Неравновесная проводимость полупроводников и структур металл - полупроводник - металл тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.10, кандидат физико-математических наук Ромашин, Сергей Николаевич

  • Ромашин, Сергей Николаевич
  • кандидат физико-математических науккандидат физико-математических наук
  • 2005, Курск
  • Специальность ВАК РФ01.04.10
  • Количество страниц 113
Ромашин, Сергей Николаевич. Неравновесная проводимость полупроводников и структур металл - полупроводник - металл: дис. кандидат физико-математических наук: 01.04.10 - Физика полупроводников. Курск. 2005. 113 с.

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Ромашин, Сергей Николаевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1 ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ НА ГРАНИЦЕ

ПОЛУПРОВОДНИКОВ И АКТИВНЫХ ГАЗОВ.

1.1 Структура поверхности полупроводников.

1.2 Поверхностные электронные состояния.

1.3 Адсорбция и десорбция газа на полупроводниках.

1.4 Гетерогенная рекомбинация атомов.

1.5 Методы получения тонких полупроводниковых пленок.

1.6 Методы исследования процессов на границе твердых тел и активных газов.

1.7 Хемоэмиссия электронов с поверхности твердых тел в газовую среду. 38 1.811еравновесная хемопроводимость полупроводников.

1.9 Проводимость в неупорядоченных системах.

1.10 Горячие электроны в металлах и полупроводниках.

1.11 Постановка задачи.

ГЛАВА 2 МЕТОДЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ.

2.1 Экспериментальная установка.

2.2 Получение структур металл-полупроводник-металл.

2.3 Получение тонких пленок.

2.4 Методика эксперимента.

ГЛАВА 3 ЯВЛЕНИЕ ХЕМОЭМИССИИ ЭЛЕКТРОНОВ ИЗ

МЕТАЛЛА В ПОЛУПРОВОДНИК.

3.1 Эффект влияния электронного возбуждения металлической пленки в ходе гетерогенной химической реакции на сопротивление структуры металл-полупроводник-металл.

3.1.1 Экспериментальные результаты.

3.1.2 Обсуждение результатов.

3.2 Эффект преобразования энергии, выделяющейся на поверхности структуры металл-полупроводник-металл при протекании гетерогенной реакции, в энергию электрического тока.

3.3 Влияние окисной пленки на поверхности полупроводника на эмиссию электронов из металла в полупроводник.

3.4 Получение тонких пленок германия и их структура.

3.5 Неравновесная хемопроводимость тонких пленок германия.

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Физика полупроводников», 01.04.10 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Неравновесная проводимость полупроводников и структур металл - полупроводник - металл»

Актуальность проблемы. Последние достижения современной микроэлектроники основываются на результатах исследований физики твердого тела. Разнообразные процессы, протекающие на поверхности твердых тел, находятся в сфере внимания таких областей науки, как физика полупроводников, физика плазмы, оптика, физическая электроника, космические исследования, химия твердого тела, гетерогенный катализ. Эти процессы служат основой многих высокотехнологичных производств. Развитие современной микроэлектроники с ее стремлением к микроминиатюризации привело к такому положению вещей, когда информация о процессах, происходящих на границе полупроводника и газовой смеси, может иметь прямое отношение к физическим явлениям, лежащим в основе работы прибора. В связи с чем многие проблемы, имеющие отношение к системе газ - твердое тело, обусловлены также нуждами полупроводникового приборостроения и микроэлектронной промышленности.

Явления, возникающие на границе твердого тела и атомно-молекулярной газовой смеси, сложны и многообразны. Взаимодействие атомов и молекул с твердыми телами сопровождается перераспределением поверхностных химических связей, изменением спектра поверхностных электронных состояний, структурными перестройками. Возникающие при протекании гетерогенных реакций люминесценция, распыление поверхности, эмиссия электронов несут информацию о химическом составе, структуре и электронном спектре поверхности, о кинетике и механизме химических превращений и об активной газовой атмосфере. Регистрация эффектов, сопровождающих поверхностные реакции, дает чувствительный инструмент для изучения процессов на границе газа с твердым телом, для решения научных и технологических задач катализа, плаз-мохимии, микроэлектроники, выращивания тонких пленок, космического материаловедения.

При протекании гетерогенных химических реакций на границе твердых тел и газов стабилизация молекул промежуточных веществ и продукта обусловлена энергообменом между реагирующими частицами и поверхностью. В нем участвуют кристаллическая решетка (фононы), электроны твердого тела и хемосорбированные молекулы реагирующих веществ. Высокая каталитическая активность металлов по сравнению с неметаллами по отношению к большинству химических реакций, возможно, обусловлена тем, что аккомодация энергии электронами проводимости - это наиболее эффективный способ отвода энергии, выделяющейся в актах химических превращений на поверхности твердых тел (любая гетерогенная химическая реакция содержит хотя бы одну экзотермическую стадию - адсорбцию). Известно, что на поверхности металлов колебательная релаксация химических связей адсорбированных молекул происходит преимущественно посредством генерации электронно-дырочных пар, а не фононов. О возникновении возбужденных электронов с энергией Е > А + F, где А — работа выхода поверхности, F — энергия Ферми, свидетельствует эмиссия электронов при протекании гетерогенных химических реакций на поверхности некоторых металлов (с малой работой выхода).

Малоизучены аккомодация энергии электронами проводимости при столкновении атомных частиц с поверхностью твердых тел и ее роль в каталитическом ускорении гетерогенных химических превращений на границе твердых тел и газов. Соответствующие методы исследований вследствие технических сложностей (доля возбужденных электронов от общего числа электронов проводимости ничтожно мала) недостаточно развиты.

Цель работа - разработка метода изучения электронной аккомодации с участием электронов проводимости при протекании гетерогенных химических реакций; обнаружение эффекта эмиссии возбужденных в ходе гетерогенной химической реакции электронов из металла в полупроводник; экспериментальное изучение неравновесной хемопроводимости тонких пленок полупроводников, полученных осаждением в среде атомарного водорода.

Для достижения поставленной цели выбраны следующие направления исследований: изучение эффекта возникновения разности потенциалов (хемо-ЭДС) между металлом и полупроводником, при протекании экзотермической реакции

Н + Н —» Н2 на поверхности металлической пленки, нанесенной на полупроводник; обнаружение и изучение эффекта хемоэмиссии электронов из металла в полупроводник; выяснение влияния окисной пленки на поверхности полупроводника на процесс прохождения возбужденных электронов через границу между металлом и полупроводником; изучение влияния температуры на процесс проникновения горячих электронов, возникших в ходе реакции, из металла в полупроводник; установление влияния типа проводимости полупроводника, на который нанесена тонкая металлическая пленка, на хемоэмиссию электронов из металла в полупроводник; получение тонких пленок германия посредством осаждения атомов германия в среде атомарного водорода, изучение структуры пленок и их неравновесной хемопроводности.

Научная новизна. Разработан метод изучения процессов энергообмена между реагирующими на поверхности молекулами газа и электронами проводимости металла или вырожденного полупроводника. Он предназначен для изучения механизмов стабилизации молекул, образующихся в ходе реакции, и заключается в регистрации тока возбужденных электронов, проникающих из катализатора в полупроводник через межфазную границу.

Обнаружено явление эмиссии электронов из металла в полупроводник. На примере химической реакции Н + Н —► П2 обнаружен эффект преобразования энергии, выделяющейся в ходе гетерогенной реакции на поверхности тонкой пленки металлического катализатора, нанесенного на полупроводник, в энергию электрического тока. Обнаружено возникновение разности потенциалов (хемо-ЭДС) между металлом и полупроводником при протекании гетерогенной реакции на поверхности тонкой металлической пленки, нанесенной на поверхность полупроводника. Установлено, что окисная пленка на поверхности полупроводника препятствует прохождению возбужденных электронов через границу между металлом и полупроводником, не влияя при этом существенным образом на сопротивление контакта полупроводника с металлической пленкой. Установлено, что при протекании реакции гетерогенной рекомбинации атомов водорода на поверхности золота или никеля в актах химических превращений с вероятностью 10"2 < r|g < 1 в металле возникают электронно-возбужденные состояния.

Установлено, что при осаждении на подложки в среде атомарного водорода пленок германия, благодаря процессам самоорганизации образуются наноструктуры с характерным размером 30-40 нм.

Получены данные по фотопроводимости и неравновесной хемопроводи-мости тонких пленок германия и кремния, осажденных на подложки в среде атомарного водорода.

Достоверность полученных результатов. В опытах использовался водород чистотой 99,995%. Особое внимание было уделено защите используемых приборов (средств измерения) электрическими экранами от воздействия электромагнитных полей. Проводились "холостые" опыты, для этого в реактор помещали точечный полупроводниковый диод. При этом в измерениях тока уровень электромагнитной помехи (наводки) высокочастотного разряда составлял не

11 -у более 10 А, а при измерении хемо-ЭДС — 10 В. Подтверждением достаточно глубокой очистки поверхности образцов от адсорбционных загрязнений в условиях опытов и достоверности результатов служит получение воспроизводимых экспериментальных кривых. С целью проверки воспроизводимости экспериментальных данных неоднократно производилась повторная замена образцов в различной последовательности. Были получены идентичные результаты для одних и тех же образцов. Полученные экспериментальные результаты допускают непротиворечивую теоретическую интерпретацию.

Практическая значимость. Предложен метод создания потока горячих электронов в металле для изучения эмиссии горячих электронов через межфазную границу металл-полупроводник. На основе полученных данных могут быть разработаны датчики контроля за изменением скорости гетерогенных химических реакций. Структуры металл-полупроводник-металл могут быть применены для изучения механизмов неупругих столкновений атомных частиц тепловых энергий с поверхностью металлов. Применение метода контроля за образованием возбужденных электронов в актах химических превращений на поверхности металлов позволило получить новую информацию о механизмах электронных процессов, протекающих на межфазных границах между металлом и активным газом и между металлом и полупроводником.

Защищаемые положения.

1. При протекании экзотермической химической реакции Н + Н —* Нг на у поверхности тонкой металлической пленки золота толщиной d ~ 10" , нанесенной на кристалл кремния n-типа, возникает разность потенциалов (хемо-ЭДС) между металлом и полупроводником, обусловленная проникновением возбужденных электронов, возникших в ходе реакции, из металла в полупроводник (пленка приобретает положительный заряд, а кремний заряжается отрицательно).

2. Взаимодействие атомарного водорода с тонкой пленкой золота или никеля, нанесенной на кристалл полупроводника (кремния, германия) или плоский р-n переход на основе кремния сопровождается изменением сопротивления полупроводника или р-п-перехода вследствие проникновения возбужденных электронов, возникших в ходе реакции, из металла в полупроводник.

3. Окисная пленка на поверхности кремния или германия препятствует проникновению возбужденных электронов через межфазную границу из металла в полупроводник.

4. Осажденные в среде атомарного водорода на подложки тонкие пленки германия содержат наноструктуры с характерным размером 30-40 нм, возникшие благодаря процессам самоорганизации на поверхности. Под действием атомарного водорода возникает неравновесная электропроводность этих пленок.

Структура и объем диссертации. Диссертация изложена на 113 страницах, иллюстрируется 34 рисунками и состоит из введения, трех глав, заключения и списка используемой литературы, включающего 94 наименования.

Похожие диссертационные работы по специальности «Физика полупроводников», 01.04.10 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Физика полупроводников», Ромашин, Сергей Николаевич

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Предложен метод создания потока горячих электронов в металле для изучения эмиссии горячих электронов через межфазную границу металл-полупроводник.

2. Разработан метод изучения процессов энергообмена между реагирующими на поверхности молекулами газа и электронами проводимости металла, заключающийся в регистрации тока возбужденных электронов, проникающих из металла — катализатора реакции в полупроводник через потенциальный барьер на межфазной границе.

3. При протекании реакции Н + Н —> Н2 на поверхности тонкой пленки золота, нанесенной на поверхность кремния n-типа, между металлом и полупроводником возникает разность потенциалов (хемо-ЭДС). При этом пленка приобретает положительный заряд, а кремний заряжается отрицательно. Эффект обусловлен проникновением горячих электронов, возникших в ходе реакции, из металла в полупроводник.

4. После включения и выключения источника атомов водорода наблюдается изменение сопротивления помещенных в среду водорода структур МПМ, изготовленных на основе кремния n-типа или кремниевого р-п-перехода, если пленка металла, нанесенная на полупроводник, присоединена к минусу источника тока, а полупроводник присоединен к его плюсу. Эффект обусловлен проникновением горячих электронов, возникших в ходе экзотермической реакции Н + Н —> Н2, из металла в полупроводник, поскольку он исчезает при изменении полярности приложенного напряжения.

5. При протекании реакции гетерогенной рекомбинации атомов водорода Н+Н—»Н2 на поверхности золота или никеля в актах химических превращений с вероятностью 10 < rjg < 1 в металле возникают электронно-возбужденные состояния.

6. Окисная пленка на поверхности кремния или германия препятствует проникновению возбужденных электронов через межфазную границу из металла в полупроводник.

7. Осаждение германиевых пленок на медные подложки в среде атомарного водорода приводит к появлению наноструктур с характерным размером 30-40 нм, возникших благодаря процессам самоорганизации на поверхности подложки, находящейся в активной газовой среде.

8. Наблюдалась неравновесная хемопроводность германиевых пленок, обусловленная возникновением электронно-дырочных пар на поверхности при протекании экзотермической гетерогенной реакции Н + Н —»• Н2.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Ромашин, Сергей Николаевич, 2005 год

1. Стильбанс Л.С. Физика полупроводников. -М.: Советское радио, 1967. -452 с.

2. Случинская И.А. Основы материаловедения и технологии полупроводников. М.: МИФИ, 2002. - 378 с.

3. Матаре Г. Электроника дефектов в полупроводниках. — М.: Мир, 1974. -464 с.

4. Рейви К. Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии. М.: Мир, 1984.-475 с.

5. Ансельм А.И. Введение в теорию полупроводников. — М.: Наука, 1978. -616 с.

6. Нестеренко Б.А. Снитко О.В. Физические свойства атомарно-чистых поверхностей полупроводников, Киев: Наукова Думка, 1983.

7. Бедный Б.И. Электронные ловушки на поверхности полупроводников // Соросовский образовательный журнал. 1998. №7. С. 114-121.

8. Зеегер К. Физика полупроводников. — М.: Мир, 1977. — 615 с.

9. Зенгуил Э. Физика поверхности. М.: Мир, 1989. - 440 с.

10. Киселев В.Ф., Козлов С.Н., Зотеев А.В. Основы физики поверхности твердого тела. М.: Изд-во Московского университета. Физический факультет МГУ, 1999.-284 с.

11. Пека Г.П. Физические явления на поверхности полупроводников — К.: Вища школа. Головное изд-во, 1984. 214 с.

12. Харламов В. Ф. Рекомбинация атомов на поверхности тел и сопутствующие эффекты. Томск: Изд-во Том. ун-та, 1994. - 207 с.

13. Волькенштейн Ф. Ф. Физика-химия поверхности полупроводников. -М.: Наука, 1973. 399 с.

14. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела: Пер. с англ. А. Я. Шульмана под ред. Ф. Ф. Волькенштейна. М.: Мир, 1980. - 488 с.

15. Теория хемосорбции. Под редакцией Дж. Смита. М.: Мир, 1983. —333 с.

16. Птушинский Ю. Г., Чуйков Б. А. Кинетика адсорбции газов на поверхности металлов // Поверхность. 1992. № 9. С. 5-26.

17. Яблонский Г. С., Быков В. И., Елохин В. И. Кинетика модельных реакций гетерогенного катализа. Новосибирск: Наука. 1984.

18. Жданов В.П. Скорость химической реакции. — М.: Наука, 1986.

19. Гранкин В. П. // Ж. прикл. спектроскопии. 1996. Т. 63. № 3. С. 444-451.

20. Гранкин В. П., Тюрин Ю. И. // Кинетика и катализ. 1996. Т. 37. № 4. С. 608-612.

21. Гранкин В. П., Гранкина Н. Д., Климов Ю. В., Тюрин Ю. И. // Журн. физ. химии. 1996. Т. 70. №. 10. С. 1863 1868.

22. Kharlamov V. F. // React. Kinet. Catal. Lett. 1987/ № 33. P. 43.

23. Харламов В. Ф. // Хим. физика. 1991. Т. 10. №8. С. 1084.

24. Харламов В. Ф. //Журн. физ. химии. 1997. Т. 71. N 4. С. 678.

25. Харламов В. Ф., Лисецкий В. Н., Иващук О. А. // Журн. физ. химии. 1998. Т. 72. N2. С. 298.

26. Харламов В. Ф., Крутовский Е. П., Мосин Ю. В. и др. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. N 3. С. 54-59.

27. Kharlamov V. F., Izmailov Sh. L., Vasilyev N. Ph. // React.Kinet. Catal.1.tt. 1997. V. 60.N l.P. 107

28. Харламов В.Ф., Ануфриев K.M. Рекомбинация предадсорбированных атомов кислорода на поверхности твердых тел. // Письма в ЖТФ. 1999, Т. 25, № 15, С. 27-32.

29. Мосин Ю. В. Атомно-молекулярные и электронные процессы на поверхности полупроводников, помещенных в диссоциированные газы: Дис. канд. физ.-мат. наук. Курск., 1998. - 97 с.

30. Иващук О. А. Математическое моделирование электронного возбуждения полупроводников атомарным водородом: Дис. канд. физ.-мат. наук. -Курск., 1998.-139 с.

31. Херман М. Полупроводниковые сверхрешетки: Пер. с англ. М.: Мир, 1989.-240 с.

32. Уфимцев В.Б., Акчурин Р.Х. Физико-химические основы жидкофаз-ной эпитаксии.-М.: Металлургия, 1983.-436с.

33. Фельдман J1., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. — М: Мир, 1989.-344 с.

34. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности: Пер. с англ. М.: Мир, 1989. - 564 с.

35. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. — М.: Мир, 1980.-490 с.

36. Нефедов В.И., Черепин В.Т. Физические методы исследования поверхности твердых тел. М.: Наука, 1983. - 296 с.

37. Методы анализа поверхности. Ред. А.Зандерна. — М., Мир. 1979.

38. Новое в исследовании поверхности твердого тела. Ред. Т.Джайядевайя, Р.Ванселов. М., Мир, 1977, т.1., вып.1, С.211-234.

39. Р.Хофман. Строение твердых тел и поверхностей. М., Мир 1990.216 с.

40. Самсонов Т. П., Пантелеев В. Н., Поляков Д. Ю. // Физика и техника полупроводников. 2001 . Т. 35. Вып. 4. С. 482-488.

41. Штейегарт А.П. // Вестник НовГУ. Сер.: Техн. науки. 2004. № 26. С. 173-174.

42. Горшкова М.М. Эллипсометрия М.: Мир, 1974. 388 с.

43. Ржанов А.В., Свиташев К.К., Семененко А.И. Основы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1979.-426 с.

44. Азаам Р., Башира Н. Эллипсометрия и поляризованный свет: Пер. с англ. М.: Мир, 1981.-342 с.

45. Резвый P.P. Эллипсометрия в микроэлектронике. М.: Радио и связь, 1983.-294 с.

46. Еловиков С.С. Электронная спектроскопия поверхности и тонких пленок: Учеб. пособие. М.: Изд-во МГУ, 1992. - 94 с.

47. Боровский И.Б. Физические основы рентгеноспектральных исследований. М.: Изд-во МГУ, 1956. 482 с.

48. Суворов A.JI. Автоионная микроскопия радиационных дефектов в металлах. М.: Энергоиздат, 1982. — 161 с.

49. Миллер М., Смит Г. Зондовый анализ в автоионной микроскопии: Пер. с англ. М.: Мир, 1999. - 301 с.

50. Крылов О. В., Киселев В. Ф. Адсорбция и катализ на переходных металлах и их оксидах. — М.: Химия, 1981. 288 с.

51. Кораблев В.В. Электронная оже-спектроскопия. Изд-во ЛПИ, 1973.

52. Кулешов В.Ф., Кухаренко Ю.А., Фридрихов С.А. Спектроскопия и дифракция электронов при исследовании поверхности твердых тел. — М: Наука, 1985.-290 с.

53. Андронов А.Н., Пронина Н.А. Изучение структуры поверхности методом дифракции медленных электронов (ДМЭ): Учеб. пособие. — СПб.: Изд-во СПбГТУ, 1997.-45 с.

54. Кухаренко Ю.А., Фридрихов С.А. Резонансное упругое рассеяние медленных электронов в твердых телах вблизи порогов неупругих каналов // Поверхность. Физика, химия, механика. 1982. №1. С. 43-57.

55. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / Под ред. Д. Бриггса, М.П. Сиха. М.: Мир, 1987. — 600 с.

56. Шульман А.Р., Фридрихов С.А. Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела. М.: Наука, 1977. 552 с.

57. Бажанова Н.П., Кораблев В.В., Кудинов Ю.А. Актуальные вопросы вторично-эмиссионной спектроскопии. — JL: ЛПИ, 1985. 88 с.

58. А. Модинос Авто-, термо- и вторично-эмиссионная спектроскопия. М.: Наука, 1990.

59. Фурсей Г.Н. Автоэлектронная эмиссия // Соросовский образовательный журнал. 2000. Т. 6. №11. С. 96-103.

60. Тюрин Ю.И. Возбуждение поверхности твердого тела атомами тепловых энергий // Поверхность. 1986. № 9. С. 115-125.

61. Стыров В.В., Харламов В.Ф., .Ягнова Л.И. // Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. М.: Наука, 1972. С. 72 -73.

62. Харламов В.Ф. // Кинетика и катализ. 1979. Т. 20. № 4. С. 946 950.

63. Бонч Бруевич В.Л., Калашников С.Г. Физика полупроводников. — М.: Наука, 1990.-686 с.

64. Бонч-Бруевич В.Л., Звягин И.П., Клайпер Р. Электронная теория неупорядоченных полупроводников. М.: Наука, 1981. - 384 с.

65. Физическая энциклопедия. Гл. ред. Прохоров A.M., М.: Большая Российская энциклопедия. Т. 1. 1992. - 704 с.

66. Физическая энциклопедия. Гл. ред. Прохоров A.M., М.: Большая Российская энциклопедия. Т. 3. 1992. — 672 с.

67. Brenig W. // Z. Phis. V. В23. №3. P. 361-367.

68. Кожушнер М.А., Кустарев В.Г., Шуб Б.Р. // ДАН СССР. 1977. Т. 237. №7. С.871-876.

69. Лифшиц Е.М., Питаевский Л.П. Физическая кинетика. — М.: Наука, 1979. С. 413.

70. Borrel P. Molecular Relaxation Processes. London: The Chemical Society, 1966. P. 263.

71. Баловнев Ю. А., Рогинский С.З., Третьяков И.И.// ДАН СССР. 1964. Т.158. №5. С. 929-934; 1965. Т.163. №1. С.394-399.

72. Волькенштейн Ф. Ф., Горбань А. Н., Соколов В. А. Радикалорекомби-национная люминесценция полупроводников. М.: Наука, 1973. — 399 с.

73. Харламов В. Ф. Автореф. дне. докт. физ.-мат. наук. Новосибирск, 1990.-31 с.

74. Харламов В. Ф. Эмиссия электронов и фотонов при взаимодействии диссоциированных газов с твердыми телами: Дис. канд. физ.-мат. наук. — Томск., 1976. 177 с.

75. Харламов В. Ф. // Кинетика и катализ. 1979. Т. 20. № 4. С. 946 950.

76. Новицкий П. В., Кноринг В. Г., Гутников В. С. Цифровые приборы с частотными датчиками. — JL: Энергия, 1970.

77. Плотников Г.С., Зайцев В.Б. Физические основы молекулярной электроники М.: Физические факультет МГУ, 2000. - 164 с.

78. Ромашин С.Н., Седов А.В., Касаткин Э.В., Харламов В.Ф. Самоорганизация при осаждении пленок полупроводников в среде атомарного водорода. // ЖТФ. 2004. Т. 74. Вып. 8. С. 133 135.

79. S.N. Romashin. A.V. Sedov, E.V. Kasatkin, V.F. Kharlamov. Self-Organization during Deposition of Semiconductor Films in the Atmosphere of Atomic Hydrogen. //Technical Physics. V. 49. № 8. 2004. pp. 1089-1092.

80. Ромашин C.H., Седов А.В., Ануфриев K.M., Харламов В.Ф. Эмиссия электронов из металлов в полупроводник, стимулированная химической реакцией. // Материалы XXII Всероссийский симпозиум молодых ученых по химической кинетике, Москва, 2004 г. С. 43.

81. Харламов В.Ф., Ромашин С.II., Седов А.В. Хемоэмиссия электронов из металла в полупроводник. // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30. Вып. 17. С. 48 54.

82. V.F. Kharlamov, S.N. Romashin, A.V. Sedov. Electron Chemoemission from Metal to Semiconductor. // Technical Physics Letters. V.30. N 9.2004. pp.732-734.

83. Лавренко В.А. Рекомбинация атомов водорода на поверхности твердых тел. Киев: Наукова думка, 1973. 204 с.

84. Кислюк М.У.//Химич. физика. 1989. Т.8. №1. С.59-72.

85. Шалимова К.В. Физика полупроводников. — М.: Энергоатомиздат, 1985.392 с.

86. Харламов В.Ф., Седов А.В., Ромашин С.II. Эмиссия электронов с поверхности твердых, стимулированная электрическим полем и гетерогенной химической реакцией. // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30. Вып. 18. С. 1 8.

87. V.F. Kharlamov, A.V. Sedov, S.N. Romashin. Electron Emission from Solid Surfaces Stimulated by Electric Field and Heterogeneous Chemical Reaction. // Technical Physics Letters. Vol.30. N 9.2004. pp.753-755.

88. Ромашин C.H., Седов А.В., Кубышкина M.B., Ануфриев К.М., Харламов В.Ф. Электронное возбуждение металлов активным газом и сопутствующие эффекты. // Доклады XVI Всероссийского симпозиума "Современная химическая физика",-Туапсе, 2004 г. С. 158-159.

89. Харламов В.Ф., Макушев И.А., Бармин А.В., Рогожина Т.С., Ануфриев К.М., Быковский М.И. Элементарные процессы при взаимодействии «пакета» активных частиц газа с твердым телом. // Письма в журнал технической физики. 2003, Т. 29, Вып. 7, с. 87-95.

90. Савченко Н.М., Горбань А.Н., Савченко Н.В., Манько В.К. Образование электронно-дырочных возбуждений в германии под действием атомов водорода. // Укр. физ. журн. 1979. Т. 24. № 7. С. 996-999; № 8. С. 1184-1187.

91. Стыров В.В., Кабанский А.Е. Высокоэффективная электронная аккомодация при взаимодействии атомарного водорода с монокристаллом германия. // ЖЭТФ. 1979. Т. 76. Вып. 5. С. 54-59.

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.