А.Н. Гладкий, С.Ю. Суздальцев, Р.К. Яфаров // ЖТФ. -2000. - Т. 70, Вып. 5. - С. 133-135.

110. Алехин, А.А. Тонкая структура углеводородных пленок, полученных в плазме микроволнового газового разряда низкого давления / А.А. Алехин, С.Ю. Суздальцев, Р.К. Яфаров // Письма в ЖТФ. - 2003. - Т. 29, Вып. 15. - С. 73-79.

111. Okotrub, A.V. Electronic state of nanodiamond/graphite interfaces / A.V. Okotrub, L.G. Bulusheva, V.L. Kuznetsov, A.V. Gusel'nikov, A.L. Chuvilin // Appl. Phys. A. - 2005. -Vol. 81, No 2. - P. 393-398.

112. Busta, H.H. Performance of nanocrystalline graphite field emitters / H.H. Busta, R.J. Espinosa, A.T. Rakhimov, N.V. Suetin, M.A. Timofeyev, P. Bressler, M. Schramme, J.R. Fields, M.E. Kordesch, A. Silzars // Sol. St. Electron. - 2001. - Vol. 45. - P. 1039-1047.

113. Cui, J.B. Field emission site densities of nanostructured carbon films deposited by a cathodic arc / J.B. Cui, J. Robertson, W.I. Milne // J. Appl. Phys. - 2001. - Vol. 89, No 10. - P. 57075711.

114. Tzeng, Y. Effects of oxygen and hydrogen on electron field emission from microwave plasma chemically vapor deposited microcrystalline diamond, nanocrystalline diamond, and glassy carbon coatings / Y. Tzeng, C. Liu, A. Hirata // Diam. Relat. Mater. - 2003. - Vol. 12, No 3-7. -P. 456-463.

115. Yamaguchi, H. Electron emission from conduction band of diamond with negative electron affinity / H. Yamaguchi, T. Masuzawa, S. Nozue, Y. Kudo, I. Saito, J. Koe, M. Kudo, T. Yamada, Y. Takakuwa, K. Okano // Phys. Rev. B. - 2009. - Vol. 80, No 16. - 16532.

116. Chen, Y.H. Field emission characteristics of boron-doped diamond films prepared by MPE-CVD / Y.H. Chen, C.T. Hu, IN. Lin // Appl. Surf. Sci. - 1999. - Vol. 142. - P. 516-520.

117. Roos, M. Electron field emission from boron doped microcrystalline diamond / M. Roos, V. Baranauskas, M. Fontana, H.J. Ceragioli, A.C. Peterlevitz, K. Mallik, F.T. Degasperi // Appl. Surf. Sci. - 2007. - Vol. 253, No 18. - P. 7381-7386.

118. Park, M. Effect of nitrogen incorporation on electron emission from chemical vapor deposited diamond / M. Park, A.T. Sowers, C. Lizzul Rinne, R.Schlesser, L.Bergman, R.J. Nemanich, Z. Sitar, J.J. Hren, J.J. Cuomo, V.V. Zhirnov, W.B. Choi // J. Vac. Sci. Technol. B. - 1999. -Vol. 17, No 2. - P. 734-739.

119. Chang, Y.C. Formation of carbon cluster on the surface of diamond films for improving electron field emission properties / Y.C. Chang, J.C. Tu, C.T. Kuo, C.Y. Wang, IN. Lin // Physica B. - 2002. - Vol. 323. - P. 161-164.

120. Katkov, V.L. Effect of band structure on field emission of crystalline graphite / V.L. Katkov, V.A. Osipov // J. Phys.: Condens. Matter. - 2008. - Vol. 20, No 3. - 035204.

121. Попов, В.В. Электрические и термоэлектрические свойства нанопористого углерода / В В. Попов, С.К. Гордеев, А.В. Гречинская, А.М. Данишевский // ФТТ. - 2002. - Т. 44, Вып. 4. - С. 758-761.

122. Вейнгер, А.И. Электрофизические исследования нанопористых углеродных материалов, приготовленных из порошков карбида кремния / А.И. Вейнгер, Б.Д. Шанина, А.М. Данишевский, В.В. Попов, С.К. Гордеев, А.В. Гречинская // ФТТ. - 2003. - T. 45, Вып. 6. - С. 1141-1150.

123. Filip, L.D. Two-step electron tunneling from confined electronic states in a nanoparticle / L.D. Filip, M. Palumbo, J.D. Carey, S.R.P. Silva // Phys. Rev. B. - 2009. - Vol. 79, No 24. -245429.

124. Tsang, W.M. Negative differential conductance observed in electron field emission from band gap modulated amorphous-carbon nanolayers / W.M. Tsang, S.J. Henley, V. Stolojan, S.R.P. Silva // Appl. Phys. Lett. - 2006. - Vol. 89, No 19. - 193103.

125. Tordjman, M. Temperature dependence of reversible switch-memory in electron field emission from ultrananocrystalline diamond / M. Tordjman, A. Bolker, C. Saguy, R. Kalish // Appl. Phys. Lett. - 2012. - Vol. 101, No 17. - 173116.

126. Litovchenko, V. Quantum-size resonance tunneling in the field emission phenomenon / V. Litovchenko, A. Evtukh, Yu. Kryuchenko, N. Goncharuk, O. Yilmazoglu, K. Mutamba, H L. Hartnagel, D. Pavlidis // J. Appl. Phys. - 2004. - Vol. 96, No 1. - P. 867-877.

127. Yilmazoglu, O. Monochromatic electron-emission from planar AlN/GaN multilayers with carbon nanotube gate electrode / O. Yilmazoglu, L. Considine, R. Joshi, H. Mimura, D. Pavlidis, H.L. Hartnagel, J.J. Schneider, A. Evtukh, M. Semenenko, V. Litovchenko. // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2012. - Vol. 30, No 4. - 042203.

128. Jarvis, D.J. Resonant tunneling and extreme brightness from diamond field emitters and carbon nanotubes / J.D. Jarvis, H.L. Andrews, B. Ivanov, C.L. Stewart, N. de Jonge, E.C. Heeres, W.-P. Kang, Y.-M. Wong, J.L. Davidson, C.A. Brau // J. Appl. Phys. - 2010. - Vol. 108, No 9. -094322.

129. Geis, M.W. A new surface electron-emission mechanism in diamond cathodes / M.W. Geis, N.N. Efremow, K.E. Krohn, J.C. Twichell, T.M. Lyszczarz, R. Kalish, J.A. Greer, M.D. Tabat // Nature. - 1998. - Vol. 393. - P. 431-435.

130. Mao, D.S. Electron field emission from a patterned diamond-like carbon flat thin film using a Ti interfacial layer / D.S. Mao, X. Wang, W. Li, X.H. Liu, Q. Li, J.F. Xu, K. Okano // J. Vac. Sci. Technol. B.- 2000.- Vol. 18, No 5. - P. 2420-2424.

131. Cui, J.B. Low-threshold electron emission from diamond / J.B. Cui, J. Ristein, L. Ley // Phys. Rev. B. - 1999. - Vol. 60, No 23. - P. 16135-16142.

132. Nose, K. Electron field emission from undoped polycrystalline diamond particles synthesized by microwave-plasma chemical vapor deposition / K. Nose, R. Fujita, M. Kamiko, Y. Mitsuda // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2012. - Vol. 30. - 011204.

133. Xie, W.G. Effect of hydrogen treatment on the field emission of amorphous carbon film / W.G. Xie, Jun Chen, Jian Chen, S.Z. Deng, J.C. She, N.S. Xu // J. Appl. Phys. - 2007. -Vol. 101, No 8. - 084315.

134. Соминский, Г.Г. Влияние полей пятен на полевую эмиссию композитов / Г.Г. Соминский, В.Е. Сезонов, Д.А. Саксеев, Т.А. Тумарева // ЖТФ. - 2011. - Т. 81, Вып. 6. - С. 104-108.

135. Sominski, G.G. Field emitters made of the contacted ytterbium and carbon nanolayers / G.G. Sominski, V.E. Sezonov, Yu.M. Zadiranov // St. Petersburg Polytechnical University Journal: Physics and Mathematics. - 2015. - No 3(225). - P. 48-52.

136. Sominski, G.G. Innovative field emitters for high-voltage electronic devices / G.G. Sominski, V.E. Sezonov, E.P. Taradaev, T.A. Tumareva, Yu.M. Zadiranov, S.Yu. Kornishin, A.N. Stepanova // Radiophysics and Quantum Electronics. - 2015. - Vol. 58, No. 7. - P. 511519.

137. Geis, M.W. Diamond emitters fabrication and theory / M.W. Geis, J.C. Twichell, T.M. Lyszczarz // J. Vac. Sci. Technol. B. - 1996. - Vol. 14, No 3. - P. 2060-2067.

138. Carey, J.D. Field emission from amorphous semiconductors / J.D. Carey, S.R.P. Silva // Sol. St. Electron. - 2001. - Vol. 45, No 6. - P. 1017-1024.

139. Zhao, W. Ultralow-threshold field emission from oriented nanostructured GaN films on Si substrate / Wei Zhao, R.Z. Wang, X.M. Song, Hao Wang, Bo Wang, Hui Yan, P.K. Chu // Appl. Phys. Lett. - 2010. - Vol. 96, No 9. - 092101.

140. Wang, S.G. Electron field emission enhancement effects of nano-diamond films / S.G. Wang, Q. Zhang, S.F. Yoon, J. Ahn, Q. Zhou, Q. Wang, D.J. Yang, J.Q. Li, S.Z. Shanyong // Surface and Coatings Technology. - 2003. - Vol. 167, No 2-3. - P. 143-147.

141. Zhai, C.X. Effect of annealing on field emission properties of nanodiamond coating / C.X. Zhai, J.N. Yun, L.L. Zhao, Z.Y. Zhang, X.W. Wang, Y.Y. Chen // Physica B. - 2011. -Vol. 406. - P. 1124-1128.

142. Jou, S. Electron emission characterization of diamond thin films grown from a solid carbon source / S. Jou, H.J. Doerr, R.F. Bunshah // Thin Solid Films. - 1996. - Vol. 280. - P. 256-261.

143. Orlanducci, S.Nanocristalline diamond films grown in nitrogen rich atmosphere: structural and field emission properties / S. Orlanducci, A. Fiori, V. Sessa, E. Tamburri, F. Toschi, M L. Terranova // J. Nanosci. Nanotechnol. - 2008. - Vol. 8, No 6. - P. 3228-3234.

144. Shi, X. Electron field emission from surface treated tetrahedral amorphous carbon films / X. Shi, L.K. Cheah, B.K. Tay, S.R.P. Silva // Appl. Phys. Lett. - 1999. - Vol. 74, No 6. -P. 833-835.

145. Xu, N.S. A diagnostic study of the field emission characteristics of individual micro-emitters in CVD diamond films / N.S. Xu, Y. Tzeng, R.V. Latham // J. Phys. D: Appl. Phys. - 1994. -Vol. 27, No 9. - P. 1988-1991.

146. Zeng, J.Z. Field-induced hot-electron emission model for wide-band-gap semiconductor nanostructures / J.Z. Zeng, S.Z. Deng, J.C. She, H. He, N.S. Xu // J. Appl. Phys. - 2010. -Vol. 108, No 5. - 054305.

147. Okano, K. Low-threshold cold cathodes made of nitrogen-doped chemical-vapour-deposited diamond / K. Okano, S. Koizumi, S.R.P. Silva, G.A.J. Amaratunga // Nature. - 1996. - Vol. 381, No 6578. - P. 140-141.

148. Hsieh, M.C. Role of the N-related localized states in the electron emission properties of a GaAsN quantum well / M.C. Hsieh, J.F. Wang, Y.S. Wang, C.H. Yang, R.C.C. Chen, C.H. Chiang, Y.F. Chen, J.F. Chen // J. Appl. Phys. - 2011. - Vol. 110, No 10. - 103709.

149. Lee, Y.H. Decrease of electron paramagnetic defect density and enhancement of electron field emission in annealed carbon films / Y.H. Lee, D.H. Kim, Y.T. Jang, B.K. Ju, M.H. Oh // J. Appl. Phys. - 2000. - Vol. 87, No 10. - P. 7519-7523.

150. Okotrub, A.V. Electronic structure of diamond/graphite composite nanoparticles / A.V. Okotrub, L.G. Bulusheva, V.L. Kuznetsov, D.V. Vyalikh, M.V. Poyguin // Eur. Phys. J. D. - 2005. - Vol. 34. - P. 157-160.

151. Wei, X.L. Phonon-assisted electron emission from individual carbon nanotubes / X.L. Wei,

D. Golberg, Q. Chen, Y. Bando, L.M. Peng // Nano Lett. - 2011. - Vol. 11, No 2. - P. 734-739.

152. Wei, X. Electron emission from individual graphene nanoribbons driven by internal electric field / X. Wei, Y. Bando, D. Golberg // ACS Nano. - 2012. - Vol. 6, No 1. - P. 705-711.

153. Reich, K.V. Effect of electron-phonon interaction on field emission from carbon nanostructures / K.V. Reich, E D. Eidelman// EPL. - 2009. - Vol. 85, No 4. - 47007.

154. Рейх, К.В. Электрон-фононное взаимодействие в локальной области / К.В. Рейх,

E.Д. Эйдельман // ФТТ. - 2011. - T. 53, Вып. 8. - C. 1618-1620.

155. Dideykin, A.T. The mechanism of autoelectron emission in carbon nanostructures / A T. Dideykin, E D. Eidelman, A.Ya. Vul // Solid State Commun. - 2003. - Vol. 126, No 9. -P. 495-498.

156. Eydelman, E.D. The strong thermoelectric effect in nanocarbon generated by ballistic phonon drag of electrons / E.D. Eydelman, A.Ya. Vul // J. Phys.: Condens. Matter. - 2007. - Vol. 19, No 26. - 266210.

157. Рейх, К.В. Определение разности температур в углеродных наноструктурах при полевой эмиссии / К.В. Рейх, Е.Д. Эйдельман, А.Я. Вуль // ЖТФ. - 2007. - Т. 77, Вып. 7. - С. 123126.

158. Мейлахс, А.П. Перегрев или переохлаждение электронов в металле из-за влияния границы с диэлектриком / А.П. Мейлахс, Е.Д. Эйдельман // Письма в ЖЭТФ. - 2014. -T. 100, Вып. 2. - C. 89-93.

159. Vul', A. A model of field emission from carbon nanotubes decorated by nanodiamonds /

A. Vul', K. Reich, E. Eidelman, M.-L. Terranova, A. Ciorba, S. Orlanducci, V. Sessa, M. Rossi // Adv. Sci. Lett. - 2010. - Vol. 3, No 2. - P. 110-116.

160. Varshney, D. Growth and field emission study of a monolithic carbon nanotube/diamond composite / D. Varshney, B.R. Weiner, G. Morell // Carbon. - 2010. - Vol. 48, No 12. -P.3353-3358.

161. Mammana, V.P. Investigation of the electron emission from pores in a diamond porous membrane / V.P. Mammana, S. Anders, O.R. Monteiro, M.C. Salvadori // J. Vac. Sci. Technol.

B. - 2000.- Vol. 18, No 5. - P. 2415-2419.

162. Татаринова, Н.В. Механизм эмиссии пленок, используемых в качестве холодных катодов / Н.В. Татаринова, В.В. Наумов // Вакуумная техника и технология. - 2015. -Т. 25, Вып. 2. - С. 111-112.

163. Forbes, R.G. Physics of generalized Fowler-Nordheim-type equations / R.G. Forbes // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2008. - Vol. 26, No 2. - P. 788-793.

164. Forbes, R.G. On the need for a tunneling pre-factor in Fowler-Nordheim tunneling theory / R.G. Forbes // J. Appl. Phys. - 2008. - Vol. 103, No 11. - 114911.

165. Forbes, R.G. Comparison of approximations for the principal Schottky-Nordheim barrier function v(f), and comments on Fowler-Nordheim plots / R.G. Forbes, J.H.B. Deane // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2010. - Vol. 28, No 2. - C2A33-C2A42.

166. Forbes, R.G. Simple derivation of the formula for Sommerfeld supply density used in electron-emission physics and limitations on its use / R.G. Forbes // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2010. -Vol. 28, No 6. - P.1326-1329.

167. Choy, T.C. Field emission theory for an enhanced surface potential: a model for carbon field emitters / T.C. Choy, A. H. Harker, A.M. Stoneham // J. Phys. Condens. Matter. - 2004. -Vol. 16, No 6. -P. 861-880.

168. Choy, T.C. Dynamical resonance tunneling - a theory of giant emission from carbon field emitters / T.C. Choy, A.M. Stoneham, A. H. Harker // J. Phys.: Condens. Matter. - 2005. -Vol. 17, No 10. -P. 1505-1528.

169. Gogotsi, Y. Carbide derived carbon / Y.Gogotsi, A. Nikitin, G. Yushin // in: Nanomaterials Handbook / Ed. by Y. Gogotsi. - Boca Raton, FL: CRC Press, 2006. - 800 p., P. 237-280.

170. Gogotsi, Y. Nanoporous carbide-derived carbon with tunable pore size / Y. Gogotsi, A. Nikitin, Haihui Ye, Wei Zhou, J.E. Fischer, Bo Yi, H.C. Foley, M.W. Barsoum // Nature Materials. - 2003. - Vol. 2, No 9. - P. 591-594.

171. Hoffman, E.N. Synthesis of carbide-derived carbon by chlorination of Ti2AlC / E.N. Hoffman, G. Yushin, M.W. Barsoum, Y. Gogotsi // Chem. Mater. - 2005. - Vol. 17. - P. 2317-2322.

172. Dash, R. Titanium carbide derived nanoporous carbon for energy-related applications / R. Dash, J. Chmiola, G. Yushin, Y. Gogotsi, G. Laudisio, J. Singer, J. Fischer, S. Kucheyev // Carbon. - 2006.- Vol. 44, No 12. - P. 2489-2497.

173. Ojima, M. Pore size dependence of field emission from nanoscale porous carbon / M. Ojima, S. Hiwatashi, H. Araki, A. Fujii, M. Ozaki, K. Yoshino // Appl. Phys. Lett. - 2006. - Vol. 88, No 5. - 053103.

174. Smorgonskaya, E. X-ray and HRTEM structural studies of bulk nanoporous carbon materials produced from carbides / E. Smorgonskaya, R. Kyutt, A. Danishevskii, C. Jardin, R. Meaudre,

O. Marty, S. Gordeev, A. Grechinskaya // J. Non-Cryst. Solids. - 2002. - Vol. 299-302, Pt. 2. -P. 810-814.

175. Кравчик, А.Е. Исследование структуры и свойств нанопористых углеродных материалов, полученных методом термохимической обработки карбидов / А.Е. Кравчик // Серия. Критические технологии. Мембраны. - 2003. - Вып. 3(19). - С. 3-13.

176. Kravchik, A.E. Structure of nanoporous carbon produced from boron carbide / A.E. Kravchik, Ju.A. Kukushkina, V.V. Sokolov, G.F. Tereshchenko // Carbon. - 2006. - Vol. 44, No 15. -P. 3263-3268.

177. Кравчик, А.Е. Структура нанопористого углерода, полученного из карбида и карбонитрида титана / А.Е. Кравчик, Ю.А. Кукушкина, В.В. Соколов, Г.Ф. Терещенко, Е.А. Устинов // Журнал прикладной химии. - 2008. - Т. 81, Вып. 10. - С. 1605-1612.

178. Компан, М.Е. Комбинационное рассеяние света в самоформирующемся нанопористом углероде на основе карбида кремния / М.Е. Компан, Д.С. Крылов, В.В. Соколов // ФТП. -2011. - Т. 45, Вып. 3. - С. 316-321.

179. Крикля, А.А. Математическое моделирование структуры и свойств нанопористого углерода / А.А. Крикля, В.В. Картузов // Доповвд Нащонально'1 академп наук Укра'ни. -2011. - No 3. - C. 87-93.

180. Ponomarev, A.N. Astrallen-based cold cathodes / A.N. Ponomarev, V.T. Barchenko, A.N. Brozdnichenko,V.A. Komarov, I.I. Khinitch, V.A. Nikitin, and V.P. Pronin // Abs. 6th Biennial International Workshop in Russia, "IWFAC'2003". - St. Petersburg, June 30-July 4, 2003. -P. 307.

181. Пономарев, А.Н. Исследования многослойных полиэдрических наночастиц фулероид-ного типа - астраленов / А.Н. Пономарев, В.А. Никитин, В.В. Рыбалко // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2006. - Вып. 5. - С. 44-47.

182. Shames, A.I. Structural and magnetic resonance study of astralen nanoparticles / A.I. Shames, E.A. Katz, A.M. Panich, D. Mogilyansky, E. Mogilko, J. Grinblat, V.P. Belousov, I.M. Belo-usova, A.N. Ponomarev // Diam. Relat. Mater. - 2009. - Vol. 18, No 2-3. - P. 505-510.

183. Kuznetsov, V.L. Onion-like carbon from ultra-disperse diamond / V.L. Kuznetsov, A.L. Chuvilin, Y.V. Butenko, I.Yu. Mal'kov, V.M. Titov // Chem. Phys. Lett. - 1994. -Vol. 222, No 4. - P. 343-348.

184. Sano, N. Properties of carbon onions produced by an arc discharge in water / N. Sano, H. Wang, I. Alexandrou, M. Chhowalla, K.B.K. Teo, G.A.J. Amaratunga, K. Iimura // J. Appl. Phys. - 2002. - Vol. 92, N0 5. - P. 2783-2788.

185. Alexandrou, I. Structure of carbon onions and nanotubes formed by arc in liquids / I. Alexandrou, H. Wang, N. Sano, G.A.J. Amaratunga // J. Chem. Phys. - 2004. - Vol. 120, No 2. - P. 1055-1058.

186. Ganesh, P. Formation, characterization, and dynamics of onion-like carbon structures for electrical energy storage from nanodiamonds using reactive force fields / P. Ganesh, P R C. Kent, V. Mochalin // J. Appl. Phys. - 2011.- Vol. 110, No 7. - 073506.

187. Enoki, T. Diamond-to-graphite conversion in nanodiamond and electronic properties of na-nodiamond-derived carbon system / T. Enoki // ФТТ. - 2004. - Т. 46, Вып. 4. - С. 635-640.

188. Bogdanov, K. Annealing-induced structural changes of carbon onions: High-resolution transmission electron microscopy and Raman studies / K. Bogdanov, A. Fedorov, V. Osipov, T. Enoki, K. Takai, T. Hayashi, V. Ermakov, S. Moshkalev, A. Baranov // Carbon. - 2014. -Vol. 73, No 1. - P. 78-86.

189. Бондаренко, В.Б. Эмиссионные характеристики порошков из нанопористого углерода / В.Б. Бондаренко, П.Г. Габдуллин, Н.М. Гнучев, С.Н. Давыдов, В.В. Кораблев, А.Е. Кравчик, В.В. Соколов // ЖТФ. - 2004. - Т. 74, Вып. 10. - С. 113-116.

190. Окотруб, А.В. Влияние очистки на электронную структуру и автоэмиссионные свойства углеродного материала, содержащего однослойные нанотрубки / А.В. Окотруб, Л.Г. Булушева, А.В. Гусельников // ЖЭТФ. - 2004. - Т. 126, Вып. 6. - С. 1425-1434.

191. Колосько, А.Г. Эволюция характеристик полевого эмиттера на основе композита нитроцеллюлоза-углеродные нанотрубки / А.Г. Колосько, М.В. Ершов, С.В. Филиппов, Е.О. Попов // Письма в ЖТФ. - 2013. - Т. 39, Вып. 10. - С. 72-80.

192. Cole, M.T. Suppressed hysteretic field emission from polymer encapsulated silver nanowires / M.T. Cole, S. Coskun, R.J. Parmee, P. Hiralal, C. Cepek, A.W. Robertson, Chi Li, Qing Dai, J.H. Warner, W.I. Milne, HE. Unalan // IEEE Trans. Nanotechnol. - 2017. - Vol. 16, No 1. -P. 11-15.

193. Иоссель, Ю.Я. Расчет электрической емкости / Ю.Я. Иоссель, Э.С. Кочанов, М.Г. Струнский. - Л.: Энергоиздат, 1981. - 288 с.

194. Бочков, Г.Н. Новое в исследованиях 1//-шума / Г.Н. Бочков, Ю.Е. Кузовлев // УФН. -1983. - Т. 141, Вып. 1. - С. 151-176.

195. Anikin, V.M. Statistical models of fluctuation phenomena in field emission / V.M. Anikin, A.F. Goloubentsev // Sol. St. Electron. - 2001. - Vol. 45, No 6. - P. 865-869.

196. Букингем, М. Шумы в электронных приборах и системах: пер. с англ. / М. Букингем -М.: Мир, 1986. - 399 с

197. Васильев, В.А. Автоволновые процессы / В. А. Васильев, Ю.М. Романовский, В.Г. Яхно. - М.: Наука, 1987. - 240 с.

198. Заславский, Г.М. Введение в нелинейную физику: От маятника до турбулентности и хаоса / Г.М. Заславский, Р.З. Сагдеев. - М.: Наука, 1988. - 368 с.

199. Рабинович, М.И. Введение в теорию колебаний и волн / М.И. Рабинович, Д.И. Трубецков. - М.: Наука, 1984. - 432 с.

200. Трубецков, Д.И. Введение в синергетику. Колебания и волны / Д.И. Трубецков. - М.: Либроком, 2011. - 224 с.

201. Dicke, R.H. Coherence in spontaneous radiation processes / R.H. Dicke // Phys. Rev. - 1954. -Vol. 93, No 1. - P. 99-110.

202. Андреев, А.В. Оптическое сверхизлучение: новые идеи и новые эксперименты /

A.В. Андреев // УФН. - 1990. - Т. 160, Вып. 12. - С. 1-46.

203. Xu, L. Effects of bonding structure from niobium carbide buffer layer on the field electric emission properties of a-C films / L. Xu, C. Wang, C.Q. Hu, Z.D. Zhao, W.X. Yu, W.T. Zheng // J. Appl. Phys. - 2009. - Vol. 105, No 7. - 074318.

204. Park, K.H. Statistical analysis of field electron emission from nanostructured carbon films / K.H. Park, S. Lee, K.H. Koh // J. Appl. Phys. - 2006. - Vol. 99, No 3. - 034303.

205. Емельченко, Г.А. Синтез периодической наноструктуры SiC/C / Г.А. Емельченко,

B.М. Масалов, А.А. Жохов, М.Ю. Максимук, Т.Н. Фурсова, А.В. Баженов, И.И. Зверькова,

C.С. Хасанов, Э.А. Штейнман, А Н. Терещенко // ФТТ. - 2011. - Т. 53, Вып. 6. - С. 10591063.

206. Белобров, П.И. Перспективы нейтронных исследований композита наноалмаз-пироуглерод / П.И. Белобров, С.К. Гордеев, Р.Ф. Коноплева, И.В. Назаркин,

B.А. Чеканов // Матер. XLIV Зимней Школы ПИЯФ, Гатчина "ФКС-2010". - Рощино, 1521 марта 2010 г. - С. 26.

207. Данишевский, А.М. Комбинационное рассеяние света в нанопористом углероде, получаемом из карбидов кремния и титана / А.М. Данишевский, Э.А. Сморгонская,

C.К. Гордеев, А.В. Гречинская // ФТТ. - 2001. - Т. 43, Вып. 1. - С. 132-139.

208. Ястребов, С.Г. Спектральная эллипсометрия наноалмазного композита / С.Г. Ястребов, С.К. Гордеев, М. Гаррига, И.А. Алонсо, В.И. Иванов-Омский // ФТП. - 2006. - Т. 40, Вып. 7. - С. 850-854.

209. Беляев, С.П. Электрофизические свойства углеродных нанокомпозитов на основе наноалмазов, облученных быстрыми нейтронами / С.П. Беляев, С.К. Гордеев,

B.А. Чеканов, Р.Ф. Коноплева, И.В. Голосовский, С.Б. Корчагина, И.А. Денисов, П.И. Белобров // ФТТ. - 2014. - Т. 56, Вып. 1. - С. 1-14.

210. Alexandrov, S.E. Chemical vapor deposition of Ni-C films from bis-(ethylcyclopentadienyl) nickel / S.E. Alexandrov, V.S. Protopopova // J. Nanosci. Nanotechnol. - 2011. - Vol. 11, No 9. - P. 8259-8263.

211. Alexandrou, I. Field emission properties of nanocomposite carbon nitride fdms / I. Alexandrou, M. Baxendale, N.L. Rupesinghe, G.A.J. Amaratunga, C.J. Kiely // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2000. - Vol. 18, No 6. - P. 2698-2703.

212. Gupta, S. Role of sp C cluster size on the field emission properties of sulfur-incorporated nanocomposite carbon thin films / S. Gupta, B. R. Weiner, G. Morell // Appl. Phys. Lett. -2002. - Vol. 80, No 8. - P. 1471-1473.

213. Ducati, C. Influence of cluster-assembly parameters on the field emission properties of nanostructured carbon films / C. Ducati, E. Barborini, P. Piseri, P. Milani, J. Robertson // J. Appl. Phys. - 2002. - Vol. 92, No 9. - P. 5482-5489.

214. Huang, P.C. The induction of a graphite-like phase on diamond films by a Fe-coating/post-annealing process to improve their electron field emission properties / P.C. Huang, W.C. Shih, H.C. Chen, IN. Lin // J. Appl. Phys. - 2011. - Vol. 109, No 8. - 084309.

215. Lyashenko, S. Thermionic field electron emission from graphite-based nanomaterials / S. Lyashenko, V. Kleshch, A. Obraztsov // Physica Status Solidi. - 2011. - Vol. 248, No 11. -P.2712-2715.

216. Добрецов, Л.Н. Эмиссионная электроника / Л.Н. Добрецов, М.В. Гомоюнова. - М.: Наука, 1966. - 564 с.

217. Владимиров, Г.Г. Физическая электроника. Часть I. Термоэлектронная эмиссия: Учеб. пособие / Г.Г. Владимиров. - СПб.: Изд-во СПбГУ, 2007. - 187 с.

218. Jin, F. Barium strontium oxide coated carbon nanotubes as field emitters / F. Jin, Y. Liu,

C.M. Day // Appl. Phys. Lett. - 2007. - Vol. 90, No 14. - 143114.

219. Altman, I.S. Two-process model of electron field emission from nanocarbons: Temperature effect / I.S. Altman, P.V. Pikhitsa, M. Choi // J. Appl. Phys. - 2004. - Vol. 96, No 6. - P. 34913493.

220. Яфаров, Р.К. Формирование углеродных субнаноразмерных масковых покрытий на кремнии (100) в СВЧ-плазме низкого давления / Р.К. Яфаров, В.Я. Шаныгин // Письма в ЖТФ. - 2014. - Т. 40, Вып. 7. - С. 8-15.

221. Мишин, М.В. Физические основы процессов образования наночастиц в ВЧ разряде атмосферного давления: Дис. ... д. физ.-мат. наук: 01.04.04 / М.В. Мишин. - СПб., 2015. -270 с.

222. Chhowalla, M. Evolution of sp bonding with deposition temperature in tetrahedral amorphous carbon studied by Raman spectroscopy / M. Chhowalla, A.C. Ferrari, J. Robertson, G.A.J. Amaratunga // Appl. Phys. Lett. - 2000. - Vol. 76, No 11. - P.1419-1421.

223. Yu, J. Electron field emission from carbon nanoparticles prepared by microwave-plasma chemical-vapor deposition / J. Yu, E.G. Wang, X.D. Bai // Appl. Phys. Lett. - 2001. - Vol. 78, No 15. - P. 2226-2228.

224. Синицын, Н.И. Новый автоэмиссионный материал - тонкие углеродные нанокластерные пленки. Технологические аспекты / Н.И. Синицын, Г.В. Торгашов, И.Г. Торгашов, В.Б. Байбурин, З.И. Буянова, А.И. Жбанов // Гетеромагнитная микроэлектроника: сб. науч. тр. / под ред. проф. А.В. Ляшенко. - Саратов : Изд-во Сарат. ун-та, 2013. - Вып. 14: Гетеромагнитная микро- и наноэлектроника. Методические аспекты физического образования. - 144 с., С. 13-23.

225. Park, K.H. Electron field emission from defective diamond films deposited on chrome electrode / K.H. Park, S. Lee, K.H. Koh // Diam. Relat. Mater. - 2000. - Vol. 9, No 7. -P.1342-1348.

226. Dimitriadis, C.A. Microstructure and its effect on the conductivity of magnetron sputtered carbon thin films / C.A. Dimitriadis, N.A. Hastas, N. Vouroutzis, S. Logothetidis, Y. Panayiotatos // J. Appl. Phys. - 2001. - Vol. 89, No 12. - P. 7954-7959.

227. Румянцев, В.В. Особенности релаксации примесной фотопроводимости в кремнии, легированном бором / В.В. Румянцев, С.В. Морозов, К.Е. Кудрявцев, В.И. Гавриленко, Д.В. Козлов // ФТП. - 2012. - Т. 46, Вып. 11. - С. 1414-1418.

228. Chen, Y.C. Electron field emission properties of carbon nanotubes during thermal heating and laser irradiation / Y.C. Chen, H.F. Cheng, Y.S. Hsieh, Y.M. Tsau // J. Appl. Phys. - 2003. - Vol. 94, No 12. - P. 7739-7742.

229. Guiset P., Surface plasmons localization on field emitters arrays for microwave modulation of tunneling currents / P. Guiset, S. Combrie, A. De Rossi, M. Carras, J.P. Schnell, P. Legagneux // Proc. SPIE. - 2008. - Vol. 7037. - 70370Q.

230. Фоменко, В.С. Эмиссионные свойства материалов / В.С. Фоменко. - Киев: Наукова думка, 1981. - 339 с.

231. Корсунский, М.И. Аномальная фотопроводимость / М.И. Корсунский. - М: Наука, 1972. - 192 с.

232. Зи, С. Физика полупроводниковых приборов. Том 1: пер. с англ. / С. Зи. - М. Мир, 1984. - 455 с.

233. Месяц, Г.А. Формирование наносекундных импульсов высокого напряжения / Г А. Месяц, А С. Насибов, В.В. Кремнев. - М.: Энергия, 1970. - 155 с.

234. Александров, О.В. Модель термического окисления кремния на фронте объемной реакции / О.В. Александров, А.И. Дусь // ФТП. - 2008. - Т. 42, Вып. 11. - С.1400-1406.

235. Prawer, S. Ion-beam-induced transformation of diamond / S. Prawer, R. Kalish // Phys. Rev.

B. - 1995. - Vol. 51, No 22. - P. 15711-15722.

236. Joseph, P.T. Field emission enhancement in nitrogen-ion-implanted ultrananocrystalline diamond films / P.T. Joseph, N.H. Tai, C.Y. Lee, H. Niu, W.F. Pong, I.N. Lin // J. Appl. Phys. -2008. - Vol. 103, No 4. - 043720.

237. Semenov, A.P. Influence of environment and temperature on tribological behavior of diamond and diamond-like coatings / A.P. Semenov, M.M. Khrushchov // Journal of Friction and Wear. -2010. - Vol. 31, No. 2. - P. 142-158.

238. Teng, K.-Y. Microstructure evolution and the modification of the electron field emission properties of diamond films by gigaelectron volt Au-ion irradiation / K.Y. Teng, H.C. Chen,

C.Y. Tang, B. Sundaravel, S. Amirthapandian, IN. Lin // AIP Advances. - 2011. - Vol. 1, No 4. - 042108.

239. Ferrari, A.C. Interpretation of Raman spectra of disordered and amorphous carbon / A C. Ferrari, J. Robertson // Phys. Rev. B. - 2000. - Vol. 61. No 20. - P. 14095-14107.

240. Стрельницкий, В.Е. Исследование пленок алмазоподобного углерода и соединений углерода с азотом, синтезированных вакуумно-дуговым методом / В.Е. Стрельницкий, И.И. Аксенов, В.В. Васильев, А.А. Воеводин, Дж.Г. Джонс, Дж.С. Забински // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 43-53.

241. Weiland, C Recent applications of hard x-ray photoelectron spectroscopy / C. Weiland, A.K. Rumaiz, P. Pianetta, J.C. Woicik // J. Vac. Sci. Technol. A. - 2016. - Vol. 34, No 3. -030801.

242. Davis, C.A. Growth mechanism and cross-sectional structure of tetrahedral amorphous carbon thin films / C.A. Davis, G.A. J. Amaratunga, KM. Knowles // Phys. Rev. Lett. - 1998. -Vol. 80, No 15. - P. 3280-3283.

243. Азаров, А.Ю. Накопление структурных нарушений в кремнии при облучении кластерными ионами PF+n средних энергий / А.Ю. Азаров, А.И. Титов // ФТП. - 2007. -T. 41, Вып. 1. - С. 7-12.

244. Khan, R.U.A. Electron delocalization in amorphous carbon by ion implantation / R.U.A. Khan, J.D. Carey, S.R.P. Silva, B.J. Jones, R.C. Barklie // Phys. Rev. B. - 2001. - Vol. 63, No 12. -121201.

245. Карасёв, П.А. Плотность каскадов смещений кластерного иона: методика расчета и влияние на образование структурных нарушений в ZnO и GaN / П.А. Карасёв, А.Ю. Азаров, А.И. Титов, С.О. Кучеев // ФТП. - 2009. -T. 43, Вып. 6. - С. 721-729.

246. Kucheyev, S.O. Energy spike effects in ion-bombarded GaN / S.O. Kucheyev, A.Yu. Azarov, A.I. Titov, P.A. Karaseov, T.M. Kuchumova // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2009. - V. 42, No 8. -085309.

247. May, P.W. Field emission conduction mechanisms in chemical vapor deposited diamond and diamondlike carbon films / P.W. May, S. Höhn, W.N. Wang, N.A. Fox // Appl. Phys. Lett. -1998. - Vol. 72, No 17. - P. 2182-2184.

248. May, P.W. Field emission from chemical vapor deposited diamond and diamond-like carbon films: Investigations of surface damage and conduction mechanisms / P.W. May, S. Höhn, M.N.R. Ashfold, W.N. Wang, N.A. Fox, T.J. Davis, J.W. Steeds // J. Appl. Phys. - 1998. -Vol. 84, No 3. - P. 1618-1625.

249. Binh, V.T. Solid-state field-controlled emitters: a thin-film technology solution for industrial cathodes / Vu Thien Binh, J.P. Dupin, Ch. Adessi, V. Semet // Sol. St. Electron. -2001. -Vol. 45. No 6. - P. 1025-1031.

250. Колосько, А.Г. Исследование статистического разброса автоэмиссионных параметров многоострийных катодов на основе композита полимер-углеродные нанотрубки / А.Г. Колосько, Е.О. Попов, С.В. Филиппов, П.А. Романов // Письма в ЖТФ. - 2014. -Т. 40, Вып. 10. - С. 65-72.

251. Jensen, K.L. Photon assisted field emission from a silicon emitter / K.L. Jensen, Y.Y. Lau, D. McGregor // Sol. St. Electron. - 2001. - Vol. 45, No 6. - P. 831-840.

252. Cheng, H.F. Laser irradiation effect on electron field emission properties of carbon nanotubes / H.F. Cheng, Y.S. Hsieh, Y.C. Chen, IN. Lin // Diam. Relat. Mater. - 2004. - Vol. 13, No 4-8. -P. 1004-1007.

253. Evtukh, A. GaN surface electron field emission efficiency enhancement by low-energy photon illumination / A. Evtukh, O. Yilmazoglu, V. Litovchenko, V. Ievtukh, H.L. Hartnagel, D. Pavlidis // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2012. - Vol. 30, No 2. - 022206.

254. Han, S. Dynamical simulation of field emission in nanostructures / S. Han, M.H. Lee, J. Ihm // Phys. Rev. B. - 2002. - Vol. 65, No 8. - 085405.

255. Пшеничнюк, С.А. Энергетические распределения электронов, эмитированных с поверхности вольфрамовых острий, покрытых алмазоподобными пленками / С.А. Пшеничнюк, Ю.М. Юмагузин // ЖТФ. - 2004. - Т. 74, Вып. 5. - С. 105-112.

256. Pshenichnyuk, S.A Field emission energy distributions of electrons from tungsten tip emitters coated with diamond-like film prepared by ion-beam deposition / S.A Pshenichnyuk, Yu.M. Yumaguzin // Diam. Relat. Mater. - 2004. - Vol. 13, No 1. - P. 125-132.

257. Птицын, В.Э. Аномальная термополевая эмиссия / В.Э. Птицын // ЖТФ. - 2007. - Т. 77, Вып. 4. - С. 113-118.

258. Bell, L.D. Ballistic electron emission microscopy and spectroscopy: Recent results and related techniques / L.D. Bell // J. Vac. Sci. Technol. B. - 2016. - Vol. 34, No 4. - 040801.

259. van Aken, R.H. A simple fabrication method for tunnel junction emitters / R.H. van Aken, M.A.P.M. Janssen, C.W. Hagen, P. Kruit // Sol. St. Electron. - 2001. - Vol. 45, No 6. - P. 10331038.

260. Фурсей, Г.Н. Свойства нанометровых автоэлектронных эмиттеров / Г.Н. Фурсей, Д.В. Глазанов, Л.М. Баскин, А.О. Евгеньев, А.В. Кочерыженков, С.А. Полежаев // Микроэлектроника. - 1987. - Т. 26, Вып. 2. - С. 89-96.

261. Bockelmann, U. Phonon scattering and energy relaxation in two-, one-, and zero-dimensional electron gases / U. Bockelmann, G. Bastard // Phys. Rev. B. - 1990. - Vol. 42, No 14. -P. 8947-8951.

262. Benisty, H. Intrinsic mechanism for the poor luminescence properties of quantum-box systems / H. Benisty, C M. Sotomayor-Torres, C. Weisbuch // Phys. Rev. B. - 1991. - Vol. 44, No 19. - P. 10945-10948.

263. Benisty, H. Reduced electron-phonon relaxation rates in quantum-box systems: Theoretical analysis / H. Benisty // Phys. Rev. B. - 1995. - Vol. 51, No 19. - P. 13281-13293.

264. Inoshita, T. Electron relaxation in a quantum dot: Significance of multiphonon processes // T. Inoshita, H. Sakaki // Phys. Rev. B. - 1992. - Vol. 46, No 11. - P. 7260-7263.

265. Inoshita, T. Electron-phonon interaction and the so-called phonon bottleneck effect in semiconductor quantum dots / T. Inoshita, H. Sakaki // Physica B: Condensed Matter. - 1996. -Vol. 227, No 1-4. - P. 373-377.

266. Nozik, A.J. Spectroscopy and hot electron relaxation dynamics in semiconductor quantum wells and quantum dots / A. J. Nozik // Annu. Rev. Phys. Chem. - 2001. - Vol. 52. - P. 193231.

267. Urayama, J. Observation of phonon bottleneck in quantum dot electronic relaxation / J. Urayama, T.B. Norris, J. Singh, P. Bhattacharya // Phys. Rev. Lett. - 2001. - Vol. 86, No 21. -P.4930-4933.

268. Pandey, A. Slow electron cooling in colloidal quantum dots / A. Pandey, P. Guyot-Sionnest // Science. - 2008. - Vol. 322. - P. 929-932.

269. Pandey, A. Hot electron extraction from colloidal quantum dots / A. Pandey, P. Guyot-Sionnest // J. Phys. Chem. Lett. - 2010. - Vol. 1, No 1. - P. 45-47.

270. Tisdale, W.A. Hot-electron transfer from semiconductor nanocrystals / W.A. Tisdale, K.J. Williams, B.A. Timp, D.J. Norris, E.S. Aydil, X.-Y. Zhu // Science. - 2010. - Vol. 328. -P.1543-1547.

271. Nozik, A.J. Quantum dot solar cells / A.J. Nozik // Physica E. - 2002. - Vol. 14, No 1-2. -P. 115-120.

272. Пожела, Ю.К. Большое повышение максимальной дрейфовой скорости электронов в канале полевого гетеротранзистора / Ю.К. Пожела, В.Г. Мокеров // ФТП. - 2006. - Т.40, Вып. 3. - С. 362-366.

273. Novoselov, K.S. Two-dimensional gas of massless Dirac fermions in graphene / K.S. Novoselov, A.K. Geim, S.V. Morozov, D. Jiang, M.I. Katsnelson, I.V. Grigorieva, S.V. Dubonos, A.A. Firsov // Nature. - 2005. - Vol. 438. - P. 197-200.

274. Stewart, G.R. Measurement of low-temperature specific heat / G.R. Stewart // Rev. Sci. Instrum. - 1983. - Vol. 54, No 1. - P. 1-11.

275. Журкин, А.М. Исследование электронной структуры поверхности тонкопленочных углеродных покрытий: Дис. ... магистра (СПбПУ Петра Великого): 16.04.01 /

A.М. Журкин. - Санкт-Петербург, 2016. - 65 с.

276. Purcell, S.T. Hot nanotubes: stable heating of individual multiwall carbon nanotubes to 2000 K induced by the field-emission current / S.T. Purcell, P. Vincent, C. Journet, Vu Thien Binh // Phys. Rev. Lett. - 2002. - Vol. 88, No.10. - 105502.

277. Баринов, А.А. Баллистический перенос тепла в наноструктурах / А.А.Баринов, Ж. Цао,

B.И. Хвесюк // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. - 2016. - Вып. 5. -С. 140151.

278. Majumdar, A. Microscale heat conduction in dielectric thin films / A. Majumdar // ASME J. Heat Transfer. - 1993. - Vol. 115, No 1. - P. 7-16.

279. Zhang, Z.M. Nano/microscale heat transfer / Z.M. Zhang. - NY: McGraw-Hill, 2007. - 504 p.

280. Dames, C. Theoretical phonon thermal conductivity of Si/Ge superlattice nanowires /

C. Dames, G. Chen // J. Appl. Phys. - 2004. - Vol. 95, No 2. - P. 682-693.

281. Cahill, D.G. Nanoscale thermal transport / D.G. Cahill, W.K. Ford, K.E. Goodson, G.D. Mahan, A. Majumdar, H.J. Maris, R. Merlin, S R. Phillpot // J. Appl. Phys. - 2003. -Vol. 93, No2. - P. 793-818.

282. Халатников, И.М. Введение в теорию сверхтекучести / И.М. Халатников. - М.: Наука, 1965. - 158 с.

283. Stoner, R.J. Kapitza conductance and heat flow between solids at temperatures from 50 to 300 K / R.J. Stoner, H.J. Maris // Phys. Rev. B. - 1993. - Vol. 48, No 22. - P. 16373-16387.

284. Мейлахс, А.П. Неравновесная функция распределения при тепловом потоке вблизи границы двух кристаллов / А.П. Мейлахс // ФТТ. - 2015. - Т. 57, Вып. 1. - С. 140-144.

285. Jiang, J. Electron-phonon interaction and relaxation time in graphite / J. Jiang, R. Saito,

A. Greuneis, G. Dresselhaus, M.S. Dresselhaus // Chem. Phys. Lett. - 2004. - Vol. 392, No 46. - P. 383-389.

286. Kleps, I. Study of porous silicon, silicon carbide and DLC coated field emitters for pressure sensor application / I. Kleps, A. Angelescu, N. Samfirescu, A. Gil, A. Correia // Sol. St. Electron. - 2001. - Vol. 45, No 6. - P. 997-1001.

287. Choi, I.M. A low-vacuum ionization gauge with HfC-modified carbon nanotube field emitters / I.M. Choi, S.Y. Woo, H.W. Song // Appl. Phys. Lett. - 2008. - Vol. 92, No 15. - 153105.

288. Розанов, Л.Н. Вакуумная техника / Л.Н. Розанов. - М.: Высшая школа, 1990. - 320 с.

289. Львов, Б.Г. Анализ состояния миниатюрных вакуумных насосов / Б.Г. Львов,

B.А. Ветров // Вакуумная техника и технология. - 2003. - Т. 13, Вып. 3. - С. 141-151.